JP2018064445A

JP2018064445A - Actuator and method of producing the same

Info

Publication number: JP2018064445A
Application number: JP2017172738A
Authority: JP
Inventors: 赫馬; He Ma; 洋魏; Yo Gi; ▲カイ▼ 劉; Kai Ryo; 開利姜; Kaili Jiang; ▲ハン▼　守善; 守善 ▲ハン▼; Shoushan Fan
Original assignee: Qinghua University; Hon Hai Precision Industry Co Ltd
Current assignee: Qinghua University; Hon Hai Precision Industry Co Ltd
Priority date: 2016-10-12
Filing date: 2017-09-08
Publication date: 2018-04-19
Anticipated expiration: 2037-09-08
Also published as: JP6483212B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an actuator and a method of producing the same.SOLUTION: An actuator of the present invention comprises a carbon nanotube structure and a vanadium dioxide structure. The carbon nanotube structure and vanadium dioxide structure are placed to be stacked. The present invention also provides a method of producing the actuator.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、アクチュエータに関し、特にカーボンナノチューブを含むアクチュエータ及びその製造方法に関する。 The present invention relates to an actuator, and more particularly, to an actuator including carbon nanotubes and a method for manufacturing the same.

アクチュエータは、電気エネルギーを機械エネルギーに変換させるデバイスである。また、アクチュエータは、電歪アクチュエータ、電磁気アクチュエータ及び電熱アクチュエータの３種類に分類することができる。従来の電熱アクチュエータは、ポリマーを主体とするフィルム状の構造体であるため、電流によって、ポリマーの温度を上昇させて体積を膨張させる。これにより、電熱アクチュエータを動作させる。従って、電熱アクチュエータの材料は、優れた導電性、柔軟性、熱安定性を有する必要がある。 An actuator is a device that converts electrical energy into mechanical energy. The actuators can be classified into three types: electrostrictive actuators, electromagnetic actuators, and electrothermal actuators. Since the conventional electrothermal actuator is a film-like structure mainly composed of a polymer, the volume of the polymer is expanded by increasing the temperature of the polymer by an electric current. Thereby, the electrothermal actuator is operated. Therefore, the material of the electrothermal actuator needs to have excellent conductivity, flexibility, and thermal stability.

従来の技術においては、カーボンナノチューブを含む複合材料を採用して、電熱アクチュエータ用の電熱複合構造体を形成することがある。具体的には、カーボンナノチューブを含む電熱複合構造体は、柔軟性を有する高分子構造体及び該柔軟性を有する高分子構造体に分散されたカーボンナノチューブを含む。カーボンナノチューブを含む電熱複合構造体に通電して熱を発生させ、カーボンナノチューブを含む電熱複合構造体の体積を膨張させ、湾曲させ、電熱アクチュエータを動作させる。しかし、電熱複合構造体の変形量は制限があり、しかも反応速度が遅い。 In the prior art, a composite material containing carbon nanotubes may be employed to form an electrothermal composite structure for an electrothermal actuator. Specifically, the electrothermal composite structure including carbon nanotubes includes a polymer structure having flexibility and carbon nanotubes dispersed in the polymer structure having flexibility. The electrothermal composite structure containing carbon nanotubes is energized to generate heat, the volume of the electrothermal composite structure containing carbon nanotubes is expanded and bent, and the electrothermal actuator is operated. However, the deformation amount of the electrothermal composite structure is limited and the reaction rate is slow.

中国特許出願公開第１０１２３９７１２号明細書Chinese Patent Application No. 101239712

本発明の目的は、前記課題を解決するための大きい変形量及び速い反応速度を有するアクチュエータ及びその製造方法を提供することである。 An object of the present invention is to provide an actuator having a large deformation amount and a fast reaction speed, and a method for manufacturing the same, in order to solve the above-described problems.

本発明のアクチュエータはカーボンナノチューブ構造体と、二酸化バナジウム構造体と、を含み、カーボンナノチューブ構造体及び二酸化バナジウム構造体は積層して設置される。 The actuator of the present invention includes a carbon nanotube structure and a vanadium dioxide structure, and the carbon nanotube structure and the vanadium dioxide structure are stacked and installed.

本発明のアクチュエータの応用システムはアクチュエータと、励起装置と、を含み、アクチュエータはカーボンナノチューブ構造体と、二酸化バナジウム構造体と、を含み、カーボンナノチューブ構造体及び二酸化バナジウム構造体は積層して設置される。 The actuator application system of the present invention includes an actuator and an excitation device. The actuator includes a carbon nanotube structure and a vanadium dioxide structure, and the carbon nanotube structure and the vanadium dioxide structure are stacked and installed. The

本発明のアクチュエータの製造方法はカーボンナノチューブ構造体を提供する第一ステップと、カーボンナノチューブ構造体の表面に、バナジウム酸化物層を設置する第二ステップと、酸素の雰囲気でバナジウム酸化物層をアニールして、二酸化バナジウム構造体を形成する第三ステップと、を含む。 The actuator manufacturing method of the present invention includes a first step of providing a carbon nanotube structure, a second step of installing a vanadium oxide layer on the surface of the carbon nanotube structure, and annealing the vanadium oxide layer in an oxygen atmosphere. And a third step of forming a vanadium dioxide structure.

従来の技術に比べて、本発明のアクチュエータは以下の優れる点がある。アクチュエータはカーボンナノチューブ構造体と、二酸化バナジウム構造体と、を含む。カーボンナノチューブ構造体及び二酸化バナジウム構造体は積層して複合構造体を形成する。二酸化バナジウム構造体が相転移する際、二酸化バナジウム構造体の変形量は大きく、且つ反応速度は速い。これにより、アクチュエータの変形量は大きく、且つ反応速度は速い。 Compared with the prior art, the actuator of the present invention has the following advantages. The actuator includes a carbon nanotube structure and a vanadium dioxide structure. The carbon nanotube structure and the vanadium dioxide structure are laminated to form a composite structure. When the vanadium dioxide structure undergoes phase transition, the amount of deformation of the vanadium dioxide structure is large and the reaction rate is fast. Thereby, the deformation amount of the actuator is large and the reaction speed is fast.

本発明の実施例１におけるアクチュエータの構造を示す図である。It is a figure which shows the structure of the actuator in Example 1 of this invention. 本発明の実施例１におけるアクチュエータの製造方法のフローチャートである。It is a flowchart of the manufacturing method of the actuator in Example 1 of this invention. 本発明の実施例２におけるアクチュエータの構造を示す図である。It is a figure which shows the structure of the actuator in Example 2 of this invention. 本発明の実施例２におけるアクチュエータの製造方法のフローチャートである。It is a flowchart of the manufacturing method of the actuator in Example 2 of this invention. 本発明の実施例３におけるアクチュエータの構造を示す図である。It is a figure which shows the structure of the actuator in Example 3 of this invention. 本発明の実施例３におけるアクチュエータの製造方法のフローチャートである。It is a flowchart of the manufacturing method of the actuator in Example 3 of this invention. 本発明の実施例４におけるアクチュエータの構造を示す図である。It is a figure which shows the structure of the actuator in Example 4 of this invention. 本発明の実施例４におけるアクチュエータの製造方法のフローチャートである。It is a flowchart of the manufacturing method of the actuator in Example 4 of this invention. 本発明の実施例５におけるアクチュエータの構造を示す図である。It is a figure which shows the structure of the actuator in Example 5 of this invention. 本発明の実施例６におけるアクチュエータの応用システムの構造を示す図である。It is a figure which shows the structure of the application system of the actuator in Example 6 of this invention. 本発明の実施例６におけるアクチュエータの応用システムの製造方法のフローチャートである。It is a flowchart of the manufacturing method of the application system of the actuator in Example 6 of this invention. 本発明の実施例６におけるアクチュエータの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真である。It is a scanning electron microscope (SEM) photograph of the actuator in Example 6 of this invention. 本発明の実施例６におけるアクチュエータの局部のＳＥＭ写真である。It is a SEM photograph of the local part of an actuator in Example 6 of the present invention. 本発明の実施例６におけるアクチュエータの透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）写真である。It is a transmission electron microscope (TEM) photograph of the actuator in Example 6 of the present invention. 本発明の実施例６におけるアクチュエータのＥＤＸ（ＥＤＸ）（ＥｎｅｒｇｙＤｉｓｐｅｒｓｉｖｅＸ−ｒａｙ）スペクトルである。It is an EDX (EDX) (Energy Dispersive X-ray) spectrum of the actuator in Example 6 of the present invention. 本発明の実施例６におけるアクチュエータのラマン散乱スペクトルである。It is a Raman scattering spectrum of the actuator in Example 6 of this invention. 本発明の実施例７におけるアクチュエータの応用システムの構造を示す図である。It is a figure which shows the structure of the application system of the actuator in Example 7 of this invention. 本発明の実施例８におけるアクチュエータの応用システムの構造を示す図である。It is a figure which shows the structure of the application system of the actuator in Example 8 of this invention. 本発明の実施例８におけるアクチュエータの局部のＳＥＭ写真である。It is a SEM photograph of the local part of an actuator in Example 8 of the present invention. 本発明の実施例８におけるアクチュエータのＥＤＳスペクトルである。It is an EDS spectrum of the actuator in Example 8 of the present invention. 本発明の実施例８における３２℃から４６℃まで加熱する際の湾曲のアクチュエータの光学写真である。It is an optical photograph of the actuator of the curve at the time of heating from 32 degreeC to 46 degreeC in Example 8 of this invention. 温度は常温２６℃及び５０℃である際、実施例８におけるアクチュエータのラマン散乱スペクトルである。The temperature is the Raman scattering spectrum of the actuator in Example 8 when the temperature is 26 ° C. and 50 ° C. 本発明の実施例９におけるアクチュエータシステムの構造を示す図である。It is a figure which shows the structure of the actuator system in Example 9 of this invention. 本発明の実施例１０における温度検出システムの構造を示す図である。It is a figure which shows the structure of the temperature detection system in Example 10 of this invention. 本発明の実施例１１における温度検出システムの構造を示す図である。It is a figure which shows the structure of the temperature detection system in Example 11 of this invention. 本発明の実施例１１におけるアクチュエータのＳＥＭ写真である。It is a SEM photograph of the actuator in Example 11 of the present invention. 本発明の実施例１１における温度検出システム２０Ａを採用して、人体温度をテストする結果を示す図である。It is a figure which shows the result of having employ | adopted the temperature detection system 20A in Example 11 of this invention, and testing a human body temperature. 本発明の実施例１２におけるロボットの構造を示す図である。It is a figure which shows the structure of the robot in Example 12 of this invention. 本発明の実施例１２におけるバイオニックアームの光学写真である。It is an optical photograph of the bionic arm in Example 12 of this invention. 本発明の実施例１２におけるバイオニックアームによって紙を移動する光学写真である。It is an optical photograph which moves paper by the bionic arm in Example 12 of this invention. 本発明の実施例１３におけるバイオニック昆虫の構造を示す図である。It is a figure which shows the structure of the bionic insect in Example 13 of this invention. 本発明の実施例１３におけるバイオニック昆虫の光学写真である。It is an optical photograph of the bionic insect in Example 13 of this invention. 本発明の実施例１３におけるバイオニック昆虫がウイングを振動する光学写真である。It is the optical photograph which the bionic insect in Example 13 of this invention vibrates. 本発明の実施例１３におけるバイオニック蝶の光学写真である。It is an optical photograph of the bionic butterfly in Example 13 of this invention.

以下、図面を参照して、本発明の実施例について説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図１を参照すると、実施例１はアクチュエータ１１を提供する。アクチュエータ１１は、カーボンナノチューブ構造体１１０と、二酸化バナジウム構造体１１１と、を含む。カーボンナノチューブ構造体１１０及び二酸化バナジウム構造体１１１は積層して設置される。カーボンナノチューブ構造体１１０は発熱或いは熱を吸収することによって、二酸化バナジウム構造体１１１に熱を伝達して、二酸化バナジウム構造体１１１を二酸化バナジウム構造体１１１の表面と平行する方向（二酸化バナジウム構造体１１１の厚さと垂直する方向）に沿って収縮させ、アクチュエータ１１を湾曲させる。カーボンナノチューブ構造体１１０は二酸化バナジウム構造体１１１をサポートして、且つ加熱することに用いる。カーボンナノチューブ構造体１１０が高い光熱変換効率、高い電熱変換効率及び小さな熱容量を有するので、アクチュエータ１１に速い反応速度を有することができる。 Referring to FIG. 1, Example 1 provides an actuator 11. The actuator 11 includes a carbon nanotube structure 110 and a vanadium dioxide structure 111. The carbon nanotube structure 110 and the vanadium dioxide structure 111 are stacked and installed. The carbon nanotube structure 110 transfers heat to the vanadium dioxide structure 111 by generating heat or absorbing heat, so that the vanadium dioxide structure 111 is parallel to the surface of the vanadium dioxide structure 111 (the vanadium dioxide structure 111 The actuator 11 is bent in a direction perpendicular to the thickness of the actuator 11. The carbon nanotube structure 110 is used to support and heat the vanadium dioxide structure 111. Since the carbon nanotube structure 110 has a high photothermal conversion efficiency, a high electrothermal conversion efficiency, and a small heat capacity, the actuator 11 can have a high reaction speed.

二酸化バナジウム構造体１１１の厚さ及び形状は制限されず、必要に応じて選択できる。二酸化バナジウム構造体１１１の厚さは１００ｎｍ〜５００μｍであってもよい。好ましくは、二酸化バナジウム構造体１１１の厚さは１μｍ〜１０μｍである。二酸化バナジウム構造体１１１の厚さが１５０ｎｍである際、二酸化バナジウム構造体１１１の光透過率は４０％である。二酸化バナジウム構造体１１１の相転移温度は６８℃である。二酸化バナジウム構造体１１１の温度が二酸化バナジウム構造体１１１の相転移温度より小さい際、例えば、室温で二酸化バナジウム構造体１１１は絶縁相を呈する。この際、二酸化バナジウム構造体１１１は絶縁体である。二酸化バナジウム構造体１１１の温度が二酸化バナジウム構造体１１１の相転移温度に達した後、二酸化バナジウム構造体１１１は絶縁相から金属相に変化し、且つ金属相のｃ軸方向に沿って体積を収縮する。相転移前後の二酸化バナジウム構造体１１１の体積収縮率は１％〜２％である。金属相に変化した後の二酸化バナジウム構造体１１１の体積仕事密度（ｖｏｌｕｍｅｔｒｉｃｗｏｒｋｄｅｎｓｉｔｙ）は７Ｊ/ｃｍ^３〜２８Ｊ/ｃｍ^３であり、その弾性率は１４０Ｇｐａである。カーボンナノチューブ構造体１１０の体積が変化しないので、アクチュエータ１１を二酸化バナジウム構造体１１１の側に向かって湾曲させる。二酸化バナジウム構造体１１１の相転移温度より小さい温度に下がる際、二酸化バナジウム構造体１１１は金属相から絶縁相に変化して、アクチュエータ１１の形状は初期の形状に戻る。二酸化バナジウム構造体１１１は絶縁相から金属相に変化した後、二酸化バナジウム構造体１１１及びカーボンナノチューブ構造体１１０からなる複合構造体の抵抗値は１１％減少する。 The thickness and shape of the vanadium dioxide structure 111 are not limited and can be selected as necessary. The thickness of the vanadium dioxide structure 111 may be 100 nm to 500 μm. Preferably, the thickness of the vanadium dioxide structure 111 is 1 μm to 10 μm. When the thickness of the vanadium dioxide structure 111 is 150 nm, the light transmittance of the vanadium dioxide structure 111 is 40%. The phase transition temperature of the vanadium dioxide structure 111 is 68 ° C. When the temperature of the vanadium dioxide structure 111 is lower than the phase transition temperature of the vanadium dioxide structure 111, for example, the vanadium dioxide structure 111 exhibits an insulating phase at room temperature. At this time, the vanadium dioxide structure 111 is an insulator. After the temperature of the vanadium dioxide structure 111 reaches the phase transition temperature of the vanadium dioxide structure 111, the vanadium dioxide structure 111 changes from an insulating phase to a metal phase and shrinks in volume along the c-axis direction of the metal phase. To do. The volume shrinkage of the vanadium dioxide structure 111 before and after the phase transition is 1% to 2%. The volume work density of the vanadium dioxide structure 111 after changing to the metal phase is 7 J / cm ^{3 to} 28 J / cm ³ , and its elastic modulus is 140 Gpa. Since the volume of the carbon nanotube structure 110 does not change, the actuator 11 is bent toward the vanadium dioxide structure 111 side. When the temperature falls below the phase transition temperature of the vanadium dioxide structure 111, the vanadium dioxide structure 111 changes from the metal phase to the insulating phase, and the shape of the actuator 11 returns to the initial shape. After the vanadium dioxide structure 111 changes from the insulating phase to the metal phase, the resistance value of the composite structure including the vanadium dioxide structure 111 and the carbon nanotube structure 110 decreases by 11%.

アクチュエータ１１の初期の形状は平面状或いは曲面状であってもよい。アクチュエータ１１の初期の形状が平面状である際、アクチュエータ１１は二酸化バナジウム構造体１１１の側に向かって湾曲して、アクチュエータ１１の形状を曲面状に変える。アクチュエータ１１の初期の形状が曲面状である際、アクチュエータ１１は二酸化バナジウム構造体１１１の側に向かってさらに湾曲して、初期の曲面の曲率半径を大きくさせる。 The initial shape of the actuator 11 may be flat or curved. When the initial shape of the actuator 11 is a planar shape, the actuator 11 is curved toward the vanadium dioxide structure 111 side to change the shape of the actuator 11 to a curved surface. When the initial shape of the actuator 11 is a curved surface, the actuator 11 is further curved toward the vanadium dioxide structure 111 side to increase the radius of curvature of the initial curved surface.

二酸化バナジウム構造体１１１は元素がドープされた二酸化バナジウム構造体であってもよい。元素がドープされることによって、二酸化バナジウム構造体１１１の相転移温度を変えることができる。ドープされる元素は、タングステン、モリブデン、アルミニウム、リン、ニオブ、タリウム、フッ素の中のいずれか一種である。ドープされる元素の重量比は０．５％〜５％である。原子の寸法が大きい元素（例えば、タングステン、モリブデン）がドープされる際、二酸化バナジウム構造体１１１の相転移温度を下げることができる。原子の寸法が小さい元素（例えば、アルミニウム、リン）がドープされる際、二酸化バナジウム構造体１１１の相転移温度を上げることができる。一つの例において、重量比が１．５％であるタングステンがドープされる際、二酸化バナジウム構造体１１１の相転移温度は３４℃である。タングステンがドープされる二酸化バナジウム構造体１１１は絶縁相から金属相に変えた後、二酸化バナジウム構造体１１１及びカーボンナノチューブ構造体１１０からなる複合構造体の抵抗値は６．８％を減少する。 The vanadium dioxide structure 111 may be a vanadium dioxide structure doped with an element. By doping the element, the phase transition temperature of the vanadium dioxide structure 111 can be changed. The element to be doped is any one of tungsten, molybdenum, aluminum, phosphorus, niobium, thallium, and fluorine. The weight ratio of the element to be doped is 0.5% to 5%. When an element having a large atomic size (for example, tungsten or molybdenum) is doped, the phase transition temperature of the vanadium dioxide structure 111 can be lowered. When an element having a small atomic size (for example, aluminum or phosphorus) is doped, the phase transition temperature of the vanadium dioxide structure 111 can be increased. In one example, the vanadium dioxide structure 111 has a phase transition temperature of 34 ° C. when doped with tungsten having a weight ratio of 1.5%. After the vanadium dioxide structure 111 doped with tungsten is changed from an insulating phase to a metal phase, the resistance value of the composite structure including the vanadium dioxide structure 111 and the carbon nanotube structure 110 is reduced by 6.8%.

カーボンナノチューブ構造体１１０の厚さ及び形状は制限されず、必要に応じて選択できる。カーボンナノチューブ構造体１１０は複数のカーボンナノチューブを含む連続な構造体である。好ましくは、カーボンナノチューブ構造体１１０は複数のカーボンナノチューブからなる構造体である。複数のカーボンナノチューブは、カーボンナノチューブ構造体１１０の表面に平行している。カーボンナノチューブ構造体１１０には、複数のカーボンナノチューブが配向し又は配向せずに配置されている。複数のカーボンナノチューブの配列方法により、カーボンナノチューブ構造体１１０は非配向型のカーボンナノチューブ構造体及び配向型のカーボンナノチューブ構造体に分類される。非配向型のカーボンナノチューブ構造体では、カーボンナノチューブが異なる方向に沿って配置され、又は絡み合っている。配向型のカーボンナノチューブ構造体では、複数のカーボンナノチューブが同じ方向に沿って配列している。カーボンナノチューブ構造体１１０におけるカーボンナノチューブは、単層カーボンナノチューブ、二層カーボンナノチューブ、多層カーボンナノチューブであってもよい。カーボンナノチューブの長さ及び直径は制限されず、必要に応じて選択できる。カーボンナノチューブ構造体１１０の厚さは１００ｎｍ〜１００μｍである。好ましくは、カーボンナノチューブ構造体１１０の厚さは１μｍ〜１０μｍである。 The thickness and shape of the carbon nanotube structure 110 are not limited and can be selected as necessary. The carbon nanotube structure 110 is a continuous structure including a plurality of carbon nanotubes. Preferably, the carbon nanotube structure 110 is a structure composed of a plurality of carbon nanotubes. The plurality of carbon nanotubes are parallel to the surface of the carbon nanotube structure 110. In the carbon nanotube structure 110, a plurality of carbon nanotubes are arranged with or without orientation. The carbon nanotube structure 110 is classified into a non-oriented carbon nanotube structure and an oriented carbon nanotube structure according to a method of arranging a plurality of carbon nanotubes. In the non-oriented carbon nanotube structure, the carbon nanotubes are arranged or entangled along different directions. In the oriented carbon nanotube structure, a plurality of carbon nanotubes are arranged along the same direction. The carbon nanotubes in the carbon nanotube structure 110 may be single-walled carbon nanotubes, double-walled carbon nanotubes, or multi-walled carbon nanotubes. The length and diameter of the carbon nanotube are not limited and can be selected as necessary. The thickness of the carbon nanotube structure 110 is 100 nm to 100 μm. Preferably, the carbon nanotube structure 110 has a thickness of 1 μm to 10 μm.

カーボンナノチューブ構造体１１０はカーボンナノチューブフィルム或いはカーボンナノチューブワイヤを含んでもよい。カーボンナノチューブ構造体１１０は一枚のカーボンナノチューブフィルムを含んでもよく、或いは積層された複数のカーボンナノチューブフィルムを含んでもよい。カーボンナノチューブ構造体１１０は相互に平行する複数のカーボンナノチューブワイヤを含んでもよく、或いは、交差して設置される複数のカーボンナノチューブワイヤを含んでもよい。カーボンナノチューブフィルムはドローン構造カーボンナノチューブフィルム、綿毛構造カーボンナノチューブフィルム或いはプレシッド構造カーボンナノチューブフィルムであってもよい。本実施例において、カーボンナノチューブ構造体１１０は５０層のドローン構造カーボンナノチューブフィルムを含む。 The carbon nanotube structure 110 may include a carbon nanotube film or a carbon nanotube wire. The carbon nanotube structure 110 may include a single carbon nanotube film, or may include a plurality of stacked carbon nanotube films. The carbon nanotube structure 110 may include a plurality of carbon nanotube wires that are parallel to each other, or may include a plurality of carbon nanotube wires that are installed crossing each other. The carbon nanotube film may be a drone structure carbon nanotube film, a fluff structure carbon nanotube film, or a pressed structure carbon nanotube film. In this embodiment, the carbon nanotube structure 110 includes a 50-layer drone structure carbon nanotube film.

ドローン構造カーボンナノチューブフィルムは、複数のカーボンナノチューブが形成する自立構造である。複数のカーボンナノチューブが同じ方向に沿って配列されている。多数のカーボンナノチューブの延伸する方向はカーボンナノチューブフィルムの表面と基本的に平行である。また、複数のカーボンナノチューブは分子間力で接続されている。具体的には、多数のカーボンナノチューブにおける各カーボンナノチューブは、延伸する方向における隣接するカーボンナノチューブと、分子間力で端と端とが接続されている。カーボンナノチューブフィルムには、少数のランダムなカーボンナノチューブ含まれているが、これは、多数のカーボンナノチューブが同じ方向に沿って配列されていることに影響しない。 The drone structure carbon nanotube film is a self-supporting structure formed by a plurality of carbon nanotubes. A plurality of carbon nanotubes are arranged along the same direction. The extending direction of many carbon nanotubes is basically parallel to the surface of the carbon nanotube film. The plurality of carbon nanotubes are connected by intermolecular force. Specifically, each carbon nanotube in a large number of carbon nanotubes is connected to adjacent carbon nanotubes in the extending direction, and the ends are connected to each other by intermolecular force. The carbon nanotube film contains a small number of random carbon nanotubes, but this does not affect the large number of carbon nanotubes arranged in the same direction.

ドローン構造カーボンナノチューブフィルムは自立構造である。ここで、自立構造とは、支持体材を利用せず、カーボンナノチューブフィルムを独立して利用することができる形態のことである。すなわち、カーボンナノチューブフィルムを対向する両側から支持して、ドローン構造カーボンナノチューブフィルムの構造を変化させずに、カーボンナノチューブフィルムを懸架させることができることを意味する。 The drone structure carbon nanotube film is a self-supporting structure. Here, the self-supporting structure is a form in which a carbon nanotube film can be used independently without using a support material. That is, it means that the carbon nanotube film can be suspended by supporting the carbon nanotube film from opposite sides without changing the structure of the drone structure carbon nanotube film.

具体的には、カーボンナノチューブフィルムにおける多数のカーボンナノチューブは、絶対的に直線状ではなく少し湾曲している。または、延伸する方向に完全に配列せず、少しずれている場合もある。従って、同じ方向に沿って配列されている多数のカーボンナノチューブの中において、隣同士のカーボンナノチューブが部分接触する可能性がある。 Specifically, many carbon nanotubes in the carbon nanotube film are not linear but are slightly curved. Or, it may not be completely arranged in the extending direction and may be slightly shifted. Accordingly, among the many carbon nanotubes arranged along the same direction, the adjacent carbon nanotubes may partially contact each other.

ドローン構造カーボンナノチューブフィルムは、複数のカーボンナノチューブセグメントを含む。複数のカーボンナノチューブセグメントは、長さ方向に沿って分子間力で端と端とが接続されている。それぞれのカーボンナノチューブセグメントは、相互に平行に、分子間力で結合された複数のカーボンナノチューブを含む。単一のカーボンナノチューブセグメントにおいて、複数のカーボンナノチューブの長さは同じである。カーボンナノチューブセグメントの長さ、厚さ、均一性及び形状は制限されない。カーボンナノチューブアレイの一部を引き出して、ドローン構造カーボンナノチューブフィルムを得ることができる。ドローン構造カーボンナノチューブフィルムの厚さは、１ｎｍ〜５００μｍである。ドローン構造カーボンナノチューブフィルムの幅は、カーボンナノチューブアレイのサイズに関係する。好ましくは、ドローン構造カーボンナノチューブフィルムの厚さは１００ｎｍ〜１０μｍである。カーボンナノチューブ構造体１１０において、ドローン構造カーボンナノチューブフィルムが積層された場合、隣接する二つのカーボンナノチューブフィルムにおけるカーボンナノチューブは、それぞれ０°〜９０°の角度で交差している。好ましくは、隣接するカーボンナノチューブフィルムにおけるカーボンナノチューブは、９０°の角度で交差している。前記ドローン構造カーボンナノチューブフィルムの製造方法は、特許文献１に掲載されている。 The drone structure carbon nanotube film includes a plurality of carbon nanotube segments. The ends of the plurality of carbon nanotube segments are connected to each other by intermolecular force along the length direction. Each carbon nanotube segment includes a plurality of carbon nanotubes connected in parallel to each other by intermolecular force. In a single carbon nanotube segment, the lengths of the plurality of carbon nanotubes are the same. The length, thickness, uniformity and shape of the carbon nanotube segments are not limited. A part of the carbon nanotube array can be pulled out to obtain a drone structure carbon nanotube film. The thickness of the drone structure carbon nanotube film is 1 nm to 500 μm. The width of the drone structured carbon nanotube film is related to the size of the carbon nanotube array. Preferably, the thickness of the drone structure carbon nanotube film is 100 nm to 10 μm. In the carbon nanotube structure 110, when a drone structure carbon nanotube film is laminated, the carbon nanotubes in two adjacent carbon nanotube films intersect each other at an angle of 0 ° to 90 °. Preferably, the carbon nanotubes in adjacent carbon nanotube films intersect at an angle of 90 °. The method for producing the drone structure carbon nanotube film is disclosed in Patent Document 1.

カーボンナノチューブ構造体１１０は複数のカーボンナノチューブ及び添加材料を含む複合構造体であってもよい。添加材料はグラファイト、グラフェン、炭化ケイ素、窒化ホウ素、窒化ケイ素、二酸化ケイ素、アモルファスカーボン、金属炭化物、金属酸化物、金属窒化物の中いずれか一種または多種である。添加材料はカーボンナノチューブ構造体１１０の少なくとも一部の表面を被覆する。好ましくは、添加材料はカーボンナノチューブ構造体１１０におけるカーボンナノチューブの表面を被覆する。 The carbon nanotube structure 110 may be a composite structure including a plurality of carbon nanotubes and an additive material. The additive material may be any one or more of graphite, graphene, silicon carbide, boron nitride, silicon nitride, silicon dioxide, amorphous carbon, metal carbide, metal oxide, and metal nitride. The additive material covers at least a part of the surface of the carbon nanotube structure 110. Preferably, the additive material covers the surface of the carbon nanotubes in the carbon nanotube structure 110.

図２を参照すると、アクチュエータ１１の製造方法を提供する。
Ｓ１１、カーボンナノチューブ構造体１１０を提供する。
Ｓ１２、カーボンナノチューブ構造体１１０の表面に、バナジウム酸化物層１１２を沈積する。
Ｓ１３、酸素の雰囲気でバナジウム酸化物層１１２をアニールして、二酸化バナジウム構造体１１１を形成する。 Referring to FIG. 2, a method for manufacturing the actuator 11 is provided.
S11, providing the carbon nanotube structure 110.
S12, the vanadium oxide layer 112 is deposited on the surface of the carbon nanotube structure 110.
S13, The vanadium oxide layer 112 is annealed in an oxygen atmosphere to form the vanadium dioxide structure 111.

Ｓ１２において、カーボンナノチューブ構造体１１０の表面にバナジウム酸化物層１１２を沈積する方法は制限されず、例えば、化学気相成長法或いはマグネトロンスパッタリング法であってもよい。Ｓ１３において、空気或いは酸素でバナジウム酸化物層１１２をアニールして、二酸化バナジウム構造体１１１を形成する。 In S12, the method of depositing the vanadium oxide layer 112 on the surface of the carbon nanotube structure 110 is not limited, and may be, for example, chemical vapor deposition or magnetron sputtering. In S13, the vanadium oxide layer 112 is annealed with air or oxygen to form the vanadium dioxide structure 111.

本実施例において、Ｓ１１において、５０層のドローン構造カーボンナノチューブフィルムを交差して設置して、カーボンナノチューブ構造体１１０を形成する。Ｓ１２において、直流マグネトロンスパッタリング法によって、カーボンナノチューブ構造体１１０の表面にバナジウム酸化物層１１２を沈積する。Ｓ１２において、スパッタターゲットは高純度バナジウム金属であり、スパッタリング電力は６０Ｗであり、スパッタリング温度は室温であり、作動ガスは４９．７ｓｃｃｍのアルゴン及び０．３ｓｃｃｍの酸素からなる混合ガスであり、作動圧力は０．５５Ｐａであり、スパッタリング時間は３０分間である。バナジウム酸化物層１１２の成分はＶＯ_Ｘである。Ｓ１３において、アニールの圧力は３×１０^−２ｍｂａｒであり、アニールの温度は４５０℃であり、アニールの時間は１０分間である。バナジウム酸化物層１１２をアニールして、バナジウム酸化物層１１２を結晶させて、二酸化バナジウム構造体１１１を形成する。バナジウム酸化物層１１２が沈積されたカーボンナノチューブ構造体１１０を加熱炉に入れて加熱して、バナジウム酸化物層１１２をアニールすることができる。または、電流がカーボンナノチューブ構造体１１０に流れて、カーボンナノチューブ構造体１１０を加熱することによって、バナジウム酸化物層１１２をアニールすることができる。好ましくは、アニールの温度が５００℃より高い際、カーボンナノチューブ構造体１１０を完全に酸化しないため、アニールの雰囲気は真空に微量の酸素を導入する雰囲気である。本実施例において、酸素の流量は２ｓｃｃｍより小さい。アニールの温度が４５０℃より低い際、空気でバナジウム酸化物層１１２をアニールして、カーボンナノチューブ構造体１１０を完全に酸化させない。 In the present embodiment, in S11, the carbon nanotube structure 110 is formed by installing 50 layers of drone structure carbon nanotube films so as to cross each other. In S12, the vanadium oxide layer 112 is deposited on the surface of the carbon nanotube structure 110 by DC magnetron sputtering. In S12, the sputtering target is high-purity vanadium metal, the sputtering power is 60 W, the sputtering temperature is room temperature, the working gas is a mixed gas composed of 49.7 sccm argon and 0.3 sccm oxygen, and the working pressure Is 0.55 Pa and the sputtering time is 30 minutes. Component of the vanadium oxide layer 112 is VO _X. In S13, the annealing pressure is 3 × 10 ⁻² mbar, the annealing temperature is 450 ° C., and the annealing time is 10 minutes. The vanadium oxide layer 112 is annealed to crystallize the vanadium oxide layer 112 to form the vanadium dioxide structure 111. The carbon nanotube structure 110 on which the vanadium oxide layer 112 is deposited can be heated in a heating furnace to anneal the vanadium oxide layer 112. Alternatively, the vanadium oxide layer 112 can be annealed by flowing a current through the carbon nanotube structure 110 and heating the carbon nanotube structure 110. Preferably, when the annealing temperature is higher than 500 ° C., the carbon nanotube structure 110 is not completely oxidized, so that the annealing atmosphere is an atmosphere in which a small amount of oxygen is introduced into a vacuum. In this embodiment, the oxygen flow rate is less than 2 sccm. When the annealing temperature is lower than 450 ° C., the vanadium oxide layer 112 is annealed with air so that the carbon nanotube structure 110 is not completely oxidized.

バナジウム酸化物層１１２をアニールして、二酸化バナジウム構造体１１１を形成する工程において、カーボンナノチューブ構造体１１０及び二酸化バナジウム構造体１１１の界面に格子がミスマッチである。二酸化バナジウム構造体１１１の格子定数が小さい側は収縮応力を生じ、カーボンナノチューブ構造体１１０の格子定数が大きい側は抵抗収縮応力を生じる。二酸化バナジウム構造体１１１の収縮応力がカーボンナノチューブ構造体１１０の抵抗収縮応力より大きい際、二酸化バナジウム構造体１１１及びカーボンナノチューブ構造体１１０からなる複合構造体は二酸化バナジウム構造体１１１の側に向かって湾曲して、曲面状のアクチュエータ１１を形成する。収縮応力及び抵抗収縮応力はそれぞれ二酸化バナジウム構造体１１１の厚さ及びカーボンナノチューブ構造体１１０の厚さによって決められる。カーボンナノチューブ構造体１１０の厚さが小さい際、曲面状のアクチュエータ１１を形成できる。カーボンナノチューブ構造体１１０の厚さが大きい際、平面状のアクチュエータ１１を形成できる。 In the step of annealing the vanadium oxide layer 112 to form the vanadium dioxide structure 111, the lattice is mismatched at the interface between the carbon nanotube structure 110 and the vanadium dioxide structure 111. The side where the lattice constant of the vanadium dioxide structure 111 is small generates contraction stress, and the side of the carbon nanotube structure 110 where the lattice constant is large generates resistance contraction stress. When the shrinkage stress of the vanadium dioxide structure 111 is larger than the resistance shrinkage stress of the carbon nanotube structure 110, the composite structure including the vanadium dioxide structure 111 and the carbon nanotube structure 110 is curved toward the vanadium dioxide structure 111 side. Thus, the curved actuator 11 is formed. The shrinkage stress and the resistance shrinkage stress are determined by the thickness of the vanadium dioxide structure 111 and the thickness of the carbon nanotube structure 110, respectively. When the thickness of the carbon nanotube structure 110 is small, the curved actuator 11 can be formed. When the carbon nanotube structure 110 is thick, the planar actuator 11 can be formed.

タングステンがドープされる二酸化バナジウム構造体１１１を形成する際、Ｓ１２において、スパッタターゲットはタングステンがドープされるバナジウムであり、スパッタリング電力は６０Ｗであり、スパッタリング温度は室温であり、作動ガスは４９．５ｓｃｃｍのアルゴン及び０．５ｓｃｃｍの酸素からなる混合ガスであり、作動圧力は０．６Ｐａであり、スパッタリング時間は３０分間である。バナジウム酸化物層１１２の成分はＷ−ＶＯ_Ｘである。Ｓ１３において、アニールの圧力は４．５×１０^−２ｍｂａｒであり、アニールの温度は４５０℃であり、アニールの時間は１０分間である。バナジウム酸化物層１１２をアニールすることによって、バナジウム酸化物層１１２を結晶させて、二酸化バナジウム構造体１１１を形成する。 When forming the vanadium dioxide structure 111 doped with tungsten, in S12, the sputtering target is vanadium doped with tungsten, the sputtering power is 60 W, the sputtering temperature is room temperature, and the working gas is 49.5 sccm. A mixed gas composed of argon and 0.5 sccm of oxygen, the operating pressure is 0.6 Pa, and the sputtering time is 30 minutes. Component of the vanadium oxide layer 112 is W-VO _X. In S13, the annealing pressure is 4.5 × 10 ⁻² mbar, the annealing temperature is 450 ° C., and the annealing time is 10 minutes. By annealing the vanadium oxide layer 112, the vanadium oxide layer 112 is crystallized to form the vanadium dioxide structure 111.

図３を参照すると、実施例２はアクチュエータ１１Ａを提供する。アクチュエータ１１Ａは、カーボンナノチューブ構造体１１０と、二酸化バナジウム構造体１１１と、を含む。カーボンナノチューブ構造体１１０及び二酸化バナジウム構造体１１１は積層して設置される。 Referring to FIG. 3, Example 2 provides an actuator 11A. The actuator 11 A includes a carbon nanotube structure 110 and a vanadium dioxide structure 111. The carbon nanotube structure 110 and the vanadium dioxide structure 111 are stacked and installed.

実施例２におけるアクチュエータ１１Ａの構造は、実施例１におけるアクチュエータ１１の構造と基本的に同じであるが、以下の点は異なる。アクチュエータ１１Ａは少なくとも一枚のカーボンナノチューブフィルム１１３を含む。少なくとも一枚のカーボンナノチューブフィルム１１３は二酸化バナジウム構造体１１１の内部に設置され、且つカーボンナノチューブ構造体１１０と間隔をあけて設置される。少なくとも一枚のカーボンナノチューブフィルム１１３と二酸化バナジウム構造体１１１とは複合構造体を形成する。アクチュエータ１１Ａは複数のカーボンナノチューブフィルム１１３を含む際、複数のカーボンナノチューブフィルム１１３は相互に間隔をあけて設置される。 The structure of the actuator 11A in the second embodiment is basically the same as the structure of the actuator 11 in the first embodiment, except for the following points. The actuator 11A includes at least one carbon nanotube film 113. At least one carbon nanotube film 113 is disposed inside the vanadium dioxide structure 111 and is spaced from the carbon nanotube structure 110. At least one carbon nanotube film 113 and vanadium dioxide structure 111 form a composite structure. When the actuator 11 A includes a plurality of carbon nanotube films 113, the plurality of carbon nanotube films 113 are installed at intervals.

レーザーがカーボンナノチューブ構造体１１０の側を照射する際、カーボンナノチューブフィルム１１３はカーボンナノチューブ構造体１１０から透過したレーザーを吸収して、熱を生じ、且つ熱を二酸化バナジウム構造体１１１に均一に伝導できる。カーボンナノチューブフィルム１１３の厚さは小さいので、二酸化バナジウム構造体１１１の収縮に伴って収縮でき、二酸化バナジウム構造体１１１の変形に影響を与えない。好ましくは、カーボンナノチューブフィルム１１３はドローン構造カーボンナノチューブフィルムであり、その厚さは３０ｎｍであり、隣接する二つのカーボンナノチューブフィルム１１３の距離は３０ｎｍより大きい。 When the laser irradiates the carbon nanotube structure 110 side, the carbon nanotube film 113 absorbs the laser transmitted from the carbon nanotube structure 110, generates heat, and can uniformly conduct the heat to the vanadium dioxide structure 111. . Since the thickness of the carbon nanotube film 113 is small, it can contract with the contraction of the vanadium dioxide structure 111 and does not affect the deformation of the vanadium dioxide structure 111. Preferably, the carbon nanotube film 113 is a drone structure carbon nanotube film, the thickness thereof is 30 nm, and the distance between two adjacent carbon nanotube films 113 is greater than 30 nm.

図４を参照すると、アクチュエータ１１Ａの製造方法を提供する。
Ｓ２１、複数のカーボンナノチューブフィルム１１３を提供する。
Ｓ２２、各カーボンナノチューブフィルム１１３の表面にバナジウム酸化物層１１２を堆積する。
Ｓ２３、カーボンナノチューブ構造体１１０の表面に、バナジウム酸化物層１１２が堆積された複数のカーボンナノチューブフィルム１１３を積層して設置する。
Ｓ２４、酸素の雰囲気でバナジウム酸化物層１１２をアニールして、二酸化バナジウム構造体１１１を形成する。 Referring to FIG. 4, a method for manufacturing the actuator 11A is provided.
S21, providing a plurality of carbon nanotube films 113.
S 22, a vanadium oxide layer 112 is deposited on the surface of each carbon nanotube film 113.
S23, a plurality of carbon nanotube films 113 on which a vanadium oxide layer 112 is deposited are stacked and installed on the surface of the carbon nanotube structure 110.
S24, The vanadium oxide layer 112 is annealed in an oxygen atmosphere to form the vanadium dioxide structure 111.

アクチュエータ１１Ａの製造方法におけるバナジウム酸化物層１１２の堆積方法及びアニール方法はアクチュエータ１１の製造方法におけるバナジウム酸化物層１１２の堆積方法及びアニール方法と基本的に同じである。Ｓ２２において、バナジウム酸化物層１１２はカーボンナノチューブフィルム１１３の表面に堆積するだけでなく、カーボンナノチューブフィルム１１３の微孔を充填する。好ましくは、バナジウム酸化物層１１２はカーボンナノチューブフィルム１１３の対向する二つの表面に堆積して、且つカーボンナノチューブフィルム１１３の微孔を充填する。これにより、複数のバナジウム酸化物層１１２をアニールした後、完全な二酸化バナジウム構造体１１１を形成できる。この際、複数のカーボンナノチューブフィルム１１３は二酸化バナジウム構造体１１１に被覆される。 The deposition method and annealing method of the vanadium oxide layer 112 in the manufacturing method of the actuator 11A are basically the same as the deposition method and annealing method of the vanadium oxide layer 112 in the manufacturing method of the actuator 11. In S 22, the vanadium oxide layer 112 is not only deposited on the surface of the carbon nanotube film 113 but also fills the micropores of the carbon nanotube film 113. Preferably, the vanadium oxide layer 112 is deposited on two opposing surfaces of the carbon nanotube film 113 and fills the micropores of the carbon nanotube film 113. Thereby, after annealing the several vanadium oxide layer 112, the complete vanadium dioxide structure 111 can be formed. At this time, the plurality of carbon nanotube films 113 are covered with the vanadium dioxide structure 111.

図５を参照すると、実施例３はアクチュエータ１１Ｂを提供する。アクチュエータ１１Ｂは、カーボンナノチューブ構造体１１０と、二酸化バナジウム構造体１１１と、複数のカーボンナノチューブフィルム１１３と、を含む。複数のカーボンナノチューブフィルム１１３は二酸化バナジウム構造体１１１の内部に設置される。これにより、複数のカーボンナノチューブフィルム１１３と二酸化バナジウム構造体１１１とは複合構造体を形成する。カーボンナノチューブ構造体１１０は複合構造体と積層して設置される。 Referring to FIG. 5, Example 3 provides an actuator 11B. The actuator 11B includes a carbon nanotube structure 110, a vanadium dioxide structure 111, and a plurality of carbon nanotube films 113. The plurality of carbon nanotube films 113 are installed inside the vanadium dioxide structure 111. Thereby, the plurality of carbon nanotube films 113 and the vanadium dioxide structure 111 form a composite structure. The carbon nanotube structure 110 is stacked with the composite structure.

実施例３におけるアクチュエータ１１Ｂの構造は実施例２におけるアクチュエータ１１Ａの構造と基本的に同じであるが、以下の点は異なる。複数のカーボンナノチューブフィルム１１３の寸法は二酸化バナジウム構造体１１１の寸法より大きい。これにより、複数のカーボンナノチューブフィルム１１３の一部は二酸化バナジウム構造体１１１の外部に延伸する。すなわち、複数のカーボンナノチューブフィルム１１３の辺縁一部は二酸化バナジウム構造体１１１に被覆されない。 The structure of the actuator 11B in the third embodiment is basically the same as the structure of the actuator 11A in the second embodiment, except for the following points. The dimensions of the plurality of carbon nanotube films 113 are larger than the dimensions of the vanadium dioxide structure 111. Thereby, some of the plurality of carbon nanotube films 113 are extended to the outside of the vanadium dioxide structure 111. That is, some of the edges of the plurality of carbon nanotube films 113 are not covered with the vanadium dioxide structure 111.

好ましくは、二酸化バナジウム構造体１１１に被覆されない複数のカーボンナノチューブフィルム１１３の辺縁部分は積層して設置される。積層して設置される複数のカーボンナノチューブフィルム１１３の辺縁部分には電極を設置して、電源に接続できる。これにより、複数のカーボンナノチューブフィルム１１３に電流を入力して、二酸化バナジウム構造体１１１を加熱できる。 Preferably, the edge portions of the plurality of carbon nanotube films 113 that are not covered with the vanadium dioxide structure 111 are stacked and installed. Electrodes can be installed on the edge portions of the plurality of carbon nanotube films 113 that are stacked and connected to a power source. Thereby, it is possible to heat the vanadium dioxide structure 111 by inputting current to the plurality of carbon nanotube films 113.

さらに好ましくは、二酸化バナジウム構造体１１１に被覆されない複数のカーボンナノチューブフィルム１１３の部分はカーボンナノチューブ構造体１１０と接触して、且つ電気的に接続される。カーボンナノチューブフィルム１１３及びカーボンナノチューブ構造体１１０には共に電極を設置し、且つ電源に接続できる。カーボンナノチューブ構造体１１０は光エネルギーを吸収して熱に変える際、カーボンナノチューブフィルム１１３に熱を直接に伝導でき、さらに、二酸化バナジウム構造体１１１に伝導できる。一つの例において、二酸化バナジウム構造体１１１に被覆されない複数のカーボンナノチューブフィルム１１３の辺縁部分はカーボンナノチューブ構造体１１０と接触して且つ電気的に接続され、または、間隔をあけて設置される二つの電極とそれぞれ接触して且つ電気的に接続される。 More preferably, the portions of the plurality of carbon nanotube films 113 not covered with the vanadium dioxide structure 111 are in contact with and electrically connected to the carbon nanotube structure 110. Both the carbon nanotube film 113 and the carbon nanotube structure 110 can be provided with electrodes and connected to a power source. When the carbon nanotube structure 110 absorbs light energy and converts it into heat, the carbon nanotube structure 110 can directly conduct heat to the carbon nanotube film 113 and can further conduct to the vanadium dioxide structure 111. In one example, the edge portions of the plurality of carbon nanotube films 113 that are not covered with the vanadium dioxide structure 111 are in contact with and electrically connected to the carbon nanotube structure 110 or are spaced apart from each other. Each electrode is in contact with and electrically connected.

本実施例において、カーボンナノチューブ構造体１１０の寸法は二酸化バナジウム構造体１１１の寸法より大きい。二酸化バナジウム構造体１１１に被覆されないカーボンナノチューブフィルム１１３の辺縁部分は二酸化バナジウム構造体１１１に被覆されないカーボンナノチューブ構造体１１０の部分と積層して設置される。カーボンナノチューブ構造体１１０の寸法及び形状が二酸化バナジウム構造体１１１の寸法及び形状と同じである際、二酸化バナジウム構造体１１１に被覆されないカーボンナノチューブフィルム１１３の辺縁部分は湾曲して、カーボンナノチューブ構造体１１０と二酸化バナジウム構造体１１１と間に設置され、或いは、二酸化バナジウム構造体１１１と離れるカーボンナノチューブ構造体１１０の表面に設置される。 In this embodiment, the carbon nanotube structure 110 has a size larger than that of the vanadium dioxide structure 111. The peripheral portion of the carbon nanotube film 113 that is not covered with the vanadium dioxide structure 111 is stacked with the portion of the carbon nanotube structure 110 that is not covered with the vanadium dioxide structure 111. When the size and shape of the carbon nanotube structure 110 are the same as the size and shape of the vanadium dioxide structure 111, the peripheral portion of the carbon nanotube film 113 that is not covered with the vanadium dioxide structure 111 is curved, and the carbon nanotube structure 110 and the vanadium dioxide structure 111 or on the surface of the carbon nanotube structure 110 that is separated from the vanadium dioxide structure 111.

図６を参照すると、アクチュエータ１１Ｂの製造方法を提供する。
Ｓ３１、複数のカーボンナノチューブフィルム１１３を提供する。
Ｓ３２、各カーボンナノチューブフィルム１１３の表面の一部にバナジウム酸化物層１１２を堆積する。
Ｓ３３、カーボンナノチューブ構造体１１０の表面に、バナジウム酸化物層１１２が堆積された複数のカーボンナノチューブフィルム１１３を積層して設置する。
Ｓ３４、酸素の雰囲気でバナジウム酸化物層１１２をアニールして、二酸化バナジウム構造体１１１を形成し、各カーボンナノチューブフィルム１１３の一部は二酸化バナジウム構造体１１１の外部に延伸する。 Referring to FIG. 6, a method for manufacturing the actuator 11B is provided.
S31, providing a plurality of carbon nanotube films 113.
S 32, a vanadium oxide layer 112 is deposited on a part of the surface of each carbon nanotube film 113.
S33, a plurality of carbon nanotube films 113 on which a vanadium oxide layer 112 is deposited are stacked and installed on the surface of the carbon nanotube structure 110.
S 34, the vanadium oxide layer 112 is annealed in an oxygen atmosphere to form the vanadium dioxide structure 111, and a part of each carbon nanotube film 113 extends to the outside of the vanadium dioxide structure 111.

アクチュエータ１１Ｂの製造方法はアクチュエータ１１Ａの製造方法と基本的に同じであるが、以下の点は異なる。Ｓ３２において、バナジウム酸化物層１１２はカーボンナノチューブフィルム１１３の中部に堆積する。これにより、カーボンナノチューブフィルム１１３の辺縁部分はバナジウム酸化物層１１２に被覆されない。さらに、二酸化バナジウム構造体１１１に被覆されない複数のカーボンナノチューブフィルム１１３の部分は積層して設置し、且つカーボンナノチューブ構造体１１０と接触するステップを含む。例えば、揮発性有機溶剤の処理或いは圧力によって、二酸化バナジウム構造体１１１に被覆されない複数のカーボンナノチューブフィルム１１３の部分は積層して設置される。 The manufacturing method of the actuator 11B is basically the same as the manufacturing method of the actuator 11A, but the following points are different. In S 32, the vanadium oxide layer 112 is deposited on the middle part of the carbon nanotube film 113. Thereby, the edge portion of the carbon nanotube film 113 is not covered with the vanadium oxide layer 112. Further, the plurality of carbon nanotube film 113 portions that are not covered with the vanadium dioxide structure 111 include a step of stacking and contacting the carbon nanotube structure 110. For example, the portions of the plurality of carbon nanotube films 113 that are not covered with the vanadium dioxide structure 111 are laminated and installed by the treatment or pressure of the volatile organic solvent.

図７を参照すると、実施例４はアクチュエータ１１Ｃを提供する。アクチュエータ１１Ｃは、カーボンナノチューブ構造体１１０と、二酸化バナジウム構造体１１１と、カーボンナノチューブアレイ１１４と、を含む。カーボンナノチューブ構造体１１０及び二酸化バナジウム構造体１１１は積層して設置される。 Referring to FIG. 7, Example 4 provides an actuator 11C. The actuator 11 C includes a carbon nanotube structure 110, a vanadium dioxide structure 111, and a carbon nanotube array 114. The carbon nanotube structure 110 and the vanadium dioxide structure 111 are stacked and installed.

実施例４におけるアクチュエータ１１Ｃの構造は実施例１におけるアクチュエータ１１の構造と基本的に同じであるが、以下の点は異なる。アクチュエータ１１Ｃはカーボンナノチューブアレイ１１４を含む。カーボンナノチューブアレイ１１４は複数のカーボンナノチューブを含む。複数のカーボンナノチューブは二酸化バナジウム構造体１１１に相互に平行して間隔をあけて設置される。これにより、カーボンナノチューブアレイ１１４と二酸化バナジウム構造体１１１とは複合構造体を形成する。 The structure of the actuator 11C in the fourth embodiment is basically the same as the structure of the actuator 11 in the first embodiment, except for the following points. The actuator 11 C includes a carbon nanotube array 114. The carbon nanotube array 114 includes a plurality of carbon nanotubes. The plurality of carbon nanotubes are disposed on the vanadium dioxide structure 111 in parallel with each other at intervals. Thereby, the carbon nanotube array 114 and the vanadium dioxide structure 111 form a composite structure.

カーボンナノチューブアレイ１１４におけるカーボンナノチューブはカーボンナノチューブ構造体１１０と垂直して設置される。カーボンナノチューブの軸方向に、カーボンナノチューブは対向する第一端部及び第二端部を有する。第一端部はカーボンナノチューブ構造体１１０と接触して設置される。第二端部はカーボンナノチューブ構造体１１０と離れる。二酸化バナジウム構造体１１１は相互に平行して間隔をあけるカーボンナノチューブの間に設置される。 The carbon nanotubes in the carbon nanotube array 114 are installed perpendicular to the carbon nanotube structure 110. In the axial direction of the carbon nanotube, the carbon nanotube has a first end and a second end facing each other. The first end is disposed in contact with the carbon nanotube structure 110. The second end is separated from the carbon nanotube structure 110. Vanadium dioxide structures 111 are placed between carbon nanotubes spaced in parallel to each other.

カーボンナノチューブの径方向における熱伝導性よりカーボンナノチューブの軸方向における熱伝導性が優れているので、カーボンナノチューブ構造体１１０と垂直するカーボンナノチューブはカーボンナノチューブ構造体１１０の熱を完全の二酸化バナジウム構造体１１１に伝導することに有利である。 Since the thermal conductivity in the axial direction of the carbon nanotube is superior to the thermal conductivity in the radial direction of the carbon nanotube, the carbon nanotube perpendicular to the carbon nanotube structure 110 transfers the heat of the carbon nanotube structure 110 to the complete vanadium dioxide structure. It is advantageous to conduct to 111.

カーボンナノチューブアレイ１１４におけるカーボンナノチューブは二酸化バナジウム構造体１１１と垂直して設置されるので、二酸化バナジウム構造体１１１はその厚さ方向に収縮する際、カーボンナノチューブアレイ１１４におけるカーボンナノチューブは収縮方法に沿って移動でき、二酸化バナジウム構造体１１１の厚さ方向における収縮に影響を与えない。 Since the carbon nanotubes in the carbon nanotube array 114 are installed perpendicular to the vanadium dioxide structure 111, when the vanadium dioxide structure 111 contracts in the thickness direction, the carbon nanotubes in the carbon nanotube array 114 follow the contraction method. It can move and does not affect the shrinkage of the vanadium dioxide structure 111 in the thickness direction.

図８を参照すると、アクチュエータ１１Ｃの製造方法を提供する。アクチュエータ１１Ｃの製造方法は下記のステップを含む。
Ｓ４１、カーボンナノチューブアレイ１１４を提供し、カーボンナノチューブアレイ１１４は相互に平行して間隔をあけて設置される複数のカーボンナノチューブを含む。
Ｓ４２、カーボンナノチューブの軸方向と垂直する方向に沿って、カーボンナノチューブアレイ１１４を引き伸ばして、隣接する二本のカーボンナノチューブの距離を増加する。
Ｓ４３、隣接する二本のカーボンナノチューブの間にバナジウム酸化物層１１２を堆積して、カーボンナノチューブ構造体１１０の表面に、バナジウム酸化物層１１２が堆積されたカーボンナノチューブアレイ１１４を積層して設置する。
Ｓ４４、酸素の雰囲気でバナジウム酸化物層１１２をアニールして、二酸化バナジウム構造体１１１を形成する。 Referring to FIG. 8, a method for manufacturing the actuator 11C is provided. The manufacturing method of the actuator 11C includes the following steps.
S41, providing a carbon nanotube array 114, wherein the carbon nanotube array 114 includes a plurality of carbon nanotubes that are spaced apart from each other in parallel.
S42, the carbon nanotube array 114 is stretched along the direction perpendicular to the axial direction of the carbon nanotubes to increase the distance between two adjacent carbon nanotubes.
S43, the vanadium oxide layer 112 is deposited between two adjacent carbon nanotubes, and the carbon nanotube array 114 on which the vanadium oxide layer 112 is deposited is stacked and installed on the surface of the carbon nanotube structure 110. .
S44, annealing the vanadium oxide layer 112 in an oxygen atmosphere to form the vanadium dioxide structure 111.

Ｓ４１において、カーボンナノチューブアレイ１１４は化学気相成長法によって、基板の表面に成長する。この際、カーボンナノチューブアレイ１１４において、隣接する二本のカーボンナノチューブの距離は小さいので、隣接する二本のカーボンナノチューブの間にバナジウム酸化物層１１２を堆積し難しい。Ｓ４２において、伸縮性テープ１１６によって、カーボンナノチューブアレイ１１４を基板から伸縮性テープ１１６に転移する。伸縮性テープ１１６を引き伸ばすことよって、カーボンナノチューブアレイ１１４における隣接する二本のカーボンナノチューブの距離を増加する。Ｓ４３において、伸縮性テープ１１６を引き伸ばす状態を維持して、隣接する二本のカーボンナノチューブの大きい距離を保証する。これにより、隣接する二本のカーボンナノチューブの間にバナジウム酸化物層１１２を堆積しやすい。 In S41, the carbon nanotube array 114 is grown on the surface of the substrate by chemical vapor deposition. At this time, in the carbon nanotube array 114, since the distance between the two adjacent carbon nanotubes is small, it is difficult to deposit the vanadium oxide layer 112 between the two adjacent carbon nanotubes. In S 42, the carbon nanotube array 114 is transferred from the substrate to the stretchable tape 116 by the stretchable tape 116. By stretching the elastic tape 116, the distance between two adjacent carbon nanotubes in the carbon nanotube array 114 is increased. In S43, the stretchable tape 116 is maintained in a stretched state, and a large distance between two adjacent carbon nanotubes is ensured. Accordingly, the vanadium oxide layer 112 is easily deposited between two adjacent carbon nanotubes.

図９を参照すると、実施例５はアクチュエータ１１Ｄを提供する。アクチュエータ１１Ｄは、カーボンナノチューブ構造体１１０と、二酸化バナジウム構造体１１１と、保護層１１５と、を含む。カーボンナノチューブ構造体１１０及び二酸化バナジウム構造体１１１は積層して設置される。カーボンナノチューブ構造体１１０或いは二酸化バナジウム構造体１１１の少なくとも一部は保護層１１５に被覆される。 Referring to FIG. 9, Example 5 provides an actuator 11D. The actuator 11D includes a carbon nanotube structure 110, a vanadium dioxide structure 111, and a protective layer 115. The carbon nanotube structure 110 and the vanadium dioxide structure 111 are stacked and installed. At least a part of the carbon nanotube structure 110 or the vanadium dioxide structure 111 is covered with a protective layer 115.

実施例５におけるアクチュエータ１１Ｄの構造は実施例１におけるアクチュエータ１１の構造と基本的に同じであるが、以下の点は異なる。アクチュエータ１１Ｄは、保護層１１５を含む。カーボンナノチューブ構造体１１０或いは二酸化バナジウム構造体１１１の少なくとも一部は保護層１１５に被覆される。 The structure of the actuator 11D in the fifth embodiment is basically the same as the structure of the actuator 11 in the first embodiment, except for the following points. The actuator 11D includes a protective layer 115. At least a part of the carbon nanotube structure 110 or the vanadium dioxide structure 111 is covered with a protective layer 115.

カーボンナノチューブ構造体１１０は二酸化バナジウム構造体１１１から脱しやすく、或いは不純物を吸着しやすい。二酸化バナジウム構造体１１１は腐蝕されやすい。保護層１１５を設置することによって、アクチュエータ１１Ｄを保護でき、アクチュエータ１１Ｄを異なる環境に正常に作動させる。保護層１１５の材料は可撓性材料であり、例えば、ポリマー或いはシリコーンゴムである。好ましくは、保護層１１５の厚さは小さく、且つ保護層１１５は弾力を有する。これにより、二酸化バナジウム構造体１１１が収縮する際、保護層１１５も収縮する。本実施例において、保護層１１５はシリコーンゴムからなり、且つカーボンナノチューブ構造体１１０及び二酸化バナジウム構造体１１１を完全に被覆する。 The carbon nanotube structure 110 is easily detached from the vanadium dioxide structure 111 or easily adsorbs impurities. The vanadium dioxide structure 111 is easily corroded. By installing the protective layer 115, the actuator 11D can be protected, and the actuator 11D operates normally in different environments. The material of the protective layer 115 is a flexible material, for example, polymer or silicone rubber. Preferably, the thickness of the protective layer 115 is small, and the protective layer 115 has elasticity. Thereby, when the vanadium dioxide structure 111 contracts, the protective layer 115 also contracts. In this embodiment, the protective layer 115 is made of silicone rubber and completely covers the carbon nanotube structure 110 and the vanadium dioxide structure 111.

アクチュエータ１１Ｄの製造方法はアクチュエータ１１の製造方法と基本的に同じであるが、異なるのは、アクチュエータ１１Ｄの製造方法が保護層１１５を設置するステップを含む点である。 The manufacturing method of the actuator 11D is basically the same as the manufacturing method of the actuator 11, but the difference is that the manufacturing method of the actuator 11D includes a step of installing the protective layer 115.

図１０を参照すると、実施例６はアクチュエータの応用システム１０を提供する。アクチュエータの応用システム１０はアクチュエータ１１と、固定装置１２と、励起装置１３と、を含む。アクチュエータ１１は実施例１〜５のアクチュエータであってもよい。 Referring to FIG. 10, Example 6 provides an actuator application system 10. The actuator application system 10 includes an actuator 11, a fixing device 12, and an excitation device 13. The actuator 11 may be the actuator of the first to fifth embodiments.

アクチュエータ１１は、カーボンナノチューブ構造体１１０と、カーボンナノチューブ構造体１１０と積層される二酸化バナジウム構造体１１１と、を含む。アクチュエータ１１は湾曲のストリップ状である。アクチュエータ１１の両端は固定装置１２に設置され、ほかの部分は懸架される。アクチュエータ１１の一端部のみは固定装置１２に設置され、ほかの一端部は懸架されてもよい。好ましくは、励起装置１３はカーボンナノチューブ構造体１１０と近接する側に設置される。励起装置１３は無線によりアクチュエータ11に刺激を与える。励起装置１３は光源である。本実施例において、アクチュエータ１１の湾曲部の先は尖っている。励起装置１３はレーザーである。好ましくは、励起装置１３はパルスレーザー信号を提供する。 The actuator 11 includes a carbon nanotube structure 110 and a vanadium dioxide structure 111 laminated with the carbon nanotube structure 110. The actuator 11 has a curved strip shape. Both ends of the actuator 11 are installed in the fixing device 12, and other parts are suspended. Only one end of the actuator 11 may be installed in the fixing device 12, and the other end may be suspended. Preferably, the excitation device 13 is installed on the side close to the carbon nanotube structure 110. The excitation device 13 gives a stimulus to the actuator 11 by radio. The excitation device 13 is a light source. In this embodiment, the tip of the curved portion of the actuator 11 is sharp. The excitation device 13 is a laser. Preferably, the excitation device 13 provides a pulsed laser signal.

励起装置１３はアクチュエータ１１にレーザーを出射する際、カーボンナノチューブ構造体１１０はレーザーを吸収して熱を転化する。二酸化バナジウム構造体１１１を相転移温度に加熱した後、相変化して収縮を発生し、懸架されるアクチュエータ１１の部分は二酸化バナジウム構造体１１１の側に向かって湾曲する。励起装置１３はレーザーを出射しない際、懸架されるアクチュエータ１１の部分は元の形状に戻る。 When the excitation device 13 emits a laser to the actuator 11, the carbon nanotube structure 110 absorbs the laser and converts heat. After the vanadium dioxide structure 111 is heated to the phase transition temperature, the phase changes to cause contraction, and the suspended portion of the actuator 11 is bent toward the vanadium dioxide structure 111 side. When the excitation device 13 does not emit a laser, the suspended actuator 11 returns to its original shape.

図１１を参照すると、アクチュエータの応用システム１０の製造方法を提供する。アクチュエータの応用システム１０の製造方法は、下記のステップを含む。
Ｓ６１、複数の凹槽１４１を有する基板１４を提供し、基板１４に複数の凹槽１４１を被覆するカーボンナノチューブ層状構造体１１７を設置する。
Ｓ６２、カーボンナノチューブ層状構造体１１７を切り、複数のストリップ状のカーボンナノチューブ構造体１１０を形成し、ストリップ状のカーボンナノチューブ構造体１１０の両端は基板１４に固定し、カーボンナノチューブ構造体１１０の中間部分は凹槽１４１によって懸架する。
Ｓ６３、ストリップ状の各カーボンナノチューブ構造体１１０の表面にバナジウム酸化物層１１２を堆積して、酸素の雰囲気でバナジウム酸化物層１１２をアニールして、二酸化バナジウム構造体１１１を形成する。
Ｓ６４、基板１４を切り、複数の固定装置１２を形成し、且つ各固定装置１２にアクチュエータ１１を設置する。 Referring to FIG. 11, a method for manufacturing an actuator application system 10 is provided. The manufacturing method of the actuator application system 10 includes the following steps.
S 61, the substrate 14 having the plurality of concave tanks 141 is provided, and the carbon nanotube layered structure 117 covering the plurality of concave tanks 141 is installed on the substrate 14.
S62, the carbon nanotube layered structure 117 is cut to form a plurality of strip-shaped carbon nanotube structures 110, and both ends of the strip-shaped carbon nanotube structures 110 are fixed to the substrate 14, and an intermediate portion of the carbon nanotube structure 110 is formed. Is suspended by a concave tank 141.
S63, A vanadium oxide layer 112 is deposited on the surface of each strip-shaped carbon nanotube structure 110, and the vanadium oxide layer 112 is annealed in an oxygen atmosphere to form a vanadium dioxide structure 111.
S 64, the substrate 14 is cut, a plurality of fixing devices 12 are formed, and the actuator 11 is installed in each fixing device 12.

本実施例において、基板１４はＳｉ_３Ｎ_４からなる。基板１４は複数の平行して間隔をあけるストリップ状の凹槽１４１を有する。凹槽１４１は貫通孔である。レーザーによってカーボンナノチューブ層状構造体１１７を切る。 In the present embodiment, the substrate 14 is made of Si ₃ N ₄ . The substrate 14 has a plurality of strip-shaped concave tanks 141 spaced in parallel. The concave tank 141 is a through hole. The carbon nanotube layered structure 117 is cut by a laser.

実施例６におけるアクチュエータ１１を特徴付ける。図１２は、アクチュエータ１１の走査型電子顕微鏡写真である。図１３は、アクチュエータ１１の局部の走査型電子顕微鏡写真である。図１３を参照すると、カーボンナノチューブ構造体１１０におけるカーボンナノチューブは交差して且つ垂直して設置され、二酸化バナジウム構造体１１１はカーボンナノチューブ構造体１１０に均一に分布される。図１４を参照すると、カーボンナノチューブ構造体１１０の一部のカーボンナノチューブの表面は二酸化バナジウム構造体１１１に被覆される。図１５は、実施例６におけるアクチュエータ１１のＥＤＸスペクトルである。図１６は、実施例６におけるアクチュエータ１１のラマン散乱スペクトルである。図１６を参照すると、二酸化バナジウム構造体１１１はカーボンナノチューブ構造体１１０の表面に均一に分布する。二酸化バナジウム構造体１１１は絶縁相である。アクチュエータの応用システム１０に対してテストする。励起装置１３はパルスレーザーを出射してアクチュエータ１１を照射する。パルスレーザーのパワー密度は８００ｍＷ/ｃｍ^２〜１６００ｍＷ/ｃｍ^２である。アクチュエータ１１の反応時間は１２．５ミリ秒間である。曲げ振動の周波数は８０Ｈｚである。曲げ振動の周波数をテストする際、アクチュエータ１１の周囲温度は４３℃である。 The actuator 11 in the sixth embodiment is characterized. FIG. 12 is a scanning electron micrograph of the actuator 11. FIG. 13 is a scanning electron micrograph of the local area of the actuator 11. Referring to FIG. 13, the carbon nanotubes in the carbon nanotube structure 110 are installed so as to intersect and perpendicularly, and the vanadium dioxide structure 111 is uniformly distributed in the carbon nanotube structure 110. Referring to FIG. 14, the surface of a part of the carbon nanotubes of the carbon nanotube structure 110 is covered with the vanadium dioxide structure 111. FIG. 15 is an EDX spectrum of the actuator 11 in the sixth embodiment. FIG. 16 is a Raman scattering spectrum of the actuator 11 in Example 6. Referring to FIG. 16, the vanadium dioxide structure 111 is uniformly distributed on the surface of the carbon nanotube structure 110. The vanadium dioxide structure 111 is an insulating phase. Test against actuator application system 10. The excitation device 13 emits a pulse laser and irradiates the actuator 11. Power density of the pulsed laser is ^{^{800mW / cm 2 ~1600mW / cm 2}} . The reaction time of the actuator 11 is 12.5 milliseconds. The frequency of bending vibration is 80 Hz. When testing the frequency of bending vibration, the ambient temperature of the actuator 11 is 43 ° C.

図１７を参照すると、実施例７はアクチュエータの応用システム１０Ａを提供する。アクチュエータの応用システム１０Ａはアクチュエータ１１と、固定装置１２と、励起装置１３と、を含む。アクチュエータ１１は実施例１〜５のアクチュエータであってもよい。 Referring to FIG. 17, Example 7 provides an actuator application system 10A. The actuator application system 10 A includes an actuator 11, a fixing device 12, and an excitation device 13. The actuator 11 may be the actuator of the first to fifth embodiments.

実施例７におけるアクチュエータの応用システム１０Ａの構造は実施例６におけるアクチュエータの応用システム１０の構造と基本的に同じであるが、以下の点は異なる。アクチュエータ１１の両端にはそれぞれ第三電極１１８が設置される。励起装置１３は電源であり、二つの第三電極１１８と電気的に設置される。電源は交流電源或いは直流電源であってもよい。好ましくは、電源はアクチュエータ１１にパルス電流を入力する。第三電極１１８は金属片であり、導電バインダーによってカーボンナノチューブ構造体１１０の表面に直接に固定される。カーボンナノチューブ構造体１１０は電源が出力する電気エネルギーを熱に転化して、二酸化バナジウム構造体１１１を加熱して変形させる。これにより、アクチュエータ１１を湾曲させる。アクチュエータ１１を加熱しない際、アクチュエータ１１は元の形状に戻る。 The structure of the actuator application system 10A in the seventh embodiment is basically the same as the structure of the actuator application system 10 in the sixth embodiment, except for the following points. Third electrodes 118 are installed at both ends of the actuator 11. The excitation device 13 is a power source and is electrically installed with the two third electrodes 118. The power source may be an AC power source or a DC power source. Preferably, the power source inputs a pulse current to the actuator 11. The third electrode 118 is a metal piece and is directly fixed to the surface of the carbon nanotube structure 110 by a conductive binder. The carbon nanotube structure 110 converts electric energy output from the power source into heat, and heats and deforms the vanadium dioxide structure 111. Thereby, the actuator 11 is bent. When the actuator 11 is not heated, the actuator 11 returns to its original shape.

図１８を参照すると、実施例８はアクチュエータの応用システム１０Ｂを提供する。アクチュエータの応用システム１０Ｂはアクチュエータ１１と、固定装置１２と、励起装置１３と、を含む。アクチュエータ１１はほかの実施例のアクチュエータであってもよい。 Referring to FIG. 18, Example 8 provides an actuator application system 10B. The actuator application system 10 B includes an actuator 11, a fixing device 12, and an excitation device 13. The actuator 11 may be an actuator of another embodiment.

実施例８におけるアクチュエータの応用システム１０Ｂの構造は実施例６におけるアクチュエータの応用システム１０の構造と基本的に同じであるが、以下の点は異なる。アクチュエータ１１の一端のみは固定装置１２に固定され、その他の一端は懸架されて方もちが形成される。二酸化バナジウム構造体１１１にはタングステンがドープされる。タングステンの重量比が０．５％である。 The structure of the actuator application system 10B in the eighth embodiment is basically the same as the structure of the actuator application system 10 in the sixth embodiment, except for the following points. Only one end of the actuator 11 is fixed to the fixing device 12, and the other end is suspended to form a stick. The vanadium dioxide structure 111 is doped with tungsten. The weight ratio of tungsten is 0.5%.

実施例８におけるアクチュエータ１１を特徴付ける。図１９は、アクチュエータ１１の局部の走査型電子顕微鏡写真である。図２０は、実施例８におけるアクチュエータ１１のＥＤＳスペクトルである。図２０を参照すると、二酸化バナジウム構造体１１１にはタングステンが有効にドープされる。 The actuator 11 in the eighth embodiment is characterized. FIG. 19 is a scanning electron micrograph of a local area of the actuator 11. FIG. 20 is an EDS spectrum of the actuator 11 in Example 8. Referring to FIG. 20, the vanadium dioxide structure 111 is effectively doped with tungsten.

実施例８におけるアクチュエータの応用システム１０Ｂをテストする。図２１は３２℃から４６℃まで加熱する際の湾曲のアクチュエータ１１の光学写真である。図２１を参照すると、３２℃でアクチュエータ１１が湾曲して、４６℃でアクチュエータ１１がさらに湾曲する。４６℃でアクチュエータ１１の変形は３２℃でアクチュエータ１１の変形より大きい。図２２は、温度は常温の２６℃及び５０℃である際、実施例８におけるアクチュエータ１１のラマン散乱スペクトルである。図２２を参照すると、温度は常温の２６℃である際、二酸化バナジウム構造体１１１は絶縁相である。温度は５０℃である際、二酸化バナジウム構造体１１１は金属相である。励起装置１３はパルスレーザーを出射してアクチュエータ１１を照射する。パルスレーザーのパワー密度は２５０ｍＷ/ｃｍ^２〜８００ｍＷ/ｃｍ^２である。アクチュエータ１１の反応時間は２８．５ミリ秒間である。曲げ振動の周波数は３５Ｈｚである。曲げ振動の周波数をテストする際、アクチュエータ１１の周囲温度は９℃である。 The actuator application system 10B in the eighth embodiment is tested. FIG. 21 is an optical photograph of the curved actuator 11 when heated from 32 ° C. to 46 ° C. Referring to FIG. 21, the actuator 11 is bent at 32 ° C., and the actuator 11 is further bent at 46 ° C. The deformation of the actuator 11 at 46 ° C. is larger than the deformation of the actuator 11 at 32 ° C. FIG. 22 shows Raman scattering spectra of the actuator 11 in Example 8 when the temperatures are 26 ° C. and 50 ° C., which are normal temperatures. Referring to FIG. 22, when the temperature is 26 ° C., which is normal temperature, the vanadium dioxide structure 111 is an insulating phase. When the temperature is 50 ° C., the vanadium dioxide structure 111 is a metal phase. The excitation device 13 emits a pulse laser and irradiates the actuator 11. Power density of the pulsed laser is ^{^{250mW / cm 2 ~800mW / cm 2}} . The reaction time of the actuator 11 is 28.5 milliseconds. The frequency of bending vibration is 35 Hz. When testing the frequency of bending vibration, the ambient temperature of the actuator 11 is 9 ° C.

図２３を参照すると、実施例９はアクチュエータの応用システム１０Ｃを提供する。アクチュエータの応用システム１０Ｃはアクチュエータ１１と、励起装置１３と、を含む。アクチュエータ１１は実施例１〜５のアクチュエータであってもよい。 Referring to FIG. 23, Example 9 provides an actuator application system 10C. The actuator application system 10 C includes an actuator 11 and an excitation device 13. The actuator 11 may be the actuator of the first to fifth embodiments.

実施例９におけるアクチュエータの応用システム１０Ｃの構造は実施例６におけるアクチュエータの応用システム１０の構造と基本的に同じであるが、以下の点は異なる。励起装置１３は熱源である。励起装置１３はアクチュエータ１１と平行して且つ間隔をあける加熱体１３２を含む。 The structure of the actuator application system 10C in the ninth embodiment is basically the same as the structure of the actuator application system 10 in the sixth embodiment, except for the following points. The excitation device 13 is a heat source. The excitation device 13 includes a heating element 132 that is parallel to and spaced from the actuator 11.

具体的に、励起装置１３は絶縁基板１３０と、二つの第四電極１３１と、加熱体１３２と、第一電源１３３と、を含む。二つの第四電極１３１は絶縁基板１３０に間隔をあけて設置される。加熱体１３２は二つの第四電極１３１とそれぞれ電気的に接続される。第一電源１３３は二つの第四電極１３１とそれぞれ電気的に接続される。加熱体１３２はカーボンナノチューブ構造体１１０の一側に設置され、且つカーボンナノチューブ構造体１１０と間隔をあけて設置される。真空中でアクチュエータの応用システム１０Ｃは作動する際、加熱体１３２は高温まで加熱できる。これにより、加熱体１３２とカーボンナノチューブ構造体１１０との距離は大きくてもよい。低温で加熱体１３２はアクチュエータ１１を加熱する際、加熱体１３２とカーボンナノチューブ構造体１１０との距離は小さい。 Specifically, the excitation device 13 includes an insulating substrate 130, two fourth electrodes 131, a heating body 132, and a first power source 133. The two fourth electrodes 131 are installed on the insulating substrate 130 with a space therebetween. The heating body 132 is electrically connected to each of the two fourth electrodes 131. The first power supply 133 is electrically connected to each of the two fourth electrodes 131. The heating body 132 is installed on one side of the carbon nanotube structure 110 and is spaced from the carbon nanotube structure 110. When the actuator application system 10C operates in a vacuum, the heating element 132 can be heated to a high temperature. Thereby, the distance between the heating body 132 and the carbon nanotube structure 110 may be large. When the heating body 132 heats the actuator 11 at a low temperature, the distance between the heating body 132 and the carbon nanotube structure 110 is small.

好ましくは、絶縁基板１３０は凹槽を有する。二つの第四電極１３１は対向して、凹槽の両側にそれぞれ設置される。二つの第四電極１３１の中心部は凹槽によって懸架される。これにより、加熱体１３２と絶縁基板１３０との熱伝導を減少する。アクチュエータ１１の一端は第四電極１３１の表面に設置され、その他の一端は加熱体１３２の上に懸架される。加熱体１３２は金属抵抗線或いはカーボンナノチューブフィルムである。好ましくは、加熱体１３２はカーボンナノチューブフィルムである。凹槽の底部には熱反射層或いは光反射層を設置してもよい。これにより、カーボンナノチューブ構造体１１０は加熱体１３２が出射する熱或いは光を有効に吸収できる。 Preferably, the insulating substrate 130 has a concave tank. The two fourth electrodes 131 are disposed opposite to each other on both sides of the concave tank. The central portions of the two fourth electrodes 131 are suspended by a concave tank. Thereby, the heat conduction between the heating body 132 and the insulating substrate 130 is reduced. One end of the actuator 11 is installed on the surface of the fourth electrode 131, and the other end is suspended on the heating body 132. The heating element 132 is a metal resistance wire or a carbon nanotube film. Preferably, the heating body 132 is a carbon nanotube film. You may install a heat | fever reflection layer or a light reflection layer in the bottom part of a concave tank. Thereby, the carbon nanotube structure 110 can effectively absorb the heat or light emitted from the heating body 132.

図２４を参照すると、実施例１０は温度検出システム２０を提供する。温度検出システム２０は第二電源２１と、電流計２２と、第一電極２３と、第二電極２４と、アクチュエータ１１と、を含む。アクチュエータ１１は実施例１〜５のアクチュエータであってもよい。 Referring to FIG. 24, Example 10 provides a temperature detection system 20. The temperature detection system 20 includes a second power source 21, an ammeter 22, a first electrode 23, a second electrode 24, and the actuator 11. The actuator 11 may be the actuator of the first to fifth embodiments.

第二電源２１は第一電極２３及び第二電極２４とそれぞれ電気的に接続される。アクチュエータ１１は対向する第一端部及び第二端部を有する。第一端部は第一電極２３に固定され、且つカーボンナノチューブ構造体１１０と電気的に接続される。第二端部は第二電極２４に固定され、且つカーボンナノチューブ構造体１１０と電気的に接続される。これにより、第二電源２１、第一電極２３、第二電極２４及びアクチュエータ１１は回路を形成する。電流計２２は回路に直列に接続し、電流の大きさを表示する。温度検出システム２０を使用する際、アクチュエータ１１を検出環境に設置する。例えば、カーボンナノチューブ構造体１１０を検出物に接触させる。回路の電流は小さいので、カーボンナノチューブ構造体１１０が生じる熱量は二酸化バナジウム構造体１１１の相転移温度に加熱できない。検出物の温度は二酸化バナジウム構造体１１１の相転移温度より大きい際、アクチュエータ１１は二酸化バナジウム構造体１１１の側に向かって湾曲して、アクチュエータ１１の第二端部は第二電極２４と離れる。これにより、回路は切断され、電流計２２は電流の大きさを表示しない。 The second power source 21 is electrically connected to the first electrode 23 and the second electrode 24, respectively. The actuator 11 has a first end and a second end facing each other. The first end is fixed to the first electrode 23 and is electrically connected to the carbon nanotube structure 110. The second end is fixed to the second electrode 24 and is electrically connected to the carbon nanotube structure 110. Thereby, the 2nd power supply 21, the 1st electrode 23, the 2nd electrode 24, and the actuator 11 form a circuit. An ammeter 22 is connected in series with the circuit and displays the magnitude of the current. When the temperature detection system 20 is used, the actuator 11 is installed in a detection environment. For example, the carbon nanotube structure 110 is brought into contact with the detection object. Since the circuit current is small, the amount of heat generated by the carbon nanotube structure 110 cannot be heated to the phase transition temperature of the vanadium dioxide structure 111. When the temperature of the detected object is higher than the phase transition temperature of the vanadium dioxide structure 111, the actuator 11 curves toward the vanadium dioxide structure 111, and the second end of the actuator 11 is separated from the second electrode 24. As a result, the circuit is disconnected and the ammeter 22 does not display the magnitude of the current.

温度検出システム２０における部品の接続関係は限定されず、必要に応じて選択できる。例えば、平常にアクチュエータ１１の第二端部は第二電極２４と離れ、回路を形成しない。アクチュエータ１１は検出物に相転移温度に加熱されると、アクチュエータ１１は湾曲し且つ第二電極２４と接触して、回路を形成する。電流計２２は電流に敏感な他の電子装置でもよい。例えば、電流計２２を電圧計に変換できる。アクチュエータ１１が湾曲した後、電流に敏感な電子装置に流れる電流は変わることを保証できれば、電流に敏感な電子装置はアクチュエータ１１と並列に接続してもよい。電流に敏感な電子装置に流れる電流は変わる際、表示或いは音によって、ユーザーに提示できる。 The connection relationship of the components in the temperature detection system 20 is not limited and can be selected as necessary. For example, the second end of the actuator 11 is normally separated from the second electrode 24 and does not form a circuit. When the actuator 11 is heated to the phase transition temperature by the detection object, the actuator 11 bends and contacts the second electrode 24 to form a circuit. The ammeter 22 may be another electronic device that is sensitive to current. For example, the ammeter 22 can be converted into a voltmeter. The current-sensitive electronic device may be connected in parallel with the actuator 11 as long as it can be ensured that the current flowing through the current-sensitive electronic device changes after the actuator 11 is bent. When the current flowing through the current sensitive electronic device changes, it can be presented to the user by display or sound.

図２５を参照すると、実施例１１は温度検出システム２０Ａを提供する。温度検出システム２０Ａは第二電源２１と、電流計２２と、第一電極２３と、第二電極２４と、熱伝導基板２５と、アクチュエータ１１と、を含む。アクチュエータ１１は実施例１〜５のアクチュエータであってもよい。 Referring to FIG. 25, Example 11 provides a temperature detection system 20A. The temperature detection system 20 A includes a second power source 21, an ammeter 22, a first electrode 23, a second electrode 24, a heat conductive substrate 25, and the actuator 11. The actuator 11 may be the actuator of the first to fifth embodiments.

実施例１１における温度検出システム２０Ａの構造は実施例１０における温度検出システム２０の構造と基本的に同じであるが、以下の点は異なる。温度検出システム２０Ａは熱伝導基板２５を含む。アクチュエータ１１は対向する第一端部及び第二端部を有する。第一端部は第一電極２３によって熱伝導基板２５に固定される。第二端部は湾曲した後に、湾曲した第二端部は第二電極２４と接触され、且つ第二電極２４に係止される。これにより、アクチュエータ１１は湾曲状を維持する。熱伝導基板２５は熱伝導性がよい材料からなる。本実施例において、熱伝導基板２５は絶縁セラミックスからなる。二酸化バナジウム構造体１１１はタングステンがドープされる。二酸化バナジウム構造体１１１の相転移温度は３７℃である。アクチュエータ１１の弾力を高めるために、二酸化バナジウム構造体１１１と離れるカーボンナノチューブ構造体１１０の表面に柔軟な保護層１１５が設置される。保護層１１５はポリマーからなる。 The structure of the temperature detection system 20A in the eleventh embodiment is basically the same as the structure of the temperature detection system 20 in the tenth embodiment, but the following points are different. The temperature detection system 20 A includes a heat conductive substrate 25. The actuator 11 has a first end and a second end facing each other. The first end is fixed to the heat conductive substrate 25 by the first electrode 23. After the second end is curved, the curved second end is brought into contact with the second electrode 24 and is locked to the second electrode 24. Thereby, the actuator 11 maintains a curved shape. The heat conductive substrate 25 is made of a material having good heat conductivity. In this embodiment, the heat conductive substrate 25 is made of insulating ceramics. The vanadium dioxide structure 111 is doped with tungsten. The phase transition temperature of the vanadium dioxide structure 111 is 37 ° C. In order to increase the elasticity of the actuator 11, a flexible protective layer 115 is provided on the surface of the carbon nanotube structure 110 that is separated from the vanadium dioxide structure 111. The protective layer 115 is made of a polymer.

温度検出システム２０Ａを使用する際、アクチュエータ１１を検出環境に設置し、熱伝導基板２５は検知物と接触する。第二電源２１、第一電極２３、第二電極２４及びアクチュエータ１１は回路を形成する。電流計２２は電流の大きさを表示する。検出物の温度は二酸化バナジウム構造体１１１の相転移温度より大きい際、アクチュエータ１１は二酸化バナジウム構造体１１１の側に向かって湾曲して、アクチュエータ１１の第二端部は第二電極２４と離れる。これにより、回路は切断され、電流計２２は電流の大きさを表示しない。検出物の温度は二酸化バナジウム構造体１１１の相転移温度より小さい際、弾力によって、アクチュエータ１１は元の形状に戻る。この際、アクチュエータ１１は第二電極２４と接触する湾曲状に戻る。検出物の温度は二酸化バナジウム構造体１１１の相転移温度より小さい際、柔軟な保護層１１５はアクチュエータ１１を元の形状に戻させ、第二電極２４に接触させる。これにより、アクチュエータ１１の感度を改善できる。 When using the temperature detection system 20A, the actuator 11 is installed in a detection environment, and the heat conductive substrate 25 is in contact with the detected object. The second power source 21, the first electrode 23, the second electrode 24, and the actuator 11 form a circuit. The ammeter 22 displays the magnitude of the current. When the temperature of the detected object is higher than the phase transition temperature of the vanadium dioxide structure 111, the actuator 11 curves toward the vanadium dioxide structure 111, and the second end of the actuator 11 is separated from the second electrode 24. As a result, the circuit is disconnected and the ammeter 22 does not display the magnitude of the current. When the temperature of the detected object is lower than the phase transition temperature of the vanadium dioxide structure 111, the actuator 11 returns to its original shape due to elasticity. At this time, the actuator 11 returns to the curved shape in contact with the second electrode 24. When the temperature of the detected object is lower than the phase transition temperature of the vanadium dioxide structure 111, the flexible protective layer 115 returns the actuator 11 to its original shape and contacts the second electrode 24. Thereby, the sensitivity of the actuator 11 can be improved.

図２６は、温度検出システム２０Ａにおけるアクチュエータ１１の走査型電子顕微鏡写真である。図２６を参照すると、第二電極２４はアクチュエータ１１を押さえることで、アクチュエータ１１は湾曲状を維持する。図２７は、温度検出システム２０Ａを採用して、人体温度をテストする結果を示す図である。図２７を参照すると、人体温度は３７℃である際、回路は切断され、突然に電流計２２は電流の大きさを表示しなくなる。 FIG. 26 is a scanning electron micrograph of the actuator 11 in the temperature detection system 20A. Referring to FIG. 26, the second electrode 24 presses the actuator 11 so that the actuator 11 maintains a curved shape. FIG. 27 is a diagram showing a result of testing the human body temperature by employing the temperature detection system 20A. Referring to FIG. 27, when the human body temperature is 37 ° C., the circuit is disconnected, and the ammeter 22 suddenly stops displaying the magnitude of the current.

図２８を参照すると、実施例１２はアクチュエータ１１を採用するロボットを提供する。ロボットは本体３１と、本体３１に設置される操作システム３２と、を含む。本体３１はバイオニックアーム３３と、レーザー３５と、を含む。バイオニックアーム３３はアクチュエータ１１で製造されるバイオニックパーム３４を含む。バイオニックパーム３４の構造は制限されず、必要に応じて設定できる。バイオニックパーム３４は一つの指或いは複数の指を含んでもよい。本実施例において、バイオニックパーム３４は相互に間隔をあける四つの指を含む。各指は一つの長いストリップ状のアクチュエータ１１からなる。レーザー３５はバイオニックパーム３４を加熱することに用いる。レーザー３５が出射するレーザーはバイオニックパーム３４を照射することを保証できれば、レーザー３５の設置位置は制限されない。 Referring to FIG. 28, Example 12 provides a robot that employs the actuator 11. The robot includes a main body 31 and an operation system 32 installed on the main body 31. The main body 31 includes a bionic arm 33 and a laser 35. The bionic arm 33 includes a bionic palm 34 manufactured by the actuator 11. The structure of the bionic palm 34 is not limited and can be set as necessary. The bionic palm 34 may include one finger or a plurality of fingers. In this embodiment, the bionic palm 34 includes four fingers spaced from each other. Each finger consists of one long strip-like actuator 11. The laser 35 is used to heat the bionic palm 34. If it can be assured that the laser emitted by the laser 35 irradiates the bionic palm 34, the installation position of the laser 35 is not limited.

図２９はバイオニックアーム３３の光学写真である。図２９（ａ）を参照すると、バイオニックパーム３４は元の形状が湾曲状であるアクチュエータ１１を採用して製造される。レーザー３５を作動しない際、バイオニックパーム３４における指は湾曲状を呈する。図２９（ｂ）を参照すると、レーザー３５を作動して、バイオニックパーム３４を照射する際、バイオニックパーム３４における指はさらに湾曲する。図３０は、バイオニックアーム３３によって紙を移動する光学写真である。 FIG. 29 is an optical photograph of the bionic arm 33. Referring to FIG. 29A, the bionic palm 34 is manufactured using the actuator 11 whose original shape is a curved shape. When the laser 35 is not activated, the fingers in the bionic palm 34 are curved. Referring to FIG. 29B, when the laser 35 is operated to irradiate the bionic palm 34, the finger in the bionic palm 34 is further curved. FIG. 30 is an optical photograph in which paper is moved by the bionic arm 33.

図３１を参照すると、実施例１３はアクチュエータ１１を採用するバイオニック昆虫４０を提供する。バイオニック昆虫４０はボディ４１と、少なくとも二つのウイング４２と、を含む。少なくとも二つのウイング４２はボディ４１に接続して設置される。バイオニック昆虫４０の寸法は数ミリメートルから数センチメートルである。 Referring to FIG. 31, Example 13 provides a bionic insect 40 that employs the actuator 11. The bionic insect 40 includes a body 41 and at least two wings 42. At least two wings 42 are connected to the body 41 and installed. The size of the bionic insect 40 is several millimeters to several centimeters.

バイオニック昆虫４０の形状はトンボ、蝶、蚊、ハエ或いは蛾の形状であってもよい。図３２及び図３４を参照すると、ボディ４１及びウイング４２は一体構造体である。すなわち、ボディ４１及びウイング４２は共に層状のアクチュエータ１１で製造される。層状のアクチュエータ１１をバイオニック昆虫４０の形状によって直接に切ることによって、バイオニック昆虫４０を形成できる。また、図１１に示す方法のように、まず、カーボンナノチューブ層状構造体１１７を切り、バイオニック昆虫４０の形状を形成する。そして、カーボンナノチューブ構造体１１０の表面にバナジウム酸化物層１１２を堆積して、酸素の雰囲気でバナジウム酸化物層１１２をアニールして、二酸化バナジウム構造体１１１を形成して、バイオニック昆虫４０を形成できる。図３４を参照すると、図１１に示す方法によって、複数のバイオニック蝶を一度に形成する。 The shape of the bionic insect 40 may be a dragonfly, a butterfly, a mosquito, a fly, or a moth. 32 and 34, the body 41 and the wing 42 are a unitary structure. That is, the body 41 and the wing 42 are both manufactured by the layered actuator 11. By cutting the layered actuator 11 directly according to the shape of the bionic insect 40, the bionic insect 40 can be formed. In addition, as in the method shown in FIG. 11, first, the carbon nanotube layered structure 117 is cut to form the shape of the bionic insect 40. Then, a vanadium oxide layer 112 is deposited on the surface of the carbon nanotube structure 110, and the vanadium oxide layer 112 is annealed in an oxygen atmosphere to form the vanadium dioxide structure 111, thereby forming the bionic insect 40. it can. Referring to FIG. 34, a plurality of bionic butterflies are formed at a time by the method shown in FIG.

図３３を参照すると、バイオニック昆虫４０のボディ４１が固定される。１０Ｈｚの方形波パルスレーザーによってバイオニック昆虫４０を照射する際、バイオニック昆虫４０のウイング４２は上下に振動する。ウイング４２の振動の周波数は８０Ｈｚに達することができる。 Referring to FIG. 33, the body 41 of the bionic insect 40 is fixed. When the bionic insect 40 is irradiated with the 10 Hz square wave pulse laser, the wing 42 of the bionic insect 40 vibrates up and down. The frequency of vibration of the wing 42 can reach 80 Hz.

バイオニック昆虫４０のボディ４１はほかの材料からなることができる。例えば、ボディ４１はポリマーからなる。この際、まず、層状のアクチュエータ１１によってウイング４２を形成する。そして、ウイング４２の一端はボディ４１に固定する。バイオニック昆虫４０のボディ４１にはさまざまのセンサを設置してもよい。例えば、センサはカメラであってもよい。カメラによって信号を収集できる。バイオニック昆虫４０を使用する際、励起装置によってウイング４２を刺激して振動させることができる。また、外部環境の温度変化によって、ウイング４２を振動させることができる。バイオニック昆虫４０は軍事分野に応用することができる。 The body 41 of the bionic insect 40 can be made of other materials. For example, the body 41 is made of a polymer. At this time, first, the wing 42 is formed by the layered actuator 11. One end of the wing 42 is fixed to the body 41. Various sensors may be installed on the body 41 of the bionic insect 40. For example, the sensor may be a camera. The signal can be collected by the camera. When the bionic insect 40 is used, the wing 42 can be stimulated and vibrated by the excitation device. Moreover, the wing 42 can be vibrated by the temperature change of the external environment. The bionic insect 40 can be applied to the military field.

１０１０Ａ１０Ｂ１０Ｃアクチュエータの応用システム
１１１１Ａ１１Ｂ１１Ｃ１１Ｄアクチュエータ
１１０カーボンナノチューブ構造体
１１１二酸化バナジウム構造体
１１２バナジウム酸化物層
１１３カーボンナノチューブフィルム
１１４カーボンナノチューブアレイ
１１５保護層
１１６伸縮性テープ
１１７カーボンナノチューブ層状構造体
１１８第三電極
１２固定装置
１３励起装置
１３１第四電極
１３３第一電源
１４基板
１４１凹槽
２０２０Ａ温度検出システム
２１第二電源
２２電流計
２３第一電極
２４第二電極
２５熱伝導基板
３０熱伝導基板
３１本体
３２操作システム
３３バイオニックアーム
３４バイオニックパーム
３５レーザー
４０バイオニック昆虫
４１ボディ
４２ウイング 10 10A 10B 10C Actuator application system 11 11A 11B 11C 11D Actuator 110 Carbon nanotube structure 111 Vanadium dioxide structure 112 Vanadium oxide layer 113 Carbon nanotube film 114 Carbon nanotube array 115 Protective layer 116 Stretchable tape 117 Carbon nanotube layered structure 118 Third electrode 12 Fixing device 13 Excitation device 131 Fourth electrode 133 First power source 14 Substrate 141 Concave tank 20 20A Temperature detection system 21 Second power source 22 Ammeter 23 First electrode 24 Second electrode 25 Thermal conduction substrate 30 Thermal conduction Substrate 31 Main body 32 Operation system 33 Bionic arm 34 Bionic palm 35 Laser 40 Bionic insect 41 Body 42 Wing

Claims

An actuator comprising a carbon nanotube structure and a vanadium dioxide structure,
The actuator, wherein the carbon nanotube structure and the vanadium dioxide structure are stacked.

The actuator includes at least one carbon nanotube film,
The at least one carbon nanotube film is installed inside the vanadium dioxide structure, and the at least one carbon nanotube film and the vanadium dioxide structure are formed into a composite structure,
The actuator according to claim 1, wherein the at least one carbon nanotube film is disposed at a distance from the carbon nanotube structure.

The actuator according to claim 1, wherein the vanadium dioxide structure is a vanadium dioxide structure doped with an element.

An actuator application system including an actuator and an excitation device,
The actuator includes a carbon nanotube structure and a vanadium dioxide structure,
An application system of an actuator, wherein the carbon nanotube structure and the vanadium dioxide structure are stacked and installed.

Providing a carbon nanotube structure,
A second step of installing a vanadium oxide layer on the surface of the carbon nanotube structure;
And a third step of annealing the vanadium oxide layer in an oxygen atmosphere to form a vanadium dioxide structure.