JP6006250B2 - Ion engine test equipment - Google Patents

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Description

本発明は、宇宙環境と略同等の高真空、極低温の環境を模擬的に形成して宇宙環境で使用される機器類を試験する宇宙環境試験装置に関するものであり、特に、宇宙空間で人工衛星等の姿勢制御用として使用されるイオンエンジンの試験を行うイオンエンジン試験装置に関するものである。   The present invention relates to a space environment test apparatus for testing equipment used in a space environment by simulating a high vacuum and cryogenic environment substantially equivalent to the space environment. The present invention relates to an ion engine test apparatus for testing an ion engine used for attitude control of a satellite or the like.

イオンエンジン試験装置は、一般に、真空容器の内部にシュラウドと呼ばれる熱吸収壁を設置して宇宙の冷暗黒を模擬するとともに、クライオパネルと呼ばれる20K以下に冷却されて大容量のポンプとして機能するクライオポンプを設置して、補助排気系と同時に使用し、イオンエンジン作動時においても真空容器の内部を高真空に排気して宇宙の高真空を模擬し、該装置に設置したイオンエンジンの試験を行うものである。   In general, an ion engine test apparatus is a cryostat that functions as a large-capacity pump that is cooled to 20K or less, called a cryopanel, while simulating the darkness of the universe by installing a heat absorption wall called a shroud inside the vacuum vessel A pump is installed and used at the same time as the auxiliary exhaust system. Even when the ion engine is operating, the inside of the vacuum vessel is evacuated to a high vacuum to simulate the high vacuum of the universe, and the ion engine installed in the device is tested. Is.

このようなイオンエンジン試験装置は、真空槽の一端側にイオンエンジンを設置し、イオンエンジンから噴射されるキセノンイオンビームを、当該真空槽の他端側に設置したビームターゲットで受け、ビームターゲットにて中性化されたキセノンガスを20K〜50K程度に冷却されたクライオパネルに凝結排気させることにより高真空を維持するものである。   In such an ion engine test apparatus, an ion engine is installed on one end side of a vacuum chamber, and a xenon ion beam ejected from the ion engine is received by a beam target installed on the other end side of the vacuum chamber. A high vacuum is maintained by condensing and exhausting the neutralized xenon gas to a cryopanel cooled to about 20K to 50K.

近年、イオンエンジンは高出力化の傾向にあり、これに対応するために、キセノンガスの排気能力を大きく確保することが求められている。このため、クライオパネルの面積を大きくして排気能力を高めるために、クライオパネルを冷却するヘリウム冷凍機の冷凍能力を大きくしなければならない。その結果、附帯設備を含めたヘリウム冷凍機システム全体の設備規模が大型化し、設置スペースやコストが著しく増大する。   In recent years, ion engines have been on the trend of higher output, and in order to cope with this, it is required to secure a large exhaust capacity of xenon gas. For this reason, in order to increase the area of the cryopanel and increase the exhaust capacity, the refrigeration capacity of the helium refrigerator that cools the cryopanel must be increased. As a result, the facility scale of the entire helium refrigerator system including incidental facilities is increased, and the installation space and cost are significantly increased.

このような問題を解決するものとして、例えば特許文献1には、真空容器内においてビームターゲットを挟むようにして第1のクライオパネルと第2のクライオパネルを設置し、真空容器の外に配置したヘリウム冷凍機から配管を介して液体ヘリウムを第1、第2のクライオパネルに供給するようにしたイオンエンジン試験装置が開示されている。   In order to solve such a problem, for example, Patent Document 1 discloses a helium refrigeration system in which a first cryopanel and a second cryopanel are installed so as to sandwich a beam target in a vacuum vessel and are arranged outside the vacuum vessel. An ion engine test apparatus is disclosed in which liquid helium is supplied from a machine to a first and second cryopanel via a pipe.

特開2010−71103号公報JP 2010-71103 A

しかしながら、特許文献1では、真空容器内の2箇所にクライオパネルを設けており、これら2箇所に設けたクライオパネルにヘリウム冷凍機から液体ヘリウムを供給するようにしているので、設備が複雑であり、また、液体ヘリウムを供給するための配管や配管途中に設けるバルブ類から熱が伝達されるため、このような侵入熱を踏まえた冷凍能力が必要となりヘリウム冷凍機の設備規模も大型化せざるを得ない。   However, in Patent Document 1, cryopanels are provided at two locations in the vacuum vessel, and liquid helium is supplied from the helium refrigerator to the cryopanels provided at these two locations, so that the facilities are complicated. In addition, since heat is transmitted from piping for supplying liquid helium and valves provided in the middle of the piping, refrigerating capacity based on such intrusion heat is required, and the scale of the helium refrigerator is not enlarged. I do not get.

本発明は、かかる課題を解決するためになされたものであって、大型のヘリウム冷凍機を使用せず、簡易な設備構成でクライオパネルを冷却することができるイオンエンジン試験装置を提供することを目的としている。   The present invention has been made to solve such a problem, and provides an ion engine test apparatus capable of cooling a cryopanel with a simple equipment configuration without using a large helium refrigerator. It is aimed.

(1)本発明に係るイオンエンジン試験装置は、極低温に保持された真空槽内に設置したビームターゲットに向けてイオンエンジンからイオンビームを噴射してイオンエンジンの試験を行うイオンエンジン試験装置であって、
前記イオンエンジンとビームターゲットの間の空間内において、前記真空槽の内周面に沿って設けられた筒状のクライオパネルと、該クライオパネルを冷却する直付式冷凍機とを有し、
該直付式冷凍機は、冷凍機本体と該冷凍機本体から延出するシリンダー部と、該シリンダー部の先端に設けられたコールドヘッドを有し、前記冷凍機本体が前記真空槽の外周部に固定され、前記真空槽の外周部に形成された開口部から前記シリンダー部を真空槽内に挿入して、かつ前記コールドヘッドが前記クライオパネルに直付け接合されていることを特徴とするものである。
(1) An ion engine test apparatus according to the present invention is an ion engine test apparatus for inspecting an ion engine by injecting an ion beam from an ion engine toward a beam target installed in a vacuum chamber held at a cryogenic temperature. There,
In the space between the ion engine and the beam target, a cylindrical cryopanel provided along the inner peripheral surface of the vacuum chamber, and a direct-attached refrigerator that cools the cryopanel,
The direct-attached refrigerator has a refrigerator main body, a cylinder portion extending from the refrigerator main body, and a cold head provided at a tip of the cylinder portion, and the refrigerator main body is an outer peripheral portion of the vacuum chamber. The cylinder portion is inserted into the vacuum chamber through an opening formed in the outer peripheral portion of the vacuum chamber, and the cold head is directly attached to the cryopanel. It is.

(2)また、上記(1)に記載のものにおいて、前記シュラウドは前記真空槽の内周壁に沿って筒状に設けられた外側シュラウドと内側シュラウドからなる2重構造を有し、前記クライオパネルは前記外側シュラウドと前記内側シュラウドの間に挟まれるように配置されていることを特徴とするものである。 (2) Further, in the above (1), the shroud has a double structure including an outer shroud and an inner shroud provided in a cylindrical shape along an inner peripheral wall of the vacuum chamber, and the cryopanel Is arranged to be sandwiched between the outer shroud and the inner shroud.

(3)また、上記(1)又は(2)に記載のものにおいて、前記クライオパネルは、その湾曲する両側の辺部に片側に屈曲する片フランジ部を有し、該片フランジ部に形成された穴に支持棒が挿通されて、該支持棒が前記真空槽の内周面に設けられたドーナツ形状のカバー体の穴に挿通されることで、前記クライオパネルが前記真空槽に取付けられていることを特徴とするものである。 (3) Further, in the above-described (1) or (2), the cryopanel has a single flange portion bent on one side on both sides of the curved side, and is formed on the single flange portion. A support bar is inserted into the hole, and the support bar is inserted into a hole of a donut-shaped cover body provided on the inner peripheral surface of the vacuum chamber, so that the cryopanel is attached to the vacuum chamber. It is characterized by being.

(4)また、上記(3)に記載のものにおいて、前記支持棒と前記クライオパネルの片フランジ部に形成された穴との間には隙間が形成されると共に支持棒と穴の内周面とが線接触していることを特徴とするものである。
(4) In those described above SL (3), the inner periphery of the support rod and the hole with a gap is formed between the support rod and the hole formed on one flange portion of the cryopanel The surface is in line contact.

(5)また、上記(3)又は(4)のいずれかに記載のものにおいて、前記ドーナツ形状のカバー体の穴は径方向に長い長穴であり、かつ前記支持棒を挿通したときに前記長穴との間に隙間が形成されていることを特徴とするものである。 (5) Further, in those of any one of (3) or (4), the holes of the cover of the donut shape is long elongated holes radially, and the when inserting the support rod A gap is formed between the elongated holes.

(6)また、上記(1)乃至(5)のいずれかに記載のものにおいて、前記クライオパネルは湾曲した複数枚の板状からなり、各クライオパネルが前記真空槽の内壁に沿って筒状に配置され、各クライオパネルに前記直付式冷凍機がそれぞれ取付けられていることを特徴とするものである。 (6) Further, in the above-described one of (1) to (5), the cryopanel is formed of a plurality of curved plates, and each cryopanel is tubular along the inner wall of the vacuum chamber. And the direct-attached refrigerator is attached to each cryopanel.

本発明に係るイオンエンジン試験装置は、イオンエンジンとビームターゲットの間の空間内において、真空槽の内周面に沿って設けられた筒状のクライオパネルと、該クライオパネルを冷却する直付式冷凍機とを有し、該直付式冷凍機は、冷凍機本体と該冷凍機本体から延出するシリンダー部と、該シリンダー部の先端に設けられたコールドヘッドを有し、前記冷凍機本体が前記真空槽の外周部に固定され、前記真空槽の外周部に形成された開口部から前記シリンダー部を真空槽内に挿入して、かつ前記コールドヘッドが前記クライオパネルに直付け接合されているので、大型のヘリウム冷凍機を使用せず、簡易な設備構成でクライオパネルを冷却することができる。   An ion engine test apparatus according to the present invention includes a cylindrical cryopanel provided along an inner peripheral surface of a vacuum chamber in a space between an ion engine and a beam target, and a direct attachment type for cooling the cryopanel. The refrigerator has a refrigerator main body, a cylinder portion extending from the refrigerator main body, and a cold head provided at a tip of the cylinder portion, the refrigerator main body Is fixed to the outer periphery of the vacuum chamber, the cylinder portion is inserted into the vacuum chamber through an opening formed in the outer periphery of the vacuum chamber, and the cold head is directly bonded to the cryopanel. Therefore, the cryopanel can be cooled with a simple equipment configuration without using a large helium refrigerator.

本発明の一実施の形態に係るイオンエンジン試験装置の説明図である。It is explanatory drawing of the ion engine test apparatus which concerns on one embodiment of this invention. 図1における矢視A−A線に沿う断面を示す図であって、直付式冷凍機の配置を説明する説明図である。但し、図1において図示している高真空排気装置は図示を省略している。It is a figure which shows the cross section which follows the arrow AA line in FIG. 1, Comprising: It is explanatory drawing explaining arrangement | positioning of a direct attachment refrigerator. However, the high vacuum evacuation apparatus shown in FIG. 1 is not shown. 本発明の一実施の形態に係るクライオパネルの説明図である。It is explanatory drawing of the cryopanel which concerns on one embodiment of this invention. 図3の一部を拡大して示す拡大図である。It is an enlarged view which expands and shows a part of FIG. クライオパネルの取付構造及び直付式冷凍機とクライオパネルの直付け接合構造を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the attachment structure of a cryopanel, and the direct attachment joining structure of a direct attachment type refrigerator and a cryopanel. 本発明の一実施の形態に係るカバー体の説明図である。It is explanatory drawing of the cover body which concerns on one embodiment of this invention.

本実施の形態に係るイオンエンジン試験装置1は、図1に示すように、真空槽5内に設置したビームターゲット7に向けてイオンビームを噴射してイオンエンジン9の試験を行う装置であって、真空槽5の内周面に沿って設けられ極低温に保持されたシュラウド3に組み込まれた、円筒状のクライオパネル11とクライオパネル11を冷却する直付式冷凍機13とを有している。
以下、各構成及び付属機器について詳細に説明する。
An ion engine test apparatus 1 according to the present embodiment is an apparatus for testing an ion engine 9 by injecting an ion beam toward a beam target 7 installed in a vacuum chamber 5 as shown in FIG. A cylindrical cryopanel 11 that is provided along the inner peripheral surface of the vacuum chamber 5 and is held at a cryogenic temperature, and a direct-attached refrigerator 13 that cools the cryopanel 11. Yes.
Hereinafter, each configuration and attached devices will be described in detail.

<真空槽>
真空槽5は、横型円筒形の主真空槽15と、主真空槽15の鏡板部に接続された横型円筒形の副真空槽17とを備えている。なお、以下の説明において、主真空槽15内に取付けられる機器類に関して方向を示す場合において、周方向、軸方向、径方向という用語を用いることがあるが、これは主真空槽15に機器類を取付けた状態で、主真空槽15の軸方向、周方向及び軸方向直交断面の径方向をいうものとする。
<Vacuum tank>
The vacuum chamber 5 includes a horizontal cylindrical main vacuum chamber 15 and a horizontal cylindrical sub vacuum chamber 17 connected to the end plate portion of the main vacuum chamber 15. In the following description, the terms “circumferential direction”, “axial direction”, and “radial direction” may be used in the case of indicating directions with respect to the equipment mounted in the main vacuum chamber 15. With the attached, the axial direction, the circumferential direction, and the radial direction of the cross section orthogonal to the axial direction of the main vacuum chamber 15 are referred to.

主真空槽15には、図1、図2に示すように、直付式冷凍機13を取付けるための取付部19が周方向に5カ所設けられている。取付部19は、主真空槽15に設けた開口部から径方向に突出するノズル管19aと突出管の先端に形成されたノズルフランジ部19bとを有している(図2参照)。
主真空槽15および副真空槽17の材質はステンレス鋼が用いられ、内面はバフ研磨などの表面処理が行われている。主真空槽15と副真空槽17には、それぞれ内部にアクセスするための図示しない扉等が設けられている。
副真空槽17が1つの場合は、通常、主真空槽15と軸線を合わせて設置されるが、軸線をずらして複数の副真空槽17を設置してもよい。また、主真空槽15と副真空槽17は、フランジ等で直接連結してもよいし、図示しない仕切り弁等を間に取付けて、空間を仕切れるようにしてもよい。
As shown in FIGS. 1 and 2, the main vacuum chamber 15 is provided with five attachment portions 19 for attaching the direct attachment type refrigerator 13 in the circumferential direction. The attachment portion 19 has a nozzle tube 19a protruding in the radial direction from an opening provided in the main vacuum chamber 15, and a nozzle flange portion 19b formed at the tip of the protruding tube (see FIG. 2).
The main vacuum chamber 15 and the sub vacuum chamber 17 are made of stainless steel, and the inner surface is subjected to a surface treatment such as buffing. The main vacuum chamber 15 and the sub vacuum chamber 17 are provided with doors and the like (not shown) for accessing the inside.
When the number of sub vacuum chambers 17 is one, the main vacuum chamber 15 and the axis line are usually installed, but a plurality of sub vacuum chambers 17 may be installed by shifting the axis line. Further, the main vacuum chamber 15 and the sub-vacuum chamber 17 may be directly connected by a flange or the like, or a partition valve or the like (not shown) may be attached between them to partition the space.

主真空槽15には、主真空槽15内を大気圧から低真空領域まで排気する粗引排気装置21と、低真空領域から高真空領域まで排気する高真空排気装置23が設けられている(図1参照)。これら粗引排気装置21及び高真空排気装置23は、シュラウド3やクライオパネル11が所定の温度に冷却されて大容量クライオポンプとして機能するまでの間、主真空槽15内を高真空にするために使用される。
また、主真空槽15と副真空槽17を図示しない仕切り弁等で仕切って使用する場合、副真空槽17内を個別に真空排気できるように、図示しない専用の真空排気装置等を設けてもよい。
The main vacuum chamber 15 is provided with a roughing exhaust device 21 that exhausts the inside of the main vacuum chamber 15 from the atmospheric pressure to the low vacuum region, and a high vacuum exhaust device 23 that exhausts from the low vacuum region to the high vacuum region ( (See FIG. 1). These roughing evacuation device 21 and high vacuum evacuation device 23 are used to make the inside of the main vacuum chamber 15 high vacuum until the shroud 3 and the cryopanel 11 are cooled to a predetermined temperature and function as a large capacity cryopump. Used for.
Further, when the main vacuum chamber 15 and the sub-vacuum chamber 17 are partitioned and used by a partition valve (not shown), a dedicated vacuum exhaust device (not shown) may be provided so that the inside of the sub-vacuum chamber 17 can be individually evacuated. Good.

主真空槽15の内側には、断熱のためシールド板25が設置されている。シールド板25は、通常、常温の主真空槽15の壁面から、常温以下の温度で運用されるシュラウド3やビームターゲット7等への侵入熱を低減させるために設置されるため、イオンビームの噴射口や高真空排気の排気口等の開口が必要な部分を除いたところに配置されている。また、シールド板25には、直付式冷凍機13のコールドヘッド13cを挿通させるための開口25aが設けられている(図2参照)。
なお、シールド板25は、ステンレス鋼の磨き板が使用できるほか、アルミ合金の板やスーパーインシュレーションと呼ばれる多層断熱シートなどを用いることができる。シールド板を設けない構成としてもよい。
A shield plate 25 is installed inside the main vacuum chamber 15 for heat insulation. Since the shield plate 25 is usually installed to reduce the intrusion heat from the wall surface of the main vacuum chamber 15 at room temperature to the shroud 3 or the beam target 7 operated at a temperature below room temperature, the ion beam is injected. It is arranged in a place excluding a portion where an opening or an exhaust port for high vacuum exhaust is necessary. Further, the shield plate 25 is provided with an opening 25a through which the cold head 13c of the direct attachment type refrigerator 13 is inserted (see FIG. 2).
The shield plate 25 may be a stainless steel polished plate, an aluminum alloy plate, a multilayer insulation sheet called super insulation, or the like. It is good also as a structure which does not provide a shield board.

<シュラウド>
シュラウド3は、円筒状の外側シュラウド27と、外側シュラウド27の内側に所定の隙間を介して円筒状に設けられた内側シュラウド29とからなる二重円筒状の構造をしている。シュラウド3の材質はアルミ合金が用いられているが、他の材質でもよい。
シュラウド3には、液体窒素供給設備31から液体窒素が供給されて冷却される。
円筒形状の二重円筒状のシュラウド3の両端側面には冷却管32が取り付けられたドーナツ形状のカバー体33(詳細は後述)がそれぞれ設けられている。
<Shroud>
The shroud 3 has a double cylindrical structure including a cylindrical outer shroud 27 and an inner shroud 29 provided in a cylindrical shape inside the outer shroud 27 with a predetermined gap. The shroud 3 is made of an aluminum alloy, but other materials may be used.
Liquid nitrogen is supplied to the shroud 3 from the liquid nitrogen supply equipment 31 and cooled.
A donut-shaped cover body 33 (described later in detail) to which cooling pipes 32 are attached is provided on both side surfaces of the cylindrical double-cylindrical shroud 3.

外側シュラウド27には、直付式冷凍機13のコールドヘッド13cを挿通させるための開口27aが設けられている(図2参照)。
内側シュラウド29は、イオンビームそのものや、ビームターゲット7で発生するスパッタ粒子や輻射熱が、クライオパネル11に直接入射しないように、クライオパネル11に対して視野角をなくす(光学的に見えないようにする)とともに、キセノンガスが通過できるように、シェブロン型(V字型)の羽板を周方向に並べて円筒形状に組み合わせたルーバー構造としている。また、内側シュラウド29は黒色をしており、これによって輻射熱を吸収することができ、クライオパネル11へ熱が伝達するのを効果的に防止できる。
なお、ルーバーの構造ならびにルーバーを構成する羽板の形状ならびに配置については、上記のものに限られず、クライオパネル11に対して視野角をなくし、かつキセノンガスが通過できる構造であればよい。
The outer shroud 27 is provided with an opening 27a for inserting the cold head 13c of the direct-attached refrigerator 13 (see FIG. 2).
The inner shroud 29 eliminates the viewing angle with respect to the cryopanel 11 so that the ion beam itself, sputtered particles and radiant heat generated by the beam target 7 do not directly enter the cryopanel 11 (so as not to be optically visible). In addition, chevron type (V-shaped) slats are arranged in the circumferential direction and combined into a cylindrical shape so that xenon gas can pass through. In addition, the inner shroud 29 is black, which can absorb radiant heat and effectively prevent heat from being transmitted to the cryopanel 11.
The structure of the louver and the shape and arrangement of the slats constituting the louver are not limited to those described above, and any structure that eliminates the viewing angle with respect to the cryopanel 11 and allows xenon gas to pass therethrough may be used.

なお、本実施の形態ではシュラウド3の冷却に液体窒素供給設備31から供給される液体窒素を用いているが、シュラウド3の冷却方法はこれに限られず他の冷却方法であってもよい。
また、この例では、ドーナツ形状のカバー体33についても、シュラウド3と同様の温度に冷却している。後述するように、クライオパネル11が外側シュラウド27と内側シュラウド29の間に配置されることから、カバー体33を冷却することでクライオパネル11への侵入熱の低減効果が増すので、カバー体を冷却しない場合より好ましい。
In this embodiment, liquid nitrogen supplied from the liquid nitrogen supply facility 31 is used for cooling the shroud 3, but the cooling method for the shroud 3 is not limited to this, and other cooling methods may be used.
In this example, the donut-shaped cover body 33 is also cooled to the same temperature as the shroud 3. As will be described later, since the cryopanel 11 is disposed between the outer shroud 27 and the inner shroud 29, the cover body 33 is cooled, so that the effect of reducing the intrusion heat into the cryopanel 11 is increased. More preferable than not cooling.

<ビームターゲット>
ビームターゲット7は、イオンエンジン9と対向する軸線延長上に中心を置いて設置されている。もっとも、イオンビームは放射状に広がって噴射するため、図示しない主真空槽15円筒胴部などにも必要に応じて設置してもよい。
ビームターゲット7の材質は、アルミ、チタン、カーボンなどが用いられるが、その他の材料を使うこともできる。
ビームターゲット7の裏面には、温調のため、アルミ合金等の熱伝導率の高い材料によって形成された冷媒流路付きのバッキングプレート35が取付けられ、主真空槽15の外部に設置されている温調装置37から冷媒が供給されて冷却されている。
冷媒を供給する配管は、供給配管と返送配管がそれぞれ1本ずつでもよいし、それぞれ複数本であってもよい。また、冷媒は、温調する温度に応じて、水のほかフロン等を用いることができる。また、ビームターゲット7とバッキングプレート35の間には、伝熱効果を高める目的で、図示しない伝熱シート等を挟んでもよい。
<Beam target>
The beam target 7 is placed centered on an axial extension facing the ion engine 9. However, since the ion beam spreads radially and is ejected, it may be installed in the main body of the main vacuum chamber 15 (not shown) as necessary.
The material of the beam target 7 is aluminum, titanium, carbon or the like, but other materials can also be used.
On the back surface of the beam target 7, for temperature control, a backing plate 35 with a refrigerant channel formed of a material having high thermal conductivity such as an aluminum alloy is attached and installed outside the main vacuum chamber 15. A refrigerant is supplied from the temperature control device 37 to be cooled.
The number of pipes for supplying the refrigerant may be one for each of the supply pipes and one for the return pipes. Further, as the refrigerant, chlorofluorocarbon or the like can be used in addition to water depending on the temperature to be controlled. Further, a heat transfer sheet (not shown) or the like may be sandwiched between the beam target 7 and the backing plate 35 for the purpose of enhancing the heat transfer effect.

<イオンエンジン>
イオンエンジン9は図示しない治具を用いて副真空槽17内に設置されるが、図示しない治具を用いて主真空槽15内に設置してもよい。
<Ion engine>
The ion engine 9 is installed in the sub vacuum chamber 17 using a jig (not shown), but may be installed in the main vacuum chamber 15 using a jig (not shown).

<クライオパネル>
クライオパネル11は、湾曲した5枚の矩形板状体を主真空槽15の内壁に沿って円筒状に配置して形成されている(図1、図2参照)。
クライオパネル11の材質は、常温から極低温までの広い温度領域において使用可能な材料の中から、熱伝導率、輻射率、比重、コスト等を総合的に考慮して決定される。
また、クライオパネル11の面積は、キセノンの必要排気速度と、直付式冷凍機13の冷凍能力等より決定する。
また、クライオパネル11の厚さは、薄いほど熱容量が小さくなるため、所定の温度に冷却するまでの時間を短くすることができるが、逆に温度分布は大きくなる傾向にある。そのため、クライオパネル11の厚さは、トレードオフの関係にある所定温度までの冷却所用時間と温度分布の大きさとを適切に調整して決定される。
<Cryopanel>
The cryopanel 11 is formed by arranging five curved rectangular plate bodies in a cylindrical shape along the inner wall of the main vacuum chamber 15 (see FIGS. 1 and 2).
The material of the cryopanel 11 is determined by comprehensively considering thermal conductivity, emissivity, specific gravity, cost, etc. from materials that can be used in a wide temperature range from room temperature to extremely low temperature.
Further, the area of the cryopanel 11 is determined by the required exhaust speed of xenon, the refrigeration capacity of the direct-attached refrigerator 13, and the like.
In addition, since the heat capacity decreases as the thickness of the cryopanel 11 decreases, the time required for cooling to a predetermined temperature can be shortened, but the temperature distribution tends to increase. Therefore, the thickness of the cryopanel 11 is determined by appropriately adjusting the cooling station time to the predetermined temperature and the size of the temperature distribution that are in a trade-off relationship.

なお、本発明の実施形態においては、クライオパネル11の材質は純アルミ系合金が用いられ、円筒形状のパネルを周方向に5分割して形成され、1枚あたりのクライオパネル11の概略寸法は、軸長1.9m×周長1.4m×厚さ1mmとしている。
クライオパネル11の中央には、直付式冷凍機13のコールドヘッド13cを接合するための取合部11aが設けられている(図3参照)。そして、この例では、クライオパネル11、1枚に対して直付式冷凍機13を1台ずつ設置するようにしている。
In the embodiment of the present invention, the material of the cryopanel 11 is a pure aluminum alloy, and a cylindrical panel is formed by dividing the panel into five in the circumferential direction. The approximate dimensions of the cryopanel 11 per sheet are as follows. The axial length is 1.9 m, the circumferential length is 1.4 m, and the thickness is 1 mm.
In the center of the cryopanel 11, a coupling portion 11a for joining the cold head 13c of the direct-attached refrigerator 13 is provided (see FIG. 3). In this example, one direct-attached refrigerator 13 is installed for each cryopanel 11.

クライオパネル11は厚さが薄く、自重等による変形が生ずる可能性があるので、これを防止するために周方向に延びる複数のリブ11bを絞り加工によって形成し、半径方向の強度を向上させている(図3参照)。
また、クライオパネル11の軸方向の両端部に補強及び取付け部として機能するアングル鋼39が取付けられている。なお、アングル鋼39が本発明の片フランジ部に相当する。
この両端部のアングル鋼39の周方向両端部近くに2つの真円状の穴39aが設けられており、これらの穴39aに軸方向に2本の支持棒41が挿通されている。そして、支持棒41の両端部をシュラウド3両端側面に配置されたドーナツ形状のカバー体33に支持させることで、クライオパネル11は外側シュラウド27と内側シュラウド29の間に設置されている(図5参照)。
このように、クライオパネル11を外側シュラウド27と内側シュラウド29の間に配置し、さらにはドーナツ形状のカバー体33によって囲むことで、内側、外側及び側面からの侵入熱の低減が図られている。
Since the cryopanel 11 is thin and may be deformed by its own weight or the like, a plurality of ribs 11b extending in the circumferential direction are formed by drawing to prevent this, and the strength in the radial direction is improved. (See FIG. 3).
Further, angle steels 39 that function as reinforcement and attachment portions are attached to both ends of the cryopanel 11 in the axial direction. The angle steel 39 corresponds to a single flange portion of the present invention.
Two round holes 39a are provided near both ends in the circumferential direction of the angle steel 39 at both ends, and two support rods 41 are inserted in the holes 39a in the axial direction. The cryopanel 11 is installed between the outer shroud 27 and the inner shroud 29 by supporting both ends of the support rod 41 on the donut-shaped cover bodies 33 arranged on the side surfaces of both ends of the shroud 3 (FIG. 5). reference).
In this way, the cryopanel 11 is disposed between the outer shroud 27 and the inner shroud 29, and further surrounded by the donut-shaped cover body 33, thereby reducing intrusion heat from the inner side, the outer side, and the side surface. .

クライオパネル11の両端のアングル鋼39に設けられた穴39aの内径は10mmで、支持棒41の外径は8mmであり、支持棒41を穴39aに挿通した状態では、図4に示すように、支持棒41の外面と穴39aの周面とは穴39aの厚み方向の線接触となり、接触面積が小さくなっている。そのため、熱伝導を小さくすることができ、クライオパネル11への伝導による入熱が防止される。   The inner diameter of the hole 39a provided in the angle steel 39 at both ends of the cryopanel 11 is 10 mm, the outer diameter of the support bar 41 is 8 mm, and when the support bar 41 is inserted through the hole 39a, as shown in FIG. The outer surface of the support bar 41 and the peripheral surface of the hole 39a are in line contact in the thickness direction of the hole 39a, and the contact area is reduced. Therefore, heat conduction can be reduced, and heat input due to conduction to the cryopanel 11 is prevented.

また、支持棒41と穴39aとの間に隙間があるので、クライオパネル11が支持棒41に対して軸方向、径方向、周方向のそれぞれに一定範囲内で自由に移動できるようになっている。
また、シュラウド3両端側面のドーナツ形状のカバー体33には、図6に示すように、長径17mm×短径12mmの長穴33aが、径方向に長径を持つように設けられている。このため、支持棒41が長穴33aに挿入された状態で、支持棒41は軸方向、周方向及び径方向に自由に移動でき、特に径方向への移動量が大きく確保されている。
In addition, since there is a gap between the support bar 41 and the hole 39a, the cryopanel 11 can freely move within a certain range in the axial direction, the radial direction, and the circumferential direction with respect to the support bar 41. Yes.
Further, as shown in FIG. 6, the donut-shaped cover body 33 on both side surfaces of the shroud 3 is provided with a long hole 33 a having a major axis of 17 mm × minor axis of 12 mm so as to have a major axis in the radial direction. Therefore, the support bar 41 can freely move in the axial direction, the circumferential direction, and the radial direction in a state where the support bar 41 is inserted into the elongated hole 33a, and a large amount of movement in the radial direction is particularly secured.

このように、クライオパネル11を支持棒41に対して移動可能にし、かつ支持棒41をカバー体33に対して移動可能にすることで、クライオパネル11を設置した状態で、クライオパネル11が一定範囲内で自由に移動できるようになっている。このため、主真空槽15に設置したクライオパネル11にコールドヘッド13cを直付け接合するに際して、位置合わせ及び取付けが簡単に行えるとともに、コールドヘッド13c、クライオパネル11、シュラウド3それぞれの冷却に伴う熱変形を吸収して、クライオパネル11に応力が作用するのを防止できる。   Thus, by making the cryopanel 11 movable with respect to the support bar 41 and making the support bar 41 movable with respect to the cover body 33, the cryopanel 11 is fixed in a state in which the cryopanel 11 is installed. It can move freely within the range. Therefore, when the cold head 13c is directly attached to the cryopanel 11 installed in the main vacuum chamber 15, the positioning and mounting can be easily performed, and the heat accompanying the cooling of the cold head 13c, the cryopanel 11 and the shroud 3 can be easily achieved. It is possible to prevent the stress from acting on the cryopanel 11 by absorbing the deformation.

なお、上記の支持棒41の数量、外径ならびに、穴39aおよび長穴33aのサイズ等は、実施形態の一例を示したものであり、上記した条件に限定されるものではない。
また、本実施の形態は、軸線が水平方向となる横型円筒形の主真空槽15に設置するクライオパネル11の場合について説明しているが、軸線が垂直方向となる縦型円筒形の主真空槽15クライオパネル11の場合についても適用できる。さらに、クライオパネル11の形状は円筒形に限定するものではなく、その他の形状であってもよいことは言うまでもない。
また、本実施の形態では、クライオパネル11を周方向に5分割しているが、分割数はこれに限られず、またクライオパネル11の面積が小さい場合には分割せずに一枚で円筒状にしてもよい。
In addition, the number of the support rods 41, the outer diameter, the sizes of the holes 39a and the long holes 33a, and the like are examples of the embodiment, and are not limited to the above-described conditions.
Moreover, although this Embodiment has demonstrated about the case of the cryopanel 11 installed in the horizontal cylindrical main vacuum tank 15 whose axis is a horizontal direction, the vertical cylindrical main vacuum whose axis is a vertical direction is demonstrated. This can also be applied to the case of the tank 15 cryopanel 11. Furthermore, it goes without saying that the shape of the cryopanel 11 is not limited to a cylindrical shape, and may be other shapes.
Further, in the present embodiment, the cryopanel 11 is divided into five in the circumferential direction. However, the number of divisions is not limited to this, and when the area of the cryopanel 11 is small, it is not divided and is a single cylindrical shape. It may be.

<直付式冷凍機>
直付式冷凍機13は、クライオパネル11を20K〜50K程度の極低温まで冷却するものである。このような直付式冷凍機13は、GM冷凍機等の機械式冷凍機のほか、パルスチューブ冷凍機等を用いることができる。
これらの直付式冷凍機13は、図2に示すように、冷凍機本体13aと、冷凍機本体13aから延出するシリンダー部13bと、該シリンダー部13bの先端に設けられたコールドヘッド13cを有している。また、冷凍機本体13aには直付式冷凍機13を主真空槽15に固定するためのフランジ部13dが形成されている。
直付式冷凍機13は、主真空槽15の外周部に形成された開口部からシリンダー部13bをノズル管19aを介して真空槽5内に挿入して、コールドヘッド13cがクライオパネル11に直付け接合された状態でフランジ部13dを主真空槽15のノズルフランジ部19bに固定することによって、主真空槽15に固定されている。
<Direct mounting refrigerator>
The direct attachment type refrigerator 13 cools the cryopanel 11 to an extremely low temperature of about 20K to 50K. As such a direct-attached refrigerator 13, a pulse tube refrigerator or the like can be used in addition to a mechanical refrigerator such as a GM refrigerator.
As shown in FIG. 2, these direct-attached refrigerators 13 include a refrigerator main body 13a, a cylinder portion 13b extending from the refrigerator main body 13a, and a cold head 13c provided at the tip of the cylinder portion 13b. Have. Further, the refrigerator main body 13 a is formed with a flange portion 13 d for fixing the direct attachment type refrigerator 13 to the main vacuum chamber 15.
The direct refrigerator 13 inserts the cylinder portion 13b into the vacuum chamber 5 through the nozzle tube 19a from the opening formed in the outer peripheral portion of the main vacuum chamber 15, and the cold head 13c is directly connected to the cryopanel 11. The flange portion 13d is fixed to the main vacuum chamber 15 by fixing the flange portion 13d to the nozzle flange portion 19b of the main vacuum chamber 15 in the state of being attached.

本発明の実施形態においては、周方向に5分割されたクライオパネル11に、クライオパネル11、1枚に対して1台、合計5台の直付式冷凍機13のコールドヘッド13cがそれぞれ接続されている。コールドヘッド13cは、クライオパネル11の中心部に設けた取合部11aに直付け接合され、これによってクライオパネル11は中心部で拘束されている。
このように、クライオパネル11を分割して分割した各クライオパネル11に対して1対1で対応するように直付式冷凍機13を取付けるようにすることで、直付式冷凍機13と主真空槽15及びクライオパネル11との位置合わせを容易に行うことができる。
In the embodiment of the present invention, the cold heads 13c of the five direct-attached refrigerators 13 are connected to the cryopanel 11 divided into five in the circumferential direction, one for each cryopanel 11 and one. ing. The cold head 13c is directly attached and joined to a coupling portion 11a provided at the center portion of the cryopanel 11, whereby the cryopanel 11 is restrained at the center portion.
In this way, by attaching the direct attachment type refrigerator 13 so as to correspond to each of the divided cryopanels 11 on a one-to-one basis by dividing the cryopanel 11, Position alignment with the vacuum chamber 15 and the cryopanel 11 can be easily performed.

直付式冷凍機13の取付けに際しては、直付式冷凍機13のシリンダー部13bを、ノズル管19aを介して真空槽5内に挿入して、コールドヘッド13cをクライオパネル11の取合部11aに直付け接合する。上述したように、クライオパネル11は周方向、軸方向及び径方向に自由に移動できるので、この直付け接合に際して、クライオパネル11を所望の位置に移動することができ、直付け接合を容易にできる。   When the direct refrigerator 13 is mounted, the cylinder portion 13b of the direct refrigerator 13 is inserted into the vacuum chamber 5 through the nozzle tube 19a, and the cold head 13c is connected to the coupling portion 11a of the cryopanel 11. Directly join to. As described above, since the cryopanel 11 can freely move in the circumferential direction, the axial direction, and the radial direction, the cryopanel 11 can be moved to a desired position at the time of the direct attachment, and the direct attachment can be easily performed. it can.

また、ノズルフランジ部19bに直付式冷凍機13のフランジ部13dを固定した後、コールドヘッド13cをクライオパネル11の取合部11aに直付け接合する際も、製作や組み立てに伴う誤差を吸収して容易に作業を行うことができる。
特に、本実施の形態においては、分割された各クライオパネル11にそれぞれ直付式冷凍機13を取り付けるようにしているので、各クライオパネル11の移動の自由度が高く、より取付けを容易にできる。
In addition, after fixing the flange portion 13d of the direct-attached refrigerator 13 to the nozzle flange portion 19b, when the cold head 13c is directly attached to the coupling portion 11a of the cryopanel 11, an error due to production or assembly is absorbed. Thus, the work can be easily performed.
In particular, in the present embodiment, since the direct-attached refrigerator 13 is attached to each of the divided cryopanels 11, the degree of freedom of movement of each cryopanel 11 is high and the attachment can be made easier. .

以上のように構成されたイオンエンジン試験装置1においては、クライオパネル11を直付式冷凍機13によって冷却するようにしており、配管によって液体ヘリウムを循環させる場合のように配管等からの侵入熱がないので、大型のヘリウム冷凍機を用いることなく、極低温の冷却が簡易な構造によって実現できる。
そして、本実施の形態では、クライオパネル11を主真空槽15に対して、周方向、軸方向及び径方向に自由に移動できるように取付けており、クライオパネル11と直付式冷凍機13の直付け接合を容易にできると共に、シュラウド3やクライオパネル11をそれぞれ冷却した際に発生する熱変形を吸収できる。
In the ion engine test apparatus 1 configured as described above, the cryopanel 11 is cooled by the direct-attached refrigerator 13, and the intrusion heat from the pipe or the like as in the case of circulating liquid helium through the pipe. Therefore, cooling at a very low temperature can be realized with a simple structure without using a large helium refrigerator.
In this embodiment, the cryopanel 11 is attached to the main vacuum chamber 15 so as to be freely movable in the circumferential direction, the axial direction, and the radial direction. Direct attachment can be facilitated, and thermal deformation generated when the shroud 3 and the cryopanel 11 are cooled can be absorbed.

1 イオンエンジン試験装置
3 シュラウド
5 真空槽
7 ビームターゲット
9 イオンエンジン
11 クライオパネル
11a 取合部
11b リブ
13 直付式冷凍機
13a 冷凍機本体
13b シリンダー部
13c コールドヘッド
13d フランジ部
15 主真空槽
17 副真空槽
19 取付部
19a ノズル管
19b ノズルフランジ部
21 粗引排気装置
23 高真空排気装置
25 シールド板
25a 開口(シールド板)
27 外側シュラウド
27a 開口(外側シュラウド)
29 内側シュラウド
31 液体窒素供給設備
32 冷却管
33 カバー体
33a 長穴
35 バッキングプレート
37 温調装置
39 アングル鋼
39a 穴
41 支持棒
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ion engine test apparatus 3 Shroud 5 Vacuum tank 7 Beam target 9 Ion engine 11 Cryopanel 11a Coupling part 11b Rib 13 Direct attachment type refrigerator 13a Refrigerator main body 13b Cylinder part 13c Cold head 13d Flange part 15 Main vacuum tank 17 Sub Vacuum tank 19 Mounting portion 19a Nozzle tube 19b Nozzle flange portion 21 Roughing exhaust device 23 High vacuum exhaust device 25 Shield plate 25a Opening (shield plate)
27 Outer shroud 27a Opening (outer shroud)
29 inner shroud 31 liquid nitrogen supply equipment 32 cooling pipe 33 cover body 33a oblong hole 35 backing plate 37 temperature control device 39 angle steel 39a hole 41 support rod

Claims (5)

極低温に保持されたシュラウドが設けられた真空槽内に設置したビームターゲットに向けてイオンエンジンからイオンビームを噴射してイオンエンジンの試験を行うイオンエンジン試験装置であって、
前記イオンエンジンとビームターゲットの間の空間内において、前記真空槽の内周面に沿って設けられた筒状のクライオパネルと、該クライオパネルを冷却する直付式冷凍機とを有し、
該直付式冷凍機は、冷凍機本体と該冷凍機本体から延出するシリンダー部と、該シリンダー部の先端に設けられたコールドヘッドを有し、前記冷凍機本体が前記真空槽の外周部に固定され、前記真空槽の外周部に形成された開口部から前記シリンダー部を真空槽内に挿入して、かつ前記コールドヘッドが前記クライオパネルに直付け接合され
かつ、前記クライオパネルは、その湾曲する両側の辺部に片側に屈曲する片フランジ部を有し、該片フランジ部に形成された穴に支持棒が挿通されて、該支持棒が前記真空槽の内周面に設けられたドーナツ形状のカバー体の穴に挿通されることで、前記クライオパネルが前記真空槽に取付けられていることを特徴とするイオンエンジン試験装置。
An ion engine test apparatus for testing an ion engine by injecting an ion beam from an ion engine toward a beam target installed in a vacuum chamber provided with a shroud held at a cryogenic temperature,
In the space between the ion engine and the beam target, a cylindrical cryopanel provided along the inner peripheral surface of the vacuum chamber, and a direct-attached refrigerator that cools the cryopanel,
The direct-attached refrigerator has a refrigerator main body, a cylinder portion extending from the refrigerator main body, and a cold head provided at a tip of the cylinder portion, and the refrigerator main body is an outer peripheral portion of the vacuum chamber. The cylinder portion is inserted into the vacuum chamber from an opening formed in the outer peripheral portion of the vacuum chamber, and the cold head is directly attached to the cryopanel and joined .
In addition, the cryopanel has a single flange portion bent to one side on both sides of the curved panel, and a support rod is inserted into a hole formed in the single flange portion, and the support rod is inserted into the vacuum chamber. An ion engine test apparatus , wherein the cryopanel is attached to the vacuum chamber by being inserted through a hole in a donut-shaped cover body provided on an inner peripheral surface of the ion chamber .
前記シュラウドは前記真空槽の内周壁に沿って筒状に設けられた外側シュラウドと内側シュラウドからなる2重構造を有し、前記クライオパネルは前記外側シュラウドと前記内側シュラウドの間に挟まれるように配置されていることを特徴とする請求項1記載のイオンエンジン試験装置。   The shroud has a double structure including an outer shroud and an inner shroud provided in a cylindrical shape along an inner peripheral wall of the vacuum chamber, and the cryopanel is sandwiched between the outer shroud and the inner shroud. The ion engine test apparatus according to claim 1, wherein the ion engine test apparatus is arranged. 前記支持棒と前記クライオパネルの片フランジ部に形成された穴との間には隙間が形成されると共に前記支持棒と前記穴の内周面とが線接触していることを特徴とする請求項1又は2に記載のイオンエンジン試験装置。 Claims, characterized in that the inner peripheral surface of the bore and the support rod together with the gap is formed is in line contact between the support rod and the hole formed on one flange portion of the cryopanel Item 3. The ion engine test apparatus according to item 1 or 2 . 前記ドーナツ形状のカバー体の穴は径方向に長い長穴であり、かつ前記支持棒を挿通したときに前記長穴との間に隙間が形成されていることを特徴とする請求項1乃至のいずれか一項に記載のイオンエンジン試験装置。 The bore of the cover body donut shape is a long elongated holes radially, and claims 1 to 3, characterized in that a gap is formed between the slot when inserting the support rod The ion engine test apparatus according to any one of the above. 前記クライオパネルは湾曲した複数枚の板状からなり、各クライオパネルが前記真空槽の内壁に沿って筒状に配置され、各クライオパネルに前記直付式冷凍機がそれぞれ取付けられていることを特徴とする請求項1乃至のいずれか一項に記載のイオンエンジン試験装置。 The cryopanel is composed of a plurality of curved plates, each cryopanel is arranged in a cylindrical shape along the inner wall of the vacuum chamber, and the direct-attached refrigerator is attached to each cryopanel. The ion engine test apparatus according to any one of claims 1 to 4 , wherein the ion engine test apparatus is characterized.
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