JPH01276449A - Manufacturing equipment for optical information recording medium - Google Patents

Manufacturing equipment for optical information recording medium

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JPH01276449A
JPH01276449A JP10267088A JP10267088A JPH01276449A JP H01276449 A JPH01276449 A JP H01276449A JP 10267088 A JP10267088 A JP 10267088A JP 10267088 A JP10267088 A JP 10267088A JP H01276449 A JPH01276449 A JP H01276449A
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resin
stamper
substrate
resin layer
center
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Noboru Murakami
昇 村上
Yasuyuki Tsuchiya
土屋 安行
Yuichi Fujita
裕一 藤田
Kozo Ezaki
弘造 江崎
Sadaaki Shigeta
重田 定明
Kazunari Sakai
一成 酒井
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DIC Corp
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GLOBAL MACH KK
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Abstract

PURPOSE:To separate a resin layer from a stamper without fail by sending air to the central part of the resin layer in a condition that a recording resin layer is formed between a stamper and a substrate. CONSTITUTION:A center pin 11 is set to a rising position and resin 36 is set in a ring shape on the surface of a stamper 18. A disk substrate 29 is carried on the pin 11 by a substrate carrying mechanism 40 and set on a supporting stand 27 and a weight 31 is loaded on the substrate. Next, the pin 11 is caused to fall down to a position just before the lower surface of the substrate 29 contacts to the resin 36 and after that, the pin is caused to intermittently fall down for the unit of micron. One part of the resin contacts to the surface of the substrate 29 and the pin 11 falls down until the whole circumference of the ring is contacted. At such a time, bubbles are exhausted through an air route 23. Next, the resin 36 is irradiated through the transparent weight 31 by ultraviolet rays and the resin is set. Then, a resin layer 41 is formed on the substrate 29 and united and after that, the air is sent from the air route 23 to the central part on the lower surface of the substrate 29. Then, the recording resin layer 41 is separated from the surface of the stamper 18.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ この発明は、例えばオーディオ用、ビデオ用、さらには
情報機器用のデータ記録用等に用いられる、例えば光デ
ィスクのような光情報記録媒体の製造装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application] The present invention relates to the manufacture of optical information recording media such as optical discs, which are used for recording data in audio, video, and information equipment. Regarding equipment.

[従来の技術] この種の光情報記録媒体は、例えば特開昭62−187
004号公報に示されるように、データが記録されたマ
スターとなるスタンパとディスク基板との間に、紫外線
によって硬化される性質を有する樹脂を注入し、これに
紫外線を照射することにより硬化させ、上記ディスク基
板の表面にスタンパの記録面を転写した樹脂層が形成さ
れるようにして製造されるようにする。
[Prior Art] This type of optical information recording medium is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-187.
As shown in Publication No. 004, a resin that can be cured by ultraviolet rays is injected between the master stamper on which data is recorded and the disk substrate, and is cured by irradiating it with ultraviolet rays. The disk substrate is manufactured by forming a resin layer on which the recording surface of the stamper is transferred on the surface of the disk substrate.

そして、この樹脂層をスタンバから剥離するためには、
ディスク基板の中心部に設定される押し上げ体を、下方
からビンおよび空気圧によって押し上げ、この押し上げ
体によってディスク基板と共に樹脂層を押し上げてスタ
ンバから剥離するようにしている。
In order to peel off this resin layer from the stand bar,
A push-up body set at the center of the disk substrate is pushed up from below by a bottle and air pressure, and the push-up body pushes up the resin layer together with the disk substrate to separate it from the stand bar.

しかしこのようにしたのでは、ディスク基板はもとより
樹脂層に大きなたわみの力が作用し、記録転写面に損傷
を与えるおそれがあるばかりか、ディスクの歪みを生じ
させるようになるおそれがある。また、基板の押し上げ
と共にスタンバが一緒に持ち上げられるようになる。
However, in this case, a large bending force acts not only on the disk substrate but also on the resin layer, which may not only damage the recording transfer surface but also cause distortion of the disk. Further, when the board is pushed up, the stand bar is also lifted up.

スタンバをテーブルに保持する例としては、特開昭60
−47253号公報に示されるように、スタンバをその
中心部に対応する第1の電磁石る手段とスタンバの外周
部に対応するリング状の第2の電磁石とによって磁性材
料からなるスタンバを保持し、このスタンバから樹脂層
を剥離する場合には、中央部の第1の電磁石のみをオフ
し、外周部の第2の電磁石によって、スタンバの外周部
のみが保持されるようにする。そして、この状態でスタ
ンバを樹脂層から離れる方向に移動し、スタンバの外周
部から樹脂層が順次剥離されるようにしている。しかし
、この方法は電磁石を複雑に制御する必要があるばかり
か、樹脂層に結果的に大きな剥離の力を作用させるよう
になる。
An example of holding a stand bar on a table is
As shown in Japanese Patent No. 47253, a stand bar made of a magnetic material is held by means for holding the stand bar with a first electromagnet corresponding to the center thereof and a ring-shaped second electromagnet corresponding to the outer periphery of the stand bar, When the resin layer is to be peeled off from the stand bar, only the first electromagnet in the center is turned off, and only the outer peripheral part of the stand bar is held by the second electromagnet in the outer peripheral part. Then, in this state, the stand bar is moved in a direction away from the resin layer, so that the resin layer is sequentially peeled off from the outer circumference of the stand bar. However, this method not only requires complex control of the electromagnet, but also results in the application of a large peeling force to the resin layer.

[発明が解決しようとする課題] この発明は上記のような点に鑑みなされたものであり、
特にディスク基板とスタンバとの間に、スタンバの記録
が転写された樹脂層が形成された状態で、樹脂層を円滑
にスタンバから剥離すると共に、テーブルからの剥離を
確実に防止でき、またその剥離工程が容易に自動化でき
るようにして、信頼性の高い光ディスク等が容易且つ確
実に製造できるようにする光情報記録媒体の製造装置を
提供しようとするものである。
[Problem to be solved by the invention] This invention has been made in view of the above points,
In particular, when a resin layer is formed between the disk substrate and the standber, on which the recording of the standby is transferred, the resin layer can be smoothly peeled off from the standber, and it can be reliably prevented from peeling off from the table. It is an object of the present invention to provide an optical information recording medium manufacturing apparatus that can easily and reliably manufacture highly reliable optical discs and the like by easily automating processes.

[課題を解決するための手段] この発明に係る光情報記録媒体の製造装置にあっては、
磁石によって構成されるテーブルの中央部にガイドリン
グを設定し、このガイドリングに嵌め合せてスタンバが
テーブル上に磁気吸引力によって固定保持されるように
するものであり、このテーブルの中心軸部に上下移動さ
れるセンターピンを設定し、このセタービンで基板が支
持設定される゛ようにする。そして、上記テープの中央
部に空気放出孔を形成し、この放出孔から空気がスタン
バと樹脂層との間に放出されるようにする。
[Means for Solving the Problems] In the optical information recording medium manufacturing apparatus according to the present invention,
A guide ring is set in the center of the table made of magnets, and the stand bar is fixedly held on the table by magnetic attraction by fitting into this guide ring. A center pin that moves up and down is set, and the board is supported and set by this setter. An air release hole is formed in the center of the tape so that air is released between the stand bar and the resin layer.

[作用] このような光情報記録媒体の製造装置によれば、スタン
バはテーブル上に磁気吸引力さらに空気の吸引力によっ
て保持され、ガイドリングによってその位置が設定され
固定されるようになるものであり、スタンバは強固に保
持設定されると共に簡単に交換をすることができる。ま
た、ディスク基板とスタンバとの間に硬化された記録樹
脂層が形成された状態で、センタービンを微小量上昇さ
せてディスク基板の中央部がスタンパ面から微小量離れ
間隙を形成し、テーブル中央部からその間隙部に空気が
送り込ま6、中央部から樹脂層を順次剥離するようにな
る。したがって、樹脂層に剥離する力を作用させること
な(基板と一体にした樹脂層がスタンバから剥離され、
信頼性の高い状態で光ディスクが製造されるようになる
。この場合、簡単なセンタービンの上下動作およびセン
タ一部からの空気放出制御で上記剥離動作が実行される
ものであり、容易に自動化が行なえる。
[Function] According to such an optical information recording medium manufacturing apparatus, the standby is held on the table by magnetic attraction and air attraction, and its position is set and fixed by the guide ring. The stand bar is firmly held and set and can be easily replaced. In addition, with the hardened recording resin layer formed between the disk substrate and the standber, the center bin is raised a minute amount so that the center part of the disk substrate is separated from the stamper surface by a minute amount and a gap is formed in the center of the table. Air is sent into the gap from the center part 6, and the resin layer is sequentially peeled off from the center part. Therefore, without applying a peeling force to the resin layer (the resin layer integrated with the substrate is peeled off from the standber,
Optical discs can now be manufactured in a highly reliable state. In this case, the peeling operation is performed by simple vertical movement of the center bin and control of air release from a part of the center, and can be easily automated.

[発明の実施例コ 以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。[Embodiments of the invention] Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図はその全体的な構成を示すもので、この製造装置
にあっては、動作の中心となるセンターピン11を備え
る。このセンタービン11は、円筒状に構成され垂直の
状態で設定される弁部材12の中空部内に、軸方向移動
自在に設定されるもので、この弁部材12はさらに円筒
状の支持部材13の中空部内に軸方向移動自在に設定さ
れる。すなわち、センターピン11と弁部材12および
支持部材13は同軸的に構成されるものであり、支持部
材13はベアリング機構14により、固定的に設定され
る基台15に垂直状態にして、回転自在に支持されるよ
うになる。
FIG. 1 shows its overall configuration, and this manufacturing apparatus includes a center pin 11 that is the center of operation. The center bin 11 is set movably in the axial direction within a hollow portion of a valve member 12 which is configured in a cylindrical shape and is set in a vertical state. It is set in the hollow part so as to be freely movable in the axial direction. That is, the center pin 11, the valve member 12, and the support member 13 are constructed coaxially, and the support member 13 is made perpendicular to the fixedly set base 15 by the bearing mechanism 14, and is rotatable. will be supported by

上記支持部材13は、一体的に歯車131を備えて選択
的に回転制御されるもので、その上方には平面に広がる
ようにして受は台16が形成される。この受は台16に
は、円板状のテーブル17が載置設定されるもので、こ
のテーブル17上に載置される金属製のスタンパ18を
磁力によって保持するようにしている。この場合、磁石
はスタンパ18を固定するものであるため、テーブル1
7の表面部において作用すればよく、テーブル17の全
体が磁石である必要はない。
The support member 13 is integrally provided with a gear 131 and is selectively rotationally controlled, and a support base 16 is formed above the gear so as to spread out on a plane. In this receiver, a disk-shaped table 17 is placed on a stand 16, and a metal stamper 18 placed on the table 17 is held by magnetic force. In this case, the magnet is used to fix the stamper 18, so the table 1
It is sufficient that the magnet acts on the surface of the table 17, and the entire table 17 does not need to be a magnet.

ここでスタンパ18には、中心部に丸いガイド用の穴が
形成されているもので、その上面にはディジタルデータ
を記録する凹凸が形成されている。
Here, the stamper 18 has a round guide hole formed in its center, and an uneven surface for recording digital data is formed on its upper surface.

そして、テーブル17と一体的に形成されるガイドリン
グ19によって、テーブル17上の位置が固定設定され
るようになっている。
The position on the table 17 is fixed by a guide ring 19 formed integrally with the table 17.

上記ガイドリング19の上方の内周面部は、テーバ状の
面に形成された弁座を構成するようになっているもので
、この弁座部には、弁部材12の上端に一体的に形成さ
れた弁体20が、弁部材12の矢印Aで示す上下方向の
移動に対応して接触しまたは離反されるようになってい
る。
The upper inner circumferential surface portion of the guide ring 19 constitutes a valve seat formed in a tapered surface. The valve body 20 that has been moved is brought into contact with or separated from the valve member 12 in accordance with the movement of the valve member 12 in the vertical direction indicated by the arrow A.

すなわち、弁部材12がこの図で示されるように下方向
に位置する状態では、弁体20がガイドリング19の弁
座に接触しており、弁部材12がこの状態から上方に切
換え移動された状態では、弁体20とガイドリング19
による弁座との間に通路が形成される。
That is, when the valve member 12 is positioned downward as shown in this figure, the valve body 20 is in contact with the valve seat of the guide ring 19, and the valve member 12 is switched upward from this state. In the state, the valve body 20 and the guide ring 19
A passage is formed between the valve seat and the valve seat.

この通路は、受は台16に形成された通路21に連通さ
れるもので、この通路21は図では詳細に示していない
が真空源に連通されている。すなわち、弁体20がガイ
ドリング19から離れるように上昇されたときには、テ
ーブル17の上面その中心部から真空源によって吸引さ
れるようになる。
This passage communicates with a passage 21 formed in the receiver 16, and although not shown in detail in the figure, this passage 21 communicates with a vacuum source. That is, when the valve body 20 is lifted away from the guide ring 19, suction is applied from the center of the upper surface of the table 17 by the vacuum source.

この真空源は、ガイドリングの外周部でスタンパの内周
部のテーブルに形成された空気の吸引孔にも通じている
This vacuum source also communicates with air suction holes formed in the table at the inner periphery of the stamper at the outer periphery of the guide ring.

センターピン11には、その軸線部に空気通路22が形
成されているもので、この通路22は弁部材12にその
上方に開口するように形成した通路23に連通され、通
路22に送り込まれた空気が、テーブル17の中心部に
形成された円板状の受は皿24部からテーブル17の上
面方向に放出され、後述する記録樹脂層の剥離に使用さ
れるようにする。
The center pin 11 has an air passage 22 formed in its axis, and this passage 22 communicates with a passage 23 formed in the valve member 12 so as to open upwardly, and air is fed into the passage 22. Air is discharged from the plate 24 toward the upper surface of the table 17 through a disk-shaped receiver formed at the center of the table 17, and is used for peeling off the recording resin layer, which will be described later.

このセンターピン11は、駆動機構25によって矢印B
で示すように上下方向に移動制御される。上記駆動機構
25は、サーボモータ251によって回転される螺軸2
52を備え、この螺軸252に螺合される移動体253
によってセンターピン11を支持するようにしているも
ので、サーボモータ251の回転角によって、センター
ピン11がμm単位で上下方向に精密に移動制御される
ようにしている。そして、上記サーボモータ251は、
マイクロコンピュータ等によって構成されるようになる
制御回路26によりその回転角が制御される。
This center pin 11 is moved by an arrow B by a drive mechanism 25.
The movement is controlled in the vertical direction as shown in . The drive mechanism 25 includes a screw shaft 2 rotated by a servo motor 251.
52, and a moving body 253 screwed onto this screw shaft 252.
The center pin 11 is supported by the rotation angle of the servo motor 251 so that the center pin 11 can be precisely controlled to move vertically in units of μm. The servo motor 251 is
The rotation angle is controlled by a control circuit 26 that is configured by a microcomputer or the like.

センターピン11の上方には、鍔状にして支持台27が
形成され、この支持台27の上方にガイドピン28が突
設されるようにしている。そして、ガイドビン28で中
心位置が設定されるようにして上記支持台27にディス
ク基板29が載置設定されるようになる。
A support stand 27 is formed in the shape of a collar above the center pin 11, and a guide pin 28 is provided to protrude above the support stand 27. Then, the disk substrate 29 is placed on the support base 27 so that the center position is set by the guide bin 28.

このディスク基板29は、例えばエポキシ、エポキシビ
ニルエステル、不飽和ポリエステル等の熱硬化性樹脂、
ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネイト等の熱可
塑性樹脂、あるいはガラス等の光透過性物質によって構
成される。
This disk substrate 29 is made of thermosetting resin such as epoxy, epoxy vinyl ester, unsaturated polyester, etc.
It is composed of a thermoplastic resin such as polymethyl methacrylate or polycarbonate, or a light-transmitting material such as glass.

上記センターピン1■によって支持されるようになるデ
ィスク基板29上には、移動台30によってガラス等の
透明体によって構成された円板状の重り31が載置設定
される。上記移動台30は適宜チャンバ32内に上下移
動自在に設定される。このチャンバ32は、矢印Cで示
すように上下移動されるようになっているもので、図の
状態のように下方向に移動設定された状態で、上記基台
15の上面部にテーブル17の周囲に対応して密封され
るチャンバ室33を形成するようになる。
A disk-shaped weight 31 made of a transparent material such as glass is placed on the disk substrate 29 supported by the center pin 12 by a movable table 30. The movable table 30 is appropriately set in the chamber 32 so as to be vertically movable. This chamber 32 is designed to be moved up and down as shown by arrow C, and when it is set to move downward as shown in the figure, a table 17 is mounted on the upper surface of the base 15. A chamber 33 that is sealed around the surroundings is formed.

上記チャンバ室33内には、図では示していないが、重
り31の上方には紫外線源が設定されているもので、透
明な重り31を透過して内部に紫外線が照射されるよう
にしている。
Inside the chamber 33, although not shown in the figure, an ultraviolet light source is set above the weight 31, so that ultraviolet light passes through the transparent weight 31 and irradiates the inside. .

尚、上記スタンバ18の面上には、光ディスクの記録層
を形成するための材料であるレジン36が載置設定され
る。このレジン36は紫外線を照射することによって硬
化する2P樹脂材料でなるもので、末端にアクリル基お
よび/またはメタアクリル基を有する液状樹脂、例えば
エポキシ樹脂のアクリル酸および/またはメタクリル酸
エステル、ポリエステル樹脂のアクリル酸および/また
はメタクリル酸エステル、ポリエーテル樹脂のアクリル
酸および/またはメタクリル酸エステル、アクリル基お
よび/またはメタクリル基を末端に有するウレタン樹脂
、また、その液状樹脂をアクリル基および/またはメタ
クリル基を有する反応性モノマーで希釈したもの等で構
成される。
Incidentally, a resin 36, which is a material for forming the recording layer of the optical disc, is placed on the surface of the stand bar 18. This resin 36 is made of a 2P resin material that is cured by irradiation with ultraviolet light, and is a liquid resin having an acrylic group and/or methacrylic group at the end, such as an acrylic acid and/or methacrylic acid ester of an epoxy resin, a polyester resin. acrylic and/or methacrylic esters of polyether resins, urethane resins with acrylic and/or methacrylic groups at their ends, and liquid resins with acrylic and/or methacrylic groups. It is composed of diluted reactive monomers with .

そして、このレジン36はテーブル17を回転させなが
らノズル等によって定量スタンバ18上に、リング状に
して載置されるようにする。
Then, while rotating the table 17, the resin 36 is placed in a ring shape on the metering stand bar 18 using a nozzle or the like.

第2図は、上記のように構°成される装置により光ディ
スクの記録層部を製造する工程の、特にセンタービン1
1の動きを制御する制御回路26における処理の流れを
示している。まずステップ101ではセンタービン11
が第3図で示すように上昇位置設定される。この状態に
おいては、スタンバ18の面上には、センタービン11
を中心とするリング状にして、レジン36が設定されて
いる。そして、このセンタービン11が上昇設定された
状態で、基板搬送機構40によって、ディスク基板29
がセンタービン11上に搬送され、このセンタービン1
1に形成した支持台27上に基板29が設定される。尚
、この状態ではチャンバ82は第1図の状態から上昇設
定され、搬送機構40の動きの障害とならないようにさ
れている。
FIG. 2 shows the process of manufacturing the recording layer portion of an optical disc using the apparatus configured as described above, especially the center bin 1.
1 shows the flow of processing in the control circuit 26 that controls the movement of the motor. First, in step 101, the center bin 11
is set in the raised position as shown in FIG. In this state, the center bin 11 is placed on the surface of the standby bar 18.
The resin 36 is set in a ring shape with . Then, with the center bin 11 set to be raised, the disk substrate 29 is moved by the substrate transport mechanism 40.
is conveyed onto the center bin 11, and this center bin 1
A substrate 29 is set on the support stand 27 formed in 1. In this state, the chamber 82 is raised from the state shown in FIG. 1 so as not to interfere with the movement of the transport mechanism 40.

このようにしてセンタービン11にディスク基板29が
設定されたならば、第4図で示すように、この基板29
上に重り31を載置設定するものであり、この状態でチ
ャンバ32が第1図で示すように下降設定される。また
この状態では弁部材12は、下方の位置に設定されてい
る。
Once the disk board 29 is set in the center bin 11 in this way, as shown in FIG.
A weight 31 is placed on top of the chamber 32, and in this state the chamber 32 is lowered as shown in FIG. Further, in this state, the valve member 12 is set at a lower position.

このようにしてディスク基板29が設定され、さらにこ
の基板29上に重り31が設定されたならば、次のステ
ップ102でセンタービン11を、スタンバ18と基板
29との間隔が、スタンバ上に載置されたリング状のレ
シン36の高さよりやや大となる第1の位置とされるま
で下降する。すなわち、第5図で示すようになるもので
、この状態ではディスク基板29の下面がリング状にさ
れたレジン36に接触する直前の状態とされる。
After the disk substrate 29 is set in this way and the weight 31 is further set on this substrate 29, in the next step 102, the center bin 11 is placed on the stand bar so that the distance between the stand bar 18 and the board 29 is adjusted. It descends until it reaches the first position, which is slightly larger than the height of the ring-shaped resin 36 placed thereon. That is, the state is as shown in FIG. 5, and in this state, the lower surface of the disk substrate 29 is just before contacting the ring-shaped resin 36.

このようにセンタービン11が下降設定されたならば、
次にステップ103のようにセンタービン11をミクロ
ン単位で1〜数秒毎に下降させるように制御する。すな
わち、ディスク基板29はミクロン単位で間欠的に下降
されるもので、この下降の過程においてレジン36のリ
ングの一部が基板29の面に接し、この接触部が徐々に
拡大されてレジン36のリングの全周が基板29と接触
されるようになる。
If the center bin 11 is set to descend in this way,
Next, as in step 103, the center bin 11 is controlled to be lowered in micron units every one to several seconds. That is, the disk substrate 29 is intermittently lowered in micron units, and during this lowering process, a portion of the ring of the resin 36 comes into contact with the surface of the substrate 29, and this contact portion is gradually expanded, causing the resin 36 to be lowered. The entire circumference of the ring is brought into contact with the substrate 29.

ステップ104でスタンバ18と基板29との間隔が第
2の位置となったか否かを判定しているもので、この間
隔が第2の位置となった状態でセンタービン11の下降
が停止され、ステップ105に進む。ここで、上記第2
の位置は基板29にレジン36のリングの全周が接触さ
れるようになる、経験的に求められた値である。
In step 104, it is determined whether the distance between the stand bar 18 and the board 29 has reached the second position, and when this distance has reached the second position, the center bin 11 is stopped from descending. Proceed to step 105. Here, the above second
The position is an empirically determined value that brings the entire circumference of the ring of resin 36 into contact with the substrate 29.

ステップ105では、センタービン11を下降させ7、
このセンタービン11の基板29の支持台27の支持面
が、スタンバ18の面から所定の高さとされる位置、具
体的にはスタンバ18の面から製造される光ディスクの
樹脂による記録層の厚さに相当する高さ位置に設定され
るようにする。この場合、ディスク基板29はレジン3
6によって支持されているものであり、センタービン1
1のみが下降されるようになる。
In step 105, the center bin 11 is lowered 7,
The position where the support surface of the support base 27 of the substrate 29 of the center bin 11 is at a predetermined height from the surface of the standber 18, specifically, the thickness of the recording layer made of resin of the optical disc manufactured from the surface of the standber 18. so that it is set at a height corresponding to . In this case, the disk substrate 29 is made of resin 3.
6, and the center bin 1
Only 1 will be lowered.

このとき、同時に弁部材12が上昇位置に切換えられ、
第6図で示すように弁体20がガイドリング19から離
れるようになり、このガイドリング19と弁体20との
間に吸気通路が形成される。
At this time, the valve member 12 is simultaneously switched to the raised position,
As shown in FIG. 6, the valve body 20 is separated from the guide ring 19, and an intake passage is formed between the guide ring 19 and the valve body 20.

すなわち、この状態では、スタンバ18とディスク基板
29との間に、リング状のレジン3Bにより囲まれた部
屋が形成され、この部屋が真空源によって吸気されるよ
うになるものであり、さらにレジン36に対しては、重
り31の荷重が作用し、レジン3Bを徐々に押し潰すよ
うになる。
That is, in this state, a room surrounded by the ring-shaped resin 3B is formed between the standber 18 and the disk substrate 29, and this room is sucked in by the vacuum source, and the resin 36 The load of the weight 31 acts on the resin 3B, and gradually crushes the resin 3B.

このようにディスク基板29がリング状にされたレジン
36に接触する際に、このレジン3B中に気泡が混入す
ることがある。しかし、上記のように1秒間にミクロン
単位で間欠的に基板29を下降させ、基板29とレジン
3Bとがまず1か所で接触した後、この接触点が左右に
リングに沿って延長され、リング状に接触部が形成され
るようにすると、レジン36中に気泡が入り込むことが
効果的に抑制されるようになる。
When the disk substrate 29 comes into contact with the ring-shaped resin 36 in this way, air bubbles may be mixed into the resin 3B. However, as described above, the substrate 29 is lowered intermittently in microns per second, and after the substrate 29 and the resin 3B first come into contact at one point, this contact point is extended left and right along the ring. When the contact portion is formed in a ring shape, air bubbles are effectively prevented from entering the resin 36.

このようにしてディスク基板29とレジン36とが接触
されて、さらにレジン3B中に気泡が混入しているよう
な場合でも、リング状のレジン3Gの全周が基板29に
接触された状態で、その中心部から微量の真空でレジン
36を吸い込むような動作がされる。このようにレジン
36が内側に吸い込み移動されることによって、レジン
36の内部の気泡は外周方向に押し出されるようになる
ものであり、このような現象は繰返し実験により確認さ
れた。
In this way, even if the disk substrate 29 and the resin 36 are in contact with each other, and even if air bubbles are mixed in the resin 3B, the entire circumference of the ring-shaped resin 3G is in contact with the substrate 29. An operation is performed to suck the resin 36 from the center with a small amount of vacuum. By sucking and moving the resin 36 inward in this manner, the air bubbles inside the resin 36 are pushed out toward the outer circumference, and this phenomenon has been confirmed through repeated experiments.

ステップ10Bでは上記の状態を所定時間例えば5σ秒
間待機するもので、この間に重り31の荷重によってリ
ング状のレジン36が押し広げられ、ディスク基板29
がレジン36の高さの低下と共に下降する。そして、レ
ジン36がスタンパ18と基板29との間に広がり終わ
った状態で、ディスク基板29が上記下降位置設定され
たセンターピン11の支持台27に当って停止し、第7
図に示すような状態となる。この場合スタンバ18と基
板29との間の隙間は、センターピン11の下降設定位
置により数値的に正確に設定されるようになり、スタン
パ18のグループ面のレジン36の厚さの制御が、容易
且つ正確に行われる。
In step 10B, the above state is waited for a predetermined time, for example, 5σ seconds, and during this time, the ring-shaped resin 36 is pushed open by the load of the weight 31, and the disk substrate 29
decreases as the height of the resin 36 decreases. Then, when the resin 36 has finished spreading between the stamper 18 and the substrate 29, the disk substrate 29 hits the support base 27 of the center pin 11 set at the lowered position and stops.
The state will be as shown in the figure. In this case, the gap between the standber 18 and the substrate 29 is set numerically accurately by the lowered setting position of the center pin 11, and the thickness of the resin 36 on the group surface of the stamper 18 can be easily controlled. And done accurately.

ここで、ガイドリング19によってスタンパ1Bの取付
は位置が正確に設定されると共に、スタンパ18の剥離
防止が効果的に行われるものであるが、このガイドリン
グ19の外側であるスタンパ18の内周縁の下側に、真
空源に連通された通路21が開口されている。したがっ
て、上記のようにスタンパ18の面、上にレジン36を
広げた場合、その内周縁からスタンパ18の裏面にレジ
ンが回り込むことがあっても、この回り込みレジンは真
空吸引によって確実に回収除去されるようになる。
Here, the mounting position of the stamper 1B is set accurately by the guide ring 19, and the stamper 18 is effectively prevented from peeling off. A passage 21 communicating with a vacuum source is opened at the lower side of the housing. Therefore, when the resin 36 is spread on the surface of the stamper 18 as described above, even if the resin may wrap around from the inner peripheral edge to the back surface of the stamper 18, this wrapped resin can be reliably collected and removed by vacuum suction. Become so.

上記のようにスタンパ1Bと基板29との間にレジン3
6による層が形成されたならば、第7図で示すようにテ
ーブル17と共に基板29、重り31等を回転させ、そ
の後テーブル17回転させた状態で、第8図で示すよう
に紫外線を透明な重り31を介して上記広げられたレジ
ン3B面に均一に照射し、このレシンを硬化させて記録
樹脂層41が形成されるようにする。この記録樹脂層4
1のスタンパ18に対向する面には、このスタンパ18
に形成された凹凸によるディジタルデータが転写され、
この樹脂層41によって、光ディスクの記録面が形成さ
れるようになる。
As described above, the resin 3 is placed between the stamper 1B and the substrate 29.
Once the layer 6 is formed, the substrate 29, weight 31, etc. are rotated together with the table 17 as shown in FIG. The spread resin 3B surface is uniformly irradiated via the weight 31, and the resin is cured to form the recording resin layer 41. This recording resin layer 4
This stamper 18 is placed on the surface facing the first stamper 18.
Digital data from the unevenness formed on the surface is transferred,
This resin layer 41 forms the recording surface of the optical disc.

このようにしてディスク基板29と一体化されるように
して、記録面の形成された樹脂層41が形成され、光デ
ィスクの基本構造が完成されるものであるが、この後は
基板29と樹脂層41を一体にして、スタンパ18の面
から剥離する必要がある。
In this way, the resin layer 41 on which the recording surface is formed is formed so as to be integrated with the disk substrate 29, completing the basic structure of the optical disk.After this, the substrate 29 and the resin layer 41 are formed. 41 must be peeled off from the surface of the stamper 18 in one piece.

ここで、スタンパ18はテーブル17に磁気吸引力によ
って保持され、ガイドリング19によってその位置が正
確に設定されるようになっている。したがって、スタン
パ18はテーブル17から比較的簡単に取外すことがで
き、簡単に交換することができるものであるが、逆に上
記記録樹脂層41をスタンパ18から剥離しようとする
場合、樹脂層41をスタンパ18から引き離す方向に上
昇させると、スタンパ18も樹脂と一体的にテーブルか
ら離れてしまう。
Here, the stamper 18 is held on the table 17 by magnetic attraction, and its position is accurately set by a guide ring 19. Therefore, the stamper 18 can be relatively easily removed from the table 17 and easily replaced. On the other hand, when trying to peel off the recording resin layer 41 from the stamper 18, it is necessary to remove the resin layer 41 from the stamper 18. When the stamper 18 is lifted in the direction of separating it from the stamper 18, the stamper 18 also separates from the table together with the resin.

しかし、この装置にあっては、記録樹脂層41をスタン
パ18から、スタンパを浮き上がらせることなしに容易
に剥離させるようにしているもので、以下にその剥離工
程を説明する。
However, in this apparatus, the recording resin layer 41 is easily peeled off from the stamper 18 without lifting the stamper, and the peeling process will be explained below.

まず、ステップ107で示し第9図で示すように、セン
ターピン11を微小量上昇させる。この場合チャンバ2
2は上昇設定するものであり、また弁部材12の下方位
置の切換え移動させ、ガイドリング19の外周の真空に
連通ずる吸引孔50から吸引するようにしておく。そし
て、センターピン11の中心軸部に形成される空気通路
22および弁部材12に形成した通路23を介して空気
を送り込み、受は皿24部から放出させる。この空気は
支持台27の下面からディスク基板29の中央部の下面
、さらに記録樹脂層41とスタンバ18の間に送り込ま
れるようになり、樹脂層41をスタンバ18の面から剥
離させる。そして、重り31も取外し上昇させる。
First, as shown in step 107 and shown in FIG. 9, the center pin 11 is raised by a minute amount. In this case chamber 2
2 is set to be raised, and the lower position of the valve member 12 is switched and moved so that suction is drawn from the suction hole 50 communicating with the vacuum on the outer periphery of the guide ring 19. Then, air is sent through an air passage 22 formed in the central shaft portion of the center pin 11 and a passage 23 formed in the valve member 12, and the receiver is discharged from the plate 24 portion. This air is sent from the lower surface of the support base 27 to the lower surface of the central portion of the disk substrate 29 and further between the recording resin layer 41 and the standber 18, thereby peeling the resin layer 41 from the surface of the standber 18. Then, the weight 31 is also removed and raised.

そして、この状態でステップ108のようにセンタービ
ン11をさらに上昇させると、第10図で示されるよう
に樹脂層41はスタンバ18の面から円滑に剥離される
。このときスタンバ18はテーブルに設定された磁石の
磁力と吸引孔50による吸引力によって、テーブルに密
着固定される。そして、記録の転写された樹脂層41は
ディスク基板29と一体になって、搬送位置まで上昇さ
れる。このように搬送位置まで上昇されたならば、搬送
機構40によって樹脂層41の形成されたディスク基板
29を吸着し、所定の格納位置に搬送する。このように
記録樹脂層41の形成されたディスク基板29は、図で
は示されていないが樹脂保護膜形成工程に移行し、記録
樹脂層41の表面に光透過性の樹脂からなる保護層を形
成し、光ディスクが完成されるものである。また、必要
に応じて基板29の外側の表面に、ラベル等が添着され
る。
Then, in this state, when the center bin 11 is further raised as in step 108, the resin layer 41 is smoothly peeled off from the surface of the stand bar 18, as shown in FIG. At this time, the stand bar 18 is closely fixed to the table by the magnetic force of the magnet set on the table and the suction force by the suction hole 50. Then, the resin layer 41 to which the recording has been transferred is raised to the transport position together with the disk substrate 29. Once raised to the transport position in this manner, the transport mechanism 40 picks up the disk substrate 29 on which the resin layer 41 is formed and transports it to a predetermined storage position. Although not shown in the figure, the disk substrate 29 on which the recording resin layer 41 is formed moves to a resin protective film forming step, in which a protective layer made of a light-transmitting resin is formed on the surface of the recording resin layer 41. Then, the optical disc is completed. Further, a label or the like is attached to the outer surface of the substrate 29 as necessary.

[発明の効果] 以上のようにこの発明に係る光情報記録媒体の製造装置
によれば、ディジタルデータを記録する紫外線によって
硬化する樹脂材料によって措成される記録樹脂層が、ス
タンバとディスク基板との間に形成された状態で、記録
樹脂層の中央部分が微小量上昇されて、この樹脂装置ス
タンパとの間に空気が送入されるようになる。このため
、スタンバから記録樹脂層が、送入された空気によって
剥離されるようになり、この剥離動作に際して、スタン
バにテーブルから離れる方向の力はほとんど作用されな
いようになる。したがって、スタンバが交換を容易にす
るためテーブルに磁気的に吸着保持されるような状態に
あっても、記録樹脂層の剥離工程が信頼性をもって実行
されるようになる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the optical information recording medium manufacturing apparatus according to the present invention, the recording resin layer made of a resin material that is cured by ultraviolet rays for recording digital data can be used between the standber and the disk substrate. The central portion of the recording resin layer is raised by a small amount in the state formed between the resin device and the stamper, and air is introduced between the resin device and the stamper. Therefore, the recording resin layer is peeled from the standber by the introduced air, and during this peeling operation, almost no force is applied to the standber in the direction away from the table. Therefore, even if the standber is magnetically attracted and held on the table for easy replacement, the process of peeling off the recording resin layer can be performed reliably.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明の一実施例に係る光情報記録媒体の製
造装置を説明する断面構成図、第2図は上記装置の特に
センタービンを制御する制御回路における処理の流れを
説明する図、第3図乃至第10図はそれぞれ光ディスク
の特に記録樹脂層の製造過程を順次説明する図である。 10・・・センタービン、12・・・弁部材、13・・
・支持部材、17・・・テーブル(永久磁石)、18・
・・スタンバ、19・・・ガイドリング、20・・・弁
体、21・・・(真空)通路、22.23・・・(空気
)通路、25・・・駆動機構、26・・・制御回路、2
9・・・ディスク基板、31・・・重り(ガラス)、3
2・・・チャンバ、36・・・レジン。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第3図 第4 図 第5図 第6図 第7 面 第9図 特許庁長官 吉 1)文 毅 殿 1、事件の表示 特願昭63−102670号 2、考案の名称 光情報記録媒体の製造装置 3、補正をする省 事件との関係 特許8:18人 グローバルマシーナリー株式会社 (ほか1名) 4、代理人 東京都 千代田区 霞が関3丁目7番2号〒100  
電話03 (502)3181 (大代表)(5847
)  弁理士  鈴  江  武  彦5、自発補正 6、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄および図面7、補正の内
容 (1)願書添附の明細書の第2頁第20行目に「タンパ
の記録面・・・」とあるを「タンパの記録データ・・・
」と訂正する。 (2)同じく明細書の第3頁第16行目に「・・・電磁
石る」とあるを「・・・電磁石よりなる」と訂正する。 (3)同じく明細書の第7頁第13行目乃至第14行目
に「・・・その上面には・・・・・・凹凸が形成されて
いる。」とあるを「・・・その上面にはグループや情報
ビット等の凹凸が形成されている。」と訂正する。 (4)同じく明細書の第16頁第11行11乃至第12
行目に「・・・グループ面・・・」とあるを「・・・デ
ータ記録面・・・」と訂正する。 (5)同じく明細書の第17頁第7行目に「・・・テー
ブル17回転・・・」とあるを「・・・テーブル17を
回転・・・」と訂正する。 (6)同じく明細書の第17頁第13行目に「るディジ
タルデータが・・・」とあるを[るJ己録デ−夕が・・
・」と訂正する。 (7)同じく明細書の第18頁第15行目乃至第19行
目に「・・・この場合チャンバ22は・・・・・・吸引
するようにしておく。・・・」とあるを「・・・この場
合チャンバ32は上昇設定されているもので、また弁部
材12は下方の位置に設定されて、ガイドリング19と
弁座20との間の真空に連通ずる通路が閉じられるよう
にしておく。・・・」と訂正する。 (8)同じく明細書の第19頁第19行目乃至第20頁
第3行目に「示されていないが・・・・・・ラベル等が
雄管される。」とあるを「示されていないが、反射層、
記録膜の形成工程、あるいは保護膜形成工程を経て光デ
ィスクが完成されるものである。」と訂正する。 (9)同じく明細書の第20頁第6行目に「・・・ディ
ジタルデータ・・・」とあるを[・・・グループや情報
ビット等・・・Jと訂正する。 (10)添附図面の第2図、第9図および第10図をそ
れぞれ別紙の通り訂正する。 第9図 第10図
FIG. 1 is a cross-sectional configuration diagram illustrating an optical information recording medium manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a diagram illustrating the flow of processing in the control circuit for controlling the center bin of the apparatus, in particular. FIGS. 3 to 10 are diagrams sequentially explaining the manufacturing process of the optical disc, especially the recording resin layer. 10... Center bin, 12... Valve member, 13...
・Supporting member, 17...Table (permanent magnet), 18・
... Stand bar, 19... Guide ring, 20... Valve body, 21... (Vacuum) passage, 22.23... (Air) passage, 25... Drive mechanism, 26... Control circuit, 2
9... Disc substrate, 31... Weight (glass), 3
2...Chamber, 36...Resin. Applicant's representative Patent attorney Takehiko Suzue Figure 3 Figure 4 Figure 5 Figure 6 Figure 7 Page 9 Commissioner of the Patent Office Yoshi 1) Tsuyoshi Moon 1, Indication of the case Patent application No. 102670/1983 2, Invention Name of manufacturing equipment for optical information recording media 3. Relationship with the Ministry case for amendment Patent 8: 18 people Global Machinery Co., Ltd. (and 1 other person) 4. Agent 3-7-2 Kasumigaseki, Chiyoda-ku, Tokyo 100
Telephone 03 (502) 3181 (Main) (5847)
) Patent Attorney Takehiko Suzue 5, spontaneous amendment 6, detailed description of the invention column and drawing 7 of the specification to be amended, contents of the amendment (1) Line 20 of page 2 of the specification attached to the application "Tampa's record surface..." is replaced with "Tampa's record data..."
” he corrected. (2) Similarly, on page 3, line 16 of the specification, the phrase "...consists of an electromagnet" is corrected to "consists of an electromagnet." (3) Similarly, on page 7, lines 13 and 14 of the specification, the phrase ``...the upper surface is formed with unevenness'' was replaced with ``...the There are irregularities such as groups and information bits formed on the top surface.'' (4) Similarly, page 16, line 11, lines 11 to 12 of the specification.
In the first line, "...group surface..." is corrected to "...data recording surface...". (5) Similarly, in the 7th line of page 17 of the specification, the statement "...table 17 rotations..." is corrected to "...table 17 rotations...". (6) Similarly, on page 17, line 13 of the specification, there is a statement that says ``The digital data...'' [The personal record data...
・” I corrected it. (7) Similarly, on page 18, lines 15 to 19 of the specification, the statement ``...in this case, the chamber 22 is designed to...suction...'' is replaced with `` ... In this case, the chamber 32 is set upward, and the valve member 12 is set in a downward position so that the passage communicating with the vacuum between the guide ring 19 and the valve seat 20 is closed. I'll keep it...'' I corrected myself. (8) Similarly, in the specification, from page 19, line 19 to page 20, line 3, the statement ``Although not shown...labels, etc. are included in the male tube.'' was replaced with ``not shown. Not a reflective layer,
An optical disc is completed through a recording film formation process or a protective film formation process. ” he corrected. (9) Similarly, in the 6th line of page 20 of the specification, the phrase ``...digital data...'' is corrected to [...groups, information bits, etc....J]. (10) Figures 2, 9, and 10 of the attached drawings are corrected as shown in the attached sheets. Figure 9 Figure 10

Claims (1)

【特許請求の範囲】 センターピンで支持された光透過性基板と、上記センタ
ーピンを中心にして設定されるスタンパとの間に、この
スタンパの記録面が転写された記録樹脂層が設定される
ようにした光情報記録媒体を製造する装置において、 上記センターピンを中心軸部として設定され、その上面
にスタンパの内径部に当てられるガイドリングを設定し
、磁性体材料で構成されたスタンパを磁気吸引力で保持
するように、磁石を含み構成されるようにしたテーブル
と、 上記テーブルの中心部で、上記センターピンの外周部に
近接する位置に形成された空気の放出孔と、 上記センターピンを、微小量上昇させる手段と、 上記スタンパの内径部下方に上記テーブルに形成したス
タンパ吸引用の吸引孔とを具備し、光透過性基板に一体
の記録樹脂層とテーブルに吸着されたスタンパとの間に
空気層を形成して、スタンパをテーブルに保持したまま
その相互が剥離されるようにしたことを特徴とする光情
報記録媒体の製造装置。
[Claims] A recording resin layer to which a recording surface of the stamper is transferred is set between a light-transmitting substrate supported by a center pin and a stamper set around the center pin. In an apparatus for manufacturing an optical information recording medium, the center pin is set as the central shaft part, and a guide ring is set on the upper surface of the center pin to be applied to the inner diameter part of the stamper, and the stamper made of a magnetic material is magnetically moved. a table configured to include a magnet so as to be held by an attractive force; an air discharge hole formed in the center of the table in a position close to the outer periphery of the center pin; and a suction hole for sucking the stamper formed on the table below the inner diameter of the stamper, and the recording resin layer integrated with the light-transmitting substrate and the stamper adsorbed on the table. 1. An apparatus for manufacturing an optical information recording medium, characterized in that an air layer is formed between the stampers so that the stampers can be separated from each other while being held on a table.
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