JP3400534B2 - Scanning optical microscope - Google Patents

Scanning optical microscope

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JP3400534B2
JP3400534B2 JP10967794A JP10967794A JP3400534B2 JP 3400534 B2 JP3400534 B2 JP 3400534B2 JP 10967794 A JP10967794 A JP 10967794A JP 10967794 A JP10967794 A JP 10967794A JP 3400534 B2 JP3400534 B2 JP 3400534B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光学顕微鏡にスキャン
ユニットを後付けする走査型光学顕微鏡に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scanning optical microscope in which a scanning unit is retrofitted to an optical microscope.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、光学顕微鏡にスキャンユニットを
後付けする走査型光学顕微鏡の一例として、米国特許5
127730号明細書に開示されており、図8はその外
観を表す図であり、図9はその光学図である。これは光
学顕微鏡60と、これに後付けされる走査型光学顕微鏡
のスキャンユニット70、スキャンユニット70の外装
部材に取付けられたレーザ光源61、コンピュータ8
4、表示器82を備えている。光学顕微鏡60とスキャ
ンユニット70は、光学顕微鏡60の直筒部60aで光
学的および機械的に結合されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as an example of a scanning optical microscope in which a scanning unit is attached to an optical microscope, US Pat.
FIG. 8 is a diagram showing its appearance, and FIG. 9 is an optical diagram thereof. This is an optical microscope 60, a scan unit 70 of a scanning optical microscope which is attached to the optical microscope 60, a laser light source 61 attached to an exterior member of the scan unit 70, and a computer 8.
4 and a display 82. The optical microscope 60 and the scan unit 70 are optically and mechanically coupled to each other at a straight tube portion 60a of the optical microscope 60.

【0003】図9に示すように、レーザ光源61より発
振された488nmと514nmのレーザビームは、エ
クスターナルフィルタ63により、どちらか1つの波長
のみが透過される。そして、ダイクロイックミラー65
により、図示下方に反射されXYスキャンユニット67
を通り、光学顕微鏡内60の対物レンズ80を通り標本
81に集光される。ここで集光された光は標本81面は
スキャンユニット67で、標本81面を2次元に走査さ
れる。標本81より発光した蛍光は、対物レンズ80、
スキャンユニット67を通る。そして、ダイクロイック
ミラー65を透過し、2波長測光の場合は測光用ダイク
ロイックミラー68により分光され、検出器(1)[フ
ォトマルチプライヤ(1)]75と、検出器(2)[フ
ォトマルチプライヤ(2)]73により検出される。1
波長測光の場合は、どちらか1つの検出器75,73で
検出される。
As shown in FIG. 9, a laser beam of 488 nm and a laser beam of 514 nm emitted from a laser light source 61 is transmitted by an external filter 63 at only one of the wavelengths. And the dichroic mirror 65
Is reflected downward in the drawing by the XY scan unit 67.
Through the objective lens 80 in the optical microscope 60 to be focused on the sample 81. The light collected here is on the surface of the specimen 81
The surface of the sample 81 is two-dimensionally scanned by the scan unit 67. The fluorescence emitted from the specimen 81 is the objective lens 80,
It passes through the scan unit 67. Then, the light passes through the dichroic mirror 65, and in the case of two-wavelength photometry, the light is separated by the photometric dichroic mirror 68, and the detector (1) [photomultiplier (1)] 75 and the detector (2) [photomultiplier ( 2)] 73. 1
In the case of wavelength photometry, it is detected by one of the detectors 75 and 73.

【0004】一方、前述の米国特許5127730号明
細書には、2重染色標本等、2つの励起光を必要とする
蛍光標本が増加しており、この2重染色標本を観察する
走査型光学顕微鏡も開示されており、図10がその走査
型光学顕微鏡用スキャンユニットの光学図である。ここ
ではレーザ光源50として、488nm,568nm,
647nmのレーザ光を同時発振するKr−Arレーザ
光源50を用いている。レーザ光源50より発振された
3つの波長のレーザ光51は、デュアルバンドパスフィ
ルタ52aで488nmと568nmの2つとなり、デ
ュアルダイクロイックミラー54により図の下方の対物
レンズ(図示せず)を介して蛍光標本55に導かれる。
標本55から蛍光として発光された2種類の波長は、前
記対物レンズ、デュアルダイクロイックミラー54を透
過し反射鏡56で反射され、フィルタブロック57に導
かれる。そして、フィルタブロック57に有する測光用
ダイクロイックミラー57aにより、1つ1つの波長に
分光されフィルタ57bおよび57cをそれぞれ介して
フォトマルチプライヤ(PMT)58及び59により検
出される。
On the other hand, in the above-mentioned US Pat. No. 5,127,730, the number of fluorescent specimens that require two excitation lights, such as double-stained specimens, has increased, and a scanning optical microscope for observing the double-stained specimens. 10 is an optical diagram of the scanning unit for the scanning optical microscope. Here, as the laser light source 50, 488 nm, 568 nm,
A Kr-Ar laser light source 50 that simultaneously oscillates laser light of 647 nm is used. The laser light 51 of three wavelengths oscillated by the laser light source 50 becomes two light of 488 nm and 568 nm by the dual bandpass filter 52a, and fluorescence is emitted by the dual dichroic mirror 54 through the objective lens (not shown) below the drawing. It is guided to the specimen 55.
The two kinds of wavelengths emitted as fluorescence from the sample 55 are transmitted through the objective lens and the dual dichroic mirror 54, reflected by the reflecting mirror 56, and guided to the filter block 57. Then, by the photometric dichroic mirror 57a included in the filter block 57, the light is separated into individual wavelengths and detected by the photomultipliers (PMT) 58 and 59 via the filters 57b and 57c, respectively.

【0005】このように、図10に示す走査型光学顕微
鏡用スキャンユニットによれば、複数の波長を発振する
マルチラインレーザ光源を組み合わせて、2重励起観察
を行うことができる。
As described above, according to the scanning optical microscope scanning unit shown in FIG. 10, double excitation observation can be performed by combining a multi-line laser light source that oscillates a plurality of wavelengths.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかし、図10の例で
は次のような問題点がある。すなわち、2重染色標本5
5の種類によっては、一つのマルチラインレーザ光源5
0で発振できない波長を必要とする場合があり、その場
合には使用できない。また、Kr−Arレーザ光源50
は、比較的、広範囲の波長をカバーしているものの、高
価であるため実用化されにくい。そこで本発明の目的
は、さまざまなレーザ波長が選択でき、さまざまな2重
励起観察に対応できる走査型光学顕微鏡を提供すること
にある。
However, the example of FIG. 10 has the following problems. That is, double-stained specimen 5
5 multi-line laser light source 5
It may require a wavelength that cannot oscillate at 0 and cannot be used in that case. In addition, the Kr-Ar laser light source 50
Covers a wide range of wavelengths, but is difficult to put into practical use because it is expensive. Therefore, an object of the present invention is to provide a scanning optical microscope which can select various laser wavelengths and can cope with various double excitation observations.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項1に対応する走査型光学顕微鏡は、第1のレ
ーザ光源からのレーザ光を所望の径の平行光に広げる第
1の光学手段が接続されたスキャンユニットを光学顕微
鏡に取り付けた走査型光学顕微鏡において、前記スキャ
ンユニットに設けられ、前記第1のレーザ光源とは異な
る波長のレーザ光を発する第2のレーザ光源を前記スキ
ャンユニットに接続するための接続ポートと、前記スキ
ャンユニット内にあって、前記第1のレーザ光源からの
レーザ光と前記第2のレーザ光源からのレーザ光を同軸
に前記光学顕微鏡に導くための光路合成手段と、前記第
1のレーザ光源と前記光路合成手段が配置される位置と
の間に配置され、前記第1のレーザ光源からのレーザ光
を調光する調光手段と、を具備することを特徴とする。
In order to achieve the above object, a scanning optical microscope according to claim 1 is provided with a first laser.
The laser light from the laser light source is expanded into a parallel light with a desired diameter.
The scanning unit to which the optical means 1 is connected
In a scanning optical microscope mounted on a mirror, the scan
Is provided in the main unit and is different from the first laser light source.
A second laser light source that emits laser light of a certain wavelength
Connection port for connecting to
The first laser light source,
Coaxial laser light and laser light from the second laser light source
An optical path synthesizing means for guiding to the optical microscope,
1 laser light source and the position where the optical path synthesizing means is arranged,
Laser light from the first laser light source disposed between
And a dimming unit for dimming the light.

【0008】前記目的を達成するため、請求項2に対応
する走査型光学顕微鏡は、前記第2のレーザ光源が前記
スキャンユニットに接続されていることを特徴とする請
求項1記載の走査型光学顕微鏡である。
In order to achieve the above object, in a scanning optical microscope according to a second aspect, the second laser light source is the
A contract characterized by being connected to a scanning unit
The scanning optical microscope according to claim 1.

【0009】また、請求項3に対応する走査型光学顕微
鏡の光路合成手段は、前記スキャンユニットから前記第
2のレーザ光源を取り外した時、前記第1のレーザ光源
からのレーザ光の光路上から退避することを特徴とする
請求項2記載の走査型光学顕微鏡である。
A scanning optical microscope according to claim 3
The optical path combining means of the mirror is configured such that
When the second laser light source is removed, the first laser light source
Characterized by retracting from the optical path of laser light from
The scanning optical microscope according to claim 2.

【0010】また、請求項4に対応する走査型光学顕微
鏡は、前記第2のレーザ光源からのレーザ光を所望の径
の平行光に広げる第2の光学手段を含んでいることを特
徴とする請求項1又は2記載の走査型光学顕微鏡であ
る。
Further , a scanning optical microscope according to claim 4
The mirror emits the laser light from the second laser light source to a desired diameter.
It includes a second optical means for spreading the parallel light of
The scanning optical microscope according to claim 1 or 2, wherein
It

【0011】また、請求項5に対応する走査型光学顕微
鏡の光路合成手段は、ダイクロイックミラーであること
を特徴とする請求項1から4のいずれか一つに記載の走
査型光学顕微鏡である。
Further , a scanning optical microscope according to claim 5
The optical path combining means of the mirror should be a dichroic mirror
The run according to any one of claims 1 to 4, characterized in that
It is a scanning optical microscope.

【0012】[0012]

【作用】本発明によれば、さまざまなレーザ波長が選択
でき、さまざまな2重励起観察に対応できる走査型光学
顕微鏡を提供することができる。また、第1のレーザ光
路上に第2のレーザ光源からのレーザ光が同軸に導かれ
る以前に透過率を選択できる調光手段を設けているの
で、第2のレーザ光源を発振する、しないにかかわら
ず、第2のレーザ光の調光と独立して第1のレーザ光の
調光ができる操作性のよいスキャンユニットとなる。
According to the present invention, various laser wavelengths can be selected.
Scanning optics capable of various dual excitation observations
A microscope can be provided. Also, the first laser light
The laser light from the second laser light source is coaxially guided to the road.
Before that, we have a dimming device that can select the transmittance.
So, whether to oscillate the second laser light source or not
The first laser light independently of the dimming of the second laser light.
It becomes a scan unit that is dimmable and has good operability.

【0013】[0013]

【実施例】以下、本発明の実施例について、図面を参照
して説明する。図1は本発明の第1実施例の走査型光学
顕微鏡スキャンユニットの光学図と前記スキャンユニッ
トと光学的につながっている光学顕微鏡の光学図を示し
ている。これは、スキャンユニットに取付けられている
第1のレーザ光源1、レーザビームを所望の径の平行光
に広げるビームエクスパンダ2、第2のレーザ光源4、
第2のレーザ光源用のビームエクスパンダ5、第2のレ
ーザ光源4より発振するレーザ光を第1のレーザ光源1
からのレーザ光路3上に同軸に導くためのダイクロイッ
クミラー6からなっている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows an optical diagram of a scanning optical microscope scanning unit according to a first embodiment of the present invention and an optical diagram of an optical microscope optically connected to the scanning unit. This includes a first laser light source 1 attached to a scan unit, a beam expander 2 for expanding a laser beam into parallel light of a desired diameter, a second laser light source 4,
The beam expander 5 for the second laser light source and the laser light oscillated from the second laser light source 4 are supplied to the first laser light source 1
It is composed of a dichroic mirror 6 for coaxially guiding it to the laser optical path 3 from.

【0014】ダイクロイックミラー6は、第1のレーザ
光源1と第2のレーザ光源4を同時に発振させ、2重励
起を行うような場合、レーザ光源4からのレーザ光を反
射し、レーザ光源1からのレーザ光を透過させる分光特
性が得られるように作用する。
The dichroic mirror 6 reflects the laser light from the laser light source 4 to oscillate the first laser light source 1 and the second laser light source 4 at the same time to perform double excitation, and reflects the laser light from the laser light source 1. It acts so as to obtain the spectral characteristics of transmitting the laser light.

【0015】そして、ダイクロイックミラー6からのレ
ーザ光はダイクロイックミラー7により、標本13上に
導かれ、また標本13上に2次元に走査するために対物
レンズ12の瞳と共役な位置におかれたXYガルバノメ
ータスキャナ8,9、瞳投影レンズ10を備えている。
さらに、集光レンズ14、測光用ダイクロイックミラー
15、ミラー16、フォトマルチプライヤ(検出器)1
7、フォトマルチプライヤ(検出器)18を示す。以上
述べた構成は、スキャンユニット内の光学系であり、こ
れは光学顕微鏡に後付けされる。
The laser light from the dichroic mirror 6 is guided by the dichroic mirror 7 onto the sample 13 and is placed at a position conjugate with the pupil of the objective lens 12 for two-dimensional scanning on the sample 13. It is equipped with XY galvanometer scanners 8 and 9 and a pupil projection lens 10.
Further, a condenser lens 14, a photometric dichroic mirror 15, a mirror 16, and a photomultiplier (detector) 1
7 shows a photomultiplier (detector) 18. The configuration described above is the optical system in the scan unit, which is installed after the optical microscope.

【0016】光学顕微鏡は、接眼観察光路への分岐を行
うプリズム11、対物レンズ12を備え、これにより標
本13の観察が可能になっている。図2は前記スキャン
ユニットの外観を示す図(斜視図)で、図1と同じ部位
には同番号を符す。スキャンユニットの外装ケース19
の底面には、光学顕微鏡と接続され、光路を形成するた
めの接続管20の一端が接続され、また外装ケース19
の側面には第2のレーザ光源取付用ポート21例えば円
形穴が形成されている。レーザ光源取付用ポート21に
は、第2のレーザ光源部組22が着脱可能になってお
り、レーザ光源部組22には図1のレーザ光源4、ビー
ムエクスパンダ5、ダイクロイックミラー6を内蔵され
ている。
The optical microscope is equipped with a prism 11 and an objective lens 12 for branching into an eyepiece observation optical path, whereby a sample 13 can be observed. FIG. 2 is a diagram (perspective view) showing the external appearance of the scan unit. The same parts as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals. Scan unit exterior case 19
Is connected to an optical microscope and one end of a connecting tube 20 for forming an optical path is connected to the bottom surface of the outer case 19
A second laser light source mounting port 21, for example, a circular hole is formed on the side surface of the. A second laser light source unit set 22 is attachable to and detachable from the laser light source mounting port 21, and the laser light source unit set 22 includes the laser light source 4, the beam expander 5, and the dichroic mirror 6 shown in FIG. ing.

【0017】次に、以上のように構成された第1実施例
の動作について説明する。第1のレーザ光源1より発振
されたレーザ光は、ビームエクスパンダ2により所定の
径を持つ、平行光に広げられる。そして、ダイクロイッ
クミラー7により下方に反射され、XYガルバノメータ
スキャナ8,9を通り、瞳投影レンズ10、プリズム1
1を通り、対物レンズ12により標本13面上に集光さ
れる。
Next, the operation of the first embodiment constructed as above will be described. The laser light emitted from the first laser light source 1 is spread by the beam expander 2 into parallel light having a predetermined diameter. Then, the light is reflected downward by the dichroic mirror 7, passes through the XY galvanometer scanners 8 and 9, and passes through the pupil projection lens 10 and the prism 1.
After passing through 1, the light is focused on the surface of the sample 13 by the objective lens 12.

【0018】標本13より発光した蛍光は、対物レンズ
12、プリズム11、瞳投影レンズ10、XYガルバノ
メータスキャナ9,8と、前述と同一経路を逆方向に進
む。そしてダイクロイックミラー7を透過し、集光レン
ズ14を通り、1波長の蛍光のみの検出の場合は、測光
用ダイクロイックミラー15で反射し、フォトマルチプ
ライヤ17で検出される。また、2波長の蛍光の測光の
場合は別の波長の蛍光が測光用ダイクロイックミラー1
5を透過し、ミラー16を反射後フォトマルチプライヤ
18で検出される。以上の動作の説明はスキャンユニッ
トにあらかじめ取付けられている第1のレーザ光源1か
らのレーザ光の動作を示すものである。
Fluorescence emitted from the sample 13 travels in the opposite direction along the same path as the above-mentioned objective lens 12, prism 11, pupil projection lens 10, XY galvanometer scanners 9 and 8. Then, when only the fluorescence of one wavelength is transmitted through the dichroic mirror 7 through the condenser lens 14, it is reflected by the photometric dichroic mirror 15 and detected by the photomultiplier 17. Further, in the case of photometry of fluorescence of two wavelengths, fluorescence of another wavelength is measured by the dichroic mirror 1.
5, and is reflected by the mirror 16 and detected by the photomultiplier 18. The above description of the operation shows the operation of the laser light from the first laser light source 1 which is attached to the scan unit in advance.

【0019】また、図2に示した第2のレーザ光源部組
22を外装ケース19のレーザ光源取付用ポート21に
取付け、第2のレーザ光源4を発振させると、このレー
ザ光はビームエクスパンダ5により所定の径を持つ平行
光に広げられ、ダイクロイックミラー6により反射さ
れ、第1レーザ光源1のレーザ光路3上に同軸に導かれ
る。その後は、第1のレーザ光と同一の経路をたどりフ
ォトマルチプライヤ17,18により検出される。
When the second laser light source assembly 22 shown in FIG. 2 is attached to the laser light source attaching port 21 of the outer case 19 and the second laser light source 4 is oscillated, the laser light is expanded by the beam expander. The beam is spread into parallel light having a predetermined diameter by 5, is reflected by the dichroic mirror 6 , and is guided coaxially onto the laser optical path 3 of the first laser light source 1. After that, the photomultipliers 17 and 18 follow the same path as the first laser beam and are detected.

【0020】ここで、第1のレーザと第2のレーザを同
時発振させ、2重励起観察を行う場合はダイクロイック
ミラー6には、第1のレーザ光を透過させ、第2のレー
ザ光を反射させる分光特性をもたせ、ダイクロイックミ
ラー7は、第1のレーザ光、第2のレーザ光をともに反
射させ標本13より反射されてきた複数の蛍光は透過さ
せる分光特性を持たせればよい。
Here, when the first laser and the second laser are simultaneously oscillated to perform double excitation observation, the dichroic mirror 6 transmits the first laser light and reflects the second laser light. The dichroic mirror 7 is required to have a spectral characteristic that both the first laser beam and the second laser beam are reflected and a plurality of fluorescence reflected from the sample 13 is transmitted.

【0021】以上述べた第1実施例では、スキャンユニ
ットに、あらかじめ取付けられている第1のレーザ光源
1に加えて第2のレーザ光源4を取付け、同時発振させ
ることにより、複数波長を発振する高価なマルチライン
レーザを用いることなく、2重励起観察できる走査型光
学顕微鏡となる。
In the first embodiment described above, the second laser light source 4 is attached to the scan unit in addition to the first laser light source 1 which is attached in advance, and simultaneously oscillates to oscillate a plurality of wavelengths. The scanning optical microscope can perform double excitation observation without using an expensive multi-line laser.

【0022】また、第2のレーザ光源4を使用しなけれ
ば、第1のレーザ光源のみの走査型光学顕微鏡として使
用でき、第2のレーザ光源4は、さまざまな波長をもつ
ものを自由に選択して使えるので、検鏡者が自由にシス
テムアップできる走査型光学顕微鏡となる。
If the second laser light source 4 is not used, it can be used as a scanning optical microscope having only the first laser light source, and the second laser light source 4 having various wavelengths can be freely selected. since then use it, a scanning optical microscope observer can system up freely.

【0023】なお、第1実施例では、ダイクロイックミ
ラー6を第2のレーザ光源部組22内に設けているの
で、第2のレーザ光源部組をスキャンユニットの第2の
レーザ光源取付用ポート21に取付けると、第1のレー
光路3上にダイクロイックミラー6は配置され、取り
外すと前記光路3上より、第2のレーザ光源部組と一緒
に退避するようになっている。しかし、このダイクロイ
ックミラー6をスキャンユニット内に設け、第2のレー
ザ光源部組を取付ける時は光路3上にダイクロイックミ
ラー6を位置させ、取り外した時は光路3上より退避さ
せるようにしてもよい。
In the first embodiment, since the dichroic mirror 6 is provided in the second laser light source unit set 22, the second laser light source unit set is used as the second laser light source mounting port 21 of the scan unit. When it is attached, the dichroic mirror 6 is arranged on the first laser optical path 3, and when it is removed, it is retracted from the optical path 3 together with the second laser light source assembly. However, the dichroic mirror 6 may be provided in the scan unit so that the dichroic mirror 6 is positioned on the optical path 3 when the second laser light source assembly is attached , and retracted from the optical path 3 when it is removed. .

【0024】次に本発明の第2実施例について、図3及
び図4を用いて説明する。図3は、その光学図を示し、
図4はスキャンユニットの外観斜視図を示す。なお、第
1実施例の図1、図2と同一機能のものには同番号を符
す。本実施例は、第1実施例に透過率を段階的に選択で
きる調光用フィルタターレット23を付加したものであ
る。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 3 shows its optical diagram,
FIG. 4 is an external perspective view of the scan unit. The same numbers are given to those having the same functions as those in FIGS. 1 and 2 of the first embodiment. In this embodiment, a dimming filter turret 23 whose transmittance can be selected stepwise is added to the first embodiment.

【0025】具体的には、第2のレーザ光源4から発振
されたレーザ光が第1のレーザ光源1から発振されたレ
ーザ光のレーザ光路3上にダイクロイックミラー6によ
り、同軸に導かれる前に、調光用フィルタターレット
3に配置されている調光用フィルタ23a,23b,2
3c,23dのうちの1つ、23aを第1のレーザ光路
3上に配置したものである。調光用フィルタ23b,2
3c,23dはターレット23を図示しない回転機構に
より回転させることにより、第1のレーザ光路3上にそ
れぞれ持ってくることが可能で、所望の透過率の調光用
フィルタを選択できる。さらに、第2のレーザ光源4か
らのレーザ光がダイクロイックミラー6により第1のレ
ーザ光路3上に同軸に導かれるまえに調光用フィルタが
配設されているので、この調光用フィルタは第1のレー
ザ光源からのレーザ光の調光のみ行い、第2のレーザ光
源からのレーザ光には影響を与えない。従って、第2の
レーザ光源4を使用する、しないに関係なく独立して第
1のレーザ光源1からのレーザ光の調光ができる。ま
た、第2のレーザ光源4より発振されたレーザ光が、
1のレーザ光源1のレーザ光路3上へ同軸に導かれる以
前、つまり、第2のレーザ光がダイクロイックミラー6
に到達する前に調光用フィルタ等で第2のレーザ光の調
光を行えば、第1のレーザ光、第2のレーザ光、言い換
えれば第1の励起光と、第2の励起光を2重染色標本の
特性に合わせてそれぞれ独立して調光が行えるスキャン
ユニットとなる。
Specifically, before the laser light emitted from the second laser light source 4 is coaxially guided by the dichroic mirror 6 onto the laser optical path 3 of the laser light emitted from the first laser light source 1. , Dimming filter turret 2
Dimming filters 23a, 23b, 2 arranged in 3
One of 3c and 23d, 23a is a first laser optical path
It is arranged on top of 3 . Light control filters 23b, 2
By rotating the turret 23 by a rotation mechanism (not shown), the reference numerals 3c and 23d can be brought respectively onto the first laser optical path 3, and a dimming filter having a desired transmittance can be selected. Furthermore, since the dimming filter is disposed before the laser light from the second laser light source 4 is coaxially guided to the first laser light path 3 by the dichroic mirror 6, this dimming filter is Only the dimming of the laser light from the first laser light source is performed, and the laser light from the second laser light source is not affected. Therefore, the second
Regardless of whether or not the laser light source 4 is used, the laser light from the first laser light source 1 can be adjusted independently. The laser beam oscillated from the second laser light source 4, the
Before being coaxially guided to the laser optical path 3 of the first laser light source 1 , that is, the second laser light is transmitted to the dichroic mirror 6
If the dimming of the second laser light is performed with a dimming filter or the like before reaching the first laser light, the first laser light, the second laser light, in other words, the first excitation light and the second excitation light, It becomes a scanning unit that can perform light control independently according to the characteristics of the double-stained specimen.

【0026】なお、第2実施例では、透過率を段階的に
選択する調光用フィルタにターレット23を用いたが、
図5に示したようなそれぞれ透過率の異なる複数の調光
フィルタ24a,24b,24cをスライダ24に備付
けて、図中の矢印方向に可動させることにより、透過率
を選択してもよい。
In the second embodiment, the turret 23 is used as the dimming filter which selects the transmittance stepwise.
The transmittance may be selected by equipping the slider 24 with a plurality of light control filters 24a, 24b, 24c having different transmittances as shown in FIG. 5 and moving the sliders in the arrow direction in the figure.

【0027】また、図3及び図5では、透過率の異なる
調光用フィルタを複数個備え、それぞれを光路上にもっ
てくることにより透過率を段階的に変えているので、観
察に適性な明るさを備付けの調光用フィルタから得られ
ないことが考えられる。そこで透過率が連続的に低い方
から高い方へ、または高い方から低い方へアナログ的に
変化するフィルタを用いて、例えばターレットを用いた
場合には回転により、またスライダを用いた場合には抜
き差しにより、調光を行えば、常に観察に適性な明るさ
を得ることが可能となる。
Further, in FIGS. 3 and 5, a plurality of dimming filters having different transmittances are provided, and the transmittances are changed stepwise by bringing them into the optical path, so that the brightness suitable for observation is obtained. It is conceivable that it cannot be obtained from a dimming filter equipped with a light source. Therefore, using a filter whose transmittance continuously changes from low to high, or from high to low in an analog manner, for example, when a turret is used, it is rotated, and when a slider is used, If light adjustment is performed by inserting and removing, it is possible to always obtain a brightness suitable for observation.

【0028】次に本発明の第3実施例について、図6の
光学図および図7のスキャンユニット部の外観斜視図を
参照して説明する。なお、第2実施例と同一機能のもの
には同番号を符す。第3実施例は、第2実施例の調光用
フィルタターレット23の操作つまみを検鏡者前面19
aにもってきたものである。光学顕微鏡にユニットとし
て後付けされる走査型光学顕微鏡のスキャンユニットで
は第1のレーザ光源1をスキャンユニット外装19の後
方に設け、そこから発振するレーザ光を、スキャンユニ
ットの前側19a、つまり検鏡者側へ向け発振させる構
成になることが多い。そこで前記調光用フィルタターレ
ットの回転軸25を、第1のレーザ光源1より発振され
るレーザ光路3と平行にのばし、スキャンユニット19
の前面、つまり検鏡者側の操作面19aに突出させ、そ
こでつまみ26により、回転操作する構成とする。
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to the optical diagram of FIG. 6 and the external perspective view of the scan unit portion of FIG. The same numbers are given to those having the same functions as those in the second embodiment. The third embodiment is for dimming of the second embodiment.
Operate the control knob of the filter turret 23 on the front 19
It came to a. In a scan unit of a scanning optical microscope which is attached as a unit to an optical microscope, a first laser light source 1 is provided behind a scan unit exterior 19, and laser light oscillated from the first laser light source 1 is supplied to a front side 19a of the scan unit, that is, a microscopist. It is often configured to oscillate toward the side. Therefore, the rotary shaft 25 of the light control filter turret is extended in parallel with the laser optical path 3 oscillated from the first laser light source 1, and the scan unit 19 is provided.
The projection surface is projected to the operation surface 19a on the spectroscope side, and the knob 26 is used to rotate the operation surface.

【0029】以上のように本第3実施例のスキャンユニ
ットでは第1のレーザ光源1からのレーザ光路3と平行
に調光用フィルタターレット回転軸25をのばし、検鏡
者側の操作面19aにその切り換え操作つまみ26を配
置したので、操作性の良いフィルタ変換回転操作をギア
等による複雑な機構を用いずに簡単な構成で実現でき
る。
As described above, in the scanning unit of the third embodiment, the dimming filter turret rotary shaft 25 is extended in parallel with the laser optical path 3 from the first laser light source 1, and is projected on the operation surface 19a on the side of the speculum. Since the switching operation knob 26 is arranged, the filter conversion rotation operation with good operability can be realized with a simple configuration without using a complicated mechanism such as a gear.

【0030】[0030]

【発明の効果】本発明によれば、さまざまなレーザ波長
が選択でき、さまざまな2重励起観察に対応できる走査
型光学顕微鏡を提供することができる。
According to the present invention, various laser wavelengths can be obtained.
Can be selected, and scanning that can support various double excitation observations
Type optical microscope can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の走査型光学顕微鏡の第1実施例を示す
光学図。
FIG. 1 is an optical diagram showing a first embodiment of a scanning optical microscope of the present invention.

【図2】本発明の走査型光学顕微鏡の第1実施例のスキ
ャンユニット部を示す外観斜視図。
FIG. 2 is an external perspective view showing the scan unit section of the first embodiment of the scanning optical microscope of the present invention.

【図3】本発明の走査型光学顕微鏡の第2実施例を示す
光学図。
FIG. 3 is an optical diagram showing a second embodiment of the scanning optical microscope of the present invention.

【図4】本発明の走査型光学顕微鏡の第2実施例のスキ
ャンユニット部を示す外観斜視図。
FIG. 4 is an external perspective view showing a scan unit section of a second embodiment of the scanning optical microscope of the present invention.

【図5】本発明の走査型光学顕微鏡の第2実施例の変形
を示す光学図。
FIG. 5 is an optical diagram showing a modification of the second embodiment of the scanning optical microscope of the present invention.

【図6】本発明の走査型光学顕微鏡の第3実施例を示す
光学図。
FIG. 6 is an optical diagram showing a third embodiment of the scanning optical microscope of the present invention.

【図7】本発明の走査型光学顕微鏡の第3実施例のスキ
ャンユニット部を示す外観斜視図。
FIG. 7 is an external perspective view showing a scan unit section of a third embodiment of the scanning optical microscope of the present invention.

【図8】従来の走査型光学顕微鏡の一例を説明するため
の図。
FIG. 8 is a diagram for explaining an example of a conventional scanning optical microscope.

【図9】従来の走査型光学顕微鏡の一例を説明するため
の図。
FIG. 9 is a diagram for explaining an example of a conventional scanning optical microscope.

【図10】従来の走査型光学顕微鏡の一例を説明するた
めの図。
FIG. 10 is a diagram for explaining an example of a conventional scanning optical microscope.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…第1のレーザ光源、2…ビームエクスパンダ、3…
レーザ光路、4…第2のレーザ光源、5…ビームエクス
パンダ、6,7…ダイクロイックミラー、8,8…XY
ガルバノメータスキャナ、10…瞳投影レンズ、19…
スキャンユニット外装、20…光学顕微鏡接続管、21
…第2レーザ光源取付用ポート、22…第2レーザ光源
部組、23…調光用フィルタターレット、23a〜23
d…調光用フィルタ、26…フィルタターレット操作つ
まみ。
1 ... 1st laser light source, 2 ... beam expander, 3 ...
Laser optical path, 4 ... Second laser light source, 5 ... Beam expander, 6, 7 ... Dichroic mirror, 8, 8 ... XY
Galvanometer scanner, 10 ... Pupil projection lens, 19 ...
Scan unit exterior, 20 ... Optical microscope connection tube, 21
... second laser light source mounting port, 22 ... second laser light source assembly, 23 ... light control filter turret, 23a-23
d ... dimming filter, 26 ... filter turret operation knob.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 21/00 G01N 21/27 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G02B 21/00 G01N 21/27

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】第1のレーザ光源からのレーザ光を所望の
径の平行光に広げる第1の光学手段が接続されたスキャ
ンユニットを光学顕微鏡に取り付けた走査型光学顕微鏡
において、 前記スキャンユニットに設けられ、前記第1のレーザ光
源とは異なる波長のレーザ光を発する第2のレーザ光源
を前記スキャンユニットに接続するための接続ポート
と、 前記スキャンユニット内にあって、前記第1のレーザ光
源からのレーザ光と前記第2のレーザ光源からのレーザ
光を同軸に前記光学顕微鏡に導くための光路合成手段
と、 前記第1のレーザ光源と前記光路合成手段が配置される
位置との間に配置され、前記第1のレーザ光源からのレ
ーザ光を調光する調光手段と、 を具備することを特徴とする走査型光学顕微鏡。
1. A laser beam emitted from a first laser light source is desired.
A scan to which a first optical means for expanding parallel light of a diameter is connected.
Scanning optical microscope with the optical unit attached to the optical microscope
In the scan unit, the first laser beam
A second laser light source that emits laser light of a wavelength different from that of the light source
Connection port for connecting to the scan unit
And the first laser beam in the scan unit.
Source laser light and laser from the second laser light source
Optical path synthesizing means for coaxially guiding light to the optical microscope
And the first laser light source and the optical path combining means are arranged.
Position from the first laser light source.
And a dimming unit for dimming laser light .
【請求項2】前記走査型光学顕微鏡は、 前記第2のレーザ光源が前記スキャンユニットに接続さ
れていることを特徴とする請求項1記載の走査型光学顕
微鏡。
2. The scanning optical microscope according to claim 2 , wherein the second laser light source is connected to the scanning unit.
The scanning optical microscope according to claim 1, wherein
Microscope.
【請求項3】前記光路合成手段は、 前記スキャンユニットから前記第2のレーザ光源を取り
外した時、前記第1のレーザ光源からのレーザ光の光路
上から退避することを特徴とする請求項2記載の走査型
光学顕微鏡。
3. The optical path synthesizing means removes the second laser light source from the scan unit.
When removed, the optical path of the laser light from the first laser light source
The scanning type according to claim 2, wherein the scanning type is retracted from above.
Optical microscope.
【請求項4】前記走査型光学顕微鏡は、4. The scanning optical microscope comprises: 前記第2のレーザ光源からのレーザ光を所望の径の平行The laser beam from the second laser light source is collimated to a desired diameter.
光に広げる第2の光学手段を含んでいることを特徴とすCharacterized by including a second optical means for spreading light
る請求項1又は2記載の走査型光学顕微鏡。The scanning optical microscope according to claim 1 or 2.
【請求項5】前記光路合成手段は、5. The optical path combining means comprises: ダイクロイックミラーであることを特徴とする請求項12. A dichroic mirror, wherein the mirror is a dichroic mirror.
から4のいずれか一つAny one of 4 to に記載の走査型光学顕微鏡。The scanning optical microscope according to.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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US10114213B2 (en) 2008-04-04 2018-10-30 Cvi Laser, Llc Laser systems and optical devices for manipulating laser beams
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US9413130B2 (en) 2012-12-12 2016-08-09 Cvi Laser, Llc Optical systems
US7903706B2 (en) 2008-04-04 2011-03-08 O'shaughnessy John Compact, thermally stable multi-laser engine
US11378808B2 (en) 2018-07-18 2022-07-05 Idex Health & Science Llc Laser systems and optical devices for laser beam shaping

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11092672B2 (en) 2016-08-31 2021-08-17 Samsung Electronics Co., Ltd. Optical scanning device and LIDAR system including the same
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