JP2016056882A - Silicone oil filling method and silicone oil filling device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、シリコーンオイルの粘性を利用した緩衝器へシリコーンオイルを真空置換するシリコーンオイル充填方法及びその装置に関する。 The present invention relates to a silicone oil filling method and apparatus for vacuum-displacing silicone oil into a shock absorber using the viscosity of silicone oil.
シリコーンオイルの粘性を利用した緩衝器は、密閉された容器にシリコーンオイルを充填し、物体の衝撃やエネルギーの一部又は全部をシリコーンオイルの粘性により吸収するもので、密閉された容器内にほぼ完全に充填されていることが望まれる。 A shock absorber that uses the viscosity of silicone oil is one that fills a sealed container with silicone oil and absorbs part or all of the impact and energy of the object by the viscosity of the silicone oil. It is desirable that it is completely filled.
一般に、密閉されている容器にシリコーンオイルを充填する場合、容器内の構造は複雑な場合があり、大気下での充填では効率よく充填できないため真空引きした容器内にシリコーンオイルを置換し、その後大気下で充填口を塞ぐ方法が採られている。 Generally, when filling a sealed container with silicone oil, the structure inside the container may be complicated, and it cannot be filled efficiently by filling in the atmosphere. A method of closing the filling port under the atmosphere is employed.
しかし、真空引きした容器内にシリコーンオイルが接触すると、シリコーンオイルに溶存していた気体が発泡して、そのまま気体として容器に残留してしまうので充填量精度が著しく低下する恐れが生ずる。 However, when the silicone oil comes into contact with the evacuated container, the gas dissolved in the silicone oil is foamed and remains as it is in the container as it is.
また、溶存気体が発泡しない程度に容器内の真空引きを低くした場合でも、容器内の残留気体量が大きく影響し、その充填量精度が低下する。 Further, even when the evacuation in the container is reduced to such an extent that the dissolved gas does not foam, the residual gas amount in the container greatly affects, and the filling amount accuracy is lowered.
このようなことから、高い真空度で真空引きした容器にシリコーンオイルを精度よく充填する場合は、シリコーンオイル充填時に容器内の真空雰囲気に接触しても溶存気体が極力発泡しないようにすることが必要である。 For this reason, when silicone oil is accurately filled into a container evacuated at a high degree of vacuum, dissolved gas should be prevented from foaming as much as possible even when it comes into contact with the vacuum atmosphere in the container when filling with silicone oil. is necessary.
そこで、従来は充填時の前処理として、液体を減圧下で静置させて溶存気体濃度を低下させていた。 Therefore, conventionally, as a pretreatment at the time of filling, the liquid was allowed to stand under reduced pressure to reduce the dissolved gas concentration.
すなわち、脱気中の真空度よりも液体と置換する充填領域の真空度を低くすることで、液体中の溶存気体の飽和溶解量を低下させずに、溶存気体の発泡を防止した液体充填方法がある(例えば、特許文献1参照。)。 That is, the liquid filling method that prevents foaming of the dissolved gas without lowering the saturated dissolution amount of the dissolved gas in the liquid by lowering the degree of vacuum of the filling region replacing the liquid than the degree of vacuum during degassing (For example, refer to Patent Document 1).
また、効率よく脱気できるよう脱気槽内に撹拌機構を備えた方法もある(例えば、特許文献2参照。)。 In addition, there is a method in which a stirring mechanism is provided in a deaeration tank so that deaeration can be performed efficiently (see, for example, Patent Document 2).
しかしながら、密閉される容器にシリコーンオイルを真空置換する場合、シリコーンオイルは充填ノズル内を流れ、速度をもって容器に充填されてゆく。このとき、容器内は真空であるので充填ノズル内先端は真空下となり、ノズル内で流れが生じた部分は圧力が低下し、溶存していた気体が発泡し充填容器内に残留してしまう。 However, when the silicone oil is vacuum-replaced in a sealed container, the silicone oil flows through the filling nozzle and fills the container with speed. At this time, since the inside of the container is vacuum, the tip of the filling nozzle is under vacuum, and the pressure is reduced at the portion where the flow has occurred in the nozzle, and the dissolved gas is foamed and remains in the filling container.
また、充填ノズルと充填容器内の間に落差があると位置エネルギーをもって充填容器内に充填され、この場合でも流れが生じて圧力が低下し溶存気体の発泡となる。 In addition, if there is a drop between the filling nozzle and the filling container, the filling container is filled with potential energy, and even in this case, a flow is generated, the pressure is lowered, and foaming of dissolved gas occurs.
真空下において流れが生じた部分の圧力が低下し溶存気体が発泡する場合は、脱気時の真空度は流れによる圧力低下よりも低い圧力(高い真空度)でなければならないが、この圧力低下を定量的に把握し、装置の動作に反映させることは制御が煩雑になり装置化することは難しい。したがって、静置による脱気及び、例えば特許文献1記載の発明における脱気時と充填時とで真空度に差を設ける脱気方法のみでは、シリコーンオイルの溶存気体の発泡を防止することは極めて困難である。
When the pressure of the part where the flow is generated under vacuum and the dissolved gas is foamed, the degree of vacuum during degassing must be lower (higher vacuum) than the pressure drop caused by the flow. Quantitatively grasping it and reflecting it in the operation of the apparatus makes the control complicated and difficult to make into an apparatus. Therefore, it is extremely possible to prevent foaming of dissolved gas of silicone oil only by deaeration by standing and only by a deaeration method that provides a difference in vacuum between deaeration and filling in the invention described in
また、特許文献2記載の発明では撹拌時の液体の流速と充填時の充填ノズル内の流速を比較し、相対的な流速の調整をしていないため、脱気時に撹拌による液体の流速が充填時の充填ノズル内の流速よりも低いことがあり、この場合、充填時に液体の気体飽和溶解量が低下し溶存気体が発泡してしまう恐れが生ずる。
In the invention described in
つまり、このようなことは、先行技術文献記載の各発明が流速による圧力低下量に関し、全く考慮していないことに基づくものである。 That is, this is based on the fact that the inventions described in the prior art documents do not consider the pressure drop due to the flow velocity at all.
本発明は、このような従来の構成が有していた問題を解決しようとするものであり、溶存気体を発泡させることなく高品質のシリコーンオイルを充填できるとともに、溶存気体発泡防止の調整幅をもたせることを実現する目的を以って開発したものである。 The present invention is intended to solve the problems of such a conventional configuration, and can be filled with high-quality silicone oil without foaming dissolved gas, and has an adjustment range for preventing dissolved gas foaming. It was developed with the purpose of realizing.
而して、前記課題を解決し、かつ、その目的を達成すべき本発明の要旨とするところは、減圧下のシリコーンオイル液中で、該シリコーンオイルに強制的に流速を発生させることにより、シリコーンオイルの溶存気体を発泡させ、かつ、該発泡を強制的に破壊して脱気したシリコーンオイルを充填ガンに圧送するとともに、該充填ガンのノズルを真空減圧下におかれた減圧被充填領域に位置せしめ、前記充填領域を前記脱気したシリコーンオイルが充填ガンのノズルが開いて充填する際に、前記シリコーンオイルに発生させた流速と前記充填ガンのノズル内に発生するシリコーンオイルの流速の差を比較調整することにより、真空下雰囲気で被充填容器にシリコーンオイルを置換充填するシリコーンオイル充填方法及びその装置を提供するにある。 Thus, the gist of the present invention to solve the above-mentioned problems and achieve the object is to forcefully generate a flow rate in the silicone oil in a silicone oil liquid under reduced pressure, A decompression-filled region in which the dissolved gas of the silicone oil is foamed and the silicone oil that has been degassed by forcibly breaking the foam is pumped to the filling gun, and the nozzle of the filling gun is placed under vacuum decompression When the filling gun nozzle is opened and filled with the degassed silicone oil, the flow rate generated in the silicone oil and the flow rate of the silicone oil generated in the filling gun nozzle are filled in the filling region. To provide a silicone oil filling method and apparatus for replacing and filling silicone oil in a container to be filled in a vacuum atmosphere by comparing and adjusting the difference. That.
要するに、本願発明はシリコーンオイルの粘性を利用した緩衝器の充填領域を減圧してシリコーンオイルで置換するシリコーンオイル充填方法及びその装置であって、減圧下液中で物体を移動させシリコーンオイルに流速を強制的に発生させることにより、シリコーンオイルの溶存気体を発泡させるとともに、かつ、該発泡を強制的に破壊して脱気する脱気工程と、前記充填領域を減圧する減圧工程と、前記脱気したシリコーンオイル液体を充填ガンに圧送する圧送工程と、前記減圧した充填領域を前記脱気したシリコーンオイル液体が圧送されている充填ガンが開いて置換充填する充填工程と、前記脱気工程の減圧下液中で物体が移動しシリコーンオイルに発生させた流速と前記充填工程で充填ガンのノズル内に発生するシリコーンオイルの流速を比較して差を調整する調整工程を経て成るものである。 In short, the present invention is a silicone oil filling method and apparatus for reducing the filling area of a shock absorber using the viscosity of silicone oil and replacing it with silicone oil. Forcibly generating a foamed dissolved gas in the silicone oil, forcibly destroying the foam and degassing, depressurizing step for depressurizing the filling region, and degassing. A pressure-feeding step of pumping the gasified silicone oil liquid to the filling gun, a filling step of opening and filling the pressure-reduced filling region with the filling gun in which the degassed silicone oil liquid is pumped open, and the degassing step. Silicone oil generated in the nozzle of the filling gun in the filling process and the flow rate generated in the silicone oil by moving the object in the liquid under reduced pressure Those made through an adjustment step of adjusting a difference by comparing the flow rate.
上記の課題解決手段による作用は次のとおりである。
すなわち、脱気工程の減圧下液中において、物体を強制的に移動させることによりシリコーンオイルの溶存気体を効果的に発泡させることと、該発泡を減圧下で強制的に破壊することが相まって頗る効果的に脱気された高品質のシリコーンオイルを充填ガンに圧送することができる。
The operation of the above problem solving means is as follows.
In other words, in the depressurized liquid in the degassing step, it is combined with effectively foaming the dissolved gas of the silicone oil by forcibly moving the object and forcibly destroying the foaming under the reduced pressure. Effectively degassed high quality silicone oil can be pumped to the filling gun.
前記脱気工程の減圧下液中において、物体を強制的に移動させることによりシリコーンオイルに発生させた流速を、充填時の充填ガンのノズル内に発生するシリコーンオイルの流速よりも速く調整することで、充填時に充填ノズル内で流れが生じて圧力が低下した場合でも、脱気工程の真空度が減圧工程の真空度と同等以上となり充填ムラが生じない。 In the depressurized liquid in the degassing step, the flow rate generated in the silicone oil by forcibly moving the object is adjusted faster than the flow rate of the silicone oil generated in the nozzle of the filling gun at the time of filling. Thus, even when a flow occurs in the filling nozzle during filling and the pressure drops, the degree of vacuum in the deaeration process is equal to or higher than the degree of vacuum in the pressure reduction process, and no filling unevenness occurs.
また、真空下液中で物体を移動させる速度を高速にすることで、相対的な局部圧力低下を大きくし、さらなる溶存気体量を強制的に減らすことと、エア圧により発生させる送り圧力を調整し、充填時のノズル内のシリコーンオイルの流速を遅くすること及び充填ガンの開度を調整し、充填時の充填ノズル内のシリコーンオイル流速を遅くすることができる。 Also, by increasing the moving speed of the object in the liquid under vacuum, the relative local pressure drop is increased, the amount of dissolved gas is forcibly reduced, and the feed pressure generated by the air pressure is adjusted. In addition, the flow rate of the silicone oil in the nozzle at the time of filling can be slowed down and the opening of the filling gun can be adjusted to slow down the flow rate of the silicone oil in the filling nozzle at the time of filling.
したがって、前述のように流速を調整し、かつ、真空度を同等以上に調整することにより、充填時にシリコーンオイルに溶存している気体の発泡を防止するとともに、充填時に脱気しきれなかった溶存気体を発泡させることなく充填でき、しかも、溶存気体発泡防止の調整幅をもたせることができる。 Therefore, by adjusting the flow rate and adjusting the degree of vacuum to the same level or higher as described above, it is possible to prevent foaming of the gas dissolved in the silicone oil at the time of filling, and the dissolved gas that could not be degassed at the time of filling. The gas can be filled without foaming, and an adjustment range for preventing dissolved gas foaming can be provided.
上述したように、本発明の独特の構成によると、シリコーンオイルの粘性を利用した緩衝器へのシリコーンオイル充填において、脱気工程の減圧下液中で物体を移動させ、シリコーンオイルに発生させた流速を充填工程の充填ガンのノズル内に発生するシリコーンオイルの流速よりも速く調整することにより、流れによる相対的な局部圧力低下に差を設け、かつ、脱気工程の真空度が減圧工程の真空度と同等以上であれば、充填時に脱気しきれなかった溶存気体を発泡させることなく充填することができる。 As described above, according to the unique configuration of the present invention, in filling the silicone oil into the shock absorber using the viscosity of the silicone oil, the object is moved in the depressurized liquid in the degassing step and generated in the silicone oil. By adjusting the flow rate faster than the flow rate of the silicone oil generated in the nozzle of the filling gun in the filling step, a difference is made in the relative local pressure drop due to the flow, and the degree of vacuum in the degassing step is If it is equal to or higher than the degree of vacuum, the dissolved gas that could not be degassed at the time of filling can be filled without foaming.
そして、減圧下液中で物体を移動させる速度の調整、エア圧により発生させる送り圧力の調整及び充填ガンの開度の調整により、溶存気体発泡防止の調整幅をもたせることができる。
要するに、本願発明によると相対的な流速の変化や流速による圧力低下量に関しては万全なる調整ができる。
And the adjustment range of dissolved gas foaming prevention can be given by adjusting the speed at which the object is moved in the liquid under reduced pressure, adjusting the feed pressure generated by the air pressure, and adjusting the opening of the filling gun.
In short, according to the present invention, perfect adjustment can be made with respect to the relative change in flow velocity and the amount of pressure drop due to the flow velocity.
上記理由から、本発明によれば高品質性を維持したままのシリコーンオイルを被充填容器に正確、かつ、高精度に充填することができる。 For the above reasons, according to the present invention, it is possible to accurately and highly accurately fill the filling container with silicone oil while maintaining high quality.
以下、本発明を実施するための具体的な構成を図1・図2及び図3に基づいて説明する。 Hereinafter, a specific configuration for carrying out the present invention will be described with reference to FIGS. 1, 2, and 3.
すなわち、この装置は、密閉脱気タンク12・被充填容器21を内設した真空槽20及び充填ガン22の一連不可分の構成を呈する。
That is, this apparatus exhibits a series of inseparable configurations of the
密閉脱気タンク12内には、外部に設置したモーター13と直結した回転軸28に軸着する羽11・11並びに泡切羽10を段状に設定するとともに、密閉脱気タンク12内の上部に通じる圧送ホース29・加圧レギュレータホース30・真空ポンプホース31・真空破壊ホース32及び真空計ホース33がそれぞれ備えられる。
In the sealed deaeration tank 12, the
なお、圧送ホース29には圧送ポンプ1と圧送バルブ7が、加圧レギュレータホース30には加圧レギュレータ2と加圧バルブ4が、真空ポンプホース31には真空ポンプ3と真空バルブ5が、真空破壊ホース32には真空破壊具34と真空破壊バルブ6が、また、真空計ホース33には真空計9がそれぞれ設定されている。
Note that the
そして、真空槽20内には、その上部に通じる真空ポンプホース35・真空破壊バルブホース36及び真空計ホース37をそれぞれ備えるとともに、充填口38を有する被充填容器21を設定する。
In the
また、真空ポンプホース35には真空ポンプ15と真空バルブ16が、真空破壊バルブホース36には真空破壊具39と真空破壊バルブ17が、真空計ホース37には真空計18がそれぞれ備えられる。
The
充填ガン22は、シリコーンオイル入口40と密閉脱気タンク12内の下部に充填経路ホース14を介して連結され、かつ、被充填容器21の充填口38に充填ガン22のノズル25が密接合致するよう真空槽20の上部に設定したものである。なお、充填経路ホース14には、密閉脱気タンク12側に充填経路バルブ8及び充填ガン22側に圧力計19がそれぞれ備えられる。
The
このようにして、脱気密閉タンク12・被充填容器21を内設した真空槽20及び充填ガン22を一連不可分に構成したものである。
In this way, the
次に、上記構成の動作を説明する。
先ず、圧送ポンプ1の稼働により、シリコーンオイル41が圧送ホース29を通って密閉脱気タンク12内に圧送される。
Next, the operation of the above configuration will be described.
First, the
このとき、密閉脱気タンク12に設置されている加圧バルブ4・真空バルブ5及び充填経路バルブ8はそれぞれ閉じていて、真空破壊バルブ6及び圧送バルブ7が開いている。また、真空ポンプ3及びモーター13は停止している。
At this time, the
密閉脱気タンク12内のシリコーンオイル41の液面が、羽11・11を満たす量になると、圧送ポンプ1を停止して圧送バルブ7を閉じ、密閉脱気タンク12へのシリコーンオイル41の圧送が終了する。
When the liquid level of the
次に、密閉脱気タンク12内のシリコーンオイル41を脱気するために、真空破壊バルブ6を閉じて密閉脱気タンク12内を密閉状態にする。さらに、真空バルブ5を開けて真空ポンプ3を稼働し、密閉脱気タンク12内を真空引きして気密性を維持する。
Next, in order to degas the
密閉脱気タンク12内の真空度が、真空充填時の真空度と同等以上まで上昇したことを真空計9が検知すると、モーター13が稼働し、モーター13と連動する泡切羽10及びシリコーンオイル41の液中に存する羽11・11が回転軸28に従って同方向に同回転する。
When the vacuum gauge 9 detects that the degree of vacuum in the sealed deaeration tank 12 has increased to a level equal to or higher than the degree of vacuum at the time of vacuum filling, the motor 13 is activated, and the foam face 10 and the
真空下に存在するシリコーンオイル41は、羽11・11が回転することで流速が発生し、シリコーンオイル41の液中において相対的に局部圧力低下が生じ、溶存気体が強制的に発泡されながら脱気される。
The
したがって、羽11・11の回転は物体(羽11・11)の移動(回転)として捉えることができる。つまり、このことは羽11・11の形状等に限定されることはなく、棒や板等を回転軸28に軸着固定することや、シリコーンオイル41の液中に没している単なる遊動物体の移動によっても、シリコーンオイル41に流速を発生させることができる。
Therefore, the rotation of the
このとき、シリコーンオイル41からの発泡量が真空ポンプ3の排気量に比して大きい場合は、脱気タンク12内の真空度が低下する。また、減圧下でのシリコーンオイル41の液面上に発生した泡は、泡切羽10の回転による接触で効率よく破壊し強制的に脱気される。
At this time, when the amount of foaming from the
要するに、減圧下での密閉脱気タンク12においては、シリコーンオイル41の溶存気体を強制的に発泡させるとともに、同時に強制的に脱気するので合理的に高品質のシリコーンオイルを得ることになる。
In short, in the sealed degassing tank 12 under reduced pressure, the dissolved gas of the
このようにして、シリコーンオイル41からの発泡が収まると密閉脱気タンク12内の真空度が上昇し、密閉脱気タンク12内は再び真空充填時の真空度と同等以上の真空度に到達する。
In this way, when foaming from the
そして、この真空度を真空計9が検知すると、真空ポンプ3及びモーター13が停止し、真空破壊バルブ6が開き密閉脱気タンク12内を真空破壊する。
When the vacuum gauge 9 detects this degree of vacuum, the
真空計9が大気圧を検知したのち、真空バルブ5及び真空破壊バルブ6を閉じて密閉脱気タンク12を密閉状態にする。
After the vacuum gauge 9 detects the atmospheric pressure, the
真空計9は、真空下液中で物体を移動させシリコーンオイル41に流速を発生させ、溶存気体が発泡することによって変化する真空度を監視することにより、脱気が完了したことを正確に判断できる。
The vacuum gauge 9 accurately determines that degassing has been completed by moving the object in the liquid under vacuum, generating a flow rate in the
そして、加圧バルブ4を開け、加圧レギュレータ2の操作で密閉脱気タンク12内を加圧することにより、脱気工程が終了する。
And the deaeration process is complete | finished by opening the
次に、充填経路バルブ8を開けて密閉脱気タンク12内のシリコーンオイル41を充填ガン22のシリコーンオイル入口40まで充填経路ホース14を介して圧送する。
Next, the filling path valve 8 is opened, and the
このとき、充填ガン22のニードル23は、ニードル開閉シリンダ26でシート24に押し当てられているので、圧送されたシリコーンオイル41はノズル25から吐出することはない。
At this time, since the
ニードル開閉シリンダ26の開度は、ニードル開度調整ネジ27によって行われ、また、圧送圧力の調整は加圧レギュレータ2の操作量によってできるので、エア圧による圧送で充填時のノズル25内のシリコーンオイル41の流速を調整できる。
上記により、脱気したシリコーンオイル41を充填ガン22まで圧送する圧送工程の動作を示す。
The opening of the needle opening /
The operation of the pumping process for pumping the degassed
そして、被充填容器21をその充填口38が開いた状態で真空槽20内に設定する。
And the to-
次いで、真空槽20に備えた真空破壊バルブ17を閉じ、真空バルブ16を開けて真空ポンプ15を稼働し、真空槽20及び被充填容器21の充填領域を真空引きする。これは、充填領域を減圧する作業工程を施すものである。
Next, the
真空計18が、真空充填に必要な真空度まで真空槽20が上昇したことを検知すると、被充填容器21の充填口38に充填ガン22のノズル25を密接合致させる。
When the
その後、充填ガン22のニードル23がニードル開閉シリンダ26の作動で上方へ引き上げられ、シリコーンオイル41がノズル25を通って被充填容器21の充填領域に充填される。
Thereafter, the
すなわち、減圧した充填領域に、脱気した液体が圧送されている充填ガン22のニードル23が開いて、シリコーンオイル41が被充填容器21に置換充填される充填工程となる。
That is, a filling process is performed in which the
このとき、ノズル25内に発生しているシリコーンオイル41の流速は、ニードル開度調整ネジ27により、前述の脱気工程時の羽11・11の回転(移動)により発生させた流速よりも遅く調整されている。
At this time, the flow rate of the
つまり、脱気工程の減圧下液中で物体が移動してシリコーンオイル41に発生させた流速と、充填工程で充填ガン22のノズル25内に発生するシリコーンオイル41の流速を比較して、その差を調整する調整工程である。
That is, the flow rate of the
そして、充填経路ホース14に備えた圧力計19が、脱気タンク12内を加圧レギュレータ2の圧力値と同値になったことを検知すると、充填完了と判断し充填ガン22のニードル23は、ニードル開閉シリンダ26によってシート24に押し当てられ、シリコーンオイル41はノズル25から吐出されなくなり、その充填は停止する。
When the
充填ガン22のニードル開度調整ネジ27を開度調整することで、充填時のノズル25内のシリコーンオイル41の流速を調整でき、また、充填ガン22のニードル23が開くことによるキャビテーションの発生を極力防止できる。
By adjusting the opening degree of the needle opening
次いで、真空破壊バルブ17が開き、真空ポンプ15を停止し、真空槽20を真空破壊する。
Next, the
真空計18にて大気圧を検知後、真空バルブ16を閉じると充填ガン22が上昇し、ノズル25は被充填容器21から離脱する。
When the
そして、真空槽20からシリコーンオイル41を充填した被充填容器21を取り出し、その充填口38を塞いで真空置換充填が完了する。
Then, the filling
脱気後のシリコーンオイル41の再溶存に応じての脱気工程を定期的に実施する。
A degassing step is periodically performed according to the re-dissolution of the
本実施例によれば、脱気されて発泡のない高品質性のシリコーンオイルを被充填容器21への充填ができ、充填精度が極めて正確となる。したがって、被充填容器21を緩衝器に適用した場合には、シリコーンオイルの粘性やその弾力性により、衝撃エネルギー等を効率的に吸収でき、常に頗る耐久性に富んだ高性能・高品質の製品として提供できる。
According to the present embodiment, the filling
1 圧送ポンプ
2 加圧レギュレータ
3 真空ポンプ
4 加圧バルブ
5 真空バルブ
6 真空破壊バルブ
7 圧送バルブ
8 充填経路バルブ
9 真空計
10 泡切羽
11 羽
12 密閉脱気タンク
13 モーター
14 充填経路ホース
15 真空ポンプ
16 真空バルブ
17 真空破壊バルブ
18 真空計
19 圧力計
20 真空槽
21 被充填容器
22 充填ガン
25 ノズル
27 ニードル開度調整ネジ
28 回転軸
29 圧送ホース
30 加圧レギュレータホース
31 真空ポンプホース
33 真空計ホース
35 真空ポンプホース
36 真空破壊バルブホース
37 真空計ホース
38 充填口
40 シリコーンオイル入口
41 シリコーンオイル
DESCRIPTION OF
Claims (5)
Priority Applications (1)
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