JPH01142749A - Developing device - Google Patents

Developing device

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JPH01142749A
JPH01142749A JP62302009A JP30200987A JPH01142749A JP H01142749 A JPH01142749 A JP H01142749A JP 62302009 A JP62302009 A JP 62302009A JP 30200987 A JP30200987 A JP 30200987A JP H01142749 A JPH01142749 A JP H01142749A
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JP
Japan
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toner
ceramics
developing device
developing
developing roller
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Pending
Application number
JP62302009A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshimasa Takano
高野 敏正
Kaoru Oshima
大島 薫
Mutsuki Yamazaki
六月 山崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Abstract

PURPOSE:To decrease friction and to stably obtain a good image by coating ceramics contg. Ti and/or W atoms on the surface of a toner holding body and control member for forming a thinner layer. CONSTITUTION:A ceramics layer 55A is coated on the surface of a developing roller 55 to a uniform thickness and ceramics layers 57A and 57B are coated on the surface of an elastic blade 57 as well at a uniform thickness. The Ti and/or W atom-contg. ceramics used for this device has particularly high hardness and excellent wear resistance and, therefore, the wear of the developing roller 55 and the elastic blade 57 by the friction between the same is effectively decreased by coating of such ceramics on the same. The good image is thus stably obtd. even if the developing device is operated for a long period of time.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は、電子複写機などにお【ノる画像形成装置に装
備される現像装置の改良に関するものであり、さらに詳
しくは、非磁性一成分系現像剤を用いて長時間運転して
も、安定して高品位の画像を取得することができ、しか
も駆動トルクを軽減した現象装置に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to an improvement in a developing device installed in an image forming apparatus such as an electronic copying machine. relates to a phenomenon device that uses a non-magnetic one-component developer and can stably obtain high-quality images even when operated for long periods of time, and that also reduces driving torque.

(従来の技術) 一般に、電子複写装置などの画像形成装置における現象
装置には、像担持体である感光体上に形成された静電潜
像を可視化するための現像処理手段として、例えば二成
分系あるいは磁性−成分系現像剤を用いるものが知られ
ている。
(Prior Art) In general, a developing device in an image forming apparatus such as an electronic copying machine is equipped with, for example, a two-component developing means for visualizing an electrostatic latent image formed on a photoreceptor, which is an image carrier. Developers using magnetic or magnetic-component type developers are known.

しかしながら、上記した二成分系現像剤を用いた現像処
理手段では、現像剤であるトナーとキャリアとの濃度化
を正確にコントロールする必要があり、一方磁性一成分
系現像剤を用いる現像処理手段では、トナーが暗色系の
磁性体を含んでいるため、カラー化が困難であるなどの
不都合を有するばかりか、いずれの現像処理手段におい
ても、現像剤保持体である現像ローラとしてマグネット
ローラを必要とするため、コスト的に非常に高価なもの
となっていた。
However, in the development processing means using the above-mentioned two-component developer, it is necessary to accurately control the concentration of the toner and carrier, which are the developer, whereas in the development processing means using the magnetic one-component developer, However, since the toner contains a dark-colored magnetic material, it is difficult to produce color, and in addition, in any of the development processing means, a magnetic roller is required as a developing roller which is a developer holding member. Therefore, the cost was extremely high.

そこで、上記のような不具合を解消するものとして、最
近非磁性の一成分現像剤を用いた現象処理手段が提案さ
れている。
Therefore, in order to solve the above-mentioned problems, a phenomenon processing means using a non-magnetic one-component developer has recently been proposed.

このような非磁性一成分系現象剤を用いた現像袋げにお
いては、トナーを収納したホッパーにミキサーおよびト
ナー供給ローラを配設し、これらの回転作用によりトナ
ー保持体である現像ローラにトナーを供給すると共に、
この現像ローラの外周に薄層化規制部材としての弾性ブ
レードを当接させて、前記現像ローラ上に厚さ約30μ
m程度のトナー薄膜層を形成する。
In a developing bag using such a non-magnetic one-component developing agent, a mixer and a toner supply roller are arranged in a hopper containing toner, and the rotation of these rollers supplies the toner to the developing roller, which is a toner holding body. Along with supplying
An elastic blade serving as a thinning regulating member is brought into contact with the outer periphery of the developing roller, and a thickness of approximately 30 μm is applied onto the developing roller.
A thin toner film layer of about m is formed.

そして、このトナ−1膜層を像担持体である感光体に近
接対面させることにより、前記感光体上の静電潜像を現
像するようになっている。
By bringing this toner 1 film layer close to and facing a photoreceptor, which is an image carrier, the electrostatic latent image on the photoreceptor is developed.

ところで、上述した従来の非磁性−成分現像剤を用いた
現像装置においては、前記感光体として負極性のものを
用いているため、コーテイング後の帯電量が約+12μ
C/Q程度となるような正帯電性のトナーが用いられて
いる。
By the way, in the above-mentioned developing device using the conventional non-magnetic component developer, since a negative polarity photoreceptor is used, the amount of charge after coating is about +12μ.
A positively charged toner having a ratio of about C/Q is used.

このような現像方式は、基本的に高抵抗の一成分系トナ
ーを用いるものであり、トナーの帯電は現像ローラと弾
性ブレードとの摩擦帯電によってなされる。
Such a developing system basically uses a high-resistance single-component toner, and the toner is charged by frictional charging between a developing roller and an elastic blade.

また、トナーは、トナーと現像ローラとの回転に連れて
搬送されるため、二成分系現像剤や磁性−成分系現像剤
のように、磁気による搬送を必要としない。
Furthermore, since the toner is conveyed as the toner and the developing roller rotate, it does not require magnetic conveyance unlike a two-component developer or a magnetic-component developer.

したがって、従来の非磁性−成分現像剤を用いた現象装
置によれば、きわめて簡単な構造で高品位の画像を実現
でき、コスト面でも有利で、カラー化にも最適であると
されていた。
Therefore, it has been said that a conventional developing device using a non-magnetic component developer can produce high-quality images with an extremely simple structure, is advantageous in terms of cost, and is ideal for color printing.

(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、上述した従来の非磁性一成分系現象剤を
用いた現像装置においては、長時間運転している内に、
トナー保持体としての現像ローラおよびHE化規制部材
としての弾性ブレードが、トナーとの摩擦により摩耗し
、画@濃度の低下や文字のかすれが顕著になるという問
題があった。
(Problems to be Solved by the Invention) However, in the above-mentioned conventional developing device using a non-magnetic one-component developing agent, during long-term operation,
There was a problem in that the developing roller as a toner holding member and the elastic blade as an HE conversion member were worn out due to friction with the toner, resulting in a noticeable decrease in image density and blurring of characters.

また、弾性ブレードとして金属製またはゴム製のものを
使用しているため、トナーとの摩擦が大きく、現像装置
の駆動トルクが増大するという問題があった。
Further, since the elastic blade is made of metal or rubber, there is a problem in that friction with the toner is large and the driving torque of the developing device increases.

本発明は、上述した従来の現像装置における問題点を解
決するために検討した結果、達成されたものである。
The present invention was achieved as a result of studies aimed at solving the problems in the conventional developing device described above.

したがって、本発明の目的は、非磁性一成分系現像剤を
用いて長時間運転しても、安定して高品位の画像を取得
することができ、しかも駆動トルクを軽減した現象装置
を提供することにある。
Therefore, an object of the present invention is to provide a phenomenon device that can stably obtain high-quality images even when operated for a long time using a non-magnetic one-component developer, and that requires less driving torque. There is a particular thing.

[U明の構成] (問題点を解決するための手段) すなわち、本発明の現象装置は、静電潜像を現像するた
めに搬送される非磁性一成分系トナーを保持するトナー
保持体と、このトナー保持体に前記トナーを供給する手
段と、前記トナー保持体上のトナーを薄層化する薄層化
規制部材とを具備する現像装置において、前記トナー保
持体および前記薄層化規制部材の少なくとも表面に、T
iおよび/またはW原子を含有するセラミクスをコーテ
ィングしたことを特徴とする。
[Configuration of U-Ming] (Means for solving the problem) That is, the phenomenon device of the present invention includes a toner holder that holds a non-magnetic one-component toner that is conveyed to develop an electrostatic latent image; , a developing device comprising means for supplying the toner to the toner holding body, and a thinning regulating member for thinning the toner on the toner holding body, the toner holding body and the thinning regulating member; on at least the surface of T
It is characterized by being coated with ceramics containing i and/or W atoms.

(作用) 本発明の現(!Jl装置は、トナー保持体および薄層化
規制部材の表面に、Tiおよび/またはW原子を含有す
るセラミクスをコーティングしたため、複写画像の長時
間安定性および装置の駆動効率がすぐれている。
(Function) The current (!Jl) device of the present invention has ceramics containing Ti and/or W atoms coated on the surfaces of the toner holder and the thinning regulating member, which improves the long-term stability of copied images and the performance of the device. Excellent driving efficiency.

すなわち、前記セラミクスは硬度が高く、しかも耐摩耗
性にすぐれているため、トナー保持体および薄層化規制
部材の摩擦による摩耗が減少し、現像装置を長R間運転
しても、安定して良好な画像を得ることができる。
In other words, since the ceramics have high hardness and excellent wear resistance, wear due to friction of the toner holder and the layer thinning regulating member is reduced, and the developing device remains stable even when operated for a long time. Good images can be obtained.

また、前記セラミクスは摩擦係数が小さいため、トナー
保持体と簿4層化規制部材との間の摩擦が減少し、現@
装置の駆動トルクを軽減することができる。
In addition, since the ceramic has a small coefficient of friction, the friction between the toner holding body and the four-layer regulation member is reduced.
The driving torque of the device can be reduced.

したがって、本発明の現像装置によれば、画像濃度の低
下や文字のかすれなどを発生することがなく、常に鮮明
な画像を得ることができる。
Therefore, according to the developing device of the present invention, a clear image can always be obtained without a decrease in image density or blurring of characters.

(実施例) 以下に、図面を参照しつつ、本発明の現像装置の実施例
について、詳細に説明する。
(Example) Examples of the developing device of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

第1図は本発明の現像装置を搭載した電子複写例の概略
断面説明図、第2図は本発明の現像装置を示す概略断面
説明図、第3図は同部分正面説明図、第4図は本発明の
現像装置におけるトナー保持体と薄層化規制部材の当接
状態を示す概略断面説明図、第5図は薄層化規制部材に
対するセラミクスのプラズマCVDコーティング装置を
示す概略断面説明図、第6図はトナー保持体に対するセ
ラミクスのプラズマCVDコーティング装置を示す概略
側断面説明図、第7図は同概略平断面説明図、第8図は
薄層化規制部材に対するセラミクスのスパッタリングコ
ーティング装置を示す概略断面説明図である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional explanatory diagram of an electronic copying example equipped with the developing device of the present invention, FIG. 2 is a schematic cross-sectional explanatory diagram showing the developing device of the present invention, FIG. 3 is a front explanatory diagram of the same part, and FIG. 5 is a schematic cross-sectional explanatory diagram showing the contact state of the toner holder and the thinning regulating member in the developing device of the present invention, FIG. 5 is a schematic cross-sectional explanatory diagram showing a ceramic plasma CVD coating apparatus for the thinning regulating member, FIG. 6 is a schematic side sectional explanatory view showing a plasma CVD coating apparatus for ceramics on a toner holder, FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of the same, and FIG. 8 is a sputtering coating apparatus for ceramics on a thin layer regulating member. It is a schematic cross-sectional explanatory view.

第1図において、複写機本体1内の略中火には、像担持
体としての感光体2が矢印方向に回転自在に設けられて
いる。
In FIG. 1, a photoreceptor 2 serving as an image carrier is provided in a substantially medium-sized portion of a copying machine main body 1 so as to be rotatable in the direction of the arrow.

この感光体2の周囲には、その回転方向にしたがって、
帯電装置3、結像レンズ4、現像装置5、転写装置6、
クリーナー7および除電装置8が順次配設されている。
Around the photoreceptor 2, there are
Charging device 3, imaging lens 4, developing device 5, transfer device 6,
A cleaner 7 and a static eliminator 8 are arranged in this order.

また、本体1の上部側には、原稿を露光する光学系9が
設けられており、前記本体1の下部側には給紙カセット
10が装着されている。
Further, an optical system 9 for exposing a document to light is provided on the upper side of the main body 1, and a paper feed cassette 10 is installed on the lower side of the main body 1.

この給紙カセット10から用紙が供給され、供給された
用紙は搬送路11に沿って搬送されるように構成されて
いる。
Paper is supplied from this paper feed cassette 10, and the supplied paper is configured to be transported along a transport path 11.

搬送路11には用紙の搬送方向に沿ってレジストローラ
12、定着装置13および排紙ローラ14が配設されて
いる。
A registration roller 12, a fixing device 13, and a paper ejection roller 14 are arranged along the paper transport direction in the transport path 11.

なお、図中の15は排紙トレイ、16は原稿台である。Note that 15 in the figure is a paper discharge tray, and 16 is a document table.

上述した構成からなる複写機を用いて画像を形成するに
際しては、光学系9により原稿台16上の原稿に光が照
射され、その反射光が結像レンズ4を介して感光体2に
結像されることにより、前記感光体2の表面に静電潜像
が形成される。
When forming an image using the copying machine configured as described above, the optical system 9 irradiates light onto the document on the document table 16, and the reflected light forms an image on the photoreceptor 2 via the imaging lens 4. As a result, an electrostatic latent image is formed on the surface of the photoreceptor 2.

そして、この静電潜像に対し、現像装置5から非磁性一
成分系現像剤(以下単にトナーと略称する)が供給され
て可視像化される。
Then, a non-magnetic one-component developer (hereinafter simply referred to as toner) is supplied from the developing device 5 to this electrostatic latent image to make it visible.

一方、給紙カセット10から用紙が供給されて、感光体
2と転写装置6との間に送られ、前記感光体2上の可視
像が用紙に転写される。
On the other hand, paper is supplied from the paper feed cassette 10 and sent between the photoreceptor 2 and the transfer device 6, and the visible image on the photoreceptor 2 is transferred to the paper.

転写された用紙は搬送路11に沿って定着装置13へ搬
送され、定着された後、排紙ローラ14を介して排紙ト
レイ15へと排紙されるようになっている。
The transferred paper is conveyed to a fixing device 13 along a conveyance path 11, and after being fixed, the paper is discharged to a paper discharge tray 15 via a paper discharge roller 14.

次に、本発明の現像装置について第2〜4図にしたがっ
て詳述する。
Next, the developing device of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 2 to 4.

第2図および第3図において、本発明の現象装置5はホ
ッパー状の現像ユニット51を具備し、この現像ユニッ
ト51内には非磁性一成分系現像剤(トナー)52が収
納されている。
2 and 3, the developing device 5 of the present invention is equipped with a hopper-shaped developing unit 51, and a non-magnetic one-component developer (toner) 52 is stored in the developing unit 51.

そして、現像ユニット51内には、トナー保持体として
の現像ローラ55にトナー52を供給する供給ローラ5
4が、現像ロー555に接して設置ノられており、前記
現像ローラ55の回転方向と逆方向に回転するように構
成されている。
Inside the developing unit 51, a supply roller 5 is provided which supplies toner 52 to a developing roller 55 as a toner holding member.
4 is installed in contact with the developing roller 555, and is configured to rotate in the opposite direction to the rotating direction of the developing roller 55.

さらに、現像ユニット51内には、収納されているトナ
ー52を攪拌するミキナー(攪拌羽根)53が回転可能
に設けられている。
Further, inside the developing unit 51, a mixer (stirring blade) 53 for stirring the stored toner 52 is rotatably provided.

前記現像ロー555には、その周面に現像剤の薄層を形
成する薄層化規制部材としての弾性ブレード57が、た
とえば約20〜500C1/cm程度の圧力で圧接され
ている。
An elastic blade 57 as a layer thinning regulating member that forms a thin layer of developer on the circumferential surface of the developing row 555 is pressed against the developing row 555 at a pressure of, for example, about 20 to 500 C1/cm.

この弾性ブレード57の上端部はホルダー56によって
導通状態に保持されている。
The upper end of this elastic blade 57 is held in a conductive state by a holder 56.

また、前記現像ローラ55の下部には、この現像ローラ
55の表面に残存しているトナー52を回収するための
回収ブレード58が接触されている。
Further, a collecting blade 58 for collecting the toner 52 remaining on the surface of the developing roller 55 is in contact with the lower part of the developing roller 55 .

なお、前記現像ローラ55は感光体2°に対向し、図示
しない駆動手段により、前記感光体2の周速の1〜3倍
の周速で変速回転可能となっており、静電潜像が形成さ
れた感光体2と前記現像ローラ55との間には、直流バ
イアス、交流バイアスまたは直流と交流とを重畳したバ
イアスが印加されている。
The developing roller 55 is opposed to the photoconductor 2° and can be rotated at variable speeds at a circumferential speed of 1 to 3 times the circumferential speed of the photoconductor 2 by a driving means (not shown), so that the electrostatic latent image is A direct current bias, an alternating current bias, or a bias that is a combination of direct current and alternating current is applied between the formed photoreceptor 2 and the developing roller 55.

次に、この現像装置5の動作について説明する。Next, the operation of this developing device 5 will be explained.

現像ユニット51内に収納されているトナー52は、ミ
キサー53および供給ローラ54の回転により攪拌され
ると共に、供給ローラ54により搬送されて、現像ロー
ラ55に擦り付けられ、さらに弾性ブレード57により
圧接されて、その層厚が制御されつつ、摩擦帯電される
The toner 52 housed in the developing unit 51 is agitated by the rotation of the mixer 53 and the supply roller 54, is conveyed by the supply roller 54, is rubbed against the development roller 55, and is further pressed into contact with the elastic blade 57. , the layer thickness is controlled and triboelectrically charged.

そして、十分に帯電されたトナー52は、感光体2に対
面する位置に搬送され、この感光体2に形成された静電
潜像に対面して、これを可視像化する。
The sufficiently charged toner 52 is conveyed to a position facing the photoreceptor 2, faces the electrostatic latent image formed on the photoreceptor 2, and turns it into a visible image.

また、現像ローラ55の表面に残存したトナー52は、
回収ブレード58により現像ユニット51内へと戻され
る。
Further, the toner 52 remaining on the surface of the developing roller 55 is
The collecting blade 58 returns the toner to the developing unit 51 .

そして、通常現像ローラ55は金属表面からなり、また
弾性ブレード57は金属またはゴムの薄膜から構成され
ているが、本発明においては、これら現像ローラ55お
よび/または弾性ブレード57の表面に、Tiおよび/
またはW原子を含むセラミクスがコーティングされてい
ることを特徴としている。
Usually, the developing roller 55 is made of a metal surface, and the elastic blade 57 is made of a thin film of metal or rubber, but in the present invention, the surface of the developing roller 55 and/or the elastic blade 57 is made of Ti and /
Alternatively, it is characterized by being coated with ceramics containing W atoms.

すなわち、第4図に示したように、本発明の現像装置に
おいて、現像ローラ55の表面にはセラミクス層55A
が均一な厚みでコーティングされており、また弾性ブレ
ード57の表面にもセラミクス層57Aおよび57Bが
均一な厚みでコーティングされている。
That is, as shown in FIG. 4, in the developing device of the present invention, a ceramic layer 55A is provided on the surface of the developing roller 55.
is coated with a uniform thickness, and the surface of the elastic blade 57 is also coated with ceramic layers 57A and 57B with a uniform thickness.

セラミクスとは、耐熱はうろうの1種であり、通常は酸
化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化クロムおよび粘土な
どを主成分とするものであるが、本発明で用いるTiお
よび/またはW原子を含むセラミクスは、とくに硬度が
高く、しかも耐摩耗性にすぐれているため、これらをコ
ーティングすることにより、現像ローラ55および弾性
ブレード57の摩擦による摩耗を効果的に減少させるこ
とができる。
Ceramics is a type of heat-resistant material that usually contains aluminum oxide, silicon oxide, chromium oxide, clay, etc. as main components, but ceramics containing Ti and/or W atoms used in the present invention has particularly high hardness and excellent wear resistance, so by coating with these, it is possible to effectively reduce the wear caused by friction of the developing roller 55 and the elastic blade 57.

本発明でコーティングに用いるセラミクスは、Tiおよ
び/またはW原子の含有を必須とするが、その他の構成
成分としては、N、C,O,Hおよびハロゲン原子など
が挙げられ、なかでもHまたはハロゲン原子が1〜40
 atomic%含有されていることが望ましい。
The ceramics used for coating in the present invention must contain Ti and/or W atoms, but other constituents include N, C, O, H, and halogen atoms, especially H or halogen atoms. 1 to 40 atoms
It is desirable that the content be atomic%.

本発明においては、Tiおよび/またはW原子を含むセ
ラミクスを、現像ローラ55および弾性ブレード57の
いずれか一方の表面にコーティングすることにより、目
的とする効果が得られるが、現像ローラ55および弾性
ブレード57の両者の表面にコーティングすることによ
り、さらに望ましい効果を取得することができる。
In the present invention, the desired effect can be obtained by coating the surface of either the developing roller 55 or the elastic blade 57 with ceramics containing Ti and/or W atoms. A more desirable effect can be obtained by coating both surfaces of 57.

また、Tiおよび/またはW原子を含むセラミクスを、
現像ローラ55および弾性ブレード57のいずれか一方
の表面にコーティングした場合には、残る使方の表面に
7iおよび/またはW原子を含まない通常のセラミクス
をコーティングすることができるが、この場合に他方の
セラミクスとして、なかでもとくにSi、Ge、AΩ、
BおよびCから選ばれた少なくとも1種の原子を含有す
るセラミクスを使用することにより、たとえば帯電しに
くいトナーを十分に帯電させ、画像品位をさらに向上さ
せるなどの効果を期待することができる。
In addition, ceramics containing Ti and/or W atoms,
When the surface of either the developing roller 55 or the elastic blade 57 is coated, the remaining surface to be used can be coated with ordinary ceramics that do not contain 7i and/or W atoms; As ceramics, Si, Ge, AΩ,
By using ceramics containing at least one type of atom selected from B and C, effects such as, for example, toner that is difficult to charge can be sufficiently charged and image quality can be further improved can be expected.

なお、弾性ブレード57の表面にセラミクスをコーティ
ングする場合には、その表裏両面にセラミクスをコーテ
ィングすることが望ましく、片面のみのコーティングで
は、弾性ブレードにゆがみを生じ、寸法および形状安定
性が低下することがあるため好ましくない。
In addition, when coating the surface of the elastic blade 57 with ceramics, it is desirable to coat both the front and back sides with ceramics. If only one side is coated, the elastic blade will be distorted and the dimensional and shape stability will decrease. This is not desirable because of the

以下に、現像ローラおよび/または弾性ブレードに対す
るセラミクスのコーティング方法について説明する。
A method of coating a developing roller and/or an elastic blade with ceramics will be described below.

本発明の方法においては、現像ローラおよび/または弾
性ブレードに対し、Tiおよび/またはW原子を母体と
するセラミクスをコーティングするが、−船釣なセラミ
クスのコーティング方法としては、スパッタリング、イ
オンブレーティング、真空蒸着、プラズマCVD、EC
RプラズマCVD、熱CVDおよび光CVDなどの方法
が挙げられる。
In the method of the present invention, the developing roller and/or the elastic blade are coated with ceramics containing Ti and/or W atoms. Vacuum deposition, plasma CVD, EC
Examples include methods such as R plasma CVD, thermal CVD, and photoCVD.

これらの方法のなかでも、膜の密着性が良いこと、比較
的低温で処理でき、基板の特性が損われないことおよび
膜の電気的特性や光学的特性が容易にコントロールでき
ることなどの点から、本発明にとってはプラズマCVD
およびスパッタリングによる方法が最適である。
Among these methods, this method has the following advantages: it has good film adhesion, can be processed at relatively low temperatures, does not damage the properties of the substrate, and can easily control the electrical and optical properties of the film. For the present invention, plasma CVD
and sputtering methods are most suitable.

第5図は、視像スリーブに対するプラズマCVDコーテ
ィング装置の概略断面説明図であり、詳しくは平行平板
型の容量結合型プラズマCVD装置の概略図を示す。
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of a plasma CVD coating apparatus for a viewing sleeve, and more specifically, a schematic view of a parallel plate type capacitively coupled plasma CVD apparatus.

第5図において、真空チャンバー101内には、平板状
接地電極102と高周波電極103が対向して設置され
、たとえば金属製弾性ブレードなどの基板104はml
記平板状接地電極102上に置かれる。
In FIG. 5, a flat ground electrode 102 and a high frequency electrode 103 are installed facing each other in a vacuum chamber 101, and a substrate 104, such as a metal elastic blade, is arranged in a vacuum chamber 101.
It is placed on the flat ground electrode 102.

そして、図示しない真空ポンプによりチャンバー101
内を10’Torr程度に排気した後、平板状接地電極
102に取付けたヒーター105により、基板104を
150〜450℃程度に加熱する。
Then, the chamber 101 is heated by a vacuum pump (not shown).
After evacuating the inside to about 10' Torr, the substrate 104 is heated to about 150 to 450° C. by the heater 105 attached to the flat ground electrode 102.

次いで、ガス導入口106より5IH4、N2、Cl−
13などの原料ガスをチャンバー101内に供給しつつ
、0.05Torr 〜1.0Torrの真空度に保つ
ようにして排気しながら、高周波電極103にマツチン
グボックス107を介して高周波電源108からの電力
を投入する。
Next, 5IH4, N2, Cl-
While supplying raw material gas such as 13 into the chamber 101 and evacuating the chamber 101 to maintain a vacuum level of 0.05 Torr to 1.0 Torr, power is supplied from the high frequency power source 108 to the high frequency electrode 103 via the matching box 107. Insert.

すると、電極間にてグロー放電が起こり、原料ガスがプ
ラズマ化してセラミクスの薄膜が基板104上に形成さ
れる。
Then, a glow discharge occurs between the electrodes, the source gas is turned into plasma, and a ceramic thin film is formed on the substrate 104.

次に、現像ローラに対するセラミクスのプラズマCVD
コーティング方法について、第6図および第7図にした
がって説明する。
Next, plasma CVD of ceramics was applied to the developing roller.
The coating method will be explained with reference to FIGS. 6 and 7.

第6図は現像ローラに対するセラミクスのプラズマCV
Dコーティング装置の概略側断面説明図、第7図は同概
略平断面説明図である。
Figure 6 shows the plasma CV of ceramics for the developing roller.
FIG. 7 is a schematic side sectional explanatory view of the D coating apparatus, and FIG. 7 is a schematic plan sectional explanatory view thereof.

第6図および第7図において、角筒状の平断面を有する
反応室201は、メカニカルブースターポンプおよび油
回転ポンプ(図示せず)などにより排気口202を介し
て排気され、約1O−3TOrrの真空度に保持される
ようになっている。
In FIGS. 6 and 7, a reaction chamber 201 having a rectangular cylindrical planar cross section is evacuated through an exhaust port 202 by a mechanical booster pump, an oil rotary pump (not shown), etc. It is designed to be maintained at a vacuum level.

また、反応室201内には、ガス導入口205を介して
種々の原料ガスが導入されるように構成されている。
Further, various raw material gases are introduced into the reaction chamber 201 through a gas introduction port 205.

反応室201の上方には、絶縁体206を介して収納室
207が設置されており、この収納室207は前記絶縁
体206により前記反応室201と電気的に絶縁されて
いる。
A storage chamber 207 is installed above the reaction chamber 201 via an insulator 206, and this storage chamber 207 is electrically insulated from the reaction chamber 201 by the insulator 206.

また、収納室207は、反応室201と仕切板208に
より仕切られている。
Further, the storage chamber 207 is partitioned from the reaction chamber 201 by a partition plate 208.

仕切板208には、複数個の支持ロッド209が、その
長手方向を垂直として挿通されている。
A plurality of support rods 209 are inserted through the partition plate 208 with the longitudinal direction thereof being perpendicular.

各支持ロッド209には、カラー210が嵌合固定され
ており、前記カラー210が仕切り板208に係止され
ることにより、前記各支持ロッド209が扱は落ちない
ようになっている。
A collar 210 is fitted and fixed to each support rod 209, and by locking the collar 210 to the partition plate 208, each support rod 209 is prevented from falling when handled.

各支持ロッド209の上端部には、駆動手段としてのギ
ア212が嵌合されており、その下方において前記各支
持ロッド209に嵌合固定された押え211により、前
記ギア212が各支持ロッド209に支持されている。
A gear 212 as a driving means is fitted to the upper end of each support rod 209, and a presser foot 211 fitted and fixed to each support rod 209 below the gear 212 causes the gear 212 to be attached to each support rod 209. Supported.

各ギア212は、隣接するもの同士が相互に噛合してお
り、駆動装置214により中央のギアが回転駆動される
と、全てのギア212が回転し、各支持ロッド209が
回転するようになっている。
Adjacent gears 212 are in mesh with each other, and when the central gear is rotationally driven by the drive device 214, all gears 212 rotate and each support rod 209 rotates. There is.

各支持ロッド209の下端部には、雌ネジ(図示せず)
が形成されており、コーティングに供する支持体く現像
ローラ)213の上端部には雄ネジ(図示せず)が形成
されている。
The lower end of each support rod 209 has a female thread (not shown).
A male thread (not shown) is formed at the upper end of the support (developing roller) 213 used for coating.

したがって、これらのネジを螺合することにより、前記
支持体213が各支持ロッド209に取付けられる。
Therefore, the support body 213 is attached to each support rod 209 by screwing these screws together.

また、駆動装置214が収納室207の上方に設けられ
ており、この駆vJ装置214の駆動によりギア212
が回転すると、支持体213はその軸を中心として回転
する。
Further, a drive device 214 is provided above the storage chamber 207, and the gear 212 is driven by the drive device 214.
When the support 213 rotates, the support 213 rotates about its axis.

第7図に示したように、支持体213は反応す201内
の実質的中央に一列に配列するように配設されている。
As shown in FIG. 7, the supports 213 are arranged substantially in the center of the reactor 201 in a line.

そして、この支持体213の列を挟むようにしてその両
側に、一対の平板状電極215および216が対設され
ている。
A pair of flat electrodes 215 and 216 are provided oppositely on both sides of the row of supports 213.

この平板状電極215および216には多数の孔が開設
されているため、ガス導入口205を介して反応室20
1内に導入された原料ガスは、この孔を介して反応室2
01の中心部へと供給される。
Since the flat electrodes 215 and 216 have a large number of holes, the reaction chamber 20 can be connected through the gas inlet 205.
The raw material gas introduced into the reaction chamber 2 passes through this hole.
It is supplied to the center of 01.

また、平板状電極215および216は、反応室201
と同一の電位となるように、反応室201に取付けられ
ており、マツチングボックス217を介して高周波電源
218に接続されている。
Further, the flat electrodes 215 and 216 are connected to the reaction chamber 201.
It is attached to the reaction chamber 201 so as to have the same potential as , and is connected to a high frequency power source 218 via a matching box 217.

上述の構成からなるプラズマCVDコーティング装置を
運転する場合には、まず反応室201内に複数個の支持
体213を取付けた後、駆e装置214により前記支持
体213を適宜の速度で回転させると共に、前記反応室
201゛内を約1O−3T orr程度に排気する。
When operating the plasma CVD coating apparatus configured as described above, first, a plurality of supports 213 are installed in the reaction chamber 201, and then the supports 213 are rotated at an appropriate speed by the drive device 214. Then, the inside of the reaction chamber 201' is evacuated to about 10-3 Torr.

このようにして排気を継続しつつ、ガス導入口205を
介して原料ガスを導入し、反応室201内をたとえば0
. I Torr 〜1 、0Torrの圧力に調節す
ると、前記支持体213は収納v207を介して接地さ
れているから、平板状電極215および216と前記支
持体213との間にプラズマが生起され、原料ガス中の
主な構成元素を含有する組成の薄膜が前記支持体213
上に形成される。
While continuing the evacuation in this way, the raw material gas is introduced through the gas inlet 205 to bring the inside of the reaction chamber 201 to zero, for example.
.. When the pressure is adjusted to I Torr ~1, 0 Torr, since the support body 213 is grounded through the housing v207, plasma is generated between the flat electrodes 215 and 216 and the support body 213, and the raw material gas A thin film having a composition containing the main constituent elements in the support 213
formed on top.

この場合に、支持体213は回転しているので、薄膜は
前記支持体213の周面に均一に形成されることになる
In this case, since the support body 213 is rotating, the thin film is uniformly formed on the circumferential surface of the support body 213.

上述のプラズマCVDコーティング装置を用いてTiN
またはTiCをコーティングするためには、原料ガスと
してTiCC4、N2 、NH3、CH4、C2Ha 
、およびC2H2などを用いることができる。
TiN using the plasma CVD coating equipment described above.
Or to coat TiC, TiCC4, N2, NH3, CH4, C2Ha are used as raw material gas.
, and C2H2, etc. can be used.

この場合に、T i CQ 4は蒸気圧があまり高くな
いので、TiCΩ4が入った容器内にH2を吹き込んで
、強制的に容器から追い出すことかのぞましい。
In this case, since T i CQ 4 does not have a very high vapor pressure, it is preferable to blow H2 into the container containing TiCQ 4 to force it out of the container.

したがって、チャンバー内にはTiCΩ4およびN2な
どのガスの他にH2も導入される。
Therefore, in addition to gases such as TiCΩ4 and N2, H2 is also introduced into the chamber.

本発明の目的とする組成をプラズマコーティングするた
めに使用する原料ガス、圧力および電力の代表的な条件
を下記する。
Typical conditions for raw material gas, pressure, and electric power used for plasma coating the target composition of the present invention are shown below.

1、TiN 原料ガス TiCU450SCCM N2 −  200  〃 H21000” 圧力    1.0Torr 電力    400W 2、TiC 原料ガス T i Cn450SCCM C1」4 100 〃 +12  1000  〃 圧力    1.QTOrr 電力    400W 3、TiCN 原料ガス TiCΩ4 50SCCM CH450〃 N2    100” H21000ノ/ 圧力    1.QTorr 電力    400W 4、WC 原料ガス W F a    508 CCM CH4100〃 H21000〃 圧力    1.0Torr 電力    400W また、第8図は弾性スリーブに対するセラミクスのスパ
ッタリングコーティング装置を示す概略断面説明図であ
る。
1. TiN source gas TiCU450SCCM N2 - 200 〃 H21000" Pressure 1.0 Torr Power 400W 2. TiC source gas Ti Cn450SCCM C1" 4 100 〃 +12 1000 〃 Pressure 1. QTorr power 400W 3, TiCN Raw material gas TiCΩ4 50SCCM CH450〃 N2 100” H21000〃 Pressure 1.QTorr power 400W 4, WC Raw material gas W Fa 508 CCM CH4100〃 H21000〃 Pressure 1.0 Torr Power 400W Also, Figure 8 shows FIG. 2 is a schematic cross-sectional explanatory diagram showing a ceramic sputtering coating apparatus for an elastic sleeve.

第8図に示した装置は、原料が固体であり、しかも通常
ターゲット11つと呼ばれる部位に高周波または直流電
圧を印加する点以外は、上述の第5図に示したプラズマ
CVD装置とほとんど類似している。
The apparatus shown in Fig. 8 is almost similar to the plasma CVD apparatus shown in Fig. 5 above, except that the raw material is solid and high frequency or DC voltage is applied to 11 parts usually called targets. There is.

このスパッタリングコーティング装置においては、ガス
導入口106からArガスまたは場合によってはこれに
原料ガスを混合したものを導入するが、それらのガスが
プラズマ化し、Arイオンがターゲットとなる金属を原
子状あるいは分子状にしてたたき出した後、反応ガスの
プラズマ中で反応しながら、様々な組成のセラミクスを
形成し、基板104に薄層として付着する。
In this sputtering coating apparatus, Ar gas or a mixture of raw material gas in some cases is introduced from the gas inlet 106, and these gases turn into plasma, and Ar ions attack the target metal in atomic or molecular form. After being pounded out in a shape, ceramics of various compositions are formed while reacting in a plasma of a reactive gas, and are adhered to the substrate 104 as a thin layer.

本発明の目的とする組成をスパッタリングコーティング
するために使用するターゲット、原料ガス、圧力および
電力の代表的な条件を下記する。
Typical conditions for targets, raw material gases, pressures, and electric power used for sputtering coating the target composition of the present invention are shown below.

1、TiN ターゲット  Ti 原料ガス Ar     10S105 CC50〃 圧力  1 、 Qx 10’ Torr電力    
800W 2、TiC ターゲット  Ti 原料ガス Ar     10300M CH450” 圧力  1 、 Qx 10’ Torr電力    
800W 以下に、本発明の現像装置を用いる場合の効果を具体的
に示す試験例および比較例について説明する。
1, TiN target Ti source gas Ar 10S105 CC50 Pressure 1, Qx 10' Torr power
800W 2, TiC target Ti source gas Ar 10300M CH450" Pressure 1, Qx 10' Torr power
800W Test examples and comparative examples specifically showing the effects of using the developing device of the present invention will be described below.

(試験例) SUS304製の弾性ブレードの表裏両面に、第5図に
示したプラズマCVDコーティング装置により7i原子
を含有するセラミクスを厚み0゜1〜20μmでコーテ
ィングした。
(Test Example) Both the front and back surfaces of an elastic blade made of SUS304 were coated with ceramics containing 7i atoms to a thickness of 0.1 to 20 μm using the plasma CVD coating apparatus shown in FIG.

また、アルミニウム製のローラの表面をサンドブラスト
により表面粗さが3.0μmRzとなるように研磨した
現像ローラの表面に、第6図および第7図に示したプラ
ズマCVDコーティング装置によりTi原子を含有する
セラミクスを厚み0゜1〜20μmでコーティングした
Further, the surface of the developing roller was polished by sandblasting to a surface roughness of 3.0 μmRz, and the surface of the developing roller was coated with Ti atoms using the plasma CVD coating apparatus shown in FIGS. 6 and 7. Ceramics was coated with a thickness of 0°1 to 20 μm.

上記の弾性スリーブおよび現像ローラをセットした現像
装置のホッパー内に、磁性゛粉10重量%を含有する非
磁性一成分系トナーを収納し、これに20kaの線荷重
をかけた状態とし、この現像装置を第1図に示した構造
の複写機に搭載して、用紙10万枚の画像形成を行なっ
たところ、前記弾性スリーブおよび現像ローラのセラミ
クスコーティング層は、いずれも表面粗さに変化を生じ
ておらず、10万枚の画像形成後にも継続して良好な画
像を得ることができた。
A non-magnetic one-component toner containing 10% by weight of magnetic powder was stored in the hopper of the developing device in which the above-mentioned elastic sleeve and developing roller were set, and a line load of 20 ka was applied to it. When the apparatus was mounted on a copying machine having the structure shown in Figure 1 and images were formed on 100,000 sheets of paper, the surface roughness of both the elastic sleeve and the ceramic coating layer of the developing roller changed. Even after 100,000 sheets of images were formed, good images could be continuously obtained.

また、画像形成中の現像装置における駆動トルクを測定
したところ、1.8k(]−CClであった。
Further, when the driving torque in the developing device during image formation was measured, it was 1.8 k(]-CCl.

〈比較例) 上述した試験例において、セラミクスをコーティングし
ない5US304製の弾性ブレードおよびアルミニウム
製のローラの表面に無電解Niメツキを施した現像ロー
ラを用いて、上記試験例と同一の条件で用紙10万枚の
画像形成を行なったところ、前記弾性スリーブは前記現
像ローラとの接触部分が2.0μmWJ耗し、また前記
現像ローラは初期の表面粗さ3.0μrnRzであった
ものが、0.6μmRzまで低下したため、前記現像ロ
ーラ上のトナー搬送jが減少し、以後の画像形成におい
て、十分な画像濃度を得ることができなかった。
<Comparative Example> In the above-mentioned test example, paper 10 was prepared under the same conditions as the above-mentioned test example using an elastic blade made of 5US304 that is not coated with ceramics and a developing roller with electroless Ni plating applied to the surface of the aluminum roller. When images were formed on 10,000 sheets, the contact portion of the elastic sleeve with the developing roller wore out by 2.0 μmWJ, and the surface roughness of the developing roller, which had an initial surface roughness of 3.0 μrnRz, decreased to 0.6 μmRz. As a result, the toner transport j on the developing roller decreased, and it was not possible to obtain a sufficient image density in subsequent image formation.

また、画像形成中の現像装置における駆動トルクを測定
したところ、2.5ko−c+aと高く、上述した試験
例に比較して駆動装置に対する負担が大きかった。
Further, when the driving torque in the developing device during image formation was measured, it was as high as 2.5 ko-c+a, and the load on the driving device was large compared to the test example described above.

[発明の効果] 以上詳細に説明したとおり、本発明の現像装置は、トナ
ー保持体および薄層化規制部材の少なくとも表面に、T
iおよび/またはW原子を含有するセラミクスをコーテ
ィングしたため、複写画像の長時間安定性および装置の
駆動効率がすぐれている。
[Effects of the Invention] As explained in detail above, the developing device of the present invention has T on at least the surface of the toner holding body and the thinning regulating member.
Since it is coated with ceramics containing i and/or W atoms, the long-term stability of the copied image and the driving efficiency of the device are excellent.

すなわち、前記セラミクスは硬度が高く、しかも耐摩耗
性にすぐれているため、トナー保持体および薄層化規制
部材のFJ擦による摩耗が減少し、現像装置を長時間運
転しても、安定して良好な画像を得ることができる。
In other words, since the ceramics have high hardness and excellent abrasion resistance, abrasion caused by FJ friction on the toner holder and thinning regulating member is reduced, and the developing device remains stable even when operated for a long time. Good images can be obtained.

また、前記セラミクスは摩擦係数が小さいため、トナー
保持体と薄層化規制部材との間の摩隙が減少し、現像装
置の駆動トルクを軽減することができる。
Further, since the ceramic has a small coefficient of friction, the friction gap between the toner holding body and the layer thinning regulating member is reduced, and the driving torque of the developing device can be reduced.

したがって、本発明の現像装置によれば、画像濃度の低
下や文字のかすれなどを発生することがなく、常に鮮明
な画像を得ることができる。
Therefore, according to the developing device of the present invention, a clear image can always be obtained without a decrease in image density or blurring of characters.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の現像装置を搭載した電子複写機の概略
断面説明図、第2図は本発明の現像装置を示す概略断面
説明図、第3図は同部分正面説明図、第4図は本発明の
現像装置におけるトナー保持体と薄層化規制部材の当接
状態を示す断面説明図、第5図は薄層化規制部材に対す
るセラミクスのプラズマCVDコーティング装置を示す
概略断面説明図、第6図はトナー保持体に対するセラミ
クスのプラズマCVDコーティング装置を示す概略側断
面説明図、第7図は同概略平断面説明図、第8図は薄層
化規制部材に対するセラミクスのスパッタリングコーテ
ィング装置を示す概略断面説明図である。 5・・・現像装置 52・・・トナー(非磁性一成分系現像剤)54・・・
トナー供給手段(供給ローラ)55・何・ナー保持体(
現像ローラ)
FIG. 1 is a schematic cross-sectional explanatory diagram of an electronic copying machine equipped with the developing device of the present invention, FIG. 2 is a schematic cross-sectional explanatory diagram showing the developing device of the present invention, FIG. 3 is a front explanatory diagram of the same part, and FIG. 5 is a cross-sectional explanatory view showing the state of contact between the toner holder and the layer thinning regulating member in the developing device of the present invention; FIG. 6 is a schematic side sectional explanatory view showing a ceramic plasma CVD coating apparatus for a toner holder, FIG. 7 is a schematic plan sectional explanatory view of the same, and FIG. 8 is a schematic illustrating a ceramic sputtering coating apparatus for a thin layer regulating member. It is a cross-sectional explanatory view. 5...Developing device 52...Toner (non-magnetic one-component developer) 54...
Toner supply means (supply roller) 55, what, toner holding body (
developing roller)

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)静電潜像を現像するために搬送される非磁性一成
分系トナーを保持するトナー保持体と、このトナー保持
体に前記トナーを供給する手段と、前記トナー保持体上
のトナーを薄層化する薄層化規制部材とを具備する現像
装置において、前記トナー保持体および前記薄層化規制
部材の少なくとも表面に、Tiおよび/またはW原子を
含有するセラミクスをコーティングしたことを特徴とす
る現像装置。
(1) A toner holder that holds non-magnetic one-component toner conveyed to develop an electrostatic latent image, a means for supplying the toner to the toner holder, and a means for supplying the toner to the toner holder, and a means for supplying the toner to the toner holder. The developing device is equipped with a thinning regulating member that thins the layer, characterized in that at least the surfaces of the toner holder and the thinning regulating member are coated with ceramics containing Ti and/or W atoms. developing device.
(2)コーティングに使用するセラミクス中には、N、
C、O、Hおよびハロゲンから選ばれた少なくとも1種
の原子が含有されていることを特徴とする特許請求の範
囲第(1)項に記載の現像装置。
(2) Ceramics used for coating contain N,
The developing device according to claim 1, wherein the developing device contains at least one type of atom selected from C, O, H, and halogen.
(3)コーティングに使用するセラミクス中には、Hま
たはハロゲン原子が1〜40atomic%含有されて
いることを特徴とする特許請求の範囲第(1)及び(2
)項に記載の現像装置。
(3) Claims (1) and (2) characterized in that the ceramic used for coating contains 1 to 40 atomic% of H or halogen atoms.
Developing device described in item ).
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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