JP6998666B2

JP6998666B2 - Reflow device

Info

Publication number: JP6998666B2
Application number: JP2017061017A
Authority: JP
Inventors: 彰一齋藤; 信章田森; 詢岡野; 卓摩眞田
Original assignee: Tamura Corp
Current assignee: Tamura Corp
Priority date: 2017-03-27
Filing date: 2017-03-27
Publication date: 2022-02-04
Anticipated expiration: 2037-03-27
Also published as: CN108668462A; JP2018162932A; CN108668462B

Description

本発明は、リフロー装置に関し、特に、液化したフラックスがプリント回路基板等の被加熱物上に垂れることを防止するようにしたものである。 The present invention relates to a reflow device, and in particular, prevents liquefied flux from dripping on an object to be heated such as a printed circuit board.

電子部品又はプリント回路基板に対して、予めはんだ組成物を供給しておき、リフロー炉の中にプリント回路基板を搬送コンベヤで搬送するリフロー装置が使用されている。リフロー装置は、被加熱物を搬送する搬送コンベヤと、この搬送コンベヤによって被加熱物が供給されるリフロー炉本体とを備えている。リフロー炉は、例えば、搬入口から搬出口に至る搬送経路に沿って、複数のゾーンに分割されており、これらの複数のゾーンがインライン状に配列されている。複数のゾーンは、その機能によって、加熱ゾーン、冷却ゾーンなどの役割を有する。 A reflow device is used in which a solder composition is supplied in advance to an electronic component or a printed circuit board, and the printed circuit board is conveyed into a reflow furnace by a transfer conveyor. The reflow device includes a conveyor for transporting the object to be heated and a reflow furnace main body to which the object to be heated is supplied by the conveyor. The reflow furnace is divided into a plurality of zones along a transport path from the carry-in inlet to the carry-out port, and these plurality of zones are arranged in an in-line manner. The plurality of zones have roles such as a heating zone and a cooling zone depending on their functions.

はんだ組成物は、例えば粉末はんだ、フラックスとを含む。フラックスは、成分としてロジンなどを含み、はんだ付けされる金属表面の酸化膜を除去し、はんだ付けの際に加熱で再酸化するのを防止し、はんだの表面張力を小さくして濡れを良くする働きをするものである。このフラックスは、加熱により、気化しリフロー炉内に充満する。気化したフラックスは、フラックスヒュームと称される。 The solder composition includes, for example, powder solder, flux and the like. Flux contains rosin as a component, removes the oxide film on the surface of the metal to be soldered, prevents reoxidation by heating during soldering, reduces the surface tension of the solder and improves wetting. It works. This flux is vaporized by heating and fills the reflow furnace. The vaporized flux is called a flux fume.

加熱ゾーンから冷却ゾーンに基板が搬送される時に、被加熱物と共にフラックスヒュームが冷却ゾーンに持ち込まれる。フラックスヒュームは、温度の低い部位に付着し易く、冷却ゾーンで冷却されると、冷却パネルに付着する。付着している部位からフラックスが滴下し、被加熱物の上面に付着することもあり、被加熱物の品質（性能）を損なうこととなる。 When the substrate is transported from the heating zone to the cooling zone, the flux fume is brought into the cooling zone together with the object to be heated. The flux fume easily adheres to a portion having a low temperature, and when cooled in the cooling zone, it adheres to the cooling panel. Flux may drip from the adhered portion and adhere to the upper surface of the object to be heated, which impairs the quality (performance) of the object to be heated.

下記の特許文献１には、基板上の濡れた状態のはんだや、ペーストを乾燥させるコンベア炉に関して、入口側及び出口側にそれぞれエアカーテンを設けることが記載されている。さらに、ヒータからの熱が伝わりにくいために、基板出入り口付近に有機溶剤ガスの結露が発生し、結露が基板上に落下してパターン不良が発生することが記載されている。 Patent Document 1 below describes that air curtains are provided on the inlet side and the outlet side of a conveyor furnace for drying wet solder on a substrate and paste. Further, it is described that since heat from the heater is difficult to transfer, dew condensation of the organic solvent gas occurs near the entrance / exit of the substrate, and the dew condensation falls on the substrate to cause a pattern defect.

特許第３９３４２８１号公報Japanese Patent No. 3934281

特許文献１においては、エアカーテンのエアを加熱し、基板出入り口を加熱するラバーヒータを設け、さらに、エアカーテンから漏れた溶剤ガスを吸引する排気ダクトを設けるようにしている。しかしながら、特許文献１のように、エアカーテン、ヒータ、排気ダクトを乾燥工程の外の出入り口付近に設けることは、部品点数の増加、装置の大型化などをもたらす問題がある。 In Patent Document 1, a rubber heater that heats the air of the air curtain and heats the entrance / exit of the substrate is provided, and further, an exhaust duct that sucks the solvent gas leaked from the air curtain is provided. However, as in Patent Document 1, providing an air curtain, a heater, and an exhaust duct near the entrance / exit outside the drying process has problems such as an increase in the number of parts and an increase in the size of the apparatus.

したがって、本発明の目的は、部品点数の増加を抑えつつ、リフロー装置の冷却ゾーンにおけるフラックスヒュームの滴下による被加熱物の品質低下を防止することができるリフロー装置を提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is to provide a reflow device capable of preventing deterioration of the quality of the object to be heated due to dropping of flux fume in the cooling zone of the reflow device while suppressing an increase in the number of parts.

本発明は、被加熱物に対してはんだ付けを行うゾーンを含む複数のゾーンからなる加熱ゾーンと、加熱ゾーンの後に配され、はんだ付けがされた被加熱物を冷却する冷却ゾーンと、加熱ゾーン及び冷却ゾーン内を被加熱物を搬送する搬送部からなるリフロー装置において、
加熱ゾーンの入口側ゾーンの入口近傍及び／又は加熱ゾーンの出口側ゾーンの出口近傍に、搬送方向と直交する幅方向に延びる吹き出し口を有し、吹き出し口から加熱ゾーン内の気体を内部に押し戻す方向に、搬送部の搬送面の上面及び／又は下面に向けて気体を吹き出す吹き出し部と、
吹き出し部の近傍に設けられ、搬送方向と直交する幅方向に延びる吸い込み部と、
入口側ゾーン及び／又は出口側ゾーンに、搬送部の搬送面と平行に設けられ、搬送面の上面及び／又は下面に対して気体を吹き出す加熱パネルを備え、
加熱パネルに形成された開口と、該開口を通じて吹き出された気体を加熱ゾーンの内側に向かうように傾斜された導風フィンにより吹き出し部が構成され、
吸い込み部が加熱パネルに形成された開口と、開口から延長されたダクトから構成されたリフロー装置である。 The present invention has a heating zone consisting of a plurality of zones including a zone for soldering to an object to be heated, a cooling zone arranged after the heating zone to cool the soldered object, and a heating zone. And in a reflow device consisting of a transport unit that transports the object to be heated in the cooling zone.
It has an outlet extending in the width direction orthogonal to the transport direction near the inlet of the inlet side zone of the heating zone and / or near the outlet of the outlet side zone of the heating zone, and pushes the gas in the heating zone back to the inside from the outlet. In the direction, a blowout portion that blows gas toward the upper surface and / or the lower surface of the transport surface of the transport portion,
A suction part provided near the blowout part and extending in the width direction orthogonal to the transport direction, and a suction part.
The inlet side zone and / or the outlet side zone are provided with a heating panel provided in parallel with the transport surface of the transport portion and blow out gas to the upper surface and / or the lower surface of the transport surface.
The blowout portion is formed by an opening formed in the heating panel and a wind guide fin inclined so as to direct the gas blown out through the opening toward the inside of the heating zone.
It is a reflow device in which the suction portion is composed of an opening formed in a heating panel and a duct extending from the opening.

少なくとも一つの実施形態によれば、加熱ゾーンで発生したフラックスヒュームが加熱ゾーンから冷却ゾーンに移動することが阻止される。したがって、冷却ゾーンにおいてフラックスヒュームが液化することが抑制される。また、炉体の外にエアカーテンを設けるのと異なり、装置が大型化したり、部品点数が増加したりすることがない。なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本発明中に記載されたいずれの効果であってもよい。また、以下の説明における例示された効果により本発明の内容が限定して解釈されるものではない。 According to at least one embodiment, the flux fume generated in the heating zone is prevented from moving from the heating zone to the cooling zone. Therefore, the liquefaction of the flux fume is suppressed in the cooling zone. Further, unlike the case where the air curtain is provided outside the furnace body, the size of the device does not increase and the number of parts does not increase. The effects described here are not necessarily limited, and may be any of the effects described in the present invention. In addition, the contents of the present invention are not limitedly interpreted by the effects exemplified in the following description.

図１は本発明を適用できる従来のリフロー装置の概略を示す略線図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing an outline of a conventional reflow device to which the present invention can be applied. 図２はリフロー時の温度プロファイルの例を示すグラフである。FIG. 2 is a graph showing an example of a temperature profile during reflow. 図３はリフロー装置の一つの加熱ゾーンの構成の一例を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of the configuration of one heating zone of the reflow device. 図４は複数のゾーンからなる加熱ゾーンの一例の略線図である。FIG. 4 is a schematic diagram of an example of a heating zone composed of a plurality of zones. 図５は本発明の第１の実施の形態の入口側ゾーンの断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of an inlet side zone according to the first embodiment of the present invention. 図６は本発明の第１の実施の形態の出口側ゾーンの断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of an exit side zone according to the first embodiment of the present invention. 図７は図６の一部の拡大断面図である。FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view of a part of FIG. 図８は加熱パネルの一例の平面図、吹き出しパイプの平面図、気体吹き出しパイプの拡大断面図、吹き出しパイプの他の例の平面図である。FIG. 8 is a plan view of an example of the heating panel, a plan view of the blowout pipe, an enlarged sectional view of the gas blowout pipe, and a plan view of another example of the blowout pipe. 図９は本発明の第２の実施の形態の入口側ゾーンの断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view of an inlet side zone according to a second embodiment of the present invention. 図１０は本発明の第２の実施の形態の出口側ゾーンの断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view of the exit side zone according to the second embodiment of the present invention. 図１１は図１０の一部の拡大断面図である。FIG. 11 is an enlarged cross-sectional view of a part of FIG. 10.

以下、本発明を実施の形態について説明する。なお、説明は、以下の順序で行う。
＜１．リフロー装置の一例＞
＜２．第１の実施の形態＞
＜３．第２の実施の形態＞
＜４．変形例＞
なお、以下に説明する一実施の形態は、本発明の好適な具体例であり、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において、特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの実施の形態に限定されないものとする。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described. The explanation will be given in the following order.
<1. Example of reflow device>
<2. First Embodiment>
<3. Second Embodiment>
<4. Modification example>
It should be noted that one embodiment described below is a preferred specific example of the present invention and is provided with various technically preferable limitations, but the scope of the present invention is particularly limited to the present invention in the following description. Unless otherwise stated, the invention is not limited to these embodiments.

＜１．リフロー装置の一例＞
図１は、本発明を適用できる従来のリフロー装置の概略的構成を示す。図１では、説明の便宜上リフロー炉外に配置されるフラックス回収装置の図示が省略されている。プリント回路基板の両面に表面実装用電子部品が搭載された被加熱物が搬送コンベヤの上に置かれ、搬入口１１からリフロー装置の炉体内に搬入される。搬送コンベヤが所定速度で矢印方向（図１に向かって左から右方向）へ被加熱物を搬送し、被加熱物が搬出口１２から取り出される。搬送コンベアの搬送方向が水平方向とされている。 <1. Example of reflow device>
FIG. 1 shows a schematic configuration of a conventional reflow device to which the present invention can be applied. In FIG. 1, for convenience of explanation, the illustration of the flux recovery device arranged outside the reflow furnace is omitted. A heated object having surface mount electronic components mounted on both sides of the printed circuit board is placed on a conveyor and is carried into the furnace body of the reflow device from the carry-in inlet 11. The conveyor conveyor conveys the object to be heated in the direction of the arrow (from left to right toward FIG. 1) at a predetermined speed, and the object to be heated is taken out from the carry-out port 12. The transport direction of the conveyor is horizontal.

搬入口１１から搬出口１２に至る搬送経路に沿って、リフロー炉が例えば９個のゾーンＺ１からＺ９に順次分割され、これらのゾーンＺ１～Ｚ９がインライン状に配列されている。入口側から７個のゾーンＺ１～Ｚ７が加熱ゾーンであり、出口側の２個のゾーンＺ８及びＺ９が冷却ゾーンである。冷却ゾーンＺ８及びＺ９に関連して強制冷却ユニット１４が設けられている。 A reflow furnace is sequentially divided into, for example, nine zones Z1 to Z9 along a transfer path from the carry-in inlet 11 to the carry-out port 12, and these zones Z1 to Z9 are arranged in an in-line manner. The seven zones Z1 to Z7 from the inlet side are heating zones, and the two zones Z8 and Z9 on the outlet side are cooling zones. A forced cooling unit 14 is provided in connection with the cooling zones Z8 and Z9.

上述した複数のゾーンＺ１～Ｚ９がリフロー時の温度プロファイルにしたがって被加熱物の温度を制御する。図２に温度プロファイルの一例の概略を示す。横軸が時間であり、縦軸が被加熱物例えば電子部品が実装されたプリント回路基板の表面温度である。最初の区間が加熱によって温度が上昇する昇温部Ｒ１であり、次の区間が温度がほぼ一定のプリヒート（予熱）部Ｒ２であり、次の区間が本加熱部Ｒ３であり、最後の区間が冷却部Ｒ４である。 The plurality of zones Z1 to Z9 described above control the temperature of the object to be heated according to the temperature profile at the time of reflow. FIG. 2 outlines an example of a temperature profile. The horizontal axis is time, and the vertical axis is the surface temperature of a printed circuit board on which an object to be heated, for example, an electronic component is mounted. The first section is the temperature rising section R1 where the temperature rises due to heating, the next section is the preheating section R2 whose temperature is almost constant, the next section is the main heating section R3, and the last section is the main heating section R3. It is a cooling unit R4.

昇温部Ｒ１は、常温からプリヒート部Ｒ２（例えば１５０°Ｃ～１７０°Ｃ）まで基板を加熱する期間である。プリヒート部Ｒ２は、等温加熱を行い、フラックスを活性化し、電極、はんだ粉の表面の酸化膜を除去し、また、プリント回路基板の加熱ムラをなくすための期間である。本加熱部Ｒ３（例えばピーク温度で２２０°Ｃ～２４０°Ｃ）は、はんだが溶融し、接合が完成する期間である。本加熱部Ｒ３では、はんだの溶融温度を超える温度まで昇温が必要とされる。本加熱部Ｒ３は、プリヒート部Ｒ２を経過していても、温度上昇のムラが存在するので、はんだの溶融温度を超える温度までの加熱が必要とされる。最後の冷却部Ｒ４は、急速にプリント回路基板を冷却し、はんだ組成を形成する期間である。 The temperature rising section R1 is a period for heating the substrate from room temperature to the preheating section R2 (for example, 150 ° C to 170 ° C). The preheat portion R2 is a period for performing isothermal heating, activating the flux, removing the oxide film on the surface of the electrode and the solder powder, and eliminating uneven heating of the printed circuit board. The main heating portion R3 (for example, 220 ° C to 240 ° C at the peak temperature) is a period during which the solder is melted and the bonding is completed. In the main heating unit R3, it is necessary to raise the temperature to a temperature exceeding the melting temperature of the solder. Even if the heating portion R3 has passed through the preheating portion R2, there is unevenness in the temperature rise, so that heating to a temperature exceeding the melting temperature of the solder is required. The final cooling unit R4 is a period in which the printed circuit board is rapidly cooled to form a solder composition.

図２において、曲線１は、鉛フリーはんだの温度プロファイルを示す。Ｓｎ－Ｐｂ共晶はんだの場合の温度プロファイルは、曲線２で示すものとなる。鉛フリーはんだの融点は、Ｓｎ－Ｐｂ共晶はんだの融点より高いので、プリヒート部Ｒ２における設定温度がＳｎ－Ｐｂ共晶はんだに比して高いものとされている。 In FIG. 2, curve 1 shows the temperature profile of the lead-free solder. The temperature profile in the case of Sn—Pb eutectic solder is shown by curve 2. Since the melting point of the lead-free solder is higher than the melting point of the Sn—Pb eutectic solder, the set temperature in the preheat portion R2 is higher than that of the Sn—Pb eutectic solder.

リフロー装置では、図２における昇温部Ｒ１の温度制御を、主としてゾーンＺ１及びＺ２が受け持つ。プリヒート部Ｒ２の温度制御は、主としてゾーンＺ３、Ｚ４及びＺ５が受け持つ。本加熱部Ｒ３の温度制御は、ゾーンＺ６及びＺ７が受け持つ。冷却部Ｒ４の温度制御は、ゾーンＺ８及びゾーンＺ９が受け持つ。 In the reflow apparatus, the zones Z1 and Z2 are mainly in charge of the temperature control of the temperature raising unit R1 in FIG. Zones Z3, Z4 and Z5 are mainly in charge of temperature control of the preheat unit R2. Zones Z6 and Z7 are in charge of temperature control of the heating unit R3. Zone Z8 and Zone Z9 are in charge of temperature control of the cooling unit R4.

加熱ゾーンＺ１～Ｚ７のそれぞれは、それぞれ送風機を含む上部炉体１５及び下部炉体３５を有する。例えばゾーンＺ１の上部炉体１５及び下部炉体３５から搬送される被加熱物に対して熱風が吹きつけられる。 Each of the heating zones Z1 to Z7 has an upper furnace body 15 including a blower and a lower furnace body 35, respectively. For example, hot air is blown to the object to be heated transferred from the upper furnace body 15 and the lower furnace body 35 of the zone Z1.

図３を参照して加熱装置の一例について説明する。例えばゾーンＺ６を搬送方向に対して直交する面で切断した場合の断面が図３に示されている。上部炉体１５と下部炉体３５との対向間隙内で、プリント回路基板の両面に表面実装用電子部品が搭載された被加熱物（以下、ワークという）Ｗが搬送コンベヤ３１上に置かれて搬送される。上部炉体１５内及び下部炉体３５内は、雰囲気ガスである例えば窒素（Ｎ２）ガスが充満している。上部炉体１５及び下部炉体３５は、ワークＷに対して熱風（熱せられた雰囲気ガス）を噴出してワークＷを加熱する。なお、熱風と共に赤外線を照射しても良い。 An example of the heating device will be described with reference to FIG. For example, a cross section when the zone Z6 is cut at a plane orthogonal to the transport direction is shown in FIG. In the facing gap between the upper furnace body 15 and the lower furnace body 35, a heated object (hereinafter referred to as a work) W on which electronic components for surface mounting are mounted on both sides of a printed circuit board is placed on a conveyor 31. Be transported. The inside of the upper furnace body 15 and the inside of the lower furnace body 35 are filled with, for example, nitrogen (N2) gas which is an atmospheric gas. The upper furnace body 15 and the lower furnace body 35 blow hot air (heated atmospheric gas) to the work W to heat the work W. Infrared rays may be irradiated together with hot air.

上部炉体１５は、例えばターボファンの構成の送風機１６と、送風機１６からの風を分散させて炉体内の温度分布の均一化を図るために対向して配置された導風板（図示せず）と、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ１８と、熱風が通過する多数の小孔を有する加熱パネル（蓄熱部材）１９とを有し、加熱パネル１９の小孔を通過した熱風がワークＷに対して上側から吹きつけられる。加熱パネル１９は、例えばアルミニウムの金属板に多数の小孔が形成されたものである。 The upper furnace body 15 is, for example, a blower 16 having a turbofan configuration and a baffle plate arranged opposite to each other in order to disperse the air from the blower 16 and make the temperature distribution in the furnace uniform (not shown). ), A heater 18 configured by folding back a plurality of heater wires, and a heating panel (heat storage member) 19 having a large number of small holes through which hot air passes, and the hot air passing through the small holes of the heating panel 19 works. It is sprayed from above to W. The heating panel 19 is, for example, an aluminum metal plate in which a large number of small holes are formed.

下部炉体３５も上述した上部炉体１５と同様の構成を有する。すなわち、例えばターボファンの構成の送風機２６と、送風機２６からの風を分散させて炉体内の温度分布の均一化を図るために対向して配置された導風板（図示せず）と、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ２８と、熱風が通過する多数の小孔を有する加熱パネル（蓄熱部材）２９とを有する。加熱パネル２９の小孔を通過した熱風がワークＷに対して下側から吹きつけられる。 The lower furnace body 35 also has the same configuration as the upper furnace body 15 described above. That is, for example, a blower 26 having a turbofan configuration, a baffle plate (not shown) arranged opposite to each other in order to disperse the air from the blower 26 and make the temperature distribution in the furnace uniform, and a heater. It has a heater 28 configured by folding back a plurality of wires, and a heating panel (heat storage member) 29 having a large number of small holes through which hot air passes. Hot air that has passed through the small holes of the heating panel 29 is blown from below to the work W.

上部炉体１５に対して、フラックス回収装置４１が設けられる。フラックス回収装置４１は、例えば外板で囲まれた空間内で上部炉体１５の背面側に設置される。下部炉体３５に対して、フラックス回収装置６１が設けられる。フラックス回収装置６１は、例えば外板で囲まれた空間内で下部炉体３５の背面側に設置される。フラックス回収装置４１は、上部炉体１５から導出された雰囲気ガスを冷却させる冷却部４２と、冷却によって液化されたフラックスを回収する回収容器４３とからなる。同様に、フラックス回収装置６１は、下部炉体３５から導出された雰囲気ガスを冷却させる冷却部６２と、冷却によって液化されたフラックスを回収する回収容器６３とからなる。 A flux recovery device 41 is provided for the upper furnace body 15. The flux recovery device 41 is installed on the back side of the upper furnace body 15, for example, in a space surrounded by an outer plate. A flux recovery device 61 is provided for the lower furnace body 35. The flux recovery device 61 is installed on the back side of the lower furnace body 35, for example, in a space surrounded by an outer plate. The flux recovery device 41 includes a cooling unit 42 for cooling the atmospheric gas led out from the upper furnace body 15, and a recovery container 43 for recovering the flux liquefied by cooling. Similarly, the flux recovery device 61 includes a cooling unit 62 for cooling the atmospheric gas led out from the lower furnace body 35, and a recovery container 63 for recovering the flux liquefied by cooling.

送風機１６によって熱風が循環する経路中に雰囲気ガスをフラックス回収装置４１に導出するための導出口としての穴５２が設けられる。穴５２は、炉内において圧力が高い箇所に設けられる。圧力が低い箇所には、フラックス回収装置４１からのガスを上部炉体１５内に導入するための導入口としての穴５３が設けられる。これらの穴５２及び５３は、実際には、接続用管５４及び５５のそれぞれの一端側の開口に対応している。接続用管５４及び５５のそれぞれとフラックス回収装置４１の接続用管とが図示を省略したホースによって接続されている。下部炉体３５においても、炉内において圧力が高い箇所に設けられた穴から雰囲気ガスがフラックス回収装置６１に導出され、フラックス回収装置６１からのフラックス成分が減少したガスが炉内において圧力が低い箇所に設けられた穴から導入される。 A hole 52 is provided as an outlet for leading the atmospheric gas to the flux recovery device 41 in the path through which the hot air circulates by the blower 16. The hole 52 is provided in a place where the pressure is high in the furnace. At a place where the pressure is low, a hole 53 is provided as an introduction port for introducing the gas from the flux recovery device 41 into the upper furnace body 15. These holes 52 and 53 actually correspond to the openings on one end side of the connecting pipes 54 and 55, respectively. Each of the connecting pipes 54 and 55 and the connecting pipe of the flux recovery device 41 are connected by a hose (not shown). Also in the lower furnace body 35, the atmospheric gas is led out to the flux recovery device 61 from the holes provided at the places where the pressure is high in the furnace, and the gas from the flux recovery device 61 in which the flux component is reduced has a low pressure in the furnace. It is introduced from the hole provided in the place.

なお、フラックス回収装置４１及び６１は、リフロー装置の各ゾーンの中で雰囲気ガスの汚れが大きいゾーンに設けられる。但し、リフロー装置の全ゾーンにフラックス回収装置４１及び６１を配置しても良い。 The flux recovery devices 41 and 61 are provided in the zones where the atmospheric gas is heavily contaminated in each zone of the reflow device. However, the flux recovery devices 41 and 61 may be arranged in all zones of the reflow device.

冷却ゾーンＺ８、Ｚ９は、加熱ゾーンと異なり、ヒータ１８及び２８を有しない構成とされ、上下に設けられている送風機によって冷却用気体（Ｎ２ガス等の不活性ガス又はエア）が冷却パネルを介してワークＷに吹きつけられる構成とされている。冷却パネルは、アルミニウム等の金属板に多数の小孔が形成されたものである。 Unlike the heating zones, the cooling zones Z8 and Z9 do not have heaters 18 and 28, and the cooling gas (inert gas such as N2 gas or air) is passed through the cooling panel by the blowers provided above and below. It is configured to be sprayed on the work W. The cooling panel is a metal plate such as aluminum in which a large number of small holes are formed.

＜２．第１の実施の形態＞
本発明の第１の実施の形態について説明する。図４は、リフロー装置の加熱ゾーンのみを示すものである。図１に示すリフロー装置では、加熱ゾーンがゾーンＺ１～Ｚ７によって構成されているのに対して、図４では、ゾーンＺ１１～Ｚ１８によって加熱ゾーンが構成されている。加熱ゾーンの入口側ゾーンＺ１１の入口近傍及び加熱ゾーンの出口側ゾーンＺ１８の出口近傍に、気体を吹き出す吹き出し部と、気体を吸い込む吸い込み部がそれぞれ設けられる。なお、入口側ゾーンＺ１１及び出口側ゾーンＺ１８の一方に吹き出し部及び吸い込み部を設けるようにしてもよい。 <2. First Embodiment>
The first embodiment of the present invention will be described. FIG. 4 shows only the heating zone of the reflow device. In the reflow apparatus shown in FIG. 1, the heating zone is composed of zones Z1 to Z7, whereas in FIG. 4, the heating zone is composed of zones Z11 to Z18. A blowout portion for blowing out gas and a suction portion for sucking in gas are provided in the vicinity of the inlet of the inlet side zone Z11 of the heating zone and in the vicinity of the outlet of the outlet side zone Z18 of the heating zone. It should be noted that a blowout portion and a suction portion may be provided on one of the inlet side zone Z11 and the outlet side zone Z18.

なお、各ゾーンの構成は、上述した図３と同様のものであり、対応する部分に対して同一の参照符号を付す。但し、ヒータ１８を含む加熱部を加熱ユニット１７として示し、ヒータ２８を含む加熱部を加熱ユニット２７として示す。加熱ユニット１７の下方に加熱パネル１９が配置され、加熱ユニット２７の上方に加熱パネル２９が配されている。これらの加熱パネル１９及び２９をそれぞれの開口例えば小孔を介して熱風がワークＷに対して吹き付けられる。図４は、加熱ゾーンＺ１１～Ｚ１８を搬送コンベア３１のワークＷが載置される搬送面と直交する面で装置を切断した断面図であり、各ゾーンの構成を簡略化して示す。さらに、図面中では、吹き出し部によって吹き出される気体の流れを白い矢印で示し、吸い込み部によって吸い込まれる気体の流れを黒い矢印で示すことにする。 The configuration of each zone is the same as that of FIG. 3 described above, and the same reference numerals are given to the corresponding portions. However, the heating unit including the heater 18 is shown as the heating unit 17, and the heating unit including the heater 28 is shown as the heating unit 27. The heating panel 19 is arranged below the heating unit 17, and the heating panel 29 is arranged above the heating unit 27. Hot air is blown against the work W through the respective openings, for example, small holes, in these heating panels 19 and 29. FIG. 4 is a cross-sectional view of the heating zones Z11 to Z18 cut at a plane orthogonal to the transport surface on which the work W of the conveyor 31 is placed, and the configuration of each zone is simplified and shown. Further, in the drawing, the flow of the gas blown out by the blowing portion is indicated by a white arrow, and the flow of the gas sucked by the suction portion is indicated by a black arrow.

図５に示すように、入口側ゾーンＺ１１の上部炉体１５の加熱パネル１９に搬送方向とほぼ直交する方向に延びる例えばスリット状の吸い込み口７１ａが形成される。吸い込み口７１ａより加熱ゾーンの搬送方向の中心側にスリット状の吸い込み口７１ｂが形成される。吸い込み口７１ａ及び７１ｂは、互いに平行しており、加熱パネル１９の入口側の端部の近傍に形成されている。吸い込み口７１ａ及び７１ｂとそれぞれつながるダクト７２ａ及び７２ｂが設けられている。ダクト７２ａ及び７２ｂは、加熱ユニット１７を通って上方に延長されている。例えばダクト７２ａ及び７２ｂの端部の開口は、炉内において圧力が低い箇所に導かれている。したがって、吸い込み口７１ａ及び７１ｂからフラックスヒュームを吸い込むようになされている。ワークＷと対向する加熱パネル１９に対して吸い込み口７１ａ及び７１ｂが形成されているので、吸い込み口７１ａ及び７１ｂによってワークＷの直上付近の空間のフラックスヒュームが吸い込まれる。吸い込まれたフラックスヒュームが例えば図３に示すように、フラックス回収装置を通って炉体に戻される。 As shown in FIG. 5, for example, a slit-shaped suction port 71a extending in a direction substantially orthogonal to the transport direction is formed in the heating panel 19 of the upper furnace body 15 of the inlet side zone Z11. A slit-shaped suction port 71b is formed from the suction port 71a on the center side of the heating zone in the transport direction. The suction ports 71a and 71b are parallel to each other and are formed in the vicinity of the end portion on the inlet side of the heating panel 19. Ducts 72a and 72b connected to the suction ports 71a and 71b, respectively, are provided. The ducts 72a and 72b extend upward through the heating unit 17. For example, the openings at the ends of the ducts 72a and 72b are guided to places where the pressure is low in the furnace. Therefore, the flux fume is sucked from the suction ports 71a and 71b. Since the suction ports 71a and 71b are formed with respect to the heating panel 19 facing the work W, the flux fume in the space directly above the work W is sucked by the suction ports 71a and 71b. The sucked flux fume is returned to the furnace body through the flux recovery device, for example, as shown in FIG.

吸い込み口７１ａよりやや入口側に吹き出しパイプ８１ａが設けられている。また、吸い込み口７１ａ及び７１ｂの間に吹き出しパイプ８１ｂが設けられている。すなわち、入口近傍では、矢印で示すワークＷの搬送方向に対して（吹き出しパイプ８１ａ－吸い込み口７１ａ－吹き出しパイプ８１ｂ－吸い込み口７１ｂ）の順番の配置がなされている。吹き出しパイプ８１ａ及び８１ｂは、加熱パネル１９とワークＷの上面の間に設けられる。加熱パネル１９の上に吹き出しパイプ８１ａ及び８１ｂを取り付けてもよい。なお、他の吹き出しパイプ８１ｃ～８１ｈの上下方向に関する取り付け位置も吹き出しパイプ８１ａ及び８１ｂと同様である。 A blowout pipe 81a is provided slightly on the inlet side of the suction port 71a. Further, a blowout pipe 81b is provided between the suction ports 71a and 71b. That is, in the vicinity of the inlet, the order of arrangement (blowout pipe 81a-suction port 71a-blowout pipe 81b-suction port 71b) is made with respect to the transport direction of the work W indicated by the arrow. The blowout pipes 81a and 81b are provided between the heating panel 19 and the upper surface of the work W. The blowout pipes 81a and 81b may be mounted on the heating panel 19. The mounting positions of the other blowout pipes 81c to 81h in the vertical direction are the same as those of the blowout pipes 81a and 81b.

下部炉体３５の加熱ユニット２７の加熱パネル２９にも、上部炉体１５と同様に、スリット状の吸い込み口７１ｃ及び７１ｄが形成されている。吸い込み口７１ｃ及び７１ｄから延長するダクト７２ｃ及び７２ｄが設けられている。さらに、吹き出しパイプ８１ｃ及び８１ｄが設けられている。下部炉体３５においても、ワークＷの搬送方向に対して（吹き出しパイプ８１ｃ－吸い込み口７１ｃ－吹き出しパイプ８１ｄ－吸い込み口７１ｄ）の順番の配置がなされている。 Similar to the upper furnace body 15, slit-shaped suction ports 71c and 71d are also formed in the heating panel 29 of the heating unit 27 of the lower furnace body 35. Ducts 72c and 72d extending from the suction ports 71c and 71d are provided. Further, blowout pipes 81c and 81d are provided. Also in the lower furnace body 35, the order of arrangement (blowout pipe 81c-suction port 71c-blowout pipe 81d-suction port 71d) is made with respect to the transport direction of the work W.

次に、図６及び図７を参照して出口側ゾーンＺ１８の構成について説明する。図７は、図６の一部拡大断面図である。ゾーンＺ１８の上部炉体１５の加熱パネル１９に搬送方向とほぼ直交する方向に延びるスリット状の吸い込み口７１ｅが形成される。吸い込み口７１ｅよりゾーンＺ１８の出口側にスリット状の吸い込み口７１ｆが形成される。吸い込み口７１ｅ及び７１ｆは、互いに平行している。吸い込み口７１ｅ及び７１ｆとそれぞれつながるダクト７２ｅ及び７２ｆが設けられている。ダクト７２ｅ及び７２ｆは、加熱ユニット１７を通って上方に延長されている。例えばダクト７２ｅ及び７２ｆの端部の開口は、炉内において圧力が低い箇所に導かれている。したがって、吸い込み口７１ｅ及び７１ｆからフラックスヒュームを吸い込むようになされている。 Next, the configuration of the exit side zone Z18 will be described with reference to FIGS. 6 and 7. FIG. 7 is a partially enlarged cross-sectional view of FIG. A slit-shaped suction port 71e extending in a direction substantially orthogonal to the transport direction is formed in the heating panel 19 of the upper furnace body 15 of the zone Z18. A slit-shaped suction port 71f is formed on the outlet side of the zone Z18 from the suction port 71e. The suction ports 71e and 71f are parallel to each other. Ducts 72e and 72f connected to the suction ports 71e and 71f are provided, respectively. The ducts 72e and 72f extend upward through the heating unit 17. For example, the openings at the ends of the ducts 72e and 72f are guided to places where the pressure is low in the furnace. Therefore, the flux fume is sucked from the suction ports 71e and 71f.

吸い込み口７１ｅ及び７１ｆの間に吹き出しパイプ８１ｅが設けられている。また、吸い込み口７１ｆよりやや出口側に吹き出しパイプ８１ｆが設けられている。すなわち、出口近傍では、矢印で示すワークＷの搬送方向に対して（吸い込み口７１ｅ－吹き出しパイプ８１ｅ－吸い込み口７１ｆ－吹き出しパイプ８１ｆ）の順番の配置がなされている。 A blowout pipe 81e is provided between the suction ports 71e and 71f. Further, a blowout pipe 81f is provided slightly on the outlet side of the suction port 71f. That is, in the vicinity of the outlet, the order of arrangement (suction port 71e-blowout pipe 81e-suction port 71f-blowout pipe 81f) is made with respect to the transport direction of the work W indicated by the arrow.

下部炉体３５の加熱ユニット２７の加熱パネル２９にも、上部炉体１５と同様に、スリット状の吸い込み口７１ｇ及び７１ｈが形成されている。吸い込み口７１ｇ及び７１ｈから延長するダクト７２ｇ及び７２ｈが設けられている。さらに、吹き出しパイプ８１ｇ及び８１ｈが設けられている。下部炉体３５においても、ワークＷの搬送方向に対して（吸い込み口７１ｇ－吹き出しパイプ８１ｇ－吸い込み口７１ｈ－吹き出しパイプ８１ｈ）の順番の配置がなされている。 Similar to the upper furnace body 15, slit-shaped suction ports 71g and 71h are also formed on the heating panel 29 of the heating unit 27 of the lower furnace body 35. Ducts 72g and 72h extending from the suction ports 71g and 71h are provided. Further, blowout pipes 81g and 81h are provided. Also in the lower furnace body 35, the order of arrangement (suction port 71 g-outlet pipe 81 g-suction port 71h-outlet pipe 81h) is made with respect to the transport direction of the work W.

加熱パネル１９は、図８Ａに示すように、多数の開口例えば小孔が金属板に形成された構成である。出口側ゾーンＺ１８の場合では、矢印を搬送方向とすると、ゾーンの出口近傍に吸い込み口７１ｅ及び７１ｆが形成されている。加熱パネル２９に関しても同様に吸い込み口が形成されている。入口側ゾーンＺ１１の場合では、入口近傍に吸い込み口７１ａ～７１ｄが形成されている。 As shown in FIG. 8A, the heating panel 19 has a structure in which a large number of openings, for example, small holes are formed in a metal plate. In the case of the outlet side zone Z18, when the arrow is in the transport direction, the suction ports 71e and 71f are formed in the vicinity of the outlet of the zone. Similarly, a suction port is formed in the heating panel 29. In the case of the inlet side zone Z11, suction ports 71a to 71d are formed in the vicinity of the inlet.

吹き出しパイプ８１ｅは、図８Ｂ及び図８Ｃに示すように、金属の管状の形状であり、周面に小孔ｒが整列して形成されたものである。この小孔ｒを通じて気体が吹き出す。なお、小孔ｒを周面に２列以上形成し、同時に２箇所の小孔ｒから異なる吹き出し角度でもって気体を吹き出すようにしてもよい。さらに、図８Ｄに示すようにスリットｒ’を設けてスリットｒ’を通じて気体を吹き出すようにしてもよい。他の吹き出しパイプ８１ａ～８１ｄ、８１ｆ～８１ｈも同様の構成とされている。 As shown in FIGS. 8B and 8C, the blowout pipe 81e has a tubular shape of metal, and is formed by arranging small holes r on the peripheral surface. Gas is blown out through this small hole r. It should be noted that two or more rows of small holes r may be formed on the peripheral surface, and gas may be blown out from the two small holes r at different blowing angles at the same time. Further, as shown in FIG. 8D, a slit r'may be provided to blow out the gas through the slit r'. The other blowout pipes 81a to 81d and 81f to 81h have the same configuration.

上述した吹き出しパイプ８１ａ～８１ｈは、搬送コンベア３１の搬送方向と直交する方向に延長する管状部材の周面に複数の小孔が延長方向に形成されたものである。吹き出しパイプ８１ａ～８１ｈは、固定のベース部に対して回転自在に支持され、小孔から吹き出される気体の吹き出し角度が可変とされている。気体は、エアや不活性ガスであるＮ２（窒素）等を用いることができ、不活性ガスを用いることがより好ましい。吹き出しパイプ８１ａ～８１ｈが吹き出す気体は、フラックス回収後のガス又は外部に別個に設けられているガス発生源から供給される。 The blowout pipes 81a to 81h described above have a plurality of small holes formed in the extension direction on the peripheral surface of the tubular member extending in the direction orthogonal to the transfer direction of the transfer conveyor 31. The blowout pipes 81a to 81h are rotatably supported with respect to the fixed base portion, and the blowout angle of the gas blown out from the small holes is variable. As the gas, air, N2 (nitrogen) which is an inert gas, or the like can be used, and it is more preferable to use the inert gas. The gas blown out by the blowout pipes 81a to 81h is supplied from the gas after the flux is recovered or from a gas generation source separately provided outside.

図５から図７に示すように、吹き出しパイプ８１ａ～８１ｈは、吹き出し口（小孔ｒ又はスリットｒ’）から加熱ゾーン（ゾーンＺ１１～Ｚ１８からなる）内の気体を内部に押し戻す方向に気体を吹き出す。より具体的には、搬送面（ワークＷ）の上側に設けられる吹き出しパイプ８１ａ，８１ｂ，８１ｅ，８１ｆが斜め下に気体を吹き出すように、吹き出し角度が設定され、搬送面（ワークＷ）の下側に設けられる吹き出しパイプ８１ｃ，８１ｄ，８１ｇ，８１ｈが斜め上に気体を吹き出すように、吹き出し角度が設定される。このように吹き出し角度が設定されているので、リフロー工程で発生したフラックスヒュームが加熱ゾーンの外（例えば次段の冷却ゾーン）に漏れだすことを抑制することができ、液化したフラックスが被加熱物Ｗ上に付着する問題を防止することができる。また、炉体の外にエアカーテンを設けるのと異なり、装置が大型化したり、部品点数が増加したりすることがない。 As shown in FIGS. 5 to 7, the blowout pipes 81a to 81h push the gas in the heating zone (consisting of zones Z11 to Z18) back into the inside from the blowout port (small hole r or slit r'). Blow out. More specifically, the blowing angle is set so that the blowing pipes 81a, 81b, 81e, 81f provided on the upper side of the transport surface (work W) blow out the gas diagonally downward, and the bottom of the transport surface (work W). The blowing angle is set so that the blowing pipes 81c, 81d, 81g, 81h provided on the side blow out the gas diagonally upward. Since the blowing angle is set in this way, it is possible to prevent the flux fume generated in the reflow process from leaking out of the heating zone (for example, the cooling zone of the next stage), and the liquefied flux is the object to be heated. It is possible to prevent the problem of adhering to the W. Further, unlike the case where the air curtain is provided outside the furnace body, the size of the device does not increase and the number of parts does not increase.

さらに、吹き出しパイプ８１ａ～８１ｈから吹き出したガスがワークＷで反射された戻る箇所の近傍に吸い込み口７１ａ～７１ｈが設けられているので、ワークＷの直上の空間で発生しているフラックスヒュームを効率良く吸い上げることができる。 Further, since the suction ports 71a to 71h are provided in the vicinity of the return portion where the gas blown out from the blowout pipes 81a to 81h is reflected by the work W, the flux fume generated in the space directly above the work W is efficiently used. It can be sucked up well.

＜３．第２の実施の形態＞
本発明の第２の実施の形態について図９から図１１を参照して説明する。第２の実施の形態は、加熱ゾーンの内側に向かって気体を吹き出すために、吹き出しパイプに代えて導風フィンを使用するものである。吹き出しパイプと導風フィンを併用するようにしてもよい。 <3. Second Embodiment>
A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 9 to 11. In the second embodiment, a wind guide fin is used instead of the blow pipe to blow the gas toward the inside of the heating zone. The blowout pipe and the air guide fin may be used together.

図９に示すように、入口側ゾーンＺ１１の上部炉体１５の加熱パネル１９に搬送方向とほぼ直交する方向に延びるスリット状の吸い込み口７１ａが形成される。吸い込み口７１ａより加熱ゾーンの搬送方向の中心側にスリット状の吸い込み口７１ｂが形成される。これらの吸い込み口７１ａ及び７１ｂは、上述した第１の実施の形態における吸い込み口と同様のものである。他の吸い込み口７１ｃ～７１ｈも第１の実施の形態における吸い込み口と同様のものである。吸い込み口７１ａ～７１ｈによってワークＷの直上付近の空間のフラックスヒュームが吸い込まれる。吸い込み口７１ａ～７１ｈに対してダクト７２ａ～７２ｈが設けられている。 As shown in FIG. 9, a slit-shaped suction port 71a extending in a direction substantially orthogonal to the transport direction is formed in the heating panel 19 of the upper furnace body 15 of the inlet side zone Z11. A slit-shaped suction port 71b is formed from the suction port 71a on the center side of the heating zone in the transport direction. These suction ports 71a and 71b are the same as the suction ports in the first embodiment described above. The other suction ports 71c to 71h are the same as the suction ports in the first embodiment. The flux fume in the space directly above the work W is sucked by the suction ports 71a to 71h. Ducts 72a to 72h are provided for the suction ports 71a to 71h.

吸い込み口７１ａよりやや入口側に導風フィン７３ａが設けられている。また、吸い込み口７１ａ及び７１ｂの間に導風フィン７３ｂが設けられている。すなわち、入口近傍では、矢印で示すワークＷの搬送方向に対して（導風フィン７３ａ－吸い込み口７１ａ－導風フィン７３ｂ－吸い込み口７１ｂ）の順番の配置がなされている。導風フィン７３ａ及び７３ｂは、加熱パネル１９に対して取り付けられている。 A wind guide fin 73a is provided slightly on the inlet side of the suction port 71a. Further, a wind guide fin 73b is provided between the suction ports 71a and 71b. That is, in the vicinity of the inlet, the arrangement is made in the order of (air guide fin 73a-suction port 71a-air guide fin 73b-suction port 71b) with respect to the transport direction of the work W indicated by the arrow. The wind guide fins 73a and 73b are attached to the heating panel 19.

下部炉体３５の加熱ユニット２７の加熱パネル２９にも、上部炉体１５と同様に、スリット状の吸い込み口７１ｃ及び７１ｄが形成されている。吸い込み口７１ｃ及び７１ｄから延長するダクト７２ｃ及び７２ｄが設けられている。さらに、導風フィン７３ｃ及び７３ｄが設けられている。下部炉体３５においても、ワークＷの搬送方向に対して（導風フィン７３ｃ－吸い込み口７１ｃ－導風フィン７３ｄ－吸い込み口７１ｄ）の順番の配置がなされている。 Similar to the upper furnace body 15, slit-shaped suction ports 71c and 71d are also formed in the heating panel 29 of the heating unit 27 of the lower furnace body 35. Ducts 72c and 72d extending from the suction ports 71c and 71d are provided. Further, wind guide fins 73c and 73d are provided. Also in the lower furnace body 35, the arrangement is made in the order of (air guide fin 73c-suction port 71c-air guide fin 73d-suction port 71d) with respect to the transport direction of the work W.

次に、図１０及び図１１を参照して出口側ゾーンＺ１８の構成について説明する。図１１は、図１０の一部拡大断面図である。ゾーンＺ１８の上部炉体１５の加熱パネル１９に吸い込み口７１ｅが形成され、吸い込み口７１ｅよりゾーンＺ１８の出口側に吸い込み口７１ｆが形成される。吸い込み口７１ｅ及び７１ｆとそれぞれつながるダクト７２ｅ及び７２ｆが設けられている。ダクト７２ｅ及び７２ｆは、加熱ユニット１７を通って上方に延長されている。 Next, the configuration of the exit side zone Z18 will be described with reference to FIGS. 10 and 11. FIG. 11 is a partially enlarged cross-sectional view of FIG. A suction port 71e is formed in the heating panel 19 of the upper furnace body 15 of the zone Z18, and a suction port 71f is formed on the outlet side of the zone Z18 from the suction port 71e. Ducts 72e and 72f connected to the suction ports 71e and 71f are provided, respectively. The ducts 72e and 72f extend upward through the heating unit 17.

吸い込み口７１ｅ及び７１ｆの間に導風フィン７３ｅが設けられている。また、吸い込み口７１ｆよりやや出口側に導風フィン７３ｆが設けられている。すなわち、出口近傍では、矢印で示すワークＷの搬送方向に対して（吸い込み口７１ｅ－導風フィン７３ｅ－吸い込み口７１ｆ－導風フィン７３ｆ）の順番の配置がなされている。 A wind guide fin 73e is provided between the suction ports 71e and 71f. Further, a wind guide fin 73f is provided slightly on the outlet side of the suction port 71f. That is, in the vicinity of the outlet, the work W is arranged in the order of (suction port 71e-wind guide fin 73e-suction port 71f-wind guide fin 73f) with respect to the transport direction of the work W indicated by the arrow.

下部炉体３５の加熱ユニット２７の加熱パネル２９にも、上部炉体１５と同様に、吸い込み口７１ｇ及び７１ｈが形成されている。さらに、導風フィン７３ｇ及び８１ｈが設けられている。下部炉体３５においても、ワークＷの搬送方向に対して（吸い込み口７１ｇ－導風フィン７３ｇ－吸い込み口７１ｈ－導風フィン７３ｈ）の順番の配置がなされている。 Similar to the upper furnace body 15, the suction ports 71g and 71h are also formed on the heating panel 29 of the heating unit 27 of the lower furnace body 35. Further, wind guide fins 73g and 81h are provided. Also in the lower furnace body 35, the arrangement is made in the order of (suction port 71 g-air guide fin 73 g-suction port 71h-air guide fin 73h) with respect to the transport direction of the work W.

導風フィン７３ａ～７３ｆは、搬送方向と直交する方向に延びる金属板で形成されている。加熱パネル１９及び２９のそれぞれに対して所定の角度でもって斜めに取り付けられている。すなわち、加熱パネル１９及び２９の開口例えば小孔を通じて吹き出す気体を加熱ゾーンの内側に向かう方向に導くように傾斜されている。このように取り付け角度が設定されているので、リフロー工程で発生したフラックスヒュームが加熱ゾーンの外（例えば次段の冷却ゾーン）に漏れだすことを抑制することができ、液化したフラックスが被加熱物Ｗ上に付着する問題を防止することができる。また、炉体の外にエアカーテンを設けるのと異なり、装置が大型化したり、部品点数が増加したりすることがない。 The wind guide fins 73a to 73f are formed of a metal plate extending in a direction orthogonal to the transport direction. It is attached diagonally to each of the heating panels 19 and 29 at a predetermined angle. That is, it is inclined so as to guide the gas blown out through the openings of the heating panels 19 and 29, for example, small holes, toward the inside of the heating zone. Since the mounting angle is set in this way, it is possible to prevent the flux fume generated in the reflow process from leaking out of the heating zone (for example, the cooling zone of the next stage), and the liquefied flux is the object to be heated. It is possible to prevent the problem of adhering to the W. Further, unlike the case where the air curtain is provided outside the furnace body, the size of the device does not increase and the number of parts does not increase.

さらに、導風フィン７３ａ～７３ｈを通じて吹き出されたガスがワークＷで反射された戻る箇所の近傍に吸い込み口７１ａ～７１ｈが設けられているので、ワークＷの直上の空間で発生しているフラックスヒュームを効率良く吸い上げることができる。 Further, since the suction ports 71a to 71h are provided in the vicinity of the return portion where the gas blown out through the wind guide fins 73a to 73h is reflected by the work W, the flux fume generated in the space directly above the work W is provided. Can be efficiently sucked up.

＜４．変形例＞
以上、本発明の実施の形態について具体的に説明したが、上述の各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。なお、上述の実施の形態において挙げた構成、方法、工程、形状、材料及び数値などはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる構成、方法、工程、形状、材料及び数値などを用いてもよい。また、上述の実施の形態の構成、方法、工程、形状、材料及び数値などは、本発明の主旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。 <4. Modification example>
Although the embodiments of the present invention have been specifically described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications based on the technical idea of the present invention are possible. The configurations, methods, processes, shapes, materials, numerical values, etc. mentioned in the above-described embodiments are merely examples, and different configurations, methods, processes, shapes, materials, numerical values, etc. may be used as necessary. You may. In addition, the configurations, methods, processes, shapes, materials, numerical values, and the like of the above-described embodiments can be combined with each other as long as they do not deviate from the gist of the present invention.

Ｗ・・・ワーク、１１・・・搬入口、１２・・・搬出口、１５・・・上部炉体、
１６，２６・・・送風機、１７，２７・・・加熱ユニット、１８，２８・・・ヒータ、
１９，２９・・・加熱パネル、３１・・・搬送コンベヤ、３５・・・下部炉体、
７１ａ～７１ｈ・・・吸い込み口、７２ａ～７２ｈ・・・ダクト、
７３ａ～７３ｈ・・・導風フィン、８３ａ～８３ｈ・・・吹き出しパイプ W ... work, 11 ... carry-in entrance, 12 ... carry-out outlet, 15 ... upper furnace body,
16, 26 ... Blower, 17, 27 ... Heating unit, 18, 28 ... Heater,
19, 29 ... heating panel, 31 ... transfer conveyor, 35 ... lower furnace body,
71a-71h ... Suction port, 72a-72h ... Duct,
73a-73h ... Wind guide fins, 83a-83h ... Blow-out pipe

Claims

A heating zone consisting of a plurality of zones including a zone for soldering to the object to be heated, a cooling zone arranged after the heating zone to cool the soldered object, the heating zone, and the above. In a reflow device consisting of a transport unit that transports the object to be heated in the cooling zone.
A gas outlet extending in a width direction orthogonal to the transport direction is provided in the vicinity of the inlet of the inlet side zone of the heating zone and / or in the vicinity of the outlet of the outlet side zone of the heating zone, and the gas in the heating zone is provided from the outlet. In the direction of pushing back inward, a blowout portion that blows gas toward the upper surface and / or the lower surface of the transport surface of the transport portion, and
A suction portion provided in the vicinity of the blowout portion and extending in the width direction orthogonal to the transport direction, and a suction portion.
The inlet side zone and / or the outlet side zone is provided with a heating panel provided in parallel with the transport surface of the transport portion and blows gas to the upper surface and / or the lower surface of the transport surface.
The blowout portion is formed by an opening formed in the heating panel and a wind guide fin inclined so as to direct the gas blown out through the opening toward the inside of the heating zone.
A reflow device in which the suction portion is formed of an opening formed in a heating panel and a duct extended from the opening.

The reflow device according to claim 1 , wherein in the vicinity of the inlet, the blowout portion and the suction portion are arranged in this order with respect to the transport direction of the object to be heated.

The reflow device according to claim 1 or 2 , wherein in the vicinity of the outlet, the suction portion and the blowout portion are arranged in this order with respect to the transport direction of the object to be heated.

The reflow device according to any one of claims 1 to 3, wherein the gas is an inert gas.