JPH01318917A - 磁気抵抗素子を用いた磁気エンコーダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の産業上の利用分野］ この発明は、自動機器などに使用されている磁気エンコ
ーダに関し、特に精度が良好で且つバッテリー動作時に
用いて好適な磁気エンコーダに関し、ロータリタイプ、
リニアタイプの何れの磁気エンコーダにも用いることの
できるものである。

［従来技術とその問題点］ 各種自動機器において位置決めを行う際、モータ等の回
転角などの移動量を計測し、これを電気信号に変換する
手段が必要とされる。この目的で、エンコーダと呼ばれ
る装置が多用されている。

たとえば、ロータリ形のエンコーダについて説明すると
ロークリエンコーダは１回転にともなって発生するパル
ス数を計測するインクリメンタル形のものと、ロータに
記録したコードを読み取るアブソリュート形のものがあ
る。また、検出方式には、光学式のものと磁気式のもの
があるが、最近では、安価で信頼性に優れたインクリメ
ンタル形磁気式エンコーダが多用されるようになってき
た。・ 第６図は、従来の一服的なロータリ磁気式エンコーダｌ
の説明図で、外周にＮ極２Ｎ、Ｓ極２Ｓの磁極を交互等
間隔に微細ピッチで多極着磁した多極着磁体を構成する
磁気エンコーダ磁極２を有するマグネットロータ３と径
方向の空隙４を介して対向する位置に磁気抵抗（効果）
素子（ＭＲセンサと言われている）５を対向配設して形
成している。なお、マグネットロータ３は、マグネット
にて形成した一体型のものであっても良く、適宜なロー
タドラムの外周にマグネット層を塗布して形成したちの
何れのものであっても良い。

上記磁気エンコーダ磁極２のＮ極２Ｎ、Ｓ極２Ｓそれぞ
れの１磁極幅は、λ（電気角で２πで表される幅に等し
い）幅で着磁されている。

また磁気抵抗索子５は１例えば強磁性体磁気抵抗効果素
子を用いるとして、先ず磁気エンコーダ１の原理を説明
するために、磁気抵抗素子５を構成する強磁性体薄膜で
形成された磁気抵抗効果を有する導体（磁気抵抗体）６
について第７図を用いて説明する。

この導体６は１例えば、数千人単位程度の厚みでＮｉ−
Ｃｏ系の金属薄膜く強磁性金属薄膜）をガラス等の基板
に真空蒸着−やエツチング等の手段で形成することで上
記磁気抵抗素子５を形成できる。

導体６は、第７図に示すように、これに流れる電流Ｉと
磁束７どの方向が垂直となるように配設しておくと、磁
束７は、Ｎｆｉ！２ＮからＳ極２８に向かう。

この導体６は、第８図に示すように磁束７内において横
方向の磁束７Ｘによって、抵抗値の減少をきたす。尚、
７Ｙは、縦方向の磁束を示す。

このときの導体６の抵抗の変化率は、数％で、磁気エン
コーダ磁極２の一磁極の幅をλとしたとき、λ／４及び
３λ／４の位置における時の導体６の抵抗値をＲ１＠、
抗の変化値をΔｒとすると。

磁極（２Ｎまたは２Ｓ）と導体６の位相θ（−磁極幅２
Ｎ、２Ｓをそれぞれ電気角で２πとしたときの位相θと
する）における抵抗値Ｒ（θ）は。

Ｒ（θ）＝Ｒ−Δｒ−ｃｏｓθ　　（１）で表すことが
できる。

横方向の磁束７Ｘは５位相θ、導体６及び磁気エンコー
ダ磁極２の距離に関係し、導体６も、それに応じた抵抗
値Ｒをとる。

尚、磁気抵抗素子５の場合、ホール素子等の池の磁気セ
ンサと異なり、（ｉ１界中心（Ｎ極２Ｎ、Ｓ極２Ｓそれ
ぞれの中間部のところの磁界状態）では、横方向の磁束
が無いため無磁界と同様に出力信号が変化しないという
特徴がある。

上記した１本の導体６を有する磁気抵抗素子５では、実
用的ではないので、従来においては、第９図に示すよう
に２つの（実際には折り返しの導体があるため４本の導
体になる）導体６ａ。

６ａ’　をλ磁極幅離した位置に設けて磁気抵抗素子５
′を形成している。

このように形成された磁気抵抗素子５°における導体６
ａ、６ａ’の形成すべき条件は、コ字状の導体６ａと６
ａ’は、互いにλ磁極幅位相が離れた位置に互いに逆位
相となるように形成される。導体６ａの他端と導体６ａ
’の一端が共通接続され、その中間を中点出力端子用導
電体１２に接続している。導体６ａの一端は、端子用導
電体１３を介して電源電池１４の正側に接続し、導体６
ａ’の他端は、端子用導電体１５を介して電源電池１６
の負側に接続している。電源電池１４の負側と電源電池
１６の正側との接続点１７と出力端子用導電体１２とか
ら、出力端子１８−１　。

１８−２を取り出している。

かかる磁気抵抗素子５′によると、これらの導体６ａ、
６ａ’がマグネットロータ３の磁気エンコーダ磁極２面
に平行な磁界に３応して抵抗を減する。

この磁界成分は、マグネットロータ３の磁気エンコーダ
磁極２の磁極境界部で大きく、磁極中心部ではＯである
ので、λ／２磁極幅異なる位置に設けられた導体６ａ、
６ａ’は、マグネットロータ３の回転に伴いて極性が変
化する為に、中点の電位がＯを横切る回数を出力端子１
８−１゜１８−２から取り出してカウントすることによ
り、ロータの回転数を計測できる。

ところで、上記構成の磁気抵抗素子５′の導体６ａ、６
ａ’によると、マグネットロータ３の回転に伴う中点電
位の変化は、第１０図に示すような幅の狭い出力信号波
形２２．２２’となる場合が多い。これは、磁極ピッチ
に比べてマグネットロータ３と磁気抵抗素子５°の間隔
が短い場合に特に顕著に現れる。

このように電位がゼロに近い部分の多い幅の短い波形の
ゼロを横切る点の計測は、基準電圧の変動によって、特
にデジタル信号になおす場合には、誤差を含み易く、ま
たノイズによる誤動作を招きやすいという問題点があっ
た。

上記した磁気抵抗素子５″によっては、Ａ相及びＢ相の
磁気エコーダ信号を得ることができないので、上記した
磁気抵抗素子５°をもう１個（図面に記載せず）用いて
、これをλ／４磁極の間隔をおいて配設し、該１個追加
した磁気抵抗素子５“は、上記導体６ａ、６ａ’に対応
する導体を６ｂ、６ｂ’　　（図示せず）とし１これら
４つの導体６ａ、６ａ’　、６ｂ、６ｂ’　を利用して
Ａ相用及びＢ用層の磁気エンコーダ信号を得るようにし
ている。

この２つの磁気抵抗素子５゛は、Ａ相の磁気エンコーダ
信号を得るために２つの導体６ａ。

６ａ’　と、Ｂ相の磁気エンコーダ信号を得るために導
体６ｂ、６ｂ”で形成したものとなっており、導体６ａ
と６ａ’は、互いに逆位相となっており、また導体６ｂ
と６ｂ″も、互いに逆位相となるように、導体６ａと６
ｂ、及び６ａ’と６ｂ’とは、互いにｎλ十λ／４（ｎ
は１以上の整数）幅ずらして形成されている。

このように形成された２つの磁気抵抗素子５′からの磁
気エンコーダ信号を処理する回路としては１例えば、第
１１図の方法がある。

この第１１図に示す２個の磁気抵抗素子５゛からなる磁
気エンコーダ信号処理回路８は、抵抗器９−１．・　・
・、９−４により、ブリッジを構成して抵抗変化を電圧
変化に変換し、コンパレータ１０−１．１０−２により
、第１２図（ａ）。

（ｂ）に示すような９０°位相が異なる２つの矩形波の
エンコーダ信号１１−１．１１−２を得ることができる
ようにしている。

この矩形波のエンコーダ信号１１−１．１１−２をカウ
ンタによって計数すれば、磁気エンコーダの回転角を計
測できる。

上記第１１図に示した磁気抵抗素子５°を用いた磁気エ
ンコーダ信号処理回路８は、磁気抵抗素子５°の導体６
ａと６ａ’　、６ｂと６ｂ’の接続点の中点電位の出力
電圧を磁気エンコーダ信号出力として利用したものであ
る。

上記した磁気抵抗素子５°を用いた磁気エンコーダでは
、上記のようにこの素子５゛からの出力波形がゼロレベ
ルを横切る点を計測する場合は、基準電圧の変動によっ
て、特に上記出力波形をデジタル信号になおす場合には
、誤差を含み易く、またノイズによる誤動作を招きやす
いという問題点があり、精度の良い磁気エンコーダ信号
を得ることが出来なかった。

上記の問題点を解決する方法について１本願発明者は種
々の検討を行ったが、略々均一な幅で。

交互に多数の磁極（多極着磁体。上記磁気エンコーダ磁
極２が該当する）が設けられたマグネットロータと、こ
れに対向配置する磁気抵抗素子からなる磁気エンコーダ
において、磁気抵抗素子が上記多極磁極体の略（２ｎ＋
１）λ（但し、ｎは０以上の整数、λは磁気エンコーダ
の１磁極の幅）磁極幅に渡って順次連続して櫛歯状等に
形成された磁気抵抗効果を有する導体群によって構成さ
れ、該磁気抵抗効果を有する導体群の中点に出力端子を
設け、該出力端子から磁気エンコーダ出力を得ることに
より、矩形波（或は台形波）に近い良好な信号が出力さ
れることを見い出し１本発明をなす動機に至った。

磁気抵抗素子として、（２ｎ＋１）λ磁極幅に渡る磁気
抵抗効果を有する導体群を一様に隣接配置して設ければ
、これによる磁気抵抗素子の面積の増加は殆ど無く、こ
れによるコストの上昇、形状の大型化等の悪影響も殆ど
ない。

このことを以下に第１５図を用いて説明する。

第１３図に示した磁気エンコーダに用いる磁気抵抗素子
１９の説明図で、この磁気抵抗素子１つでは、Ａ相分の
磁気抵抗素子エレメント１９ＡとＢ相分の磁気抵抗素子
エレメント１９Ｂとで、Ａ相及びＢ相の磁気エンコーダ
信号が得られるように構成したものを描いている。

磁気抵抗素子１９は、Ａ相の磁気エンコーダ信号からｎ
＋λ／４磁極幅（ｎは１以上の整数で。

後記する整数ｎとは、独立して与えられる整数。λは磁
気エンコーダ磁極２の１磁極幅を示す）位相がずれて１
例えば、この実施例では。

ｎ＝１を選択しているので、＾＋λ／４磁極幅位相がず
れてＢ相の磁気エンコーダ信号を得ることが出来るよう
に、複数の順次隣接して形成された櫛歯状の磁気抵抗効
果を有する直線状の導体２０群からなるＡ相の磁気抵抗
素子エレメント１９Ａと、該磁気抵抗素子エレメント１
９Ａから、同じく複数の順次隣接して形成された櫛歯状
の磁気抵抗効果を有する直線状の導体２０群からなるＢ
相の磁気抵抗素子エレメント１９Ｂを磁気抵抗素子エレ
メント１９Ａからｎλ＋λ／４（ｎは１以上の整数）磁
極幅、この実施例ではｎ＝１．即ち。

λ十λ／４磁極幅位相がずれた点線で示すガラス基板等
の絶縁基板２５位置１こ上記したような適宜な手段によ
って形成している。

もちろん、これらＡ相の磁気抵抗素子ニレメン１−１９
　Ａも、Ｂ相の磁気抵抗素子エレメント１９Ｂも、１つ
の絶縁基板２５に蒸着等の手段によって形成して、１つ
の磁気抵抗素子に形成できることは言うまでもないが、
互いに分難された別個独立の基板にＡ相の磁気抵抗素子
エレメント１９Ａと、Ｂ相の磁気抵抗素子エレメント１
９Ｂとを形成し、これらを互いに上記ｎλ十λ／４磁極
幅すれた位相位置に配設して磁気抵抗素子１つを形成し
ても良い。

また、これら磁気抵抗索子１９は、互いに上記ｎλ＋λ
／４磁極幅ずれた位相位置に、絶縁基板２５を共通にす
るとしないに係わらず、上記Ａ相の磁気抵抗素子エレメ
ント１９Ａ、Ｂ相の磁気抵抗素子エレメント１９Ｂを１
組以上形成しても良い。

磁気抵抗素子１９を構成する磁気抵抗素子エレメント１
９Ａは、磁気エンコーダ磁極２（第６図参照）の（２’
ｎ＋１）λ（ｎは０以上の整数、λは磁気エンコーダ磁
極２の１磁極の幅）磁極幅。

例えば、ｎ−０の場合を例にすると、磁気エンコーダ磁
極２の１磁極幅λに渡って順次隣接して磁気抵抗効果を
有する櫛歯状に形成された複数の導体２０群で形成され
、λ磁極幅の範囲に渡って形成した導体２０群を２分す
る磁気エンコーダ磁極２の回転方向から見た中心に設け
られた位置の導体部２０゛位置から、中点出力端子用導
電体１２Ａを取り出すようにしている。該出力端子用導
体導電体１２Ａにより２分された図面に於いて左半分即
ち、λ／２幅の範囲に渡って形成された導体２０群を磁
気抵抗エレメント２１Ａとし、右半分即ち、λ／２幅の
範囲に渡って形成された導体２０群を磁気抵抗エレメン
ト２１Ａ′と表すこととする。

また、磁気抵抗素子１９を構成する磁気抵抗素子エレメ
ント１９Ｂは、磁気エンコーダ磁ｆ！２（第６図参照）
の（２ｎ＋１）λ（ｎは０以上の整数。λは磁気エンコ
ーダ磁極２の１磁極の幅）磁極幅９例えば、ｎ＝０の場
合を例にすると、磁気エンコーダ磁極２の１磁極幅λに
渡って順次隣接して磁気抵抗効果を有する櫛歯状に形成
された複数の導体２０群７形成され、λ磁極幅の範囲に
渡って形成した導体２０群を２分する磁気エンコーダ磁
極２の回転方向から見た中心に設けられた位置の導体部
２０°位置から、中点出力端子用導電体１２Ｂを取り出
すようにしている。該出力端子用導体導電体１２Ｂによ
り２分された図面に於いて左半分即ち、λ／２幅の範囲
に渡って形成された導体２０群を磁気抵抗エレメント２
１Ｂとし、右半分即ち、λ／２幅の範囲に渡って形成さ
れた導体２０群を磁気抵抗エレメント２１Ｂ′と表すこ
ととする。

このようにすることによって、磁気エンコーダ磁極２の
一磁極幅λに渡って、導体２０群からなる互いにｎλ十
λ／４だけ位相がずれて形成された。Ａ相及びＢ相の磁
気抵抗エレメント２１Ａと２１Ａ゛とからなる磁気抵抗
素子エレメント１９Ａと、磁気抵抗エレメント２１Ｂと
２１Ｂ。

とからなる磁気抵抗素子エレメント１９Ｂそれぞれを形
成している。

また、上記のように構成することによって磁気抵抗エレ
メント２１Ａと２．１Ａ’、磁気抵抗エレメント２１Ｂ
と２１Ｂ゛とは、互いに逆位相に形成されたものと同じ
になる。

磁気抵抗素子エレメント１９Ａは、磁気抵抗エレメント
２１Ａの他端の導体２０と磁気抵抗エレメント２１Ａ°
の一端の導体２０とを共通接続し、その接続された中間
を引き出して中点出力端子用導電体１２Ａに接続してい
る。磁気抵抗エレメント２ＬＡの一端の導体２０は、端
子用導電体１３Ａを介して電源電池１４Ａの正側に接続
し。

磁気抵抗エレメント２１Ａ′の他端の導体２０は、端子
用導電体１５Ａを介して電源電池１６Ａの負側に接続し
ている。電源電池１４Ａの負側と電源電池１６Ａの正側
との接続点１７Ａと中点出力端子用導電体１２Ａとから
、Ａ相用磁気エンコーダ出力を取り出すための出力端子
１８Ａ−１，１８Ａ−２を取り出している。

また磁気抵抗素子エレメント１９Ｂは、磁気抵抗エレメ
ント２１Ｂの他端の導体２０と磁気抵抗エレメント２１
Ｂ′の一端の導体２０とを共通接続し、その接続された
中間を引き出して中点出力端子用導電体１２Ｂに接続し
ている。磁気抵抗エレメント２１Ｂの一端の導体２０は
、端子用導電体１３Ｂを介して電源電池１４Ｂの正側に
接続し、磁気抵抗エレメント２１Ｂ′の他端の導体２０
は、端子用導電体１５Ｂを介して電源電池１６Ｂの負側
に接続している。電源電池１４Ｂの負側と電源電池１６
Ｂの正側との接続点１７Ｂと中点出力端子用導電体１２
Ｂとから、Ｂ相用磁気エンコーダ出力を取り出すための
出力端子１８Ｂ−１，１８Ｂ−２を取り出している。

かかる磁気抵抗素子１９によると、これらの磁気抵抗効
果を有する導体２０群は２例えば第８図に示すマグネッ
トロータ３の磁気エンコーダ磁極２に平行な磁界に感応
して抵抗を滅する。

この磁界成分は、マグネットロータ３の磁気エンコーダ
磁極２の磁極境界部で大きく、磁極中心部では０である
ので、（２ｎ＋１）λの範囲に渡って形成された磁気抵
抗素子エレメント１９Ａと１９Ｂは、マグネットロータ
３の回転に伴いて極性が変化する為に、中点の電位が０
を横切る回数を出力端子１８Ａ−１と１８Ａ−２，１８
Ｂ−１と１８Ｂ−２から磁気エンコーダ出力を取り出し
てカウントすることによりロータの回転数を計測できる
。

ところで、上記構成の磁気抵抗素子１つによると、マグ
ネットロータ３の回転に伴う中点電位の変化は、磁気抵
抗素子エレメント１９Ａの磁気抵抗エレメント２１Ａと
２１Ａ“、磁気抵抗素子エレメント１９Ｂの磁気抵抗エ
レメント２１Ｂと２１Ｂ′とがそれぞれｎ＋λ／２（ｎ
は０以上の整数）磁極幅に渡って複数の導体２０群によ
って形成されているために、当該磁気抵抗エレメント２
１Ａと２１Ａ’　、２１Ｂと２１Ｂ“によって。

第１２図に示しなと同じような波形がｎ＋λ／２幅の範
囲に渡って少しづつずらせながら重ね合わせたように位
相がずれた幅の狭い信号群からなる２つの出力信号波形
が得られると考えることができる。

従って、これら２つの複数の波形群からなる波形は、実
際には、積分された波形となるので１合成されたものと
なり、結果的には、中点の電位が台形波（若しくは矩形
波）の出力信号波形として出力端子１８Ａ−１と１８Ａ
−２，１８Ｂ−１と１８Ｂ−２から取り出すことができ
る。

かかる２つの出力信号波形によれば、第１０図に示した
出力信号波形２２．２２’と異なり、ゼロに近い部分が
少なくなるので、ゼロ電位を横切る点が少なくなり、こ
のゼロ点の計測は、基準電圧の変動によって誤差を含む
ことがなくなり、又ノイズも少なくなるため、ノイズ誤
動作がなくなる。

これら２つのエンコーダ信号波形を得ることで、Ａ相及
びＢ相の磁気抵抗素子１９において。

上記のように磁気抵抗素子エレメント１９Ａと１９Ｂを
ｎλ＋λ／４ずらして形成しておくことで、第１１図に
示す磁気エンコーダ信号処理回路８を用いれば、第１２
図（ａ）、（ｂ）に示すような９０°位相が異なる２つ
の矩形波のエンコーダ信号１１−１．１１−２を得るこ
とができる。

従って、これらの矩形波のエンコーダ信号１１−１．１
１−２をカウンタによって計数すれば、磁気エンコーダ
の回転角等を計測できる。

上記磁気抵抗素子１９を用いたインクリメンタル形磁気
エンコーダは、非常に有用なものである。

しかしながら、係る磁気抵抗素子１９を用いた場合には
、当該磁気抵抗素子１９が、Ａ相用及びＢ田川の磁気エ
ンコーダ信号を得るには、この磁気抵抗素子エレメント
１９Ａと１９Ｂを２個用いて互いにｎλ＋λ／４（ｎは
０以上の整数）磁極幅離して配設しなければならず、磁
気抵抗素子そのものが大きくなり、当該磁気エンコーダ
が大型且つ高価になる欠点があった。

かかる欠点を解決するために、先に本発明者は更に次に
示す改良を試みた。

第１４図及び第１５図に示すように、Ａ相の磁気エンコ
ーダ信号からλ／２１磁極幅（λは磁気エンコーダ磁極
２の１磁極幅を示す）位相がずれてＢ相の磁気エンコー
ダ信号を得ることが出来るように、Ａ相の磁気抵抗素子
エレメント１９Ａ″と、Ｂ相の磁気抵抗素子エレメント
１９Ｂ°を互いにλ／４磁極幅位相をずらして重ね合わ
せた磁気抵抗素子１９′を形成した。

磁気抵抗素子エレメント１９′は、これよりも幅を大き
く形成したガラス基板等の絶縁基板２６の上面にＢ相の
磁気抵抗素子エレメント１９Ｂ“を上記したような適宜
な手段によって形成している。

Ｂ相の磁気抵抗素子エレメント１９Ｂ°の上面にはこれ
よりも大きな幅で上記絶縁基板２６とほぼ同じ大きさに
形成された薄膜絶縁体２７が施されていて、この薄膜絶
縁体２７によって上記磁気抵抗素子エレメント１９Ｂ°
を保護している。

薄膜絶縁体２７の上面にＡ相の磁気抵抗素子エレメント
１９Ａ°を上記したような適宜な手段によって形成して
いる。

Ａ相の磁気抵抗素子エレメント１９Ａ′の上面にはこれ
よりも大きな幅で上記絶縁基板２６とほぼ同じ大きさに
形成された薄膜絶縁体２８が施されていて、この薄膜絶
縁体２８によって上記磁気抵抗素子エレメント１９Ａ°
を保護している。

尚、上記薄膜絶縁体２７．２８は、出力端子用導電体１
２Ａ、１２Ｂ、１３Ａ、１３Ｂ、１５Ａ、１５Ｂを露出
しなければならないために、上記薄膜絶縁体２７．２８
に端子露出用切欠部２７ａ、２８ａを形成している。こ
の切欠部２７ａ、２８ａとは、一致しない位置に形成す
る必要があるため、上記端子１２Ａ、１２Ｂ。

１３Ａ、１３Ｂ、１５Ａ、１５Ｂは他の端子と重ならな
い位置に適宜な幅に形成する必要がある。

磁気抵抗素子１９゛を構成するＡ相用磁気抵抗素子エレ
メント１９Ａ′及びＢ相の磁気抵抗素子ニレメン？−１
９Ｂ′は、上記磁気抵抗素子１９のそれと同じ構造なの
で、詳細な説明は、省略する。

このように形成した磁気抵抗素子１９′を用いた磁気エ
ンコーダでは、磁気抵抗素子１９を用いた磁気エンコー
ダ同様に精度良く、磁気エンコーダ信号を得ることがで
きる。

しかも、従来の磁気抵抗素子１つのようにＡ相用とＢ加
用の磁気抵抗素子エレメントを互いに重ならないように
（ｎλ十λ／４）（ｎは１以上の整数）磁極幅ずらせて
形成する必要がないので。

磁気抵抗素子１９”を幅の狭い小さなものに形成でき、
ｒｌｉｌ上気コーダを小型且つ安価に形成できる利点が
ある。

特に磁気抵抗素子１９°は、Ａ相用とＢ加用の磁気抵抗
素子エレメントを互いにλ／４磁極幅位相をずらせて重
ね合わせているので、磁気抵抗素子１９のように２個の
磁気抵抗素子エレメントを用いたものに比較して、その
厚みは数〜十μの増加があるとしても横方向の長さを２
分の１以下にコンパクトに形成できるため、磁気エンコ
ーダを小型に形成できる有用なものである。

かかる磁気抵抗素子１９゛を用いた磁気エンコーダは、
有用なものであるが２次のような欠点を持つ。

即ち、磁気抵抗素子１９°では、Ａ相用とＢ加用の磁気
抵抗素子エレメント１９気抵抗素子１９Ａ′と１９Ｂ′
を互いにλ／４磁極幅位相をずらせて重ね合わせて配設
しなければならないため。

これらの磁気抵抗素子エレメント１９Ａ′と１９Ｂ′と
では、若干であるが２磁気空隙長に差があるため、その
感度特性差が出力レベルに大きな影響を与え、磁気抵抗
素子エレメント１９Ａ’。

１９Ｂ″からの出力波形にレベル差をもたらすため、他
の特別な出力レベル波形補正手段を用いなければならず
、当該磁気エンコーダを高価にする。

もちろん、２つの磁気抵抗素子エレメント１９Ａ°と１
９Ｂ°とを重ねて形成すること自体、量産コストを上げ
る原因にもなる。

［発明の課題］ 本発明は、上記事情に基づいてなされたもので、従来の
磁気抵抗素子１９゛のようにＡ相用の磁気抵抗素子エレ
メントとＢ加用の磁気抵抗素子エレメントを２重に重ね
ることなく、而も当該磁気抵抗素子１９′のように人相
用の磁気抵抗素子エレメントとＢ加用の磁気抵抗素子エ
レメントとを２重に重ねたと同様に、即ち磁気抵抗素子
１９のようにＡ相用の磁気抵抗素子エレメントとＢ加用
の磁気抵抗素子エレメントをｎλ十λ／４磁極幅の位相
間隔だけ話して配設しないで済むようにして尚且つ小型
で安価に量産できるようにすることを課題になされたも
のである。

このようにして尚且つ従来の磁気抵抗素子１９や１９′
のように、かかる磁気抵抗素子からの出力波形が、矩形
波（あるいは台形波）に近づき。

ゼロに近い期間を少なくシ、基準電圧の変動によるゼロ
クロス点の変化も少なくシ、かかる波形をデジタル化し
た磁気エンコーダ信号に直すのに都合良く、またノイズ
による影響も少なく、精度良好で信頼性の高い磁気エン
コーダを得ることかできるようにすることを課題になさ
れたものである。

［問題点を解決する手段］ 上記の問題点を解決する方法について２本願発明者は種
々の検討を行ったが、略々均一な幅でＮ極、Ｓｉの磁極
が多数個設けられた多極磁極体と、該多極着磁体に対向
配置される磁気抵抗素子とからなる磁気エンコーダであ
って、上記多極磁極体の略 但し、ｎ：０以上の整数 λは上記多極着磁体の１磁極の幅 磁極幅に渡って順次に略 （２ｎ＋１） □　　・　λ 磁極幅に渡って磁気抵抗効果を有する複数の導体群によ
って構成されたＡ相用磁気抵抗素子エレメント及び該Ａ
相用磁気抵抗素子エレメントから略磁極幅位相がずれて
形成されたＢ相用磁気抵抗素子エレメントとで構成され
た磁気抵抗素子を１組以上用いた磁気抵抗素子を用いた
磁気エンコーダを提供することで本発明の課題を達成で
きる。

即ち、磁気抵抗素子が上記多極磁極体の略但し、ｎ：０
以上の整数 λは上記多極着磁体の１磁極の幅 磁極幅に渡って順次に略 磁極幅に渡って磁気抵抗効果を有する複数の導体群によ
って構成されたＡ相用磁気抵抗素子エレメント及び該Ａ
相用磁気抵抗素子エレメントから略（２ｎ＋１） □　・λ 磁極幅位相がずれて形成されたＢ相用磁気抵抗素子エレ
メントとで構成された磁気抵抗素子を１組以上用いるこ
とで２例えば、上記磁気抵抗素子は、上記磁気抵抗素子
エレメントを２個用いて構成され、互いに略 磁極幅位相がずれた位置にあるＡ相用磁気抵抗素子エレ
メント及びＢ相用磁気抵抗素子ニレ、メントそれぞれを
２つの磁気抵抗エレメントで構成し。

これらの磁気抵抗エレメントの一方をａ相用磁気抵抗エ
レメント及びｂ相用磁気抵抗エレメントとし、他方をａ
′相用磁気抵抗エレメント及びｂ′相用磁気抵抗エレメ
ントとし、ａ田川及びａ°相用磁気抵抗エレメントの中
点に出力端子を設けてＡ相用磁気エンコーダ信号を得る
ようにし、ｂ田川及びｂ゛相用磁気抵抗エレメントの中
点に出力端子を設けてＢ相用磁気エンコーダ信号を得る
ようにすれば、矩形波（或は台形波）に近い良好な磁気
エンコーダ信号が出力されることを見い出し３本発明に
至った。

このようにすれば、２個の磁気抵抗素子エメントを２重
に重ねたり、互いにｎλ十λ／４磁極幅あけて配設する
必要がないので、磁気抵抗素子の横幅の面積及び厚みの
増加は殆ど無く、又２重に重ねないで済むため、量産性
に優れ、これによるコストの上昇、形状の大型、化等の
悪影響も殆どない。

［作用］ 本発明の磁気エンコーダによる磁気抵抗素子は、従来の
磁気抵抗素子５′を 磁極幅に渡って少しづつずらしながら、多数個を可動子
の移動方向に沿って重ね合わせて形成したものと考える
ことができる。このような重ね合わせを行うと、第４図
及び第５図に示すように出力波形は、矩形波（あるいは
台形波）に近づく。このような波形であれば、ゼロに近
い期間が少ないため、基準電圧の変動によるゼロクロス
点の変化も少なく１かかる波形をデジタル化した磁気エ
ンコーダ信号に直すのに都合良く、またノイズによる影
響も少なく、精度良好で信頼性の高い磁気エンコーダを
得ることができる。

［実施例］ 第１図は本発明の磁気エンコーダに用いる磁気抵抗素子
２９の説明図で、第２図は同磁気抵抗素子２９の分解斜
視図で、この磁気抵抗素子２９では、ａ相分の磁気抵抗
エレメント２９ａとａ゛相分磁気抵抗エレメント２９ａ
°とでＡ相用磁気抵抗素子エレンエト２９Ａを形成し、
このＡ相用磁気抵抗素子エレメント２９ＡからＡ相の磁
気エンコーダ信号が得られるようにしてあり、またｂ相
分の磁気抵抗エレメント２９ｂとｂ°相分の磁気抵抗エ
レメント２９ｂ°とでＢ相用磁気抵抗素子エレンエト２
９Ｂを形成し１このＢ相用磁気抵抗素子エレメント２９
ＢからＢ相の磁気エンコーダ信号が得られるように構成
したものを描いている。

磁気抵抗索子２９は、Ａ相の磁気エンコーダ信号からλ
／４磁極幅（λは磁気エンコーダ磁極２の１磁極幅を示
す）位相がずれてＢ相の磁気エンコーダ信号を得ること
が出来るように、複数の順次隣接して形成されな櫛歯状
の磁気抵抗効果を有する直線状の導体２０群からなるａ
相の磁気抵抗エレメント２９ａ、ａ’相の磁気抵抗エレ
メント２９ａ゛と、該磁気抵抗エレメント２９ａ、２９
ａ′から、同じく複数の順次隣接して形成された一櫛歯
状の磁気抵抗効果を有する直線状の導体２０群からなる
ｂ相の磁気抵抗エレメント２９ｂ。

ｂ°相の磁気抵抗エレメント２９ｂ′をｎλ／２＋λ／
４（ｎは０以上の整数で、この実施例ではｎ＝ｏを採用
した場合を示す）磁極幅位相がずれて配置形成されたも
のをガラス基板等の絶縁基板２６の上面に上記したよう
な適宜な手段によって形成している。

そして、磁気抵抗素子エレメント２９Ａ、２９Ｂを構成
するａ相、ａ°相、ｂ相及びｂ°相の磁気抵抗エレメン
ト２９ａ、２９ａ’　、２９ｂ及び２９ｂ°の上面には
上記絶縁基板２６とほぼ同じ大きさに形成された薄膜絶
縁体３０が施されていて、この薄膜絶縁体３０によって
上記磁気抵抗素子エレメント２９Ａ、２９Ｂを保護して
いる。

上記磁気抵抗素子２９の構成を更に詳細に以下に説明す
る。

先ず０度の位置から始まって、順次、ａ相の磁気抵抗エ
レメント２９ａ、ｂ相の磁気抵抗エレメント２９ｂ、ａ
’相の磁気抵抗エレメント２９ａ°及びｂ゛相の磁気抵
抗エレメント２９ｂ′を複数の磁気抵抗を有する導体２
０によってｎλ／２＋λ／４磁極幅、即ちこの実施例で
は。

ｎ＝０を選択しているので、λ／４磁極幅の範囲に渡っ
て形成したものを、それぞれ０度、λ／／４度、λ／２
度、（１＋２）・λ／４度の位置で絶縁基板２６上に形
成している。

尚、上記薄膜絶縁体３０は、後記する出力端子用導電体
１２Ａ、１２Ｂ、１３’Ａ、１３Ｂ、１５Ａ、１５Ｂを
露出しなければならないために、上記薄膜絶縁体３０に
端子露出用切欠部３０ａを形成している。これらの切欠
部３０ａが他のそれらとは、一致しない位置に形成する
必要があるため、上記端子１２Ａ、１２Ｂ、１３Ａ、１
３Ｂ。

１５Ａ、１５Ｂは他の端子と重ならない位置に適宜な幅
に形成する必要がある。

磁気抵抗素子２９を構成するＡ相用磁気抵抗素子エレメ
ント２９Ａは、第１図及び第２図に示すように磁気エン
コーダ磁ａｉ２（第６図参照）の（２ｎ＋１）・λ／４
（ｎは０以上の整数、λは磁気エンコーダ磁極２の１磁
極の幅）磁極幅、この実施例では、ｎ＝ｏとしているの
で２０度の位置から始まって磁気エンコーダ磁極２の１
／４磁極幅λに渡って順次隣接して磁気抵抗効果を有す
る櫛歯状に複数の導体２０群で形成されたａ相用磁気抵
抗エレメント２９ａと、該ａ相用磁気抵抗エレメント２
９ａからλ／４磁極幅の間隔だけおいたλ／２度位置か
らλ／４磁極幅に渡ってａ相用磁気抵抗エレメント２９
ａと同様に形成したａ′相の磁気抵抗エレメント２９ａ
゛とを２分する中心に設けられた位置の導体部２０°位
置から、〜中点出力端子用導電体１２−Ａを取り出すよ
うにしている。

また、磁気抵抗素子２９を構成するＢ相用磁気抵抗素子
エレメント２９Ｂは、λ／４度の位置から始まって磁気
エンコーダ磁極２の１／４磁極幅λに渡って順次隣接し
て磁気抵抗効果を有する櫛歯状に複数の導体２０群で形
成されたｂ相用磁気抵抗エレメント２９　ｂと、該す相
用磁気抵抗エレメント２９ｂからλ／４磁極幅の間隔だ
けおいた（１＋２）・λ／４度位置からλ／４磁極幅に
渡ってｂ相馬磁気抵抗エレメント２９ｂと同様に形成し
たｂ′相の磁気抵抗エレメント２９ｂ′とを２分する中
心に設けられた位置の導体部２０′位置から、中点出力
端子用導電体１２Ｂを取り出すようにしている。

このようにすることによって、結果的には磁気エンコー
ダ磁極２の一磁極幅λに渡って、導体２０群からなり互
いにλ／４磁極幅だけ位相がずれて形成されなＡ相用と
Ｂ田川の磁気抵抗素子工レメント磁気抵抗エレメント２
９ａと２９Ｂとからなる磁気抵抗素子２９を形成したも
のとほぼ同じになる。

即ち、従来のようにＡ相用の磁気抵抗素子エレメント１
９ＡとＢ相用の磁気抵抗素子エレメント１９Ｂを互いに
重ならないように（ｎ＾十λ／４）磁極幅ずらせて形成
する必要がないので、磁気抵抗素子２９を幅の狭い小さ
なものに形成できる利点がある。

また、従来のようにＡ相用の磁気抵抗素子エレメント１
９Ａ°とＢ相用の磁気抵抗素子ニレメン）１９Ｂ’を互
いに２重に重なるように（ｎλ十λ／４）磁極幅ずらせ
て形成する必要がないので、磁気抵抗素子２つを厚みの
薄い且つ量産性に優れた物に形成できる利点がある。

以上のように磁気抵抗素子２９を形成するすることによ
ってａ相とａ′相の磁気抵抗エレメント２９ａと２９ａ
’　、磁気抵抗エレメント２９ｂと２９ｂ゛とは、互い
に逆位相に形成されたものと同じになる。

ａ田川の磁気抵抗エレメント２９ａは、磁気抵抗エレメ
ント２９ａの他端の導体２０とａ“田川の磁気抵抗エレ
メント２９ａ°の一端の導体２０とを共通接続し、その
接続された中間を引き出して中点出力端子用導電体１２
Ａに接続している。

ａ田川の磁気抵抗エレメント２９ａの一端の導体２０は
、端子用導電体１３Ａを介して電源電池１４Ａの正側に
接続し、ａ＋相用の磁気抵抗エレメント２９ａ′の他端
の導体２０は、端子用導電体１５Ａを介して電源電池１
６Ａの負側に接続している。

電源電池１４Ａの負側と電源電池１６Ａの正側との接続
点１７Ａと中点出力端子用導電体１２Ａとから、Ａ相用
磁気エンコーダ出力を取り出すための出力端子１８Ａ−
１，１８Ａ−２を取り出している。

またｂ田川の磁気抵抗エレメント２９ｂは、磁気抵抗エ
レメント２９ｂの他端の導体２０とｂ゛相用磁気抵抗エ
レメント２つｂｏの一端の導体２０とを共通接続し、そ
の接続された中間を引き出して中点出力端子用導電体１
２Ｂに接続している。

磁気抵抗エレメント２９ｂの一端の導体２０は、端子用
導電体１３．８を介して電源電池１４Ｂの正側に接続し
、磁気抵抗エレメント２９ｂ°の他端の導（＊２０は、
端子用導電体１５Ｂを介して電源電池１６Ｂの負側に接
漱している。

電源電池１４Ｂの負側と電源電池１６Ｂの正側との接続
点１７Ｂと中点出力端子用導電体１２Ｂとから、Ｂ相用
磁気エンコーダ出力を取り出すための出力端子１．８Ｂ
−１，１８Ｂ−２を取り出している。

かかる磁気抵抗素子２９によると、これらの磁気抵抗効
果を有する導体２０群は９例えば第６図に示すマグネッ
トロータ３の磁気エンコーダ磁極２に平行な磁界に感応
して抵抗を減する。

この磁界成分は、マグネットロータ３の磁気エンコーダ
磁極２の磁極境界部で大きく、磁極中心部ではＯである
ので、上記のように形成された磁気抵抗素子エレメント
２９Ａと２９Ｂは、マグネットロータ３の回転に伴いて
極性が変化する為に、中点の電位がＯを棲切る回数を出
力端子１８Ａ−１と１８Ａ−２，１８Ｂ−１と１８Ｂ−
２から磁気エンコーダ出力を取り出してカウントするこ
とによりロータの回転数を計測できる。

ところで、上記構成の磁気抵抗素子２９によると、マグ
ネットロータ３の回転に伴う中点電位の変化は、磁気抵
抗素子エレメント２９Ａの磁気抵抗エレメント２９ａと
２９ａ’　、磁気抵抗素子エレメント２９Ｂの磁気抵抗
エレメント２９ｂと２９ｂ′とがそれぞれλ／４磁極幅
に渡って複数の導体２０群によって形成されているため
に、当該磁気抵抗エレメント２９ａと２９ａ’　、２９
ｂと２９ｂ°によって、第１０図に示したと同じような
波形がそれぞれ第３図（ａ）、（ｂ）に示すように波出
力信号形２２Ａと２２Ａ’　、出力信号波形２２Ｂと２
２Ｂ′がλ／２磁極幅の範囲に渡って少しづつずらせな
がら重ね合わせたようにλ／４＠極幅位組幅位相た幅の
狭い信号群からなる２つの出力信号波形２２Ａと２２Ａ
’　、２２Ｂと２２Ｂ′が得られると考えることができ
る。

従って、これら波形２２Ａと２２Ａ’　、２２Ｂと２２
Ｂ′は、実際には、積分された波形となるので、同図の
点線２３Ａと２３Ａ″、２３Ｂと２３８°で示すように
合成されたものとなり、結果的には、中点の電位が第４
図及び第５図に示すような台形波（若しくは矩形波）の
出力信号波形２４Ａと２４Ａ’　、２４Ｂと２４Ｂ’　
　（出力信号波形２４Ｂ、２４Ｂ’は出力信号波形２４
Ａ。

２４Ａ′と一部重なるため９図面の都合上１点線で描く
）として出力端子１８Ａ−１と１８Ａ−２，１８Ｂ−１
と１８Ｂ−２から取り出すことができる。

かかる出力信号波形２４Ａと２４Ａ’　。

２４Ｂと２４Ｂ′によれば、第１０図に示した出力信号
波形２２．２２′と異なり、ゼロに近い部分が少なくな
るので、ゼロ電位を横切る点が少なくなり、このゼロ点
の計測は１基準電圧の変動によって誤差を含むことがな
くなり、又ノイズも少なくなるなめ、ノイズ誤動作がな
くなる。

第４図及び第５図に示す波形２４Ａと ２４Ａ’　、２４Ｂと２４８゛を得ることができるＡ相
及びＢ相の磁気抵抗素子エレメント２９Ａと２９Ｂをλ
／４磁極幅位相をすらして形成しておくことで、第１１
図に示す磁気エンコーダ信号処理回路８を用いれば、第
１２図＜ａ＞、（ｂ）に示すような９０′位相が異なる
２つの矩形波のエンコーダ信号１１−１．１１−２を得
ることができる。

従って、これらの矩形波のエンコーダ信号１１−１．１
１−２をカウンタによって計数すれば、′ｂｊｉ気エン
コーダの回転角等を計測できる。

［発明の効果］ 本発明の磁気エンコーダは、磁気抵抗素子から、矩形波
あるいは台形波の出力電位を取り出すことができるので
、この矩形波あるいは台形波の出力をデジタル化したと
きの誤差が、非常に少なく、精度の良い磁気エンコーダ
を安価且つ容易に構成できるため、簡単な構成で、しか
も精度良く、且つ安定して位置の計測が可能になる。更
に１本発明による磁気抵抗素子は、導体の全長が長いた
め、電気抵抗の高い磁気抵抗素子が容易に得られ、消費
電力の少ない磁気エンコーダを構成できる。このことは
、特にバッテリー動作中の磁気エンコーダとして最適な
磁気抵抗素子といえる。

また本発明の最大の特徴からくる効果は、上記磁気エン
コーダに用いる為の磁気抵抗素子にあり、この磁気抵抗
素子はＡ相用とＢ相馬の磁気抵抗素子エレメントを互い
にλ／４磁極幅位相をずらせて重ね合わせなくても、Ａ
相用とＢ相馬の磁気抵抗素子エレメントを互いにλ／４
磁極幅位相をずらせて重ね合わせたと同じ構成にできる
ので１当該磁気抵抗素子を大型で厚みがあり、且つ高価
にすることなく、即ち、磁気エンコーダを小型で厚みが
薄く且つ安価に量産形成できる効果がある。

特に、磁気抵抗素子エレメントをＡ相用とＢ相馬の一対
を用意し、これを更にλ／４磁極幅位相をずらせて二重
に重ね合わせなくても、λ／４磁極幅位相をずらせて二
重に重ね否わせで構成したと同様にＡ相用及びＢ相馬の
磁気エンコーダ信号を得ることができるため、従来の第
１３図に示すような磁気抵抗素子エレメントを２個用い
たものに比較して、横方向の幅の長さを約２分の１以下
にコンパクトに形成でき、また、従来の第１４図及び第
１５図に示すような磁気抵抗素子エレメントを二重に重
ねたものに比較して、その厚みも薄く、当該磁気抵抗素
子を用いた磁気エンコーダを小型で安価に量産できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す磁気エンコーダに用い
た磁気抵抗素子の説明図、第２図は第１図の磁気抵抗素
子の分解斜視図、第３図は第１図及び第２図の磁気抵抗
素子を用いた場合の本発明の詳細な説明するため説明図
、第４図は本発明に用いた磁気抵抗素子のＡ相用の磁気
エンコーダの出力信号を示す波形図、第５図は本発明に
用いた磁気抵抗素子のＡ相用及びＢ田川の磁気エンコー
ダの出力信号を示す波形図、第６図は従来公知のインク
リメンタル形ロータリ磁気エンコーダの概略説明図、第
７図及び第８図は磁気エンコーダの磁気エンコーダ磁極
と磁気抵抗素子との関係の説明図、第９図は従来の磁気
抵抗素子の説明図、第１０図は第９図の磁気抵抗素子か
ら得られる出力信号の波形図、第１１図は磁気抵抗素子
の磁気エンコーダ処理回路の説明図、第１２図は磁気エ
ンコーダから得られるエンコーダ信号波形図、第１３図
は先に本発明者等によって改良された従来の他の磁気抵
抗素子の説明図、第１４図は本発明者によって発明され
た他の磁気抵抗素子の説明図、第１５図は第１４図の磁
気抵抗素子の分解斜視図である。 ［符号の説明コ ト・・ロークリ磁気エンコーダ。 ２・・・磁気エンコーダ磁極。 ２Ｎ・・・Ｎ極、２Ｓ・・・Ｓ極。 ３・・・マグネッＩ・ロータ、４・・・空隙。 ５．５′　・・・磁気抵抗素子。 ６．６ａ、６ａ’　、６ｂ、６ｂ’　　−・−磁気抵抗
エレメント、７，７Ｘ、７Ｙ・・・磁束。 ８・・・磁気エンコーダ信号処理回路。 ９−１．・・・、９−４・・・抵抗器。 １０−１．１０−２・・・コンパレータ。 １１−１．１１−２・・・磁気エンコーダ信号。 １２．１２Ａ、１２Ｂ・・・中点出力端子用導電体、１
３．１３Ａ、１３Ｂ・・・端子用導電体。 １４．１４Ａ、１４Ｂ・・・電源電池。 １５．１５Ａ、１５Ｂ・・・端子用導電体。 １６．１６Ａ、１６Ｅｌ・・・電源電池。 １７．１７Ａ、１７Ｂ・・・接続点。 １８−１．１８−２．１８Ａ−１，１８Ａ−２゜１８Ｂ
−１，１８Ｂ−２・・・出力端子。 １９．１９′　・・・磁気抵抗素子。 １９Ａ・・・Ａ相用の磁気抵抗素子エレメント。 １９Ｂ・・・Ｂ田川の磁気抵抗素子エレメント。 ２０・・・導体、２１Ａ、２１Ａ’　　・・・Ａ相用の
磁気抵抗エレメント、２１Ｂ、２１Ｂ’　　・・・Ｂ田
川の磁気抵抗エレメント。 ２２．２２°　、２２Ａ、２２Ａ’　　、２２Ｂ。 ２２Ｂ′　・・・出力信号波形。 ２３．２３’　　・・・点線。 ２４Ａ、２４Ａ’　、２４Ｂ、２４Ｂ’　　・・・出力
信号波形、２５．２６・・・へ絶縁基板。 ２７．２８・・・薄膜絶縁体。 ２７ａ、２８ａ・・・端子露出用切欠部。 ２９・・・磁気抵抗素子、２９Ａ・・・Ａ相用磁気抵抗
素子エレメント、２９Ｂ・・・Ｂ相用磁気抵抗素子エレ
メント、２９ａ・・・ａ相用磁気抵抗エレメント、２９
ａ’　　・・・ａ°相用磁気抵抗素子エレメント、２９
ｂ・・・ｂ相用磁気抵抗エレメント、２９ｂ’　　・・
・ｂ″相川用気抵抗素子エレメント。３０・・・薄膜絶
縁体。 ３０ａ・・・端子露出用切欠部。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）略々均一な幅でＮ極、Ｓ極の磁極が多数個設けら
   れた多極磁極体と、該多極着磁体に対向配置される磁気
   抵抗素子とからなる磁気エンコーダであって、上記多極
   磁極体の略（２ｎ＋１）／２・λ 但し、ｎ：０以上の整数 λは上記多極着磁体の１磁極の幅磁極幅に渡って順次に
   略（２ｎ＋１）／４・λ 磁極幅に渡って磁気抵抗効果を有する複数の導体群によ
   って構成されたＡ相用磁気抵抗素子エレメント及び該Ａ
   相用磁気抵抗素子エレメントから略（２ｎ＋１）／４・
   λ 磁極幅位相がずれて形成されたＢ相用磁気抵抗素子エレ
   ンメントとで構成された磁気抵抗素子を１組以上用いて
   なる、磁気抵抗素子を用いた磁気エンコーダ。
2. （２）上記磁気抵抗素子は、上記磁気抵抗素子エレメン
   トを２個用いて構成され、互いに略（２ｎ＋１）／４・
   λ 磁極幅位相がずれた位置にあるＡ相用磁気抵抗素子エレ
   メント及びＢ相用磁気抵抗素子エレメントのそれぞれの
   一方をａ相用磁気抵抗エレメント及びｂ相用磁気抵抗エ
   レメントとし、他方をａ’相用磁気抵抗エレメント及び
   ｂ’相用磁気抵抗エレメントとし、ａ相用及びａ’相用
   磁気抵抗エレメントの中点に出力端子を設けてＡ相用磁
   気エンコーダ信号を得るようにし、ｂ相用及びｂ’相用
   磁気抵抗エレメントの中点に出力端子を設けてＢ相用磁
   気エンコーダ信号を得るようにしてなる、特許請求の範
   囲第（１）項記載の磁気抵抗素子を用いた磁気エンコー
   ダ。