JP4244046B2 - 画像処理方法および画像処理装置 - Google Patents
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Description
本発明の請求項8記載の画像処理装置は、検査対象カメラによって検査に用いる平面板を撮影した元画像を請求項1に記載の画像処理方法によって第1の処理画像を検出する画像処理部と、前記第1の処理画像と元画像との差分の第2の処理画像を検出する減算器と、前記第2の処理画像を2値化した結果画像を検出する2値化回路と、前記結果画像と品質許容基準と照らし合わせて検査対象カメラの品質の合否を判定する判定回路とを設けたことを特徴とする。
また、本発明の画像処理方法を用いた画像処理装置によれば、画像周辺部分においても誤動作なく欠陥を検出できるカメラの検査装置を実現することができ、また、正確に画像の輝度むらを除去した蛍光顕微鏡を実現することができる。
(実施例1)
図1〜図4は本発明の(実施例1)を示す。
ステップ101では、対象となっている元画像P0の最外周に位置する画素にのみローパスフィルタ処理する。
ステップ103では、元画像全体にローパスフィルタ処理して目的とするローパス画像を作成する。
図2は元画像およびステップ101の処理後の各画素を示したイメージ図である。図2において、201は元画像で、各画素が0〜255の256階調の輝度値を持つ白黒画像である。説明を簡単にするために、横9画素×縦7画素の大きさを持つものとする。そして、各画素における輝度値を、A(x,y)で表すものとする。
ここでは、網掛けして示した画素のみにローパスフィルタ処理する。まず、A(1,0)〜A(7,0)については横方向にローパスフィルタ処理する。横方向のローパスフィルタとしては、基本的には注目画素A(x,y)を中心とした5画素の元画像のままの輝度値の平均を求め、これを注目画素の新たな輝度値B(x,y)とするものである。例えば、A(4,0)を注目画素としたとき、
( A(2,0)+A(3,0)+A(4,0)+A(5,0)+A(6,0) ) / 5
を求め、これを新たな輝度値B(4,0)とする。注目画素をA(1,0)とした場合、A(1,0)については、2つ左側の画素が存在しないため、存在しない部分の画素はローパスフィルタ演算の対象外とし、
( A(0,0)+A(1,0)+A(2,0)+A(3,0) ) / 4
を新たな輝度値B(1,0)とする。同様に、注目画素をA(7,0)とした場合には、 ( A(5,0)+A(6,0)+A(7,0)+A(8,0) ) / 4
を新たな輝度値B(7,0)とする。A(1,6)〜A(7,6)についても全く同様の方法で、横方向にローパスフィルタ処理する。
( A(0,0)+A(0,1)+A(0,2)+A(0,3)+A(0,4) ) / 5
を求め、これを新たな輝度値B(0,2)とする。注目画素をA(0,1)とした場合、A(0,1)については、2つ上側の画素が存在しないため、存在しない部分の画素はローパスフィルタ演算の対象外とし、
( A(0,0)+A(0,1)+A(0,2)+A(0,3) ) / 4
を新たな輝度値B(0,1)とする。A(8,1)〜A(8,5)についても全く同様の方法で、縦方向にローパスフィルタ処理する。
( A(0,0)+A(1,0)+A(2,0)+A(0,1)+A(0,2) ) / 5
を求め、これを新たな輝度値B(0,0)とし、A(8,0)を注目画素としたとき、
( A(6,0)+A(7,0)+A(8,0)+A(8,1)+A(8,2) ) / 5
を求め、これを新たな輝度値B(8,0)とする。A(0,6)、A(8,6)についても同様の方法を用いる。
以上の説明において、ローパスフィルタは、注目画素を中心とした5画素の輝度平均を用いたが、より多くの画素の平均によるローパスフィルタでも良いし、また、位置に応じた加重平均によるローパスフィルタでも同様の効果を得ることができる。
図3はステップ102の処理を行う際の、画像の各画素を示したイメージ図である。301はステップ102の処理により作られる画像で、その中で白い部分がステップ101の処理により作られた部分(最外周に位置する画素にのみローパスフィルタ処理を施した画像202)であり、網掛けして示した部分がステップ102の処理により新たに作られる画素である。
例えば、C(0,−1)の輝度値は、“2*B(0,0)−B(0,1)”により求め、C(8,−1)の輝度値は、“2*B(8,0)−B(8,1)”により求める。また、C(1,−1)の輝度値は、“2*B(1,0)−A(1,1)”により求め、同様の方法により、C(2,−1)〜C(7,−1)の各値を求めることができる。また、C(0,−2)の輝度値は、“2*B(0,0)−B(0,2)”により求め、C(8,−2)の輝度値は、“2*B(8,0)−B(8,2)”により求める。また、C(1,−2)の輝度値は、“2*B(1,0)−A(1,2)”により求める。同様にC(2,−2)〜C(7,−2)の各値を求めることができる。
例えば、C(−1,0)の輝度値は、“2*B(0,0)−B(1,0)”により求め、C(−1,6)の輝度値は、“2*B(0,6)−B(1,6)”により求める。また、C(−1,1)の輝度値は、“2*B(0,1)−A(1,1)”により求め、同様の方法により、C(−1,2)〜C(−1,5)の各値を求めることができる。
最終的な処理後画像が必要な領域は元画像の領域のみであるため、ここでは図3の白い部分のみについて演算を行う。先述のように、ステップ103で行うローパスフィルタは、注目画素を中心として5×5の画素領域の平均を求め、これを注目画素の新たな輝度値とするものである。したがって、図3において、B(0,0)の画素位置における処理後の輝度値は、これを中心とする5×5の画素領域の平均であるため、
( C(-2,-2)+C(-1,-2)+C(0,-2)+C(1,-2)+C(2,-2)+C(-2,-1)+C(-1,-1)+C(0,-1)+
C(1,-1)+C(2,-1)+C(-2,0)+C(-1,0)+B(0,0)+B(1,0)+B(2,0)+C(-2,1)+C(-1,1)+B(0,1)+B(1,1)+B(2,1)+C(-2,2)+C(-1,2)+B(0,2)+B(1,2)+B(2,2) ) / 25
により求められる。以下、図3の白い部分の全てに対して同様に処理を行い、目的とする処理画像を得る。ここでは、ローパスフィルタの例として、5×5の画素領域の平均を用いる場合を示したが、ローパスフィルタの範囲を別の大きさとした場合でも、また、加重平均を用いるなどの別の手段を用いた場合であっても同様の効果を得ることができる。
図4(b)は図3の画像より上から5行目の画素を1行分抜き出し、その輝度値を高さで表現したもので、401〜408はA(0,2)〜A(7,2)を、410はB(8,2)を、411〜412はC(9,2)〜C(10,2)の輝度値を高さで示している。
C(2,−1)=2*B(2,0)−A(2,1)
という式からわかるように、B(2,0)がノイズ等によリある誤差を持っていた場合には、C(2,−1)の値はその誤差の2倍の誤差を含むこととなる。同様に、C(2,−2)も同じ誤差を持ち、103の処理時において、B(2,0)の位置の輝度を求める際には、C(2,−1)とC(2,−2)の両方を用いることから、結果にこの誤差が大きく影響することとなる。すなわち、元画像の最外周の輝度にノイズ等の誤差がある場合には、最終の処理結果に大きな影響を与えることがわかる。ステップ101の処理はこれを防止するものであり、元画像の最外周の画素に対して予めローパスフィルタを施し、ノイズの防止を図っている。
以上の様に実施例1においては、ローパスフィルタ処理する際に、画像の周囲を拡張した後にローパスフィルタ処理することにより、画像内において周辺部分も中央部分と同じ条件でローパスフィルタ処理が可能となり、周辺画素についても平均輝度を保証した好適なローパスフィルタ結果をもたらすことができる。
図5は(実施例1)に記載の画像処理方法に基づいて画像処理を実行している画像処理装置を示す。図9は欠陥検出装置502の具体的な処理方法を示している。
図9はデジタルスチルカメラ等の検査において、レンズやCCDの欠陥を検出する方法の一実施例のフローチャートである。
図6〜図8は(実施例1)に記載の画像処理方法に基づいて画像処理を実行している蛍光顕微鏡画像取得装置を示す。
キャリブレーション画像は、図6の観察対象601の代わりに、蛍光色素を一様に塗布した標準サンプルを置いて撮影を行って取得する。取得した画像は、レーザ光の照度分布を表すことから、観察対象を撮影した画像からキャリブレーション画像を、対応する画素毎に除算して、レーザ光の照度分布の影響をキャンセルするキャリブレーションを行うことができる。
ホストコンピュータ605は、キャリブレーション画像作成ルーチン606と観察画像補正ルーチン607とで構成されている。撮影した標準サンプルの画像から理想的なキャリブレーション画像を作成するキャリブレーション画像作成ルーチン606は図7に示すように構成されている。
ステップ702では、外挿により一回り大きな画像を作成する。
最後にステップ704では、ステップ703で作られた画像と元画像を画素毎に比較し、予め与えた閾値以上に違いのある画素を用いないようにして、ステップ702により生成された画像に対して再度のローパスフィルタ処理を実施する。
ステップ801では、ステップ703の結果と、元の画素の輝度を画素毎に比較する。その結果、輝度値が“10”以上違う場合には、ステップ802においてステップ703の結果の対応画素を−1とし、誤差が大きいと言う意味のマーキングとする。ここで、誤差が大きい部分は、ゴミの部分である可能性が高く、ここでのマーキングは、ごみの部分をマーキングするという意味を持つ。
この処理を元画像の全ての画素に対して行い、ステップ803において未処理の場合にはステップ801〜802を繰り返す。全ての画素において、大きな差を持つ画素のマーキングが終了した場合は、再度ローパスフィルタをやり直すために、ステップ804に処理を移す。
この値が−1のときはこの画素を無視し、−1でない場合には、ステップ806によりこの値を平均演算に利用する処理を行う。例えば、ローパスフィルタに用いる画素の数が25個あり、その中に−1であるものが2個あった場合には、残りの23個の平均値を求め、その値を注目画素の新たな輝度値にする。ステップ807では、現在の注目画素においてローパスフィルタに用いる近傍画素の全てを処理したかどうか判断し、未処理の場合はステップ805〜806を繰り返す。ステップ807において、全ての処理を終えたと判定した場合は、ステップ808において、ローパスフィルタによる結果を1画素分記録する。
201 元画像
202 最外周に位置する画素にのみローパスフィルタ処理を施した画像
301 領域拡張された中間画像
401〜412 各画素の輝度値
500 カメラ(検査対象)
501 平面板
502 欠陥検出装置
503 画像処理部
504 減算器
505 2値化回路
506 評価値演算回路
507 判定回路
601 観察対象
602 レーザ光源
603 ダイクロイックミラー
604 CCDカメラ
605 ホストコンピュータ
606 キャリブレーション画像作成ルーチン
607 観察画像補正ルーチン
Claims (14)
- 画像を多階調の輝度を持つ画素の2次元データとして扱うに際し、
元画像の最外周画素のみにローパスフィルタ処理するステップと、
前記元画像の領域を拡張するとともに、前記最外周画素と同じ行または列に属する元画素と前記最外周画素との輝度の差分値を求め、前記最外周画素からその差分値を引いた値を外挿することにより拡張した領域の輝度を求めるステップと、
前記拡張した領域を含めて元画像の領域にローパスフィルタ処理するステップと
を有する画像処理方法。 - 元画像の最外周画素のみにローパスフィルタ処理する前記ステップでは、前記元画像の最外郭画素に対して一次元的なローパスフィルタ処理する
請求項1記載の画像処理方法。 - 元画像の最外周画素のみにローパスフィルタ処理する前記ステップでは、外挿する方向に対して垂直方向に位置する画素を用いてローパスフィルタ処理する
請求項1記載の画像処理方法。 - 前記画像の領域を拡張する拡張範囲は、前記拡張した領域を含めて元画像の領域にローパスフィルタ処理する程度に応じて決定する
請求項1記載の画像処理方法。 - 前記拡張した領域を含めて元画像の領域にローパスフィルタ処理する演算に必要な周囲画素領域の大きさが縦A×横Bの大きさを持つとき、前記元画像に対して、縦をA画素、横をB画素だけ拡張する
請求項4記載の画像処理方法。 - 請求項1記載の画像処理方法によって得られた第1の処理画像と、元画像との差分を求めて第2の処理画像を得るステップをさらに備えた
請求項1記載の画像処理方法。 - 前記第2の処理画像を2値化処理して前記元画像に含まれる欠陥部分を検出する
請求項6記載の画像処理方法。 - 検査対象カメラによって検査に用いる平面板を撮影した元画像を請求項1に記載の画像処理方法によって第1の処理画像を検出する画像処理部と、
前記第1の処理画像と元画像との差分の第2の処理画像を検出する減算器と、
前記第2の処理画像を2値化した結果画像を検出する2値化回路と、
前記結果画像と品質許容基準と照らし合わせて検査対象カメラの品質の合否を判定する判定回路と
を設けた画像処理装置。 - 検査対象カメラによって検査に用いる平面板を撮影した元画像を請求項1に記載の画像処理方法によって処理して第1の処理画像P1を検出するステップと、
第1の処理画像と元画像との画素毎の差分の第2の処理画像を検出するステップと、
前記第2の処理画像に対してメディアンフィルタ処理して更に2値化した結果画像を検出するステップと、
前記結果画像に含まれる欠陥画素の総数のカウント値と品質基準の欠陥画素数とを比較し不良/良品を判定するステップと
を備えた画像処理方法。 - 画像を多階調の輝度を持つ画素の2次元データとして扱う画像処理に際し、
前記元画像の最外周画素のみにローパスフィルタ処理するステップと、
前記元画像の領域を拡張するとともに、前記最外周画素と同じ行または列に属する元画素と前記最外周画素との輝度の差分値を求め、前記最外周画素からその差分値を引いた値を外挿することにより拡張した領域の輝度を求めた第1の処理画像を求めるステップと、
前記第1の処理画像にローパスフィルタ処理した第2の処理画像を求めるステップと、
前記第2の処理画像と前記元画像を対応する画素毎に比較して前記画素毎に求めた差が予め与えた閾値よりも小さな値となる位置における第1の処理画像の画素のみを用いてローパスフィルタ処理した画像を生成するステップと
を備えた画像処理方法。 - 前記元画像の前記画素毎に求めた差が予め与えた閾値よりも小さな値となる位置における第1の処理画像の画素のみを用いてローパスフィルタ処理した画像を生成するステップが出力する画像をキャリブレーション画像とし、該キャリブレーション画像を用いて前記元画像とは別の補正対象画像を補正するステップをさらに備えた
請求項10記載の画像処理方法。 - 前記元画像以外の画像とキャリブレーション画像を画素毎に除算して前記元画像とは別の画像を補正する
請求項11記載の画像処理方法。 - 元画像の最外周画素のみにローパスフィルタ処理するステップと、
前記元画像の領域を拡張するとともに、前記最外周画素と同じ行または列に属する元画素と前記最外周画素との輝度の差分値を求め、前記最外周画素からその差分値を引いた値を外挿することにより拡張した領域の輝度を求めた第1の処理画像を求めるステップと、
前記第1の処理画像にローパスフィルタ処理して第2の処理画像を求めるステップと、
前記第2の処理画像と元画像を画素毎に比較して予め与えた閾値以上に違いのある画素を用いないようにして前記第1の処理画像に対して再度ローパスフィルタ処理するステップと
を備えた画像処理方法。 - 前記第2の処理画像と元画像を画素毎に比較して予め与えた閾値以上に違いのある画素を用いないようにして前記第1の処理画像に対して再度ローパスフィルタ処理するステップを、
前記第2の処理画像と元の画素の輝度を画素毎に比較して輝度値が規定値以上違う場合にはその対応画素にマーキングするステップと、
前記マーキングした画素を注目画素とし、その注目画素の近傍に位置するローパスフィルタに用いる画素の値を調べて平均演算に利用する処理を行い注目画素の新たな輝度値にするステップと
で構成した請求項13記載の画像処理方法。
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