JP5663823B2 - Radiation-sensitive composition for forming colored layer, color filter, and color liquid crystal display element - Google Patents

Radiation-sensitive composition for forming colored layer, color filter, and color liquid crystal display element Download PDF

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Description

本発明は、着色層形成用感放射線性組成物、カラーフィルタ及び液晶表示素子に関わり、より詳しくは、透過型あるいは反射型のカラー液晶表示装置、カラー撮像管素子等に用いられるカラーフィルタに有用な着色層の形成に用いられる感放射線性組成物、当該感放射線性組成物を用いて形成された着色層を備えるカラーフィルタ、及び当該カラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子に関する。   The present invention relates to a radiation-sensitive composition for forming a colored layer, a color filter, and a liquid crystal display element. More specifically, the present invention is useful for a color filter used for a transmissive or reflective color liquid crystal display device, a color imaging tube element, and the like. The present invention relates to a radiation-sensitive composition used for forming a colored layer, a color filter including a colored layer formed using the radiation-sensitive composition, and a color liquid crystal display element including the color filter.

着色感放射線性組成物を用いてカラーフィルタを形成する方法として、基板上あるいは予め所望のパターンの遮光層を形成した基板上に、着色感放射線組成物の塗膜を形成して、所定のパターンを有するフォトマスクを介して放射線を照射(以下、「露光」という。)し、現像して未露光部を溶解除去し、その後ポストベークすることにより、各色の画素を得る方法(特許文献1〜2)が知られている。   As a method of forming a color filter using a colored radiation-sensitive composition, a coating film of a colored radiation-sensitive composition is formed on a substrate or a substrate on which a light-shielding layer having a desired pattern has been previously formed, and a predetermined pattern is formed. A method of obtaining pixels of each color by irradiating radiation (hereinafter referred to as “exposure”) through a photomask having, developing and dissolving and removing unexposed portions, and then post-baking (Patent Documents 1 to 3) 2) is known.

また、近年におけるカラーフィルタの技術分野においては、露光量を下げてタクトタイムを短縮することが主流となっており、低露光量でも十分な現像耐性、耐溶剤性等を有すること、すなわち着色層形成用感放射線性組成物の高感度化が要求されている。特に耐溶剤性に関しては、カラーフィルタから着色成分が溶出する問題が顕在化しつつあり、これを解決することが要求されている。   In recent years, in the technical field of color filters, it has become mainstream to reduce the exposure amount to shorten the tact time, and has sufficient development resistance, solvent resistance, etc. even at a low exposure amount, that is, a colored layer. There is a demand for higher sensitivity of the radiation-sensitive composition for forming. In particular, regarding solvent resistance, the problem of elution of colored components from the color filter is becoming apparent, and it is required to solve this problem.

かかる問題の背景には、近年のカラー液晶表示素子に対する高コントラスト化、高輝度化および高色純度化の要求に対応すべく、着色層形成用感放射線性組成物に用いられる顔料の多くに様々な微細化処理や表面処理がなされていることや、着色層形成用感放射線性組成物中に占める顔料の含有割合がますます高くなる傾向にあることがあるものと考えられている。
着色層形成用感放射線性組成物の高感度化手段としては、例えば、カラーフィルター用感光性樹脂組成物中に、7個以上の(メタ)アクリロイロキシ基と1個以上のカルボキシル基とを有する重合性化合物を含有せしめることが知られている(特許文献3)。
しかしながら、上述した着色成分が溶出する問題に対しては、これを十分に解決できるものでなかった。
特開平2−144502号公報 特開平3−53201号公報 特開2007−279720号公報
In order to meet the recent demands for high contrast, high brightness, and high color purity for color liquid crystal display elements, various pigments used in colored layer-forming radiation-sensitive compositions have various backgrounds. It is considered that there is a tendency that the proportion of the pigment occupying in the radiation-sensitive composition for forming the colored layer tends to be higher and higher.
As a means for increasing the sensitivity of the radiation-sensitive composition for forming a colored layer, for example, polymerization having 7 or more (meth) acryloyloxy groups and 1 or more carboxyl groups in a photosensitive resin composition for a color filter. It is known to contain a functional compound (Patent Document 3).
However, it has not been possible to sufficiently solve the above-described problem of elution of the colored components.
JP-A-2-144502 JP-A-3-53201 JP 2007-279720 A

本発明の課題は、低露光量であっても十分な現像耐性を有し、さらに耐溶剤性に優れた画素およびブラックマトリックスを形成することができる着色層形成用感放射線性組成物を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a radiation-sensitive composition for forming a colored layer that can form a pixel and a black matrix having sufficient development resistance even at a low exposure amount and having excellent solvent resistance. There is.

本発明者らは、鋭意検討の結果、着色層形成用感放射線性組成物に、特定の重合性化合物を含有せしめることにより、低露光量であっても十分な現像耐性を有し、さらに耐溶剤性に優れた画素およびブラックマトリックスを形成することができる着色層形成用感放射線性組成物できることを見出し、本発明を完成した。   As a result of intensive studies, the present inventors have included a specific polymerizable compound in the radiation-sensitive composition for forming a colored layer, thereby having sufficient development resistance even at a low exposure amount. The present inventors have found that a radiation-sensitive composition for forming a colored layer capable of forming a pixel and a black matrix having excellent solvent properties can be obtained.

すなわち、本発明は、第一に、(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)重合性化合物、および(D)光重合開始剤を含有する着色層形成用感放射線性組成物であって、(C)重合性化合物として、2つ以上の重合性反応基を末端に有するデンドリマーおよびハイパーブランチポリマーよりなる群から選ばれる少なくとも1種を含有することを特徴とする着色層形成用感放射線性組成物を提供するものである。   That is, the present invention firstly provides a radiation-sensitive composition for forming a colored layer, which contains (A) a colorant, (B) an alkali-soluble resin, (C) a polymerizable compound, and (D) a photopolymerization initiator. And (C) at least one selected from the group consisting of a dendrimer having two or more polymerizable reactive groups at its terminal and a hyperbranched polymer as a polymerizable compound, for forming a colored layer A radiation-sensitive composition is provided.

本発明は、第二に、前記感放射線性組成物を用いて形成された着色層を備えてなるカラーフィルタを提供するものである。
本発明は、第三に、前記カラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子を提供するものである。
Secondly, the present invention provides a color filter comprising a colored layer formed using the radiation-sensitive composition.
Thirdly, the present invention provides a color liquid crystal display device comprising the color filter.

本発明の着色層形成用感放射線性組成物によれば、低露光量であっても十分な現像耐性を有し、さらに耐溶剤性に優れた画素およびブラックマトリックスを形成することができる。
したがって、本発明の感放射線性組成物は、電子工業分野におけるカラー液晶表示装置用カラーフィルターや固体撮像素子の色分解用カラーフィルターを始めとする各種のカラーフィルターの作製に好適に使用することができる。
According to the radiation-sensitive composition for forming a colored layer of the present invention, a pixel and a black matrix having sufficient development resistance and excellent solvent resistance can be formed even at a low exposure amount.
Therefore, the radiation-sensitive composition of the present invention can be suitably used for the production of various color filters including color filters for color liquid crystal display devices and color filters for color separation of solid-state imaging devices in the electronic industry. it can.

以下、本発明について詳細に説明する。
着色層形成用感放射線性組成物
本発明の着色層形成用感放射線性組成物(以下、「感放射線性組成物」ともいう。)における「着色層」とは、カラーフィルタに用いられる画素および/またはブラックマトリックスからなる層を意味する。
また、「放射線」とは、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を含む電磁波を意味する。
以下、本発明の着色層形成用感放射線性組成物の構成成分について説明する。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
Radiation-sensitive composition for forming colored layer “Colored layer” in the radiation-sensitive composition for forming a colored layer of the present invention (hereinafter also referred to as “radiation-sensitive composition”) refers to a pixel used for a color filter, and Means a layer made of black matrix.
“Radiation” means electromagnetic waves including visible light, ultraviolet rays, far ultraviolet rays, electron beams, X-rays and the like.
Hereafter, the structural component of the radiation sensitive composition for colored layer formation of this invention is demonstrated.

−(A)着色剤−
本発明における(A)着色剤としては、特に限定されるものではなく、有機顔料、無機顔料のいずれでもよい。
有機顔料としては、例えば、カラーインデックス(C.I.;The Society of Dyers and Colourists 社発行)においてピグメントに分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス(C.I.)番号が付されているものを挙げることができる。
-(A) Colorant-
The colorant (A) in the present invention is not particularly limited and may be either an organic pigment or an inorganic pigment.
Examples of the organic pigment include compounds classified as pigments in the color index (CI; issued by The Society of Dyers and Colorists), specifically, the following color index (CI). Listed are numbers.

C.I.ピグメントイエロー12、C.I.ピグメントイエロー13、C.I.ピグメントイエロー14、C.I.ピグメントイエロー17、C.I.ピグメントイエロー20、C.I.ピグメントイエロー24、C.I.ピグメントイエロー31、C.I.ピグメントイエロー55、C.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー93、C.I.ピグメントイエロー109、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー153、C.I.ピグメントイエロー154、C.I.ピグメントイエロー155、C.I.ピグメントイエロー166、C.I.ピグメントイエロー168、C.I.ピグメントイエロー211;   C. I. Pigment yellow 12, C.I. I. Pigment yellow 13, C.I. I. Pigment yellow 14, C.I. I. Pigment yellow 17, C.I. I. Pigment yellow 20, C.I. I. Pigment yellow 24, C.I. I. Pigment yellow 31, C.I. I. Pigment yellow 55, C.I. I. Pigment yellow 83, C.I. I. Pigment yellow 93, C.I. I. Pigment yellow 109, C.I. I. Pigment yellow 110, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 153, C.I. I. Pigment yellow 154, C.I. I. Pigment yellow 155, C.I. I. Pigment yellow 166, C.I. I. Pigment yellow 168, C.I. I. Pigment yellow 211;

C.I.ピグメントオレンジ5、C.I.ピグメントオレンジ13、C.I.ピグメントオレンジ14、C.I.ピグメントオレンジ24、C.I.ピグメントオレンジ34、C.I.ピグメントオレンジ36、C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメントオレンジ40、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピグメントオレンジ46、C.I.ピグメントオレンジ49、C.I.ピグメントオレンジ61、C.I.ピグメントオレンジ64、C.I.ピグメントオレンジ68、C.I.ピグメントオレンジ70、C.I.ピグメントオレンジ71、C.I.ピグメントオレンジ72、C.I.ピグメントオレンジ73、C.I.ピグメントオレンジ74;   C. I. Pigment orange 5, C.I. I. Pigment orange 13, C.I. I. Pigment orange 14, C.I. I. Pigment orange 24, C.I. I. Pigment orange 34, C.I. I. Pigment orange 36, C.I. I. Pigment orange 38, C.I. I. Pigment orange 40, C.I. I. Pigment orange 43, C.I. I. Pigment orange 46, C.I. I. Pigment orange 49, C.I. I. Pigment orange 61, C.I. I. Pigment orange 64, C.I. I. Pigment orange 68, C.I. I. Pigment orange 70, C.I. I. Pigment orange 71, C.I. I. Pigment orange 72, C.I. I. Pigment orange 73, C.I. I. Pigment orange 74;

C.I.ピグメントレッド1、C.I.ピグメントレッド2、C.I.ピグメントレッド5、C.I.ピグメントレッド17、C.I.ピグメントレッド31、C.I.ピグメントレッド32、C.I.ピグメントレッド41、C.I.ピグメントレッド122、C.I.ピグメントレッド123、C.I.ピグメントレッド144、C.I.ピグメントレッド149、C.I.ピグメントレッド166、C.I.ピグメントレッド168、C.I.ピグメントレッド170、C.I.ピグメントレッド171、C.I.ピグメントレッド175、C.I.ピグメントレッド176、C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド178、C.I.ピグメントレッド179、C.I.ピグメントレッド180、C.I.ピグメントレッド185、C.I.ピグメントレッド187、C.I.ピグメントレッド202、C.I.ピグメントレッド206、C.I.ピグメントレッド207、C.I.ピグメントレッド209、C.I.ピグメントレッド214、C.I.ピグメントレッド220、C.I.ピグメントレッド221、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッド242、C.I.ピグメントレッド243、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントレッド255、C.I.ピグメントレッド262、C.I.ピグメントレッド264、C.I.ピグメントレッド272;   C. I. Pigment red 1, C.I. I. Pigment red 2, C.I. I. Pigment red 5, C.I. I. Pigment red 17, C.I. I. Pigment red 31, C.I. I. Pigment red 32, C.I. I. Pigment red 41, C.I. I. Pigment red 122, C.I. I. Pigment red 123, C.I. I. Pigment red 144, C.I. I. Pigment red 149, C.I. I. Pigment red 166, C.I. I. Pigment red 168, C.I. I. Pigment red 170, C.I. I. Pigment red 171, C.I. I. Pigment red 175, C.I. I. Pigment red 176, C.I. I. Pigment red 177, C.I. I. Pigment red 178, C.I. I. Pigment red 179, C.I. I. Pigment red 180, C.I. I. Pigment red 185, C.I. I. Pigment red 187, C.I. I. Pigment red 202, C.I. I. Pigment red 206, C.I. I. Pigment red 207, C.I. I. Pigment red 209, C.I. I. Pigment red 214, C.I. I. Pigment red 220, C.I. I. Pigment red 221, C.I. I. Pigment red 224, C.I. I. Pigment red 242, C.I. I. Pigment red 243, C.I. I. Pigment red 254, C.I. I. Pigment red 255, C.I. I. Pigment red 262, C.I. I. Pigment red 264, C.I. I. Pigment red 272;

C.I.ピグメントバイオレット1、C.I.ピグメントバイオレット19、C.I.ピグメントバイオレット23、C.I.ピグメントバイオレット29、C.I.ピグメントバイオレット32、C.I.ピグメントバイオレット36、C.I.ピグメントバイオレット38;
C.I.ピグメントブルー15、C.I.ピグメントブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:4、C.I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントブルー60、C.I.ピグメントブルー80;
C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグメントグリーン58;
C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン25;
C.I.ピグメントブラック1、C.I.ピグメントブラック7。
C. I. Pigment violet 1, C.I. I. Pigment violet 19, C.I. I. Pigment violet 23, C.I. I. Pigment violet 29, C.I. I. Pigment violet 32, C.I. I. Pigment violet 36, C.I. I. Pigment violet 38;
C. I. Pigment blue 15, C.I. I. Pigment blue 15: 3, C.I. I. Pigment blue 15: 4, C.I. I. Pigment blue 15: 6, C.I. I. Pigment blue 60, C.I. I. Pigment blue 80;
C. I. Pigment green 7, C.I. I. Pigment green 36, C.I. I. Pigment green 58;
C. I. Pigment brown 23, C.I. I. Pigment brown 25;
C. I. Pigment black 1, C.I. I. Pigment Black 7.

本発明において、有機顔料は、再結晶法、再沈殿法、溶剤洗浄法、昇華法、真空加熱法や、これらの組み合わせにより精製して使用することもできる。   In the present invention, the organic pigment can be purified and used by a recrystallization method, a reprecipitation method, a solvent washing method, a sublimation method, a vacuum heating method, or a combination thereof.

また、上記無機顔料としては、例えば、酸化チタン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラック等を挙げることができる。   Examples of the inorganic pigment include, for example, titanium oxide, barium sulfate, calcium carbonate, zinc white, lead sulfate, yellow lead, zinc yellow, red bean curd (red iron oxide (III)), cadmium red, ultramarine blue, bitumen, and chromium oxide. Examples include green, cobalt green, amber, titanium black, synthetic iron black, and carbon black.

これらの着色剤は、所望により、その粒子表面をポリマーで改質して使用してもよい。顔料の粒子表面を改質するポリマーとしては、例えば特開平8−259876号公報に記載されたポリマーや、市販の各種の顔料分散用のポリマー又はオリゴマー等を挙げることができる。カーボンブラック表面のポリマー被覆方法については、例えば特開平9−71733号公報、特開平9−95625号公報、特開平9−124969号公報等に開示されている。
前記着色剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
These colorants may be used by modifying the particle surface with a polymer, if desired. Examples of the polymer that modifies the particle surface of the pigment include the polymers described in JP-A-8-259876, and various commercially available polymers or oligomers for dispersing pigments. The polymer coating method on the carbon black surface is disclosed in, for example, JP-A-9-71733, JP-A-9-95625, JP-A-9-124969, and the like.
The colorants can be used alone or in admixture of two or more.

本発明の感放射線性組成物を画素の形成に用いる場合、画素には高精細な発色と耐熱性が求められることから、(A)着色剤としては、発色性が高く且つ耐熱性の高い着色剤、特に耐熱分解性の高い着色剤が好ましく、具体的には有機着色剤が好ましく、特に有機顔料が好ましく用いられる。
一方、本発明の感放射線性組成物をブラックマトリックスの形成に用いる場合、ブラックマトリックスには遮光性が要求されることから、(A)着色剤としては有機顔料またはカーボンブラックが好ましく用いられる。
また、本発明の感放射線性組成物は、(A)着色剤として、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントグリーン58およびカーボンブラックよりなる群から選ばれる少なくとも1種を含有する感放射線性組成物を用いて形成された着色層の耐溶剤性を向上させる点で特に有用である。
When the radiation-sensitive composition of the present invention is used for forming a pixel, since the pixel is required to have high-definition color development and heat resistance, (A) the coloring agent has high color development and high heat resistance. An agent, particularly a colorant having high heat decomposition resistance is preferable, specifically an organic colorant is preferable, and an organic pigment is particularly preferably used.
On the other hand, when the radiation-sensitive composition of the present invention is used for forming a black matrix, since the black matrix is required to have light shielding properties, an organic pigment or carbon black is preferably used as the colorant (A).
Moreover, the radiation sensitive composition of this invention is C.I. I. Pigment red 254, C.I. I. This is particularly useful in improving the solvent resistance of a colored layer formed using a radiation-sensitive composition containing at least one selected from the group consisting of CI Pigment Green 58 and carbon black.

本発明の感放射線性組成物は、着色剤の含有量が、感放射線性組成物の全固形分中、30重量%以上となる場合であっても、優れた耐溶剤性を有する。また、本発明において、着色剤の含有量の上限は、現像性を確保する観点から、感放射線性組成物の全固形分中、好ましくは60重量%以下、特に好ましくは50重量%以下である。ここで、固形分とは、後述する溶媒以外の成分である。   The radiation-sensitive composition of the present invention has excellent solvent resistance even when the content of the colorant is 30% by weight or more in the total solid content of the radiation-sensitive composition. In the present invention, the upper limit of the content of the colorant is preferably 60% by weight or less, particularly preferably 50% by weight or less in the total solid content of the radiation-sensitive composition from the viewpoint of ensuring developability. . Here, solid content is components other than the solvent mentioned later.

本発明における着色剤は、所望により、分散剤、分散助剤と共に使用することができる。
上記分散剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系や両性等の適宜の分散剤を使用することができるが、ポリマー分散剤が好ましい。具体的には、変性アクリル系共重合体、アクリル系共重合体、ポリウレタン、ポリエステル、高分子共重合体のアルキルアンモニウム塩又はリン酸エステル塩、カチオン性櫛型グラフトポリマー等を挙げることができる。ここで、カチオン性櫛型グラフトポリマーとは、複数の塩基性基(カチオン性の官能基)を有する幹ポリマー1分子に、2分子以上の枝ポリマーがグラフト結合した構造のポリマーをいい、例えば、幹ポリマー部がポリエチレンイミン、枝ポリマー部がε−カプロラクトンの開環重合体で構成されるポリマーが挙げられる。これら分散剤の中で、変性アクリル系共重合体、ポリウレタン、カチオン性櫛型グラフトポリマーが好ましい。
The colorant in the present invention can be used together with a dispersant and a dispersion aid as desired.
As the dispersant, for example, an appropriate dispersant such as a cationic, anionic, nonionic or amphoteric can be used, and a polymer dispersant is preferable. Specifically, a modified acrylic copolymer, an acrylic copolymer, polyurethane, polyester, a polymer copolymer alkylammonium salt or phosphate ester salt, a cationic comb graft polymer, and the like can be given. Here, the cationic comb graft polymer refers to a polymer having a structure in which two or more branched polymers are grafted to one molecule of a trunk polymer having a plurality of basic groups (cationic functional groups). Examples thereof include a polymer composed of a ring-opening polymer in which the trunk polymer part is polyethyleneimine and the branch polymer part is ε-caprolactone. Among these dispersants, modified acrylic copolymers, polyurethane, and cationic comb graft polymers are preferable.

このような分散剤は商業的に入手することができ、例えば、変性アクリル系共重合体として、Disperbyk−2000、Disperbyk−2001(以上、ビックケミー(BYK)社製)、ポリウレタンとして、Disperbyk−161、Disperbyk−162、Disperbyk−165、Disperbyk−167、Disperbyk−170、Disperbyk−182(以上、ビックケミー(BYK)社製)、EFKA4046(チバスペシャリティケミカルズ製)、ソルスパース76500(ルーブリゾール(株)社製)、カチオン性櫛型グラフトポリマーとして、ソルスパース24000(ルーブリゾール(株)社製)、アジスパーPB821、アジスパーPB822(味の素ファインテクノ株式会社製)等を挙げることができる。 Such a dispersant can be obtained commercially, for example, Disperbyk-2000, Disperbyk-2001 (above, manufactured by BYK Corporation) as a modified acrylic copolymer, Disperbyk-161 as polyurethane, Disperbyk-162, Disperbyk-165, Disperbyk-167, Disperbyk-170, Disperbyk-182 (above, manufactured by BYK Chemy (BYK)), EFKA4046 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals), Solsperse 76500 (manufactured by Lubrizol Corporation) As a cationic comb-shaped graft polymer, Solsperse 24000 (manufactured by Lubrizol Co., Ltd.), Ajisper PB821, Ajisper PB822 (Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd.) Mention may be made of the Company, Ltd.), and the like.

これらの分散剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。分散剤の含有量は、(A)着色剤100重量部に対して、通常、100重量部以下、好ましくは0.5〜100重量部、さらに好ましくは1〜70重量部、特に好ましくは10〜50重量部である。この場合、分散剤の含有量が100重量部を超えると、現像性等が損なわれるおそれがある。 These dispersants can be used alone or in admixture of two or more. The content of the dispersant is usually 100 parts by weight or less, preferably 0.5 to 100 parts by weight, more preferably 1 to 70 parts by weight, and particularly preferably 10 to 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the (A) colorant. 50 parts by weight. In this case, when the content of the dispersant exceeds 100 parts by weight, developability and the like may be impaired.

上記分散助剤としては、例えば青色顔料誘導体、黄色顔料誘導体等を挙げることができ、具体的には、例えば銅フタロシアニン誘導体等を挙げることができる。   Examples of the dispersion aid include a blue pigment derivative and a yellow pigment derivative. Specific examples include a copper phthalocyanine derivative.

−(B)アルカリ可溶性樹脂−
本発明における(B)アルカリ可溶性樹脂としては、(A)着色剤に対してバインダーとして作用し、かつカラーフィルタを製造する際の現像工程で用いられる現像液、特に好ましくはアルカリ現像液に対して可溶性を有するものであれば、特に限定されるものではない。なかでも、カルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂が好ましく、特に、1個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体(以下、「カルボキシル基含有不飽和単量体」という。)と他の共重合可能なエチレン性不飽和単量体(以下、「共重合性不飽和単量体」という。)との共重合体(以下、「カルボキシル基含有共重合体」という。)が好ましい。
-(B) Alkali-soluble resin-
As the (B) alkali-soluble resin in the present invention, the developer (A) acts as a binder for the colorant and is used in a developing step for producing a color filter, particularly preferably an alkali developer. There is no particular limitation as long as it has solubility. Among them, an alkali-soluble resin having a carboxyl group is preferable, and in particular, an ethylenically unsaturated monomer having one or more carboxyl groups (hereinafter referred to as “carboxyl group-containing unsaturated monomer”) and other co-polymers. A copolymer (hereinafter referred to as “carboxyl group-containing copolymer”) with a polymerizable ethylenically unsaturated monomer (hereinafter referred to as “copolymerizable unsaturated monomer”) is preferred.

カルボキシル基含有不飽和単量体としては、例えば、
(メタ)アクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸の如き不飽和モノカルボン酸;
マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸の如き不飽和ジカルボン酸またはその無水物;
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕の如き2価以上の多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイロキシアルキル〕エステル;
ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレートの如き両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート等を挙げることができる。
前記カルボキシル基含有不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
本発明において、カルボキシル基含有不飽和単量体としては、(メタ)アクリル酸、こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等が好ましく、特に(メタ)アクリル酸が好ましい。
As the carboxyl group-containing unsaturated monomer, for example,
Unsaturated carboxylic acids such as (meth) acrylic acid, crotonic acid, α-chloroacrylic acid, cinnamic acid;
Unsaturated dicarboxylic acids such as maleic acid, maleic anhydride, fumaric acid, itaconic acid, itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride, mesaconic acid or anhydrides thereof;
Mono [(meth) acryloyloxyalkyl] of polyvalent carboxylic acids such as succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] ester;
Examples thereof include mono (meth) acrylates of polymers having a carboxy group and a hydroxyl group at both ends, such as ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate.
The said carboxyl group-containing unsaturated monomer can be used individually or in mixture of 2 or more types.
In the present invention, the carboxyl group-containing unsaturated monomer is preferably (meth) acrylic acid, succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl], ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate, Particularly preferred is (meth) acrylic acid.

カルボキシル基含有共重合体において、カルボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合は、好ましくは5〜50重量%、さらに好ましくは10〜40重量%である。この場合、該共重合割合が5重量%未満では、得られる感放射線性組成物のアルカリ現像液に対する溶解性が低下する傾向があり、一方50重量%を超えると、アルカリ現像液に対する溶解性が過大となり、アルカリ現像液により現像する際に、画素の基板からの脱落や画素表面の膜荒れを来たしやすくなる傾向がある。   In the carboxyl group-containing copolymer, the copolymerization ratio of the carboxyl group-containing unsaturated monomer is preferably 5 to 50% by weight, more preferably 10 to 40% by weight. In this case, when the copolymerization ratio is less than 5% by weight, the solubility of the resulting radiation-sensitive composition in an alkali developer tends to be reduced, whereas when it exceeds 50% by weight, the solubility in an alkali developer is low. When the development is performed with an alkaline developer, the pixel tends to drop off from the substrate or the surface of the pixel becomes rough.

また、共重合性不飽和単量体としては、例えば、
マレイミド;
N−フェニルマレイミド、N−o−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−m−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−p−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−スクシンイミジル−3−マレイミドベンゾエート、N−スクシンイミジル−4−マレイミドブチレート、N−スクシンイミジル−6−マレイミドカプロエート、N−スクシンイミジル−3−マレイミドプロピオネート、N−(アクリジニル)マレイミドの如きN−位置換マレイミド;
スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトルエン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、p−クロルスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシスチレン、p−メトキシスチレン、o−ビニルフェノール、m−ビニルフェノール、p−ビニルフェノール、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、o−ビニルベンジルメチルエーテル、m−ビニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベンジルメチルエーテル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテルの如き芳香族ビニル化合物;
インデン、1−メチルインデンの如きインデン類;
Examples of the copolymerizable unsaturated monomer include:
Maleimide;
N-phenylmaleimide, N-o-hydroxyphenylmaleimide, Nm-hydroxyphenylmaleimide, Np-hydroxyphenylmaleimide, N-benzylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-succinimidyl-3-maleimidobenzoate, N- N-substituted maleimides such as succinimidyl-4-maleimidobutyrate, N-succinimidyl-6-maleimidocaproate, N-succinimidyl-3-maleimidopropionate, N- (acridinyl) maleimide;
Styrene, α-methylstyrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene, p-chlorostyrene, o-methoxystyrene, m-methoxystyrene, p-methoxystyrene, o-vinylphenol, m-vinyl Phenol, p-vinylphenol, p-hydroxy-α-methylstyrene, o-vinylbenzylmethyl ether, m-vinylbenzylmethyl ether, p-vinylbenzylmethyl ether, o-vinylbenzylglycidyl ether, m-vinylbenzylglycidyl ether , Aromatic vinyl compounds such as p-vinylbenzyl glycidyl ether;
Indenes such as indene and 1-methylindene;

メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、i−プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、i−ブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、2−メトキシエチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシエチル(メタ)アクリレート、メトキシジエチレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシトリエチレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシプロピレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシジプロピレングルコール(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート、パラクミルフェノールのエチレンオキサイド変性(メタ)アクリレートの如き不飽和カルボン酸エステル; Methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, i-propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) Acrylate, t-butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl ( (Meth) acrylate, 3-hydroxybutyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate 2-methoxyethyl (meth) acrylate, 2-phenoxyethyl (meth) acrylate, methoxydiethylene glycol (meth) acrylate, methoxytriethylene glycol (meth) acrylate, methoxypropylene glycol (meth) acrylate, methoxydi Propylene glycol (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, Unsaturated carboxylic acid esters such as glycerol mono (meth) acrylate, 4-hydroxyphenyl (meth) acrylate, ethylene oxide modified (meth) acrylate of paracumylphenol;

グリシジル(メタ)アクリレートの如き不飽和カルボン酸グリシジルエステル;
酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニルの如きカルボン酸ビニルエステル;
ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテルの如き他の不飽和エーテル;
(メタ)アクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデンの如きシアン化ビニル化合物;
(メタ)アクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミドの如き不飽和アミド;
1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレンの如き脂肪族共役ジエン;
ポリスチレン、ポリメチル(メタ)アクリレート、ポリ−n−ブチル(メタ)アクリレート、ポリシロキサンの如き重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロモノマー等を挙げることができる。
これらの共重合性不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Unsaturated carboxylic acid glycidyl esters such as glycidyl (meth) acrylate;
Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl butyrate, vinyl benzoate;
Other unsaturated ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, allyl glycidyl ether;
Vinyl cyanide compounds such as (meth) acrylonitrile, α-chloroacrylonitrile, vinylidene cyanide;
Unsaturated amides such as (meth) acrylamide, α-chloroacrylamide, N-2-hydroxyethyl (meth) acrylamide;
Aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene, chloroprene;
Examples thereof include a macromonomer having a mono (meth) acryloyl group at the end of a polymer molecular chain such as polystyrene, polymethyl (meth) acrylate, poly-n-butyl (meth) acrylate, and polysiloxane.
These copolymerizable unsaturated monomers can be used alone or in admixture of two or more.

本発明において、共重合性不飽和単量体としては、N−位置換マレイミド、芳香族ビニル化合物、不飽和カルボン酸エステル、重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロモノマー等が好ましく、特にN−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、スチレン、α−メチルスチレン、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、メチル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート、パラクミルフェノールのエチレンオキサイド変性(メタ)アクリレート、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー等が好ましい。 In the present invention, examples of the copolymerizable unsaturated monomer include N-position substituted maleimide, aromatic vinyl compound, unsaturated carboxylic acid ester, macromonomer having a mono (meth) acryloyl group at the end of the polymer molecular chain, and the like. In particular, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, styrene, α-methylstyrene, p-hydroxy-α-methylstyrene, methyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) Acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, 4-hydroxyphenyl (meth) acrylate, ethylene oxide modified (meth) acrylate of paracumylphenol , Polystyrene macromonomer, polymethylmethacrylate macromonomer and the like are preferable.

本発明における(B)アルカリ可溶性樹脂の好ましい具体例としては、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−m−ヒドロキシフェニルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−p−ヒドロキシフェニルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/α−メチルスチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/n−ブチル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/n−ブチル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/パラクミルフェノールのエチレンオキサイド変性(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−p−ヒドロキシフェニルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/フェニル(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/フェニル(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
As a preferable specific example of (B) alkali-soluble resin in the present invention,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / styrene / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / Nm-hydroxyphenylmaleimide / styrene / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / Np-hydroxyphenylmaleimide / styrene / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-cyclohexylmaleimide / styrene / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / α-methylstyrene / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / styrene / n-butyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / styrene / 2-ethylhexyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / p-hydroxy-α-methylstyrene / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / styrene / n-butyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / styrene / paracumylphenol ethylene oxide modified (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / styrene / 2-ethylhexyl (meth) acrylate / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / styrene / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / styrene / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / Np-hydroxyphenylmaleimide / styrene / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / styrene / phenyl (meth) acrylate / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / styrene / phenyl (meth) acrylate / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer,

(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/N−p−ヒドロキシフェニルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/スチレン/アリル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン/アリル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-phenylmaleimide / styrene / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / Np-hydroxyphenylmaleimide / styrene / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-phenylmaleimide / styrene / allyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-cyclohexylmaleimide / styrene / allyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-cyclohexylmaleimide / styrene / benzyl (meth) acrylate copolymer,

(メタ)アクリル酸/ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート/N−m−ヒドロキシフェニルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート/N−p−ヒドロキシフェニルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート/N−p−ヒドロキシフェニルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体
等を挙げることができる。
(Meth) acrylic acid / ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate / Nm-hydroxyphenylmaleimide / styrene / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate / Np-hydroxyphenylmaleimide / styrene / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate / N-phenylmaleimide / styrene / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate / Np-hydroxyphenylmaleimide / styrene / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate copolymer and the like.

本発明においては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等のヒドロキシル基を有する共重合性不飽和単量体を共重合したアルカリ可溶性樹脂に、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート等の不飽和イソシアナート化合物を反応させることにより、アルカリ可溶性樹脂の側鎖に重合性不飽和結合を導入することができる。   In the present invention, for example, an alkali-soluble resin obtained by copolymerization of a copolymerizable unsaturated monomer having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate is added to an alkali-soluble resin such as 2- (meth) acryloyloxyethyl isocyanate. By reacting the saturated isocyanate compound, a polymerizable unsaturated bond can be introduced into the side chain of the alkali-soluble resin.

本発明におけるアルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算重量平均分子量(以下、「Mw」という。)は、通常、1,000〜45,000、好ましくは3,000〜30,000である。
また、本発明におけるアルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算数平均分子量(以下、「Mn」という。)は、通常、1,000〜45,000、好ましくは3,000〜30,000である。
この場合、Mwが1,000未満であると、得られる被膜の残膜率等が低下したり、パターン形状、耐熱性等が損なわれたり、また電気特性が悪化するおそれがあり、一方45,000を超えると、解像度が低下したり、パターン形状が損なわれたり、またスリットノズル方式による塗布時に乾燥異物が発生し易くなるおそれがある。
The polystyrene-converted weight average molecular weight (hereinafter referred to as “Mw”) measured by gel permeation chromatography (GPC, elution solvent: tetrahydrofuran) of the alkali-soluble resin in the present invention is usually 1,000 to 45,000, preferably Is 3,000 to 30,000.
Further, the number average molecular weight in terms of polystyrene (hereinafter referred to as “Mn”) measured by gel permeation chromatography (GPC, elution solvent: tetrahydrofuran) of the alkali-soluble resin in the present invention is usually 1,000 to 45,000. , Preferably 3,000 to 30,000.
In this case, if the Mw is less than 1,000, the remaining film ratio of the resulting coating may be reduced, the pattern shape, heat resistance, etc. may be impaired, and electrical characteristics may be deteriorated. If it exceeds 000, the resolution may be reduced, the pattern shape may be impaired, and dry foreign matter may be easily generated during application by the slit nozzle method.

本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、例えば、(メタ)アクリル酸等の不飽和単量体を、適当な溶媒中、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)等のラジカル重合開始剤の存在下で重合することにより製造することができる。   The alkali-soluble resin in the present invention includes, for example, an unsaturated monomer such as (meth) acrylic acid, 2,2′-azobisisobutyronitrile, 2,2′-azobis (2, 4-dimethylvaleronitrile) and 2,2′-azobis (4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile) can be produced by polymerization in the presence of a radical polymerization initiator.

本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、上記のように不飽和単量体をラジカル重合した後に、極性の異なる有機溶媒を2種以上用いる再沈殿法を経て精製することにより製造することができる。即ち、重合後の良溶媒中の溶液を、必要に応じてろ過あるいは遠心分離などによって不溶な不純物を除去したのち、大量(通常は、ポリマー溶液体積の5〜10倍量)の沈殿剤(貧溶媒)中に注いで、共重合体を再沈殿させることにより精製する。その際、共重合体溶液中に残っている不純物のうち、沈殿剤に可溶な不純物は液相に残り、精製されたアルカリ可溶性樹脂から分離される。
この再沈殿法に使用される良溶媒/沈殿剤の組み合わせとしては、例えば、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート/n−ヘキサン、メチルエチルケトン/n−ヘキサン、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート/n−ヘプタン、メチルエチルケトン/n−ヘプタン等を挙げることができる。
The alkali-soluble resin in the present invention can be produced by radical polymerization of an unsaturated monomer as described above, followed by purification through a reprecipitation method using two or more organic solvents having different polarities. That is, after removing insoluble impurities from the solution in a good solvent after polymerization by filtration or centrifugation as necessary, a large amount (usually 5 to 10 times the volume of the polymer solution) of a precipitant (poor) Purification by pouring into the solvent) and reprecipitation of the copolymer. At that time, of the impurities remaining in the copolymer solution, impurities soluble in the precipitant remain in the liquid phase and are separated from the purified alkali-soluble resin.
Examples of the good solvent / precipitant combination used in this reprecipitation method include diethylene glycol monomethyl ether acetate / n-hexane, methyl ethyl ketone / n-hexane, diethylene glycol monomethyl ether acetate / n-heptane, and methyl ethyl ketone / n-heptane. Can be mentioned.

また、本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、その構成成分となる各不飽和化合物を、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)等のラジカル重合開始剤、およびピラゾール−1−ジチオカルボン酸シアノ(ジメチル)メチルエステル、ピラゾール−1−ジチオカルボン酸ベンジルエステル、テトラエチルチウラムジスルフィド、ビス(ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(3−メチル−ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(4−メチル−ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(5−メチル−ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(3,4,5−トリメチル−ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(ピロール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビスチオベンゾイルジスルフィド等のイニファターとして作用する分子量制御剤の存在下、不活性溶媒中で、反応温度を、通常、0〜150℃、好ましくは50〜120℃として、リビングラジカル重合することにより製造することができる。   In addition, the alkali-soluble resin in the present invention contains each unsaturated compound as a constituent component of 2,2′-azobisisobutyronitrile, 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile), 2 , 2′-azobis (4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile) and the like, and pyrazole-1-dithiocarboxylic acid cyano (dimethyl) methyl ester, pyrazole-1-dithiocarboxylic acid benzyl ester, Tetraethylthiuram disulfide, bis (pyrazol-1-ylthiocarbonyl) disulfide, bis (3-methyl-pyrazol-1-ylthiocarbonyl) disulfide, bis (4-methyl-pyrazol-1-ylthiocarbonyl) disulfide, bis ( 5-methyl-pyrazol-1-ylthiocarbonyl) dis In the presence of molecular weight regulators that act as iniferters such as fido, bis (3,4,5-trimethyl-pyrazol-1-ylthiocarbonyl) disulfide, bis (pyrrol-1-ylthiocarbonyl) disulfide, bisthiobenzoyl disulfide In the inert solvent, the reaction temperature is usually 0 to 150 ° C., preferably 50 to 120 ° C., and can be produced by living radical polymerization.

さらに、本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、その構成成分となる各不飽和単量体を、上記ラジカル重合開始剤、及び連鎖移動剤として作用する多価チオール化合物の存在下、適当な溶媒中でラジカル重合することにより製造することができる。ここで、多価チオール化合物とは、1分子中に2個以上のチオール基を有する化合物をいい、例えば、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、テトラエチレングリコールビス(3−メルカプトプロピオネート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(チオグリコレート)、1,4―ビス(3−メルカプトブチリルオキシ)ブタン、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)、1,3,5,−トリス(3−メルカブトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン等を挙げることができる。   Further, the alkali-soluble resin in the present invention is a method in which each unsaturated monomer as a constituent component is radicalized in a suitable solvent in the presence of the radical polymerization initiator and a polyvalent thiol compound that acts as a chain transfer agent. It can be produced by polymerization. Here, the polyvalent thiol compound means a compound having two or more thiol groups in one molecule, for example, trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropio). Nate), tetraethylene glycol bis (3-mercaptopropionate), dipentaerythritol hexakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (thioglycolate), 1,4-bis (3-mercaptobutyryl) Oxy) butane, pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), 1,3,5, -tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H , 5H) -trione and the like.

本発明において、アルカリ可溶性樹脂は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
本発明において、アルカリ可溶性樹脂の含有量は、(A)着色剤100重量部に対して、通常、10〜1,000重量部、好ましくは20〜500重量部である。この場合、アルカリ可溶性樹脂の含有量が10重量部未満では、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に残渣や地汚れが発生するおそれがあり、一方1,000重量部を超えると、相対的に顔料濃度が低下するため、薄膜として目的とする色濃度を達成することが困難となるおそれがある。
In this invention, alkali-soluble resin can be used individually or in mixture of 2 or more types.
In this invention, content of alkali-soluble resin is 10-1,000 weight part normally with respect to 100 weight part of (A) coloring agents, Preferably it is 20-500 weight part. In this case, if the content of the alkali-soluble resin is less than 10 parts by weight, for example, the alkali developability may be reduced, or a residue or background stain may occur on the unexposed part of the substrate or the light shielding layer. When the amount exceeds 1,000 parts by weight, the pigment concentration relatively decreases, and it may be difficult to achieve the target color density as a thin film.

−(C)重合性化合物−
本発明における重合性化合物は、2つ以上の重合性反応基を末端に有するデンドリマーおよびハイパーブランチポリマーよりなる群から選ばれる少なくとも1種(以下、これらをまとめて「特定重合性化合物」ともいう。)を含有するものである。
-(C) Polymerizable compound-
The polymerizable compound in the present invention is at least one selected from the group consisting of a dendrimer having two or more polymerizable reactive groups at its terminal and a hyperbranched polymer (hereinafter collectively referred to as “specific polymerizable compound”). ).

本発明で用いる特定重合性化合物は、分岐を有するコア部、分岐鎖単位及び末端部位を有し、通常分岐を有するコア部の各分岐鎖部に、分岐鎖単位が結合し、さらにその各分岐鎖単位に末端部位が結合してなる。
当該コア部としては、分岐構造を3個以上、特に4個を有するアルコールが好ましい。また、分岐鎖単位としては、分岐構造を3個以上有するものが好ましく、ポリアミド、ポリエステル等が挙げられるが、ポリエステルが好ましい。末端部位は、エチレン性炭素−炭素二重結合を有すればよく、好適な例として(メタ)アクリロイル単位が挙げられる。
また、コア部と分岐鎖単位との結合部位としては、通常の単結合;エチレンオキサイド、プロピオンオキサイド等のアルキレンオキサイドが挙げられ、エチレンオキサイドが好ましい。結合部位がアルキレンオキサイドの場合は、アルキレンオキサイドの酸素末端側が分岐鎖単位と結合するのが好ましい。
The specific polymerizable compound used in the present invention has a branched core part, a branched chain unit, and a terminal site, and a branched chain unit is bonded to each branched chain part of the normally branched core part. A terminal unit is bonded to a chain unit.
As the core part, an alcohol having 3 or more, particularly 4 branched structures is preferable. Moreover, as a branched chain unit, what has 3 or more branched structures is preferable, Polyamide, polyester, etc. are mentioned, However, Polyester is preferable. The terminal part should just have an ethylenic carbon-carbon double bond, and a (meth) acryloyl unit is mentioned as a suitable example.
Moreover, as a coupling | bond part of a core part and a branched chain unit, alkylene oxides, such as normal single bond; ethylene oxide, propion oxide, are mentioned, Ethylene oxide is preferable. When the bonding site is alkylene oxide, it is preferable that the oxygen terminal side of alkylene oxide is bonded to the branched chain unit.

当該コア部としては、ペンタエリスリトール又はモノ若しくはポリオキシエチレン化ペンタエリスリトールが好ましい。当該コア部としては、次式(1)、(4)〜(6)で表される基が好ましく、式(1)で表される基が特に好ましい。   As the core part, pentaerythritol or mono- or polyoxyethylenated pentaerythritol is preferable. As the core part, groups represented by the following formulas (1) and (4) to (6) are preferable, and a group represented by the formula (1) is particularly preferable.

Figure 0005663823
Figure 0005663823

(式中、矢印は分岐鎖単位との結合部位を示す。) (In the formula, the arrow indicates the binding site with the branched chain unit.)

Figure 0005663823
Figure 0005663823

(式中、nは、0〜2の整数を示し、矢印は前記と同じ。) (In the formula, n represents an integer of 0 to 2, and the arrow is the same as above.)

Figure 0005663823
Figure 0005663823

(式中、矢印は前記と同じ。) (In the formula, the arrows are the same as above.)

Figure 0005663823
Figure 0005663823

(式中、矢印は前記と同じ。) (In the formula, the arrows are the same as above.)

当該分岐鎖単位としては、ポリエステル単位、さらにポリヒドロキシカルボン酸単位が好ましく、特に式(2)で表される分岐鎖単位が好ましい。   As the branched chain unit, a polyester unit and a polyhydroxycarboxylic acid unit are preferable, and a branched chain unit represented by the formula (2) is particularly preferable.

Figure 0005663823
Figure 0005663823

(式中、矢印は、コア部又は分岐鎖単位と結合する側を示し、nは1以上の整数を示す。) (In the formula, the arrow indicates the side bonded to the core part or the branched chain unit, and n represents an integer of 1 or more .)

当該末端部は、(メタ)アクリロイル単 The end piece (meth) acryloyl units of

好ましい。 Is preferred.

特定重合性化合物の特に好ましい例としては、下記式(7)で表されるデンドリマーであることが挙げられる。
A particularly preferable example of the specific polymerizable compound is a dendrimer represented by the following formula (7).

Figure 0005663823
Figure 0005663823

特定重合性化合物は、例えば、大阪有機化学工業化学株式会社、サートマージャパン社等から入手することができる。   The specific polymerizable compound can be obtained from, for example, Osaka Organic Chemical Industry Chemical Co., Ltd., Sartomer Japan Co., etc.

本発明においては、特定重合性化合物と共に、他の重合性化合物を併用することができる。他の重合性化合物としては、例えば、
エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルキレングリコールのジ(メタ)アクリレート類;
ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のポリアルキレングリコールのジ(メタ)アクリレート類;
グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等の3価以上の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート類や、それらのジカルボン酸変性物;
ポリエステル、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、スピラン樹脂等のオリゴ(メタ)アクリレート類;
両末端ヒドロキシポリ−1,3−ブタジエン、両末端ヒドロキシポリイソプレン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトン等の両末端ヒドロキシル化重合体のジ(メタ)アクリレート類や、トリス〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕フォスフェート等を挙げることができる。
In the present invention, other polymerizable compounds can be used in combination with the specific polymerizable compound. Other polymerizable compounds include, for example,
Di (meth) acrylates of alkylene glycols such as ethylene glycol and propylene glycol;
Di (meth) acrylates of polyalkylene glycols such as polyethylene glycol and polypropylene glycol;
Poly (meth) acrylates of trihydric or higher polyhydric alcohols such as glycerin, trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol and the like, and their dicarboxylic acid-modified products;
Oligo (meth) acrylates such as polyester, epoxy resin, urethane resin, alkyd resin, silicone resin, spirane resin;
Di (meth) acrylates of both terminal hydroxylated polymers such as both terminal hydroxypoly-1,3-butadiene, both terminal hydroxypolyisoprene and both terminal hydroxypolycaprolactone, and tris [2- (meth) acryloyloxyethyl] A phosphate etc. can be mentioned.

これらの他の重合性化合物のうち、3価以上の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート類やそれらのジカルボン酸変性物、具体的には、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート等が好ましく、特に、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、下記式(8)で表される化合物および下記式(9)で表される化合物が、着色層の強度が高く、着色層の表面平滑性に優れ、かつ未露光部の基板上および遮光層上に地汚れ、膜残り等を発生し難い点で好ましい。
前記他の重合性化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Among these other polymerizable compounds, poly (meth) acrylates of polyhydric alcohols having a valence of 3 or more and their dicarboxylic acid-modified products, specifically, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, penta Erythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, etc. are preferred, especially trimethylol Propane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol pentaa Relate, dipentaerythritol hexaacrylate, a compound represented by the following formula (8) and a compound represented by the following formula (9) have high strength of the colored layer, excellent surface smoothness of the colored layer, and unexposed. This is preferable in that ground stains, film residue, and the like hardly occur on the substrate and the light shielding layer.
The other polymerizable compounds can be used alone or in admixture of two or more.

Figure 0005663823
Figure 0005663823

Figure 0005663823
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本発明における重合性化合物の含有量は、(B)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、通常、5〜500重量部、好ましくは20〜400重量部である。この場合、重合性化合物の含有量が少なすぎると、着色層の強度や表面平滑性が低下するおそれがあり、一方多すぎると、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れ、膜残り等が発生しやすくなるおそれがある。   Content of the polymeric compound in this invention is 5-500 weight part normally with respect to 100 weight part of (B) alkali-soluble resin, Preferably it is 20-400 weight part. In this case, if the content of the polymerizable compound is too low, the strength and surface smoothness of the colored layer may be reduced. On the other hand, if the content is too high, for example, the alkali developability may be reduced or the substrate on the unexposed area may be reduced. Or there is a possibility that background stains, film residue, etc. are likely to occur on the light shielding layer.

また、重合性化合物中の特定重合性化合物の含有割合は、本発明の所望の前記の効果を得る点から、好ましくは5〜100重量%、特に好ましくは20〜100重量%である。   The content of the specific polymerizable compound in the polymerizable compound is preferably 5 to 100% by weight, particularly preferably 20 to 100% by weight, from the viewpoint of obtaining the desired effect of the present invention.

また、本発明においては、重合性化合物の一部を、重合性不飽和結合を1個有する単官能性単量体に置き換えることもできる。
前記単官能性単量体としては、例えば、こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕の如き2価以上の多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイロキシアルキル〕エステル、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレートの如き両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート、N−〔メタ)アクリロイルモルフォリン、N−ビニルピロリドン、N−ビニル−ε−カプロラクタムが挙げられ、市販品としては、M−5600(商品名、東亞合成(株)製)等をが挙げられる。
In the present invention, a part of the polymerizable compound can be replaced with a monofunctional monomer having one polymerizable unsaturated bond.
Examples of the monofunctional monomer include divalent or higher polyvalent carboxylic acids such as succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl]. Mono [(meth) acryloyloxyalkyl] ester of acid, mono (meth) acrylate of polymer having carboxy group and hydroxyl group at both ends, such as ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate, N- [meth) acryloyl Examples include morpholine, N-vinylpyrrolidone, and N-vinyl-ε-caprolactam. Examples of commercially available products include M-5600 (trade name, manufactured by Toagosei Co., Ltd.).

これらの単官能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。単官能性単量体の含有割合は、重合性化合物と単官能性単量体との合計に対して、通常、90重量%以下、好ましくは50重量%以下である。この場合、単官能性単量体の含有割合が多すぎると、得られる着色層の強度や表面平滑性が不十分となるおそれがある。   These monofunctional monomers can be used alone or in admixture of two or more. The content ratio of the monofunctional monomer is usually 90% by weight or less, preferably 50% by weight or less, based on the total of the polymerizable compound and the monofunctional monomer. In this case, when there is too much content rate of a monofunctional monomer, there exists a possibility that the intensity | strength and surface smoothness of a colored layer to be obtained may become inadequate.

本発明における重合性化合物と単官能性単量体との合計含有量は、(B)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、通常、5〜500重量部、好ましくは20〜300重量部である。この場合、該合計使用量が少なすぎると、着色層の強度や表面平滑性が低下するおそれがあり、一方多すぎると、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れ、膜残り等が発生しやすくなるおそれがある。   The total content of the polymerizable compound and the monofunctional monomer in the present invention is usually 5 to 500 parts by weight, preferably 20 to 300 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the (B) alkali-soluble resin. . In this case, if the total amount used is too small, the strength and surface smoothness of the colored layer may be lowered. On the other hand, if the total amount is too large, for example, alkali developability may be lowered, the substrate on the unexposed area or light shielding. There is a risk that soiling, film residue, etc. are likely to occur on the layer.

−(D)光重合開始剤−
本発明における光重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等の放射線の露光により、前記(C)重合性化合物および場合により使用される単官能性単量体の重合を開始しうる活性種を発生する化合物である。
このような光重合開始剤としては、例えば、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、O−アシルオキシム系化合物、オニウム塩系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、ジアゾ系化合物、イミドスルホナート系化合物等を挙げることができる。これらの化合物は、露光によって活性ラジカルまたは活性酸、あるいは活性ラジカルと活性酸の両方を発生する成分である。
-(D) Photopolymerization initiator-
The photopolymerization initiator in the present invention is a polymer of the polymerizable compound (C) and a monofunctional monomer used in some cases by exposure to radiation such as visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, and X-ray. Is a compound that generates an active species capable of initiating
Examples of such photopolymerization initiators include acetophenone compounds, biimidazole compounds, triazine compounds, O-acyloxime compounds, onium salt compounds, benzoin compounds, benzophenone compounds, α-diketone compounds. , Polynuclear quinone compounds, xanthone compounds, diazo compounds, imide sulfonate compounds, and the like. These compounds are components that generate active radicals or active acids or both active radicals and active acids upon exposure.

本発明において、光重合開始剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができるが、本発明における光重合開始剤としては、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、O−アシルオキシム系化合物の群から選ばれる少なくとも1種が好ましい。   In the present invention, the photopolymerization initiator can be used alone or in admixture of two or more. As the photopolymerization initiator in the present invention, an acetophenone compound, a biimidazole compound, a triazine compound, At least one selected from the group of O-acyloxime compounds is preferred.

本発明において、光重合開始剤の一般的な含有量は、(C)重合性化合物100重量部に対して、通常、0.01〜120重量部、好ましくは1〜100重量部である。この場合、光重合開始剤の含有量が0.01重量部未満では、露光による硬化が不十分となり、着色層パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方120重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。   In this invention, the general content of a photoinitiator is 0.01-120 weight part normally with respect to 100 weight part of (C) polymeric compounds, Preferably it is 1-100 weight part. In this case, if the content of the photopolymerization initiator is less than 0.01 part by weight, curing by exposure becomes insufficient, and it may be difficult to obtain a color filter in which the colored layer pattern is arranged according to a predetermined arrangement. On the other hand, if it exceeds 120 parts by weight, the formed colored layer tends to be detached from the substrate during development.

本発明における好ましい光重合開始剤のうち、アセトフェノン系化合物の具体例としては、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシル・フェニルケトン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1,2−オクタンジオン等を挙げることができる。
これらのアセトフェノン系化合物のうち、特に、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、1,2−オクタンジオン等が好ましい。
前記アセトフェノン系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Among preferred photopolymerization initiators in the present invention, specific examples of acetophenone compounds include 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one and 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl. ] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2,2-dimethoxy- Examples include 1,2-diphenylethane-1-one and 1,2-octanedione.
Among these acetophenone compounds, in particular, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpho Linophenyl) butan-1-one, 1,2-octanedione and the like are preferred.
The acetophenone compounds can be used alone or in admixture of two or more.

本発明において、光重合開始剤としてアセトフェノン系化合物を使用する場合の含有量は、(C)重合性化合物100重量部に対して、通常、0.01〜80重量部、好ましくは1〜70重量部、さらに好ましくは1〜60重量部である。この場合、アセトフェノン系化合物の含有量が0.01重量部未満では、露光による硬化が不十分となり、着色層パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方80重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。   In the present invention, the content when an acetophenone-based compound is used as a photopolymerization initiator is usually 0.01 to 80 parts by weight, preferably 1 to 70 parts by weight, based on 100 parts by weight of the polymerizable compound (C). Parts, more preferably 1 to 60 parts by weight. In this case, if the content of the acetophenone compound is less than 0.01 parts by weight, curing by exposure becomes insufficient, and it may be difficult to obtain a color filter in which the colored layer pattern is arranged according to a predetermined arrangement, On the other hand, when the amount exceeds 80 parts by weight, the formed colored layer tends to be detached from the substrate during development.

また、前記ビイミダゾール系化合物の具体例としては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等を挙げることができる。   Specific examples of the biimidazole compound include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2′-bi Imidazole, 2,2′-bis (2-bromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2 -Chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra Phenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2, 2'-bis (2-bromophenyl)- , 4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4-dibromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1, 2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-tribromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole and the like can be mentioned. .

これらのビイミダゾール系化合物のうち、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等が好ましく、特に、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールが好ましい。   Among these biimidazole compounds, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2 , 4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ′, 5 , 5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole and the like are preferable, and in particular, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′- Biimidazole is preferred.

これらのビイミダゾール系化合物は、溶剤に対する溶解性に優れ、未溶解物、析出物等の異物を生じることがなく、しかも感度が高く、少ないエネルギー量の露光により硬化反応を十分進行させるとともに、未露光部で硬化反応が生じることがないため、露光後の塗膜は、現像液に対して不溶性の硬化部分と、現像液に対して高い溶解性を有する未硬化部分とに明確に区分され、それにより、アンダーカットのない着色層パターンが所定の配列に従って配置された高精細なカラーフィルタを形成することができる。
前記ビイミダゾール系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
These biimidazole compounds are excellent in solubility in solvents, do not generate foreign matters such as undissolved substances and precipitates, have high sensitivity, and sufficiently advance the curing reaction by exposure with a small amount of energy. Since no curing reaction occurs in the exposed area, the coated film after exposure is clearly divided into a cured area that is insoluble in the developer and an uncured area that has high solubility in the developer, Thereby, a high-definition color filter in which a colored layer pattern without an undercut is arranged according to a predetermined arrangement can be formed.
The biimidazole compounds can be used alone or in admixture of two or more.

本発明において、光重合開始剤としてビイミダゾール系化合物を使用する場合の含有量は、(C)重合性化合物合計100重量部に対して、通常、0.01〜40重量部、好ましくは1〜30重量部、さらに好ましくは1〜20重量部である。この場合、ビイミダゾール系化合物の含有量が0.01重量部未満では、露光による硬化が不十分となり、着色層パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方40重量部を超えると、現像する際に、形成された着色層の基板からの脱落や着色層表面の膜あれを来しやすくなる傾向がある。   In the present invention, the content in the case of using a biimidazole compound as a photopolymerization initiator is usually 0.01 to 40 parts by weight, preferably 1 to 100 parts by weight based on 100 parts by weight of the total polymerizable compound (C). 30 parts by weight, more preferably 1 to 20 parts by weight. In this case, if the content of the biimidazole compound is less than 0.01 part by weight, curing by exposure becomes insufficient, and it may be difficult to obtain a color filter in which the colored layer pattern is arranged according to a predetermined arrangement. On the other hand, when the amount exceeds 40 parts by weight, the developed colored layer tends to fall off from the substrate or the surface of the colored layer tends to come off during development.

本発明においては、光重合開始剤としてビイミダゾール系化合物を用いる場合、下記する水素供与体を併用することが、感度をさらに改良することができる点で好ましい。
ここでいう「水素供与体」とは、露光によりビイミダゾール系化合物から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物を意味する。
本発明における水素供与体としては、下記で定義するメルカプタン系化合物、アミン系化合物等が好ましい。
In the present invention, when a biimidazole compound is used as a photopolymerization initiator, it is preferable to use a hydrogen donor described below in combination because the sensitivity can be further improved.
The “hydrogen donor” as used herein means a compound that can donate a hydrogen atom to a radical generated from a biimidazole compound by exposure.
The hydrogen donor in the present invention is preferably a mercaptan compound or an amine compound defined below.

前記メルカプタン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したメルカプト基を1個以上、好ましくは1〜3個、さらに好ましくは1〜2個有する化合物(以下、「メルカプタン系水素供与体」という。)からなる。
前記アミン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したアミノ基を1個以上、好ましくは1〜3個、さらに好ましくは1〜2個有する化合物(以下、「アミン系水素供与体」という。)からなる。
なお、これらの水素供与体は、メルカプト基とアミノ基とを同時に有することもできる。
The mercaptan-based compound is a compound having a benzene ring or a heterocyclic ring as a mother nucleus and having one or more, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2, mercapto groups directly bonded to the mother nucleus (hereinafter referred to as “ Mercaptan-based hydrogen donor ").
The amine compound is a compound having a benzene ring or a heterocyclic ring as a mother nucleus and having 1 or more, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2 amino groups directly bonded to the mother nucleus (hereinafter referred to as “ Amine-based hydrogen donor ").
These hydrogen donors can also have a mercapto group and an amino group at the same time.

以下、水素供与体について、より具体的に説明する。
メルカプタン系水素供与体は、ベンゼン環あるいは複素環をそれぞれ1個以上有することができ、またベンゼン環と複素環との両者を有することができ、これらの環を2個以上有する場合、縮合環を形成しても形成しなくてもよい。
また、メルカプタン系水素供与体は、メルカプト基を2個以上有する場合、少なくとも1個の遊離メルカプト基が残存する限りでは、残りのメルカプト基の1個以上がアルキル、アラルキルまたはアリール基で置換されていてもよく、さらには少なくとも1個の遊離メルカプト基が残存する限りでは、2個の硫黄原子がアルキレン基等の2価の有機基を介在して結合した構造単位、あるいは2個の硫黄原子がジスルフィドの形で結合した構造単位を有することができる。
さらに、メルカプタン系水素供与体は、メルカプト基以外の箇所で、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換アルコキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基、置換フェノキシカルボニル基、ニトリル基等によって置換されていてもよい。
Hereinafter, the hydrogen donor will be described more specifically.
The mercaptan-based hydrogen donor can have one or more benzene rings or heterocyclic rings, and can have both a benzene ring and a heterocyclic ring. When two or more of these rings are present, It may or may not be formed.
In addition, when the mercaptan hydrogen donor has two or more mercapto groups, at least one of the remaining mercapto groups is substituted with an alkyl, aralkyl or aryl group as long as at least one free mercapto group remains. Furthermore, as long as at least one free mercapto group remains, a structural unit in which two sulfur atoms are bonded via a divalent organic group such as an alkylene group, or two sulfur atoms are It can have structural units linked in the form of disulfides.
Furthermore, the mercaptan-based hydrogen donor may be substituted with a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, a substituted alkoxycarbonyl group, a phenoxycarbonyl group, a substituted phenoxycarbonyl group, a nitrile group, or the like at a place other than the mercapto group.

このようなメルカプタン系水素供与体の具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール、2−メルカプト−2,5−ジメチルアミノピリジン等を挙げることができる。
これらのメルカプタン系水素供与体のうち、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾールが好ましく、特に2−メルカプトベンゾチアゾールが好ましい。
Specific examples of such mercaptan hydrogen donors include 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzoimidazole, 2,5-dimercapto-1,3,4-thiadiazole, 2-mercapto- 2,5-dimethylaminopyridine and the like can be mentioned.
Of these mercaptan-based hydrogen donors, 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzoxazole are preferable, and 2-mercaptobenzothiazole is particularly preferable.

また、アミン系水素供与体は、ベンゼン環あるいは複素環をそれぞれ1個以上有することができ、またベンゼン環と複素環との両者を有することができ、これらの環を2個以上有する場合、縮合環を形成しても形成しなくてもよい。
また、アミン系水素供与体は、アミノ基の1個以上がアルキル基または置換アルキル基で置換されてもよく、またアミノ基以外の箇所で、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換アルコキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基、置換フェノキシカルボニル基、ニトリル基等によって置換されていてもよい。
In addition, the amine hydrogen donor can have one or more benzene rings or heterocyclic rings, and can have both a benzene ring and a heterocyclic ring. A ring may or may not be formed.
In addition, in the amine-based hydrogen donor, one or more of the amino groups may be substituted with an alkyl group or a substituted alkyl group, and a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, a substituted alkoxycarbonyl group, a phenoxy group may be substituted at a position other than the amino group. It may be substituted with a carbonyl group, a substituted phenoxycarbonyl group, a nitrile group or the like.

このようなアミン系水素供与体の具体例としては、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノプロピオフェノン、エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、4−ジメチルアミノ安息香酸、4−ジメチルアミノベンゾニトリル等を挙げることができる。
これらのアミン系水素供与体のうち、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましく、特に4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。
なお、アミン系水素供与体は、ビイミダゾール系化合物以外の光重合開始剤の場合においても、増感剤としての作用を有するものである。
Specific examples of such amine-based hydrogen donors include 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4-diethylaminoacetophenone, 4-dimethylaminopropiophenone, Examples thereof include ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylaminobenzoic acid, 4-dimethylaminobenzonitrile and the like.
Among these amine hydrogen donors, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone and 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone are preferable, and 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone is particularly preferable.
The amine-based hydrogen donor has a function as a sensitizer even in the case of a photopolymerization initiator other than a biimidazole compound.

本発明において、水素供与体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができるが、1種以上のメルカプタン系水素供与体と1種以上のアミン系水素供与体とを組み合わせて使用することが、形成された着色層が現像時に基板から脱落し難く、また着色層強度および感度も高い点で好ましい。
メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との組み合わせの具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等を挙げることができ、さらに好ましい組み合わせは、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンであり、特に好ましい組み合わせは、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンである。
メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との組み合わせにおけるメルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との重量比は、通常、1:1〜1:4、好ましくは1:1〜1:3である。
In the present invention, the hydrogen donor can be used alone or in admixture of two or more. However, one or more mercaptan hydrogen donors and one or more amine hydrogen donors are used in combination. It is preferable that the formed colored layer does not easily fall off from the substrate during development, and the strength and sensitivity of the colored layer are high.
Specific examples of the combination of a mercaptan hydrogen donor and an amine hydrogen donor include 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis. (Diethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, and the like, and more preferred combinations 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, and a particularly preferred combination is 2-mercaptobenzothiazole / , 4'-bis (diethylamino) benzophenone.
The weight ratio of mercaptan hydrogen donor to amine hydrogen donor in the combination of mercaptan hydrogen donor and amine hydrogen donor is usually 1: 1 to 1: 4, preferably 1: 1 to 1: 3.

本発明において、水素供与体をビイミダゾール系化合物と併用する場合の含有量は、(C)重合性化合物合計100重量部に対して、好ましくは0.01〜40重量部、さらに好ましくは1〜30重量部、特に好ましくは1〜20重量部である。この場合、水素供与体の含有量が0.01重量部未満であると、感度の改良効果が低下する傾向があり、一方40重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。   In the present invention, the content when the hydrogen donor is used in combination with the biimidazole compound is preferably 0.01 to 40 parts by weight, more preferably 1 to 40 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total polymerizable compound (C). 30 parts by weight, particularly preferably 1 to 20 parts by weight. In this case, if the content of the hydrogen donor is less than 0.01 part by weight, the effect of improving the sensitivity tends to be reduced. On the other hand, if the content exceeds 40 parts by weight, the formed colored layer is detached from the substrate during development. It tends to be easy to do.

なお、アミン系水素供与体は、アセトフェノン系化合物等のビイミダゾール系化合物以外の光重合開始剤と併用する場合には増感剤として機能することができる。アミン系水素供与体を増感剤として使用する場合、その含有量は、ビイミダゾール系化合物以外の光重合開始剤100重量部に対して、通常300重量部以下、好ましくは200重量部以下、さらに好ましくは100重量部以下であるが、かかる含有量が少なすぎると十分な効果が得難くなることから、含有量の下限を好ましくは2重量部、さらに好ましくは5重量部とするのが望ましい。   The amine-based hydrogen donor can function as a sensitizer when used in combination with a photopolymerization initiator other than a biimidazole compound such as an acetophenone compound. When an amine-based hydrogen donor is used as a sensitizer, the content thereof is usually 300 parts by weight or less, preferably 200 parts by weight or less, based on 100 parts by weight of a photopolymerization initiator other than a biimidazole compound. The amount is preferably 100 parts by weight or less, but if the content is too small, it is difficult to obtain a sufficient effect. Therefore, the lower limit of the content is preferably 2 parts by weight, more preferably 5 parts by weight.

また、前記トリアジン系化合物の具体例としては、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン等のハロメチル基を有するトリアジン系化合物を挙げることができる。   Specific examples of the triazine compound include 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2 -(5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloro Methyl) -s-triazine, 2- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (3,4-dimethoxy) Phenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4- Triazine-based compounds having a halomethyl group such as xystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-n-butoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine Can be mentioned.

これらのトリアジン系化合物のうち、特に、2−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジンが好ましい。
前記トリアジン系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Of these triazine compounds, 2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine is particularly preferable.
The triazine compounds can be used alone or in admixture of two or more.

本発明において、光重合開始剤としてトリアジン系化合物を使用する場合の含有量は、(C)重合性化合物100重量部に対して、好ましくは0.01〜40重量部、さらに好ましくは1〜30重量部、特に好ましくは1〜20重量部である。この場合、トリアジン系化合物の含有量が0.01重量部未満であると、露光による硬化が不十分となり、着色層パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方40重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。   In the present invention, the content in the case of using a triazine compound as a photopolymerization initiator is preferably 0.01 to 40 parts by weight, more preferably 1 to 30 parts per 100 parts by weight of the polymerizable compound (C). Part by weight, particularly preferably 1 to 20 parts by weight. In this case, if the content of the triazine compound is less than 0.01 part by weight, curing by exposure becomes insufficient, and it may be difficult to obtain a color filter in which the colored layer pattern is arranged according to a predetermined arrangement. On the other hand, if it exceeds 40 parts by weight, the formed colored layer tends to be easily detached from the substrate during development.

また、O−アシルオキシム系化合物としては、例えば、1−〔4−(フェニルチオ)フェニル〕−オクタン−1,2−ジオン 2−(O−ベンゾイルオキシム)、1−〔9−エチル−6−ベンゾイル−9H−カルバゾール−3−イル〕−ノナン−1,2−ノナン−2−オキシム−O−ベンゾアート、1−〔9−エチル−6−ベンゾイル−9H−カルバゾール−3−イル〕−ノナン−1,2−ノナン−2−オキシム−O−アセタート、1−〔9−エチル−6−ベンゾイル−9H−カルバゾール−3−イル〕−ペンタン−1,2−ペンタン−2−オキシム−O−アセタート、1−〔9−エチル−6−ベンゾイル−9H−カルバゾール−3−イル〕−オクタン−1−オンオキシム−O−アセタート、1−〔9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−エタン−1−オンオキシム−O−ベンゾアート、1−〔9−エチル−6−(1,3,5−トリメチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−エタン−1−オンオキシム−O−ベンゾアート、1−〔9−ブチル−6−(2−エチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−エタン−1−オンオキシム−O−ベンゾアート、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−[9−エチル−6−[2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル]−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)等を挙げることができる。   Examples of the O-acyloxime compound include 1- [4- (phenylthio) phenyl] -octane-1,2-dione 2- (O-benzoyloxime), 1- [9-ethyl-6-benzoyl]. -9H-carbazol-3-yl] -nonane-1,2-nonane-2-oxime-O-benzoate, 1- [9-ethyl-6-benzoyl-9H-carbazol-3-yl] -nonane-1 , 2-nonane-2-oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6-benzoyl-9H-carbazol-3-yl] -pentane-1,2-pentane-2-oxime-O-acetate, 1 -[9-ethyl-6-benzoyl-9H-carbazol-3-yl] -octane-1-one oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-benzoate, 1- [9-ethyl-6- (1,3,5-trimethylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]- Ethan-1-one oxime-O-benzoate, 1- [9-butyl-6- (2-ethylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-benzoate, ethanone, 1 -[9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- [2-methyl- 4- (2,2-dimethyl-1,3-dioxolanyl) methoxybenzoyl] -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) and the like can be mentioned.

これらのO−アシルオキシム系化合物のうち、特に、1−〔4−(フェニルチオ)フェニル〕−オクタン−1,2−ジオン 2−(O−ベンゾイルオキシム)、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−[9−エチル−6−[2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル]−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)等が好ましい。
前記O−アシルオキシム系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Among these O-acyloxime compounds, in particular, 1- [4- (phenylthio) phenyl] -octane-1,2-dione 2- (O-benzoyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6 -(2-Methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- [2-methyl-4- (2,2- Dimethyl-1,3-dioxolanyl) methoxybenzoyl] -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) and the like are preferable.
The O-acyloxime compounds can be used alone or in admixture of two or more.

本発明において、光重合開始剤としてO−アシルオキシム系化合物を使用する場合の含有量は、(C)重合性化合物100重量部に対して、好ましくは0.01〜60重量部、さらに好ましくは1〜50重量部、特に好ましくは1〜40重量部である。この場合、O−アシルオキシム系化合物の含有量が0.01重量部未満であると、露光による硬化が不十分となり、着色層パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方60重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。   In the present invention, the content when using an O-acyloxime compound as a photopolymerization initiator is preferably 0.01 to 60 parts by weight, more preferably 100 parts by weight of the polymerizable compound (C). 1 to 50 parts by weight, particularly preferably 1 to 40 parts by weight. In this case, if the content of the O-acyloxime compound is less than 0.01 parts by weight, curing by exposure becomes insufficient, and it is difficult to obtain a color filter in which the colored layer pattern is arranged according to a predetermined arrangement. On the other hand, when the amount exceeds 60 parts by weight, the formed colored layer tends to be detached from the substrate during development.

−他の添加剤−
本発明の感放射線性組成物は、上記(A)〜(D)成分を含有するものであるが、必要に応じて他の添加剤をさらに含有することもできる。
前記他の添加剤としては、例えば、ガラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリ(フロオロアルキルアクリレート)類等の高分子化合物;ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤;ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤;マロン酸、アジピン酸、イタコン酸、シトラコン酸、フマル酸、メサコン酸等のアルカリ溶解性改善剤等を挙げることができる。
-Other additives-
Although the radiation sensitive composition of this invention contains the said (A)-(D) component, it can also contain another additive as needed.
Examples of the other additives include fillers such as glass and alumina; polymer compounds such as polyvinyl alcohol and poly (fluoroalkyl acrylates); nonionic surfactants, cationic surfactants, anionic interfaces Surfactants such as activators; vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2-amino Ethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyl Trimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldi Adhesion promoters such as toxisilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane; 2,2-thiobis (4-methyl-6-tert-butylphenol), Antioxidants such as 2,6-di-t-butylphenol; UV absorbers such as 2- (3-t-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole and alkoxybenzophenones; poly Anticoagulation agents such as sodium acrylate; alkali solubility improvers such as malonic acid, adipic acid, itaconic acid, citraconic acid, fumaric acid, and mesaconic acid.

溶媒
本発明の感放射線性組成物は、前記(A)〜(D)成分、および任意的に加えられる他の添加剤を含有するものであるが、通常、溶媒を配合して液状組成物として調製される。
前記溶媒としては、感放射線性組成物を構成する(A)〜(D)成分や他の添加剤成分を分散または溶解し、かつこれらの成分と反応せず、適度の揮発性を有するものである限り、適宜に選択して使用することができる。
Solvent The radiation-sensitive composition of the present invention contains the components (A) to (D) and other additives that are optionally added. Usually, a solvent is added as a liquid composition. Prepared.
As the solvent, components (A) to (D) constituting the radiation-sensitive composition and other additive components are dispersed or dissolved, and do not react with these components and have appropriate volatility. As long as it is, it can be selected and used as appropriate.

このような溶媒としては、例えば、
メタノール、エタノール、ベンジルアルコール等のアルコール類;
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテル類;
As such a solvent, for example,
Alcohols such as methanol, ethanol, benzyl alcohol;
Ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-propyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono-n-propyl ether, diethylene glycol mono-n- Butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol mono-n-propyl ether, di Propylene glycol mono- - butyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol (poly) alkylene glycol monoalkyl ethers such as monoethyl ether;

エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノ−n−プロピルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類;
メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、ジアセトンアルコール(4−ヒドロキシ−4−メチルペンタン−2−オン)、4−ヒドロキシ−4−メチルヘキサン−2−オン等のケトン類;
Ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol mono-n-propyl ether acetate, ethylene glycol mono-n-butyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol mono-n-propyl ether (Poly) alkylene glycol monoalkyl ether acetates such as acetate, diethylene glycol mono-n-butyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate;
Other ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, tetrahydrofuran;
Ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone, diacetone alcohol (4-hydroxy-4-methylpentan-2-one), 4-hydroxy-4-methylhexane-2-one;

プロピレングリコールジアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、1,6−ヘキサンジオールジアセテート等のジアセテート類;
乳酸メチル、乳酸エチル等の乳酸アルキルエステル類;
酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸i−プロピル、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−ペンチル、酢酸i−ペンチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、プロピオン酸n−ブチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、酪酸エチル、酪酸n−プロピル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチル、ヒドロキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチル酪酸メチル、2−オキソ酪酸酸エチル等の他のエステル類;
トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;
N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド等のアミド類
等を挙げることができる。
Diacetates such as propylene glycol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate, 1,6-hexanediol diacetate;
Lactic acid alkyl esters such as methyl lactate and ethyl lactate;
Ethyl acetate, n-propyl acetate, i-propyl acetate, n-butyl acetate, i-butyl acetate, n-pentyl formate, i-pentyl acetate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, N-butyl propionate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutylpropionate, ethyl butyrate, n-propyl butyrate, i-propyl butyrate, n-butyl butyrate, ethyl hydroxyacetate, ethyl ethoxyacetate, Methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, n-propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, Ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, 2 Hydroxy-3-methyl-butyric acid methyl, other esters such as ethyl 2-oxo-butyric acid;
Aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene;
Examples thereof include amides such as N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, and N, N-dimethylacetamide.

これらの溶媒のうち、溶解性、顔料分散性、塗布性等の観点から、ベンジルアルコール、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、プロピレングリコールジアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−ペンチル、酢酸i−ペンチル、3−メトキシブチルアセテート、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、ピルビン酸エチル等が好ましい。
前記溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Among these solvents, benzyl alcohol, ethylene glycol mono-n-butyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol from the viewpoints of solubility, pigment dispersibility, coatability, etc. Mono-n-butyl ether acetate, diethylene glycol mono-n-butyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone, propylene glycol diacetate 1,3-butylene glycol diacetate, N-butyl acid, i-butyl acetate, n-pentyl formate, i-pentyl acetate, 3-methoxybutyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, i-propyl butyrate, n-butyl butyrate, 3-methoxypropion Ethyl acid, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutylpropionate, ethyl pyruvate and the like are preferable.
The said solvent can be used individually or in mixture of 2 or more types.

さらに、前記溶媒と共に、ベンジルエチルエーテル、ジ−n−ヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノール、1−ノナノール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、しゅう酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート等の高沸点溶媒を併用することもできる。
前記高沸点溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Further, together with the solvent, benzyl ethyl ether, di-n-hexyl ether, acetonyl acetone, isophorone, caproic acid, caprylic acid, 1-octanol, 1-nonanol, benzyl acetate, ethyl benzoate, diethyl oxalate, maleic acid A high boiling point solvent such as diethyl, γ-butyrolactone, ethylene carbonate, propylene carbonate, ethylene glycol monophenyl ether acetate may be used in combination.
The high boiling point solvents can be used alone or in admixture of two or more.

溶媒の含有量は、特に限定されるものではないが、得られる感放射線性組成物の塗布性、保存安定性等の観点から、当該組成物の溶媒を除いた各成分の合計濃度が、好ましくは、5〜50重量%、さらに好ましくは10〜40重量%となる量が望ましい。   The content of the solvent is not particularly limited, but the total concentration of each component excluding the solvent of the composition is preferable from the viewpoints of applicability, storage stability, and the like of the resulting radiation-sensitive composition. Is preferably 5 to 50% by weight, more preferably 10 to 40% by weight.

カラーフィルタの形成方法
次に、本発明の感放射線性組成物を用いて、本発明のカラーフィルタを形成する方法について説明する。
カラーフィルタを形成する方法は、通常、少なくとも下記(1)〜(4)の工程を含んでいる。
(1)基板上に本発明の感放射線性組成物の塗膜を形成する工程。
(2)前記塗膜の少なくとも一部に露光する工程。
(3)露光後の塗膜を現像する工程。
(4)現像後の塗膜をポストベークする工程。
以下、これらの工程について順次説明する。
Method of forming a color filter Then, using a radiation-sensitive composition of the present invention, a method for forming a color filter of the present invention.
The method for forming a color filter usually includes at least the following steps (1) to (4).
(1) The process of forming the coating film of the radiation sensitive composition of this invention on a board | substrate.
(2) A step of exposing at least a part of the coating film.
(3) The process of developing the coating film after exposure.
(4) A step of post-baking the developed coating film.
Hereinafter, these steps will be sequentially described.

−(1)工程−
先ず、基板の表面上に、必要に応じて、画素を形成する部分を区画するように遮光層(ブラックマトリックス)を形成して、この基板上に、例えば、赤色の(A)着色剤を含有する本発明の感放射線性組成物を、通常、液状組成物として塗布したのち、プレベークして溶媒を蒸発除去することにより、塗膜を形成する。
この工程で使用される基板としては、例えば、ガラス、シリコン、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリエーテルスルホンのほか、環状オレフィンの開環重合体やその水素添加物等を挙げることができる。
また、これらの基板には、所望により、シランカップリング剤等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理を施しておくこともできる。
液状組成物を基板に塗布する際には、回転塗布法、流延塗布法、ロール塗布法、スリットダイコーターを用いる塗布法等の適宜の塗布法を採用することができるが、回転塗布法、スリットダイコーターを用いる塗布法が好ましい。
プレベークの条件は、通常、70〜110℃で2〜4分程度である。
塗布厚さは、溶媒除去後の膜厚として、通常、1.0〜10μm、好ましくは1.0〜6.0μm、特に好ましくは1.0〜4.0μmである。
-(1) Process-
First, on the surface of the substrate, if necessary, a light shielding layer (black matrix) is formed so as to partition a portion for forming a pixel, and, for example, a red (A) colorant is contained on the substrate. The radiation-sensitive composition of the present invention is usually applied as a liquid composition, and then pre-baked to remove the solvent by evaporation to form a coating film.
Examples of the substrate used in this step include glass, silicon, polycarbonate, polyester, aromatic polyamide, polyamideimide, polyimide, polyethersulfone, cyclic olefin ring-opening polymer, and hydrogenated products thereof. be able to.
In addition, these substrates may be subjected to appropriate pretreatment such as chemical treatment with a silane coupling agent or the like, plasma treatment, ion plating, sputtering, gas phase reaction method, vacuum deposition, etc., if desired.
When applying the liquid composition to the substrate, an appropriate coating method such as a spin coating method, a casting coating method, a roll coating method, or a coating method using a slit die coater can be employed. A coating method using a slit die coater is preferred.
The prebaking condition is usually about 2 to 4 minutes at 70 to 110 ° C.
The coating thickness is usually 1.0 to 10 μm, preferably 1.0 to 6.0 μm, particularly preferably 1.0 to 4.0 μm as the film thickness after removal of the solvent.

−(2)工程−
その後、形成された塗膜の少なくとも一部に露光する。この場合、塗膜の一部に露光する際には、通常、所定のパターンを有するフォトマスクを介して露光する。
露光に使用される放射線としては、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用することができるが、波長が190〜450nmの範囲にある放射線が好ましい。
放射線の露光量は、通常、10〜10,000J/m2 である。本発明の感放射線性組成物は、500J/m2 未満の露光量でも十分な現像耐性を有する。
-(2) Process-
Thereafter, at least a part of the formed coating film is exposed. In this case, when exposing to a part of coating film, it exposes normally through the photomask which has a predetermined pattern.
As the radiation used for the exposure, for example, visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, X-ray or the like can be used, and radiation having a wavelength in the range of 190 to 450 nm is preferable.
Exposure of the radiation is usually 10~10,000J / m 2. The radiation-sensitive composition of the present invention has sufficient development resistance even with an exposure dose of less than 500 J / m 2 .

−(3)工程−
その後、現像液、好ましくはアルカリ現像液を用いて現像して、塗膜の未露光部を溶解除去する。
前記アルカリ現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、コリン、1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ−[4.3.0]−5−ノネン等の水溶液が好ましい。
前記アルカリ現像液には、例えばメタノール、エタノール等の水溶性有機溶剤や界面活性剤等を適量添加することもできる。なお、アルカリ現像後は、通常、水洗する。
現像処理法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現像法等を適用することができる。
現像条件は、常温で10〜300秒程度が好ましい。
-(3) Process-
Then, it develops using a developing solution, Preferably an alkaline developing solution, The unexposed part of a coating film is dissolved and removed.
Examples of the alkali developer include sodium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, tetramethylammonium hydroxide, choline, 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene, 1,5- An aqueous solution of diazabicyclo- [4.3.0] -5-nonene is preferred.
An appropriate amount of a water-soluble organic solvent such as methanol or ethanol, a surfactant, or the like can be added to the alkaline developer. In addition, it is usually washed with water after alkali development.
As a development processing method, a shower development method, a spray development method, a dip (immersion) development method, a paddle (liquid accumulation) development method, or the like can be applied.
The development conditions are preferably about 10 to 300 seconds at room temperature.

−(4)工程−
その後、現像後の塗膜をポストベークすることにより、感放射線性組成物の硬化物からなる赤色の画素パターンが所定の配列で配置された基板を得ることができる。
ポストベークの条件は、180〜230℃で20〜40分程度が好ましい。
このようにして形成された画素の膜厚は、通常、0.5〜5.0μm、好ましくは1.0〜3.0μmである。
-(4) Process-
Thereafter, a post-baked coating film after development can provide a substrate on which red pixel patterns made of a cured product of the radiation-sensitive composition are arranged in a predetermined arrangement.
The post-baking conditions are preferably 180 to 230 ° C. and about 20 to 40 minutes.
The film thickness of the pixel thus formed is usually 0.5 to 5.0 μm, preferably 1.0 to 3.0 μm.

また、緑色の(A)着色剤を含有する緑色感放射線性組成物を用いて、前記(1)〜(4)工程を繰り返すことにより、緑色の画素パターンを同一基板上に形成し、さらに青色の(A)着色剤を含有する青色感放射線性組成物を用いて、前記(1)〜(4)工程を繰り返すことにより、青色の画素パターンを同一基板上に形成することによって、赤色、緑色および青色の三原色の画素パターンが所定の配列で配置された画素アレイを基板上に形成することができる。但し、各色の画素パターンの形成順は任意に選択することができる。
黒色の(A)着色剤を含有する緑色感放射線性組成物を用いて、前記(1)〜(4)工程を行うにより、ブラックマトリックスを形成することができる。
Moreover, a green pixel pattern is formed on the same board | substrate by repeating the said (1)-(4) process using the green radiation sensitive composition containing a green (A) coloring agent, and also blue. (A) Using the blue radiation-sensitive composition containing the colorant, the steps (1) to (4) are repeated to form a blue pixel pattern on the same substrate, whereby red, green A pixel array in which pixel patterns of three primary colors of blue and blue are arranged in a predetermined arrangement can be formed on the substrate. However, the order of forming the pixel patterns of the respective colors can be arbitrarily selected.
A black matrix can be formed by performing the steps (1) to (4) using a green radiation-sensitive composition containing a black colorant (A).

カラーフィルタ
本発明のカラーフィルタは、本発明の着色層形成用感放射線性組成物から形成された画素および/またはブラックマトリックスを有するものである。
本発明のカラーフィルタは、TVを代表とする色再現領域の広い液晶ディスプレイ用途に対し極めて有用である。
Color Filter The color filter of the present invention has a pixel and / or a black matrix formed from the radiation-sensitive composition for forming a colored layer of the present invention.
The color filter of the present invention is extremely useful for a liquid crystal display application having a wide color reproduction region represented by TV.

カラー液晶表示素子
本発明のカラー液晶表示素子は、本発明のカラーフィルタを具備するものである。
本発明のカラー液晶表示素子は、適宜の構造をとることができる。例えば、カラーフィルタを、薄膜トランジスター(TFT)が配置された駆動用基板とは別の基板上に形成して、駆動用基板とカラーフィルタを形成した基板とが、液晶層を介して対向した構造をとることができ、さらに薄膜トランジスター(TFT)が配置された駆動用基板の表面上にカラーフィルタを形成した基板と、ITO(錫をドープした酸化インジュウム)電極を形成した基板とが、液晶層を介して対向した構造をとることもできる。後者の構造は、開口率を格段に向上させることができ、明るく高精細な液晶表示素子が得られるという利点を有する。
Color liquid crystal display element The color liquid crystal display element of the present invention comprises the color filter of the present invention.
The color liquid crystal display element of the present invention can have an appropriate structure. For example, the color filter is formed on a substrate different from the driving substrate on which the thin film transistor (TFT) is arranged, and the driving substrate and the substrate on which the color filter is formed are opposed to each other with a liquid crystal layer interposed therebetween. In addition, a substrate in which a color filter is formed on the surface of a driving substrate on which a thin film transistor (TFT) is disposed, and a substrate in which an ITO (indium oxide doped with tin) electrode is formed are a liquid crystal layer. It is also possible to adopt a structure that is opposed to each other. The latter structure has the advantage that the aperture ratio can be remarkably improved, and a bright and high-definition liquid crystal display element can be obtained.

以下、実施例を挙げて、本発明の実施の形態をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、下記実施例に限定されるものではない。
(A)顔料分散液の調製
調製例1
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン58(大日本インキ化学工業株式会社製)を9重量部、C.I.ピグメントイエロー150を6重量部、分散剤としてDisperbyk−2001(ビックケミー(BYK)社製)を5重量部(固形分換算)、溶媒として3−メトキシブチルアセテートを80重量部、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(−1)を調製した。
Hereinafter, the embodiment of the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples.
(A) Preparation of pigment dispersion Preparation Example 1
(A) C.I. I. Pigment Green 58 (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.) 9 parts by weight, C.I. I. 6 parts by weight of Pigment Yellow 150, 5 parts by weight of Disperbyk-2001 (produced by BYK) as a dispersant (solid content conversion), 80 parts by weight of 3-methoxybutyl acetate as a solvent, mixed for 12 hours by a bead mill Dispersion was performed to prepare a pigment dispersion ( A- 1).

調製例2
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン36を9重量部、C.I.ピグメントイエロー150を6重量部、分散剤としてDisperbyk−2001(ビックケミー(BYK)社製)を5重量部(固形分換算)、溶媒として3−メトキシブチルアセテートを固形分濃度が20%となるよう用いて、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(−2)を調製した。
Preparation Example 2
(A) C.I. I. 9 parts by weight of CI Pigment Green 36, C.I. I. 6 parts by weight of Pigment Yellow 150, 5 parts by weight of Disperbyk-2001 (manufactured by BYK) as a dispersant (in terms of solid content), and 3-methoxybutyl acetate as a solvent to a solid content concentration of 20% The mixture was dispersed and dispersed for 12 hours by a bead mill to prepare a pigment dispersion ( A- 2).

調製例3
(A)着色剤としてC.I.ピグメントレッド254(チバスペシャリティケミカルズ社製、商品名BK−CF)を15重量部、分散剤としてソルスパース76500(ルーブリゾール(株)社製)を5重量部(固形分換算)、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを固形分濃度が20%となるよう用いて、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(−3)を調製した。
Preparation Example 3
(A) C.I. I. Pigment Red 254 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals, trade name BK-CF), 15 parts by weight of Solsperse 76500 (manufactured by Lubrizol Co., Ltd.) as a dispersant (solid content conversion), and propylene glycol monomethyl as a solvent A pigment dispersion ( A- 3) was prepared by mixing and dispersing ether acetate in a bead mill for 12 hours using a solid content of 20%.

調製例4
(A)着色剤としてカーボンブラックを20重量部、分散剤としてEFKA4046(チバスペシャリティケミカルズ社製)を4重量部(固形分換算)、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを固形分が24%となるように用いて、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(−4)を調製した。
Preparation Example 4
(A) 20 parts by weight of carbon black as a colorant, 4 parts by weight (converted to solids) of EFKA4046 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals) as a dispersant, and 24% solids of propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent The pigment dispersion ( A- 4) was prepared by mixing and dispersing for 12 hours using a bead mill.

(B)アルカリ可溶性樹脂の合成
合成例1
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル2重量部およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200重量部を仕込み、引き続きメタクリル酸15重量部、N−フェニルマレイミド20重量部、ベンジルメタクリレート55重量部、スチレン10重量部および分子量調節剤として2,4−ジフェニル−4−メチル−1−ペンテン(日本油脂(株)製、商品名:ノフマーMSD)3重量部を仕込んで、窒素置換した。その後ゆるやかに撹拌して、反応溶液の温度を80℃に上昇させ、この温度を5時間保持して重合することにより、樹脂溶液(固形分濃度=33.3重量%)を得た。得られた樹脂は、Mw=16,000、Mn=7,000であった。この樹脂溶液を「樹脂溶液(B−1)」とする。
(B) Synthesis of alkali-soluble resin Synthesis Example 1
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 2 parts by weight of 2,2′-azobisisobutyronitrile and 200 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate, followed by 15 parts by weight of methacrylic acid and 20 parts by weight of N-phenylmaleimide. , 55 parts by weight of benzyl methacrylate, 10 parts by weight of styrene, and 3 parts by weight of 2,4-diphenyl-4-methyl-1-pentene (manufactured by NOF Corporation, NOFMER MSD) as a molecular weight regulator, Replaced with nitrogen. Thereafter, the mixture was gently stirred to raise the temperature of the reaction solution to 80 ° C., and this temperature was maintained for 5 hours for polymerization to obtain a resin solution (solid content concentration = 33.3% by weight). The obtained resin was Mw = 16,000 and Mn = 7,000. This resin solution is referred to as “resin solution (B-1)”.

実施例1
(A)着色剤として顔料分散液(−1)100重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂として樹脂溶液(B−1)5重量部(固形分換算)、(C)重合性化合物としてデンドリチックアクリレートであるビスコート#1000(大阪有機化学工業株式会社製)15重量部、(D)光重合開始剤として2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン3重量部と4,4'−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン1重量部、および溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを混合して、固形分濃度25%の液状組成物(S−1)を調製した。組成を表1に示す。
液状組成物(S−1)について、下記の手順にしたがって、画素パターンを形成して評価を行った。評価結果を表2に示す。
Example 1
(A) 100 parts by weight of a pigment dispersion ( A- 1) as a colorant, (B) 5 parts by weight (in terms of solid content) of a resin solution (B-1) as an alkali-soluble resin, and (C) a dendritic compound as a polymerizable compound 15 parts by weight of biscoat # 1000 (Osaka Organic Chemical Co., Ltd.), which is a tic acrylate, and (D) 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butane-1- as a photopolymerization initiator 3 parts by weight of ON, 1 part by weight of 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone and propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent were mixed to prepare a liquid composition (S-1) having a solid concentration of 25%. The composition is shown in Table 1.
The liquid composition (S-1) was evaluated by forming a pixel pattern according to the following procedure. The evaluation results are shown in Table 2.

パターンの形成
液状組成物(S−1)を、表面にナトリウムイオンの溶出を防止するSiO2 膜が形成されたソーダガラス基板上に、スピンコーターを用いて塗布したのち、90℃のホットプレートで4分間プレベークを行って、プレベーク後の膜厚が2.5μmとなる5枚の塗膜を形成した。
次いで、これらの基板を室温に冷却したのち、高圧水銀ランプを用い、フォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を100、200、300、500、800J/m2の露光量で露光した。その後、これらの基板に対して23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液を現像圧1kgf/cm2 (ノズル径1mm)で吐出することにより、シャワー現像を行ったのち、さらに220℃で30分間ポストベークを行って、基板上に200×200μmのドットパターンを形成した。
Pattern formation The liquid composition (S-1) was applied on a soda glass substrate on which a SiO2 film for preventing elution of sodium ions on the surface was formed using a spin coater, and then applied on a hot plate at 90 ° C. Pre-baking was performed for 5 minutes to form five coating films having a film thickness after pre-baking of 2.5 μm.
Next, after cooling these substrates to room temperature, radiation containing 365 nm, 405 nm, and 436 nm was applied to the coating film through a photomask using a high-pressure mercury lamp at 100, 200, 300, 500, 800 J / m. The exposure amount was 2 . Thereafter, after developing a developing solution composed of a 0.04 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. at a developing pressure of 1 kgf / cm 2 (nozzle diameter 1 mm) on these substrates, Post-baking was performed at 220 ° C. for 30 minutes to form a 200 × 200 μm dot pattern on the substrate.

感度の評価
上記パターンの形成において、ドットパターンの現像前後での膜厚比(現像後の膜厚×100/現像前の膜厚)が95%以上である場合を○、現像前後での膜厚比が95%未満であるか、あるいはドットパターンの一部に欠けが認められる場合を△、現像後にパターンが全て基板から剥がれる場合を×、として評価した。
Evaluation of sensitivity In the formation of the above pattern, when the film thickness ratio before and after the development of the dot pattern (film thickness after development × 100 / film thickness before development) is 95% or more, ○, before and after development When the film thickness ratio was less than 95% or chipping was found in a part of the dot pattern, Δ was evaluated, and when the pattern was completely peeled off from the substrate after development, the evaluation was ×.

耐溶剤性評価
上記パターンの形成において800J/m2の露光量でドットパターンを形成した基板を、60℃のN−メチルピロリドンに30分間浸漬した。その結果、浸漬後にドットパターンが保持されており且つ浸漬後のN−メチルピロリドンが全く着色しなかった場合を○、浸漬後にドットパターンは保持されているものの浸漬後のN−メチルピロリドンが若干着色した場合を△、浸漬後に基板から剥離するドットパターンが観察されると共に浸漬後のN−メチルピロリドンが着色した場合を×、として評価した。
Evaluation of Solvent Resistance A substrate on which a dot pattern was formed at an exposure amount of 800 J / m 2 in the formation of the above pattern was immersed in N-methylpyrrolidone at 60 ° C. for 30 minutes. As a result, the case where the dot pattern was retained after immersion and the N-methylpyrrolidone after immersion was not colored at all; the dot pattern was retained after immersion, but the N-methylpyrrolidone after immersion was slightly colored The case was evaluated as Δ, and the case where the dot pattern peeled off from the substrate after immersion was observed and the N-methylpyrrolidone after immersion was colored as x.

実施例2〜14および比較例1〜7
実施例1において、表1に示すように各成分の種類および含有量を変更した以外は実施例1と同様にして、液状組成物(S−2)〜(S−21)を調製した。組成を表1に示す。
次いで、液状組成物(S−1)に代えてそれぞれ液状組成物(S−2)〜(S−21)を用いた以外は、実施例1と同様にして各種評価を行った。評価結果を表2に示す。
Examples 2-14 and Comparative Examples 1-7
In Example 1, liquid compositions (S-2) to (S-21) were prepared in the same manner as in Example 1 except that the types and contents of the components were changed as shown in Table 1. The composition is shown in Table 1.
Next, various evaluations were performed in the same manner as in Example 1 except that the liquid compositions (S-2) to (S-21) were used instead of the liquid composition (S-1). The evaluation results are shown in Table 2.

Figure 0005663823
Figure 0005663823

表1において、各成分は下記のとおりである。
C−1:ビスコート#1000(デンドリチックアクリレート、大阪有機化学工業株式会社製)
C−2:ビスコート#1020(デンドリチックアクリレート、大阪有機化学工業株式会社製)
C−3:CN2300(ハイパーブランチアクリレート、サートマージャパン製)
C−4:CN2302(ハイパーブランチアクリレート、サートマージャパン製)
C−5:M−402(ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物、東亞合成株式会社製)
C−6:TO−2325(分子内にカルボキシル基2個およびエチレン性不飽和基10個を含有、東亞合成株式会社製)
D−1:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン(商品名イルガキュア369、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製)
D−2:エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)(商品名IRGACURE OX02、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製)
D−3:4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
In Table 1, each component is as follows.
C-1: Biscote # 1000 (dendritic acrylate, manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.)
C-2: Biscote # 1020 (dendritic acrylate, manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.)
C-3: CN2300 (Hyperbranch acrylate, manufactured by Sartomer Japan)
C-4: CN2302 (Hyperbranch acrylate, manufactured by Sartomer Japan)
C-5: M-402 (mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate, manufactured by Toagosei Co., Ltd.)
C-6: TO-2325 (contains 2 carboxyl groups and 10 ethylenically unsaturated groups in the molecule, manufactured by Toagosei Co., Ltd.)
D-1: 2-Benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one (trade name Irgacure 369, manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
D-2: Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) (trade name IRGACURE OX02, Ciba Specialty・ Made by Chemicals
D-3: 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone

Figure 0005663823
Figure 0005663823

表2から、重合性化合物として末端部位にアクリレート単位を有するデンドリマーまたはハイパーブランチポリマーを導入することにより、500J/m2 未満の露光量でも十分な現像耐性を有する感放射線性組成物が得られることがわかる。また、特に、着色剤としてC.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントグリーン58またはカーボンブラックを含有する感放射線性組成物において、耐溶剤性が顕著に向上していることがわかる。 From Table 2, by introducing a dendrimer or hyperbranched polymer having an acrylate unit at the terminal site as a polymerizable compound, a radiation-sensitive composition having sufficient development resistance can be obtained even with an exposure amount of less than 500 J / m 2. I understand. In particular, C.I. I. Pigment red 254, C.I. I. It can be seen that the solvent resistance of the radiation-sensitive composition containing CI Pigment Green 58 or carbon black is remarkably improved.

Claims (3)

(A)C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントグリーン58およびカーボンブラックよりなる群から選ばれる少なくとも1種の着色剤と、(B)アルカリ可溶性樹脂と、(C)2つ以上の重合性反応基を末端に有するデンドリマーおよびハイパーブランチポリマーよりなる群から選ばれる少なくとも1種の重合性化合物と、(D)光重合開始剤とを含有する着色層形成用感放射線性組成物であって、前記デンドリマーおよびハイパーブランチポリマーが、分岐鎖を有するコア部、該コア部の分岐鎖部に結合した分岐鎖単位、および該分岐鎖単位に結合した末端部位を有し、前記コア部が、式(1)
Figure 0005663823
(式中、矢印は分岐鎖単位との結合部位を示す。)
で表される構造であり、前記分岐鎖単位が、式(2)
Figure 0005663823
(式中、矢印は、コア部又は分岐鎖単位と結合する側を示し、nは1以上の整数を示す。)
で表される構造を有し、前記末端部位が(メタ)アクリロイル単位であることを特徴とする着色層形成用感放射線性組成物。
(A) C.I. I. Pigment red 254, C.I. I. At least one colorant selected from the group consisting of CI Pigment Green 58 and carbon black, (B) an alkali-soluble resin, and (C) a dendrimer and a hyperbranched polymer having two or more polymerizable reactive groups at its terminals. A radiation-sensitive composition for forming a colored layer containing at least one polymerizable compound selected from the group and (D) a photopolymerization initiator, wherein the dendrimer and the hyperbranched polymer have a branched chain. Part, a branched chain unit bonded to the branched chain part of the core part, and a terminal site bonded to the branched chain unit, wherein the core part has the formula (1)
Figure 0005663823
(In the formula, the arrow indicates the binding site with the branched chain unit.)
Wherein the branched chain unit is represented by the formula (2)
Figure 0005663823
(In the formula, the arrow indicates the side bonded to the core part or the branched chain unit, and n represents an integer of 1 or more.)
A radiation-sensitive composition for forming a colored layer, wherein the terminal site is a (meth) acryloyl unit.
請求項に記載の感放射線性組成物を用いて形成された着色層を備えてなるカラーフィルタ。 A color filter comprising a colored layer formed using the radiation-sensitive composition according to claim 1 . 請求項に記載のカラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子。 A color liquid crystal display device comprising the color filter according to claim 2 .
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