JP2921937B2 - Ｉｃ検査装置 - Google Patents
Ｉｃ検査装置Info
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
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- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
- B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
- B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
- B07C5/34—Sorting according to other particular properties
- B07C5/344—Sorting according to other particular properties according to electric or electromagnetic properties
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は半導体集積回路（以下、ICと称す）の検査装
置に係わり、特にトレイに収納されたICを自動的に検査
し、検査後分類されたICをトレイに収納する収納部を有
するIC検査装置に関する。
置に係わり、特にトレイに収納されたICを自動的に検査
し、検査後分類されたICをトレイに収納する収納部を有
するIC検査装置に関する。
［従来の技術］ 組立完了したICを自動的に測定部に供給し、ICの良否
を自動的に検査し選別する検査装置としてハンドラが多
用されている。ICハンドラにおいて、ICを扱う供給形態
により、トレイ方式とスティック方式とがある。スティ
ック方式は細長い支持体のスティックにICを１列に収納
し、スティックを傾斜させてICの自重と間欠送り機構に
より１個ずつ搬送され、プリヒート部等を経て測定部に
供給する方式である。検査後ICは自動的に例えば、良
品、不良品、再検査品等に分類されて再びスティックに
順次収納される。また、トレイ方式は、平板状のトレイ
に複数載置されたICを吸着手段等を備えたロボットアー
ムにより個別に測定部に搬送し、検査後同様にロボット
アームで分類されたトレイに収納するようになってい
る。
を自動的に検査し選別する検査装置としてハンドラが多
用されている。ICハンドラにおいて、ICを扱う供給形態
により、トレイ方式とスティック方式とがある。スティ
ック方式は細長い支持体のスティックにICを１列に収納
し、スティックを傾斜させてICの自重と間欠送り機構に
より１個ずつ搬送され、プリヒート部等を経て測定部に
供給する方式である。検査後ICは自動的に例えば、良
品、不良品、再検査品等に分類されて再びスティックに
順次収納される。また、トレイ方式は、平板状のトレイ
に複数載置されたICを吸着手段等を備えたロボットアー
ムにより個別に測定部に搬送し、検査後同様にロボット
アームで分類されたトレイに収納するようになってい
る。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、スティック方式ではスティックの内壁
をリード線が接触して上下するのでICのリード線が変形
してジャム化しやすく、測定部において誤検出された
り、あるいは搬送中に搬送路に詰まってしまったりし
た。またトレイ方式ではリード線のジャム化の発生は少
ないがそれぞれ分類別トレイを配置するスペースが必要
であり、そのためハンドラの設置スペースが大きくなっ
てしまった。
をリード線が接触して上下するのでICのリード線が変形
してジャム化しやすく、測定部において誤検出された
り、あるいは搬送中に搬送路に詰まってしまったりし
た。またトレイ方式ではリード線のジャム化の発生は少
ないがそれぞれ分類別トレイを配置するスペースが必要
であり、そのためハンドラの設置スペースが大きくなっ
てしまった。
本発明は上記の欠点を解消するためになされたもので
あって、トレイ方式の検査装置であっても分類別トレイ
の設置場所をとらず、省スペース化されたIC検査装置を
提供することを目的とする。
あって、トレイ方式の検査装置であっても分類別トレイ
の設置場所をとらず、省スペース化されたIC検査装置を
提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するため本発明のIC検査装置は、検
査結果に従って分類されたICを搬送する搬送装置と、前
記搬送装置により搬送された前記ICを収納する複数の分
類別トレイ載置台とを備えたIC検査装置において、前記
トレイ載置台は垂直駆動トレイ載置台と、前記垂直駆動
トレイ載置台の上部に設置され前記垂直駆動トレイ載置
台に前記ICを収納する際に前記垂直駆動トレイ載置台上
から退避する水平駆動トレイ載置台とを設けたものであ
る。
査結果に従って分類されたICを搬送する搬送装置と、前
記搬送装置により搬送された前記ICを収納する複数の分
類別トレイ載置台とを備えたIC検査装置において、前記
トレイ載置台は垂直駆動トレイ載置台と、前記垂直駆動
トレイ載置台の上部に設置され前記垂直駆動トレイ載置
台に前記ICを収納する際に前記垂直駆動トレイ載置台上
から退避する水平駆動トレイ載置台とを設けたものであ
る。
本発明のIC検査装置は、検査結果に従って分類された
ICを搬送する搬送装置と、搬送装置により搬送されたIC
を収納する複数のトレイ載置台とを備えたIC検査装置に
おいて、トレイ載置台は３つの垂直駆動トレイ載置台
と、隣接する２つの垂直駆動トレイ載置台の上部に設置
される水平駆動トレイ載置台とを有し、水平駆動トレイ
載置台は、いずれか一方の垂直駆動トレイ載置台にICを
収納する際に、当該垂直駆動トレイ載置台上方から水平
方向に移動して他方の垂直駆動トレイ載置台の上方に退
避してなるものである。
ICを搬送する搬送装置と、搬送装置により搬送されたIC
を収納する複数のトレイ載置台とを備えたIC検査装置に
おいて、トレイ載置台は３つの垂直駆動トレイ載置台
と、隣接する２つの垂直駆動トレイ載置台の上部に設置
される水平駆動トレイ載置台とを有し、水平駆動トレイ
載置台は、いずれか一方の垂直駆動トレイ載置台にICを
収納する際に、当該垂直駆動トレイ載置台上方から水平
方向に移動して他方の垂直駆動トレイ載置台の上方に退
避してなるものである。
［作用］ このIC検査装置は検査済ICを検査結果に従って、分類
別トレイがそれぞれ載置される載置台とを備えたもので
ある。
別トレイがそれぞれ載置される載置台とを備えたもので
ある。
このトレイ載置台は、垂直駆動されるトレイ載置台
と、この垂直駆動トレイ載置台上に水平駆動されるトレ
イ載置台とを備える。そして垂直駆動トレイ載置台上の
トレイに搬送装置により検査済ICが収納される場合、水
平駆動トレイ載置台は水平駆動してその位置より退避す
る。このため、トレイ載置台は分類別に立体的に構成さ
れるため省スペースを図ることができる。
と、この垂直駆動トレイ載置台上に水平駆動されるトレ
イ載置台とを備える。そして垂直駆動トレイ載置台上の
トレイに搬送装置により検査済ICが収納される場合、水
平駆動トレイ載置台は水平駆動してその位置より退避す
る。このため、トレイ載置台は分類別に立体的に構成さ
れるため省スペースを図ることができる。
［実施例］ 本発明のIC検査装置をICハンドラに適用した一実施例
を図面を参照して説明する。
を図面を参照して説明する。
第１図の構成図に示すように、ICハンドラ１はトレイ
２に載置されたIC3をロードするローダ部４と、ローダ
部４から搬送されるIC3の検査を行う検査部５と、検査
部５から検査済IC3がアンロードされる収納部６とから
成る。ローダ部４には検査されるべきIC3を収納したト
レイ２が第２図に示すように積層されて載置される載置
台７を備え、一番上段のトレイ２に収納されたICを検査
部５に吸着等の手段（図示せず）により搬送し、検査後
検査部５から収納部６に搬送する搬送装置であるロボッ
トアーム８が設けられる。上段のトレイ２に収納された
全部のICが検査部５に搬送されトレイ２が空になると、
トレイ２を吸着等の手段により隣接される空トレイ載置
台９に搬送するロボットアーム10が設けられる。載置台
７及び空トレイ載置台９はそれぞれ垂直駆動機構11及び
12に接続され、空トレイが空トレイ載置台９に移動され
ると載置台７は一段ずつ上昇され、空トレイ載置台９は
一段ずつ下降され、次のトレイに満載されたICがロボッ
トアーム８により検査部５に搬送されるようになってい
る。
２に載置されたIC3をロードするローダ部４と、ローダ
部４から搬送されるIC3の検査を行う検査部５と、検査
部５から検査済IC3がアンロードされる収納部６とから
成る。ローダ部４には検査されるべきIC3を収納したト
レイ２が第２図に示すように積層されて載置される載置
台７を備え、一番上段のトレイ２に収納されたICを検査
部５に吸着等の手段（図示せず）により搬送し、検査後
検査部５から収納部６に搬送する搬送装置であるロボッ
トアーム８が設けられる。上段のトレイ２に収納された
全部のICが検査部５に搬送されトレイ２が空になると、
トレイ２を吸着等の手段により隣接される空トレイ載置
台９に搬送するロボットアーム10が設けられる。載置台
７及び空トレイ載置台９はそれぞれ垂直駆動機構11及び
12に接続され、空トレイが空トレイ載置台９に移動され
ると載置台７は一段ずつ上昇され、空トレイ載置台９は
一段ずつ下降され、次のトレイに満載されたICがロボッ
トアーム８により検査部５に搬送されるようになってい
る。
検査部５は図示しないソケット式等の検査装置と、IC
のアライメントを行うアライメント装置等が装備され
る。ここで検査されたICは例えば良品、不良品、再検査
品等として図示しないCPUに記憶され、記憶に従って収
納部６の分類別トレイにロボットアーム８により搬送、
収納されるようになっている。収納部６は分類別トレイ
を載置する分類別トレイ載置台のうち垂直駆動トレイ載
置台である例えば良品トレイ載置台13及び不良品トレイ
載置台14が垂直駆動機構15及び16に接続されて設けられ
る。良品トレイ載置台13及び不良品トレイ載置台14に検
査済のIC3が搬送され満載されると垂直駆動機構15及び1
6により良品載置台13及び不良品トレイ載置台14が下降
され、空トレイ載置台９上の空トレイがロボットアーム
10により順次良品トレイ載置台13及び不良品トレイ載置
台14に搬送されるようになっている。この不良品トレイ
載置台14と空トレイ載置台９の上方にはモータ17に接続
された水平ベルト18等から成る水平駆動機構19上に設け
られた水平駆動トレイ載置台である例えば再検査トレイ
載置台20が設けられる。ここで再検査トレイ載置台20を
水平駆動機構19上に設けたが、分類される頻度が少ない
ものをこの水平駆動機構19上に設けるのが好ましい。
のアライメントを行うアライメント装置等が装備され
る。ここで検査されたICは例えば良品、不良品、再検査
品等として図示しないCPUに記憶され、記憶に従って収
納部６の分類別トレイにロボットアーム８により搬送、
収納されるようになっている。収納部６は分類別トレイ
を載置する分類別トレイ載置台のうち垂直駆動トレイ載
置台である例えば良品トレイ載置台13及び不良品トレイ
載置台14が垂直駆動機構15及び16に接続されて設けられ
る。良品トレイ載置台13及び不良品トレイ載置台14に検
査済のIC3が搬送され満載されると垂直駆動機構15及び1
6により良品載置台13及び不良品トレイ載置台14が下降
され、空トレイ載置台９上の空トレイがロボットアーム
10により順次良品トレイ載置台13及び不良品トレイ載置
台14に搬送されるようになっている。この不良品トレイ
載置台14と空トレイ載置台９の上方にはモータ17に接続
された水平ベルト18等から成る水平駆動機構19上に設け
られた水平駆動トレイ載置台である例えば再検査トレイ
載置台20が設けられる。ここで再検査トレイ載置台20を
水平駆動機構19上に設けたが、分類される頻度が少ない
ものをこの水平駆動機構19上に設けるのが好ましい。
上記のような構成のICハンドラの動作を説明する。
ローダ部４のトレイ載置台７上に検査されるべきIC3
を収納した複数のトレイ２を搬送ロボットまたはオペレ
ータにより載置する。ロボットアーム８によりIC3が検
査部５に搬送され、順次アライメント後電気的特性の検
査が行われる。検査が行われると検査結果がCPUに記憶
され、この記憶に従ってロボットアーム８が例えば良品
トレイ載置台13上に載置されたトレイ２にIC3を収納す
る。順次検査が行われ、不良品のICが検出されると、空
トレイ載置台９が垂直駆動機構12により下降される。そ
してモータ17により水平ベルト18を回転させ再検査トレ
イ載置台20を空トレイ載置台９上に移動させ、垂直駆動
機構16により上昇された不良品トレイ載置台14上のトレ
イに不良品ICが収納される。この水平駆動機構19により
移動された再検査トレイ載置台20の位置はCPUにより記
憶されるため、再検査ICが検出された場合はその位置に
再検査トレイ載置台20が移動して随時再検査トレイ24に
分類されたICを収納できる。順次検査が進みローダ部４
の載置台７上の最上段トレイに収納されたICの検出が行
われトレイが空になれば、再び不良品トレイ載置台14が
垂直駆動機構16により下降し、不良品トレイ載置台14上
の位置に再検査トレイ載置台20が水平駆動機構19により
退避して空トレイ載置台９上に載置台７上の空トレイを
ロボットアーム10により搬送する。また、良品トレイ載
置台13のトレイが満載されると空トレイ載置台９上の空
トレイをロボットアーム10により良品トレイ載置台13上
に搬送する。さらに不良品トレイ載置台14上のトレイが
満載された場合は、空トレイ載置台９上からロボットア
ーム10がトレイを吸着して支持し、その間に水平駆動機
構19により再検査トレイ載置台20を空トレイ載置台９上
に移動させ、不良品トレイ載置台14上を開放し、不良品
トレイ載置台14上に支持したトレイを搬送してロボット
アーム10の吸着を解除して載置させる。
を収納した複数のトレイ２を搬送ロボットまたはオペレ
ータにより載置する。ロボットアーム８によりIC3が検
査部５に搬送され、順次アライメント後電気的特性の検
査が行われる。検査が行われると検査結果がCPUに記憶
され、この記憶に従ってロボットアーム８が例えば良品
トレイ載置台13上に載置されたトレイ２にIC3を収納す
る。順次検査が行われ、不良品のICが検出されると、空
トレイ載置台９が垂直駆動機構12により下降される。そ
してモータ17により水平ベルト18を回転させ再検査トレ
イ載置台20を空トレイ載置台９上に移動させ、垂直駆動
機構16により上昇された不良品トレイ載置台14上のトレ
イに不良品ICが収納される。この水平駆動機構19により
移動された再検査トレイ載置台20の位置はCPUにより記
憶されるため、再検査ICが検出された場合はその位置に
再検査トレイ載置台20が移動して随時再検査トレイ24に
分類されたICを収納できる。順次検査が進みローダ部４
の載置台７上の最上段トレイに収納されたICの検出が行
われトレイが空になれば、再び不良品トレイ載置台14が
垂直駆動機構16により下降し、不良品トレイ載置台14上
の位置に再検査トレイ載置台20が水平駆動機構19により
退避して空トレイ載置台９上に載置台７上の空トレイを
ロボットアーム10により搬送する。また、良品トレイ載
置台13のトレイが満載されると空トレイ載置台９上の空
トレイをロボットアーム10により良品トレイ載置台13上
に搬送する。さらに不良品トレイ載置台14上のトレイが
満載された場合は、空トレイ載置台９上からロボットア
ーム10がトレイを吸着して支持し、その間に水平駆動機
構19により再検査トレイ載置台20を空トレイ載置台９上
に移動させ、不良品トレイ載置台14上を開放し、不良品
トレイ載置台14上に支持したトレイを搬送してロボット
アーム10の吸着を解除して載置させる。
また、もし再検査トレイが満載になれば不良品トレイ
載置台14上に再検査トレイ載置台20を配置して空トレイ
載置台９上から空トレイを搬送することができる。
載置台14上に再検査トレイ載置台20を配置して空トレイ
載置台９上から空トレイを搬送することができる。
このように検出頻度の少ない分類のトレイを水平駆動
機構に接続された載置台に載置することでトレイの載置
台の設置を立体構造にできる。そのため、スペースの省
略が可能となり経済的である。
機構に接続された載置台に載置することでトレイの載置
台の設置を立体構造にできる。そのため、スペースの省
略が可能となり経済的である。
以上の説明は一実施例の説明であって、本発明はICハ
ンドラに限定されるものではなく、トレイ式のIC検査装
置ならば何れのものにも適用できる。水平駆動機構も上
記のものに限らず、公知のものを適用することができ
る。また多数の分類のものの場合、水平駆動させるトレ
イ載置台は１台に限定されず、また立体構造も二重に限
らず多重であっても構わない。
ンドラに限定されるものではなく、トレイ式のIC検査装
置ならば何れのものにも適用できる。水平駆動機構も上
記のものに限らず、公知のものを適用することができ
る。また多数の分類のものの場合、水平駆動させるトレ
イ載置台は１台に限定されず、また立体構造も二重に限
らず多重であっても構わない。
［発明の効果］ 以上の実施例からも明らかなように、本発明のIC検査
装置によれば、分類別のトレイ載置台を垂直駆動と水平
駆動するものを組合せたため、設置面積を減少すること
ができ経済的である。
装置によれば、分類別のトレイ載置台を垂直駆動と水平
駆動するものを組合せたため、設置面積を減少すること
ができ経済的である。
第１図は本発明のIC検査装置の一実施例の構成図、第２
図は第１図に示す一実施例の要部を示す図である。 １……ICハンドラ ２……トレイ ６……収納部 ８……ロボットアーム（搬送装置） 13……良品トレイ載置台 14……不良品トレイ載置台 15、16……垂直駆動機構 19……水平駆動機構 20……再検査トレイ載置台（水平駆動トレイ載置台）
図は第１図に示す一実施例の要部を示す図である。 １……ICハンドラ ２……トレイ ６……収納部 ８……ロボットアーム（搬送装置） 13……良品トレイ載置台 14……不良品トレイ載置台 15、16……垂直駆動機構 19……水平駆動機構 20……再検査トレイ載置台（水平駆動トレイ載置台）
Claims (2)
- 【請求項１】検査結果に従って分類されたICを搬送する
搬送装置と、前記搬送装置により搬送された前記ICを収
納する複数の分類別トレイ載置台とを備えたIC検査装置
において、前記トレイ載置台は垂直駆動トレイ載置台
と、前記垂直駆動トレイ載置台の上部に設置され前記垂
直駆動トレイ載置台に前記ICを収納する際に前記垂直駆
動トレイ載置台上から退避する水平駆動トレイ載置台と
を設けたことを特徴とするIC検査装置。 - 【請求項２】検査結果に従って分類されたICを搬送する
搬送装置と、前記搬送装置により搬送された前記ICを収
納する複数のトレイ載置台とを備えたIC検査装置におい
て、前記トレイ載置台は３つの垂直駆動トレイ載置台
と、隣接する２つの前記垂直駆動トレイ載置台の上部に
設置される水平駆動トレイ載置台とを有し、前記水平駆
動トレイ載置台は、いずれか一方の前記垂直駆動トレイ
載置台に前記ICを収納する際に、当該垂直駆動トレイ載
置台上方から水平方向に移動して他方の前記垂直駆動ト
レイ載置台の上方に退避してなることを特徴とするIC検
査装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2190122A JP2921937B2 (ja) | 1990-07-18 | 1990-07-18 | Ｉｃ検査装置 |
| KR1019910009544A KR0138755B1 (ko) | 1990-07-18 | 1991-06-10 | Ic 분류별 수납장치 및 ic 검사장치 |
| US07/725,518 US5150797A (en) | 1990-07-18 | 1991-07-03 | IC sorting and receiving apparatus and method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2190122A JP2921937B2 (ja) | 1990-07-18 | 1990-07-18 | Ｉｃ検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0476472A JPH0476472A (ja) | 1992-03-11 |
| JP2921937B2 true JP2921937B2 (ja) | 1999-07-19 |
Family
ID=16252762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2190122A Expired - Fee Related JP2921937B2 (ja) | 1990-07-18 | 1990-07-18 | Ｉｃ検査装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5150797A (ja) |
| JP (1) | JP2921937B2 (ja) |
| KR (1) | KR0138755B1 (ja) |
Families Citing this family (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5313156A (en) * | 1991-12-04 | 1994-05-17 | Advantest Corporation | Apparatus for automatic handling |
| US5307011A (en) * | 1991-12-04 | 1994-04-26 | Advantest Corporation | Loader and unloader for test handler |
| US5466117A (en) * | 1993-06-10 | 1995-11-14 | Xilinx, Inc. | Device and method for programming multiple arrays of semiconductor devices |
| KR0147403B1 (ko) * | 1994-06-24 | 1998-11-02 | 문정환 | 칩자동 로딩장치 |
| US5801527A (en) * | 1994-07-26 | 1998-09-01 | Tokyo Electron Limited | Apparatus and method for testing semiconductor device |
| KR100270137B1 (ko) * | 1994-09-22 | 2000-11-01 | 오우라 히로시 | Ic 수납용 트레이수용장치 및 이 트레이수용장치의 장착대 |
| JP3245507B2 (ja) * | 1994-09-27 | 2002-01-15 | 株式会社新川 | 試料検査装置における試料搬送方法及び試料搬送装置 |
| IT1272853B (it) * | 1994-11-30 | 1997-06-30 | Circuit Line Spa | Metodo e apparecchiatura per il carico e lo scarico automatico di circuiti stampati su macchine per l'esecuzione del test elettrico |
| JPH08248095A (ja) * | 1995-03-14 | 1996-09-27 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
| JP3412114B2 (ja) | 1995-07-26 | 2003-06-03 | 株式会社アドバンテスト | Ｉｃ試験装置 |
| JP3503860B2 (ja) * | 1997-03-18 | 2004-03-08 | 株式会社アドバンテスト | Ｉｃ試験方法およびこの方法を実施する装置 |
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