JP4894348B2 - Flexible optical waveguide and manufacturing method thereof - Google Patents
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Description
本発明は、屈曲性や強靭性、さらに生産性に優れたフレキシブル光導波路及びその製造方法に関するものである。 The present invention relates to a flexible optical waveguide excellent in flexibility, toughness, and productivity, and a method for manufacturing the same.
電子素子間や配線基板間の高速・高密度信号伝送において、従来の電気配線による伝送では、信号の相互干渉や減衰が障壁となり、高速・高密度化の限界が見え始めている。これを打ち破るため電子素子間や配線基板間を光で接続する技術、いわゆる光インタコネクションが検討されている。光路としては、素子や基板との結合の容易さ、取り扱い易さの観点から、柔軟性を備えたフレキシブル光導波路が好適と考えられる。
フレキシブル光導波路として、例えば特許文献１や特許文献２に高分子フィルム光導波路が提案されている。特許文献１における、高分子フィルムは、まずシリコン等の基板上に高分子の溶液等をスピンコート、ベークにより下部クラッド層を形成する。次いで、同様の方法によってコア層を形成後、Ｓｉ含有ホトレジスト等でマスクパターンを形成し、ドライエッチングによってコアパターンを形成した後、下部クラッド層を形成した方法と同様の方法によって上部クラッド層を形成する。最後に基板から光導波路を剥がすことによってフィルム化した光導波路を作製している。このフィルム化した光導波路の製造方法においては、特に光導波路を剥がし易くするために、基板として熱酸化したシリコン基板を用い、光導波路形成後、フッ酸に浸漬することにより剥離する方法を示している。このフィルム光導波路では、上述のように下部クラッド、コア、上部クラッドの各層をスピンコート及びベークによって形成している。
In high-speed and high-density signal transmission between electronic devices and between wiring boards, signal transmission interference and attenuation become barriers in conventional transmission using electric wiring, and the limits of high-speed and high-density are beginning to appear. In order to overcome this problem, a technique for optically connecting electronic elements and wiring boards, so-called optical interconnection, has been studied. As the optical path, a flexible optical waveguide having flexibility is considered preferable from the viewpoints of ease of coupling with elements and substrates and ease of handling.
As flexible optical waveguides, for example,
しかしながら、上記方法では各層の形成に時間がかかるとともに、液状の材料を基板上に塗布し製膜する方法を用いて光導波路を作製するため、膜厚管理が煩雑であり、しかも基板上に塗布した樹脂が、硬化前は液状であるため、基板上で樹脂が流れてしまい、膜厚の均一性を保つことが困難であるなど、材料形態が液状であることに起因した課題があった。また、シリコンを基板に用いていることから１０ｃｍ以上のサイズの光導波路を大量に製造するには向かない。さらに、上記製造方法に高真空プロセスであるドライエッチング工程を有しており、コア層が厚いマルチモード光導波路を作製するためには、非常に長い時間ドライエッチングを行う必要がある。 However, in the above method, it takes time to form each layer, and since the optical waveguide is produced using a method in which a liquid material is applied on the substrate and formed into a film, the film thickness management is complicated, and the coating is performed on the substrate. However, since the resin was in a liquid state before curing, the resin flowed on the substrate, and it was difficult to maintain the uniformity of the film thickness, resulting in problems due to the liquid material form. Further, since silicon is used for the substrate, it is not suitable for manufacturing a large number of optical waveguides having a size of 10 cm or more. Further, the above manufacturing method includes a dry etching process which is a high vacuum process, and in order to produce a multimode optical waveguide having a thick core layer, it is necessary to perform dry etching for a very long time.
また、特許文献２に開示される製造方法では、凸型金型上に下部クラッドを形成し、この下部クラッドの上に銅が表面に蒸着された基板を接着する。続いて金型を除去し、金型の凸部跡にできた溝にコアを充填し、さらにコアを覆うように上部クラッドを形成する。最後に蒸着された銅を溶かし基板を除去してフレキシブル光導波路を得る。この製造方法においては、金型を利用するために、金型が高価なことや大面積化が困難なことが課題である。
In the manufacturing method disclosed in
本発明は、上記問題点に鑑み、高い屈曲性や強靭性を有し、しかも生産性に優れるフレキシブル光導波路及びその製造方法を提供することを目的とする。 An object of this invention is to provide the flexible optical waveguide which has high flexibility and toughness, and is excellent in productivity, and its manufacturing method in view of the said problem.
本発明者らは、鋭意検討を重ねた結果、下記に記載の構成又は方法により、上記課題を解決し得ることを見出した。すなわち、本発明は、
（１）第１のクラッド層形成用樹脂とポリエチレンテレフタレートフィルム又はポリアミドフィルムである第１の基材フィルムを有する第１のクラッド層形成用樹脂フィルムと、
コア層と基材とを有するコア層形成用樹脂フィルムと、
第２のクラッド層形成用樹脂とポリエチレンテレフタレートフィルム又はポリアミドフィルムである第２の基材フィルムとを有する第２のクラッド層形成用樹脂フィルムと、
を用いて作製される、
上部クラッド層と、下部クラッド層と、前記上部クラッド層と前記下部クラッド層との間に埋め込まれたコアパターンとを有するフレキシブル光導波路の製造方法であって、
前記第１のクラッド層形成用樹脂を光硬化させて、前記第１のクラッド層形成樹脂フィルムに前記下部クラッド層を形成する工程と、
前記下部クラッド層上に、前記コア層形成用樹脂フィルムをラミネートして、前記下部クラッド層上に前記コア層を積層する工程と、
前記コア層形成用樹脂フィルムの前記基材上からネガマスクパターンを通して活性光線を画像状に前記コア層に照射させる工程と、
前記コア層形成用樹脂フィルムの前記基材を前記コア層から剥離させる工程と、
前記コア層を現像させて、前記下部クラッド層に前記コアパターンを形成する工程と、
前記第２のクラッド層形成用樹脂が前記コアパターン側になるように、前記第２のクラッド層形成用樹脂フィルムを前記コア層上にラミネートして、前記第２のクラッド層形成用樹脂を前記コアパターンに埋め込む工程と、
前記第２の基材フィルム上から活性光線を照射し前記第２のクラッド層形成用樹脂を光硬化させて、前記上部クラッド層を形成する工程と、
を備える、フレキシブル光導波路の製造方法。
（２）（１）に記載の製造方法で製造されるフレキシブル光導波路であって、
前記第１のクラッド層形成用樹脂フィルムは、前記第１のクラッド層形成用樹脂と、前記第１の基材フィルムとを有し、前記第１のクラッド層形成用樹脂を前記第１の基材フィルムに塗布し、溶剤乾燥させたものであり、
前記下部クラッド層は、前記第１のクラッド層形成用樹脂を硬化させたもので、
前記コアパターンは、前記コア層形成用樹脂フィルムによって形成され、
前記上部クラッド層は、前記上部クラッド層と前記下部クラッド層との間に前記コアパターンが埋め込まれるように、前記下部クラッド層に積層されており、
前記第１の基材フィルムは、前記下部クラッド層において、前記コアパターンとは反対側である前記下部クラッド層の外側に配置されている、フレキシブル光導波路。
（３）前記第１の基材フィルムの最大伸び率が１０〜３００％であり、かつ、前記第１の基材フィルムの厚さが５〜２５０μｍである（２）に記載のフレキシブル光導波路、
（４）前記第２の基材フィルムの最大伸び率が１０〜３００％であり、かつ、前記第２の基材フィルムの厚さが５〜２５０μｍである（２）又は（３）に記載のフレキシブル光導波路、である。
As a result of intensive studies, the present inventors have found that the above-described problems can be solved by the configuration or method described below. That is, the present invention
(1) a first clad layer-forming resin film having a first clad layer-forming resin and a first base film that is a polyethylene terephthalate film or a polyamide film;
A core layer-forming resin film having a core layer and a substrate;
A second clad layer-forming resin film comprising a second clad layer-forming resin and a second base film that is a polyethylene terephthalate film or a polyamide film;
Made using
A method of manufacturing a flexible optical waveguide having an upper cladding layer, a lower cladding layer, and a core pattern embedded between the upper cladding layer and the lower cladding layer,
Photocuring the first cladding layer forming resin to form the lower cladding layer on the first cladding layer forming resin film;
Laminating the core layer-forming resin film on the lower clad layer, and laminating the core layer on the lower clad layer;
Irradiating the core layer in an image form with an active ray through a negative mask pattern from the base material of the core layer forming resin film; and
Peeling the base material of the core layer-forming resin film from the core layer;
Developing the core layer to form the core pattern in the lower cladding layer;
The second cladding layer forming resin film is laminated on the core layer so that the second cladding layer forming resin is on the core pattern side, and the second cladding layer forming resin is Embedding in the core pattern;
Irradiating an actinic ray from the second base film to photocuring the second clad layer forming resin to form the upper clad layer;
A method for manufacturing a flexible optical waveguide.
(2) A flexible optical waveguide manufactured by the manufacturing method according to (1),
The first clad layer forming resin film includes the first clad layer forming resin and the first base film, and the first clad layer forming resin is used as the first base film. It is applied to a material film and dried with a solvent.
The lower clad layer is obtained by curing the first clad layer forming resin,
The core pattern is formed by the core layer forming resin film,
The upper clad layer is laminated on the lower clad layer so that the core pattern is embedded between the upper clad layer and the lower clad layer,
The flexible optical waveguide, wherein the first base film is disposed on the outer side of the lower clad layer on the opposite side to the core pattern in the lower clad layer.
(3) The flexible optical waveguide according to (2), wherein the maximum elongation of the first base film is 10 to 300%, and the thickness of the first base film is 5 to 250 μm.
(4) The maximum elongation percentage of the second base film is 10 to 300%, and the thickness of the second base film is 5 to 250 μm. (2) or (3) A flexible optical waveguide.
本発明によれば、高い屈曲性、強靭性を有し、かつ、取扱易く、生産性に優れるフレキシブル光導波路及びその製造方法を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a flexible optical waveguide having high flexibility and toughness, being easy to handle, and excellent in productivity, and a method for manufacturing the same.
本発明のフレキシブル光導波路は、高屈折率である１つのコア層形成用樹脂フィルムと、低屈折率である２つのクラッド層形成用樹脂フィルムを用いて作製されるフレキシブル光導波路であり、クラッド層形成用樹脂フィルムの少なくとも１つがクラッド層形成用樹脂と基材フィルムから構成され、該基材フィルムがコア層に対してクラッド層の外側に配置されることを特徴とする。これにより、基材フィルムの柔軟性や強靭性を付与したフレキシブル光導波路を得ることができる。また、フィルム状の光導波路形成用材料を用いることで、液状材料特有の生産性や大面積対応に関する課題を解決できる。さらに、クラッド層の外側に基材フィルムを設ける構造とすることで、クラッド層が外界にさらされることがなくなり、汚れや傷などの影響を受けなくなるため、光導波路としての扱い易さが向上する。
クラッド層の外側に配置される基材フィルムは、少なくともフレキシブル光導波路の片面に設けられていればよいが、両面に設ける対称構造とすることで反りの少ないフレキシブル光導波路を作製することができる。
The flexible optical waveguide of the present invention is a flexible optical waveguide produced using one core layer forming resin film having a high refractive index and two clad layer forming resin films having a low refractive index. At least one of the forming resin films includes a clad layer forming resin and a base film, and the base film is disposed outside the clad layer with respect to the core layer. Thereby, the flexible optical waveguide which provided the softness | flexibility and toughness of the base film can be obtained. In addition, by using a film-form optical waveguide forming material, it is possible to solve problems associated with productivity and large area handling unique to liquid materials. Furthermore, the structure in which the base film is provided outside the clad layer prevents the clad layer from being exposed to the outside world and is not affected by dirt, scratches, etc., thereby improving the ease of handling as an optical waveguide. .
The substrate film disposed outside the clad layer may be provided on at least one side of the flexible optical waveguide, but a flexible optical waveguide with less warpage can be produced by providing a symmetrical structure provided on both sides.
ここで用いるクラッド層形成用樹脂フィルムの基材フィルムは、光導波路に柔軟性及び強靭性を付与する支持体であって、その材料については特に限定されないが、柔軟性、強靭性を有するとの観点から、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルサルファイド、ポリフェニレンサルファイド、ポリアリレート、液晶ポリマー、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリイミドなどが好適に挙げられる。これら基材フィルムの中でも、柔軟性及び強靭性、実用的な耐熱性、クラッド層を硬化させるための紫外光透過性、入手のしやすさの観点からポリエチレンテレフタレートなどのポリエステルを用いるのが好ましい。さらに上記観点に加え、耐熱性が必要な場合には、ポリアミドやポリイミドを基材フィルムに用いるのが好ましい。 The base film of the clad layer forming resin film used here is a support that imparts flexibility and toughness to the optical waveguide, and the material thereof is not particularly limited, but it has flexibility and toughness. From the viewpoint, polyesters such as polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyethylene, polypropylene, polyamide, polycarbonate, polyphenylene ether, polyether sulfide, polyphenylene sulfide, polyarylate, liquid crystal polymer, polysulfone, polyethersulfone, polyetherether Preferred examples include ketones, polyether imides, polyamide imides, and polyimides. Among these base film, flexibility and toughness, practical heat resistance, ultraviolet light permeable for make curing the clad layer is preferably from the viewpoint of ease of availability to use a polyester such as polyethylene terephthalate. Further, in addition to the above viewpoint, when heat resistance is required, it is preferable to use polyamide or polyimide for the base film.
また、基材フィルムの最大伸び率は、フレキシブル光導波路としての柔軟性及び強靭性発現の観点から、１０〜３００％の範囲であることが好ましい。基材フィルムの最大伸び率が１０％以上であると十分な柔軟性、強靭性を得ることができ、クラッド層及びコア層を形成する樹脂として比較的脆い材料も使用することができる。一方、基材フィルムの最大伸び率が３００％以下であると、十分な強靭性が得られ、保護フィルムとしての機能を十分に発現し得る。以上の観点から、基材フィルムの最大伸び率は２０〜２００％の範囲であることがより好ましく、５０〜１５０％の範囲であることが特に好ましい。
なお、ここで最大伸び率とは、ＪＩＳ−Ｋ７１２７に基づき測定された引張最大荷重伸びを意味する。
Moreover, it is preferable that the maximum elongation rate of a base film is the range of 10 to 300% from a viewpoint of the softness | flexibility as a flexible optical waveguide, and expression of toughness. When the maximum elongation of the base film is 10% or more, sufficient flexibility and toughness can be obtained, and a relatively brittle material can be used as a resin for forming the cladding layer and the core layer. On the other hand, when the maximum elongation of the base film is 300% or less, sufficient toughness can be obtained, and the function as a protective film can be sufficiently exhibited. From the above viewpoint, the maximum elongation of the base film is more preferably in the range of 20 to 200%, and particularly preferably in the range of 50 to 150%.
Here, the maximum elongation means the maximum tensile load elongation measured based on JIS-K7127.
次に、基材フィルムの厚さは、目的とする柔軟性により適宜変えてよいが、５〜２５０μｍであることが好ましい。基材フィルムの厚さが５μｍ以上であると強靭性が得易いという利点があり、２５０μｍ以下であると柔軟性が得られる。
強靭性と柔軟性を両立させる観点から、基材フィルムの厚さは６〜５０μｍの範囲がより好ましく、８〜２５μｍの範囲がさらに好ましく、１０〜１８μｍの範囲が特に好ましい。
また、基材フィルム上には、電気配線を設けてもよく、この場合、予め電気配線を設けたものを基材フィルムとして用いることができる。あるいは、フレキシブル光導波路製造後に、基材フィルムに電気配線を形成することが可能である。
さらに、基材フィルムの表面には接着処理や帯電防止処理を施してもよい。特に基材フィルムのクラッド層樹脂との接着面には接着処理を施すことが好ましく、その反対面又は両面に帯電処理を施すことが好ましい。
Next, the thickness of the base film may be appropriately changed depending on the intended flexibility, but is preferably 5 to 250 μm. When the thickness of the base film is 5 μm or more, there is an advantage that toughness is easily obtained, and when it is 250 μm or less, flexibility is obtained.
From the viewpoint of achieving both toughness and flexibility, the thickness of the base film is more preferably in the range of 6 to 50 μm, further preferably in the range of 8 to 25 μm, and particularly preferably in the range of 10 to 18 μm.
Moreover, you may provide an electrical wiring on a base film, In this case, what provided the electrical wiring previously can be used as a base film. Alternatively, it is possible to form electrical wiring on the base film after manufacturing the flexible optical waveguide.
Further, the surface of the base film may be subjected to an adhesion treatment or an antistatic treatment. In particular, the adhesion surface of the base film with the clad layer resin is preferably subjected to adhesion treatment, and the opposite surface or both surfaces are preferably subjected to charging treatment.
上記クラッド層形成用樹脂フィルムとしては、接着処理を施した基材フィルム上にクラッド層形成用樹脂が製膜されていることが好ましい。これにより、クラッド層と基材フィルムの接着力を向上させ、クラッド層と基材フィルムの剥離不良を抑制できる。ここで接着処理とは、易接着樹脂コート、コロナ処理、プラズマ処理、サンドブラスト等によるマット加工などにより、基材フィルムとこの上に形成されるクラッド層樹脂との接着力を向上させる処理である。 As the clad layer forming resin film, it is preferable that the clad layer forming resin is formed on a base film subjected to an adhesion treatment. Thereby, the adhesive force of a clad layer and a base film can be improved, and the peeling defect of a clad layer and a base film can be suppressed. Here, the adhesion treatment is a treatment for improving the adhesion force between the base film and the clad layer resin formed thereon by easy adhesion resin coating, corona treatment, plasma treatment, mat processing by sandblasting, or the like.
本発明で用いるクラッド層形成用樹脂としては、コア層より低屈折率で、光又は熱により硬化する樹脂組成物であれば特に限定されず、熱硬化性樹脂組成物や感光性樹脂組成物を使用することができる。
より好適には、クラッド層形成用樹脂が、（Ａ）ベースポリマー、（Ｂ）光重合性化合物、及び（Ｃ）光重合開始剤を含有する樹脂組成物により構成されることが好ましい。
ここで用いる（Ａ）ベースポリマーはクラッド層を形成し、該クラッド層の強度を確保するためのものであり、該目的を達成し得るものであれば特に限定されず、フェノキシ樹脂、エポキシ樹脂、（メタ）アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリエーテルアミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルホン等、あるいはこれらの誘導体などが挙げられる。これらのベースポリマーは１種単独でも、また２種以上を混合して用いてもよい。上記で例示したベースポリマーのうち、耐熱性が高いとの観点から、主鎖に芳香族骨格を有することが好ましく、特にフェノキシ樹脂が好ましい。また、３次元架橋し、耐熱性を向上できるとの観点からは、エポキシ樹脂、特に室温で固形のエポキシ樹脂が好ましい。さらに、後に詳述する（Ｂ）光重合性化合物との相溶性が、クラッド層形成用樹脂フィルムの透明性を確保するために重要であるが、この点からは上記フェノキシ樹脂及び（メタ）アクリル樹脂が好ましい。なお、ここで（メタ）アクリル樹脂とは、アクリル樹脂及びメタクリル樹脂を意味するものである。
The clad layer forming resin used in the present invention is not particularly limited as long as it is a resin composition that has a lower refractive index than the core layer and is cured by light or heat, and includes a thermosetting resin composition and a photosensitive resin composition. Can be used.
More preferably, the clad layer forming resin is preferably composed of a resin composition containing (A) a base polymer, (B) a photopolymerizable compound, and (C) a photopolymerization initiator.
The (A) base polymer used here is for forming a clad layer and ensuring the strength of the clad layer, and is not particularly limited as long as the object can be achieved, phenoxy resin, epoxy resin, (Meth) acrylic resin, polycarbonate resin, polyarylate resin, polyether amide, polyether imide, polyether sulfone, etc., or derivatives thereof. These base polymers may be used alone or in combination of two or more. Of the base polymers exemplified above, from the viewpoint of high heat resistance, the main chain preferably has an aromatic skeleton, and particularly preferably a phenoxy resin. From the viewpoint of three-dimensional crosslinking and improving heat resistance, an epoxy resin, particularly an epoxy resin that is solid at room temperature is preferable. Further, compatibility with the photopolymerizable compound (B) described in detail later is important for ensuring the transparency of the resin film for forming the cladding layer. From this point, the phenoxy resin and the (meth) acrylic resin are used. Resins are preferred. Here, (meth) acrylic resin means acrylic resin and methacrylic resin.
フェノキシ樹脂の中でも、ビスフェノールＡ又はビスフェノールＡ型エポキシ化合物若しくはそれらの誘導体、及びビスフェノールＦ又はビスフェノールＦ型エポキシ化合物若しくはそれらの誘導体を共重合成分の構成単位として含むものは、耐熱性、密着性及び溶解性に優れるため好ましい。ビスフェノールＡ又はビスフェノールＡ型エポキシ化合物の誘導体としては、テトラブロモビスフェノールＡ、テトラブロモビスフェノールＡ型エポキシ化合物等が好適に挙げられる。また、ビスフェノールＦ又はビスフェノールＦ型エポキシ化合物の誘導体としては、テトラブロモビスフェノールＦ、テトラブロモビスフェノールＦ型エポキシ化合物等が好適に挙げられる。ビスフェノールＡ／ビスフェノールＦ共重合型フェノキシ樹脂の具体例としては、東都化成（株）製「フェノトートＹＰ−７０」（商品名）が挙げられる。 Among phenoxy resins, those containing bisphenol A or a bisphenol A type epoxy compound or a derivative thereof, and bisphenol F or a bisphenol F type epoxy compound or a derivative thereof as a constituent unit of a copolymer component are heat resistant, adhesive and soluble. It is preferable because of its excellent properties. Preferred examples of the bisphenol A or bisphenol A type epoxy compound include tetrabromobisphenol A and tetrabromobisphenol A type epoxy compounds. Moreover, as a derivative of bisphenol F or a bisphenol F-type epoxy compound, tetrabromobisphenol F, a tetrabromobisphenol F-type epoxy compound, etc. are mentioned suitably. Specific examples of the bisphenol A / bisphenol F copolymer type phenoxy resin include “Phenotote YP-70” (trade name) manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.
室温で固形のエポキシ樹脂としては、例えば、東都化学（株）製「エポトートＹＤ−７０２０、エポトートＹＤ−７０１９、エポトートＹＤ−７０１７」（いずれも商品名）、ジャパンエポキシレジン（株）製「エピコート１０１０、エピコート１００９、エピコート１００８」（いずれも商品名）などのビスフェノールＡ型エポキシ樹脂が挙げられる。 Examples of the epoxy resin that is solid at room temperature include, for example, “Epototo YD-7020, Epototo YD-7019, Epototo YD-7007” (all trade names) manufactured by Toto Chemical Co., Ltd., and “Epicoat 1010” manufactured by Japan Epoxy Resins Co., Ltd. Bisphenol A type epoxy resin such as “Epicoat 1009, Epicoat 1008” (both trade names).
（Ａ）ベースポリマーの分子量については、フィルム形成性の点から、数平均分子量で５，０００以上であることが好ましく、さらに１０，０００以上が好ましく、特に３０，０００以上であることが好ましい。数平均分子量の上限については、特に制限はないが、（Ｂ）光重合成化合物との相溶性や露光現像性の観点から、１，０００，０００以下であることが好ましく、さらには５００，０００以下、特には２００，０００以下であることが好ましい。なお、本発明における数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）で測定し、標準ポリスチレン換算した値である。 (A) The molecular weight of the base polymer is preferably 5,000 or more in terms of number average molecular weight, more preferably 10,000 or more, and particularly preferably 30,000 or more, from the viewpoint of film formability. The upper limit of the number average molecular weight is not particularly limited, but is preferably 1,000,000 or less, more preferably 500,000, from the viewpoint of compatibility with (B) the photopolymerization compound and exposure and developability. Hereinafter, it is particularly preferably 200,000 or less. The number average molecular weight in the present invention is a value measured by gel permeation chromatography (GPC) and converted to standard polystyrene.
（Ａ）ベースポリマーの配合量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量に対して、１０〜８０質量％とすることが好ましい。この配合量が、１０質量％以上であると光導波路形成に必要な５０〜５００μｍ程度の厚膜フィルムの形成が容易であるという利点があり、一方、８０質量％以下であると、光硬化反応が十分に進行する。以上の観点から、（Ａ）ベースポリマーの配合量は、２０〜７０質量％とすることがさらに好ましい。 (A) It is preferable that the compounding quantity of a base polymer shall be 10-80 mass% with respect to the total amount of (A) component and (B) component. When the blending amount is 10% by mass or more, there is an advantage that it is easy to form a thick film of about 50 to 500 μm necessary for forming an optical waveguide. On the other hand, when the blending amount is 80% by mass or less, a photocuring reaction occurs. Progresses sufficiently. From the above viewpoint, the blending amount of (A) the base polymer is more preferably 20 to 70% by mass.
次に、（Ｂ）光重合性化合物としては、紫外線等の光の照射によって重合するものであれば特に限定されず、分子内に２つ以上のエポキシ基を有する化合物や分子内にエチレン性不飽和基を有する化合物などが挙げられる。
分子内に２つ以上のエポキシ基を有する化合物の具体例としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、テトラブロモビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡＤ型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂等の２官能芳香族グリシジルエーテル；フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン−フェノール型エポキシ樹脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂等の多官能芳香族グリシジルエーテル；ポリエチレングリコール型エポキシ樹脂、ポリプロピレングリコール型エポキシ樹脂、ネオペンチルグリコール型エポキシ樹脂、ヘキサンジオール型エポキシ樹脂等の２官能脂肪族グリシジルエーテル；水添ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂等の２官能脂環式グリシジルエーテル；トリメチロールプロパン型エポキシ樹脂、ソルビトール型エポキシ樹脂、グリセリン型エポキシ樹脂等の多官能脂肪族グリシジルエーテル；フタル酸ジグリシジルエステル等の２官能芳香族グリシジルエステル；テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジルエステル等の２官能脂環式グリシジルエステル；Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジグリシジルトリフルオロメチルアニリン等の２官能芳香族グリシジルアミン；Ｎ，Ｎ，Ｎ'，Ｎ'−テトラグリシジル−４，４−ジアミノジフェニルメタン、１，３−ビス（Ｎ，Ｎ−グリシジルアミノメチル）シクロヘキサン、Ｎ，Ｎ，Ｏ−トリグリシジル−ｐ−アミノフェノール等の多官能芳香族グリシジルアミン；アリサイクリックジエポキシアセタール、アリサイクリックジエポキシアジペート、アリサイクリックジエポキシカルボキシレート、ビニルシクロヘキセンジオキシド等の２官能脂環式エポキシ樹脂；ジグリシジルヒダントイン等の２官能複素環式エポキシ樹脂；トリグリシジルイソシアヌレート等の多官能複素環式エポキシ樹脂；オルガノポリシロキサン型エポキシ樹脂等の２官能又は多官能ケイ素含有エポキシ樹脂などが挙げられる。
Next, (B) the photopolymerizable compound is not particularly limited as long as it is polymerized by irradiation with light such as ultraviolet rays, and a compound having two or more epoxy groups in the molecule or an ethylenic non-polymer in the molecule. Examples thereof include compounds having a saturated group.
Specific examples of compounds having two or more epoxy groups in the molecule include bisphenol A type epoxy resins, tetrabromobisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, bisphenol AD type epoxy resins, naphthalene type epoxy resins, etc. Bifunctional aromatic glycidyl ether; phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, dicyclopentadiene-phenol type epoxy resin, tetraphenylol ethane type epoxy resin, etc. polyfunctional aromatic glycidyl ether; polyethylene glycol type epoxy resin, Bifunctional aliphatic glycidyl ether such as polypropylene glycol type epoxy resin, neopentyl glycol type epoxy resin, hexanediol type epoxy resin; hydrogenated bisphenol A type epoxy Bifunctional alicyclic glycidyl ethers such as resins; polyfunctional aliphatic glycidyl ethers such as trimethylolpropane type epoxy resins, sorbitol type epoxy resins and glycerin type epoxy resins; bifunctional aromatic glycidyl esters such as phthalic acid diglycidyl esters; Bifunctional alicyclic glycidyl esters such as tetrahydrophthalic acid diglycidyl ester and hexahydrophthalic acid diglycidyl ester; bifunctional aromatic glycidyl amines such as N, N-diglycidylaniline and N, N-diglycidyltrifluoromethylaniline N, N, N ′, N′-tetraglycidyl-4,4-diaminodiphenylmethane, 1,3-bis (N, N-glycidylaminomethyl) cyclohexane, N, N, O-triglycidyl-p-aminophenol Polyfunctional aromatic glycidyla such as Min; Bifunctional alicyclic epoxy resin such as alicyclic diepoxy acetal, alicyclic diepoxy adipate, alicyclic diepoxy carboxylate, vinylcyclohexene dioxide; Bifunctional heterocyclic epoxy resin such as diglycidyl hydantoin A polyfunctional heterocyclic epoxy resin such as triglycidyl isocyanurate; a bifunctional or polyfunctional silicon-containing epoxy resin such as an organopolysiloxane type epoxy resin;
これらの分子内に２つ以上のエポキシ基を有する化合物は、通常その分子量が、１００〜２０００程度であり、さらに好ましくは１５０〜１０００程度であり、
室温で液状のものが好適に用いられる。またこれらの化合物は、単独または２種類以上組み合わせて使用することができ、さらにその他の光重合性化合物と組み合わせて使用することもできる。なお、本発明における光重合性化合物の分子量は、ＧＰＣ法又は質量分析法にて測定できる。
The compound having two or more epoxy groups in these molecules usually has a molecular weight of about 100 to 2000, more preferably about 150 to 1000,
Those which are liquid at room temperature are preferably used. Moreover, these compounds can be used individually or in combination of 2 or more types, Furthermore, it can also be used in combination with another photopolymerizable compound. In addition, the molecular weight of the photopolymerizable compound in the present invention can be measured by GPC method or mass spectrometry.
また、分子内にエチレン性不飽和基を有する化合物の具体例としては、（メタ）アクリレート、ハロゲン化ビニリデン、ビニルエーテル、ビニルピリジン、ビニルフェノール等が挙げられるが、これらのうち透明性と耐熱性の観点から、（メタ）アクリレートが好ましく、１官能性のもの、２官能性のもの、３官能性以上のもののいずれも用いることができる。 Specific examples of the compound having an ethylenically unsaturated group in the molecule include (meth) acrylate, vinylidene halide, vinyl ether, vinyl pyridine, vinyl phenol, etc. Of these, transparency and heat resistance are included. From the viewpoint, (meth) acrylate is preferable, and any of monofunctional, bifunctional, trifunctional or higher can be used.
１官能性（メタ）アクリレートとしては、メトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、フェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、イソステアリル（メタ）アクリレート、２−（メタ）アクリロイロキシエチルコハク酸、パラクミルフェノキシエチレングリコール(メタ)アクリレート、２−テトラヒドロピラニル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート等がある。 Monofunctional (meth) acrylates include methoxypolyethylene glycol (meth) acrylate, phenoxypolyethylene glycol (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, isostearyl (meth) acrylate, and 2- (meth) acryloyloxyethyl succinic acid. , Paracumylphenoxyethylene glycol (meth) acrylate, 2-tetrahydropyranyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate Etc.
また、２官能性（メタ）アクリレートとしては、エトキシ化２−メチル−１，３−プロパンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−へキサンジオールジ（メタ）アクリレート、２−メチル−１，８−オクタンジオールジアクリレート、１，９−ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０−ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、エトキシ化ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロポキシ化エトキシ化ビスフェノールＡジアクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エトキシ化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジ（メタ）アクリレート、エトキシ化シクロヘキサンジメタノールジ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−１−アクリロキシ−３−メタクリロキシプロパン、２−ヒドロキシ−１，３−ジメタクリロキシプロパン、９，９−ビス［４−（２−アクリロイルオキシエトキシ）フェニル］フルオレン、９，９−ビス［３−フェニル−４−アクリロイルポリオキシエトキシ）フルオレン、ビスフェノールＡ型，フェノールノボラック型，クレゾールノボラック型，及びグリシジルエーテル型のエポキシ（メタ）アクリレート等がある。 As the bifunctional (meth) acrylate, ethoxylated 2-methyl-1,3-propanediol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) Acrylate, 2-methyl-1,8-octanediol diacrylate, 1,9-nonanediol di (meth) acrylate, 1,10-nonanediol di (meth) acrylate, ethoxylated polypropylene glycol di (meth) acrylate, propoxy Ethoxylated bisphenol A diacrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol Di (meth) acrylate, ethoxylated bisphenol A di (meth) acrylate, tricyclodecane di (meth) acrylate, ethoxylated cyclohexanedimethanol di (meth) acrylate, 2-hydroxy-1-acryloxy-3-methacryloxypropane, 2-hydroxy-1,3-dimethacryloxypropane, 9,9-bis [4- (2-acryloyloxyethoxy) phenyl] fluorene, 9,9-bis [3-phenyl-4-acryloylpolyoxyethoxy) fluorene Bisphenol A type, phenol novolak type, cresol novolak type, glycidyl ether type epoxy (meth) acrylate, and the like.
さらに、３官能以上の（メタ）アクリレートとしては、エトキシ化イソシアヌル酸トリ（メタ）アクリレート、エトキシ化グリセリントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、プロポキシ化ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等がある。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。
なお、ここで（メタ）アクリレートとは、アクリレート及びメタクリレートを意味する。
Furthermore, as tri- or more functional (meth) acrylates, ethoxylated isocyanuric acid tri (meth) acrylate, ethoxylated glycerin tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, ethoxylated trimethylolpropane tri (meth) Acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, ethoxylated pentaerythritol tetra (meth) acrylate, propoxylated pentaerythritol tetra (meth) acrylate, ditrimethylolpropane tetra (meth) acrylate, caprolactone modified ditri Examples include methylolpropane tetraacrylate and dipentaerythritol hexa (meth) acrylate. These can be used alone or in combination of two or more.
Here, (meth) acrylate means acrylate and methacrylate.
前記（Ｂ）光重合性化合物の配合量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量に対して、２０〜９０質量％とすることが好ましい。この配合量が、２０質量％以上であると、ベースポリマーを絡み込んで硬化させることが容易にでき、一方、９０質量％以下であると、十分な厚さのクラッド層を容易に形成することできる。以上の観点から、（Ｂ）光重合性化合物の配合量は３０〜８０質量％とすることがさらに好ましい。 The blending amount of the (B) photopolymerizable compound is preferably 20 to 90% by mass with respect to the total amount of the component (A) and the component (B). When the blending amount is 20% by mass or more, the base polymer can be easily entangled and cured, and when it is 90% by mass or less, a sufficiently thick clad layer can be easily formed. it can. From the above viewpoint, the blending amount of the photopolymerizable compound (B) is more preferably 30 to 80% by mass.
次に（Ｃ）成分の光重合開始剤としては、特に制限はなく、例えばエポキシ化合物の開始剤として、ｐ−メトキシベンゼンジアゾニウムヘキサフルオロホスフェートなどのアリールジアゾニウム塩；ジフェニルヨードニウムヘキサフロロホスホニウム塩、ジフェニルヨードニウムヘキサフロロアンチモネート塩などのジアリールヨードニウム塩；トリフェニルスルホニウムヘキサフロロホスホニウム塩、トリフェニルスルホニウムヘキサフロロアンチモネート塩、ジフェニル−４−チオフェノキシフェニルスルホニウムヘキサフロロアンチモネート塩、ジフェニル−４−チオフェノキシフェニルスルホニウムヘキサフロロアンチモネート塩、ジフェニル−４−チオフェノキシフェニルスルホニウムペンタフロロヒドロキシアンチモネート塩などのトリアリールスルホニウム塩；トリフェニルセレノニウムヘキサフロロホスホニウム塩、トリフェニルセレノニウムホウフッ化塩、トリフェニルセレノニウムヘキサフロロアンチモネート塩などのトリアリルセレノニウム塩；ジメチルフェナシルスルホニウムヘキサフロロアンチモネート塩、ジエチルフェナシルスルホニウムヘキサフロロアンチモネート塩などのジアルキルフェナジルスルホニウム塩；４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフロロアンチモネート塩、４−ヒドロキシフェニルベンジルメチルスルホニウムヘキサフロロアンチモネートなどのジアルキル−４−ヒドロキシフェニルスルホニウム塩；α−ヒドロキシメチルベンゾインスルホン酸エステル、Ｎ−ヒドロキシイミドスルホネート、α−スルホニロキシケトン、β−スルホニロキシケトンなどのスルホン酸エステルなどが挙げられる。 Next, there is no restriction | limiting in particular as a photoinitiator of (C) component, For example, as an initiator of an epoxy compound, aryl diazonium salts, such as p-methoxybenzenediazonium hexafluorophosphate; diphenyliodonium hexafluorophosphonium salt, diphenyliodonium Diaryl iodonium salts such as hexafluoroantimonate salt; triphenylsulfonium hexafluorophosphonium salt, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate salt, diphenyl-4-thiophenoxyphenylsulfonium hexafluoroantimonate salt, diphenyl-4-thiophenoxyphenylsulfonium Hexafluoroantimonate salt, diphenyl-4-thiophenoxyphenylsulfonium pentafluorohydroxyantimonate salt A triarylsulfonium salt; a triphenylselenonium hexafluorophosphonium salt, a triphenylselenonium borofluoride salt, a triarylselenonium salt such as a triphenylselenonium hexafluoroantimonate salt; a dimethylphenacylsulfonium hexafluoroantimonate salt; Dialkylphenazylsulfonium salts such as diethylphenacylsulfonium hexafluoroantimonate salt; dialkyl-4-hydroxyphenylsulfonium salts such as 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium hexafluoroantimonate salt, 4-hydroxyphenylbenzylmethylsulfonium hexafluoroantimonate salt Α-hydroxymethylbenzoin sulfonate ester, N-hydroxyimide sulfonate, α-sulfonyloxy Ketones, such as sulfonic acid esters, such as β- sulfo Niro carboxymethyl ketone.
また、分子内にエチレン性不飽和基を有する化合物の開始剤としては、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ’−テトラメチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ’−テトラエチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４’−ジメチルアミノベンゾフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン、１，２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オン等の芳香族ケトン；２−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン、２−ｔｅｒｔ−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，２−ベンズアントラキノン、２，３−ベンズアントラキノン、２−フェニルアントラキノン、２，３−ジフェニルアントラキノン、１−クロロアントラキノン、２−メチルアントラキノン、１，４−ナフトキノン、９，１０−フェナントラキノン、２−メチル１，４−ナフトキノン、２，３−ジメチルアントラキノン等のキノン類；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル化合物；ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン化合物；ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体；２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等の２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体；ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルフォスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド等のフォスフィンオキサイド類；９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９’−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジン誘導体；Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−フェニルグリシン誘導体、クマリン系化合物などが挙げられる。また、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体において、２つの２，４，５−トリアリールイミダゾールのアリール基の置換基は同一で対称な化合物を与えてもよいし、相違して非対称な化合物を与えてもよい。また、ジエチルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸の組み合わせのように、チオキサントン系化合物と３級アミン化合物とを組み合わせてもよい。なお、コア層及びクラッド層の透明性を向上させる観点からは、上記化合物のうち、芳香族ケトン及びフォスフィンオキサイド類が好ましい。
これらの（Ｃ）光重合開始剤は、単独で又は２種類以上組み合わせて用いることができる。
Moreover, as an initiator of the compound having an ethylenically unsaturated group in the molecule, benzophenone, N, N′-tetramethyl-4,4′-diaminobenzophenone (Michler ketone), N, N′-tetraethyl-4,4 '-Diaminobenzophenone, 4-methoxy-4'-dimethylaminobenzophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2,2-dimethoxy-1,2 -Diphenylethane-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] -2-hydroxy- 2-Methyl-1-propan-1-one, 1,2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morph Aromatic ketones such as linopropan-1-one; 2-ethylanthraquinone, phenanthrenequinone, 2-tert-butylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-benzanthraquinone, 2-phenylanthraquinone, 2 , 3-Diphenylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2-methylanthraquinone, 1,4-naphthoquinone, 9,10-phenanthraquinone, 2-methyl-1,4-naphthoquinone, quinones such as 2,3-dimethylanthraquinone Benzoin ether compounds such as benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether and benzoin phenyl ether; benzoin compounds such as benzoin, methyl benzoin and ethyl benzoin; benzyl such as benzyl dimethyl ketal; Derivatives; 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-di (methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, etc. 2,4,5-triarylimidazole dimer; bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) phenylphosphine oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide Phosphine oxides such as 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide; Niruakurijin, 1,7-bis (9,9'-acridinyl) heptane and the like acridine derivatives; N- phenylglycine, N- phenylglycine derivatives, coumarin-based compounds. In addition, in the 2,4,5-triarylimidazole dimer, the aryl group substituents of two 2,4,5-triarylimidazoles may give the same and symmetric compounds, or differently asymmetric Such compounds may be provided. Moreover, you may combine a thioxanthone type compound and a tertiary amine compound like the combination of diethyl thioxanthone and dimethylaminobenzoic acid. Of these compounds, aromatic ketones and phosphine oxides are preferred from the viewpoint of improving the transparency of the core layer and the cladding layer.
These (C) photopolymerization initiators can be used alone or in combination of two or more.
（Ｃ）光重合開始剤の配合量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して、０．1〜１０質量部とすることが好ましい。０．1質量部以上であると、光感度が十分であり、一方１０質量部以下であれば、光導波路の表面のみが選択的に硬化し、硬化が不十分となることがなく、また、光重合開始剤自身の吸収により伝搬損失が増大することもなく好適である。以上の観点から、（Ｃ）光重合開始剤の配合量は、１〜５質量部とすることがさらに好ましい。 (C) It is preferable that the compounding quantity of a photoinitiator shall be 0.1-10 mass parts with respect to 100 mass parts of total amounts of (A) component and (B) component. If it is 0.1 parts by mass or more, the photosensitivity is sufficient, while if it is 10 parts by mass or less, only the surface of the optical waveguide is selectively cured, and curing does not become insufficient, It is preferable that the propagation loss does not increase due to absorption of the photopolymerization initiator itself. From the above viewpoint, the blending amount of (C) the photopolymerization initiator is more preferably 1 to 5 parts by mass.
また、このほかに必要に応じて、本発明のクラッド層形成用樹脂中には、酸化防止剤、黄変防止剤、紫外線吸収剤、可視光吸収剤、着色剤、可塑剤、安定剤、充填剤などのいわゆる添加剤を本発明の効果に悪影響を与えない割合で添加してもよい。 In addition to the above, the clad layer forming resin of the present invention contains an antioxidant, an anti-yellowing agent, an ultraviolet absorber, a visible light absorber, a colorant, a plasticizer, a stabilizer, and a filler as necessary. You may add what is called additives, such as an agent, in the ratio which does not adversely affect the effect of this invention.
クラッド層形成用樹脂フィルムは（Ａ）〜（Ｃ）成分を含有する樹脂組成物を溶媒に溶解して、前記基材フィルムに塗布し、溶媒を除去することにより容易に製造することができる。ここで用いる溶媒としては、該樹脂組成物を溶解し得るものであれば特に限定されず、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン等の溶媒又はこれらの混合溶媒を用いることができる。樹脂溶液中の固形分濃度は３０〜８０質量％程度であることが好ましい。 The resin film for forming a clad layer can be easily produced by dissolving a resin composition containing the components (A) to (C) in a solvent, applying the resin composition to the base film, and removing the solvent. The solvent used here is not particularly limited as long as it can dissolve the resin composition. For example, acetone, methyl ethyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, toluene, N, N-dimethylacetamide, propylene glycol monomethyl ether, A solvent such as propylene glycol monomethyl ether acetate, cyclohexanone, N-methyl-2-pyrrolidone, or a mixed solvent thereof can be used. The solid content concentration in the resin solution is preferably about 30 to 80% by mass.
クラッド層の厚さに関しては、乾燥後の厚さで、５〜５００μｍの範囲が好ましい。５μｍ以上であると、光の閉じ込めに必要なクラッド厚さが確保でき、５００μｍ以下であると、膜厚を均一に制御することが容易である。以上の観点から、該クラッド層の厚さは、さらに１０μｍ〜１００μｍの範囲であることが好ましい。
また、クラッド層の厚さは、最初に形成される下部クラッド層と、コアパターンを埋め込むための上部クラッド層において、同一であっても異なってもよいが、コアパターンを埋め込むために、上部クラッド層の厚さはコア層の厚さよりも厚くすることが好ましい。
Regarding the thickness of the cladding layer, the thickness after drying is preferably in the range of 5 to 500 μm. When the thickness is 5 μm or more, a clad thickness necessary for light confinement can be secured, and when the thickness is 500 μm or less, it is easy to control the film thickness uniformly. From the above viewpoint, the thickness of the cladding layer is preferably in the range of 10 μm to 100 μm.
The thickness of the clad layer may be the same or different between the lower clad layer formed first and the upper clad layer for embedding the core pattern. The thickness of the layer is preferably larger than the thickness of the core layer.
また、クラッド層形成用樹脂フィルムの製造に際し、クラッド層形成用樹脂フィルムの保護やロール状に製造する際の巻き取り性を向上させるなどの目的で、必要に応じクラッド層形成用樹脂フィルムに保護フィルムを貼り合わせてもよい（図２参照）。保護フィルムとしては、基材フィルムとして例に挙げたものと同様なものが使用でき、必要に応じ離型処理や帯電防止処理がなされていてもよい。 In addition, when manufacturing a resin film for forming a clad layer, the resin film for forming a clad layer is protected as necessary for the purpose of protecting the resin film for forming the clad layer or improving the winding property when manufacturing it into a roll. A film may be bonded (see FIG. 2). As a protective film, the thing similar to the example given as an example as a base film can be used, and the mold release process and the antistatic process may be made | formed as needed.
次に、本発明で使用するコア層形成用樹脂フィルムは、コア層がクラッド層より高屈折率であるように設計され、活性光線によりコアパターンを形成し得る樹脂組成物を用いることができ、感光性樹脂組成物が好適である。具体的には、上記クラッド層形成用樹脂で用いたのと同様の樹脂組成物を用いることが好ましい。すなわち、前記（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）成分を含有し、必要に応じて前記任意成分を含有する樹脂組成物である。
コア層形成用樹脂フィルムは、（Ａ）〜（Ｃ）成分を含有する樹脂組成物を溶媒に溶解して基材に塗布し、溶媒を除去することにより容易に製造することができる。ここで用いる溶媒としては、該樹脂組成物を溶解し得るものであれば特に限定されず、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン等の溶媒又はこれらの混合溶媒を用いることができる。樹脂溶液中の固形分濃度は、通常３０〜８０質量％程度であることが好ましい。
Next, the resin film for forming a core layer used in the present invention is designed such that the core layer has a higher refractive index than the cladding layer, and a resin composition capable of forming a core pattern with actinic rays can be used. A photosensitive resin composition is preferred. Specifically, it is preferable to use the same resin composition as that used in the clad layer forming resin. That is, it is a resin composition containing the components (A), (B) and (C) and optionally containing the optional components.
The resin film for forming a core layer can be easily produced by dissolving a resin composition containing the components (A) to (C) in a solvent, applying the resin composition to a substrate, and removing the solvent. The solvent used here is not particularly limited as long as it can dissolve the resin composition. For example, acetone, methyl ethyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, toluene, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethyl A solvent such as acetamide, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, cyclohexanone, N-methyl-2-pyrrolidone, or a mixed solvent thereof can be used. The solid content concentration in the resin solution is usually preferably about 30 to 80% by mass.
コア層形成用樹脂フィルムの厚さについては特に限定されず、乾燥後のコア層の厚さが、通常は１０〜１００μｍとなるように調整される。コア層の厚さが１０μｍ以上であると、光導波路形成後の受発光素子又は光ファイバーとの結合において位置合わせトレランスが拡大できるという利点があり、１００μｍ以下であると、光導波路形成後の受発光素子又は光ファイバーとの結合において、結合効率が向上するという利点がある。以上の観点から、該フィルムの厚さは、さらに３０〜７０μｍの範囲であることが好ましい。 The thickness of the resin film for forming the core layer is not particularly limited, and the thickness of the core layer after drying is usually adjusted to be 10 to 100 μm. When the thickness of the core layer is 10 μm or more, there is an advantage that the alignment tolerance can be increased in the coupling with the light emitting / receiving element or the optical fiber after the optical waveguide is formed, and when the thickness is 100 μm or less, the light receiving / emitting after the optical waveguide is formed. In coupling with an element or an optical fiber, there is an advantage that coupling efficiency is improved. From the above viewpoint, the thickness of the film is preferably in the range of 30 to 70 μm.
コア層形成用樹脂フィルムの製造過程で用いる基材は、光導波路形成用フィルムを支持する支持体であって、その材料については特に限定されないが、後にコア層形成用樹脂フィルムを剥離することが容易であり、かつ、耐熱性及び耐溶剤性を有するとの観点から、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリプロピレン、ポリエチレンなどが好適に挙げられる。該基材の厚さは、５〜５０μｍであることが好ましい。５μｍ以上であると、支持体としての強度が得やすいという利点があり、５０μｍ以下であると、パターン形成時のマスクとのギャップが小さくなり、より微細なパターンが形成できるという利点がある。以上の観点から、該基材の厚さは１０〜４０μｍの範囲であることがより好ましく、１５〜３０μｍであることが特に好ましい。 The base material used in the production process of the core layer forming resin film is a support for supporting the optical waveguide forming film, and the material thereof is not particularly limited, but the core layer forming resin film may be peeled later. From the viewpoint of being easy and having heat resistance and solvent resistance, polyesters such as polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene and the like are preferable. The thickness of the substrate is preferably 5 to 50 μm. When it is 5 μm or more, there is an advantage that the strength as a support is easily obtained, and when it is 50 μm or less, there is an advantage that a gap with the mask at the time of pattern formation becomes small and a finer pattern can be formed. From the above viewpoint, the thickness of the base material is more preferably in the range of 10 to 40 μm, and particularly preferably 15 to 30 μm.
また、露光用光線の透過率向上及びコアパターンの側壁荒れ低減のため、高透明タイプのフレキシブルな基材を用いるのが好ましい。高透明タイプの基材のヘイズ値は５％以下であることが好ましく、３％以下であることがより好ましく、２％以下であることが特に好ましい。なお、ヘイズ値はＪＩＳ Ｋ７１０５に準拠して測定したものであり、例えば、ＮＤＨ−１００１ＤＰ（日本電色工業（株）製）等の市販の濁度計などで測定可能である。このような基材としては、東洋紡績（株）製、商品名「コスモシャインＡ１５１７」や「コスモシャインＡ４１００」として入手可能である。
なお、上記基材は、後にコア層形成用樹脂フィルムの剥離を容易とするため、離型処理、帯電防止処理等が施されていてもよい。
Moreover, it is preferable to use a highly transparent flexible base material in order to improve the transmittance of exposure light and reduce the side wall roughness of the core pattern. The haze value of the highly transparent base material is preferably 5% or less, more preferably 3% or less, and particularly preferably 2% or less. The haze value is measured in accordance with JIS K7105, and can be measured with a commercially available turbidimeter such as NDH-1001DP (manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd.). Such a base material is available from Toyobo Co., Ltd. under the trade names “Cosmo Shine A1517” and “Cosmo Shine A4100”.
In addition, in order to make peeling of the resin film for core layer formation easy later, the said base material may perform the mold release process, the antistatic process, etc.
また、コア層形成用樹脂フィルムの製造に際し、コア層形成用樹脂フィルムの保護やロール状に製造する際の巻き取り性を向上させるなどの目的で、必要に応じコア層形成用樹脂フィルムに保護フィルムを貼り合わせてもよい（図３参照）。保護フィルムとしては、前記クラッド層形成用樹脂フィルムの基材フィルムとして例に挙げたものと同様なものが使用でき、必要に応じ離型処理や帯電防止処理がなされていてもよい。 In addition, when manufacturing the core layer forming resin film, the core layer forming resin film is protected as necessary for the purpose of, for example, protecting the core layer forming resin film or improving the winding property when manufacturing in a roll shape. A film may be bonded (see FIG. 3). As a protective film, the thing similar to the example mentioned as an example as a base film of the said resin film for clad layer formation can be used, and the mold release process and the antistatic process may be made | formed as needed.
以下、本発明のフレキシブル光導波路の製造方法について図１、２を参照しつつ詳述する。
まず、第１の工程としてクラッド層形成用樹脂フィルムの基材フィルムの反対側に設けてある保護フィルムを剥離後、クラッド層形成用樹脂フィルムを光または加熱により硬化させ、クラッド層を形成する（図２参照）。このとき、クラッド層形成用樹脂は接着処理を施した基材フィルム上に製膜されていることが好ましい。一方、保護フィルムは、クラッド層形成用樹脂フィルムからの剥離を容易にするため接着処理は行っていないことが好ましく、必要に応じ離型処理が施されていてもよい。
次いで、第２の工程としてクラッド層形成用樹脂と基材フィルムとから構成された第１のクラッド層形成用樹脂フィルムのクラッド層形成用樹脂を硬化させ、下部クラッド層２を形成する（図１（ａ）参照）。より具体的には、クラッド層形成用樹脂フィルムの基材フィルムの反対側に保護フィルムを設けている（図２参照）ので、該保護フィルム９を剥離後、クラッド層形成用樹脂フィルムを光または加熱により硬化させ、クラッド層２を形成する。このとき、クラッド層形成用樹脂は接着処理を施した基材フィルム１上に製膜されていることが好ましい。一方、保護フィルム９は、クラッド層形成用樹脂フィルムからの剥離を容易にするため接着処理は行っていないことが好ましく、必要に応じ離型処理が施されていてもよい。
Hereinafter, a manufacturing method of a flexible optical waveguide of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 1, 2 for.
First, as a first step, after removing the protective film provided on the opposite side of the base film of the resin film for forming the clad layer, the resin film for forming the clad layer is cured by light or heating to form a clad layer ( (See FIG. 2). At this time, the clad layer forming resin is preferably formed on a base film subjected to an adhesion treatment. On the other hand, the protective film is preferably not subjected to adhesion treatment in order to facilitate peeling from the clad layer-forming resin film, and may be subjected to mold release treatment as necessary.
Next, as a second step , the clad layer forming resin of the first clad layer forming resin film composed of the clad layer forming resin and the base film is cured to form the lower clad layer 2 (FIG. 1). (See (a)). More specifically, since the protective film is provided on the opposite side of the base film of the clad layer forming resin film (see FIG. 2), the clad layer forming resin film is light or The
次いで、第３の工程としてクラッド層上にコア層形成用樹脂フィルムをラミネートし、コア層を積層する（図１（ｂ）参照）。この第３の工程において、上述のクラッド層上に、コア層形成用樹脂フィルムを加熱圧着することにより、クラッド層より屈折率の高いコア層を積層する。ここで、密着性及び追従性の見地から減圧下で積層することが好ましい。ここでの加熱温度は５０〜１３０℃とすることが好ましく、圧着圧力は、０．１〜１．０ＭＰａ（１〜１０ｋｇｆ／ｃｍ2）程度とすることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。コア層形成用樹脂フィルムは、コア層と基材から構成されていれば取扱が容易で好ましく、また、コア層単独で構成されていてもよい。
なお、コア層形成用樹脂フィルムの基材の反対側に保護フィルム９を設けている（図３参照）ので、該保護フィルムを剥離後、コア層形成用樹脂フィルムをラミネートする。このとき、保護フィルム９及び基材４は、コア層形成用樹脂フィルムからの剥離を容易にするため接着処理は行っていないことが好ましく、必要に応じ離型処理が施されていてもよい。
Next, as a third step , a core layer-forming resin film is laminated on the clad layer, and the core layer is laminated (see FIG. 1B). In the third step , a core layer having a refractive index higher than that of the cladding layer is laminated on the above-described cladding layer by thermocompression bonding the resin film for forming the core layer. Here, it is preferable to laminate | stack under reduced pressure from the viewpoint of adhesiveness and followable | trackability. The heating temperature here is preferably 50 to 130 ° C., and the pressure bonding pressure is preferably about 0.1 to 1.0 MPa (1 to 10 kgf / cm 2 ), but these conditions are particularly limited. There is no. The resin film for forming a core layer is preferably easy to handle as long as it is composed of a core layer and a substrate, and may be composed of a core layer alone.
In addition, since the protective film 9 is provided in the other side of the base material of the resin film for core layer formation (refer FIG. 3) , after peeling this protective film, the resin film for core layer formation is laminated. At this time, it is preferable that the protective film 9 and the
次に、第４の工程として、コア層を露光現像し、光導波路のコアパターンを形成する（図１（ｃ）参照）。具体的には、ネガマスクパターンを通して活性光線が画像状に照射される。活性光線の光源としては、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線を有効に放射する公知の光源が挙げられる。また、他にも写真用フラッド電球、太陽ランプ等の可視光を有効に放射するものも用いることができる。 Next, as a fourth step , the core layer is exposed and developed to form a core pattern of the optical waveguide (see FIG. 1C). Specifically, actinic rays are irradiated in an image form through a negative mask pattern. Examples of the active light source include known light sources that effectively emit ultraviolet rays, such as carbon arc lamps, mercury vapor arc lamps, ultrahigh pressure mercury lamps, high pressure mercury lamps, and xenon lamps. In addition, those that effectively emit visible light, such as a photographic flood bulb and a solar lamp, can be used.
次いで、コア層形成用樹脂フィルムの基材が残っている場合には、基材を剥離し、ウェット現像等で未露光部を除去して現像し、導波路パターンを形成する（図１（ｄ）参照）。ウェット現像の場合は、前記フィルムの組成に適した有機溶剤系現像液を用いて、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法により現像する。
有機溶剤系現像液としては、例えば、Ｎ−メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、γ−ブチロラクトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等が挙げられる。これらの有機溶剤は、引火防止のため、１〜２０質量部の範囲で水を添加することが好ましい。また、必要に応じて２種類以上の現像方法を併用してもよい。
現像の方式としては、例えば、ディップ方式、バトル方式、高圧スプレー方式等のスプレー方式、ブラッシング、スクラッピング等が挙げられ、高圧スプレー方式が解像度向上のためには最も適している。
現像後の処理として、必要に応じて６０〜２５０℃程度の加熱または０．１〜１０００ｍＪ／ｃｍ2程度の露光を行うことにより、光導波路パターンをさらに硬化させて用いてもよい。
Next, when the base material of the core layer forming resin film remains, the base material is peeled off, and the unexposed portion is removed and developed by wet development or the like to form a waveguide pattern (FIG. 1D )reference). In the case of wet development, development is performed by a known method such as spraying, rocking dipping, brushing, scraping, or the like, using an organic solvent developer suitable for the composition of the film.
Examples of organic solvent developers include N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, cyclohexanone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, γ-butyrolactone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, propylene glycol monomethyl. Examples include ether and propylene glycol monomethyl ether acetate. These organic solvents preferably add water in the range of 1 to 20 parts by mass in order to prevent ignition. Moreover, you may use together 2 or more types of image development methods as needed.
Examples of the development method include a dip method, a battle method, a spray method such as a high-pressure spray method, brushing, and scraping. The high-pressure spray method is most suitable for improving the resolution.
As a treatment after development, the optical waveguide pattern may be further cured by heating at about 60 to 250 ° C. or exposure at about 0.1 to 1000 mJ / cm 2 as necessary.
この後、コアパターンを少なくともクラッド層形成用樹脂を含む第２のクラッド層形成用樹脂フィルムのラミネートによって埋め込む第５の工程と、第２のクラッド層形成用樹脂フィルムのクラッド層形成用樹脂を硬化させ、クラッド層を形成する第６の工程を行う（図１（ｅ）参照）。ラミネートは、クラッド層形成用樹脂フィルムがクラッド層形成用樹脂と基材フィルムからなる場合には、クラッド層形成用樹脂をコアパターン側にする。このときのクラッド層の厚さは、前述のようにコア層の厚さより大きくすることが好ましい。硬化は、光または熱によって上記と同様に行う。
なお、クラッド層形成用樹脂フィルムの基材フィルムの反対側に保護フィルムを設けている（図２参照）ので、該保護フィルムを剥離後、クラッド層形成用樹脂フィルムを光または加熱により硬化させ、クラッド層を形成する。このとき、クラッド層形成用樹脂は接着処理を施した基材フィルム上に製膜されていることが好ましい。一方、保護フィルムは、クラッド層形成用樹脂フィルムからの剥離を容易にするため接着処理は行っていないことが好ましく、必要に応じ離型処理が施されていてもよい。
上述の製造方法によれば、従来の課題であったコアサイズの大きなマルチモードの光導波路の作製時間を大幅に短縮できる。
Thereafter, a fifth step of embedding the core pattern by laminating the second clad layer forming resin film containing at least the clad layer forming resin, and curing the clad layer forming resin of the second clad layer forming resin film And the sixth step of forming the cladding layer is performed (see FIG. 1E). When the clad layer forming resin film is composed of a clad layer forming resin and a base film, the laminating is performed with the clad layer forming resin on the core pattern side. At this time, the thickness of the clad layer is preferably larger than the thickness of the core layer as described above. Curing is performed in the same manner as described above by light or heat.
Since that have a protective film on the other side of the base film of the cladding layer forming resin film (see FIG. 2), after peeling the protective film, the resin film for forming a cladding layer is cured by light or heat, A cladding layer is formed. At this time, the clad layer forming resin is preferably formed on a base film subjected to an adhesion treatment. On the other hand, the protective film is preferably not subjected to adhesion treatment in order to facilitate peeling from the clad layer-forming resin film, and may be subjected to mold release treatment as necessary.
According to the manufacturing method described above, it is possible to significantly reduce the manufacturing time of a multimode optical waveguide having a large core size, which has been a conventional problem.
以下に、本発明を実施例によりさらに具体的に説明するが、本発明は、これらの実施例によってなんら限定されるものではない。
実施例1
第１表に示す配合にて、コア層及びクラッド層用樹脂組成物を用意し、これに溶剤としてエチルセロソルブを全量に対して４０質量部加え、コア層用及びクラッド層用樹脂ワニスを調合した。
EXAMPLES The present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to these examples.
Example 1
A resin composition for the core layer and the clad layer was prepared with the formulation shown in Table 1, and 40 parts by mass of ethyl cellosolve as a solvent was added to the total amount to prepare a resin varnish for the core layer and the clad layer. .
＊１ フェノトートＹＰ−７０；東都化成（株）製、ビスフェノールＡ／ビスフェノールＦ共重合型フェノキシ樹脂
＊２ Ａ−ＢＰＥＦ；新中村工業（株）製、９，９−ビス［４−（２−アクリロイルオキシエトキシ）フェニル］フルオレン
＊３ ＥＡ−１０２０；新中村工業（株）製、ビスフェノールＡ型エポキシアクリレート
＊４ ＫＲＭ−２１１０；新中村工業（株）製、アリサイクリックジエポキシカルボキシレート
＊５ ２，２−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール；東京化成工業（株）製
＊６ ４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン；東京化成工業（株）製
＊７ ２−メルカプトベンゾイミダゾール；東京化成工業（株）製
＊８ ＳＰ−１７０；旭電化工業（株）製、トリフェニルスルホニウムヘキサフロロアンチモネート塩
* 1 Phenototoy YP-70; manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd., bisphenol A / bisphenol F copolymer phenoxy resin * 2 A-BPEF; manufactured by Shin-Nakamura Kogyo Co., Ltd., 9,9-bis [4- (2- Acrylyloxyethoxy) phenyl] fluorene * 3 EA-1020; manufactured by Shin-Nakamura Kogyo Co., Ltd., bisphenol A type epoxy acrylate * 4 KRM-2110; manufactured by Shin-Nakamura Kogyo Co., Ltd., alicyclic diepoxycarboxylate * 5 2 , 2-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole; manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd. * 6 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone Manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd. * 7 2-mercaptobenzimidazole; manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd. * 8 SP-170; manufactured by Asahi Denka Kogyo Co., Ltd. Triphenylsulfonium hexafluoroantimonate salt
これをＰＥＴフィルム（東洋紡績（株）製、商品名「コスモシャインＡ１５１７」、厚さ１６μｍ）にアプリケーター（ヨシミツ精機（株）製、「ＹＢＡ−４」）を用いて塗布し（クラッド層形成用樹脂フィルム：巻内の接着処理面を使用、コア層形成用樹脂フィルム：巻外の非処理面を使用）、８０℃、１０分、その後１００℃、１０分で溶剤を乾燥させ、コア層及びクラッド層形成用樹脂フィルムを得た。このときのフィルムの厚さは、アプリケーターの間隙を調節することで、５〜１００μｍの間で任意に調整可能であり、本実施例では、硬化後の膜厚が、コア層４０μｍ、下部クラッド層２０μｍ、上部クラッド層７０μｍとなるように調節した。なお、本実施例で用いたＰＥＴフィルムの最大伸び率は、１１０％であった。 This was applied to a PET film (Toyobo Co., Ltd., trade name “Cosmo Shine A1517”, thickness 16 μm) using an applicator (Yoshimi Seiki Co., Ltd., “YBA-4”) (for clad layer formation) Resin film: Use the adhesive-treated surface in the winding, use the resin film for forming the core layer: use the non-treated surface outside the winding), 80 ° C., 10 minutes, and then dry the solvent at 100 ° C., 10 minutes, A resin film for forming a cladding layer was obtained. The film thickness at this time can be arbitrarily adjusted between 5 and 100 μm by adjusting the gap of the applicator. In this example, the film thickness after curing is 40 μm for the core layer and the lower cladding layer. The thickness was adjusted to 20 μm and the upper cladding layer to 70 μm. The maximum elongation of the PET film used in this example was 110%.
紫外線露光機（（株）オーク製作所製、ＥＸＭ−１１７２）にて紫外線（波長３６５ｎｍ）を１０００ｍＪ／ｃｍ2照射し、下部クラッド層形成用樹脂フィルムを光硬化させた（図１（ａ）参照）。次に、このクラッド層上に、真空加圧式ラミネータ（（株）名機製作所製、ＭＶＬＰ−５００）を用い、圧力０．４ＭＰａ、温度７０℃、加圧時間３０秒の条件にてコア層形成用樹脂フィルムをラミネートした（図１（ｂ）参照）。続いて幅４０μｍのホトマスク（ネガ型）を介し、上記紫外線露光機にて紫外線（波長３６５ｎｍ）を１０００ｍＪ／ｃｍ2照射した後（図１（ｃ）参照）、エチルセロソルブとＮ，Ｎ−ジメチルアセトアミドの８対２質量比混合溶剤にて、コアパターンを現像した（図１（ｄ）参照）。現像液の洗浄には、メタノール及び水を用いた。次いで、同様なラミネート条件にて上部クラッド形成用樹脂フィルムをラミネートし、紫外線照射及び１１０℃で加熱処理を行い、フレキシブル光導波路を作製した（図１（ｅ）参照）。
なお、コア層及びクラッド層の屈折率をＭｅｔｒｉｃｏｎ社製プリズムカプラー（Ｍｏｄｅｌ２０１０）で測定したところ、波長８５０ｎｍにて、コア層が１．５８４、クラッド層が１．５３７であった。
The resin film for forming the lower clad layer was photocured by irradiating with 1000 mJ / cm 2 of ultraviolet rays (wavelength 365 nm) with an ultraviolet exposure machine (EXM-1172, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) (see FIG. 1A). . Next, a core layer is formed on the clad layer using a vacuum pressure laminator (MVLP-500, manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.) under the conditions of pressure 0.4 MPa, temperature 70 ° C., and pressurization time 30 seconds. A resin film was laminated (see FIG. 1B). Subsequently, after irradiation with 1000 mJ / cm 2 of ultraviolet light (wavelength 365 nm) through a photomask (negative type) having a width of 40 μm (see FIG. 1C), ethyl cellosolve and N, N-dimethylacetamide The core pattern was developed with the 8: 2 mass ratio mixed solvent (see FIG. 1D). Methanol and water were used for washing the developer. Next, a resin film for forming an upper clad was laminated under the same lamination conditions, and a flexible optical waveguide was produced by ultraviolet irradiation and heat treatment at 110 ° C. (see FIG. 1E).
When the refractive indexes of the core layer and the clad layer were measured with a prism coupler (Model 2010) manufactured by Metricon, the core layer was 1.584 and the clad layer was 1.537 at a wavelength of 850 nm.
このように作製したフレキシブル光導波路の伝搬損失を、光源に８５５ｎｍのＬＥＤ（（株）アドバンテスト製、Ｑ８１２０１）及び受光センサ（（株）アドバンテスト製、Ｑ８２２１４）を用い、カットバック法（測定導波路長５、３、２ｃｍ、入射ファイバー；ＧＩ−５０／１２５マルチモードファイバー（ＮＡ＝０．２０）、出射ファイバー；ＳＩ−１１４／１２５（ＮＡ＝０．２２）、入射光；実効コア径２６μｍ）により測定したところ、０．３ｄＢ／ｃｍであった。
また、長さ５ｃｍのフレキシブル光導波路を、半径２ｍｍの棒に巻きつけ屈曲性、強靭性を調べたところ、光導波路の割れやクラッド層と基材フィルム、またはクラッド層とコア層で界面剥離は生じず、高い屈曲性、強靭性を有していることがわかった。
The propagation loss of the flexible optical waveguide manufactured in this way was measured using the cut-back method (measurement waveguide length) using a 855 nm LED (manufactured by Advantest Co., Ltd., Q81201) and a light receiving sensor (manufactured by Advantest Co., Ltd., Q82214) as the light source. 5, 3, 2 cm, incident fiber: GI-50 / 125 multimode fiber (NA = 0.20), outgoing fiber: SI-114 / 125 (NA = 0.22), incident light: effective core diameter 26 μm) It was 0.3 dB / cm when measured.
Further, when a flexible optical waveguide having a length of 5 cm was wound around a rod having a radius of 2 mm and the flexibility and toughness were examined, cracks in the optical waveguide and interfacial delamination were observed between the clad layer and the base film, or between the clad layer and the core layer. It did not occur and was found to have high flexibility and toughness.
さらに、得られたフレキシブル光導波路（導波路長５ｃｍ）の３６０°曲げ試験を行った。半径２ｍｍの棒に１周巻きつけ、上記と同様の光源及び受光素子を用いて挿入損失値を測定し、巻きつけない場合の挿入損失値に対する増加分を調べた。その結果、損失値の増加分は０．１ｄＢ未満であり、良好な特性を示した。
また、得られたフレキシブル光導波路（導波路長５ｃｍ）の繰り返し曲げ試験を行った。屈曲耐久試験機（大昌電子（株）製）を用い、曲率半径５ｍｍ、屈曲速度約１秒の条件で繰り返し折り曲げ試験を行った。１００万回実施後のフレキシブル光導波路の挿入損失値を上記と同様の光源及び受光素子を用いて測定し、試験前の挿入損失値に対する増加分を調べた。その結果、損失値の増加分は０．０５ｄＢ未満であり、良好な特性を示した。
Further, the obtained flexible optical waveguide (waveguide length 5 cm) was subjected to a 360 ° bending test. An insertion loss value was measured using a light source and a light receiving element similar to those described above around a rod having a radius of 2 mm, and an increase with respect to the insertion loss value when no winding was performed was examined. As a result, the increase in loss value was less than 0.1 dB, indicating good characteristics.
Further, a repeated bending test of the obtained flexible optical waveguide (waveguide length 5 cm) was performed. Using a bending endurance tester (manufactured by Daisho Electronics Co., Ltd.), repeated bending tests were performed under conditions of a radius of curvature of 5 mm and a bending speed of about 1 second. The insertion loss value of the flexible optical waveguide after one million implementations was measured using the same light source and light receiving element as described above, and the increase with respect to the insertion loss value before the test was examined. As a result, the increase in the loss value was less than 0.05 dB, indicating good characteristics.
実施例２
実施例１において、第１表のコア用の（Ｃ）光重合開始剤を、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルフォスフィンオキサイド（１質量部、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ（株）製）、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン（１質量部、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ（株）製）に代え、またコアパターン露光時の紫外線照射量を４００ｍＪ／ｃｍ2に代えたこと以外は、実施例１と同様にして光導波路を作製した。このときのコア層の屈折率を、Ｍｅｔｒｉｃｏｎ社製プリズムカプラー（Ｍｏｄｅｌ２０１０）を用いて測定したところ、１．５８２であった。
実施例１と同様にフレキシブル光導波路の伝搬損失を測定したところ、０．１ｄＢ／ｃｍであり、本実施例における開始剤を使用した場合、非常に高い透明性を有することがわかった。
Example 2
In Example 1, the (C) photopolymerization initiator for the core shown in Table 1 was bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) phenylphosphine oxide (1 part by mass, manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.). ), 1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one (1 part by mass, manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) An optical waveguide was produced in the same manner as in Example 1 except that the amount of UV irradiation during the core pattern exposure was changed to 400 mJ / cm 2 . The refractive index of the core layer at this time was 1.582 when measured using a prism coupler (Model 2010) manufactured by Metricon.
When the propagation loss of the flexible optical waveguide was measured in the same manner as in Example 1, it was 0.1 dB / cm, and it was found that when the initiator in this example was used, the transparency was very high.
さらに、得られたフレキシブル光導波路（長さ５ｃｍ）の３６０°曲げ試験を、実施例１と同様に行った。その結果、損失値の増加分は０．１ｄＢ未満であり、良好な特性を示した。
また、得られたフレキシブル光導波路（長さ５ｃｍ）の繰り返し折り曲げ試験を、実施例１と同様に行った。その結果、損失値の増加分は０．０５ｄＢ未満であり、良好な特性を示した。
Further, a 360 ° bending test of the obtained flexible optical waveguide (length: 5 cm) was performed in the same manner as in Example 1. As a result, the increase in loss value was less than 0.1 dB, indicating good characteristics.
In addition, a repeated bending test of the obtained flexible optical waveguide (length: 5 cm) was performed in the same manner as in Example 1. As a result, the increase in the loss value was less than 0.05 dB, indicating good characteristics.
実施例３
第２表に示す配合にて、コア層及びクラッド層用樹脂組成物を用意し、これに溶剤としてエチルセロソルブを全量に対して４０質量部加え、コア層用及びクラッド層用樹脂ワニスを調合した。
Example 3
A resin composition for the core layer and the clad layer was prepared with the formulation shown in Table 2, and 40 parts by mass of ethyl cellosolve was added as a solvent to the total amount to prepare a resin varnish for the core layer and the clad layer. .
＊１〜＊４及び＊８ 前出
＊９ ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルフォスフィンオキサイド；チバ・スペシャリティ・ケミカルズ（株）製
＊１０ １−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン；チバ・スペシャリティ・ケミカルズ（株）製
＊１１ ＳＰ−１００；芳香族系化合物、旭電化工業（株）製
* 1 to * 4 and * 8 supra * 9 Bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) phenylphosphine oxide; manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd. * 10 1- [4- (2-hydroxyethoxy) Phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one; manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd. * 11 SP-100; aromatic compound, manufactured by Asahi Denka Kogyo Co., Ltd.
クラッド層形成用ワニスをポリアミドフィルム（東レ（株）製、商品名「ミクトロン」、厚さ１２μｍ）のコロナ処理面に、コア形成用ワニスをＰＥＴフィルム（東洋紡績（株）製、商品名「コスモシャインＡ１５１７」、厚さ１６μｍ）の非処理面にアプリケーター（ヨシミツ精機（株）製、「ＹＢＡ−４」）を用い塗布し、８０℃、１０分、その後１００℃、１０分で溶剤乾燥させコア層及びクラッド層形成用樹脂フィルムを得た。このときのフィルムの厚さは、アプリケーターの間隙を調節することで、５〜１００μｍの間で任意に調整可能であり、本実施例では、硬化後の膜厚が、コア層４０μｍ、下部クラッド層２０μｍ、上部クラッド層７０μｍとなるように調節した。 The clad layer forming varnish is applied to the corona-treated surface of the polyamide film (trade name “Mikutron”, thickness 12 μm, manufactured by Toray Industries, Inc.), and the core forming varnish is applied to the PET film (Toyobo Co., Ltd., product name “Cosmo”). A non-treated surface of Shine A1517 ”(thickness: 16 μm) was applied using an applicator (“ YBA-4 ”manufactured by Yoshimitsu Seiki Co., Ltd.), and the solvent was dried at 80 ° C. for 10 minutes and then at 100 ° C. for 10 minutes. A resin film for forming a layer and a clad layer was obtained. The film thickness at this time can be arbitrarily adjusted between 5 and 100 μm by adjusting the gap of the applicator. In this example, the film thickness after curing is 40 μm for the core layer and the lower cladding layer. The thickness was adjusted to 20 μm and the upper cladding layer to 70 μm.
紫外線露光機（（株）オーク製作所製、ＥＸＭ−１１７２）にて紫外線（波長３６５ｎｍ）を１０００ｍＪ／ｃｍ2照射し、下部クラッド層形成用樹脂フィルムを光硬化させた（図１（ａ）参照）。次に、このクラッド層上に、真空加圧式ラミネータ（（株）名機製作所製、ＭＶＬＰ−５００）を用い、圧力０．４ＭＰａ、温度７０℃、加圧時間３０秒の条件にてコア層形成用樹脂フィルムをラミネートした（図１（ｂ）参照）。続いて幅４０μｍのホトマスク（ネガ型）を介し、上記紫外線露光機にて紫外線（波長３６５ｎｍ）を４００ｍＪ／ｃｍ2照射した後（図１（ｃ）参照）、エチルセロソルブとＮ，Ｎ−ジメチルアセトアミドの８対２質量比混合溶剤にて、コアパターンを現像した（図１（ｄ）参照）。現像液の洗浄には、メタノール及び水を用いた。次いで、同様なラミネート条件にて上部クラッド形成用樹脂フィルムをラミネートし、アイグラフィックス（株）製、「アイドルフィン３０００」にて紫外線（波長４０５ｎｍ）を３０００ｍＪ／ｃｍ2照射し、その後１６０℃で加熱処理を行い、フレキシブル光導波路を作製した（図１（ｅ）参照）。
なお、コア層及びクラッド層の屈折率をＭｅｔｒｉｃｏｎ社製プリズムカプラー（Ｍｏｄｅｌ２０１０）で測定したところ、波長８５０ｎｍにて、コア層が１．５８２、クラッド層が１．５３９であった。
The resin film for forming the lower clad layer was photocured by irradiating with 1000 mJ / cm 2 of ultraviolet rays (wavelength 365 nm) with an ultraviolet exposure machine (EXM-1172, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) (see FIG. 1A). . Next, a core layer is formed on the clad layer using a vacuum pressure laminator (MVLP-500, manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.) under the conditions of pressure 0.4 MPa, temperature 70 ° C., and pressurization time 30 seconds. A resin film was laminated (see FIG. 1B). Subsequently, after irradiation with 400 mJ / cm 2 of ultraviolet light (wavelength 365 nm) through a photomask (negative type) having a width of 40 μm (see FIG. 1C), ethyl cellosolve and N, N-dimethylacetamide The core pattern was developed with the 8: 2 mass ratio mixed solvent (see FIG. 1D). Methanol and water were used for washing the developer. Next, an upper clad forming resin film was laminated under the same laminating conditions, and irradiated with 3000 mJ / cm 2 of ultraviolet rays (wavelength 405 nm) with “Idle Fin 3000” manufactured by Eye Graphics Co., Ltd., and then at 160 ° C. Heat treatment was performed to produce a flexible optical waveguide (see FIG. 1 (e)).
When the refractive indexes of the core layer and the clad layer were measured with a prism coupler (Model 2010) manufactured by Metricon, the core layer was 1.582 and the clad layer was 1.539 at a wavelength of 850 nm.
このように作製したフレキシブル光導波路の伝搬損失を、光源に８５５ｎｍのＬＥＤ（（株）アドバンテスト製、Ｑ８１２０１）及び受光センサ（（株）アドバンテスト製、Ｑ８２２１４）を用い、カットバック法（測定導波路長５、３、２ｃｍ、入射ファイバー；ＧＩ−５０／１２５マルチモードファイバー（ＮＡ＝０．２０）、出射ファイバー；ＳＩ−１１４／１２５（ＮＡ＝０．２２）、入射光；実効コア径２６μｍ）により測定したところ、０．１ｄＢ／ｃｍであり、極めて損失が小さいことがわかった。
また、作製したフレキシブル光導波路を最高到達温度２６５℃（２６０℃以上の保持時間１５〜２０秒）、窒素雰囲気下の条件で、はんだリフロー炉（古河電気工業（株）製、「サラマンダ」）中を３回通過させ、リフローによる損失増加を測定したところ、リフローによる損失増加は０．１ｄＢ／ｃｍ未満であり、基材フィルムにポリアミドを用いた場合、フレキシブル光導波路が高い耐熱性を有していることがわかった。
The propagation loss of the flexible optical waveguide manufactured in this way was measured using the cut-back method (measurement waveguide length) using a 855 nm LED (manufactured by Advantest Co., Ltd., Q81201) and a light receiving sensor (manufactured by Advantest Co., Ltd., Q82214) as the light source. 5, 3, 2 cm, incident fiber: GI-50 / 125 multimode fiber (NA = 0.20), outgoing fiber: SI-114 / 125 (NA = 0.22), incident light: effective core diameter 26 μm) When measured, it was 0.1 dB / cm, and it was found that the loss was extremely small.
Also, in the solder reflow furnace (Furukawa Electric Co., Ltd., “Salamanda”) with the maximum temperature reached 265 ° C. (holding time 15 to 20 seconds above 260 ° C.) under a nitrogen atmosphere. When the increase in loss due to reflow was measured, the increase in loss due to reflow was less than 0.1 dB / cm. When polyamide was used for the base film, the flexible optical waveguide had high heat resistance. I found out.
さらに、半径２ｍｍの棒に巻きつけ屈曲性、強靭性を調べたところ、光導波路の割れやクラッド層と基材フィルム、またはクラッド層とコア層で界面剥離は生じず、高い屈曲性、強靭性を有していることがわかった。
また、得られたフレキシブル光導波路の３６０°曲げ試験を、実施例１と同様に行った。その結果、損失値の増加分は０．１ｄＢ未満であり、良好な特性を示した。
さらに、得られたフレキシブル光導波路の繰り返し折り曲げ試験を、実施例１と同様に行った。その結果、損失値の増加分は０．０５ｄＢ未満であり、良好な特性を示した。
Furthermore, when bending and toughness were examined by winding around a rod with a radius of 2 mm, the optical waveguide was not cracked, and no interfacial delamination occurred between the clad layer and the base film, or between the clad layer and the core layer, and high flexibility and toughness. It was found that
Further, a 360 ° bending test of the obtained flexible optical waveguide was performed in the same manner as in Example 1. As a result, the increase in loss value was less than 0.1 dB, indicating good characteristics.
Furthermore, the repeated bending test of the obtained flexible optical waveguide was performed in the same manner as in Example 1. As a result, the increase in the loss value was less than 0.05 dB, indicating good characteristics.
実施例４
実施例１において、クラッド形成用樹脂フィルムをＰＥＴフィルムの巻外（非処理面）に塗布したこと以外は、実施例１と同様にフレキシブル光導波路を作製した。この場合、半径２ｍｍの棒に巻きつけたところ、クラッド層と基材フィルムの界面で若干の剥離とフレキシブル光導波路にクラックが生じたが、実用的には十分な程度の屈曲性及び強靭性を示した。
Example 4
In Example 1, a flexible optical waveguide was produced in the same manner as in Example 1 except that the clad-forming resin film was applied to the outside of the PET film (non-treated surface). In this case, when wound around a rod having a radius of 2 mm, some peeling and cracking occurred in the flexible optical waveguide at the interface between the clad layer and the base film, but practically sufficient flexibility and toughness were obtained. Indicated.
本発明のフレキシブル光導波路は、高い屈曲性、強靭性を有する。また、本発明によれば、生産性良くフレキシブル光導波路を製造することが可能である。 The flexible optical waveguide of the present invention has high flexibility and toughness. Moreover, according to the present invention, it is possible to manufacture a flexible optical waveguide with high productivity.
１、８；基材フィルム
２；下部クラッド層
３；コア層
４；基材（コア層形成用）
５；ホトマスク
６；コアパターン
７；上部クラッド層
９：保護フィルム
1, 8;
5;
Claims (4)
コア層と基材とを有するコア層形成用樹脂フィルムと、
第２のクラッド層形成用樹脂とポリエチレンテレフタレートフィルム又はポリアミドフィルムである第２の基材フィルムとを有する第２のクラッド層形成用樹脂フィルムと、
を用いて作製される、
上部クラッド層と、下部クラッド層と、前記上部クラッド層と前記下部クラッド層との間に埋め込まれたコアパターンとを有するフレキシブル光導波路の製造方法であって、
前記第１のクラッド層形成用樹脂を光硬化させて、前記第１のクラッド層形成樹脂フィルムに前記下部クラッド層を形成する工程と、
前記下部クラッド層上に、前記コア層形成用樹脂フィルムをラミネートして、前記下部クラッド層上に前記コア層を積層する工程と、
前記コア層形成用樹脂フィルムの前記基材上からネガマスクパターンを通して活性光線を画像状に前記コア層に照射させる工程と、
前記コア層形成用樹脂フィルムの前記基材を前記コア層から剥離させる工程と、
前記コア層を現像させて、前記下部クラッド層に前記コアパターンを形成する工程と、
前記第２のクラッド層形成用樹脂が前記コアパターン側になるように、前記第２のクラッド層形成用樹脂フィルムを前記コア層上にラミネートして、前記第２のクラッド層形成用樹脂を前記コアパターンに埋め込む工程と、
前記第２の基材フィルム上から活性光線を照射し前記第２のクラッド層形成用樹脂を光硬化させて、前記上部クラッド層を形成する工程と、
を備える、フレキシブル光導波路の製造方法。 A first clad layer-forming resin film having a first clad layer-forming resin and a first base film that is a polyethylene terephthalate film or a polyamide film;
A core layer-forming resin film having a core layer and a substrate;
A second clad layer-forming resin film comprising a second clad layer-forming resin and a second base film that is a polyethylene terephthalate film or a polyamide film;
Made using
A method of manufacturing a flexible optical waveguide having an upper cladding layer, a lower cladding layer, and a core pattern embedded between the upper cladding layer and the lower cladding layer,
Photocuring the first cladding layer forming resin to form the lower cladding layer on the first cladding layer forming resin film;
Laminating the core layer-forming resin film on the lower clad layer, and laminating the core layer on the lower clad layer;
Irradiating the core layer in an image form with an active ray through a negative mask pattern from the base material of the core layer forming resin film; and
Peeling the base material of the core layer-forming resin film from the core layer;
Developing the core layer to form the core pattern in the lower cladding layer;
The second cladding layer forming resin film is laminated on the core layer so that the second cladding layer forming resin is on the core pattern side, and the second cladding layer forming resin is Embedding in the core pattern;
Irradiating an actinic ray from the second base film to photocuring the second clad layer forming resin to form the upper clad layer;
A method for manufacturing a flexible optical waveguide.
前記第１のクラッド層形成用樹脂フィルムは、前記第１のクラッド層形成用樹脂と、前記第１の基材フィルムとを有し、前記第１のクラッド層形成用樹脂を前記第１の基材フィルムに塗布し、溶剤乾燥させたものであり、
前記下部クラッド層は、前記第１のクラッド層形成用樹脂を硬化させたもので、
前記コアパターンは、前記コア層形成用樹脂フィルムによって形成され、
前記上部クラッド層は、前記上部クラッド層と前記下部クラッド層との間に前記コアパターンが埋め込まれるように、前記下部クラッド層に積層されており、
前記第１の基材フィルムは、前記下部クラッド層において、前記コアパターンとは反対側である前記下部クラッド層の外側に配置されている、フレキシブル光導波路。 A flexible optical waveguide manufactured by the manufacturing method according to claim 1,
The first clad layer forming resin film includes the first clad layer forming resin and the first base film, and the first clad layer forming resin is used as the first base film. It is applied to a material film and dried with a solvent.
The lower clad layer is obtained by curing the first clad layer forming resin,
The core pattern is formed by the core layer forming resin film,
The upper clad layer is laminated on the lower clad layer so that the core pattern is embedded between the upper clad layer and the lower clad layer,
The flexible optical waveguide, wherein the first base film is disposed on the outer side of the lower clad layer on the opposite side to the core pattern in the lower clad layer.
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