JP6539485B2 - 追尾式レーザ干渉計を用いた測定システム、及びその復帰方法 - Google Patents

追尾式レーザ干渉計を用いた測定システム、及びその復帰方法 Download PDF

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Description

本発明は、追尾式レーザ干渉計を用いた測定システム、及びその復帰方法に係り、特に、レーザ光が遮断され追尾できなくなっても、追尾を自動的に復帰させ、測定を再開することが可能な、追尾式レーザ干渉計を用いた測定システム、及びその復帰方法に関する。
移動体を追尾しながら、その移動体の変位や位置を高精度に測定するための追尾式レーザ干渉計として、特許文献１〜３に記載されたものがある。これら追尾式レーザ干渉計は、測定機や工作機械の校正を行う時に使用され、この校正対象機には測定体となるレトロリフレクタ（再帰反射体）が装着される。
図１に追尾式レーザ干渉計の構成例を示す。追尾式レーザ干渉計４０は、測定対象物である移動体２２に固定されたレトロリフレクタ４２と、光学測定装置７０と、２軸回転装置８０と、その制御装置（以下、回転機構制御装置と称する）８２から構成される。２軸回転装置８０は、互いに直交する２軸回転機構を含み、各軸に角度検出器（図示省略）を有している。レーザ光７４は、レーザ光源６０から光学測定装置７０へ光ファイバー６２を用いて導かれる。光学測定装置７０は、基準点Ｏからレトロリフレクタ４２までの距離Ｌを測定するレーザ干渉（測長）計（以下、単にレーザ干渉計と称する）７２と、レトロリフレクタ４２の追尾制御で使用される追尾用光学装置７６とからなる。
レトロリフレクタ４２は入射光と反射光の光軸が平行で、かつ、前記レトロリフレクタ４２の中心に対して入射光と反射光の光軸が点対称となる光学素子である。そのため、入射光がレトロリフレクタ４２の反射中心から離れた位置に入射すると、反射光は入射光に対してずれた位置に返る。追尾用光学装置７６は、その入射光と反射光のずれ量を観測する光位置検出器７８を有し、ずれ量を検出し、回転機構制御装置８２に送る。
前記回転機構制御装置８２では、追尾用光学装置７６から送られてきた信号（入射光と反射光のずれ量）と、２軸回転機構のそれぞれの回転軸にある角度検出器から出力される角度信号を用い、ずれ量が所定範囲内となるように２軸回転装置８０を制御する。
直交する２軸回転機構により構成されている２軸回転装置８０に取り付けられたレーザ干渉計７２は、レトロリフレクタ４２から戻ってきた光を干渉させ、干渉光の強度変化を位相で検出する検出器を有し、その２軸回転機構の回転中心（交点）を基準点Ｏとし、この基準点Ｏからレトロリフレクタ４２までの距離Ｌが、回転機構制御装置８２を介して測定される。
この構成により、追尾式レーザ干渉計４０の測定では、２軸回転装置８０の角度信号と、レーザ干渉計７２で観測される距離情報（Ｌ）が測定値として得られる。これら測定値を用いると、追尾式レーザ干渉計４０を、三次元座標計測用の装置として用いることができる。
又、複数台の追尾式レーザ干渉計を用いることにより、前記レーザ干渉計７２で観測される距離情報（Ｌ）のみを用いて、３辺測長を行い、三次元座標値を求めることもできる。
特許第２６０３４２９号公報 米国特許第６１４７７４８号明細書 特許第４７７６４５４号公報 特許第５２４４３３９号公報 特開２０１０−１９０６３４号公報
しかしながら、図１に示す追尾式レーザ干渉計において、追尾式レーザ干渉計本体５０とレトロリフレクタ４２の間で、障害物等によりレーザ光７４が遮断されたときや、レトロリフレクタ４２表面の汚れや、その他の理由によりレトロリフレクタ４２の位置を追尾できなくなることがある。この場合、測定再開には、作業者が回転機構制御装置８２の所まで行き、追尾式レーザ干渉計本体５０を動作させてレーザ光７４をレトロリフレクタ４２に照射するか、出射しているレーザ光７４まで移動体２２（レトロリフレクタ４２を含む）を動かす作業が必要となる。又、途中で測定が停止するため再度測定する必要がある。この作業は、人が介在するため温度などの環境変化が生じる。これは、高精度な測定には不利となる等の問題点を有していた。
なお、出願人は、特許文献４で扇状のレーザ光を照射してレトロリフレクタを探すことを提案し、特許文献５でレーザ光を渦巻状に走査してレトロリフレクタを探すことを提案しているが、いずれもハードウェアの追加が必要であった。
本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたもので、変位測定にレーザ干渉計を使用した追尾式レーザ干渉計において、レーザ光が遮断され追尾ができなくなっても、ハードウェアを追加することなく、簡単な方法で、追尾を自動的に復帰させて、測定が再開できるようにすることを課題とする。
本発明は、対象物に対して相対的に移動する移動体、及び、対象物に対して該移動体を相対的に移動させる移動機構を有する産業機械と、前記移動体に取り付けられたレトロリフレクタ、前記レトロリフレクタに向けてレーザ光を照射し、前記レトロリフレクタにより戻り方向に反射されたレーザ光の干渉を利用して変位を検出する検出器、前記レーザ光の光軸の位置ずれを検出する光位置検出器を有する追尾用光学装置、前記レーザ光の出射方向を変えることができる、互いに直交する２軸回転機構、該２軸回転機構の各軸に配設された角度検出器を有し、前記移動体が前記移動機構により対象物に対して相対移動すると、前記レトロリフレクタより戻り方向に反射されたレーザ光軸の位置ずれを前記光位置検出器で検出し、前記レーザ光軸の位置ずれが所定範囲内に収まるように前記２軸回転機構を制御するようにされた追尾式レーザ干渉計と、前記光位置検出器の受光信号に基づき、前記レトロリフレクタからの反射光の光量に異常があるか否かを判定する受光量判定部と、前記移動体を複数の位置に移動させながら、各位置において、前記産業機械の位置情報と、前記追尾式レーザ干渉計から前記レトロリフレクタまでの距離とその時の２軸の角度位置情報を取得して記憶するメモリと、を備えた追尾式レーザ干渉計を用いた測定システムであって、前記産業機械の制御装置と前記追尾式レーザ干渉計の制御装置が、互いに双方向通信可能とされ、レーザ光が遮断され追尾できなくなっても、追尾を自動的に復帰させ、測定を再開することが可能とされていることを特徴とする追尾式レーザ干渉計を用いた測定システムを提供することにより、前記課題を解決するものである。
本発明は、又、対象物に対して相対的に移動する移動体、及び、対象物に対して該移動体を相対的に移動させる移動機構を有する産業機械と、前記移動体に取り付けられたレトロリフレクタ、前記レトロリフレクタに向けてレーザ光を照射し、前記レトロリフレクタにより戻り方向に反射されたレーザ光の干渉を利用して変位を検出する検出器、前記レーザ光の光軸の位置ずれを検出する光位置検出器を有する追尾用光学装置、前記レーザ光の出射方向を変えることができる、互いに直交する２軸回転機構、該２軸回転機構の各軸に配設された角度検出器を有し、前記移動体が前記移動機構により対象物に対して相対移動すると、前記レトロリフレクタより戻り方向に反射されたレーザ光軸の位置ずれを前記光位置検出器で検出し、前記レーザ光軸の位置ずれが所定範囲内に収まるように前記２軸回転機構を制御するようにされた追尾式レーザ干渉計と、前記光位置検出器の受光信号に基づき、前記レトロリフレクタからの反射光の光量に異常があるか否かを判定する受光量判定部と、前記移動体を複数の位置に移動させながら、各位置において、前記産業機械の位置情報と、前記追尾式レーザ干渉計から前記レトロリフレクタまでの距離とその時の２軸の角度位置情報を取得して記憶するメモリと、を備えた追尾式レーザ干渉計を用いた測定システムにより測定する際に、レーザ光をレトロリフレクタに向けて出射し、追尾式レーザ干渉計を追従状態とし、移動体を任意の点に移動させ任意の１つの場所での移動体の位置情報と、追尾式レーザ干渉計からの２軸回転機構の回転位置情報の組合せを記憶し、受光量判定部が光量異常と判断した時、移動体と２軸回転機構の位置を保持し、移動体と２軸回転機構を記憶したそれぞれの所定位置へ移動し、移動後、受光量が異常で無くなれば、追尾式レーザ干渉計を追従状態として、測定を再開することを特徴とする追尾式レーザ干渉計を用いた測定システムの復帰方法を提供することにより、同様に前記課題を解決するものである。
本発明は、更に、対象物に対して相対的に移動する移動体、及び、対象物に対して該移動体を相対的に移動させる移動機構を有する産業機械と、前記移動体に取り付けられたレトロリフレクタ、前記レトロリフレクタに向けてレーザ光を照射し、前記レトロリフレクタにより戻り方向に反射されたレーザ光の干渉を利用して変位を検出する検出器、前記レーザ光の光軸の位置ずれを検出する光位置検出器を有する追尾用光学装置、前記レーザ光の出射方向を変えることができる、互いに直交する２軸回転機構、該２軸回転機構の各軸に配設された角度検出器を有し、前記移動体が前記移動機構により対象物に対して相対移動すると、前記レトロリフレクタより戻り方向に反射されたレーザ光軸の位置ずれを前記光位置検出器で検出し、前記レーザ光軸の位置ずれが所定範囲内に収まるように前記２軸回転機構を制御するようにされた追尾式レーザ干渉計と、前記光位置検出器の受光信号に基づき、前記レトロリフレクタからの反射光の光量に異常があるか否かを判定する受光量判定部と、前記移動体を複数の位置に移動させながら、各位置において、前記産業機械の位置情報と、前記追尾式レーザ干渉計から前記レトロリフレクタまでの距離とその時の２軸の角度位置情報を取得して記憶するメモリと、を備えた追尾式レーザ干渉計を用いた測定システムにより測定する際に、レーザ光をレトロリフレクタに向けて出射し、追尾式レーザ干渉計を追従状態とし、移動体を任意の点に移動させ複数の任意の場所での移動体の位置情報と、追尾式レーザ干渉計からの２軸回転機構の回転位置情報の組合せを記憶し、受光量判定部が光量異常と判断した時、移動体と２軸回転機構の位置を保持し、移動体と２軸回転機構を記憶したそれぞれの所定位置へ移動し、移動後も受光量が異常であれば、保持し、移動体と２軸回転機構を次の所定位置へ移動し、受光量が異常で無くなる所定位置まで移動を繰り返し、移動後、受光量が異常で無くなれば、追尾式レーザ干渉計を追従状態として、測定を再開することを特徴とする追尾式レーザ干渉計を用いた測定システムの復帰方法を提供することにより、同様に前記課題を解決するものである。
本発明によれば、追尾式レーザ干渉計からのレーザ光が遮断されるなどの理由により追尾できなくなっても、ハードウェアを追加することなく、簡単な方法で、追尾を自動復帰させることが可能となり、測定が再開できる。従って、追尾復帰作用が自動化され、人の介入が無くなるので環境変化が小さくなり、より高精度で安定な測定が可能となる。
従来の追尾式レーザ干渉計の構成例を示すブロック図 本発明に係る追尾式レーザ干渉計を用いた測定システムの実施形態の構成を示すブロック図 本発明に係る復帰方法の第１実施形態の処理手順を示す流れ図 同じく第１実施形態を説明するための正面図 本発明に係る復帰方法の第２実施形態の処理手順を示す流れ図 同じく第２実施形態を説明するための流れ図
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。なお、本発明は以下の実施形態及び実施例に記載した内容により限定されるものではない。又、以下に記載した実施形態及び実施例における構成要件には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。更に、以下に記載した実施形態及び実施例で開示した構成要素は適宜組み合わせてもよいし、適宜選択して用いてもよい。
本発明を実施するための追尾式レーザ干渉計を用いた測定システムの実施形態を図２に示す。
本実施形態は、例えば三次元座標測定機や工作機械等の産業機械２０と、追尾式レーザ干渉計４０と、パソコン（ＰＣ）９０とを主に備えている。
前記産業機械２０は、載置テーブル１２上に搭載された対象物（測定対象物や加工対象物）１０を測定するための測定子（加工するための加工具であってもよい）２４が取り付けられ、対象物１０に対して相対的に移動する移動体２２と、該移動体２２を移動させ、あるいは前記載置テーブル１２を移動させることで、対象物１０に対して移動体２２を相対移動させる移動機構２６と、該移動機構２６用の制御装置（以下、移動機構制御装置と称する）２８と、指令値及び位置情報を外部に出力するための通信装置３０とを備えている。
前記追尾式レーザ干渉計４０は、前記移動体２２に取り付けられるレトロリフレクタ４２と、追尾式レーザ干渉計本体５０と、回転機構制御装置８２と、モニタ８６とを備えている。
前記追尾式レーザ干渉計本体５０は、レーザ光源６０から光ファイバー６２を介して導かれたレーザ光７４を前記レトロリフレクタ４２に向けて照射し、前記レトロリフレクタ４２により戻り方向に反射されたレーザ光７４の光の干渉を利用して基準点Ｏからレトロリフレクタ４２までの距離Ｌを検出するレーザ干渉（測長）計７２と、前記レーザ光７４の光軸の位置ずれを検出する光位置検出器７８を有する追尾用光学装置７６と、前記レーザ干渉計７２の出射方向を変えることができる、互いに直交する２軸回転機構を含む２軸回転装置８０と、該２軸回転機構のそれぞれの回転軸に設けられた角度検出器（図示省略）とを有し、移動体２２が移動機構２６により対象物１０に対して移動する場合は、移動体２２に取り付けられたレトロリフレクタ４２により戻り方向に反射されたレーザ光軸の位置ずれを光位置検出器７８で検出し、該レーザ光軸の位置ずれが所定範囲内に収まるように２軸回転機構を制御する回転機構制御装置８２と、例えば該回転機構制御装置８２に内蔵された、前記光位置検出器７８からの受光信号に基づきレトロリフレクタ４２からの反射光の光量に異常が無いかを判定する受光量判定部８４と、判定結果を表示するモニタ８６と、指令値及び位置情報を外部に出力するための通信装置８８とを備えている。
前記レーザ干渉計７２は、例えばフォトダイオードＰＤなどを備えて構成されている。
前記光位置検出器７８は、例えば４分割フォトダイオードＰＤ又は２次元ＰＳＤ（位置感知検出器）などを備えて構成され、光位置だけでなく受光量全体も出力可能とされている。
前記ＰＣ９０には、前記産業機械２０の移動機構制御装置２８から出力される移動体２２の位置情報及び前記回転機構制御装置８２から出力される回転機構の位置情報を記憶するメモリ９２が備えられている。
この測定システムは、前記産業機械２０の移動体２２を複数の位置に移動させ、それぞれの位置において、産業機械２０の位置情報と、追尾式レーザ干渉計４０の基準点Ｏからレトロリフレクタ４２までの距離Ｌと、そのときの２軸の角度位置情報を複数の位置で持ち、これらの情報を用いて測定を行っている。
本実施形態では、移動機構制御装置２８、回転機構制御装置８２の通信をＰＣ９０が受けて、指令値及び位置情報を処理し、測定を行っている。なお、移動機構制御装置２８か回転機構制御装置８２のどちらかが、信号処理機能を含む制御装置である場合には、移動機構制御装置２８と回転機構制御装置８２を直接繋いで通信しても同様の作用ができる。
通信方法は、双方向通信ができるものであれば、ＲＳ２３２Ｃ、ＲＳ４２２、ＵＳＢＬＡＮなどの有線、あるいは、無線ＬＡＮ、ＷｉＦｉなどの無線のいずれであってもよい。
次に、図２に示した測定システムの復帰動作の第１実施形態について、図３を参照して説明する。
まず、ステップ１００で、レーザ光７４をレトロリフレクタ４２に向けて出射し、追尾式レーザ干渉計４０を追従状態にする。
次いで、ステップ１１０で、移動体２２を移動させ、図４に例示する如く、任意の１つの点でデータを収集する。このときの産業機械２０からの位置情報と、追尾式レーザ干渉計４０からの２軸回転装置８０の回転位置情報の組合せを復帰点１としてＰＣ９０のメモリ９２に記憶する。前記復帰点１は、移動体２２の可動範囲で障害物が介在しないところに設定する。
次いで、ステップ１２０に進み、所定の測定位置まで移動体２２を移動させて測定する。このとき、ステップ１３０で、受光量判定部８４により受光量が異常であるか否かを判定し、異常が無ければステップ１４０で測定を行う。異常が無ければ、これらの動作をステップ１５０で測定完了と判断されるまで行い、ステップ１９０で停止して、測定を完了する。
一方、ステップ１３０で、受光量に異常が有ると判定された場合には、ステップ１６０に進み、移動体２２と追尾式レーザ干渉計本体５０の位置を保持する。
次いで、ステップ１７０で、移動体２２をステップ１１０で測定した復帰点１へ移動し、追尾式レーザ干渉計本体５０も復帰点１の回転位置情報位置に移動する。
次いで、ステップ１８０に進み、受光量が異常で無くなったか判定する。受光量異常が解消された場合には、追従が可能な状態となり、ステップ１２０に戻って測定を再開する。
次に、復帰動作の第２実施形態について、図５を参照して説明する。
第１実施形態と同様のステップ１００で、レーザ光７４をレトロリフレクタ４２に向けて出射し、追尾式レーザ干渉計４０を追従状態とする。
次いで、ステップ１１２に進み、移動体２２を、図６に例示する如く、任意の複数の点に移動させ、この任意の複数の点での移動体２２の位置情報と追尾式レーザ干渉計４０からの２軸回転装置８０の回転位置情報の組合せをＰＣ９０のメモリ９２に復帰点１・・・Ｎ（ここでは、Ｎ＝２）として複数記憶する。前記復帰点１、２・・・は、移動体２２の可動範囲で障害物が介在しないところに設定する。
次いで、ステップ１２０で、移動体２２を所定の測定位置まで移動し、受光量に異常が無ければステップ１４０で測定し、ステップ１５０で測定完了するまで繰り返して、ステップ１６０で停止する。
一方、測定中に、ステップ１３０で受光量に異常が有ると判定された場合には、ステップ１６０に進み、移動体２２と追尾式レーザ干渉計本体５０の位置を保持する。
次いで、ステップ１７０で移動体２２と２軸回転装置８０を記憶した復帰点１へ移動し、ステップ１８０で受光量異常が解消された場合には、ステップ１２０に戻って測定を再開する。
一方、復帰点１に移動しても受光量が異常であるとステップ１８０で判定されたときには、その状態をステップ１９０で保持し、ステップ２００で次の復帰点２へ移動し、ステップ２１０で受光量が異常で無くなるまで繰り返す。
このようにして、受光量異常が解消され、追従が可能な状態になると、ステップ１２０に戻って測定を再開する。
前記産業機械２０は、三次元座標測定機に限定されず、他の測定機や工作機械等、任意の産業機械であることができる。
１０…対象物
１２…載置テーブル
２０…産業機械
２２…移動体
２４…測定子
２６…移動機構
２８…移動機構制御装置
３０、８８…通信装置
４０…追尾式レーザ干渉計
４２…レトロリフレクタ
５０…追尾式レーザ干渉計本体
６０…レーザ光源
７０…光学測定装置
７２…レーザ干渉（測長）計
７４…レーザ光
７６…追尾用光学装置
７８…光位置検出器
８０…２軸回転装置
８２…回転機構制御装置
８４…受光量判定部
９０…パソコン（ＰＣ）
９２…メモリ
Ｏ…基準点

Claims (3)

  1. 対象物に対して相対的に移動する移動体、及び、対象物に対して該移動体を相対的に移動させる移動機構を有する産業機械と、
    前記移動体に取り付けられたレトロリフレクタ、前記レトロリフレクタに向けてレーザ光を照射し、前記レトロリフレクタにより戻り方向に反射されたレーザ光の干渉を利用して変位を検出する検出器、前記レーザ光の光軸の位置ずれを検出する光位置検出器を有する追尾用光学装置、前記レーザ光の出射方向を変えることができる、互いに直交する２軸回転機構、該２軸回転機構の各軸に配設された角度検出器を有し、前記移動体が前記移動機構により対象物に対して相対移動すると、前記レトロリフレクタより戻り方向に反射されたレーザ光軸の位置ずれを前記光位置検出器で検出し、前記レーザ光軸の位置ずれが所定範囲内に収まるように前記２軸回転機構を制御するようにされた追尾式レーザ干渉計と、
    前記光位置検出器の受光信号に基づき、前記レトロリフレクタからの反射光の光量に異常があるか否かを判定する受光量判定部と、
    前記移動体を複数の位置に移動させながら、各位置において、前記産業機械の位置情報と、前記追尾式レーザ干渉計から前記レトロリフレクタまでの距離とその時の２軸の角度位置情報を取得して記憶するメモリと、
    を備えた追尾式レーザ干渉計を用いた測定システムであって、
    前記産業機械の制御装置と前記追尾式レーザ干渉計の制御装置が、互いに双方向通信可能とされ、
    レーザ光が遮断され追尾できなくなっても、追尾を自動的に復帰させ、測定を再開することが可能とされていることを特徴とする追尾式レーザ干渉計を用いた測定システム。
  2. 対象物に対して相対的に移動する移動体、及び、対象物に対して該移動体を相対的に移動させる移動機構を有する産業機械と、
    前記移動体に取り付けられたレトロリフレクタ、前記レトロリフレクタに向けてレーザ光を照射し、前記レトロリフレクタにより戻り方向に反射されたレーザ光の干渉を利用して変位を検出する検出器、前記レーザ光の光軸の位置ずれを検出する光位置検出器を有する追尾用光学装置、前記レーザ光の出射方向を変えることができる、互いに直交する２軸回転機構、該２軸回転機構の各軸に配設された角度検出器を有し、前記移動体が前記移動機構により対象物に対して相対移動すると、前記レトロリフレクタより戻り方向に反射されたレーザ光軸の位置ずれを前記光位置検出器で検出し、前記レーザ光軸の位置ずれが所定範囲内に収まるように前記２軸回転機構を制御するようにされた追尾式レーザ干渉計と、
    前記光位置検出器の受光信号に基づき、前記レトロリフレクタからの反射光の光量に異常があるか否かを判定する受光量判定部と、
    前記移動体を複数の位置に移動させながら、各位置において、前記産業機械の位置情報と、前記追尾式レーザ干渉計から前記レトロリフレクタまでの距離とその時の２軸の角度位置情報を取得して記憶するメモリと、
    を備えた追尾式レーザ干渉計を用いた測定システムにより測定する際に、
    レーザ光をレトロリフレクタに向けて出射し、追尾式レーザ干渉計を追従状態とし、移動体を任意の点に移動させ任意の１つの場所での移動体の位置情報と、追尾式レーザ干渉計からの２軸回転機構の回転位置情報の組合せを記憶し、
    受光量判定部が光量異常と判断した時、移動体と２軸回転機構の位置を保持し、移動体と２軸回転機構を記憶したそれぞれの所定位置へ移動し、移動後、受光量が異常で無くなれば、追尾式レーザ干渉計を追従状態として、測定を再開することを特徴とする追尾式レーザ干渉計を用いた測定システムの復帰方法。
  3. 対象物に対して相対的に移動する移動体、及び、対象物に対して該移動体を相対的に移動させる移動機構を有する産業機械と、
    前記移動体に取り付けられたレトロリフレクタ、前記レトロリフレクタに向けてレーザ光を照射し、前記レトロリフレクタにより戻り方向に反射されたレーザ光の干渉を利用して変位を検出する検出器、前記レーザ光の光軸の位置ずれを検出する光位置検出器を有する追尾用光学装置、前記レーザ光の出射方向を変えることができる、互いに直交する２軸回転機構、該２軸回転機構の各軸に配設された角度検出器を有し、前記移動体が前記移動機構により対象物に対して相対移動すると、前記レトロリフレクタより戻り方向に反射されたレーザ光軸の位置ずれを前記光位置検出器で検出し、前記レーザ光軸の位置ずれが所定範囲内に収まるように前記２軸回転機構を制御するようにされた追尾式レーザ干渉計と、
    前記光位置検出器の受光信号に基づき、前記レトロリフレクタからの反射光の光量に異常があるか否かを判定する受光量判定部と、
    前記移動体を複数の位置に移動させながら、各位置において、前記産業機械の位置情報と、前記追尾式レーザ干渉計から前記レトロリフレクタまでの距離とその時の２軸の角度位置情報を取得して記憶するメモリと、
    を備えた追尾式レーザ干渉計を用いた測定システムにより測定する際に、
    レーザ光をレトロリフレクタに向けて出射し、追尾式レーザ干渉計を追従状態とし、移動体を任意の点に移動させ複数の任意の場所での移動体の位置情報と、追尾式レーザ干渉計からの２軸回転機構の回転位置情報の組合せを記憶し、
    受光量判定部が光量異常と判断した時、移動体と２軸回転機構の位置を保持し、移動体と２軸回転機構を記憶したそれぞれの所定位置へ移動し、移動後も受光量が異常であれば、保持し、移動体と２軸回転機構を次の所定位置へ移動し、受光量が異常で無くなる所定位置まで移動を繰り返し、
    移動後、受光量が異常で無くなれば、追尾式レーザ干渉計を追従状態として、測定を再開することを特徴とする追尾式レーザ干渉計を用いた測定システムの復帰方法。
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