JP2943998B2 - Rinse method for precision parts - Google Patents

Rinse method for precision parts

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JP2943998B2
JP2943998B2 JP2417662A JP41766290A JP2943998B2 JP 2943998 B2 JP2943998 B2 JP 2943998B2 JP 2417662 A JP2417662 A JP 2417662A JP 41766290 A JP41766290 A JP 41766290A JP 2943998 B2 JP2943998 B2 JP 2943998B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、精密部品のリンス方
、詳しくは、リンス液の使用量が少なく、その結果排
水処理性も容易となるリンス方法に関する。
The present invention relates to a method for rinsing precision parts.
More particularly, the present invention relates to a rinsing method in which a small amount of a rinsing liquid is used, thereby facilitating drainage treatment.

【0002】[0002]

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来、
精密部品、治工具等の固体表面に存在する、油脂、機械
油、切削油、グリース、液晶、ロジン系フラックス等の
有機物を主体とする汚れの除去には、ケロシン、ベンゼ
ン、キシレン等の炭化水素系溶剤;トリクロロエチレ
ン、テトラクロロエチレン等の塩素系溶剤;トリクロロ
トリフルオロエタン等のフロン系溶剤等の溶剤系洗浄剤
が使用されていた。
2. Description of the Related Art
For removing dirt mainly on organic matter such as oils and fats, machine oil, cutting oil, grease, liquid crystal, and rosin-based flux, which exist on solid surfaces such as precision parts and jigs, use hydrocarbons such as kerosene, benzene, and xylene. Solvent-based detergents such as chlorine-based solvents such as trichloroethylene and tetrachloroethylene; and fluorocarbon-based solvents such as trichlorotrifluoroethane have been used.

【0003】しかしながら、塩素系及びフロン系の溶剤
を用いる洗浄剤は、安全性、毒性、環境汚染性等に大き
な問題を有していることが明らかにされ、国際レベルで
その廃止が進められている。また、炭化水素系溶剤、特
にベンゼン、キシレン等は毒性が高く、労働安全衛生法
上の有害物に指定されている化合物であって、これを取
り扱う作業の危険性及び煩雑さを考慮すると、洗浄剤と
して用いることは好ましくない等の問題があるため、精
密部品や治工具等の汚れの洗浄にも水系の洗浄剤あるい
は水でリンス可能な洗浄剤の使用が検討されている。こ
れらの洗浄剤は、洗浄剤に使用する界面活性剤やビルダ
ー等を適宜選択、配合することにより溶剤系洗浄剤と同
等以上の洗浄性を有すること、あるいは引火点が無いた
め火災や爆発の危険がない等種々の利点を有するが、一
方、洗浄成分が精密部品や治工具等の上に残留すると電
気絶縁性等の電気特性や金属の腐食、あるいはプラスチ
ック部材の膨潤等の劣化要因となるという問題を有す
る。このため、残留洗剤成分は水等で充分リンスして取
り除かねばならず、これに必要な設備及びランニングコ
ストはかなり大きなものとなる。水によるリンスを考え
ると、設備的にはリンスに必要なイオン交換水、純水等
の製造、保管設備あるいは水の温度コントロールのため
の加温、冷却等の設備、リンス時のリンス液供給設備、
あるいは使用済みのリンス液を処理するためになされる
活性汚泥、活性炭処理等の排水処理設備が必要となり、
又これらの設備を操業するにはユーティリティや薬品の
使用あるいは人件費が継続的に必要となる。
[0003] However, it has been revealed that cleaning agents using chlorine-based and chlorofluorocarbon-based solvents have serious problems in safety, toxicity, environmental pollution, and the like, and their abolition has been promoted on an international level. I have. In addition, hydrocarbon solvents, especially benzene and xylene, are highly toxic and are designated as hazardous substances under the Industrial Safety and Health Act. Since there is a problem that it is not preferable to use it as a cleaning agent, use of a water-based cleaning agent or a water-rinsable cleaning agent is also being studied for cleaning dirt on precision parts and jigs. These detergents have a detergency equal to or higher than that of solvent-based detergents by appropriately selecting and blending surfactants and builders to be used in the detergents. Although there are various advantages such as no cleaning components, on the other hand, if cleaning components remain on precision parts and jigs, they will cause deterioration of electrical properties such as electrical insulation, corrosion of metals, and swelling of plastic members. Have a problem. For this reason, the residual detergent component must be sufficiently rinsed with water or the like, and the equipment and running cost required for this are considerably large. Considering rinsing with water, equipment such as production and storage facilities for ion exchange water and pure water required for rinsing, facilities for heating and cooling for water temperature control, and rinsing liquid supply facilities for rinsing ,
Alternatively, activated sludge made to treat used rinsing liquid, wastewater treatment equipment such as activated carbon treatment is required,
In addition, the operation of these facilities requires the continuous use of utilities and chemicals or labor costs.

【0004】また、水を用いたリンスに伴うコストアッ
プを抑えるため種々の洗浄方法が提案され又一部実行さ
れているが、必ずしも充分とはいえない。即ち、従来の
水を用いたリンス方法は、大別すると二つの方法に分類
することができ、その一つは被リンス物をリンス液中に
浸漬させる方法であり、他の一つはリンス液を被リンス
物上に非連続液状又は連続液状に吐出させる方法であ
る。そして、リンスの実操業に当っては、これらの方法
を単独であるいは組み合わせて用いている。しかし、被
リンス物上に残留する洗剤液量は、被リンス物の形状に
もよるが一般にその堆積に比べ著しく少なく、洗浄後エ
アーブロー等の処理をしてある場合は特に顕著であり、
このため、リンスに用いる水量が、被リンス物に付着し
ている洗浄液量の1〜300倍量では、浸漬によるリン
ス方法では被リンス物を充分浸漬できず、又リンス水を
吐出させる方法ではリンス量が少なすぎて被リンス物に
均一に散布できず、又単位時間に多量のリンス水が供給
されるため充分にリンス効果を発揮せずに被リンス物か
ら流れ落ちてしまうリンス水が多いため、充分なリンス
効果が得られない。
Further, various cleaning methods have been proposed or partially implemented in order to suppress an increase in cost associated with rinsing using water, but they are not always satisfactory. That is, the conventional rinsing methods using water can be roughly classified into two methods, one of which is a method of immersing the object to be rinsed in a rinsing liquid, and the other of which is a rinsing liquid. Is discharged onto the object to be rinsed in a discontinuous liquid state or a continuous liquid state. In the actual operation of rinsing, these methods are used alone or in combination. However,
The amount of the detergent liquid remaining on the rinse object depends on the shape of the object to be rinsed , but is generally remarkably small compared to the accumulation thereof, and is particularly remarkable when a treatment such as air blow is performed after the cleaning.
For this reason, if the amount of water used for rinsing is 1 to 300 times the amount of the cleaning liquid adhering to the object to be rinsed, the object to be rinsed cannot be sufficiently immersed by the rinsing method by immersion, and the method of discharging rinsing water does not allow rinsing. since the amount can not be uniformly sprayed onto the rinse was too small, and the rinse water a large amount of rinse water per unit time will flow down from the rinse was without exhibiting sufficient rinsing effect to be supplied is large, A sufficient rinsing effect cannot be obtained.

【0005】従って、本発明の目的は、水を用いて精密
部品をリンスする方法において、リンス水の使用量を大
幅に削減しても充分なリンス効果を挙げることができ、
その結果水リンスに必要な種々の設備をコンパクトに
し、且つランニングコストも低減できるリンス方法を提
供することにある。
[0005] Accordingly, an object of the present invention is to provide a precision method using water.
In the method of rinsing parts, a sufficient rinsing effect can be obtained even if the amount of rinsing water is significantly reduced,
As a result, it is an object of the present invention to provide a rinsing method capable of reducing various facilities required for water rinsing and reducing running costs.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記問題
点を解決すべく鋭意研究を行った結果、洗浄後の洗浄液
の付着した精密部品(被リンス物)を水でリンスする
際、リンス水を平均粒子径が10μ〜3mmになるよう
に細かくし、それを被リンス物に付着した洗浄液量の1
〜300倍相当量だけ被リンス物に散布あるいは噴霧等
により供給すると、付着した洗浄液を少量の水で効率よ
くリンスできることを知見した。
Means for Solving the Problems The present inventors have conducted intensive studies to solve the above problems, and as a result, when rinsing precision parts (subject to be rinsed) to which a cleaning liquid after cleaning has been attached with water, The rinsing water is finely divided so that the average particle diameter becomes 10 μm to 3 mm , and the amount of the cleaning liquid attached to the object to be rinsed is reduced to 1%.
It has been found that when supplied to the object to be rinsed by spraying or spraying in an amount equivalent to about 300 times, the attached cleaning liquid can be efficiently rinsed with a small amount of water.

【0007】本発明は、上記の知見に基づいてなされた
もので、すすぎ洗い(以下、「リンス」と称す)用の水
を平均粒子径が10μ〜3mmになるように細かくし、
該リンス用の水を、リンスに先立って洗浄液により洗浄
されたリンスすべき物(以下、「被リンス物」と称す)
に、該被リンス物に付着残留した洗浄液量の1〜30
0倍になるように供給して該洗浄液を除去する、精密部
品のリンス方法を提供するものである。
[0007] The present invention has been made based on the above findings, and water for rinsing (hereinafter referred to as “rinse”) is finely divided so that the average particle diameter is 10 μm to 3 mm.
The water for rinsing is rinsed with a cleaning liquid prior to rinsing, and is to be rinsed (hereinafter referred to as “rinse target”).
The amount of the cleaning liquid remaining on the object to be rinsed is 1 to 30
A precision unit that removes the cleaning liquid by supplying it so that it becomes 0 times
An object of the present invention is to provide an article rinsing method.

【0008】以下、本発明の精密部品のリンス方法を、
その実験態様に基づいて説明する。
Hereinafter, the method for rinsing precision parts of the present invention will be described.
A description will be given based on the experimental aspect.

【0009】本発明の方法を実施するには、リンス用の
水を、リンスに先立って洗浄液により洗浄された被リン
洗浄物に、該被リンス物に付着残留した洗浄液量の1
〜300倍になるように供給する。この際、リンス用の
水(リンス水)を上記の平均粒子径になるように細かく
して供給する。リンスに使用する水の量は被リンス物物
に付着残留した洗浄液量の1〜300倍量が必要であ
り、1倍量未満ではリンス水量が少なすぎリンス性が不
充分であり、又300倍量超では発生するリンス使用液
が多量となり、排水負荷等の低減効果が少なくなる。リ
ンス水の供給方法としては、例えば、高圧下でノズルか
ら噴霧する方法や超音波発振子を利用する方法あるいは
遠心力を利用した散布方法等が挙げられ、これらの方法
を用いることにより、リンス水を、平均粒子径10μ〜
3mmになるように微細化して供給できる。リンスの平均
粒子径が10μ以下の粒子径では所要リンス時間が長く
なり過ぎて実用的ではなく、又3mm以上では単位リンス
水当りのリンス効率が低下してしまう。上記リンス水量
は残留した洗浄液量の5〜100倍量が好ましい。
To carry out the method of the present invention ,
The phosphorus water, was washed by the washing liquid before rinsing
Of the amount of the cleaning liquid remaining on the rinsed object
It is supplied so as to be up to 300 times. At this time, water for rinsing (rinsing water) is supplied in a finely-divided manner so as to have the above average particle diameter. The amount of water used for rinsing must be 1 to 300 times the amount of the cleaning liquid adhering to and remaining on the object to be rinsed . If the amount is less than 1 time, the amount of rinsing water is too small and the rinsing property is insufficient, and the amount of water is 300 times If the amount exceeds the amount, the amount of the rinsing liquid generated becomes large, and the effect of reducing the drainage load and the like decreases. As a method of supplying the rinse water, for example, a method of spraying from a nozzle under a high pressure, a method of using an ultrasonic oscillator, or a spraying method using centrifugal force, and the like are used. With an average particle diameter of 10 μm
It can be supplied in a form of 3 mm . The average particle diameter of the rinsing is not practical too long the required rinsing time is less particle size 10 [mu], also want intends reduced rinsing efficiency per unit rinsing water is 3mm or more. Upper Symbol rinsing water is 5 to 100 times the amount of residual washing liquid amount is preferred.

【0010】リンスに当たっては、被リンス物をリンス
用液が速やかに流れ落ちる状態に設置するのが好まし
い。
In rinsing , it is preferable to set the object to be rinsed in a state where the rinsing liquid quickly flows down.

【0011】本発明のリンス方法におけるリンス水の温
度は特に限定されるものではないが、一般には25〜8
0℃の範囲で使用される。
Although the temperature of the rinsing water in the rinsing method of the present invention is not particularly limited, it is generally 25 to 8.
Used in the range of 0 ° C.

【0012】上述の本発明のリンス方法は、単独で、あ
るいは連続して使用してもよい。又、従来から使用され
ている浸漬法あるいは吐出法等のリンス方法と併用して
使用することもできる。これらの組み合わせは一定数量
の被リンス物をリンスする際に必要とされる費用や生産
スピードを考慮して考えられるべきであり、生産スピー
ドを上げる場合は、まずリンス工程の最初に本発明の水
微粒子を用いてリンスする工程を行い、ここで被リンス
物上の洗浄液を大部分取り除き、残った少量の洗浄液を
浸漬あるいは吐出法で除去するシステムが好ましい。こ
うすれば、従来法に比べリンス水使用量は大幅に削減で
き、その結果として排水処理コストも低減できる。生産
スピードを若干犠牲にしてもリンス水の使用量と排水を
徹底的に削減したい場合は、本発明の水微粒子を用いて
リンスする工程を被リンス物の要求リンス程度に応じ、
連続して行えばよい。
The rinsing method of the present invention described above may be used alone or continuously. Further, it can be used in combination with a conventionally used rinsing method such as an immersion method or a discharge method. These combinations should be considered in consideration of the cost and production speed required for rinsing a certain number of objects to be rinsed , and if the production speed is to be increased, the water of the present invention must be used first in the rinsing process. A system in which a rinsing step using fine particles is performed, where most of the cleaning liquid on the object to be rinsed is removed, and a small amount of the remaining cleaning liquid is removed by an immersion or discharge method is preferable. In this case, the amount of rinsing water used can be significantly reduced as compared with the conventional method, and as a result, wastewater treatment costs can be reduced. If it is desired to drastically reduce the amount of rinsing water and drainage even if the production speed is slightly sacrificed, the rinsing step using the water fine particles of the present invention is performed according to the required rinsing degree of the object to be rinsed .
It may be performed continuously.

【0013】リンス使用後の排水中に混入した洗浄液に
由来する汚れ成分、つまり洗浄剤や被リンス洗浄物上の
油、フラックス、液晶等の汚れ成分は、排水の前に凝集
沈殿法や活性汚泥法あるいは活性炭吸着法により除去さ
れねばならない。これら排水処理に必要な費用を低減す
るためには、リンス使用水量を減らす方法以外に、排水
中への洗浄液に由来する汚れ成分の混入を抑える方法が
ある。上記のように本発明による、水微粒子を被リンス
物に散布又は噴霧するリンス方法では少量のリンス水で
リンス物上の洗浄液を大部分除去できるので、この工
程で発生するリンス使用後の排水を専用に回収する設備
を設置することにより洗浄液に由来する汚れ成分を濃厚
な状態で回収できる。その結果、その後に行われる精密
リンス液中への洗浄液に由来する汚れ成分混入量を低減
することができ、活性汚泥等の処理時間や活性炭使用量
等の低減が可能となる。又、濃厚な状態で回収された汚
れ成分は焼却処理等の低コストな処理が可能であり、前
述したリンス使用後の排水を回収するシステムを設置す
ることにより、排水処理コストが更に低減できる。
[0013] Dirt components derived from the cleaning liquid mixed into the wastewater after use of the rinse, that is, dirt components such as oil, flux and liquid crystal on the cleaning agent and the material to be rinsed are removed by a coagulation sedimentation method or an activated sludge before the drainage. It must be removed by the method or activated carbon adsorption. In order to reduce the cost required for the wastewater treatment, there is a method other than the method of reducing the amount of water used for rinsing, which suppresses contamination of the wastewater with dirt components derived from the cleaning liquid. According to the invention as described above, since the water particles in the rinse method of spraying or sprayed onto the rinse <br/> product can largely removed the cleaning liquid of the rinsing Butsujo with a small amount of the rinse water, rinse generated in this process By installing a dedicated device for collecting waste water after use, it is possible to collect dirt components derived from the cleaning liquid in a concentrated state. As a result, it is possible to reduce the amount of contamination components derived from the cleaning liquid into the precision rinsing liquid that is subsequently performed, and it is possible to reduce the processing time of activated sludge and the like and the amount of activated carbon used. In addition, the dirt components collected in a concentrated state can be treated at low cost such as incineration. By installing the above-mentioned system for collecting the waste water after use of the rinse, the waste water treatment cost can be further reduced.

【0014】本発明の方法による水微粒子でリンスした
後の、排水を専用に回収する設備はどのような型やシス
テムであってもよい。簡単な例としては、リンス排水受
槽を設置する方法が考えられ、受槽の排水は、油水分離
等の処理を行って或いはそのまま、再度リンス水として
使用することも可能である。本リンス方法で使用される
洗浄剤あるいは洗浄方法は特に限定されるものではな
く、水でリンスが可能な洗浄剤であればどの洗浄剤に対
しても有効である。
The equipment for exclusively collecting the waste water after rinsing with the fine water particles according to the method of the present invention may be of any type or system. As a simple example, a method of installing a rinse drainage receiving tank can be considered. The drainage of the receiving tank can be subjected to a treatment such as oil-water separation or the like, or can be used again as rinse water as it is. The cleaning agent or cleaning method used in the present rinsing method is not particularly limited, and is effective for any cleaning agent that can be rinsed with water.

【0015】本来リンス水は純水が望ましいが、目的に
よっては、消泡剤、防錆剤、発水剤あるいはアルコール
類等の添加も可能である。
Although the rinsing water is preferably pure water, depending on the purpose, it is also possible to add an antifoaming agent, a rust preventive, a water generating agent or alcohols.

【0016】本発明のリンス方法は、精密部品の洗浄時
に特に優れた効果を有する。ここで精密部品とは、例え
ば電子部品、電機部品、精密機械部品、樹脂加工部品、
光学部品等をいう。電子部品とは、例えば、電算機及び
その周辺機器、家電機器、通信機器、OA機器、その他
電子応用機器等に用いられるプリント配線基板;ICリ
ードフレーム、抵抗器、コンデンサー、リレー等接点部
材に用いられるフープ材;OA機器、時計、電算機器、
玩具、家電機器等に用いられる液晶表示器;映像・音声
記録/再生部品、その関連部品等に用いられる磁気記録
部品;シリコンやセラミックスのウェハ等の半導体材
料;水晶振動子等の電歪用部品;CD、PD、複写機
器、光記録機器等に用いられる光電変換部品などをい
う。電機部品とは、例えば、ブラシ、ロータ、ステー
タ、ハウジング等の電動機部品;販売機や各種機器に用
いられる発券用部品;販売機、キャッシュディスペンサ
等に用いられる貨幣検査用部品などをいう。精密機械部
品とは、例えば、精密駆動機器、ビデオレコーダー等に
用いられるベアリング;超硬チップ等の加工用部品など
をいう。樹脂加工部品とは、例えば、カメラ、自動車等
に用いられる精密樹脂加工部品などをいう。更に、光学
部品としては、カメラ、眼鏡、光学機器等に用いられる
レンズがあり、また、その他部品としてメガネフレー
ム、時計ケース、時計ベルト等が例示される。
The rinsing method of the present invention has a particularly excellent effect when cleaning precision parts . Here, precision parts are, for example, electronic parts, electric parts, precision mechanical parts, resin processed parts,
Refers to optical components and the like. Electronic components include, for example, printed wiring boards used in computers and their peripheral devices, home appliances, communication devices, OA devices, and other electronic application devices; used in contact members such as IC lead frames, resistors, capacitors, and relays. Hoop materials; OA equipment, clocks, computer equipment,
Liquid crystal displays used for toys, home appliances, etc .; Magnetic recording parts used for video / audio recording / reproducing components and related components; Semiconductor materials such as silicon and ceramic wafers; Electrostrictive components such as quartz oscillators A photoelectric conversion component used for a CD, a PD, a copying device, an optical recording device, and the like. The electric components include, for example, electric motor components such as brushes, rotors, stators, and housings; ticketing components used in vending machines and various devices; and currency inspection components used in vending machines, cash dispensers, and the like. Precision machine parts refer to, for example, bearings used in precision driving equipment, video recorders, etc .; machining parts such as carbide tips. The resin processed part refers to, for example, a precision resin processed part used for a camera, an automobile, and the like. Further, as the optical component, there is a lens used for a camera, spectacles, optical equipment and the like, and as other components, a spectacle frame, a watch case, a watch belt and the like are exemplified.

【0017】本発明のリンス方法は、特に上述のうち、
フラックスの残存したプリント配線基板やガラス基板に
付着した液晶等の洗浄時に好適な性能を発揮するが、本
発明の対象となる精密部品は、これらの例に限られるも
のではなく、組立加工工程において各種の加工油やフラ
ックス等の後工程の妨害物質、又は製品の特性を低下さ
せる各種の油性汚染物質の付着している一定形状の固体
表面を持つ精密部品であれば、本発明のリンス方法が適
用できる。
[0017] The rinsing method of the present invention comprises
It exhibits good performance when cleaning liquid crystal and the like adhering to the printed wiring board or glass substrate with residual flux.Precision parts targeted by the present invention are not limited to these examples. If it is a precision part having a solid surface of a fixed shape to which various processing oils, fluxes and other interfering substances such as flux, or various oily contaminants that deteriorate the properties of the product are adhered, the rinsing method of the present invention is used. Applicable.

【0018】これらの汚染物質が、例えば油脂、機械
油、切削油、グリース、液晶、ロジン系フラックス等
の、主として有機油分の汚れである場合、本発明のリン
方法の特徴が特に発揮される。これに金属粉、無機物
粉等が混入した汚れであっても有効である。
When these contaminants are mainly organic oil stains such as oils and fats, machine oils, cutting oils, greases, liquid crystals, and rosin-based fluxes, the phosphorus of the present invention is used.
The features of the method are especially exhibited. This is effective even for dirt mixed with metal powder, inorganic powder and the like.

【0019】[0019]

【作用】本発明のリンス方法によれば、リンス水を、そ
の平均粒子径が10μ〜3mmになるように細かくして被
リンス物上に供給すると、リンス水は被リンス物上に均
一に供給され、その際単位時間当りのリンス水使用量も
コントロールできるので、被リンス物上からリンス効果
を充分発揮せずに流れ落ちてしまうリンス水を減らすこ
とができる。
According to the rinsing method of the present invention, the rinsing water is finely divided so that the average particle diameter is 10 μm to 3 mm, and the rinsing water is coated.
When supplied to the rinsing Butsujo, rinse water is uniformly supplied to the rinsing Butsujo, since that time the rinse water amount per unit time can be controlled, flows down without sufficient exhibit the rinsing effect from the rinsing Butsujo Rinsing water can be reduced.

【0020】[0020]

【実施例】以下、実施例を挙げて更に詳細に説明する
が、本発明はこれらに限定されるものではない。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited thereto.

【0021】実施例1Embodiment 1

【0022】15cm×15cmのプリント実装基板を、ロ
ジン系フラックスを3%混入させた洗剤A〔ポリオキシ
エチレンノニルフェニルエーテル(HLB=12.3)
5%(%は重量基準。以下、同じ。)、モノエタノール
アミン3%、水82%〕あるいは洗浄剤B(ブチルグリ
コール単品)に浸漬した後エアーブローを行い、プリン
ト実装基板上に1gの洗剤液を残留させた。その後、こ
の基板を立て、その表面に霧吹きの原理で平均粒子径
0.5mmにしたリンス水20mlを噴霧し、基板から滴下
するリンス後の液を回収して洗剤液量を分析した。平均
粒子径0.5mmの水粒子を噴霧するリンス法では、基板
上の洗剤Aの90%、洗剤Bの85%が除去できた。同
様にして平均粒子径を2mmにしてリンスすると、洗剤A
は85%除去でき、また、同様にして平均粒子径を5mm
にしてリンスすると、65%が除去できた。更に、比較
例として、20mlのリンス水を直径3mmのノズルを有す
るインジェクター(注射器)を用い基板表面に噴射して
リンスを行った。インジェクターを使用した場合は洗剤
Aの48%、洗剤Bの35%しか除去できなかった。
又、平均粒径0.5mmの水粒子を噴霧するリンス法を2
回行った所洗剤A及び洗剤Bは97%以上除去された。
インジェクターを使用してリンスする場合には、洗剤A
及び洗剤Bを97%以上除くために、650mlのリンス
水が必要であった。
A printed circuit board of 15 cm × 15 cm was washed with a detergent A [polyoxyethylene nonyl phenyl ether (HLB = 12.3) containing 3% of a rosin flux.
5% (% is based on weight; the same shall apply hereinafter), monoethanolamine 3%, water 82%] or cleaning agent B (butyl glycol alone) and then air blow, and 1 g of detergent on the printed circuit board. The liquid remained. Thereafter, the substrate was set up, and 20 ml of rinsing water having an average particle diameter of 0.5 mm was sprayed on the surface of the substrate by the principle of spraying, and the rinsed liquid dropped from the substrate was collected and analyzed for the amount of detergent. By the rinsing method of spraying water particles having an average particle diameter of 0.5 mm, 90% of the detergent A and 85% of the detergent B on the substrate could be removed. Similarly, when rinsing with an average particle diameter of 2 mm, detergent A
Can be removed by 85%, and similarly, the average particle diameter is 5 mm.
After rinsing, 65% could be removed. Further, as a comparative example, rinsing was performed by spraying 20 ml of rinsing water onto the substrate surface using an injector having a nozzle having a diameter of 3 mm. When the injector was used, only 48% of detergent A and 35% of detergent B could be removed.
In addition, a rinsing method of spraying water particles having an average particle size of 0.5 mm
The detergent A and the detergent B were removed 97% or more.
When rinsing using an injector, use detergent A
To remove 97% or more of detergent B, 650 ml of rinsing water was required.

【0023】[0023]

【発明の効果】本発明のリンス方法によれば、精密部品
のリンス工程で発生するリンス水を低減でき、かつ排水
処理も非常に容易となる。
According to the rinsing method of the present invention, precision parts
The rinsing water generated in the rinsing step can be reduced, and the wastewater treatment becomes very easy.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) C23G 1/24 H01L 21/302 B08B 3/04 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) C23G 1/24 H01L 21/302 B08B 3/04

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 すすぎ洗い(以下、「リンス」と称す)
用の水を平均粒子径が10μ〜3mmになるように細か
くし、該リンス用の水を、リンスに先立って洗浄液によ
り洗浄されたリンスすべき物(以下、「被リンス物」と
称す)に、該被リンス物に付着残留した洗浄液量の1
〜300倍になるように供給して該洗浄液を除去する、
精密部品のリンス方法。
1. Rinsing (hereinafter referred to as "rinse")
The water for rinsing is finely adjusted to have an average particle diameter of 10 μm to 3 mm, and the water for rinsing is rinsed with a cleaning liquid prior to rinsing (hereinafter referred to as “rinse object”).
) , The amount of the cleaning liquid remaining on the object to be rinsed is 1
The cleaning solution is removed by supplying the cleaning solution up to 300 times,
Rinsing method for precision parts .
【請求項2】 リンス後の液を回収するシステムを含む
請求項1記載のリンス方法
2. A system for recovering the liquid after rinsing is included.
The rinsing method according to claim 1 .
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