JP7331488B2 - Inertial sensor, manufacturing method of inertial sensor, electronic device and moving object - Google Patents

Inertial sensor, manufacturing method of inertial sensor, electronic device and moving object Download PDF

Info

Publication number
JP7331488B2
JP7331488B2 JP2019116208A JP2019116208A JP7331488B2 JP 7331488 B2 JP7331488 B2 JP 7331488B2 JP 2019116208 A JP2019116208 A JP 2019116208A JP 2019116208 A JP2019116208 A JP 2019116208A JP 7331488 B2 JP7331488 B2 JP 7331488B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode finger
fixed electrode
inertial sensor
axis
movable electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019116208A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2021001828A (en
Inventor
照夫 瀧澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2019116208A priority Critical patent/JP7331488B2/en
Publication of JP2021001828A publication Critical patent/JP2021001828A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7331488B2 publication Critical patent/JP7331488B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Pressure Sensors (AREA)

Description

本発明は、慣性センサー、慣性センサーの製造方法、電子機器及び移動体に関する。 The present invention relates to an inertial sensor, an inertial sensor manufacturing method, an electronic device, and a moving body.

従来から、シリコンＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍ）技術を用いて製造された慣性センサーが開発されている。例えば、特許文献１には、固定電極指と、固定電極指に挟まれて第１方向に変位可能な可動電極指とを有し、第１方向に加わる加速度を検出する加速度センサーが開示されている。このような加速度センサーは、一方の固定電極指と可動電極指との間に生じる静電容量の変化によって加速度を検出させるために、一方の固定電極指と可動電極指との間隔よりも、他方の固定電極指と可動電極指との間隔を広くする必要がある。 Conventionally, inertial sensors manufactured using silicon MEMS (Micro Electro Mechanical System) technology have been developed. For example, Patent Document 1 discloses an acceleration sensor that has fixed electrode fingers and movable electrode fingers sandwiched between the fixed electrode fingers and displaceable in a first direction, and that detects acceleration applied in the first direction. there is In such an acceleration sensor, since the acceleration is detected by a change in the electrostatic capacitance generated between one fixed electrode finger and the movable electrode finger, the distance between the one fixed electrode finger and the movable electrode finger is less than the distance between the other fixed electrode finger and the movable electrode finger. It is necessary to increase the distance between the fixed electrode finger and the movable electrode finger.

特開２０１８－９１８２０号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2018-91820

特許文献１の慣性センサーは、一方の固定電極指と可動電極指との間隔と、他方の固定電極指と可動電極指との間隔と、の間隔差が大きいので、シリコン基板をドライエッチングにて固定電極指と可動電極指とを形成するためのマスクパターンが著しく粗密になる。パターンの粗密によるマイクロローディング効果によって、加速度を検出するための電極指間の加工精度が低下する恐れがあった。 In the inertial sensor of Patent Document 1, since the gap between one fixed electrode finger and the movable electrode finger and the gap between the other fixed electrode finger and the movable electrode finger are large, the silicon substrate is dry-etched. A mask pattern for forming the fixed electrode fingers and the movable electrode fingers becomes extremely coarse and dense. Due to the microloading effect due to the density of the pattern, there is a possibility that the machining accuracy between the electrode fingers for detecting the acceleration may be lowered.

慣性センサーは、第１方向に延在する第１固定電極指及び第２固定電極指と、前記第１固定電極指と前記第２固定電極指との間に位置し、前記第１方向と交差する第２方向に変位可能な可動電極指と、を備え、前記可動電極指は、前記第１固定電極指と対向する第１部分と、前記第１部分と前記第２固定電極指との間に位置する第２部分と、を有し、前記第１部分と前記第１固定電極指との間隔をＤ１、前記第２部分と前記第２固定電極指との間隔をＤ２、前記第１部分と前記第２部分との間隔をＤ３とした時、Ｄ１＜Ｄ２、且つＤ３＜Ｄ２を満たすことを特徴とする。 The inertial sensor is positioned between a first fixed electrode finger and a second fixed electrode finger extending in a first direction and between the first fixed electrode finger and the second fixed electrode finger and intersects the first direction. a movable electrode finger displaceable in a second direction, wherein the movable electrode finger includes a first portion facing the first fixed electrode finger and between the first portion and the second fixed electrode finger. a distance between the first portion and the first fixed electrode finger is D1; a distance between the second portion and the second fixed electrode finger is D2; and the first portion and the second portion, D1<D2 and D3<D2 are satisfied.

上記の慣性センサーは、前記第１部分と前記第２部分とを接続する接続部を有し、Ｄ１＝Ｄ３を満たすことが好ましい。 It is preferable that the inertial sensor has a connecting portion that connects the first portion and the second portion, and satisfies D1=D3.

上記の慣性センサーにおいて、前記第２方向における前記第２部分の幅は、前記第１部分の幅より狭いことが好ましい。 In the above inertial sensor, it is preferable that the width of the second portion in the second direction is narrower than the width of the first portion.

慣性センサーの製造方法であって、第１方向に延在する第１固定電極指及び第２固定電極指と、前記第１固定電極指と前記第２固定電極指との間に位置し、前記第１方向と交差する第２方向に変位可能な可動電極指とをエッチングにて加工する第１の工程、を備え、前記第１の工程は、前記可動電極指を前記第１固定電極指と対向する第１部分と、前記第１部分と前記第２固定電極指との間に位置する第２部分と、に加工する第２の工程を有し、前記第２の工程では、前記第１部分と前記第１固定電極指との間隔をＤ１、前記第２部分と前記第２固定電極指との間隔をＤ２、前記第１部分と前記第２部分との間隔をＤ３とした時、Ｄ１＜Ｄ２、且つＤ３＜Ｄ２に加工することを特徴とする。 In a method for manufacturing an inertial sensor, a first fixed electrode finger and a second fixed electrode finger extending in a first direction are positioned between the first fixed electrode finger and the second fixed electrode finger, and the a first step of etching a movable electrode finger displaceable in a second direction that intersects with the first direction, wherein the first step includes forming the movable electrode finger with the first fixed electrode finger; a second step of processing into a first portion facing each other and a second portion positioned between the first portion and the second fixed electrode finger; D1 is the distance between the portion and the first fixed electrode finger, D2 is the distance between the second portion and the second fixed electrode finger, and D3 is the distance between the first portion and the second portion. <D2 and D3<D2.

電子機器は、上記のいずれかに記載の慣性センサーと、前記慣性センサーから出力される検出信号に基づいて制御を行う制御回路と、を有することを特徴とする。 An electronic device includes any one of the inertial sensors described above, and a control circuit that performs control based on a detection signal output from the inertial sensor.

移動体は、上記のいずれかに記載の慣性センサーと、前記慣性センサーから出力される検出信号に基づいて制御を行う制御回路と、を有することを特徴とする。 A moving object includes any one of the inertial sensors described above, and a control circuit that performs control based on a detection signal output from the inertial sensor.

実施形態１に係る慣性センサーを示す平面図。2 is a plan view showing the inertial sensor according to the first embodiment; FIG. 図１におけるＡ－Ａ線での断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 1; 図１におけるＢ部の拡大斜視図。The enlarged perspective view of the B section in FIG. 図１におけるＢ部の拡大平面図。The enlarged plan view of the B section in FIG. 図１におけるＣ部の拡大平面図。The enlarged plan view of the C section in FIG. 慣性センサーの製造工程を示すフローチャート。4 is a flow chart showing the manufacturing process of the inertial sensor. 慣性センサーの製造工程を説明する断面図。4A to 4C are cross-sectional views for explaining the manufacturing process of the inertial sensor; 慣性センサーの製造工程を説明する断面図。4A to 4C are cross-sectional views for explaining the manufacturing process of the inertial sensor; 慣性センサーの製造工程を説明する断面図。4A to 4C are cross-sectional views for explaining the manufacturing process of the inertial sensor; 慣性センサーの製造工程を説明する断面図。4A to 4C are cross-sectional views for explaining the manufacturing process of the inertial sensor; 慣性センサーの製造工程を説明する断面図。4A to 4C are cross-sectional views for explaining the manufacturing process of the inertial sensor; 変形例１に係るＰ側可動電極指の構成を示す平面図。FIG. 8 is a plan view showing the configuration of a P-side movable electrode finger according to Modification 1; 変形例３に係るＰ側可動電極指の構成を示す平面図。FIG. 11 is a plan view showing the structure of a P-side movable electrode finger according to Modification 3; 変形例４に係るＰ側可動電極指の構成を示す平面図。FIG. 11 is a plan view showing the structure of a P-side movable electrode finger according to Modification 4; 実施形態２に係るスマートフォンを示す斜視図。FIG. 11 is a perspective view showing a smartphone according to Embodiment 2; 実施形態３に係る慣性計測装置を示す分解斜視図。FIG. 11 is an exploded perspective view showing an inertial measurement device according to Embodiment 3; 慣性計測装置が有する基板の斜視図。4 is a perspective view of a substrate included in the inertial measurement device; FIG. 実施形態４に係る移動体測位装置の全体システムを示すブロック図。FIG. 12 is a block diagram showing the overall system of the mobile positioning device according to Embodiment 4; 移動体測位装置の作用を示す図。The figure which shows the effect|action of a mobile positioning apparatus. 実施形態５に係る移動体を示す斜視図。The perspective view which shows the mobile body which concerns on Embodiment 5. FIG.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図においては、各部材等を認識可能な程度の大きさにするため、各部材等の尺度を実際とは異ならせて示している。また、図面に付記する座標においては、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の矢印方向を「プラス側」とする。また、Ｚ軸に沿う両方向は上下方向であり矢印方向を「上」とする。また、Ｙ軸に沿う方向は、第１方向に相当し、Ｘ軸に沿う方向は、第２方向に相当する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following figures, the scale of each member and the like is changed from the actual scale in order to make the size of each member and the like recognizable. In the coordinates attached to the drawings, the arrow directions of the X-axis, Y-axis, and Z-axis are defined as the "plus side". Both directions along the Z-axis are vertical directions, and the arrow direction is defined as "up". Also, the direction along the Y axis corresponds to the first direction, and the direction along the X axis corresponds to the second direction.

１．実施形態１
まず、本発明の慣性センサーについて説明する。図１は、実施形態１に係る慣性センサーを示す平面図である。図２は、図１におけるＡ－Ａ線での断面図である。 1. Embodiment 1
First, the inertial sensor of the present invention will be explained. FIG. 1 is a plan view showing an inertial sensor according to Embodiment 1. FIG. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.

図１及び図２に示す慣性センサー１は、Ｘ軸に沿う物理量としての加速度Ａｘを検出することのできる加速度センサーである。慣性センサー１は、基部２と、基部２上に配置された素子部３と、素子部３を覆うように基部２に接合された蓋部８と、を有している。 The inertial sensor 1 shown in FIGS. 1 and 2 is an acceleration sensor capable of detecting acceleration Ax as a physical quantity along the X axis. The inertial sensor 1 has a base portion 2 , an element portion 3 arranged on the base portion 2 , and a lid portion 8 joined to the base portion 2 so as to cover the element portion 3 .

１－１．基部
基部２は、矩形の平面視形状を有する板状をなし、上面側に開放する凹部２１を有している。また、Ｚ軸方向の平面視で、凹部２１は、素子部３を内側に内包するように、素子部３よりも大きく形成されている。この凹部２１は、素子部３と基部２との接触を防止するための逃げ部として機能する。 1-1. Base The base 2 has a plate-like shape with a rectangular plan view, and has a concave portion 21 open to the upper surface side. Further, the concave portion 21 is formed to be larger than the element portion 3 so as to enclose the element portion 3 inside when viewed from above in the Z-axis direction. This concave portion 21 functions as a relief portion for preventing contact between the element portion 3 and the base portion 2 .

基部２は、凹部２１の底面に設けられた３つの突起状のマウント部２２，２３，２４を有している。基部２は、上面側に開放する溝部２５，２６，２７を有している。また、溝部２５，２６，２７は、それぞれ、凹部２１の底面に接続され、更にその他端部は、蓋部８の外側にまで引き出されている。 The base portion 2 has three projecting mount portions 22 , 23 and 24 provided on the bottom surface of the recess 21 . The base 2 has grooves 25, 26, and 27 that are open on the upper surface side. The grooves 25 , 26 , 27 are connected to the bottom surface of the recess 21 , and the other ends are drawn outside the lid 8 .

基部２としては、例えば、アルカリ金属イオンを含むパイレックス（登録商標）のような硼珪酸ガラスなどのガラス材で構成されたガラス基板を用いることができる。これにより、蓋部８の構成材料によっては、基部２と蓋部８とを陽極接合により接合することができ、これらを強固に接合することができる。また、光透過性を有する基部２が得られるため、慣性センサー１の外側から、基部２を介して素子部３の状態を視認することができる。なお、基部２としては、ガラス基板に限定されず、例えば、シリコン基板、石英基板、或いはセラミックス基板を用いてもよい。シリコン基板を用いる場合は、短絡を防止する観点から、高抵抗のシリコン基板を用いるか、表面に熱酸化等によって絶縁性酸化物であるシリコン酸化膜を形成したシリコン基板を用いることが好ましい。 As the base 2, for example, a glass substrate made of a glass material such as borosilicate glass such as Pyrex (registered trademark) containing alkali metal ions can be used. As a result, depending on the constituent material of the lid portion 8, the base portion 2 and the lid portion 8 can be joined by anodic bonding, and these can be firmly bonded. Moreover, since the base portion 2 having optical transparency is obtained, the state of the element portion 3 can be visually recognized from the outside of the inertial sensor 1 through the base portion 2 . Note that the base 2 is not limited to the glass substrate, and may be a silicon substrate, a quartz substrate, or a ceramics substrate, for example. When a silicon substrate is used, it is preferable to use a high-resistance silicon substrate or a silicon substrate having a silicon oxide film, which is an insulating oxide, formed on the surface thereof by thermal oxidation or the like, from the viewpoint of preventing short circuits.

溝部２５には配線７１が、溝部２６には配線７２が、溝部２７には配線７３が設けられている。図１に示す配線７１，７２，７３の一端部は、平面視で蓋部８の外側に露出しており、外部装置との電気的な接続を行う端子として機能する。
図１に示す配線７１の他端部は、図２に示すマウント部２２の上面側に開放する溝部２５に設けられている。すなわち、配線７１は、凹部２１の側壁、底面及びマウント部２２の側壁にも形成され、凹部２１を介してマウント部２２まで引き回されている。
図１に示す配線７２の他端部は、図２に示すマウント部２３の上面側に開放する溝部２６に設けられている。すなわち、配線７２は、凹部２１の側壁、底面及びマウント部２３の側壁にも形成され、凹部２１を介してマウント部２３まで引き回されている。
図１に示す配線７３の他端部は、図２に示すマウント部２４の上面側に開放する溝部２６に設けられている。すなわち、配線７３は、凹部２１の側壁、底面及びマウント部２４の側壁にも形成され、凹部２１を介してマウント部２４まで引き回されている。 A wiring 71 is provided in the groove 25 , a wiring 72 is provided in the groove 26 , and a wiring 73 is provided in the groove 27 . One ends of the wirings 71, 72, and 73 shown in FIG. 1 are exposed outside the lid portion 8 in plan view, and function as terminals for electrical connection with an external device.
The other end portion of the wiring 71 shown in FIG. 1 is provided in the groove portion 25 opened to the upper surface side of the mount portion 22 shown in FIG. That is, the wiring 71 is also formed on the side wall and bottom surface of the recess 21 and the side wall of the mount portion 22 and is routed through the recess 21 to the mount portion 22 .
The other end portion of the wiring 72 shown in FIG. 1 is provided in the groove portion 26 that opens to the upper surface side of the mount portion 23 shown in FIG. That is, the wiring 72 is also formed on the side wall and bottom surface of the recess 21 and the side wall of the mount portion 23 , and is routed to the mount portion 23 via the recess 21 .
The other end portion of the wiring 73 shown in FIG. 1 is provided in the groove portion 26 opened to the upper surface side of the mount portion 24 shown in FIG. That is, the wiring 73 is also formed on the sidewalls and bottom surface of the recess 21 and the sidewalls of the mount portion 24 and is routed to the mount portion 24 via the recess 21 .

配線７１，７２，７３の構成材料としては、特に限定されず、例えば、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、イリジウム（Ｉｒ）、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）等の金属材料、これら金属材料を含む合金、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ）、ＺｎＯ、ＩＧＺＯ等の酸化物系の透明導電性材料が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を積層して用いることができる。 Materials constituting the wirings 71, 72, and 73 are not particularly limited, and examples thereof include gold (Au), silver (Ag), platinum (Pt), palladium (Pd), iridium (Ir), copper (Cu), and aluminum. Metal materials such as (Al), nickel (Ni), titanium (Ti), tungsten (W), alloys containing these metal materials, oxidation of ITO (Indium Tin Oxide), IZO (Indium Zinc Oxide), ZnO, IGZO, etc. material-based transparent conductive materials, and one or more of these can be used by laminating.

１－２．蓋部
蓋部８は、矩形の平面視形状を有する板状をなし、下面側に開放する凹部８１を有している。蓋部８は、平面視で凹部８１内に素子部３を収納するようにして、基部２に接合されている。そして、蓋部８および基部２によって、素子部３を収納する収納空間Ｓが形成されている。蓋部８は、収納空間Ｓの内外を連通する連通孔８２を有しており、この連通孔８２を介して収納空間Ｓを所望の雰囲気に置換することができる。また、連通孔８２には、封止部材８３が配置され、封止部材８３によって、連通孔８２が封止されている。 1-2. Lid Portion The lid portion 8 has a plate-like shape having a rectangular plan view shape, and has a concave portion 81 that opens downward. The lid portion 8 is joined to the base portion 2 so that the element portion 3 is accommodated in the recessed portion 81 in plan view. A storage space S for storing the element portion 3 is formed by the lid portion 8 and the base portion 2 . The lid portion 8 has a communication hole 82 that communicates the inside and outside of the storage space S, and the storage space S can be replaced with a desired atmosphere through the communication hole 82 . A sealing member 83 is arranged in the communication hole 82 , and the communication hole 82 is sealed by the sealing member 83 .

封止部材８３としては、連通孔８２を封止できれば、特に限定されず、例えば、金（Ａｕ）／錫（Ｓｎ）系合金、金（Ａｕ）／ゲルマニウム（Ｇｅ）系合金、金（Ａｕ）／アルミニウム（Ａｌ）系合金等の各種合金、低融点ガラス等のガラス材料等を用いることができる。収納空間Ｓは、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されて、－４０℃～８５℃程度の使用温度で、ほぼ大気圧となっていることが好ましい。収納空間Ｓを大気圧とすることで、粘性抵抗が増してダンピング効果が発揮され、可動部５２の振動を速やかに収束させることができる。そのため、慣性センサー１の加速度Ａｘの検出精度が向上する。 The sealing member 83 is not particularly limited as long as it can seal the communication hole 82. For example, gold (Au)/tin (Sn) alloy, gold (Au)/germanium (Ge) alloy, gold (Au) / Various alloys such as aluminum (Al) alloys, glass materials such as low-melting glass, and the like can be used. The storage space S is preferably sealed with an inert gas such as nitrogen, helium, argon, etc., and has a working temperature of about -40°C to 85°C and a pressure of approximately atmospheric pressure. By setting the storage space S to the atmospheric pressure, the viscous resistance is increased, the damping effect is exhibited, and the vibration of the movable portion 52 can be quickly converged. Therefore, the detection accuracy of the acceleration Ax of the inertial sensor 1 is improved.

本実施形態の蓋部８は、シリコン基板で構成されている。ただし、蓋部８としては、シリコン基板に限定されず、例えば、ガラス基板やセラミックス基板を用いてもよい。また、基部２と蓋部８との接合方法としては、特に限定されず、基部２や蓋部８の材料によって適宜選択すればよいが、例えば、陽極接合、プラズマ照射によって活性化させた接合面同士を接合させる活性化接合、ガラスフリット等の接合材による接合、基部２の上面および蓋部８の下面に成膜した金属膜同士を接合する金属共晶接合等が挙げられる。 The lid portion 8 of this embodiment is made of a silicon substrate. However, the lid portion 8 is not limited to a silicon substrate, and may be a glass substrate or a ceramics substrate, for example. In addition, the method of joining the base 2 and the lid 8 is not particularly limited, and may be appropriately selected depending on the materials of the base 2 and the lid 8. For example, anodic bonding, bonding surface activated by plasma irradiation Activation bonding for bonding them together, bonding with a bonding material such as glass frit, metal eutectic bonding for bonding metal films formed on the upper surface of the base 2 and the lower surface of the lid 8, and the like can be mentioned.

本実施形態では、接合材の一例である低融点ガラスのガラスフリット８９を介して基部２と蓋部８とが接合されている。基部２と蓋部８とを重ね合わせた状態では、溝部２５，２６，２７を介して収納空間Ｓの内外が連通してしまうが、ガラスフリット８９を用いることで、基部２と蓋部８とを接合すると共に、溝部２５，２６，２７を封止することができ、より容易に、収納空間Ｓを気密封止することができる。なお、基部２と蓋部８とを溝部２５，２６，２７を封止できない接合方法である陽極接合等で接合した場合には、例えば、テトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）を用いたＣＶＤ法等で形成されたＳｉＯ2膜によって溝部２５，２６，２７を塞ぐことができる。 In the present embodiment, the base portion 2 and the lid portion 8 are joined via a glass frit 89 of low-melting-point glass, which is an example of a joining material. When the base portion 2 and the lid portion 8 are overlapped, the inside and outside of the storage space S communicate through the grooves 25, 26, and 27. However, by using the glass frit 89, the base portion 2 and the lid portion 8 can be are joined together, the grooves 25, 26, and 27 can be sealed, and the storage space S can be hermetically sealed more easily. When the base portion 2 and the lid portion 8 are joined by anodic bonding or the like, which is a joining method that cannot seal the groove portions 25, 26, and 27, for example, the CVD method using tetraethoxysilane (TEOS) is used. The grooves 25, 26 and 27 can be closed with the SiO 2 film formed by the deposition.

１－３．素子部
図１に示すように、素子部３は、基部２に固定されている固定電極部４と、基部２に固定されている可動部支持部５１と、可動部支持部５１に対してＸ軸に沿う両方向に変位可能な可動部５２と、可動部支持部５１と可動部５２とを連結するバネ部５３，５４と、を有している。可動部５２には、可動部５２の外周を形成する枠部５２１及び可動電極部６が構成されている。可動部支持部５１、可動部５２、バネ部５３，５４および可動電極部６は、一体的に形成されている。素子部３は、例えば、リン（Ｐ）、ボロン（Ｂ）等の不純物がドープされたシリコン基板をパターニングすることで形成することができる。なお、素子部３の材料は、導電性を備えていれば特に限定されない。 1-3. Element Portion As shown in FIG. 1, the element portion 3 includes a fixed electrode portion 4 fixed to the base portion 2, a movable portion support portion 51 fixed to the base portion 2, and an X-axis with respect to the movable portion support portion 51. It has a movable portion 52 that can be displaced in both directions along the axis, and spring portions 53 and 54 that connect the movable portion support portion 51 and the movable portion 52 . The movable portion 52 includes a frame portion 521 forming the outer periphery of the movable portion 52 and the movable electrode portion 6 . The movable portion support portion 51, the movable portion 52, the spring portions 53 and 54, and the movable electrode portion 6 are integrally formed. The element section 3 can be formed, for example, by patterning a silicon substrate doped with impurities such as phosphorus (P) and boron (B). The material of the element portion 3 is not particularly limited as long as it has conductivity.

可動部支持部５１は、Ｘ軸に沿って延在する長手形状をなし、Ｘ軸に沿うマイナス側にマウント部２４と接合している接合部５１１を有している。なお、本実施形態では、可動部支持部５１は、Ｘ軸に沿って延在する長手形状となっているが、可動部支持部５１の形状としては、その機能を発揮することができる限り、特に限定されない。また、以下では、Ｚ軸から見た平面視で、可動部支持部５１をＹ軸方向に二等分する仮想軸を中心軸Ｌとする。 The movable portion support portion 51 has a longitudinal shape extending along the X axis, and has a joint portion 511 joined to the mount portion 24 on the minus side along the X axis. In this embodiment, the movable part support part 51 has a longitudinal shape extending along the X axis. It is not particularly limited. Further, hereinafter, a central axis L is defined as a virtual axis that bisects the movable portion support portion 51 in the Y-axis direction in plan view from the Z-axis.

固定電極部４及び可動電極部６を構成する領域はＹ軸に沿って２つ並んでおり、可動部支持部５１はその間に位置している。これにより、可動部支持部５１を、可動部５２の中心部に配置することができ、可動部５２をより安定して支持することができる。なお、以下の説明では、可動部支持部５１に対して、Ｙ軸に沿うプラス側の領域を「Ｐ側」、Ｙ軸に沿うマイナス側の領域を「Ｎ側」という。 Two regions constituting the fixed electrode portion 4 and the movable electrode portion 6 are arranged along the Y-axis, and the movable portion support portion 51 is positioned between them. Thereby, the movable part support part 51 can be arranged in the center part of the movable part 52, and the movable part 52 can be supported more stably. In the following description, the region on the plus side along the Y-axis with respect to the movable portion supporting portion 51 is called the "P side", and the region on the minus side along the Y-axis is called the "N side".

固定電極部４は、Ｐ側固定電極部４１とＮ側固定電極部４２とを有している。Ｐ側固定電極部４１は、陽極接合によって基部２のマウント部２２に接合され、配線７１と電気的に接続されている。Ｎ側固定電極部４２は、陽極接合によって基部２のマウント部２３に接合され、配線７２と電気的に接合されている。可動電極部６は、Ｐ側可動電極部６１とＮ側可動電極部６２とを有している。可動部支持部５１は、陽極接合によって基部２のマウント部２４に接合され、Ｐ側可動電極部６１及びＮ側可動電極部６２は、枠部５２１、バネ部５３，５４及び可動部支持部５１を介して配線７３と電気的に接合されている。なお、電気的な接合方法は、特に限定されない。 The fixed electrode section 4 has a P-side fixed electrode section 41 and an N-side fixed electrode section 42 . The P-side fixed electrode portion 41 is bonded to the mount portion 22 of the base portion 2 by anodic bonding and electrically connected to the wiring 71 . The N-side fixed electrode portion 42 is bonded to the mount portion 23 of the base portion 2 by anodic bonding and electrically connected to the wiring 72 . The movable electrode portion 6 has a P-side movable electrode portion 61 and an N-side movable electrode portion 62 . The movable portion support portion 51 is joined to the mount portion 24 of the base portion 2 by anodic bonding, and the P-side movable electrode portion 61 and the N-side movable electrode portion 62 are connected to the frame portion 521, the spring portions 53 and 54, and the movable portion support portion 51. is electrically connected to the wiring 73 via the . Note that the electrical connection method is not particularly limited.

可動部５２は、平面視で内側にＰ側固定電極部４１が配置されているＰ側開口部５２８と、内側にＮ側固定電極部４２が配置されているＮ側開口部５２９と、を有している。Ｐ側、Ｎ側開口部５２８，５２９は、Ｙ軸に沿って並んで配置されている。可動部５２は、可動部支持部５１、バネ部５３，５４およびＰ側、Ｎ側固定電極部４１，４２を囲む枠部５２１を有している。可動部５２のＰ側には、枠部５２１からＹ軸に沿うマイナス側へ延出するＰ側Ｙ軸延在部５２２と、Ｐ側Ｙ軸延在部５２２の先端部からＸ軸に沿うマイナス側へ延出するＰ側Ｘ軸延在部５２３と、が構成されている。可動部５２のＮ側には、枠部５２１からＹ軸に沿うプラス側へ延出するＮ側Ｙ軸延在部５２４と、Ｎ側Ｙ軸延在部５２４の先端部からＸ軸に沿うマイナス側へ延出するＮ側Ｘ軸延在部５２５と、が構成されている。可動部５２の各部は、中心軸Ｌに対して対称に配置されている。 The movable portion 52 has a P-side opening 528 inside which the P-side fixed electrode portion 41 is arranged and an N-side opening 529 inside which the N-side fixed electrode portion 42 is arranged in plan view. are doing. The P-side and N-side openings 528 and 529 are arranged side by side along the Y-axis. The movable portion 52 has a frame portion 521 surrounding the movable portion support portion 51 , the spring portions 53 and 54 , and the P-side and N-side fixed electrode portions 41 and 42 . On the P side of the movable portion 52, a P-side Y-axis extending portion 522 extending from the frame portion 521 to the negative side along the Y-axis and a negative Y-axis extending portion 522 extending from the tip of the P-side Y-axis extending portion 522 along the X-axis are provided. A P-side X-axis extension portion 523 extending to the side is configured. On the N side of the movable portion 52, an N-side Y-axis extending portion 524 extending from the frame portion 521 to the positive side along the Y-axis and a negative Y-axis extending portion 524 extending from the tip of the N-side Y-axis extending portion 524 along the X-axis. and an N-side X-axis extension portion 525 extending to the side. Each part of the movable part 52 is arranged symmetrically with respect to the central axis L. As shown in FIG.

Ｐ側、Ｎ側Ｙ軸延在部５２２，５２４は、それぞれ、バネ部５３の近くに設けられ、バネ部５３のバネ片５３１，５３２が延在するＹ軸に沿うように配置されている。Ｐ側、Ｎ側Ｘ軸延在部５２３，５２５は、それぞれ、可動部支持部５１の近くに設けられ、可動部支持部５１に沿って配置されている。Ｐ側Ｙ軸延在部５２２およびＰ側Ｘ軸延在部５２３は、Ｐ側可動電極指６１１を支持する支持部として機能し、Ｎ側Ｙ軸延在部５２４およびＮ側Ｘ軸延在部５２５は、Ｎ側可動電極指６２１を支持する支持部として機能する。 The P-side and N-side Y-axis extension portions 522 and 524 are respectively provided near the spring portion 53 and arranged along the Y-axis along which the spring pieces 531 and 532 of the spring portion 53 extend. The P-side and N-side X-axis extension portions 523 and 525 are respectively provided near the movable portion support portion 51 and arranged along the movable portion support portion 51 . The P-side Y-axis extension portion 522 and the P-side X-axis extension portion 523 function as support portions for supporting the P-side movable electrode finger 611, and the N-side Y-axis extension portion 524 and the N-side X-axis extension portion function as support portions. 525 functions as a support for supporting the N-side movable electrode finger 621 .

バネ部５３，５４は、弾性変形可能であり、バネ部５３，５４が弾性変形することで、可動部５２が可動部支持部５１に対してＸ軸に沿って変位することができる。バネ部５３は、中心軸Ｌにおいて、枠部５２１のＸ軸方向プラス側の内壁と可動部支持部５１のＸ軸方向プラス側の端部とを連結している。バネ部５４は、中心軸Ｌにおいて、枠部５２１のＸ軸方向マイナス側の内壁と可動部支持部５１のＸ軸方向マイナス側の端部とを連結している。これにより、可動部５２をＸ軸に沿う中心軸Ｌの両側で支持することができため、可動部５２の姿勢および挙動が安定する。そのため、不要な振動を低減させ、より高い精度で、加速度Ａｘを検出することができる。 The spring portions 53 and 54 are elastically deformable, and the elastic deformation of the spring portions 53 and 54 allows the movable portion 52 to be displaced along the X-axis with respect to the movable portion support portion 51 . The spring portion 53 connects the inner wall of the frame portion 521 on the positive side in the X-axis direction with the end portion of the movable portion support portion 51 on the positive side in the X-axis direction. The spring portion 54 connects the inner wall of the frame portion 521 on the negative side in the X-axis direction to the end portion of the movable portion support portion 51 on the negative side in the X-axis direction. As a result, the movable portion 52 can be supported on both sides of the central axis L along the X axis, so that the posture and behavior of the movable portion 52 are stabilized. Therefore, unnecessary vibration can be reduced, and the acceleration Ax can be detected with higher accuracy.

バネ部５３は、Ｙ軸に沿って並んで配置された一対のバネ片５３１，５３２を有している。また、一対のバネ片５３１，５３２は、それぞれ、Ｙ軸に沿って蛇行した形状をなし、中心軸Ｌに対して対称に形成されている。バネ部５３は、Ｙ軸方向に長く延在した部分５３ｙと、Ｘ軸方向に短く延在した部分５３ｘと、を有している。なお、バネ部５４の構成は、バネ部５３の構成と同様である。 The spring portion 53 has a pair of spring pieces 531 and 532 arranged side by side along the Y-axis. Also, the pair of spring pieces 531 and 532 are formed symmetrically with respect to the central axis L, each having a meandering shape along the Y-axis. The spring portion 53 has a portion 53y extending long in the Y-axis direction and a portion 53x extending short in the X-axis direction. The configuration of the spring portion 54 is the same as that of the spring portion 53 .

このように、バネ部５３，５４を、Ｘ軸よりもＹ軸に長い形状とすることで、加速度Ａｘが加わった際に、可動部５２がＺ軸まわりの回転変位などのＸ軸以外に変位することを抑制することができる。そのため、不要な振動を低減させ、より高い精度で加速度Ａｘを検出することができる。ただし、バネ部５３，５４の構成としては、その機能を発揮することができる限り、特に限定されない。 Thus, by making the spring portions 53 and 54 longer in the Y-axis than in the X-axis, when the acceleration Ax is applied, the movable portion 52 is displaced along the axis other than the X-axis, such as rotational displacement around the Z-axis. can be suppressed. Therefore, unnecessary vibration can be reduced, and the acceleration Ax can be detected with higher accuracy. However, the configuration of the spring portions 53 and 54 is not particularly limited as long as the functions can be exhibited.

固定電極部４は、Ｐ側開口部５２８内に位置するＰ側固定電極部４１と、Ｎ側開口部５２９に位置するＮ側固定電極部４２と、を有している。Ｐ側、Ｎ側固定電極部４１，４２は、Ｙ軸に沿って並んで配置されている。 The fixed electrode section 4 has a P-side fixed electrode section 41 located within the P-side opening 528 and an N-side fixed electrode section 42 located within the N-side opening 529 . The P-side and N-side fixed electrode portions 41 and 42 are arranged side by side along the Y-axis.

Ｐ側固定電極部４１は、基部２に固定されたＰ側幹部支持部４１３と、Ｐ側幹部支持部４１３に支持されたＰ側幹部４１１と、Ｙ軸に沿って延在する複数のＰ側固定電極指４１２と、を有している。 The P-side fixed electrode portion 41 includes a P-side trunk support portion 413 fixed to the base portion 2, a P-side trunk support portion 411 supported by the P-side trunk support portion 413, and a plurality of P-side electrodes extending along the Y-axis. and a fixed electrode finger 412 .

Ｐ側幹部支持部４１３は、マウント部２２の上面と接合された接合部４１３ａを有している。なお、接合部４１３ａは、Ｐ側幹部支持部４１３のＸ軸方向でマイナス側に偏って配置されている。 The P-side trunk support portion 413 has a joint portion 413 a joined to the upper surface of the mount portion 22 . In addition, the joint portion 413a is arranged biased toward the negative side of the P-side trunk support portion 413 in the X-axis direction.

Ｐ側幹部４１１は、棒状の長手形状をなし、その基端がＰ側幹部支持部４１３に接続されている。Ｐ側幹部４１１は、その先端側に向けて中心軸Ｌとの離間距離が大きくなるように傾斜している。このような配置とすることで、Ｐ側幹部支持部４１３を可動部支持部５１の近くに配置することができる。 The P-side trunk 411 has a long rod-like shape, and its proximal end is connected to the P-side trunk support portion 413 . The P-side trunk 411 is inclined so that the separation distance from the central axis L increases toward its distal end. With such an arrangement, the P-side trunk support portion 413 can be arranged near the movable portion support portion 51 .

なお、Ｐ側幹部４１１の軸Ｌ４１１と中心軸Ｌとが成す角度は、特に限定されないが、１０°以上、４５°以下であること好ましく、１０°以上、３０°以下であることがより好ましい。これにより、Ｐ側固定電極部４１のＹ軸方向への広がりを抑制することができ、素子部３の小型化を図ることができる。 Although the angle formed by the axis L411 of the P-side trunk 411 and the central axis L is not particularly limited, it is preferably 10° or more and 45° or less, and more preferably 10° or more and 30° or less. As a result, the expansion of the P-side fixed electrode portion 41 in the Y-axis direction can be suppressed, and the size of the element portion 3 can be reduced.

Ｐ側固定電極指４１２は、Ｐ側幹部４１１からＹ軸に沿う両側に延出し、Ｘ軸に沿って互いに離間して設けられている。複数のＰ側固定電極指４１２の一方の先端は、枠部５２１と離間して位置し、複数のＰ側固定電極指４１２の他方の先端は、Ｐ側Ｘ軸延在部５２３と離間して位置している。Ｐ側固定電極指４１２の総長さは、それぞれ、ほぼ同じである。 The P-side fixed electrode fingers 412 extend from the P-side trunk 411 to both sides along the Y-axis and are spaced apart from each other along the X-axis. One tip of the plurality of P-side fixed electrode fingers 412 is positioned apart from the frame portion 521 , and the other tip of the plurality of P-side fixed electrode fingers 412 is positioned apart from the P-side X-axis extension portion 523 . positioned. The total length of the P-side fixed electrode fingers 412 is approximately the same.

Ｎ側固定電極部４２は、基部２に固定されたＮ側幹部支持部４２３と、Ｎ側幹部支持部４２３に支持されたＮ側幹部４２１と、Ｎ側幹部４２１に支持された複数のＮ側固定電極指４２２と、を有している。なお、Ｎ側幹部支持部４２３、Ｎ側幹部４２１および各Ｎ側固定電極指４２２は、一体形成されている。 The N-side fixed electrode portion 42 includes an N-side trunk support portion 423 fixed to the base portion 2 , an N-side trunk 421 supported by the N-side trunk support portion 423 , and a plurality of N-side trunks 421 supported by the N-side trunk support portion 421 . and a fixed electrode finger 422 . Note that the N-side trunk support portion 423, the N-side trunk 421, and the respective N-side fixed electrode fingers 422 are integrally formed.

Ｎ側幹部支持部４２３は、マウント部２３の上面と接合された接合部４２３ａを有している。なお、接合部４２３ａは、Ｎ側幹部支持部４２３のＸ軸方向でマイナス側に偏って配置されている。 The N-side trunk support portion 423 has a joint portion 423a joined to the upper surface of the mount portion 23. As shown in FIG. In addition, the joint portion 423a is arranged biased toward the negative side of the N-side trunk support portion 423 in the X-axis direction.

Ｎ側幹部４２１は、棒状の長手形状をなし、その基端がＮ側幹部支持部４２３に接続されている。Ｎ側幹部４２１は、その先端側に向けて中心軸Ｌとの離間距離が大きくなるように傾斜している。このような配置とすることで、Ｎ側幹部支持部４２３を可動部支持部５１の近くに配置することができる。 The N-side trunk 421 has a rod-like longitudinal shape, and its proximal end is connected to the N-side trunk support portion 423 . The N-side trunk 421 is inclined so that the separation distance from the central axis L increases toward its distal end. With such an arrangement, the N-side trunk support portion 423 can be arranged near the movable portion support portion 51 .

なお、Ｎ側幹部４２１の軸Ｌ４２１と中心軸Ｌとが成す角度は、特に限定されないが、１０°以上、４５°以下であること好ましく、１０°以上、３０°以下であることがより好ましい。これにより、Ｎ側固定電極部４２のＹ軸方向への広がりを抑制することができ、素子部３の小型化を図ることができる。 Although the angle formed by the axis L421 of the N-side trunk 421 and the central axis L is not particularly limited, it is preferably 10° or more and 45° or less, and more preferably 10° or more and 30° or less. As a result, the spread of the N-side fixed electrode portion 42 in the Y-axis direction can be suppressed, and the size of the element portion 3 can be reduced.

Ｎ側固定電極指４２２は、Ｎ側幹部４２１からＹ軸に沿う両側に延出し、Ｘ軸に沿って互いに離間して設けられている。複数のＮ側固定電極指４２２の一方の先端は、Ｎ側Ｘ軸延在部５２５と離間して位置し、複数のＮ側固定電極指４２２の他方の先端は、枠部５２１と離間して位置している。Ｎ側固定電極指４２２の総長さは、それぞれ、ほぼ同じである。 The N-side fixed electrode fingers 422 extend from the N-side stem 421 to both sides along the Y-axis and are spaced apart from each other along the X-axis. One tip of the plurality of N-side fixed electrode fingers 422 is positioned apart from the N-side X-axis extending portion 525, and the other tip of the plurality of N-side fixed electrode fingers 422 is positioned apart from the frame portion 521. positioned. The total length of the N-side fixed electrode fingers 422 is approximately the same.

可動電極部６は、Ｐ側可動電極部６１と、Ｎ側可動電極部６２と、を有している。これらＰ側、Ｎ側可動電極部６１，６２は、Ｙ軸に沿って並んで配置されている。 The movable electrode portion 6 has a P-side movable electrode portion 61 and an N-side movable electrode portion 62 . These P-side and N-side movable electrode portions 61 and 62 are arranged side by side along the Y-axis.

Ｐ側可動電極部６１は、Ｙ軸に沿って延在する複数のＰ側可動電極指６１１を有している。Ｐ側可動電極指６１１は、枠部５２１とＰ側Ｘ軸延在部５２３とからＰ側幹部４１１に向けてＹ軸に沿って延出し、Ｘ軸に沿って互いに離間して設けられている。複数のＰ側可動電極指６１１のそれぞれの先端は、Ｐ側幹部４１１と離間して位置している。Ｐ側可動電極指６１１の総長さは、それぞれ、ほぼ同じである。 The P-side movable electrode portion 61 has a plurality of P-side movable electrode fingers 611 extending along the Y-axis. The P-side movable electrode fingers 611 extend from the frame portion 521 and the P-side X-axis extension portion 523 toward the P-side trunk 411 along the Y-axis, and are spaced apart from each other along the X-axis. . Each tip of the plurality of P-side movable electrode fingers 611 is positioned apart from the P-side trunk 411 . The total length of the P-side movable electrode fingers 611 is approximately the same.

Ｎ側可動電極部６２は、Ｙ軸に沿って延在する複数のＮ側可動電極指６２１を有している。Ｎ側可動電極指６２１は、Ｎ側Ｘ軸延在部５２５と枠部５２１とからＮ側幹部４２１に向けてＹ軸に沿って延出し、Ｘ軸に沿って互いに離間して設けられている。複数のＮ側可動電極指６２１のそれぞれの先端は、Ｎ側幹部４２１と離間して位置している。Ｎ側可動電極指６２１の総長さは、それぞれ、ほぼ同じである。 The N-side movable electrode portion 62 has a plurality of N-side movable electrode fingers 621 extending along the Y-axis. The N-side movable electrode fingers 621 extend along the Y-axis from the N-side X-axis extension portion 525 and the frame portion 521 toward the N-side trunk portion 421 and are spaced apart from each other along the X-axis. . Each tip of the plurality of N-side movable electrode fingers 621 is positioned apart from the N-side trunk 421 . The total length of the N-side movable electrode fingers 621 is approximately the same.

次に、周期的に並ぶ各電極指の電極パターンについて詳述する。図３は、図１におけるＢ部の拡大斜視図である。図４は、図１におけるＢ部の拡大平面図である。図５は、図１におけるＣ部の拡大平面図である。 Next, the electrode pattern of each electrode finger arranged periodically will be described in detail. 3 is an enlarged perspective view of a portion B in FIG. 1. FIG. 4 is an enlarged plan view of a portion B in FIG. 1. FIG. 5 is an enlarged plan view of a portion C in FIG. 1. FIG.

Ｐ側の電極パターンは、Ｐ側固定電極指４１２とＰ側可動電極指６１１とがＸ軸に沿って周期的に配置されている。Ｐ側固定電極指４１２は、Ｐ側幹部４１１から伸びてＹ軸に沿って延在し、Ｘ軸に沿うプラス側に向って順に並ぶ第１固定電極指としてのＰ側第１固定電極指４１２ａ、第２固定電極指としてのＰ側第２固定電極指４１２ｂを含んでいる。 In the P-side electrode pattern, P-side fixed electrode fingers 412 and P-side movable electrode fingers 611 are periodically arranged along the X-axis. The P-side fixed electrode fingers 412 extend from the P-side trunk 411 along the Y-axis, and are arranged in order toward the positive side along the X-axis. , the P-side second fixed electrode finger 412b as the second fixed electrode finger.

Ｘ軸に沿う両方向に変位可能な可動電極指としてのＰ側可動電極指６１１は、Ｐ側第１固定電極指４１２ａとＰ側第２固定電極指４１２ｂとの間に位置している。Ｐ側可動電極指６１１は、Ｐ側第１固定電極指４１２ａと対向する第１部分６１１ａと、第１部分６１１ａとＰ側第２固定電極指４１２ｂとの間に位置する第２部分６１１ｂと、第１部分６１１ａと第２部分６１１ｂとを接続する接続部６１１ｃとを有している。 A P-side movable electrode finger 611 as a movable electrode finger displaceable in both directions along the X-axis is located between the P-side first fixed electrode finger 412a and the P-side second fixed electrode finger 412b. The P-side movable electrode finger 611 has a first portion 611a facing the P-side first fixed electrode finger 412a, a second portion 611b located between the first portion 611a and the P-side second fixed electrode finger 412b, It has a connection portion 611c that connects the first portion 611a and the second portion 611b.

Ｐ側第１固定電極指４１２ａ、Ｐ側第２固定電極指４１２ｂ、第１部分６１１ａ及び第２部分６１１ｂは、Ｚ軸に沿い短冊状の直方体を成している。Ｐ側可動電極指６１１は、対をなすＰ側第１固定電極指４１２ａに対してＸ軸に沿うプラス側に位置し、第１部分６１１ａは、Ｐ側第１固定電極指４１２ａと間隔Ｄ１で対向している。第２部分６１１ｂは、第１部分６１１ａと間隔Ｄ３を保って接続部６１１ｃで接続され、Ｐ側第２固定電極指４１２ｂと間隔Ｄ２で離間している。 The P-side first fixed electrode finger 412a, the P-side second fixed electrode finger 412b, the first portion 611a, and the second portion 611b form a strip-shaped rectangular parallelepiped along the Z-axis. The P-side movable electrode finger 611 is positioned on the positive side along the X-axis with respect to the paired P-side first fixed electrode finger 412a, and the first portion 611a is spaced apart from the P-side first fixed electrode finger 412a by a distance D1. facing each other. The second portion 611b is connected to the first portion 611a by a connection portion 611c with a distance D3, and is separated from the P-side second fixed electrode finger 412b by a distance D2.

Ｎ側の電極パターンは、Ｎ側固定電極指４２２とＮ側可動電極指６２１とがＸ軸に沿って周期的に配置されている。
Ｎ側固定電極指４２２は、Ｎ側幹部４２１から伸びてＹ軸に沿って延在し、Ｘ軸に沿うマイナス側に向って順に並ぶ第１固定電極指としてのＮ側第１固定電極指４２２ａ、第２固定電極指としてのＮ側第２固定電極指４２２ｂを含んでいる。 In the N-side electrode pattern, N-side fixed electrode fingers 422 and N-side movable electrode fingers 621 are periodically arranged along the X-axis.
The N-side fixed electrode fingers 422 extend from the N-side stem 421 along the Y-axis, and are arranged in order toward the negative side along the X-axis. , the N-side second fixed electrode finger 422b as the second fixed electrode finger.

Ｘ軸に沿う両方向に変位可能な可動電極指としてのＮ側可動電極指６２１は、Ｎ側第１固定電極指４２２ａとＮ側第２固定電極指４２２ｂとの間に位置している。Ｎ側可動電極指６２１は、Ｎ側第１固定電極指４２２ａと対向する第１部分６２１ａと、第１部分６２１ａとＮ側第２固定電極指４２２ｂとの間に位置する第２部分６２１ｂと、第１部分６２１ａと第２部分６２１ｂとを接続する接続部６２１ｃとを有している。 An N-side movable electrode finger 621 as a movable electrode finger displaceable in both directions along the X-axis is positioned between the N-side first fixed electrode finger 422a and the N-side second fixed electrode finger 422b. The N-side movable electrode finger 621 has a first portion 621a facing the N-side first fixed electrode finger 422a, a second portion 621b positioned between the first portion 621a and the N-side second fixed electrode finger 422b, It has a connecting portion 621c that connects the first portion 621a and the second portion 621b.

Ｎ側第１固定電極指４２２ａ、Ｎ側第２固定電極指４２２ｂ、第１部分６２１ａ及び第２部分６２１ｂは、Ｚ軸に広い短冊状の直方体を成している。Ｎ側可動電極指６２１は、対をなすＮ側第１固定電極指４２２ａに対してＸ軸に沿うマイナス側に位置し、第１部分６２１ａは、Ｎ側第１固定電極指４２２ａと間隔Ｄ１で対向している。第２部分６２１ｂは、第１部分６２１ａと間隔Ｄ３を保って接続部６２１ｃで接続され、Ｎ側第２固定電極指４２２ｂと間隔Ｄ２で離間している。 The N-side first fixed electrode finger 422a, the N-side second fixed electrode finger 422b, the first portion 621a, and the second portion 621b form a strip-shaped rectangular parallelepiped that is wide along the Z axis. The N-side movable electrode finger 621 is positioned on the negative side along the X-axis with respect to the paired N-side first fixed electrode finger 422a, and the first portion 621a is spaced apart from the N-side first fixed electrode finger 422a by a distance D1. facing each other. The second portion 621b is connected to the first portion 621a by a connection portion 621c with an interval D3, and is separated from the N-side second fixed electrode finger 422b by an interval D2.

本実施形態では、間隔Ｄ１は間隔Ｄ２よりも狭く、間隔Ｄ３は間隔Ｄ２よりも狭い。一般に、間隔Ｄ１を間隔Ｄ２より狭くすると、慣性センサー１の感度が高まる。これは可動電極指の第１部分６１１ａ、６２２aがＸ軸に沿うプラス側、マイナス側の両方向に移動した際に、静電容量が非対称的に変化する原理を利用しているからである。更に本実施形態に示すように可動電極指の第２部分６１１ｂ、６２２ｂを設けることにより、Ｐ側可動電極指６１１の第１部分６１１ａ、及びＮ側可動電極指６２１の第１部分６２１ａに対するＸ軸沿う両方向における電極パターンの粗密差が小さくなる。また、間隔Ｄ１は、間隔Ｄ３と等しいことが好ましい。これにより、電極パターンの粗密差がさらに小さくなる。なお、等しいとは、厳密な一致を意味するのではなく、慣性センサー１の製造における加工誤差を含むことを意味する。 In this embodiment, the distance D1 is narrower than the distance D2, and the distance D3 is narrower than the distance D2. In general, the sensitivity of the inertial sensor 1 increases when the interval D1 is narrower than the interval D2. This is because the principle that the capacitance changes asymmetrically when the first portions 611a and 622a of the movable electrode fingers move in both the positive and negative directions along the X-axis is used. Furthermore, by providing the second portions 611b and 622b of the movable electrode fingers as shown in this embodiment, the X axis with respect to the first portion 611a of the P-side movable electrode finger 611 and the first portion 621a of the N-side movable electrode finger 621 The density difference of the electrode pattern in both directions along the line becomes small. Also, the interval D1 is preferably equal to the interval D3. This further reduces the density difference of the electrode pattern. Note that "equal" does not mean exact matching, but means that processing errors in manufacturing the inertial sensor 1 are included.

なお、本実施形態では、図１に示すように、Ｐ側固定電極指４１２とＮ側固定電極指４２２とは、Ｘ軸において互いにずれており、Ｐ側可動電極指６１１とＮ側可動電極指６２１とは、Ｘ軸において互いにずれている。詳しくは、Ｐ側可動電極指６１１は、Ｘ軸において、対をなすＰ側第１固定電極指４１２ａ側に偏って配置され、Ｐ側可動電極指６１１の第１部分６１１ａとＮ側固定電極指４２２とは、Ｙ軸に沿う同じ直線上に位置している。Ｎ側可動電極指６２１は、Ｘ軸において、対をなすＮ側第１固定電極指４２２ａ側に偏って配置され、Ｎ側可動電極指６２１の第１部分６２１ａとＰ側固定電極指４１２とは、Ｙ軸に沿う同じ直線上に位置している。また、周期的に並ぶ電極パターン以外の部分では、適宜、バランスを考慮してダミーとなる電極を配置している。従って、Ｐ側とＮ側の寄生容量差を低減し、検出信号を良好に検出することが出来る。 In this embodiment, as shown in FIG. 1, the P-side fixed electrode finger 412 and the N-side fixed electrode finger 422 are displaced from each other on the X-axis, and the P-side movable electrode finger 611 and the N-side movable electrode finger 611 are offset from each other. 621 are offset from each other on the X-axis. More specifically, the P-side movable electrode finger 611 is arranged so as to be biased toward the paired P-side first fixed electrode finger 412a on the X-axis, and the first portion 611a of the P-side movable electrode finger 611 and the N-side fixed electrode finger 412a 422 are located on the same straight line along the Y-axis. The N-side movable electrode finger 621 is arranged to be biased toward the paired N-side first fixed electrode finger 422a on the X-axis. , are located on the same straight line along the Y-axis. In addition, in areas other than the periodically arranged electrode patterns, dummy electrodes are appropriately arranged in consideration of balance. Therefore, the parasitic capacitance difference between the P side and the N side can be reduced, and the detection signal can be detected satisfactorily.

また、各固定電極指４１２，４２２は、Ｚ軸に沿って貫通する空隙部を有さない構成である。空隙部を設けた構成に比べ、空隙部を設けない構成は、各固定電極指４１２，４２２の電極指幅が狭いので、慣性センサー１を小型化することができる。また、第２部分６１１ｂ，６２１ｂは、１つで構成されていてもよいし、Ｙ軸に沿って複数に分割されていてもよい。第１部分６１１ａと第２部分６１１ｂとの接続位置は、特に限定されない。 Further, each of the fixed electrode fingers 412 and 422 is configured so as not to have a gap extending through along the Z-axis. Compared to the configuration with the gap, the configuration without the gap has narrow electrode finger widths of the fixed electrode fingers 412 and 422, so the inertial sensor 1 can be made smaller. Also, the second portions 611b and 621b may be configured as one piece, or may be divided into a plurality of pieces along the Y-axis. A connection position between the first portion 611a and the second portion 611b is not particularly limited.

上述した慣性センサー１に加速度Ａｘが加わると、その加速度Ａｘの大きさに基づいて、可動部５２がバネ部５３，５４を弾性変形させながらＸ軸に沿って変位する。この変位に伴って、Ｐ側可動電極指６１１の第１部分６１１ａとＰ側第１固定電極指４１２ａとの間隔Ｄ１およびＮ側可動電極指６２１の第１部分６２１ａとＮ側第１固定電極指４２２ａとの間隔Ｄ１がそれぞれ変化する。この変位に伴って、Ｐ側可動電極指６１１の第１部分６１１ａとＰ側第１固定電極指４１２ａとの間の静電容量およびＮ側可動電極指６２１の第１部分６２１ａとＮ側第１固定電極指４２２ａとの間の静電容量の大きさがそれぞれ変化する。そのため、これら静電容量の変化に基づいて加速度Ａｘを検出することができる。 When acceleration Ax is applied to the inertial sensor 1 described above, the movable portion 52 is displaced along the X-axis while elastically deforming the spring portions 53 and 54 based on the magnitude of the acceleration Ax. Along with this displacement, the distance D1 between the first portion 611a of the P-side movable electrode finger 611 and the P-side first fixed electrode finger 412a and the first portion 621a of the N-side movable electrode finger 621 and the N-side first fixed electrode finger 422a is changed respectively. With this displacement, the capacitance between the first portion 611a of the P-side movable electrode finger 611 and the P-side first fixed electrode finger 412a and the capacitance between the first portion 621a of the N-side movable electrode finger 621 and the N-side first electrode finger 412a The magnitude of the capacitance with the fixed electrode finger 422a changes respectively. Therefore, the acceleration Ax can be detected based on changes in these capacitances.

Ｘ軸に沿うプラス側に向って加速度Ａｘが加わると、Ｐ側可動電極指６１１の第１部分６１１ａとＰ側第１固定電極指４１２ａとの間隔Ｄ１が縮まり、Ｎ側可動電極指６２１の第１部分６２１ａとＮ側第１固定電極指４２２ａとの間隔Ｄ１が広がる。逆に、Ｘ軸に沿うマイナス側に向って加速度Ａｘが加わると、Ｐ側可動電極指６１１の第１部分６１１ａとＰ側第１固定電極指４１２ａとの間隔Ｄ１が広がり、Ｎ側可動電極指６２１の第１部分６２１ａとＮ側第１固定電極指４２２ａとの間隔Ｄ１が縮まる。よって、Ｐ側固定電極指４１２およびＰ側可動電極指６１１の間から得られるＰ側検出信号と、Ｎ側固定電極指４２２およびＮ側可動電極指６２１の間から得られるＮ側検出信号と、を差動演算することで、ノイズをキャンセルすることができ、より精度よく、加速度Ａｘを検出することができる。 When the acceleration Ax is applied toward the positive side along the X-axis, the distance D1 between the first portion 611a of the P-side movable electrode finger 611 and the P-side first fixed electrode finger 412a is reduced, The distance D1 between the 1 portion 621a and the N-side first fixed electrode finger 422a is widened. Conversely, when acceleration Ax is applied toward the negative side along the X-axis, the distance D1 between the first portion 611a of the P-side movable electrode finger 611 and the P-side first fixed electrode finger 412a widens, and the N-side movable electrode finger increases. The distance D1 between the first portion 621a of 621 and the N-side first fixed electrode finger 422a is reduced. Therefore, the P-side detection signal obtained between the P-side fixed electrode finger 412 and the P-side movable electrode finger 611, the N-side detection signal obtained between the N-side fixed electrode finger 422 and the N-side movable electrode finger 621, can be canceled by performing a differential operation of , and the acceleration Ax can be detected with higher accuracy.

１－４．製造方法
次に、慣性センサー１の製造方法について説明する。図６は、慣性センサーの製造工程を示すフローチャートである。図７から図１１は、慣性センサーの製造工程を説明する断面図である。なお、図７から図９及び図１１は、図１におけるＡ－Ａ線での断面図であり、図１０は、図４におけるＥ－Ｅ線での断面図である。 1-4. Manufacturing Method Next, a manufacturing method of the inertial sensor 1 will be described. FIG. 6 is a flow chart showing the manufacturing process of the inertial sensor. 7 to 11 are cross-sectional views explaining the manufacturing process of the inertial sensor. 7 to 9 and 11 are sectional views taken along line AA in FIG. 1, and FIG. 10 is a sectional view taken along line EE in FIG.

ステップＳ１０１は、基部基板２００に複数の基部２を一体形成する基部基板形成工程である。
図７に示すように、この基部基板形成工程では、基部基板２００の上面をエッチングすることにより、凹部２１、溝部２５，２６，２７を形成する。凹部２１、溝部２５，２６，２７のエッチング方法としては、特に限定されないが、例えば、プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチングなどの物理的エッチング法、ウェットエッチングなどの化学的エッチング法などのうちの１種又は２種以上を組み合わせて用いることができる。なお、以下の各工程におけるエッチングにおいても、同様のエッチング方法を用いることができる。 Step S<b>101 is a base substrate forming step for integrally forming a plurality of bases 2 on the base substrate 200 .
As shown in FIG. 7, in this base substrate forming step, the recess 21 and the grooves 25, 26, 27 are formed by etching the upper surface of the base substrate 200. As shown in FIG. The etching method for the recesses 21 and the grooves 25, 26, and 27 is not particularly limited, but examples include physical etching methods such as plasma etching, reactive ion etching, beam etching, and light-assisted etching, and chemical etching methods such as wet etching. One or a combination of two or more of the methods and the like can be used. A similar etching method can be used for etching in the following steps.

また、上述したようなエッチングに際しては、例えば、フォトリソグラフィー法により形成されたマスクを好適に用いることができる。また、マスク形成、エッチング、マスク除去を複数回繰り返し、凹部２１と溝部２５，２６，２７とを順に形成することができる。そして、このマスクは、エッチング後に、除去される。このマスクの除去方法としては、例えば、マスクがレジスト材料で構成される場合には、レジスト剥離液、マスクが金属材料で構成される場合には、リン酸溶液のようなメタル剥離液などを用いることができる。
なお、マスクとして、例えば、グレースケールマスクを用いることにより、凹部２１と溝部２５，２６，２７とを一括形成してもよい。 Moreover, in etching as described above, for example, a mask formed by a photolithography method can be preferably used. Further, the recess 21 and the grooves 25, 26, 27 can be formed in order by repeating mask formation, etching, and mask removal a plurality of times. This mask is then removed after etching. As a method for removing the mask, for example, when the mask is made of a resist material, a resist remover is used, and when the mask is made of a metal material, a metal remover such as a phosphoric acid solution is used. be able to.
The concave portion 21 and the groove portions 25, 26, and 27 may be collectively formed by using, for example, a grayscale mask as the mask.

次に、基部基板形成工程では、基部基板２００の溝部２５内に配線７１を、溝部２６内に配線７２を、溝部２７内に配線７３を、一括して形成する。この際、配線７１，７２，７３の厚さ寸法が、溝部２５，２６，２７の深さ寸法よりも小さくなるように形成する。配線７１，７２，７３の形成方法としては、特に限定されないが、例えば、真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティングなどの乾式、メッキ法、電解メッキ、無電解メッキなどの湿式メッキ法、溶射法、薄膜接合法などが挙げられる。なお、以下の各工程における成膜においても、同様の方法を用いることができる。本実施形態では、基部基板２００にガラス基板を用い、配線７１から配線７３の構成材料にスパッタリング法を用いた金属薄膜を用いた。より具体的にはＤＣスパッタリング法でチタン（Ｔｉ）と白金（Ｐｔ）とを連続的に形成し、積層構造とした。この時の厚さはチタン（Ｔｉ）が２００ｎｍ、白金（Ｐｔ）が１００ｎｍであった。白金（Ｐｔ）を配線７３の上層部に形成することで、後述するステップＳ１０３に於いて、不純物ドープされたシリコン材の素子部基板３００と配線７３の接合部に白金シリサイド金属膜を形成することが出来る。これによりオーミック接触を得ることが可能となり、高精度な慣性センサー１を良好に動作させることが出来る。 Next, in the base substrate forming step, the wiring 71, the wiring 72, and the wiring 73 are formed in the groove 25, the groove 26, and the groove 27 of the base substrate 200 all at once. At this time, the wirings 71 , 72 , 73 are formed so that their thicknesses are smaller than the depths of the grooves 25 , 26 , 27 . The method of forming the wirings 71, 72, and 73 is not particularly limited, but examples include dry methods such as vacuum deposition, sputtering, and ion plating, wet plating methods such as plating, electrolytic plating, and electroless plating, thermal spraying, and thin films. A bonding method and the like can be mentioned. A similar method can be used for film formation in each of the following steps. In this embodiment, a glass substrate is used as the base substrate 200, and a metal thin film using a sputtering method is used as the constituent material of the wirings 71 to 73. FIG. More specifically, titanium (Ti) and platinum (Pt) were continuously formed by a DC sputtering method to form a laminated structure. The thickness at this time was 200 nm for titanium (Ti) and 100 nm for platinum (Pt). By forming platinum (Pt) on the upper layer of the wiring 73, a platinum silicide metal film is formed at the junction between the element part substrate 300 made of silicon material doped with impurities and the wiring 73 in step S103, which will be described later. can be done. As a result, ohmic contact can be obtained, and the high-precision inertial sensor 1 can be operated satisfactorily.

ステップＳ１０２は、蓋部基板８００に複数の蓋部８を一体形成する蓋部基板形成工程である。図１１に示すように、この蓋部基板形成工程では、蓋部基板８００の下面をエッチングすることにより、凹部８１を形成する。凹部８１を形成する際は、次のような工程を施すことにより実施することが出来る。即ち、シリコン材である蓋部基板８００を熱酸化し、蓋部基板８００の下面をレジスト保護する。素子部３に相当する領域をフォトリソグラフィー法により開口させ、熱酸化膜をフッ酸除去しレジスト剥離したのちに、ドライエッチング法で凹部８１を形成する。残った熱酸化膜を剥離させ、再度蓋部基板８００の両面を熱酸化し、今度は蓋部基板８００の上面をレジスト保護する。そして連通孔８２に相当する部分をフォトリソグラフィー法でパターニングして、開口する領域の熱酸化膜を除去したのちに、例えばＫＯＨ等のアルカリウェットエッチング法により連通孔８２を形成することが出来る。本実施形態のように、蓋部基板８００としてシリコン基板を用いることで高精度な加工を実現することが出来る。
なお、ステップＳ１０１及びステップＳ１０２の順番は、入れ替わってもよいし、同時進行であってもよい。 Step S102 is a lid substrate forming step for integrally forming a plurality of lid portions 8 on the lid substrate 800 . As shown in FIG. 11, in this lid substrate forming step, the recess 81 is formed by etching the bottom surface of the lid substrate 800 . When forming the concave portion 81, it can be carried out by performing the following steps. That is, the cover substrate 800 made of silicon is thermally oxidized, and the lower surface of the cover substrate 800 is protected with a resist. A region corresponding to the element portion 3 is opened by photolithography, the thermal oxide film is removed with hydrofluoric acid and the resist is peeled off, and then the recess 81 is formed by dry etching. The remaining thermal oxide film is peeled off, both surfaces of the lid substrate 800 are thermally oxidized again, and the upper surface of the lid substrate 800 is protected with a resist. Then, after patterning a portion corresponding to the communication hole 82 by photolithography and removing the thermal oxide film in the region to be opened, the communication hole 82 can be formed by, for example, an alkali wet etching method such as KOH. By using a silicon substrate as the lid substrate 800 as in this embodiment, highly accurate processing can be achieved.
In addition, the order of step S101 and step S102 may be exchanged, or may be performed simultaneously.

ステップＳ１０３は、基部基板２００に素子部基板３００を接合する素子部基板接合工程である。図８に示すように、この素子部基板接合工程では、基部基板２００の凹部２１が設けられている側である上面に、素子部基板３００を配置し、基部基板２００と素子部基板３００とを接合する。本実施形態では、基部基板２００と素子部基板３００との接合に陽極接合法を用いている。次に、素子部基板接合工程では、必要に応じて、素子部基板３００を素子部３の厚さまで肉薄化する。肉薄化の方法は、特に限定されないが、例えば、ＣＭＰ法、ドライポリッシュ法を好適に用いることができる。そして、素子基板接合工程では、素子部基板３００にリン（Ｐ）、ボロン（Ｂ）、砒素（Ａｓ）等の不純物をドープして導電性を付与する。ただし、不純物をドープする順序は、特に限定されず、素子部基板３００を薄肉化する前であってもよいし、素子部基板３００を接合する前であってもよい。 Step S<b>103 is an element part substrate bonding process for bonding the element part substrate 300 to the base substrate 200 . As shown in FIG. 8, in this element part substrate bonding step, the element part substrate 300 is placed on the upper surface of the base substrate 200 on which the concave portion 21 is provided, and the base substrate 200 and the element part substrate 300 are bonded together. Join. In this embodiment, the anodic bonding method is used for bonding the base substrate 200 and the element substrate 300 . Next, in the element part substrate bonding step, the element part substrate 300 is thinned to the thickness of the element part 3 as necessary. Although the thinning method is not particularly limited, for example, a CMP method and a dry polishing method can be preferably used. Then, in the element substrate bonding step, the element part substrate 300 is doped with impurities such as phosphorus (P), boron (B), arsenic (As), etc. to impart electrical conductivity. However, the order of doping with impurities is not particularly limited, and may be before thinning the element part substrate 300 or before bonding the element part substrate 300 .

ステップＳ１０４は、電極パターンを含む素子部３を形成する素子部形成工程である。素子部形成工程は、第２の工程を含む第１の工程に相当する。
図９に示すように、この素子部形成工程では、図示しない素子部３の形状に倣ったマスクを介して素子部基板３００をドライエッチングすることにより、素子部基板３００から素子部３を形成する。ドライエッチング方法としては、特に限定されない。本実施形態では、例えば、図１０に示すような、Ｐ側可動電極指６１１の第１部分６１１ａとＰ側第１固定電極指４１２ａとの間隔Ｄ１と、素子部基板３００の厚さとの比が高い、高アスペクト比の加工を行うために、Ｄｅｅｐ ＲＩＥ（Ｒｅａｃｔｉｖｅ Ｉｏｎ Ｅｔｃｈｉｎｇ）装置を使用したボッシュプロセスを用いている。ボッシュプロセスは、エッチングと側壁保護膜を形成するためのパシベーションとを繰り返しながら行う切り替えエッチング方式である。シリコン基板の場合は、例えば、ＳＦ6のエッチングガスを用いてシリコンをエッチングし、Ｃ4Ｆ8などのフロン系のガスを用いて、側壁保護膜を形成することができる。これにより、第１の工程は、素子部基板３００を、Ｐ側第１固定電極指４１２ａ、Ｐ側第２固定電極指４１２ｂ、Ｐ側可動電極指６１１、及びＮ側第１固定電極指４２２ａ、Ｎ側第２固定電極指４２２ｂ、Ｎ側可動電極指６２１をエッチングにて加工する。第２の工程は、Ｐ側可動電極指６１１を第１部分６１１ａと第２部分６１１ｂとに加工し、Ｎ側可動電極指６２１を第１部分６２１ａと第２部分６２１ｂとに加工する。また、第２の工程は、間隔Ｄ１＜間隔Ｄ２、且つ間隔Ｄ３＜間隔Ｄ２に加工する。なお、第１の工程及び第２の工程は、素子部形成工程で同時に実施される。 Step S104 is an element portion forming step for forming the element portion 3 including the electrode pattern. The element portion forming process corresponds to the first process including the second process.
As shown in FIG. 9, in this element portion forming step, the element portion substrate 300 is dry-etched through a mask following the shape of the element portion 3 (not shown), thereby forming the element portion 3 from the element portion substrate 300. . The dry etching method is not particularly limited. In this embodiment, for example, as shown in FIG. The Bosch process using Deep RIE (Reactive Ion Etching) equipment is used to process high, high aspect ratios. The Bosch process is a switching etching method in which etching and passivation for forming a side wall protective film are repeated. In the case of a silicon substrate, for example, silicon can be etched using an SF6 etching gas, and a side wall protective film can be formed using a Freon-based gas such as C4F8 . Thus, in the first step, the element part substrate 300 is divided into the P-side first fixed electrode fingers 412a, the P-side second fixed electrode fingers 412b, the P-side movable electrode fingers 611, and the N-side first fixed electrode fingers 422a, The N-side second fixed electrode finger 422b and the N-side movable electrode finger 621 are processed by etching. In the second step, the P-side movable electrode finger 611 is processed into a first portion 611a and a second portion 611b, and the N-side movable electrode finger 621 is processed into a first portion 621a and a second portion 621b. In the second step, the distance D1<the distance D2 and the distance D3<the distance D2 are satisfied. Note that the first step and the second step are performed simultaneously in the element portion forming step.

電極パターンを含む素子部３を形成するためのマスクパターンに粗密があると、高アスペクト比となるパターン密の部分のエッチング速度が低下するマイクロローディング効果が起こる。例えば、図１０のＰ側可動電極指６１１において、第２部分６１１ｂを備えない従来構成の慣性センサーの場合、Ｐ側第１固定電極指４１２ａと第１部分６１１ａとの間隔Ｄ１に比べ、第１部分６１１ａとＰ側第２固定電極指４１２ｂとの間隔が広いため、マスクパターンが著しく粗密になる。これにより、加速度を検出するためのＰ側可動電極指６１１の第１部分６１１ａとＰ側第１固定電極指４１２ａとの間の加工精度が低下することがある。Ｐ側可動電極指６１１の第１部分６１１ａとＰ側第１固定電極指４１２ａとの組み合わせは、慣性センサー１の検出機能である平行平板型の静電容量を形成するため、慣性センサー１の検出精度に極めて重要である。このような加工精度の低下は、ノイズの増加による加速度Ａｘの検出精度の低下を招くおそれがある。 If the mask pattern for forming the element portion 3 including the electrode pattern has sparseness and fineness, a microloading effect occurs in which the etching rate is lowered in the densely patterned portion having a high aspect ratio. For example, in the P-side movable electrode finger 611 of FIG. Since the distance between the portion 611a and the P-side second fixed electrode finger 412b is wide, the mask pattern becomes extremely coarse and dense. As a result, the machining accuracy between the first portion 611a of the P-side movable electrode finger 611 for detecting acceleration and the P-side first fixed electrode finger 412a may deteriorate. The combination of the first portion 611a of the P-side movable electrode finger 611 and the P-side first fixed electrode finger 412a forms a parallel plate type capacitance, which is the detection function of the inertial sensor 1. Critical to accuracy. Such a decrease in machining accuracy may lead to a decrease in detection accuracy of the acceleration Ax due to an increase in noise.

本実施形態の慣性センサー１は、第１部分６１１ａとＰ側第２固定電極指４１２ｂとの間に第２部分６１１ｂを備えているので、マスクパターンの粗密差が小さくなり、マイクロローディング効果が低減する。これにより、素子部３をドライエッチングで形成する際に平行平板型の静電容量の加工精度が向上し、加速度Ａｘの検出精度が向上する。特に第１固定電極指４１２ａと第１部分６１１ａとの間隔Ｄ１と、第１部分６１１ａと第２部分６１１ｂとの間隔Ｄ２が等しい場合、電極パターンの粗密差が小さくなり、マイクロローディング効果は極小となるため、より加工精度が増す。従って良好な検出機能を有する慣性センサー１を提供することが可能となる。 Since the inertial sensor 1 of the present embodiment includes the second portion 611b between the first portion 611a and the P-side second fixed electrode finger 412b, the density difference of the mask pattern is reduced, and the microloading effect is reduced. do. As a result, when the element portion 3 is formed by dry etching, the processing accuracy of the parallel plate type capacitance is improved, and the detection accuracy of the acceleration Ax is improved. In particular, when the distance D1 between the first fixed electrode finger 412a and the first portion 611a is equal to the distance D2 between the first portion 611a and the second portion 611b, the difference in density between the electrode patterns is small, and the microloading effect is minimal. As a result, machining accuracy increases. Therefore, it is possible to provide the inertial sensor 1 having a good detection function.

ステップＳ１０５は、基部基板２００に蓋部基板８００を接合する蓋部基板接合工程である。
図１１に示すように、この蓋部基板接合工程では、複数の蓋部８が一体形成されている蓋部基板８００を接合材の一例であるガラスフリット８９を介して基部基板２００の上面に接合する。そして、蓋部基板接合工程では、連通孔８２を介して各収納空間Ｓ内を所望の雰囲気に置換し、その後、各連通孔８２を封止部材８３で封止する。 Step S<b>105 is a lid substrate bonding step of bonding the lid substrate 800 to the base substrate 200 .
As shown in FIG. 11, in this lid substrate bonding step, a lid substrate 800 integrally formed with a plurality of lids 8 is bonded to the upper surface of the base substrate 200 via a glass frit 89 which is an example of a bonding material. do. Then, in the cover substrate bonding step, the inside of each storage space S is replaced with a desired atmosphere through the communication holes 82 , and then each communication hole 82 is sealed with a sealing member 83 .

ステップＳ１０６は、接合された基部基板２００及び蓋部基板８００を分割する分割工程である。この分割工程では、素子部３を収容し一体となった基部基板２００および蓋部基板８００を、図示しない分割装置を用いて素子部３毎の個片に分割することにより、図２に示す慣性センサー１を得る。分割装置の一例としては、ダイシング装置などが挙げられる。なお、分割により、基部基板２００は基部２となり、蓋部基板８００は蓋部８となる。 Step S106 is a dividing step of dividing the base substrate 200 and the lid substrate 800 which are joined together. In this dividing step, the base substrate 200 and the lid substrate 800, which house the element portion 3 and are integrated, are divided into individual pieces for each element portion 3 using a dividing device (not shown). Get Sensor 1. An example of the dividing device is a dicing device. Note that the base substrate 200 becomes the base portion 2 and the lid substrate 800 becomes the lid portion 8 by the division.

以上説明した慣性センサー１の製造方法によれば、慣性センサー１の電極パターンをドライエッチングで形成する際の加工精度を向上させることができる。 According to the manufacturing method of the inertial sensor 1 described above, it is possible to improve the processing accuracy when forming the electrode pattern of the inertial sensor 1 by dry etching.

なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、上述した実施形態に種々の変更や改良などを加えることが可能である。変形例を以下に述べる。 In addition, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and improvements can be made to the above-described embodiment. Modifications are described below.

以下に述べる変形例は、上記実施形態におけるＰ側可動電極指６１１及びＮ側可動電極指６２１の構成が異なっていること以外は、実施形態で説明した慣性センサー１と同じである。なお、Ｐ側可動電極指とＮ側可動電極指とは、同一の構成であるので、Ｎ側可動電極指の説明は省略する。また、以下の説明で使用する図では、実施形態と同一の構成部位については、同一の番号を附し、重複する説明は省略する。 The modified example described below is the same as the inertial sensor 1 described in the embodiment except that the configurations of the P-side movable electrode finger 611 and the N-side movable electrode finger 621 in the above embodiment are different. Since the P-side movable electrode finger and the N-side movable electrode finger have the same configuration, the description of the N-side movable electrode finger is omitted. Also, in the drawings used in the following description, the same components as in the embodiment are given the same numbers, and duplicate descriptions are omitted.

２．変形例１
図１２は、変形例１に係るＰ側可動電極指の構成を示す平面図である。図１２は、図１におけるＢ部に相当する位置のＰ側可動電極指６５１を拡大して示している。
Ｐ側可動電極指６５１は、Ｐ側第１固定電極指４１２ａとＰ側第２固定電極指４１２ｂとの間に位置している。Ｐ側可動電極指６５１は、Ｐ側第１固定電極指４１２ａと対向する第１部分６５１ａと、第１部分６５１ａとＰ側第２固定電極指４１２ｂとの間に位置する第２部分６５１ｂと、第１部分６５１ａと第２部分６５１ｂとを接続する接続部６５１ｃとを有している。 2. Modification 1
12 is a plan view showing the configuration of the P-side movable electrode finger according to Modification 1. FIG. FIG. 12 shows an enlarged view of the P-side movable electrode finger 651 at a position corresponding to the B portion in FIG.
The P-side movable electrode finger 651 is positioned between the P-side first fixed electrode finger 412a and the P-side second fixed electrode finger 412b. The P-side movable electrode finger 651 has a first portion 651a facing the P-side first fixed electrode finger 412a, a second portion 651b positioned between the first portion 651a and the P-side second fixed electrode finger 412b, It has a connecting portion 651c that connects the first portion 651a and the second portion 651b.

第１部分６５１ａは、Ｐ側第１固定電極指４１２ａと間隔Ｄ１で対向している。第２部分６５１ｂは、第１部分６５１ａと間隔Ｄ３で対向し、Ｐ側第２固定電極指４１２ｂと間隔Ｄ２で離間している。間隔Ｄ１は間隔Ｄ２よりも狭く、間隔Ｄ３は間隔Ｄ２よりも狭い。 The first portion 651a faces the P-side first fixed electrode finger 412a with a distance D1 therebetween. The second portion 651b faces the first portion 651a at a distance D3, and is separated from the P-side second fixed electrode finger 412b at a distance D2. The interval D1 is narrower than the interval D2, and the interval D3 is narrower than the interval D2.

図１２に示すＰ側可動電極指６５１は、第１部分６５１ａと第２部分６５１ｂとが枠部５２１から平行に延出している。
接続部６５１ｃは、第１部分６５１ａの先端と第２部分６５１ｂの先端とを接続している。また、Ｚ軸からの平面視にて、接続部６５１ｃは、枠部５２１と先端との間において、複数の四角形を形成するように、第１部分６５１ａと第２部分６５１ｂとを接続している。枠部５２１と先端との間を接続する接続部６５１ｃの数は、１つであっても複数であってもよい。図１２に示すように、Ｐ側可動電極指６５１は、四角形をＹ軸に沿って組み合わせたラーメン構造であるので、実施形態１の効果に加え、慣性センサー１の機械的強度が向上し、高い信頼性を発揮することができる。 In the P-side movable electrode finger 651 shown in FIG. 12, a first portion 651a and a second portion 651b are extended from the frame portion 521 in parallel.
The connecting portion 651c connects the tip of the first portion 651a and the tip of the second portion 651b. Also, in plan view from the Z-axis, the connecting portion 651c connects the first portion 651a and the second portion 651b so as to form a plurality of squares between the frame portion 521 and the tip. . The number of connecting portions 651c connecting between the frame portion 521 and the tip may be one or plural. As shown in FIG. 12, the P-side movable electrode finger 651 has a Rahmen structure in which squares are combined along the Y-axis. Reliability can be demonstrated.

３．変形例２
図１２に示すＰ側可動電極指６５１において、第２部分６５１ｂのＹ軸に沿う幅Ｗ２は、第１部分６５１ａのＹ軸に沿う幅Ｗ１よりも狭い構成であってもよい。これにより、間隔Ｄ１及び間隔Ｄ３を維持したまま、間隔Ｄ１に対する間隔Ｄ２を広げることができるので、加速度の検出精度が向上する。 3. Modification 2
In the P-side movable electrode finger 651 shown in FIG. 12, the width W2 along the Y-axis of the second portion 651b may be narrower than the width W1 along the Y-axis of the first portion 651a. As a result, it is possible to widen the distance D2 with respect to the distance D1 while maintaining the distances D1 and D3, thereby improving the acceleration detection accuracy.

４．変形例３
図１３は、変形例３に係るＰ側可動電極指の構成を示す平面図である。図１３は、図１におけるＢ部に相当する位置のＰ側可動電極指６６１を拡大して示している。
Ｐ側可動電極指６６１は、Ｐ側第１固定電極指４１２ａとＰ側第２固定電極指４１２ｂとの間に位置している。Ｐ側可動電極指６６１は、Ｐ側第１固定電極指４１２ａと対向する第１部分６６１ａと、第１部分６６１ａとＰ側第２固定電極指４１２ｂとの間に位置する第２部分６６１ｂと、第１部分６６１ａと第２部分６６１ｂとを接続する接続部６６１ｃとを有している。 4. Modification 3
13 is a plan view showing the configuration of the P-side movable electrode finger according to Modification 3. FIG. FIG. 13 shows an enlarged view of the P-side movable electrode finger 661 at a position corresponding to the B portion in FIG.
The P-side movable electrode finger 661 is located between the P-side first fixed electrode finger 412a and the P-side second fixed electrode finger 412b. The P-side movable electrode finger 661 has a first portion 661a facing the P-side first fixed electrode finger 412a, a second portion 661b positioned between the first portion 661a and the P-side second fixed electrode finger 412b, It has a connection portion 661c that connects the first portion 661a and the second portion 661b.

第１部分６６１ａは、Ｐ側第１固定電極指４１２ａと間隔Ｄ１で対向している。第２部分６６１ｂは、第１部分６６１ａと間隔Ｄ３で対向し、Ｐ側第２固定電極指４１２ｂと間隔Ｄ２で離間している。間隔Ｄ１は間隔Ｄ２よりも狭く、間隔Ｄ３は間隔Ｄ２よりも狭い。 The first portion 661a faces the P-side first fixed electrode finger 412a with a distance D1 therebetween. The second portion 661b faces the first portion 661a at a distance D3, and is separated from the P-side second fixed electrode finger 412b at a distance D2. The interval D1 is narrower than the interval D2, and the interval D3 is narrower than the interval D2.

図１３に示すＰ側可動電極指６６１は、第１部分６６１ａと第２部分６６１ｂとが枠部５２１から平行に延出している。
接続部６６１ｃは、第１部分６６１ａの先端と第２部分６６１ｂの先端とを接続している。また、Ｚ軸からの平面視にて、接続部６６１ｃは、枠部５２１と先端との間において、複数の三角形を形成するように、第１部分６６１ａと第２部分６６１ｂとを斜めに接続している。枠部５２１と先端との間を接続する接続部６６１ｃの数は、１つであっても複数であってもよい。図１３に示すように、Ｐ側可動電極指６６１は、三角形をＹ軸に沿って組み合わせたトラス構造であるので、実施形態１の効果に加え、慣性センサー１の機械的強度が向上し、高い信頼性を発揮することができる。なお、変形例３に上述した変形例２を適用してもよい。 In the P-side movable electrode finger 661 shown in FIG. 13, a first portion 661a and a second portion 661b are extended from the frame portion 521 in parallel.
The connecting portion 661c connects the tip of the first portion 661a and the tip of the second portion 661b. Also, in plan view from the Z-axis, the connecting portion 661c obliquely connects the first portion 661a and the second portion 661b so as to form a plurality of triangles between the frame portion 521 and the tip. ing. The number of connecting portions 661c connecting between the frame portion 521 and the tip may be one or plural. As shown in FIG. 13, the P-side movable electrode finger 661 has a truss structure in which triangles are combined along the Y-axis. Reliability can be demonstrated. In addition, you may apply the modification 2 mentioned above to the modification 3. FIG.

５．変形例４
図１４は、変形例４に係るＰ側可動電極指の構成を示す平面図である。図１４は、図１におけるＢ部に相当する位置のＰ側可動電極指６７１を拡大して示している。
Ｐ側可動電極指６７１は、Ｐ側第１固定電極指４１２ａとＰ側第２固定電極指４１２ｂとの間に位置している。Ｐ側可動電極指６７１は、Ｐ側第１固定電極指４１２ａと対向する第１部分６７１ａと、第１部分６７１ａとＰ側第２固定電極指４１２ｂとの間に位置する第２部分６７１ｂとを有している。 5. Modification 4
14 is a plan view showing the configuration of the P-side movable electrode finger according to Modification 4. FIG. FIG. 14 shows an enlarged view of the P-side movable electrode finger 671 at a position corresponding to the B portion in FIG.
The P-side movable electrode finger 671 is positioned between the P-side first fixed electrode finger 412a and the P-side second fixed electrode finger 412b. The P-side movable electrode finger 671 has a first portion 671a facing the P-side first fixed electrode finger 412a and a second portion 671b positioned between the first portion 671a and the P-side second fixed electrode finger 412b. have.

第１部分６７１ａは、Ｐ側第１固定電極指４１２ａと間隔Ｄ１で対向している。第２部分６７１ｂは、第１部分６７１ａと間隔Ｄ３で対向し、Ｐ側第２固定電極指４１２ｂと間隔Ｄ２で離間している。 The first portion 671a faces the P-side first fixed electrode finger 412a with a distance D1 therebetween. The second portion 671b faces the first portion 671a at a distance D3, and is separated from the P-side second fixed electrode finger 412b at a distance D2.

図１４に示すＰ側可動電極指６７１は、第１部分６７１ａと第２部分６７１ｂとが枠部５２１から平行に延出している。Ｐ側可動電極指６７１が、第１部分６７１ａと第２部分６７１ｂとを接続する接続部を備えない構成であっても、実施形態１と同様の効果を奏する。 In the P-side movable electrode finger 671 shown in FIG. 14, a first portion 671a and a second portion 671b are extended from the frame portion 521 in parallel. Even if the P-side movable electrode finger 671 does not have a connecting portion that connects the first portion 671a and the second portion 671b, the same effect as in the first embodiment can be obtained.

６．実施形態２
図１５は、実施形態２に係るスマートフォンを示す斜視図である。 6. Embodiment 2
15 is a perspective view of a smartphone according to Embodiment 2. FIG.

図１５に示す電子機器としてのスマートフォン１２００は、慣性センサー１と、慣性センサー１から出力される検出信号に基づいて制御を行う制御回路１２１０と、が内蔵されている。慣性センサー１によって検出された検出データは、制御回路１２１０に送信され、制御回路１２１０は、受信した検出データからスマートフォン１２００の姿勢や挙動を認識して、表示部１２０８に表示されている表示画像を変化させたり、警告音や効果音を鳴らしたり、振動モーターを駆動して本体を振動させることができる。 A smartphone 1200 as an electronic device shown in FIG. Detection data detected by the inertial sensor 1 is transmitted to the control circuit 1210, and the control circuit 1210 recognizes the attitude and behavior of the smartphone 1200 from the received detection data, and displays the display image displayed on the display unit 1208. You can change it, play warning sounds and sound effects, and drive the vibration motor to vibrate the main body.

このような電子機器としてのスマートフォン１２００は、慣性センサー１と、慣性センサー１から出力される検出信号に基づいて制御を行う制御回路１２１０と、を有する。そのため、前述した慣性センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。 A smartphone 1200 as such an electronic device has an inertial sensor 1 and a control circuit 1210 that performs control based on a detection signal output from the inertial sensor 1 . Therefore, the effects of the inertial sensor 1 described above can be enjoyed, and high reliability can be exhibited.

なお、電子機器は、前述したスマートフォン１２００の他にも、例えば、パーソナルコー、デジタルスチールカメラ、タブレット端末、時計、スマートウォッチ、インクジェットプリンター、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）等のウェアラブル端末、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器、魚群探知機、各種測定機器、移動体端末基地局用機器、車両、航空機、船舶等の各種計器類、フライトシミュレーター、ネットワークサーバー等に適用することができる。 In addition to the smartphone 1200 described above, electronic devices include, for example, a personal cord, a digital still camera, a tablet terminal, a watch, a smart watch, an inkjet printer, a laptop personal computer, a television, a head-mounted display (HMD), and the like. wearable terminals, video cameras, video tape recorders, car navigation devices, pagers, electronic notebooks, electronic dictionaries, calculators, electronic game devices, word processors, workstations, videophones, security TV monitors, electronic binoculars, POS terminals, medical equipment , fish finders, various measuring devices, equipment for mobile terminal base stations, various instruments for vehicles, aircraft, ships, flight simulators, network servers, and the like.

７．実施形態３
図１６は、実施形態３に係る慣性計測装置を示す分解斜視図である。図１７は、慣性計測装置が有する基板の斜視図である。 7. Embodiment 3
16 is an exploded perspective view showing an inertial measurement device according to Embodiment 3. FIG. FIG. 17 is a perspective view of a substrate included in the inertial measurement device.

図１６に示す電子機器としての慣性計測装置２０００（ＩＭＵ：Ｉｎｅｒｔｉａｌ Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ Ｕｎｉｔ）は、自動車や、ロボットなどの被装着装置の姿勢や、挙動を検出する慣性計測装置である。慣性計測装置２０００は、３軸加速度センサーおよび３軸角速度センサーを備えた６軸モーションセンサーとして機能する。 An inertial measurement unit 2000 (IMU: Inertial Measurement Unit) as an electronic device shown in FIG. 16 is an inertial measurement unit that detects the posture and behavior of a wearable device such as an automobile or a robot. Inertial measurement device 2000 functions as a 6-axis motion sensor with a 3-axis acceleration sensor and a 3-axis angular velocity sensor.

慣性計測装置２０００は、平面形状が略正方形の直方体である。また、正方形の対角線方向に位置する２ヶ所の頂点近傍に固定部としてのネジ穴２１１０が形成されている。この２ヶ所のネジ穴２１１０に２本のネジを通して、自動車などの被装着体の被装着面に慣性計測装置２０００を固定することができる。なお、部品の選定や設計変更により、例えば、スマートフォンや、デジタルスチールカメラに搭載可能なサイズに小型化することも可能である。 The inertial measurement device 2000 is a cuboid with a substantially square planar shape. Further, screw holes 2110 are formed as fixing portions in the vicinity of two vertexes located in the diagonal direction of the square. By passing two screws through the two screw holes 2110, the inertial measurement device 2000 can be fixed to a mounting surface of a mounting body such as an automobile. It should be noted that it is also possible to reduce the size to a size that can be mounted on, for example, a smartphone or a digital still camera by selecting parts or changing the design.

慣性計測装置２０００は、アウターケース２１００と、接合部材２２００と、センサーモジュール２３００と、を有し、アウターケース２１００の内部に、接合部材２２００を介在させて、センサーモジュール２３００を挿入した構成となっている。アウターケース２１００の外形は、前述した慣性計測装置２０００の全体形状と同様に、平面形状が略正方形の直方体であり、正方形の対角線方向に位置する２ヶ所の頂点近傍に、それぞれネジ穴２１１０が形成されている。また、アウターケース２１００は、箱状であり、その内部にセンサーモジュール２３００が収納されている。 The inertial measurement device 2000 includes an outer case 2100, a joint member 2200, and a sensor module 2300. The sensor module 2300 is inserted into the outer case 2100 with the joint member 2200 interposed therebetween. there is The external shape of the outer case 2100 is a rectangular parallelepiped with a substantially square planar shape, similar to the overall shape of the inertial measurement device 2000 described above, and screw holes 2110 are formed in the vicinity of two vertices located in the diagonal direction of the square. It is In addition, the outer case 2100 is box-shaped, and the sensor module 2300 is accommodated therein.

センサーモジュール２３００は、インナーケース２３１０と、基板２３２０と、を有している。インナーケース２３１０は、基板２３２０を支持する部材であり、アウターケース２１００の内部に収まる形状となっている。また、インナーケース２３１０には、基板２３２０との接触を抑制するための凹部２３１１や後述するコネクター２３３０を露出させるための開口２３１２が形成されている。このようなインナーケース２３１０は、接合部材２２００を介してアウターケース２１００に接合されている。また、インナーケース２３１０の下面には接着剤を介して基板２３２０が接合されている。 The sensor module 2300 has an inner case 2310 and a substrate 2320 . The inner case 2310 is a member that supports the substrate 2320 and has a shape that fits inside the outer case 2100 . Further, the inner case 2310 is formed with a concave portion 2311 for suppressing contact with the substrate 2320 and an opening 2312 for exposing a connector 2330 to be described later. Such inner case 2310 is joined to outer case 2100 via joining member 2200 . A substrate 2320 is bonded to the lower surface of the inner case 2310 with an adhesive.

図１７に示すように、基板２３２０の上面には、コネクター２３３０、Ｚ軸まわりの角速度を検出する角速度センサー２３４０ｚ、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各軸方向の加速度を検出する加速度センサー２３５０などが実装されている。また、基板２３２０の側面には、Ｘ軸まわりの角速度を検出する角速度センサー２３４０ｘおよびＹ軸まわりの角速度を検出する角速度センサー２３４０ｙが実装されている。そして、加速度センサー２３５０として、本発明の慣性センサー１を用いることができる。 As shown in FIG. 17, on the upper surface of the substrate 2320, a connector 2330, an angular velocity sensor 2340z for detecting angular velocity around the Z axis, an acceleration sensor 2350 for detecting acceleration in the directions of the X, Y and Z axes, etc. is implemented. Further, on the side surface of the substrate 2320, an angular velocity sensor 2340x for detecting angular velocity around the X axis and an angular velocity sensor 2340y for detecting angular velocity around the Y axis are mounted. As the acceleration sensor 2350, the inertial sensor 1 of the present invention can be used.

また、基板２３２０の下面には、制御回路としての制御ＩＣ２３６０が実装されている。制御ＩＣ２３６０は、ＭＣＵ（Ｍｉｃｒｏ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ Ｕｎｉｔ）であり、慣性計測装置２０００の各部を制御する。記憶部には、加速度および角速度を検出するための順序と内容を規定したプログラムや、検出データをデジタル化してパケットデータに組込むプログラム、付随するデータなどが記憶されている。なお、基板２３２０にはその他にも複数の電子部品が実装されている。 A control IC 2360 as a control circuit is mounted on the bottom surface of the substrate 2320 . The control IC 2360 is an MCU (Micro Controller Unit) and controls each part of the inertial measurement device 2000 . The storage unit stores a program that defines the order and contents for detecting acceleration and angular velocity, a program that digitizes detected data and incorporates it into packet data, accompanying data, and the like. A plurality of electronic components are also mounted on the substrate 2320 .

８．実施形態４
図１８は、実施形態４に係る移動体測位装置の全体システムを示すブロック図である。図１９は、移動体測位装置の作用を示す図である。 8. Embodiment 4
FIG. 18 is a block diagram showing the overall system of the mobile positioning device according to the fourth embodiment. FIG. 19 is a diagram showing the action of the mobile positioning device.

図１８に示す移動体測位装置３０００は、移動体に装着して用い、当該移動体の測位を行うための装置である。なお、移動体としては、特に限定されず、自転車、自動車、自動二輪車、電車、飛行機、船等のいずれでもよいが、本実施形態では移動体として四輪自動車を用いた場合について説明する。 A mobile object positioning device 3000 shown in FIG. 18 is a device that is attached to a mobile object and used to perform positioning of the mobile object. The mobile object is not particularly limited, and may be a bicycle, automobile, motorcycle, train, airplane, ship, or the like.

移動体測位装置３０００は、慣性計測装置３１００（ＩＭＵ）と、演算処理部３２００と、ＧＰＳ受信部３３００と、受信アンテナ３４００と、位置情報取得部３５００と、位置合成部３６００と、処理部３７００と、通信部３８００と、表示部３９００と、を有している。なお、慣性計測装置３１００としては、例えば、前述した慣性計測装置２０００を用いることができる。 The mobile positioning device 3000 includes an inertial measurement unit 3100 (IMU), an arithmetic processing unit 3200, a GPS receiving unit 3300, a receiving antenna 3400, a position information acquisition unit 3500, a position synthesizing unit 3600, and a processing unit 3700. , a communication unit 3800 and a display unit 3900 . As the inertial measurement device 3100, for example, the inertial measurement device 2000 described above can be used.

慣性計測装置３１００は、３軸の加速度センサー３１１０と、３軸の角速度センサー３１２０と、を有している。演算処理部３２００は、加速度センサー３１１０からの加速度データおよび角速度センサー３１２０からの角速度データを受け、これらデータに対して慣性航法演算処理を行い、移動体の加速度および姿勢を含む慣性航法測位データを出力する。 The inertial measurement device 3100 has a triaxial acceleration sensor 3110 and a triaxial angular velocity sensor 3120 . The arithmetic processing unit 3200 receives acceleration data from the acceleration sensor 3110 and angular velocity data from the angular velocity sensor 3120, performs inertial navigation arithmetic processing on these data, and outputs inertial navigation positioning data including the acceleration and attitude of the moving body. do.

また、ＧＰＳ受信部３３００は、受信アンテナ３４００を介してＧＰＳ衛星からの信号を受信する。また、位置情報取得部３５００は、ＧＰＳ受信部３３００が受信した信号に基づいて、移動体測位装置３０００の位置（緯度、経度、高度）、速度、方位を表すＧＰＳ測位データを出力する。このＧＰＳ測位データには、受信状態や受信時刻等を示すステータスデータも含まれている。 GPS receiver 3300 also receives signals from GPS satellites via receiving antenna 3400 . Also, the position information acquisition unit 3500 outputs GPS positioning data representing the position (latitude, longitude, altitude), speed, and direction of the mobile positioning device 3000 based on the signal received by the GPS reception unit 3300 . This GPS positioning data also includes status data indicating the reception state, reception time, and the like.

位置合成部３６００は、演算処理部３２００から出力された慣性航法測位データおよび位置情報取得部３５００から出力されたＧＰＳ測位データに基づいて、移動体の位置、具体的には移動体が地面のどの位置を走行しているかを算出する。例えば、ＧＰＳ測位データに含まれている移動体の位置が同じであっても、図１９に示すように、地面の傾斜θ等の影響によって移動体の姿勢が異なっていれば、地面の異なる位置を移動体が走行していることになる。そのため、ＧＰＳ測位データだけでは移動体の正確な位置を算出することができない。そこで、位置合成部３６００は、慣性航法測位データを用いて、移動体が地面のどの位置を走行しているのかを算出する。 Based on the inertial navigation positioning data output from the arithmetic processing unit 3200 and the GPS positioning data output from the position information acquisition unit 3500, the position synthesizing unit 3600 determines the position of the mobile object, specifically, the position of the mobile object on the ground. Calculate whether the position is running. For example, even if the position of the mobile object included in the GPS positioning data is the same, as shown in FIG. , the moving body is running. Therefore, the accurate position of the moving object cannot be calculated only with GPS positioning data. Therefore, the position synthesizing unit 3600 uses the inertial navigation positioning data to calculate where on the ground the moving object is running.

位置合成部３６００から出力された位置データは、処理部３７００によって所定の処理が行われ、測位結果として表示部３９００に表示される。また、位置データは、通信部３８００によって外部装置に送信されるようになっていてもよい。 The position data output from the position synthesizing unit 3600 undergoes predetermined processing by the processing unit 3700 and is displayed on the display unit 3900 as the positioning result. Also, the position data may be transmitted to the external device by the communication unit 3800 .

９．実施形態５
図２０は、実施形態５に係る移動体を示す斜視図である。 9. Embodiment 5
FIG. 20 is a perspective view showing a moving body according to Embodiment 5. FIG.

図２０に示す移動体としての自動車１５００は、エンジンシステム、ブレーキシステムおよびキーレスエントリーシステムの少なくとも何れかのシステム１５１０と、慣性センサー１と、制御回路１５０２と、が内蔵されており、慣性センサー１によって車体の姿勢を検出することができる。慣性センサー１の検出信号は、制御回路１５０２に供給され、制御回路１５０２は、その信号に基づいてシステム１５１０を制御することができる。 An automobile 1500 as a mobile body shown in FIG. The posture of the vehicle body can be detected. A detection signal of the inertial sensor 1 is supplied to the control circuit 1502, and the control circuit 1502 can control the system 1510 based on the signal.

このように、移動体としての自動車１５００は、慣性センサー１と、慣性センサー１から出力される検出信号に基づいて制御を行う制御回路１５０２と、を有する。そのため、自動車１５００は、前述した慣性センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。 As described above, the automobile 1500 as a moving body has the inertial sensor 1 and the control circuit 1502 that performs control based on the detection signal output from the inertial sensor 1 . Therefore, the automobile 1500 can enjoy the effects of the inertial sensor 1 described above, and can exhibit high reliability.

なお、慣性センサー１は、他にも、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Ｔｉｒｅ Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｍｏｎｉｔｏｒｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｕｎｉｔ）に広く適用できる。また、移動体としては、自動車１５００に限定されず、例えば、飛行機、ロケット、人工衛星、船舶、無人搬送車（ＡＧＶ）、二足歩行ロボット、ドローン等の無人飛行機等にも適用することができる。 The inertial sensor 1 is also used in other applications such as car navigation systems, car air conditioners, anti-lock braking systems (ABS), airbags, tire pressure monitoring systems (TPMS), engine controls, and hybrid vehicles. and electronic control units (ECUs) such as battery monitors for electric vehicles. In addition, the mobile body is not limited to the automobile 1500, and can be applied to, for example, airplanes, rockets, artificial satellites, ships, automatic guided vehicles (AGV), bipedal robots, unmanned airplanes such as drones, and the like. .

以上、本発明の慣性センサー、電子機器および移動体を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、前述した実施形態を適宜組み合わせてもよい。 Although the inertial sensor, the electronic device, and the moving object of the present invention have been described above based on the illustrated embodiments, the present invention is not limited to this, and the configuration of each part can be any configuration having similar functions. can be replaced with Also, other optional components may be added to the present invention. Also, the embodiments described above may be combined as appropriate.

以下に、実施形態から導き出される内容を記載する。 The contents derived from the embodiment are described below.

慣性センサーは、第１方向に延在する第１固定電極指及び第２固定電極指と、前記第１固定電極指と前記第２固定電極指との間に位置し、前記第１方向と交差する第２方向に変位可能な可動電極指と、を備え、前記可動電極指は、前記第１固定電極指と対向する第１部分と、前記第１部分と前記第２固定電極指との間に位置する第２部分と、を有し、前記第１部分と前記第１固定電極指との間隔をＤ１、前記第２部分と前記第２固定電極指との間隔をＤ２、前記第１部分と前記第２部分との間隔をＤ３とした時、Ｄ１＜Ｄ２、且つＤ３＜Ｄ２を満たすことを特徴とする。 The inertial sensor is positioned between a first fixed electrode finger and a second fixed electrode finger extending in a first direction and between the first fixed electrode finger and the second fixed electrode finger and intersects the first direction. and a movable electrode finger displaceable in a second direction, wherein the movable electrode finger has a first portion facing the first fixed electrode finger and between the first portion and the second fixed electrode finger. a distance between the first portion and the first fixed electrode finger is D1; a distance between the second portion and the second fixed electrode finger is D2; and the first portion and the second portion, D1<D2 and D3<D2 are satisfied.

この構成によれば、各電極指をドライエッチングで形成する際のマスクパターンの粗密差が小さくなり、マイクロローディング効果が低減する。これにより、慣性センサーの各電極指をドライエッチングで形成する際の加工精度が向上するので、慣性の検出精度が高い慣性センサーを提供することができる。 According to this configuration, the density difference of the mask pattern is reduced when the electrode fingers are formed by dry etching, and the microloading effect is reduced. This improves the processing accuracy when forming the electrode fingers of the inertial sensor by dry etching, so that it is possible to provide an inertial sensor with high inertia detection accuracy.

上記の慣性センサーは、前記第１部分と前記第２部分とを接続する接続部を有し、Ｄ１＝Ｄ３を満たすことが好ましい。 It is preferable that the inertial sensor has a connecting portion that connects the first portion and the second portion, and satisfies D1=D3.

この構成によれば、第１部分と第２部分とは接続部で接続されているので、可動電極指の機械的強度が向上し、高い信頼性を有する慣性センサーを提供することができる。また、Ｄ１＝Ｄ３を満たすことで、マスクパターンの粗密差がさらに小さくなり、マイクロローディング効果が低減する。 According to this configuration, since the first portion and the second portion are connected by the connecting portion, the mechanical strength of the movable electrode finger is improved, and an inertial sensor having high reliability can be provided. Further, by satisfying D1=D3, the density difference of the mask pattern is further reduced, and the microloading effect is reduced.

上記の慣性センサーにおいて、前記第２方向における前記第２部分の幅は、前記第１部分の幅より狭いことが好ましい。 In the above inertial sensor, it is preferable that the width of the second portion in the second direction is narrower than the width of the first portion.

この構成によれば、間隔Ｄ１及び間隔Ｄ３を維持したまま、間隔Ｄ１に対する間隔Ｄ２を広げることができるので、慣性の検出精度が向上する。 According to this configuration, the distance D2 can be widened with respect to the distance D1 while maintaining the distances D1 and D3, thereby improving the inertia detection accuracy.

慣性センサーの製造方法であって、第１方向に延在する第１固定電極指及び第２固定電極指と、前記第１固定電極指と前記第２固定電極指との間に位置し、前記第１方向と交差する第２方向に変位可能な可動電極指とをエッチングにて加工する第１の工程、を備え、前記第１の工程は、前記可動電極指を前記第１固定電極指と対向する第１部分と、前記第１部分と前記第２固定電極指との間に位置する第２部分と、に加工する第２の工程を有し、前記第２の工程では、前記第１部分と前記第１固定電極指との間隔をＤ１、前記第２部分と前記第２固定電極指との間隔をＤ２、前記第１部分と前記第２部分との間隔をＤ３とした時、Ｄ１＜Ｄ２、且つＤ３＜Ｄ２に加工することを特徴とする。 In a method for manufacturing an inertial sensor, a first fixed electrode finger and a second fixed electrode finger extending in a first direction are positioned between the first fixed electrode finger and the second fixed electrode finger, and the a first step of etching a movable electrode finger displaceable in a second direction that intersects with the first direction, wherein the first step includes forming the movable electrode finger with the first fixed electrode finger; a second step of processing into a first portion facing each other and a second portion positioned between the first portion and the second fixed electrode finger; D1 is the distance between the portion and the first fixed electrode finger, D2 is the distance between the second portion and the second fixed electrode finger, and D3 is the distance between the first portion and the second portion. <D2 and D3<D2.

この製造方法によれば、第１固定電極指、第２固定電極指及び可動電極指をドライエッチングで形成する際のマスクパターンの粗密差が小さくなり、マイクロローディング効果が低減する。これにより、慣性センサーをドライエッチングで形成する際の加工精度を向上させることができる。 According to this manufacturing method, when the first fixed electrode fingers, the second fixed electrode fingers, and the movable electrode fingers are formed by dry etching, the density difference of the mask pattern is reduced, and the microloading effect is reduced. As a result, it is possible to improve the processing accuracy when forming the inertial sensor by dry etching.

電子機器は、上記のいずれかに記載の慣性センサーと、前記慣性センサーから出力される検出信号に基づいて制御を行う制御回路と、を有することを特徴とする。 An electronic device includes any one of the inertial sensors described above, and a control circuit that performs control based on a detection signal output from the inertial sensor.

この構成によれば、電子機器は、上記の慣性センサーの効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。 According to this configuration, the electronic device can enjoy the effects of the inertial sensor, and can exhibit high reliability.

移動体は、上記のいずれかに記載の慣性センサーと、前記慣性センサーから出力される検出信号に基づいて制御を行う制御回路と、を有することを特徴とする。 A moving object includes any one of the inertial sensors described above, and a control circuit that performs control based on a detection signal output from the inertial sensor.

この構成によれば、移動体は、上記の慣性センサーの効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。 According to this configuration, the moving body can enjoy the effects of the inertial sensor, and can exhibit high reliability.

１…慣性センサー、２…基部、３…素子部、４…固定電極部、６…可動電極部、８…蓋部、４１…Ｐ側固定電極部、４２…Ｎ側固定電極部、６１…Ｐ側可動電極部、６２…Ｎ側可動電極部、４１１…Ｐ側幹部、４１２…Ｐ側固定電極指、４１２ａ…Ｐ側第１固定電極指、４１２ｂ…Ｐ側第２固定電極指、４２１…Ｎ側幹部、４２２…Ｎ側固定電極指、４２２ａ…Ｎ側第１固定電極指、４２２ｂ…Ｎ側第２固定電極指、５２１…枠部、６１１，６５１，６６１，６７１…Ｐ側可動電極指、６１１ａ，６２１ａ，６５１ａ，６６１ａ，６７１ａ…第１部分、６１１ｂ，６２１ｂ，６５１ｂ，６６１ｂ，６７１ｂ…第２部分、６１１ｃ，６２１ｃ，６５１ｃ，６６１ｃ…接続部、６２１…Ｎ側可動電極指、１２００…スマートフォン、１２１０，１５０２…制御回路、１５００…自動車、２０００，３１００…慣性計測装置、２３５０…加速度センサー、３０００…移動体測位装置。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Inertia sensor 2... Base part 3... Element part 4... Fixed electrode part 6... Movable electrode part 8... Lid part 41... P side fixed electrode part 42... N side fixed electrode part 61... P Side movable electrode part 62...N side movable electrode part 411...P side stem 412...P side fixed electrode finger 412a...P side first fixed electrode finger 412b...P side second fixed electrode finger 421...N Side stem 422... N side fixed electrode finger 422a... N side first fixed electrode finger 422b... N side second fixed electrode finger 521... Frame portion 611, 651, 661, 671... P side movable electrode finger, 611a, 621a, 651a, 661a, 671a... first part 611b, 621b, 651b, 661b, 671b... second part 611c, 621c, 651c, 661c... connection part 621... N-side movable electrode finger 1200... smartphone , 1210, 1502... Control circuit 1500... Automobile 2000, 3100... Inertial measurement device 2350... Acceleration sensor 3000... Mobile object positioning device.

Claims (8)

第１方向に延在する第１固定電極指及び第２固定電極指と、
前記第１固定電極指と前記第２固定電極指との間に位置し、前記第１方向と交差する第２方向に変位可能な可動電極指と、を備え、
前記可動電極指は、前記第１固定電極指と対向する第１部分と、前記第１部分と前記第２固定電極指との間に位置する第２部分と、を有し、
前記第１部分と前記第１固定電極指との間隔をＤ１、前記第２部分と前記第２固定電極指との間隔をＤ２、前記第１部分と前記第２部分との間隔をＤ３とした時、
Ｄ１＜Ｄ２、且つＤ３＜Ｄ２を満たし、
前記第１部分と前記第２部分とを接続する接続部を有し、
Ｄ１＝Ｄ３を満たし、
前記第２方向における前記第２部分の幅は、前記第１部分の幅より狭いこと、
を特徴とする慣性センサー。 a first fixed electrode finger and a second fixed electrode finger extending in a first direction;
a movable electrode finger positioned between the first fixed electrode finger and the second fixed electrode finger and displaceable in a second direction intersecting the first direction;
The movable electrode finger has a first portion facing the first fixed electrode finger and a second portion positioned between the first portion and the second fixed electrode finger,
The distance between the first portion and the first fixed electrode finger is D1, the distance between the second portion and the second fixed electrode finger is D2, and the distance between the first portion and the second portion is D3. Time,
satisfying D1<D2 and D3<D2,
Having a connecting portion that connects the first portion and the second portion,
satisfies D1=D3,
the width of the second portion in the second direction is narrower than the width of the first portion;
An inertial sensor characterized by 第１方向に延在する第１固定電極指及び第２固定電極指と、
前記第１固定電極指と前記第２固定電極指との間に位置し、前記第１方向と交差する第２方向に変位可能な可動電極指と、を備え、
前記可動電極指は、前記第１固定電極指と対向する第１部分と、前記第１部分と前記第２固定電極指との間に前記第１方向に沿って互いに分割されて位置する複数の第２部分と、を有し、
前記第１部分と前記第１固定電極指との間隔をＤ１、前記複数の第２部分と前記第２固定電極指との間隔をＤ２、前記第１部分と前記複数の第２部分との間隔をＤ３とした時、
Ｄ１＜Ｄ２、且つＤ３＜Ｄ２を満たすこと、
を特徴とする慣性センサー。 a first fixed electrode finger and a second fixed electrode finger extending in a first direction;
a movable electrode finger positioned between the first fixed electrode finger and the second fixed electrode finger and displaceable in a second direction intersecting the first direction;
The movable electrode finger has a first portion facing the first fixed electrode finger, and a plurality of movable electrode fingers separated from each other along the first direction and located between the first portion and the second fixed electrode finger. a second portion;
D1 is the interval between the first portion and the first fixed electrode fingers, D2 is the interval between the plurality of second portions and the second fixed electrode fingers, and D2 is the interval between the first portion and the plurality of second portions. is D3,
satisfying D1<D2 and D3<D2;
An inertial sensor characterized by 前記第１部分と前記複数の第２部分とをそれぞれ接続する複数の接続部を有し、
Ｄ１＝Ｄ３を満たすこと、
を特徴とする請求項２に記載の慣性センサー。 having a plurality of connecting portions that connect the first portion and the plurality of second portions, respectively ;
satisfying D1=D3;
3. The inertial sensor of claim 2 , characterized by: 前記第２方向における前記複数の第２部分のそれぞれの幅は、前記第１部分の幅より狭いこと、
を特徴とする請求項２又は３に記載の慣性センサー。 the width of each of the plurality of second portions in the second direction being narrower than the width of the first portion;
4. The inertial sensor according to claim 2 or 3 , characterized by: 慣性センサーの製造方法であって、
第１方向に延在する第１固定電極指及び第２固定電極指と、
前記第１固定電極指と前記第２固定電極指との間に位置し、前記第１方向と交差する第２方向に変位可能な可動電極指とをエッチングにて加工する第１の工程、を備え、
前記第１の工程は、前記可動電極指を前記第１固定電極指と対向する第１部分と、前記第１部分と前記第２固定電極指との間に位置する第２部分と、前記第１部分と前記第２部分とを接続する接続部とに加工する第２の工程を有し、
前記第２の工程では、前記第１部分と前記第１固定電極指との間隔をＤ１、前記第２部分と前記第２固定電極指との間隔をＤ２、前記第１部分と前記第２部分との間隔をＤ３とした時、
Ｄ１＜Ｄ２、Ｄ３＜Ｄ２及びＤ１＝Ｄ３を満たし、
前記第２方向における前記第２部分の幅は、前記第１部分の幅より狭いように加工する、
ことを特徴とする慣性センサーの製造方法。 A method of manufacturing an inertial sensor, comprising:
a first fixed electrode finger and a second fixed electrode finger extending in a first direction;
a first step of etching a movable electrode finger positioned between the first fixed electrode finger and the second fixed electrode finger and displaceable in a second direction intersecting the first direction; prepared,
The first step comprises: a first portion facing the movable electrode finger to the first fixed electrode finger; a second portion located between the first portion and the second fixed electrode finger ; a second step of processing the first portion and a connecting portion that connects the second portion ;
In the second step, D1 is the distance between the first portion and the first fixed electrode finger, D2 is the distance between the second portion and the second fixed electrode finger, and D2 is the distance between the first portion and the second portion. When the interval between and is D3,
satisfying D1<D2 , D3<D2 and D1=D3,
The width of the second portion in the second direction is processed so as to be narrower than the width of the first portion .
A method of manufacturing an inertial sensor, characterized by: 慣性センサーの製造方法であって、
第１方向に延在する第１固定電極指及び第２固定電極指と、
前記第１固定電極指と前記第２固定電極指との間に位置し、前記第１方向と交差する第２方向に変位可能な可動電極指とをエッチングにて加工する第１の工程、を備え、
前記第１の工程は、前記可動電極指を前記第１固定電極指と対向する第１部分と、前記第１部分と前記第２固定電極指との間に前記第１方向に沿って互いに分割されて位置する複数の第２部分と、に加工する第２の工程を有し、
前記第２の工程では、前記第１部分と前記第１固定電極指との間隔をＤ１、前記複数の第２部分と前記第２固定電極指との間隔をＤ２、前記第１部分と前記複数の第２部分との間隔をＤ３とした時、
Ｄ１＜Ｄ２、且つＤ３＜Ｄ２に加工する、
ことを特徴とする慣性センサーの製造方法。 A method of manufacturing an inertial sensor, comprising:
a first fixed electrode finger and a second fixed electrode finger extending in a first direction;
a first step of etching a movable electrode finger positioned between the first fixed electrode finger and the second fixed electrode finger and displaceable in a second direction intersecting the first direction; prepared,
The first step includes dividing the movable electrode finger into a first portion facing the first fixed electrode finger and dividing the movable electrode finger between the first portion and the second fixed electrode finger along the first direction. a second step of processing into a plurality of second portions positioned as
In the second step, the distance between the first portion and the first fixed electrode fingers is D1, the distance between the plurality of second portions and the second fixed electrode fingers is D2, the first portion and the plurality of When the interval from the second part of is D3,
Process D1 < D2 and D3 < D2,
A method of manufacturing an inertial sensor, characterized by: 請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の慣性センサーと、
前記慣性センサーから出力される検出信号に基づいて制御を行う制御回路と、を有すること、
を特徴とする電子機器。 an inertial sensor according to any one of claims 1 to 6 ;
a control circuit that performs control based on a detection signal output from the inertial sensor;
An electronic device characterized by: 請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の慣性センサーと、
前記慣性センサーから出力される検出信号に基づいて制御を行う制御回路と、を有すること、
を特徴とする移動体。 an inertial sensor according to any one of claims 1 to 6 ;
a control circuit that performs control based on a detection signal output from the inertial sensor;
A moving body characterized by
JP2019116208A 2019-06-24 2019-06-24 Inertial sensor, manufacturing method of inertial sensor, electronic device and moving object Active JP7331488B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019116208A JP7331488B2 (en) 2019-06-24 2019-06-24 Inertial sensor, manufacturing method of inertial sensor, electronic device and moving object

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019116208A JP7331488B2 (en) 2019-06-24 2019-06-24 Inertial sensor, manufacturing method of inertial sensor, electronic device and moving object

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2021001828A JP2021001828A (en) 2021-01-07
JP7331488B2 true JP7331488B2 (en) 2023-08-23

Family

ID=73994961

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019116208A Active JP7331488B2 (en) 2019-06-24 2019-06-24 Inertial sensor, manufacturing method of inertial sensor, electronic device and moving object

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7331488B2 (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000206142A (en) 1998-11-13 2000-07-28 Denso Corp Semiconductor dynamic quantity sensor and its manufacture

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3307328B2 (en) * 1998-05-11 2002-07-24 株式会社デンソー Semiconductor dynamic quantity sensor
JP2000077681A (en) * 1998-09-03 2000-03-14 Murata Mfg Co Ltd Manufacture of electronic component
JP6866624B2 (en) * 2016-12-07 2021-04-28 セイコーエプソン株式会社 Physical quantity sensors, physical quantity sensor devices, electronic devices and mobiles

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000206142A (en) 1998-11-13 2000-07-28 Denso Corp Semiconductor dynamic quantity sensor and its manufacture

Also Published As

Publication number Publication date
JP2021001828A (en) 2021-01-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10697773B2 (en) Physical quantity sensor, method for manufacturing physical quantity sensor, physical quantity sensor device, electronic apparatus, and vehicle
CN111487438B (en) Inertial sensor, electronic device, and moving object
US20200309814A1 (en) Inertial sensor, electronic device, and vehicle
JP7331488B2 (en) Inertial sensor, manufacturing method of inertial sensor, electronic device and moving object
US11460483B2 (en) Inertial sensor, electronic instrument, and vehicle
US11755017B2 (en) Inertial sensor, electronic instrument, and vehicle
CN112129972B (en) Inertial sensor, electronic apparatus, and moving object
CN111735990B (en) Inertial sensor, electronic apparatus, and moving object
JP7404649B2 (en) Inertial sensors, electronic devices and mobile objects
JP7225817B2 (en) Angular rate sensors, inertial measurement devices, electronics and moving objects
JP2019074446A (en) Physical quantity sensor, electronic apparatus, and movable body
CN112305262B (en) Inertial sensor, electronic apparatus, and moving object
JP7206905B2 (en) Inertial sensors, electronics and vehicles
CN111398630B (en) Inertial sensor, electronic apparatus, and moving object
US11391753B2 (en) Inertial sensor, electronic instrument, and vehicle
JP7099284B2 (en) Inertia sensors, electronic devices and moving objects
JP2020179476A (en) Mems structure, electronic apparatus and moving body
CN113567708A (en) Physical quantity sensor, electronic apparatus, and moving object
JP2018146453A (en) Method for manufacturing movable element
JP2020122739A (en) Inertial sensor, electronic apparatus, and movable body

Legal Events

Date Code Title Description
RD07 Notification of extinguishment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7427

Effective date: 20200811

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20210916

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20211102

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220511

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230207

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230214

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230407

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230711

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230724

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7331488

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150