JP3522212B2 - 音響等による微小変位検出装置 - Google Patents

音響等による微小変位検出装置

Info

Publication number
JP3522212B2
JP3522212B2 JP2000344107A JP2000344107A JP3522212B2 JP 3522212 B2 JP3522212 B2 JP 3522212B2 JP 2000344107 A JP2000344107 A JP 2000344107A JP 2000344107 A JP2000344107 A JP 2000344107A JP 3522212 B2 JP3522212 B2 JP 3522212B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
diaphragm
receiving element
light emitting
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2000344107A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2002148018A (ja
Inventor
徹 新造
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kenwood KK
Original Assignee
Kenwood KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kenwood KK filed Critical Kenwood KK
Priority to JP2000344107A priority Critical patent/JP3522212B2/ja
Priority to US10/416,227 priority patent/US7277642B2/en
Priority to PCT/JP2001/009639 priority patent/WO2002039053A1/ja
Priority to DE0001333245T priority patent/DE01980971T1/de
Priority to EP01980971A priority patent/EP1333245A4/en
Publication of JP2002148018A publication Critical patent/JP2002148018A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3522212B2 publication Critical patent/JP3522212B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H9/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R23/00—Transducers other than those covered by groups H04R9/00 - H04R21/00
    • H04R23/008—Transducers other than those covered by groups H04R9/00 - H04R21/00 using optical signals for detecting or generating sound

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、音響等による振動
板の振動を微小変位として検出し電気信号として検出す
ることのできる音響等による微小変位検出装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、音響電気素子を用いた微小変位検
出装置として光マイクロホン装置が知られている。微小
振動検出装置の一例として、光マイクロホン装置を用い
て従来の装置の概要を説明する。
【０００３】図７に示す装置は、検出装置筐体７の一部
に設けられた開口部に音響等によって微小振動する振動
板１を設け、これに対向して配置された基板１８上に発
光素子１３と受光素子１４とを配置した構造となってい
る。また、発光素子１３と受光素子１４との間には遮光
壁１５を設け、発光素子１３からの入射光が直接受光素
子１４に入射しないように構成されている。発光素子１
３からの入射光は、振動板１が音響等によって振動する
ことによりその反射光の受光素子１４に対する入射光量
が変化する。この入射光量の変化を受光素子１４により
電気信号として検出することにより光マイクロホン装置
として動作させることができる。
【０００４】図８に示す装置では、この入射光量の変化
を大きくするために、発光素子１３と振動板１との光路
上及び振動板１と受光素子１４との光路上に、それぞれ
集光レンズ１６と収束レンズ１７とを設けたものであ
る。このような集光レンズ１６や収束レンズ１７を設け
ることにより、振動板１からの反射光の受光素子１４へ
の入射光量の変化を大きくすることができる。
【０００５】図９は、発光強度分布が同心円上にほぼ均
一な垂直共振器型面発光レーザ素子を発光素子１３とし
て用い、これを中心部に配置し、この発光素子１３を取
り囲むように同心円上に受光素子１４を配置した発光素
子と受光素子とを一体化した発光受光素子５を用い、発
光素子１３からの入射光を収束して振動板１に導くとと
もに、振動板１からの発散反射光を収束させて受光素子
１４に導く集光素子２を発光受光素子５と振動板１との
間の光路上に設けている。
【０００６】基板の中央に円形形状の面発光レーザ素子
を配置し、この面発光レーザ素子をとりまくように同心
円上に受光素子を配置して発光受光素子５を構成する。
一般に面発光レーザ素子は発光強度分布が同心円上にほ
ぼ均一な特性を持っている。従って中心部に配置された
発光素子１３から所定の角度で振動板１に向かって放射
された放射光が同心円上に同一強度を持って反射し、振
動板１が振動することにより反射角度が変化し受光素子
１４に同心円上に到達する。従って同心円上に配列され
た受光素子１４の受光光量の変化を検出することにより
振動板１の振動変位を検出することができる。このよう
な構造を採用することにより反射光の入射光量を大幅に
増加することができるだけでなく装置を小型化すること
ができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】図１０は図７の装置の
トンネルダイアグラムを示したもので、発光素子１３及
び受光素子１４は遮光壁１５を基準にしてそれぞれ一定
の距離ａに設置される必要があることを示している。ま
た、図９において受光素子１４は、基板の中央に配置さ
れた面発光レーザ素子を取り囲むように同心円状に配置
される必要があった。この様な従来の音響等による微小
変位検出装置では、受光感度を十分にとるために発光素
子に対して受光素子の構成、配置が制限されるため、発
光および受光素子部分の簡素化が困難であり、製造工程
が複雑になるという問題があった。また、ホログラム以
外の反射光束分割手段を用いた場合に、光学部品点数の
増加と装置の大型化、各光学部品のアライメントが複雑
になるなどの問題点があった。本発明は、上述した課題
を解決するためになされたもので、集光素子と発光受光
素子との間に収束された反射光を分割する反射光束分割
素子を設けることにより、受光素子の構成、配置の自由
度が増し、発光受光素子の製造工程の簡素化を可能に
し、集光素子を平面基板上に作製されたマイクロレン
ズ、もしくはホログラムレンズで、反射光束分割素子を
平面基板上に作製されたホログラムで達成することによ
り、光学部品点数の削減と装置の小型化を可能にし、各
光学部品のアライメントを容易に行うことができる微小
変位検出装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板上に発光
素子と受光素子とを配置し、前記基板に対向する位置に
設置された振動板に前記発光素子から光を放射し、前記
振動板からの反射光を前記受光素子で受光して前記振動
板の音響等による微小変位を電気信号として検出する音
響等による微小変位検出装置において、前記基板と前記
振動板との光路上に、前記発光素子からの入射光を収束
して前記振動板に導くとともに前記振動板からの発散反
射光を収束させて前記受光素子に導く集光素子と、前記
集光素子により収束された前記発散反射光を分割して前
記受光素子に導く反射光束分割素子とを設ける。
【０００９】また、前記微小変位検出装置において、前
記集光素子として、平面基板上に設置されたマイクロレ
ンズ又はホログラムレンズを用いることを特徴とする。
また、前記微小変位検出装置において、前記反射光束分
割素子として、平面基板上に作製されたホログラムを用
いることを特徴とする。また、前記微小変位検出装置に
おいて、前記発光素子と前記受光素子とを同一平面基板
上に接合配置することを特徴とする。さらに、前記微小
変位検出装置において、前記集光素子と前記反射光束分
割素子とを合体させて構成する。
【００１０】本発明は、さらに、基板上に発光素子と受
光素子とを配置し、前記基板に対向する位置に設置され
た振動板に前記発光素子から光を放射し、前記振動板か
らの反射光を前記受光素子で受光して前記振動板の音響
等による微小変位を電気信号として検出する微小変位検
出装置において、前記基板と前記振動板との光路上に、
前記発光素子からの入射光を収束して前記振動板に導く
第１集光素子と、前記振動板からの発散反射光を収束し
て前記受光素子に導く第２集光素子とを設ける。また、
前記微小変位検出装置において、前記第１集光素子と第
２集光素子として、平面基板上に作製されたホログラム
を用いることを特徴とする。また、前記微小変位検出装
置において、前記発光素子と前記受光素子とを同一平面
基板上に接合配置することを特徴とする。さらに、前述
したいずれかの微小変位検出装置において、前記発光素
子として、垂直共振器型面発光レーザ素子を用いること
を特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１〜図３は本発明に係る音響等
による微小変位検出装置の実施の形態をそれぞれ示した
ものである。なお図１〜図３に示す実施の形態において
は発光素子１３と受光素子１４とを同一基板上に形成し
た構造を採用している。発光素子として垂直共振器型面
発光レーザ素子を用い、受光素子としてフォトダイオー
ドを用いることができる。このように構成された発光受
光素子５を受発光部筐体６に設置する。
【００１２】次に互いに平行する対向辺に集光素子２と
反射光束分割素子３とを作製した平行平面基板４を設置
する。検出装置筐体７の一端は開口され、この開口部に
は振動板１が設けられており外来音響により微小振動を
行う。発光素子１３、反射光束分割素子３の中心、集光
素子２の中心、及び振動板１の中心はそれぞれ同一線上
にあるように配置される。ここで集光素子２としてはマ
イクロレンズもしくはホログラムレンズが用いられる。
ホログラムはガラスなどの表面に細かい溝を多数刻んだ
回折格子の一種である。この溝のパターンにより、その
表面に当たった光ビームの進行方向をある角度で屈折
（回折）させたりレンズ作用を持たせたりすることがで
きる。またマイクロレンズは従来のマクロレンズに比べ
て特に形が小さいことを強調するために用いられている
用語で、通常は直径数μｍ〜数ｍｍ程度の小さなレンズ
を言う。
【００１３】発光受光素子５内の発光素子１３からの出
射光は所定の放射角で反射光束分割素子３を構成するホ
ログラムに到達し、０次の回折光としてこれを通過し、
集光素子２に入射する。ここで集光素子２はマイクロレ
ンズもしくはホログラムレンズを使用することができ
る。仮に集光素子２がマイクロレンズであった場合、入
射光は屈折されて振動板１上に収束する。また集光素子
２がホログラムレンズであった場合には入射光は回折
し、１次の回折光として振動板１上に収束する。
【００１４】振動板１により反射し振動板１の振動によ
り発散した発散反射光は再び集光素子２により収束され
て反射光束分割素子３に入射する。反射光束分割素子３
に入射した発散反射光は、このホログラムにより一次の
回折光として進行方向が変えられ、発光受光素子５上の
受光素子１４上に収束する。ここで音響等により振動板
１が振動すると集光素子２により収束させられている入
射光の反射位置が変化し、同時に発光受光素子５上に収
束している発散反射光の収束状態が変化し振動幅の変化
となって現れる。
【００１５】この収束状態の変化量、即ち、反射光の入
射光量の変化を受光素子１４により電気信号の変化とし
て検出することにより振動板１の音響等による振動変位
量を検出することができる。この反射光の入射光量の変
化量の検出方法としてはビームサイズ法、非点収差法、
フーコー法等が知られている。なお図２は発光受光素子
５を直接、平面基板８に接合配置した例を示したもので
ある。なお接合配置に当たってはフリップチップボンデ
ィング等により行うことが可能である。これにより発光
受光素子に対する反射光束分割素子３の位置精度を上げ
ることが可能になり、しかも製造工程を簡単にすること
ができる。
【００１６】図３は図１に示す装置において集光素子２
がマイクロレンズである場合に、このマイクロレンズ上
にホログラムを形成して反射光束分割素子を形成し、集
光素子と反射光束分割素子とを合体させて集光／分割素
子９を構成したものである。このようにして形成した集
光／分割素子９を発光受光素子５が接合配置された平面
基板１０に載置することにより装置の構成とアライメン
トとをより簡素化することができる。
【００１７】図４及び図５は本発明の他の実施の形態を
示す図である。発光素子１３からの出射光を収束する集
光素子１１と振動板１からの発散反射光を収束する収束
素子とは別々に設けられこれらの集光素子１１，１２に
ホログラムレンズを使用している。発光素子１３から放
射された出射光はホログラムレンズによる集光素子１１
により一次の回折光として進行方向を変えられ振動板１
上に収束する。また振動板１から反射された発散反射光
はホログラムレンズによる集光素子１２により一次の回
折光として進行方向を変えられて受光素子１４上に収束
する。
【００１８】図５は図４において受光発光素子５を直接
平面基板１０に接合して構成した場合を示している。こ
れにより図４に示すように発光受光素子５を受発光部筐
体６に設置する場合に比べてホログラムレンズ１１，１
２の位置精度を上げることが可能となり製造工程をも簡
単にすることができる。
【００１９】図６は本発明の動作原理を説明するための
図で、図１に示す構成に対応している。ここでθはホロ
グラムの回折角を、λは発光素子１３の発振波長を、Ｐ
はホログラム基準ピッチを、ｄは発光素子１３と受光素
子１４との間の距離を、ｚは発光受光素子５とホログラ
ム３との間の距離をそれぞれ示す。
【００２０】ホログラムの回折角はθ＝ｓｉｎ-1（λ／
Ｐ）で規定され、発光素子と受光素子との間の距離はｄ
＝ｚ×ｔａｎθで規定される。今、発光素子の発振波長
λを７８０ｎｍ、発光受光素子とホログラム間の距離ｚ
を０．５ｍｍとした時のホログラム基準ピッチＰに対す
る発光素子と受光素子間の距離ｄとの関係を表１に示
す。
【００２１】
【表１】
【００２２】従ってホログラムの基準ピッチＰを変える
ことにより発光受光素子５上での収束位置を変えること
ができる。なお本発明は光マイクロホン装置に限定され
るものではなく光センサ等についても適応されることは
言うまでもない。
【００２３】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明では集
光素子により収束された発散反射光を分割して受光素子
に導く反射光束分割素子を設けたことにより受光素子の
構成、配置の自由度が増し、発光受光素子の製造を簡素
化することができる。また光学部品点数の削減と装置の
小型化を可能にし且つ各光学部品のアライメントを容易
に行うことのできる微小変位検出装置を実現することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す図。
【図２】本発明の第２の実施の形態を示す図。
【図３】本発明の第３の実施の形態を示す図。
【図４】本発明の第４の実施の形態を示す図。
【図５】本発明の第５の実施の形態を示す図。
【図６】本発明の動作原理を説明するための図。
【図７】従来の微小変位検出装置の一例を示す図。
【図８】従来の他の微小変位検出装置の一例を示す図。
【図９】従来の更に他の微小変位検出装置の一例を示す
図。
【図１０】図７の装置のトンネルダイヤグラムを示す
図。
【符号の説明】
１ 振動板 ２ 集光素子 ３ 反射光束分割素子 ４ 平面基板 ５ 発光受光素子 ６ 受発光部筐体 ７ 検出装置筐体 ８ 平面基板 ９ 集光／分割素子 １１ 集光素子 １２ 集光素子 １３ 発光素子 １４ 受光素子 １８ 基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 11/00 - 11/30 H04R 23/00 G01B 7/22

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 基板上に垂直共振器型面発光レーザ素子
    を用いた発光素子と受光素子とを配置し、前記基板に対
    向する位置に設置された振動板に前記発光素子から光を
    放射し、前記振動板からの反射光を前記受光素子で受光
    して前記振動板の音響等による微小変位を電気信号とし
    て検出する音響等による微小変位検出装置において、 前記基板と前記振動板との光路上に、 前記発光素子からの入射光を収束して前記振動板に導く
    とともに前記振動板からの発散反射光を収束させて前記
    受光素子に導くホログラムレンズを用いた集光素子と、 前記集光素子により収束された前記発散反射光を分割し
    て前記受光素子に導くホログラムを用いた反射光束分割
    素子と、 を設けたことを特徴とする音響等による微小変位検出装
    置。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載の微小変位検出装置にお
    いて、 前記発光素子と前記受光素子とを同一平面基板上に接合
    配置することを特徴とする音響等による微小変位検出装
    置。
  3. 【請求項３】 請求項１に記載の微小変位検出装置にお
    いて、 前記集光素子と前記反射光束分割素子とを合体させて構
    成することを特徴とする音響等による微小変位検出装
    置。
  4. 【請求項４】 基板上に垂直共振器型面発光レーザ素子
    を用いた発光素子と受光素子とを配置し、前記基板に対
    向する位置に設置された振動板に前記発光素子から光を
    放射し、前記振動板からの反射光を前記受光素子で受光
    して前記振動板の音響等による微小変位を電気信号とし
    て検出する微小変位検出装置において、 前記基板と前記振動板との光路上に、 前記発光素子からの入射光を収束して前記振動板に導く
    ホログラムを用いた第１集光素子と、 前記振動板からの発散反射光を収束して前記受光素子に
    導くホログラムを用いた第２集光素子と、 を設けたことを特徴とする音響等による微小変位検出装
    置。
  5. 【請求項５】 請求項４に記載の微小変位検出装置にお
    いて、 前記発光素子と前記受光素子とを同一平面基板上に接合
    配置することを特徴とする音響等による微小変位検出装
    置。
JP2000344107A 2000-11-10 2000-11-10 音響等による微小変位検出装置 Expired - Fee Related JP3522212B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000344107A JP3522212B2 (ja) 2000-11-10 2000-11-10 音響等による微小変位検出装置
US10/416,227 US7277642B2 (en) 2000-11-10 2001-11-02 Fine displacement detection device by sound or the like
PCT/JP2001/009639 WO2002039053A1 (fr) 2000-11-10 2001-11-02 Dispositif de detection de deplacement fin a l'aide d'un son ou analogue
DE0001333245T DE01980971T1 (de) 2000-11-10 2001-11-02 Fein-verschiebungs-detektionseinrichtung durch schall oder dergleichen
EP01980971A EP1333245A4 (en) 2000-11-10 2001-11-02 FINE DISPLACEMENT DETECTION DEVICE BY SOUND OR THE SIMILAR

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000344107A JP3522212B2 (ja) 2000-11-10 2000-11-10 音響等による微小変位検出装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002148018A JP2002148018A (ja) 2002-05-22
JP3522212B2 true JP3522212B2 (ja) 2004-04-26

Family

ID=18818360

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000344107A Expired - Fee Related JP3522212B2 (ja) 2000-11-10 2000-11-10 音響等による微小変位検出装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7277642B2 (ja)
EP (1) EP1333245A4 (ja)
JP (1) JP3522212B2 (ja)
DE (1) DE01980971T1 (ja)
WO (1) WO2002039053A1 (ja)

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7134343B2 (en) 2003-07-25 2006-11-14 Kabushiki Kaisha Toshiba Opto-acoustoelectric device and methods for analyzing mechanical vibration and sound
JP4112505B2 (ja) * 2004-01-14 2008-07-02 株式会社東芝 光マイクロフォン及びその製造方法
JP2006170740A (ja) * 2004-12-15 2006-06-29 Kenwood Corp 変位検出装置、マイクロフォン装置、および、変位検出方法
US7355723B2 (en) * 2006-03-02 2008-04-08 Symphony Acoustics, Inc. Apparatus comprising a high-signal-to-noise displacement sensor and method therefore
US7583390B2 (en) * 2006-03-02 2009-09-01 Symphony Acoustics, Inc. Accelerometer comprising an optically resonant cavity
US7359067B2 (en) * 2006-04-07 2008-04-15 Symphony Acoustics, Inc. Optical displacement sensor comprising a wavelength-tunable optical source
US7551295B2 (en) * 2006-06-01 2009-06-23 Symphony Acoustics, Inc. Displacement sensor
US7894618B2 (en) * 2006-07-28 2011-02-22 Symphony Acoustics, Inc. Apparatus comprising a directionality-enhanced acoustic sensor
US7626707B2 (en) * 2007-10-29 2009-12-01 Symphony Acoustics, Inc. Dual cavity displacement sensor
US8007609B2 (en) * 2007-10-31 2011-08-30 Symphony Acoustics, Inc. Parallel plate arrangement and method of formation
WO2009064577A1 (en) * 2007-11-18 2009-05-22 Arizona Board Of Regents, Acting For And On Behalf Of Arizona State University Microphone devices and methods for tuning microphone devices
JP5066307B1 (ja) * 2011-03-22 2012-11-07 パナソニック株式会社 光マイクロホン
US8594507B2 (en) * 2011-06-16 2013-11-26 Honeywell International Inc. Method and apparatus for measuring gas concentrations
US20120321322A1 (en) * 2011-06-16 2012-12-20 Honeywell International Inc. Optical microphone
WO2013027373A1 (ja) * 2011-08-25 2013-02-28 パナソニック株式会社 光マイクロホン
CN103900679B (zh) * 2012-12-26 2018-07-20 东莞市晶苑电子有限公司 发声装置声波大小的检测装置
JP2014206437A (ja) * 2013-04-12 2014-10-30 住友重機械工業株式会社 グラビア印刷機用マークセンサ
NO20130884A1 (no) * 2013-06-21 2014-12-22 Sinvent As Sensorelement med optisk forskyvning
CN103925986A (zh) * 2014-04-18 2014-07-16 深圳市蔚科电子科技开发有限公司 一种鼓调音方法及鼓调音器
US20150365770A1 (en) * 2014-06-11 2015-12-17 Knowles Electronics, Llc MEMS Device With Optical Component
US9510074B2 (en) 2014-07-07 2016-11-29 Apple Inc. Grating only optical microphone
US9510110B2 (en) * 2014-07-07 2016-11-29 Apple Inc. Open top back plate optical microphone
JP6432260B2 (ja) * 2014-09-30 2018-12-05 富士通株式会社 振動検出部品、これを用いた音響装置及び情報機器
EP3742757B1 (en) * 2019-05-22 2022-12-28 ams International AG Optical transducer and method for measuring displacement

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5262884A (en) * 1991-10-09 1993-11-16 Micro-Optics Technologies, Inc. Optical microphone with vibrating optical element
EP0617314A4 (en) * 1992-09-10 1995-10-18 Fujitsu Ltd SYSTEM WITH OPTICAL SWITCHING AND ITS COMPONENTS.
JP3029541B2 (ja) * 1994-12-19 2000-04-04 シャープ株式会社 光ピックアップ装置
US5737084A (en) * 1995-09-29 1998-04-07 Takaoka Electric Mtg. Co., Ltd. Three-dimensional shape measuring apparatus
JPH10294527A (ja) 1997-04-18 1998-11-04 Seiko Epson Corp モノリシック受発光素子およびその製造方法およびそれを用いた光ピックアップ
US6301034B1 (en) * 1997-10-22 2001-10-09 John R. Speciale Pulsed laser microphone
JP3521738B2 (ja) * 1998-04-08 2004-04-19 日本ビクター株式会社 光ピックアップ装置、エラー検出装置及びその検出方法
DE19839305B4 (de) * 1998-08-28 2009-01-15 Siemens Ag Reflexlichtschranke
US6154551A (en) * 1998-09-25 2000-11-28 Frenkel; Anatoly Microphone having linear optical transducers
EP1369856B1 (en) * 1999-01-22 2007-05-09 Konica Minolta Opto, Inc. Optical pickup apparatus for recording/reproducing information
JP2000287286A (ja) * 1999-03-31 2000-10-13 Kenwood Corp 光マイクロフォン装置
JP2001119796A (ja) * 1999-10-15 2001-04-27 Kenwood Corp 光マイクロフォン素子および光マイクロフォン装置
JP3481179B2 (ja) * 2000-01-17 2003-12-22 株式会社ケンウッド 音響電気変換装置

Also Published As

Publication number Publication date
US7277642B2 (en) 2007-10-02
JP2002148018A (ja) 2002-05-22
EP1333245A4 (en) 2008-10-29
US20040099799A1 (en) 2004-05-27
EP1333245A1 (en) 2003-08-06
DE01980971T1 (de) 2004-04-22
WO2002039053A1 (fr) 2002-05-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3522212B2 (ja) 音響等による微小変位検出装置
US5402435A (en) Optical device
CN113811747B (zh) 光学麦克风组合件
US3668404A (en) Electro-optical microtransducer comprising diffractive element monolithically integrated with photoelectric device
JP3951613B2 (ja) マイクロホン
JPWO2002048646A1 (ja) 光学式距離センサ
KR100629048B1 (ko) 광학소자를 이용한 음향전기 변환장치
US7293463B2 (en) Acoustoelectric conversion device
CN115462096A (zh) 麦克风组件及制造方法
JP2862448B2 (ja) 光学式変位センサ及びこれを用いた駆動システム
US11979714B2 (en) Optical transducer and method for measuring displacement
JP3828755B2 (ja) 変位光量変換装置
KR100481735B1 (ko) 집적 광학 부재 및 광 픽업 장치
JP4249875B2 (ja) 音響電気変換装置
US3546469A (en) Electro-optical displacement measurer using zone plates
TWI858036B (zh) 麥克風殼體
JP2005045720A (ja) 光マイクロホン及びその製造方法
JP3481179B2 (ja) 音響電気変換装置
US20240171919A1 (en) Optical microphone
JPH07261060A (ja) 光パッケージ
TW482890B (en) Optical distance sensor
JPH07135303A (ja) 光パッケージ
JP2020095199A (ja) 弦楽器用光学式ピックアップ
JPH05203824A (ja) 光集積回路、光ピックアップおよび光情報処理装置
JP2001231100A (ja) 音響電気変換装置

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20031203

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040106

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040203

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080220

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090220

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090220

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100220

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees