JP6823820B1 - レジスト剥離液 - Google Patents
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Abstract
Description
剥離液全体量に対して0.5〜5質量%の2級環状アミンと、
前記2級環状アミンに対して5〜10質量%の塩基性アミノ酸と、
前記塩基性アミノ酸に対して10〜30質量%の保護剤と、
前記2級環状アミンに対して10〜50質量%の糖アルコールと、
有機極性溶媒と、
水を含み、
前記2級環状アミンは、ヘキサメチレンイミン若しくは1−メチルピロリジンの少なくとも一方であることを特徴とする。
ガラス基板上に、モリブデン(Mo)を30nmの厚みで堆積させ、その上に銅(Cu)を500nmの厚みで積層させた。その上にSiNを300nmの厚みで積層させた。これをシリコン積層片と呼ぶ。
レジストを剥離する能力(以下「剥離力」と呼ぶ。)として、それぞれの試験片を40℃に加温した各サンプル剥離液で40秒間処理し、光学顕微鏡でレジストの残留状態を確認した。そして、明らかに表面にレジストが残留している場合は評価を「×」(不合格若しくは失敗の意味である。)とし、レジストが問題ない状態まで剥離していれば「〇」(合格若しくは成功の意味である。)とした。
各サンプル剥離液の組成を示す。以下各化合物を示すのに、以下の略語も用いる場合がある。
ヘキサメチレンイミン:HMI(CAS番号111−49−9)、
1−メチルピロリジン:1M−PRL(CAS番号:120−94−5)、
ジエチルホルムアミド:DEF(CAS番号:617−84−5)、
ジエチレングリコールモノブチルエーテル:BDG(CAS番号:112−34−5)、
N−メチルホルムアミド:NMF(CAS番号:123−39−7)、
2,2’−[[(メチル−1H−ベンゾトリアゾール−1−イル)メチル]イミノ]ビスエタノール:MBET(CAS番号:88477−37−6)、
N−メチル−2−ピロリドン:NMP(CAS番号:872−50−4)、
ピペラジン:PIZ(CAS番号:110−85−0)、
N−メチルエタノールアミン:MMA(CAS番号:109−83−1)。
5−メチルベンゾトリアゾール:5M−BTA(CAS番号:136−85−6)、
アルギニン:Arg(CAS番号:74−79−3)、
リシン:Lys(CAS番号:70−54−2)、
ヒスチジン:His(CAS番号:71−00−1)
グリセロール:Glycerol(CAS番号:56−81−5)、
ソルビトール:Stol(CAS番号:50−70−4)。
実施例1のサンプル剥離液を以下の組成で調製した。
環状アミン化合物としてHMIを1.0g、
アミノ酸としてArgを0.07g(環状アミン化合物に対して7質量%)、
保護剤としてMBETを0.01g(アミノ酸に対して14.3質量%)、
糖アルコールとしてグリセロールを0.30g(環状アミン化合物に対して30質量%)、
極性溶媒としてNMPを71.62g、水を27.0g、以上を混合して実施例1のサンプルとした。
実施例2のサンプル剥離液を以下の組成で調製した。
環状アミン化合物としてHMIを4.0g、
アミノ酸としてArgを0.32g(環状アミン化合物に対して8質量%)、
保護剤としてMBETを0.09g(アミノ酸に対して28.1質量%)、
糖アルコールとしてグリセロールを1.60g(環状アミン化合物に対して40質量%)、
極性溶媒としてDEFを66.99g、水を27.0g、以上を混合して実施例2のサンプルとした。
実施例3のサンプル剥離液を以下の組成で調製した。
環状アミン化合物として1M−PRLを1.0g、
アミノ酸としてArgを0.07g(環状アミン化合物に対して7質量%)、
保護剤としてMBETを0.01g(アミノ酸に対して14.3質量%)、
糖アルコールとしてグリセロールを0.30g(環状アミン化合物に対して30質量%)、
極性溶媒としてDEFを71.62g、水を27.0g、以上を混合して実施例3のサンプルとした。
実施例4のサンプル剥離液を以下の組成で調製した。
環状アミン化合物として1M−PRLを4.0g、
アミノ酸としてArgを0.32g(環状アミン化合物に対して8質量%)、
保護剤として5M−BTAを0.09g(アミノ酸に対して28.1質量%)、
糖アルコールとしてグリセロールを1.60g(環状アミン化合物に対して40質量%)、
極性溶媒としてNMFを66.99g、水を27.0g、以上を混合して実施例4のサンプルとした。
実施例5のサンプル剥離液を以下の組成で調製した。
環状アミン化合物として1M−PRLを3.0g、
アミノ酸としてArgを0.21g(環状アミン化合物に対して7質量%)、
保護剤としてMBETを0.03g(アミノ酸に対して14.3質量%)、
糖アルコールとしてソルビトールを0.90g(環状アミン化合物に対して30質量%)、
極性溶媒としてDEFを68.86g、水を27.0g、以上を混合して実施例5のサンプルとした。
実施例6のサンプル剥離液を以下の組成で調製した。
環状アミン化合物として1M−PRLを1.0g、
アミノ酸としてLysを0.07g(環状アミン化合物に対して7質量%)、
保護剤としてMBETを0.01g(アミノ酸に対して14.3質量%)、
糖アルコールとしてグリセロールを0.10g(環状アミン化合物に対して10質量%)、
極性溶媒としてNMPを71.82g、水を27.0g、以上を混合して実施例6のサンプルとした。
比較例1のサンプル剥離液を以下の組成で調製した。
環状アミン化合物としてHMIを1.0g、
アミノ酸としてArgを0.03g(環状アミン化合物に対して3質量%)、
保護剤としてMBETを0.006g(アミノ酸に対して20質量%)、
糖アルコールとしてグリセロールを0.30g(環状アミン化合物に対して30質量%)、
極性溶媒としてNMPを71.664g、水を27.0g、以上を混合して比較例1のサンプルとした。
比較例2のサンプル剥離液を以下の組成で調製した。
環状アミン化合物としてHMIを4.0g、
アミノ酸としてArgを0.60g(環状アミン化合物に対して15量%)、
保護剤としてMBETを0.18g(アミノ酸に対して30質量%)、
糖アルコールとしてグリセロールを1.60g(環状アミン化合物に対して40質量%)、
極性溶媒としてDEFを66.62g、水を27.0g。以上を混合して比較例2のサンプルとした。
比較例3のサンプル剥離液を以下の組成で調製した。
環状アミン化合物として1M−PRLを1.0g、
アミノ酸としてArgを0.07g(環状アミン化合物に対して7質量%)、
保護剤としてMBETを0.003g(アミノ酸に対して4.3質量%)、
糖アルコールとしてグリセロールを0.30g(環状アミン化合物に対して30質量%)、
極性溶媒としてDEFを71.627g、水を27.0g、以上を混合して比較例3のサンプルとした。
比較例4のサンプル剥離液を以下の組成で調製した。
環状アミン化合物として1M−PRLを4.0g、
アミノ酸としてArgを0.32g(環状アミン化合物に対して8質量%)、
保護剤として5M−BTAを0.1g(アミノ酸に対して31質量%)、
糖アルコールとしてグリセロールを1.60g(環状アミン化合物に対して40質量%)、
極性溶媒としてNMFを66.98g、水を27.0g、以上を混合して比較例4のサンプルとした。
比較例5のサンプル剥離液を以下の組成で調製した。
アミン化合物としてPIZを1.0g、
アミノ酸としてArgを0.07g(アミン化合物に対して7質量%)、
保護剤としてMBETを0.01g(アミノ酸に対して14.3質量%)、
糖アルコールとしてグリセロールを0.30g(環状アミン化合物に対して30質量%)、
極性溶媒としてDEFを71.62g、水を27.0g、以上を混合して比較例5のサンプルとした。
比較例6のサンプル剥離液を以下の組成で調製した。
アミン化合物としてMMAを1.0g、
アミノ酸としてLysを0.07g(アミン化合物に対して7質量%)、
保護剤としてMBETを0.01g(アミノ酸に対して14.3質量%)、
糖アルコールとしてグリセロールを0.10g(環状アミン化合物に対して10質量%)、
極性溶媒としてNMPを71.82g、水を27.0g、以上を混合して比較例6のサンプルとした。
比較例7のサンプル剥離液を以下の組成で調製した。
環状アミン化合物としてHMIを3.0g、
アミノ酸としてLysを0.21g(環状アミン化合物に対して7質量%)、
保護剤としてMBETを0.03g(アミノ酸に対して14.3質量%)、
糖アルコールとしてグリセロールを0.0g(糖アルコールは含まれていない。)、
極性溶媒としてNMPを69.76g、水を27.0g、以上を混合して比較例7のサンプルとした。
比較例8のサンプル剥離液を以下の組成で調製した。
環状アミン化合物として1M−PRLを1.0g、
アミノ酸としてArgを0.07g(環状アミン化合物に対して7質量%)、
保護剤としてMBETを0.01g(アミノ酸に対して14.3質量%)、
糖アルコールとしてグリセロールを0.30g(環状アミン化合物に対して30質量%)、
極性溶媒としてBDGを71.62g、水を27.0g、以上を混合して比較例8のサンプルとした。
比較例9のサンプル剥離液を以下の組成で調製した。
環状アミン化合物として1M−PRLを1.0g、
アミノ酸としてHisを0.07g(環状アミン化合物に対して7質量%)、
保護剤としてMBETを0.01g(アミノ酸に対して14.3質量%)、
糖アルコールとしてグリセロールを0.30g(環状アミン化合物に対して30質量%)、
極性溶媒としてDEFを71.62g、水を27.0g、以上を混合して比較例9のサンプルとした。
Claims (4)
- 剥離液全体量に対して0.5〜5質量%の2級環状アミンと、
前記2級環状アミンに対して5〜10質量%の塩基性アミノ酸と、
前記塩基性アミノ酸に対して10〜30質量%の保護剤と、
前記2級環状アミンに対して10〜50質量%の糖アルコールと、
有機極性溶媒と、
水を含み、
前記2級環状アミンは、ヘキサメチレンイミン若しくは1−メチルピロリジンの少なくとも一方であることを特徴とするレジスト剥離液。 - 前記塩基性アミノ酸は、アルギニン若しくはリシンの少なくとも何れかを含むことを特
徴とする請求項1に記載されたレジスト剥離液。 - 前記保護剤は、ベンゾトリアゾール、5−メチル−1H−ベンゾトリアゾール、2−メルカプトベンズイミダゾール、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプト−5−メチルベンゾイミダゾール、1−[N,N−ビス(2−エチルヘキシル)アミノメチル]−1H−ベンゾトリアゾール、2,2’−[[(メチル−1H−ベンゾトリアゾール−1−イル)メチル]イミノ]ビスエタノールから選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする請求項1または2の何れかの請求項に記載されたレジスト剥離液。
- 前記糖アルコールがグリセロール若しくはソルビトールの少なくとも何れかであることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一の請求項に記載されたレジスト剥離液。
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