JP3178401B2 - Method of forming and connecting BGA type electrode of package - Google Patents

Method of forming and connecting BGA type electrode of package

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JP3178401B2
JP3178401B2 JP00233898A JP233898A JP3178401B2 JP 3178401 B2 JP3178401 B2 JP 3178401B2 JP 00233898 A JP00233898 A JP 00233898A JP 233898 A JP233898 A JP 233898A JP 3178401 B2 JP3178401 B2 JP 3178401B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、LSI等の電子部
品パッケージとプリント配線基板との接合に関し、特に
BGA(Ball Grid Array) 法により接続するのに好適な
BGA型電極を有するパッケージまたは最終製品である
BGA型接続されたパッケージとプリント配線基板との
組立体を得るときの形成方法および接続方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a bonding between an electronic component package such as an LSI and a printed wiring board, and more particularly to a package or a final product having a BGA type electrode suitable for connection by a BGA (Ball Grid Array) method. And a connection method for obtaining an assembly of a package and a printed wiring board connected by a BGA type.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、パッケージのプリント配線基板へ
の接続は、ピン電極が形成されているパッケージをプリ
ント配線基板に差し込んで行うのが普通であった。この
方法をPGA(Pin Grid Array)接続法という。しかし、
PGA接続法では、ピン強度の保持のため、ピン径をあ
まり細くできない。さらには、ピンが接続されているパ
ッド径もピン径に合わせてある程度大きくしなければな
らない。このため、ピンのピッチが大きくなり、プリン
ト配線基板への実装密度が低くなり、LSIの高性能化
に伴うI/Oピン数増加には対応できない。そのため、
ピンの代わりに微小なはんだボールを用いてパッケージ
−プリント基板間を接続するBGA接続法が近年、注目
されている。BGA接続法では、PGA接続法に比べ接
続端子数が著しく向上し、プリント基板との高密度実装
が可能となる。
2. Description of the Related Art Conventionally, a package is usually connected to a printed wiring board by inserting a package having pin electrodes formed therein into the printed wiring board. This method is called a PGA (Pin Grid Array) connection method. But,
In the PGA connection method, the pin diameter cannot be reduced too much to maintain the pin strength. Furthermore, the diameter of the pad to which the pin is connected must be increased to some extent in accordance with the diameter of the pin. For this reason, the pin pitch is increased, the mounting density on the printed wiring board is reduced, and it is not possible to cope with the increase in the number of I / O pins accompanying the high performance of the LSI. for that reason,
In recent years, a BGA connection method for connecting between a package and a printed board using minute solder balls instead of pins has attracted attention. In the BGA connection method, the number of connection terminals is significantly improved as compared with the PGA connection method, and high-density mounting on a printed circuit board is possible.

【0003】BGA型接続は一般に次のようにして行わ
れる。パッケージ表面の電極パッド上にはんだボールを
設置し、ハンダボールを溶融させる。はんだボールの溶
融によりはんだと電極パッドが接合し、いわゆるお椀状
になる。さらに表層に電極パッドが形成されたプリント
配線基板を用意し、その電極パッドとパッケージのお椀
状電極の位置合わせを行う。その状態ではんだボールを
再溶融させることによりパッケージとプリント配線基板
が接続される。
[0003] The BGA type connection is generally performed as follows. Solder balls are placed on the electrode pads on the package surface to melt the solder balls. The solder and the electrode pad are joined by the melting of the solder ball to form a so-called bowl shape. Further, a printed wiring board having electrode pads formed on the surface layer is prepared, and the electrode pads are aligned with the bowl-shaped electrodes of the package. The package and the printed wiring board are connected by remelting the solder balls in that state.

【0004】この方法では、はんだボールを再溶融する
際、パッケージの自重によりパッケージ−基板間距離が
短くなり、さらには溶融の際、熱むらがあるとパッケー
ジと基板が平行に接続されず、接続不良を引き起こして
いた。このため、BGA型接続に適用可能な種々の改良
方法が考えられている。
In this method, when the solder balls are re-melted, the distance between the package and the substrate is shortened by the weight of the package. Further, during the melting, if there is unevenness in the heat, the package and the substrate are not connected in parallel. Was causing the failure. For this reason, various improved methods applicable to the BGA type connection have been considered.

【0005】特開平5-218134号公報には、上記改良方法
の一態様として、ICチップと基板をフリップチップ接
続する際に、両者の間隔を所定の距離にするために両者
の間に距離を確保するための規制部材をスペーサーとし
て用いることが開示されている。特開平5-67647 号公報
には、ICチップのはんだバンプの外周に複数のスタッ
ドといわれるバンプを設け、ICチップと基板とを接続
した後、スタッドバンプ部を除去する方法が開示されて
いる。また、特開平8-316628号公報には、多数あるパッ
ド凹部の少なくとも4カ所に高融点はんだボールを配置
し、リフロー処理をした後、残りのパッド凹部に低融点
はんだボールを配置し、再度リフロー処理をする方法が
開示されている。
Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 5-218134 discloses, as one mode of the above-mentioned improvement method, when the IC chip and the substrate are flip-chip connected, the distance between the two is set to a predetermined distance. It is disclosed that a regulating member for securing is used as a spacer. Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-67647 discloses a method in which a plurality of bumps called studs are provided on the outer periphery of solder bumps of an IC chip, the IC chip is connected to a substrate, and then the stud bump portion is removed. Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-316628 discloses that high-melting-point solder balls are arranged in at least four places of a large number of pad recesses, reflow-processed, and low-melting-point solder balls are arranged in the remaining pad recesses. A method of processing is disclosed.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の方法は
いずれも種々の問題があり、中でも、非常に複雑な製造
工程を経るために生産性に難があった。具体的には、特
開平5-218134号公報および特開平5-67647 号公報に開示
された方法では、BGA型接続の際に、BGA型接続用
のはんだボール以外の別の部材を挿入するため、その分
の工数およびコストがかかる。さらにはそのような部材
を挿入するための面積を別に確保する必要があり、BG
A型接続部の高密度化実装ができないという欠点があ
る。
However, all of the above-mentioned methods have various problems, and in particular, have a difficulty in productivity due to an extremely complicated manufacturing process. Specifically, in the method disclosed in JP-A-5-218134 and JP-A-5-67647, at the time of BGA type connection, another member other than the solder ball for BGA type connection is inserted. Therefore, the number of man-hours and costs are increased. Further, it is necessary to separately secure an area for inserting such a member.
There is a disadvantage that the A-type connection cannot be mounted at high density.

【0007】一方、特開平8-316628号公報に記載の方法
では、上記のような部材を使用しないので、部材のため
の面積の確保をする必要はない。しかし、パッケージ上
に少なくとも4点の高融点はんだボールを配置し、この
高融点はんだボールが溶融する温度でリフロー処理を
し、高融点はんだボールのパッケージ上への接続を確保
する。高融点はんだボールを配置した以外の部分に低融
点はんだボールを配置し、リフロー処理をし、低融点は
んだボールのパッケージ上への接続を確保する。以上の
工程から、BGA型電極を有するパッケージが得られ
る。その後、プリント配線基板上の電極パッド上にクリ
ームはんだを印刷する。パッケージのBGA型電極とプ
リント配線基板のクリームはんだの位置合わせを行い、
リフロー処理をする。
On the other hand, in the method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-316628, it is not necessary to secure an area for the members because the above members are not used. However, at least four high-melting-point solder balls are arranged on the package, and a reflow process is performed at a temperature at which the high-melting-point solder balls are melted to secure the connection of the high-melting-point solder balls onto the package. A low-melting-point solder ball is arranged in a portion other than the high-melting-point solder ball, and reflow processing is performed to secure the connection of the low-melting-point solder ball on the package. From the above steps, a package having a BGA type electrode is obtained. Thereafter, cream solder is printed on the electrode pads on the printed wiring board. Align the BGA electrodes on the package with the cream solder on the printed wiring board,
Perform reflow processing.

【0008】この方法では、リフロー処理を都合3回行
っているので工数およびコストがかかると同時に、高融
点はんだボールが溶融する高温にパッケージを加熱する
ため、パッケージ自体が熱で破損する可能性がある。特
に、近年ではパッケージに使用される材料が、高温耐久
性を有するセラミック材料から高温耐久性に劣る有機材
料へと移行してきており、パッケージの材料によって
は、上記のような高温まで加熱は望ましくない。
In this method, since the reflow process is performed three times for convenience, man-hours and costs are increased, and at the same time, the package itself is heated to a high temperature at which the high melting point solder balls are melted. is there. In particular, in recent years, materials used for packages have been shifting from ceramic materials having high-temperature durability to organic materials having poor high-temperature durability. Depending on the materials of the package, heating to high temperatures as described above is not desirable. .

【0009】さらに、この方法では、パッケージ上の高
融点はんだボールを融解させるため、高融点はんだボー
ルが球形を維持できない。したがって、高融点はんだボ
ールからなるBGA型電極は、スペーサーとしてパッケ
ージ−プリント配線基板間距離をある程度確保すること
はできるが、複数個ある高融点はんだボールからなるB
GA型電極の高さをすべて同じになるように形成するこ
とが難しい。このことは、必ずしもパッケージとプリン
ト配線基板が平行に接続できないということを意味す
る。
Further, in this method, since the high melting point solder ball on the package is melted, the high melting point solder ball cannot maintain a spherical shape. Therefore, a BGA type electrode composed of a high melting point solder ball can secure a certain distance between the package and the printed wiring board as a spacer, but a BGA electrode composed of a plurality of high melting point solder balls.
It is difficult to form the GA electrodes so that the heights are all the same. This means that the package and the printed wiring board cannot always be connected in parallel.

【0010】本発明の課題は、簡便な方法で工数および
コストをかけずにパッケージのBGA接続部の高密度化
が実現できるBGA型電極の形成方法、パッケージ−プ
リント配線基板間が平行に接続させることができるパッ
ケージとプリント配線基板の接続方法、ならびにこれら
の方法で作製されるBGA型電極を有するパッケージお
よび接続部を有する組立体、をそれぞれ提供することに
ある。
An object of the present invention is to provide a method of forming a BGA-type electrode capable of realizing a high-density BGA connection portion of a package by a simple method without increasing man-hours and cost, and connecting a package and a printed wiring board in parallel. It is an object of the present invention to provide a method of connecting a package and a printed wiring board, and a package having a BGA type electrode manufactured by these methods and an assembly having a connection portion.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明者は、パッケージ
に設けた電極パッド上にクリームはんだを印刷した後、
2種の融点の異なるはんだボールをクリームはんだ上に
のせ、少なくともクリームはんだについてリフロー処理
をすることにより工数およびコストをかけずに、電極の
高密度化が実現できるBGA型電極が形成できることを
見出し、本発明に到達した。
The inventor of the present invention prints cream solder on an electrode pad provided on a package,
By placing two types of solder balls having different melting points on the cream solder and performing reflow treatment on at least the cream solder, it was found that a BGA type electrode capable of realizing a high-density electrode can be formed without adding man-hours and cost. The present invention has been reached.

【0012】ここに、本発明は、パッケージ上にBGA
型電極を形成する方法において、該パッケージに設けた
電極パッド上にクリームはんだを印刷し、少なくとも1
の電極パッド上に印刷した該クリームはんだ上に高融点
ボールをのせ、残りの電極パッド上に印刷した該クリー
ムはんだ上に高融点ボールより融点が低い低融点はんだ
ボールをのせ、次いで少なくとも得られたパッケージ上
の該クリームはんだについて、はんだのリフロー処理を
することを特徴とするパッケージへのBGA型電極の形
成方法である。このとき、両ボールをクリームはんだ上
にのせた後、押圧を与えて位置を固定し、その後、リフ
ロー処理をしてもよい。
Here, the present invention relates to a BGA on a package.
In the method of forming a mold electrode, cream solder is printed on an electrode pad provided on the package, and at least one solder paste is printed.
A high melting point ball was placed on the cream solder printed on the electrode pads of the above, and a low melting point solder ball having a lower melting point than the high melting point balls was placed on the cream solder printed on the remaining electrode pads, and then at least obtained. A method of forming a BGA-type electrode on a package, characterized by performing a solder reflow process on the cream solder on the package. At this time, after both balls are placed on the cream solder, the positions may be fixed by applying pressure, and then reflow processing may be performed.

【0013】また、上記BGA型電極の形成方法を実施
することにより、少なくとも1のBGA型電極が実質的
に球状の金属からなるパッケージが得られる。さらに、
少なくともクリームはんだおよび低融点はんだボールを
リフロー処理をすることにより、球状のBGA型電極以
外のBGA型電極が実質的にお椀状のはんだからなるパ
ッケージが得られる。
Further, by implementing the above-mentioned method of forming a BGA type electrode, a package in which at least one BGA type electrode is made of a substantially spherical metal can be obtained. further,
By performing a reflow process on at least the cream solder and the low-melting-point solder ball, a package is obtained in which BGA-type electrodes other than spherical BGA-type electrodes are substantially bowl-shaped solder.

【0014】一方、発明者らはこのBGA型電極を有す
るパッケージを使用し、同様な方法でパッケージとプリ
ント配線基板を接続することにより、パッケージ−プリ
ント配線基板間が一定の距離を保ち、かつ平行に接続す
ることができることを見出した。
On the other hand, the present inventors use the package having the BGA type electrode and connect the package and the printed wiring board in the same manner, so that the package and the printed wiring board keep a constant distance and are parallel. I found that I can connect to.

【0015】ここに、本発明の別の態様は、パッケージ
とプリント配線基板を接続する方法において、上記BG
A型電極の形成方法で得られたパッケージを用意し、プ
リント配線基板に設けた電極パッド上にクリームはんだ
を印刷し、該パッケージのBGA型電極と該プリント配
線基板上のクリームはんだの位置合わせをし、次いで得
られた組立体の少なくともプリント基板上の該クリーム
はんだについて、はんだのリフロー処理をすることを特
徴とするパッケージとプリント配線基板の接続方法であ
る。
According to another aspect of the present invention, there is provided a method for connecting a package and a printed wiring board, the method comprising:
Prepare a package obtained by the method of forming an A-type electrode, print cream solder on an electrode pad provided on a printed wiring board, and align the BGA type electrode of the package with the cream solder on the printed wiring board. Then, a solder reflow process is performed on at least the cream solder of the obtained assembly on the printed circuit board, thereby connecting the package and the printed wiring board.

【0016】また、上記接続方法によりパッケージとプ
リント配線基板の組立体を作製することにより、所定の
接続部が実質的に球状の金属から成る組立体が得られ
る。さらに、少なくともクリームはんだおよび低融点は
んだボールについてリフロー処理をすることにより、別
の所定の接続部が実質的に鼓状のはんだから成る組立体
が得られる。
Further, by manufacturing an assembly of a package and a printed wiring board by the above connection method, an assembly in which a predetermined connection portion is made of a substantially spherical metal can be obtained. Further, by performing a reflow process on at least the cream solder and the low melting point solder ball, an assembly in which another predetermined connection portion is substantially made of a drum-shaped solder is obtained.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】本発明は、工数およびコストをか
けずに簡便な方法で、パッケージにおけるBGA接続部
の高密度化が実現できるBGA型電極の形成方法を提供
する。また、別の側面からは、本発明はパッケージ−プ
リント配線基板間を平行に接続させることができるパッ
ケージとプリント配線基板の接続方法を提供する。さら
に、本発明は、以上の方法で作製されるBGA型電極を
有するパッケージ、および同方法で作製される接続部を
有する組立体である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention provides a method of forming a BGA type electrode capable of realizing a high density of BGA connection portions in a package by a simple method without increasing man-hour and cost. Further, from another aspect, the present invention provides a method for connecting a package and a printed wiring board, which enables parallel connection between the package and the printed wiring board. Further, the present invention is a package having a BGA type electrode manufactured by the above method, and an assembly having a connection portion manufactured by the method.

【0018】本発明にかかる方法では、クリームはんだ
は、高融点ボールと電極パッドとを接続する役割を果た
す。クリームはんだにより高融点ボールと電極パッドを
接続するため、特開平8-316628号公報に記載の方法で必
要であった高温でのリフロー処理工程を省略することが
できる。
In the method according to the present invention, the cream solder plays a role of connecting the high melting point ball and the electrode pad. Since the high melting point ball and the electrode pad are connected by the cream solder, the high-temperature reflow process step required by the method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-316628 can be omitted.

【0019】クリームはんだ (ペーストはんだとも呼ば
れる) は、一般に粘稠液状のフラックスと粒状のはんだ
を混練することにより調製される、塗布または印刷に適
した粘稠性を持つ混合物である。フラックスは、後で行
うリフロー処理により容易に蒸発するものが好ましい。
はんだの融点は、もちろん、高融点ボールを構成する金
属の融点より低い。
A cream solder (also called a paste solder) is a mixture having a viscosity suitable for application or printing, which is generally prepared by kneading a viscous liquid flux and a granular solder. It is preferable that the flux be easily evaporated by a reflow treatment performed later.
The melting point of the solder is, of course, lower than the melting point of the metal constituting the high melting point ball.

【0020】クリームはんだを、パッケージ上に設けた
電極パッド上に印刷する。ここで電極パッドの形成は、
焼成して電極パッドとなる導体ペーストをグリーンシー
ト上に印刷し、グリーンシートを焼成するのと同時に導
体ペーストも焼成し、電極パッドを形成する同時焼成
法、あるいはグリーンシートを焼成した後、導体ペース
トの印刷を行い、再度焼成することで電極パッドを形成
する後付法のいずれの方法でもかまわない。さらには、
有機パッケージ上に形成された電極パッドであってもよ
い。
The cream solder is printed on the electrode pads provided on the package. Here, the formation of the electrode pad
The conductor paste that is to be fired to become an electrode pad is printed on a green sheet, and the green sheet is fired at the same time as the conductor paste is fired to form an electrode pad. Printing and baking again to form an electrode pad. Moreover,
It may be an electrode pad formed on an organic package.

【0021】少なくとも1の電極パッド上に印刷したク
リームはんだ上に高融点ボールをのせ、残りのクリーム
はんだ上には低融点はんだボールをのせる。融点が異な
る2種のはんだボールを使用するのは、この後の工程で
行うリフロー処理を行う際、高融点ボールを融解させ
ず、その球形を維持させスペーサーとしての役割を担わ
せるためである。すべての電極パッド上に印刷したクリ
ームはんだ上に高融点ボールをのせてもよい。好ましく
は、少なくとも4の電極パッド上に印刷されたクリーム
はんだ上に高融点ボールをのせる。より好ましくは、高
融点ボールはパッケージの四隅またはその近傍にそれぞ
れ配置する。
A high melting point ball is placed on the cream solder printed on at least one electrode pad, and a low melting point solder ball is placed on the remaining cream solder. The reason why the two kinds of solder balls having different melting points are used is that when performing the reflow treatment performed in the subsequent step, the high melting point ball is not melted, its spherical shape is maintained, and the ball functions as a spacer. High melting point balls may be placed on the cream solder printed on all the electrode pads. Preferably, the high melting point balls are placed on the cream solder printed on at least four electrode pads. More preferably, the high melting point balls are arranged at the four corners of the package or in the vicinity thereof.

【0022】低融点はんだボールは、クリームはんだに
用いた粒状のはんだの材料と同じ材料からなるものが好
ましい。両材料が異なると、リフロー時に金属間化合物
を形成し脆化することで、両材料の界面で接続不良を起
こす可能性がある。しかし、例えば、粒状のはんだを構
成する合金と金属種が同じであるが、組成 (原子比)の
異なるはんだ合金を低融点はんだボールに使用するとい
った手法で、金属間化合物の形成を実質的に避けながら
異なる合金を使用することも可能である。
The low melting point solder ball is preferably made of the same material as the granular solder used for the cream solder. If the two materials are different, an intermetallic compound is formed during reflow and becomes brittle, which may cause poor connection at the interface between the two materials. However, for example, the formation of intermetallic compounds is substantially achieved by using a solder alloy having the same metal type as the alloy constituting the granular solder but having a different composition (atomic ratio) for the low melting point solder balls. It is also possible to use different alloys while avoiding.

【0023】高融点ボールは、リフロー時に融解しない
ように、低融点はんだボールおよびクリームはんだの粒
状はんだの液相線温度より40℃以上高い固相線温度を持
つことが好ましい。リフロー時に高融点ボールが部分的
にせよ融解してしまうと、最終的に得られる組立体にお
いてパッケージ−プリント配線基板間の距離を一定に保
ち、かつ平行に接続することが困難となる場合がある。
高融点ボールは、低融点はんだボールより融点が高いは
んだ合金からなるもので、或いははんだとしては機能し
ない高融点の金属 (合金を含む)(例、銅) からなるもの
でもよい。
The high melting point ball preferably has a solidus temperature that is at least 40 ° C. higher than the liquidus temperature of the low melting point solder ball and the cream solder granular solder so as not to melt during reflow. If the high-melting point ball is partially melted at the time of reflow, it may be difficult to keep the distance between the package and the printed wiring board constant and connect them in parallel in the finally obtained assembly. .
The high melting point ball may be made of a solder alloy having a higher melting point than the low melting point solder ball, or may be made of a high melting point metal (including an alloy) that does not function as a solder (eg, copper).

【0024】クリームはんだにのせたはんだボールは、
クリームはんだが粘性を有するため、その位置を変える
ことは少ない。しかし、リフローする前に様々な工程を
経る場合には、その工程中にはんだボールが位置を変
え、クリームはんだ上からずれることがある。これを防
ぐため、はんだボールをクリームはんだ上にのせた後、
リフローする前にはんだボールに押圧を与え、位置を固
定させることが好ましい。こうすると、はんだボールが
クリームはんだ中にわずかながら沈み、その位置が変わ
る可能性が少なくなり、歩留まりが向上する。
The solder balls placed on the cream solder are:
Since the cream solder has viscosity, its position is rarely changed. However, if various processes are performed before reflow, the solder balls may change their positions during the process and may be displaced from the cream solder. To prevent this, after placing the solder ball on the cream solder,
It is preferable to apply pressure to the solder ball before reflow to fix the position. In this case, the solder ball slightly sinks in the cream solder and the position thereof is less likely to change, thereby improving the yield.

【0025】リフロー処理工程では、少なくともクリー
ムはんだについて、はんだのリフロー処理をする。即
ち、クリームはんだのみ、またはクリームはんだと低融
点はんだボールの両者について、リフローさせる。この
ようなリフロー処理をすることにより、少なくとも高融
点ボールはその形状を維持し、スペーサーとしての役割
を果たす。
In the reflow treatment step, at least the cream solder is subjected to a solder reflow treatment. That is, only the cream solder or both the cream solder and the low melting point solder ball are reflowed. By performing such reflow treatment, at least the high melting point ball maintains its shape and plays a role as a spacer.

【0026】クリームはんだだけをリフローさせる場合
には、すべてのBGA型電極が実質的に球状の金属より
成るBGA型電極になる。つまり、低融点はんだボール
と高融点ボールの両者ともその球形を維持し、これらの
球状金属が通常は溶融したクリームはんだ中にごく浅く
埋没して接合するため、すべてのBGA型電極が接合部
にくびれ (ネック部) を有した形状となる。この形状で
は接合面積が非常に小さいので、接合部の機械的強度が
十分に保てない場合がある。低融点はんだボールを使用
しない場合も、すべてのBGA型電極が実質的に球状の
金属から成る。なお、このような場合、低融点はんだボ
ールと高融点ボールは、実質的に同じ直径のボールとす
る。
When only the cream solder is reflowed, all the BGA electrodes become BGA electrodes made of substantially spherical metal. In other words, both the low-melting-point solder ball and the high-melting-point ball maintain their spherical shape, and since these spherical metals are usually buried in the melted cream solder so as to be shallow, all the BGA electrodes are connected to the joint. It has a shape with a neck (neck). Since the joining area is very small in this shape, the mechanical strength of the joining portion may not be sufficiently maintained in some cases. Even without the use of low melting point solder balls, all BGA electrodes consist of substantially spherical metal. In such a case, the low melting point solder ball and the high melting point ball are balls having substantially the same diameter.

【0027】接合部の機械的強度を高めるには、クリー
ムはんだに加えて、低融点はんだボールもリフロー処理
することが好ましい。クリームはんだの粒状はんだと低
融点はんだボールが同じ材料である場合には、クリーム
はんだと一緒に低融点はんだボールもリフロー処理され
ることになる。
In order to increase the mechanical strength of the joint, it is preferable to reflow solder balls having a low melting point in addition to the cream solder. If the granular solder of the cream solder and the low-melting-point solder ball are made of the same material, the low-melting-point solder ball is also reflowed together with the cream solder.

【0028】低融点はんだボールも一緒にリフローによ
り溶融させると、BGA型電極は、くびれのない実質的
にお椀状の形状 (球の一部を平面で切り取った形状、即
ち、截頭球形) を有することになる。そのため、接合面
積が大きくなり、接合部の機械的強度が著しく向上す
る。一方、高融点ボールは実質的に球状を保ち、スペー
サーの役割を果たす。お椀状と球状の電極が混在するこ
とにより、機械的強度が十分で、かつスペーサーの役割
も果たすBGA型電極が得られる。機械的強度を確保す
るためには、高融点ボールの数はスペーサーの機能の確
保に十分である限り少なくし(例、四隅に各1個)、ボ
ールの大半を低融点はんだボールとすることが好まし
い。この場合も、低融点はんだボールと高融点ボールの
直径は実質的に同じであることが好ましいが、低融点は
んだボールがリフロー処理を受けるため、直径のいくら
かの差は許容される場合がある。
When the low-melting-point solder balls are also melted together by reflow, the BGA type electrode has a substantially bowl-like shape without constriction (a shape obtained by cutting a part of a sphere in a plane, ie, a truncated sphere). Will have. For this reason, the bonding area increases, and the mechanical strength of the bonding portion is significantly improved. On the other hand, the high melting point ball keeps a substantially spherical shape and plays a role of a spacer. By mixing the bowl-shaped and spherical electrodes, a BGA-type electrode having sufficient mechanical strength and also serving as a spacer can be obtained. In order to ensure mechanical strength, the number of high melting point balls should be as small as possible to ensure the function of the spacer (eg, one at each corner), and most of the balls should be low melting point solder balls. preferable. Also in this case, it is preferable that the diameters of the low-melting point solder ball and the high-melting point ball are substantially the same. However, since the low-melting point solder ball is subjected to a reflow treatment, some difference in diameter may be acceptable.

【0029】リフロー処理を行う温度は、低融点はんだ
ボールの融点 (液相線温度) より20℃程度高い温度であ
ることが好ましい。また、高融点ボールの融解を防ぐこ
とを考えると、この温度は高融点ボールの融点 (固相線
温度) より20℃以上低い温度であることが好ましい。
The temperature at which the reflow treatment is performed is preferably a temperature about 20 ° C. higher than the melting point (liquidus temperature) of the low melting point solder ball. In order to prevent the melting point of the high-melting point ball, it is preferable that this temperature is lower than the melting point of the high-melting point ball (solidus temperature) by 20 ° C. or more.

【0030】以上のように作製したBGA型電極を有す
るパッケージは、少なくとも1のBGA型電極が実質的
に球状のはんだから成り、残りのBGA型電極が実質的
にお椀状のはんだから成る、という形状面での特徴を有
する。ここで、BGA型電極が実質的に球状のはんだか
ら成るということは、球状のはんだボールがその形状を
維持し、クリームはんだのはんだ成分によって電極パッ
ドと接続され、BGA型電極にくびれを有していること
を意味する。また、BGA型電極が実質的にお椀状のは
んだから成るいうことは、クリームはんだだけでなく低
融点はんだボールもリフロー処理され、表面張力により
代表的には半球状またはそれに近い形状に形成されたこ
とを意味する。
In the package having the BGA electrodes manufactured as described above, at least one of the BGA electrodes is made of substantially spherical solder, and the remaining BGA electrodes are made of substantially bowl-shaped solder. It has features in terms of shape. Here, the fact that the BGA type electrode is made of a substantially spherical solder means that the spherical solder ball maintains its shape, is connected to the electrode pad by the solder component of the cream solder, and has a constriction in the BGA type electrode. Means that. Further, the fact that the BGA type electrode is substantially made of a bowl-shaped solder means that not only the cream solder but also the low-melting-point solder ball is reflow-treated and is typically formed into a hemispherical shape or a shape close to it by the surface tension. Means that.

【0031】このようなBGA型電極を有するパッケー
ジをプリント基板と接続するためにはプリント配線基板
に設けた電極パッドにクリームはんだを印刷し、パッケ
ージのBGA型電極とプリント配線基板のクリームはん
だの位置合わせを行い、少なくともクリームはんだのリ
フロー処理を行えばよい。
In order to connect a package having such BGA type electrodes to a printed circuit board, cream solder is printed on electrode pads provided on the printed circuit board, and the positions of the BGA type electrodes on the package and the cream solder on the printed circuit board are determined. It is sufficient to perform the alignment and at least perform the reflow treatment of the cream solder.

【0032】以上のように作製したパッケージとプリン
ト配線基板の組立体は、高融点ボールがスペーサーとし
て機能するので、パッケージ−基板間に所定の間隔が維
持され、パッケージが基板と平行に接続される。この組
立体は、BGA法で接続されたうち少なくとも1の接続
部が実質的に球状のはんだから成り、残りの接続部が実
質的に鼓状のはんだから成る、という形状面での特徴を
有する。このような接続部も、上記と同様の理由で、接
合面積が大きくなるため、機械的強度が向上する。
In the assembly of the package and the printed wiring board manufactured as described above, since the high melting point ball functions as a spacer, a predetermined distance is maintained between the package and the board, and the package is connected in parallel with the board. . This assembly is characterized in that at least one of the connections connected by the BGA method comprises a substantially spherical solder, and the remaining connections comprise a substantially drum-shaped solder. . Such a connection portion also has a large bonding area for the same reason as described above, so that the mechanical strength is improved.

【0033】ここで、接続部が実質的に球状のはんだか
ら成るということは、上記BGA型電極と同様に球状の
はんだボールがその形状を維持し、クリームはんだのは
んだ成分によってパッケージ及びプリント配線基板の電
極パッドと接続され、接合部に2カ所 (パッケージ側と
基板側に各1カ所) のくびれを有していることを意味す
る。また、接合部が実質的に鼓状のはんだボールから成
るということは、接合部の両端が中央部より大直径であ
り、中央部にくびれがある形状を有していることを意味
する。但し、中央部のくびれは、必ずしも中央部を中心
に面対称である必要はなく、パッケージ側あるいはプリ
ント配線基板側のいずれかに、くびれが片寄っていても
よい。
Here, the fact that the connection portion is made of a substantially spherical solder means that the spherical solder ball maintains its shape similarly to the above-mentioned BGA type electrode, and the package and the printed wiring board are formed by the solder component of the cream solder. Means that there are two constrictions at the joint (one each at the package side and the substrate side). The fact that the joint is made of a substantially drum-shaped solder ball means that both ends of the joint are larger in diameter than the center and have a constricted shape at the center. However, the constriction at the center does not necessarily have to be plane-symmetric about the center, and the constriction may be deviated to either the package side or the printed wiring board side.

【0034】[0034]

【実施例】本例では、パッケージにはアルミナセラミッ
クスパッケージを、プリント配線基板にはエポキシ樹脂
製基板を用いた。パッケージ及びプリント配線基板の各
接合表面には、直径0.9 mm、1.5 mmピッチで225 個 (15
×15) の電極パッドが配設され、パッケージの電極パッ
ドはタングステン、プリント配線基板の電極パッドは銅
からなる作製された。これらの電極パッドには、ハンダ
の濡れ性を良好にし、かつハンダが電極パッド中に拡散
するのを防止するため、Ni(2.5μm)/Au(0.1μm)のめっ
きが施されていた。
EXAMPLE In this example, an alumina ceramic package was used for the package, and an epoxy resin substrate was used for the printed wiring board. 225 pcs (0.9 mm diameter, 1.5 mm pitch) on each joint surface of the package and printed circuit board (15
× 15) were provided, and the electrode pads of the package were made of tungsten, and the electrode pads of the printed wiring board were made of copper. These electrode pads were plated with Ni (2.5 μm) / Au (0.1 μm) in order to improve the wettability of the solder and prevent the solder from diffusing into the electrode pads.

【0035】実施例について、図1、2を参照しながら
説明する。図1(a)〜(d) に示すように、パッケージ10の
電極パッド12 (ビア13上に設置) の上にBGA型電極を
形成した。まず、Pb-37wt%Sn(融点:183 ℃)粒状はん
だをフラックス中に混合したクリームはんだ16を、パッ
ケージの電極バッド12上にスクリーン印刷法を用いて選
択的に印刷した [図1(b)]。次いで、いずれもボール径
が0.9mm である高融点ボール18および低融点はんだボー
ル20を、印刷したクリームはんだ16の上に配置した[図
1(c)]。使用した高融点ボール18、低融点はんだボール
20の材料は表1に示す通りである。高融点ボール18は、
15×15個ある電極パッドの四隅に (即ち、計4個) 配置
した(ただし、説明のため、図1では高融点ボール18は
中央に示す)。なお、表1の実施例2では、各ボールを
クリームはんだ16上にのせた後、全部のボールに上方か
ら押圧を与えて、位置を固定した。
An embodiment will be described with reference to FIGS. As shown in FIGS. 1A to 1D, BGA electrodes were formed on the electrode pads 12 of the package 10 (installed on the vias 13). First, a cream solder 16 in which Pb-37wt% Sn (melting point: 183 ° C.) granular solder was mixed in a flux was selectively printed on the electrode pad 12 of the package using a screen printing method [FIG. 1 (b)]. ]. Next, a high-melting ball 18 and a low-melting solder ball 20 each having a ball diameter of 0.9 mm were arranged on the printed cream solder 16 [FIG. 1 (c)]. Used high melting point ball 18, low melting point solder ball
The 20 materials are as shown in Table 1. The high melting point ball 18
The electrodes were arranged at the four corners of 15 × 15 electrode pads (that is, a total of four) (the high-melting point ball 18 is shown at the center in FIG. 1 for explanation). In Example 2 of Table 1, after each ball was placed on the cream solder 16, pressure was applied to all the balls from above to fix the positions.

【0036】ボールを配置後、約230 ℃に維持されたリ
フロー炉中に1分間置いて各ボールをパッケージに溶融
接続し、BGA型電極22, 24を形成した [図1(d)]。一
方、比較例として高融点ボール18は使用せず、全てのク
リームはんだ上に低融点はんだボールのみをのせ、リフ
ロー処理をし、BGA型電極を形成したパッケージも作
製した。
After the balls were placed, they were placed in a reflow furnace maintained at about 230 ° C. for one minute to fuse and connect the balls to a package, thereby forming BGA electrodes 22 and 24 [FIG. 1 (d)]. On the other hand, as a comparative example, a package in which only a low-melting-point solder ball was placed on all the cream solder without using the high-melting-point ball 18 and subjected to reflow treatment to form a BGA-type electrode was also manufactured.

【0037】約230 ℃でリフローすることにより、クリ
ームはんだ16および低融点はんだボール20は融解した
が、高融点ボール18は融解しなかった。この点について
光学顕微鏡にてBGA型電極22, 24を観察したところ、
図1(d) に模式的に示すように、高融点ボール24を使用
した電極24は実質的に球状に形成され、低融点はんだボ
ール20を使用した電極22はお椀状に形成された。従っ
て、比較例では、すべての電極がお椀状の形状を持つも
のになった。
By reflowing at about 230 ° C., the cream solder 16 and the low melting point solder ball 20 melted, but the high melting point ball 18 did not melt. Observing the BGA electrodes 22, 24 with an optical microscope for this point,
As schematically shown in FIG. 1 (d), the electrode 24 using the high melting point ball 24 was formed in a substantially spherical shape, and the electrode 22 using the low melting point solder ball 20 was formed in a bowl shape. Therefore, in the comparative example, all the electrodes had bowl-shaped shapes.

【0038】次に、図2に示すように、上記のようにし
て形成されたBGA型電極を有するパッケージをプリン
ト配線基板30に接続した。パッケージのBGA型電極を
作製したのと同様に、プリント配線基板30の電極パッド
32上に、選択的にクリームはんだ34のスクリーン印刷を
行った [図2(a)]。使用したクリームはんだ34は、パッ
ケージの電極パッド上に印刷したものと同じであった。
印刷されたプリント配線基板30の電極パッド32が配置さ
れている面を上にし、その上に上記のパッケージの電極
面を下にしてのせ、BGA型電極22, 24と電極パッド面
32の位置合わせを行った [図2(b)]。これを再度240 ℃
のリフロー炉に入れて溶融接続を行った[図2(c)]。
Next, as shown in FIG. 2, the package having the BGA type electrodes formed as described above was connected to the printed wiring board 30. The electrode pads of the printed wiring board 30 are formed in the same manner as the BGA type electrodes of the package are manufactured.
Screen printing of cream solder 34 was selectively performed on 32 [FIG. 2 (a)]. The cream solder 34 used was the same as that printed on the electrode pads of the package.
With the surface on which the electrode pads 32 of the printed printed wiring board 30 are arranged facing up, and the electrode surface of the above-mentioned package facing down, the BGA type electrodes 22, 24 and the electrode pad surfaces
The alignment of 32 was performed [FIG. 2 (b)]. This is again 240 ° C
And the fusion splicing was performed in the reflow furnace [Fig. 2 (c)].

【0039】その後、接続部を再び光学顕微鏡で観察し
た。また、スケール付き光学顕微鏡を用いて、パッケー
ジ−プリント配線基板間の距離を複数の位置で測定し
た。測定結果を表1に併せて示す。
Thereafter, the connection was observed again with an optical microscope. In addition, the distance between the package and the printed wiring board was measured at a plurality of positions using an optical microscope with a scale. Table 1 also shows the measurement results.

【0040】[0040]

【表1】 [Table 1]

【0041】実施例1〜3では、図2(c) に模式的に示
すように、高融点ボール18を使用した電極24は球形の形
状を維持し、実質的に球状の接続部が形成されていた。
一方、低融点はんだボール20を使用した電極28では、鼓
状の接続部が形成されていた。高融点ボール18を使用し
た電極24がスペーサーとしての機能を果たした結果、表
1に示すように、パッケージ10とプリント配線基板30は
平行に接続されていて(離間距離が一定)、高融点ボー
ルが溶融しなかったため、1.0 mm以上という十分な離間
距離が得られた。
In Examples 1 to 3, as schematically shown in FIG. 2C, the electrode 24 using the high melting point ball 18 maintains a spherical shape, and a substantially spherical connection portion is formed. I was
On the other hand, in the electrode 28 using the low melting point solder ball 20, a drum-shaped connection portion was formed. As shown in Table 1, the package 24 and the printed wiring board 30 are connected in parallel (the separation distance is constant) as a result of the electrode 24 using the high melting point ball 18 functioning as a spacer. Was not melted, so that a sufficient separation distance of 1.0 mm or more was obtained.

【0042】一方、低融点はんだボール20のみを使用し
てパッケージ上に電極を形成した比較例1では、パッケ
ージ自体の自重によりリフロー中に電極がつぶれたた
め、球をつぶしたような偏平な球状の接続部になり、離
間距離は約0.3 mmと、実施例の約1/4の小ささとなっ
た。しかも、位置による離間距離の変動が大きく、パッ
ケージ10とプリント配線基板30が平行に接続されなかっ
た。
On the other hand, in Comparative Example 1 in which the electrodes were formed on the package using only the low-melting-point solder balls 20, the electrodes were crushed during the reflow by the weight of the package itself, so that a flat spherical shape like a sphere was obtained. It became a connection part, and the separation distance was about 0.3 mm, which was about 4 of the example. In addition, the variation in the separation distance depending on the position was large, and the package 10 and the printed wiring board 30 were not connected in parallel.

【0043】[0043]

【発明の効果】本発明によれば、従来の方法に比べて簡
便にBGA型電極を作製可能であるため工数およびコス
トがかからない。しかも、高融点ボールを融解させるほ
どリフロー温度を上げなくてもよいので、パッケージに
外傷も少なく、高密度に配置されたBGA型電極を有す
るパッケージが形成できる。特に、現在パッケージ材料
がセラミックスから高温に弱いプラスチック材料に変わ
りつつあるため、比較的低い温度でリフロー処理をする
だけでBGA型電極を形成できることは非常に有用であ
る。また、ここで得られたBGA型電極を有するパッケ
ージとプリント配線基板とを接続するとパッケージとプ
リント配線基板がほぼ平行に接続できるため、不良製品
が少なく、歩留まりのよいパッケージとプリント配線基
板の組立体が得られる。
According to the present invention, a BGA-type electrode can be manufactured more easily than in the conventional method, so that man-hour and cost are not required. In addition, since the reflow temperature does not need to be raised as much as the high melting point ball is melted, a package having less damage to the package and having BGA type electrodes arranged at high density can be formed. In particular, since the packaging material is currently changing from ceramics to plastic materials that are weak to high temperatures, it is very useful to be able to form a BGA type electrode only by performing reflow processing at a relatively low temperature. In addition, when the package having the BGA-type electrode obtained here is connected to a printed wiring board, the package and the printed wiring board can be connected substantially in parallel, so that an assembly of the package and the printed wiring board with less defective products and high yield. Is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1(a) 〜(d) は本発明の実施例に係るBGA
電極の一連の製造工程の説明図である。
1 (a) to 1 (d) show a BGA according to an embodiment of the present invention.
It is explanatory drawing of a series of manufacturing processes of an electrode.

【図2】図2(a) 〜(c) は本発明の実施例に係る組立体
の一連の製造工程の説明図である。
FIGS. 2 (a) to 2 (c) are explanatory views of a series of manufacturing steps of an assembly according to an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…パッケージ、 12,32 …電極パッド、 13…ビア、 16,34 …クリームはんだ、 18…高融点ボール、 20…低融点はんだボール、 22…お椀状のはんだからなるBGA型電極、 24…球状のはんだからなるBGA型電極、 26…球状のはんだからなる接続部、 28…鼓状のはんだからなる接続部、 30…プリント配線基板 10… Package, 12,32… Electrode pad, 13… Via, 16,34… Cream solder, 18… High melting point ball, 20… Low melting point solder ball, 22… BGA type electrode made of bowl-shaped solder, 24… Spherical BGA type electrode made of solder, 26 ... connection part made of spherical solder, 28 ... connection part made of drum-shaped solder, 30 ... printed wiring board

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平11−186454(JP,A) 特開 平8−316628(JP,A) 特開 平8−288640(JP,A) 特開 平8−111581(JP,A) 特開 平9−260438(JP,A) 特開 平3−201546(JP,A) 特開 平1−264245(JP,A) 特開 平10−335533(JP,A) 特開 平9−45807(JP,A) 特開 平8−70062(JP,A) 特開 平3−217024(JP,A) 特開 平2−43748(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 21/60 H01L 23/12 H05K 3/34 H05K 3/36 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-11-186454 (JP, A) JP-A-8-316628 (JP, A) JP-A 8-288640 (JP, A) JP-A 8- 111581 (JP, A) JP-A-9-260438 (JP, A) JP-A-3-201546 (JP, A) JP-A-1-264245 (JP, A) JP-A 10-335533 (JP, A) JP-A-9-45807 (JP, A) JP-A-8-70062 (JP, A) JP-A-3-217024 (JP, A) JP-A-2-43748 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) H01L 21/60 H01L 23/12 H05K 3/34 H05K 3/36

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 パッケージ上にBGA型電極を形成する
方法において、該パッケージに設けた電極パッド上にク
リームはんだを印刷し、少なくとも1の電極パッド上に
印刷した該クリームはんだ上に高融点ボールをのせ、残
りの電極パッド上に印刷した該クリームはんだ上に高融
点ボールより融点が低い低融点はんだボールをのせ、次
いで少なくとも得られたパッケージ上の該クリームはん
だについてはんだのリフロー処理をすることを特徴とす
る、パッケージのBGA型電極の形成方法。
1. A method for forming a BGA type electrode on a package, wherein cream solder is printed on an electrode pad provided on the package, and a high melting point ball is formed on the cream solder printed on at least one electrode pad. Placing the low melting point solder ball having a lower melting point than the high melting point ball on the cream solder printed on the remaining electrode pads, and then performing a solder reflow process on at least the cream solder on the obtained package. A method for forming a BGA type electrode of a package.
【請求項2】 請求項1記載のパッケージのBGA型電
極の形成方法において、前記高融点ボールおよび低融点
はんだボールをクリームはんだ上にのせた後、押圧を与
えて位置を固定し、その後、リフロー処理をすることを
特徴とするBGA型電極の形成方法。
2. The method for forming a BGA type electrode of a package according to claim 1, wherein said high melting point ball and said low melting point solder ball are placed on cream solder, and then pressed to fix the position, and then reflowed. A method for forming a BGA-type electrode, comprising performing a treatment.
【請求項3】 BGA型電極を有するパッケージにおい
て、少なくとも1の該BGA型電極が実質的に球状の金
属から成ることを特徴とするBGA型電極を備えたパッ
ケージ。
3. A package comprising a BGA-type electrode, wherein at least one of the BGA-type electrodes comprises a substantially spherical metal.
【請求項4】 BGA型電極を有するパッケージにおい
て、残りの該BGA型電極が実質的にお椀状のはんだか
ら成ることを特徴とする請求項3記載のパッケージ。
4. The package according to claim 3, wherein in the package having BGA type electrodes, the remaining BGA type electrodes are made of substantially bowl-shaped solder.
【請求項5】 パッケージとプリント配線基板を接続す
る接続方法において、請求項1または2で得られたBG
A型電極を有するパッケージを用意し、プリント配線基
板に設けた電極パッド上にクリームはんだを印刷し、該
パッケージのBGA型電極と該プリント配線基板のクリ
ームはんだの位置合わせをし、次いで得られた組立体の
少なくともプリント基板上の該クリームはんだについて
はんだのリフロー処理をすることを特徴とするパッケー
ジとプリント配線基板の接続方法。
5. A connection method for connecting a package and a printed wiring board, wherein the BG obtained in claim 1 or 2 is provided.
A package having an A-type electrode was prepared, cream solder was printed on an electrode pad provided on a printed wiring board, the BGA type electrode of the package was aligned with the cream solder of the printed wiring board, and then the obtained solder was obtained. A method for connecting a package and a printed wiring board, wherein a solder reflow process is performed on at least the cream solder on the printed board of the assembly.
【請求項6】 BGA法により接続されたパッケージと
プリント配線基板の組立体において、該BGA法で接続
された接続部のうち少なくとも1の接続部が実質的に球
状の金属から成ることを特徴とする組立体。
6. An assembly of a package and a printed wiring board connected by the BGA method, wherein at least one of the connection parts connected by the BGA method is made of a substantially spherical metal. Assembly.
【請求項7】 BGA法により接続されたパッケージと
プリント配線基板の組立体において、該BGA法で接続
された接続部のうち残りの接続部が実質的に鼓状のはん
だから成ることを特徴とする請求項6記載の組立体。
7. An assembly of a package and a printed wiring board connected by the BGA method, wherein the remaining connection parts of the connection parts connected by the BGA method are substantially made of a drum-shaped solder. 7. The assembly of claim 6, wherein:
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