JP2019165127A - Filter and optical module - Google Patents

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Abstract

To provide a filter capable of easily reducing a size of an optical module.SOLUTION: A filter 52, capable of transmitting first light, includes: first surface 52A; and a second surface 52B allowing the first light incident from the first surface 52A to transmit through the filter 52. The second surface 52B is a paraboloid of revolution. The second surface 52B reflects second light that is different from the first light in at least one of a wavelength and a polarization direction.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、フィルタおよび光モジュールに関するものである。   The present invention relates to a filter and an optical module.

パッケージ内に半導体発光素子を配置した光モジュールが知られている(例えば、特許文献1〜4参照)。このような光モジュールは、表示装置、光ピックアップ装置、光通信装置など、種々の装置の光源として用いられる。   An optical module in which a semiconductor light emitting element is arranged in a package is known (for example, see Patent Documents 1 to 4). Such an optical module is used as a light source of various devices such as a display device, an optical pickup device, and an optical communication device.

特開2009−93101号公報JP 2009-93101 A 特開2007−328895号公報JP 2007-328895 A 特開2007−17925号公報JP 2007-17925 A 特開2007−65600号公報JP 2007-65600 A

半導体発光素子から出射される光は、発散光である。光モジュールにおいて、複数の半導体発光素子から出射される光を合波する場合、一般的にはレンズ等で各半導体発光素子から出射される光をそれぞれ平行光に一旦変換し、変換された複数の平行光をフィルタによって合波する。   The light emitted from the semiconductor light emitting element is divergent light. In an optical module, when light emitted from a plurality of semiconductor light emitting elements is multiplexed, generally, the light emitted from each semiconductor light emitting element is temporarily converted into parallel light by a lens or the like, and a plurality of converted light is emitted. Parallel light is combined by a filter.

昨今、光モジュールの小型化が求められている。光モジュールの小型化を図るためには、光モジュールに含まれる部品の数が少ない方が好ましい。   Recently, miniaturization of optical modules is required. In order to reduce the size of the optical module, it is preferable that the number of components included in the optical module is small.

そこで、光モジュールの小型化を図ることが容易なフィルタを提供することを目的の一つとする。   Therefore, an object is to provide a filter that can easily reduce the size of the optical module.

この発明に従ったフィルタは、第一の光を透過することが可能なフィルタであって、第一の面と、第一の面から入射した第一の光がフィルタを透過して出射することが可能な第二の面と、を備える。第二の面は、回転放物面である。第二の面は、第一の光とは波長および偏光方向の少なくともいずれか一方が異なる第二の光を反射する。   The filter according to the present invention is a filter capable of transmitting the first light, wherein the first surface and the first light incident from the first surface are transmitted through the filter and emitted. A second surface capable of. The second surface is a paraboloid of revolution. The second surface reflects second light that is different from the first light in at least one of wavelength and polarization direction.

上記フィルタによれば、光モジュールの小型化を図ることが容易となる。   According to the filter, it is easy to reduce the size of the optical module.

本願の一実施形態に係る光モジュールの構造を示す外観斜視図である。It is an external appearance perspective view which shows the structure of the optical module which concerns on one Embodiment of this application. 図1に示す光モジュールにおいて、図1に示すキャップを取り外した状態に対応する図である。In the optical module shown in FIG. 1, it is a figure corresponding to the state which removed the cap shown in FIG. 図2に示すキャップを取り外した状態における光モジュールを平面的に見た図である。It is the figure which looked at the optical module in the state which removed the cap shown in FIG. 2 planarly. 図1に示す実施の形態1に係る光モジュールが備える第二フィルタの外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the 2nd filter with which the optical module which concerns on Embodiment 1 shown in FIG. 1 is provided. 図4に示す第二フィルタの断面図である。It is sectional drawing of the 2nd filter shown in FIG. x−y平面における放物線を示す図である。It is a figure which shows the parabola in xy plane. 回転放物面に発散光を照射した場合をx−y平面において示す概略図である。It is the schematic which shows the case where a divergent light is irradiated to a paraboloid in an xy plane. 本願の他の実施形態に係る光モジュールを示す外観斜視図である。It is an external appearance perspective view which shows the optical module which concerns on other embodiment of this application. 本願のさらに他の実施形態に係る光モジュールの構成を示す外観斜視図である。It is an external appearance perspective view which shows the structure of the optical module which concerns on further another embodiment of this application.

[本願発明の実施形態の説明]
最初に本願発明の実施態様を列記して説明する。本願のフィルタは、第一の光を透過することが可能なフィルタであって、第一の面と、第一の面から入射した第一の光がフィルタを透過して出射することが可能な第二の面と、を備える。第二の面は、回転放物面である。第二の面は、第一の光とは波長および偏光方向の少なくともいずれか一方が異なる第二の光を反射する。
[Description of Embodiment of Present Invention]
First, embodiments of the present invention will be listed and described. The filter of the present application is a filter capable of transmitting the first light, and the first surface and the first light incident from the first surface can be transmitted through the filter and emitted. A second surface. The second surface is a paraboloid of revolution. The second surface reflects second light that is different from the first light in at least one of wavelength and polarization direction.

本願のフィルタにおいて、第二の面は回転放物面であるため、焦点の位置に発散光である第二の光の光源を配置すると、反射光は回転放物面の回転中心軸に平行な平行光となる。フィルタは、第一の面から入射した第一の光がフィルタを透過して出射することが可能な第二の面を備えるため、第二の面の回転放物面の回転中心軸と平行な第一の光が第一の面から入射して第二の面から出射すると、第二の面で反射した第二の光の反射光とフィルタを透過して第二の面から出射した第一の光とが合波された平行光が得られる。このように本願のフィルタは発散光を平行光に変換するレンズを兼ねることができる。そのため、レンズを省略して部品数を少なくすることができる。以上より、本願のフィルタによれば、光モジュールの小型化を図ることが容易となる。   In the filter of the present application, since the second surface is a paraboloid of revolution, when the light source of the second light that is divergent light is arranged at the focal position, the reflected light is parallel to the rotation center axis of the paraboloid of revolution. It becomes parallel light. Since the filter includes a second surface that allows the first light incident from the first surface to pass through the filter and be emitted, the filter is parallel to the rotation center axis of the paraboloid of the second surface. When the first light is incident from the first surface and emitted from the second surface, the reflected light of the second light reflected by the second surface and the first light transmitted through the filter and emitted from the second surface The parallel light that is combined with the light is obtained. Thus, the filter of the present application can also serve as a lens that converts divergent light into parallel light. Therefore, the number of parts can be reduced by omitting the lens. As described above, according to the filter of the present application, it is easy to reduce the size of the optical module.

上記フィルタにおいて、第二の面は、第一の光とは波長の異なる第二の光を反射するようにしてもよい。こうすることにより、互いに波長の異なる第一の光と第二の光とを適切に合波することができる。   In the filter, the second surface may reflect second light having a wavelength different from that of the first light. By so doing, it is possible to appropriately multiplex the first light and the second light having different wavelengths.

上記フィルタにおいて、第二の面を含むように誘電体多層膜が形成されていてもよい。こうすることにより、第二の面における光の反射率を向上させることが容易となる。   In the filter, a dielectric multilayer film may be formed so as to include the second surface. By doing so, it becomes easy to improve the reflectance of light on the second surface.

上記フィルタにおいて、第二の面の回転放物面の回転中心軸を含む断面において、第二の面の回転放物面の焦点の座標を(0,f)とした場合に、2f=0.4〜2mmの関係を有してもよい。このような構成は、第一の光および第二の光がレーザダイオードから出射される光である場合に好適である。   In the filter, in the cross section including the rotation center axis of the second paraboloid, when the coordinates of the focal point of the second paraboloid are (0, f), 2f = 0. You may have a relationship of 4-2 mm. Such a configuration is suitable when the first light and the second light are light emitted from the laser diode.

本願の光モジュールは、第一の光を出射する第一出射部を有する第一半導体発光素子と、第二の光を出射する第二出射部を有する第二半導体発光素子と、第一の光を平行光に変換する光学部品と、第一の光と第二の光とを合波するフィルタと、を備える。フィルタは、上記したフィルタである。第二の光は、光学部品により平行光に変換されて第一の面に入射する第一の光とは波長および偏光方向の少なくともいずれか一方が異なる。第二出射部は、第二の面の回転放物面の焦点に配置される。第二の面の回転放物面の回転中心軸と、第一の面に入射する第一の光の光軸とは、平行である。   The optical module of the present application includes a first semiconductor light emitting element having a first emission part that emits first light, a second semiconductor light emitting element having a second emission part that emits second light, and first light. An optical component that converts the light into parallel light, and a filter that combines the first light and the second light. The filter is the above-described filter. The second light is converted into parallel light by the optical component and has at least one of a wavelength and a polarization direction different from the first light incident on the first surface. The second emission part is disposed at the focal point of the paraboloid of the second surface. The rotation center axis of the paraboloid of the second surface and the optical axis of the first light incident on the first surface are parallel.

本願の光モジュールは、第一の光と第二の光とを合波するフィルタとして、上記した本願のフィルタが適用される。そのため、第二の光を平行光に変換するレンズ等の光学部品を省略することができる。したがって、本願の光モジュールによれば、部品数を少なくして、小型化を図ることが容易となる。   In the optical module of the present application, the above-described filter of the present application is applied as a filter that combines the first light and the second light. Therefore, an optical component such as a lens that converts the second light into parallel light can be omitted. Therefore, according to the optical module of the present application, it is easy to reduce the number of components and reduce the size.

上記光モジュールにおいて、光学部品は、レンズであってもよい。こうすることにより、より適切に第一の光を平行光に変換して第一の面に入射することができる。   In the optical module, the optical component may be a lens. By so doing, the first light can be more appropriately converted into parallel light and incident on the first surface.

上記光モジュールにおいて、光学部品は、第一の光を反射する回転放物面である反射面を有し、第一出射部は、反射面の回転放物面の焦点に配置されてもよい。こうすることにより、第一半導体発光素子から出射される拡散光を、反射面によって適切に平行光に変換することができる。   In the above optical module, the optical component may have a reflecting surface that is a rotating paraboloid that reflects the first light, and the first emitting portion may be disposed at a focal point of the rotating paraboloid of the reflecting surface. By doing so, the diffused light emitted from the first semiconductor light emitting element can be appropriately converted into parallel light by the reflecting surface.

上記光モジュールにおいて、光学部品は、上記したフィルタであり、反射面は、第二の面であってもよい。こうすることにより、同様の構成のフィルタを利用して、第一半導体発光素子から出射する第一の光と第二半導体発光素子から出射する第二の光とを合波することができる。したがって、より効率的に光モジュールを製造することができる。   In the optical module, the optical component may be the above-described filter, and the reflection surface may be a second surface. By doing so, it is possible to multiplex the first light emitted from the first semiconductor light emitting element and the second light emitted from the second semiconductor light emitting element using a filter having a similar configuration. Therefore, an optical module can be manufactured more efficiently.

上記光モジュールにおいて、第二の面の回転放物面の焦点は、第二の面において反射した第二の光の光路外に位置してもよい。こうすることにより、第二の光の反射光を第二半導体発光素子が遮るのを回避することができる。   In the optical module, the focal point of the paraboloid of the second surface may be located outside the optical path of the second light reflected on the second surface. By doing so, it is possible to avoid the second semiconductor light emitting element from blocking the reflected light of the second light.

[本願発明の実施形態の詳細]
次に、本願発明の一実施形態に係るフィルタを備えた光モジュールを、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照符号を付しその説明は繰り返さない。
[Details of the embodiment of the present invention]
Next, an optical module including a filter according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and description thereof will not be repeated.

(実施の形態1)
本願に係る光モジュールの一実施の形態である実施の形態1を、図1〜図3を参照しつつ説明する。図1および図2は、本願の一実施形態に係る光モジュールの構造を示す外観斜視図である。図2は、図1に示す光モジュールにおいて、図1に示すキャップを取り外した状態に対応する図である。図3は、図2に示すキャップを取り外した状態における光モジュールを平面的に見た図である。図3は、光モジュールをベース板の板厚方向から見た図である。図3において、後述する第一フィルタ、第二フィルタおよび第三フィルタに備えられる突起部の図示を省略している。
(Embodiment 1)
Embodiment 1 which is one embodiment of the optical module according to the present application will be described with reference to FIGS. 1 and 2 are external perspective views showing the structure of an optical module according to an embodiment of the present application. FIG. 2 is a view corresponding to a state in which the cap shown in FIG. 1 is removed from the optical module shown in FIG. FIG. 3 is a plan view of the optical module with the cap shown in FIG. 2 removed. FIG. 3 is a view of the optical module as seen from the thickness direction of the base plate. In FIG. 3, illustration of protrusions provided in a first filter, a second filter, and a third filter described later is omitted.

図1〜図3を参照して、実施の形態1における光モジュール1Aは、平板状の形状を有する支持板11と、支持板11の一方の主面12A上に配置され、光を形成する光形成ユニットとしての光形成部13と、光形成部13を覆うように支持板11の一方の主面12A上に接触して配置されるキャップ14と、支持板11の他方の主面12B側から一方の主面12A側まで貫通し、一方の主面12A側および他方の主面12B側の両側に突出する複数のリードピン16とを備える。支持板11とキャップ14とは、例えば、溶接されることにより気密状態とされている。すなわち、光形成部13は、支持板11とキャップ14とによりハーメチックシールされている。支持板11とキャップ14とにより取り囲まれる空間には、例えば乾燥空気等の水分が低減(除去)された気体が封入されている。キャップ14には、光形成部13からの光を透過するガラス製のAR(Anti Reflection)コートが施された出射窓15が形成されている。なお、平面的に見て(Z軸方向から見た場合に)、支持板11は、四隅の角が丸められた長方形形状である。キャップ14についても、平面的に見て四隅の角が丸められた長方形形状である。そして、支持板11の面積の方がキャップ14の面積よりも大きく構成されており、キャップ14を支持板11上に接触して配置させた際に、支持板11の外周がキャップ14の外周から鍔状に突出している。   Referring to FIGS. 1 to 3, optical module 1 </ b> A in Embodiment 1 is arranged on a support plate 11 having a flat plate shape and one main surface 12 </ b> A of support plate 11, and forms light. A light forming portion 13 as a forming unit, a cap 14 arranged in contact with one main surface 12A of the support plate 11 so as to cover the light forming portion 13, and the other main surface 12B side of the support plate 11 A plurality of lead pins 16 penetrating to one main surface 12A side and projecting to both sides on one main surface 12A side and the other main surface 12B side are provided. The support plate 11 and the cap 14 are brought into an airtight state by welding, for example. That is, the light forming portion 13 is hermetically sealed by the support plate 11 and the cap 14. A space surrounded by the support plate 11 and the cap 14 is filled with a gas in which moisture is reduced (removed) such as dry air. The cap 14 is formed with an emission window 15 on which a glass AR (Anti Reflection) coat that transmits light from the light forming portion 13 is applied. In addition, when viewed planarly (when viewed from the Z-axis direction), the support plate 11 has a rectangular shape with rounded corners. The cap 14 also has a rectangular shape with rounded corners when viewed in plan. The area of the support plate 11 is larger than the area of the cap 14. When the cap 14 is placed in contact with the support plate 11, the outer periphery of the support plate 11 is separated from the outer periphery of the cap 14. It protrudes like a bowl.

光形成部13は、板状の形状を有するベース板20を含む。ベース板20は、平面的に見て、長方形形状を有する第一の面としての一方の主面21Aを有している。また、ベース板20は、第二の面として一方の主面21Aの板厚方向の反対側に位置する他方の主面21Bを有している。ベース板20の長辺が延びる方向は、支持板11の長辺が延びる方向と同じである(X軸方向)。ベース板20の短辺が延びる方向は、支持板11の短辺が延びる方向と同じである(Y軸方向)。ベース板20は、複数の半導体発光素子を搭載可能な半導体発光素子搭載領域22と、複数のフィルタを搭載可能なフィルタ搭載領域23とを含む。半導体発光素子搭載領域22およびフィルタ搭載領域23はそれぞれ、平面的に見て長方形形状を有する。半導体発光素子搭載領域22の厚みは、フィルタ搭載領域23の厚みと比較して大きくなっている。その結果、半導体発光素子搭載領域22の高さは、フィルタ搭載領域23の高さよりも高くなっている。   The light forming unit 13 includes a base plate 20 having a plate shape. The base plate 20 has one main surface 21A as a first surface having a rectangular shape when seen in a plan view. Moreover, the base plate 20 has the other main surface 21B located in the other side of the plate | board thickness direction of one main surface 21A as a 2nd surface. The direction in which the long side of the base plate 20 extends is the same as the direction in which the long side of the support plate 11 extends (X-axis direction). The direction in which the short side of the base plate 20 extends is the same as the direction in which the short side of the support plate 11 extends (Y-axis direction). The base plate 20 includes a semiconductor light emitting element mounting area 22 on which a plurality of semiconductor light emitting elements can be mounted, and a filter mounting area 23 on which a plurality of filters can be mounted. Each of the semiconductor light emitting element mounting region 22 and the filter mounting region 23 has a rectangular shape when seen in a plan view. The thickness of the semiconductor light emitting element mounting region 22 is larger than the thickness of the filter mounting region 23. As a result, the height of the semiconductor light emitting element mounting region 22 is higher than the height of the filter mounting region 23.

半導体発光素子搭載領域22上には、平板状の第一サブマウント31と、平板状の第二サブマウント32と、平板状の第三サブマウント33とが配置されている。第一サブマウント31上には、第一半導体発光素子としての第一半導体レーザである赤色レーザダイオード41が配置されている。赤色レーザダイオード41は、赤色の光を第一出射部41Aから出射する。第二サブマウント32上には、第二半導体発光素子としての第二半導体レーザである緑色レーザダイオード42が配置されている。緑色レーザダイオード42は、緑色の光を第二出射部42Aから出射する。第三サブマウント33上には、第三半導体発光素子としての第三半導体レーザである青色レーザダイオード43が配置されている。青色レーザダイオード43は、青色の光を第三出射部43Aから出射する。赤色レーザダイオード41から出射される赤色の光と、緑色レーザダイオード42から出射される緑色の光と、青色レーザダイオード43から出射される青色の光とは、出射方向がそれぞれY軸方向であって平行である。第一出射部41A、第二出射部42A、第三出射部43Aは、赤色の光、緑色の光および青色の光の出射方向に垂直な同じ面(XZ平面)に含まれる。なお、半導体発光素子搭載領域22上には、光形成部13の温度を測定するサーミスタ17が搭載されている。サーミスタ17は、第三サブマウント33の横に間隔をあけて取り付けられている。   On the semiconductor light emitting element mounting region 22, a flat first submount 31, a flat second submount 32, and a flat third submount 33 are arranged. On the first submount 31, a red laser diode 41, which is a first semiconductor laser as a first semiconductor light emitting element, is disposed. The red laser diode 41 emits red light from the first emitting portion 41A. On the second submount 32, a green laser diode 42 as a second semiconductor laser as a second semiconductor light emitting element is disposed. The green laser diode 42 emits green light from the second emitting portion 42A. On the third submount 33, a blue laser diode 43 which is a third semiconductor laser as a third semiconductor light emitting element is disposed. The blue laser diode 43 emits blue light from the third emitting portion 43A. The red light emitted from the red laser diode 41, the green light emitted from the green laser diode 42, and the blue light emitted from the blue laser diode 43 each have an emission direction in the Y-axis direction. Parallel. The first emission part 41A, the second emission part 42A, and the third emission part 43A are included in the same plane (XZ plane) perpendicular to the emission direction of red light, green light, and blue light. A thermistor 17 that measures the temperature of the light forming unit 13 is mounted on the semiconductor light emitting element mounting region 22. The thermistor 17 is attached to the side of the third submount 33 with an interval.

フィルタ搭載領域23には、第一フィルタ51、第二フィルタ52および第三フィルタ53が配置されている。第一フィルタ51、第二フィルタ52および第三フィルタ53はそれぞれ、例えば紫外線硬化接着剤によってフィルタ搭載領域23に固定される。第一フィルタ51、第二フィルタ52および第三フィルタ53は、X軸方向に間隔をあけて配置される。第一フィルタ51は、赤色の光を反射する。第二フィルタ52は、赤色の光を透過することが可能であり、緑色の光を反射する。第三フィルタ53は、赤色の光および緑色の光を透過することが可能であり、青色の光を反射する。第二フィルタ52等の具体的な構成については、後に詳述する。   In the filter mounting area 23, a first filter 51, a second filter 52, and a third filter 53 are arranged. The first filter 51, the second filter 52, and the third filter 53 are each fixed to the filter mounting region 23 by, for example, an ultraviolet curable adhesive. The 1st filter 51, the 2nd filter 52, and the 3rd filter 53 are arrange | positioned at intervals in the X-axis direction. The first filter 51 reflects red light. The second filter 52 can transmit red light and reflects green light. The third filter 53 can transmit red light and green light, and reflects blue light. A specific configuration of the second filter 52 and the like will be described in detail later.

光モジュール1Aは、電子冷却モジュール(以下、TEC(Thermo−Electric Cooler)と称する場合もある。)70を含む。TEC70は、ベース板20の一部と支持板11との間に配置される。TEC70は、いわゆる熱電クーラー、あるいはペルチェモジュール(ペルチェ素子)であり、吸熱板71と、放熱板72と、電極を挟んで吸熱板71と放熱板72との間にそれぞれ間隔をあけて並べて配置される複数の柱状の半導体柱73とを含む。吸熱板71は、ベース板20の他方の主面21Bに接触して配置される。放熱板72は、支持板11の一方の主面12Aの一部に接触して配置される。TEC70に電流を供給して電流を流すことにより、吸熱板71に接触するベース板20の熱が支持板11側へと移動し、ベース板20が冷却される。その結果、赤色レーザダイオード41、緑色レーザダイオード42および青色レーザダイオード43の温度上昇を抑制することができる。すなわち、このTEC70を設けることにより、赤色レーザダイオード41、緑色レーザダイオード42および青色レーザダイオード43の温度を効率的に調整することができる。   The optical module 1 </ b> A includes an electronic cooling module (hereinafter also referred to as TEC (Thermo-Electric Cooler)) 70. The TEC 70 is disposed between a part of the base plate 20 and the support plate 11. The TEC 70 is a so-called thermoelectric cooler or Peltier module (Peltier element), and is arranged side by side with a space between the heat absorbing plate 71, the heat radiating plate 72, and the heat absorbing plate 71 and the heat radiating plate 72 with electrodes interposed therebetween. And a plurality of columnar semiconductor pillars 73. The heat absorbing plate 71 is disposed in contact with the other main surface 21 </ b> B of the base plate 20. The heat radiating plate 72 is disposed in contact with a part of one main surface 12A of the support plate 11. By supplying a current to the TEC 70 and causing the current to flow, the heat of the base plate 20 in contact with the heat absorbing plate 71 moves to the support plate 11 side, and the base plate 20 is cooled. As a result, the temperature rise of the red laser diode 41, the green laser diode 42, and the blue laser diode 43 can be suppressed. That is, by providing the TEC 70, the temperatures of the red laser diode 41, the green laser diode 42, and the blue laser diode 43 can be adjusted efficiently.

次に、第二フィルタ52の構成について説明する。図4は、図1に示す実施の形態1に係る光モジュール1Aが備える第二フィルタ52の外観斜視図である。図5は、図4に示す第二フィルタ52の断面図である。図5は、図4中のV−Vで切断した場合の断面である。   Next, the configuration of the second filter 52 will be described. FIG. 4 is an external perspective view of the second filter 52 provided in the optical module 1A according to Embodiment 1 shown in FIG. FIG. 5 is a cross-sectional view of the second filter 52 shown in FIG. FIG. 5 is a cross section taken along the line V-V in FIG.

図4および図5を参照して、本願の実施の形態1に係る光モジュール1Aが備える第二フィルタ52は、板状の形状を有する。第二フィルタ52は、矢印Rで示す方向から見た場合に、後述する突起部54を除いて矩形状である。第二フィルタ52は、第一の面52Aおよび第二の面52Bを備える。第一の面52Aと第二の面52Bとは、それぞれ矢印Rで示す方向に間隔をあけて配置される。第一の面52Aは、平面である。矢印Rで示す方向は、第二フィルタ52の第一の面52Aに垂直な方向である。   4 and 5, the second filter 52 provided in the optical module 1 </ b> A according to Embodiment 1 of the present application has a plate shape. When viewed from the direction indicated by the arrow R, the second filter 52 has a rectangular shape except for a protrusion 54 described later. The second filter 52 includes a first surface 52A and a second surface 52B. The first surface 52A and the second surface 52B are arranged with an interval in the direction indicated by the arrow R, respectively. The first surface 52A is a flat surface. The direction indicated by the arrow R is a direction perpendicular to the first surface 52A of the second filter 52.

第二フィルタ52は、突起部54を備える。突起部54は、例えば、第二フィルタ52をベース板20の一方の主面21A上に取り付ける際に利用される。突起部54は、第二フィルタ52のうち、第一の面52Aおよび第二の面52Bの双方と交差する面55Aに形成される。面55Aは、第一の面52Aと直交する。第二フィルタ52は、面55Bとベース板20の一方の主面21Aとが対向するようにしてベース板20の一方の主面21A上に搭載される。   The second filter 52 includes a protrusion 54. The protrusion 54 is used, for example, when the second filter 52 is attached on one main surface 21A of the base plate 20. The protrusion 54 is formed on a surface 55A of the second filter 52 that intersects both the first surface 52A and the second surface 52B. The surface 55A is orthogonal to the first surface 52A. The second filter 52 is mounted on one main surface 21A of the base plate 20 so that the surface 55B and one main surface 21A of the base plate 20 face each other.

第二フィルタ52は、第一の光である赤色の光を透過する材質からなる。第二フィルタ52は、赤色の光を透過することが可能である。第二フィルタ52は、波長選択性フィルタである。第一の面52Aから入射した赤色の光は、第二フィルタ52を透過して第二の面52Bから出射することが可能である。この時の赤色の光の入射方向は、例えば、後述する赤色の光の反射光の光軸51Dを示す直線56が延びる方向である。図5において、直線56は、二点鎖線で図示している。すなわち、第一の面52Aに赤色の光が入射した場合、第二フィルタ52内を透過して第二の面52Bから赤色の光が出射する。   The second filter 52 is made of a material that transmits red light, which is the first light. The second filter 52 can transmit red light. The second filter 52 is a wavelength selective filter. The red light incident from the first surface 52A can pass through the second filter 52 and be emitted from the second surface 52B. The incident direction of the red light at this time is, for example, a direction in which a straight line 56 indicating an optical axis 51D of the reflected light of red light described later extends. In FIG. 5, the straight line 56 is illustrated by a two-dot chain line. That is, when red light is incident on the first surface 52A, the red light is transmitted through the second filter 52 and emitted from the second surface 52B.

第二の面52Bは、回転放物面である。第二の面52Bは、第一の光である赤色の光とは波長の異なる第二の光である緑色の光を反射する。こうすることにより、互いに波長の異なる第一の光と第二の光とを後述するように適切に合波することができる。第二の面52Bを含むように誘電体多層膜55が形成されている。こうすることにより、第二の面52Bにおける光の反射率を向上させることが容易となる。図5に示す断面において、第一の面52Aに交差する直線56は、第二の面52Bにも交差する。   The second surface 52B is a paraboloid of revolution. The second surface 52B reflects green light that is second light having a wavelength different from that of red light that is first light. By doing so, the first light and the second light having different wavelengths can be appropriately combined as will be described later. Dielectric multilayer film 55 is formed so as to include second surface 52B. By doing so, it becomes easy to improve the reflectance of light on the second surface 52B. In the cross section shown in FIG. 5, the straight line 56 that intersects the first surface 52A also intersects the second surface 52B.

第二の面52Bの構成について、さらに説明する。図6は、x−y平面における放物線を示す図である。図6に示される放物線61は、y=(x/2f)の式によって表される。この時、準線62は、y=−fによって表され、焦点63の座標位置は、(0,f)によって表される。y軸を中心に放物線61を一回転させた時に得られる曲面が、回転放物面である。第二の面52Bは、この回転放物面の一部から構成されている。図6に示す放物線61の形状の一部が、図5に示す第二フィルタ52の断面に表れる第二の面52Bを構成する。 The configuration of the second surface 52B will be further described. FIG. 6 is a diagram showing a parabola in the xy plane. The parabola 61 shown in FIG. 6 is represented by the equation y = (x / 2f) 2 . At this time, the quasi-line 62 is represented by y = −f, and the coordinate position of the focal point 63 is represented by (0, f). A curved surface obtained when the parabola 61 is rotated once around the y-axis is a rotational paraboloid. The second surface 52B is composed of a part of this paraboloid. A part of the shape of the parabola 61 shown in FIG. 6 constitutes the second surface 52B appearing in the cross section of the second filter 52 shown in FIG.

図7は、回転放物面に発散光を照射した場合をx−y平面において示す概略図である。図7を参照して、焦点63から第二の面52Bに対応する回転放物面64に向かって出射される発散光65は、回転放物面64で反射し、平行光66となる。平行光66は、Y軸に平行である。図7において、発散光65および平行光66は、破線で示されている。   FIG. 7 is a schematic diagram showing the case where the rotating paraboloid is irradiated with divergent light in the xy plane. Referring to FIG. 7, divergent light 65 emitted from focal point 63 toward rotating paraboloid 64 corresponding to second surface 52 </ b> B is reflected by rotating paraboloid 64 and becomes parallel light 66. The parallel light 66 is parallel to the Y axis. In FIG. 7, the diverging light 65 and the parallel light 66 are indicated by broken lines.

再び図1〜図5に戻って、第二フィルタ52は、第二の面52Bの回転放物面の焦点の位置に緑色レーザダイオード42の第二出射部42Aが位置するようフィルタ搭載領域23上に配置される(特に図3参照)。すなわち、緑色レーザダイオード42の第二出射部42Aは、第二の面52Bの回転放物面の焦点に位置する。本実施の形態では、第二出射部42Aが位置する第二の面52Bの回転放物面の焦点は、第二の面52Bにおいて反射した緑色の光の光路外に位置する。第二の面52Bの回転放物面の回転中心軸52Cは、X軸方向に延びている。   1 to 5 again, the second filter 52 is placed on the filter mounting region 23 so that the second emission part 42A of the green laser diode 42 is positioned at the focal point of the rotary paraboloid of the second surface 52B. (See FIG. 3 in particular). That is, the second emitting portion 42A of the green laser diode 42 is located at the focal point of the rotary paraboloid of the second surface 52B. In the present embodiment, the focal point of the paraboloid of the second surface 52B where the second emission part 42A is located is located outside the optical path of the green light reflected on the second surface 52B. The rotation center axis 52C of the paraboloid of the second surface 52B extends in the X-axis direction.

第一フィルタ51は、第一の面51Aおよび第二の面51Bを備える。第一フィルタ51は、第二フィルタ52と基本的に同じであり、透過する光の波長および反射する光の波長が第二フィルタ52とは異なる。具体的には、第一フィルタ51は、赤色の光を反射する。赤色の光を反射する反射面が、回転放物面である第二の面51Bである。第一フィルタ51は、本実施形態においては、赤色レーザダイオード41から出射される赤色の光を平行光に変換する光学部品である。第三フィルタ53は、第一の面53Aおよび第二の面53Bを備える。第三フィルタ53は、第二フィルタ52と基本的に同じであり、透過する光の波長および反射する光の波長が第二フィルタ52とは異なる。具体的には、第三フィルタ53は、赤色の光および緑色の光を透過することが可能であり、青色の光を反射する。青色の光を反射する反射面が、回転放物面である第二の面53Bである。   The first filter 51 includes a first surface 51A and a second surface 51B. The first filter 51 is basically the same as the second filter 52, and the wavelength of transmitted light and the wavelength of reflected light are different from those of the second filter 52. Specifically, the first filter 51 reflects red light. The reflecting surface that reflects the red light is the second surface 51B that is a paraboloid of revolution. In the present embodiment, the first filter 51 is an optical component that converts red light emitted from the red laser diode 41 into parallel light. The third filter 53 includes a first surface 53A and a second surface 53B. The third filter 53 is basically the same as the second filter 52, and the wavelength of transmitted light and the wavelength of reflected light are different from those of the second filter 52. Specifically, the third filter 53 can transmit red light and green light, and reflects blue light. The reflecting surface that reflects blue light is the second surface 53B that is a paraboloid of revolution.

第一フィルタ51は、第二の面51Bの回転放物面の焦点の位置に赤色レーザダイオード41の第一出射部41Aが位置するようにフィルタ搭載領域23上に配置される。本実施の形態では、第二の面51Bの回転放物面の焦点は、第二の面51Bにおいて反射した赤色の光の光路外に位置している。第一フィルタ51の第二の面51Bの回転放物面の回転中心軸51Cは、第二フィルタ52の第二の面52Bの回転放物面の回転中心軸52Cと一致する。第三フィルタ53は、第二の面53Bの回転放物面の焦点の位置に青色レーザダイオード43の第三出射部43Aが位置するようにフィルタ搭載領域23上に配置される。本実施の形態では、第二の面53Bの回転放物面の焦点は、第二の面53Bにおいて反射した青色の光の光路外に位置している。第三フィルタ53の第二の面53Bの回転放物面の回転中心軸53Cは、第二フィルタ52の第二の面52Bの回転放物面の回転中心軸52Cと一致する。   The first filter 51 is disposed on the filter mounting region 23 so that the first emission part 41A of the red laser diode 41 is positioned at the focal point of the paraboloid of the second surface 51B. In the present embodiment, the focal point of the paraboloid of the second surface 51B is located outside the optical path of the red light reflected on the second surface 51B. The rotation center axis 51C of the rotation paraboloid of the second surface 51B of the first filter 51 coincides with the rotation center axis 52C of the rotation paraboloid of the second surface 52B of the second filter 52. The third filter 53 is disposed on the filter mounting region 23 so that the third emitting portion 43A of the blue laser diode 43 is positioned at the focal point of the paraboloid of the second surface 53B. In the present embodiment, the focal point of the paraboloid of the second surface 53B is located outside the optical path of the blue light reflected on the second surface 53B. The rotation center axis 53C of the rotation paraboloid of the second surface 53B of the third filter 53 coincides with the rotation center axis 52C of the rotation paraboloid of the second surface 52B of the second filter 52.

光モジュール1Aの動作について説明する。特に図3を参照して、赤色レーザダイオード41の第一出射部41Aから出射された赤色の光は、光路Lに沿って進行し、第一フィルタ51の第二の面51Bに入射する。赤色レーザダイオード41から出射される光は、発散光である。第一フィルタ51の第二の面51Bは、赤色の光を反射する。赤色レーザダイオード41から出射された光は、第二の面51Bによって反射され、光路Lに沿って進行する。第二の面51Bは回転放物面であるため、第二の面51Bに入射した発散光は、ここで平行光に変換される。赤色の光の反射光の光軸51Dは、回転中心軸51Cと平行である。すなわち、赤色の光の反射光は第二の面51Bの回転放物面の回転中心軸51Cに平行な平行光となる。光軸51Dは、図3において二点鎖線で示している。 The operation of the optical module 1A will be described. With particular reference to FIG. 3, the red light emitted from the first emitting section 41A of the red laser diode 41, along the optical path L 1 proceeds, it is incident on the second surface 51B of the first filter 51. The light emitted from the red laser diode 41 is divergent light. The second surface 51B of the first filter 51 reflects red light. Light emitted from the red laser diode 41 is reflected by the second surface 51B, it travels along the optical path L 2. Since the second surface 51B is a paraboloidal surface, the diverging light incident on the second surface 51B is converted into parallel light here. The optical axis 51D of the reflected light of the red light is parallel to the rotation center axis 51C. That is, the reflected light of the red light becomes parallel light parallel to the rotation center axis 51C of the paraboloid of the second surface 51B. The optical axis 51D is indicated by a two-dot chain line in FIG.

光路Lに沿って進行する赤色の光の反射光は、第二フィルタ52の第一の面52Aに入射する。第二フィルタ52は、赤色の光を透過することが可能であり、第一の面52Aから入射した赤色の光の反射光は、第二フィルタ52を通過して第二の面52Bから出射する。第二の面52Bから出射した赤色の光の反射光は光路Lに沿ってさらに進行し、第三フィルタ53の第一の面53Aに入射する。第三フィルタ53は、赤色の光を透過することが可能であり、第一の面53Aから入射した赤色の光の反射光は、第三フィルタ53を通過して第二の面53Bから出射する。第二の面53Bから出射した赤色の光の反射光は光路Lに沿ってさらに進行し、キャップ14に設けられた出射窓15(図1参照)から出射する。 The reflected light of the red light traveling along the optical path L < b > 2 enters the first surface 52 </ b > A of the second filter 52. The second filter 52 can transmit red light, and the reflected light of the red light incident from the first surface 52A passes through the second filter 52 and is emitted from the second surface 52B. . The reflected light of the second red emitted from the surface 52B of the light further proceeds along the optical path L 3, incident on the first surface 53A of the third filter 53. The third filter 53 can transmit red light, and the reflected light of red light incident from the first surface 53A passes through the third filter 53 and is emitted from the second surface 53B. . The reflected light of the second red emitted from the surface 53B of the light further proceeds along the optical path L 4, emitted from the emission window 15 provided on the cap 14 (see FIG. 1).

緑色レーザダイオード42の第二出射部42Aから出射された緑色の光は、光路Lに沿って進行し、第二フィルタ52の第二の面52Bに入射する。緑色レーザダイオード42から出射される光は、発散光である。第二フィルタ52の第二の面52Bは、緑色の光を反射する。緑色レーザダイオード42から出射された光は、第二の面52Bによって反射され、光路Lに合流する。第二の面52Bは回転放物面であるため、第二の面52Bに入射した発散光は、ここで平行光に変換される。緑色の光の反射光の光軸52Dは、回転中心軸52Cと平行である。すなわち、緑色の光の反射光は第二の面52Bの回転放物面の回転中心軸52Cに平行な平行光となる。また、緑色の光の反射光の光軸52Dは、赤色の光の反射光の光軸51Dと一致する。 Green light emitted from the second emitting section 42A of the green laser diode 42, along the optical path L 5 proceeds, is incident on the second surface 52B of the second filter 52. The light emitted from the green laser diode 42 is divergent light. The second surface 52B of the second filter 52 reflects green light. Light emitted from the green laser diode 42 is reflected by the second surface 52B, which joins the optical path L 3. Since the second surface 52B is a paraboloid of revolution, the diverging light that has entered the second surface 52B is converted into parallel light here. The optical axis 52D of the reflected light of the green light is parallel to the rotation center axis 52C. That is, the reflected light of green light becomes parallel light parallel to the rotation center axis 52C of the paraboloid of the second surface 52B. The optical axis 52D of the green reflected light coincides with the optical axis 51D of the red reflected light.

第二フィルタ52において、第二の面52Bは回転放物面であり、焦点の位置に第二出射部42Aを配置しているため、反射光は第二の面52Bの回転放物面の回転中心軸52Cに平行な平行光となる。第二の面52Bの回転放物面の回転中心軸52Cと平行な赤色の光の反射光が第一の面52Aから入射して第二の面52Bから出射すると、第二の面52Bで反射した緑色の光の反射光と第二フィルタ52を透過して第二の面52Bから出射した赤色の光の反射光とが合波された平行光が得られる。このようにして、緑色の光の反射光は、赤色の光の反射光と合波される。   In the second filter 52, the second surface 52B is a paraboloid of revolution, and the second emitting portion 42A is disposed at the focal point, so that the reflected light is rotated by the paraboloid of the second surface 52B. The parallel light is parallel to the central axis 52C. When reflected light of red light parallel to the rotation center axis 52C of the paraboloid of the second surface 52B is incident from the first surface 52A and emitted from the second surface 52B, it is reflected by the second surface 52B. The parallel light obtained by combining the reflected light of the green light and the reflected light of the red light transmitted through the second filter 52 and emitted from the second surface 52B is obtained. In this way, the reflected light of the green light is combined with the reflected light of the red light.

第二の面52Bから出射した緑色の光と赤色の光とが合波された光は光路Lに沿ってさらに進行し、第三フィルタ53の第一の面53Aに入射する。第三フィルタ53は、緑色の光および赤色の光を透過することが可能であり、第一の面53Aから入射した緑色の光と赤色の光とが合波された光は、第三フィルタ53を通過して第二の面53Bから出射する。第二の面53Bから出射した緑色の光と赤色の光とが合波された光は光路Lに沿ってさらに進行し、キャップ14に設けられた出射窓15から出射される。 Light green light and red light emitted from the second surface 52B is combined further proceeds along the optical path L 3, incident on the first surface 53A of the third filter 53. The third filter 53 can transmit green light and red light, and the light obtained by combining the green light and the red light incident from the first surface 53A is the third filter 53. And exits from the second surface 53B. Light green light and red light emitted from the second surface 53B is combined further proceeds along the optical path L 4, emitted from the emission window 15 provided in the cap 14.

青色レーザダイオード43の第三出射部43Aから出射された青色の光は、光路Lに沿って進行し、第三フィルタ53の第二の面53Bに入射する。青色レーザダイオード43から出射される光は、発散光である。第三フィルタ53の第二の面53Bは、青色の光を反射する。青色レーザダイオード43から出射された光は、第二の面53Bによって反射され、光路Lに合流する。第二の面53Bは回転放物面であるため、第二の面53Bに入射した発散光は、ここで平行光に変換される。青色の光の反射光の光軸53Dは、回転中心軸53Cと平行である。すなわち、青色の光の反射光は第二の面53Bの回転放物面の回転中心軸53Cに平行な平行光となる。また、青色の光の反射光の光軸53Dは、赤色の光の反射光の光軸51Dおよび緑色の光の反射光の光軸52Dの双方と一致する。 Blue light emitted from the third emitting section 43A of the blue laser diode 43, along the optical path L 6 proceeds, is incident on the second surface 53B of the third filter 53. The light emitted from the blue laser diode 43 is divergent light. The second surface 53B of the third filter 53 reflects blue light. Light emitted from the blue laser diode 43 is reflected by the second surface 53B, which joins the optical path L 4. Since the second surface 53B is a paraboloidal surface, the divergent light incident on the second surface 53B is converted into parallel light here. The optical axis 53D of the reflected light of the blue light is parallel to the rotation center axis 53C. That is, the reflected light of the blue light becomes parallel light parallel to the rotation center axis 53C of the paraboloid of the second surface 53B. The optical axis 53D of the reflected light of the blue light coincides with both the optical axis 51D of the reflected light of the red light and the optical axis 52D of the reflected light of the green light.

第三フィルタ53において、第二の面53Bは回転放物面であり、焦点の位置に第三出射部43Aを配置しているため、反射光は第二の面53Bの回転放物面の回転中心軸53Cに平行な平行光となる。第二の面53Bの回転放物面の回転中心軸53Cと平行な赤色の光の反射光および緑色の光の反射光が第一の面53Aから入射して第二の面53Bから出射すると、第二の面53Bで反射した青色の光の反射光と第三フィルタ53を透過して第二の面53Bから出射した赤色の光の反射光および緑色の光の反射光とが合波された平行光が得られる。このようにして、青色の光の反射光は、赤色の光の反射光および緑色の光の反射光の双方と合波される。第二の面53Bから出射した青色の光の反射光は光路Lに沿ってさらに進行し、キャップ14に設けられた出射窓15から出射される。 In the third filter 53, the second surface 53B is a paraboloid of revolution, and the third emitting portion 43A is disposed at the focal point, so that the reflected light rotates on the paraboloid of the second surface 53B. The parallel light is parallel to the central axis 53C. When reflected light of red light and reflected light of green light parallel to the rotation center axis 53C of the paraboloid of the second surface 53B are incident from the first surface 53A and emitted from the second surface 53B, The reflected light of the blue light reflected by the second surface 53B and the reflected light of the red light and the reflected light of the green light that are transmitted through the third filter 53 and emitted from the second surface 53B are combined. Parallel light is obtained. In this way, the reflected light of the blue light is combined with both the reflected light of the red light and the reflected light of the green light. The reflected light of the second blue emitted from the surface 53B of the light further proceeds along the optical path L 4, emitted from the emission window 15 provided on the cap 14.

実施の形態1の光モジュール1Aは、赤色の光と緑色の光とを合波するフィルタとして、上記した第二フィルタ52が適用される。第二フィルタ52により、赤色の光と緑色の光とを適切に合波することができる。第二フィルタ52を適用することにより、緑色の光を平行光に変換するレンズ等の光学部品を省略することができる。光モジュール1Aは、赤色の光と緑色の光とを合波した光と青色の光とを合波するフィルタとして、上記した第三フィルタ53が適用される。第三フィルタ53により、赤色の光と緑色の光とを合波した光と青色の光とを適切に合波することができる。第三フィルタ53を適用することにより、青色の光を平行光に変換するレンズ等の光学部品を省略することができる。したがって、実施の形態1の光モジュール1Aによれば、部品数を少なくして、小型化を図ることが容易となる。   In the optical module 1A of the first embodiment, the above-described second filter 52 is applied as a filter that multiplexes red light and green light. The second filter 52 can appropriately combine the red light and the green light. By applying the second filter 52, an optical component such as a lens that converts green light into parallel light can be omitted. In the optical module 1 </ b> A, the above-described third filter 53 is applied as a filter that combines light that combines red light and green light and blue light. The third filter 53 can appropriately combine the light obtained by combining the red light and the green light and the blue light. By applying the third filter 53, an optical component such as a lens that converts blue light into parallel light can be omitted. Therefore, according to the optical module 1A of the first embodiment, it is easy to reduce the number of components and reduce the size.

この実施形態においては、光モジュール1Aが備える第一フィルタ51により赤色の光を平行光に変換する。すなわち、光モジュール1Aが備える第一フィルタ51は、赤色の光を反射する回転放物面である反射面を有する。第一出射部41Aは、第二の面51Bである反射面の回転放物面の焦点に配置されている。したがって、赤色レーザダイオード41から出射される拡散光を、反射面によって適切に平行光に変換することができる。この実施形態においては、赤色の光を平行光に変換するレンズを省略することができる。   In this embodiment, red light is converted into parallel light by the first filter 51 provided in the optical module 1A. That is, the first filter 51 provided in the optical module 1A has a reflection surface that is a rotating paraboloid that reflects red light. 41 A of 1st output parts are arrange | positioned at the focus of the rotating paraboloid of the reflective surface which is the 2nd surface 51B. Therefore, the diffused light emitted from the red laser diode 41 can be appropriately converted into parallel light by the reflecting surface. In this embodiment, a lens that converts red light into parallel light can be omitted.

この実施形態においては、赤色の光を平行光に変換する光学部品は、第一フィルタ51であり、反射面は、第二の面51Bである。したがって、第二フィルタ52と同様の構成、具体的には、透過する光の波長および反射する光の波長が第二フィルタ52とは異なり、他は同じ構成である第一フィルタ51を利用して、赤色レーザダイオード41から出射する赤色の光と緑色レーザダイオード42から出射する緑色の光とを合波することができる。したがって、より効率的に光モジュール1Aを製造することができる。   In this embodiment, the optical component that converts red light into parallel light is the first filter 51, and the reflecting surface is the second surface 51B. Therefore, the same configuration as that of the second filter 52, specifically, the wavelength of the transmitted light and the wavelength of the reflected light are different from those of the second filter 52, and the other uses the first filter 51 having the same configuration. The red light emitted from the red laser diode 41 and the green light emitted from the green laser diode 42 can be combined. Therefore, the optical module 1A can be manufactured more efficiently.

この実施形態においては、第二の面51Bの回転放物面の焦点は、第二の面51Bにおいて反射した赤色の光の光路外に位置しているため、赤色の光の反射光を赤色レーザダイオード41が遮るのを回避することができる。第二の面52Bの回転放物面の焦点は、第二の面52Bにおいて反射した緑色の光の光路外に位置しているため、緑色の光の反射光を緑色レーザダイオード42が遮るのを回避することができる。第二の面53Bの回転放物面の焦点は、第二の面53Bにおいて反射した青色の光の光路外に位置しているため、青色の光の反射光を青色レーザダイオード43が遮るのを回避することができる。   In this embodiment, since the focal point of the paraboloid of the second surface 51B is located outside the optical path of the red light reflected by the second surface 51B, the reflected light of the red light is converted into the red laser. It can be avoided that the diode 41 is blocked. Since the focal point of the paraboloid of the second surface 52B is located outside the optical path of the green light reflected by the second surface 52B, the green laser diode 42 blocks the reflected light of the green light. It can be avoided. Since the focal point of the paraboloid of the second surface 53B is located outside the optical path of the blue light reflected on the second surface 53B, the blue laser diode 43 blocks the reflected light of the blue light. It can be avoided.

(実施の形態2)
図8は、本願の他の実施形態に係る光モジュールを示す外観斜視図である。図8を参照して、本願の実施の形態2に係る光モジュール1Bは、いわゆるCANパッケージタイプであって、円盤の形状を有する支持基体101と、支持基体101の一方の主面102上に配置され、光を形成する発光ユニットとしての光形成部103と、複数のリードピン104とを備えている。図8において、光モジュール1Bに備えられ、光形成部103を覆うキャップの図示を省略している。
(Embodiment 2)
FIG. 8 is an external perspective view showing an optical module according to another embodiment of the present application. Referring to FIG. 8, the optical module 1B according to the second embodiment of the present application is a so-called CAN package type, and is disposed on a support base 101 having a disk shape and one main surface 102 of the support base 101. The light forming unit 103 as a light emitting unit for forming light and a plurality of lead pins 104 are provided. In FIG. 8, the illustration of a cap that is provided in the optical module 1 </ b> B and covers the light forming unit 103 is omitted.

光形成部103は、半円柱状の形状を有するベース部材であるベースブロック105を含む。ベースブロック105は、半円形状を有する底面において、支持基体101の一方の主面102に固定されている。   The light forming unit 103 includes a base block 105 that is a base member having a semi-cylindrical shape. The base block 105 is fixed to one main surface 102 of the support base 101 at the bottom surface having a semicircular shape.

光モジュール1Bは、赤色レーザダイオード41と、緑色レーザダイオード42と、青色レーザダイオード43と、第一フィルタ51と、第二フィルタ52と、第三フィルタ53とを備える。ベースブロック105の搭載面106上に、第一サブマウント31、第二サブマウント32および第三サブマウント33が搭載されている。第一サブマウント31上に赤色レーザダイオード41が配置される。第二サブマウント32上に緑色レーザダイオード42が配置される。第三サブマウント33上に青色レーザダイオード43が配置される。ベースブロック105の搭載面106上に、第一フィルタ51、第二フィルタ52および第三フィルタ53が搭載されている。   The optical module 1B includes a red laser diode 41, a green laser diode 42, a blue laser diode 43, a first filter 51, a second filter 52, and a third filter 53. On the mounting surface 106 of the base block 105, the first submount 31, the second submount 32, and the third submount 33 are mounted. A red laser diode 41 is disposed on the first submount 31. A green laser diode 42 is disposed on the second submount 32. A blue laser diode 43 is disposed on the third submount 33. On the mounting surface 106 of the base block 105, the first filter 51, the second filter 52, and the third filter 53 are mounted.

第一フィルタ51、第二フィルタ52および第三フィルタ53の構成は、実施の形態1に示す場合と同様である。第一フィルタ51、第二フィルタ52および第三フィルタ53と他の光学部品との配置関係についても、実施の形態1に示す場合と同様である。このような構成の光モジュール1Bについても、赤色レーザダイオード41から出射される光を平行光に変換するレンズ、緑色レーザダイオード42から出射される光を平行光に変換するレンズおよび青色レーザダイオード43から出射される光を平行光に変換するレンズを省略することができる。したがって、このような光モジュール1Bは、小型化を図ることが容易となる。   The configurations of the first filter 51, the second filter 52, and the third filter 53 are the same as those shown in the first embodiment. The arrangement relationship between the first filter 51, the second filter 52 and the third filter 53 and other optical components is also the same as in the case shown in the first embodiment. The optical module 1B having such a configuration also includes a lens that converts light emitted from the red laser diode 41 into parallel light, a lens that converts light emitted from the green laser diode 42 into parallel light, and the blue laser diode 43. A lens that converts emitted light into parallel light can be omitted. Therefore, such an optical module 1B can be easily reduced in size.

(実施の形態3)
図9は、本願のさらに他の実施形態に係る光モジュールの構成を示す外観斜視図である。図9を参照して、本願の実施の形態3に係る光モジュール1Cは、ベース板120と、第一のレーザダイオード121と、第二のレーザダイオード122と、第三のレーザダイオード123と、コリメートレンズ124と、第二フィルタ52と、第三フィルタ53と、TEC130とを備える。TEC130は、吸熱板131と、放熱板132と、複数の半導体柱133とを含む。第一のレーザダイオード121は、赤色の光を照射する。第二のレーザダイオード122は、緑色の光を照射する。第三のレーザダイオード123は、青色の光を照射する。
(Embodiment 3)
FIG. 9 is an external perspective view showing a configuration of an optical module according to still another embodiment of the present application. Referring to FIG. 9, an optical module 1C according to Embodiment 3 of the present application includes a base plate 120, a first laser diode 121, a second laser diode 122, a third laser diode 123, and a collimator. A lens 124, a second filter 52, a third filter 53, and a TEC 130 are provided. The TEC 130 includes a heat absorbing plate 131, a heat radiating plate 132, and a plurality of semiconductor pillars 133. The first laser diode 121 emits red light. The second laser diode 122 emits green light. The third laser diode 123 emits blue light.

ベース板120は、平面的に見て、長方形形状を有する第一の面としての一方の主面120Aを有している。ベース板120の長辺が延びる方向は、X軸方向である。ベース板120の短辺が延びる方向は、Y軸方向である。   The base plate 120 has one main surface 120A as a first surface having a rectangular shape when seen in a plan view. The direction in which the long side of the base plate 120 extends is the X-axis direction. The direction in which the short side of the base plate 120 extends is the Y-axis direction.

ベース板120は、ベース板120の一方の主面120Aから垂直な方向(Z軸方向)に延びる第一の壁部125と、同じく主面120Aから垂直な方向に延びる第二の壁部126とを含む。第一の壁部125は、ベース板120の一方の短辺が位置する部分から延びている。第一の壁部125には、一つの開口が設けられている。第一の壁部125には、第一のレーザダイオード121が取り付けられている。第一の壁部125に設けられた開口を通じて、第一のレーザダイオード121により、矢印の方向に赤色の光を出射することができる。第二の壁部126は、ベース板120の一方の長辺が位置する部分から延びている。第二の壁部126には、第二のレーザダイオード122および第三のレーザダイオード123が取り付けられている。第二の壁部126には、X軸方向に間隔をあけて二つの開口が設けられている。第二の壁部126に設けられた第一の壁部125側に位置する一方側の開口を通じて、第二のレーザダイオード122により緑色の光を出射することができる。第二の壁部126に設けられた他方の開口を通じて、第三のレーザダイオード123により青色の光を出射することができる。   The base plate 120 includes a first wall portion 125 extending in a direction (Z-axis direction) perpendicular to one main surface 120A of the base plate 120, and a second wall portion 126 extending in the direction perpendicular to the main surface 120A. including. The first wall portion 125 extends from a portion where one short side of the base plate 120 is located. The first wall portion 125 is provided with one opening. A first laser diode 121 is attached to the first wall portion 125. The first laser diode 121 can emit red light in the direction of the arrow through the opening provided in the first wall portion 125. The second wall portion 126 extends from a portion where one long side of the base plate 120 is located. A second laser diode 122 and a third laser diode 123 are attached to the second wall 126. The second wall portion 126 is provided with two openings at an interval in the X-axis direction. Green light can be emitted by the second laser diode 122 through an opening on one side located on the first wall 125 side provided in the second wall 126. Blue light can be emitted by the third laser diode 123 through the other opening provided in the second wall portion 126.

ベース板120の一方の主面120A上には、コリメートレンズ124と、第二フィルタ52と、第三フィルタ53とが搭載されている。コリメートレンズ124により、第一のレーザダイオード121から出射された発散光を平行光に変換することができる。すなわち、コリメートレンズ124は、第一のレーザダイオード121から出射される光を平行光に変換する光学部品である。   On one main surface 120A of the base plate 120, a collimating lens 124, a second filter 52, and a third filter 53 are mounted. The collimating lens 124 can convert divergent light emitted from the first laser diode 121 into parallel light. That is, the collimating lens 124 is an optical component that converts light emitted from the first laser diode 121 into parallel light.

第二フィルタ52は、上記した図4および図5に示すように第一の面52Aおよび回転放物面である第二の面52Bを備える。第二フィルタ52は、第二の面52Bの回転中心軸が第一の光である赤色の光の光軸と平行となるように配置される。第二フィルタ52は、第二のレーザダイオード122の出射部の位置が、第二の面52Bである回転放物面の焦点の位置となるよう配置される。   As shown in FIGS. 4 and 5 described above, the second filter 52 includes a first surface 52A and a second surface 52B which is a paraboloid of revolution. The second filter 52 is disposed so that the rotation center axis of the second surface 52B is parallel to the optical axis of the red light that is the first light. The second filter 52 is arranged such that the position of the emission part of the second laser diode 122 is the focal position of the paraboloid of revolution that is the second surface 52B.

第三フィルタ53は、第一の面53Aおよび回転放物面である第二の面53Bを備える。第三フィルタ53は、第二の面53Bの回転中心軸が第一の光である赤色の光および緑色の光の光軸と平行となるように配置される。第二フィルタ52は、第三のレーザダイオード123の出射部の位置が、第二の面53Bである回転中心軸の焦点の位置となるよう配置される。   The third filter 53 includes a first surface 53A and a second surface 53B that is a paraboloid of revolution. The third filter 53 is arranged so that the rotation center axis of the second surface 53B is parallel to the optical axes of the red light and the green light that are the first light. The second filter 52 is arranged so that the position of the emission part of the third laser diode 123 is the focal point of the rotation center axis that is the second surface 53B.

第二フィルタ52および第三フィルタ53の構成は、実施の形態1に示す場合と同様である。第二フィルタ52および第三フィルタ53と他の光学部品との配置関係についても、実施の形態1に示す場合と同様である。このような構成の光モジュール1Cについても、第二のレーザダイオード122から出射される光を平行光に変換するレンズおよび第三のレーザダイオード123から出射される光を平行光に変換するレンズを省略することができる。したがって、このような光モジュール1Cは、小型化を図ることが容易となる。   The configurations of the second filter 52 and the third filter 53 are the same as those shown in the first embodiment. The arrangement relationship between the second filter 52 and the third filter 53 and other optical components is also the same as that shown in the first embodiment. Also in the optical module 1C having such a configuration, the lens that converts the light emitted from the second laser diode 122 into parallel light and the lens that converts the light emitted from the third laser diode 123 into parallel light are omitted. can do. Therefore, such an optical module 1C can be easily reduced in size.

(変形例)
上記第二フィルタ等において、第二の面の回転放物面の回転中心軸を含む断面において、第二の面の回転放物面の焦点の座標を(0,f)とした場合に、2f=0.4〜2mmの関係を有してもよい。このような構成は、第一の光および第二の光がレーザダイオードから出射される光である場合に好適である。すなわち、2fを2mm以下とすることにより、光モジュールのサイズが大きくなるのを抑制することができる。また、2fを0.4mm以上とすることにより、フィルタのサイズが過度に小さくなるのを防ぐことができる。
(Modification)
In the second filter or the like, in the cross section including the rotation center axis of the second paraboloid, the coordinate of the focal point of the second paraboloid is (0, f), and 2f = 0.4 to 2 mm. Such a configuration is suitable when the first light and the second light are light emitted from the laser diode. That is, by setting 2f to 2 mm or less, it is possible to suppress an increase in the size of the optical module. Moreover, it can prevent that the size of a filter becomes excessively small by setting 2f to 0.4 mm or more.

上記の実施の形態においては、半導体発光素子としてレーザダイオードを用いることとしたが、これに限らず、例えば、半導体発光素子として発光ダイオードを用いることとしてもよい。   In the above embodiment, the laser diode is used as the semiconductor light emitting element. However, the present invention is not limited to this. For example, a light emitting diode may be used as the semiconductor light emitting element.

上記の実施の形態においては、3色以上の色を合波して出力することとしたが、これに限らず、2色の色を合波して出力する場合にも適用される。   In the above embodiment, three or more colors are combined and output. However, the present invention is not limited to this, and the present invention is also applied to a case where two colors are combined and output.

上記の実施の形態においては、第一半導体発光素子から出射する光の波長と第二半導体発光素子から出射する光の波長とが異なることとしたが、これに限らず、偏光方向の異なる光、例えば、同じ赤色といった波長を有する光であって、例えば、偏光方向を90°回転させる1/2波長板を用いて偏光方向を異ならせた光を第二の光として用いることとしてもよい。   In the above embodiment, the wavelength of the light emitted from the first semiconductor light emitting element is different from the wavelength of the light emitted from the second semiconductor light emitting element. For example, light having the same red wavelength, for example, light having different polarization directions using a half-wave plate that rotates the polarization direction by 90 ° may be used as the second light.

なお、上記の実施の形態においては、第二フィルタ等において、第一の面は平面であることとしたが、これに限らず、例えば、第一の面についても、回転放物面を備える構成としてもよい。   In the above embodiment, in the second filter or the like, the first surface is a flat surface. However, the present invention is not limited to this, and for example, the first surface also includes a paraboloid of revolution. It is good.

なお、上記実施の形態1および実施の形態2に係る光学部品は、第一フィルタであることとしたが、これに限らず、光学部品は、第一の光を反射する回転放物面である反射面を有し、第一出射部は、反射面の回転放物面の焦点に配置されてもよい。こうすることにより、第一半導体発光素子から出射される拡散光を、反射面によって適切に平行光に変換することができる。   In addition, although the optical component which concerns on the said Embodiment 1 and Embodiment 2 was decided to be a 1st filter, not only this but an optical component is a rotation paraboloid which reflects 1st light. It has a reflective surface, and the 1st outgoing radiation part may be arranged at the focal point of the rotation paraboloid of the reflective surface. By doing so, the diffused light emitted from the first semiconductor light emitting element can be appropriately converted into parallel light by the reflecting surface.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、どのような面からも制限的なものではないと理解されるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなく、特許請求の範囲によって規定され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   It should be understood that the embodiments disclosed herein are illustrative in all respects and are not restrictive in any aspect. The scope of the present invention is defined by the scope of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the scope of the claims.

本願のフィルタおよび光モジュールは、光モジュールの小型化が求められる場合に、特に有利に適用され得る。   The filter and the optical module of the present application can be applied particularly advantageously when downsizing of the optical module is required.

1A,1B,1C 光モジュール
11 支持板
12A,12B,21A,21B,102,120A 主面
13,103 光形成部
14 キャップ
15 出射窓
16,104 リードピン
17 サーミスタ
20,120 ベース板
22 半導体発光素子搭載領域
23 フィルタ搭載領域
31 第一サブマウント
32 第二サブマウント
33 第三サブマウント
41 赤色レーザダイオード
42 緑色レーザダイオード
43 青色レーザダイオード
41A 第一出射部
42A 第二出射部
43A 第三出射部
51 第一フィルタ
52 第二フィルタ
53 第三フィルタ
51A,52A,53A 第一の面
51B,52B,53B 第二の面
51C,52C,53C 回転中心軸
51D,52D,53D 光軸
54 突起部
55 誘電体多層膜
55A,55B 面
56 直線
61 放物線
62 準線
63 焦点
64 回転放物面
65 発散光
66 平行光
70,130 TEC
71,131 吸熱板
72,132 放熱板
73,133 半導体柱
101 支持基体
105 ベースブロック
106 搭載面
121 第一のレーザダイオード
122 第二のレーザダイオード
123 第三のレーザダイオード
124 コリメートレンズ
125 第一の壁部
126 第二の壁部
1A, 1B, 1C Optical module 11 Support plate 12A, 12B, 21A, 21B, 102, 120A Main surface 13, 103 Light forming portion 14 Cap 15 Exit window 16, 104 Lead pin 17 Thermistor 20, 120 Base plate 22 Mounted with semiconductor light emitting element Region 23 Filter mounting region 31 First submount 32 Second submount 33 Third submount 41 Red laser diode 42 Green laser diode 43 Blue laser diode 41A First emission portion 42A Second emission portion 43A Third emission portion 51 First Filter 52 Second filter 53 Third filter 51A, 52A, 53A First surface 51B, 52B, 53B Second surface 51C, 52C, 53C Rotation center shaft 51D, 52D, 53D Optical axis 54 Projection 55 Dielectric multilayer film 55A, 55B surface 56 straight line 61 parabola 62 Line 63 focus 64 paraboloid 65 diverging light 66 collimated light 70, 130 TEC
71, 131 Endothermic plates 72, 132 Radiating plates 73, 133 Semiconductor pillar 101 Support base 105 Base block 106 Mounting surface 121 First laser diode 122 Second laser diode 123 Third laser diode 124 Collimating lens 125 First wall Part 126 second wall part

Claims (9)

第一の光を透過することが可能なフィルタであって、
第一の面と、
前記第一の面から入射した前記第一の光が前記フィルタを透過して出射することが可能な第二の面と、を備え、
前記第二の面は、回転放物面であり、
前記第二の面は、前記第一の光とは波長および偏光方向の少なくともいずれか一方が異なる第二の光を反射する、フィルタ。
A filter capable of transmitting the first light,
The first aspect,
A second surface capable of transmitting the first light incident from the first surface through the filter; and
The second surface is a paraboloid of revolution;
The second surface is a filter that reflects second light having a wavelength and a polarization direction different from those of the first light.
前記第二の面は、前記第一の光とは波長の異なる前記第二の光を反射する、請求項1に記載のフィルタ。 The filter according to claim 1, wherein the second surface reflects the second light having a wavelength different from that of the first light. 前記第二の面を含むように誘電体多層膜が形成されている、請求項1または請求項2に記載のフィルタ。 The filter according to claim 1, wherein a dielectric multilayer film is formed so as to include the second surface. 前記第二の面の回転放物面の回転中心軸を含む断面において、前記第二の面の回転放物面の焦点の座標を(0,f)とした場合に、2f=0.4〜2mmの関係を有する、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のフィルタ。 In the cross section including the rotation center axis of the second paraboloid of revolution, when the coordinates of the focal point of the paraboloid of revolution of the second surface are (0, f), 2f = 0.4˜ The filter according to any one of claims 1 to 3, wherein the filter has a relationship of 2 mm. 第一の光を出射する第一出射部を有する第一半導体発光素子と、
第二の光を出射する第二出射部を有する第二半導体発光素子と、
前記第一の光を平行光に変換する光学部品と、
前記第一の光と前記第二の光とを合波するフィルタと、を備え、
前記フィルタは、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のフィルタであり、
前記第二の光は、前記光学部品により平行光に変換されて前記第一の面に入射する前記第一の光とは波長および偏光方向の少なくともいずれか一方が異なり、
前記第二出射部は、前記第二の面の回転放物面の焦点に配置され、
前記第二の面の回転放物面の回転中心軸と、前記第一の面に入射する前記第一の光の光軸とは、平行である、光モジュール。
A first semiconductor light emitting element having a first emitting part for emitting the first light;
A second semiconductor light emitting element having a second emission part for emitting the second light;
An optical component that converts the first light into parallel light;
A filter for combining the first light and the second light,
The filter is the filter according to any one of claims 1 to 4,
The second light is converted into parallel light by the optical component, and is different from the first light incident on the first surface in at least one of a wavelength and a polarization direction,
The second emission part is disposed at the focal point of the paraboloid of the second surface,
The optical module, wherein the rotation center axis of the paraboloid of the second surface and the optical axis of the first light incident on the first surface are parallel.
前記光学部品は、レンズである、請求項5に記載の光モジュール。 The optical module according to claim 5, wherein the optical component is a lens. 前記光学部品は、前記第一の光を反射する回転放物面である反射面を有し、
前記第一出射部は、前記反射面の回転放物面の焦点に配置される、請求項5に記載の光モジュール。
The optical component has a reflecting surface that is a rotating paraboloid that reflects the first light,
The optical module according to claim 5, wherein the first emitting portion is disposed at a focal point of a paraboloid of the reflecting surface.
前記光学部品は、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のフィルタであり、
前記反射面は、前記第二の面である、請求項7に記載の光モジュール。
The optical component is the filter according to any one of claims 1 to 4,
The optical module according to claim 7, wherein the reflection surface is the second surface.
前記第二の面の回転放物面の焦点は、前記第二の面において反射した前記第二の光の光路外に位置する、請求項5〜請求項8のいずれか1項に記載の光モジュール。
The light according to any one of claims 5 to 8, wherein a focal point of the paraboloid of the second surface is located outside an optical path of the second light reflected by the second surface. module.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024058087A1 (en) * 2022-09-12 2024-03-21 ローム株式会社 Semiconductor laser device

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012099283A (en) * 2010-10-29 2012-05-24 Sharp Corp Light-emitting device, headlight for vehicle, lighting system as well as vehicle, and method of assembling light-emitting device
US20130039374A1 (en) * 2010-03-24 2013-02-14 Osram Opto Semiconductors Gmbh Semiconductor Laser Light Source
JP2014010917A (en) * 2012-06-27 2014-01-20 Sharp Corp Luminaire and vehicle headlight
JP2016096219A (en) * 2014-11-13 2016-05-26 住友電気工業株式会社 Optical module
WO2017188097A1 (en) * 2016-04-25 2017-11-02 住友電気工業株式会社 Optical module

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20130039374A1 (en) * 2010-03-24 2013-02-14 Osram Opto Semiconductors Gmbh Semiconductor Laser Light Source
JP2012099283A (en) * 2010-10-29 2012-05-24 Sharp Corp Light-emitting device, headlight for vehicle, lighting system as well as vehicle, and method of assembling light-emitting device
JP2014010917A (en) * 2012-06-27 2014-01-20 Sharp Corp Luminaire and vehicle headlight
JP2016096219A (en) * 2014-11-13 2016-05-26 住友電気工業株式会社 Optical module
WO2017188097A1 (en) * 2016-04-25 2017-11-02 住友電気工業株式会社 Optical module

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024058087A1 (en) * 2022-09-12 2024-03-21 ローム株式会社 Semiconductor laser device

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