JP3181951B2 - Position adjustment method - Google Patents

Position adjustment method

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JP3181951B2
JP3181951B2 JP28626991A JP28626991A JP3181951B2 JP 3181951 B2 JP3181951 B2 JP 3181951B2 JP 28626991 A JP28626991 A JP 28626991A JP 28626991 A JP28626991 A JP 28626991A JP 3181951 B2 JP3181951 B2 JP 3181951B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、位置調整方法に関し、
さらに詳しくは、被検体の移動量を検出する際に行われ
る光源からの光出射位置の調整方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a position adjusting method,
More specifically, the present invention relates to a method for adjusting a light emitting position from a light source when detecting a moving amount of a subject.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、被検体の移動量あるいは変位量
を検出する方法として、光学的な手法を用いる方法があ
り、具体的には、光源からの光を被検体に照射し、被検
体による反射光あるいは透過光を光センサ−で検知する
ことにより被検体に対する移動量あるいは変位量等の物
理量を測定することが行われている。
2. Description of the Related Art In general, there is a method using an optical method as a method for detecting the amount of movement or displacement of an object. Specifically, light from a light source is irradiated on the object, 2. Description of the Related Art Detecting reflected light or transmitted light with an optical sensor measures a physical amount such as a moving amount or a displacement amount with respect to a subject.

【0003】ところで、本発明者は、先に、上述した物
理量の検出方法として、特開昭63−47626号公報
に記載の方法を提案した。この公報記載の方法は、被検
体として、単周期的構造の構造物を、単色の可干渉性の
点状光源からの発散光で照明し、被検体における単周期
的構造に対応する影絵的回折パタ−ンを発生させ、照明
光束を横切る方向への被検体の移動に伴う影絵的回折パ
タ−ンの移動量を光センサ−により検知して被検体の移
動量を測定するようになっている。
The present inventor has previously proposed a method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-47626 as a method for detecting the above-mentioned physical quantity. The method described in this publication illuminates a structure having a single periodic structure as a subject with divergent light from a monochromatic coherent point light source, and performs a shadow-like diffraction corresponding to the single periodic structure in the subject. A pattern is generated, and the amount of movement of the subject is measured by detecting, by an optical sensor, the amount of movement of the shadow pattern diffraction pattern accompanying the movement of the subject in a direction crossing the illumination light beam. .

【0004】また、本発明者は、上述した提案方法にお
ける点状光源に代えて線状光源を用いた場合の方法につ
いても特開平1−297513号公報記載のとおり提案
した。すなわち、この方法においては、図6(B)に示す
ように、線状光源Aの長さをdとし、回折格子Bのピッ
チをξ、そして、回折格子Bにおける光透過部としての
スリットの幅をδとし、さらには、図6(A)において、
線状光源Aと回折格子Bとの間の距離をb1、回折格子
Bとスクリ−ンCとの間の距離をb2とした場合に、1/
10≦(d/ξ)≦4の関係を設定することで、スクリ−ン
C上に単周期的構造に対応する影絵的回折パタ−ンが得
られ、被検体の照射光束を横切る方向への移動に伴う影
絵的回折パタ−ンの移動量を光センサDにより検知して
被検体の移動量を測定するようになっている。
The present inventor has also proposed a method in which a linear light source is used in place of the point light source in the above-described proposed method, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-297513. That is, in this method, as shown in FIG. 6B, the length of the linear light source A is d, the pitch of the diffraction grating B is ξ, and the width of the slit as a light transmitting portion in the diffraction grating B is Is δ, and in FIG. 6 (A),
If the distance between the linear light source A and the diffraction grating B is b1, and the distance between the diffraction grating B and the screen C is b2, 1 /
By setting the relation of 10 ≦ (d / ξ) ≦ 4, a shadow-like diffraction pattern corresponding to a mono-periodic structure is obtained on the screen C, and the pattern is formed in a direction crossing the irradiation light beam of the subject. The movement amount of the subject is measured by detecting the movement amount of the shadow pattern diffraction pattern accompanying the movement by the optical sensor D.

【0005】また、上述した距離b1、b2は、影絵的
回折パタ−ンの大きさと回折格子Bにおけるスリットの
ピッチとの関係を判断するためのパラメ−タであり、回
折格子のピッチをξ、影絵的回折パタ−ンにおける格子
ピッチをξaとした場合、影絵的回折パタ−ンの格子ピ
ッチは、ξa=ξ・b2/b1となり、影絵的回折パタ−ン
が拡大されることで、回折格子のピッチを極めて小さく
した場合でも光センサによる測定が正確に行えることを
表している。
The above-mentioned distances b1 and b2 are parameters for determining the relationship between the size of the shadow pattern and the pitch of the slits in the diffraction grating B. If the grating pitch in the shadow-like diffraction pattern is ξa, the grating pitch of the shadow-like diffraction pattern is ξa = ξ · b2 / b1, and the diffraction grating is expanded by expanding the shadow-like diffraction pattern. This indicates that the measurement by the optical sensor can be performed accurately even when the pitch of the image is extremely small.

【0006】図6(A)においては、影絵的回折パタ-ンの
光強度分布が共に示されており、回折光E同士が重なり
合う部分で影絵的回折パタ−ンFが縞状の明暗となって
現れることが示されている。なお、図6中、符号Gはイ
ンデックススリットを示している。
In FIG. 6A, the light intensity distribution of a shadow pattern is also shown, and a shadow pattern F becomes a striped light and dark portion where the diffracted lights E overlap. It is shown to appear. In addition, in FIG. 6, the code | symbol G has shown the index slit.

【0007】また、このような影絵的回折パタ−ンの移
動量を検知する対象となる被検体として、回転体を用
い、この回転する被検体の回転量を測定する方法につい
ても、本発明者は提案した(特開平2−57913号公
報)。この公報記載の方法は、被検体と同軸一体化され
た円筒型の回折格子に光源からの光を照射し、上記被検
体上の回折パタ−ンに対応する影絵的パタ−ンの移動量
を光センサ−により検知して被検体の回転量を測定する
ようになっている。
The present inventor also discloses a method for measuring the amount of rotation of a rotating object by using a rotating body as the object for which the amount of movement of the shadow pattern is detected. Has been proposed (JP-A-2-57913). According to the method described in this publication, a cylindrical diffraction grating coaxially integrated with a subject is irradiated with light from a light source, and the amount of movement of a shadow pattern corresponding to the diffraction pattern on the subject is determined. The amount of rotation of the subject is measured by detecting with an optical sensor.

【0008】つまり、図7において、円筒型の回折格子
Hに単色光源からの光を照射して影絵的回折パタ−ンI
を発生させ、矢印で示すように、円筒体の回転量に対応
する影絵的回折パタ−ンの移動量を光センサJにより検
知するようになっている。
That is, in FIG. 7, a cylindrical diffraction grating H is irradiated with light from a monochromatic light source to produce a shadow pattern diffraction pattern I.
Is generated, and the amount of movement of the shadow pattern diffraction pattern corresponding to the amount of rotation of the cylindrical body is detected by the optical sensor J as indicated by the arrow.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うな影絵的回折パタ−ンを発生させて、その回折パタ−
ンの移動量を検知する方法にあっては、上述した影絵的
回折パタ−ンを発生するために用いられる光源と被検体
および光センサとの間に一定の位置的関係を実現しなけ
ればならず、この位置的関係が変化すると、発生する影
絵的回折パタ−ンが変化してしまう虞れがある。
By the way, the above-mentioned shadow pattern is generated and the diffraction pattern is generated.
In the method of detecting the movement amount of the light source, a certain positional relationship must be realized between the light source used to generate the shadow pattern described above, the subject, and the optical sensor. If this positional relationship changes, the generated shadow-like diffraction pattern may change.

【0010】例えば、従来の回折格子としては、円板状
のものが多く、この場合には、光源と光センサとの位置
的関係は2次元的な調整で得られていたが、このような
回折格子に代えて円筒型のものの場合には、その回折格
子の形態からして2次元的とはいかず3次元的な調整が
必要になる。
For example, many conventional diffraction gratings have a disc shape. In this case, the positional relationship between the light source and the optical sensor has been obtained by two-dimensional adjustment. In the case of a cylindrical type in place of the diffraction grating, three-dimensional adjustment is required instead of two-dimensionally due to the form of the diffraction grating.

【0011】従って、調整方法が厳密でかつ複雑な場合
には、組立て・調整に時間がかかり、光検出光学系を得
るためのコストが高くなってしまう虞れがある。
Therefore, if the adjustment method is strict and complicated, it takes time to assemble and adjust, and there is a possibility that the cost for obtaining the photodetection optical system will increase.

【0012】そこで、本発明の目的は、上述した提案方
法における位置調整の問題に鑑み、特に円筒型の回折格
子を用いた被検体の回転量測定方法において、光検出光
学系の位置調整を効率的でかつ簡単に行うことのできる
位置調整方法を得ることにある。
In view of the above, it is an object of the present invention to provide a method for measuring the amount of rotation of a subject using a cylindrical diffraction grating, in which the position adjustment of a light detection optical system is performed efficiently. An object of the present invention is to provide a position adjustment method which can be performed easily and easily.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明は、被検体と同軸一体化された円筒型の回折
格子に可干渉性の光を照射して生じる回折光同士の干渉
による干渉縞を光電変換素子により検知して被検体の回
転量を測定する方法において、上記可干渉性の光を照射
するための光源と上記光電変換素子とを磁性部材により
一体化して光カップラ−とし、この光カップラ−を上記
回折格子の近傍に配置してある永久磁石上で移動可能と
することで上記回折格子に非接触の状態で上記光源およ
び光電変換素子の位置を変化させることを特徴としてい
る。
In order to achieve this object, the present invention provides a cylindrical diffraction grating which is coaxially integrated with a subject and is irradiated with coherent light by interference of diffracted light beams. In the method of measuring the amount of rotation of a subject by detecting interference fringes by a photoelectric conversion element, a light source for irradiating the coherent light and the photoelectric conversion element are integrated with a magnetic member to form an optical coupler. The position of the light source and the photoelectric conversion element is changed in a non-contact state with the diffraction grating by making the optical coupler movable on a permanent magnet disposed near the diffraction grating. I have.

【0014】また本発明は、光カップラ−が、光源を回
転調整可能にしてある構造を用いることを特徴としてい
る。光源の回転は、光源から放射される光の放射方向を
軸とする自転的な回転である。
Further, the present invention is characterized in that the optical coupler uses a structure in which the rotation of the light source can be adjusted. The rotation of the light source changes the direction of the light emitted from the light source.
It is a rotation that rotates around an axis.

【0015】さらに本発明は、光カップラ−が、移動量
検出用とゼロ点検出用とがそれぞれ別体とされ、両者が
回転軸をはさんで対向した構造を用いることを特徴とし
ている。
Further, the present invention is characterized in that the optical coupler has a structure in which the optical coupler for detecting the moving amount and the optical coupler for detecting the zero point are separately provided, and the optical coupler is opposed to each other with the rotation axis therebetween.

【0016】[0016]

【作用】本発明によれば、回折格子に対する光源および
光電変換素子の位置は、これらが一体化されている磁性
部材を永久磁石上で回折格子の周期方向に移動させるだ
けで調整される。
According to the present invention, the positions of the light source and the photoelectric conversion element with respect to the diffraction grating are adjusted only by moving the magnetic member with which they are integrated on the permanent magnet in the period direction of the diffraction grating.

【0017】また本発明によれば、光カップラ−に位置
する光源は、回転調整されることで格子ピッチのサイズ
により検出効率が最適な位置に対応させられる。
Further, according to the present invention, the light source located in the optical coupler is rotated and adjusted so that the detection efficiency corresponds to the optimum position depending on the size of the grating pitch.

【0018】[0018]

【実施例】以下、図1乃至図5において、本発明実施例
の詳細を説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to FIGS.

【0019】図1は、本発明実施例による位置調整方法
に用いられる回転量検出器の構造を示しており、この回
転量検出器1は、筐体1Aを備えており、この筐体1A
の内部には、図3に示すように、軸受け2により回転可
能に支持されている回転軸3と同軸一体化されている円
筒型の回折格子4が配置されている。
FIG. 1 shows the structure of a rotation amount detector used in a position adjusting method according to an embodiment of the present invention. The rotation amount detector 1 has a housing 1A.
As shown in FIG. 3, a cylindrical diffraction grating 4 coaxially integrated with a rotation shaft 3 rotatably supported by a bearing 2 is disposed inside the diffraction grating.

【0020】一方、上述した筐体1Aにおける回折格子
4の上部近傍には、光カップラ−5、6が配置されてお
り、この光カップラ−5、6は、回折格子4の周面に対
して同じ側に並列させてあり、一方が移動量検出用とし
て、また他方がこの移動量検出のための基準設定を行う
ゼロ点検出用とされている。そして、上述した光カップ
ラ−5、6は、共に同じ構造とされ、具体的には、鉄や
ニッケル等の磁性部材が用いられ、この磁性部材には、
図2に示すように、回折格子4に向けた光路を設定でき
る位置に半導体レ−ザ−あるいはLED等からなる光源
の装填部5A、6Aとフォトトランジスタあるいはフォ
トダイオ−ド等からなり光センサとして機能する光電変
換素子の装填部5B、6Bとが形成されている。
On the other hand, optical couplers 5 and 6 are arranged near the upper part of the diffraction grating 4 in the above-mentioned housing 1A. They are arranged in parallel on the same side, one for detecting the movement amount and the other for detecting the zero point for setting the reference for detecting the movement amount. The optical couplers 5 and 6 have the same structure. Specifically, a magnetic member such as iron or nickel is used.
As shown in FIG. 2, a light source loading portion 5A, 6A comprising a semiconductor laser or an LED and a phototransistor or a photodiode are provided at a position where an optical path toward the diffraction grating 4 can be set. The loading portions 5B and 6B of the photoelectric conversion element functioning as the components are formed.

【0021】上述した装填部のうちの光源に対する装填
部5A、6Aでは、例えば、線状光源の場合、前述した
特開平1−297513号公報において説明されている
ように、影絵的回折パタ−ンの発生に対して線状光源の
長さdと回折格子のピッチとの関係が特有の関係とされ
ることが必要であることを踏まえて、この光源を放射方
向を軸として自転的に回転させることができるようにし
てあり、この回転により上述した光源の長さdを調整し
て単周期的構造に対応する影絵的回折パタ−ンを得られ
るようになっている。
In the loading sections 5A and 6A for the light source among the loading sections described above, for example, in the case of a linear light source, as described in the above-mentioned JP-A-1-297513, a shadow pattern diffraction pattern is used. Given that the relationship between the pitch length d and the diffraction grating of the linear light source to the occurrence of a need to be a specific relationship, the radiation direction of the light source
The rotation can be rotated about the direction, and by this rotation, the length d of the light source can be adjusted to obtain a shadow-like diffraction pattern corresponding to a single periodic structure. ing.

【0022】また、筐体1Aにおける光カップラ−5、
6の底部と対向する位置には永久磁石7が配置されてお
り、この永久磁石7は、光カップラ−5、6の底面が回
折格子4を跨ぐことができるように対をなして筐体1A
に接着されている。
The optical coupler 5 in the housing 1A,
A permanent magnet 7 is disposed at a position facing the bottom of the housing 6. The permanent magnets 7 are paired so that the bottom surfaces of the optical couplers 5 and 6 can cross the diffraction grating 4.
Adhered to.

【0023】従って、光カップラ−5、6は、永久磁石
7上を、図2において矢印で示すように平面的に移動で
きるようになっており、結果として、回折格子4の周期
方向での位置を変化させることが出きるようになってい
る。
Therefore, the optical couplers 5 and 6 can be moved on the permanent magnet 7 in a plane as indicated by the arrow in FIG. 2, and as a result, the position of the diffraction grating 4 in the periodic direction is obtained. Can be changed.

【0024】本実施例における光検出器1は、製造行程
において、筐体1Aに対して回転軸3と共に回折格子4
を装着したうえで、永久磁石7を接着により固定する。
そして、光カップラ−5、6を永久磁石7上に位置さ
せ、調整時には、永久磁石7上を移動させ、調整後には
永久磁石7に接着することで固定する。
In the present embodiment, the photodetector 1 includes a diffraction grating 4 along with a rotating shaft 3 with respect to a housing 1A during a manufacturing process.
, And the permanent magnet 7 is fixed by bonding.
Then, the optical couplers 5 and 6 are positioned on the permanent magnet 7, moved on the permanent magnet 7 at the time of adjustment, and fixed by bonding to the permanent magnet 7 after the adjustment.

【0025】また、上述した光カップラ−5、6におけ
る光源装填部5A、6Aは、光源の回転調整を行えるよ
うになっているので、線状光源を用いた場合にこの光源
の長さと回折格子のピッチとの関係を単周期的構造に対
応した影絵的回折パタ−ンが得られるに相応しい態位を
設定することができる。
The light source loading sections 5A and 6A of the optical couplers 5 and 6 can adjust the rotation of the light source. Therefore, when a linear light source is used, the length of the light source and the diffraction grating can be adjusted. With respect to the relationship with the pitch, a posture suitable for obtaining a shadow-like diffraction pattern corresponding to a single periodic structure can be set.

【0026】一方、図1に示した光検出器にあっては、
光カップラ−5、6を回折格子4の周面に対して同じ側
に配列したが、これに限らないこと勿論である。図4お
よび図5は、上述した光カップラ−5、6を、回折格子
4と同軸一体の回転軸をはさんで対向する位置に設けた
場合が示されており、この場合にあっても、光カップラ
−4、5は、筐体1Aに接着された永久磁石7上に位置
させてある。
On the other hand, in the photodetector shown in FIG.
Although the optical couplers 5 and 6 are arranged on the same side with respect to the peripheral surface of the diffraction grating 4, it is needless to say that the present invention is not limited to this. FIGS. 4 and 5 show a case where the above-described optical couplers 5 and 6 are provided at positions facing each other with a rotation axis coaxially integrated with the diffraction grating 4. The optical couplers -4 and 5 are located on the permanent magnet 7 adhered to the housing 1A.

【0027】本実施例によれば、円筒体の軸方向の長さ
を短くでき、光検出器の小型化が可能ににある。
According to this embodiment, the length of the cylindrical body in the axial direction can be reduced, and the photodetector can be downsized.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、光源およ
び光センサとしての光電変換素子を共に磁性部材からな
る光カップラ−に一体化し、この磁性部材を回折格子に
対して永久磁石上を移動させるだけの簡単な操作によっ
て光源および光電変換素子の位置調整が行える。特に、
上述した光源と光電変換素子は、光カップラ−によって
角度の固定が可能であり、回折格子の周期方向への移動
調整だけでよいので、個別に各光学部材を位置調整する
場合に比べ光学的な調整が簡単化され製造行程での組立
て時間が短くなり、生産コストを低減することが可能に
なる。
As described above, according to the present invention, both the light source and the photoelectric conversion element as an optical sensor are integrated into an optical coupler made of a magnetic member, and this magnetic member is placed on a permanent magnet with respect to a diffraction grating. The position of the light source and the photoelectric conversion element can be adjusted by a simple operation of merely moving the light source. In particular,
The angle of the light source and the photoelectric conversion element described above can be fixed by an optical coupler, and it is only necessary to adjust the movement of the diffraction grating in the periodic direction. The adjustment is simplified, the assembling time in the manufacturing process is shortened, and the production cost can be reduced.

【0029】また、本発明によれば、光カップラ−にお
いて、光源の回転調整が行えるようになっているので、
回折格子のピッチに対して、光源の長さを容易に調整す
ることができ、単周期的構造に対応した影絵的回折パタ
−ンを容易に発生させることが可能になる。
According to the present invention, the rotation of the light source can be adjusted in the optical coupler.
The length of the light source can be easily adjusted with respect to the pitch of the diffraction grating, and a shadow-like diffraction pattern corresponding to a single periodic structure can be easily generated.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明実施例による位置調整方法を適用される
構造の一例を示す光検出器の側面図である。
FIG. 1 is a side view of a photodetector showing an example of a structure to which a position adjusting method according to an embodiment of the present invention is applied.

【図2】図1において符号−線で示す方向の矢視図
である。
FIG. 2 is an arrow view in a direction indicated by a sign-line in FIG.

【図3】図2において符号−線で示す方向の矢視図
である。
FIG. 3 is an arrow view in a direction indicated by a sign-line in FIG. 2;

【図4】図1に示した光検出器の一部変形例を示す図1
相当の側面図である。
FIG. 4 is a view showing a partially modified example of the photodetector shown in FIG. 1;
It is a considerable side view.

【図5】図4に示した光検出器の断面図である。FIG. 5 is a sectional view of the photodetector shown in FIG.

【図6】本発明実施例による位置調整方法を用いる光学
的な移動量測定方法の原理を説明するための模式図であ
る。
FIG. 6 is a schematic diagram for explaining the principle of an optical movement amount measuring method using the position adjusting method according to the embodiment of the present invention.

【図7】本発明実施例による位置調整方法を用いられる
光学的な回転量測定方法の原理を説明するための模式図
である。
FIG. 7 is a schematic diagram for explaining the principle of an optical rotation amount measuring method using the position adjusting method according to the embodiment of the present invention.

【符号の説明】 1 本発明実施例による位置調整方法を適用
される装置である光検出器 1A 筐体 3 回転軸 4 回折格子 5、6 光カップラ− 5A、6A 光源の装填部 5B、6B 光電変換素子の装填部 7 永久磁石
DESCRIPTION OF THE SYMBOLS 1 Photodetector which is a device to which the position adjusting method according to the embodiment of the present invention is applied 1A housing 3 Rotation axis 4 Diffraction grating 5, 6 Optical coupler 5A, 6A Light source loading section 5B, 6B Loading part of conversion element 7 permanent magnet

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山口 友行 東京都大田区中馬込1丁目3番6号・株 式会社リコー内 (56)参考文献 実開 昭55−175868(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01D 5/26 - 5/38 G01D 11/00 - 11/30 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing the front page (72) Inventor Tomoyuki Yamaguchi 1-3-6 Nakamagome, Ota-ku, Tokyo, Ricoh Co., Ltd. (56) References Real Opening Sho 55-175868 (JP, U) ( 58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) G01D 5/26-5/38 G01D 11/00-11/30

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】被検体と同軸一体化された円筒型の回折格
子に可干渉性の光を照射して生じる回折光同士の干渉に
よる干渉縞を光電変換素子により検知して被検体の回転
量を測定する方法において、 上記可干渉性の光を照射するための光源と上記光電変換
素子とを磁性部材により一体化して光カップラ−とし、
この光カップラ−を上記回折格子の近傍に配置してある
永久磁石上で移動可能とすることで上記回折格子に非接
触の状態で上記光源および光電変換素子の位置を変化さ
せることを特徴とする光学的な位置調整方法。
1. A rotation amount of an object is detected by irradiating coherent light to a cylindrical diffraction grating coaxially integrated with the object and detecting interference fringes caused by interference between diffracted lights by a photoelectric conversion element. In the method of measuring, the light source for irradiating the coherent light and the photoelectric conversion element by a magnetic member to form an optical coupler,
The position of the light source and the photoelectric conversion element is changed in a non-contact state with the diffraction grating by allowing the optical coupler to move on a permanent magnet arranged near the diffraction grating. Optical position adjustment method.
【請求項2】請求項1記載の位置調整方法において、光
カップラ−は、光源を、光放射方向を軸として、自転的
回転調整可能にしてある構造を用いる光学的な位置調
整方法。
2. The position adjusting method according to claim 1, wherein the optical coupler is configured to rotate the light source with the light emitting direction as an axis.
An optical position adjustment method using a structure capable of rotation adjustment.
【請求項3】請求項1記載の位置調整方法において、光
カップラ−は、移動量検出用とゼロ点検出用とがそれぞ
れ別体とされ、両者が回転軸をはさんで対向した構造を
用いる位置調整方法。
3. The position adjusting method according to claim 1, wherein the optical coupler has a structure in which the optical coupler for detecting the moving amount and the optical coupler for detecting the zero point are separated from each other, and both are opposed to each other with the rotation axis therebetween. Position adjustment method.
JP28626991A 1991-10-31 1991-10-31 Position adjustment method Expired - Fee Related JP3181951B2 (en)

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