JP4731633B1 - Magnetic sensor - Google Patents

Magnetic sensor Download PDF

Info

Publication number
JP4731633B1
JP4731633B1 JP2010206707A JP2010206707A JP4731633B1 JP 4731633 B1 JP4731633 B1 JP 4731633B1 JP 2010206707 A JP2010206707 A JP 2010206707A JP 2010206707 A JP2010206707 A JP 2010206707A JP 4731633 B1 JP4731633 B1 JP 4731633B1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
voltage
current
coil
circuit
capacitor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2010206707A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2012063205A (en
Inventor
栄作 新井
Original Assignee
株式会社マコメ研究所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社マコメ研究所 filed Critical 株式会社マコメ研究所
Priority to JP2010206707A priority Critical patent/JP4731633B1/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4731633B1 publication Critical patent/JP4731633B1/en
Publication of JP2012063205A publication Critical patent/JP2012063205A/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Measuring Magnetic Variables (AREA)

Abstract

【課題】単一のコイルで直流オフセットを効果的に抑止し、小型でありながら高精度な磁気センサを提供する。
【解決手段】ヨーク201を伴うコイルL104とコンデンサC305を直列接続した回路に対し、矩形波を供給する。矩形波の周期内でヨーク201に飽和現象を発生させ、その電流変化を電流電圧変換回路を通じて検出した後、積分する。この積分出力信号に基づく電流を電圧電流変換回路で作り、コイルL104にフィードバックさせる。フィードバック電流は外部磁界に比例するので、直線性の良い磁気センサを得ることができる。従来技術とは異なり、コイルL104に双方向の電流を流すので、回路定数が変化した場合でも検出電圧の変化が電流方向の違いでそれぞれ同じ大きさになり相殺される。このため無磁界時のオフセットが生じ難い。したがって、従来技術のように二つのコイルを設ける必要がなく、部品点数が少なくなるので、低コストで高精度な磁気センサを実現できる。
【選択図】図8
Disclosed is a magnetic sensor that effectively suppresses a DC offset with a single coil and is small but highly accurate.
A rectangular wave is supplied to a circuit in which a coil L104 with a yoke 201 and a capacitor C305 are connected in series. A saturation phenomenon is generated in the yoke 201 within the period of the rectangular wave, and the current change is detected through the current-voltage conversion circuit and then integrated. A current based on the integrated output signal is generated by a voltage-current converter circuit and fed back to the coil L104. Since the feedback current is proportional to the external magnetic field, a magnetic sensor with good linearity can be obtained. Unlike the prior art, since a bidirectional current is passed through the coil L104, even if the circuit constant changes, the change in the detection voltage becomes the same magnitude due to the difference in the current direction and cancels out. For this reason, an offset at the time of no magnetic field hardly occurs. Therefore, it is not necessary to provide two coils as in the prior art, and the number of parts is reduced, so that a highly accurate magnetic sensor can be realized at low cost.
[Selection] Figure 8

Description

本発明は、磁気センサに関する。
より詳細には、高感度のアクティブ型磁気センサに、単一のコイルで磁界の検出とコイルのヨークをゼロ磁界に制御するサーボ機能を併せ持つことで、少ないハードウェアリソースで安定した特性を実現する、新規な磁気センサに関する。
The present invention relates to a magnetic sensor.
More specifically, a highly sensitive active magnetic sensor has a servo function that detects a magnetic field with a single coil and controls the yoke of the coil to a zero magnetic field, thereby realizing stable characteristics with few hardware resources. The present invention relates to a novel magnetic sensor.

出願人は、周知のホール素子と比べて感度で三桁以上の高感度特性を実現する、アクティブ型磁気センサを製造販売している。以下、このアクティブ型磁気センサの動作原理について説明する。   The applicant manufactures and sells an active type magnetic sensor that realizes a high-sensitivity characteristic of three orders of magnitude or more compared with a known Hall element. Hereinafter, the operating principle of this active magnetic sensor will be described.

図10(a)、(b)及び(c)は、出願人が製造販売する磁気センサの動作原理を説明するための、コイルの諸特性を説明するグラフである。
図10(a)は磁気センサの原理を説明する回路図であり、図10(b)は図10(a)の回路のスイッチSWの状態を示す図であり、図10(c)は図10(a)の回路のコンデンサCの両端電圧の過渡応答特性を示すグラフである。
FIGS. 10A, 10B, and 10C are graphs for explaining various characteristics of the coil for explaining the operation principle of the magnetic sensor manufactured and sold by the applicant.
10A is a circuit diagram for explaining the principle of the magnetic sensor, FIG. 10B is a diagram showing the state of the switch SW of the circuit of FIG. 10A, and FIG. 10C is FIG. It is a graph which shows the transient response characteristic of the both ends voltage of the capacitor | condenser C of the circuit of (a).

図10(a)に示すように、直流電源Eに、スイッチSW、抵抗R、コイルLとコンデンサCを直列に接続し、図10(b)に示すようにスイッチをオン操作すると、コンデンサCの両端電圧は、図10(c)に示すように、コイルLの作用で徐々に増加して、その後振動しながらある一定の電圧に収束する。これは典型的なステップ応答の波形である。
この電圧波形の、スイッチSWをオン操作した直後の立ち上がりの傾きは、コイルLのインダクタンスが大きいほど緩やかになり、コイルLのインダクタンスが小さいほど急峻になることは周知である。
本出願人の磁気センサは、このコイルのインダクタンスの変化を過渡応答現象から得ることで実現している。
As shown in FIG. 10A, when a switch SW, a resistor R, a coil L and a capacitor C are connected in series to the DC power source E, and the switch is turned on as shown in FIG. As shown in FIG. 10C, the both-end voltage gradually increases due to the action of the coil L and then converges to a certain voltage while vibrating. This is a typical step response waveform.
It is well known that the rising slope of the voltage waveform immediately after the switch SW is turned on becomes gentler as the inductance of the coil L becomes larger and becomes steeper as the inductance of the coil L becomes smaller.
The magnetic sensor of the present applicant is realized by obtaining the change in inductance of the coil from a transient response phenomenon.

コイルの中心に透磁率の高いヨーク(継鉄)を介在させると、コイルのインダクタンスは増加する。透磁率の高い磁性材料として、磁気ヘッドで周知のパーマロイがある。このパーマロイには、高い透磁率の他に、強い磁界を与えるとある時点以降は磁束密度がそれ以上増えず、実質的に透磁率がゼロになる、という特性がある。強磁性体には強い磁界を与えると磁化して磁束密度がそれ以上増えない、飽和磁束密度が存在するが、パーマロイの場合は残留磁束密度が小さいので、トランスやコイル等のヨークとして用いるに適した材料である。そこで、ヨークにパーマロイを用いたコイルを用意して、外部から磁界を加える時と加えない時とで、インダクタンスの変化を検出すると、磁気センサが実現できる。   If a yoke with high magnetic permeability is interposed in the center of the coil, the inductance of the coil increases. As a magnetic material having a high magnetic permeability, there is a permalloy known for a magnetic head. In addition to high magnetic permeability, this permalloy has the property that when a strong magnetic field is applied, the magnetic flux density does not increase further after a certain point, and the magnetic permeability is substantially zero. There is a saturation magnetic flux density that magnetizes when a strong magnetic field is applied to a ferromagnet and the magnetic flux density does not increase any more, but in the case of permalloy, the residual magnetic flux density is small, so it is suitable for use as a yoke for transformers, coils, etc. Material. Therefore, a magnetic sensor can be realized by preparing a coil using permalloy for the yoke and detecting a change in inductance depending on whether or not a magnetic field is applied from the outside.

図10(d)は、パーマロイをヨークに用いたコイルの、外部から印加する磁界の強さに対する、磁束密度の関係を示すグラフ(B−H曲線)である。
コイルに電流を流さない状態で外部磁界を印加すると、ヨークの磁束密度は飽和磁束密度に至るとそれ以上増えなくなる(S1001)。
コイルに正方向の電流を流した状態で、ヨークに正方向の磁界を与えて、同様にヨークの磁束密度を見ると、電流で正方向の磁界が発生している分だけ磁束密度は正方向にオフセットして、電流が流れていない状態よりも弱い外部磁界で、飽和磁束密度に達する(S1002)。
コイルに逆方向の電流を流した状態で、ヨークに正方向の磁界を与えて、同様にヨークの磁束密度を見ると、電流で負方向の磁界が発生している分だけ磁束密度は負方向にオフセットして、電流が流れていない状態よりも強い外部磁界で、飽和磁束密度に達する(S1003)。
このように、パーマロイをヨークに用いたコイルは、正方向、負方向の両方向の磁界を区別して検出できるセンサとして応用できる。
特許文献1及び特許文献2は、上述の技術を応用した、本願発明者による磁気センサを用いた電流センサの先行技術文献である。
FIG. 10D is a graph (BH curve) showing the relationship of the magnetic flux density to the strength of the magnetic field applied from the outside of the coil using Permalloy as the yoke.
When an external magnetic field is applied in a state where no current flows through the coil, the magnetic flux density of the yoke does not increase any more when the saturation magnetic flux density is reached (S1001).
When a positive magnetic field is applied to the yoke while a positive current is applied to the coil, and the magnetic flux density of the yoke is observed in the same manner, the magnetic flux density is positive by the amount that a positive magnetic field is generated by the current. The saturation magnetic flux density is reached with an external magnetic field weaker than that in a state where no current flows (S1002).
When a current in the reverse direction is applied to the coil and a magnetic field in the positive direction is applied to the yoke, and the magnetic flux density of the yoke is observed in the same manner, the magnetic flux density is in the negative direction as much as the negative magnetic field is generated by the current. The saturation magnetic flux density is reached with an external magnetic field stronger than that in a state where no current flows (S1003).
Thus, a coil using permalloy as a yoke can be applied as a sensor that can distinguish and detect magnetic fields in both the positive and negative directions.
Patent Document 1 and Patent Document 2 are prior art documents of a current sensor using a magnetic sensor by the present inventor, to which the above-described technology is applied.

特許3907488号公報Japanese Patent No. 3907488 特開2001−153895号公報JP 2001-153895 A

特許文献1及び特許文献2に開示されている技術内容は、コイルのインダクタンスの変化をステップ応答特性を利用して検出するための技術が共通する。コンデンサと直列接続されているコイルにパルス状の直流電圧を連続的に印加し、コイルの電流変化を捉える。特許文献1及び特許文献2は、ダイオードを用いた包絡線検波で電流変化を検出している。   The technical contents disclosed in Patent Literature 1 and Patent Literature 2 are common to the technology for detecting the change in the inductance of the coil using the step response characteristics. A pulsed DC voltage is continuously applied to the coil connected in series with the capacitor, and changes in the coil current are captured. In Patent Document 1 and Patent Document 2, a change in current is detected by envelope detection using a diode.

これら従来技術に用いられている検出回路は、ヨークの磁気特性の制約から直線性の良好な範囲が制限され、また回路定数やヨークの磁気特性が温度によって変化するため出力電圧が温度によって変動する問題があった。   In the detection circuits used in these conventional techniques, the range of good linearity is limited due to the restriction of the magnetic characteristics of the yoke, and the output voltage varies depending on the temperature because the circuit constants and the magnetic characteristics of the yoke change depending on the temperature. There was a problem.

本発明は単一のコイルで磁界の検出とコイルのヨークをゼロ磁界に制御するサーボ機能を併せ持つことでかかる課題を解決し、小型でありながら高精度な磁気センサを提供することを目的とする。   An object of the present invention is to solve such a problem by combining a servo function for detecting a magnetic field with a single coil and controlling a yoke of the coil to a zero magnetic field, and an object of the present invention is to provide a small but highly accurate magnetic sensor. .

上記課題を解決するために、本発明の磁気センサは、矩形波を出力する駆動回路と、駆動回路に接続される、ヨークを伴うコイルと、コイルに直列接続されるコンデンサと、コイルの電流を電圧に変換する電流電圧変換回路と、電流電圧変換回路の出力信号の正方向ピークの電圧及び負方向ピークの電圧を検出する正負ピーク検出回路と、正負ピーク検出回路が出力する正方向ピークの電圧及び負方向ピークの電圧加算信号を積分して磁気検出信号を出力する、フィードバックループにコンデンサを有する能動型の積分回路と、積分回路の出力電圧を電流に変換してコイルとコンデンサとの接続点に供給する電圧電流変換回路とを具備する。 In order to solve the above-described problems, a magnetic sensor of the present invention includes a drive circuit that outputs a rectangular wave, a coil connected to the drive circuit, a coil with a yoke, a capacitor connected in series to the coil, and a current of the coil. Current-voltage conversion circuit for converting to voltage, positive / negative peak detection circuit for detecting positive and negative peak voltage of output signal of current / voltage conversion circuit, and positive peak voltage output by positive / negative peak detection circuit Integrates the sum signal of the negative peak voltage and outputs a magnetic detection signal. An active integration circuit having a capacitor in the feedback loop, and a connection between the coil and the capacitor by converting the output voltage of the integration circuit into a current. A voltage-current conversion circuit to be supplied to the point.

コイルとコンデンサを直列接続した回路に対し、所定の電圧と接地とを交互に接続する。また、フリーホイールダイオードを二つ設けて、電圧或は接地から切断した直後にコイルから生じる起電力を受け流し、コンデンサに電荷を蓄積させると共に回路を安定化させる。その後、コンデンサ或はコンデンサとコイルの直列接続よりなる負荷の両端電圧を取得して、コイル電流による磁界と外部磁界が同一極性の状態と逆極性の状態との電圧を比較して、磁界の有無と方向を検出する。   A predetermined voltage and ground are alternately connected to a circuit in which a coil and a capacitor are connected in series. In addition, two free wheel diodes are provided to receive an electromotive force generated from the coil immediately after being disconnected from the voltage or ground to accumulate electric charges in the capacitor and stabilize the circuit. Then, obtain the voltage across the capacitor or the load consisting of the capacitor and coil connected in series, compare the voltage between the magnetic field due to the coil current and the external magnetic field with the same polarity and the opposite polarity, And detect the direction.

本発明により、単一のコイルで磁界の検出とコイルのヨークをゼロ磁界に制御するサーボ機能を併せ持ち、小型でありながら高精度な磁気センサを提供できる。   According to the present invention, it is possible to provide a magnetic sensor with a small size and high accuracy, which has both a servo function for detecting a magnetic field with a single coil and controlling a yoke of the coil to a zero magnetic field.

本発明の第一の実施形態に係る磁気センサの外観斜視図である。1 is an external perspective view of a magnetic sensor according to a first embodiment of the present invention. 磁気センサのブロック図である。It is a block diagram of a magnetic sensor. 検出部の回路図である。It is a circuit diagram of a detection part. シーケンサのブロック図である。It is a block diagram of a sequencer. 磁気センサの動作原理を説明する図である。It is a figure explaining the principle of operation of a magnetic sensor. 磁気センサの各部の波形図である。It is a wave form diagram of each part of a magnetic sensor. 本発明の第二の実施形態に係る磁気センサの外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the magnetic sensor which concerns on 2nd embodiment of this invention. 磁気センサの回路図である。It is a circuit diagram of a magnetic sensor. 磁気センサの各部の波形図である。It is a wave form diagram of each part of a magnetic sensor. 出願人が製造販売する磁気センサの動作原理を説明するための、コイルの諸特性を説明するグラフである。It is a graph explaining various characteristics of a coil for explaining an operation principle of a magnetic sensor which an applicant manufactures and sells.

[第一の実施形態]
図1は、本発明の第一の実施形態に係る磁気センサの外観斜視図である。
磁気センサ101は、樹脂モールドされた回路ブロック102と、ケーブル103を通じて回路ブロック102に接続されているコイルL104よりなる。コイルL104はパーマロイのヨークに巻かれている。
このコイルL104に磁石105を近接すると、アナログの検出信号が得られる。
[First embodiment]
FIG. 1 is an external perspective view of the magnetic sensor according to the first embodiment of the present invention.
The magnetic sensor 101 includes a resin-molded circuit block 102 and a coil L104 connected to the circuit block 102 through a cable 103. The coil L104 is wound around a permalloy yoke.
When the magnet 105 is brought close to the coil L104, an analog detection signal is obtained.

図2は、磁気センサ101のブロック図である。
磁気センサ101は、ヨーク201に巻かれたコイルL104のインダクタンスの変化を検出する検出部203と、この検出部203に一定周期のパルスを複数出力するシーケンサ204よりなる。シーケンサ204は、後述する図6(a)、(b)、(c)及び(d)に示す波形のパルスを出力する。
FIG. 2 is a block diagram of the magnetic sensor 101.
The magnetic sensor 101 includes a detection unit 203 that detects a change in inductance of the coil L104 wound around the yoke 201, and a sequencer 204 that outputs a plurality of pulses having a constant period to the detection unit 203. The sequencer 204 outputs pulses having waveforms shown in FIGS. 6A, 6B, 6C, and 6D described later.

図3は、検出部203の回路図である。
第一スイッチ301は第二スイッチ302に直列接続され、電源電圧+Vccが印加される。第二スイッチ302は第一スイッチ301と接地との間に接続される。
第一スイッチ301及び第二スイッチ302はトランジスタスイッチである。
FIG. 3 is a circuit diagram of the detection unit 203.
The first switch 301 is connected in series to the second switch 302 and applied with a power supply voltage + Vcc. The second switch 302 is connected between the first switch 301 and the ground.
The first switch 301 and the second switch 302 are transistor switches.

第一スイッチ301はシーケンサ204が出力する制御パルス信号P1によってオン・オフ制御される。同様に、第二スイッチ302はシーケンサ204が出力する制御パルス信号P2によってオン・オフ制御される。制御パルス信号P1と制御パルス信号P2は、互いにオン・オフ動作するので、第一スイッチ301と第二スイッチ302が同時にオン動作することはない。   The first switch 301 is on / off controlled by a control pulse signal P 1 output from the sequencer 204. Similarly, the second switch 302 is ON / OFF controlled by a control pulse signal P2 output from the sequencer 204. Since the control pulse signal P1 and the control pulse signal P2 are turned on / off, the first switch 301 and the second switch 302 are not turned on at the same time.

第一スイッチ301には、第一フリーホイールダイオードD303が並列接続されている。同様に、第二スイッチ302には、第二フリーホイールダイオードD304が並列接続されている。   A first freewheel diode D303 is connected in parallel to the first switch 301. Similarly, a second freewheel diode D304 is connected in parallel to the second switch 302.

第一スイッチ301と第二スイッチ302との間の中点には、コンデンサC305とコイルL104が直列接続されている。コイルL104はその一端が接地される。
第一スイッチ301と第二スイッチ302との間の中点には、コンデンサC305とコイルL104の両端電圧を検出するための回路として、二つのサンプルホールド回路が接続されている。
A capacitor C305 and a coil L104 are connected in series at the midpoint between the first switch 301 and the second switch 302. One end of the coil L104 is grounded.
Two sample and hold circuits are connected to a midpoint between the first switch 301 and the second switch 302 as a circuit for detecting the voltage across the capacitor C305 and the coil L104.

サンプルホールド回路は、第一サンプルホールド回路ともいえるコンデンサC306とオペアンプ307、及び第二サンプルホールド回路ともいえるコンデンサC309とオペアンプ311で構成される。オペアンプ307及び311は帰還抵抗がゼロの非反転増幅器、すなわちボルテージフォロワを構成し、コンデンサC306とコイルL104の両端電圧をそのまま出力する。   The sample and hold circuit includes a capacitor C306 and an operational amplifier 307 that can be called a first sample and hold circuit, and a capacitor C309 and an operational amplifier 311 that can be called a second sample and hold circuit. The operational amplifiers 307 and 311 constitute a non-inverting amplifier with zero feedback resistance, that is, a voltage follower, and outputs the voltage across the capacitor C306 and the coil L104 as it is.

コンデンサC306とコンデンサC305との間には、第三スイッチ308が介在する。第三スイッチ308はシーケンサ204が出力するサンプリングパルス信号P3によってオン・オフ制御されるトランジスタスイッチである。
コンデンサC309とコンデンサC305との間には、第四スイッチ310が介在する。第四スイッチ310はシーケンサ204が出力するサンプリングパルス信号P4によってオン・オフ制御されるトランジスタスイッチである。
A third switch 308 is interposed between the capacitor C306 and the capacitor C305. The third switch 308 is a transistor switch that is ON / OFF controlled by a sampling pulse signal P3 output from the sequencer 204.
A fourth switch 310 is interposed between the capacitor C309 and the capacitor C305. The fourth switch 310 is a transistor switch that is on / off controlled by a sampling pulse signal P4 output from the sequencer 204.

コンデンサC306とC309は、コンデンサC305とコイルL104の両端電圧を取得する際、コンデンサC305に蓄積されている電荷の量を大きく変化させないために、コンデンサC305と比べると十分小さな静電容量である必要がある。一例として、C305の100分の1以下であることが望ましい。   Capacitors C306 and C309 need to have a sufficiently small capacitance compared to capacitor C305 in order not to greatly change the amount of charge accumulated in capacitor C305 when acquiring the voltage across capacitor C305 and coil L104. is there. As an example, it is desirable that it is 1/100 or less of C305.

サンプルホールド回路を構成するオペアンプ307の出力とオペアンプ311の出力は、加算回路に入力される。
オペアンプ307の出力に接続される抵抗R312と、オペアンプ311の出力に接続される抵抗R313は、加算回路の入力部を構成する。抵抗R312と抵抗R313の中点、すなわち加算信号はオペアンプ314の反転入力に印加される。
The output of the operational amplifier 307 and the output of the operational amplifier 311 constituting the sample hold circuit are input to the adder circuit.
The resistor R312 connected to the output of the operational amplifier 307 and the resistor R313 connected to the output of the operational amplifier 311 constitute an input unit of the adder circuit. The middle point of the resistors R312 and R313, that is, the addition signal is applied to the inverting input of the operational amplifier 314.

オペアンプ314の反転入力と出力との間には、コンデンサC317が接続されている。このため、オペアンプ314は積分器を構成する。
積分器を構成するオペアンプ314の非反転入力には、バイアス電圧として、電源電圧+Vccの半分の電圧が印加される。
こうして、オペアンプ314はコンデンサC305の平均電圧を出力する。
このコンデンサC305の平均電圧は、磁石105等によってコイルL104に印加される磁界に応じて変化する。この仕組みの詳細については後述する。
A capacitor C317 is connected between the inverting input and the output of the operational amplifier 314. For this reason, the operational amplifier 314 constitutes an integrator.
A voltage that is half of the power supply voltage + Vcc is applied as a bias voltage to the non-inverting input of the operational amplifier 314 constituting the integrator.
Thus, the operational amplifier 314 outputs the average voltage of the capacitor C305.
The average voltage of the capacitor C305 changes according to the magnetic field applied to the coil L104 by the magnet 105 or the like. Details of this mechanism will be described later.

オペアンプ314の出力信号は、抵抗R318を通じてオペアンプ319の非反転入力に接続される。
オペアンプ319の反転入力には、抵抗R320を通じて、オペアンプ314と同様に電源電圧+Vccの半分の電圧が印加される。このオペアンプ319は、反転入力側の抵抗R320と非反転入力側の抵抗R318の抵抗値が等しくなっており、周知の差動増幅回路を構成する。オペアンプ319の反転入力と出力との間に接続される帰還抵抗である抵抗R321は、反転入力側の抵抗R320と非反転入力側の抵抗R318の抵抗値と等しい抵抗値が採用される。
The output signal of the operational amplifier 314 is connected to the non-inverting input of the operational amplifier 319 through the resistor R318.
Similarly to the operational amplifier 314, a voltage half the power supply voltage + Vcc is applied to the inverting input of the operational amplifier 319 through the resistor R320. The operational amplifier 319 has a resistance value of the resistance R320 on the inverting input side and the resistance value R318 on the non-inverting input side equal, and constitutes a known differential amplifier circuit. The resistor R321 that is a feedback resistor connected between the inverting input and the output of the operational amplifier 319 has a resistance value equal to the resistance values of the inverting input side resistor R320 and the non-inverting input side resistor R318.

オペアンプ319の出力とコイルL104との間には、抵抗R322が接続される。抵抗R322は、コイルL104に流れる電流を検出する抵抗である。この抵抗R322の、コイルL104側の端子には、オペアンプ323の非反転入力が接続される。オペアンプ323の反転入力はそのまま出力と接続されており、オペアンプ307及び311と同様の、ボルテージフォロワを構成する。オペアンプ323の出力は抵抗R324を介してオペアンプ319の非反転入力に接続される。なお、オペアンプ319及びオペアンプ323は、コイルL104に対して正負の電流を供給できるよう正負の電源電圧が供給されている。   A resistor R322 is connected between the output of the operational amplifier 319 and the coil L104. The resistor R322 is a resistor that detects a current flowing through the coil L104. The non-inverting input of the operational amplifier 323 is connected to the terminal on the coil L104 side of the resistor R322. The inverting input of the operational amplifier 323 is directly connected to the output, and constitutes a voltage follower similar to the operational amplifiers 307 and 311. The output of the operational amplifier 323 is connected to the non-inverting input of the operational amplifier 319 via the resistor R324. The operational amplifier 319 and the operational amplifier 323 are supplied with positive and negative power supply voltages so that positive and negative currents can be supplied to the coil L104.

オペアンプ319、オペアンプ323、抵抗R318、抵抗R320、抵抗R321、抵抗R322、抵抗R324は、電圧電流変換回路を構成すると共に、検出部のフィードバック回路として機能する。つまり、オペアンプ314の出力電圧の変化に比例した電流を、コイルL104に流す。
この電圧電流変換回路は、R318/R324=R321/R320となるときに、オペアンプ319の出力電流はコイルL104の直流抵抗値やコイルL104の両端電圧に依存しなくなることが知られている。
The operational amplifier 319, the operational amplifier 323, the resistor R318, the resistor R320, the resistor R321, the resistor R322, and the resistor R324 constitute a voltage-current conversion circuit and function as a feedback circuit for the detection unit. That is, a current proportional to the change in the output voltage of the operational amplifier 314 is passed through the coil L104.
In this voltage-current conversion circuit, it is known that when R318 / R324 = R321 / R320, the output current of the operational amplifier 319 does not depend on the DC resistance value of the coil L104 or the voltage across the coil L104.

図4は、シーケンサ204のブロック図である。
シーケンサ204は、後述する図6(a)、(b)、(c)及び(d)に示す波形のパルスを出力する。この周期的なパルスを出力するために、シーケンサ204は、クロック発生器401と、ループカウンタ402と、ROM403とデコーダ404よりなる。
FIG. 4 is a block diagram of the sequencer 204.
The sequencer 204 outputs pulses having waveforms shown in FIGS. 6A, 6B, 6C, and 6D described later. In order to output this periodic pulse, the sequencer 204 includes a clock generator 401, a loop counter 402, a ROM 403, and a decoder 404.

クロック発生器401は所定の周波数の矩形波のパルスを出力する。
ループカウンタ402は、クロック発生器401が生成するパルスを受けて、0から予め定められた数Nまで計数し、その計数値データを出力する。ループカウンタ402はNまで計数すると、再び計数値を0に戻して、再度計数を繰り返す。
The clock generator 401 outputs a rectangular wave pulse having a predetermined frequency.
The loop counter 402 receives the pulse generated by the clock generator 401, counts from 0 to a predetermined number N, and outputs the count value data. When the loop counter 402 counts up to N, it returns the count value to 0 again and repeats counting again.

ループカウンタ402の計数値データはROM403のアドレスとして入力される。ROM403にはクロック発生器401のパルスも入力されるので、ROM403に書き込まれているデータがアドレス0からNまで順番に読み出される。データは、制御パルス信号P1、制御パルス信号P2、サンプリングパルス信号P3及びサンプリングパルス信号P4の種別と、出力する論理値の組み合わせである。   Count value data of the loop counter 402 is input as an address of the ROM 403. Since the pulse of the clock generator 401 is also input to the ROM 403, the data written in the ROM 403 is read in order from addresses 0 to N. The data is a combination of the types of the control pulse signal P1, the control pulse signal P2, the sampling pulse signal P3, and the sampling pulse signal P4 and the output logical value.

ROM403から出力されるデータは、デコーダ404に入力される。デコーダ404は入力されるデータに従って、制御パルス信号P1、制御パルス信号P2、サンプリングパルス信号P3及びサンプリングパルス信号P4を出力する。
なお、シーケンサ204はこの構成に限らず、複数のカウンタとフリップフロップ等の論理回路を組み合わせて構成してもよいし、マイコンで構成してもよい。
Data output from the ROM 403 is input to the decoder 404. The decoder 404 outputs a control pulse signal P1, a control pulse signal P2, a sampling pulse signal P3, and a sampling pulse signal P4 according to the input data.
The sequencer 204 is not limited to this configuration, and may be configured by combining a plurality of counters and logic circuits such as flip-flops, or may be configured by a microcomputer.

[動作]
図5(a)、(b)、(c)及び(d)は、磁気センサ101の動作原理を説明する図である。
図6(a)、(b)、(c)、(d)、(e)、(f)及び(g)は、磁気センサ101の各部の波形図である。
先ず、図6(a)は制御パルス信号P1の波形であり、図6(b)は制御パルス信号P2の波形であり、図6(c)はサンプリングパルス信号P3の波形であり、図6(d)はサンプリングパルス信号P4の波形である。
[Operation]
FIGS. 5A, 5 </ b> B, 5 </ b> C, and 5 </ b> D are diagrams illustrating the operation principle of the magnetic sensor 101.
6A, 6B, 6C, 6D, 6E, 6F, and 6G are waveform diagrams of each part of the magnetic sensor 101. FIG.
First, FIG. 6A shows the waveform of the control pulse signal P1, FIG. 6B shows the waveform of the control pulse signal P2, FIG. 6C shows the waveform of the sampling pulse signal P3, and FIG. d) is a waveform of the sampling pulse signal P4.

図6(a)及び(b)に示すように、制御パルス信号P1と制御パルス信号P2は、それぞれ交互にオン・オフ動作する。また、制御パルス信号P1がオフになってから制御パルス信号P2がオンになる間(時点t3からt7まで)と、制御パルス信号P2がオフになってから制御パルス信号P1がオンになる間(時点t9からt13まで)にはそれぞれ両者が共にオフになる期間が設けられている。この、制御パルス信号P1と制御パルス信号P2が共にオフになっている期間に、サンプリングパルス信号P3とサンプリングパルス信号P4による、コンデンサC305及びコイルL104の両端電圧のサンプリングが行われる。   As shown in FIGS. 6A and 6B, the control pulse signal P1 and the control pulse signal P2 are alternately turned on and off. Further, while the control pulse signal P2 is turned on after the control pulse signal P1 is turned off (from time t3 to t7), and while the control pulse signal P2 is turned off (when the control pulse signal P1 is turned on) ( Between the time points t9 and t13), a period in which both are turned off is provided. During the period when both the control pulse signal P1 and the control pulse signal P2 are off, sampling of the voltage across the capacitor C305 and the coil L104 is performed by the sampling pulse signal P3 and the sampling pulse signal P4.

図5(a)は、制御パルス信号P1がオンになっている期間(時点t1からt3まで)における、検出部203に流れる電流を示す図である。制御パルス信号P1は第一スイッチ301をオン制御するので、電源電圧+VccがコンデンサC305とコイルL104に印加され、矢印に示す電流が過渡応答として流れる。   FIG. 5A is a diagram illustrating a current flowing through the detection unit 203 during a period (from time t1 to time t3) when the control pulse signal P1 is on. Since the control pulse signal P1 turns on the first switch 301, the power supply voltage + Vcc is applied to the capacitor C305 and the coil L104, and the current indicated by the arrow flows as a transient response.

図5(b)は、図5(a)の期間の後、制御パルス信号P1がオフになり、制御パルス信号P2もオフのままの期間(時点t3からt7まで)における、検出部203に流れる電流を示す図である。制御パルス信号P1は第一スイッチ301をオフ制御すると、コイルL104にはそれまで流れていた電流とは逆方向の起電力が生じる。この起電力を逃がすため、第二フリーホイールダイオードD304が設けられている。   In FIG. 5B, after the period of FIG. 5A, the control pulse signal P1 is turned off, and the control pulse signal P2 is also turned off and flows to the detection unit 203 in the period (from time t3 to t7). It is a figure which shows an electric current. When the first pulse 301 is controlled to be off by the control pulse signal P1, an electromotive force in the direction opposite to the current that has flowed until then is generated in the coil L104. In order to release this electromotive force, a second freewheel diode D304 is provided.

図5(c)は、図5(b)の期間の後、制御パルス信号P2がオンになっている期間(時点t7からt9まで)における、検出部203に流れる電流を示す図である。制御パルス信号P2は第二スイッチ302をオン制御するので、コンデンサC305に蓄積されていた電荷がコイルL104を通じて接地に流れ、矢印に示す電流が過渡応答として流れる。   FIG. 5C is a diagram illustrating a current flowing through the detection unit 203 in a period (from time t7 to t9) in which the control pulse signal P2 is on after the period in FIG. 5B. Since the control pulse signal P2 turns on the second switch 302, the electric charge accumulated in the capacitor C305 flows to the ground through the coil L104, and the current indicated by the arrow flows as a transient response.

図5(d)は、図5(c)の期間の後、制御パルス信号P2がオフになり、制御パルス信号P1もオフのままの期間(時点t9からt13まで)における、検出部203に流れる電流を示す図である。制御パルス信号P2は第二スイッチ302をオフ制御すると、コイルL104にはそれまで流れていた電流とは逆方向の起電力が生じる。この起電力を逃がすため、第一フリーホイールダイオードD303が設けられている。   In FIG. 5D, after the period of FIG. 5C, the control pulse signal P2 is turned off and the control pulse signal P1 is also turned off and flows to the detection unit 203 in the period (from time t9 to t13). It is a figure which shows an electric current. When the control pulse signal P2 controls the second switch 302 to be turned off, an electromotive force in the direction opposite to the current that has flowed in the coil L104 is generated. In order to release this electromotive force, a first freewheel diode D303 is provided.

以上、図5(a)、(b)、(c)及び(d)にて説明した回路の動作を踏まえて、図6(e)、(f)及び(g)を説明する。
図6(e)は、コンデンサC305に流れる電流の波形図である。図3において電流I5にて示している。
時点t1で制御パルス信号P1がオンになると、図5(a)の矢印に示す電流が流れる。コイルL104の特性により、電流は正方向に徐々に増加する。
コイルL104に電流が流れると、コイルL104に電流に比例する磁界が生じる。時点t2において、電流がある値に至ると、コイルL104のヨーク201の透磁率が飽和し、コイルL104のインダクタンスは減少する。コイルL104のインダクタンスが減少すると、電流増加の傾きは急峻になる。
6 (e), (f), and (g) will be described based on the operation of the circuit described in FIGS. 5 (a), (b), (c), and (d).
FIG. 6E is a waveform diagram of the current flowing through the capacitor C305. In FIG. 3, this is indicated by a current I5.
When the control pulse signal P1 is turned on at time t1, a current indicated by an arrow in FIG. Due to the characteristics of the coil L104, the current gradually increases in the positive direction.
When a current flows through the coil L104, a magnetic field proportional to the current is generated in the coil L104. When the current reaches a certain value at time t2, the magnetic permeability of the yoke 201 of the coil L104 is saturated, and the inductance of the coil L104 decreases. When the inductance of the coil L104 decreases, the current increase slope becomes steep.

なお、制御パルス信号P1のパルス幅は、ヨークが十分飽和するまでの値が必要である。言い換えれば、パルス幅が狭いと磁気センサとして機能しない。コイルL104のインダクタンス及びクロック発生器401の周波数はこの条件を満たすために適切に設定されなければならない。   The pulse width of the control pulse signal P1 needs to be a value until the yoke is sufficiently saturated. In other words, if the pulse width is narrow, it does not function as a magnetic sensor. The inductance of the coil L104 and the frequency of the clock generator 401 must be set appropriately to satisfy this condition.

時点t3で制御パルス信号P1がオフになると、図5(b)の矢印に示す電流が流れる。時点t2以降、ヨーク201の透磁率は飽和しているので、コイルL104に流れる電流は急激に減少するが、時点t4になるとヨーク201に印加されている磁界が弱まって飽和状態が解消され、コイルL104のインダクタンスは増加する。コイルL104のインダクタンスが増加すると、電流減少の傾きは緩やかになって、時点t5で電流はゼロになる。   When the control pulse signal P1 is turned off at time t3, a current indicated by an arrow in FIG. 5B flows. Since the magnetic permeability of the yoke 201 is saturated after the time point t2, the current flowing through the coil L104 rapidly decreases. However, at the time point t4, the magnetic field applied to the yoke 201 is weakened, and the saturation state is eliminated. The inductance of L104 increases. As the inductance of the coil L104 increases, the slope of the current decrease becomes gradual, and the current becomes zero at time t5.

コイルL104の過渡現象である時点t1からt5までの現象が終わった後、コンデンサC305にはコイルL104が流した電流によって電荷が充電される。この、コンデンサC305とコイルL104の両端電圧を、コイルL104の過渡現象が終了したt5の後、シーケンサ204が時点t6からサンプリングパルス信号P3を発生すると、サンプルホールド回路はt7の間までサンプリングする。   After the phenomenon from the time point t1 to the time point t5, which is a transient phenomenon of the coil L104, is finished, the capacitor C305 is charged with electric current by the current flowing through the coil L104. When the sequencer 204 generates the sampling pulse signal P3 from time t6 after t5 when the transient of the coil L104 ends, the sample-and-hold circuit samples the voltage across the capacitor C305 and the coil L104 until t7.

時点t7で制御パルス信号P2がオンになると、図5(c)の矢印に示す電流が流れる。コイルL104の特性により、電流は負方向に徐々に増加する。
コイルL104に電流が流れると、コイルL104に電流に比例する磁界が生じる。時点t8において、電流がある値に至ると、コイルL104のヨーク201の透磁率が飽和し、コイルL104のインダクタンスは減少する。コイルL104のインダクタンスが減少すると、電流増加の傾きは急峻になる。
When the control pulse signal P2 is turned on at time t7, a current indicated by an arrow in FIG. Due to the characteristics of the coil L104, the current gradually increases in the negative direction.
When a current flows through the coil L104, a magnetic field proportional to the current is generated in the coil L104. When the current reaches a certain value at time t8, the magnetic permeability of the yoke 201 of the coil L104 is saturated, and the inductance of the coil L104 decreases. When the inductance of the coil L104 decreases, the current increase slope becomes steep.

時点t9で制御パルス信号P2がオフになると、図5(d)の矢印に示す電流が流れる。時点t8以降、ヨーク201の透磁率は飽和しているので、コイルL104に流れる電流は急激に減少するが、時点t10になるとヨーク201に印加されている磁界が弱まって飽和状態が解消され、コイルL104のインダクタンスは増加する。コイルL104のインダクタンスが増加すると、電流現象の傾きは緩やかになって、時点t11で電流はゼロになる。   When the control pulse signal P2 is turned off at time t9, a current indicated by an arrow in FIG. Since the magnetic permeability of the yoke 201 is saturated after the time point t8, the current flowing through the coil L104 rapidly decreases. However, at the time point t10, the magnetic field applied to the yoke 201 is weakened, and the saturation state is eliminated. The inductance of L104 increases. As the inductance of the coil L104 increases, the slope of the current phenomenon becomes gentler, and the current becomes zero at time t11.

コイルL104の過渡現象である時点t7からt11までの現象が終わった後、コンデンサC305にはコイルL104が流した電流によって電荷が放電される。この、コンデンサC305とコイルL104の両端電圧を、コイルL104の過渡現象が終了したt11の後、シーケンサ204が時点t12からサンプリングパルス信号P4を発生すると、サンプルホールド回路はt13の間までサンプリングする。   After the phenomenon from the time t7 to the time t11, which is a transient phenomenon of the coil L104, is finished, the electric charge is discharged to the capacitor C305 by the current flowing through the coil L104. When the sequencer 204 generates the sampling pulse signal P4 from time t12 after t11 when the transient phenomenon of the coil L104 ends, the sample hold circuit samples the voltage across the capacitor C305 and the coil L104 until t13.

図6(f)は、コイルL104の両端電圧の波形図である。図3において電圧E6にて示している。
コイルL104の両端電圧は、コイルL104に印加される電圧のオン・オフに応じて、流れる電流を妨げる方向に現れる。したがって、時点t1から時点t3までは両端電圧が増加し、時点t3に至るとそれまで印加されていた電圧とは逆方向の電圧(負方向の電圧)が発生する。そして、時点t5に至って電圧がゼロ(グランド)に戻る。同様に、時点t7から時点t9までは両端電圧がマイナス方向に増加し、時点t9に至るとそれまで印加されていた電圧とは逆方向の電圧(正方向の電圧)が発生する。そして、時点t11に至って電圧がゼロ(グランド)に戻る。この周期を繰り返す。
FIG. 6F is a waveform diagram of the voltage across the coil L104. In FIG. 3, this is indicated by voltage E6.
The voltage between both ends of the coil L104 appears in the direction of hindering the flowing current in accordance with on / off of the voltage applied to the coil L104. Therefore, the voltage between both ends increases from the time point t1 to the time point t3, and when the time point reaches the time point t3, a voltage in the opposite direction (negative voltage) is generated. At time t5, the voltage returns to zero (ground). Similarly, the voltage between both ends increases in the minus direction from time t7 to time t9, and when the time reaches time t9, a voltage in the direction opposite to the voltage applied so far (positive voltage) is generated. At time t11, the voltage returns to zero (ground). Repeat this cycle.

図6(g)は、コイルL104とコンデンサC305の両端電圧の波形図である。図3において電圧E7にて示している。
こうして、出力端子(オペアンプ314の出力)には、コイルL104に外部磁界が与えられていない状態では、+Vcc/2が出力される。
FIG. 6G is a waveform diagram of the voltage across the coil L104 and the capacitor C305. In FIG. 3, this is indicated by voltage E7.
Thus, + Vcc / 2 is output to the output terminal (output of the operational amplifier 314) in a state where no external magnetic field is applied to the coil L104.

後述する電圧電流変換回路によるフィードバック回路が切断されている場合において、外部磁界がコイルL104に作用した場合は、次のように動作する。
制御パルス信号P1がオンになったときの電流によるコイルL104内の磁界と外部磁界が同じ向きの場合、ヨーク201が飽和する時点t2が早まり、時点t3におけるピーク電流が増加する。その結果、コンデンサC305の充電電圧が増加する。
一方、制御パルス信号P2がオンになったときの電流によるコイルL104内の磁界と外部磁界が同じ向きの場合、ヨーク201が飽和する時点t2が遅れ、時点t3におけるピーク電流が減少する。その結果、コンデンサC305の充電電圧が減少する。
結局、放電より充電が勝り、コンデンサC305の平均電圧は上昇する。外部磁界が逆極性の場合も同様に説明できる。このように、コンデンサC305の平均電圧は、外部磁界の極性と強さに応じて+Vcc/2を中心にオフセットする。
In the case where the feedback circuit by the voltage-current converter circuit described later is cut, when an external magnetic field acts on the coil L104, the following operation is performed.
When the magnetic field in the coil L104 by the current when the control pulse signal P1 is turned on and the external magnetic field are in the same direction, the time t2 when the yoke 201 is saturated is advanced, and the peak current at the time t3 increases. As a result, the charging voltage of the capacitor C305 increases.
On the other hand, when the magnetic field in the coil L104 by the current when the control pulse signal P2 is turned on and the external magnetic field are in the same direction, the time t2 when the yoke 201 is saturated is delayed, and the peak current at the time t3 decreases. As a result, the charging voltage of the capacitor C305 decreases.
Eventually, charging is better than discharging, and the average voltage of the capacitor C305 increases. The same applies to the case where the external magnetic field has a reverse polarity. Thus, the average voltage of the capacitor C305 is offset around + Vcc / 2 according to the polarity and strength of the external magnetic field.

[フィードバックの動作]
本実施形態の検出部203には、フィードバックとしての電圧電流変換回路が設けられている。このフィードバックの動作を説明する。
電圧電流変換回路を構成するオペアンプ319の出力電流は、抵抗R318に印加される電圧と抵抗R320に印加される電圧の差に比例する。
今、コイルL104に外部磁界が与えられていない状態においては、図6(f)で説明したように、コイルL104の端子間電圧は0Vを中心に遷移する。そして、コイルL104とコンデンサC305の端子間電圧(電圧E7)をサンプルホールド回路(コンデンサC306とオペアンプ307、及びコンデンサC309とオペアンプ311)で取得した後、積分回路(オペアンプ314とコンデンサC317)で積分すると、オペアンプ314は+Vcc/2を出力する。したがって、オペアンプ319が出力する電流は0mAである。
[Action of feedback]
The detection unit 203 of this embodiment is provided with a voltage-current conversion circuit as feedback. The feedback operation will be described.
The output current of the operational amplifier 319 constituting the voltage-current conversion circuit is proportional to the difference between the voltage applied to the resistor R318 and the voltage applied to the resistor R320.
Now, in a state where no external magnetic field is applied to the coil L104, the voltage between the terminals of the coil L104 transitions around 0 V as described with reference to FIG. Then, the voltage between terminals of the coil L104 and the capacitor C305 (voltage E7) is acquired by the sample hold circuit (the capacitor C306 and the operational amplifier 307, and the capacitor C309 and the operational amplifier 311), and then integrated by the integration circuit (the operational amplifier 314 and the capacitor C317). The operational amplifier 314 outputs + Vcc / 2. Therefore, the current output from the operational amplifier 319 is 0 mA.

上述の状態から、コイルL104に外部磁界を与える。今、オペアンプ314の出力電圧が+Vcc/2の状態から正方向にオフセットしたとする。すると、オペアンプ319はオフセットした分の電位差に比例する電流をコイルL104に流す。この電流は、コイルL104に外部磁界を打ち消す方向の磁界を発生させる。このため、コイルL104はこのフィードバックによって、常にゼロ磁界の状態を維持することとなる。   From the above state, an external magnetic field is applied to the coil L104. Assume that the output voltage of the operational amplifier 314 is offset in the positive direction from the + Vcc / 2 state. Then, the operational amplifier 319 passes a current proportional to the offset potential difference to the coil L104. This current causes the coil L104 to generate a magnetic field in a direction that cancels the external magnetic field. For this reason, the coil L104 always maintains a zero magnetic field state by this feedback.

前述の通り、外部磁界の極性と強さは、電圧電流変換回路から流れる電流に比例する。すなわち、積分回路を構成するオペアンプ314の出力電圧は、外部磁界の極性と強さに比例した電圧になる。そして、コイルL104には外部磁界を打ち消す方向の磁界が発生することから、第一スイッチ301と第二スイッチ302によって発生する駆動パルスによって生じる正負ピーク電流の和は常にゼロになる。つまり、図6(e)の電流波形はコイルL104に外部磁界を印加しても変化しなくなる。また、電圧波形である図6(f)及び(g)の波形も外部磁界を与えても変化しない。   As described above, the polarity and strength of the external magnetic field is proportional to the current flowing from the voltage-current conversion circuit. That is, the output voltage of the operational amplifier 314 constituting the integrating circuit is a voltage proportional to the polarity and strength of the external magnetic field. Since a magnetic field is generated in the coil L104 in a direction that cancels the external magnetic field, the sum of positive and negative peak currents generated by the drive pulses generated by the first switch 301 and the second switch 302 is always zero. That is, the current waveform in FIG. 6E does not change even when an external magnetic field is applied to the coil L104. Further, the waveforms shown in FIGS. 6F and 6G, which are voltage waveforms, do not change even when an external magnetic field is applied.

電圧電流変換回路を構成するオペアンプ319の出力インピーダンスは理論的に無限大である。このため、コイルL104とコンデンサC305の接続点に電圧電流変換回路を接続しても、交流的な影響は皆無である。
また、コイルL104に電流電圧変換回路から電流を流すと、コイルL104には電圧が発生する。しかし、この電圧はDC成分であることから、コンデンサC305で分離される。したがって、後続のサンプルホールド回路等には影響を与えない。
コイルL104のヨーク201の磁気特性が温度変化によって変化したとしても、コイルL104の内部は直流的にはゼロ磁界が維持されるので、正負対称の磁気特性のバランスが維持される。したがって、温度特性は良好である。また、コイルL104に流す電流は、外部磁界に比例し、コイルL104の内部は直流的にはゼロ磁界が維持されるので、ヨーク201の磁気特性の制限をを受けずに良好な直線性を得ることが出来る。
The output impedance of the operational amplifier 319 constituting the voltage-current conversion circuit is theoretically infinite. For this reason, even if the voltage-current conversion circuit is connected to the connection point between the coil L104 and the capacitor C305, there is no AC effect.
Further, when a current is passed through the coil L104 from the current-voltage conversion circuit, a voltage is generated in the coil L104. However, since this voltage is a DC component, it is separated by the capacitor C305. Therefore, the subsequent sample hold circuit and the like are not affected.
Even if the magnetic characteristics of the yoke 201 of the coil L104 change due to a temperature change, the zero magnetic field is maintained in the DC direction in the coil L104, so that the balance between the positive and negative symmetrical magnetic characteristics is maintained. Therefore, the temperature characteristics are good. In addition, the current flowing through the coil L104 is proportional to the external magnetic field, and a zero magnetic field is maintained in the coil L104 in a direct current, so that excellent linearity is obtained without being limited by the magnetic characteristics of the yoke 201. I can do it.

第一の実施形態の検出部203の特徴は、特許文献1及び特許文献2に開示されている技術内容と異なり、図5(a)乃至(d)及び図6(g)にて説明したように、コイルL104及びコンデンサC305には交流的には双方向の電流が流れると共に、直流的にはゼロ磁界が維持される、という点である。つまり、回路定数が変化した場合でも検出電圧の変化が電流方向の違いでそれぞれ同じ大きさになり相殺されるので、無磁界状態のオフセットが殆ど生じない。したがって、従来技術のようにコイルL104を二つ並べてオフセットキャンセルを行う必要がなく、コイルL104一つだけで磁界を正しく検出できる。   The features of the detection unit 203 of the first embodiment are different from the technical contents disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2, as described in FIGS. 5 (a) to 5 (d) and FIG. 6 (g). In addition, a bidirectional current flows through the coil L104 and the capacitor C305, and a zero magnetic field is maintained in the direct current. That is, even when the circuit constant changes, the change in the detection voltage becomes the same magnitude and cancels due to the difference in the current direction, so that there is almost no offset in the no magnetic field state. Accordingly, it is not necessary to perform offset cancellation by arranging two coils L104 as in the prior art, and a magnetic field can be detected correctly with only one coil L104.

[第二の実施形態]
図7は、本発明の第二の実施形態に係る磁気センサの外観斜視図である。
磁気センサ701は、樹脂モールドされた回路を内蔵した一体型のセンサとして形成されている。
磁気センサ701の検出突起701aの中にはパーマロイのヨークに巻かれたコイルL104が内蔵されている。
この検出突起701aに磁石105を近接すると、アナログの検出信号が得られる。
[Second Embodiment]
FIG. 7 is an external perspective view of the magnetic sensor according to the second embodiment of the present invention.
The magnetic sensor 701 is formed as an integrated sensor incorporating a resin-molded circuit.
A coil L104 wound around a permalloy yoke is incorporated in the detection projection 701a of the magnetic sensor 701.
When the magnet 105 is brought close to the detection protrusion 701a, an analog detection signal is obtained.

図8は、磁気センサ701の回路図である。
第二の実施形態の磁気センサ701は、第一の実施形態の磁気センサ701と比較すると、シーケンサ204がなくなっている。
FIG. 8 is a circuit diagram of the magnetic sensor 701.
The magnetic sensor 701 of the second embodiment has no sequencer 204 compared to the magnetic sensor 701 of the first embodiment.

発振回路801は、所定の周波数の矩形波を出力する。発振回路801の出力信号は、抵抗R802を通じてオペアンプ803の反転入力に入力される。オペアンプ803は帰還抵抗である抵抗R804と共に反転増幅器を構成する。発振回路801、抵抗R802、オペアンプ803及び抵抗R804は、駆動回路815ともいえる。   The oscillation circuit 801 outputs a rectangular wave having a predetermined frequency. The output signal of the oscillation circuit 801 is input to the inverting input of the operational amplifier 803 through the resistor R802. The operational amplifier 803 forms an inverting amplifier together with a resistor R804 that is a feedback resistor. The oscillation circuit 801, the resistor R802, the operational amplifier 803, and the resistor R804 can be said to be a drive circuit 815.

オペアンプ803の出力信号はコイルL104に供給される。コイルL104はコンデンサC305と接続されている。そして、コンデンサC305は帰還抵抗である抵抗R805と共に電流電圧変換回路816を構成するオペアンプ806の反転入力に接続される。   The output signal of the operational amplifier 803 is supplied to the coil L104. Coil L104 is connected to capacitor C305. The capacitor C305 is connected to an inverting input of an operational amplifier 806 that constitutes a current-voltage conversion circuit 816 together with a resistor R805 that is a feedback resistor.

オペアンプ806の出力信号は、ダイオードD807のアノードと、ダイオードD808のカソードに接続される。
ダイオードD807は出力信号の正方向の電圧を通過させるので、コンデンサC809には正方向の電荷が蓄積され、結果的にコンデンサC809には出力信号の正方向のピーク電圧が現れることとなる。
同様に、ダイオードD808は出力信号の負方向の電圧を通過させるので、コンデンサC810には負方向の電荷が蓄積され、結果的にコンデンサC810には出力信号の負方向のピーク電圧が現れることとなる。
ダイオードD807、ダイオードD808、コンデンサC809及びコンデンサC810は、正負ピーク検出回路817ともいえる。
The output signal of the operational amplifier 806 is connected to the anode of the diode D807 and the cathode of the diode D808.
Since the diode D807 passes the voltage in the positive direction of the output signal, the charge in the positive direction is accumulated in the capacitor C809, and as a result, the peak voltage in the positive direction of the output signal appears in the capacitor C809.
Similarly, since the diode D808 passes the negative voltage of the output signal, negative charge is accumulated in the capacitor C810, and as a result, the negative peak voltage of the output signal appears in the capacitor C810. .
The diode D807, the diode D808, the capacitor C809, and the capacitor C810 can be said to be a positive / negative peak detection circuit 817.

コンデンサC809とコンデンサC810の端子間電圧は、それぞれ抵抗R811と抵抗R812よりなる加算回路を通じて、オペアンプ314の反転入力に供給される。オペアンプ314はコンデンサC317と共に積分回路818を構成し、コンデンサC809とコンデンサC810の端子間電圧の和の電圧を出力する。   The voltage between the terminals of the capacitor C809 and the capacitor C810 is supplied to the inverting input of the operational amplifier 314 through an adding circuit composed of a resistor R811 and a resistor R812, respectively. The operational amplifier 314 constitutes an integration circuit 818 together with the capacitor C317, and outputs a sum voltage of terminals between the capacitors C809 and C810.

オペアンプ314の出力信号は、抵抗R318を通じて電圧電流変換回路819を構成するオペアンプ319の非反転入力に接続される。電圧電流変換回路819の構成は、オペアンプ319の非反転入力に接地電位が接続される以外は、第一の実施形態と同じなので、詳細は割愛する。   The output signal of the operational amplifier 314 is connected to the non-inverting input of the operational amplifier 319 constituting the voltage-current conversion circuit 819 through the resistor R318. The configuration of the voltage-current conversion circuit 819 is the same as that of the first embodiment except that the ground potential is connected to the non-inverting input of the operational amplifier 319, and thus the details are omitted.

[動作]
図9(a)、(b)、(c)及び(d)は、磁気センサ701の各部の波形図である。
図9(a)は、オペアンプ803の出力信号電圧の波形図である。図8の計測点E11である。グランドを中心に矩形波が出力されていることが判る。
図9(b)は、オペアンプ806の出力信号電圧の波形図である。図8の計測点E12である。つまり、コンデンサC305に流れる電流の波形でもある。図6(e)と同様に、ヨーク201が飽和することによって電流波形の傾きが途中から急峻になっている。
[Operation]
FIGS. 9A, 9 </ b> B, 9 </ b> C, and 9 </ b> D are waveform diagrams of each part of the magnetic sensor 701.
FIG. 9A is a waveform diagram of the output signal voltage of the operational amplifier 803. This is the measurement point E11 in FIG. It can be seen that a square wave is output around the ground.
FIG. 9B is a waveform diagram of the output signal voltage of the operational amplifier 806. This is the measurement point E12 in FIG. That is, it is also the waveform of the current flowing through the capacitor C305. Similar to FIG. 6 (e), the saturation of the yoke 201 makes the slope of the current waveform steep from the middle.

図9(c)は、ダイオードD807の出力信号電圧の波形図である。図8の計測点E13である。図9(b)に示す波形の電圧が、ダイオードD807のオン電圧を超えると、ダイオードD807は導通し、コンデンサC809に電流が流れる。そして、コンデンサC809の端子間電圧は、図9(b)に示す波形の電圧がダイオードD807のオン電圧に至る次の周期まで、抵抗R811とオペアンプ314を通じてコンデンサC809の電荷が徐々に放電されることで、徐々に低下する。
図9(d)は、ダイオードD808の出力信号電圧の波形図である。図9(b)に示す波形の電圧が、ダイオードD808のオン電圧を超えると、ダイオードD808は導通し、コンデンサC810に電流が流れる。そして、コンデンサC810の端子間電圧は、図9(b)に示す波形の電圧がダイオードD808のオン電圧に至る次の周期まで、抵抗R812とオペアンプ314を通じてコンデンサC810の電荷が徐々に放電されることで、徐々に低下する。
FIG. 9C is a waveform diagram of the output signal voltage of the diode D807. This is the measurement point E13 in FIG. When the voltage having the waveform shown in FIG. 9B exceeds the ON voltage of the diode D807, the diode D807 becomes conductive, and a current flows through the capacitor C809. The voltage across the capacitor C809 is such that the charge of the capacitor C809 is gradually discharged through the resistor R811 and the operational amplifier 314 until the voltage having the waveform shown in FIG. 9B reaches the ON voltage of the diode D807. Then it gradually decreases.
FIG. 9D is a waveform diagram of the output signal voltage of the diode D808. When the voltage having the waveform shown in FIG. 9B exceeds the ON voltage of the diode D808, the diode D808 becomes conductive, and a current flows through the capacitor C810. The voltage across the capacitor C810 is such that the charge of the capacitor C810 is gradually discharged through the resistor R812 and the operational amplifier 314 until the next period when the voltage having the waveform shown in FIG. 9B reaches the ON voltage of the diode D808. Then it gradually decreases.

図8の回路の場合、コイルL104に外部磁界が与えられていない状態においては、出力端子には0Vが出力される。この点以外は、第一の実施形態と動作は同じである。
この、第二の実施形態の磁気センサ701は、第一の実施形態の磁気センサ701と比べると、シーケンサ204が不要になっている点、及びオペアンプも省略されている点等から、回路構成がシンプルになっているので、装置の低コスト化が容易である。
In the case of the circuit of FIG. 8, 0V is output to the output terminal in a state where no external magnetic field is applied to the coil L104. Except for this point, the operation is the same as that of the first embodiment.
Compared with the magnetic sensor 701 of the first embodiment, the magnetic sensor 701 of the second embodiment has a circuit configuration because the sequencer 204 is not necessary and the operational amplifier is omitted. Since it is simple, it is easy to reduce the cost of the apparatus.

図8に示した駆動回路815、電流電圧変換回路816、正負ピーク検出回路817、積分回路818及び電圧電流変換回路819は、第一の実施形態の検出部203にも存在する。
駆動回路815は、図3の第一スイッチ301と第二スイッチ302、そしてシーケンサ204が該当する。
電流電圧変換回路816は、図3のコンデンサC305がこれを兼用している。
正負ピーク検出回路817は、図3の第三スイッチ308、第四スイッチ310、コンデンサC306、オペアンプ307、コンデンサC309、オペアンプ311が該当する。
積分回路818は、図3のオペアンプ314とコンデンサC317が該当する。
電圧電流変換回路819は、図3の抵抗R318、オペアンプ319、抵抗R320、抵抗R321、抵抗R322、オペアンプ323及び抵抗R324が該当する。
The drive circuit 815, the current / voltage conversion circuit 816, the positive / negative peak detection circuit 817, the integration circuit 818, and the voltage / current conversion circuit 819 shown in FIG. 8 also exist in the detection unit 203 of the first embodiment.
The drive circuit 815 corresponds to the first switch 301, the second switch 302, and the sequencer 204 in FIG.
In the current-voltage conversion circuit 816, the capacitor C305 in FIG.
The positive / negative peak detection circuit 817 corresponds to the third switch 308, the fourth switch 310, the capacitor C306, the operational amplifier 307, the capacitor C309, and the operational amplifier 311 in FIG.
The integration circuit 818 corresponds to the operational amplifier 314 and the capacitor C317 in FIG.
The voltage-current conversion circuit 819 corresponds to the resistor R318, the operational amplifier 319, the resistor R320, the resistor R321, the resistor R322, the operational amplifier 323, and the resistor R324 in FIG.

上述の実施形態の他、以下のような応用例が考えられる。
(1)検出部203及び磁気センサ701では、第一スイッチ301及び抵抗R315に印加される電圧は電源電圧であったが、これは必ずしも電源電圧である必要はない。これら素子に印加する電圧をどのように決定するかは設計的事項である。
In addition to the embodiment described above, the following application examples are conceivable.
(1) In the detection unit 203 and the magnetic sensor 701, the voltage applied to the first switch 301 and the resistor R315 is the power supply voltage, but this is not necessarily the power supply voltage. How to determine the voltage applied to these elements is a matter of design.

(2)ヨーク201はパーマロイであったが、透磁率が高く、且つ飽和磁束密度の小さい材料であればこれに限られない。例えば、アモルファス合金等が挙げられる。   (2) The yoke 201 is permalloy, but the material is not limited to this as long as the material has a high magnetic permeability and a low saturation magnetic flux density. For example, an amorphous alloy etc. are mentioned.

本実施形態では、磁気センサを開示した。
ヨーク201を伴うコイルL104とコンデンサC305を直列接続した回路に対し、矩形波を供給する。矩形波の周期内でヨーク201に飽和現象を発生させ、その電流変化を電流電圧変換回路を通じて検出した後、積分する。この積分出力信号に基づく電流を電圧電流変換回路で作り、コイルL104にフィードバックさせる。フィードバック電流は外部磁界に比例するので、直線性の良い磁気センサを得ることができる。
In the present embodiment, a magnetic sensor has been disclosed.
A rectangular wave is supplied to a circuit in which a coil L104 with a yoke 201 and a capacitor C305 are connected in series. A saturation phenomenon is generated in the yoke 201 within the period of the rectangular wave, and the current change is detected through the current-voltage conversion circuit and then integrated. A current based on the integrated output signal is generated by a voltage-current converter circuit and fed back to the coil L104. Since the feedback current is proportional to the external magnetic field, a magnetic sensor with good linearity can be obtained.

単一のコイルで磁界の検出とコイルのヨークをゼロ磁界に制御するサーボ機能を併せ持つことにより、コイルL104のヨーク201の磁気特性が温度変化によって変化したとしても、コイルL104の内部は直流的にはゼロ磁界が維持されるので、正負対称の磁気特性のバランスが維持される。したがって、温度特性は良好である。また、コイルL104に流す電流は外部磁界に比例し、コイルL104の内部は直流的にはゼロ磁界が維持されるので、ヨーク201の磁気特性の制限を受けずに良好な直線性を得ることが出来る。こうして、低コスト且つ高精度な磁気センサを実現できる。   Even if the magnetic characteristic of the yoke 201 of the coil L104 changes due to temperature change by combining the detection of the magnetic field with a single coil and the servo function for controlling the coil yoke to zero magnetic field, the inside of the coil L104 is DC Since a zero magnetic field is maintained, a balance of magnetic properties of positive and negative symmetry is maintained. Therefore, the temperature characteristics are good. In addition, since the current flowing through the coil L104 is proportional to the external magnetic field, and a zero magnetic field is maintained in the coil L104 in terms of direct current, good linearity can be obtained without being limited by the magnetic characteristics of the yoke 201. I can do it. Thus, a low-cost and highly accurate magnetic sensor can be realized.

以上、本発明の実施形態例について説明したが、本発明は上記実施形態例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した本発明の要旨を逸脱しない限りにおいて、他の変形例、応用例を含む。   The embodiment of the present invention has been described above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and other modifications may be made without departing from the gist of the present invention described in the claims. Includes application examples.

101…磁気センサ、102…回路ブロック、103…ケーブル、105…磁石、201…ヨーク、203…検出部、204…シーケンサ、301…第一スイッチ、302…第二スイッチ、307…オペアンプ、308…第三スイッチ、310…第四スイッチ、311…オペアンプ、314…オペアンプ、319…オペアンプ、323…オペアンプ、401…クロック発生器、402…ループカウンタ、403…ROM、404…デコーダ、701…磁気センサ、801…発振回路、803…オペアンプ、806…オペアンプ、815…駆動回路、816…電流電圧変換回路、817…正負ピーク検出回路、818…積分回路、819…電圧電流変換回路、C305…コンデンサ、C306…コンデンサ、C309…コンデンサ、C317…コンデンサ、C809…コンデンサ、C810…コンデンサ、D303…第一フリーホイールダイオード、D304…第二フリーホイールダイオード、D807…ダイオード、D808…ダイオード、L104…コイル、R312…抵抗、R313…抵抗、R315…抵抗、R316…抵抗、R318…抵抗、R320…抵抗、R321…抵抗、R322…抵抗、R324…抵抗、R802…抵抗、R804…抵抗、R805…抵抗、R811…抵抗、R812…抵抗   DESCRIPTION OF SYMBOLS 101 ... Magnetic sensor, 102 ... Circuit block, 103 ... Cable, 105 ... Magnet, 201 ... Yoke, 203 ... Detection part, 204 ... Sequencer, 301 ... First switch, 302 ... Second switch, 307 ... Operational amplifier, 308 ... First Three switches, 310 ... fourth switch, 311 ... operational amplifier, 314 ... operational amplifier, 319 ... operational amplifier, 323 ... operational amplifier, 401 ... clock generator, 402 ... loop counter, 403 ... ROM, 404 ... decoder, 701 ... magnetic sensor, 801 Oscillating circuit, 803 operational amplifier, 806 operational amplifier, 815 driving circuit, 816 current current converting circuit, 817 positive / negative peak detecting circuit, 818 integrating circuit, 819 voltage current converting circuit, C305 capacitor, C306 capacitor , C309 ... capacitor, C317 ... Capacitor, C809 ... capacitor, C810 ... capacitor, D303 ... first freewheel diode, D304 ... second freewheel diode, D807 ... diode, D808 ... diode, L104 ... coil, R312 ... resistor, R313 ... resistor, R315 ... resistor, R316 ... resistor, R318 ... resistor, R320 ... resistor, R321 ... resistor, R322 ... resistor, R324 ... resistor, R802 ... resistor, R804 ... resistor, R805 ... resistor, R811 ... resistor, R812 ... resistor

Claims (3)

矩形波を出力する駆動回路と、
前記駆動回路に接続される、ヨークを伴うコイルと、
前記コイルに直列接続されるコンデンサと、
前記コイルの電流を電圧に変換する電流電圧変換回路と、
前記電流電圧変換回路の出力信号の正方向ピークの電圧及び負方向ピークの電圧を検出する正負ピーク検出回路と、
前記正負ピーク検出回路が出力する前記正方向ピークの電圧及び前記負方向ピークの電圧加算信号を積分して磁気検出信号を出力する、フィードバックループにコンデンサを有する能動型の積分回路と、
前記積分回路の出力電圧を電流に変換して前記コイルと前記コンデンサとの接続点に供給する電圧電流変換回路と
を具備する磁気センサ。
A drive circuit that outputs a rectangular wave;
A coil with a yoke connected to the drive circuit;
A capacitor connected in series to the coil;
A current-voltage conversion circuit for converting the current of the coil into a voltage;
A positive / negative peak detection circuit for detecting a positive peak voltage and a negative peak voltage of the output signal of the current-voltage conversion circuit;
An active integration circuit having a capacitor in a feedback loop, which integrates the addition signal of the positive direction peak voltage and the negative direction peak voltage output by the positive / negative peak detection circuit and outputs a magnetic detection signal ;
A magnetic sensor comprising: a voltage-current conversion circuit that converts an output voltage of the integration circuit into a current and supplies the current to a connection point between the coil and the capacitor.
前記駆動回路が出力する前記矩形波の周期及び電圧は、前記矩形波によって前記コイルに流れる電流が、前記矩形波が所定の電圧を維持している期間中に前記ヨークが磁気飽和を起こすことで、電流の増加が磁気飽和を起こす前より急峻になるように定められている、請求項1記載の磁気センサ。   The period and voltage of the rectangular wave output from the drive circuit are such that the current flowing in the coil due to the rectangular wave causes magnetic saturation in the yoke while the rectangular wave maintains a predetermined voltage. The magnetic sensor according to claim 1, wherein an increase in current is determined to be steeper than before magnetic saturation occurs. 前記駆動回路は、
所定の電圧が印加される第一スイッチと、
前記第一スイッチに並列接続される第一フリーホイールダイオードと、
前記第一スイッチと接地との間に接続される第二スイッチと、
前記第二スイッチに並列接続される第二フリーホイールダイオードと、
前記第一スイッチと前記第二スイッチとを交互にオン・オフ制御する制御パルス信号を出力するシーケンサと
よりなり、
前記電流電圧変換回路は前記コンデンサが兼用しており、
前記正負ピーク検出回路は、
前記第一スイッチがオン制御された後、前記シーケンサの制御によって前記コンデンサの両端電圧を取得する第一サンプルホールド回路と、
前記第二スイッチがオン制御された後、前記シーケンサの制御によって前記コンデンサの両端電圧を取得する第二サンプルホールド回路と
よりなる、請求項2記載の磁気センサ。
The drive circuit is
A first switch to which a predetermined voltage is applied;
A first freewheeling diode connected in parallel to the first switch;
A second switch connected between the first switch and ground;
A second freewheeling diode connected in parallel to the second switch;
A sequencer that outputs a control pulse signal for alternately turning on and off the first switch and the second switch;
The current-voltage conversion circuit is also used as the capacitor,
The positive / negative peak detection circuit includes:
A first sample-and-hold circuit that acquires a voltage across the capacitor under the control of the sequencer after the first switch is turned on;
The magnetic sensor according to claim 2, further comprising a second sample and hold circuit that acquires a voltage across the capacitor under the control of the sequencer after the second switch is turned on.
JP2010206707A 2010-09-15 2010-09-15 Magnetic sensor Active JP4731633B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010206707A JP4731633B1 (en) 2010-09-15 2010-09-15 Magnetic sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010206707A JP4731633B1 (en) 2010-09-15 2010-09-15 Magnetic sensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP4731633B1 true JP4731633B1 (en) 2011-07-27
JP2012063205A JP2012063205A (en) 2012-03-29

Family

ID=44461713

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010206707A Active JP4731633B1 (en) 2010-09-15 2010-09-15 Magnetic sensor

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4731633B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103840698A (en) * 2012-11-27 2014-06-04 江苏绿扬电子仪器集团有限公司 Device for energy storage and control of high-power driving power of graphic instrument

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019219332A (en) * 2018-06-21 2019-12-26 株式会社マコメ研究所 Induction coil sensor
JP2024013986A (en) * 2022-07-21 2024-02-01 愛知製鋼株式会社 magnetic detector

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09105772A (en) * 1995-10-09 1997-04-22 Sony Corp Magnetic detecting device and magnetic detecting method
JPH09152473A (en) * 1995-09-29 1997-06-10 Sony Corp Magnetic detecting apparatus
WO2000036427A1 (en) * 1998-12-15 2000-06-22 Tdk Corporation Magnetic sensor and current sensor

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09152473A (en) * 1995-09-29 1997-06-10 Sony Corp Magnetic detecting apparatus
JPH09105772A (en) * 1995-10-09 1997-04-22 Sony Corp Magnetic detecting device and magnetic detecting method
WO2000036427A1 (en) * 1998-12-15 2000-06-22 Tdk Corporation Magnetic sensor and current sensor

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103840698A (en) * 2012-11-27 2014-06-04 江苏绿扬电子仪器集团有限公司 Device for energy storage and control of high-power driving power of graphic instrument

Also Published As

Publication number Publication date
JP2012063205A (en) 2012-03-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6045125B2 (en) Separate type current / voltage, voltage / voltage converter
JP6304647B2 (en) Current detector
EP3121609B1 (en) Direct-current residual-current detecting device
JP2011017618A (en) Electric current sensor
US5287059A (en) Saturable core magnetometer with a parallel resonant circuit in which the W3 DC level changes with a change in an external magnetic field
JP2016125863A (en) Current detection device
JP4731633B1 (en) Magnetic sensor
CN114966159B (en) Current sensor for contactless current measurement
US6218825B1 (en) Current sensor with self-oscillating generator circuit
JP4684356B1 (en) Magnetic sensor
JP5702592B2 (en) Current detector
JP6024162B2 (en) Current detector
US6218831B1 (en) Low power fluxgate circuit with current balance
WO2015104776A1 (en) Current detection device
JP4866974B1 (en) Magnetic sensor
JP4747224B1 (en) Inductance change detection circuit, displacement detection device, and metal detection device
JP4898971B1 (en) Inductance change detection circuit, displacement detection device, and metal detection device
JP3583699B2 (en) Sensor device
US20080042637A1 (en) Magnetic toroid self resonant current sensor
JP4902001B2 (en) Inductance change detection circuit, displacement detection device, and metal detection device
JP4520706B2 (en) Excitation circuit of electromagnetic flow meter
JP4214574B2 (en) Sensor circuit
JP4731636B1 (en) Magnetic switch
JP2003121521A (en) Magnetism detecting circuit
JP2016125864A (en) Current detection device

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110307

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110329

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110419

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140428

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4731633

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250