JP4000178B1

JP4000178B1 - Touch panel display device and touch panel unit manufacturing method

Info

Publication number: JP4000178B1
Application number: JP2006341985A
Authority: JP
Inventors: 眞太郎柳澤
Original assignee: 株式会社テスコム
Priority date: 2006-12-19
Filing date: 2006-12-19
Publication date: 2007-10-31
Anticipated expiration: 2026-12-19
Also published as: JP2008153138A; CN101206314A; TW200828092A

Abstract

【課題】薄型化が可能なタッチパネル表示装置の構造を提供する。
【解決手段】画面表示を行う表示ユニット１の前側に設けられ、接触されることで情報の入力が行われるタッチパネルユニット１１を備えている。タッチパネルユニット１１は、表示ユニット１の前面に全面塗布された透明接着剤１７により接着されている。タッチパネルユニット１１は、表示ユニット１を覆う状態のガラスパネル１２，１３を有している。ガラスパネル１２，１３は、溶出液Ｌを噴射して自重による加速度より大きな加速度で溶出液を吹き付けて衝撃されることで表面が機械研磨されており、厚さが０．５ｍｍ以下であって、表面の最大粗さが０．５μｍ以下である平坦性を有している。
【選択図】図１PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a structure of a touch panel display device capable of being thinned.
A touch panel unit 11 is provided on the front side of a display unit 1 that performs screen display, and information is input by contact. The touch panel unit 11 is bonded to the front surface of the display unit 1 with a transparent adhesive 17 applied on the entire surface. The touch panel unit 11 includes glass panels 12 and 13 that cover the display unit 1. The glass panels 12 and 13 have their surfaces mechanically polished by spraying the eluate L and spraying the eluate with an acceleration greater than the acceleration due to their own weight, and the thickness is 0.5 mm or less. It has flatness with a maximum surface roughness of 0.5 μm or less.
[Selection] Figure 1

Description

本願の発明は、人の指又はタッチペン等を接触させることで情報の入力を行うタッチパネル表示装置に関する。 The present invention relates to a touch panel display device that inputs information by bringing a human finger or a touch pen into contact with the touch panel display device.

人の指又はタッチペン等を接触させることで情報の入力を行うタッチパネル表示装置は、画面表示を行うディスプレイに情報の入力機能も兼ね備えさせたものというべきもので、金融機関におけるキャッシュディスペンサー、駅の券売機、電子手帳等、多機能のヒューマンインターフェースとして各分野で使用が広がっている。 A touch panel display device that inputs information by touching a person's finger or touch pen, etc. should have a display function that also has an information input function. As a multifunctional human interface for machines, electronic notebooks, etc., it is widely used in various fields.

タッチパネル表示装置は、画面表示を行いつつ表面への接触によって情報の入力を行うものと定義できるが、原理的には、幾つかの異なるタイプがある。タッチパネルの代表的なものは、抵抗膜式のものである。抵抗膜式を例にして従来のタッチパネル表示装置について説明する。図１２は、抵抗膜式である従来のタッチパネル表示装置の断面概略図である。 The touch panel display device can be defined as inputting information by touching the surface while performing screen display, but there are several different types in principle. A typical touch panel is a resistive film type. A conventional touch panel display device will be described taking a resistive film type as an example. FIG. 12 is a schematic cross-sectional view of a conventional touch panel display device of a resistive film type.

図１２に示すタッチパネル表示装置は、画面表示を行う表示ユニット１と、表示ユニット１の前側に設けられ、接触されることで情報の入力が行われるタッチパネルユニットと１１を備えている。表示ユニット１は、液晶ディスプレイの場合が多いが、ＣＲＴディスプレイなどが採用されることもある。図１２に示す従来例は、液晶ディスプレイの場合であり、一対の液晶基板１９１，１９２の間に液晶１９３を封入した構造となっている。また、タッチパネルユニット１１は、一対の透明なパネル１９４，１９５を接合部１９０で接合することで貼り合わせた構造になっており、内部には多数のスペーサ１９６が封入されている。 The touch panel display device shown in FIG. 12 includes a display unit 1 that performs screen display, and a touch panel unit 11 that is provided on the front side of the display unit 1 and that inputs information by being touched. The display unit 1 is often a liquid crystal display, but a CRT display or the like may be employed. The conventional example shown in FIG. 12 is a case of a liquid crystal display, and has a structure in which a liquid crystal 193 is sealed between a pair of liquid crystal substrates 191 and 192. The touch panel unit 11 has a structure in which a pair of transparent panels 194 and 195 are bonded together by a bonding portion 190, and a large number of spacers 196 are enclosed therein.

タッチパネルユニット１１において、前面側（操作する者が位置する側）に位置するパネル（以下、前面パネル）１９４は、厚さ０．２ｍｍ程度の薄いものとなっている。前面パネル１９４は、ガラス製の場合もあるが、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）のような透明樹脂で形成されることもある。前面パネル１９４は、厚さが薄く柔らかであるため、フィルムないしシートと呼んだ方が適切な場合もある。 In the touch panel unit 11, a panel (hereinafter referred to as a front panel) 194 located on the front side (side on which an operator is located) is thin with a thickness of about 0.2 mm. The front panel 194 may be made of glass, but may be formed of a transparent resin such as PET (polyethylene terephthalate). Since the front panel 194 is thin and soft, it may be appropriate to call it a film or a sheet.

前面パネル１９４に対向したパネル（以下、主パネル）１９５は、強度を確保するため、厚さが１．１ｍｍ程度の透明なガラス板となっている。一対のパネル１９４，１９５の対向面には、ＩＴＯ（Indiun Tin Oxide）のような透明導電膜で形成された電極格子１９７，１９８が設けられている。前面パネル１９４をタッチして押圧すると、押圧された箇所では一対のパネル１９４，１９５の電極格子１９７，１９８が接触して電流が流れる。この電流を検出することで、前面パネル１９４のどの箇所がタッチされた位置が判ることになる。尚、タッチパネルユニット１１は、表示ユニット１に対して端部において固定部１９９を介して固定されている。
河村正行著「よくわかるタッチパネル」（株式会社電波新聞社発行） A panel (hereinafter referred to as main panel) 195 facing the front panel 194 is a transparent glass plate having a thickness of about 1.1 mm in order to ensure strength. Electrode lattices 197 and 198 made of a transparent conductive film such as ITO (Indiun Tin Oxide) are provided on the opposing surfaces of the pair of panels 194 and 195. When the front panel 194 is touched and pressed, the electrode grids 197 and 198 of the pair of panels 194 and 195 come into contact with each other at the pressed position and a current flows. By detecting this current, the position where the front panel 194 is touched can be determined. Note that the touch panel unit 11 is fixed to the display unit 1 via a fixing portion 199 at the end.
Masayuki Kawamura's “Touch Panel That Can Be Understood” (published by Denpa Shimbun)

上述したタッチパネルは、導電膜の光透過性向上などの技術改良が図られ、視認性、操作性などの点で優れたものが多くなってきている。これに伴い、各種の情報機器のヒューマンインターフェースとして普及が進んでいる。そして、携帯電話のような小型の情報機器にも搭載されているが、薄型化の点で課題を抱えている。 The above-described touch panels have been improved in technology such as an improvement in light transmittance of the conductive film, and many of them are excellent in terms of visibility and operability. In connection with this, it is spreading as a human interface of various information devices. And although it is mounted also on small information equipment like a mobile phone, it has a problem in the point of thickness reduction.

この課題を、上記抵抗膜式のタッチパネル表示装置を例にして説明する。上述したタッチパネル表示装置において、前面パネルは０．２ｍｍ程度のかなり薄いものを使用しているが、主パネルは１．１ｍｍ程度と相当程度厚いものとなっている。この主な理由は、機械的強度の確保のためである。タッチパネル表示装置は、指などで押圧して情報の入力を行うものであるため、繰り返しの押圧に耐えられるよう、タッチパネルユニットはある程度の剛性や機械的耐久性を持つ必要がある。このため、主パネルはガラス製であり、１．１ｍｍ程度の厚さを持っている。従って、タッチパネルユニット全体としては、厚さが１．６ｍｍ程度に達している。 This problem will be described by taking the resistive film type touch panel display device as an example. In the above-described touch panel display device, a fairly thin front panel of about 0.2 mm is used, but the main panel is considerably thick as about 1.1 mm. The main reason is to ensure mechanical strength. Since the touch panel display device inputs information by pressing with a finger or the like, the touch panel unit needs to have a certain degree of rigidity and mechanical durability so as to withstand repeated pressing. For this reason, the main panel is made of glass and has a thickness of about 1.1 mm. Therefore, the thickness of the touch panel unit as a whole reaches about 1.6 mm.

このように、従来のタッチパネル表示装置では、タッチパネルユニットの部分で厚さが薄くできていないため、携帯電話のような電子機器では薄型化が要求されているにもかかわらず、全体が厚くなってしまっている。
本願の発明は、このような課題を解決するために為されたものであり、薄型化が可能なタッチパネル表示装置の構造を提供するものであり、薄型化が要求される携帯電話のような電子機器に好適に搭載されるタッチパネル表示装置を提供する意義を有するものである。 As described above, in the conventional touch panel display device, since the thickness of the touch panel unit is not thinned, the overall thickness becomes thick even though electronic devices such as mobile phones are required to be thin. I'm stuck.
The invention of the present application has been made in order to solve such a problem, and provides a structure of a touch panel display device that can be thinned. An electronic device such as a mobile phone that is required to be thinned. The present invention has a significance of providing a touch panel display device that is suitably mounted on a device.

上記課題を解決するため、本願の請求項１記載の発明は、画面表示を行う表示ユニットと、表示ユニットの前側に設けられ、接触されることで情報の入力が行われるタッチパネルユニットとを備えたタッチパネル表示装置であって、
タッチパネルユニットは、表示ユニットの前面に全面塗布された光透過性接着材の層により接着されており、
タッチパネルユニットは、表示ユニットを覆う状態のガラスパネルを有しており、このガラスパネルは、前記接触の際に押圧されるものであり、溶出液を噴射して自重による加速度より大きな加速度で溶出液を吹き付けて衝撃されることで表面が機械研磨されており、厚さが０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であって、表面の最大粗さが０．５μｍ以下である平坦性を有しており、
光透過性接着材の層は、３０μｍ以上１００μｍ以下の厚さであるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項２記載の発明は、前記請求項１の構成において、前記ガラスパネルに加えて別のガラスパネルが設けられており、
これら二枚のガラスパネルは、電極格子が形成された面を向かい合わせた状態で貼り合わされており、
別のガラスパネルも、溶出液を噴射して自重による加速度より大きな加速度で溶出液を吹き付けて衝撃されることで表面が機械研磨されており、厚さが０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であって、表面の最大粗さが０．５μｍ以下である平坦性を有しているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項３記載の発明は、前記請求項１又は２の構成において、前記光透過性接着材の層は、５０μｍ以上７０μｍ以下の厚さであるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項４記載の発明は、前記請求項１又は２の構成において、前記光透過性接着材の層は、５０μｍ以上７０μｍ以下（但し、５０μｍを除く）の厚さであるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項５記載の発明は、接触されることで情報の入力が行われるタッチパネル表示装置に用いられ、画像表示を行う表示ユニットの前側に設けられるタッチパネルユニットの製造方法であって、
タッチパネルユニットは、表示ユニットを覆う状態となる一対のガラスパネルと、一対のガラスパネルの間に挟み込まれたテールとを備えるものであり、
複数個のタッチパネルユニットに相当する大きさを持つ一対のガラス基板のそれぞれについて表面に電極格子を形成する電極形成工程と、
電極格子が形成された一対のガラス基板を、その電極が形成された表面を向かい合わせて貼り合わせる貼り合わせ工程と、
貼り合わせ工程の後、一対のガラス基板の外面を削減する削減工程と、
削減工程の後、一対のガラス基板を切断して個々のガラスパネルユニットを得る切断工程とを有しており、
貼り合わせ工程は、テールを挟み込みながら一対のガラス基板を貼り合わせる工程であり、
削減工程は、溶出液をガラス基板の外面に向けて噴射して自重による加速度より大きな加速度で溶出液を吹き付けて衝撃されることでガラス基板の外面を機械研磨することでガラス基板の厚さを０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下に削減するとともに、表面の最大粗さが０．５μｍ以下となるよう平坦化する工程であり、この削減工程では、テールは溶出液がかからないようマスキングされるという構成を有する。 In order to solve the above problems, the invention described in claim 1 of the present application includes a display unit that performs screen display, and a touch panel unit that is provided on the front side of the display unit and that inputs information by being touched. A touch panel display device,
The touch panel unit is bonded to the front surface of the display unit with a layer of light-transmitting adhesive applied to the entire surface.
The touch panel unit has a glass panel covering the display unit, and this glass panel is pressed at the time of the contact, and the elution liquid is ejected at an acceleration larger than the acceleration due to its own weight. the sprayed be bombarded are mechanically polished surface, comprising a thickness of 0.1mm or more 0.5mm or less, the maximum roughness of the surface has a flatness is 0.5μm or less ,
The layer of the light-transmitting adhesive material has a configuration of a thickness of 30 μm or more and 100 μm or less .
Moreover, in order to solve the said subject, invention of Claim 2 is the structure of the said Claim 1, In addition to the said glass panel, another glass panel is provided,
These two glass panels are bonded together with the surfaces on which the electrode grids are formed facing each other.
Another glass panel is mechanically polished by spraying the eluate and spraying the eluate with an acceleration larger than the acceleration due to its own weight, and the thickness is 0.1 mm or more and 0.5 mm or less. The surface has a flatness with a maximum roughness of 0.5 μm or less .
In order to solve the above-mentioned problem, the invention according to claim 3 has a structure in which the light-transmitting adhesive layer has a thickness of 50 μm or more and 70 μm or less in the structure of claim 1 or 2. .
In order to solve the above problem, the invention according to claim 4 is the structure according to claim 1 or 2, wherein the light-transmitting adhesive layer has a thickness of 50 μm or more and 70 μm or less (excluding 50 μm). It has a configuration that is.
In order to solve the above-mentioned problem, the invention according to claim 5 is used in a touch panel display device in which information is input by being touched, and manufacturing a touch panel unit provided on the front side of a display unit that performs image display. A method,
The touch panel unit includes a pair of glass panels that cover the display unit and a tail sandwiched between the pair of glass panels.
An electrode forming step of forming an electrode grid on the surface of each of a pair of glass substrates having a size corresponding to a plurality of touch panel units;
A bonding step of bonding a pair of glass substrates on which the electrode grid is formed, with the surfaces on which the electrodes are formed facing each other;
After the bonding process, a reduction process for reducing the outer surfaces of the pair of glass substrates,
After the reduction step, it has a cutting step of cutting a pair of glass substrates to obtain individual glass panel units,
The bonding process is a process of bonding a pair of glass substrates while sandwiching the tail,
In the reduction process, the thickness of the glass substrate is reduced by mechanically polishing the outer surface of the glass substrate by spraying the elution solution toward the outer surface of the glass substrate and spraying the elution solution at an acceleration larger than the acceleration due to its own weight. This is a process of reducing the thickness to 0.1 mm or more and 0.5 mm or less and flattening so that the maximum surface roughness is 0.5 μm or less. In this reduction process, the tail is masked so that no eluate is applied. Have

以下に説明する通り、本願の各請求項記載の発明によれば、ガラスパネルの強度を十分に確保しつつ厚さを薄くし且つ表面平坦性を高くできる。このため、薄型化が要求される携帯電話のような電子機器に好適に搭載されるタッチパネル表示装置が提供される。 As described below, according to the invention described in each claim of the present application, it is possible to reduce the thickness and increase the surface flatness while sufficiently securing the strength of the glass panel. Therefore, a touch panel display device that is suitably mounted on an electronic device such as a mobile phone that is required to be thin is provided.

本願発明を実施するための最良の形態（以下、実施形態）について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本願発明の実施形態に係るタッチパネル表示装置の断面概略図である。図１に示すタッチパネル表示装置は、画面表示を行う表示ユニット１と、表示ユニット１の前側に設けられ、接触されることで情報の入力が行われるタッチパネルユニット１１とを備えている。 The best mode for carrying out the present invention (hereinafter referred to as an embodiment) will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a touch panel display device according to an embodiment of the present invention. The touch panel display device shown in FIG. 1 includes a display unit 1 that performs screen display, and a touch panel unit 11 that is provided on the front side of the display unit 1 and that inputs information by being touched.

表示ユニット１としては、本実施形態では、液晶ディスプレイが想定されており、一対のガラス基板１９１、１９２の間に液晶１９３を封入した構造である。本実施形態では特に薄型の液晶ディスプレイが好適に採用されるが、携帯電話等で採用されているものと同様で良いので、詳細な説明は割愛する。尚、液晶ディスプレイの他、有機ＥＬディスプレイ等でも薄型のものが開発されているので、そのようなものが使用されることもある。
タッチパネルユニット１１は、表示ユニット１を覆う少なくとも一枚のガラスパネルを有している。本実施形態では、タッチパネルユニット１１は抵抗膜式のものとなっており、一対のガラスパネル１２，１３を有している。一対のガラスパネル１２，１３の対向面には、ＩＴＯのような透明導電膜で形成された電極格子１４，１５が設けられている。 In the present embodiment, a liquid crystal display is assumed as the display unit 1 and has a structure in which a liquid crystal 193 is sealed between a pair of glass substrates 191 and 192. In the present embodiment, a thin liquid crystal display is particularly preferably used, but since it may be the same as that used in a mobile phone or the like, a detailed description is omitted. In addition to the liquid crystal display, an organic EL display or the like has been developed as a thin type, and such a display may be used.
The touch panel unit 11 has at least one glass panel that covers the display unit 1. In the present embodiment, the touch panel unit 11 is a resistive film type and has a pair of glass panels 12 and 13. On the opposing surfaces of the pair of glass panels 12 and 13, electrode grids 14 and 15 formed of a transparent conductive film such as ITO are provided.

電極格子１４，１５は、透明導電膜をスパッタリングのような成膜技術によって作成した後、フォトリソグラフィによってパターニングすることで形成される。電極格子１４，１５の材料や構造は、従来のタッチパネルユニットと同様で良いので、詳細な説明は割愛する。尚、電極格子１４，１５の表面に凹凸が形成される場合もある。これは、タッチされた場合、電極格子１４，１５が接触し易くするためである。 The electrode grids 14 and 15 are formed by forming a transparent conductive film by a film forming technique such as sputtering and then patterning it by photolithography. Since the material and structure of the electrode grids 14 and 15 may be the same as those of the conventional touch panel unit, a detailed description is omitted. Note that irregularities may be formed on the surfaces of the electrode grids 14 and 15. This is to make the electrode grids 14 and 15 easier to touch when touched.

一対のガラスパネル１２，１３は、ホウ珪酸ガラス又はソーダガラス等である。一対のガラスパネル１２，１３は、弾性を有するスペーサ１６を介在させながら、接合部１０で接着されることで貼り合わせされている。尚、接合部１０における接着には、表示ユニット１による表示エリアに重なる場合等、必要に応じて透明接着剤が使用される。スペーサ１６及び貼り合わせについても、従来のガラスパネルユニットと同様で良いので、詳細な説明は割愛する。尚、スペーサは、接合部１０に混ぜて設けられる場合もある。 The pair of glass panels 12 and 13 are borosilicate glass or soda glass. The pair of glass panels 12 and 13 are bonded together by being bonded at the joint 10 while interposing an elastic spacer 16. Note that a transparent adhesive is used for bonding at the joint 10 as necessary, for example, when the display unit 1 overlaps the display area. Since the spacer 16 and the bonding may be the same as those of the conventional glass panel unit, a detailed description is omitted. Note that the spacer may be provided in the joint 10 in a mixed manner.

本実施形態のタッチパネルユニット１１の大きな特徴点の一つは、各ガラスパネル１２，１３が、必要な強度を保ちつつ、厚さ（図１にｔ１，ｔ２で示す）が０．５ｍｍ以下と薄くなっており、且つ最大粗さ（図１にＲｍａｘで示す）が０．５μｍ以下という表面平坦性を有している点である。以下、この点について説明する。
前述したように、ガラス板は厚さを薄くするとどうしても強度が低下する。本実施形態では、ある特殊な加工によりガラス板の厚さを削減することで必要な強度と表面の平坦性を確保したものを採用している。 One of the major features of the touch panel unit 11 of the present embodiment is that the glass panels 12 and 13 have the required strength and the thickness (indicated by t1 and t2 in FIG. 1) is as thin as 0.5 mm or less. The surface roughness is such that the maximum roughness (indicated by Rmax in FIG. 1) is 0.5 μm or less. Hereinafter, this point will be described.
As described above, the strength of the glass plate is inevitably lowered when the thickness is reduced. In this embodiment, the thing which ensured required intensity | strength and surface flatness by reducing the thickness of a glass plate by a certain special process is employ | adopted.

図２は、図１に示すガラスパネル１２，１３を製作する際の加工方法について概略的に示した図である。本実施形態におけるガラスパネル１２，１３は、溶出液を噴射して自重による加速度より大きな加速度で溶出液を吹き付けて衝撃されることで表面が機械研磨されている。また、より均一に研磨を行うため、ガラスパネル１２，１３を、溶出液を噴射するノズル４の噴射孔に対して相対的に機械的に移動させながら、噴射された溶出液でガラスパネル１２，１３を衝撃する。
尚、「機械研磨」とは、吹き付け圧力という溶出液の物理的な作用を利用した研磨であるという意味と、研磨の際にガラスパネル１２，１３が機械的に移動するという意味とを併せ持つ。「機械的に移動する」とは、「機械を利用して移動する」との意味である。 FIG. 2 is a view schematically showing a processing method when manufacturing the glass panels 12 and 13 shown in FIG. The glass panels 12 and 13 in the present embodiment are mechanically polished by spraying the eluate and spraying the eluate at an acceleration larger than the acceleration due to its own weight. Further, in order to perform polishing more uniformly, the glass panels 12, 13 are mechanically moved relative to the injection holes of the nozzle 4 for injecting the eluate while the glass panel 12, Shock 13
Note that “mechanical polishing” has both the meaning of polishing utilizing the physical action of the eluate, called the spraying pressure, and the meaning that the glass panels 12 and 13 move mechanically during polishing. “Move mechanically” means “move using a machine”.

溶出液としては、フッ酸のような強酸が使用される。フッ酸の場合、例えば水１００に対して１０〜５０％程度（体積百分率）に希釈して使用される。衝撃圧力は、貼り合わせガラスパネル１２，１３の表面上で０．５ｋｇ／ｃｍ^２〜３．５ｋｇ／ｃｍ^２である。
ノズル４から噴射された溶出液により衝撃された外面は、溶出液に溶かし出され、かつ溶出液の衝撃により流出していく。これにより表面が機械研磨され、ガラスパネル１２，１３の厚さが薄くなる。 A strong acid such as hydrofluoric acid is used as the eluent. In the case of hydrofluoric acid, for example, it is diluted to about 10 to 50% (volume percentage) with respect to water 100 and used. Impact pressure is 0.5kg ^/ cm ² ~3.5kg ^/ cm 2 on the surface of the glass panel 12, 13 bonded.
The outer surface impacted by the eluate sprayed from the nozzle 4 is dissolved in the eluate and flows out due to the impact of the eluate. As a result, the surface is mechanically polished, and the thickness of the glass panels 12 and 13 is reduced.

このように溶出液を使用した機械研磨によると、ガラスパネル１２，１３の強度を十分に確保しつつ厚さを薄くし且つ表面平坦性を高くできる。この点について図３を使用して説明する。図３は、溶出液を使用した機械研磨の作用効果について示した図である。
一般にガラスは破損に弱いが、その理由の一つは、表面に存在するマイクロクラックである。ガラス板の製法としては、フロート法が主流であり、ヒュージョン法、ダウンロード法なども実用化されているが、いずれにしても製造されたガラス板の表面には、図３（１）に示すように小さな傷（マイクロクラック）１００が多数形成されている。このため、薄い厚さのものを製造すると、どうしても強度が弱くなる。 Thus, according to the mechanical polishing using the eluent, it is possible to reduce the thickness and increase the surface flatness while sufficiently securing the strength of the glass panels 12 and 13. This point will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a diagram showing the effect of mechanical polishing using the eluent.
Glass is generally vulnerable to breakage, one of which is due to microcracks present on the surface. As the glass plate manufacturing method, the float method is the mainstream, and the fusion method, the download method, etc. have been put into practical use, but in any case, the surface of the manufactured glass plate is as shown in FIG. Many small scratches (microcracks) 100 are formed. For this reason, when a thin product is manufactured, the strength is inevitably reduced.

一方、上述したような溶出液を使用した機械研磨加工により厚さを薄くすると、図３（２）に示すように、マイクロクラック１００が形成されていた表面層が溶かし出されて除去される。従って、削減後のガラスパネル１２，１３の表面はマイクロクラックの無い状態となる。従って、厚さが薄くなっても十分な強度が確保される。尚、ガラス板の厚さを薄くする技術としては、リードロー法（熱圧延法）などがあるが、このような方法でも、薄くなったガラス板の表面に依然としてマイクロクラックが形成されているので、十分な強度が確保できない。 On the other hand, when the thickness is reduced by mechanical polishing using the eluent as described above, the surface layer on which the microcracks 100 are formed is melted and removed as shown in FIG. Therefore, the surfaces of the glass panels 12 and 13 after reduction are in a state free from microcracks. Therefore, sufficient strength is ensured even when the thickness is reduced. In addition, as a technique for reducing the thickness of the glass plate, there is a Reed low method (hot rolling method), but even with such a method, microcracks are still formed on the surface of the thinned glass plate, Sufficient strength cannot be secured.

言い換えると、現状のガラス板の製造方法及びガラス板の削減加工方法においては、本実施形態のような溶出液を使用した機械研磨によらなければ、表面にマイクロクラックが形成されていない状態で、厚さ０．５ｍｍ以下、最大粗さ０．５μｍ以下のガラス板を得ることは不可能である。従って、溶出液を使用した機械研磨法により厚さ０．５ｍｍ以下最大粗さ０．５μｍ以下としたガラス板と、溶出液を使用した機械研磨法によらずに厚さ０．５ｍｍ以下最大粗さ０．５μｍ以下としたガラス板とは、表面にマイクロクラックが形成されているか否かによって明確に峻別できる。 In other words, in the current glass plate manufacturing method and glass plate reduction processing method, unless mechanical polishing using the eluent as in the present embodiment is used, in a state where microcracks are not formed on the surface, It is impossible to obtain a glass plate having a thickness of 0.5 mm or less and a maximum roughness of 0.5 μm or less. Therefore, a glass plate having a thickness of 0.5 mm or less and a maximum roughness of 0.5 μm or less by a mechanical polishing method using an eluate, and a maximum roughness of 0.5 mm or less regardless of a mechanical polishing method using an eluate. The glass plate having a thickness of 0.5 μm or less can be clearly distinguished depending on whether or not microcracks are formed on the surface.

また、表面平坦性は、後述するようにノズル４の配置や噴射強度を適宜選定することで確保される。表面平坦性が悪いと、ガラスパネル１２，１３を光が通過する際に微妙に光が屈折し、これが原因で視認性が悪くなる。つまり、タッチパネル表示装置を見た者にとって、画面にムラがあるように感じられる。本実施形態によれば、最大粗さＲｍａｘが０．５μｍ以下であるので、このような問題はない。尚、最大粗さが０．１μｍ以下であるとより好ましく、後述するガラス研磨機を使用すると、０．１μｍ以下の最大粗さを実現することも可能である。
また、ガラスパネル１２，１３は、搭載される機器の薄型化の要請に応じて薄ければ薄いほど好ましい。しかし、強度の点から限界があり、材質などにもよるが、厚さの下限は０．１ｍｍ程度であり、０．１ｍｍ以上の厚さとすることが好ましい。 Further, the surface flatness is ensured by appropriately selecting the arrangement of the nozzles 4 and the jetting strength as will be described later. If the surface flatness is poor, the light is slightly refracted when the light passes through the glass panels 12 and 13, and this causes poor visibility. That is, it is felt that the screen is uneven for those who have seen the touch panel display device. According to this embodiment, since the maximum roughness Rmax is 0.5 μm or less, there is no such problem. The maximum roughness is more preferably 0.1 μm or less, and the maximum roughness of 0.1 μm or less can be realized by using a glass polishing machine described later.
Further, the glass panels 12 and 13 are preferably as thin as possible in response to a request for thinning the equipment to be mounted. However, there is a limit in terms of strength, and depending on the material, etc., the lower limit of the thickness is about 0.1 mm, and a thickness of 0.1 mm or more is preferable.

本実施形態のもう一つの大きな特徴点は、上述したタッチパネルユニット１１が表示ユニット１に対して全面接着により固定されている点である。即ち、図１に示すように、タッチパネルユニット１１と表示ユニット１は、界面の全面に接着材１７を付着させた状態で接着されている。
この接着材１７としては、表示ユニット１の前面を覆うものであるため、十分な光透過性を有するものが採用される。例えば、協立化学産業株式会社製のＸＶＬ−９０が使用できる。接着材１７の層の厚さは３０μｍ〜１００μ程度である。接着材１７の層は、必要な接着強度を確保しつつできるだけ薄くすることが好ましく、５０μｍ〜７０μｍの範囲とすることがより好ましい。 Another major feature of the present embodiment is that the touch panel unit 11 described above is fixed to the display unit 1 by whole surface adhesion. That is, as shown in FIG. 1, the touch panel unit 11 and the display unit 1 are bonded together with the adhesive 17 attached to the entire interface.
As this adhesive material 17, since it covers the front surface of the display unit 1, an adhesive material having sufficient light transmittance is adopted. For example, XVL-90 manufactured by Kyoritsu Chemical Industry Co., Ltd. can be used. The thickness of the layer of the adhesive 17 is about 30 μm to 100 μm. The layer of the adhesive 17 is preferably as thin as possible while ensuring the necessary adhesive strength, and more preferably in the range of 50 μm to 70 μm.

このように、タッチパネルユニット１１と表示ユニット１とは光透過性接着材１７により全面接着されているので、タッチパネルユニット１１の強度が高くなっている。図１２に示す従来のように、タッチパネルユニット１１が表示ユニット１に対して端部において固定部１９９で固定されていて、両者の間に空洞が形成されている場合、タッチ時の押圧力に耐えるために主パネル１９５は相当程度厚くしなければならない。一方、本実施形態では、タッチパネルユニット１１が表示ユニット１に対して全面接着されているので、主パネルの厚さが薄くなっても十分な耐タッチ強度が確保されている。つまり、タッチの際の押圧力は、表示ユニット１で受けるようになっており、表示ユニット１を機器に対して適切に取り付けることで十分な耐タッチ強度が確保されるようになっている。 As described above, since the entire surface of the touch panel unit 11 and the display unit 1 is bonded by the light transmissive adhesive material 17, the strength of the touch panel unit 11 is increased. As shown in FIG. 12, when the touch panel unit 11 is fixed to the display unit 1 at the end by a fixing portion 199 and a cavity is formed between the two, it can withstand the pressing force at the time of touch. Therefore, the main panel 195 must be considerably thickened. On the other hand, in the present embodiment, since the entire touch panel unit 11 is bonded to the display unit 1, a sufficient touch resistance is ensured even when the thickness of the main panel is reduced. That is, the pressing force at the time of touch is received by the display unit 1, and sufficient touch-proof strength is ensured by appropriately attaching the display unit 1 to the device.

上記実施形態のタッチパネル表示装置によれば、ガラスパネル１２，１３が０．５ｍｍ以下と非常に薄いので、タッチパネルユニット１１全体の厚さも薄くでき、結果的に装置全体の厚さも薄くできる。具体的には、各ガラスパネル１２，１３の厚さを０．２ｍｍとすると、タッチパネルユニット１１の厚さは０．５ｍｍ程度となる。そして、表示ユニット１として薄型の液晶ディスプレイを採用すれば、タッチパネル表示装置全体の厚さは例えば１．６ｍｍ程度まで薄くできる。このため、携帯電話のような薄型化が要求されている電子機器のヒューマンインターフェースとして好適に採用できる。 According to the touch panel display device of the above embodiment, since the glass panels 12 and 13 are very thin as 0.5 mm or less, the thickness of the entire touch panel unit 11 can be reduced, and as a result, the thickness of the entire device can also be reduced. Specifically, when the thickness of each glass panel 12 and 13 is 0.2 mm, the thickness of the touch panel unit 11 is about 0.5 mm. And if a thin liquid crystal display is employ | adopted as the display unit 1, the thickness of the whole touch panel display apparatus can be thinned to about 1.6 mm. For this reason, it can be suitably employed as a human interface for electronic devices that are required to be thin, such as mobile phones.

この際、各ガラスパネル１２，１３は、溶出液を使用した機械研磨法により削減されているので、表面にマイクロクラックが無く、薄くなっても十分な強度が確保されている。さらに、タッチパネルユニット１１と表示ユニット１とは透明接着材１７により全面接着されているので、この点でもタッチパネルユニット１１の強度が高くなっている。そして、ガラスパネル１２，１３の最大粗さが０．５μｍ以下と高いので、表示ムラが無く、視認性の高いタッチパネル表示装置が提供される。 At this time, since the glass panels 12 and 13 are reduced by a mechanical polishing method using an eluate, there are no microcracks on the surface, and sufficient strength is ensured even when the glass panels 12 and 13 are thinned. Furthermore, since the entire surface of the touch panel unit 11 and the display unit 1 is bonded by the transparent adhesive 17, the strength of the touch panel unit 11 is high in this respect as well. And since the maximum roughness of the glass panels 12 and 13 is as high as 0.5 micrometer or less, there is no display nonuniformity and a touch panel display device with high visibility is provided.

次に、抵抗膜式以外のタッチパネル表示装置の実施形態について説明する。図４は、抵抗膜式以外のタッチパネル表示装置の実施形態について示した概略図である。
図４（１）には、静電容量式のタッチパネルユニットの断面概略図が示されている。図４（１）に示すように、静電容量式では、タッチパネルユニットは、ガラスパネル１０１と、ガラスパネル１０１の表面に形成された導電膜１０２と、導電膜１０２の上に形成された表面膜１０３とから成っている。表面膜１０３は、反射防止膜又は防汚膜である。ガラスパネル１０１の裏面にシールド用の導電膜が形成されることもある。 Next, an embodiment of a touch panel display device other than the resistance film type will be described. FIG. 4 is a schematic view showing an embodiment of a touch panel display device other than the resistive film type.
FIG. 4 (1) shows a schematic cross-sectional view of a capacitive touch panel unit. As shown in FIG. 4A, in the capacitive type, the touch panel unit includes a glass panel 101, a conductive film 102 formed on the surface of the glass panel 101, and a surface film formed on the conductive film 102. 103. The surface film 103 is an antireflection film or an antifouling film. A shielding conductive film may be formed on the back surface of the glass panel 101.

このような静電容量式のタッチパネルでは、ガラスパネル１０１に沿って低い電界が印加され、タッチした人間の指とガラスパネル１０１との間に形成されるコンデンサに流れる微弱な充電電流を捉えて情報の入力が行われる。本実施形態のタッチパネルユニットにおいて、ガラスパネル１０１は、前述した抵抗膜式の主パネルと同様に、溶出液を噴射して自重による加速度より大きな加速度で溶出液を吹き付けて衝撃されることで表面が機械研磨されており、厚さが０．５ｍｍ以下であって、表面の最大粗さが０．５μｍ以下である平坦性を有している。 In such a capacitive touch panel, a low electric field is applied along the glass panel 101, and information is obtained by capturing a weak charging current flowing in a capacitor formed between the touched human finger and the glass panel 101. Is entered. In the touch panel unit of this embodiment, the surface of the glass panel 101 is sprayed and sprayed with an elution liquid at an acceleration larger than the acceleration due to its own weight, as in the case of the resistive film main panel described above. It is mechanically polished and has a flatness with a thickness of 0.5 mm or less and a maximum surface roughness of 0.5 μm or less.

また、図４（２ａ）には、表面弾性波式のタッチパネルユニットの平面概略図が示され、図４（２ｂ）には、表面弾性波式のタッチパネルユニットの断面概略図が示されている。図４（２ａ）に示すように、表面弾性波式のタッチパネルユニットは、方形なガラスパネル１０４の隅にＸ方向発振子１０５が設けられ、この隅とは対角の隅にＹ方向発振子１０６が設けられる。そして、別の隅にＸ方向受信子１０７とＹ方向受信子１０８が設けられる。さらに、ガラスパネル１０４の周縁に沿って反射アレイ１０９が形成されている。反射アレイ１０９は、Ｘ方向又はＹ方向に対して４５度の各度を持った多数の共振子が並んで配置されたものである。ガラスパネル１０４の表面には、反射防止や防汚のため表面膜が形成されることがある。 4 (2a) shows a schematic plan view of a surface acoustic wave type touch panel unit, and FIG. 4 (2b) shows a schematic cross-sectional view of the surface acoustic wave type touch panel unit. As shown in FIG. 4 (2a), the surface acoustic wave type touch panel unit is provided with an X-direction oscillator 105 at a corner of a rectangular glass panel 104, and a Y-direction oscillator 106 at a corner opposite to this corner. Is provided. And the X direction receiver 107 and the Y direction receiver 108 are provided in another corner. Further, a reflection array 109 is formed along the periphery of the glass panel 104. The reflection array 109 has a large number of resonators arranged at 45 degrees with respect to the X direction or the Y direction. A surface film may be formed on the surface of the glass panel 104 for antireflection or antifouling.

各発振子１０５，１０６から超音波が発せられると、反射アレイ１０９を通して伝搬しながら、９０度反射して方形の内側方向に向けて伝搬し、ガラスパネル１０４の表面を弾性波として広がる。ガラスパネル１０４を指でタッチすると（ガラスパネル１０４の上に表面膜が形成されている場合にはその表面膜をタッチすると）、表面弾性波が指に吸収され、受信子に届いた表面弾性波は弱いものとなる。その弱い弾性波が届いた時間を計測することで、どこでタッチされたのかが判り、情報の入力が行える。 When an ultrasonic wave is emitted from each of the oscillators 105 and 106, while propagating through the reflection array 109, it is reflected by 90 degrees and propagates toward the inner side of the square, and spreads on the surface of the glass panel 104 as an elastic wave. When the glass panel 104 is touched with a finger (if a surface film is formed on the glass panel 104, the surface film is touched), the surface acoustic wave is absorbed by the finger and reaches the receiver. Will be weak. By measuring the time when the weak elastic wave arrives, it is possible to know where it was touched and to input information.

このような表面弾性波式のタッチパネルユニットも、ガラスパネル１０４は表示ユニットを覆う状態となる。このガラスパネル１０４は、上記各実施形態と同様、溶出液を噴射して自重による加速度より大きな加速度で溶出液を吹き付けて衝撃されることで表面が機械研磨されており、厚さが０．５ｍｍ以下であって、表面の最大粗さが０．５μｍ以下である平坦性を有している。 Also in such a surface acoustic wave type touch panel unit, the glass panel 104 covers the display unit. As in the above embodiments, the surface of the glass panel 104 is mechanically polished by spraying the eluate and spraying the eluate with an acceleration larger than the acceleration due to its own weight, and the thickness is 0.5 mm. The flatness is such that the maximum roughness of the surface is 0.5 μm or less.

図４（３）には、光学式のタッチパネルユニットの断面概略図が示されている。光学式のタッチパネルユニットは、ガラスパネル１１０の縦横の四つの辺のうち縦方向の一辺と横方向の一辺に発光器（通常はＬＥＤ）１１１が設け、縦横の他方の辺には受光器１１２が設けられる。ガラスパネル１１０の表面をタッチすると、タッチされた位置で光が遮られる。従って、受光器１１２への光の入射状況からどの位置でタッチされたか判り、これにより情報の入力を行うことができる。 FIG. 4 (3) shows a schematic cross-sectional view of an optical touch panel unit. The optical touch panel unit includes a light emitter (usually an LED) 111 on one side in the vertical direction and one side in the horizontal direction among the four vertical and horizontal sides of the glass panel 110, and a light receiver 112 on the other side in the vertical and horizontal directions. Provided. When the surface of the glass panel 110 is touched, light is blocked at the touched position. Therefore, it is possible to know where the light is touched from the incident state of the light to the light receiver 112 and thereby input information.

本実施形態の光学式タッチパネルユニットでも、ガラスパネル１１０は表示ユニットを覆う状態となる。そして、このるガラスパネル１１０は、上記各実施形態と同様、溶出液を噴射して自重による加速度より大きな加速度で溶出液を吹き付けて衝撃されることで表面が機械研磨されており、厚さが０．５ｍｍ以下であって、表面の最大粗さが０．５μｍ以下である平坦性を有している。 Even in the optical touch panel unit of the present embodiment, the glass panel 110 covers the display unit. The glass panel 110 has a mechanically polished surface by spraying the eluate and spraying the eluate with an acceleration larger than the acceleration due to its own weight, as in the above embodiments. The flatness is 0.5 mm or less and the maximum roughness of the surface is 0.5 μm or less.

図４に示した各実施形態の他、タッチペンを使用する電磁誘導式のタッチパネルユニットやタッチ画像をカメラで撮像してタッチ位置を検出する画像認識式のタッチパネルユニットなどが知られている。これらのタッチパネルユニットにおいても表示ユニットを覆う状態となる少なくとも一枚のガラスパネルがあり、このガラスパネルは、溶出液を噴射して自重による加速度より大きな加速度で溶出液を吹き付けて衝撃されることで表面が機械研磨されており、厚さが０．５ｍｍ以下であって、表面の最大粗さが０．５μｍ以下である平坦性を有するものとされる。 In addition to the embodiments shown in FIG. 4, an electromagnetic induction type touch panel unit using a touch pen, an image recognition type touch panel unit that detects a touch position by capturing a touch image with a camera, and the like are known. These touch panel units also have at least one glass panel that covers the display unit. This glass panel is sprayed with the eluate and sprayed with the eluate at an acceleration greater than the acceleration due to its own weight. The surface is mechanically polished and has a flatness with a thickness of 0.5 mm or less and a maximum surface roughness of 0.5 μm or less.

次に、タッチパネルユニット製造方法の発明の実施形態及びこの方法に使用されるガラス研磨機について説明する。以下の説明は、上述したガラスパネルの機械研磨のさらに具体的な説明も含んでいる。
図５は、実施形態に係るタッチパネルユニット製造方法の概略図である。図５に示す方法は、少なくとも一枚の大きなガラス基板を使用してタッチユニット原盤を製作する。タッチユニット原盤とは、製品としてのタッチパネルユニット１１の構造をガラス基板の個々の領域に作り込んだものを指しており、切断して個々の領域にすることで複数のタッチパネルユニット１１ができあがるものを指している。以下の説明では、一例として、前述したのと同様、抵抗膜式のタッチパネルユニット１１を採り上げる。 Next, an embodiment of the touch panel unit manufacturing method and a glass polishing machine used in this method will be described. The following description includes a more specific description of the above-described mechanical polishing of the glass panel.
FIG. 5 is a schematic diagram of the touch panel unit manufacturing method according to the embodiment. In the method shown in FIG. 5, a touch unit master is manufactured using at least one large glass substrate. The touch unit master refers to a structure in which the structure of the touch panel unit 11 as a product is built in each region of the glass substrate, and a plurality of touch panel units 11 are formed by cutting into individual regions. pointing. In the following description, as an example, the resistive film type touch panel unit 11 is taken up as described above.

図５に示すように、実施形態のタッチパネルユニット製造方法は、タッチユニット原盤製造工程と、タッチユニット原盤１２０の外面を溶出液を使用して機械研磨して厚さを削減する削減工程と、タッチユニット原盤１２０を分断して個々のタッチパネルユニット１１を得る分断工程とを含んでいる。
タッチユニット原盤製造工程は、タッチユニット原盤に相当する大きさの一対のガラス基板１８１，１８２の表面に電極格子１４，１５を形成する電極形成工程と、電極格子１４，１５が形成された一対のガラス基板１８１，１８２をスペーサ１６を介して貼り合わせる貼り合わせ工程とを含んでいる。 As shown in FIG. 5, the touch panel unit manufacturing method of the embodiment includes a touch unit master manufacturing process, a reduction process of reducing the thickness by mechanically polishing the outer surface of the touch unit master 120 using an eluent, And a dividing step of dividing the unit master 120 to obtain individual touch panel units 11.
The touch unit master manufacturing process includes an electrode forming process for forming electrode grids 14 and 15 on the surface of a pair of glass substrates 181 and 182 having a size corresponding to the touch unit master, and a pair of electrode grids 14 and 15 formed thereon. A bonding step of bonding the glass substrates 181 and 182 through the spacer 16.

電極形成工程は、ＩＴＯのような透明導電膜をスパッタリング等の成膜技術によりガラス基板１８１，１８２の表面に作成し、フォトリソグラフィによって所定のパターンの電極格子１４，１５を形成する工程である。貼り合わせ工程では、一対のガラス基板１８１，１８２は、電極格子１４，１５を形成した面を向かい合わせて接着剤により貼り合わされる。貼り合わせの際、向かい合う電極格子１４，１５が所定の位置関係になるようにし、タッチされた際に機能層として機能するようにする。これらの工程は、従来のタッチパネルユニット１１の製造と同様で良い。 The electrode forming step is a step of forming a transparent conductive film such as ITO on the surfaces of the glass substrates 181 and 182 by a film forming technique such as sputtering, and forming electrode grids 14 and 15 having a predetermined pattern by photolithography. In the bonding process, the pair of glass substrates 181 and 182 are bonded with an adhesive with the surfaces on which the electrode grids 14 and 15 are formed facing each other. At the time of bonding, the electrode grids 14 and 15 facing each other are in a predetermined positional relationship so as to function as a functional layer when touched. These steps may be the same as the manufacturing of the conventional touch panel unit 11.

次に、削減工程について説明する。
図５に示すように、本実施形態のタッチパネルユニット製造方法では、タッチユニット原盤１２０を組み立てた後にガラスパネル１２，１３の削減を行う。従って、溶出液Ｌを噴射しての研磨の対象は、タッチユニット原盤１２０においては外側の表面（外面）ということになる。 Next, the reduction process will be described.
As shown in FIG. 5, in the touch panel unit manufacturing method of the present embodiment, the glass panels 12 and 13 are reduced after the touch unit master 120 is assembled. Therefore, the object to be polished by spraying the eluent L is the outer surface (outer surface) in the touch unit master 120.

図６は、実施形態の方法に使用されるガラス研磨機の正面断面概略図、図７は図６に示す装置の側面断面概略図である。図６及び図７に示すガラス研磨機は、内部で機械研磨処理が行われる処理チャンバー２と、処理チャンバー２内の所定位置にタッチユニット原盤１２０を保持する原盤保持具３と、原盤保持具３に保持されたタッチユニット原盤１２０の外面に向けて溶出液Ｌを噴射する位置に設けられたノズル４と、ノズル４に溶出液Ｌを供給する溶出液供給系５とを備えている。 FIG. 6 is a schematic front sectional view of a glass polishing machine used in the method of the embodiment, and FIG. 7 is a schematic side sectional view of the apparatus shown in FIG. The glass polishing machine shown in FIGS. 6 and 7 includes a processing chamber 2 in which a mechanical polishing process is performed, a master holder 3 that holds the touch unit master 120 at a predetermined position in the processing chamber 2, and a master holder 3 The nozzle 4 is provided at a position for spraying the eluate L toward the outer surface of the touch unit master 120 held by the eluent, and the eluate supply system 5 for supplying the eluate L to the nozzle 4.

処理チャンバー２には、タッチユニット原盤１２０を搬入する搬入口２１と、機械研磨処理後にタッチユニット原盤１２０を搬出する搬出口２２とを備えている。搬入口２１及び搬出口２２は、封鎖ゲート２３で開閉されるようになっている。尚、開閉は、封鎖ゲート２３を搬送方向に垂直な水平方向（図６の紙面垂直方向）に移動させることで行わせる。
この装置は、溶出液が噴射されるタッチユニット原盤１２０を、ノズル４の噴射孔に対して相対的に機械的に移動させる移動機構を備えている。この移動機構に兼用されるものとして、搬入口２１及び搬出口２２を通してタッチユニット原盤１２０を搬送する搬送機構３０が設けられている。原盤保持具３は、搬送機構３０を構成する部材として設けられている。図８は、図６及び図７に示す装置における原盤保持具３の斜視概略図である。 The processing chamber 2 includes a carry-in port 21 for carrying in the touch unit master 120 and a carry-out port 22 for carrying out the touch unit master 120 after the mechanical polishing process. The carry-in port 21 and the carry-out port 22 are opened and closed by a blocking gate 23. The opening / closing operation is performed by moving the blocking gate 23 in a horizontal direction (vertical direction in FIG. 6) perpendicular to the transport direction.
This apparatus includes a moving mechanism that mechanically moves the touch unit master 120 on which the eluate is ejected relative to the ejection hole of the nozzle 4. A transfer mechanism 30 that transfers the touch unit master 120 through the carry-in port 21 and the carry-out port 22 is also used as the moving mechanism. The master holder 3 is provided as a member constituting the transport mechanism 30. FIG. 8 is a schematic perspective view of the master holder 3 in the apparatus shown in FIGS. 6 and 7.

図８に示すように、原盤保持具３は、タッチユニット原盤１２０をほぼ垂直に立てて保持する部材である。原盤保持具３は、は、水平な姿勢のベース板３１と、ベース板３１に立設された支柱３２と、支柱３２に取り付けられた緩衝具３３とから主に構成されている。
支柱３２は、細長い長方形のベース板３１の角の部分にそれぞれ設けられており、計４本設けられている。ベース板３１の長辺方向に沿って延びる梁部材３４が設けられており、各支柱３２の上端をつないで原盤保持具３を補強している。各支柱３２は、立てられたタッチユニット原盤１２０より少し高さが高い。ベース板３１の短辺における二本の支柱３２の間隔は、タッチユニット原盤１２０の厚さより少し大きい。ベース板３１の長辺方向における二本の支柱３２の間隔は、タッチユニット原盤１２０の長さより少し長い。タッチユニット原盤１２０は、これらの支柱３２で出来た空間に挿入されるようにして保持される。 As shown in FIG. 8, the master holder 3 is a member that holds the touch unit master 120 in a substantially vertical position. The master holder 3 is mainly composed of a base plate 31 in a horizontal posture, a support column 32 erected on the base plate 31, and a shock absorber 33 attached to the support column 32.
The support columns 32 are respectively provided at the corners of the elongated rectangular base plate 31, and a total of four support columns 32 are provided. A beam member 34 extending along the long side direction of the base plate 31 is provided, and the upper end of each column 32 is connected to reinforce the master holder 3. Each column 32 is slightly higher than the standing touch unit master 120. The distance between the two support columns 32 on the short side of the base plate 31 is slightly larger than the thickness of the touch unit master 120. The distance between the two support columns 32 in the long side direction of the base plate 31 is slightly longer than the length of the touch unit master 120. The touch unit master 120 is held so as to be inserted into a space formed by these columns 32.

緩衝具３３は、タッチユニット原盤１２０に直接接触する部材であり、タッチユニット原盤１２０がぐらつかないようにするものである。緩衝具３３は、溶出液Ｌに対して腐食されない（耐薬品性のある）材料で形成されており、例えばテフロン（デュポン社の登録商標）のようなフッ素樹脂で形成されている。
図８に示すように、緩衝具３３は、ベース板３１の長辺方向の両端において各支柱３２の下端をつなぐよう設けられたものと、同じく長辺方向の両端において支柱３２の上端をつなぐよう設けられたものからなる。保持されたタッチユニット原盤１２０は、これらの緩衝具３３に各角部が接触する。タッチユニット原盤１２０の下端角部に接触する下側の緩衝具３３は、短辺方向の断面形状が凹状で、長辺方向の断面形状がＬ字状である。タッチユニット原盤１２０の上端角部に当接する緩衝具３３は、短辺方向の断面形状が横にした凹状である。図８に示すように、タッチユニット原盤１２０を装着する場合、上から挿入し、各緩衝具３３の凹部に落とし込むようにする。 The shock absorber 33 is a member that directly contacts the touch unit master 120 and prevents the touch unit master 120 from wobbling. The buffer 33 is made of a material that does not corrode (equivalent to chemical resistance) against the eluent L, and is made of, for example, a fluororesin such as Teflon (registered trademark of DuPont).
As shown in FIG. 8, the shock absorber 33 connects the lower end of each support column 32 at both ends in the long side direction of the base plate 31 and also connects the upper end of the support column 32 at both ends in the long side direction. It consists of what is provided. Each corner portion of the held touch unit master 120 comes into contact with these shock absorbers 33. The lower shock absorber 33 in contact with the lower end corner of the touch unit master 120 has a concave cross-sectional shape in the short side direction and an L-shaped cross sectional shape in the long side direction. The shock absorber 33 that comes into contact with the upper end corner of the touch unit master 120 has a concave shape in which the cross-sectional shape in the short side direction is horizontal. As shown in FIG. 8, when the touch unit master 120 is mounted, the touch unit master 120 is inserted from above and dropped into the recesses of the respective shock absorbers 33.

搬送機構３０としては、例えばラックアンドピニオン機構によるものとされる。ベース板３１をラックとし、これに噛み合うピニオン３０１で搬送機構３０は構成される。ピニオンは、搬送ラインに沿って所定間隔で多数設けられる。ピニオン３０１は、処理チャンバー２内外に配置される。尚、移動する原盤保持具３を全体にガイドするガイド部材が適宜設けられる。
図７に示すように、ノズル４は、原盤保持具３に保持されたタッチユニット原盤１２０の両側に位置するよう設けられており、タッチユニット原盤１２０の両側の外面に向けて同時に溶出液Ｌを噴射させることができるようになっている。図９は、図７に示すノズル４の形状を示した斜視概略図である。 The transport mechanism 30 is, for example, a rack and pinion mechanism. The transport mechanism 30 is configured by a pinion 301 that meshes with the base plate 31 as a rack. A number of pinions are provided at predetermined intervals along the transport line. The pinion 301 is disposed inside and outside the processing chamber 2. A guide member for guiding the moving master disk holder 3 as a whole is provided as appropriate.
As shown in FIG. 7, the nozzles 4 are provided on both sides of the touch unit master 120 held by the master holder 3, and the eluent L is simultaneously applied toward the outer surfaces on both sides of the touch unit master 120. It can be sprayed. FIG. 9 is a schematic perspective view showing the shape of the nozzle 4 shown in FIG.

図９に示すように、ノズル４は、噴射孔４１を有する管状の部材である。図９に示すように、ノズル４は、垂直な方向に延びるよう配置されており、タッチユニット原盤１２０の長さ方向（搬送方向）に均等間隔をおいて複数並んで設けられている。噴射孔４１は、ノズル４のうちタッチユニット原盤１２０を臨む部分に設けられており、管の延びる方向（垂直方向）に均等間隔をおいて設けられている。尚、ノズル４の構成としては、図９に示すよりもさらに多くの（又は少ない）ものを並べる場合もあるし、水平方向又は斜め方向に沿って複数のノズル４を並べる場合もある。また、ノズル４が管状である必要はなく、板状や他の形状であってもよい。 As shown in FIG. 9, the nozzle 4 is a tubular member having an injection hole 41. As shown in FIG. 9, the nozzles 4 are arranged so as to extend in a vertical direction, and a plurality of nozzles 4 are provided side by side at equal intervals in the length direction (conveying direction) of the touch unit master 120. The injection holes 41 are provided in a portion of the nozzle 4 that faces the touch unit master 120, and are provided at equal intervals in the tube extending direction (vertical direction). In addition, as a structure of the nozzle 4, there may be a case where a larger number (or a smaller number) than that shown in FIG. 9 is arranged, and a plurality of nozzles 4 may be arranged along the horizontal direction or the oblique direction. Moreover, the nozzle 4 does not need to be tubular, and may have a plate shape or other shapes.

溶出液供給系５は、溶出液Ｌを溜めた液溜め５１と、液溜め５１と各ノズル４とをつなぐ配管５２と、配管５２上に設けられたバルブ５３や送液ポンプ５４などから構成されている。供給する溶出液Ｌから不純物やゴミ等を除去するフィルタや調圧用のバルブなどが、必要に応じて設けられる。
溶出液供給系５により各ノズル４に溶出液Ｌは、各噴射孔４１から、原盤保持具３に保持されたタッチユニット原盤１２０の外面に向けて噴射される。噴射された溶出液Ｌは、外面を衝撃して溶出し、外面を研磨する。 The eluate supply system 5 includes a liquid reservoir 51 that stores the eluate L, a pipe 52 that connects the liquid reservoir 51 and each nozzle 4, a valve 53 and a liquid feed pump 54 that are provided on the pipe 52. ing. A filter for removing impurities, dust, and the like from the supplied eluate L, a pressure adjusting valve, and the like are provided as necessary.
The eluate L is sprayed from the respective injection holes 41 toward the outer surface of the touch unit master 120 held by the master holder 3 by the eluate supply system 5. The ejected elution liquid L is impacted on the outer surface and eluted, and the outer surface is polished.

尚、図６に示すように、処理チャンバー２の底部は漏斗状になっており、最下部には、排出孔２４が設けられている。排出孔２４には、使用済みの溶出液Ｌを排出する排出管２５が接続されている。上記のようにタッチユニット原盤１２０の材料が溶け込んだ溶出液Ｌは、処理チャンバー２の底部に落下し、排出孔２４及び排出管２５を通って排出されるようになっている。
また、処理チャンバー２の内壁面や、処理チャンバー２内の各部材の表面は、溶出液Ｌに対して耐薬品性の構成となっている。例えば溶出液Ｌがフッ酸である場合、内壁面や各部材の表面はテフロン（デュポン社の登録商標）のようなフッ素樹脂をコーティングして覆った構成とされる。尚、搬入口２１や搬出口２２を開閉する封鎖ゲート２３は、溶出液Ｌが漏出しないよう液密に封鎖を行うようになっている。 As shown in FIG. 6, the bottom of the processing chamber 2 has a funnel shape, and a discharge hole 24 is provided at the bottom. A discharge pipe 25 for discharging the used eluate L is connected to the discharge hole 24. The eluent L in which the material of the touch unit master 120 is dissolved as described above falls to the bottom of the processing chamber 2 and is discharged through the discharge hole 24 and the discharge pipe 25.
Further, the inner wall surface of the processing chamber 2 and the surface of each member in the processing chamber 2 are configured to be chemically resistant to the eluate L. For example, when the eluent L is hydrofluoric acid, the inner wall surface and the surface of each member are covered with a fluororesin such as Teflon (registered trademark of DuPont). The blocking gate 23 that opens and closes the carry-in port 21 and the carry-out port 22 is sealed in a liquid-tight manner so that the eluate L does not leak.

この装置は、機械研磨後の外面の平坦性をさらに高めるため、ノズル４の構成に特別の工夫を凝らしている。以下、この点について、図９及び図１０を使用して説明する。図１０は、各噴射孔４１からタッチユニット原盤１２０の外面に対して溶出液Ｌが均一に噴射される点を示した概略図である。
図９に示すように、各噴射孔４１は、ノズル４の管の延びる方向（垂直方向）に対して斜めの４５度の方向に細長い。従って、各噴射孔４１から噴射される溶出液Ｌは、図９に示すように、この斜めの方向に長い錐状（ないしはラッパ状）に広がるようになっている。尚、溶出液Ｌの各広がりは、タッチユニット原盤１２０の外面上において重ならないようになっている。タッチユニット原盤１２０の外面上で溶出液Ｌの各広がりが重なると、溶出液Ｌが散乱し、乱流のような不規則な流れが生じやすく、この結果、平坦性の良い研磨がしづらい。このため、重ならないようにする。重ならないようにするには、噴射孔４１の寸法、ノズル４とタッチユニット原盤１２０の距離、噴射圧力等を適宜選定すれば良い。ただし、溶出液Ｌの各広がりが外面上で重なっても平坦性の良い研磨ができる場合があり、そのようにする場合もあり得る。 In this apparatus , in order to further improve the flatness of the outer surface after mechanical polishing, a special device is devised in the configuration of the nozzle 4. Hereinafter, this point will be described with reference to FIGS. 9 and 10. FIG. 10 is a schematic view showing a point where the eluent L is uniformly ejected from the ejection holes 41 to the outer surface of the touch unit master 120.
As shown in FIG. 9, each injection hole 41 is elongated in a direction of 45 degrees oblique to the direction (vertical direction) in which the tube of the nozzle 4 extends. Accordingly, as shown in FIG. 9, the eluent L ejected from each ejection hole 41 spreads in a long cone shape (or trumpet shape) in this oblique direction. Note that the spread of the eluate L does not overlap on the outer surface of the touch unit master 120. When the spread of the eluate L overlaps on the outer surface of the touch unit master 120, the eluate L is scattered and an irregular flow such as turbulent flow is likely to occur, and as a result, polishing with good flatness is difficult. For this reason, avoid overlapping. In order not to overlap, the dimensions of the injection hole 41, the distance between the nozzle 4 and the touch unit master 120, the injection pressure, and the like may be appropriately selected. However, even if each spread of the eluate L overlaps on the outer surface, polishing with good flatness may be performed, and such a case may be performed.

図１０の中ほどに、一つのノズル４の各噴射孔４１から噴射される溶出液Ｌを示す。図１０の右側には、タッチユニット原盤１２０の高さ方向で見た各噴射孔４１からの溶出液Ｌの噴射量の分布を示す。両側のノズル４の間をタッチユニット原盤１２０が通過する際、タッチユニット原盤１２０の外面の各点は、いずれかの噴射孔４１から噴射された溶出液Ｌの供給を受ける。この際、上下に隣り合う二つの噴射孔４１の丁度中間の位置を臨むようにして通過する外面上の点Ｐは、その隣り合う二つの噴射孔４１から溶出液Ｌの供給を受けることになる。この場合、この点Ｐは、推状の溶出液Ｌの広がりの端部に位置するので、図１０の右側に示すように、一つの噴射孔４１から受け取る溶出液Ｌの量は、他の点の１／２程度であり、上下両隣の噴射孔４１で一つの噴射孔４１分の溶出液Ｌの供給を受ける。従って、タッチユニット原盤１２０の高さ方向において、外面の各点での溶出液Ｌの供給量は均一である。尚、図９に示すような断面形状に溶出液Ｌが広がる場合だけではなく、楕円状、円状、方形状（正方形、長方形）、菱形状、平行四辺形状等の断面形状で溶出液Ｌが広がる場合もあり得る。 The middle part of FIG. 10 shows the eluent L ejected from each ejection hole 41 of one nozzle 4. The right side of FIG. 10 shows the distribution of the injection amount of the eluent L from each injection hole 41 as seen in the height direction of the touch unit master 120. When the touch unit master 120 passes between the nozzles 4 on both sides, each point on the outer surface of the touch unit master 120 receives supply of the eluent L ejected from any one of the ejection holes 41. At this time, the point P on the outer surface that passes so as to face an intermediate position between the two upper and lower injection holes 41 receives the supply of the eluent L from the two adjacent injection holes 41. In this case, since this point P is located at the end of the spread of the eluent L in the form of a guess, as shown on the right side of FIG. 10, the amount of the eluent L received from one injection hole 41 is the other point. The effluent L for one injection hole 41 is supplied by the injection holes 41 on both the upper and lower sides. Therefore, in the height direction of the touch unit master 120, the supply amount of the eluate L at each point on the outer surface is uniform. In addition, not only when the eluent L spreads in the cross-sectional shape as shown in FIG. It may spread.

次に、上記ガラス研磨機の動作について説明する。
上述したような電極形成工程及び貼り合わせ工程を経て出来上がったタッチユニット原盤１２０は、処理チャンバー２外にて原盤保持具３に搭載される。搭載動作は、ロボットにより行われる場合もあるし、作業員の手により行われる場合もある。原盤保持具３への搭載に先立ち、マスキングテープによるマスキングが行われる場合もある。 Next, the operation of the glass polishing machine will be described.
The touch unit master 120 completed through the electrode forming process and the bonding process as described above is mounted on the master holder 3 outside the processing chamber 2. The mounting operation may be performed by a robot or may be performed by a worker's hand. Prior to mounting on the master holder 3, masking with a masking tape may be performed.

搬送機構３０が動作し、搬入口２１の封鎖ゲート２３が開けられて、原盤保持具３が搬入口２１を通って処理チャンバー２内に移動する。原盤保持具３は、両側のノズル４の間の所定の位置にタッチユニット原盤１２０が位置した時点で停止する。搬入口２１の封鎖ゲート２３は閉じられる。この状態で、溶出液供給系５のバルブ５３が開けられ、送液ポンプ５４が所定の圧力で溶出液Ｌを各ノズル４に送る。この結果、各ノズル４の各噴射孔４１から溶出液Ｌが噴射され、所定の圧力でタッチユニット原盤１２０の外面を衝撃する。これにより、タッチユニット原盤１２０の外面が節減される。外面の材料が溶け込んだ溶出液Ｌは、落下して排出孔２４から排出される。 The transport mechanism 30 operates, the sealing gate 23 of the carry-in entrance 21 is opened, and the master holder 3 moves into the processing chamber 2 through the carry-in entrance 21. The master disc holder 3 stops when the touch unit master disc 120 is located at a predetermined position between the nozzles 4 on both sides. The blocking gate 23 of the carry-in port 21 is closed. In this state, the valve 53 of the eluate supply system 5 is opened, and the liquid feed pump 54 sends the eluate L to each nozzle 4 at a predetermined pressure. As a result, the eluent L is ejected from each ejection hole 41 of each nozzle 4 and impacts the outer surface of the touch unit master 120 with a predetermined pressure. Thereby, the outer surface of the touch unit master 120 is saved. The eluate L in which the material on the outer surface is dissolved falls and is discharged from the discharge hole 24.

溶出液Ｌの噴射を所定時間行った後、送液ポンプ５４を止め、バルブ５３を閉める。そして、搬送機構３０が動作し、原盤保持具３を移動させ、搬出口２２の封鎖ゲート２３を開けてタッチユニット原盤１２０を処理チャンバー２外に搬出する。搬出されたタッチユニット原盤１２０は、純水等の洗浄液による洗浄やマスキングテープの除去などの作業が行われる。 After spraying the eluate L for a predetermined time, the liquid feed pump 54 is stopped and the valve 53 is closed. Then, the transport mechanism 30 operates to move the master holder 3, open the sealing gate 23 of the carry-out port 22, and carry the touch unit master 120 out of the processing chamber 2. The carried-out touch unit master 120 is subjected to operations such as cleaning with a cleaning liquid such as pure water and removal of the masking tape.

上記ガラス研磨機の動作において、溶出液Ｌの噴射中に必要に応じてタッチユニット原盤１２０を変位させることがある。タッチユニット原盤１２０の外面上の各点のうち、各ノズル４の各噴射孔４１に対して最短距離にある点において衝撃圧力が高くなり過ぎる場合、溶出液Ｌの噴射中にタッチユニット原盤１２０を前後に移動させることで、時間平均した各点での衝撃圧力を均一にできる。これにより、機械研磨後の外面の平坦性をさらに高めることができる。タッチユニット原盤１２０の移動は、上下方向に行うこともある。
ガラス研磨機は、全体を制御する不図示の制御部を備える。制御部は、各部をシーケンス制御する機能を含んでおり、上記動作の制御や、衝撃均一化のための原盤保持具３の移動等の制御は、制御部が行うシーケンス制御で達成される。 In the operation of the glass polishing machine, the touch unit master 120 may be displaced as necessary during the ejection of the eluent L. When the impact pressure becomes too high at the point at the shortest distance from each injection hole 41 of each nozzle 4 among the points on the outer surface of the touch unit master 120, the touch unit master 120 is moved during the elution of the eluent L. By moving back and forth, the impact pressure at each point averaged over time can be made uniform. Thereby, the flatness of the outer surface after mechanical polishing can be further improved. The movement of the touch unit master 120 may be performed in the vertical direction.
The glass polishing machine includes a control unit (not shown) that controls the whole. The control unit includes a function of performing sequence control on each unit, and control of the above-described operation and control of movement of the master holder 3 for equalizing the impact are achieved by sequence control performed by the control unit.

また、上記ガラス研磨機の構成において、送液ポンプ５４による送液圧力は、外面の溶出液Ｌによる衝撃圧力が０．５ｋｇ／ｃｍ^２〜３．５ｋｇ／ｃｍ^２の範囲になるように設定される。この際、各ノズル４の各噴射孔４１と外面との距離（図７にｄで示す）は重要な要素である。距離ｄがあまり大きくなると、送液ポンプ５４による送液圧力をかなり高くしなければ、上記範囲内の圧力で外面を衝撃することができなくなってしまい、実用的に難しくなる。また、距離ｄが小さい場合、衝撃圧力を最適値に保つことは容易となるが、噴射孔４１への最短点での衝撃圧力が高くなり過ぎ、均一性の点で問題が生じてくる。衝撃の均一性（即ち、研磨の平坦性）を確保しつつ実用的な構成とするためには、距離ｄは、５ｍｍ以上１００ｍｍ以下とすることが好ましい。尚、溶出液Ｌによる研磨が進む過程で噴射孔４１から外面までの距離は僅かに長くなるが、５ｍｍ以上１００ｍｍ以下は、研磨を始める際の距離ということである。 In the configuration of the glass polishing machine, liquid feed pressure due to the liquid feed pump 54 is set so that the impact pressure generated by the eluate L of the outer surface is in the range of 0.5kg ^/ cm ² ~3.5kg ^/ cm 2 The At this time, the distance (indicated by d in FIG. 7) between each injection hole 41 of each nozzle 4 and the outer surface is an important factor. If the distance d is too large, the outer surface cannot be impacted with a pressure within the above range unless the liquid feeding pressure by the liquid feeding pump 54 is made considerably high, which is practically difficult. Further, when the distance d is small, it is easy to keep the impact pressure at an optimum value, but the impact pressure at the shortest point to the injection hole 41 becomes too high, causing a problem in terms of uniformity. In order to achieve a practical configuration while ensuring uniformity of impact (that is, flatness of polishing), the distance d is preferably 5 mm or more and 100 mm or less. Note that the distance from the injection hole 41 to the outer surface is slightly longer in the process of polishing with the eluent L, but the distance from 5 mm to 100 mm is the distance at which polishing is started.

また、衝撃圧力が０．５ｋｇ／ｃｍ^２より小さいと、新鮮な溶出液Ｌの供給が少なくなるので充分な研磨が行えない他、物理的な作用も充分で無くなるので、ガラスの組成や結晶状態に不均一な箇所が充分研磨できず、平坦性が低下する問題がある。また、衝撃圧力が３．５ｋｇ／ｃｍ^２より大きいと、ノズル４の噴射孔４１から最短点のみが多く研磨されてしまい、この点で平坦性が悪化する。よって、０．５ｋｇ／ｃｍ^２〜３．５ｋｇ／ｃｍ^２の範囲の衝撃圧力とすることが好ましい。 Also, if the impact pressure is less than 0.5 kg / cm ² , the supply of fresh eluate L is reduced, so that sufficient polishing cannot be performed and the physical action is not sufficient, so the glass composition and crystal state In addition, there is a problem that uneven portions cannot be sufficiently polished and flatness is lowered. On the other hand, if the impact pressure is larger than 3.5 kg / cm ² , only the shortest point is often polished from the injection hole 41 of the nozzle 4, and the flatness deteriorates at this point. ^Therefore, it is preferable that the impact pressure in the range of ^{0.5kg / cm 2 ~3.5kg / cm 2} .

次に、分断工程について説明する。
分割工程では、機械研磨されたタッチユニット原盤１２０をダイシング装置を使用して切断する。ダイシング装置としては、液晶ディスプレイの製造などで使用される装置、即ち一枚のガラス基板から複数の液晶ディスプレイを製造する際に使用される装置が転用できる。分断工程の後、テールと呼ばれるコネクタ線を取り付けると、タッチパネルユニットが完成する。 Next, the dividing step will be described.
In the dividing step, the mechanically polished touch unit master 120 is cut using a dicing apparatus. As the dicing apparatus, an apparatus used for manufacturing a liquid crystal display or the like, that is, an apparatus used when manufacturing a plurality of liquid crystal displays from a single glass substrate can be diverted. After the cutting process, when a connector line called a tail is attached, the touch panel unit is completed.

尚、テールの取り付けは、貼り合わせ工程の際に行われることもある。即ち、一対のガラス基板の間にテールの先端を所定位置で挿入し、テールの先端を挟み込んだ状態で貼り合わせを行う。この点について、図１１を使用して説明する。図１１は、一対のガラス基板から四つのタッチパネルユニット１１を製造する例について示した概略図である。この例のように、一対のガラス基板１８１，１８２を貼り合わせる際、図１１に示すようにテール１４０の先端を所定位置で挟み込むようにする。この場合、テール１４０が取り付けられた状態で削減工程が行われるので、テール１４０に溶出液がかからないようにマスキングがされる。その後、分断工程を経て、四つのタッチパネルユニットが完成する。 In addition, attachment of a tail may be performed in the case of a bonding process. That is, the tip of the tail is inserted between the pair of glass substrates at a predetermined position, and bonding is performed with the tip of the tail sandwiched. This point will be described with reference to FIG. FIG. 11 is a schematic view showing an example of manufacturing four touch panel units 11 from a pair of glass substrates. As shown in this example, when the pair of glass substrates 181 and 182 are bonded together, the tip of the tail 140 is sandwiched at a predetermined position as shown in FIG. In this case, since the reduction process is performed with the tail 140 attached, masking is performed so that the eluate is not applied to the tail 140. After that, through the dividing process, four touch panel units are completed.

上述した製造方法では、例えば厚さ１ｍｍ程度のガラス基板１８１．１８２が用意され、貼り合わせの後の削減工程で、ガラス基板１８１，１８２の厚さは０．１〜０．２ｍｍ程度まで薄くされる。従って、出来上がったタッチパネルユニットは従来に比べて薄いものになり、携帯電話等のような薄型の電子機器に好適に搭載される。そして、タッチパネルユニットは、薄くなってもガラスパネルの表面にマイクロクラックが無いので、十分な強度が確保される。 In the manufacturing method described above, for example, a glass substrate 181.182 having a thickness of about 1 mm is prepared, and the thickness of the glass substrates 181 and 182 is reduced to about 0.1 to 0.2 mm in a reduction process after bonding. The Therefore, the completed touch panel unit is thinner than conventional ones, and is suitably mounted on a thin electronic device such as a mobile phone. And even if it becomes thin, since a touch panel unit does not have a micro crack in the surface of a glass panel, sufficient intensity | strength is ensured.

また、上述した製造方法では、タッチユニット原盤１２０の外面の材料を溶出させる溶出液Ｌを外面に向けて噴射することで自重による加速度より大きな加速度を付けて溶出液Ｌを外面に吹き付けて外面を衝撃し、溶出液Ｌによる衝撃という物理的作用を利用して外面を機械研磨しているので、新鮮な溶出液Ｌが次々に供給される他、外面の材料が溶け込んだ溶出液Ｌが衝撃により次々に流出していくので、効率よく且つ均一性よく機械研磨が行える。外面のガラスの組成や結晶状態に不均一な箇所があっても、物理的作用を併用しているため、充分均一に機械研磨が行える。このため、機械研磨後の外面の平坦性を高くでき、産出されるタッチパネルユニットの視認性も高いものとなる。 Further, in the above-described manufacturing method, the elution liquid L that elutes the material on the outer surface of the touch unit master 120 is sprayed toward the outer surface, thereby applying an acceleration larger than the acceleration due to its own weight and spraying the elution liquid L on the outer surface. Since the outer surface is mechanically polished using the physical action of impact by the eluent L, fresh eluate L is supplied one after another, and the eluate L in which the material of the outer surface is dissolved Since it flows out one after another, mechanical polishing can be performed efficiently and uniformly. Even if there is a non-uniform portion in the composition or crystal state of the glass on the outer surface, mechanical polishing can be performed sufficiently uniformly because the physical action is used in combination. For this reason, the flatness of the outer surface after mechanical polishing can be improved, and the visibility of the produced touch panel unit is also high.

また、上記ガラス研磨機によれば、溶出液Ｌの化学的な作用に加え衝撃という物理的な作用も利用して外面の研磨が行われるので平坦性の高い研磨が行える上、タッチユニット原盤１２０の搬送と機械研磨処理が自動化されているので、生産性も高い。
また、ノズル４の各噴射孔４１が均等間隔をおいて設けられており、各噴射孔４１から外面までの距離は一定であるので、噴射される溶出液Ｌによる衝撃圧力を均一させることが容易で、この点で平坦性の高い研磨処理に貢献できる。 Further, according to the glass polishing machine, the outer surface is polished by utilizing the physical action of impact in addition to the chemical action of the eluent L, so that the flatness of the touch unit master 120 can be obtained. Since the conveyance and mechanical polishing process are automated, productivity is high.
Moreover, since each injection hole 41 of the nozzle 4 is provided at equal intervals and the distance from each injection hole 41 to the outer surface is constant, it is easy to make the impact pressure due to the eluent L to be injected uniform. In this respect, it is possible to contribute to polishing processing with high flatness.

また、タッチユニット原盤１２０が垂直に保持された状態で溶出が行われる点は、外面での溶出液Ｌの置換を促進させる効果があり、外面機械研磨が充分に効率的に行えるようにする技術的意義がある。
さらに、ノズル４がタッチユニット原盤１２０の両側に設けられていて、両方の外面を同時に機械研磨できるので、タッチユニット原盤１２０の薄型化により貢献できる他、生産性も高い。
尚、タッチユニット原盤１２０の両側において、溶出液Ｌによる衝撃圧力が異なるようにする場合もある。すなわち、片側において噴射圧力を高くし、片側において噴射圧力を低くする場合があり得る。これは、タッチユニット原盤１２０の外面のうち片側の面での削減量を多くし、もう片方の側での削減量を少なくしたい場合にあり得る。
また、上述した溶出液Ｌを使用した機械研磨は、液晶ディスプレイのようなフラットパネルディスプレイを製造する場合にも応用することができる。即ち、貼り合わせたディスプレイ用のガラスパネルの外面を機械研磨して削減する場合も同様に行える。この際にも、両側の外面を同時に機械研磨して削減するとともに、互いに異なる噴射圧力で削減を行うようにすることがあり得る。 In addition, elution is performed while the touch unit master 120 is held vertically, which has an effect of promoting the replacement of the eluate L on the outer surface, and is a technology that allows the outer surface mechanical polishing to be performed sufficiently efficiently. Is meaningful.
Furthermore, since the nozzles 4 are provided on both sides of the touch unit master 120 and both outer surfaces can be mechanically polished at the same time, the touch unit master 120 can be made thinner and the productivity is high.
In some cases, the impact pressure by the eluent L is different on both sides of the touch unit master 120. That is, the injection pressure may be increased on one side and the injection pressure may be decreased on one side. This may occur when it is desired to increase the amount of reduction on one side of the outer surface of the touch unit master 120 and reduce the amount of reduction on the other side.
Further, the mechanical polishing using the eluent L described above can also be applied when manufacturing a flat panel display such as a liquid crystal display. That is, it can be similarly performed when the outer surface of the bonded glass panel for display is mechanically polished and reduced. In this case as well, the outer surfaces on both sides can be reduced by mechanical polishing at the same time, and the reduction can be performed with different spray pressures.

上記各実施形態の構成において、溶出液Ｌによる外面の研磨は、溶出液による衝撃の物理的作用を利用するものであって、エッチング液に浸漬したりエッチング液を散布したりするだけのエッチングとは本質的に異なる。
また、上記装置では、搬送機構３０が移動機構に兼用されたが、搬送機構３０とは別に移動機構を設けても良い。例えば、原盤保持具３を移動機構の一部として設け、搬送機構３０で搬送されたタッチユニット原盤１２０を原盤保持具に移載して移動させるようにする場合もある。尚、「相対的に移動」とは、タッチユニット原盤１２０とノズル４の噴射孔４１の位置関係が変化するよう移動するとの趣旨であり、上記実施形態のように静止したノズル４の噴射孔４１に対してタッチユニット原盤１２０が移動してもよく、静止したタッチユニット原盤１２０に対して噴射孔４１が移動しても良く、また両者が移動する場合もあり得る。 In the configuration of each of the embodiments described above, the polishing of the outer surface with the eluent L uses the physical action of the impact of the eluent, and is an etching that is simply immersed in the etchant or sprayed with the etchant. Are essentially different.
In the above apparatus , the transport mechanism 30 is also used as a moving mechanism, but a moving mechanism may be provided separately from the transport mechanism 30. For example, the master holder 3 may be provided as a part of the moving mechanism, and the touch unit master 120 transported by the transport mechanism 30 may be transferred to the master holder and moved. Note that “relatively moving” means that the positional relationship between the touch unit master 120 and the injection holes 41 of the nozzles 4 changes, and the injection holes 41 of the nozzles 4 that are stationary as in the above embodiment. In contrast, the touch unit master 120 may move, the injection hole 41 may move relative to the stationary touch unit master 120, or both may move.

上記実施形態では、抵抗膜式のタッチパネルユニットにおいて、スペーサ１６の両側のパネル１２，１３が両者ともガラス製であったが、従来の技術で説明したような前面パネルがＰＥＴのようなプラスチック製で主パネルのみがガラス製であっても、同様に実施できる。この場合は、一枚の大きなプラスチック基板と、同様の大きさのガラス基板を使用して同様に機能層を形成する。そして、貼り合わせの後、ガラス基板についてのみ機械研磨を行う。機械研磨の際、溶出液がプラスチック基板にかかると問題であれば、マスキングを行う。 In the above embodiment, in the resistive touch panel unit, the panels 12 and 13 on both sides of the spacer 16 are both made of glass, but the front panel as described in the prior art is made of plastic such as PET. Even if only the main panel is made of glass, the same can be done. In this case, a functional layer is similarly formed using a single large plastic substrate and a glass substrate having the same size. And after bonding, only the glass substrate is mechanically polished. If there is a problem when the eluate is applied to the plastic substrate during mechanical polishing, masking is performed.

上述した実施形態のタッチパネルユニット製造方法では、削減工程の後に分断工程を行ったが、分断工程の後、削減工程を行っても良い。この場合、分断された個々のタッチパネルユニットごとに削減工程を行うことになる。但し、これに比べると、タッチユニット原盤において一括して削減工程をする前記実施形態の方が生産性が高い。
また、上述したタッチパネルユニット製造方法の実施形態では、一対のガラスパネルを貼り合わせた後に削減工程を行ったが、貼り合わせる前に削減工程を行っても良い。この場合、ガラス基板を機械研磨して所定の厚さに削減してから電極格子の形成を行っても良いし、電極格子の形成後に削減工程を行っても良い。電極格子の形成後に削減工程を行う場合には、形成された電極格子に溶出液がかからないようマスキングされることが好ましい。 In the touch panel unit manufacturing method of the above-described embodiment, the dividing step is performed after the reducing step. However, the reducing step may be performed after the dividing step. In this case, a reduction process is performed for each divided touch panel unit. However, in comparison with this, the embodiment in which the reduction process is collectively performed on the touch unit master has higher productivity.
Moreover, in embodiment of the touchscreen unit manufacturing method mentioned above, although the reduction process was performed after bonding a pair of glass panel, you may perform a reduction process before bonding. In this case, the electrode substrate may be formed after the glass substrate is mechanically polished to reduce the thickness to a predetermined thickness, or the reduction step may be performed after the electrode lattice is formed. When the reduction process is performed after the electrode grid is formed, it is preferable that the formed electrode grid is masked so that no eluate is applied.

また、上記実施形態のタッチパネルユニット製造方法の実施形態では、抵抗膜式のタッチパネルユニットを製造したが、静電容量式、表面弾性波式、光学式等、他の方式のタッチパネルユニットについても、表示ユニットを覆う少なくとも一枚のガラスパネルを備えるものである限り、同様に製造することができる。即ち、上述したガラス研磨機を使用してガラスパネルを研磨する工程を含むようにすることができる。 Further, in the embodiment of the touch panel unit manufacturing method of the above embodiment, the resistive film type touch panel unit is manufactured. However, other types of touch panel units such as a capacitance type, a surface acoustic wave type, and an optical type are also displayed. As long as it has at least one glass panel covering the unit, it can be manufactured in the same manner. That is, the process of grind | polishing a glass panel using the glass grinder mentioned above can be included.

本願発明の実施形態に係るタッチパネル表示装置の断面概略図である。1 is a schematic cross-sectional view of a touch panel display device according to an embodiment of the present invention. 図１に示すガラスパネル１２，１３を製作する際の加工方法について概略的に示した図である。It is the figure which showed roughly about the processing method at the time of manufacturing the glass panels 12 and 13 shown in FIG. 溶出液を使用した機械研磨の作用効果について示した図である。It is the figure shown about the effect of mechanical polishing using an eluate. 抵抗膜式以外のタッチパネル表示装置の実施形態について示した概略図である。It is the schematic shown about embodiment of touchscreen display apparatuses other than a resistive film type. 実施形態に係るタッチパネルユニット製造方法の概略図である。It is the schematic of the touchscreen unit manufacturing method which concerns on embodiment. 実施形態の方法に使用されるガラス研磨機の正面断面概略図である。 It is a front section schematic diagram of the glass polisher used for the method of an embodiment. 図６に示すガラス研磨機の側面断面概略図である。FIG. 7 is a schematic side sectional view of the glass polishing machine shown in FIG. 6. 図６及び図７に示す装置における原盤保持具３の斜視概略図である。FIG. 8 is a schematic perspective view of the master holder 3 in the apparatus shown in FIGS. 6 and 7. 図７に示すノズル４の形状を示した斜視概略図である。It is the perspective schematic which showed the shape of the nozzle 4 shown in FIG. 各噴射孔４１からタッチユニット原盤１２０の外面に対して溶出液Ｌが均一に噴射される点を示した概略図である。FIG. 6 is a schematic view showing a point where an eluent L is uniformly ejected from each ejection hole 41 to the outer surface of the touch unit master 120; 一対のガラス基板から四つのタッチパネルユニットを製造する例について示した概略図である。It is the schematic shown about the example which manufactures four touch-panel units from a pair of glass substrate. 抵抗膜式である従来のタッチパネル表示装置の断面概略図である。It is a cross-sectional schematic diagram of a conventional touch panel display device that is a resistive film type.

Explanation of symbols

１表示ユニット
１１タッチパネルユニット
１２ガラスパネル
１３ガラスパネル
１４電極格子
１５電極格子
１６スペーサ
１７接着材
１８１ガラス基板
１８２ガラス基板
２処理チャンバー
３基板保持具
３０搬送機構
４ノズル
４１噴射孔
５溶出液供給系
Ｌ溶出液 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Display unit 11 Touch panel unit 12 Glass panel 13 Glass panel 14 Electrode grating | lattice 15 Electrode grating | lattice 16 Spacer 17 Adhesive material 181 Glass substrate 182 Glass substrate 2 Processing chamber 3 Substrate holder 30 Transport mechanism 4 Nozzle 41 Injection hole 5 Eluate supply system L Eluent

Claims

A touch panel display device including a display unit that performs screen display and a touch panel unit that is provided on the front side of the display unit and that inputs information by being touched,
The touch panel unit is bonded to the front surface of the display unit with a layer of light-transmitting adhesive applied to the entire surface.
The touch panel unit has a glass panel covering the display unit, and this glass panel is pressed at the time of the contact, and the elution liquid is ejected at an acceleration larger than the acceleration due to its own weight. the sprayed be bombarded are mechanically polished surface, comprising a thickness of 0.1mm or more 0.5mm or less, the maximum roughness of the surface has a flatness is 0.5μm or less ,
The touch-panel display device, wherein the light-transmitting adhesive layer has a thickness of 30 μm to 100 μm .

In addition to the glass panel, another glass panel is provided,
These two glass panels are bonded together with the surfaces on which the electrode grids are formed facing each other.
Another glass panel is mechanically polished by spraying the eluate and spraying the eluate with an acceleration larger than the acceleration due to its own weight, and the thickness is 0.1 mm or more and 0.5 mm or less. The touch panel display device according to claim 1, wherein the touch panel display device has flatness with a maximum surface roughness of 0.5 μm or less.

The touch panel display device according to claim 1, wherein the light-transmitting adhesive layer has a thickness of 50 μm or more and 70 μm or less.

3. The touch panel display device according to claim 1, wherein the light-transmitting adhesive layer has a thickness of 50 μm or more and 70 μm or less (excluding 50 μm).

  It is used in a touch panel display device in which information is input by being touched, and is a method of manufacturing a touch panel unit provided on the front side of a display unit that performs image display,
  The touch panel unit includes a pair of glass panels that cover the display unit, and a tail sandwiched between the pair of glass panels.
  An electrode forming step of forming an electrode grid on the surface of each of a pair of glass substrates having a size corresponding to a plurality of touch panel units;
  A bonding step of bonding a pair of glass substrates on which the electrode grid is formed, with the surfaces on which the electrodes are formed facing each other;
  After the bonding process, a reduction process for reducing the outer surfaces of the pair of glass substrates,
  After the reduction step, it has a cutting step of cutting a pair of glass substrates to obtain individual glass panel units,
  The bonding process is a process of bonding a pair of glass substrates while sandwiching the tail,
  In the reduction process, the thickness of the glass substrate is reduced by mechanically polishing the outer surface of the glass substrate by spraying the elution solution toward the outer surface of the glass substrate and spraying the elution solution at an acceleration larger than the acceleration due to its own weight. It is a process of reducing the thickness to 0.1 mm or more and 0.5 mm or less and flattening so that the maximum surface roughness is 0.5 μm or less. In this reduction process, the tail is masked so that the eluate is not applied. A featured touch panel unit manufacturing method.