JP7232676B2 - ceramic substrate - Google Patents

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Description

本発明は、セラミック基板に関し、具体的には、回路の少なくとも一部を構成する回路素子が搭載されるセラミック基板に関する。 BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ceramic substrate, and more specifically to a ceramic substrate on which circuit elements forming at least part of a circuit are mounted.

このようなセラミック基板を用いた電子部品として、セラミック基板に電極や抵抗などの上記回路素子が搭載されたチップ抵抗器が知られている。下記特許文献1に記載されているように、このようなチップ抵抗器などの電子部品は、セラミック基板の主面上に電極や抵抗などの回路素子を印刷し、当該セラミック基板を焼成した後、所定の大きさに個片化することによって製造される。 As an electronic component using such a ceramic substrate, there is known a chip resistor in which the above circuit elements such as electrodes and resistors are mounted on a ceramic substrate. As described in Patent Document 1 below, electronic components such as chip resistors are manufactured by printing circuit elements such as electrodes and resistors on the main surface of a ceramic substrate, and firing the ceramic substrate. It is manufactured by singulating into pieces of a predetermined size.

特開2001-338806号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-338806

しかし、上記特許文献1に記載されている電子部品の製造工程では、セラミック基板に電子部品を印刷する際、セラミック基板を焼成炉に配置する際、あるいは、セラミック基板を個片化する際などに、セラミック基板に様々な外力が作用する。この場合、セラミック基板を形成する結晶粒の結晶粒界に沿ってクラックが生じて、このクラックに起因する割れなどの破損がセラミック基板に発生し、良好な電子部品が得られない懸念がある。近年、電子部品の小型化の要請に伴って、電子部品を構成するセラミック基板も小型化及び薄型化する傾向にある。このため、セラミック基板に破損が生じる上記懸念がより大きくなっている。 However, in the electronic component manufacturing process described in Patent Document 1, when printing the electronic component on the ceramic substrate, when placing the ceramic substrate in a firing furnace, or when singulating the ceramic substrate, , various external forces act on the ceramic substrate. In this case, cracks are generated along the grain boundaries of the crystal grains forming the ceramic substrate, and damage such as cracks due to the cracks may occur in the ceramic substrate, making it difficult to obtain good electronic components. In recent years, with the demand for miniaturization of electronic components, ceramic substrates constituting electronic components also tend to be miniaturized and thinned. For this reason, the above-mentioned concern that the ceramic substrate may be damaged is becoming more serious.

そこで、本発明は、破損し難いセラミック基板を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a ceramic substrate that is difficult to break.

上記目的の達成のため、本発明のセラミック基板は、回路の少なくとも一部を構成する回路素子が実装される実装領域と、前記実装領域を囲み、前記回路素子が実装されない非実装領域と、を備え、前記非実装領域における結晶粒の平均結晶粒径は、前記実装領域における結晶粒の平均結晶粒径よりも大きいことを特徴とするものである。 In order to achieve the above objects, the ceramic substrate of the present invention comprises a mounting area on which circuit elements constituting at least a part of a circuit are mounted, and a non-mounting area surrounding the mounting area and on which the circuit elements are not mounted. An average crystal grain size of crystal grains in the non-mounting region is larger than an average crystal grain size of crystal grains in the mounting region.

このように、本発明のセラミック基板では、非実装領域における結晶粒の平均結晶粒径が実装領域における結晶粒の平均結晶粒径よりも大きいため、非実装領域において結晶粒界が実装領域に比べて少なくなる。このように結晶粒界が少なくなることで、非実装領域の破壊起点が減少して破壊確率が減少し得るため、非実装領域における抗折強度が実装領域における抗折強度よりも大きくなり得る。したがって、非実装領域に外力が付与されても、当該非実装領域に生じるクラックが低減され得る。また、このように、非実装領域に生じるクラックが低減され得るため、非実装領域から実装領域に伝わるクラックが低減され得る。よって、本発明のセラミック基板によれば、このようなクラックに起因する割れなどの破損を抑制することができる。 As described above, in the ceramic substrate of the present invention, the average crystal grain size of the crystal grains in the non-mounting region is larger than the average crystal grain size of the crystal grains in the mounting region. less. Since the number of crystal grain boundaries is reduced in this way, the number of fracture starting points in the non-mounting region is reduced, and the probability of fracture can be reduced. Therefore, even if an external force is applied to the non-mounting area, cracks generated in the non-mounting area can be reduced. Moreover, since cracks generated in the non-mounting region can be reduced in this way, cracks propagating from the non-mounting region to the mounting region can be reduced. Therefore, according to the ceramic substrate of the present invention, breakage such as cracking caused by such cracks can be suppressed.

なお、前記非実装領域の少なくとも外縁において、前記非実装領域における結晶粒の平均結晶粒径が、前記実装領域における結晶粒の平均結晶粒径の1.4倍以上であることが好ましい。 It is preferable that the average crystal grain size of the crystal grains in the non-mounting region is 1.4 times or more the average crystal grain size of the crystal grains in the mounting region at least at the outer edge of the non-mounting region.

非実装領域における結晶粒が上記のような大きさであれば、上記結晶粒の結晶粒界がより少なくなり得る。したがって、セラミック基板の破損をより効果的に抑制することができる。 If the crystal grains in the non-mounting region have the above size, the grain boundaries of the crystal grains can be further reduced. Therefore, breakage of the ceramic substrate can be more effectively suppressed.

また、前記非実装領域における結晶粒の平均結晶粒径が、前記実装領域における結晶粒の平均結晶粒径の1.6倍以下とされてもよい。 Further, an average crystal grain size of crystal grains in the non-mounting region may be 1.6 times or less as large as an average crystal grain size of crystal grains in the mounting region.

この場合、実装領域内において結晶粒界の多寡が生じることを効果的に抑制することができる。 In this case, it is possible to effectively suppress the occurrence of grain boundaries in the mounting region.

また、前記非実装領域の抗折強度は、前記実装領域の抗折強度の1.09倍以上であることが好ましい。 Moreover, it is preferable that the non-mounting region has a bending strength that is 1.09 times or more the bending strength of the mounting region.

非実装領域の抗折強度がこのような大きさであれば、非実装領域にクラックが生じることが効果的に抑制され、その結果、実装領域にクラックが生じることがより効果的に抑制され得る。 If the bending strength of the non-mounting region is such a magnitude, the occurrence of cracks in the non-mounting region can be effectively suppressed, and as a result, the occurrence of cracks in the mounting region can be more effectively suppressed. .

また、前記セラミック基板は、酸化アルミニウムと酸化マグネシウムとから形成されてもよく、この場合、前記酸化アルミニウムの含有量は98%以上であることが好ましい。 Also, the ceramic substrate may be made of aluminum oxide and magnesium oxide, and in this case, the aluminum oxide content is preferably 98% or more.

また、上記セラミック基板の厚みが0.1mm以下であってもよい。 Moreover, the thickness of the ceramic substrate may be 0.1 mm or less.

厚みが0.1mm以下のこのようなセラミック基板は、例えばチップ抵抗器に使用される一般的なセラミック基板に比べて概ね薄い。しかし、上述のように、本発明のセラミック基板は、非実装領域の平均結晶粒径が実装領域の平均結晶粒径に比べて大きくなっている。したがって、このようにセラミック基板が薄い場合でも、セラミック基板の破損を抑制することができる。 Such ceramic substrates with a thickness of 0.1 mm or less are generally thinner than typical ceramic substrates used for chip resistors, for example. However, as described above, in the ceramic substrate of the present invention, the average crystal grain size in the non-mounting region is larger than the average crystal grain size in the mounting region. Therefore, even if the ceramic substrate is thin as described above, damage to the ceramic substrate can be suppressed.

以上のように、本発明によれば、破損し難いセラミック基板が提供される。 As described above, according to the present invention, a ceramic substrate that is difficult to break is provided.

本発明のセラミック基板を概略的に示す斜視図である。1 is a perspective view schematically showing a ceramic substrate of the present invention; FIG. 図1に示されるセラミック基板の平面図である。FIG. 2 is a plan view of the ceramic substrate shown in FIG. 1; 図2におけるセラミック基板の位置と、当該位置における結晶粒の平均結晶粒径との関係を表すグラフである。3 is a graph showing the relationship between the position of the ceramic substrate in FIG. 2 and the average crystal grain size of the crystal grains at that position. 図2におけるセラミック基板を製造するためのセラミックグリーンシートを調整する様子を図である。FIG. 3 is a diagram showing how a ceramic green sheet for manufacturing the ceramic substrate in FIG. 2 is adjusted; 測定用小片を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the small piece for a measurement. セラミック基板の抗折強度を示すグラフである。It is a graph which shows the bending strength of a ceramic substrate.

以下、本発明に係るセラミック基板を実施するための形態が添付図面とともに例示される。以下に例示する実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、以下の実施形態から変更、改良することができる。なお、以下に参照する図面では、理解を容易にするために、各部材の寸法を変えて示す場合がある。 Hereinafter, embodiments for carrying out the ceramic substrate according to the present invention will be exemplified with accompanying drawings. The embodiments illustrated below are intended to facilitate understanding of the present invention, and are not intended to limit and interpret the present invention. The present invention can be modified and improved from the following embodiments without departing from its gist. Note that in the drawings referred to below, the dimensions of each member may be changed to facilitate understanding.

図1は本発明のセラミック基板1を概略的に示す斜視図あり、図2はセラミック基板1の平面図である。図1及び図2に示すように、セラミック基板1は、薄い略直方体の外形を有している。例えば、セラミック基板1の主面の長手方向の長さWを70mmとしてもよく、当該主面の長手方向に垂直な垂直方向の長さLを60mmとしてもよく、セラミック基板1の厚みHを0.1mm以下としてもよい。 FIG. 1 is a perspective view schematically showing a ceramic substrate 1 of the present invention, and FIG. 2 is a plan view of the ceramic substrate 1. As shown in FIG. As shown in FIGS. 1 and 2, the ceramic substrate 1 has a thin, substantially rectangular parallelepiped outer shape. For example, the length W in the longitudinal direction of the main surface of the ceramic substrate 1 may be 70 mm, the length L in the vertical direction perpendicular to the longitudinal direction of the main surface may be 60 mm, and the thickness H of the ceramic substrate 1 may be 0 mm. .1 mm or less.

このセラミック基板1は、酸化マグネシウムと、主成分としての酸化アルミニウムとを含んでいる。なお、主成分として、窒化アルミニウム、あるいはムライトなどを用いてもよい。また、この主成分の含有量は、適宜変更することができるが、例えば、90wt%以上が好ましく、98wt%以上がより好ましく、99.9wt%以上であればさら好ましい。 This ceramic substrate 1 contains magnesium oxide and aluminum oxide as a main component. Note that aluminum nitride, mullite, or the like may be used as the main component. Also, the content of this main component can be changed as appropriate, but for example, it is preferably 90 wt % or more, more preferably 98 wt % or more, and even more preferably 99.9 wt % or more.

このようなセラミック基板1は、例えば、主成分が酸化アルミニウムからなる場合には、例えば後述する製造方法により作製された薄い直方体状のセラミックグリーンシートを、酸化アルミニウムが焼結し得る温度で焼成することにより作製することができる。当該温度は、例えば1400℃から1800℃とされ、1500℃から1600℃であればセラミック基板1の抗折強度を高める点からより好ましく、1525℃又は1550℃であれば上記抗折強度がより高まる点からさらに好ましい。なお、セラミックグリーンシートは、焼成することによりセラミック焼結体となる生シートである。 For example, when the main component of such a ceramic substrate 1 is aluminum oxide, a thin rectangular parallelepiped ceramic green sheet produced by, for example, a manufacturing method described later is fired at a temperature at which aluminum oxide can be sintered. It can be produced by The temperature is, for example, 1400° C. to 1800° C., more preferably 1500° C. to 1600° C. from the viewpoint of increasing the bending strength of the ceramic substrate 1, and a temperature of 1525° C. or 1550° C. further increases the bending strength. It is more preferable from the point of view. Note that the ceramic green sheet is a raw sheet that becomes a ceramic sintered body by firing.

セラミック基板1は、実装領域2と、非実装領域3とを含んでいる。 A ceramic substrate 1 includes a mounting area 2 and a non-mounting area 3 .

実装領域2は、回路の少なくとも一部を構成する回路素子としての電極や抵抗などが実装される領域である。この実装領域2は、境界11を境にして碁盤目状に区分けされている。つまり、区分けされた実装領域2の1区画が1つの基板個片10とされ、これら基板個片10のそれぞれの主面に電子部品が実装される。なお、境界11は、複数の基板個片10を画定するために仮想的に設定されたものであり、図1において破線で示されている。この境界11に沿って実装領域2を個片化することで、1つのセラミック基板1から、チップ抵抗器などの電子部品を複数得ることができる。 The mounting area 2 is an area where electrodes, resistors, and the like as circuit elements forming at least a part of the circuit are mounted. The mounting area 2 is divided into a grid with boundaries 11 as boundaries. That is, one section of the divided mounting area 2 is defined as one board piece 10, and the electronic component is mounted on each main surface of each of these board pieces 10. As shown in FIG. The boundary 11 is virtually set to define the plurality of substrate pieces 10, and is indicated by broken lines in FIG. By singulating the mounting area 2 along this boundary 11 , a plurality of electronic components such as chip resistors can be obtained from one ceramic substrate 1 .

上記のような個片化は、例えば、レーザやダイシングソーを用いた切断により行ってもよく、境界11に分割溝を形成して実装領域2を分割することによって行ってもよい。本実施形態のセラミック基板1は、上述のように厚さが0.1mmであり、例えばチップ抵抗器を形成するための一般的なセラミック基板に比べて薄く形成されている。したがって、本実施形態のセラミック基板1の個片化は、レーザを用いた切断により行うことが好ましい。 The singulation as described above may be performed, for example, by cutting using a laser or a dicing saw, or may be performed by forming dividing grooves in the boundary 11 to divide the mounting area 2 . The ceramic substrate 1 of the present embodiment has a thickness of 0.1 mm as described above, and is formed thinner than a general ceramic substrate for forming a chip resistor, for example. Therefore, it is preferable to separate the ceramic substrate 1 of the present embodiment into individual pieces by cutting using a laser.

非実装領域3は、実装領域2を囲む領域であり、セラミック基板1の外縁3Aと、当該外縁3Aから距離Dだけ内側に位置する実装領域2の外縁2Aとの間の領域である。したがって、セラミック基板1の外縁3Aが、非実装領域3の外縁とされる。この非実装領域3は、電子部品が実装されない領域であり、実装領域2に電子部品が実装される際などに、実装領域2に直接外力が付与されることを抑制する。なお、非実装領域3は、実装領域2に電子部品が実装された後、実装領域2から切断される。非実装領域3の幅となる上記距離Dは、特に限定されないが、実装領域2の範囲を十分に確保できる程度の長さとされることが好ましい。例えば、セラミック基板1の長手方向の長さWが概ね70mm、垂直方向の長さLが概ね60mm、厚みが概ね0.1mmの場合、距離Dは、概ね5mm以下であることが好ましく、2.4mm以下であれば、実装領域2の範囲を十分に確保できる点からより好ましい。 The non-mounting area 3 is an area surrounding the mounting area 2, and is an area between the outer edge 3A of the ceramic substrate 1 and the outer edge 2A of the mounting area 2 positioned inward by the distance D from the outer edge 3A. Therefore, the outer edge 3A of the ceramic substrate 1 serves as the outer edge of the non-mounting area 3. As shown in FIG. The non-mounting region 3 is a region where electronic components are not mounted, and prevents external force from being applied directly to the mounting region 2 when electronic components are mounted on the mounting region 2 . The non-mounting area 3 is cut off from the mounting area 2 after the electronic component is mounted on the mounting area 2 . Although the distance D, which is the width of the non-mounting area 3, is not particularly limited, it is preferably set to a length sufficient to secure the range of the mounting area 2. FIG. For example, when the length W in the longitudinal direction of the ceramic substrate 1 is approximately 70 mm, the length L in the vertical direction is approximately 60 mm, and the thickness is approximately 0.1 mm, the distance D is preferably approximately 5 mm or less. If it is 4 mm or less, it is more preferable from the point that the range of the mounting area 2 can be sufficiently secured.

本発明のセラミック基板1は、非実装領域3における結晶粒の平均結晶粒径が、実装領域2における結晶粒の平均結晶粒径よりも大きい構成とされる。 The ceramic substrate 1 of the present invention is configured such that the average crystal grain size of the crystal grains in the non-mounting region 3 is larger than the average crystal grain size of the crystal grains in the mounting region 2 .

図3は、セラミック基板1の結晶粒の平均結晶粒径と、図2におけるセラミック基板1の位置との関係を示すグラフである。図3におけるポイントP1~P4は、それぞれ図2におけるポイントP1~P4に対応するものである。ここで、図2におけるポイントP1は、セラミック基板1の上記垂直方向の中央を上記長手方向に延びる中心線Kと、セラミック基板1の外縁3Aとが交わる領域であり、非実装領域3に位置している。ポイントP2~P4は、実装領域2における中心線K上の領域であり、具体的には、ポイントP2は、長さWの概ね1/8の長さだけ外縁3Aから内側に位置し、ポイントP3は、長さWの概ね1/4の長さだけ外縁3Aから内側に位置し、ポイントP4は、長さWの概ね1/2の長さだけ外縁3Aから内側に位置する。したがって、例えば、長さWが70mmの場合、ポイントP2~P4のそれぞれは、外縁3Aよりも内側に概ね、9mm、18mm、及び35mmにおける中心線K上の領域とされる。 FIG. 3 is a graph showing the relationship between the average crystal grain size of the crystal grains of the ceramic substrate 1 and the position of the ceramic substrate 1 in FIG. Points P1 to P4 in FIG. 3 correspond to points P1 to P4 in FIG. 2, respectively. Here, a point P1 in FIG. 2 is a region where a center line K extending in the longitudinal direction at the center of the ceramic substrate 1 in the vertical direction intersects with the outer edge 3A of the ceramic substrate 1, and is located in the non-mounting region 3. ing. Points P2 to P4 are areas on the center line K in the mounting area 2. Specifically, the point P2 is located inside the outer edge 3A by approximately ⅛ of the length W, and the point P3 is located inward from the outer edge 3A by approximately 1/4 of the length W, and the point P4 is located inward from the outer edge 3A by approximately 1/2 of the length W. Therefore, for example, when the length W is 70 mm, each of the points P2 to P4 is an area on the center line K at approximately 9 mm, 18 mm, and 35 mm inside the outer edge 3A.

図3において実線で示すグラフは、例えば後述する製造方法により作製されたセラミックグリーンシートを1550℃で焼成してなる、長さWが概ね70mm、長さLが概ね60mm、厚みHが概ね0.1mmの寸法を有するセラミック基板1のポイントP1~P4における平均結晶粒径を示している。また、図3において破線で示すグラフは、例えば後述する製造方法により作製されたセラミックグリーンシートを1525℃で焼成してなる、長さWが概ね70mm、長さLが概ね60mm、厚みHが概ね0.1mmのセラミック基板1のポイントP1~P4における平均結晶粒径を示している。図3に示すように、セラミック基板1では、非実装領域3に属するポイントP1における平均結晶粒径が実装領域2に属するポイントP2~P4における平均結晶粒径よりも大きい。本実施形態におけるセラミック基板1では、具体的には、非実装領域3に属するポイントP1の平均結晶粒径は、実装領域2に属するポイントP2~P4の平均結晶粒径の概ね1.4倍以上1.6倍以下とされる。 The graph shown by the solid line in FIG. 3 shows a ceramic green sheet produced by, for example, a manufacturing method described later and fired at 1550° C., with a length W of approximately 70 mm, a length L of approximately 60 mm, and a thickness H of approximately 0.5 mm. It shows the average crystal grain size at points P1 to P4 of the ceramic substrate 1 having a dimension of 1 mm. In addition, the graph shown by the broken line in FIG. 3 is obtained by firing, for example, a ceramic green sheet produced by a manufacturing method described later at 1525 ° C., the length W is approximately 70 mm, the length L is approximately 60 mm, and the thickness H is approximately It shows the average crystal grain size at points P1 to P4 of the ceramic substrate 1 of 0.1 mm. As shown in FIG. 3, in the ceramic substrate 1, the average crystal grain size at the point P1 belonging to the non-mounting region 3 is larger than the average crystal grain size at the points P2 to P4 belonging to the mounting region 2. As shown in FIG. Specifically, in the ceramic substrate 1 of the present embodiment, the average grain size of the point P1 belonging to the non-mounting region 3 is about 1.4 times or more the average grain size of the points P2 to P4 belonging to the mounting region 2. 1.6 times or less.

このような平均結晶粒径は、例えば、以下のようにして測定することができる。まず、ポイントP1~P4のそれぞれを電解放出型走査電子顕微鏡で観察して観察画像を取得する。その後、当該観察画像に映された結晶粒の結晶粒界に沿って線を引いて、画像処理ソフトウェア「Image-J」を用いて観察画像を二値化する。こうして二値化処理された画像に基づいて、各結晶粒の粒径をフェレー径として算出して、算出されたフェレー径の平均値を求める。このようにして、各ポイントP1~P4における結晶粒の平均結晶粒径を求めることができる。 Such an average crystal grain size can be measured, for example, as follows. First, each of the points P1 to P4 is observed with a field emission scanning electron microscope to obtain an observed image. After that, lines are drawn along the grain boundaries of the crystal grains shown in the observed image, and the observed image is binarized using image processing software “Image-J”. Based on the binarized image, the grain size of each crystal grain is calculated as the Feret diameter, and the average value of the calculated Feret diameters is obtained. In this manner, the average crystal grain size of the crystal grains at each of the points P1 to P4 can be obtained.

また、非実装領域3における結晶粒の平均結晶粒径が、実装領域2における結晶粒の平均結晶粒径よりも大きい構成を有するセラミック基板1は、例えば以下のようにして調整されたセラミックグリーンシートを焼成することによって作製し得る。 Further, the ceramic substrate 1 having a configuration in which the average crystal grain size of the crystal grains in the non-mounting region 3 is larger than the average crystal grain size of the crystal grains in the mounting region 2 is a ceramic green sheet prepared as follows, for example. can be made by firing

まず、図4に示すように、金型90を準備する。この金型90は、上面視において略長方形の形状を有しており、内壁91と、外壁92とを含んでいる。内壁91に囲まれた領域が第1空間93であり、内壁91と外壁92との間の空間が第2空間94である。次に、酸化アルミニウム粉末、酸化マグネシウム粉末、焼結助剤、有機バインダ、溶剤、可塑剤等を適宜混合してスラリーS1を調製し、このスラリーS1を金型90の第1空間93に充填する。次に、スラリーS1における酸化アルミニウム粉末よりも結晶粒の大きな酸化アルミニウム粉末、及び、スラリーS1と同様の酸化マグネシウム粉末、焼結助剤、有機バインダ、溶剤、可塑剤等を適宜混合してスラリーS2を調整し、このスラリーS2を金型90の第2空間94に充填する。その後、金型90を取り外し、スラリーS1,S2を加温しながら加圧する。例えば、このようにして、上記セラミック基板1を製造し得るセラミックグリーンシートを調整し得る。 First, as shown in FIG. 4, a mold 90 is prepared. The mold 90 has a substantially rectangular shape when viewed from above, and includes an inner wall 91 and an outer wall 92 . The area surrounded by the inner wall 91 is the first space 93 , and the space between the inner wall 91 and the outer wall 92 is the second space 94 . Next, an aluminum oxide powder, a magnesium oxide powder, a sintering aid, an organic binder, a solvent, a plasticizer, etc. are appropriately mixed to prepare a slurry S1, and the first space 93 of the mold 90 is filled with the slurry S1. . Next, an aluminum oxide powder having a larger crystal grain than the aluminum oxide powder in the slurry S1, a magnesium oxide powder similar to the slurry S1, a sintering aid, an organic binder, a solvent, a plasticizer, etc. are appropriately mixed to form a slurry S2. is adjusted, and the second space 94 of the mold 90 is filled with this slurry S2. After that, the mold 90 is removed, and the slurries S1 and S2 are heated and pressurized. For example, in this way, a ceramic green sheet from which the ceramic substrate 1 can be manufactured can be prepared.

以上のように、本実施形態のセラミック基板1は、回路の少なくとも一部を構成する回路素子が実装される実装領域2と、実装領域2を囲み、回路素子が実装されない非実装領域3と、を備えており、非実装領域3における結晶粒の平均結晶粒径は、実装領域2における結晶粒の平均結晶粒径よりも大きい。 As described above, the ceramic substrate 1 of the present embodiment includes a mounting area 2 in which circuit elements constituting at least a part of a circuit are mounted, a non-mounting area 3 surrounding the mounting area 2 and in which no circuit elements are mounted, and the average crystal grain size of the crystal grains in the non-mounting region 3 is larger than the average crystal grain size of the crystal grains in the mounting region 2 .

このような構成により、本実施形態におけるセラミック基板1では、非実装領域3において結晶粒界が実装領域2に比べて少なくなる。このように結晶粒界が少なくなることで、非実装領域3の破壊起点が減少して破壊確率が減少するため、非実装領域3における抗折強度が実装領域2における抗折強度よりも大きくなる。例えば、後述するように、上記セラミックグリーンシートを1525℃で焼成してなるセラミック基板1では、非実装領域3の抗折強度が実装領域2の抗折強度よりも概ね1.09倍以上大きくなり得、上記セラミックグリーンシートを1550℃で焼成してなるセラミック基板1では、非実装領域3の抗折強度が実装領域2の抗折強度よりも概ね1.11倍以上大きくなり得る。したがって、非実装領域3に外力が付与されても、非実装領域3に生じるクラックが低減され得る。また、このように、非実装領域3に生じるクラックが低減され得るため、非実装領域3から実装領域2に伝わるクラックが低減され得る。よって、本発明のセラミック基板1によれば、このようなクラックに起因する割れなどの破損を抑制することができる。 With such a configuration, the number of crystal grain boundaries in the non-mounting region 3 is smaller than that in the mounting region 2 in the ceramic substrate 1 of the present embodiment. Since the crystal grain boundaries are reduced in this way, the number of fracture starting points in the non-mounting region 3 is reduced, and the probability of fracture is reduced. . For example, as will be described later, in the ceramic substrate 1 obtained by firing the ceramic green sheet at 1525° C., the bending strength of the non-mounting region 3 is approximately 1.09 times or more greater than the bending strength of the mounting region 2. In the ceramic substrate 1 obtained by firing the ceramic green sheet at 1550° C., the bending strength of the non-mounting region 3 can be approximately 1.11 times or more greater than the bending strength of the mounting region 2 . Therefore, even if an external force is applied to the non-mounting area 3, cracks occurring in the non-mounting area 3 can be reduced. In addition, since cracks generated in the non-mounting region 3 can be reduced in this way, cracks propagating from the non-mounting region 3 to the mounting region 2 can be reduced. Therefore, according to the ceramic substrate 1 of the present invention, breakage such as cracks caused by such cracks can be suppressed.

また、本実施形態のセラミック基板1によれば、上述のように、非実装領域3の少なくとも外縁において、非実装領域3における結晶粒の平均結晶粒径が、実装領域2における結晶粒の平均結晶粒径の1.4倍以上とされる。非実装領域3における結晶粒がこのような大きさであれば、上記結晶粒界がより少なくなる。したがって、セラミック基板の破損をより効果的に抑制し得る。 Further, according to the ceramic substrate 1 of the present embodiment, as described above, at least at the outer edge of the non-mounting region 3, the average crystal grain size of the crystal grains in the non-mounting region 3 is equal to the average crystal grain size of the crystal grains in the mounting region 2. It should be 1.4 times or more the particle size. If the crystal grains in the non-mounting region 3 have such a size, the number of crystal grain boundaries is reduced. Therefore, breakage of the ceramic substrate can be suppressed more effectively.

また、本実施形態のセラミック基板1では、上述のように、非実装領域3における結晶粒の平均結晶粒径が、実装領域2における結晶粒の平均結晶粒径の1.6倍以下とされる。 Further, in the ceramic substrate 1 of the present embodiment, as described above, the average crystal grain size of the crystal grains in the non-mounting region 3 is 1.6 times or less the average crystal grain size of the crystal grains in the mounting region 2. .

図3に示すように、セラミック基板1の結晶粒の平均結晶粒径は、セラミック基板1の外縁3Aから実装領域2における非実装領域3との境界部近傍までの領域において次第に小さくなるのに対し、平均結晶粒径が最も小さくなる実装領域2の例えばポイントP2から中心のポイントP4までの領域では、概ね同じとなる傾向にある。このため、非実装領域3における結晶粒の平均結晶粒径が実装領域2における結晶粒の平均結晶粒径に比べて大きすぎると、平均結晶粒径が次第に小さくなる領域における平均結晶粒径の変化の傾きが急峻になり得る。例えば、図3におけるポイントP1からポイントP2までの平均結晶粒径の変化の傾きが急峻になり得る。この場合、例えば、実装領域2におけるポイントP2よりも非実装領域3側に位置する領域の平均結晶粒径と、ポイントP2よりも内側の領域である例えばポイントP3、P4における平均結晶粒径との間に差が生じ得る。このように、実装領域2において平均結晶粒径に差が生じると、実装領域2内において結晶粒界の多寡が生じ得る。 As shown in FIG. 3, the average crystal grain size of the crystal grains of the ceramic substrate 1 gradually decreases in the area from the outer edge 3A of the ceramic substrate 1 to the vicinity of the boundary between the mounting area 2 and the non-mounting area 3. , the mounting region 2 where the average crystal grain size is the smallest, for example, the region from the point P2 to the central point P4, tends to be approximately the same. Therefore, if the average crystal grain size of the crystal grains in the non-mounting region 3 is too large compared to the average crystal grain size of the crystal grains in the mounting region 2, the average crystal grain size will change in the region where the average crystal grain size gradually decreases. can be steep. For example, the slope of change in average grain size from point P1 to point P2 in FIG. 3 can be steep. In this case, for example, the average crystal grain size of the region located on the non-mounting region 3 side of the point P2 in the mounting region 2 and the average crystal grain size of the regions inside the point P2, such as the points P3 and P4. Differences can occur between As described above, if the average crystal grain size differs in the mounting region 2 , the number of crystal grain boundaries may vary in the mounting region 2 .

これに対し、非実装領域3における結晶粒の平均結晶粒径の上限を実装領域2における結晶粒の平均結晶粒径の1.6倍とすることで、平均結晶粒径が次第に小さくなる領域において平均結晶粒径の変化の傾きが急峻になることが抑制され、実装領域2内において結晶粒界の多寡が生じることが効果的に抑制され得る。したがって、例えば、実装領域2を個片化する際に、個片化される上記基板個片10の品質にばらつきが生じることをより効果的に抑制することができる。 On the other hand, by setting the upper limit of the average crystal grain size of the crystal grains in the non-mounting region 3 to 1.6 times the average crystal grain size of the crystal grains in the mounting region 2, in the region where the average crystal grain size gradually decreases The slope of the change in the average crystal grain size is suppressed from becoming steep, and the occurrence of large or small crystal grain boundaries in the mounting region 2 can be effectively suppressed. Therefore, for example, when the mounting region 2 is singulated, it is possible to more effectively suppress variations in the quality of the individual board pieces 10 to be singulated.

また、本実施形態のセラミック基板1は、上述のように、厚みが0.1mm以下であり、例えば、チップ抵抗器に使用される一般的なセラミック基板に比べて概ね薄い。しかし、上述のように、本発明のセラミック基板1は、非実装領域3の平均結晶粒径が実装領域2の平均結晶粒径に比べて大きいため、セラミック基板がこのように薄い場合でも、上記クラックなどに起因するセラミック基板の破損を抑制することができる。 In addition, the ceramic substrate 1 of the present embodiment has a thickness of 0.1 mm or less, as described above, and is generally thinner than, for example, general ceramic substrates used for chip resistors. However, as described above, in the ceramic substrate 1 of the present invention, the average crystal grain size of the non-mounting region 3 is larger than the average crystal grain size of the mounting region 2. Damage to the ceramic substrate due to cracks or the like can be suppressed.

以上、本発明に係るセラミック基板1について上記実施形態を例に説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。 As described above, the ceramic substrate 1 according to the present invention has been described as an example of the above embodiment, but the present invention is not limited to this.

例えば、上記実施形態では、非実装領域3の外縁における結晶粒の平均結晶粒径が、実装領域2における結晶粒の平均結晶粒径の1.4倍以上である例を説明した。しかし、非実装領域3の外縁における結晶粒の平均結晶粒径が、実装領域2における結晶粒の平均結晶粒径の1倍よりも大きく1.4倍よりも小さくてもよい。この場合でも、非実装領域3における結晶粒の平均結晶粒径が、実装領域2における結晶粒の平均結晶粒径よりも大きければ、上記クラックなどに起因するセラミック基板の破損を抑制することができる。 For example, in the above embodiment, the average crystal grain size of the crystal grains in the outer edge of the non-mounting region 3 is 1.4 times or more the average crystal grain size of the crystal grains in the mounting region 2 . However, the average crystal grain size of the crystal grains in the outer edge of the non-mounting region 3 may be larger than 1 time and smaller than 1.4 times the average crystal grain size of the crystal grains in the mounting region 2 . Even in this case, if the average crystal grain size of the crystal grains in the non-mounting region 3 is larger than the average crystal grain size of the crystal grains in the mounting region 2, breakage of the ceramic substrate due to the cracks can be suppressed. .

また、上記実施形態では、非実装領域3における結晶粒の平均結晶粒径が、実装領域2における結晶粒の平均結晶粒径の1.6倍以下とされる例を説明した。しかし、非実装領域3における結晶粒の平均結晶粒径が、実装領域2における結晶粒の平均結晶粒径よりも大きいのであれば、非実装領域3における結晶粒の平均結晶粒径の大きさの上限が実装領域2における結晶粒の平均結晶粒径の1.6倍である必要はなく、1.6倍以上であってもよい。この場合でも、非実装領域3における抗折強度を実装領域2における抗折強度よりも大きくすることができ、非実装領域3から実装領域2に伝わるクラックを低減し得る。 Further, in the above embodiment, an example has been described in which the average crystal grain size of the crystal grains in the non-mounting region 3 is 1.6 times or less the average crystal grain size of the crystal grains in the mounting region 2 . However, if the average crystal grain size of the crystal grains in the non-mounting region 3 is larger than the average crystal grain size of the crystal grains in the mounting region 2, the average crystal grain size of the crystal grains in the non-mounting region 3 The upper limit need not be 1.6 times the average crystal grain size of the crystal grains in the mounting region 2, and may be 1.6 times or more. Even in this case, the bending strength in the non-mounting region 3 can be made larger than the bending strength in the mounting region 2, and cracks transmitted from the non-mounting region 3 to the mounting region 2 can be reduced.

また、上記実施形態では、セラミック基板の厚みが0.1mm以下である例を説明したが、セラミック基板の厚みが0.1mmよりも大きくてもよい。この場合でも、非実装領域3における結晶粒の平均結晶粒径が、実装領域2における結晶粒の平均結晶粒径よりも大きければ、上記クラックなどに起因するセラミック基板の破損を抑制することができる。 Also, in the above embodiment, an example in which the thickness of the ceramic substrate is 0.1 mm or less has been described, but the thickness of the ceramic substrate may be greater than 0.1 mm. Even in this case, if the average crystal grain size of the crystal grains in the non-mounting region 3 is larger than the average crystal grain size of the crystal grains in the mounting region 2, breakage of the ceramic substrate due to the cracks can be suppressed. .

以下、実施例を挙げて本発明の内容をより具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。 EXAMPLES The present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited thereto.

(実施例1)
発明者らは、本発明のセラミック基板1の効果を検証するために、以下の実験を行った。
(Example 1)
The inventors conducted the following experiments in order to verify the effects of the ceramic substrate 1 of the present invention.

まず、発明者らは、非実装領域3における結晶粒の平均結晶粒径が、実装領域2における結晶粒の平均結晶粒径よりも大きい構成を有する、1550℃で焼成されたセラミック基板1を4枚準備した。これらセラミック基板1の平均結晶粒径は、上述の方法により算出された。すなわち、各セラミック基板1のポイントP1~P4のそれぞれを電解放出型走査電子顕微鏡で観察して得られた観察画像を、画像処理ソフトウェア「Image-J」で二値化処理し、算出された各結晶粒のフェレー径の平均値として求めた。このセラミック基板1は、長さWが70mm、長さLが60mm、厚みHが0.1mmの寸法となるように作製された。本実施例において、電解放出型走査電子顕微鏡で観察されたポイントP2~P4は、図2に示すセラミック基板1の外縁3Aからそれぞれ9mm内側、18mm内側、35mm内側の領域である。 First, the inventors prepared four ceramic substrates 1 fired at 1550° C. having a configuration in which the average crystal grain size of the crystal grains in the non-mounting region 3 was larger than the average crystal grain size of the crystal grains in the mounting region 2. prepared a piece. The average crystal grain size of these ceramic substrates 1 was calculated by the method described above. That is, an observed image obtained by observing each of the points P1 to P4 of each ceramic substrate 1 with a field emission scanning electron microscope is binarized with image processing software "Image-J", and each calculated value is It was obtained as an average value of Feret diameters of crystal grains. This ceramic substrate 1 was manufactured to have a length W of 70 mm, a length L of 60 mm, and a thickness H of 0.1 mm. In this example, the points P2 to P4 observed with the field emission scanning electron microscope are regions 9 mm inside, 18 mm inside, and 35 mm inside from the outer edge 3A of the ceramic substrate 1 shown in FIG.

次に、以下の方法により、抗折強度を測定するための4種類の測定用小片Fr1、Fr2、Fr3、Fr4を、それぞれ20枚準備した。 Next, 20 sheets each of four types of measuring pieces Fr1, Fr2, Fr3, and Fr4 for measuring bending strength were prepared by the following method.

まず、図5に示すように、上記4枚のセラミック基板1のうち1枚をピックアップして、このセラミック基板1の上記垂直方向における一方の外縁3Ab1から垂直方向に5mm内側の部分を上記長手方向に沿って切断した。同様に、垂直方向における他方の外縁3Ab2から5mm内側の部分を長手方向に沿って切断した。これら切断された2つの切断部UNはハッチングで示されている。 First, as shown in FIG. 5, one of the four ceramic substrates 1 is picked up, and a portion 5 mm inward in the vertical direction from one outer edge 3Ab1 of the ceramic substrate 1 in the vertical direction is cut in the longitudinal direction. cut along. Similarly, a portion 5 mm inside from the other outer edge 3Ab2 in the vertical direction was cut along the longitudinal direction. These two severed cuts UN are indicated by hatching.

次に、セラミック基板1Aの長手方向における外縁3Aaから2.4mm内側の部分を垂直方向に沿って切断して、短冊片St1を作製した。すなわち、短冊片St1はセラミック基板1の外縁3Aaを含む短冊片であり、上記ポイントP1を含んでいる。次に、短冊片St1を5等分に切断して、5つの測定用小片Fr1を作製した。すなわち、各測定用小片Fr1は、0.1mmの厚みを有し、2.4mm×10mmの寸法の主面を有する。 Next, a strip St1 was produced by cutting a portion 2.4 mm inside from the outer edge 3Aa in the longitudinal direction of the ceramic substrate 1A along the vertical direction. That is, the strip St1 is a strip including the outer edge 3Aa of the ceramic substrate 1 and includes the point P1. Next, the strip St1 was cut into 5 equal parts to produce 5 measurement pieces Fr1. That is, each measuring piece Fr1 has a thickness of 0.1 mm and a main surface measuring 2.4 mm×10 mm.

次に、外縁3Aaから7.8mm内側の部分と、外縁3Aaから10.2mm内側の部分とを垂直方向に沿って切断して、短冊片St2を作製した。つまり、この短冊片St2は、セラミック基板1の外縁3Aaから長手方向に9mm内側の部分を含んでおり、上記ポイントP2を含んでいる。次に、短冊片St2を5等分に切断して、5つの測定用小片Fr2を作製した。したがって、各測定用小片Fr2は、0.1mmの厚みを有し、2.4mm×10mmの寸法の主面を有する。 Next, a strip St2 was produced by vertically cutting a portion 7.8 mm inward from the outer edge 3Aa and a portion 10.2 mm inward from the outer edge 3Aa. That is, the strip St2 includes a portion 9 mm inward from the outer edge 3Aa of the ceramic substrate 1 in the longitudinal direction, and includes the point P2. Next, the strip St2 was cut into 5 equal pieces to produce 5 small measurement pieces Fr2. Each measuring strip Fr2 thus has a thickness of 0.1 mm and a main surface measuring 2.4 mm×10 mm.

同様に、短冊片St3、St4を作製した。短冊片St3は、セラミック基板1の外縁3Aa長手方向に18mm内側の部分を含んでおり、上記ポイントP3を含んでいる。また、短冊片St4は、セラミック基板1の外縁3Aaから長手方向に35mm内側の部分を含んでおり、上記ポイントP4を含んでいる。その後、短冊片St3,St4をそれぞれ5等分して、測定用小片Fr3,Fr4を作製した。短冊片St3,St4は、それぞれ、0.1mmの厚みを有し、2.4mm×10mmの寸法の主面を有する。 Similarly, strips St3 and St4 were produced. The strip St3 includes a portion 18 mm inside the outer edge 3Aa of the ceramic substrate 1 in the longitudinal direction, and includes the point P3. Moreover, the strip St4 includes a portion 35 mm inward from the outer edge 3Aa of the ceramic substrate 1 in the longitudinal direction, and includes the point P4. After that, each of the strips St3 and St4 was divided into 5 equal pieces to prepare measurement pieces Fr3 and Fr4. Each of the strips St3 and St4 has a thickness of 0.1 mm and a main surface measuring 2.4 mm×10 mm.

残りの3枚のセラミック基板1に対しても、上記と同様の工程を行い、3枚のセラミック基板1のそれぞれから、それぞれ5つの測定用小片Fr1~Fr4を作製した。こうして、それぞれ20個の測定用小片Fr1~Fr4を作製した。 The remaining three ceramic substrates 1 were subjected to the same process as described above, and from each of the three ceramic substrates 1, five measuring pieces Fr1 to Fr4 were produced. In this way, 20 measuring pieces Fr1 to Fr4 were produced.

次に、各20個の測定用小片Fr1~Fr4のそれぞれの抗折強度を測定した。本実施例では、テンシロン万能材料試験機RTG-1225(株式会社エー・アンド・デイ製)を使用して測定用小片Fr1~Fr4の抗折強度を測定した。具体的には、各測定用小片Fr1~Fr4を当該試験機内に入れて、試験速度0.5mm/分、エッジスパン幅6mmの条件下で、各測定用小片Fr1~Fr4の抗折強度(MPa)を測定した。そして、測定されたデータのうち異常値を示したデータを削除した後、抗折強度のデータを測定用小片Fr1~Fr4ごとにワイブルグラフにプロットして、測定用小片Fr1~Fr4のそれぞれのワイブル分布の尺度母数(MPa)を求め、これら尺度母数を測定用小片Fr1~Fr4の各抗折強度として用いた。この結果を、図6において実線で示す。 Next, the bending strength of each of the 20 measurement pieces Fr1 to Fr4 was measured. In this example, a Tensilon universal material testing machine RTG-1225 (manufactured by A&D Co., Ltd.) was used to measure the bending strength of the measuring pieces Fr1 to Fr4. Specifically, each measurement piece Fr1 to Fr4 is put in the tester, and the bending strength (MPa ) was measured. Then, after deleting the data showing abnormal values among the measured data, the bending strength data is plotted on a Weibull graph for each of the measurement pieces Fr1 to Fr4, and the Weibull of each of the measurement pieces Fr1 to Fr4 is plotted. Scale parameters (MPa) of the distribution were obtained, and these scale parameters were used as the bending strengths of the measuring pieces Fr1 to Fr4. This result is indicated by a solid line in FIG.

上述のように、測定用小片Fr1は、セラミック基板1の外縁3Aaを含んでいるため、測定用小片Fr1の抗折強度は、上記ポイントP1における抗折強度と考えることができる。また、測定用小片Fr2~Fr4は、セラミック基板1Aの外縁3Aからそれぞれ内側に9mm、18mm、35mmに位置する部分を含む測定用小片である。このため、測定用小片Fr2の抗折強度は上記ポイントP2における抗折強度と、測定用小片Fr3の抗折強度は上記ポイントP3における抗折強度と、測定用小片Fr4の抗折強度は上記ポイントP4における抗折強度と、それぞれ考えることができる。 As described above, since the measuring piece Fr1 includes the outer edge 3Aa of the ceramic substrate 1, the bending strength of the measuring piece Fr1 can be considered as the bending strength at the point P1. The measurement pieces Fr2 to Fr4 are measurement pieces including portions positioned 9 mm, 18 mm, and 35 mm inward from the outer edge 3A of the ceramic substrate 1A. Therefore, the bending strength of the measuring piece Fr2 is the bending strength at the point P2, the bending strength of the measuring piece Fr3 is the bending strength at the point P3, and the bending strength of the measuring piece Fr4 is the bending strength at the point P3. can be considered as the bending strength at P4.

図6において実線で示すように、上述のセラミックグリーンシートを1550℃で焼成した本実施例では、セラミック基板1のポイントP1における抗折強度がポイントP2~P4における抗折強度よりも大きいことがわかる。具体的には、ポイントP1における抗折強度は455.0MPaであり、ポイントP2~P4のうち最大の抗折強度を示すポイントP4における抗折強度は417.3MPaであった。すなわち、上述のセラミックグリーンシートを1550℃で焼成した場合、セラミック基板1の外縁3Aから2.4mm内側の部分までの外縁領域における抗折強度が、当該外縁領域よりも内側に位置する内側領域の抗折強度よりも1.09倍以上大きくなることがわかった。 As shown by the solid line in FIG. 6, in this example in which the ceramic green sheet was fired at 1550° C., the bending strength at point P1 of the ceramic substrate 1 is greater than the bending strength at points P2 to P4. . Specifically, the bending strength at point P1 was 455.0 MPa, and the bending strength at point P4, which shows the maximum bending strength among points P2 to P4, was 417.3 MPa. That is, when the ceramic green sheet described above is fired at 1550° C., the bending strength in the outer edge region from the outer edge 3A of the ceramic substrate 1 to the portion 2.4 mm inside is lower than that of the inner region located inside the outer edge region. It was found to be 1.09 times or more greater than the bending strength.

(実施例2)
また、発明者らは、セラミック基板1の焼成温度を1525℃にした点を除いて同様の方法によって、セラミック基板1の抗折強度を測定した。その結果を図6において破線で示す。
(Example 2)
The inventors also measured the bending strength of the ceramic substrate 1 by the same method except that the firing temperature of the ceramic substrate 1 was set to 1525°C. The result is shown by a dashed line in FIG.

図6に示すように、1525℃で焼成されたセラミック基板1においても、1550℃で焼成された上記実施例1のセラミック基板1と同様に、セラミック基板1のポイントP1における抗折強度がポイントP2~P4における抗折強度よりも大きいことがわかる。具体的には、ポイントP1における抗折強度は477.1MPaであり、ポイントP2~P4のうち最大の抗折強度を示すポイントP3における抗折強度は428.9MPaであった。すなわち、1525℃で焼成されたセラミック基板1では、セラミック基板1の外縁3Aから2.4mm内側の部分までの外縁領域における抗折強度が、当該外縁領域よりも内側に位置する内側領域の抗折強度よりも1.11倍以上大きくなることがわかった。 As shown in FIG. 6, in the ceramic substrate 1 fired at 1525° C. as well as the ceramic substrate 1 in Example 1 fired at 1550° C., the bending strength at the point P1 of the ceramic substrate 1 is reduced to the point P2. It can be seen that the bending strength is greater than that at P4. Specifically, the bending strength at the point P1 was 477.1 MPa, and the bending strength at the point P3 showing the maximum bending strength among the points P2 to P4 was 428.9 MPa. That is, in the ceramic substrate 1 fired at 1525° C., the flexural strength in the outer edge region from the outer edge 3A of the ceramic substrate 1 to the portion 2.4 mm inward is the flexural strength of the inner region located inside the outer edge region. It was found to be 1.11 times greater than the strength.

以上説明したように、本発明のセラミック基板1では、セラミック基板1の外縁領域の抗折強度が内側領域の抗折強度に比べて大きいことが分かった。 As described above, in the ceramic substrate 1 of the present invention, the bending strength of the outer edge region of the ceramic substrate 1 was found to be greater than the bending strength of the inner region.

したがって、本発明のセラミック基板によれば、セラミック基板1の外縁から2.4mm内側の部分までを非実装領域3とし、非実装領域3よりも内側の領域を実装領域2とすることで、非実装領域3の抗折強度を実装領域2の抗折強度よりも1.09倍以上大きくし得る。このため、非実装領域に外力が付与されても、非実装領域に生じるクラックが低減され得るとともに、非実装領域から実装領域に伝わるクラックが低減される得るため、このようなクラックに起因する割れなどの破損を抑制することができる。 Therefore, according to the ceramic substrate of the present invention, the area 2.4 mm inside from the outer edge of the ceramic substrate 1 is defined as the non-mounting area 3, and the area inside the non-mounting area 3 is defined as the mounting area 2. The bending strength of the mounting area 3 can be made 1.09 times or more greater than the bending strength of the mounting area 2 . Therefore, even if an external force is applied to the non-mounting region, cracks generated in the non-mounting region can be reduced, and cracks transmitted from the non-mounting region to the mounting region can be reduced. It is possible to suppress damage such as

本発明によれば、破損し難いセラミック基板が提供され、例えば、チップ抵抗器など電子部品の分野において利用可能である。 INDUSTRIAL APPLICABILITY According to the present invention, a ceramic substrate that is difficult to break is provided, and can be used in the field of electronic components such as chip resistors.

1・・・セラミック基板
2・・・実装領域
3・・・非実装領域
3A・・・外縁
Reference Signs List 1... Ceramic substrate 2... Mounting area 3... Non-mounting area 3A... Outer edge

Claims (7)

回路の少なくとも一部を構成する回路素子が実装される実装領域と、
前記実装領域を囲み、前記回路素子が実装されない非実装領域と、
を備え、
前記非実装領域における結晶粒の平均結晶粒径は、前記実装領域における結晶粒の平均結晶粒径よりも大きい
ことを特徴とするセラミック基板。
a mounting area in which circuit elements constituting at least part of a circuit are mounted;
a non-mounting region that surrounds the mounting region and in which the circuit element is not mounted;
with
A ceramic substrate, wherein an average crystal grain size of crystal grains in the non-mounting region is larger than an average crystal grain size of crystal grains in the mounting region.
前記非実装領域の少なくとも外縁において、前記非実装領域における結晶粒の平均結晶粒径が、前記実装領域における結晶粒の平均結晶粒径の1.4倍以上とされる
ことを特徴とする請求項1に記載のセラミック基板。
4. An average crystal grain size of crystal grains in the non-mounting region is 1.4 times or more as large as an average crystal grain size of the crystal grains in the mounting region, at least at an outer edge of the non-mounting region. 2. The ceramic substrate according to 1.
前記非実装領域における結晶粒の平均結晶粒径が、前記実装領域における結晶粒の平均結晶粒径の1.6倍以下とされる
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のセラミック基板。
3. The ceramic substrate according to claim 1, wherein an average crystal grain size of crystal grains in said non-mounting region is 1.6 times or less as large as an average crystal grain size of crystal grains in said mounting region.
前記非実装領域の抗折強度は、前記実装領域の抗折強度の1.09倍以上とされる
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のセラミック基板。
4. The ceramic substrate according to claim 1, wherein the bending strength of the non-mounting area is 1.09 times or more the bending strength of the mounting area.
前記セラミック基板は、酸化アルミニウムと酸化マグネシウムとから形成される
ことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のセラミック基板。
5. The ceramic substrate according to claim 1, wherein the ceramic substrate is made of aluminum oxide and magnesium oxide.
前記酸化アルミニウムの含有量は98%以上である
ことを特徴とする請求項5に記載のセラミック基板。
6. The ceramic substrate according to claim 5, wherein the aluminum oxide content is 98% or more.
厚みが0.1mm以下である
ことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載のセラミック基板。

7. The ceramic substrate according to any one of claims 1 to 6, having a thickness of 0.1 mm or less.

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Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009218240A (en) 2008-03-07 2009-09-24 Ngk Spark Plug Co Ltd Multiple-patterning board
JP2010171354A (en) 2008-12-22 2010-08-05 Kyocera Corp Multiple wiring board
JP2012248710A (en) 2011-05-28 2012-12-13 Kyocera Corp Multi wiring board, wiring board and manufacturing method of wiring board

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