JP2018025549A - 流量測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】絞り部を有する流量測定装置において、検出面部における流量の検出精度を向上させる。【解決手段】流量測定装置において、絞り部１５ｕは、検出面部１０に垂直な検出面部１０と流路壁１６ａの間の距離を流れ方向ｆ２に沿って検出面部１０に近づくにつれ狭めている。そして、絞り部１５ｕの開始する位置を始点位置αｕ、絞り部１５ｕの検出面部１０から最短距離の位置を終点位置βｕとすると、始点位置αｕと終点位置βｕとを結ぶ仮想線γｕと絞り部１５ｕにおける流れ方向ｆ２との成す角度が０度より大きく２０度より小さい。これにより、絞り部１５ｕにおける流路壁１６ａの変化が緩やかとなるため、絞り部１５ｕ近傍の空気の流れに渦、剥離が生じることを抑制できる。このため、絞り部１５ｕを有する流量測定装置において、検出面部１０における流量の検出精度を向上させることができる。【選択図】図３

Description

この明細書による開示は、車両用内燃機関に吸入される吸入空気の流量を測定する流量測定装置に関する。

従来から、以下に説明するハウジングと流量センサチップを備える流量測定装置が公知となっている（例えば、特許文献１参照）。ハウジングは、内燃機関の吸気路を流れる空気の一部を取り込むバイパス流路を有する。流量センサチップは、バイパス流路に配され、バイパス流路を流れる空気流速に伴う伝熱によって吸気路内の空気の流量に応じた電気信号を発生する検出面部を有する。

ここで、検出面部は、バイパス流路を流れる空気の流れである流れ方向に沿って配されている。また、バイパス流路は、流れ方向に垂直な断面積が流れ方向に沿って検出面部に近づくにつれ減少するように絞り部によって絞られている。

これにより、吸気路における空気の流量が少ない場合でも検出面部上での流速を十分に確保することができ、伝熱性能が安定し、流量の検出精度を確保している。しかし、絞り部における流路壁が急峻な角度で変化している場合、絞り部近傍の空気の流れに渦、剥離が生じてしまい、空気の流れが乱され整流効果等も減殺されてしまう問題があった。

また、絞り部近傍に渦が生じてしまうと、空気の流れに逆流方向の流れ成分が生じてしまい、バイパス流路に圧損が生じ、検出面部での流量がかえって少なくなってしまう問題もあった。さらに、絞り部近傍に渦が生じてしまうと、絞り部と検出面部とが近接している場合に、内燃機関のピストンの動作に連動して脈動流が生じた際に検出面部にまで渦が到達し流量の検出誤差の一因となる可能性もある。

特開２０１４−００１９５４号公報

本開示は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、絞り部を有する流量測定装置において、検出面部における流量の検出精度を向上させることにある。

第１の態様の流量測定装置は、以下に説明するハウジングと流量センサチップを備える。ハウジングは、ダクトの内部を流れる空気の一部を取り込むバイパス流路を有する。流量センサチップは、バイパス流路に配され、バイパス流路を流れる空気との伝熱によってダクト内の空気の流量に応じた電気信号を発生する検出面部を有する。

ここで、検出面部は、バイパス流路を流れる空気の流れである流れ方向に沿って配される。また、バイパス流路は、流れ方向に垂直な断面積が流れ方向に沿って検出面部に近づくにつれ減少するように絞り部によって絞られている。

ここで、絞り部は、検出面部に対向する流路壁の一部である。そして、絞り部は、検出面部に垂直な検出面部と流路壁の間の距離を流れ方向に沿って検出面部に近づくにつれ狭めている。そして、絞り部の開始する位置を始点位置、絞り部の検出面部から最短距離の位置を終点位置とすると、始点位置と終点位置とを結ぶ仮想線と絞り部における流れ方向との成す角度が０度より大きく２０度より小さい。

これにより、絞り部における流路壁の変化が緩やかになるため、絞り部近傍の空気の流れに渦、剥離が生じることを抑制できる。このため、絞り部による検出面部における空気の流れの乱れを抑制することができる。この結果、絞り部を有する流量測定装置において、検出面部における流量の検出精度を向上させることができる。

第２の態様の流量測定装置は、以下に説明するハウジングと流量センサチップを備える。ハウジングは、ダクトの内部を流れる空気の一部を取り込むバイパス流路を有する。流量センサチップは、バイパス流路に配され、ダクト内の空気の流量に応じた電気信号を発生する検出部を有する。そして、バイパス流路は、流れ方向に垂直な断面積が流れ方向に沿って検出部に近づくにつれ減少するように絞り部によって絞られている。

ここで、絞り部は、検出部に対向する流路壁の一部である。そして、絞り部の開始する位置を始点位置とすると、始点位置は検出部の流れ方向の上流側にある。また、絞り部の表面は平面である。そして、絞り部の表面と絞り部における流れ方向の成す角度が０度より大きく２０度より小さい。

これにより、第１の態様と同様に、絞り部による検出部における空気の流れの乱れを抑制することができる。この結果、絞り部を有する流量測定装置において、検出部における流量の検出精度を向上させることができる。なお、検出部は、面状となっていなくてもよい。

第３の態様の流量測定装置は、
ダクト（２）の内部を流れる空気の一部を取り込むバイパス流路（７）を有するハウジング（３）と、
バイパス流路に配され、バイパス流路を流れる空気との伝熱によってダクト内の空気の流量に応じた電気信号を発生する検出面部（１０）を有する流量センサチップ（５）とを備え、
検出面部は、バイパス流路を流れる空気の流れである流れ方向（ｆ２）に沿って配され、
バイパス流路は、流れ方向に垂直な断面積が流れ方向に沿って検出面部に近づくにつれ減少するように絞り部（１５、１５ｕ、１５ｄ）によって絞られている流量測定装置（１）において、
絞り部は、検出面部に対向する流路壁（１６ａ）の一部であり、検出面部に垂直な検出面部と流路壁の間の距離を流れ方向に沿って検出面部に近づくにつれ狭めており、
絞り部の開始する位置を始点位置（αｕ、αｄ）、絞り部の検出面部から最短距離の位置を終点位置（βｕ、βｄ）とすると、
始点位置と終点位置とを結ぶ仮想線（γｕ、γｄ）と絞り部における流れ方向との成す角度（δｕ、δｄ）が０度より大きく３０度以下である。

第３の態様によれば、上記第１の態様と同様の効果を奏することができる。

第４の態様の流量測定装置は、
ダクトの内部を流れる空気の一部を取り込むバイパス流路を有するハウジングと、
バイパス流路に配され、ダクト内の空気の流量に応じた電気信号を発生する検出部（１８）を有する流量センサチップとを備え、
バイパス流路は、バイパス流路を流れる空気の流れである流れ方向（ｆ２）に垂直な断面積が流れ方向に沿って検出部に近づくにつれ減少するように絞り部によって絞られている流量測定装置において、
絞り部は、検出部に対向する流路壁の一部であり、
絞り部の開始する位置を始点位置とすると、この始点位置は検出部の流れ方向の上流側にあり、
絞り部の表面（１７ｕ）は平面であり、この表面と絞り部における流れ方向の成す角度が０度より大きく３０度以下である。

第４の態様によれば、上記第１の態様と同様の効果を奏する。

第５の態様の流量測定装置は、
空気の流量を測定する流量測定装置（１）であって、
空気が流れるバイパス流路（７）と、
バイパス流路において空気の流量に応じた電気信号を出力する検出部（１０）と、
検出部を挟んで対向する一対の流路壁（１６ａ，１６ｂ）と、
一対の流路壁が並ぶ並び方向（Ｘ）において、流路壁から検出部に向けて突出することでバイパス流路を絞る絞り部（１５ｕ）と、
を備え、
絞り部の突出寸法は、バイパス流路において上流側から検出部に近付くにつれて徐々に大きくなっており、
絞り部の上流端部の位置を始点位置（αｕ、αｄ）、絞り部の検出部から最短距離の位置を終点位置（βｕ、βｄ）とすると、
始点位置と終点位置とを結ぶ仮想線（γｕ、γｄ）と、バイパス流路を流れる空気の流れである流れ方向（ｆ２）との成す角度（δｕ、δｄ）が０度より大きく３０度以下である。

第５の態様によれば、上記第１の態様と同様の効果を奏する。

なお、特許請求の範囲およびこの項に記載した括弧内の符号は、後述する実施例に記載の具体的手段との対応関係を示すものにすぎず、技術的範囲を限定するものではない。

吸入空気流れ上流側から見た流量測定装置の全体図である（実施例１）。 吸入空気の流れ方向に沿う流量測定装置の断面図である（実施例１）。 図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である（実施例１）。 振動周波数が１００Ｈｚの場合における計測誤差と角度との関係を示したグラフである（実施例１）。 振動周波数が１３０Ｈｚの場合における計測誤差と角度との関係を示したグラフである（実施例１）。 図３に対応する断面図である（実施例２）。 図３に対応する断面図である（実施例３）。 図３に対応する断面図である（実施例４）。 図８におけるＩＸ−ＩＸ線に沿う断面図である（実施例４）。 脈動周波数が第１周波数の場合における計測誤差と角度との関係を示したグラフである（実施例４）。 脈動周波数が第２周波数の場合における計測誤差と角度との関係を示したグラフである（実施例４）。 図３に対応する断面図である（実施例５）。 図３に対応する断面図である（変形例）。 図３に対応する断面図である（変形例）。 終点位置の説明図である（変形例）。 図３に対応する断面図である（変形例）。 吸入空気の流れ方向に沿う流量測定装置の断面図である（変形例）。 図１７におけるＸＶＩＩＩ−ＸＶＩＩＩ線に沿う断面図である（変形例）。

以下において、本開示を実施するための形態を、実施例を用いて説明する。なお、実施例は具体的な一例を開示するものであり、本開示が実施例に限定されないことは言うまでもない。

［実施例１の構成］
図１、図２を参照して実施例１の流量測定装置１を説明する。流量測定装置１は、車両用の内燃機関に吸入される吸入空気の流れるダクトである吸気路２に搭載されるものであり、吸気路２を流れる吸入空気の流量を測定する。以下、吸気路２の中央部における吸入空気の流れる方向を、流れ方向ｆ１と呼ぶことがある。なお、吸気路２の中央部とは、吸気路２を形成する壁面の影響が少ない中心部を意味している。そして、流量測定装置１は、以下に説明するハウジング３、流量センサチップ５を備える。

ハウジング３は、流量センサチップ５を保持するとともに内燃機関に吸入される吸入空気が流れる吸気路２の内周に突き出している。ハウジング３は、樹脂材料によって設けられ、内部にバイパス流路７が形成されている。ここで、バイパス流路７は自身から分岐するサブバイパス流路９を有する。

バイパス流路７は、吸気路２を流れる吸入空気の一部を取り込む流路であって、流れ方向ｆ１に沿うように流路が形成されている。そして、バイパス流路７の上流側に取入口７ａが設けられ、バイパス流路７の下流側に排出口７ｂが設けられる。なお、バイパス流路７の下流側には、バイパス流路７を通過する吸入空気の流れを絞る排出口絞り７ｃが形成されている。

サブバイパス流路９は、排出口絞り７ｃで絞られたバイパス流路７を流れる吸入空気の一部を取り込む流路であって、取り込まれた一部の吸入空気が流入する入口９ａと、サブバイパス流路９を通過した吸入空気を吸気路２へ戻す出口９ｂとを備える。そして、入口９ａから流入した吸入空気をハウジング３の内部で回転させ出口９ｂへと導く。ここで、入口９ａを流れ方向ｆ１と異なる方向に設けることで、取入口７ａから侵入した吸気路２に含まれるダスト、油、および、異物等は排出口７ｂに分離され、サブバイパス流路９への異物等の侵入を抑制できる。

流量センサチップ５は、吸入空気の流量に感応する検出面部１０を自身の表面に有する。ここで、検出面部１０は、平面状に形成されており、サブバイパス流路９の内部を通過する吸入空気の伝熱により流量を測定する伝熱式となっており、発熱抵抗体と測温抵抗体を表面に有する周知の構成となっている。

そして、検出面部１０は、サブバイパス流路９の吸入空気の流量に応じた電気信号を発生し、流量センサチップ５は、この電気信号をコネクタ１１内の接続端子を介してＥＣＵ（図示しない）等に出力している。すなわち、流量センサチップ５は、間接的に吸気路２内の吸入空気の流量に応じた電気信号を出力している。以下、サブバイパス流路９の中央部における吸入空気の流れる方向を、流れ方向ｆ２と呼ぶことがある。なお、サブバイパス流路９の中央部とは、サブバイパス流路９を形成する流路壁の壁面の影響が少ない流路の中心部を意味している。

ここで、流量センサチップ５は支持部１３によって、検出面部１０がサブバイパス流路９に露出するように支持されている。より具体的には、流量センサチップ５は、検出面部１０の表面が流れ方向ｆ２に沿うように支持部１３に保持されている。なお、検出面部１０は、流量センサチップ５の表面の一部領域を占めている。また、実施例１において支持部１３における流れ方向ｆ２は、流れ方向ｆ１と同一で、上流側と下流側が反対になっている。

［実施例１の特徴］
次に、実施例１の特徴的な構成について図３を用いて説明する。サブバイパス流路９は、流れ方向ｆ２に垂直な断面積が流れ方向ｆ２に沿って検出面部１０に近づくにつれ減少するように絞り部１５によって絞られている。ここで、絞り部１５は、検出面部１０に対向するサブバイパス流路９を形成する流路壁１６ａの一部となっている。また、流路壁１６ａに対向する流路壁を流路壁１６ｂとしている。すなわち、対向する一対の流路壁１６ａ、１６ｂの間に流量センサチップ５は支持部１３によって支持されている。なお、検出面部１０に近づくにつれとは、検出面部１０の重心位置に近づくにつれという意味である。

そして、絞り部１５は、検出面部１０に垂直な検出面部１０と流路壁１６ａの間の距離を流れ方向ｆ２に沿って検出面部１０に近づくにつれ狭めている。また、絞り部１５は、検出面部１０の流れ方向ｆ２の上流側と下流側に設けられている。ここで、流れ方向ｆ２の上流側の絞り部１５を絞り部１５ｕ、下流側の絞り部１５を絞り部１５ｄとする。ここで、検出面部１０の流れ方向ｆ２の上流側と下流側とは、検出面部１０の重心位置の流れ方向ｆ２の上流側と下流側という意味である。なお、絞り部１５は、紙面上下方向に同一形状に連なる形状となっている。

そして、絞り部１５ｕの開始する位置を始点位置αｕ、絞り部１５ｕの検出面部１０から最短距離の位置を終点位置βｕとすると、始点位置αｕと終点位置βｕとを結ぶ仮想線γｕと絞り部１５ｕにおける流れ方向ｆ２との成す角度δｕが０度より大きく２０度より小さくなっている。

なお、始点位置αｕとは、絞り部１５ｕの流れ方向ｆ２の最上流位置である。また、検出面部１０からの距離とは、検出面部１０の重心位置からの距離のことである。検出面部１０からの最短距離とは、検出面部１０と絞り部１５ｕにおける流路壁１６ａとの間の検出面部１０に垂直な距離と流れ方向ｆ２に沿った距離とを加えた距離が最短となっていることを意味している。

また、始点位置αｕが複数位置考えられる場合、始点位置αｕは、終点位置βｕとの距離が最短距離となっている位置である。ここで、始点位置αｕと終点位置βｕとの間の距離が最短距離とは、始点位置αｕと終点位置βｕとの間の検出面部１０に垂直な距離と流れ方向ｆ２に沿った距離とを加えた距離が最短となっていることを意味している。

同様に、絞り部１５ｄの開始する位置を始点位置αｄ、絞り部１５ｄの検出面部１０から最短距離の位置を終点位置βｄとすると、始点位置αｄと終点位置βｄとを結ぶ仮想線γｄと絞り部１５ｄにおける流れ方向ｆ２との成す角度δｄが０度より大きく２０度より小さくなっている。ここで、絞り部１５ｕ、１５ｄにおける流れ方向ｆ２は検出面部１０に沿う方向になっている。なお、始点位置αｄとは、絞り部１５ｄの流れ方向ｆ２の最下流位置である。

また、絞り部１５ｕ、１５ｄの表面は、サブバイパス流路９の内周側に突出する曲面から構成されている。より具体的には、絞り部１５ｕ、１５ｄを合わせた絞り部１５は、紙面上下方向を軸方向とする円柱側面が検出面部１０に対向するように形成されている。

［実施例１の効果］
実施例１の流量測定装置１によれば、サブバイパス流路９は、流れ方向ｆ２に垂直な断面積が流れ方向ｆ２に沿って検出面部１０に近づくにつれ減少するように絞り部１５ｕによって絞られている。ここで、絞り部１５ｕは、検出面部１０に対向する流路壁１６ａの一部となっている。そして、絞り部１５ｕは、検出面部１０に垂直な検出面部１０と流路壁１６ａの間の距離を流れ方向ｆ２に沿って検出面部１０に近づくにつれ狭めている。

そして、絞り部１５ｕの開始する位置を始点位置αｕ、絞り部１５ｕの検出面部１０から最短距離の位置を終点位置βｕとすると、始点位置αｕと終点位置βｕとを結ぶ仮想線γｕと絞り部１５ｕにおける流れ方向ｆ２との成す角度δｕが０度より大きく２０度より小さくなっている。

これにより、絞り部１５ｕにおける流路壁１６ａの変化が緩やかになるため、絞り部１５ｕ近傍の空気の流れに渦、剥離が生じることを抑制できる。このため、絞り部１５ｕによる検出面部１０における空気の流れの乱れを抑制することができる。この結果、絞り部１５ｕを有する流量測定装置１において、検出面部１０における流量の検出精度を向上させることができる。

また、絞り部１５ｕの表面は、サブバイパス流路９の内周側に突出する曲面から構成されている。これにより、絞り部１５ｕの表面の流れ方向に対する変化を滑らかに保ちつつ流れ方向ｆ２に垂直な断面積を減少させることができる。このため、絞り部１５ｕ近傍の空気の流れに渦、剥離が生じることを抑制でき、サブバイパス流路９に生じる圧損を低減できる。

また、絞り部１５ｕ、１５ｄは、それぞれ検出面部１０の流れ方向ｆ２の上流側と下流側に設けられている。これにより、検出面部１０の流れ方向ｆ２の上流側だけではなく、下流側にも絞り部１５ｄを有することで、内燃機関のピストンの動作に連動する脈動流が生じた際にも適切に流量を測定することができる。すなわち、下流側から上流側への流れが生じた際にも検出面部１０上での流速を十分に確保でき、適切に流量を測定できる。

ここで、角度δｕを変化させた場合における計測誤差をプロットしたグラフを図４、図５に示す。流量の振動周波数が低いときは、角度δｕの値が大きくとも計測誤差が少なく流量の増減に対し良い追随性を示している（図４参照）。しかし、流量の振動周波数が高くなると角度δｕの値が２０度を超えると計測誤差が大きくなり、流量の増減に対する追随性が大きく悪化してしまう（図５参照）。これは、振動周波数の増加に伴い空気の流れに渦、剥離が発生しやすくなり、計測誤差に対する角度δｕの影響が大きくなるためである。なお、流量の振動周波数とは、内燃機関のピストンの動作に連動して生じる脈動流の振動周波数に対応するものであり、所定値を中心値として所定の振幅で流量が増減する際の周波数を示す。

［実施例２］
実施例２における流量測定装置１を実施例１と異なる部分を中心に図６を用いて説明する。なお、以下の実施例においては、実施例１と同一機能物には、同一符号を付して表している。実施例２における流量測定装置１において、絞り部１５ｕの表面１７ｕは、平面から構成されている。なお、実施例２において、絞り部１５ｄは存在しない。

ここで、始点位置αｕ、終点位置βｕ、仮想線γｕ、および、角度δｕはそれぞれ図６に示すようになる。すなわち、始点位置αｕは、検出部１８である検出面部１０の流れ方向ｆ２の上流側にあり、絞り部１５ｕの表面１７ｕと流れ方向ｆ２のなす角度は角度δｕに等しくなっている。

これにより、絞り部１５ｕの表面１７ｕの流れ方向に対する変化を滑らかに保ちつつ検出部１８における流れ方向ｆ２に垂直な断面積を減少させることができ、検出部１８における流速を確保できる。なお、断面積の変化が緩やかであるため、表面１７ｕ近傍における絞り部１５ｕによる流速の変化量の差が大きくないため渦の発生を抑制することができる。また、表面１７ｕは平面となっているため、表面１７ｕに沿った流れに垂直な方向の速度変化が生じにくく剥離の発生を抑制できる。なお、表面１７ｕは平面となっているため、形成も容易である。

［実施例３］
実施例３における流量測定装置１を実施例２と異なる部分を中心に図７を用いて説明する。実施例３における流量測定装置１において、絞り部１５ｕと異なる絞り部２０が、流路壁１６ｂにも設けられている。これにより、絞り部を複数配することで、角度δｕを２０度より小さく保持したままサブバイパス流路９の断面積をより減少させることができ、検出面部１０での吸入空気の流速をより大きくして、伝熱性能および検出精度をより安定させることができる。

なお、検出面部１０における空気の流れに与える影響が最も大きいのは、発生する渦等が直接検出面部１０に到達し得るため、流路壁１６ａに絞り部１５ｕ等が設けられた場合である。このため、例えば、流路壁１６ａ以外の流路壁に絞り部が設けられても、発生する渦等が検出面部１０に到達する可能性が低くなり、検出面部１０への影響は少なくなる。この結果、流路壁１６ｂに設けられた異なる絞り部２０は、検出面部１０への空気の流れに影響を与えず、サブバイパス流路９の断面積の調整を行うことができる。

［実施例４］
上記実施例１では、流量の振動周波数が高くなると角度δｕが２０度を超えると計測誤差が大きくなるとしていたが、実施例４では、流量の振動周波数が高く且つ角度δｕが３０度でも計測誤差が大きくなりにくい構成を実現している。実施例４では、上記実施例１との相違点を中心に説明する。

実施例４では、図８に示すように、バイパス流路７において、取入口７ａと排出口７ｂとにかけ渡された部分を通過流路８と称する。通過流路８は、取入口７ａを形成する上流端部と、排出口７ｂを形成する下流端部とを有し、吸気路２の流れ方向ｆ１に延びている。この場合、サブバイパス流路９を、通過流路８の中間部分から分岐した分岐流路と称することもできる。

実施例４では、上記実施例１とは異なり、図９に示すように、絞り部１５ｕ，１５ｄの内周面が始点位置αｕ，αｄと終点位置βｕ，βｄとを結ぶように真っ直ぐに延びている。ここでは、絞り部１５ｕ，１５ｄの内周面に多少の凹凸がある構成や、多少湾曲している構成も、この内周面が真っ直ぐに延びた構成に含んでいる。また、上流側の角度δｕ及び下流側の角度δｄがいずれも３０度になっている。なお、上流側の絞り部１５ｕが上流絞り部に相当する。また、検出面部１０を検出部と称することもできる。

絞り部１５ｕ，１５ｄを含む流路壁１６ａを第１流路壁１６ａと称し、絞り部１５ｕ，１５ｄを含まない方の流路壁１６ｂを第２流路壁１６ｂと称し、一対の流路壁１６ａ，１６ｂの並び方向を幅方向Ｘと称する。幅方向Ｘは、流れ方向ｆ２に直交する直交方向に相当する。支持部１３は、合成樹脂材料等により板状に形成されており、サブバイパス流路９を幅方向に２分割している。支持部１３は、流れ方向ｆ２に延びるように且つ流路壁１６ａ，１６ｂに平行に配置されている。また、支持部１３は、始点位置αｕ，αｄの並び方向にも平行に配置されている。支持部１３は、第１流路壁１６ａに対向する第１対向面１３ａと、第２流路壁１６ｂに対向する第２対向面１３ｂとを有しており、流量センサチップ５及び検出面部１０は第１対向面１３ａに取り付けられている。

流れ方向ｆ２において、支持部１３の長さ寸法Ｌ１は絞り部１５ｕ，１５ｄの全長Ｆａと同じになっている。流量センサチップ５及び検出面部１０は、流れ方向ｆ２において支持部１３の中央に配置されている。すなわち、流量センサチップ５及び検出面部１０は、流れ方向ｆ２でのそれぞれの中心線が支持部１３の中心線Ｃに一致する位置に配置されている。支持部１３において、その上流端部と中心線Ｃとの離間距離Ｌ２は、その下流端部を中心線Ｃとの離間距離Ｌ３と同じになっている。

流れ方向ｆ２での支持部１３の中心線Ｃは、流れ方向ｆ２において終点位置βｕ，βｄよりも上流側にずれた位置に配置されている。支持部１３においては、その上流端部が上流側の始点位置αｕよりも上流側に配置され、その下流端部が下流側の始点位置αｄよりも上流側に配置されている。流れ方向ｆ２での中心線Ｃと終点位置βｕ，βｄとの離間距離をずれ距離Ｌ４と称すると、支持部１３の上流端部及び下流端部は、始点位置αｕ，αｄからそれぞれずれ距離Ｌ５，Ｌ６だけずれている。支持部１３の長さ寸法Ｌ１と絞り部１５ｕ，１５ｄの全長Ｆａとが同じであることに起因して、これらずれ距離Ｌ４〜Ｌ６は互いに同じ値になっている。

絞り部１５ｕ，１５ｄの全長Ｆａは、終点位置βｕ，βｄの離間距離である。上流側の絞り部１５ｕの長さ寸法Ｌｂは、下流側の絞り部１５ｄの長さ寸法Ｌｃと同じになっており、これら長さ寸法Ｌｂ，Ｌｃの合計が全長Ｆａになっている。この場合、終点位置βｕよりも上流側の角度δｕと、終点位置βｕよりも下流側の角度δｄとが同じ値になっており、始点位置αｕ，αｄの中央に終点位置βｕ，βｄが配置されている。

検出面部１０は、流れ方向ｆ２において上流側の始点位置αｕと終点位置βｕ，βｄとの間に配置されている。検出面部１０は、終点位置βｕ，βｄ寄りの位置に配置されている一方で、終点位置βｕ，βｄよりも下流側にはみ出していない。検出面部１０は、流量センサチップ５が終点位置βｕ，βｄよりも下流側にはみ出す程度に終点位置βｕ，βｄ側に寄っている。検出面部１０が終点位置βｕ，βｄよりも下流側にはみ出していない構成は、流れ方向ｆ２での検出面部１０の長さ寸法Ｌ７がずれ距離Ｌ４より小さくなっていることで実現されている。この場合、検出面部１０の中央部分が終点位置βｕ，βｄよりも上流側に配置されている。

支持部１３は、幅方向Ｘにおいて第１流路壁１６ａ寄りの位置に配置されている。幅方向Ｘにおいては、支持部１３と始点位置αｕ，αｄとの離間距離Ｂ１が、支持部１３と第２流路壁１６ｂとの離間距離Ｂ２より小さくなっている。また、幅方向Ｘにおいてが、終点位置βｕ，βｄと支持部１３との離間距離Ｂ３が、始点位置αｕ，αｄと終点位置βｕ，βｄとの離間距離Ｂ４より小さくなっており、これら離間距離Ｂ３，Ｂ４の合計が離間距離Ｂ１になっている。終点位置βｕ，βｄと支持部１３との離間距離Ｂ３は、支持部１３の厚み寸法や流量センサチップ５の厚み寸法より大きくなっている。

支持部１３と第１流路壁１６ａとの間の領域を、検出面部１０が設けられた検出側領域２１ａと称し、支持部１３と第２流路壁１６ｂとの間の領域を、支持部１３を挟んで検出面部１０とは反対側である反対側領域２１ｂと称する。幅方向Ｘでの検出側領域２１ａの幅寸法は、流れ方向ｆ１において上流側の始点位置αｕから終点位置βｕ，βｄに近付くにつれて徐々に小さくなっていき、終点位置βｕ，βｄから下流側の始点位置αｄに近付くにつれて徐々に大きくなっていく。

第１流路壁１６ａについて、上流側の始点位置αｕよりも上流側の壁面を上流壁面２２ａと称し、下流側の始点位置αｄよりも下流側の壁面を下流壁面２２ｂと称すると、検出側領域２１ａは支持部１３と上流壁面２２ａとの間にも形成されている。上流壁面２２ａ及び下流壁面２２ｂには、始点位置αｕ，αｄと同様に、幅方向Ｘにおいて支持部１３との離間距離が離間距離Ｂ１になっている部分が含まれており、この部分は始点位置αｕ，αｄに連続している。

なお、上述したように、実施例４では、絞り部１５ｕ，１５ｄの内周面が真っ直ぐに延びていることに起因して、上流壁面２２ａ及び下流壁面２２ｂに対する絞り部１５ｕ，１５ｄの内周面の傾斜角度が角度δｕ，δｄになっている。

次に、吸入空気がサブバイパス流路９を流れる態様について説明する。サブバイパス流路９において支持部１３に接近した吸入空気が、検出側領域２１ａに流入する吸入空気と、反対側領域２１ｂに流入する吸入空気とに分かれる。ここで、反対側領域２１ｂの幅寸法が検出側領域２１ａの幅寸法に比べて大きくなっているため、吸入空気に含まれる異物等が検出側領域２１ａよりも反対側領域２１ｂの方に進入しやすくなっている。すなわち、検出側領域２１ａに異物等が進入しにくい構成が実現されている。このため、検出面部１０への異物等の接触や接近により検出面部１０の検出精度が低下したり検出面部１０が破損したりすることが抑制される。

支持部１３が上流側の絞り部１５ｕよりも上流側まで延びているため、検出側領域２１ａの上流端部の幅寸法が、第１流路壁１６ａと支持部１３との離間距離Ｂ１と同じになっている。この場合、例えば絞り部１５ｕの方が支持部１３よりも上流側まで延びた構成に比べて、検出側領域２１ａの上流端部の幅寸法が大きくなる。このため、反対側領域２１ｂに対する検出側領域２１ａの流路面積比率が大きくなり、より多くの吸入空気を検出側領域２１ａに流入させることができる。また、検出側領域２１ａについて上流端部に対する下流端部の比を絞り率と称すると、上流端部の幅寸法が大きい方が絞り率が大きくなり、検出側領域２１ａにおいて下流端部に到達した吸入空気の流速が大きくなりやすい。

しかも、検出側領域２１ａに流入した吸入空気は、支持部１３と上流壁面２２ａとの間で整流された後に、支持部１３と上流側の絞り部１５ｕとの間で絞られることで徐々に加速されていく。このように、検出側領域２１ａにおいて、支持部１３と上流壁面２２ａとの間の領域が、吸入空気を整流する整流領域としての役割を果たすことで、渦や剥離といった乱れが支持部１３と絞り部１５ｕとの間において吸入空気に生じにくくなる。ここで、検出面部１０は、吸入空気の流量に伴って生じた温度変化により流量を検出する構成になっている。このため、気流の乱れが検出面部１０に付与されるとその乱れに応じた温度変化が生じてしまい、検出面部１０による流量の検出精度が低下してしまう。

終点位置βｕ，βｄよりも下流側では検出側領域２１ａが拡張されることに起因して、検出側領域２１ａにおいて終点位置βｕ，βｄを通過した吸入空気には、渦や剥離といった乱れが生じやすい。特に、上流側の絞り部１５ｕに沿って流れた吸入空気が終点位置βｕ，βｄを過ぎることで、下流側の絞り部１５ｄに沿って流れる空気と支持部１３側に向かって流れる空気との働きにより、終点位置βｕ，βｄの直ぐ下流側にて乱れが生じる。

これに対して、検出面部１０が終点位置βｕ，βｄよりも上流側に配置されているため、終点位置βｕ，βｄよりも下流側にて乱れが発生しても、その乱れが検出面部１０と下流側の絞り部１５ｕとの間の吸入空気に伝わりにくくなっている。このため、終点位置βｕ，βｄよりも下流側にて発生した吸入空気の乱れにより検出面部１０の検出精度が低下するということが生じにくい。

ここで、近年の車両においては、部品点数削減や軽量化による内燃機関の小気筒化が進んでいることに起因して、吸気路２の内部では吸気干渉が少なくなり、流れ方向に対する流入空気の振動が大きくなりやすくなっている。この振動の周波数を振動周波数と称すると、振動周波数が高くなるほど検出側領域２１ａでの吸入空気の乱れが大きくなり、その結果、流量測定装置１による流量の計測誤差［％］が大きくなりやすい。特に、バイパス流路７において検出面部１０が通過流路８ではなくサブバイパス流路９に設けられた構成では、吸入空気が通過流路８からサブバイパス流路９に流入する際に生じる乱れが検出側領域２１ａまで到達することで計測誤差が大きくなりやすい。

例えば、振動周波数が比較的低い第１周波数にある場合、図１０に示すように、上記実施例１と同様に、上流側の角度δｕが２０度より大きい構成でも計測誤差が許容範囲に含まれる。これは、流量測定装置１の計測結果が、吸気路２での実際の吸入空気の増減に対する対髄性が高いことを示している。図１０に示す例では、角度δｕが３０度や４０度程度に大きい構成であっても、計測誤差が許容範囲に含まれる。なお、第１周波数としては例えば１００Ｈｚが挙げられ、計測誤差の許容範囲としては数％が挙げられる。

また、振動周波数が比較的高い第１周波数にある場合、上記実施例１と同様に、上流側の角度δｕが２０度を超えた程度で計測誤差が急激に増加して許容範囲から外れることが想定される。これに対して、実施例４では、図１１に示すように、上流側の角度δｕが２０度を超えても３０度を超えるあたりまでは計測誤差が許容範囲に含まれており、３０度を超えたあたりで漸く計測誤差が急激に増加して許容範囲から外れる。これは、上述したように、検出側領域２１ａにおいて支持部１３が上流壁面２２ａに対向していることや、検出面部１０が終点位置βｕ，βｄより上流側にあることにより、検出側領域２１ａにおいて吸入空気の乱れが生じにくくなったことを示している。

実施例４によれば、絞り部１５ｕ，１５ｄによる角度δｕ，δｄが３０度に設定されているため、角度δｕ，δｄが３０度より大きい値に設定された構成に比べて、流量測定装置１の計測誤差を低減することができる。

実施例４によれば、検出面部１０が上流側の始点位置αｕと終点位置βｕとの間に設けられているため、終点位置βｕよりも下流側にて発生する気流の乱れが検出面部１０に付与されにくくなっている。このため、終点位置βｕよりも下流側にて発生した気流の乱れにより検出面部１０の検出精度が低下するということを抑制できる。しかも、検出面部１０は、検出側領域２１ａにおいて吸入空気の流速が大きくなりやすい終点位置βｕ，βｄ寄りの位置に配置されているため、検出面部１０に付与される吸入空気の流速が適度に大きくなりやすい。このため、検出面部１０の検出精度を高めることができる。

実施例４によれば、支持部１３が上流側の始点位置αｕよりも上流側まで延びている。このため、検出側領域２１ａに流れ込んだ吸入空気は、上流側の絞り部１５ｕに到達するよりも前の段階で、支持部１３と上流壁面２２ａとの間を流れることで整流される。したがって、検出面部１０に到達する吸入空気に乱れが生じにくい構成を実現できる。

実施例４によれば、終点位置βｕ，βｄと支持部１３との離間距離Ｂ３が、始点位置αｕ，αｄと終点位置βｕ，βｄとの離間距離Ｂ４より小さくなっている。この場合、検出側領域２１ａにおいて終点位置βｕ，βｄに到達した吸入空気の流速が、上流側の始点位置αｕを通過する吸入空気の流速に比べて大きくなりやすいため、検出面部１０の検出精度を高めることができる。

実施例４によれば、支持部１３と始点位置αｕ，αｄとの離間距離Ｂ１が、支持部１３と第２流路壁１６ｂとの離間距離Ｂ２より小さくなっている。この場合、検出側領域２１ａの間口が反対側領域２１ｂの間口より小さいため、異物等が検出側領域２１ａに進入する確率を低減できる。これにより、異物等により検出面部１０の検出精度が低下することや検出面部１０が破損することなどを抑制できる。

［実施例５］
上記実施例４では、上流側の終点位置βｕと下流側の終点位置βｄとが一致していたが、実施例５では、図１２に示すように、これら終点位置βｕ，βｄが流れ方向ｆ２において互いに離間している。実施例５では、上記実施例４との相違点を中心に説明する。

実施例５では、上流側の絞り部１５ｕと下流側の絞り部１５ｄとの間に、これら絞り部１５ｕ，１５ｄを接続する接続部２３が設けられている。接続部２３の内周面は、上流壁面２２ａ及び下流壁面２２ｂと平行に延びており、流れ方向ｆ２において、接続部２３の長さ寸法Ｌｄは、終点位置βｕ，βｄの離間距離になっている。

検出面部１０は、接続部２３に対向する位置に設けられている。具体的には、流れ方向ｆ２において、上流側の終点位置βｕと下流側の終点位置βｄとの間に検出面部１０が配置されている。接続部２３の長さ寸法Ｌｄは、流れ方向ｆ２での流量センサチップ５の長さ寸法Ｌ８より大きくなっており、検出面部１０は、流量センサチップ５が上流側の終点位置βｕよりも上流側にはみ出す程度にその終点位置βｕ寄りに配置されている。接続部２３においては、その上流端部が上流側の終点位置βｕより上流側に配置されており、その下流端部が下流側の終点位置βｄより下流側に配置されている。

実施例５では、終点位置βｕ，βｄと支持部１３との離間距離Ｂ３が、始点位置αｕ，αｄと終点位置βｕ，βｄとの離間距離Ｂ４と同じ値になっている。なお、離間距離Ｂ３は離間距離Ｂ４より大きくなっていてもよい。これらの場合でも、流れ方向ｆ２において検出面部１０に近付くにつれて検出側領域２１ａの幅寸法が徐々に小さくなる構成になっていることで、接続部２３と支持部１３との間を流れる吸入空気の流速を適正に高める構成を実現できる。

実施例５によれば、検出側領域２１ａにおいては、接続部２３と支持部１３との間が最も絞られた領域であり、この最も絞られた領域に検出面部１０が設けられているため、検出面部１０に付与される吸入空気の流速を十分に高めることができる。しかも、上記実施例４と同様に、検出面部１０が下流側の終点位置βｄよりも上流側に配置されているため、吸入空気が終点位置βｄを通過した際に生じる渦等の気流の乱れが検出面部１０に付与されにくくなっている。したがって、下流側の終点位置βｄよりも下流側にて発生する気流の乱れにより検出面部１０の検出精度が低下するということを抑制できる。

［変形例］
上記各実施例は、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形例を考えることができる。実施例１において、絞り部１５ｕ、１５ｄの表面は曲面であったが、図１３に示すように絞り部１５ｕ、１５ｄの表面を平面としてもよい。この場合、始点位置αｕ、αｄ、終点位置βｕ、βｄ、仮想線γｕ、γｄ、および、角度δｕ、δｄはそれぞれ図示するようになる。

なお、絞り部１５ｕと絞り部１５ｄの間は、流れ方向ｆ２に垂直な断面積が最小となるとともに変化しない領域となっており、検出面部１０は、流れ方向ｆ２に垂直な断面積が最小となるとともに変化しない領域に存在している。

実施例２において、流れ方向ｆ２に垂直な断面積が検出面部１０において最小となっていたが、図１４に示すように検出面部１０の下流側において流れ方向ｆ２に垂直な断面積が最小となっていてもよい。この場合、始点位置αｕ、終点位置βｕ、仮想線γｕ、および、角度δｕは、それぞれ図示するようになる。

ここで、図１５に示すように。ｐ１とｐ２の位置における検出面部１０からの距離を考えると、ｐ１の位置における検出面部１０からの距離はｄ１とｄ２との和である。ｄ１は、検出面部１０と流路壁１６ａとの間の検出面部１０に垂直な距離であり、ｄ２は、流れ方向ｆ２に沿った距離である。ｐ２の位置における検出面部１０からの距離は、ｄ１＋ｄ３であり、ｄ１＋ｄ２＞ｄ１＋ｄ３であるため、終点位置βｕは、図１４に示すようにｐ２の位置となる。なお、ｐ１は流路壁１６ａの表面に垂直な検出面部１０の重心位置に対応する位置であり、ｐ２は、検出面部１０に垂直な検出面部１０の重心に対応する位置である。

また、絞り部１５ｕが、図１３および図１６に示すように検出面部１０まで延設されていなくてもよい。この場合、始点位置αｕ、終点位置βｕ、仮想線γｕ、および、角度δｕは、それぞれ図示するようになる。

さらに、絞り部１５ｕが、図１７および図１８に示すように、検出面部１０における流れ方向ｆ２の同軸上に存在しなくてもよい。この場合、始点位置αｕ、終点位置βｕ、仮想線γｕ、および、角度δｕは、それぞれ図示するようになる。なお、検出面部１０からの距離とは、検出面部１０の重心位置からの距離のことである。検出面部１０からの最短距離とは、検出面部１０と絞り部１５ｕにおける流路壁１６ａとの間の検出面部１０に垂直な距離と流れ方向ｆ２に沿った距離とを加えた距離が最短となっていることを意味している。

また、始点位置αｕが複数位置考えられる場合、始点位置αｕは、終点位置βｕとの距離が最短距離となっている位置である。ここで、始点位置αｕと終点位置βｕとの間の距離が最短距離とは、始点位置αｕと終点位置βｕとの間の検出面部１０に垂直な距離と流れ方向ｆ２に沿った距離とを加えた距離が最短となっていることを意味している。

また、実施例３において、異なる絞り部２０は、流路壁１６ａに対向する流路壁１６ｂに設けられていたが、流路壁１６ｂ以外の流路壁に設けられていてもよい。さらに、検出面部１０からの距離が離れていれば、発生する渦等の検出面部１０への影響が少なくなるため、異なる絞り部２０は流路壁１６ａに設けられていてもよい。

また、実施例１〜３において、ハウジング３はバイパス流路７の一部であるサブバイパス流路９が内部に形成されていたが、ハウジング３にサブバイパス流路９を形成しない構成としてもよい。

実施例４，５において、角度δｕ，δｄが３０度より小さくてもよい。このように角度δｕ，δｄが０度より大きく３０度より小さい場合でも、図１１に示すように、角度δｕが３０度を超えるまでは計測誤差が急激には増加しない（図１１参照）という構成を実現することができる。

実施例４，５において、支持部１３の長さ寸法Ｌ１は絞り部１５ｕ，１５ｄの全長Ｆａと異なる大きさになっていてもよい。例えば、長さ寸法Ｌ１が全長Ｆａより大きい構成では、支持部１３が絞り部１５ｕ，１５ｄよりも上流側及び下流側の両方にはみ出していてもよい。また、長さ寸法Ｌ１が全長Ｆａより小さい構成でも、支持部１３が上流側の絞り部１５ｕよりも上流まで延びていてもよい。

実施例４，５において、流量センサチップ５や検出面部１０は、流れ方向ｆ２において支持部１３の中央位置から上流側や下流側にずれた位置に配置されていてもよい。また、検出面部１０は、流れ方向ｆ２において流量センサチップ５の中央位置から上流側や下流側にずれた位置に配置されていてもよい。

実施例４において、流量センサチップ５の全体が終点位置βｕ，βｄよりも上流側に配置されていてもよい。この場合でも、検出面部１０が流れ方向ｆ２において終点位置βｕ，βｕ寄りの位置に配置された構成を実現することはできる。

実施例５において、検出面部１０の少なくとも一部が上流側の終点位置βｕよりも上流側に配置されていてもよい。例えば、検出面部１０の全体が上流側の終点位置βｕよりも上流側に配置された構成とする。この構成では、検出面部１０が接続部２３と対向するのではなく、実施例４と同様に上流側の絞り部１５ｕと対向することになる。

実施例４，５において、角度δｕ，δｄは３０度より小さくてもよい。この構成としては、例えば、上流側の角度δｕが下流側の角度δｄより小さい構成や、上流側の角度δｕが下流側の角度δｄより大きい構成とする。この構成でも、角度δｕが３０度を超えるまでは計測誤差が急激には増加しないことからして（図１１参照）、検出面部１０の検出精度や流量測定装置１の計測精度を適正に保つことができる。

実施例４，５において、支持部１３が上流側の始点位置αｕよりも上流側に配置されていなくてもよい。本発明者は、この場合でも、幅方向Ｘにおいて支持部１３が第１流路壁１６ａ寄りの位置に配置されていれば、角度δｕが３０度を超えるまでは計測誤差が急激には増加しない（図１１参照）、という知見を得ている。なお、支持部１３が第１流路壁１６ａ寄りの位置に配置されている構成は、離間距離Ｂ１が離間距離Ｂ４より小さいことにより実現されている。

実施例４，５において、幅方向Ｘにおいて支持部１３が第１流路壁１６ａ寄りの位置に配置されていなくてもよい。本発明者は、この場合でも、支持部１３が上流側の始点位置αｕよりも上流側に配置されていれば、角度δｕが３０度を超えるまでは計測誤差が急激には増加しない（図１１参照）、という知見を得ている。

１…流量測定装置、２…吸気路（ダクト）、３…ハウジング、５…流量センサチップ、７…バイパス流路、１０…検出部としての検出面部、１３…支持部、１５…絞り部、１５ｕ…上流絞り部、１５ｄ…絞り部、１６ａ…流路壁としての第１流路壁、１６ｂ…第２流路壁、１７ｕ…表面、１８…検出部、Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４…離間距離、ｆ２…流れ方向、αｕ、αｄ…始点位置、βｕ、βｄ…終点位置、γｕ、γｄ…仮想線、δｕ、δｄ…角度、Ｘ…直交方向としての幅方向。

Claims (12)

1. ダクト（２）の内部を流れる空気の一部を取り込むバイパス流路（７）を有するハウジング（３）と、
   前記バイパス流路に配され、前記バイパス流路を流れる空気との伝熱によって前記ダクト内の空気の流量に応じた電気信号を発生する検出面部（１０）を有する流量センサチップ（５）とを備え、
   前記検出面部は、前記バイパス流路を流れる空気の流れである流れ方向に沿って配され、
   前記バイパス流路は、前記流れ方向に垂直な断面積が前記流れ方向に沿って前記検出面部に近づくにつれ減少するように絞り部（１５、１５ｕ、１５ｄ）によって絞られている流量測定装置（１）において、
   前記絞り部は、前記検出面部に対向する流路壁（１６ａ）の一部であり、前記検出面部に垂直な前記検出面部と前記流路壁の間の距離を前記流れ方向に沿って前記検出面部に近づくにつれ狭めており、
   前記絞り部の開始する位置を始点位置（αｕ、αｄ）、前記絞り部の前記検出面部から最短距離の位置を終点位置（βｕ、βｄ）とすると、
   前記始点位置と前記終点位置とを結ぶ仮想線（γｕ、γｄ）と前記絞り部における前記流れ方向との成す角度（δｕ、δｄ）が０度より大きく２０度より小さい、流量測定装置。
2. 前記絞り部の表面は、平面または曲面である、請求項１に記載の流量測定装置。
3. 前記絞り部とは異なる絞り部（２０）が前記バイパス流路に設けられている、請求項１又は２に記載の流量測定装置。
4. 前記絞り部は、前記検出面部の前記流れ方向の上流側と下流側に設けられている、請求項１〜３のいずれか１つに記載の流量測定装置。
5. ダクトの内部を流れる空気の一部を取り込むバイパス流路を有するハウジングと、
   前記バイパス流路に配され、前記ダクト内の空気の流量に応じた電気信号を発生する検出部（１８）を有する流量センサチップとを備え、
   前記バイパス流路は、前記バイパス流路を流れる空気の流れである流れ方向に垂直な断面積が前記流れ方向に沿って前記検出部に近づくにつれ減少するように絞り部によって絞られている流量測定装置において、
   前記絞り部は、前記検出部に対向する流路壁の一部であり、
   前記絞り部の開始する位置を始点位置とすると、この始点位置は前記検出部の前記流れ方向の上流側にあり、
   前記絞り部の表面（１７ｕ）は平面であり、この表面と前記絞り部における前記流れ方向の成す角度が０度より大きく２０度より小さい、流量測定装置。
6. ダクト（２）の内部を流れる空気の一部を取り込むバイパス流路（７）を有するハウジング（３）と、
   前記バイパス流路に配され、前記バイパス流路を流れる空気との伝熱によって前記ダクト内の空気の流量に応じた電気信号を発生する検出面部（１０）を有する流量センサチップ（５）とを備え、
   前記検出面部は、前記バイパス流路を流れる空気の流れである流れ方向（ｆ２）に沿って配され、
   前記バイパス流路は、前記流れ方向に垂直な断面積が前記流れ方向に沿って前記検出面部に近づくにつれ減少するように絞り部（１５、１５ｕ、１５ｄ）によって絞られている流量測定装置（１）において、
   前記絞り部は、前記検出面部に対向する流路壁（１６ａ）の一部であり、前記検出面部に垂直な前記検出面部と前記流路壁の間の距離を前記流れ方向に沿って前記検出面部に近づくにつれ狭めており、
   前記絞り部の開始する位置を始点位置（αｕ、αｄ）、前記絞り部の前記検出面部から最短距離の位置を終点位置（βｕ、βｄ）とすると、
   前記始点位置と前記終点位置とを結ぶ仮想線（γｕ、γｄ）と前記絞り部における前記流れ方向との成す角度（δｕ、δｄ）が０度より大きく３０度以下である、流量測定装置。
7. 前記絞り部として、前記バイパス流路において前記検出面部よりも上流から下流側に向けて前記バイパス流路を絞っている上流絞り部（１５ｕ）を備え、
   前記検出面部の中央部分は、前記流れ方向において前記上流絞り部についての前記始点位置と前記終点位置との間に設けられている、請求項６に記載の流量測定装置。
8. 前記検出面部を支持する板状の支持部（１３）は、前記上流絞り部の前記始点位置よりも上流側まで延びている、請求項７に記載の流量測定装置。
9. 前記流れ方向に直交する直交方向（Ｘ）において、前記終点位置と前記検出面部を支持する支持部（１３）との離間距離（Ｂ３）が、前記終点位置と前記始点位置との離間距離（Ｂ４）より小さい、請求項６〜８のいずれか１つに記載の流量測定装置。
10. 前記流路壁が第１流路壁（１６ａ）であり、前記検出面部を支持する支持部（１３）を挟んで前記第１流路壁に対向する第２流路壁（１６ｂ）が設けられており、
    前記検出面部は、前記支持部における前記第１流路壁に対向する面（１３ａ）に取り付けられており、
    前記第１流路壁の前記始点位置と前記支持部との離間距離（Ｂ１）が、前記第２流路壁と前記支持部との離間距離（Ｂ２）より小さい、請求項６〜９のいずれか１つに記載の流量測定装置。
11. ダクトの内部を流れる空気の一部を取り込むバイパス流路を有するハウジングと、
    前記バイパス流路に配され、前記ダクト内の空気の流量に応じた電気信号を発生する検出部（１８）を有する流量センサチップとを備え、
    前記バイパス流路は、前記バイパス流路を流れる空気の流れである流れ方向（ｆ２）に垂直な断面積が前記流れ方向に沿って前記検出部に近づくにつれ減少するように絞り部によって絞られている流量測定装置において、
    前記絞り部は、前記検出部に対向する流路壁の一部であり、
    前記絞り部の開始する位置を始点位置とすると、この始点位置は前記検出部の前記流れ方向の上流側にあり、
    前記絞り部の表面（１７ｕ）は平面であり、この表面と前記絞り部における前記流れ方向の成す角度が０度より大きく３０度以下であることを特徴とする流量測定装置。
12. 空気の流量を測定する流量測定装置（１）であって、
    前記空気が流れるバイパス流路（７）と、
    前記バイパス流路において前記空気の流量に応じた電気信号を出力する検出部（１０）と、
    前記検出部を挟んで対向する一対の流路壁（１６ａ，１６ｂ）と、
    前記一対の流路壁が並ぶ並び方向（Ｘ）において、前記流路壁から前記検出部に向けて突出することで前記バイパス流路を絞る絞り部（１５ｕ）と、
    を備え、
    前記絞り部の突出寸法は、前記バイパス流路において上流側から前記検出部に近付くにつれて徐々に大きくなっており、
    前記絞り部の上流端部の位置を始点位置（αｕ、αｄ）、前記絞り部の前記検出部から最短距離の位置を終点位置（βｕ、βｄ）とすると、
    前記始点位置と前記終点位置とを結ぶ仮想線（γｕ、γｄ）と、前記バイパス流路を流れる空気の流れである流れ方向（ｆ２）との成す角度（δｕ、δｄ）が０度より大きく３０度以下である、流量測定装置。

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