JP3392000B2 - 断熱ガラス - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は耐湿性が優れた断熱
ガラスに関し、建築用はもちろん車輌用等の窓ガラス、
さらには船舶用や航空機用の窓ガラス等各種ガラス物品
として有用となる断熱ガラスを提供するものである。
ガラスに関し、建築用はもちろん車輌用等の窓ガラス、
さらには船舶用や航空機用の窓ガラス等各種ガラス物品
として有用となる断熱ガラスを提供するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より省エネルギーの観点から窓ガラ
スを通じて車内や室内に照射される太陽光の特定の波長
部分を遮断し、車内や室内の温度上昇を低減し、冷房機
器の負荷を低減させるため断熱性の高い窓ガラスが要求
されている。
スを通じて車内や室内に照射される太陽光の特定の波長
部分を遮断し、車内や室内の温度上昇を低減し、冷房機
器の負荷を低減させるため断熱性の高い窓ガラスが要求
されている。
【０００３】断熱する方法として所謂ドルーデミラーと
呼ばれる、透明基板上に酸化インジウムと酸化錫の混合
膜（ITO 膜）やアルミニウムを添加した酸化亜鉛膜に代
表される透明導電性膜を成膜して熱線を遮断する方法が
知られている。このタイプのガラスは熱線を遮断するも
のの遮断する波長が1.5 μｍ以上であり、熱線遮断性能
はあまり良くない。また各種の金属膜を積層しドルーデ
ミラー効果に光干渉効果を組み合わせて特定波長の光を
反射または透過させることが知られている。この熱線反
射膜としては、例えば特公昭47-6315 号公報には銀膜を
透明誘電体膜で挟んだ構成が、また特開昭63-206333 号
公報には窒化物を透明誘電体膜で挟んだ構成が開示され
ている。
呼ばれる、透明基板上に酸化インジウムと酸化錫の混合
膜（ITO 膜）やアルミニウムを添加した酸化亜鉛膜に代
表される透明導電性膜を成膜して熱線を遮断する方法が
知られている。このタイプのガラスは熱線を遮断するも
のの遮断する波長が1.5 μｍ以上であり、熱線遮断性能
はあまり良くない。また各種の金属膜を積層しドルーデ
ミラー効果に光干渉効果を組み合わせて特定波長の光を
反射または透過させることが知られている。この熱線反
射膜としては、例えば特公昭47-6315 号公報には銀膜を
透明誘電体膜で挟んだ構成が、また特開昭63-206333 号
公報には窒化物を透明誘電体膜で挟んだ構成が開示され
ている。
【０００４】また、特開昭62-41740号公報には熱線反射
ガラスの製造方法が記載されており、ZnO タ−ゲットで
無酸化雰囲気もしくは酸素分圧が低い雰囲気において直
流スパッタリングにより第３層を形成することでガラス
板／ZnO-Ag-ZnOを得ること、ならびに従来技術としてガ
ラス板／ZnO-Zn-Ag-ZnO の構成が開示されている。
ガラスの製造方法が記載されており、ZnO タ−ゲットで
無酸化雰囲気もしくは酸素分圧が低い雰囲気において直
流スパッタリングにより第３層を形成することでガラス
板／ZnO-Ag-ZnOを得ること、ならびに従来技術としてガ
ラス板／ZnO-Zn-Ag-ZnO の構成が開示されている。
【０００５】また、特開昭62-235232 号公報には彎曲お
よび／または強化銀被覆ガラス基体およびその製造方法
が記載されており、５〜30nm厚さの銀層；該銀層上のA
l、Ti、ZnおよびTaから選択した付加金属層；および該
付加金属層上の反射防止金属酸化物層からなる被覆物を
有するガラス基板に、ガラスの軟化点以上の温度に加熱
する曲げおよび／または強化サイクルを作用させ、これ
によって曲げおよび／または強化サイクル中において被
覆ガラスに高い光透過を付与することが開示されてい
る。なお、銀層の下の付加金属層は適宜任意に設け、銀
層を上下の付加金属層で挟むようにしてもよいことも開
示されている。
よび／または強化銀被覆ガラス基体およびその製造方法
が記載されており、５〜30nm厚さの銀層；該銀層上のA
l、Ti、ZnおよびTaから選択した付加金属層；および該
付加金属層上の反射防止金属酸化物層からなる被覆物を
有するガラス基板に、ガラスの軟化点以上の温度に加熱
する曲げおよび／または強化サイクルを作用させ、これ
によって曲げおよび／または強化サイクル中において被
覆ガラスに高い光透過を付与することが開示されてい
る。なお、銀層の下の付加金属層は適宜任意に設け、銀
層を上下の付加金属層で挟むようにしてもよいことも開
示されている。
【０００６】また、特公平4-44721 号公報には紫外線及
び赤外線透過阻止用透明材料が記載されており、酸化亜
鉛薄膜と亜鉛原子に対し1-20原子％のアルミニウムを含
有するアルミニウム含有酸化亜鉛薄膜とを積層してなる
紫外線及び赤外線阻止膜を透明基体上に設けたものが記
載されている。
び赤外線透過阻止用透明材料が記載されており、酸化亜
鉛薄膜と亜鉛原子に対し1-20原子％のアルミニウムを含
有するアルミニウム含有酸化亜鉛薄膜とを積層してなる
紫外線及び赤外線阻止膜を透明基体上に設けたものが記
載されている。
【０００７】また、特公平5-70580 号公報には高透過率
を有する赤外反射物品が記載されており、透明基板上に
基板側から順次透明酸化物の第１層、銀の第２層、透明
酸化物の第３層、銀の第４層、透明酸化物の第５層から
成る５層コ─ティングがなされた赤外反射物品におい
て、該銀層の厚みが110 Å以下であり、可視光線透過率
が70％以上であるものが開示されている。具体的には例
えば、基板／ZnO[400 Å(200〜600 Å)]／Ag[100Å(60
〜110 Å)]／ZnO[800 Å(400〜1200Å)]／Ag[100Å(60
〜110 Å)]／ZnO[400 Å(200〜600 Å)]を挙げ、従来例
として基板／ZnO(400 Å) ／Ag(100Å) ／ZnO(400 Å)
を挙げている。
を有する赤外反射物品が記載されており、透明基板上に
基板側から順次透明酸化物の第１層、銀の第２層、透明
酸化物の第３層、銀の第４層、透明酸化物の第５層から
成る５層コ─ティングがなされた赤外反射物品におい
て、該銀層の厚みが110 Å以下であり、可視光線透過率
が70％以上であるものが開示されている。具体的には例
えば、基板／ZnO[400 Å(200〜600 Å)]／Ag[100Å(60
〜110 Å)]／ZnO[800 Å(400〜1200Å)]／Ag[100Å(60
〜110 Å)]／ZnO[400 Å(200〜600 Å)]を挙げ、従来例
として基板／ZnO(400 Å) ／Ag(100Å) ／ZnO(400 Å)
を挙げている。
【０００８】また、特開平5-229052号公報には熱線遮断
膜が記載されており、基板上に酸化物膜、金属膜、酸化
物膜、と交互に積層された（２ｎ＋１）層（ｎ≧１）か
らなる熱線遮断膜において、基体から見て、基体から最
も離れた金属膜（Ａ）の反対側に形成された酸化物膜
（Ｂ）は、Si、Ti、Cr、B 、Mg、Sn、Gaのうち少なくと
も１種をZnとの総量に対し、１〜10原子％ド−プした酸
化亜鉛膜を少なくとも１層含むものが記載されている。
さらに前記金属膜（Ａ）はAgを主成分とするものであ
り、前記酸化亜鉛膜は酸化亜鉛の結晶系が六方晶であ
り、CuK α線を用いたＸ線回折法による六方晶酸化亜鉛
の（002)回折線の回折角２θ（重心位置）の値が33.88
°以上35.00 °以下の膜であることが記載されている。
具体的には例えば、基板／Siド−プ(3.0原子％）ZnO(45
0 Å) ／Ag(100Å) ／Siド−プZn(20 Å) を形成後酸化
雰囲気中でZnO を成膜し最終Siド−プ(3.0原子％）ZnO
(総膜厚450 Å) の構成等が開示されている。
膜が記載されており、基板上に酸化物膜、金属膜、酸化
物膜、と交互に積層された（２ｎ＋１）層（ｎ≧１）か
らなる熱線遮断膜において、基体から見て、基体から最
も離れた金属膜（Ａ）の反対側に形成された酸化物膜
（Ｂ）は、Si、Ti、Cr、B 、Mg、Sn、Gaのうち少なくと
も１種をZnとの総量に対し、１〜10原子％ド−プした酸
化亜鉛膜を少なくとも１層含むものが記載されている。
さらに前記金属膜（Ａ）はAgを主成分とするものであ
り、前記酸化亜鉛膜は酸化亜鉛の結晶系が六方晶であ
り、CuK α線を用いたＸ線回折法による六方晶酸化亜鉛
の（002)回折線の回折角２θ（重心位置）の値が33.88
°以上35.00 °以下の膜であることが記載されている。
具体的には例えば、基板／Siド−プ(3.0原子％）ZnO(45
0 Å) ／Ag(100Å) ／Siド−プZn(20 Å) を形成後酸化
雰囲気中でZnO を成膜し最終Siド−プ(3.0原子％）ZnO
(総膜厚450 Å) の構成等が開示されている。
【０００９】さらに、特開平7-330381号公報には機能性
物品が記載されており、透明基体上に、透明酸化物層と
金属層とが交互に積層され、最外層に透明酸化物層が形
成された機能性物品において、最上層の透明酸化物層と
最外層から数えて１番目の金属層との間に、少なくとも
１層の透明窒化物層が形成されたものが記載され、前記
透明酸化物層は、亜鉛、インジウム、錫、チタン、ビス
マス、タンタル、アルミニウムおよびジルコニウムから
なる群から選ばれる少なくとも１種の金属の酸化物を主
成分とすることが記載されている。具体的には例えば、
ガラス板／ZnO(40nm) ／Ag(10nm)／Zn(2nm) ／SiN(10n
m) ／ZnO(40nm) が開示されている。
物品が記載されており、透明基体上に、透明酸化物層と
金属層とが交互に積層され、最外層に透明酸化物層が形
成された機能性物品において、最上層の透明酸化物層と
最外層から数えて１番目の金属層との間に、少なくとも
１層の透明窒化物層が形成されたものが記載され、前記
透明酸化物層は、亜鉛、インジウム、錫、チタン、ビス
マス、タンタル、アルミニウムおよびジルコニウムから
なる群から選ばれる少なくとも１種の金属の酸化物を主
成分とすることが記載されている。具体的には例えば、
ガラス板／ZnO(40nm) ／Ag(10nm)／Zn(2nm) ／SiN(10n
m) ／ZnO(40nm) が開示されている。
【００１０】さらに、特開平4-357025号公報には熱線遮
断膜が記載されており、基板上に酸化物膜、金属膜、酸
化物膜、と交互に積層された（2n+1）層（n ≧1 ）から
なる熱線遮断膜において、基体から見て、基体から最も
離れた金属膜（Ａ）の反対側に形成された酸化物膜
（Ｂ）は、1.1 ×1010dyn/cm2 以下の内部応力を有する
ことが記載されている。具体的には例えば、直流スパッ
タリング法により、ガラス基板上に、Ar:O2=2:8 の6.5
×10-3Torrの雰囲気中で、AlをZnとの総量に対してAlを
3.0 原子％含む金属をタ−ゲットとして、Alド−プZnO
膜を450 Å形成し、次いで、Arのみの6.5 ×10-3Torrの
雰囲気中で、Agをタ−ゲットとして、Ag膜を100 Å形成
し、次いで雰囲気を変えずに、AlをZnとの総量に対して
Alを3.0 原子％含む金属をタ−ゲットとして、20Å程度
のごく薄いAlド−プZn膜を形成し、最後に、Ar:O2=2:8
の6.5 ×10-3Torrの雰囲気中で、AlをZnとの総量に対し
てAlを3.0 原子％含む金属をタ−ゲットとして、上記Ag
膜上にAlド−プZnO 膜を形成した。Alド−プZnO 膜の成
膜中に、Alド−プZn膜が酸化雰囲気中で酸化されてAlド
−プZnO 膜となったので、Ag膜上に形成されたAlド−プ
ZnO 膜の総膜厚は、450Åであった。成膜中の基板温度
は室温、スパッタ電力密度はAlド−プZnO 膜の成膜時2.
7W／cm2 、Ag膜の成膜時0.7W／cm2 であったことが開示
されている。
断膜が記載されており、基板上に酸化物膜、金属膜、酸
化物膜、と交互に積層された（2n+1）層（n ≧1 ）から
なる熱線遮断膜において、基体から見て、基体から最も
離れた金属膜（Ａ）の反対側に形成された酸化物膜
（Ｂ）は、1.1 ×1010dyn/cm2 以下の内部応力を有する
ことが記載されている。具体的には例えば、直流スパッ
タリング法により、ガラス基板上に、Ar:O2=2:8 の6.5
×10-3Torrの雰囲気中で、AlをZnとの総量に対してAlを
3.0 原子％含む金属をタ−ゲットとして、Alド−プZnO
膜を450 Å形成し、次いで、Arのみの6.5 ×10-3Torrの
雰囲気中で、Agをタ−ゲットとして、Ag膜を100 Å形成
し、次いで雰囲気を変えずに、AlをZnとの総量に対して
Alを3.0 原子％含む金属をタ−ゲットとして、20Å程度
のごく薄いAlド−プZn膜を形成し、最後に、Ar:O2=2:8
の6.5 ×10-3Torrの雰囲気中で、AlをZnとの総量に対し
てAlを3.0 原子％含む金属をタ−ゲットとして、上記Ag
膜上にAlド−プZnO 膜を形成した。Alド−プZnO 膜の成
膜中に、Alド−プZn膜が酸化雰囲気中で酸化されてAlド
−プZnO 膜となったので、Ag膜上に形成されたAlド−プ
ZnO 膜の総膜厚は、450Åであった。成膜中の基板温度
は室温、スパッタ電力密度はAlド−プZnO 膜の成膜時2.
7W／cm2 、Ag膜の成膜時0.7W／cm2 であったことが開示
されている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】前述したような特開昭
62-41740号公報に記載の熱線反射ガラスの製造方法で
は、Ag膜層をZn膜層で保護しても耐湿性や耐熱性が悪
く、これに変えてAg膜層に酸化等の影響を抑えてAg膜層
とZnO 膜層を直接積層成膜した熱線反射ガラスである
が、該熱線反射ガラスを長期的に使用すれば、特に耐湿
性において充分とは言い難いものである。
62-41740号公報に記載の熱線反射ガラスの製造方法で
は、Ag膜層をZn膜層で保護しても耐湿性や耐熱性が悪
く、これに変えてAg膜層に酸化等の影響を抑えてAg膜層
とZnO 膜層を直接積層成膜した熱線反射ガラスである
が、該熱線反射ガラスを長期的に使用すれば、特に耐湿
性において充分とは言い難いものである。
【００１２】また、特開昭62-235232 号公報に記載の彎
曲および／または強化銀被覆ガラス基体およびその製造
方法では、銀層上に設けたAl、Ti、ZnおよびTaから選択
した付加金属層が、彎曲および／または強化において酸
化され酸化層に移行することを勘案して光透過を高める
ことができるというものであるが、付加金属層が彎曲お
よび／または強化において酸化され付加金属層が残るよ
うなことにはなり難く、製品において該付加金属層が銀
層を保護して耐湿性を充分なものとするとは言い難いも
のである。
曲および／または強化銀被覆ガラス基体およびその製造
方法では、銀層上に設けたAl、Ti、ZnおよびTaから選択
した付加金属層が、彎曲および／または強化において酸
化され酸化層に移行することを勘案して光透過を高める
ことができるというものであるが、付加金属層が彎曲お
よび／または強化において酸化され付加金属層が残るよ
うなことにはなり難く、製品において該付加金属層が銀
層を保護して耐湿性を充分なものとするとは言い難いも
のである。
【００１３】また、特公平5-70580 号公報に記載の高透
過率を有する赤外反射物品では、透明酸化物として例え
ばZnO の層と銀の層を交互に銀層を挟むようにした膜構
成を、単に従来の３層から５層に変更しても、最外表層
にZnO 膜を用いるかぎり従来とかわることがない程度の
耐久性であり、特に耐湿性が劣り、これらの改善が望ま
れることに変わりないものである。
過率を有する赤外反射物品では、透明酸化物として例え
ばZnO の層と銀の層を交互に銀層を挟むようにした膜構
成を、単に従来の３層から５層に変更しても、最外表層
にZnO 膜を用いるかぎり従来とかわることがない程度の
耐久性であり、特に耐湿性が劣り、これらの改善が望ま
れることに変わりないものである。
【００１４】また、特開平5-229052号公報に記載の熱線
遮断膜では、Si、Ti、Cr、B 、Mg、Sn、Gaのうち少なく
とも１種をZnとの総量に対し、１〜10原子％ド−プした
酸化亜鉛膜を少なくとも１層含むようにして、酸化亜鉛
膜の低内部応力化により、膜破損をしにくくし、湿気に
よる劣化を抑えるというものであるが、例えばZnO 膜の
Ｃ軸配向そのものを変えているものではなく、内部応力
を必ずしも充分解消したものとは言い難く、充分優れた
耐湿性を有するものであるとは言い難いものである。
遮断膜では、Si、Ti、Cr、B 、Mg、Sn、Gaのうち少なく
とも１種をZnとの総量に対し、１〜10原子％ド−プした
酸化亜鉛膜を少なくとも１層含むようにして、酸化亜鉛
膜の低内部応力化により、膜破損をしにくくし、湿気に
よる劣化を抑えるというものであるが、例えばZnO 膜の
Ｃ軸配向そのものを変えているものではなく、内部応力
を必ずしも充分解消したものとは言い難く、充分優れた
耐湿性を有するものであるとは言い難いものである。
【００１５】さらに、特開平7-330381号公報に記載の機
能性物品では、最上層の透明酸化物層と最外層から数え
て１番目の金属層との間に、少なくとも１層の透明窒化
物層を形成したとしても、透明窒化物層が単に金属層の
バリア層となっているだけであって、最上層の透明酸化
物層例えばZnO 膜自体の改善による耐湿性の向上ではな
く、従来より少なくとも１層を追加することが必要であ
り、必ずしも生産性がよいものとは言い難いものであ
る。
能性物品では、最上層の透明酸化物層と最外層から数え
て１番目の金属層との間に、少なくとも１層の透明窒化
物層を形成したとしても、透明窒化物層が単に金属層の
バリア層となっているだけであって、最上層の透明酸化
物層例えばZnO 膜自体の改善による耐湿性の向上ではな
く、従来より少なくとも１層を追加することが必要であ
り、必ずしも生産性がよいものとは言い難いものであ
る。
【００１６】さらに、特開平4-357025号公報に記載の熱
線遮断膜では、ZnO 膜にAl、Si、B、Ti、Sn、Mg、Crの
うち少なくとも１種を、Znとの総量に対し、原子比で10
％以下ド−プすることで内部応力を低減することがで
き、膜破損をしにくくし、湿気による劣化を抑えること
ができる知見に基づき、Ag膜上の20Å程度のごく薄いAl
ド−プZn膜がAlド−プZnO 膜の成膜中に酸化されてAlド
−プZnO 膜となることとしようとするものであり、内部
応力を低減できたとしてもAlド−プZn膜が残ることもな
く、製品として充分優れた耐湿性を有するものであると
は言い難いものである。
線遮断膜では、ZnO 膜にAl、Si、B、Ti、Sn、Mg、Crの
うち少なくとも１種を、Znとの総量に対し、原子比で10
％以下ド−プすることで内部応力を低減することがで
き、膜破損をしにくくし、湿気による劣化を抑えること
ができる知見に基づき、Ag膜上の20Å程度のごく薄いAl
ド−プZn膜がAlド−プZnO 膜の成膜中に酸化されてAlド
−プZnO 膜となることとしようとするものであり、内部
応力を低減できたとしてもAlド−プZn膜が残ることもな
く、製品として充分優れた耐湿性を有するものであると
は言い難いものである。
【００１７】いずれにしても、上述した各公報等に記載
されてきているようなものでは、単板でのハンドリング
や保管において、Agが凝集し、白色斑点や白濁等の欠陥
が発現するようになり易いため、特別な工夫が必要とさ
れ、なお充分な改善でなかったりあるいは生産性が悪化
したりするようなものであって、さらなる耐湿性等耐久
性に優れるものが生産性よく提供されるようになること
が望まれていた。
されてきているようなものでは、単板でのハンドリング
や保管において、Agが凝集し、白色斑点や白濁等の欠陥
が発現するようになり易いため、特別な工夫が必要とさ
れ、なお充分な改善でなかったりあるいは生産性が悪化
したりするようなものであって、さらなる耐湿性等耐久
性に優れるものが生産性よく提供されるようになること
が望まれていた。
【００１８】そこで、本発明者等は、Ag等貴金属膜層を
伴う断熱膜の湿気に対する劣化が、透明酸化物膜層にZn
O のような配向性が高く内部応力の高いものを用いた場
合に限らないこと、またZnO 膜層の（002 ）面の面間隔
と耐湿性が必ずしも相関しないこと、またAg等貴金属膜
層とその上の透明酸化物膜層の間の保護用金属膜層の厚
みが耐湿性に強く影響すること等に鑑み、耐湿性はAg等
貴金属膜層における酸素濃度に強く依存することに注目
した。
伴う断熱膜の湿気に対する劣化が、透明酸化物膜層にZn
O のような配向性が高く内部応力の高いものを用いた場
合に限らないこと、またZnO 膜層の（002 ）面の面間隔
と耐湿性が必ずしも相関しないこと、またAg等貴金属膜
層とその上の透明酸化物膜層の間の保護用金属膜層の厚
みが耐湿性に強く影響すること等に鑑み、耐湿性はAg等
貴金属膜層における酸素濃度に強く依存することに注目
した。
【００１９】保護用金属膜層は、その上に透明酸化物膜
層を成膜する際にAg等貴金属膜層の酸化を防ぐ働きだけ
ではなく、むしろ積極的にAg等貴金属膜層に対する脱酸
素効果により、Ag等貴金属膜層成膜時に不純物として取
り込まれた酸素を吸収する働きがあり、また単板の断熱
ガラスとして扱う際に、表面から拡散してくる酸素や水
などの酸化性分子を吸収し、それらがAg等貴金属膜層へ
影響を与えることを防ぐ働きがあるなどのものである。
層を成膜する際にAg等貴金属膜層の酸化を防ぐ働きだけ
ではなく、むしろ積極的にAg等貴金属膜層に対する脱酸
素効果により、Ag等貴金属膜層成膜時に不純物として取
り込まれた酸素を吸収する働きがあり、また単板の断熱
ガラスとして扱う際に、表面から拡散してくる酸素や水
などの酸化性分子を吸収し、それらがAg等貴金属膜層へ
影響を与えることを防ぐ働きがあるなどのものである。
【００２０】このように、保護用金属膜層が少なくとも
犠牲金属膜層となってAg等貴金属膜層を保護することに
よって耐湿性を改善するには、1)犠牲金属膜層として適
正なものを選択すること、2)犠牲金属膜層を必要充分な
厚みに調整すること、3)犠牲金属膜層と接する層、特に
透明酸化物膜層との接着性を改善すること等が重要であ
ることを見出した。
犠牲金属膜層となってAg等貴金属膜層を保護することに
よって耐湿性を改善するには、1)犠牲金属膜層として適
正なものを選択すること、2)犠牲金属膜層を必要充分な
厚みに調整すること、3)犠牲金属膜層と接する層、特に
透明酸化物膜層との接着性を改善すること等が重要であ
ることを見出した。
【００２１】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述した課題
に鑑みてなしたものであり、ガラス基板の表面上に、透
明酸化物膜層、貴金属膜層、Al-Zn 膜層を少なくとも成
膜した積層膜において、該貴金属膜層をAl-Zn 膜層で保
護するよう、積層膜中にAl-Zn 膜層を存在せしめること
により、光学特性を損なうことなく、存在するAl-Zn 膜
層がバリア性と密着性等を発揮し、積層膜自体の耐湿性
をより高め、耐久性があるものとなる等、有用な断熱ガ
ラスを提供するものである。
に鑑みてなしたものであり、ガラス基板の表面上に、透
明酸化物膜層、貴金属膜層、Al-Zn 膜層を少なくとも成
膜した積層膜において、該貴金属膜層をAl-Zn 膜層で保
護するよう、積層膜中にAl-Zn 膜層を存在せしめること
により、光学特性を損なうことなく、存在するAl-Zn 膜
層がバリア性と密着性等を発揮し、積層膜自体の耐湿性
をより高め、耐久性があるものとなる等、有用な断熱ガ
ラスを提供するものである。
【００２２】すなわち、本発明は、ガラス基板の表面上
に、少なくとも透明酸化物膜層、貴金属膜層、Al-Zn 膜
層を組み合わせ順次積層した積層膜であって、貴金属層
がAgもしくはAgを主成分とする貴金属膜から成り、貴金
属膜層を少なくともAl-Zn 膜層で保護するようにAl-Zn
膜層を存在せしめ、該Al-Zn膜層は、Znに対しAlが３wt
％以上10wt％以下添加されていることを特徴とする断熱
ガラス。
に、少なくとも透明酸化物膜層、貴金属膜層、Al-Zn 膜
層を組み合わせ順次積層した積層膜であって、貴金属層
がAgもしくはAgを主成分とする貴金属膜から成り、貴金
属膜層を少なくともAl-Zn 膜層で保護するようにAl-Zn
膜層を存在せしめ、該Al-Zn膜層は、Znに対しAlが３wt
％以上10wt％以下添加されていることを特徴とする断熱
ガラス。
【００２３】
【００２４】また、前記Al-Zn 膜層の成膜時の膜厚が、
２nm以上１０ｎｍ以下であることを特徴とした断熱ガラ
ス。
２nm以上１０ｎｍ以下であることを特徴とした断熱ガラ
ス。
【００２５】また、前記金属膜膜層をAl-Zn 膜およびそ
の他の金属膜で保護することを特徴とする上述した断熱
ガラス。さらに、前記その他の金属が、Zn膜で成ること
を特徴とする上述した断熱ガラスを提供するものであ
る。
の他の金属膜で保護することを特徴とする上述した断熱
ガラス。さらに、前記その他の金属が、Zn膜で成ること
を特徴とする上述した断熱ガラスを提供するものであ
る。
【００２６】
【発明の実施の形態】ここで、前記したように、ガラス
基板の表面上に、透明酸化物膜層、貴金属膜層、Al-Zn
膜層を少なくとも組み合わせ順次積層した積層膜であっ
て、貴金属膜層を少なくともAl-Zn 膜層で保護するよう
に、Al-Zn 膜層を存在せしめた断熱ガラスは下記のよう
にして得る。
基板の表面上に、透明酸化物膜層、貴金属膜層、Al-Zn
膜層を少なくとも組み合わせ順次積層した積層膜であっ
て、貴金属膜層を少なくともAl-Zn 膜層で保護するよう
に、Al-Zn 膜層を存在せしめた断熱ガラスは下記のよう
にして得る。
【００２７】透明ガラス基板としては、ソーダライムガ
ラス、アルミノシリケートガラスなどの各種ガラス板
（例えばフロートガラス）、ブロンズ、グレー、ブル
ー、グリーン等の着色ガラス（例えばフロート着色ガラ
ス）、またはポリメチルメタアクリレート（PMMA）、ポ
リカーボネイト（PC）のような透明樹脂基板より選ば
れ、また曲げガラスや強化ガラスや強度アップガラスあ
るいは下地膜層等膜付きガラスまたは網入りガラス等市
販の各種ガラスを採用でき、さらに場合によっては半透
明状のガラスも採用しうる。
ラス、アルミノシリケートガラスなどの各種ガラス板
（例えばフロートガラス）、ブロンズ、グレー、ブル
ー、グリーン等の着色ガラス（例えばフロート着色ガラ
ス）、またはポリメチルメタアクリレート（PMMA）、ポ
リカーボネイト（PC）のような透明樹脂基板より選ば
れ、また曲げガラスや強化ガラスや強度アップガラスあ
るいは下地膜層等膜付きガラスまたは網入りガラス等市
販の各種ガラスを採用でき、さらに場合によっては半透
明状のガラスも採用しうる。
【００２８】また、透明酸化物膜層としては、ZnOx、Sn
Ox、TiOx、ZnOx-TiOx の各膜、これらを主成分とする各
膜あるいはこれらの成分を組み合わせた膜から成るもの
であり、好ましくはZnOx膜、あるいはZnOx膜とTiOx膜で
なるものであって、成膜速度が低下することがなくまた
は／および紫外線遮蔽性を損なわないものである。また
該透明酸化物膜層が前記積層膜の最外表層になるように
することが好ましい。透明酸化物膜層の膜厚としては約
70nm以下、好ましくは約50nm以下30nm以上である。
Ox、TiOx、ZnOx-TiOx の各膜、これらを主成分とする各
膜あるいはこれらの成分を組み合わせた膜から成るもの
であり、好ましくはZnOx膜、あるいはZnOx膜とTiOx膜で
なるものであって、成膜速度が低下することがなくまた
は／および紫外線遮蔽性を損なわないものである。また
該透明酸化物膜層が前記積層膜の最外表層になるように
することが好ましい。透明酸化物膜層の膜厚としては約
70nm以下、好ましくは約50nm以下30nm以上である。
【００２９】また、貴金属膜層としては、AgもしくはAg
を主成分とする貴金属膜から成るものであり、具体例と
してはAgの他にAu、Cu、Pt、Ir等があり、Agを主成分し
てこれらの成分を適宜組み合わせたものである。ことに
Low-E（Low-Emissivity）膜でなる熱線遮蔽膜（断熱
膜）となるものである。また、該貴金属膜層の膜厚とし
ては約20nm程度以下、好ましくは約15nm〜5nm 程度であ
る。
を主成分とする貴金属膜から成るものであり、具体例と
してはAgの他にAu、Cu、Pt、Ir等があり、Agを主成分し
てこれらの成分を適宜組み合わせたものである。ことに
Low-E（Low-Emissivity）膜でなる熱線遮蔽膜（断熱
膜）となるものである。また、該貴金属膜層の膜厚とし
ては約20nm程度以下、好ましくは約15nm〜5nm 程度であ
る。
【００３０】また、Al-Zn 膜層としては、Znに対しAlが
３wt％以上10wt％以下添加されたものがよく、成膜時の
膜厚としては２nm以上、バリア層としての機能と生産性
を考慮すると好ましくは２nm以上10nm以下である。いず
れにしても貴金属膜層を保護するようAl-Zn 膜層として
断熱ガラスの積層膜中に存在することが肝心である。さ
らにまた、該Al-Zn 膜と他の金属膜を併用する際はZn膜
が酸素を取り込み易く好ましいが、他の金属膜としてば
Ti、Zr、Cr、Al、SUS 、Ta、NiCr等も場合によっては併
用が可能である。
３wt％以上10wt％以下添加されたものがよく、成膜時の
膜厚としては２nm以上、バリア層としての機能と生産性
を考慮すると好ましくは２nm以上10nm以下である。いず
れにしても貴金属膜層を保護するようAl-Zn 膜層として
断熱ガラスの積層膜中に存在することが肝心である。さ
らにまた、該Al-Zn 膜と他の金属膜を併用する際はZn膜
が酸素を取り込み易く好ましいが、他の金属膜としてば
Ti、Zr、Cr、Al、SUS 、Ta、NiCr等も場合によっては併
用が可能である。
【００３１】また、これら透明酸化物膜、貴金属膜、Al
-Zn 膜等からなる断熱膜の成膜法は、スパッタ法、蒸着
法、イオンプレーティング法、化学気相法（CVD 法）な
どの真空成膜法、またはゾルゲル法によって成膜でき
る。このうち大面積化および生産性等の点でスパッタ
法、イオンプレーティング法が好ましい。
-Zn 膜等からなる断熱膜の成膜法は、スパッタ法、蒸着
法、イオンプレーティング法、化学気相法（CVD 法）な
どの真空成膜法、またはゾルゲル法によって成膜でき
る。このうち大面積化および生産性等の点でスパッタ
法、イオンプレーティング法が好ましい。
【００３２】該断熱膜の光学特性の改良、耐摩耗性や耐
薬品性や耐候性等をさらに改良する目的で、前記断熱膜
以外に各種膜を目的によって適宜任意に選択し形成する
ことができることは言うまでもない。
薬品性や耐候性等をさらに改良する目的で、前記断熱膜
以外に各種膜を目的によって適宜任意に選択し形成する
ことができることは言うまでもない。
【００３３】さらに、好適に用いられる断熱ガラスとし
ては、ガラス基板／透明酸化物膜層／貴金属膜層／Al-Z
n 膜層／透明酸化物膜層、またガラス基板／透明酸化物
膜層／貴金属膜層／Al-Zn 膜層／透明酸化物膜層／透明
酸化物膜層、またガラス基板／透明酸化物膜層／Al-Zn
膜層／貴金属膜層／Al-Zn 膜層／透明酸化物膜層、また
ガラス基板／透明酸化物膜層／Al-Zn 膜層／貴金属膜層
／Al-Zn 膜層／透明酸化物膜層／透明酸化物膜層、また
ガラス基板／透明酸化物膜層／貴金属膜層／Al-Zn 膜層
／Zn膜層／透明酸化物膜層、またガラス基板／透明酸化
物膜層／貴金属膜層／Al-Zn 膜層／Zn膜層／透明酸化物
膜層、／透明酸化物膜層である。
ては、ガラス基板／透明酸化物膜層／貴金属膜層／Al-Z
n 膜層／透明酸化物膜層、またガラス基板／透明酸化物
膜層／貴金属膜層／Al-Zn 膜層／透明酸化物膜層／透明
酸化物膜層、またガラス基板／透明酸化物膜層／Al-Zn
膜層／貴金属膜層／Al-Zn 膜層／透明酸化物膜層、また
ガラス基板／透明酸化物膜層／Al-Zn 膜層／貴金属膜層
／Al-Zn 膜層／透明酸化物膜層／透明酸化物膜層、また
ガラス基板／透明酸化物膜層／貴金属膜層／Al-Zn 膜層
／Zn膜層／透明酸化物膜層、またガラス基板／透明酸化
物膜層／貴金属膜層／Al-Zn 膜層／Zn膜層／透明酸化物
膜層、／透明酸化物膜層である。
【００３４】また、ガラス基板／透明酸化物膜層／貴金
属膜層／Al-Zn 膜層／透明酸化物膜層／貴金属膜層／Al
-Zn 膜層／透明酸化物膜層、またガラス基板／透明酸化
物膜層／Al-Zn 膜層／貴金属膜層／Al-Zn 膜層／透明酸
化物膜層／Al-Zn 膜層／貴金属膜層／Al-Zn 膜層／透明
酸化物膜層、またガラス基板／透明酸化物膜層／貴金属
膜層／Al-Zn 膜層／Zn膜層／透明酸化物膜層／貴金属膜
層／Al-Zn 膜層／Zn膜層／透明酸化物膜層、またガラス
基板／透明酸化物膜層／貴金属膜層／Al-Zn 膜層／Zn膜
層／透明酸化物膜層／貴金属膜層／Al-Zn 膜層／Zn膜層
／透明酸化物膜層である。
属膜層／Al-Zn 膜層／透明酸化物膜層／貴金属膜層／Al
-Zn 膜層／透明酸化物膜層、またガラス基板／透明酸化
物膜層／Al-Zn 膜層／貴金属膜層／Al-Zn 膜層／透明酸
化物膜層／Al-Zn 膜層／貴金属膜層／Al-Zn 膜層／透明
酸化物膜層、またガラス基板／透明酸化物膜層／貴金属
膜層／Al-Zn 膜層／Zn膜層／透明酸化物膜層／貴金属膜
層／Al-Zn 膜層／Zn膜層／透明酸化物膜層、またガラス
基板／透明酸化物膜層／貴金属膜層／Al-Zn 膜層／Zn膜
層／透明酸化物膜層／貴金属膜層／Al-Zn 膜層／Zn膜層
／透明酸化物膜層である。
【００３５】またさらに、傾斜膜としてAl-Zn 膜層と透
明酸化物膜層の接着性を改善したAlZnO 膜が存在する例
えば、ガラス基板／透明酸化物膜層／貴金属膜層／Al-Z
n 膜層／AlZnO 膜層／透明酸化物膜層、またガラス基板
／透明酸化物膜層／Al-Zn 膜層／貴金属膜層／Al-Zn 膜
層／AlZnO 膜層／透明酸化物膜層、またガラス基板／透
明酸化物膜層／貴金属膜層／Al-Zn 膜層／AlZnO 膜層／
透明酸化物膜層／貴金属膜層／Al-Zn 膜層／AlZnO 膜層
／透明酸化物膜層等が挙げられる。
明酸化物膜層の接着性を改善したAlZnO 膜が存在する例
えば、ガラス基板／透明酸化物膜層／貴金属膜層／Al-Z
n 膜層／AlZnO 膜層／透明酸化物膜層、またガラス基板
／透明酸化物膜層／Al-Zn 膜層／貴金属膜層／Al-Zn 膜
層／AlZnO 膜層／透明酸化物膜層、またガラス基板／透
明酸化物膜層／貴金属膜層／Al-Zn 膜層／AlZnO 膜層／
透明酸化物膜層／貴金属膜層／Al-Zn 膜層／AlZnO 膜層
／透明酸化物膜層等が挙げられる。
【００３６】さらにまた、本発明の断熱ガラスは複層ガ
ラスとしての使用が最も好ましく、建築用複層窓ガラス
として有用であるが、場合によっては自動車用複層窓ガ
ラスとしても使用可能とすることができ、さらには船舶
や航空機等の複層窓ガラスとしても使用できる。複層ガ
ラスの外に合せガラス、曲げガラス等、場合によっては
単板でも使用できるようにすることができることは言う
までもない。
ラスとしての使用が最も好ましく、建築用複層窓ガラス
として有用であるが、場合によっては自動車用複層窓ガ
ラスとしても使用可能とすることができ、さらには船舶
や航空機等の複層窓ガラスとしても使用できる。複層ガ
ラスの外に合せガラス、曲げガラス等、場合によっては
単板でも使用できるようにすることができることは言う
までもない。
【００３７】前述したとおり、本発明の断熱ガラスによ
れば、ガラス基板の表面上に形成した積層膜中におい
て、貴金属膜層を保護するよう、少なくともAl-Zn 膜層
を存在せしめる断熱ガラスとすることにより、貴金属膜
層より優先して酸素と反応する所謂犠牲金属として働
き、電気防触法において同様の役目をする該Al-Zn 膜層
がよりバリア性に優れるものとなり、Agの凝集や剥離に
よる白色斑点や白濁のビンホ−ル、ひび割れ等の欠陥が
発現し難くできる等、断熱膜である積層膜の耐湿性を大
巾に向上せしめ、格段に優れる耐久性を発揮するものと
なる有用な断熱ガラスを、成膜速度の低下もなく生産性
よく提供できる。さらに、単板でのハンドリングや保管
に特別な工夫が必要なくなり、取り扱いが容易でしかも
保管も簡単でより長くできるようになる。
れば、ガラス基板の表面上に形成した積層膜中におい
て、貴金属膜層を保護するよう、少なくともAl-Zn 膜層
を存在せしめる断熱ガラスとすることにより、貴金属膜
層より優先して酸素と反応する所謂犠牲金属として働
き、電気防触法において同様の役目をする該Al-Zn 膜層
がよりバリア性に優れるものとなり、Agの凝集や剥離に
よる白色斑点や白濁のビンホ−ル、ひび割れ等の欠陥が
発現し難くできる等、断熱膜である積層膜の耐湿性を大
巾に向上せしめ、格段に優れる耐久性を発揮するものと
なる有用な断熱ガラスを、成膜速度の低下もなく生産性
よく提供できる。さらに、単板でのハンドリングや保管
に特別な工夫が必要なくなり、取り扱いが容易でしかも
保管も簡単でより長くできるようになる。
【００３８】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。ただし本発明は係る実施例に限定されるものではな
い。
る。ただし本発明は係る実施例に限定されるものではな
い。
【００３９】実施例１
大きさ約300mm ×300mm で厚み約３mmのフロ−トガラス
を、中性洗剤、水すすぎ、イソプロピルアルコール等で
洗浄、乾燥しガラス基板とした。
を、中性洗剤、水すすぎ、イソプロピルアルコール等で
洗浄、乾燥しガラス基板とした。
【００４０】次に、DCマグネトロンスパッタリング装置
の真空槽内にセットしてある、Znタ−ゲット、Zn(96 乃
至95)-Al(4乃至5)合金タ−ゲット、Agのタ−ゲットに対
向して上方を往復できるようガラス基板をセットした。
の真空槽内にセットしてある、Znタ−ゲット、Zn(96 乃
至95)-Al(4乃至5)合金タ−ゲット、Agのタ−ゲットに対
向して上方を往復できるようガラス基板をセットした。
【００４１】次に、前記槽内を真空ポンプで約５×10-6
Torrまでに脱気した後、該真空槽内にArガス(30)とO2ガ
ス(70)の混合ガスを導入して真空度を約２×10-3Torrに
保持し、前記Znタ−ゲットに約1.0kW の電力を印加し、
前記混合ガスによるDCマグネトロン反応スパッタの中
を、該Znタ−ゲット上方において速度約415mm ／min で
前記ガラス基板を搬送することによって約35nm厚さのZn
O 薄膜を第１層として成膜した。成膜終了後Znタ−ゲッ
トへの印加を停止した。
Torrまでに脱気した後、該真空槽内にArガス(30)とO2ガ
ス(70)の混合ガスを導入して真空度を約２×10-3Torrに
保持し、前記Znタ−ゲットに約1.0kW の電力を印加し、
前記混合ガスによるDCマグネトロン反応スパッタの中
を、該Znタ−ゲット上方において速度約415mm ／min で
前記ガラス基板を搬送することによって約35nm厚さのZn
O 薄膜を第１層として成膜した。成膜終了後Znタ−ゲッ
トへの印加を停止した。
【００４２】次いで、前記ガラス基板を前記真空槽中に
おいたまま、前記槽内を真空ポンプで約５×10-6Torrま
でに脱気した後、該真空槽内にArガスを導入して真空度
を約２×10-3Torrに保持し、前記Agタ−ゲットに約0.16
kWの電力を印加し、前記ArガスによるDCマグネトロン反
応スパッタの中を、前記Agタ−ゲット上方において速度
約1259mm／min で前記ガラス基板を搬送することによっ
て、前記ZnO 薄膜上に約10nm厚さのAg薄膜を第２層とし
て成膜した。成膜終了後Agタ−ゲットへの印加を停止し
た。
おいたまま、前記槽内を真空ポンプで約５×10-6Torrま
でに脱気した後、該真空槽内にArガスを導入して真空度
を約２×10-3Torrに保持し、前記Agタ−ゲットに約0.16
kWの電力を印加し、前記ArガスによるDCマグネトロン反
応スパッタの中を、前記Agタ−ゲット上方において速度
約1259mm／min で前記ガラス基板を搬送することによっ
て、前記ZnO 薄膜上に約10nm厚さのAg薄膜を第２層とし
て成膜した。成膜終了後Agタ−ゲットへの印加を停止し
た。
【００４３】続いて、同様にして該真空槽内にArガスを
導入して真空度を約２×10-3Torrに保持し、前記Zn(96)
-Al(4)合金タ−ゲットに約0.14kWの電力を印加し、前記
ArガスによるDCマグネトロン反応スパッタの中を、該 Z
n-Al合金タ−ゲット上方において速度約1259mm／min で
前記ガラス基板を搬送することにより、前記Ag薄膜上に
約２nm厚さの Zn-Al合金薄膜を第３層として成膜した。
成膜終了後 Zn-Al合金タ−ゲットへの印加を停止した。
導入して真空度を約２×10-3Torrに保持し、前記Zn(96)
-Al(4)合金タ−ゲットに約0.14kWの電力を印加し、前記
ArガスによるDCマグネトロン反応スパッタの中を、該 Z
n-Al合金タ−ゲット上方において速度約1259mm／min で
前記ガラス基板を搬送することにより、前記Ag薄膜上に
約２nm厚さの Zn-Al合金薄膜を第３層として成膜した。
成膜終了後 Zn-Al合金タ−ゲットへの印加を停止した。
【００４４】さらに、第１層膜と同様にして、該真空槽
内にArガス(30)とO2ガス(70)の混合ガスを導入して真空
度を約２×10-3Torrに保持し、前記Znタ−ゲットに約1.
0kWの電力を印加し、該混合ガスによるDCマグネトロン
反応スパッタの中を、前記Znタ−ゲット上方において速
度約415mm ／min で前記ガラス基板を搬送することによ
り、前記 Zn-Al合金薄膜上に約35nm厚さのZnO 薄膜を第
４層として成膜した。成膜終了後Znタ−ゲットへの印加
を停止した。
内にArガス(30)とO2ガス(70)の混合ガスを導入して真空
度を約２×10-3Torrに保持し、前記Znタ−ゲットに約1.
0kWの電力を印加し、該混合ガスによるDCマグネトロン
反応スパッタの中を、前記Znタ−ゲット上方において速
度約415mm ／min で前記ガラス基板を搬送することによ
り、前記 Zn-Al合金薄膜上に約35nm厚さのZnO 薄膜を第
４層として成膜した。成膜終了後Znタ−ゲットへの印加
を停止した。
【００４５】得られた積層膜付きガラス基板について、
下記の評価をした。 〔耐湿性試験〕30℃で相対湿度90％の恒温恒湿槽内雰囲
気中に一ヵ月間保管し、上記基板の100mm ×100mm 面積
内に発生した大きさが約0.2mm φ以上の斑点の個数によ
って評価した。なお、その際の欠陥の確認は、蛍光白色
板の光源を膜面に照射し、反射率の差から目視で行っ
た。 〔光学特性〕 装置： 340 型自記分光光度計（日立製作所製、光源；
D65 2 °視野）。
下記の評価をした。 〔耐湿性試験〕30℃で相対湿度90％の恒温恒湿槽内雰囲
気中に一ヵ月間保管し、上記基板の100mm ×100mm 面積
内に発生した大きさが約0.2mm φ以上の斑点の個数によ
って評価した。なお、その際の欠陥の確認は、蛍光白色
板の光源を膜面に照射し、反射率の差から目視で行っ
た。 〔光学特性〕 装置： 340 型自記分光光度計（日立製作所製、光源；
D65 2 °視野）。
【００４６】測定： 可視光透過率（Tv:380〜780nm
）、可視光反射率（Rv:380〜780nm)ならびに日射透過
率（Ts:340〜1800nm）と日射反射率（Rs:340〜1800nm）
ならびに紫外線透過率（Tuv:300 〜380nm ）等について
測定し、所定の波長毎の透過率、反射率の各デ−タとJI
S Z 8722、JISR 3106によってそれぞれ求めた。
）、可視光反射率（Rv:380〜780nm)ならびに日射透過
率（Ts:340〜1800nm）と日射反射率（Rs:340〜1800nm）
ならびに紫外線透過率（Tuv:300 〜380nm ）等について
測定し、所定の波長毎の透過率、反射率の各デ−タとJI
S Z 8722、JISR 3106によってそれぞれ求めた。
【００４７】その結果、得られた積層膜付きガラス基板
は、耐湿性試験では100mm ×100mm面積内に大きさ約0.2
mm φ以上の白濁した斑点様の欠陥が１個程度発生した
のみであり、大きさ約0.2mm φ以下の白濁した斑点様の
欠陥はないに等しく、ひび割れの発生もなく、大巾に向
上した耐湿性を有するものであった。
は、耐湿性試験では100mm ×100mm面積内に大きさ約0.2
mm φ以上の白濁した斑点様の欠陥が１個程度発生した
のみであり、大きさ約0.2mm φ以下の白濁した斑点様の
欠陥はないに等しく、ひび割れの発生もなく、大巾に向
上した耐湿性を有するものであった。
【００４８】また、該積層膜付きガラス基板は、可視光
透過率Tvが約76.7％、可視光反射率Rv（ガラス面側）が
約14.1％、日射透過率Tsが約64.5％、紫外線透過率Tuv
が約18.7％、放射率が約0.09であって、Low-E 性能を有
し、かつ充分に優れた耐湿性を示し、所期のめざす断熱
性ガラスであった。
透過率Tvが約76.7％、可視光反射率Rv（ガラス面側）が
約14.1％、日射透過率Tsが約64.5％、紫外線透過率Tuv
が約18.7％、放射率が約0.09であって、Low-E 性能を有
し、かつ充分に優れた耐湿性を示し、所期のめざす断熱
性ガラスであった。
【００４９】さらに、約６mmの空間を有する該断熱性ガ
ラスと通常のフロ−トガラス（３mm）でなる複層ガラス
とした場合、可視光透過率Tvが69.2％、可視光反射率Tv
が15.8％、日射透過率Tsが約51.6％、紫外線透過率Tuv
が約16.3％等となった。
ラスと通常のフロ−トガラス（３mm）でなる複層ガラス
とした場合、可視光透過率Tvが69.2％、可視光反射率Tv
が15.8％、日射透過率Tsが約51.6％、紫外線透過率Tuv
が約16.3％等となった。
【００５０】実施例２
実施例１と同様にして、第１層目を実施例１の第１層目
と混合ガスの割合をArガス(5) とO2ガス(95)で、前記ガ
ラス基板の搬送速度を約332mm ／min に変え膜厚約35nm
のZnO 薄膜、第２層目および第３層目は実施例１の第２
層目と第３層目と同一で膜厚約10nmのAg薄膜および膜厚
約２nmの Zn-Al合金薄膜、第４層目を混合ガスの割合を
Arガス(5) とO2ガス(95)で前記搬送速度を約581mm ／mi
n に変え膜厚約20nmのZnO 薄膜、さらに第５層目を同じ
混合ガス中、印加電力３kWで前記搬送速度を約160mm ／
min として膜厚約15nmのTiO 薄膜とを順次成膜した積層
膜付きガラス基板を得た。
と混合ガスの割合をArガス(5) とO2ガス(95)で、前記ガ
ラス基板の搬送速度を約332mm ／min に変え膜厚約35nm
のZnO 薄膜、第２層目および第３層目は実施例１の第２
層目と第３層目と同一で膜厚約10nmのAg薄膜および膜厚
約２nmの Zn-Al合金薄膜、第４層目を混合ガスの割合を
Arガス(5) とO2ガス(95)で前記搬送速度を約581mm ／mi
n に変え膜厚約20nmのZnO 薄膜、さらに第５層目を同じ
混合ガス中、印加電力３kWで前記搬送速度を約160mm ／
min として膜厚約15nmのTiO 薄膜とを順次成膜した積層
膜付きガラス基板を得た。
【００５１】得られた積層膜付きガラス基板について実
施例１と同様の評価を行った。その結果、耐湿性試験は
実施例１と同様であり、大巾に向上した耐湿性を有する
ものであった。また、該積層膜付きガラス基板は、可視
光透過率Tvが77.7％、可視光反射率Rv（ガラス面側）が
約13.8％、日射透過率Tsが65.2％、紫外線透過率Tuv が
約19.2％、放射率が0.09であって、Low-E 性能を有し、
かつ充分に優れた耐湿性を示し、所期のめざす断熱性ガ
ラスであった。
施例１と同様の評価を行った。その結果、耐湿性試験は
実施例１と同様であり、大巾に向上した耐湿性を有する
ものであった。また、該積層膜付きガラス基板は、可視
光透過率Tvが77.7％、可視光反射率Rv（ガラス面側）が
約13.8％、日射透過率Tsが65.2％、紫外線透過率Tuv が
約19.2％、放射率が0.09であって、Low-E 性能を有し、
かつ充分に優れた耐湿性を示し、所期のめざす断熱性ガ
ラスであった。
【００５２】実施例３
実施例１と同様にして、第１層目および第２層目および
第３層目は実施例２の第１層目と第２層目と第３層目と
同一の膜厚約35nmのZnO 薄膜および膜厚約10nmのAg薄膜
および膜厚約２nmの Zn-Al合金薄膜、第４層目を実施例
２の第４層目と前記搬送速度を約166mm ／min に変え膜
厚約70nmのZnO 薄膜、第５層目を第２層目と同一の膜厚
約10nmのAg薄膜、第６層目を第３層目と同一の膜厚約２
nmの Zn-Al合金薄膜、第７層目を第１層目と同一の膜厚
約35nmのZnO 薄膜とを順次成膜した積層膜付きガラス基
板を得た。
第３層目は実施例２の第１層目と第２層目と第３層目と
同一の膜厚約35nmのZnO 薄膜および膜厚約10nmのAg薄膜
および膜厚約２nmの Zn-Al合金薄膜、第４層目を実施例
２の第４層目と前記搬送速度を約166mm ／min に変え膜
厚約70nmのZnO 薄膜、第５層目を第２層目と同一の膜厚
約10nmのAg薄膜、第６層目を第３層目と同一の膜厚約２
nmの Zn-Al合金薄膜、第７層目を第１層目と同一の膜厚
約35nmのZnO 薄膜とを順次成膜した積層膜付きガラス基
板を得た。
【００５３】得られた積層膜付きガラス基板について実
施例１と同様の評価を行った。その結果、耐湿性試験で
は約100mm ×100mm 面積内に大きさ約0.2mm φの白濁し
た斑点様の欠陥が２個程度発生したのみで他は実施例１
と同様であり、充分に向上した耐湿性を有するものであ
った。また、該積層膜付きガラス基板は、可視光透過率
Tvが75.2％、可視光反射率Rv（ガラス面側）が約 6.0
％、日射透過率Tsが41.2％、紫外線透過率Tuv が約9.7
％、放射率が0.05であって、優れたLow-E性能を有し、
かつ充分に優れた耐湿性を示し、所期のめざす断熱性ガ
ラスであった。
施例１と同様の評価を行った。その結果、耐湿性試験で
は約100mm ×100mm 面積内に大きさ約0.2mm φの白濁し
た斑点様の欠陥が２個程度発生したのみで他は実施例１
と同様であり、充分に向上した耐湿性を有するものであ
った。また、該積層膜付きガラス基板は、可視光透過率
Tvが75.2％、可視光反射率Rv（ガラス面側）が約 6.0
％、日射透過率Tsが41.2％、紫外線透過率Tuv が約9.7
％、放射率が0.05であって、優れたLow-E性能を有し、
かつ充分に優れた耐湿性を示し、所期のめざす断熱性ガ
ラスであった。
【００５４】さらに、前記実施例１と同様に複層ガラス
とした場合、可視光透過率Tvが67.7％、可視光反射率Tv
が11.3％、日射透過率Tsが約35.4％、紫外線透過率Tuv
が約8.3 ％等となった。
とした場合、可視光透過率Tvが67.7％、可視光反射率Tv
が11.3％、日射透過率Tsが約35.4％、紫外線透過率Tuv
が約8.3 ％等となった。
【００５５】実施例４
実施例１と同様にして、第１層目を実施例１の第１層目
と同一の膜厚約35nmのZnO 薄膜、第２層目を実施例１の
第２層目と印加電力のみ約0.21kWに変え膜厚約13nmのAg
薄膜、第３層目を実施例１の第３層目と印加電力のみ約
0.49kWに変え膜厚約７nmの Al-Zn合金薄膜、第４層目を
第１層目と前記搬送速度のみ約363mm ／min に変え膜厚
約40nmのZnO 薄膜とを順次成膜した積層膜付きガラス基
板を得た。
と同一の膜厚約35nmのZnO 薄膜、第２層目を実施例１の
第２層目と印加電力のみ約0.21kWに変え膜厚約13nmのAg
薄膜、第３層目を実施例１の第３層目と印加電力のみ約
0.49kWに変え膜厚約７nmの Al-Zn合金薄膜、第４層目を
第１層目と前記搬送速度のみ約363mm ／min に変え膜厚
約40nmのZnO 薄膜とを順次成膜した積層膜付きガラス基
板を得た。
【００５６】得られた積層膜付きガラス基板について実
施例１と同様の評価を行った。その結果、耐湿性試験で
は実施例１と同等かそれ以上であり、耐湿性が格段に向
上したものであった。また、該積層膜付きガラス基板
は、可視光透過率Tvが71.2％、可視光反射率Rv（ガラス
面側）が約19.6％、日射透過率Tsが59.3％、紫外線透過
率Tuv が約13.5％、放射率が0.08であって、Low-E 性能
を有し、かつ格段に優れた耐湿性を示し、所期のめざす
断熱性ガラスであった。
施例１と同様の評価を行った。その結果、耐湿性試験で
は実施例１と同等かそれ以上であり、耐湿性が格段に向
上したものであった。また、該積層膜付きガラス基板
は、可視光透過率Tvが71.2％、可視光反射率Rv（ガラス
面側）が約19.6％、日射透過率Tsが59.3％、紫外線透過
率Tuv が約13.5％、放射率が0.08であって、Low-E 性能
を有し、かつ格段に優れた耐湿性を示し、所期のめざす
断熱性ガラスであった。
【００５７】実施例５
実施例１と同様にして、第１層目を実施例１の第１層目
のタ−ゲットをZnからSnに変え前記搬送速度を約305mm
／min にし膜厚約35nmのSnO 薄膜、第２層目を実施例４
の第２層目と同一の膜厚約13nmのAg薄膜、第３層目を実
施例１の第３層目と印加電力のみ約0.28kWに変え膜厚約
４nmの Al-Zn合金薄膜、第４層目を第１層目と前記搬送
速度のみ約267mm ／min に変え膜厚約40nmのSnO 薄膜と
を順次成膜した積層膜付きガラス基板を得た。
のタ−ゲットをZnからSnに変え前記搬送速度を約305mm
／min にし膜厚約35nmのSnO 薄膜、第２層目を実施例４
の第２層目と同一の膜厚約13nmのAg薄膜、第３層目を実
施例１の第３層目と印加電力のみ約0.28kWに変え膜厚約
４nmの Al-Zn合金薄膜、第４層目を第１層目と前記搬送
速度のみ約267mm ／min に変え膜厚約40nmのSnO 薄膜と
を順次成膜した積層膜付きガラス基板を得た。
【００５８】得られた積層膜付きガラス基板について実
施例１と同様の評価を行った。その結果、耐湿性試験で
は約100mm ×100mm 面積内に大きさ約0.2mm φの白濁し
た斑点様の欠陥が２個程度発生したものの他は実施例１
と同様であり、耐湿性が大巾に向上したものであった。
また、該積層膜付きガラス基板は、可視光透過率Tvが7
4.3％、可視光反射率Rv（ガラス面側）が約15.9％、日
射透過率Tsが62.2％、紫外線透過率Tuv が約37.6％、放
射率が0.07であって、Low-E 性能を有する熱線遮蔽ガラ
スであり、かつ充分に優れた耐湿性を示し、所期のめざ
す熱線遮蔽ガラスであった。なお、SnO 薄膜のため紫外
線遮蔽性が向上しなかった。
施例１と同様の評価を行った。その結果、耐湿性試験で
は約100mm ×100mm 面積内に大きさ約0.2mm φの白濁し
た斑点様の欠陥が２個程度発生したものの他は実施例１
と同様であり、耐湿性が大巾に向上したものであった。
また、該積層膜付きガラス基板は、可視光透過率Tvが7
4.3％、可視光反射率Rv（ガラス面側）が約15.9％、日
射透過率Tsが62.2％、紫外線透過率Tuv が約37.6％、放
射率が0.07であって、Low-E 性能を有する熱線遮蔽ガラ
スであり、かつ充分に優れた耐湿性を示し、所期のめざ
す熱線遮蔽ガラスであった。なお、SnO 薄膜のため紫外
線遮蔽性が向上しなかった。
【００５９】実施例６
実施例１と同様にして、第１層目を実施例４の第１層目
と同一の膜厚約35nmのZnO 薄膜、第２層目を実施例４の
第２層目と同一の膜厚約13nmのAg薄膜、第３層目を実施
例１の第３層目と印加電力のみ約0.21kWに変え膜厚約３
nmの Al-Zn合金薄膜、第４層目を実施例４の第４層目と
前記搬送速度のみ約581mm ／min に変え膜厚約25nmのZn
O 薄膜、さらに第５層目をArガス(30)とO2ガス(70)の混
合ガス中、印加電力３kWで前記搬送速度を約200mm ／mi
n として膜厚約15nmのTiO 薄膜と順次成膜した積層膜付
きガラス基板を得た。
と同一の膜厚約35nmのZnO 薄膜、第２層目を実施例４の
第２層目と同一の膜厚約13nmのAg薄膜、第３層目を実施
例１の第３層目と印加電力のみ約0.21kWに変え膜厚約３
nmの Al-Zn合金薄膜、第４層目を実施例４の第４層目と
前記搬送速度のみ約581mm ／min に変え膜厚約25nmのZn
O 薄膜、さらに第５層目をArガス(30)とO2ガス(70)の混
合ガス中、印加電力３kWで前記搬送速度を約200mm ／mi
n として膜厚約15nmのTiO 薄膜と順次成膜した積層膜付
きガラス基板を得た。
【００６０】得られた積層膜付きガラス基板について実
施例１と同様の評価を行った。その結果、耐湿性試験で
は実施例１と同様であり、耐湿性が大巾に向上したもの
であった。また、該積層膜付きガラス基板は、可視光透
過率Tvが75.4％、可視光透過率Tvが15.2％、日射透過率
Tsが63.7％、紫外線透過率Tuv が約17.6％、放射率が0.
09であって、Low-E 性能を有し、かつ充分に優れた耐湿
性を示し、所期のめざす有用な断熱性ガラスであった。
施例１と同様の評価を行った。その結果、耐湿性試験で
は実施例１と同様であり、耐湿性が大巾に向上したもの
であった。また、該積層膜付きガラス基板は、可視光透
過率Tvが75.4％、可視光透過率Tvが15.2％、日射透過率
Tsが63.7％、紫外線透過率Tuv が約17.6％、放射率が0.
09であって、Low-E 性能を有し、かつ充分に優れた耐湿
性を示し、所期のめざす有用な断熱性ガラスであった。
【００６１】実施例７
実施例１と同様にして、第１層目を実施例４の第１層目
と同一の膜厚約35nmのZnO 薄膜、第２層目を実施例４と
同一の膜厚約13nmのAg薄膜、第３層目を実施例１の第３
層目と印加電力のみ約0.35kWに変え膜厚約５nmの Al-Zn
合金薄膜、第４層目を実施例４の第４層目における前記
搬送速度のみ約208mm ／min に変え膜厚約70nmのZnO 薄
膜、第５層目を第２層目と同一の膜厚約13nmのAg薄膜、
第６層目を第３層目と同一の膜厚約５nmの Al-Zn合金薄
膜、さらに第７層目を第１層目と同一の膜厚約35nmのZn
O 薄膜と順次成膜した積層膜付きガラス基板を得た。
と同一の膜厚約35nmのZnO 薄膜、第２層目を実施例４と
同一の膜厚約13nmのAg薄膜、第３層目を実施例１の第３
層目と印加電力のみ約0.35kWに変え膜厚約５nmの Al-Zn
合金薄膜、第４層目を実施例４の第４層目における前記
搬送速度のみ約208mm ／min に変え膜厚約70nmのZnO 薄
膜、第５層目を第２層目と同一の膜厚約13nmのAg薄膜、
第６層目を第３層目と同一の膜厚約５nmの Al-Zn合金薄
膜、さらに第７層目を第１層目と同一の膜厚約35nmのZn
O 薄膜と順次成膜した積層膜付きガラス基板を得た。
【００６２】得られた積層膜付きガラス基板について実
施例１と同様の評価を行った。その結果、耐湿性試験で
は約100mm ×100mm 面積内に大きさ約0.2mm φ以上の白
濁した斑点様の欠陥が１個程度発生したのみであり、耐
湿性が格段に優れるものであった。また、該積層薄膜付
きガラス基板は、可視光透過率Tvが71.5％、可視光透過
率Tvが 9.4％、日射透過率Tsが36.9％、紫外線透過率Tu
v が約8.3 ％、放射率が0.04であって、Low-E 性能を有
し、かつ格段に優れた耐湿性を示し、所期のめざす有用
な断熱性ガラスであった。
施例１と同様の評価を行った。その結果、耐湿性試験で
は約100mm ×100mm 面積内に大きさ約0.2mm φ以上の白
濁した斑点様の欠陥が１個程度発生したのみであり、耐
湿性が格段に優れるものであった。また、該積層薄膜付
きガラス基板は、可視光透過率Tvが71.5％、可視光透過
率Tvが 9.4％、日射透過率Tsが36.9％、紫外線透過率Tu
v が約8.3 ％、放射率が0.04であって、Low-E 性能を有
し、かつ格段に優れた耐湿性を示し、所期のめざす有用
な断熱性ガラスであった。
【００６３】実施例８
実施例１と同様にして、第１層目を実施例４の第１層目
と同一の膜厚約35nmのZnO 薄膜、第２層目を実施例１の
第２層目と同一の膜厚約10nmのAg薄膜、第３層目を実施
例１の第３層目と同一の膜厚約２nmの Al-Zn合金薄膜、
第４層目を実施例１の第３層目と混合ガスの割合をArガ
ス(30)とO2ガス(70)、印加電力を約0.56kW、前記搬送速
度を約1259mm／min に変え傾斜成分層として膜厚約５nm
のAlZnO薄膜、第５層目を実施例７の第４層目と同一の
膜厚約70nmのZnO 薄膜、第６層目を第２層目と実施例４
とほぼ同一の膜厚約12nmのAg薄膜、第７層目を第３層目
と同一の膜厚約２nmの Al-Zn合金薄膜、第８層目を第４
層目と同一の膜厚約５nmのAlZnO 薄膜、さらに第８層目
を第１層目と前記搬送速度のみ約484mm ／min に変え膜
厚約30nmのZnO 薄膜と順次成膜した積層膜付きガラス基
板を得た。
と同一の膜厚約35nmのZnO 薄膜、第２層目を実施例１の
第２層目と同一の膜厚約10nmのAg薄膜、第３層目を実施
例１の第３層目と同一の膜厚約２nmの Al-Zn合金薄膜、
第４層目を実施例１の第３層目と混合ガスの割合をArガ
ス(30)とO2ガス(70)、印加電力を約0.56kW、前記搬送速
度を約1259mm／min に変え傾斜成分層として膜厚約５nm
のAlZnO薄膜、第５層目を実施例７の第４層目と同一の
膜厚約70nmのZnO 薄膜、第６層目を第２層目と実施例４
とほぼ同一の膜厚約12nmのAg薄膜、第７層目を第３層目
と同一の膜厚約２nmの Al-Zn合金薄膜、第８層目を第４
層目と同一の膜厚約５nmのAlZnO 薄膜、さらに第８層目
を第１層目と前記搬送速度のみ約484mm ／min に変え膜
厚約30nmのZnO 薄膜と順次成膜した積層膜付きガラス基
板を得た。
【００６４】得られた積層膜付きガラス基板について実
施例１と同様の評価を行った。その結果、耐湿性試験で
は約100mm ×100mm 面積内に大きさ約0.2mm φ以上の白
濁した斑点様の欠陥が２個程度発生したのみであり、耐
湿性が大巾に向上したものであった。
施例１と同様の評価を行った。その結果、耐湿性試験で
は約100mm ×100mm 面積内に大きさ約0.2mm φ以上の白
濁した斑点様の欠陥が２個程度発生したのみであり、耐
湿性が大巾に向上したものであった。
【００６５】また、該積層膜付きガラス基板は、可視光
透過率Tvが74.9％、可視光透過率Tvが 7.3％、日射透過
率Tsが40.5％、紫外線透過率Tuv が約9.4 ％、放射率が
0.05であって、優れたLow-E 性能を有し、かつ充分に優
れた耐湿性を示し、所期のめざす有用な断熱性ガラスで
あった。
透過率Tvが74.9％、可視光透過率Tvが 7.3％、日射透過
率Tsが40.5％、紫外線透過率Tuv が約9.4 ％、放射率が
0.05であって、優れたLow-E 性能を有し、かつ充分に優
れた耐湿性を示し、所期のめざす有用な断熱性ガラスで
あった。
【００６６】比較例１
実施例１と同様にして、第１層目および第２層目を実施
例２の第１層目と第２層目と同一の膜厚約35nmのZn0 薄
膜および膜厚約10nmのAg薄膜、第３層目を実施例１の第
３層目とタ−ゲットを Al-Zn合金からZn、印加電力を約
0.11kWに変え膜厚約２nmのZn金属薄膜、第４層目を第１
層目と同一の膜厚約35nmのZn0 薄膜と順次成膜した積層
膜付きガラス基板を得た。
例２の第１層目と第２層目と同一の膜厚約35nmのZn0 薄
膜および膜厚約10nmのAg薄膜、第３層目を実施例１の第
３層目とタ−ゲットを Al-Zn合金からZn、印加電力を約
0.11kWに変え膜厚約２nmのZn金属薄膜、第４層目を第１
層目と同一の膜厚約35nmのZn0 薄膜と順次成膜した積層
膜付きガラス基板を得た。
【００６７】得られた積層膜付きガラス基板について実
施例１と同様の評価を行った。その結果、耐湿性試験で
は約100mm ×100mm 面積内に大きさ約0.2mm φ以上の白
濁した斑点様の欠陥が約57個程度発生し、耐湿性がある
ものとは言えないものであった。また、該積層膜付きガ
ラス基板は、可視光透過率Tvが76.3％、可視光透過率Tv
が14.7％、日射透過率Tsが64.1％、紫外線透過率Tuv が
約17.8％、放射率が0.09であって、Low-E 性能を有する
熱線遮蔽ガラスであるが、耐湿性が劣り、所期のめざす
断熱性ガラスではなかった。
施例１と同様の評価を行った。その結果、耐湿性試験で
は約100mm ×100mm 面積内に大きさ約0.2mm φ以上の白
濁した斑点様の欠陥が約57個程度発生し、耐湿性がある
ものとは言えないものであった。また、該積層膜付きガ
ラス基板は、可視光透過率Tvが76.3％、可視光透過率Tv
が14.7％、日射透過率Tsが64.1％、紫外線透過率Tuv が
約17.8％、放射率が0.09であって、Low-E 性能を有する
熱線遮蔽ガラスであるが、耐湿性が劣り、所期のめざす
断熱性ガラスではなかった。
【００６８】なお、前記実施例１と同様に複層ガラスと
した場合、可視光透過率Tvが68.9％、可視光反射率Tvが
16.2％、日射透過率Tsが約51.2％、紫外線透過率Tuv が
約16.0％等となった。
した場合、可視光透過率Tvが68.9％、可視光反射率Tvが
16.2％、日射透過率Tsが約51.2％、紫外線透過率Tuv が
約16.0％等となった。
【００６９】比較例２
実施例１と同様にして、第１層目を比較例１の第１層目
とタ−ゲットをZnから前記 Al-Zn合金、前記搬送速度を
約265mm ／min に変え膜厚約35nmのAlZnO 薄膜、第２層
目および第３層目を比較例１の第２層目と第３層目と同
一の膜厚約10nmのAg薄膜および膜厚約２nmのZn金属薄
膜、第４層目を第１層目と同一の膜厚約35nmのAlZnO 薄
膜と順次成膜した積層膜付きガラス基板を得た。
とタ−ゲットをZnから前記 Al-Zn合金、前記搬送速度を
約265mm ／min に変え膜厚約35nmのAlZnO 薄膜、第２層
目および第３層目を比較例１の第２層目と第３層目と同
一の膜厚約10nmのAg薄膜および膜厚約２nmのZn金属薄
膜、第４層目を第１層目と同一の膜厚約35nmのAlZnO 薄
膜と順次成膜した積層膜付きガラス基板を得た。
【００７０】得られた積層膜付きガラス基板について実
施例１と同様の評価を行った。その結果、耐湿性試験で
は約100mm ×100mm 面積内に大きさ約0.2mm φ以上の白
濁した斑点様の欠陥が約47個程度発生し、耐湿性がある
ものとは言い難いものであった。また、該積層膜付きガ
ラス基板は、可視光透過率Tvが76.7％、可視光透過率Tv
が14.1％、日射透過率Tsが65.2％、紫外線透過率Tuv が
約42.3％、放射率が0.09であって、Low-E 性能を有する
熱線遮蔽ガラスであるが、Zn金属薄膜とAlZnO 薄膜では
効果が少なく耐湿性が劣り、しかも紫外線遮蔽性が悪化
し、所期のめざす断熱性ガラスではなかった。
施例１と同様の評価を行った。その結果、耐湿性試験で
は約100mm ×100mm 面積内に大きさ約0.2mm φ以上の白
濁した斑点様の欠陥が約47個程度発生し、耐湿性がある
ものとは言い難いものであった。また、該積層膜付きガ
ラス基板は、可視光透過率Tvが76.7％、可視光透過率Tv
が14.1％、日射透過率Tsが65.2％、紫外線透過率Tuv が
約42.3％、放射率が0.09であって、Low-E 性能を有する
熱線遮蔽ガラスであるが、Zn金属薄膜とAlZnO 薄膜では
効果が少なく耐湿性が劣り、しかも紫外線遮蔽性が悪化
し、所期のめざす断熱性ガラスではなかった。
【００７１】比較例３
実施例１と同様にして、第１層目を実施例１の第１層目
と同一の膜厚約35nmのZn0 薄膜、第２層目を実施例４の
第２層目と同一の膜厚約13nmのAg薄膜、第３層目を比較
例１の第３層目と印加電力を約0.39kWに変え膜厚約７nm
のZn金属薄膜、第４層目を第１層目と同一の膜厚約35nm
のZn0 薄膜と順次成膜した積層膜付きガラス基板を得
た。
と同一の膜厚約35nmのZn0 薄膜、第２層目を実施例４の
第２層目と同一の膜厚約13nmのAg薄膜、第３層目を比較
例１の第３層目と印加電力を約0.39kWに変え膜厚約７nm
のZn金属薄膜、第４層目を第１層目と同一の膜厚約35nm
のZn0 薄膜と順次成膜した積層膜付きガラス基板を得
た。
【００７２】得られた積層膜付きガラス基板について実
施例１と同様の評価を行った。その結果、耐湿性試験で
は約100mm ×100mm 面積内に大きさ約0.2mm φ以上の白
濁した斑点様の欠陥が約50個程度発生し、耐湿性がある
ものとは言えないものであった。また、該積層膜付きガ
ラス基板は、可視光透過率Tvが70.4％、可視光透過率Tv
が17.1％、日射透過率Tsが59.1％、紫外線透過率Tuv が
約14.6％、放射率が0.07であって、Low-E 性能を有する
熱線遮蔽ガラスであるが、耐湿性が劣り、所期のめざす
断熱性ガラスではなかった。
施例１と同様の評価を行った。その結果、耐湿性試験で
は約100mm ×100mm 面積内に大きさ約0.2mm φ以上の白
濁した斑点様の欠陥が約50個程度発生し、耐湿性がある
ものとは言えないものであった。また、該積層膜付きガ
ラス基板は、可視光透過率Tvが70.4％、可視光透過率Tv
が17.1％、日射透過率Tsが59.1％、紫外線透過率Tuv が
約14.6％、放射率が0.07であって、Low-E 性能を有する
熱線遮蔽ガラスであるが、耐湿性が劣り、所期のめざす
断熱性ガラスではなかった。
【００７３】比較例４
実施例１と同様にして、第１層目を比較例２の第１層目
と混合ガスの割合をArガス(30)とO2ガス(70)、前記搬送
速度を約319mm ／min に変え膜厚約35nmのAlZnO 薄膜、
第２層目および第３層目を比較例３の第２層目と第３層
目と同一の膜厚約13nmのAg薄膜および膜厚約７nmのZn金
属薄膜、第４層目を第１層目と同一の膜厚約35nmのAlZn
O 薄膜と順次成膜した積層膜付きガラス基板を得た。
と混合ガスの割合をArガス(30)とO2ガス(70)、前記搬送
速度を約319mm ／min に変え膜厚約35nmのAlZnO 薄膜、
第２層目および第３層目を比較例３の第２層目と第３層
目と同一の膜厚約13nmのAg薄膜および膜厚約７nmのZn金
属薄膜、第４層目を第１層目と同一の膜厚約35nmのAlZn
O 薄膜と順次成膜した積層膜付きガラス基板を得た。
【００７４】得られた積層膜付きガラス基板について実
施例１と同様の評価を行った。その結果、耐湿性試験で
は約100mm ×100mm 面積内に大きさ約0.2mm φ以上の白
濁した斑点様の欠陥が約50個程度発生し、耐湿性がある
ものとは言えないものであった。また、該積層膜付きガ
ラス基板は、可視光透過率Tvが70.9％、可視光透過率Tv
が16.6％、日射透過率Tsが59.9％、紫外線透過率Tuv が
約40.1％、放射率が0.07であって、Low-E 性能を有する
断熱性ガラスであるが、Zn金属薄膜とAlZnO 薄膜では効
果が少なく耐湿性が劣り、しかも紫外線遮蔽性が悪化
し、所期のめざす断熱性ガラスではなかった。
施例１と同様の評価を行った。その結果、耐湿性試験で
は約100mm ×100mm 面積内に大きさ約0.2mm φ以上の白
濁した斑点様の欠陥が約50個程度発生し、耐湿性がある
ものとは言えないものであった。また、該積層膜付きガ
ラス基板は、可視光透過率Tvが70.9％、可視光透過率Tv
が16.6％、日射透過率Tsが59.9％、紫外線透過率Tuv が
約40.1％、放射率が0.07であって、Low-E 性能を有する
断熱性ガラスであるが、Zn金属薄膜とAlZnO 薄膜では効
果が少なく耐湿性が劣り、しかも紫外線遮蔽性が悪化
し、所期のめざす断熱性ガラスではなかった。
【００７５】比較例５
実施例１と同様にして、第１層目および第２層目を比較
例３の第１層目と第２層目と同一の膜厚約35nmのZn0 薄
膜および膜厚約13nmのAg薄膜、第３層目を実施例１の第
３層目と印加電力を約0.07kWに変え膜厚約１nmの Al-Zn
合金薄膜、第４層目を実施例４の第４層目と同一の膜厚
約40nmのZn0 薄膜と順次成膜した積層膜付きガラス基板
を得た。
例３の第１層目と第２層目と同一の膜厚約35nmのZn0 薄
膜および膜厚約13nmのAg薄膜、第３層目を実施例１の第
３層目と印加電力を約0.07kWに変え膜厚約１nmの Al-Zn
合金薄膜、第４層目を実施例４の第４層目と同一の膜厚
約40nmのZn0 薄膜と順次成膜した積層膜付きガラス基板
を得た。
【００７６】得られた積層膜付きガラス基板について実
施例１と同様の評価を行った。その結果、耐湿性試験で
は約100mm ×100mm 面積内に大きさ約0.2mm φ以上の白
濁した斑点様の欠陥が約32個程度発生し、耐湿性がある
ものとは言い難いものであった。また、該積層膜付きガ
ラス基板は、可視光透過率Tvが80.6％、可視光透過率Tv
が10.3％、日射透過率Tsが67.3％、紫外線透過率Tuv が
約20.3％、放射率が0.09であって、Low-E 性能を有する
断熱性ガラスであるが、 Al-Zn合金薄膜が薄すぎて耐湿
性が劣り、所期のめざす断熱性ガラスではなかった。
施例１と同様の評価を行った。その結果、耐湿性試験で
は約100mm ×100mm 面積内に大きさ約0.2mm φ以上の白
濁した斑点様の欠陥が約32個程度発生し、耐湿性がある
ものとは言い難いものであった。また、該積層膜付きガ
ラス基板は、可視光透過率Tvが80.6％、可視光透過率Tv
が10.3％、日射透過率Tsが67.3％、紫外線透過率Tuv が
約20.3％、放射率が0.09であって、Low-E 性能を有する
断熱性ガラスであるが、 Al-Zn合金薄膜が薄すぎて耐湿
性が劣り、所期のめざす断熱性ガラスではなかった。
【００７７】
【発明の効果】本発明によれば、ガラス基板表面に形成
した積層膜において、 Al-Zn合金薄膜でもって貴金属薄
膜を保護するようにしたことにより、耐湿性が格段に向
上し、より耐久性に優れるものとなり、取り扱い、保
管、包装等を容易で簡便化できる等、建築用窓ガラス、
特に複層ガラスとして有用である断熱性ガラスをより生
産性よく経済的に提供することができる。
した積層膜において、 Al-Zn合金薄膜でもって貴金属薄
膜を保護するようにしたことにより、耐湿性が格段に向
上し、より耐久性に優れるものとなり、取り扱い、保
管、包装等を容易で簡便化できる等、建築用窓ガラス、
特に複層ガラスとして有用である断熱性ガラスをより生
産性よく経済的に提供することができる。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ
Ｇ０２Ｂ 1/10 Ｇ０２Ｂ 1/10 Ｚ
(56)参考文献 特開 平５−221692（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−314745（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C03C 15/00 - 23/00
B32B 1/00 - 35/00
B60J 1/00
C23C 14/00 - 14/58
Claims (4)
- 【請求項１】ガラス基板の表面上に、少なくとも透明酸
化物膜層、貴金属膜層、Al-Zn膜層を組み合わせ順次積
層した積層膜であって、貴金属層がAgもしくはAgを主成
分とする貴金属膜から成り、貴金属膜層を少なくともAl
-Zn膜層で保護するようにAl-Zn膜層を存在せしめ、該Al
-Zn膜層は、Znに対しAlが３wt％以上10wt％以下添加さ
れていることを特徴とする断熱ガラス。 - 【請求項２】前記Al-Zn膜層の成膜時の膜厚が、２nm以
上10nm以下であることを特徴とする請求項１に記載の断
熱ガラス。 - 【請求項３】前記貴金属膜層をAl-Zn 膜およびその他の
金属膜で保護することを特徴とする請求項１乃至２のい
ずれかに記載の断熱ガラス。 - 【請求項４】その他の金属膜が、Zn膜で成ることを特徴
とする請求項３に記載の断熱ガラス。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP34540896A JP3392000B2 (ja) | 1996-12-25 | 1996-12-25 | 断熱ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34540896A JP3392000B2 (ja) | 1996-12-25 | 1996-12-25 | 断熱ガラス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10182192A JPH10182192A (ja) | 1998-07-07 |
| JP3392000B2 true JP3392000B2 (ja) | 2003-03-31 |
Family
ID=18376400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34540896A Expired - Fee Related JP3392000B2 (ja) | 1996-12-25 | 1996-12-25 | 断熱ガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3392000B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
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|---|---|---|---|---|
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| DE19852358C1 (de) * | 1998-11-13 | 2000-05-25 | Ver Glaswerke Gmbh | Thermisch hoch belastbares Low-E-Schichtsystem |
| WO2007029494A1 (ja) * | 2005-09-06 | 2007-03-15 | Nippon Sheet Glass Company, Limited | 低放射複層ガラス |
| JP2007197237A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 低放射複層ガラス |
| US9725357B2 (en) | 2012-10-12 | 2017-08-08 | Corning Incorporated | Glass articles having films with moderate adhesion and retained strength |
| TWI615367B (zh) | 2012-10-12 | 2018-02-21 | 康寧公司 | 具有保留強度之物品 |
| KR102458863B1 (ko) * | 2013-10-14 | 2022-10-26 | 코닝 인코포레이티드 | 중간 접착력 및 잔류 강도를 갖는 필름을 갖는 유리 제품 |
| JP6864080B2 (ja) | 2017-03-30 | 2021-04-21 | 富士フイルム株式会社 | 積層体、建材、窓材及び放射冷却装置 |
| JP6656469B2 (ja) | 2017-03-30 | 2020-03-04 | 富士フイルム株式会社 | 光学部材 |
| MX2022009983A (es) * | 2020-02-14 | 2022-11-16 | Vitro Flat Glass Llc | Recubrimiento con baja resistencia de lamina. |
| CN111362590A (zh) * | 2020-03-25 | 2020-07-03 | 四川猛犸半导体科技有限公司 | 一种薄膜器件 |
-
1996
- 1996-12-25 JP JP34540896A patent/JP3392000B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JPH10182192A (ja) | 1998-07-07 |
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