JP4476992B2 - Tracking error signal detection device and magnetic recording device - Google Patents

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Description

本発明は、光ディスク等の光学情報記録媒体や、固定磁気ディスクやフレキシブルディスク等の磁気情報記録媒体であって高密度に情報を記録可能な情報記録媒体のトラッキング誤差信号検出装置及び磁気記録装置に関する。 The present invention relates to a tracking error signal detection apparatus and a magnetic recording apparatus for an optical information recording medium such as an optical disk, a magnetic information recording medium such as a fixed magnetic disk and a flexible disk, and capable of recording information at high density. .

フレキシブルディスク等の磁気記録媒体上に情報を記録する磁気ディスクシステムでは、従来磁気記録媒体のトラックピッチは200μm程度であり、光ディスクの1.6μm程度と比較すると非常に広い。そのため、ステッピングモータ等による機械的に大まかなトラック位置決めでも十分に対応が可能であった。しかしながら、近年磁気記録媒体の大容量化を実現するために、トラックピッチを数μm〜数10μmに狭くすることが要求されている。その場合、正確なトラックの位置決めが必要となる。 In a magnetic disk system for recording information on a magnetic recording medium such as a flexible disk, the track pitch of a conventional magnetic recording medium is about 200 μm, which is very wide compared to about 1.6 μm of an optical disk. Therefore, mechanically rough track positioning by a stepping motor or the like can be sufficiently handled. However, in recent years, it has been required to narrow the track pitch to several μm to several tens of μm in order to increase the capacity of the magnetic recording medium. In that case, accurate track positioning is required.

光を用いてトラッキング誤差信号の検出を行う従来の磁気記録装置(特許文献1)の構成を図1に示す。図1において、半導体レーザ光源10から出射された直線偏光の発散ビーム70は、コリメートレンズ20により平行光に変換され、平行光は偏光ビームスプリッタ30に入射する。偏光ビームスプリッタ30に入射した平行なビーム70は全て偏光ビームスプリッタ30を透過し、1/4波長板31に入射する。平行ビーム70は、1/4波長板31を透過する際、円偏光のビームに変換され、対物レンズ21により磁気記録媒体40上に集光される。   FIG. 1 shows a configuration of a conventional magnetic recording apparatus (Patent Document 1) that detects a tracking error signal using light. In FIG. 1, a linearly polarized divergent beam 70 emitted from the semiconductor laser light source 10 is converted into parallel light by the collimator lens 20, and the parallel light enters the polarization beam splitter 30. All the parallel beams 70 incident on the polarization beam splitter 30 pass through the polarization beam splitter 30 and enter the quarter-wave plate 31. The parallel beam 70 is converted into a circularly polarized beam when passing through the quarter-wave plate 31 and is focused on the magnetic recording medium 40 by the objective lens 21.

図2に、磁気記録媒体40と集光されたビーム70の関係を示す。磁気記録媒体40には、磁気ヘッド99により情報を記録し又は再生する領域であるトラックTn−1,Tn,Tn+1・・・が所定のピッチpt(約20μm)で設定されている。また、隣接する2つのトラックの中間には、トラッキング誤差信号及び磁気記録媒体40の回転に同期する同期信号を光学的に検出可能なように、離散的な案内溝Gn−1,Gn,Gn+1・・・が形成されている。   FIG. 2 shows the relationship between the magnetic recording medium 40 and the focused beam 70. In the magnetic recording medium 40, tracks Tn-1, Tn, Tn + 1... That are areas where information is recorded or reproduced by the magnetic head 99 are set at a predetermined pitch pt (about 20 μm). In addition, in the middle of two adjacent tracks, discrete guide grooves Gn−1, Gn, Gn + 1,... Are detected so that a tracking error signal and a synchronization signal synchronized with the rotation of the magnetic recording medium 40 can be detected optically.・ ・ Is formed.

磁気記録媒体40により反射され、回折されたビーム70は、再び対物レンズ21を透過した後、1/4波長板31に入射する。1/4波長板31を再度透過する際、透過したビーム70は光源10から出射されたときとは90度異なる方向の直線偏光のビームに変換される。1/4波長板31を透過したビーム70は、偏光ビームスプリッタ30により全て反射され、光検出器50に入射する。光検出器50は、入射光を電気信号に変換し、信号処理部80に入力する。   The beam 70 reflected and diffracted by the magnetic recording medium 40 passes through the objective lens 21 again and then enters the quarter-wave plate 31. When the light passes through the quarter-wave plate 31 again, the transmitted beam 70 is converted into a linearly polarized beam having a direction different by 90 degrees from that emitted from the light source 10. The beam 70 transmitted through the quarter-wave plate 31 is totally reflected by the polarization beam splitter 30 and enters the photodetector 50. The photodetector 50 converts the incident light into an electrical signal and inputs it to the signal processing unit 80.

図1に示すように、光検出器50は2つの受光部501,502を有し、各受光部501,502から出力される信号は、それぞれ電流−電圧(I−V)変換部851,852により電圧信号に変換され、差動演算部871に入力される。差動演算部871は、I−V変換部851,852からの2つの電圧信号を差動演算する。   As shown in FIG. 1, the photodetector 50 includes two light receiving units 501 and 502, and signals output from the light receiving units 501 and 502 are current-voltage (IV) conversion units 851 and 852, respectively. Is converted into a voltage signal and input to the differential operation unit 871. The differential operation unit 871 performs a differential operation on the two voltage signals from the IV conversion units 851 and 852.

I−V変換部851,852から出力される電圧信号v21,v22は、光学系からのビーム70が磁気記録媒体40上における案内溝(例えばGn)の中心から変位xを有するとき、それぞれ近似的に以下の式(1)及び(2)で表わされるような、互いに逆相の正弦波となる。信号v21,v22を図示するとそれぞれ図3(a),(b)のようになる。なお、式(1)及び(2)において、Aは振幅、Bは直流成分である。
[数1]
v21=−A・sin(2πx/pt)+B ・・・・(1)
v22=A・sin(2πx/pt)+B ・・・・(2)
また、差動演算部871から出力される信号v23は、以下の式(3)で表されるような信号となり、トラッキング誤差信号として、端子801から出力される。
[数2]
v23=2・A・sin(2πx/pt) ・・・・(3)
信号v23を図示すると、図3(c)のようになる。端子801から出力されるトラッキング誤差信号v23は、トラッキング誤差信号検出光学系及び情報の記録及び再生を行う磁気ヘッド99を含む基台95と磁気記録媒体40との相対的な位置を調整する駆動部90に入力され、磁気記録媒体40上の所望のトラックにトラッキングがなされる。このトラッキング誤差信号の検出方式は、プッシュプル法として知られている。
特開平6−96453号公報
The voltage signals v21 and v22 output from the IV converters 851 and 852 are approximated when the beam 70 from the optical system has a displacement x from the center of the guide groove (eg, Gn) on the magnetic recording medium 40, respectively. Are sine waves of opposite phases as represented by the following formulas (1) and (2). The signals v21 and v22 are shown in FIGS. 3A and 3B, respectively. In equations (1) and (2), A is the amplitude and B is the direct current component.
[Equation 1]
v21 = −A · sin (2πx / pt) + B (1)
v22 = A · sin (2πx / pt) + B (2)
The signal v23 output from the differential operation unit 871 is a signal represented by the following expression (3), and is output from the terminal 801 as a tracking error signal.
[Equation 2]
v23 = 2 · A · sin (2πx / pt) (3)
The signal v23 is illustrated as shown in FIG. The tracking error signal v23 output from the terminal 801 is a driving unit that adjusts the relative position between the magnetic recording medium 40 and the tracking error signal detection optical system and the base 95 including the magnetic head 99 that records and reproduces information. 90, the desired track on the magnetic recording medium 40 is tracked. This tracking error signal detection method is known as a push-pull method.
JP-A-6-96453

磁気ヘッド99を用いて情報の記録及び再生を行い、光学系95を用いてトラッキング誤差信号の検出を行う従来の磁気記録装置の場合、磁気ヘッド99が磁気記録媒体40に接する点S1と光学系からのビーム70の集光点S2との距離dは、少なくとも数100μm〜数mm必要である。すなわち、磁気ヘッド99が磁気記録媒体40に接する点S1とビーム70の集光点S2は磁気記録媒体40上の異なるトラックを走査することになる。   In the case of a conventional magnetic recording apparatus that records and reproduces information using the magnetic head 99 and detects a tracking error signal using the optical system 95, the optical system and the point S1 where the magnetic head 99 contacts the magnetic recording medium 40 The distance d from the condensing point S2 of the beam 70 from at least several hundred μm to several mm is necessary. That is, the point S 1 where the magnetic head 99 is in contact with the magnetic recording medium 40 and the condensing point S 2 of the beam 70 scan different tracks on the magnetic recording medium 40.

磁気記録装置を組み立てる際、点S1がちょうど磁気記録媒体40のトラック上にあるとき、図3(c)に示すトラッキング誤差信号v23の信号振幅の中点であるS3にトラッキングサーボの動作点がくるように距離dの調整を行っている。しかしながら、温度及び湿度が変化すると磁気記録媒体40の膨張又は収縮が起こり、それに伴いトラックピッチptが変化する。そのため、光学系95から得られるトラッキング誤差信号v23を用いて、点S3でトラッキング動作を行うと、点S1はオフトラックし、情報を再生する特性が極端に劣化する。   When the magnetic recording apparatus is assembled, when the point S1 is just on the track of the magnetic recording medium 40, the tracking servo operating point comes to S3 which is the midpoint of the signal amplitude of the tracking error signal v23 shown in FIG. The distance d is adjusted as described above. However, when the temperature and humidity change, the magnetic recording medium 40 expands or contracts, and the track pitch pt changes accordingly. Therefore, when the tracking operation is performed at the point S3 using the tracking error signal v23 obtained from the optical system 95, the point S1 is off-tracked, and the characteristic of reproducing information is extremely deteriorated.

この場合、例えば、点S1がちょうどトラック上にあるときのトラッキング誤差信号の出力が点S4であったとすると、点S4でトラッキングサーボがなされるようオフセット電圧を加えることにより、一応のトラッキングサーボが可能となる。しかし、矢印D1に示す方向のダイナミックレンジが低下し、外乱が発生した場合の追従性が劣化する。また、点S4が点S3から離れるほど、トラッキング動作のサーボ利得が低下する。最終的に点S4が点S5に至った場合、トラッキングのサーボ利得は0となり、全くトラッキングサーボはかからなくなるという新たな問題が生じる。   In this case, for example, if the output of the tracking error signal when the point S1 is just on the track is the point S4, a temporary tracking servo is possible by applying an offset voltage so that the tracking servo is performed at the point S4. It becomes. However, the dynamic range in the direction indicated by the arrow D1 decreases, and the followability when a disturbance occurs deteriorates. Further, the servo gain of the tracking operation decreases as the point S4 moves away from the point S3. When the point S4 finally reaches the point S5, the tracking servo gain becomes 0, and a new problem arises that the tracking servo is not applied at all.

一方、トラッキング誤差信号を検出するビームと情報記録媒体に対して情報を記録するビームが同一である光ディスク装置において、さらに高密度に情報を記録再生するためにトラックを案内溝上及び案内溝間に設ける構成が提案されている。しかしながら、このような構成において、光源から出射されたビームの波長λ、対物レンズの情報記録媒体側の開口数NA、トラッキング誤差信号を検出可能にするために情報記録媒体上に形成されたマーク又は案内溝の周期をPtとして、Pt>λ/NAの関係が成立する場合には、対物レンズで集光されたビームと情報記録媒体とが正規の角度から傾くと、上記磁気記録媒体と同様の問題が生じる。具体的には、波長λ=650nm、開口数NA=0.6、マーク又は案内溝の周期Pt=1.48μm、情報記録媒体の基板の厚さt=0.6mmとした場合等が該当する。   On the other hand, in an optical disc apparatus in which a beam for detecting a tracking error signal and a beam for recording information on the information recording medium are the same, tracks are provided on the guide grooves and between the guide grooves in order to record and reproduce information at a higher density. A configuration is proposed. However, in such a configuration, the wavelength λ of the beam emitted from the light source, the numerical aperture NA of the objective lens on the information recording medium side, the mark formed on the information recording medium to enable detection of the tracking error signal, or When the period of the guide groove is Pt and the relationship of Pt> λ / NA is established, if the beam focused by the objective lens and the information recording medium are tilted from a normal angle, the same as the magnetic recording medium described above Problems arise. Specifically, the case where the wavelength λ = 650 nm, the numerical aperture NA = 0.6, the mark or guide groove period Pt = 1.48 μm, and the thickness t = 0.6 mm of the substrate of the information recording medium is applicable. .

また、磁気記録媒体40に埃が付着したり、傷が付くことによって磁気記録媒体40で反射の反射率が変化し、反射されたビーム70の強度も変化する。このとき、トラッキング誤差信号にオフセットが生じ、磁気記録媒体40の所望のトラック上に磁気ヘッド99を制御することができなくなるという問題を生じる。   Further, when dust adheres to or scratches the magnetic recording medium 40, the reflectance of the reflection on the magnetic recording medium 40 changes, and the intensity of the reflected beam 70 also changes. At this time, an offset occurs in the tracking error signal, which causes a problem that the magnetic head 99 cannot be controlled on a desired track of the magnetic recording medium 40.

また、上記従来例のように、光を用いてトラッキング誤差信号を検出することを前提としたトラックピッチが数μm〜数十μmの磁気記録媒体に対しては、トラッキング駆動部90にステッピングモータを用いると、ステッピングモータのステップ幅に依存したオフトラックが生じる。オフトラック量を小さくするためにステップ幅を細かくすると、異なるトラック間を検索する時間が長くなるという問題が生じる。この2つの問題点は、トラッキング駆動系にステッピングモータではなく直流モータを用いることにより解決される。ところが、トラッキング駆動部90に直流モータを用いることにより、機械的な位置決めをすることできなくなるため、現在広く普及しているトラックピッチが188μmの磁気記録媒体に対して情報の記録及び読み出しができないという新たな問題が生じる。   Further, as in the conventional example described above, a stepping motor is provided in the tracking drive unit 90 for a magnetic recording medium having a track pitch of several μm to several tens of μm on the assumption that a tracking error signal is detected using light. If used, off-track depending on the step width of the stepping motor occurs. If the step width is made fine to reduce the amount of off-track, there arises a problem that it takes a long time to search between different tracks. These two problems can be solved by using a DC motor instead of a stepping motor in the tracking drive system. However, since it is not possible to perform mechanical positioning by using a DC motor for the tracking drive unit 90, information cannot be recorded or read on a magnetic recording medium having a track pitch of 188 μm, which is currently widely used. New problems arise.

また、例えばトラックピッチが50μmの磁気記録媒体に対しては、対物レンズ21の開口数NAは0.017程度が光学的に最適値である。ところが、対物レンズ21によって集光されるビーム70と磁気記録媒体40との間に角度ずれθがあると、磁気記録媒体40により反射されたビーム70が対物レンズ21の開口外にはみ出してしまい、光検出器50に導かれるビームの光量が低下し、トラッキンング動作が不安定になるという問題があった。角度ずれθに対する評価関数Evを0.5・tan(2・θ)/NAとしたとき、評価関数Evと光検出器50に導かれるビーム70の光量Iの関係は図4に示すようになる。対物レンズ21の開口数NAが0.017の場合、光検出器50上のビーム70の光量Iが零すなわち評価関数Evが1となるときの角度ずれθは0.97度であり、このときトラッキング誤差信号を全く得られなくなる。   For example, for a magnetic recording medium having a track pitch of 50 μm, the numerical aperture NA of the objective lens 21 is about 0.017, which is an optically optimal value. However, if there is an angle shift θ between the beam 70 condensed by the objective lens 21 and the magnetic recording medium 40, the beam 70 reflected by the magnetic recording medium 40 protrudes outside the opening of the objective lens 21. There has been a problem that the amount of the beam guided to the photodetector 50 is reduced and the tracking operation becomes unstable. When the evaluation function Ev with respect to the angle shift θ is 0.5 · tan (2 · θ) / NA, the relationship between the evaluation function Ev and the light quantity I of the beam 70 guided to the photodetector 50 is as shown in FIG. . When the numerical aperture NA of the objective lens 21 is 0.017, the angle deviation θ when the light quantity I of the beam 70 on the photodetector 50 is zero, that is, when the evaluation function Ev is 1, is 0.97 degrees. No tracking error signal can be obtained.

本発明は、第1にトラッキング誤差信号のダイナミックレンジ及び利得が低下せず、常に安定したトラッキングサーボ動作を実現可能なトラッキング誤差信号検出装置を提供することにある。第2に、情報記録媒体に反射率の部分的な変化が生じてもトラッキング誤差信号にオフセットが発生しにくいトラッキング誤差信号検出装置を提供することにある。第3に、トラックピッチが数μm〜数十μmの磁気記録媒体にもトラックピッチが188μmの磁気記録媒体にもトラッキング誤差信号が検出可能な磁気記録装置を提供することにある。   A first object of the present invention is to provide a tracking error signal detection device capable of always realizing a stable tracking servo operation without reducing the dynamic range and gain of a tracking error signal. A second object is to provide a tracking error signal detection apparatus in which an offset is hardly generated in a tracking error signal even when a partial change in reflectance occurs in an information recording medium. A third object is to provide a magnetic recording apparatus capable of detecting a tracking error signal on a magnetic recording medium having a track pitch of several μm to several tens of μm and a magnetic recording medium having a track pitch of 188 μm.

本発明のトラッキング誤差信号検出装置は、光ビームを出射する光源と、前記光源から出射されたビームを受けて3つのビームを生成する回折手段と、前記回折手段で生成された前記3つのビームを反射体上へ微小スポットとして収束させる集光光学系と、前記反射体により反射され、回折された前記3つのビームを分岐するビーム分岐手段と、前記ビーム分岐手段により分岐された前記3つのビームを受光し、光量に応じた信号を出力する光検出器と、前記光検出器から出力される前記3つのビームから得られた信号を演算してトラッキング誤差信号を生成する信号処理部を具備し、前記反射体には反射率の変化を与える周期的な物理変化が形成され、前記物理的な変化の方向と平行な方向における前記集光光学系の前記反射体側の焦点距離が、前記物理的な変化の方向に直交する方向における焦点距離よりも長く、前記物理的な変化の方向と平行な方向における前記集光光学系の前記光源側の開口の大きさが、前記物理的な変化の方向と直交する方向の大きさよりも大きく、前記物理的な変化の方向と平行な方向における前記反射体上に収束されたビームの大きさが、前記物理的な変化の方向に直交する方向における大きさよりも大きいことを特徴とする。 The tracking error signal detection apparatus of the present invention includes a light source that emits a light beam, a diffraction unit that receives the beam emitted from the light source and generates three beams, and the three beams generated by the diffraction unit. a focusing optical system for converging a minute spot on the reflection member, is reflected by the reflector, a beam splitting means for splitting the diffracted said three beams, the three beams split by the beam splitting means A photodetector that receives light and outputs a signal in accordance with the amount of light; and a signal processing unit that calculates a signal obtained from the three beams output from the photodetector and generates a tracking error signal; A periodic physical change that gives a change in reflectance is formed on the reflector, and the focal length of the condensing optical system on the reflector side in a direction parallel to the direction of the physical change. But the physical longer than the focal length in the direction perpendicular to the direction of the change, the size of the light source side of the opening of the light converging optical system in the physical direction parallel to the direction of the change, the physical specific larger than a size in the direction perpendicular to the direction of the change, the magnitude of the beam focused on the reflector in the physical direction parallel to the direction of the change is, perpendicular to the direction of the physical change It is characterized in that it is larger than the size in the direction to do.

記トラッキング誤差信号検出装置において、前記物理的な変化の方向と平行な方向における前記集光光学系の前記反射体側の焦点距離が無限遠であることが好ましい。 In the above Quito tracking error signal detection apparatus, it is preferable focal length of the reflector side of the light converging optical system in the physical direction parallel to the direction of change is infinite.

上記トラッキング誤差信号検出装置において、前記集光光学系は、前記光源から出射された発散光を平行光に変換するコリメートレンズと、前記コリメートレンズにより変換された平行光を収束光に変換する集光レンズを含むことが好ましい。
In the tracking error signal detection device, the condensing optical system includes a collimating lens that converts divergent light emitted from the light source into parallel light, and a condensing light that converts parallel light converted by the collimating lens into convergent light. preferably includes a lens.

または、前記集光光学系は、前記光源から出射された発散光を収束光に変換する有限系の対物レンズを含むことが好ましい。   Alternatively, the condensing optical system preferably includes a finite objective lens that converts divergent light emitted from the light source into convergent light.

また、前記集光光学系は、樹脂成形により形成されたものであることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the said condensing optical system is formed by resin molding.

また、前記ビーム分岐手段は回折素子又は偏光ビームスプリッタであることが好ましい。   The beam branching means is preferably a diffraction element or a polarization beam splitter.

また、前記反射体に形成される物理的な変化の周期が、情報記録媒体上のトラックの周期よりも小さいことが好ましい。   Moreover, it is preferable that the period of the physical change formed in the reflector is smaller than the period of the track on the information recording medium.

また、前記反射体は情報記録媒体であることが好ましい。   The reflector is preferably an information recording medium.

以上のように、本発明のトラッキング誤差信号検出装置によれば、光ビームを出射する光源と、前記光源から出射されたビームを反射体上へ微小スポットとして収束させる集光光学系と、前記反射体により反射され、回折されたビームを分岐するビーム分岐手段と、前記ビーム分岐手段により分岐されたビームを受光し、光量に応じた信号を出力する光検出器と、前記光検出器から出力された信号を演算する第1の演算手段と、前記演算手段から出力された信号の強度を変化させ、少なくとの2つの信号を出力する可変利得増幅手段と、前記可変利得増幅手段から出力された2つの信号を加算又は減算する第2の演算手段とを具備する。   As described above, according to the tracking error signal detection apparatus of the present invention, the light source that emits the light beam, the condensing optical system that converges the beam emitted from the light source as a minute spot on the reflector, and the reflection A beam branching means for branching the beam reflected and diffracted by the body, a photodetector for receiving the beam branched by the beam branching means and outputting a signal corresponding to the amount of light; and output from the photodetector A first computing means for computing the received signal, a variable gain amplifying means for changing the intensity of the signal outputted from the computing means and outputting at least two signals, and a signal outputted from the variable gain amplifying means And a second calculation means for adding or subtracting two signals.

そのため、トラッキング誤差信号における動作点の移動は、可変利得増幅手段から出力される2つの信号を第2の演算手段で演算することにより、第2の演算手段から出力される信号の位相の変化として検出される。このとき、トラッキング誤差信号の振幅を一定に保ち、かつトラッキング誤差信号の振幅の中点でトラッキングサーボ動作を行うことにより、磁気ヘッドをちょうどトラック上に位置させることができる。   For this reason, the movement of the operating point in the tracking error signal is calculated as a change in the phase of the signal output from the second calculation means by calculating the two signals output from the variable gain amplification means by the second calculation means. Detected. At this time, by keeping the amplitude of the tracking error signal constant and performing the tracking servo operation at the midpoint of the amplitude of the tracking error signal, the magnetic head can be positioned just on the track.

また、本発明の別のトラッキング誤差信号検出装置によれば、光ビームを出射する光源と、前記光源から出射されたビームを反射体上へ微小スポットとして収束させる集光光学系と、前記反射体により反射され、回折されたビームを分岐するビーム分岐手段と、前記ビーム分岐手段により分岐されたビームを受光し、光量に応じた信号を出力する光検出器と、前記光検出器から出力される信号を演算してトラッキング誤差信号を生成する信号処理部を具備し、前記反射体には反射率の変化を与える周期的な物理変化が形成され、前記反射体上でのビームは前記物理的な変化と平行な方向の大きさが、前記物理的な変化に直交する方向の大きさよりも大きくなる。そのため、反射体における部分的な反射率の変化に依存するビーム強度の変化は、反射体に集光されるビームの大きさが大きくなることにより低減され、オフセットの少ないトラッキング誤差信号を検出することができる。   According to another tracking error signal detection device of the present invention, a light source that emits a light beam, a condensing optical system that converges the beam emitted from the light source as a minute spot on a reflector, and the reflector A beam branching unit for branching the beam reflected and diffracted by the light beam, a photodetector for receiving the beam branched by the beam branching unit and outputting a signal corresponding to the amount of light, and output from the photodetector A signal processing unit that calculates a signal to generate a tracking error signal, and a periodic physical change that gives a change in reflectance is formed in the reflector, and a beam on the reflector is the physical The magnitude in the direction parallel to the change is larger than the magnitude in the direction orthogonal to the physical change. Therefore, the change in beam intensity depending on the partial change in reflectivity in the reflector can be reduced by increasing the size of the beam focused on the reflector, and a tracking error signal with a small offset can be detected. Can do.

また、本発明の磁気記録装置によれば、光ビームを出射する光源と、前記光源から出射されたビームを第1の反射体上へ微小スポットとして収束させる第1の集光光学系と、前記光源から出射されたビームを第2の反射体上へ微小スポットとして収束させる第2の集光光学系と、前記第1及び第2の反射体により反射され、回折されたビームを分岐するビーム分岐手段と、前記ビーム分岐手段により分岐されたビームを受光し、光量に応じた信号を出力する光検出器と、情報記録媒体上に情報を記録し又は情報記録媒体上の情報を再生する磁気ヘッドと、前記光検出器から出力される複数の信号からトラッキング誤差信号を生成する信号処理部と、前記トラッキング誤差信号に基づいて前記情報記録媒体に対して磁気ヘッドのトラッキングを制御する制御手段とを具備し、前記第1及び第2の反射体には周期を有する物理的な変化が形成され、第1の反射体に形成された物理的変化の周期と第2の反射体に形成された物理的変化の周期とが異なる。   According to the magnetic recording apparatus of the present invention, the light source that emits the light beam, the first condensing optical system that converges the beam emitted from the light source as a minute spot on the first reflector, A second condensing optical system for converging the beam emitted from the light source as a minute spot on the second reflector, and a beam branch for branching the diffracted beam reflected by the first and second reflectors Means, a photodetector for receiving the beam branched by the beam branching means and outputting a signal corresponding to the light quantity, and a magnetic head for recording information on the information recording medium or reproducing information on the information recording medium A signal processing unit for generating a tracking error signal from a plurality of signals output from the photodetector, and tracking of the magnetic head with respect to the information recording medium based on the tracking error signal And a physical change having a period is formed in the first and second reflectors, and the period of the physical change formed in the first reflector and the second reflection. The period of physical change formed in the body is different.

そのため、トラックピッチが数μm〜数十μmの磁気記録媒体に対しては、第1の反射体で反射されたビームを用いてトラッキング誤差信号を生成し、トラックピッチが188μmの磁気記録媒体に対しては、第2の反射体で反射されたビームを用いてトラッキング誤差信号を生成することにより、異なるトラックピッチの磁気記録媒体に対していずれにもトラッキング動作を行うことができる。   Therefore, for a magnetic recording medium having a track pitch of several μm to several tens of μm, a tracking error signal is generated using the beam reflected by the first reflector, and for a magnetic recording medium having a track pitch of 188 μm. Thus, by generating a tracking error signal using the beam reflected by the second reflector, the tracking operation can be performed on any magnetic recording medium having a different track pitch.

さらに、本発明の別の磁気記録装置によれば、光ビームを出射する光源と、前記光源から出射されたビームを反射体上へ微小スポットとして収束させる集光光学系と、前記反射体により反射され、回折されたビームを分岐するビーム分岐手段と、前記ビーム分岐手段により分岐されたビームを受光し、光量に応じた信号を出力する光検出器と、磁気記録媒体上に情報を記録し又は磁気記録媒体上の情報を再生を行う磁気ヘッドを具備し、前記反射体には反射率の変化を与える周期的な物理変化が形成され、さらに以下の(1)〜(3)のいずれかの構成要素を有する。
(1)光源から反射体に至る光路にビームの進行方向を変化させる共通の支持体上に一体形成された2枚のミラー、
(2)反射体の周期的な物理変化の方向を第1の方向とし、第1の方向と直交する方向を第2の方向としたとき、第2の方向の開口が第1の方向の開口よりも大きい集光光学系、及び
(3)周辺部に回折素子を形成した集光光学系。
Furthermore, according to another magnetic recording apparatus of the present invention, a light source that emits a light beam, a condensing optical system that converges the beam emitted from the light source as a minute spot on a reflector, and a reflection by the reflector A beam branching unit for branching the diffracted beam, a photodetector for receiving the beam branched by the beam branching unit and outputting a signal corresponding to the amount of light, and recording information on the magnetic recording medium or A magnetic head for reproducing information on a magnetic recording medium is provided, and the reflector is formed with a periodic physical change that gives a change in reflectivity, and any of the following (1) to (3) It has a component.
(1) Two mirrors integrally formed on a common support that changes the traveling direction of the beam in the optical path from the light source to the reflector,
(2) When the direction of the periodic physical change of the reflector is the first direction and the direction orthogonal to the first direction is the second direction, the opening in the second direction is the opening in the first direction. And (3) a condensing optical system in which a diffractive element is formed in the periphery.

また、本発明の磁気記録装置の調整方法によれば、光ビームを出射する光源と、前記光源から出射されたビームを反射体上へ微小スポットとして収束させる集光光学系と、前記反射体により反射され、回折されたビームを分岐するビーム分岐手段と、前記ビーム分岐手段により分岐されたビームを受光し、光量に応じた信号を出力する光検出器と、磁気記録媒体上に情報を記録し又は磁気記録媒体上の情報を再生を行う磁気ヘッドを具備する磁気記録装置を組み立てる際の調整方法であって、前記集光光学系で集光されるビームと前記反射体とがなす角度が所望の角度となるように前記集光光学系の光軸とは直交する方向に前記光源の位置を動かす。   According to the method for adjusting a magnetic recording apparatus of the present invention, a light source that emits a light beam, a condensing optical system that converges the beam emitted from the light source as a minute spot on the reflector, and the reflector A beam branching unit for branching the reflected and diffracted beam, a photodetector for receiving the beam branched by the beam branching unit and outputting a signal corresponding to the amount of light, and recording information on the magnetic recording medium Or an adjustment method for assembling a magnetic recording apparatus having a magnetic head for reproducing information on a magnetic recording medium, wherein an angle formed between the beam condensed by the condensing optical system and the reflector is desired The position of the light source is moved in a direction perpendicular to the optical axis of the condensing optical system so that the angle becomes.

上記(1)の構成要素を有することにより、光学系の占有領域を小さくする際に用いられるミラーの取り付け誤差に起因する、集光光学系により集光されるビームの光軸と磁気記録媒体との間の角度ずれは、1枚のミラーの動きが他方のミラーの動きによって相殺され、角度ずれが発生しなくなる。   By having the component of (1) above, the optical axis of the beam condensed by the condensing optical system and the magnetic recording medium caused by the mounting error of the mirror used when reducing the occupation area of the optical system, The angle deviation between the two mirrors cancels out the movement of one mirror by the movement of the other mirror, and no angular deviation occurs.

上記(2)の構成要素を有することにより、第2の方向の開口数NAが大きくなり、集光光学系により集光されるビームの光軸と磁気記録媒体との間の角度ずれによる、集光光学系におけるビームのけられの影響を受けにくくなる。   By including the component (2) above, the numerical aperture NA in the second direction is increased, and due to the angular deviation between the optical axis of the beam condensed by the condensing optical system and the magnetic recording medium. It becomes difficult to be affected by beam vignetting in the optical optical system.

また、上記(3)の構成要素を有することにより、集光光学系により集光されるビームの光軸と磁気記録媒体との間の角度ずれに依存して移動する集光光学系におけるビームは、回折素子により受光素子に導かれるので、集光光学系におけるビームのけられは起こらなくなる。   In addition, since the component (3) is included, the beam in the condensing optical system that moves depending on the angular deviation between the optical axis of the beam condensed by the condensing optical system and the magnetic recording medium is Since the light is guided to the light receiving element by the diffractive element, the beam is not displaced in the condensing optical system.

従って、いずれの場合も、トラッキング誤差信号が安定して検出可能な磁気記録装置を提供することができる。   Accordingly, in any case, it is possible to provide a magnetic recording apparatus that can stably detect a tracking error signal.

また、上記調整方法により、磁気記録装置を構成する要素の取り付け誤差に起因する集光光学系により集光されるビームの光軸と磁気記録媒体との間の角度ずれが補正されるので、反射体で反射されたビームは、常にレンズの開口内に戻るようになり、トラッキング誤差信号を安定して検出することができる。   In addition, the above adjustment method corrects the angular deviation between the optical axis of the beam condensed by the condensing optical system and the magnetic recording medium due to the mounting error of the elements constituting the magnetic recording apparatus. The beam reflected by the body always returns into the aperture of the lens, and the tracking error signal can be detected stably.

以下、図5〜図33を参照しながら、本発明による情報記録媒体、トラッキング誤差信号検出装置、情報記録装置及び情報記録装置の調整方法の実施例について詳細に述べる。なお、従来の磁気記録装置と同じ構成要素を用いることが可能な構成要素には、同じ番号を付している。また、本明細書を通じて、「記録」という場合には、情報の記録だけでなく、情報の再生及び消去も含むものとする。   Hereinafter, embodiments of an information recording medium, a tracking error signal detection device, an information recording device, and an information recording device adjustment method according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. Components that can use the same components as those of the conventional magnetic recording apparatus are denoted by the same reference numerals. In addition, throughout this specification, “recording” includes not only information recording but also information reproduction and erasure.

(実施例1)
本発明の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置に関する実施例1について、図5〜8を参照しつつ説明する。図5は、実施例1の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置を示す図である。実施例1の磁気記録装置のトラッキング誤差信号検出装置は、図1に示す従来例と同様の構成であるが、信号処理部81の構成が異なる。実施例1の信号処理部81の構成を図6に示す。
Example 1
A first embodiment relating to the magnetic recording apparatus and the tracking error signal detection apparatus of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a diagram illustrating the magnetic recording apparatus and the tracking error signal detection apparatus thereof according to the first embodiment. The tracking error signal detection apparatus of the magnetic recording apparatus of the first embodiment has the same configuration as that of the conventional example shown in FIG. 1, but the configuration of the signal processing unit 81 is different. FIG. 6 shows the configuration of the signal processing unit 81 of the first embodiment.

光検出器50は2つの受光部501,502を有し、各受光部501,502から出力される電気信号は、それぞれ信号処理部81に入力される。受光部501,502から出力される信号は、それぞれI−V変換部851,852により電圧信号に変換される。I−V変換部851,852から出力された2つの電圧信号は、それぞれ差動演算部872及び加算部891に入力される。差動演算部872は、I−V変換部851,852から出力された2つの電圧信号を差動演算する。差動演算部872から出力される信号v1は、案内溝(例えば図2におけるGn)の中心からビーム7が変位xを有するとき、式(4)で表わされるような、正弦波となる。なお、式(4)において、A1は振幅である。
[数3]
v1=A1・sin(2πx/pt) ・・・・(4)
差動演算部872から出力される信号は、可変利得増幅部832に入力される。可変利得増幅部832は、入力された信号の振幅A1を任意に変化させることが可能な利得可変型の増幅器である。可変利得増幅部832から出力される信号は、演算部892に入力される。
The photodetector 50 includes two light receiving units 501 and 502, and electric signals output from the light receiving units 501 and 502 are respectively input to the signal processing unit 81. Signals output from the light receiving units 501 and 502 are converted into voltage signals by the IV conversion units 851 and 852, respectively. The two voltage signals output from the IV conversion units 851 and 852 are input to the differential operation unit 872 and the addition unit 891, respectively. The differential operation unit 872 performs a differential operation on the two voltage signals output from the IV conversion units 851 and 852. When the beam 7 has a displacement x from the center of the guide groove (for example, Gn in FIG. 2), the signal v1 output from the differential calculation unit 872 becomes a sine wave as represented by Expression (4). In equation (4), A1 is the amplitude.
[Equation 3]
v1 = A1 · sin (2πx / pt) (4)
A signal output from the differential operation unit 872 is input to the variable gain amplification unit 832. The variable gain amplifying unit 832 is a variable gain amplifier that can arbitrarily change the amplitude A1 of the input signal. The signal output from the variable gain amplifying unit 832 is input to the arithmetic unit 892.

加算部891は、I−V変換部851,852から出力された電圧信号を加算する。加算部891から出力される信号v2は、以下の式(5)で表わされるような、正弦波である。なお、式(5)において、A2は振幅、B1は直流成分である。
[数4]
v2=A2・cos(2πx/pt)+B1 ・・・・(5)
加算部891から出力される信号は、クロック信号生成部895に入力され、クロック信号CLK1,CLK2が生成される。クロック信号生成部895は、Phase Locked Loop(PLL)回路である。クロック信号CLK1,CLK2は 、いずれも図2に示す磁気記録媒体40上に形成された離散的な案内溝Gn−1,Gn・・・を走査したときに得られる信号と同期している。図7に、案内溝Gnとクロック信号CLK1,CLK2のタイミングの関係を示す。クロック信号CLK1,CLK2は、トリガ信号生成部896に入力され、タイミング信号Sa1,Sa2が生成される。加算部891からの信号は、タイミング信号Sa1,Sa2が有するタイミングにより出力され、サンプルアンドホールド部811,812により、それぞれサンプルアンドホールドされる。サンプルアンドホールド部812によりサンプルアンドホールドされた信号は、そのまま差動演算部873に入力される。一方、サンプルアンドホールド部811でサンプルアンドホールドされた信号は、可変利得増幅部831で所望の強度に調整された後、差動演算部873に入力される。信号v2が有する直流成分B1が差動演算部873で減算されるように、可変利得増幅部831の利得を設定する。このとき、差動演算部873から出力される信号v3は、以下の式(6)で表わされるような、信号v2から直流成分が減算された正弦波となる。
[数5]
v3=A2・cos(2πx/pt) ・・・・(6)
差動演算部873から出力された信号は、可変利得増幅部833により所望の振幅に調整された後、演算部892に入力される。演算部892は、入力された信号の加算を行い、出力端子802からトラッキング誤差信号v4を出力する。信号v4は、以下の式(7)で表わされるような、波形である。
[数6]
v4=K1・A1・sin(2πx/pt)
+K2・A2・cos(2πx/pt)
=K1・A1・sin(2πx/pt)
+K2・A2・sin(2πx/pt+π/2) ・・・・(7)
式(7)において、K1,K2は、それぞれ可変利得増幅部832,833の利得である。信号v4は、適当なK1,K2を選ぶことにより、任意の位相及び振幅が設定可能な信号となる。例えば、K1・A1=K2・A2のとき、信号v4は信号v1と位相がπ/4異なる信号となる。信号v1,v3,v4を図示すると、それぞれ図8(a)〜(c)のようになる。
The adder 891 adds the voltage signals output from the IV converters 851 and 852. The signal v2 output from the adder 891 is a sine wave as represented by the following equation (5). In equation (5), A2 is the amplitude and B1 is the direct current component.
[Equation 4]
v2 = A2 · cos (2πx / pt) + B1 (5)
The signal output from the adder 891 is input to the clock signal generator 895, and the clock signals CLK1 and CLK2 are generated. The clock signal generation unit 895 is a phase locked loop (PLL) circuit. The clock signals CLK1 and CLK2 are both synchronized with signals obtained when scanning the discrete guide grooves Gn-1, Gn... Formed on the magnetic recording medium 40 shown in FIG. FIG. 7 shows the timing relationship between the guide groove Gn and the clock signals CLK1 and CLK2. The clock signals CLK1 and CLK2 are input to the trigger signal generation unit 896, and timing signals Sa1 and Sa2 are generated. The signal from the adder 891 is output at the timing of the timing signals Sa1 and Sa2, and is sampled and held by the sample and hold units 811 and 812, respectively. The signal sampled and held by the sample and hold unit 812 is input to the differential operation unit 873 as it is. On the other hand, the signal sampled and held by the sample and hold unit 811 is adjusted to a desired intensity by the variable gain amplification unit 831 and then input to the differential operation unit 873. The gain of the variable gain amplifying unit 831 is set so that the DC component B1 of the signal v2 is subtracted by the differential operation unit 873. At this time, the signal v3 output from the differential operation unit 873 is a sine wave obtained by subtracting a DC component from the signal v2 as represented by the following equation (6).
[Equation 5]
v3 = A2 · cos (2πx / pt) (6)
The signal output from the differential operation unit 873 is adjusted to a desired amplitude by the variable gain amplification unit 833 and then input to the operation unit 892. The arithmetic unit 892 adds the input signals and outputs a tracking error signal v4 from the output terminal 802. The signal v4 has a waveform as represented by the following formula (7).
[Equation 6]
v4 = K1 · A1 · sin (2πx / pt)
+ K2 · A2 · cos (2πx / pt)
= K1 · A1 · sin (2πx / pt)
+ K2 · A2 · sin (2πx / pt + π / 2) (7)
In Expression (7), K1 and K2 are gains of the variable gain amplifying units 832 and 833, respectively. The signal v4 is a signal whose arbitrary phase and amplitude can be set by selecting appropriate K1 and K2. For example, when K1 · A1 = K2 · A2, the signal v4 is a signal whose phase is different from the signal v1 by π / 4. The signals v1, v3, and v4 are shown in FIGS. 8A to 8C, respectively.

端子802から出力されるトラッキング誤差信号v4は、駆動部90に入力される。駆動部90は、トラッキング誤差信号v4に基づいて、トラッキング誤差信号検出光学系及び情報の記録及び再生を行う磁気ヘッド99を含む基台95と磁気記録媒体40との相対的な位置を調整し、磁気ヘッド99が所望のトラックにトラッキングされる。   The tracking error signal v4 output from the terminal 802 is input to the drive unit 90. Based on the tracking error signal v4, the drive unit 90 adjusts the relative position between the tracking error signal detection optical system and the base 95 including the magnetic head 99 for recording and reproducing information and the magnetic recording medium 40, The magnetic head 99 is tracked to a desired track.

図1に示すような磁気記録装置では、磁気ヘッド99が磁気記録媒体40に接する点S1と、光学系からのビーム70の集光点S2が、それぞれ磁気記録媒体40上の異なるトラックを走査する。一方、温度及び湿度の変化により磁気記録媒体40が膨張し又は収縮すると、それに伴いトラックピッチptが変化する。しかしながら、本発明の磁気記録装置によれば、光学系95から得られるトラッキング誤差信号を用いてトラッキングを行ったとき、点S1がオフトラックする場合でも、可変利得増幅部832,833の利得を変化させることにより、図3(c)に示すように、トラッキング誤差信号の振幅の中点、すなわちトラッキングサーボの利得とダイナミックレンジが最大となる最良点S3で、点S1をオントラックとすることができる。このとき、磁気記録媒体40に最良の状態で情報の記録再生を行うことができる。したがって、本発明の磁気記録装置を用いた場合には、非常にトラッキング動作が安定する。勿論、温度及び湿度による変化だけではなく、フレキシブルディスク等、媒体を交換するような磁気記録装置においても、常に最良点でトラッキングサーボ動作を行うことができる。また、異なる磁気記録媒体間の互換性も良好となる。 In the magnetic recording apparatus as shown in FIG. 1, a point S1 where the magnetic head 99 contacts the magnetic recording medium 40 and a condensing point S2 of the beam 70 from the optical system respectively scan different tracks on the magnetic recording medium 40. . On the other hand, when the magnetic recording medium 40 expands or contracts due to changes in temperature and humidity, the track pitch pt changes accordingly. However, according to the magnetic recording apparatus of the present invention, when tracking is performed using the tracking error signal obtained from the optical system 95, the gain of the variable gain amplifying units 832 and 833 is changed even when the point S1 is off-tracked. By doing so, as shown in FIG. 3C, the point S1 can be turned on-track at the midpoint of the amplitude of the tracking error signal, that is, the best point S3 where the gain and dynamic range of the tracking servo are maximized. . At this time, information can be recorded on and reproduced from the magnetic recording medium 40 in the best condition. Therefore, when the magnetic recording apparatus of the present invention is used, the tracking operation is very stable. Of course, not only changes due to temperature and humidity, but also in a magnetic recording apparatus in which a medium such as a flexible disk is exchanged, the tracking servo operation can always be performed at the best point. Also, compatibility between different magnetic recording media is improved.

可変利得増幅部832,833の利得K1,K2の調整は、例えば磁気ヘッド99から読み出される信号が、最良となるようにすればよい。可変利得増幅手段の利得を調整する方法は、PINダイオード,バイポーラトランジスタ,FET等の半導体素子に与えるバイアス電圧を変化させることにより行う方法等、一般的な方法を用いることができる。   The gains K1 and K2 of the variable gain amplifying units 832 and 833 may be adjusted such that, for example, the signal read from the magnetic head 99 is the best. As a method of adjusting the gain of the variable gain amplifying means, a general method such as a method of changing a bias voltage applied to a semiconductor element such as a PIN diode, a bipolar transistor, or an FET can be used.

本実施例に示す磁気記録装置では、1つのビームを磁気記録媒体上に集光する簡単な光学系でトラッキング誤差信号を得ることができるので、光学系の安価な磁気記録装置を提供することができる。   In the magnetic recording apparatus shown in this embodiment, since a tracking error signal can be obtained with a simple optical system that focuses one beam on a magnetic recording medium, it is possible to provide an inexpensive magnetic recording apparatus with an optical system. it can.

(実施例2)
本発明の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置に関する実施例2について図9〜11を参照しつつ説明する。 図9は、実施例2の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置を示す図である。図5に示す実施例1とは、光源10とコリメートレンズ20との間に3つのビームを生成する回折格子32を設けていること、偏光ビームスプリッタ30で反射されたビーム70を集光レンズ22で集光していること、光検出器51及び信号処理部82の構成が異なる。他の構成要素は実施例1と同様である。
(Example 2)
A second embodiment relating to the magnetic recording apparatus and the tracking error signal detection apparatus of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 9 is a diagram illustrating the magnetic recording apparatus and the tracking error signal detection apparatus according to the second embodiment. In the first embodiment shown in FIG. 5, the diffraction grating 32 that generates three beams is provided between the light source 10 and the collimating lens 20, and the beam 70 reflected by the polarization beam splitter 30 is reflected on the condenser lens 22. And the configurations of the photodetector 51 and the signal processing unit 82 are different. Other components are the same as those in the first embodiment.

磁気記録媒体40上に集光されたビーム70の様子を図10に示す。ビーム70は、3つのビーム71〜73からなる。ビーム71は、回折格子32の0次回折光、ビーム72,73はそれぞれ回折格子32の1次回折光である。磁気記録媒体40上において、ビーム71と72及びビーム71と73はそれぞれpt/4(pt:トラックのピッチ)、ビーム72と73はpt/2だけ異なるトラック位置を照射するように配置されている。   The state of the beam 70 condensed on the magnetic recording medium 40 is shown in FIG. The beam 70 includes three beams 71 to 73. The beam 71 is the zero-order diffracted light of the diffraction grating 32, and the beams 72 and 73 are the first-order diffracted light of the diffraction grating 32, respectively. On the magnetic recording medium 40, the beams 71 and 72 and the beams 71 and 73 are arranged so as to irradiate different track positions by pt / 4 (pt: track pitch), and the beams 72 and 73 are different by pt / 2. .

光検出器51及び信号処理部82の構成を図11に示す。光検出器51は、3つの受光部503〜505からなり、それぞれビーム71〜73を1つずつ受光する。光検出器51の各受光部503〜505から出力される電気信号は、信号処理部82に入力され、それぞれI−V変換部853〜855により電圧信号に変換される。I−V変換部853〜855から出力される信号v5〜v7はそれぞれ以下の式(8)〜(10)で示されるような信号である。なお、式(8)〜(10)において、A3は振幅、B2は直流成分である。
[数7]
v5=A3・cos(2πx/pt)+B2 ・・・・(8)
v6=A3・sin(2πx/pt)+B2 ・・・・(9)
v7=−A3・sin(2πx/pt)+B2 ・・・(10)
信号v5,v6は差動演算部874に、信号v5,v7は差動演算部875にそれぞれ入力され、差動演算される。差動演算部874,875から出力される信号v8,v9は、それぞれ式(11)及び(12)で示されるような信号である。なお、式(11)及び(12)において、A4は振幅である。
[数8]
v8=A4・sin(2πx/pt+π/4) ・・・(11)
v9=A4・sin(2πx/pt−π/4) ・・・(12)
信号v8,v9は、位相がπ/2異なる正弦波となっている。差動演算部874,875から出力される信号v8,v9は、それぞれ可変利得増幅部834,835に入力され、所望の振幅に調整された後、演算部893に入力される。演算部893は、入力された信号の加算を行い、出力端子803からトラッキング誤差信号v10を出力する。信号v10は、式(13)で表わされるような波形である。
[数9]
v10=K3・A4・sin(2πx/pt+π/4)
+K4・A4・sin(2πx/pt−π/4)
=K4・A4・sin(2πx/pt+φ1)
+K3・A4・sin(2πx/pt+π/2+φ1) ・・(13 )
端子803から出力されるトラッキング誤差信号v10は、駆動部91に入力される。駆動部91は、トラッキング誤差信号検出光学系及び磁気ヘッド99を含む基台96と磁気記録媒体40との相対的な位置を調整し、磁気ヘッド99が所望のトラックにトラッキングされる。
The configuration of the photodetector 51 and the signal processing unit 82 is shown in FIG. The photodetector 51 includes three light receiving units 503 to 505, and receives the beams 71 to 73 one by one. The electrical signals output from the light receiving units 503 to 505 of the photodetector 51 are input to the signal processing unit 82 and converted into voltage signals by the IV conversion units 853 to 855, respectively. Signals v5 to v7 output from the IV conversion units 853 to 855 are signals as represented by the following equations (8) to (10), respectively. In the equations (8) to (10), A3 is an amplitude and B2 is a direct current component.
[Equation 7]
v5 = A3 · cos (2πx / pt) + B2 (8)
v6 = A3 · sin (2πx / pt) + B2 (9)
v7 = −A3 · sin (2πx / pt) + B2 (10)
The signals v5 and v6 are input to the differential operation unit 874, and the signals v5 and v7 are input to the differential operation unit 875, and are differentially calculated. The signals v8 and v9 output from the differential operation units 874 and 875 are signals as shown by the equations (11) and (12), respectively. In equations (11) and (12), A4 is the amplitude.
[Equation 8]
v8 = A4 · sin (2πx / pt + π / 4) (11)
v9 = A4 · sin (2πx / pt−π / 4) (12)
The signals v8 and v9 are sine waves having phases different by π / 2. The signals v8 and v9 output from the differential calculation units 874 and 875 are input to the variable gain amplification units 834 and 835, respectively, adjusted to a desired amplitude, and then input to the calculation unit 893. The arithmetic unit 893 adds the input signals and outputs a tracking error signal v10 from the output terminal 803. The signal v10 has a waveform represented by Expression (13).
[Equation 9]
v10 = K3 · A4 · sin (2πx / pt + π / 4)
+ K4 · A4 · sin (2πx / pt−π / 4)
= K4 ・ A4 ・ sin (2πx / pt + φ1)
+ K3 · A4 · sin (2πx / pt + π / 2 + φ1) (13)
The tracking error signal v10 output from the terminal 803 is input to the driving unit 91. The drive unit 91 adjusts the relative position between the base 96 including the tracking error signal detection optical system and the magnetic head 99 and the magnetic recording medium 40, and the magnetic head 99 is tracked to a desired track.

式(13)において、K3,K4は、それぞれ可変利得増幅部874,875の利得、φ1は−π/4である。信号v10は、適当な利得K3,K4を選ぶことにより、任意の位相及び振幅が設定可能な信号となる。これは、式(13)と、実施例1に示した式(7)とを比較することにより、容易に理解される。   In Expression (13), K3 and K4 are the gains of the variable gain amplifying units 874 and 875, respectively, and φ1 is −π / 4. The signal v10 is a signal whose arbitrary phase and amplitude can be set by selecting appropriate gains K3 and K4. This can be easily understood by comparing the equation (13) with the equation (7) shown in the first embodiment.

なお、実施例2の磁気記録装置においては、サンプルアンドホールド動作を行わないので、磁気記録媒体40上に形成される案内溝Gn−1,Gn・・・は必ずしも離散的な構成である必要はなく、連続した案内溝を有する磁気記録媒体にも適用することが可能である。   In the magnetic recording apparatus according to the second embodiment, since the sample and hold operation is not performed, the guide grooves Gn−1, Gn... Formed on the magnetic recording medium 40 need not necessarily have a discrete configuration. In addition, the present invention can be applied to a magnetic recording medium having continuous guide grooves.

(実施例3)
本発明の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置に関する実施例3について、図12を参照しつつ説明する。図12は実施例3における信号処理部83の構成を示す。なお、その他の構成は上記実施例2と同様であるため、その説明を省略する。図12に示す信号処理部83と図11に示す信号処理部82との相違点は、信号v5〜v7が、可変利得増幅部836〜839を介して差動演算部874,875に入力されることである。
(Example 3)
A third embodiment relating to the magnetic recording apparatus and the tracking error signal detection apparatus of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 12 shows the configuration of the signal processing unit 83 in the third embodiment. Since other configurations are the same as those of the second embodiment, description thereof is omitted. The difference between the signal processing unit 83 shown in FIG. 12 and the signal processing unit 82 shown in FIG. 11 is that the signals v5 to v7 are input to the differential operation units 874 and 875 via the variable gain amplification units 836 to 839. That is.

実施例2と同様に、3つのビーム71〜73は図9に示す回折格子32によって生成され、ビーム71は回折格子32の0次回折光、ビーム72,73は回折格子32の1次回折光である。1次回折光72と73は、回折格子32を作製する際に、格子の幅,深さ,形状等にばらつきが生じたとしても、比較的容易に同じ強度とすることが可能である。一方、0次回折光71と1次回折光72,73とを同じ強度にするには、回折格子の格子の幅,深さ,形状等を精度よく管理する必要がある。   Similarly to the second embodiment, the three beams 71 to 73 are generated by the diffraction grating 32 shown in FIG. 9, the beam 71 is the zero-order diffracted light of the diffraction grating 32, and the beams 72 and 73 are the first-order diffracted lights of the diffraction grating 32. . The first-order diffracted beams 72 and 73 can have the same intensity relatively easily even if variations occur in the width, depth, shape, etc. of the grating when the diffraction grating 32 is manufactured. On the other hand, in order to make the 0th-order diffracted light 71 and the first-order diffracted lights 72 and 73 have the same intensity, it is necessary to accurately manage the width, depth, shape, and the like of the diffraction grating.

上記実施例2において、0次回折光71と1次回折光72,73の強度が異なる場合、差動演算部874,875から出力される信号に直流成分が残留し、トラッキング誤差信号v10にも直流成分が残留する。一般に、トラッキング誤差信号v10に若干の直流成分が残留しても、トラッキングサーボの動作に支障は生じない。しかしながら、回折格子32の幅,深さ,形状等の不良により、残留する直流成分のレベルが大きくなると、トラッキングサーボの動作が不安定となるおそれがある。   In the second embodiment, when the zero-order diffracted light 71 and the first-order diffracted lights 72 and 73 have different intensities, a direct current component remains in the signals output from the differential calculation units 874 and 875, and the tracking error signal v10 also includes a direct current component. Remains. In general, even if a slight DC component remains in the tracking error signal v10, the tracking servo operation is not hindered. However, if the level of the remaining DC component increases due to defects such as the width, depth, and shape of the diffraction grating 32, the tracking servo operation may become unstable.

実施例3においては、差動演算部874,875の入力側に可変利得増幅部836〜839を設けることにより、入力される信号v5〜v7の信号振幅を所望のレベルに調整することができる。したがって、回折格子32で生成される0次回折光71と1次回折光72,73の強度が異なったとしても、差動演算部874,875から出力される信号に含まれる直流成分を十分に小さくすることができる。なお、トラッキング誤差信号は端子804から出力される。   In the third embodiment, by providing the variable gain amplifiers 836 to 839 on the input side of the differential operation units 874 and 875, the signal amplitudes of the input signals v5 to v7 can be adjusted to a desired level. Therefore, even if the intensities of the zero-order diffracted light 71 and the first-order diffracted lights 72 and 73 generated by the diffraction grating 32 are different, the direct current component included in the signals output from the differential calculation units 874 and 875 is sufficiently reduced. be able to. The tracking error signal is output from the terminal 804.

実施例3においては、複数の回折光を生成する回折格子32を作製する際の、格子の幅,深さ,形状等にばらつきが生じたとしても安定なトラッキングサーボ動作を実現することが可能となる。また、光源10から出射されるビーム70の強度分布が不均一の場合も、回折光71〜73の強度が異なるようになるが、この場合も全く問題なく許容可能である。実施例3の構成によれば、回折格子の格子の作製精度及び光源の取り付け精度に対する要求を大幅に緩和し、回折格子及び組立コストを低減することができる。   In the third embodiment, it is possible to realize a stable tracking servo operation even when variations occur in the width, depth, shape, etc. of the grating when producing the diffraction grating 32 that generates a plurality of diffracted lights. Become. Further, even when the intensity distribution of the beam 70 emitted from the light source 10 is not uniform, the intensity of the diffracted light 71 to 73 is different, but this case is acceptable without any problem. According to the configuration of the third embodiment, it is possible to greatly relax the requirements for the diffraction grating manufacturing accuracy and the light source mounting accuracy, and to reduce the diffraction grating and assembly cost.

(実施例4)
本発明の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置に関する実施例4について、図13及び14を参照しつつ説明する。なお、実施例4の構成は実施例2で示す構成とほぼ同様であり、光検出器及び信号処理部の構成が異なる。そのため、共通する部分の説明を省略する。
Example 4
A fourth embodiment relating to the magnetic recording apparatus and the tracking error signal detection apparatus of the present invention will be described with reference to FIGS. The configuration of the fourth embodiment is almost the same as the configuration shown in the second embodiment, and the configurations of the photodetector and the signal processing unit are different. Therefore, description of common parts is omitted.

図13は実施例4における磁気記録媒体40上に集光されたビームの様子を示す。ビーム71は、回折格子32の0次回折光、ビーム72,73は回折格子32の1次回折光、ビーム74,75は回折格子32の2次回折光である。磁気記録媒体40上において、ビーム71と72及びビーム71と73はそれぞれpt/4、ビーム71と74及びビーム71と75はそれぞれpt/2、ビーム72と73はpt/2、ビーム74と75はptだけ異なるトラック位置を照射するように配置されている。   FIG. 13 shows the state of the beam focused on the magnetic recording medium 40 in the fourth embodiment. The beam 71 is the zero-order diffracted light of the diffraction grating 32, the beams 72 and 73 are the first-order diffracted light of the diffraction grating 32, and the beams 74 and 75 are the second-order diffracted light of the diffraction grating 32. On the magnetic recording medium 40, the beams 71 and 72 and the beams 71 and 73 are pt / 4, the beams 71 and 74 and the beams 71 and 75 are pt / 2, the beams 72 and 73 are pt / 2, and the beams 74 and 75, respectively. Are arranged to irradiate different track positions by pt.

図14は光検出器52と信号処理部84の構成を示す。光検出器52は、5つの受光部506〜510を有し、それぞれビーム71〜75を1つずつ受光する。受光部506〜510から出力される5つの電気信号は、それぞれ信号処理部84に入力され、I−V変換部853〜856により電圧信号に変換される。受光部509と510から出力される信号は、I−V変換部856の入力側で加算されている。I−V変換部853〜856から出力される信号v11〜v14はそれぞれ式(14)〜(17)で示されるような信号である。なお、式(14)〜(17)において、A5〜A7は振幅、B3〜B5は直流成分である。
[数10]
v11=−A5・sin(2πx/pt)+B3 ・・・(14)
v12=−A6・cos(2πx/pt)+B4 ・・・(15)
v13=A7・sin(2πx/pt)+B5 ・・・(16)
v14=A6・cos(2πx/pt)+B4 ・・・(17)
信号v11〜v14は、それぞれ可変利得増幅部836〜839に入力され、所望の振幅に調整された後、差動演算部874,875に入力され、差動演算される。なお、差動演算部874,875の入力側に可変利得増幅部836〜839を設けているのは、実施例3において可変利得増幅部836〜839を設けているのと同様の理由である。
FIG. 14 shows the configuration of the photodetector 52 and the signal processing unit 84. The photodetector 52 has five light receiving portions 506 to 510 and receives the beams 71 to 75 one by one. The five electric signals output from the light receiving units 506 to 510 are respectively input to the signal processing unit 84 and converted into voltage signals by the IV conversion units 853 to 856. Signals output from the light receiving units 509 and 510 are added on the input side of the IV conversion unit 856. The signals v11 to v14 output from the IV conversion units 853 to 856 are signals as shown by the equations (14) to (17), respectively. In the equations (14) to (17), A5 to A7 are amplitudes, and B3 to B5 are direct current components.
[Equation 10]
v11 = −A5 · sin (2πx / pt) + B3 (14)
v12 = −A6 · cos (2πx / pt) + B4 (15)
v13 = A7 · sin (2πx / pt) + B5 (16)
v14 = A6 · cos (2πx / pt) + B4 (17)
The signals v11 to v14 are respectively input to the variable gain amplifying units 836 to 839, adjusted to a desired amplitude, and then input to the differential operation units 874 and 875, where they are differentially calculated. The reason why the variable gain amplifying units 836 to 839 are provided on the input side of the differential arithmetic units 874 and 875 is the same reason as that in which the variable gain amplifying units 836 to 839 are provided in the third embodiment.

差動演算部874,875から出力される信号v15,v16は、それぞれ式(18)及び(19)で示されるような信号である。なお、式(18)及び(19)において、A8,A9は振幅である。
[数11]
v15=A8・sin(2πx/pt) ・・・(18)
v16=A9・cos(2πx/pt)
=A9・sin(2πx/pt+π/2) ・・・(19)
信号v15,v16は、位相がπ/2異なる正弦波となっている。差動演算部874,875から出力される信号v15,v16は、それぞれ可変利得増幅部834,835に入力され、所望の振幅に調整された後、演算部893に入力される。演算部893は、入力された信号の加算を行い、端子805からトラッキング誤差信号v17を出力する。信号v17は、可変利得増幅部834,835の利得を調整することにより、任意の位相及び振幅が設定可能な信号となることは、実施例1〜実施例3と同様である。
The signals v15 and v16 output from the differential operation units 874 and 875 are signals as shown by the equations (18) and (19), respectively. In equations (18) and (19), A8 and A9 are amplitudes.
[Equation 11]
v15 = A8 · sin (2πx / pt) (18)
v16 = A9.cos (2πx / pt)
= A9 · sin (2πx / pt + π / 2) (19)
The signals v15 and v16 are sine waves having phases different by π / 2. The signals v15 and v16 output from the differential calculation units 874 and 875 are input to the variable gain amplification units 834 and 835, respectively, adjusted to a desired amplitude, and then input to the calculation unit 893. The arithmetic unit 893 adds the input signals and outputs a tracking error signal v17 from the terminal 805. The signal v17 is the same as in the first to third embodiments in that an arbitrary phase and amplitude can be set by adjusting the gains of the variable gain amplifying units 834 and 835.

磁気記録媒体40は、フレキシブルディスクに代表されるように、螺旋状もしくは同心円状の連続したトラックを有し、駆動モータで回転させる動作が一般的である。実施例4では、差動演算部874,875に入力される信号の位相が式(14)〜(17)に示すように、それぞれπ/2異なっている。そのため、磁気記録媒体40が回転する際、駆動モータの回転中心と磁気記録媒体40の回転中心がずれた状態で回転し、トラックが偏心する場合でも、トラッキング誤差信号の劣化は実施例2〜実施例3に示すトラッキング誤差信号検出装置よりも少ない。すなわち、実施例4によれば、磁気記録媒体の回転に偏心が大きい場合でも、安定なトラッキングサーボの動作を行うことができる。 The magnetic recording medium 40 has a spiral or concentric continuous track, as represented by a flexible disk, and is generally operated by a drive motor. In the fourth embodiment, the phases of the signals input to the differential operation units 874 and 875 are different from each other by π / 2 as shown in the equations (14) to (17). Therefore, when the magnetic recording medium 40 rotates, even if the rotation center of the drive motor and the rotation center of the magnetic recording medium 40 rotate and the track is decentered, the tracking error signal is deteriorated in the second to second embodiments. Less than the tracking error signal detector shown in Example 3. That is, according to the fourth embodiment, a stable tracking servo operation can be performed even when the eccentricity is large in the rotation of the magnetic recording medium.

なお、信号処理部は、オペレーショナルアンプ等のアナログデバイスを用いてハードウェアで実現することも可能であるが、アナログ信号をデジタル信号に変換した後、ソフトウェア上で処理することも可能であり、特に信号処理部の構成に制約を受けることはない。   The signal processing unit can be realized by hardware using an analog device such as an operational amplifier, but after converting the analog signal to a digital signal, it can also be processed on software. There is no restriction on the configuration of the signal processing unit.

また、2つのπ/2異なる位相関係を有する信号を加算する演算部432〜434は、信号の極性しだいでは差動演算部としても、全く問題ない。また、ある程度のダイナミックレンジの低下を許容できる場合には、演算部を信号切り替え器とし、入力された信号を選択して出力する構成としてもよい。この場合、切り替えるタイミングにヒステリシス特性を持たせることにより、発振等の無い安定した動作を実現することができる。   In addition, the arithmetic units 432 to 434 that add two signals having different phase relations by π / 2 can be used as a differential arithmetic unit depending on the polarity of the signal. Further, when a certain degree of decrease in the dynamic range can be tolerated, the calculation unit may be a signal switcher, and an input signal may be selected and output. In this case, a stable operation without oscillation or the like can be realized by providing hysteresis characteristics at the switching timing.

(実施例5)
本発明の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置に関する実施例5について、図15〜18を参照しつつ説明する。図15は、実施例5の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置の構成を示す図である。
(Example 5)
A fifth embodiment relating to the magnetic recording apparatus and the tracking error signal detection apparatus of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 15 is a diagram illustrating the configuration of the magnetic recording apparatus and the tracking error signal detection apparatus according to the fifth embodiment.

図15において、半導体レーザ光源10から出射した直線偏光の発散ビーム70は、回折素子60の領域60Aに入射し、0次及び±1次回折光である3つのビームとなる。領域60Bにおいて、領域60Aにおいて生成された3つのビームから、さらに複数のビームが生成される。ここで、領域60Bの格子ピッチは、光源10から対物レンズ23に至る光路において、領域60Bにおいて生成される回折光の内、0次回折光だけが対物レンズ23の開口に入射するように設計している。対物レンズ23は有限系の対物レンズであり、ビーム70を反射体45上に集光する。   In FIG. 15, the linearly polarized divergent beam 70 emitted from the semiconductor laser light source 10 enters the region 60 </ b> A of the diffractive element 60, and becomes three beams that are zero-order and ± first-order diffracted light. In the region 60B, a plurality of beams are further generated from the three beams generated in the region 60A. Here, the grating pitch of the region 60B is designed so that only the 0th-order diffracted light is incident on the aperture of the objective lens 23 among the diffracted light generated in the region 60B in the optical path from the light source 10 to the objective lens 23. Yes. The objective lens 23 is a finite objective lens and condenses the beam 70 on the reflector 45.

反射体45には、周期ptが10μmの格子パターンが形成されている。この周期ptは、磁気記録媒体41上のトラックの周期と同じ周期である。反射体45で反射され、回折されたビーム70は、再び対物レンズ23を透過した後、回折素子60の領域60Bに入射する。領域60Bに入射したビームからは複数の回折光が生成され、そのうちの±1次回折光76,77が光検出器53で受光され、電気信号に変換される。   On the reflector 45, a lattice pattern with a period pt of 10 μm is formed. This period pt is the same period as the period of the track on the magnetic recording medium 41. The beam 70 reflected and diffracted by the reflector 45 passes through the objective lens 23 again and then enters the region 60B of the diffraction element 60. A plurality of diffracted lights are generated from the beam incident on the region 60B, and ± 1st order diffracted lights 76 and 77 among them are received by the photodetector 53 and converted into electric signals.

図16において、(a)は、回折素子60の領域60Bのパターンを、(b)は、回折素子60の領域60Aのパターンを、(c)は光検出器53上のビーム76〜77と光検出器53に形成された受光部511〜516の様子を示している。回折素子60の領域60Aには周期10μmの等間隔の格子が、回折素子 60の領域60Bには周期3μmの等間隔の格子が、それぞれ形成されている。 領域60Aに形成した格子と領域60Bに形成した格子とは、それぞれ格子方向が直交している。   16A shows the pattern of the region 60B of the diffractive element 60, FIG. 16B shows the pattern of the region 60A of the diffractive element 60, and FIG. 16C shows the beams 76 to 77 and the light on the photodetector 53. The states of the light receiving portions 511 to 516 formed in the detector 53 are shown. In the region 60A of the diffractive element 60, an equally spaced grating with a period of 10 μm is formed, and in the region 60B of the diffractive element 60, an equally spaced grating with a period of 3 μm is formed. The lattice directions formed in the region 60A and the lattice formed in the region 60B are orthogonal to each other.

光源10は、シリコン基板をエッチングした光検出器53上に配置され、光源10から出射されたビーム70は、シリコン基板上に形成されたミラー53Aで反射され、ビーム70の光路は光検出器53の受光部511〜516が形成された面に対して垂直になる。なお、ビーム76A,77Aは、光源10から出射されたビーム70が回折素子60の領域60Aに入射することにより生成された0次回折光、ビーム76B,76C,77B,77Cはビーム70が回折素子60の領域60Aに入射することにより生成された±1次回折光である。ビーム76A〜76C,77A〜77Cは受光部511〜516でそれぞれ受光される。   The light source 10 is disposed on a photodetector 53 obtained by etching a silicon substrate, and the beam 70 emitted from the light source 10 is reflected by a mirror 53A formed on the silicon substrate, and the optical path of the beam 70 is the photodetector 53. Are perpendicular to the surface on which the light receiving portions 511 to 516 are formed. The beams 76A and 77A are zero-order diffracted light generated when the beam 70 emitted from the light source 10 enters the region 60A of the diffractive element 60, and the beams 76B, 76C, 77B and 77C are diffracted by the beam 70. ± 1st order diffracted light generated by being incident on the region 60A. The beams 76A to 76C and 77A to 77C are received by the light receiving portions 511 to 516, respectively.

光検出器53から出力される電気信号を、例えば、実施例2の図11に示す信号処理部82に入力することにより、トラッキング誤差信号を生成することができる。具体的には、受光部511と514から出力される信号をI−V変換部854へ、受光部512と515から出力される信号をI−V変換部853へ、受光部513と516から出力される信号をI−V変換部855へそれぞれ入力すればよい。   A tracking error signal can be generated by inputting the electrical signal output from the photodetector 53 to, for example, the signal processing unit 82 shown in FIG. 11 of the second embodiment. Specifically, signals output from the light receiving units 511 and 514 are output to the IV conversion unit 854, signals output from the light receiving units 512 and 515 to the IV conversion unit 853, and output from the light receiving units 513 and 516. The signals to be processed may be input to the IV conversion unit 855, respectively.

図11における信号処理部82の端子803から出力されるトラッキング誤差信号v10は、駆動部92に入力される。駆動部92は、トラッキング誤差信号検出光学系及び磁気ヘッド99を含む基台97と磁気記録媒体41との相対的な位置を調整し、磁気ヘッド99を所望のトラックにトラッキングする。   A tracking error signal v <b> 10 output from the terminal 803 of the signal processing unit 82 in FIG. 11 is input to the driving unit 92. The drive unit 92 adjusts the relative position between the base 97 including the tracking error signal detection optical system and the magnetic head 99 and the magnetic recording medium 41, and tracks the magnetic head 99 to a desired track.

図17(a)〜(c)は、対物レンズ23の開口の大きさと焦点距離の関係を示している。X方向及びY方向における対物レンズ23の開口の大きさをそれぞれWx,Wy、反射体45側の対物レンズ23からビームの集光点までの距離をそれぞれfx,fyとする。ここでは、Wx=Wy=2mm、fx=12mm、fy=∞とし、対物レンズ23の開口の大きさはX方向とY方向とで等しくし、X方向の焦点距離とY方向の焦点距離を異ならせている。このレンズは、一種のシリンドリカルレンズである。X,Y,Z方向はそれぞれ図15におけるX,Y,Z方向と対応しており、X方向がトラックと直交する方向、Y方向がトラックと平行な方向、Z方向はこれらに直交する方向である。   FIGS. 17A to 17C show the relationship between the size of the aperture of the objective lens 23 and the focal length. The sizes of the apertures of the objective lens 23 in the X direction and the Y direction are Wx and Wy, respectively, and the distances from the objective lens 23 on the reflector 45 side to the beam condensing point are fx and fy, respectively. Here, Wx = Wy = 2 mm, fx = 12 mm, fy = ∞, the size of the aperture of the objective lens 23 is the same in the X direction and the Y direction, and the focal length in the X direction is different from the focal length in the Y direction. It is This lens is a kind of cylindrical lens. The X, Y, and Z directions correspond to the X, Y, and Z directions in FIG. 15, respectively. The X direction is a direction orthogonal to the track, the Y direction is a direction parallel to the track, and the Z direction is a direction orthogonal to these. is there.

図18は、反射体45と対物レンズ23で集光されるビーム70の関係を示している。ビーム70は、3つのビーム76〜78からなり、これらは、光源10から出射したビーム70が回折素子60の領域60Aに入射することにより生成された0次及び1次回折光である。反射体45に集光されたビーム70は、X方向の大きさが約5μm、Y方向の大きさが約2mmの帯状である。実施例5のトラッキング誤差信号検出装置では、反射体45に埃49が付着したり、傷が付くことにより反射体45に部分的な反射率の変化が生じても、ビーム76〜78のY方向の大きさは2mmと非常に大きいため、部分的な反射率の変化は平均化され、3つのビーム76〜78の強度のばらつきは小さくなる。従って、トラッキング誤差信号に発生するオフセットは小さくなる。   FIG. 18 shows the relationship between the reflector 45 and the beam 70 condensed by the objective lens 23. The beam 70 includes three beams 76 to 78, which are zero-order and first-order diffracted light generated when the beam 70 emitted from the light source 10 enters the region 60 </ b> A of the diffractive element 60. The beam 70 condensed on the reflector 45 has a strip shape with a size in the X direction of about 5 μm and a size in the Y direction of about 2 mm. In the tracking error signal detection device according to the fifth embodiment, even if dust 49 adheres to the reflector 45 or is damaged, a partial change in reflectance occurs in the reflector 45, so that the beams 76 to 78 are in the Y direction. Is so large as 2 mm, the partial reflectivity change is averaged and the intensity variation of the three beams 76-78 is reduced. Accordingly, the offset generated in the tracking error signal is reduced.

また、ビーム76〜78のそれぞれのビームの中心間距離を約100μmに設定しているため、各々のビームの大半は重なり合う。このため、反射体45に部分的な反射率の変化が生じても、その変化を3つのビーム76〜78がそれぞれ受けて、反射体45で反射される3つのビーム76〜78の強度のばらつきが小さくなる。3つのビーム76〜78の強度がばらつく場合には、トラッキング誤差信号にオフセットが発生してオフトラックの原因となる。一方、3つのビーム76〜78の強度が変動してもばらつきがない場合には、サーボゲインは低下するがオフセットは発生しないので、所望のトラック上に磁気ヘッドを制御することができる。   Further, since the distance between the centers of the beams 76 to 78 is set to about 100 μm, most of the beams overlap each other. For this reason, even if a partial change in reflectance occurs in the reflector 45, the three beams 76 to 78 receive the change, and the intensity variations of the three beams 76 to 78 reflected by the reflector 45. Becomes smaller. When the intensity of the three beams 76 to 78 varies, an offset occurs in the tracking error signal, causing off-track. On the other hand, if there is no variation even if the intensities of the three beams 76 to 78 are varied, the servo gain is reduced but no offset is generated, so that the magnetic head can be controlled on a desired track.

(実施例6)
本発明の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置に関する実施例6について、図19を参照しつつ説明する。図19は実施例5における対物レンズ24の構成を示す。なお、実施例6は、実施例5における対物レンズ23の代わりに対物レンズ24を用いたものである。その他の構成はほぼ同様であるため、その説明を省略する。
(Example 6)
Example 6 relating to the magnetic recording apparatus and the tracking error signal detection apparatus of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 19 shows the configuration of the objective lens 24 in the fifth embodiment. In the sixth embodiment, the objective lens 24 is used instead of the objective lens 23 in the fifth embodiment. Since other configurations are substantially the same, the description thereof is omitted.

図19に示すように、対物レンズ24のY方向の開口WyはX方向の開口Wxよりも大きい。ここでは、Wx=2mm、Wy=5mmとしている。反射体45上のトラックのピッチptと対物レンズの開口との関係をある範囲に保たなければならないのはX方向であり、Y方向については、案内溝からの信号が検出できる範囲で任意に設定可能である。対物レンズ24の焦点距離は、対物レンズ23と同様で、fx=12mm、fy=∞である。対物レンズ24を用いた場合の反射体45上でのビーム70の大きさは、X方向が5μm、Y方向が5mmとなり、対物レンズ23を用いる場合よりも、Y方向の寸法をさらに大きくすることができる。   As shown in FIG. 19, the opening Wy in the Y direction of the objective lens 24 is larger than the opening Wx in the X direction. Here, Wx = 2 mm and Wy = 5 mm. The relationship between the track pitch pt on the reflector 45 and the aperture of the objective lens must be kept within a certain range in the X direction, and the Y direction can be arbitrarily set within a range in which a signal from the guide groove can be detected. It can be set. The focal length of the objective lens 24 is the same as that of the objective lens 23, and fx = 12 mm and fy = ∞. The size of the beam 70 on the reflector 45 when the objective lens 24 is used is 5 μm in the X direction and 5 mm in the Y direction, and the dimension in the Y direction is made larger than when the objective lens 23 is used. Can do.

また、反射体45とビーム70のなす角度のずれに対して、対物レンズ24の開口が大きい程、反射体45により反射されたビーム70が対物レンズ24の開口の外側にいく割合は小さくなり、開口の大きさが3倍になれば角度ずれも3倍許容できるようになる。実施例6では、対物レンズ24のY方向の開口を大きくすることにより、反射体45とビーム70の角度ずれの影響は、Y方向については調整をしなくても許容できる。従って、実施例6のトラッキング誤差信号検出装置を用いる磁気記録装置の組み立てにおいて、角度ずれの調整は、X方向についてのみ行えばよく、短時間で調整作業が終了する。従って、実施例6による磁気記録装置は生産が容易であり、安価なものとなる。   Further, the larger the opening of the objective lens 24 with respect to the angle shift between the reflector 45 and the beam 70, the smaller the ratio of the beam 70 reflected by the reflector 45 going to the outside of the opening of the objective lens 24. If the size of the opening is tripled, the angle deviation can be allowed to be tripled. In the sixth embodiment, by increasing the opening in the Y direction of the objective lens 24, the influence of the angular deviation between the reflector 45 and the beam 70 can be allowed without adjusting the Y direction. Therefore, in the assembly of the magnetic recording apparatus using the tracking error signal detection apparatus of the sixth embodiment, the angle deviation may be adjusted only in the X direction, and the adjustment work is completed in a short time. Therefore, the magnetic recording device according to the sixth embodiment is easy to produce and inexpensive.

また、実施例6の磁気記録装置では、磁気記録媒体41上にトラッキング誤差信号を検出することを可能にする案内溝が形成されていない場合でも、トラッキング誤差信号を得ることができる。したがって、例えば現在広く普及している2HDと呼ばれているトラックピッチが188μmの磁気記録媒体に対してもトラッキング動作を行うことが可能となる。   Further, in the magnetic recording apparatus of the sixth embodiment, the tracking error signal can be obtained even when the guide groove that makes it possible to detect the tracking error signal is not formed on the magnetic recording medium 41. Therefore, for example, a tracking operation can be performed even on a magnetic recording medium having a track pitch of 188 μm, which is called 2HD, which is widely used now.

(実施例7)
本発明の磁気記録媒体及びそれを用いた磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置に関する実施例7について、図20を参照しつつ説明する。図20は、実施例7の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置の構成を示す。なお、実施例7の磁気記録装置及び及びそのトラッキング誤差信号検出装置の光学系の構成及びトラッキング誤差信号の検出方法は、実施例5の場合と同様である。実施例7では、磁気記録媒体42上に光学的にトラッキング誤差信号を検出することが可能な案内溝が形成されている点が実施例5の場合と異なる。
(Example 7)
Embodiment 7 relating to a magnetic recording medium of the present invention, a magnetic recording apparatus using the same, and a tracking error signal detecting apparatus thereof will be described with reference to FIG. FIG. 20 shows the configuration of the magnetic recording apparatus of Example 7 and the tracking error signal detection apparatus thereof. The configuration of the optical system and the tracking error signal detection method of the magnetic recording device and the tracking error signal detection device of the seventh embodiment are the same as those of the fifth embodiment. The seventh embodiment is different from the fifth embodiment in that a guide groove capable of optically detecting a tracking error signal is formed on the magnetic recording medium 42.

この磁気記録媒体42は、図15に示す磁気記録媒体41と反射体45が複合したものと等価である。トラッキング誤差信号を検出するための光学系及び磁気ヘッド99は基台98に取り付けられている。トラッキング動作は、駆動部93にトラッキング誤差信号が入力されることにより行われる。   The magnetic recording medium 42 is equivalent to a composite of the magnetic recording medium 41 and the reflector 45 shown in FIG. An optical system and a magnetic head 99 for detecting a tracking error signal are attached to a base 98. The tracking operation is performed when a tracking error signal is input to the drive unit 93.

(実施例8)
本発明の磁気記録装置及びその調整方法に関する実施例8について、図21及び22を参照しつつ説明する。図21は光源10と対物レンズ23と磁気記録媒体42の関係を示す。トラッキング誤差信号検出するための光学系の構成は、実施例7における図20で示した構成と同様である。
(Example 8)
An eighth embodiment relating to the magnetic recording apparatus and the adjustment method thereof according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 21 shows the relationship among the light source 10, the objective lens 23, and the magnetic recording medium 42. The configuration of the optical system for detecting the tracking error signal is the same as that shown in FIG.

図21において、対物レンズ23で集光されるビーム70が磁気記録媒体42に対して直交する場合、磁気記録媒体42で反射されたビームは、aに示すように、対物レンズ23の開口内に戻るので、光検出器53に導かれるビームの光量の低下は起こらない。しかしながら、例えば、磁気記録媒体42を固定する際、角度θを持った場合、磁気記録媒体42で反射されたビームは、bに示すように対物レンズ23の開口外にはみ出してしまう。一般に、磁気記録装置を組み立てる際、磁気記録媒体42を固定する角度ずれθを調整する機構は複雑で高価である。   In FIG. 21, when the beam 70 condensed by the objective lens 23 is orthogonal to the magnetic recording medium 42, the beam reflected by the magnetic recording medium 42 enters the opening of the objective lens 23 as shown by a. Therefore, the light quantity of the beam guided to the photodetector 53 does not decrease. However, for example, when the magnetic recording medium 42 is fixed and the angle θ is set, the beam reflected by the magnetic recording medium 42 protrudes out of the opening of the objective lens 23 as shown by b. Generally, when assembling a magnetic recording apparatus, a mechanism for adjusting the angular deviation θ for fixing the magnetic recording medium 42 is complicated and expensive.

実施例8の調整方法においては、磁気記録媒体42の角度ずれは調整せず、光源10の位置を対物レンズ23の光軸と直交する方向であるX方向及びY方向に調整することにより補正を行う。光源10から対物レンズ23までの距離をZ1 とし、光源10の位置の移動量ΔX1=Z1・tanθの関係となるとき、磁気記録媒体42を固定する際の角度ずれθに起因する対物レンズ23におけるビームのけられは、完全に補正される。例えば、対物レンズ23の磁気記録媒体42側の開口数NA=0.017、角度ずれθ=0.97度のとき、磁気記録媒体42で反射したビームは全く対物レンズ23の開口に入射しなくなる。一方、例えばZ1=20mmのとき、ΔX1=340μmとすれば、磁気記録媒体42により反射されたビームは対物レンズ23の開口内に完全に入射する。光源10の位置調整は、例えば、光記録媒体上の情報を再生する光ピックアップヘッド装置の光検出器を固定する場合と同様にして行うことができるので、詳しい説明は省略する。従って、光源10をX方向及びY方向に調整して固定する方法を安価にかつ容易に実現することができる。   In the adjustment method of the eighth embodiment, correction is performed by adjusting the position of the light source 10 in the X direction and the Y direction that are orthogonal to the optical axis of the objective lens 23 without adjusting the angular deviation of the magnetic recording medium 42. Do. When the distance from the light source 10 to the objective lens 23 is Z1, and the amount of movement of the position of the light source 10 is ΔX1 = Z1 · tan θ, the objective lens 23 has an angle deviation θ due to the magnetic recording medium 42 being fixed. Beam deflection is completely corrected. For example, when the numerical aperture NA of the objective lens 23 on the magnetic recording medium 42 side is 0.017 and the angular deviation θ = 0.97 degrees, the beam reflected by the magnetic recording medium 42 does not enter the opening of the objective lens 23 at all. . On the other hand, for example, when Z1 = 20 mm and ΔX1 = 340 μm, the beam reflected by the magnetic recording medium 42 is completely incident on the aperture of the objective lens 23. The position adjustment of the light source 10 can be performed, for example, in the same manner as the case where the photodetector of the optical pickup head device that reproduces information on the optical recording medium is fixed, and thus detailed description thereof is omitted. Therefore, the method of adjusting and fixing the light source 10 in the X direction and the Y direction can be realized at low cost and easily.

また、図20に示すように、磁気記録媒体42により反射されたビーム70を光検出器53に導く光分岐手段として回折素子60を用いる場合には、光源10と回折素子60を一体構成することにより、さらにトラッキング誤差信号の検出安定して行うことができる。   As shown in FIG. 20, when the diffraction element 60 is used as a light branching means for guiding the beam 70 reflected by the magnetic recording medium 42 to the photodetector 53, the light source 10 and the diffraction element 60 are integrally configured. Thus, the tracking error signal can be detected stably.

光源10から回折素子60の領域60Bまでの距離をZLH、対物レンズ23から磁気記録媒体42までの距離をZ2としたとき、領域60B上に投影される対 物レンズ23の半径RLH=Z2・ZLH・NA/Z1で与えられる。Z1=20mm ,Z2=15mm,ZLH=3mm,NA=0.017のとき、RLH=38μmで ある。角度ずれθが、0.97度のときには、光源10の位置ΔX1を340μ m移動させるが、このとき、領域60Bを通るビームの位置と正規の回折素子60の中心との距離ΔX2=ΔX1・(Z1−ZLH)/Z1で与えられ、289μmである。RLHとΔX2を比較すれば明らかなように、領域60Bは、光源10のX 方向及びY方向の位置調整を行うことにより、調整を行わない場合よりも非常に大きな面積を必要とする。   When the distance from the light source 10 to the region 60B of the diffraction element 60 is ZLH and the distance from the objective lens 23 to the magnetic recording medium 42 is Z2, the radius RLH = Z2 · ZLH of the object lens 23 projected onto the region 60B.・ It is given by NA / Z1. When Z1 = 20 mm, Z2 = 15 mm, ZLH = 3 mm, NA = 0.17, RLH = 38 μm. When the angle deviation θ is 0.97 degrees, the position ΔX1 of the light source 10 is moved by 340 μm. At this time, the distance ΔX2 = ΔX1 · ((between the position of the beam passing through the region 60B and the center of the regular diffraction element 60). Z1-ZLH) / Z1 and is 289 [mu] m. As apparent from comparing RLH and ΔX2, the region 60B requires a much larger area than the case where no adjustment is performed by adjusting the position of the light source 10 in the X direction and the Y direction.

ところが、領域60Bの面積を大きくした場合、光源10から対物レンズ23に向かう往路において領域60Bで生成された±1次回折光が対物レンズ23の開口内に入射し、トラッキング誤差信号に対してノイズとなる。領域60Bの格子パターンのピッチを小さくすれば、対物レンズ23の開口内に領域60Bからの±1次回折光が入射しないようにすることも可能である。しかし、その場合、光検出器53の面積を大きくする必要があり、磁気記録装置が高価になる。   However, when the area of the region 60B is increased, the ± first-order diffracted light generated in the region 60B in the forward path from the light source 10 to the objective lens 23 enters the aperture of the objective lens 23, and causes noise and noise to the tracking error signal. Become. If the pitch of the grating pattern in the region 60B is reduced, it is possible to prevent ± first-order diffracted light from the region 60B from entering the aperture of the objective lens 23. However, in that case, it is necessary to increase the area of the photodetector 53, and the magnetic recording apparatus becomes expensive.

光源10と回折素子60を一体に構成し、光源10の移動と共に回折素子60の位置も移動するようにした場合、領域60Bを通るビームの位置と正規の回折素子の中心との距離δ=ΔX1・ZLH/Z1で与えられ、上記と同じ条件では51μmとなる。δとΔX2を比較すればわかるように、領域60Bの面積は、光源 10と回折素子60を一体構成することにより、一体構成しない場合よりも小さくでき、領域60Bで生成される±1次回折光が対物レンズ23に入射しにくくなり、磁気記録媒体42の角度ずれθをより大きい角度まで許容できるようになる。   When the light source 10 and the diffractive element 60 are integrally formed and the position of the diffractive element 60 is moved with the movement of the light source 10, the distance δ = ΔX1 between the position of the beam passing through the region 60B and the center of the regular diffractive element.・ It is given by ZLH / Z1, and is 51 μm under the same conditions as above. As can be seen by comparing δ and ΔX2, the area of the region 60B can be made smaller by integrating the light source 10 and the diffractive element 60 than when not integrally configured, and the ± first-order diffracted light generated in the region 60B can be reduced. It becomes difficult to enter the objective lens 23, and the angle deviation θ of the magnetic recording medium 42 can be allowed to a larger angle.

図22に光検出器53上に配置した光源10と回折素子60とを一体にした構成を示す。光検出器53は、パッケージ33の底部に置かれ、回折素子60はパッケージ33に置かれた光検出器53を保護するケースも兼ねた形状でパッケージ33上に置かれている。パッケージ33と回折素子60とは、動かないように接着剤で固定さている。光源10のX方向及びY方向の位置調整は、パッケージ33をX方向及びY方向に動かすことにより行う。このとき、回折素子60は、パッケージ33に接着固定されているので、パッケージ33の移動と共に回折素子60も移動する。   FIG. 22 shows a configuration in which the light source 10 disposed on the photodetector 53 and the diffraction element 60 are integrated. The photodetector 53 is placed on the bottom of the package 33, and the diffraction element 60 is placed on the package 33 in a shape that also serves as a case for protecting the photodetector 53 placed on the package 33. The package 33 and the diffraction element 60 are fixed with an adhesive so as not to move. The position adjustment of the light source 10 in the X direction and the Y direction is performed by moving the package 33 in the X direction and the Y direction. At this time, since the diffraction element 60 is bonded and fixed to the package 33, the diffraction element 60 also moves with the movement of the package 33.

(実施例9)
本発明の磁気記録装置及びその調整方法に関する実施例9について、図23(a)及び(b)を参照しつつ説明する。図23(a)及び(b)はそれぞれ実施例9における光源10と磁気記録媒体42の関係を示す。実施例9の磁気記録装置の基本的な構成は、実施例7の図20に示した構成と同様である。実施例7に示した磁気記録装置と異なる点は、光学系を小さい容積にまとめるために、2枚の反射面34A,34Bを対物レンズ23の前後に設け、光路を折り曲げていることである。
Example 9
A ninth embodiment relating to the magnetic recording apparatus and its adjustment method of the present invention will be described with reference to FIGS. FIGS. 23A and 23B show the relationship between the light source 10 and the magnetic recording medium 42 in Example 9, respectively. The basic configuration of the magnetic recording apparatus according to the ninth embodiment is the same as that illustrated in FIG. The difference from the magnetic recording apparatus shown in Example 7 is that two reflecting surfaces 34A and 34B are provided before and after the objective lens 23 and the optical path is bent in order to collect the optical system in a small volume.

図23(a)に示すように、反射面34A,34Bが正規の角度に配置されているときには、磁気記録媒体42により反射されたビームは、cに示すように対物レンズ23の開口内に入射する。一方、例えば反射面34Aが角度ずれθM1を有する場合、磁気記録媒体42により反射されたビームは、dに示すように対物レンズ23の開口からはみ出す。   As shown in FIG. 23A, when the reflecting surfaces 34A and 34B are arranged at regular angles, the beam reflected by the magnetic recording medium 42 enters the aperture of the objective lens 23 as shown in c. To do. On the other hand, for example, when the reflecting surface 34A has an angular deviation θM1, the beam reflected by the magnetic recording medium 42 protrudes from the opening of the objective lens 23 as shown by d.

反射面34Aと34Bを別々の部品として基台98に取り付けた場合、それぞれの反射面34A,34Bの角度ずれが、磁気記録媒体42により反射されたビームを、対物レンズ23の開口外にはみ出させる原因となる。反射面34Aと34Bを別々の部品として基台98に取り付けた場合には、固定する際の接着材の厚みむら、基台98の加工精度等種々の要因により、それぞれの反射面34Aと34Bの角度ずれは、無視できない量として存在する。   When the reflecting surfaces 34A and 34B are attached to the base 98 as separate parts, the angular deviation of the reflecting surfaces 34A and 34B causes the beam reflected by the magnetic recording medium 42 to protrude beyond the opening of the objective lens 23. Cause. When the reflecting surfaces 34A and 34B are attached to the base 98 as separate parts, due to various factors such as uneven thickness of the adhesive when fixed and processing accuracy of the base 98, the reflecting surfaces 34A and 34B Angular misalignment exists as a non-negligible amount.

図23(b)は、反射面34Aと34Bを一体成形したミラー34が角度ずれθMを有する場合を示す。ミラー34は、例えば断面が三角形等の所定形状に樹 脂成形したブロックであり、表面に金属をメッキすることにより反射面34A,34Bを形成したものである。反射面34Aと34Bの相対的な角度精度は、ミラー34を成形する際に用いる金型の精度が反映される。そのため、金型の精度を高くすることにより、2つの反射面34A,34Bの相対的な角度ずれの少ないミラー34を大量に生産することができる。   FIG. 23B shows a case where the mirror 34 in which the reflecting surfaces 34A and 34B are integrally formed has an angular deviation θM. The mirror 34 is a block formed by resin molding into a predetermined shape such as a triangle in cross section, for example, and the reflecting surfaces 34A and 34B are formed by plating metal on the surface. The relative angular accuracy of the reflecting surfaces 34A and 34B reflects the accuracy of the mold used when the mirror 34 is formed. Therefore, by increasing the accuracy of the mold, it is possible to produce a large number of mirrors 34 with less relative angular deviation between the two reflecting surfaces 34A and 34B.

ミラー34を用いる場合、反射面34Aの角度ずれは、反射面34Bの角度ずれによって補正され、ミラー34を取り付ける際の角度ずれθMに依存せず、磁 気記録媒体42とビームがなす角度は一定である。従って、磁気記録媒体42により反射されたビームは、対物レンズ23の開口内に入射する。その結果、実施例9によれば、磁気記録装置を小型にすることができ、またその組み立てが容易になる。   When the mirror 34 is used, the angle deviation of the reflecting surface 34A is corrected by the angle deviation of the reflecting surface 34B, and does not depend on the angle deviation θM when the mirror 34 is attached, and the angle formed between the magnetic recording medium 42 and the beam is constant. It is. Accordingly, the beam reflected by the magnetic recording medium 42 enters the opening of the objective lens 23. As a result, according to the ninth embodiment, the magnetic recording apparatus can be reduced in size and can be easily assembled.

また、ミラー34上に対物レンズ23を実装した場合、ミラー34上に対物レンズ23を実装しない場合よりも、ミラー23の取り付け角度誤差の許容範囲は広くなり、組み立てがさらに容易になる。   Further, when the objective lens 23 is mounted on the mirror 34, the allowable range of the mounting angle error of the mirror 23 becomes wider and the assembly becomes easier than when the objective lens 23 is not mounted on the mirror 34.

(実施例10)
本発明の磁気記録媒体及びそれを用いた磁気記録装置に関する実施例10について、図24(a)及び(b)を参照しつつ説明する。図24(a)及び(b)は、それぞれ実施例10における磁気記録媒体43及び反射体46の構成示す。実施例10の磁気記録装置の光学系の基本的な構成は、実施例5の図15に示した構成と同様である。図15に示す磁気記録装置において、磁気記録媒体41及び反射体45の代わりに磁気記録媒体43及び反射体46を用いることにより実施例10の磁気記録装置を構成することができる。
(Example 10)
Example 10 relating to the magnetic recording medium of the present invention and the magnetic recording apparatus using the same will be described with reference to FIGS. 24 (a) and 24 (b). 24A and 24B show configurations of the magnetic recording medium 43 and the reflector 46 in Example 10, respectively. The basic configuration of the optical system of the magnetic recording apparatus of the tenth embodiment is the same as that shown in FIG. 15 of the fifth embodiment. In the magnetic recording apparatus shown in FIG. 15, the magnetic recording apparatus of Example 10 can be configured by using the magnetic recording medium 43 and the reflector 46 instead of the magnetic recording medium 41 and the reflector 45.

図24(a)及び(b)に示すように、実施例10においては、磁気記録媒体43上のトラックピッチptに対して反射体46の案内溝のピッチをpt/2としている。対物レンズ23の開口数NAは案内溝のピッチに反比例して大きくすることができる。トラックピッチptが50μmのとき、実施例5における対物レンズ23の開口数NAは0.017が最適値であるが、実施例10に示す反射体46を用いる場合は、案内溝のピッチをpt/2としているので、対物レンズの開口数NAは0.034が最適値となる。   As shown in FIGS. 24A and 24B, in Example 10, the pitch of the guide groove of the reflector 46 is set to pt / 2 with respect to the track pitch pt on the magnetic recording medium 43. The numerical aperture NA of the objective lens 23 can be increased in inverse proportion to the pitch of the guide groove. When the track pitch pt is 50 μm, the optimum numerical aperture NA of the objective lens 23 in Example 5 is 0.017. However, when the reflector 46 shown in Example 10 is used, the pitch of the guide groove is pt / Since the numerical aperture NA of the objective lens is 2, 0.034 is the optimum value.

磁気記録装置を組み立てる際、反射体46を固定する際の角度ずれが、反射体46により反射されたビームを対物レンズ23の開口外にはみ出させる要因となる。しかし、実施例10の磁気記録装置では、反射体46上の案内溝のピッチを変えることにより、対物レンズ23の開口数を任意に設定できるので、対物レンズ23の開口数NAを大きくすることにより、反射体46を固定する際の角度ずれの影響を受けにくくすることができる。すなわち、組み立てる際の調整を不要することもでき、安価な磁気記録装置を提供することができる。   When assembling the magnetic recording apparatus, the angular deviation when fixing the reflector 46 causes the beam reflected by the reflector 46 to protrude beyond the opening of the objective lens 23. However, in the magnetic recording apparatus according to the tenth embodiment, the numerical aperture of the objective lens 23 can be arbitrarily set by changing the pitch of the guide groove on the reflector 46, so that the numerical aperture NA of the objective lens 23 is increased. In addition, it is possible to make it less susceptible to the effects of angular deviation when the reflector 46 is fixed. That is, adjustment at the time of assembling can be eliminated, and an inexpensive magnetic recording apparatus can be provided.

(実施例11)
本発明の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置に関する実施例11について、図25(a)及び(b)及び図26を参照しつつ説明する。図25(a)は実施例11の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置の対物レンズ25の構成を示す正面図、図25(b)はその側部断面図である。図26は光検出器54とビーム78,79の関係を示す。実施例11における磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置の光学系の基本的な構成は、実施例5の図15に示した構成と同様である。図15に示す磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置において、対物レンズ23及び光検出器53の代わりに、対物レンズ25及び光検出器54を用いることにより実施例11の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置を構成することができる。
(Example 11)
An eleventh embodiment relating to the magnetic recording apparatus and the tracking error signal detection apparatus of the present invention will be described with reference to FIGS. 25 (a) and 25 (b) and FIG. FIG. 25A is a front view showing the configuration of the objective lens 25 of the magnetic recording apparatus and its tracking error signal detection apparatus of Example 11, and FIG. 25B is a side sectional view thereof. FIG. 26 shows the relationship between the photodetector 54 and the beams 78 and 79. The basic configuration of the optical system of the magnetic recording apparatus and its tracking error signal detection apparatus in the eleventh embodiment is the same as that shown in FIG. In the magnetic recording apparatus and its tracking error signal detection apparatus shown in FIG. 15, the objective lens 25 and the photodetector 54 are used in place of the objective lens 23 and the photodetector 53, whereby the magnetic recording apparatus of Example 11 and its tracking are used. An error signal detection apparatus can be configured.

図25(a)及び(b)に示すように、対物レンズ25は単純なレンズである領域25Aとレンズ上に回折格子を形成している領域25Bとを有している。ここで、領域25Aの開口数NAを0.017、領域25Bの開口数を0.034としている。図25(b)に示すように、領域25Bの回折格子の断面形状は鋸歯状であり、トラッキング誤差信号に対してノイズとなる不要な回折光の発生を抑えている。また、領域25Bによる0次回折光が0となるように、格子の深さを設計している。さらに、反射体45上に集光されるビーム70に対して対物レンズ25の開口数が必要以上に大きくならないように設計している。   As shown in FIGS. 25A and 25B, the objective lens 25 has a region 25A which is a simple lens and a region 25B where a diffraction grating is formed on the lens. Here, the numerical aperture NA of the region 25A is 0.017, and the numerical aperture of the region 25B is 0.034. As shown in FIG. 25 (b), the cross-sectional shape of the diffraction grating in the region 25B is a sawtooth shape, and the generation of unnecessary diffracted light that becomes noise with respect to the tracking error signal is suppressed. The depth of the grating is designed so that the 0th-order diffracted light from the region 25B becomes zero. Further, the objective lens 25 is designed so that the numerical aperture of the objective lens 25 does not become larger than necessary for the beam 70 condensed on the reflector 45.

図15において対物レンズ23を25に置き換えたと仮定して、反射体45を固定する際の角度ずれがない場合、反射体45により反射されたビームは領域25Aに戻る。反射体45を固定する際に角度ずれがある場合、その角度に応じて反射体45で反射されたビームは領域25Bに入射する。領域25Bに入射したビームは、+1次回折光となり、回折素子60の領域60Bに入射する。   Assuming that the objective lens 23 is replaced with 25 in FIG. 15, if there is no angular deviation when fixing the reflector 45, the beam reflected by the reflector 45 returns to the region 25A. When there is an angle shift when fixing the reflector 45, the beam reflected by the reflector 45 according to the angle enters the region 25B. The beam incident on the region 25B becomes + 1st order diffracted light and enters the region 60B of the diffraction element 60.

図26に示すように、光検出器54は3つの受光部517〜519を有しており、回折素子60の領域60Bからの回折光78,79を受光する。ビーム78は対物レンズの領域22Aを透過したビームから生成された回折光、ビーム79は対物レンズの領域25Bを透過したビームから生成された回折光である。ビーム78,79はそれぞれ3つのビーム78A〜78C,79A〜79Cからなる。これらは、光源10から反射体45に向かう光路で回折素子60の領域60Aで生成された0次回折光及び±1次回折光である。光検出器53と同様に光検出器54上には光源10が配置され、光源10から出射されたビーム70はミラー54Aで反射され、光検出器54の受光部517〜519を含む面とは垂直な方向に曲げられる。   As shown in FIG. 26, the photodetector 54 has three light receiving portions 517 to 519 and receives the diffracted lights 78 and 79 from the region 60 </ b> B of the diffractive element 60. The beam 78 is diffracted light generated from the beam transmitted through the objective lens region 22A, and the beam 79 is diffracted light generated from the beam transmitted through the objective lens region 25B. The beams 78 and 79 include three beams 78A to 78C and 79A to 79C, respectively. These are 0th-order diffracted light and ± 1st-order diffracted light generated in the region 60A of the diffractive element 60 in the optical path from the light source 10 to the reflector 45. Similar to the photodetector 53, the light source 10 is arranged on the photodetector 54, the beam 70 emitted from the light source 10 is reflected by the mirror 54 </ b> A, and the surface including the light receiving portions 517 to 519 of the photodetector 54. Bent in the vertical direction.

実施例11によれば、反射体45を固定する際の角度ずれに起因して、反射体45により反射されたビームが対物レンズ25の領域25Aの開口からはみ出した場合でも、領域25Bに入射した後、回折され、光検出器54に導かれる。そのため、対物レンズ25におけるビームのけられは生じない。従って、反射体45を固定する際の角度ずれの影響を受けにくくすることができる。すなわち、組み立てる際の調整を不要とすることもでき、安価な磁気記録装置を提供することができる。   According to the eleventh embodiment, even when the beam reflected by the reflector 45 protrudes from the opening of the region 25A of the objective lens 25 due to the angular deviation when the reflector 45 is fixed, it enters the region 25B. After that, it is diffracted and guided to the photodetector 54. Therefore, the beam of the objective lens 25 is not distorted. Therefore, it can be made difficult to be affected by the angle shift when the reflector 45 is fixed. That is, adjustment at the time of assembly can be made unnecessary, and an inexpensive magnetic recording apparatus can be provided.

(実施例12)
本発明の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置に関する実施例12について、図27〜29を参照しつつ説明する。図27は実施例12の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置の構成を示す。
(Example 12)
A twelfth embodiment relating to the magnetic recording apparatus and the tracking error signal detection apparatus of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 27 shows the configuration of the magnetic recording apparatus of Example 12 and its tracking error signal detection apparatus.

図27において、半導体レーザ光源10から出射した直線偏光の発散ビーム70は、回折格子32に入射する。入射光は、回折格子32により回折され、3つのビームとなる。回折格子32で生成された3つのビームは、それぞれコリメートレンズ20により平行光に変換された後、偏光ビームスプリッタ35に入射する。偏光ビームスプリッタ35の領域35Aに入射したビームは、さらに2つのビーム70A,70Bに分岐される。ビーム70Aは領域35Aにより反射されたビームであり、ビーム70Bは領域35Aを透過した後領域35Bで反射されたビームである。ビーム70A,70Bは、1/4波長板36を透過して円偏光のビームに変換され、対物レンズ26の領域26A,26Bによりそれぞれ集束される。集束されたビーム70A,70Bは、それぞれミラー37,38により反射され、光路を折り曲げられた後、磁気記録媒体44及び反射体47上で焦点を結ぶ。ミラー37,38によりそれぞれビーム70A,70Bの光路を折り曲げ、異なる磁気記録媒体44及び反射体47上にビームを導くことが可能となる。   In FIG. 27, a linearly polarized divergent beam 70 emitted from the semiconductor laser light source 10 enters the diffraction grating 32. The incident light is diffracted by the diffraction grating 32 and becomes three beams. The three beams generated by the diffraction grating 32 are converted into parallel light by the collimator lens 20 and then enter the polarization beam splitter 35. The beam incident on the region 35A of the polarization beam splitter 35 is further branched into two beams 70A and 70B. The beam 70A is a beam reflected by the region 35A, and the beam 70B is a beam reflected by the region 35B after passing through the region 35A. The beams 70A and 70B are transmitted through the quarter-wave plate 36 and converted into circularly polarized beams, and are focused by the regions 26A and 26B of the objective lens 26, respectively. The focused beams 70A and 70B are reflected by the mirrors 37 and 38, respectively, are bent on the optical path, and then focus on the magnetic recording medium 44 and the reflector 47. The optical paths of the beams 70A and 70B can be bent by the mirrors 37 and 38, respectively, and the beams can be guided onto different magnetic recording media 44 and reflectors 47.

図28(a)は反射体47の反射面を示し、図28(b)は磁気記録媒体44の反射面を示す。反射体47の反射面上には、周期pt1が188μmの格子パターン7ARが形成されている。また、磁気記録媒体44には、周期pt2が50μmの格子パターン7BRが形成されている。格子パターンの周期188μmは、現在広く普及している直径が3.5インチ又は5インチの2DD又は2HDと呼ばれているフレキシブルディスクのトラックピッチと同じであり、格子パターン7AR,7BRはトラックの役割を果たす。 FIG. 28A shows the reflecting surface of the reflector 47, and FIG. 28B shows the reflecting surface of the magnetic recording medium 44. On the reflection surface of the reflector 47, a lattice pattern 7AR having a period pt1 of 188 μm is formed. In addition, a lattice pattern 7BR having a period pt2 of 50 μm is formed on the magnetic recording medium 44. The period 188 μm of the lattice pattern is the same as the track pitch of a flexible disk called 2DD or 2HD having a diameter of 3.5 inches or 5 inches, and the lattice patterns 7AR and 7BR are the roles of the tracks. Fulfill.

反射体47はガラス基板からなり、格子パターン7ARはアルミニウム,クロム等の金属を蒸着することにより形成される。磁気記録媒体44は、ポリエステルからなる基板に磁性体を塗布したものであり、磁気記録媒体44上の格子パターン7BRは、プレスにより形成される。磁気記録媒体44及び反射体47に照射されてるビーム70A,70Bは、それぞれ回折格子32で生成された3つのビーム70AA〜70AC,70BA〜70BCからなる。ビーム70BA〜70BCは、周期pt1に対してそれぞれpt1/4ずつ異なる領域を照射する。また、ビーム70AA〜70ACは、周期pt2に対してそれぞれpt2/4ずつ異なる領域を照射する。   The reflector 47 is made of a glass substrate, and the lattice pattern 7AR is formed by evaporating a metal such as aluminum or chromium. The magnetic recording medium 44 is a polyester substrate coated with a magnetic material, and the lattice pattern 7BR on the magnetic recording medium 44 is formed by pressing. The beams 70A and 70B applied to the magnetic recording medium 44 and the reflector 47 are respectively composed of three beams 70AA to 70AC and 70BA to 70BC generated by the diffraction grating 32. The beams 70BA to 70BC irradiate different areas by pt1 / 4 with respect to the period pt1. Further, the beams 70AA to 70AC irradiate different areas by pt2 / 4 with respect to the period pt2.

磁気記録媒体44及び反射体47により反射され、回折されたビーム70A,70Bは、再び対物レンズ26を透過した後、1/4波長板36を透過し、光源10から出射したときとは偏光方向が90度異なる直線偏光のビームに変換される。1/4波長板36を透過したビーム70A,70Bは、偏光ビームスプリッタ35を透過した後、集光レンズ27に入射する。ビーム70A,70Bは、集光レンズ27の領域27A,27Bによりそれぞれ集光された後、光検出器55で受光され、電気信号に変換される。   The beams 70A and 70B reflected and diffracted by the magnetic recording medium 44 and the reflector 47 are transmitted through the objective lens 26 again, then transmitted through the quarter-wave plate 36, and the polarization direction when emitted from the light source 10. Are converted into linearly polarized beams that differ by 90 degrees. The beams 70 </ b> A and 70 </ b> B that have passed through the quarter-wave plate 36 pass through the polarization beam splitter 35 and then enter the condenser lens 27. The beams 70A and 70B are condensed by the regions 27A and 27B of the condenser lens 27, respectively, and then received by the photodetector 55 and converted into electrical signals.

図29は、光検出器55上のビーム70AA〜70AC,70BA〜70BC及び光検出器55に形成された受光部520〜525の様子を示す。ビーム70AAは受光部524により受光される。同様に、ビーム70ABは受光部523により、ビーム70ACは受光部525により、ビーム70BAは受光部521により、ビーム70BBは受光部520により、ビーム70BCは受光部522により、それぞれ受光される。   FIG. 29 shows the states of the beams 70AA to 70AC and 70BA to 70BC on the photodetector 55 and the light receiving portions 520 to 525 formed in the photodetector 55. The beam 70AA is received by the light receiving unit 524. Similarly, the beam 70AB is received by the light receiving unit 523, the beam 70AC is received by the light receiving unit 525, the beam 70BA is received by the light receiving unit 521, the beam 70BB is received by the light receiving unit 520, and the beam 70BC is received by the light receiving unit 522.

光検出器55から出力される電気信号は、信号処理部に入力される。信号処理部としては、例えば、図12に示す実施例3の信号処理部83を用いる。受光部520〜522,523〜525から出力される信号は、図11に示す実施例2の受光部503〜505から出力される信号と同様であり、用いる磁気記録媒体に応じて受光部520〜522,523〜525から出力される信号の適した方を信号処理部に入力すればよい。   The electric signal output from the photodetector 55 is input to the signal processing unit. As the signal processing unit, for example, the signal processing unit 83 of Example 3 shown in FIG. 12 is used. The signals output from the light receiving units 520 to 522, 523 to 525 are the same as the signals output from the light receiving units 503 to 505 of the second embodiment shown in FIG. 11, and the light receiving units 520 to 520 according to the magnetic recording medium to be used. What is necessary is just to input the suitable one of the signal output from 522,523-525 to a signal processing part.

信号処理部から出力されるトラッキング誤差信号は、駆動部94に入力される。駆動部94は、トラッキング誤差信号検出光学系及び磁気ヘッド99,100を含む基台89と磁気記録媒体44,48との相対的な位置を調整し、磁気ヘッド99,100を所望のトラックにトラッキングする。実施例12では、トラッキング誤差信号を光学的に検出してトラッキングを行うので、駆動部に安価な直流モータを使用した場合であっても、精度良くトラッキングすることができる。   The tracking error signal output from the signal processing unit is input to the driving unit 94. The drive unit 94 adjusts the relative positions of the base 89 including the tracking error signal detection optical system and the magnetic heads 99 and 100 and the magnetic recording media 44 and 48, and tracks the magnetic heads 99 and 100 to desired tracks. To do. In the twelfth embodiment, since tracking is performed by optically detecting a tracking error signal, even if an inexpensive DC motor is used for the drive unit, tracking can be performed with high accuracy.

実施例12の磁気記録装置では、トラックピッチが188μmの磁気記録媒体48に対しては、受光部70BA〜70BCから出力される信号を用いてトラッキング動作を行い、トラックピッチが50μmの磁気記録媒体44に対しては、受光部70AA〜70ACから出力される信号を用いてトラッキング動作を行うので、異なるトラックピッチを有する複数種類の磁気記録媒体に対して、情報の記録再生が可能となる。   In the magnetic recording apparatus of the twelfth embodiment, a tracking operation is performed on the magnetic recording medium 48 with a track pitch of 188 μm using signals output from the light receiving units 70BA to 70BC, and the magnetic recording medium 44 with a track pitch of 50 μm. On the other hand, since the tracking operation is performed using signals output from the light receiving units 70AA to 70AC, information can be recorded and reproduced on a plurality of types of magnetic recording media having different track pitches.

なお、図28(a)及び(b)に示した磁気記録媒体44及び反射体47に形成する格子パターンのピッチは一例であり、任意のトラックピッチに対しても光学系を適切に設計することにより、実施例12の磁気記録装置を適用することができることは言うまでもない。   Note that the pitch of the lattice pattern formed on the magnetic recording medium 44 and the reflector 47 shown in FIGS. 28A and 28B is an example, and the optical system should be designed appropriately for an arbitrary track pitch. Thus, it goes without saying that the magnetic recording apparatus of Example 12 can be applied.

また、実施例12では、ビーム70A,70Bの光路を折り曲げるためにミラー37,38を用いたが、プリズムや回折格子等、他の光学素子を用いても同様の効果を奏することは言うまでもない。また、光検出器55で受光されるビーム70A,70Bの光量に余裕があるときは、偏光ビームスプリッタ35の代わりにハーフミラーを用いることができる。この場合、1/4波長板36は不要となり、安価な磁気記録装置を提供することができる。   In the twelfth embodiment, the mirrors 37 and 38 are used to bend the optical paths of the beams 70A and 70B. However, it goes without saying that the same effect can be obtained by using other optical elements such as a prism and a diffraction grating. When there is a sufficient amount of light of the beams 70A and 70B received by the photodetector 55, a half mirror can be used instead of the polarization beam splitter 35. In this case, the quarter wavelength plate 36 is not necessary, and an inexpensive magnetic recording apparatus can be provided.

(実施例13)
本発明の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置に関する実施例13について、図30及び図31(a)〜(c)を参照しつつ説明する。図30は実施例13の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置の構成を示す。
(Example 13)
A thirteenth embodiment relating to the magnetic recording apparatus and the tracking error signal detection apparatus of the present invention will be described with reference to FIGS. 30 and 31 (a) to 31 (c). FIG. 30 shows the configuration of the magnetic recording apparatus of Example 13 and its tracking error signal detection apparatus.

図30において、半導体レーザ光源10から出射した直線偏光の発散ビーム70は、回折素子61の領域61Aに入射し、0次回折光及び±1次回折光である3つのビームとなる。領域61Aで生成された3つのビームは、領域61BA及び61BBでさらに複数のビームが生成される。領域61BA,61BBの格子ピッチは、光源10から対物レンズ28に至る光路において、領域61BA,61BBで生成される回折光の内、0次回折光だけがレンズ28の開口に入射するように設計されている。レンズ28は有限系の対物レンズであり、ビーム70の異なる部分を領域28A,28Bに入射させ、2つのビーム70C,70Dとする。対物レンズ28は、例えば樹脂成形により成形される。   In FIG. 30, a linearly polarized divergent beam 70 emitted from the semiconductor laser light source 10 enters the region 61A of the diffractive element 61, and becomes three beams, which are zero-order diffracted light and ± first-order diffracted light. Among the three beams generated in the region 61A, a plurality of beams are further generated in the regions 61BA and 61BB. The grating pitches of the regions 61BA and 61BB are designed such that only the 0th-order diffracted light is incident on the aperture of the lens 28 among the diffracted light generated in the regions 61BA and 61BB in the optical path from the light source 10 to the objective lens 28. Yes. The lens 28 is a finite objective lens, and different portions of the beam 70 are incident on the regions 28A and 28B to form two beams 70C and 70D. The objective lens 28 is formed by resin molding, for example.

ビーム70C,70Dはそれぞれミラー39の領域39A,39Bで反射された後、反射体47及び磁気記録媒体44上に集光される。実施例12の場合と同様に、反射体47には周期pt1が188μmの格子パターン7ARが形成されている。また、磁気記録媒体44のトラックピッチが188μmとは異なる狭いトラックピッチを有する場合、磁気記録媒体44上にトラックピッチに対応するパターンが形成されている。反射体47及び磁気記録媒体44により反射され、回折されたビーム70C,70Dは、再び対物レンズ28を透過した後、回折素子61の領域61BA,61BBにそれぞれ入射する。領域61BA,61BBに入射したビームから複数の回折光が生成され、±1次回折光が光検出器56で受光される。   The beams 70C and 70D are reflected by the regions 39A and 39B of the mirror 39, respectively, and then condensed on the reflector 47 and the magnetic recording medium 44. As in the case of the twelfth embodiment, a grating pattern 7AR having a period pt1 of 188 μm is formed on the reflector 47. When the track pitch of the magnetic recording medium 44 has a narrow track pitch different from 188 μm, a pattern corresponding to the track pitch is formed on the magnetic recording medium 44. The beams 70C and 70D reflected and diffracted by the reflector 47 and the magnetic recording medium 44 pass through the objective lens 28 again and then enter the regions 61BA and 61BB of the diffraction element 61, respectively. A plurality of diffracted lights are generated from the beams incident on the regions 61BA and 61BB, and ± first-order diffracted lights are received by the photodetector 56.

図31(a)は回折素子16の領域61BA,61BBの様子を示す。図31(b)は回折素子61の領域61Aの様子を示す。また、図31(c)は光検出器56上のビーム70CA〜70CF,70DA〜70DFと光検出器56に形成された受光部526〜537の様子を示す。ビーム70CA,70CB,70CCはビーム70Cが領域16BAに入射することにより生成された+1次回折光である。また、ビーム70CD,70CE,70CFはビーム70Cが領域16BAに入射することにより生成された−1次回折光である。ビーム70DA,70DB,70DCはビーム70Dが領域16BBに入射することにより生成された+1次回折光である。ビーム70DD,70DE,70DFはビーム70Dが領域16BBに入射することにより生成された−1次回折光である。   FIG. 31A shows the state of the regions 61BA and 61BB of the diffraction element 16. FIG. 31B shows the state of the region 61 </ b> A of the diffraction element 61. FIG. 31C shows the states of the beams 70CA to 70CF and 70DA to 70DF on the photodetector 56 and the light receiving portions 526 to 537 formed on the photodetector 56. Beams 70CA, 70CB, and 70CC are + 1st order diffracted lights generated when the beam 70C is incident on the region 16BA. Beams 70CD, 70CE, and 70CF are -1st order diffracted light generated when the beam 70C is incident on the region 16BA. Beams 70DA, 70DB, and 70DC are + 1st-order diffracted lights generated when the beam 70D is incident on the region 16BB. Beams 70DD, 70DE, and 70DF are −1st-order diffracted light generated when the beam 70D is incident on the region 16BB.

ビーム70CAは受光部527により受光される。同様に、ビーム70CBは受光部526により、ビーム70CCは受光部528により、ビーム70CDは受光部536により、ビーム70CEは受光部535により、ビーム70CFは受光部537により、ビーム70DAは受光部530により、ビーム70DBは受光部529により、ビーム70DCは受光部531により、ビーム70DDは受光部533により、ビーム70DEは受光部532により、ビーム70DFは受光部534により、それぞれ受光される。   The beam 70CA is received by the light receiving unit 527. Similarly, the beam 70CB is received by the light receiving unit 526, the beam 70CC is received by the light receiving unit 528, the beam 70CD is received by the light receiving unit 536, the beam 70CE is received by the light receiving unit 535, the beam 70CF is received by the light receiving unit 537, and the beam 70DA is received by the light receiving unit 530. The beam 70DB is received by the light receiving unit 529, the beam 70DC is received by the light receiving unit 531, the beam 70DD is received by the light receiving unit 533, the beam 70DE is received by the light receiving unit 532, and the beam 70DF is received by the light receiving unit 534.

受光部527と536,526と535,528と537,530と533,529と532,531と534から出力される信号を加算した信号は、実施例1における受光部520〜525から出力される信号と同様であり、例えば実施例3の図12に示す信号処理部83に入力することによりトラッキング誤差信号が得られる。生成されたトラッキング誤差信号は、磁気ヘッド99,100が所望のトラック上に位置するように、駆動部101に供給される。   The signals obtained by adding the signals output from the light receiving units 527, 536, 526, 535, 528, 537, 530, 533, 529, 532, 531 and 534 are signals output from the light receiving units 520 to 525 in the first embodiment. For example, a tracking error signal can be obtained by inputting the signal into the signal processing unit 83 shown in FIG. The generated tracking error signal is supplied to the drive unit 101 so that the magnetic heads 99 and 100 are positioned on a desired track.

実施例13においては、光源10をシリコン基板をエッチングした光検出器56上に配置されている。光源10から出射されたビーム70は、シリコン基板上に形成されたミラー56Aにより反射され、ビーム70の光路が光検出器56の受光部526〜537を形成した面に対して垂直となるように出射される。   In the thirteenth embodiment, the light source 10 is disposed on the photodetector 56 obtained by etching a silicon substrate. The beam 70 emitted from the light source 10 is reflected by the mirror 56A formed on the silicon substrate so that the optical path of the beam 70 is perpendicular to the surface on which the light receiving portions 526 to 537 of the photodetector 56 are formed. Emitted.

反射体47及び磁気記録媒体44により反射されたビーム70C,70Dは、光源10を配置した1つの光検出器56により受光されるように構成されている。さらに、有限系の対物レンズ28を用いているので、磁気記録装置の小型化を実現することができる。また、光源10から領域28A,28Bまでの距離を等しくすることにより、レンズ28を1つの部品で構成することができ、しかも領域28A,28Bを1回の成形により形成することができる。その結果、磁気記録装置の低コスト化を実現することができる。   The beams 70 </ b> C and 70 </ b> D reflected by the reflector 47 and the magnetic recording medium 44 are configured to be received by one photodetector 56 in which the light source 10 is disposed. Furthermore, since the finite objective lens 28 is used, the magnetic recording apparatus can be downsized. Further, by equalizing the distances from the light source 10 to the regions 28A and 28B, the lens 28 can be constituted by one part, and the regions 28A and 28B can be formed by one molding. As a result, cost reduction of the magnetic recording apparatus can be realized.

なお、実施例13においては、フォーカスサーボについての説明は行っていないが、必要であれば、勿論用いることも可能である。また、実施例13の磁気記録装置は、如何なるフォーカス誤差信号の検出方法にも制約を受けることはなく、光ディスク装置で一般的な非点収差法、フーコー法、スポットサイズディテクション法等、何れの方式も用いることができる。また、光源については半導体レーザを用いた場合を示したが、トラックピッチとレンズの開口数によっては、安価な発光ダイオード等、他の光源を用いることも可能である。   In the thirteenth embodiment, the focus servo is not described, but it can be used if necessary. Further, the magnetic recording apparatus of the thirteenth embodiment is not limited by any focus error signal detection method, and any of the astigmatism method, Foucault method, spot size detection method and the like generally used in optical disk devices. A scheme can also be used. In addition, although a semiconductor laser is used as the light source, other light sources such as an inexpensive light-emitting diode can be used depending on the track pitch and the numerical aperture of the lens.

(実施例14)
本発明の情報記録媒体、情報記録装置及びそのトラッキング誤差検出装置に関する第14の実施例について、図32及び図33を参照しつつ説明する。図32は実施例14の情報記録媒体の構成を示す。上記実施例1〜13は、主に磁気記録媒体及び磁気記録装置に関するものであったが、実施例14の情報記録媒体は光ディスクに関するものである。すなわち、本発明のトラッキング誤差信号検出装置は、フレキシブルディスク等の磁気記録媒体のみならず、光ディスクに対しても適用することができる。なお、実施例14の情報記録装置及びそのトラッキング誤差検出装置の光学系は、例えば図5に示す実施例1の光学系と同様のものを用いることができる。
(Example 14)
A fourteenth embodiment relating to the information recording medium, information recording apparatus and tracking error detection apparatus of the present invention will be described with reference to FIGS. 32 and 33. FIG. FIG. 32 shows the structure of the information recording medium of Example 14. Examples 1 to 13 above mainly relate to a magnetic recording medium and a magnetic recording apparatus, but an information recording medium of Example 14 relates to an optical disk. That is, the tracking error signal detection apparatus of the present invention can be applied not only to a magnetic recording medium such as a flexible disk but also to an optical disk. The optical system of the information recording apparatus and tracking error detection apparatus of the fourteenth embodiment can be the same as the optical system of the first embodiment shown in FIG. 5, for example.

図32において、Gn−1,Gn,Gn+1・・・は、トラッキング誤差信号の検出を可能にするパターンとしての案内溝であり、Ptは隣接する案内溝の周期である。Tn−1,Tn,Tn+1・・・は情報の記録再生が行われるトラックを示す。トラックTn−1,Tn,Tn+1・・・は案内溝Gn−1,Gn,Gn+1・・・上及び案内溝間に設けられている。tpは、隣接するトラックの周期である。したがって、pt=2・tpの関係がある。   32, Gn-1, Gn, Gn + 1,... Are guide grooves as patterns that enable detection of tracking error signals, and Pt is the period of adjacent guide grooves. Tn−1, Tn, Tn + 1... Indicate tracks on which information is recorded / reproduced. Tracks Tn−1, Tn, Tn + 1... Are provided on the guide grooves Gn−1, Gn, Gn + 1. tp is the period of the adjacent track. Therefore, there is a relationship of pt = 2 · tp.

案内溝Gn−1,Gn,Gn+1・・・は周期的に2つのパターンR1,R2を有している。パターンR1とR2は、それぞれトラックと直交する方向に±Δptだけ異なる位置に形成されている。ここでは、pt=1.48μm、tp=0.74μm、Δpt=0.04μmとしている。   The guide grooves Gn-1, Gn, Gn + 1,... Have two patterns R1, R2 periodically. The patterns R1 and R2 are formed at different positions by ± Δpt in the direction orthogonal to the track. Here, pt = 1.48 μm, tp = 0.74 μm, and Δpt = 0.04 μm.

図33は、実施例14における情報記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置における信号処理部85の構成を示している。光検出器50の受光部501,502から出力された信号は、電流電圧変換部851,852によりそれぞれ電流−電圧変換される。電流電圧変換部851,852から出力される信号は、差動演算部872により差動演算される。差動演算部872から出力される信号は、クロック信号生成部897に入力され、パターンR1,R2の周期に同期したクロック信号CLKが生成される。クロック信号生成部897は、Phase Locked Loop(PLL)回路である。クロック信号CLKは、トリガ信号生成部8 98に入力され、タイミング信号Sa3,Sa4が生成される。   FIG. 33 shows the configuration of the signal processing unit 85 in the information recording apparatus and its tracking error signal detection apparatus in the fourteenth embodiment. Signals output from the light receiving units 501 and 502 of the photodetector 50 are subjected to current-voltage conversion by current-voltage conversion units 851 and 852, respectively. The signals output from the current-voltage converters 851 and 852 are differentially calculated by the differential calculator 872. A signal output from the differential operation unit 872 is input to the clock signal generation unit 897, and a clock signal CLK synchronized with the period of the patterns R1 and R2 is generated. The clock signal generation unit 897 is a phase locked loop (PLL) circuit. The clock signal CLK is input to the trigger signal generation unit 898, and timing signals Sa3 and Sa4 are generated.

差動演算部872から出力される信号は、それぞれタイミング信号Sa3,Sa4が有するタイミングで、サンプルアンドホールド部811,812によりサンプルアンドホールドされる。サンプルアンドホールド部811,812から出力される信号v18,v19は、それぞれ式(20)及び(21)で示されるような信号である。なお、式(20)及び(21)において、A10は振幅である。
[数12]
v18=A10・sin(2π(x−Δpt)/pt) ・・・(20)
v19=A10・sin(2π(x+Δpt)/pt) ・・・(21)
サンプルアンドホールド部811,812によりサンプルアンドホールドされた信号は、可変利得増幅部832,833により所望の強度に調整された後、演算部892に入力される。演算部892は、入力された信号の加算を行い、出力端子806からトラッキング誤差信号v20を出力する。信号v20は、式(22)で表わされるような、波形である。なお、式(22)において、K1,K2は、それぞれ可変利得増幅部832,833の利得である。
[数13]
v20=K1・A10・sin(2π(x−Δpt)/pt)
+K2・A10・sin(2π(x+Δpt)/pt) ・・(22)
信号v20も実施例1の場合と同様に、適当なK1,K2を選択することにより、任意の位相及び振幅が設定可能となる。ただし、Δptが小さいときに全ての範囲の位相ずれを許容するためには、K1,K2を非常に大きく変化させなければならず、実用的ではない。実施例14のトラッキング誤差信号検出装置は、トラッキング誤差信号の位相ずれがpt/2よりも小さい光ディスク装置に適する。
The signals output from the differential operation unit 872 are sampled and held by the sample and hold units 811 and 812 at timings of the timing signals Sa3 and Sa4, respectively. Signals v18 and v19 output from the sample-and-hold units 811 and 812 are signals as shown by equations (20) and (21), respectively. In equations (20) and (21), A10 is the amplitude.
[Equation 12]
v18 = A10 · sin (2π (x−Δpt) / pt) (20)
v19 = A10 · sin (2π (x + Δpt) / pt) (21)
The signals sampled and held by the sample and hold units 811 and 812 are adjusted to a desired intensity by the variable gain amplification units 832 and 833 and then input to the arithmetic unit 892. The arithmetic unit 892 adds the input signals and outputs a tracking error signal v20 from the output terminal 806. The signal v20 has a waveform as expressed by the equation (22). In Expression (22), K1 and K2 are gains of the variable gain amplifying units 832 and 833, respectively.
[Equation 13]
v20 = K1 · A10 · sin (2π (x−Δpt) / pt)
+ K2 · A10 · sin (2π (x + Δpt) / pt) (22)
As in the case of the first embodiment, the signal v20 can be set to an arbitrary phase and amplitude by selecting appropriate K1 and K2. However, in order to allow the phase shift in the entire range when Δpt is small, K1 and K2 must be changed greatly, which is not practical. The tracking error signal detection apparatus according to the fourteenth embodiment is suitable for an optical disk apparatus in which the phase error of the tracking error signal is smaller than pt / 2.

なお、実施例14のトラッキング誤差信号検出装置では、1つのビームから位相の異なる複数の信号を得るので、情報記録媒体に偏心がある場合でも影響をほとんど受けない。従って、実施例14のトラッキング誤差信号検出装置を用いた情報記録装置は、偏心がある情報記録媒体に記録再生を行う場合の信頼性が高い。   In the tracking error signal detection apparatus of the fourteenth embodiment, since a plurality of signals having different phases are obtained from one beam, even if the information recording medium is eccentric, it is hardly affected. Therefore, the information recording apparatus using the tracking error signal detection apparatus according to the fourteenth embodiment has high reliability when recording / reproducing is performed on an information recording medium having eccentricity.

また、トラッキング誤差信号を検出するためのパターンR1,R2上又はパターンR1,R2間に情報を記録し、再生することにより、情報記録媒体に記録可能な容量を低下させることがないので、高容量で信頼性の高い光情報記録装置を提供することができる。   In addition, since information is recorded on and reproduced from the patterns R1 and R2 for detecting the tracking error signal and between the patterns R1 and R2, the capacity that can be recorded on the information recording medium is not reduced, so that the capacity is high. Thus, an optical information recording apparatus with high reliability can be provided.

従来の磁気記録装置のトラッキング誤差信号検出装置の構成を示す図The figure which shows the structure of the tracking error signal detection apparatus of the conventional magnetic-recording apparatus. 従来の磁気記録装置における磁気記録媒体とビームの関係を示す図The figure which shows the relationship between the magnetic recording medium and the beam in the conventional magnetic recording apparatus 従来の磁気記録装置における信号処理部の信号波形を示す図The figure which shows the signal waveform of the signal processing part in the conventional magnetic recording device 従来の磁気記録装置における磁気記録媒体の傾きと対物レンズに入射する光量の関係を示す図The figure which shows the relationship between the inclination of the magnetic recording medium in the conventional magnetic recording apparatus, and the light quantity which injects into an objective lens 本発明の実施例1の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置の構成を示す図1 is a diagram illustrating the configuration of a magnetic recording apparatus and a tracking error signal detection apparatus according to a first embodiment of the invention. 実施例1における信号処理部の構成を示す図The figure which shows the structure of the signal processing part in Example 1. FIG. 実施例1における磁気記録媒体の案内溝とタイミング信号の関係を示す図The figure which shows the relationship between the guide groove of a magnetic-recording medium in Example 1, and a timing signal. 実施例1における信号処理部の信号波形を示す図The figure which shows the signal waveform of the signal processing part in Example 1. 本発明の実施例2の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置の構成を示す図The figure which shows the structure of the magnetic-recording apparatus of Example 2 of this invention, and its tracking error signal detection apparatus. 実施例2における磁気記録媒体の案内溝とタイミング信号の関係を示す図The figure which shows the relationship between the guide groove of a magnetic recording medium in Example 2, and a timing signal. 実施例2における信号処理部の構成を示す図The figure which shows the structure of the signal processing part in Example 2. 本発明の実施例3の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置の信号処理部の構成を示す図The figure which shows the structure of the signal processing part of the magnetic-recording apparatus of Example 3 of this invention, and its tracking error signal detection apparatus. 本発明の実施例4の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置に用いられる磁気記録媒体の案内溝とタイミング信号の関係を示す図The figure which shows the relationship between the guide groove of a magnetic recording medium used for the magnetic recording apparatus of Example 4 of this invention, and its tracking error signal detection apparatus, and a timing signal. 実施例4における信号処理部の構成を示す図The figure which shows the structure of the signal processing part in Example 4. 本発明の実施例5の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置の構成を示す図The figure which shows the structure of the magnetic-recording apparatus of Example 5 of this invention, and its tracking error signal detection apparatus. (a)及び(b)は実施例5における回折素子のパターンを示す図、(c)は光検出器上のビームと受光部の様子を示す図(A) And (b) is a figure which shows the pattern of the diffraction element in Example 5, (c) is a figure which shows the mode of the beam on a photodetector, and a light-receiving part. (a)〜(c)はそれぞれ実施例5におけるレンズの構成を示す図(A)-(c) is a figure which shows the structure of the lens in Example 5, respectively. 実施例5における反射体とビームの関係を示す図The figure which shows the relationship between the reflector in Example 5, and a beam. 本発明の実施例6の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置の対物レンズの構成を示す図The figure which shows the structure of the objective lens of the magnetic recording apparatus of Example 6 of this invention, and its tracking error signal detection apparatus. 本発明の実施例7の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置の構成を示す図The figure which shows the structure of the magnetic-recording apparatus of Example 7 of this invention, and its tracking error signal detection apparatus. 本発明の実施例8の磁気記録装置及びその調整方法における光源と、対物レンズと、磁気記録媒体の関係及び磁気記録装置の調整方法の原理を示す図The figure which shows the principle of the adjustment method of the magnetic recording device of Example 8 of this invention, the relationship between the light source in the adjustment method, an objective lens, and a magnetic recording medium. 実施例8における光検出器上に配置した光源と回折素子の構成を示す図The figure which shows the structure of the light source and diffraction element which were arrange | positioned on the photodetector in Example 8. FIG. 本発明の実施例9の磁気記録装置及びその調整方法における光源と、磁気記録媒体と、光学系の関係を示す図であり、(a)は反射面が正規の角度に配置されている場合、(b)は反射面を一体成形したミラーが角度ずれを有する場合を示す。It is a figure which shows the relationship between the light source, magnetic recording medium, and optical system in the magnetic recording apparatus of Example 9 of this invention, and its adjustment method, (a) is when a reflective surface is arrange | positioned at a regular angle, (B) shows the case where the mirror which integrally formed the reflective surface has an angle shift. (a)は本発明の実施例10の磁気記録媒体の構成を示す図、(b)は実施例10の反射体の構成を示す図(A) is a figure which shows the structure of the magnetic recording medium of Example 10 of this invention, (b) is a figure which shows the structure of the reflector of Example 10. FIG. (a)は本発明の実施例11の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置の対物レンズの構成を示す正面図、(b)はその側部断面図(A) is a front view which shows the structure of the objective lens of the magnetic recording apparatus of Example 11 of this invention, and its tracking error signal detection apparatus, (b) is the side sectional drawing. 実施例11における光検出器の受光部と回折光の関係を示す図The figure which shows the relationship between the light-receiving part of the photodetector in Example 11, and diffracted light 本発明の実施例12の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置の構成を示す図The figure which shows the structure of the magnetic-recording apparatus of Example 12 of this invention, and its tracking error signal detection apparatus. (a)は実施例12における反射体の反射面を示す図、(b)は実施例12における磁気記録媒体の反射面を示す図(A) is a figure which shows the reflective surface of the reflector in Example 12, (b) is a figure which shows the reflective surface of the magnetic recording medium in Example 12. 実施例12における光検出器上のビームと受光部の関係を示す図The figure which shows the relationship between the beam on the photodetector in Example 12, and a light-receiving part. 本発明の実施例13の磁気記録装置及びそのトラッキング誤差信号検出装置の構成を示す図The figure which shows the structure of the magnetic-recording apparatus of Example 13 of this invention, and its tracking error signal detection apparatus. (a)及び(b)は実施例13における回折素子の領域の様子を示す図、(c)は光検出器上のビームと受光部の関係を示す図(A) And (b) is a figure which shows the mode of the area | region of the diffraction element in Example 13, (c) is a figure which shows the relationship between the beam on a photodetector, and a light-receiving part. 本発明の実施例14における情報記録媒体の構成を示す図The figure which shows the structure of the information recording medium in Example 14 of this invention. 実施例14におけるトラッキング誤差信号検出装置の信号処理部の構成を示す図The figure which shows the structure of the signal processing part of the tracking error signal detection apparatus in Example 14.

符号の説明Explanation of symbols

10 半導体レーザ光源
20 コリメートレンズ
21 対物レンズ
22 集光レンズ
23〜26 対物レンズ
25A〜25B 領域
26A〜26B レンズ
27 集光レンズ
27A〜27B 領域
28 集光レンズ
28A〜28B 領域
30 偏光ビームスプリッタ
31 1/4波長板
32 回折格子
33 パッケージ
34 ミラー
34A〜34B 反射面
35A〜35B 反射面
35 ビームスプリッタ
36 1/4波長板
37〜39 ミラー
39A〜39B 反射面
40〜44 磁気記録媒体
45〜47 反射体
48 磁気記録媒体
49 埃
50〜56 光検出器
53A ミラー
54A ミラー
60 回折素子
60A〜60B 領域
61 回折素子
61A 領域
61BA〜61BB 領域
7AR〜7BR 格子パターン
70 ビーム
70A〜70D ビーム
70AA〜70AC ビーム
70BA〜70BC ビーム
71〜79 回折光
76A〜76C 回折光
77A〜77C 回折光
78A〜78C 回折光
79A〜79C 回折光
80〜85 信号処理部
88〜89 基台
90〜94 駆動部
95〜98 基台
99〜100 磁気ヘッド
101 駆動部
501〜537 受光部
801〜805 端子
811〜812 サンプルアンドホールド部
831〜839 可変利得増幅部
851〜856 電流−電圧(I−V)変換部
871〜875 差動演算部
891 加算部
892〜893 演算部
895 クロック信号生成部
896 トリガ信号生成部
897 クロック信号生成部
898 トリガ信号生成部
d 距離間隔
D1 方向
Gn 案内溝
S1 磁気ヘッド位置
S2 集光ビーム位置
S3〜S5 動作点
Tn トラック
pt トラックピッチ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Semiconductor laser light source 20 Collimating lens 21 Objective lens 22 Condensing lens 23-26 Objective lens 25A-25B Area | region 26A-26B Lens 27 Condensing lens 27A-27B Area | region 28 Condensing lens 28A-28B area | region 30 Polarizing beam splitter 31 1 / Four-wave plate 32 Diffraction grating 33 Package 34 Mirrors 34A-34B Reflective surfaces 35A-35B Reflective surface 35 Beam splitter 36 1/4 wave plates 37-39 Mirrors 39A-39B Reflective surfaces 40-44 Magnetic recording media 45-47 Reflector 48 Magnetic recording medium 49 Dust 50 to 56 Photo detector 53A Mirror 54A Mirror 60 Diffraction element 60A to 60B Area 61 Diffraction element 61A Area 61BA to 61BB Area 7AR to 7BR Lattice pattern 70 Beam 70A to 70D Beam 70AA to 70AC Beam 70B ˜70BC beam 71-79 diffracted light 76A-76C diffracted light 77A-77C diffracted light 78A-78C diffracted light 79A-79C diffracted light 80-85 signal processing unit 88-89 base 90-94 drive unit 95-98 base 99 -100 Magnetic head 101 Driving unit 501 to 537 Light receiving unit 801 to 805 Terminal 811 to 812 Sample and hold unit 831 to 839 Variable gain amplifying unit 851 to 856 Current-voltage (IV) conversion unit 871 to 875 Differential operation unit 891 Adder 892-893 Operation unit 895 Clock signal generator 896 Trigger signal generator 897 Clock signal generator 898 Trigger signal generator d Distance interval D1 Direction Gn Guide groove S1 Magnetic head position S2 Condensing beam position S3 to S5 Operating point Tn track pt track pitch

Claims (9)

光ビームを出射する光源と、前記光源から出射されたビームを受けて3つのビームを生成する回折手段と、前記回折手段で生成された前記3つのビームを反射体上へ微小スポットとして収束させる集光光学系と、前記反射体により反射され、回折された前記3つのビームを分岐するビーム分岐手段と、前記ビーム分岐手段により分岐された前記3つのビームを受光し、光量に応じた信号を出力する光検出器と、前記光検出器から出力される前記3つのビームから得られた信号を演算してトラッキング誤差信号を生成する信号処理部を具備し、前記反射体には反射率の変化を与える周期的な物理変化が形成され、前記物理的な変化の方向と平行な方向における前記集光光学系の前記反射体側の焦点距離が、前記物理的な変化の方向に直交する方向における焦点距離よりも長く、前記物理的な変化の方向と平行な方向における前記集光光学系の前記光源側の開口の大きさが、前記物理的な変化の方向と直交する方向の大きさよりも大きく、前記物理的な変化の方向と平行な方向における前記反射体上に収束されたビームの大きさが、前記物理的な変化の方向に直交する方向における大きさよりも大きいトラッキング誤差信号検出装置。 A light source that emits a light beam, a diffractive unit that receives the beam emitted from the light source and generates three beams, and a collection that converges the three beams generated by the diffractive unit as a minute spot on a reflector. a light optical system, is reflected by the reflector, a beam splitting means for splitting the diffracted said three beams, said beam receiving the branched the three beams by the branching unit, outputting a signal corresponding to the light amount And a signal processing unit that calculates a signal obtained from the three beams output from the photodetector and generates a tracking error signal, and the reflector has a change in reflectance. A periodic physical change is applied, and a focal length on the reflector side of the condensing optical system in a direction parallel to the direction of the physical change is orthogonal to the direction of the physical change Longer than the focal length in the size of the light source side of the opening of the light converging optical system in the direction parallel to the direction of the physical changes, than a size in the direction perpendicular to the direction of the physical change A tracking error signal detection device that is large and has a larger beam size converged on the reflector in a direction parallel to the direction of the physical change than in a direction orthogonal to the direction of the physical change. 前記物理的な変化の方向と平行な方向における前記集光光学系の前記反射体側の焦点距離が無限遠である請求項1に記載のトラッキング誤差信号検出装置。   The tracking error signal detection apparatus according to claim 1, wherein a focal length on the reflector side of the condensing optical system in a direction parallel to the direction of the physical change is infinite. 前記集光光学系は、前記光源から出射された発散光を平行光に変換するコリメートレンズと、前記コリメートレンズにより変換された平行光を収束光に変換する集光レンズを含む請求項1又は2に記載のトラッキング誤差信号検出装置。 The light converging optical system includes a collimating lens for converting a divergent light emitted from the light source into parallel light, according to claim 1 comprising a condensing lens for converting a parallel light converted by the collimating lens into a convergent light or 3. The tracking error signal detection device according to 2. 前記集光光学系は、前記光源から出射された発散光を収束光に変換する有限系の対物レンズを含む請求項1又は2に記載のトラッキング誤差信号検出装置。 The tracking error signal detection device according to claim 1, wherein the condensing optical system includes a finite objective lens that converts divergent light emitted from the light source into convergent light. 前記集光光学系は、樹脂成形により形成されたものである請求項1〜のいずれか1項に記載のトラッキング誤差信号検出装置。 The light converging optical system, the tracking error signal detection apparatus according to any one of claims 1 to 4, which has been formed by resin molding. 前記ビーム分岐手段は回折素子である請求項1〜のいずれか1項に記載のトラッキング誤差信号検出装置。 It said beam splitting means is a tracking error signal detection apparatus according to any one of claims 1 to 5 which is a diffraction element. 前記ビーム分岐手段は偏光ビームスプリッタである請求項1〜のいずれか1項に記載のトラッキング誤差信号検出装置。 It said beam splitting means is a tracking error signal detection apparatus according to any one of claims 1 to 5 which is a polarization beam splitter. 前記反射体に形成される物理的な変化の周期が、情報記録媒体上のトラックの周期よりも小さい請求項1〜のいずれか1項に記載のトラッキング誤差信号検出装置。 The period of the physical change formed on the reflecting body is an information tracking error signal detection apparatus according to any one of recording claims rather smaller than the period of the tracks on the medium term 1-7. 前記反射体は情報記録媒体である請求項1〜のいずれか1項に記載のトラッキング誤差信号検出装置。 The reflector tracking error signal detection apparatus according to any one of claims 1 to 7, which is the information recording medium.
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