JP2832842B2 - Optical isolator - Google Patents
Optical isolatorInfo
- Publication number
- JP2832842B2 JP2832842B2 JP16118689A JP16118689A JP2832842B2 JP 2832842 B2 JP2832842 B2 JP 2832842B2 JP 16118689 A JP16118689 A JP 16118689A JP 16118689 A JP16118689 A JP 16118689A JP 2832842 B2 JP2832842 B2 JP 2832842B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor laser
- optical isolator
- faraday rotation
- polarization
- faraday
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【発明の詳細な説明】 イ.発明の目的 〔産業上の利用分野〕 本発明は、コンパンクトディスクやレーザディスクに
多く用いられる半導体レーザなどのシングルモード光発
振素子における、戻り光による雑音防止を阻止するため
の光アイソレータに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical isolator for preventing noise caused by return light in a single mode optical oscillator such as a semiconductor laser often used for a compact disk or a laser disk. is there.
光通信において、発振する半導体レーザに戻ってくる
戻り光は、半導体レーザのモードホッピングを招き、レ
ーザ発振光を不安定にする雑音の原因となる。このよう
に半導体レーザの発振光が不安定となれば、光信号を正
確に伝達することが困難となる。そこで、こうした戻り
光によって発生する雑音を防止するため、戻り光を遮断
することが重要になってくる。この戻り光を遮断する方
法の一つとして、光アイソレータがある。光アイソレー
タの特徴は、ファラデー回転素子を用いて、射出光の偏
波を45deg回転させる点にある。戻ってきた光の偏波
は、さらに45deg回転され、最初の射出の偏波に対して
戻り光の偏波を直交させる。これが簡単な原理である。In optical communication, return light returning to an oscillating semiconductor laser causes mode hopping of the semiconductor laser and causes noise that makes laser oscillation light unstable. If the oscillation light of the semiconductor laser becomes unstable as described above, it becomes difficult to transmit an optical signal accurately. Therefore, in order to prevent noise generated by such return light, it is important to block the return light. One of the methods for blocking the return light is an optical isolator. The feature of the optical isolator is that the polarization of the emitted light is rotated by 45 degrees using a Faraday rotation element. The polarization of the returned light is further rotated by 45 degrees, and the polarization of the returned light is made orthogonal to the polarization of the first emission. This is a simple principle.
このような光アイソレータの形状は、大きくわけて2
種類に分類される。1つは偏光結晶でファラデー回転素
子を挟み、戻り光の偏波を射出光側の偏光結晶の偏光軸
と直交させて、半導体レーザへの光を偏光結晶によって
遮断する方法と、もう一つは偏光結晶を用いずにファラ
デー回転素子だけを用い、戻り光の偏波を射出光の偏波
に対して直交させるだけで、半導体レーザチップに戻り
光を当ててしまうものである(原理的に発振偏波と直交
する偏波の戻り光は、雑音発生の原因となりえない)。
用途とては、前者は光通信に、後者はレーザディスクな
どのピックアップ用に多く用いられる。The shape of such an optical isolator is roughly divided into two.
Classified into types. One is to interpose a Faraday rotator with a polarizing crystal, make the polarization of the return light orthogonal to the polarization axis of the polarizing crystal on the exit light side, and block the light to the semiconductor laser with the polarizing crystal. Using only a Faraday rotator without using a polarizing crystal and simply making the polarization of the return light orthogonal to the polarization of the emitted light, the return light is applied to the semiconductor laser chip (oscillation in principle). Return light of a polarization orthogonal to the polarization cannot cause noise.)
The former is often used for optical communication, and the latter is often used for pickup of a laser disk or the like.
現在、光アイソレータ用のファラデー回転素子として
は、(GdBi)3(FeAlGa)5O12などのガーネット厚膜が
多く利用されているが、このガーネット厚膜は、使用環
境の温度変化に応じて敏感に、その主特性であるファラ
デー回転角を変化させてしまう欠点がある。又、もう一
つの欠点として、使用波長の変化によってもそのファラ
デー回転角を変動させてしまう現象がある。このファラ
デー回転角が製作設定値よりもずれれば、光アイソレー
タの主特性であるアイソレーション(逆方向損失)は劣
化し、戻り光を遮断する能力が大きく低下してしまう。
ファラデー回転角の温度特性は、材料によっても異なる
が、ΔθF/ΔT(deg/℃)(但し設定ファラデー回転角
θF:45deg、設定波長λ0.78μm)として、(GdBi)3
(FeAlGa)5O12で−0.10deg/℃である。又、ファラデー
回転角の波長特性は使用波長0.78μmの時、(GdBi)3
(FeAlGa)5O12で、ΔθF/θF=0.5(%/10-3μm)で
ある。このことから、使用温度範囲0ないし60℃におい
て、常温で測定したファラデー回転角45degの(GdBi)
3(FeAlGa)5O12のガーネット膜厚は±3.0deg程度のフ
ァラデー回転角変動が起こる。これは(GdBi)3(FeAl
Ga)5O12のファラデー回転性能−6500deg/cmを考えると
±4.6μmの厚みの変動に相当することが分かる。半導
体レーザの設定波長の変動幅は、設定波長0.78μmで±
10nm程度はある。この波長変動幅によるファラデー回転
角の変動は±2.25degとなり、(GdBi)3(FeAlGa)5O
12のファラデー回転性能−6500deg/cmを考えると、±3.
46μmの厚みの変動に相当する。At present, a garnet thick film such as (GdBi) 3 (FeAlGa) 5 O 12 is widely used as a Faraday rotator for an optical isolator, but the garnet thick film is sensitive to a change in temperature of a use environment. In addition, there is a disadvantage that the Faraday rotation angle which is the main characteristic is changed. Another disadvantage is that the Faraday rotation angle fluctuates even when the wavelength used changes. If the Faraday rotation angle deviates from the set value, isolation (reverse loss), which is a main characteristic of the optical isolator, is deteriorated, and the ability to block return light is greatly reduced.
Although the temperature characteristic of the Faraday rotation angle varies depending on the material, ΔG F / ΔT (deg / ° C.) (provided that the Faraday rotation angle θ F is 45 deg and the setting wavelength λ 0.78 μm) is (GdBi) 3
(FeAlGa) 5 O 12 at −0.10 deg / ° C. The wavelength characteristic of the Faraday rotation angle is (GdBi) 3 when the working wavelength is 0.78 μm.
(FeAlGa) 5 O 12 and Δθ F / θ F = 0.5 (% / 10 −3 μm). From this, the Faraday rotation angle of 45 deg (GdBi) measured at room temperature in the operating temperature range of 0 to 60 ° C.
The garnet film thickness of 3 (FeAlGa) 5 O 12 has a Faraday rotation angle fluctuation of about ± 3.0 deg. This is (GdBi) 3 (FeAl
Considering the Faraday rotation performance of Ga) 5 O 12 −6500 deg / cm, it can be seen that this corresponds to a thickness variation of ± 4.6 μm. The fluctuation range of the set wavelength of the semiconductor laser is ± 0.78 μm at the set wavelength.
There is about 10nm. The fluctuation of the Faraday rotation angle due to this wavelength fluctuation width is ± 2.25 deg, and (GdBi) 3 (FeAlGa) 5 O
Given the Faraday rotation performance -6500deg / cm of 12, ± 3.
This corresponds to a thickness variation of 46 μm.
これらのことを考慮すると、ガーネット厚膜の膜厚は
その使用状況に応じて、±4.0μmの変動を考えなけれ
ばならない。しかし、従来の方法では、設定使用波長0.
78μm、使用環境温度25℃でガーネット厚膜の膜厚を決
定しているため、このファラデー回転素子を組込んだ半
導体レーザの使用環境によって、ファラデー回転角を微
妙に変化させてしまう。又、組み込む半導体レーザの波
長や使用環境に応じて個々に膜厚を制御すると、生産性
が極端に悪くなり、コスト高になってしまうという欠点
があった。Considering these facts, the thickness of the garnet thick film must be considered to vary by ± 4.0 μm depending on the usage. However, in the conventional method, the setting use wavelength 0.
Since the thickness of the garnet thick film is determined at 78 μm and the use environment temperature is 25 ° C., the Faraday rotation angle is slightly changed depending on the use environment of the semiconductor laser incorporating the Faraday rotation element. Further, when the film thickness is individually controlled in accordance with the wavelength of the semiconductor laser to be incorporated and the use environment, there is a disadvantage that productivity is extremely deteriorated and cost is increased.
生産性やコストを考慮すると、統一された仕様でガー
ネット厚膜を生産し、ファラデー回転素子に加工し、半
導体レーザとして組み込む際に補正が可能となる方法を
取ることが望ましい。この場合、最大性能よりも組み込
んだ時の性能の一定化が重要となってくる。本発明は、
この主旨に鑑みなされたもので、使用環境や半導体レー
ザの変動に対して、レーザ光の入射位置を補正すること
により一定のファラデー回転角が得られる光アイソレー
タを提供しようとするものである。In consideration of productivity and cost, it is desirable to adopt a method that enables a garnet thick film to be produced with uniform specifications, processed into a Faraday rotating element, and corrected when incorporated as a semiconductor laser. In this case, it is more important to stabilize the performance when incorporated than the maximum performance. The present invention
In view of the above, it is an object of the present invention to provide an optical isolator that can obtain a constant Faraday rotation angle by correcting the incident position of a laser beam with respect to a change in a use environment or a semiconductor laser.
ロ.発明の構成 〔課題を解決するための手段〕 本発明はによれば、半導体レーザを封入するための封
入蓋にファラデー回転素子とそれを磁気飽和させる磁石
を組み込み、半導体レーザの発振光の偏波に反射戻り光
の偏波を直交させることにより半導体レーザの雑音発生
を防止する半導体レーザ用の光アイソレータにおいて、
ファラデー回転素子が、その中心部の厚さをファラデー
回転角45゜となる厚さとし、かつ一方の端辺に向かって
厚さが薄く他の一方の端辺に向かって厚さが厚くなるよ
うに一定に傾斜した一端面を有するとともに、該傾斜し
た一端面を前記封入蓋の内側に向けて該封入蓋に取り付
けられていることを特徴とする半導体レーザ用の光アイ
ソレータが得られる。B. Means for Solving the Problems According to the present invention, a Faraday rotator and a magnet for magnetically saturating the Faraday rotator are incorporated in an encapsulation lid for enclosing a semiconductor laser, and the polarization of oscillation light of the semiconductor laser is increased. An optical isolator for a semiconductor laser that prevents the generation of noise of the semiconductor laser by making the polarization of the reflected return light orthogonal to
The thickness of the Faraday rotator element is set such that the thickness of the central portion becomes a Faraday rotation angle of 45 °, and the thickness decreases toward one end and increases toward the other end. An optical isolator for a semiconductor laser is provided, which has one end surface inclined at a constant angle and is attached to the sealing lid with the inclined one end surface facing the inside of the sealing lid.
本発明は、半導体レーザの封入蓋(以下LDキャップと
記す)の窓材としてファラデー回転素子であるガーネッ
ト厚膜を取り付け、それを磁気飽和させる形の光アイソ
レータにおいてのものである。使用するファラデー回転
素子の厚さを、中心部でファラデー回転角が45degとな
るようにして一定の傾斜をつけ、LDキャップに取り付け
る。この傾斜度は出射光の近端反射を緩和する役割も持
つことになる。こうしてできたLDキャップを半導体レー
ザに組み込む際、その波長の設定値や環境などの微妙な
変化に応じて変動するファラデー回転角を、LDキャップ
の位置をずらしファラデー回転素子へのレーザ光入射位
置を補正することによって微調整する。レーザ発振し
て、LDキャップの窓材を通過するレーザ光は一定のビー
ム径を持つため、窓材に照射されるレーザ領域は、窓材
として取り付けたファラデー回転素子の多少の傾斜を考
えても、傾斜が一定ならばレーザ光入射位置の補正に対
してほぼ一定である。従って、設定波長や使用環境の変
動が生じてもLDキャップをずらして調整し、その環境下
でのファラデー回転素子の一定領域内(例えばレーザ領
域の中心点)でのファラデー回転角が一定に補正されれ
ば、傾斜角が一定であるために、このように補正された
光アイソレータそれぞれの全体としての消光比は一定と
なる。The present invention relates to an optical isolator in which a garnet thick film, which is a Faraday rotator, is attached as a window material of a sealing lid (hereinafter, referred to as an LD cap) of a semiconductor laser and magnetically saturates the garnet thick film. The Faraday rotation element to be used is attached to the LD cap with a constant inclination such that the Faraday rotation angle is 45 deg at the center. This inclination also has a role of reducing near-end reflection of the emitted light. When incorporating the LD cap thus formed into a semiconductor laser, the Faraday rotation angle that fluctuates according to subtle changes in the set value of the wavelength, the environment, etc., is changed, and the position of the laser light incident on the Faraday rotation element is shifted by shifting the position of the LD cap. Fine adjustment by correction. Since the laser beam that oscillates and passes through the window material of the LD cap has a constant beam diameter, the laser area irradiated on the window material may take into account the slight inclination of the Faraday rotator attached as the window material. If the inclination is constant, it is almost constant with respect to the correction of the laser beam incident position. Therefore, even if the set wavelength or use environment fluctuates, the LD cap is shifted and adjusted, and the Faraday rotation angle within a certain area of the Faraday rotation element (for example, the center point of the laser area) under that environment is corrected to be constant. Then, since the inclination angle is constant, the extinction ratio of each of the optical isolators thus corrected as a whole is constant.
従って、本発明を利用すれば、微小な設定波長や使用
環境の変化に応じて正確にファラデー回転素子のファラ
デー回転角を個々に事前設定する必要はなくなる。これ
によって、光アイソレータの生産性や特性の安定性は大
幅に向上する。Therefore, if the present invention is used, it is not necessary to individually preset the Faraday rotation angle of the Faraday rotation element accurately in response to a minute setting wavelength or a change in the use environment. Thereby, the productivity and stability of characteristics of the optical isolator are greatly improved.
以下に本発明の実施例を図を用いて詳しく説明する。
本発明の実施例として、光アイソレータの作製試験に使
用したガーネット膜厚は、0.78μm波長用で、挿入損失
0.3dB(中心での値)、ファラデー回転角43.8ないし46.
2deg(但し、中心位置では45deg)、消光比40dB(中心
での値)の(TbBi)3Fe5O12前述した(GdBi)3(FeAlG
a)5O12より温度特性を改善したガーネット厚膜であ
る。第1図は本発明の一実施例を示す光アイソレータの
正面図である。上述のガーネット厚膜を用い、一方の面
には、ガーネット厚膜の育成に用いた同じガーネット基
板1をそのまま取り除かずに取り付けたまま所定の大き
さに加工し、他の一方の面に一定の傾斜を施し、両面に
対空気無反射コートを施したファラデー回転素子2をLD
キャップ本体3の窓材として傾斜面をLDキャップ本体3
の内側にして取り付け、光アイソレータを作製した。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
As an example of the present invention, the garnet film thickness used in the production test of the optical isolator was for 0.78 μm wavelength, and the insertion loss was
0.3dB (value at center), Faraday rotation angle 43.8 to 46.
(TbBi) 3 Fe 5 O 12 with 2 deg (however, 45 deg at the center position) and an extinction ratio of 40 dB (value at the center) (GdBi) 3 (FeAlG
a) A garnet thick film with improved temperature characteristics over 5 O 12 . FIG. 1 is a front view of an optical isolator showing one embodiment of the present invention. Using the above-mentioned garnet thick film, on one surface, the same garnet substrate 1 used for growing the garnet thick film was processed to a predetermined size while being attached without being removed, and a certain amount was fixed on the other surface. The Faraday rotator 2 with a slope and an anti-air reflection coating on both sides is LD.
LD cap body 3 with inclined surface as window material of cap body 3
And an optical isolator was fabricated.
第2図は、第1図に示す光アイソレータを用いた半導
体レーザの正面図である。半導体レーザチップ4とこれ
と所定の接続をした電極5とを設けた台座6に、上述の
ごとく作製した光アイソレータのファラデー回転素子2
の傾斜面を半導体レーザチップ4の面と対向させ、LDキ
ャップ本体3の縁と台座6の縁を接合して光アイソレー
タを組み込み半導体レーザを作製した。この組み込み時
に、ファラデー回転素子2を通り、出射されたレーザ光
と同様な角度の偏波が戻り光として再びファラデー回転
素子2を通った時、このレーザ光の偏波が半導体レーザ
チップ4の光の偏波に対して直交するように、光アイソ
レータを回転や位置移動によって微調整を行った。FIG. 2 is a front view of a semiconductor laser using the optical isolator shown in FIG. A Faraday rotator 2 of an optical isolator manufactured as described above is mounted on a pedestal 6 provided with a semiconductor laser chip 4 and an electrode 5 connected to the semiconductor laser chip 4 in a predetermined manner.
Of the LD cap body 3 and the edge of the pedestal 6 were joined to each other, and an optical isolator was incorporated to produce a semiconductor laser. At the time of this assembling, when the polarized light having the same angle as the emitted laser light passing through the Faraday rotator 2 returns as the return light and passes through the Faraday rotator 2 again, the polarization of the laser light is reflected by the semiconductor laser chip 4. The optical isolator was fine-tuned by rotating and moving it so that it was orthogonal to the polarization.
このようにして出来た半導体レーザデバイスは、発振
光偏波と45degの偏波を持つ反射光(ファラデー回転素
子2を通過する時の偏波と同角度)を強制的に半導体レ
ーザへ光注入しても、出射光に対して1%以下でのモー
ドホッピングは確認出来ず、−140dB/Hz以下の相対雑音
指数(RIN)が安定に得られた。これにより、本発明の
光アイソレータが、デバイス内で効率良く機能している
ことが確認出来た。従って、この光アイソレータを半導
体レーザへ用いることにより、半導体レーザの設定波
長、及びその使用環境による微小変動に応じたファラデ
ー回転素子個々のファラデー回転角を事前に正確に設定
する必要はなくなり、半導体レーザとして組み込む際に
位置の微調整を行えばよく、光アイソレータ自体の生産
性と特性の安定性を大幅に向上せしめると共に、半導体
レーザの良品率を大きく向上せしめ得る。The semiconductor laser device thus produced is forcibly injecting the reflected light having the oscillation light polarization and the polarization of 45 degrees (the same angle as the polarization when passing through the Faraday rotator 2) into the semiconductor laser. However, no mode hopping was observed at 1% or less with respect to the emitted light, and a relative noise figure (RIN) of -140 dB / Hz or less was stably obtained. Thereby, it was confirmed that the optical isolator of the present invention was functioning efficiently in the device. Therefore, by using this optical isolator for a semiconductor laser, it is not necessary to accurately set in advance the Faraday rotation angle of each Faraday rotator according to the set wavelength of the semiconductor laser and the minute fluctuation due to the use environment. Fine adjustment of the position may be performed when the optical isolator is incorporated, and the productivity and the stability of characteristics of the optical isolator itself can be greatly improved, and the yield of the semiconductor laser can be greatly improved.
ハ.発明の効果 〔発明の効果〕 以上に述べたごとく、本発明によれば光アイソレータ
自体の生産性と特性の安定性を大幅に向上すると共に、
この光アイソレータを組み込んだ半導体レーザの良品率
を大幅に向上する光アイソレータを提供することが出来
る。C. Effects of the Invention [Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, the productivity and stability of characteristics of the optical isolator itself are significantly improved,
It is possible to provide an optical isolator that greatly improves the yield of semiconductor lasers incorporating the optical isolator.
第1図は、本発明の一実施例を示す光アイソレータの正
面図。 第2図は、第1図に示す光アイソレータを用いた半導体
レーザの正面図である。 1……基板、2……ファラデー回転素子、3……LDキャ
ップ本体、4……半導体レーザチップ、5……電極、6
……台座。FIG. 1 is a front view of an optical isolator showing one embodiment of the present invention. FIG. 2 is a front view of a semiconductor laser using the optical isolator shown in FIG. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... board | substrate, 2 ... Faraday rotation element, 3 ... LD cap main body, 4 ... semiconductor laser chip, 5 ... electrode, 6
……pedestal.
Claims (1)
ァラデー回転素子とそれを磁気飽和させる磁石を組み込
み、半導体レーザの発振光の偏波に反射戻り光の偏波を
直交させることにより半導体レーザの雑音発生を防止す
る半導体レーザ用の光アイソレータにおいて、ファラデ
ー回転素子が、その中心部の厚さをファラデー回転角45
゜となる厚さとし、かつ一方の端辺に向かって厚さが薄
く他の一方の端辺に向かって厚さが厚くなるように一定
に傾斜した一端面を有するとともに、該傾斜した一端面
を前記封入蓋の内側に向けて該封入蓋に取り付けられて
いることを特徴とする半導体レーザ用の光アイソレー
タ。An Faraday rotator and a magnet for magnetically saturating the Faraday rotator are incorporated in an encapsulation lid for enclosing the semiconductor laser, and the polarization of the reflected return light is made orthogonal to the polarization of the oscillation light of the semiconductor laser. In a semiconductor laser optical isolator that prevents the generation of noise, the Faraday rotation element adjusts the thickness of the central part by a Faraday rotation angle of 45 degrees.
厚, and has one end surface that is constantly inclined so that the thickness is thinner toward one end and the thickness is increased toward the other end, and the inclined one end is An optical isolator for a semiconductor laser, wherein the optical isolator is attached to the sealing lid toward the inside of the sealing lid.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16118689A JP2832842B2 (en) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | Optical isolator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16118689A JP2832842B2 (en) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | Optical isolator |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0325413A JPH0325413A (en) | 1991-02-04 |
JP2832842B2 true JP2832842B2 (en) | 1998-12-09 |
Family
ID=15730226
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16118689A Expired - Fee Related JP2832842B2 (en) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | Optical isolator |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2832842B2 (en) |
-
1989
- 1989-06-23 JP JP16118689A patent/JP2832842B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0325413A (en) | 1991-02-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4756607A (en) | Optical isolator device having two cascaded isolator elements with different light beam rotation angles | |
JP3482824B2 (en) | Surface emitting semiconductor laser and surface emitting semiconductor laser array | |
US3628173A (en) | Laser mode selection and stabilization apparatus employing a birefringement etalon | |
EP0158475B1 (en) | Semiconductor laser apparatus with isolator | |
US5757538A (en) | Optical isolator | |
JPH02136819A (en) | Method for adjusting rotating directional position of optical isolator in optical isolator incorporating type semiconductor laser module | |
JP2832842B2 (en) | Optical isolator | |
JP2550730B2 (en) | Optical waveguide device and manufacturing method thereof | |
JPH027195B2 (en) | ||
JP2003332685A (en) | Surface emission semiconductor laser and surface emission semiconductor laser array | |
JPS58225684A (en) | Semiconductor laser device | |
JP2564689B2 (en) | Method for manufacturing optical isolator | |
US4755026A (en) | Magnetooptic garnet | |
JP2567697B2 (en) | Faraday rotation device | |
WO2023218984A1 (en) | Optical isolator | |
JPS59165481A (en) | Distributed feedback type semiconductor laser | |
JPH031119A (en) | Optical isolator | |
JPS59119315A (en) | Optical isolator | |
JPH036076A (en) | Semiconductor laser device | |
JP2967257B2 (en) | Optical isolator | |
JPH0143873Y2 (en) | ||
JP2508228B2 (en) | Optical module unit | |
JPH02265290A (en) | Cap for semiconductor laser element | |
JPH02139502A (en) | Optical isolator, magneto-optical element and optical integrated circuit, production of magneto-optical element and production of optical integrated circuit | |
CA1118085A (en) | Methods for simultaneous suppression of laser pulsations and continuous monitoring of output power |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |