JP2015103547A - Semiconductor device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、複数の半導体チップが搭載される半導体装置に関する。 The present invention relates to a semiconductor device on which a plurality of semiconductor chips are mounted.
DRAM(Dynamic Random Access Memory)などの半導体装置に要求される記憶容量は年々増大している。近年においては、1枚のパッケージ基板に複数の半導体チップ(メモリチップ)を搭載する方法も提案されている。複数の半導体チップはパッケージ基板の上に積層されることもあれば、並置されることもある(特許文献1〜3参照)。 The storage capacity required for semiconductor devices such as DRAM (Dynamic Random Access Memory) is increasing year by year. In recent years, a method of mounting a plurality of semiconductor chips (memory chips) on a single package substrate has also been proposed. A plurality of semiconductor chips may be stacked on the package substrate or may be juxtaposed (see Patent Documents 1 to 3).
通常、半導体チップにおいては、2つの長辺または短辺に沿って複数の電極パッドが配列される。これらの電極パッドは、ボンディングワイヤによりパッケージ基板の接続パッドと接続される。複数の接続パッドをパッケージ基板に形成する必要があるため、半導体チップが配置される領域の周囲にある程度のマージン領域を形成する必要がある。このマージン領域は半導体装置のサイズを増加させる要因である。 Usually, in a semiconductor chip, a plurality of electrode pads are arranged along two long sides or short sides. These electrode pads are connected to connection pads on the package substrate by bonding wires. Since it is necessary to form a plurality of connection pads on the package substrate, it is necessary to form a certain margin area around the area where the semiconductor chip is arranged. This margin region is a factor that increases the size of the semiconductor device.
本実施形態における半導体装置は、第1方向に延在する第1辺及び第2辺と、第1方向と交差する第2方向に延在する第3辺及び第4辺と、第1辺と第3辺それぞれに沿って配列された複数の第1の電極パッドとを有する第1の半導体チップと、第1方向に延在する第5辺及び第6辺と、第2方向に延在する第7辺及び第8辺と、第5辺と第7辺それぞれに沿って配列された複数の第2の電極パッドとを有する第2の半導体チップと、第1及び第2の電極パッドとボンディングワイヤを介して接続される複数の接続パッドを有するパッケージ基板と、を備える。第1および第2の半導体チップは、第2辺および第6辺が対向するようにパッケージ基板上に搭載される。 The semiconductor device according to the present embodiment includes a first side and a second side extending in a first direction, a third side and a fourth side extending in a second direction intersecting the first direction, a first side, A first semiconductor chip having a plurality of first electrode pads arranged along each of the third sides, a fifth side and a sixth side extending in the first direction, and extending in the second direction A second semiconductor chip having a seventh side and an eighth side, and a plurality of second electrode pads arranged along the fifth side and the seventh side, and bonding with the first and second electrode pads; A package substrate having a plurality of connection pads connected via wires. The first and second semiconductor chips are mounted on the package substrate so that the second side and the sixth side face each other.
本発明によれば、複数の半導体チップを搭載する半導体装置の平面サイズを縮小できる。 According to the present invention, the planar size of a semiconductor device on which a plurality of semiconductor chips are mounted can be reduced.
以下、添付図面を参照しながら、本発明の好ましい実施形態について詳細に説明する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
図1は、本実施形態における半導体装置100の断面図である。半導体装置100は、配線基板106とその上に搭載される2つのメモリチップ102a(第1の半導体チップ)とメモリチップ102b(第2の半導体チップ)を含む。配線基板106(パッケージ基板)は、ガラスエポキシ基板などの絶縁基材104の表面に配線パターンが形成された厚さ90μm程度の基板である。絶縁基材104の両面は絶縁膜108(ソルダーレジスト膜)に覆われる。配線パターンのほとんどは絶縁膜108により覆われるが、一部は露出する。この露出した配線パターンが接続パッド110およびランド112である。接続パッド110は、メモリチップ102a,102bが配置される領域を囲むように配置される(図2等も参照)。絶縁基材104を貫通するスルーホール導体(図示せず)により、接続パッド110とランド112は電気的に接続される。ランド114には、はんだボール114(外部端子)が接続される。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a
メモリチップ102a,102bは、配線基板106の中央部に並置され、接着部材122により配線基板106に接着される。本実施形態におけるこれらのメモリチップは、サイズも記憶容量も同じDRAM(Dynamic Random Access Memory)のメモリチップであるとする。メモリチップ102a,102bはいずれも長方形面を有する板状のチップである。また、メモリチップ102a,102bは、いずれもシリコン基板の一面にメモリ回路が形成され、複数の電極パッド116が配列される。
The
各メモリチップ102の電極パッド116は、ボンディングワイヤ118により接続パッド110と接続され、更に、スルーホール導体やランド112を介してはんだボール114とも電気的に接続される。メモリチップ102は、熱硬化性樹脂である封止樹脂120により覆われる。封止樹脂120は、たとえば、MUF(Mold Underfill)である。封止樹脂120は、10μm未満の大きさのフィラーを含むエポキシ樹脂であってもよい。
The
図2は、本実施形態における配線基板106にメモリチップ102a,102bを並置させたときの概略平面図である。メモリチップ102aは、長辺として第1辺L1と第2辺L2を有し、短辺として第3辺L3、第4辺L4を有する。第1辺L1と第3辺L3に沿って複数の電極パッド116が配列される。電極パッド116は、配線基板106からの電源電圧の供給や各種制御信号、データ信号の送受を行うためのものである。同様に、メモリチップ102bは長辺として第5辺L5、第6辺L6を有し、短辺として第7辺L7、第8辺L8を有する。第5辺L5と第7辺L7に沿って複数の電極パッド116が配列される。このように、メモリチップ102a,102bを平置きすることによりパッケージを薄くできる。
FIG. 2 is a schematic plan view when the
電極パッド116は、配線基板106上に形成される接続パッド110とボンディングワイヤ118を介して接続される。メモリチップ102aとメモリチップ102bは同サイズ、同形状であるため、メモリチップ102bはメモリチップ102aに対して180度回転させた向きに載置される。
The
接続パッド110の配列に必要なマージンをMとすると、メモリチップ102aとメモリチップ102bはy軸方向にMだけずらされている。ずれの大きさはM未満でもM以上でもよいが、後述の理由によりMだけずらすのが好適である。このため第3辺L3と第8辺L8は一直線上に並ばない。同様の理由から、第4辺L4と第7辺L7も一直線上に並ばない。メモリチップ102aはメモリチップ102bに比べると第4辺L4側にずらされているともいえる。
When the margin necessary for the arrangement of the
図3は、比較例1におけるメモリチップ102の配置を示す概略平面図である。図3においては、メモリチップ102aの2つの長辺である第1辺L1と第2辺L2に沿って電極パッド116が配列されている。同様に、メモリチップ102bにおいても2つの長辺である第5辺L5、第6辺L6に沿って電極パッド116が配置されている。このため、メモリチップ102aとメモリチップ102bの間に接続パッド110を2列分配列する必要がある。図3の配置例の場合、y方向においてはマージンの確保は不要であるが、x方向においては4Mのマージンが必要となる。
FIG. 3 is a schematic plan view showing the arrangement of the
図4は、比較例2におけるメモリチップ102の配置を示す概略平面図である。図4においては、本実施形態と同じく、メモリチップ102aの第1辺L1と第2辺L2に沿って電極パッド116が配列され、メモリチップ102bの第5辺L5と第7辺L7に沿って電極パッド116が配列される。本実施形態と異なり、メモリチップ102aとメモリチップ102bはy方向にずらされていない。このため、図4の配置例の場合、y方向とx方向の双方において2Mのマージンが必要となる。
FIG. 4 is a schematic plan view showing the arrangement of the
なお、図3では、メモリチップ102の長辺の両サイドに電極パッド116が設けられているため、配線基板106の中央付近、すなわち、半導体パッケージの中央付近に複数の電極パッド116が配置される。一方、パッケージのはんだボール114が、パッケージの外周部に設けられていた場合、電極パッド116とはんだボール114とを接続する配線が長くなるという問題がある。
In FIG. 3, since the
これに対して、図4では、メモリチップ102aの辺L1、L3に沿って電極パッド116が配置されている。すなわち、電極パッド116はL字状にメモリチップ102に配置されており、メモリチップ102a、102bの一方を180度反転させ、図4に示すように、それらのメモリチップを対向させると、半導体パッケージの中央付近に電極パッド116は配置されなくなる。したがって、図4のレイアウトによれば、電極パッド116とはんだボール114とを接続する配線を短くできる。図2においても同様である。信号配線、電源、グランド配線等の配線を短くすることにより、信号波形品質を維持でき、高速化の要求を満たすことができる。したがって、図2や図4によれば、薄型、高速化の要求を満たせる半導体メモリ装置を提供できる。
On the other hand, in FIG. 4,
図2に戻る。図2においては、メモリチップ102aとメモリチップ102bがy方向にMだけずらされている。このため、メモリチップ102aの第3辺L3に沿って配列される接続パッド110が、メモリチップ102bの第8辺L8よりも下方向(y軸負方向)に突出することはない。同様に、メモリチップ102bの第7辺L7に沿って配列される接続パッド110も、第4辺L4よりも上方向(y軸正方向)に突出することはない。この結果、図2の本実施形態における配置方法では、y方向に必要なマージンはM、x方向に必要なマージンは2Mとなる。
Returning to FIG. In FIG. 2, the
長辺である第1辺L1の長さをLL,短辺である第3辺L3の長さをLSとすると、本実施形態における配線基板106が必要最小限確保すべき面積は(2LS+2M)×(LL+M)となる。図2の比較例1の場合は(2LS+4M)×LL、図3の比較例2の場合は(2LS+2M)×(LL+2M)となる。したがって、本実施形態における配置方法は比較例2よりも配線基板106のサイズを常に小さくでき、Mが極端に大きくなることがなければ(LS+M>LLとならなければ)比較例1よりも配線基板106のサイズを小さくできる。通常、LSに比べてMは充分に小さいため、本実施形態の配置方法は比較例1よりも配線基板106のサイズを小さくできる。
Assuming that the length of the first side L1 that is the long side is LL and the length of the third side L3 that is the short side is LS, the area that the
図5は、再配線層126の断面図である。本実施形態のメモリチップ102は、電極パッド116がL字型に配置されているが、一般的にはメモリチップ102の電極パッド(内部電極128)は、2つの長辺または短辺に沿って配置されるか、中央部に配置されることが多い。このような場合には、再配線層126により電極パッド116の平面位置を移動させればよい。
FIG. 5 is a cross-sectional view of the
図5に示すメモリチップ102は、回路層124の上に再配線層126が形成される。そして、回路層124に設置される内部電極128を、再配線層126の配線130により別の位置の電極パッド116と接続することで、ボンディングワイヤ118と接続すべ
平面位置を内部電極128とは異なる平面位置に移動させている。
In the
図6は、再配線をしたときの第1の平面図である。図6の場合、第1辺L1と第2辺L2に沿って内部電極128が配列されている。モバイルに搭載されるDRAMではこのように2つの長辺に沿って内部電極128を配置することがある。この場合には、第2辺L2に配列される内部電極128を配線130により第3辺L3側に再配線すればよい。第1辺L1側の内部電極128はそのまま第1辺L1側の電極パッド116に再配線接続される。
FIG. 6 is a first plan view when rewiring is performed. In the case of FIG. 6, the
図7は、再配線をしたときの第2の平面図である。図7の場合、y軸方向に沿って、メモリチップ102aの中央部に内部電極128が2列に配列されている。この場合には、中央部の内部電極128をそれぞれ第1辺L1側と第3辺L3側に再配線する必要がある。
FIG. 7 is a second plan view when rewiring is performed. In the case of FIG. 7, the
図8は、本実施形態の第1の変形例において、配線基板106にメモリチップ102a,102bを並置させたときの概略平面図である。図8に示すように、メモリチップ102aをメモリチップ102bに対して下方向(y軸負方向)にずらしてもよい。このような配置方法により、第4辺L4の上や第8辺L8の下にスペース132を確保し、ここにディスクリート型の受動素子など各種の回路素子を配置してもよい。
FIG. 8 is a schematic plan view when the
図9は、本実施形態の第2の変形例において、配線基板106にメモリチップ102a,102bを並置させたときの概略平面図である。図9では、メモリチップ102の長辺ではなく短辺が向かい合うように2つのメモリチップ102を配置している。配線基板106がx方向に長い形状のときには、このような配置方法も可能である。
FIG. 9 is a schematic plan view when the
図10は、本実施形態の第3の変形例において、2つの配線基板106a,102bにメモリチップ102a,102bをそれぞれ配置させたときの概略平面図およびその断面図である。配線基板106aにはメモリチップ102aが搭載され、別の配線基板106bにはメモリチップ102bが搭載される。また、配線基板106cにはコントローラチップ134が搭載され、配線基板106aと配線基板106c、配線基板106bと配線基板106cはバンプ136または図示しないボンディングワイヤにより接続される。コントローラチップ134は、配線基板106cに対してフェイスアップにて搭載されてもよいし、フェイスダウンで搭載されてもよい。
FIG. 10 is a schematic plan view and a cross-sectional view when the
配線基板106a,106bにそれぞれ1チャンネルのFPGA(Field-Programmable Gate Array)を形成し、これらを結合して2つのFPGAを実装してもよい。1つの配線基板106に2チャンネル分の回路を形成する場合、どちらか一つのチャンネルに不具合があると、他方のチャンネルが良品であっても2チャンネルパッケージとしては不良品になってしまう。しかし、1チャンネルに対応する配線基板106を2つ組み合わせる場合には、このような問題が発生しないので、コスト低減が可能である。
A single-channel FPGA (Field-Programmable Gate Array) may be formed on each of the
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。 The preferred embodiments of the present invention have been described above, but the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. Needless to say, it is included in the range.
100 半導体装置
102 メモリチップ
104 絶縁基材
106 配線基板
108 絶縁膜
110 接続パッド
112 ランド
114 はんだボール
116 電極パッド
118 ボンディングワイヤ
120 封止樹脂
122 接着部材
124 回路層
126 再配線層
128 内部電極
130 配線
132 スペース
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記第1方向に延在する第5辺及び第6辺と、前記第2方向に延在する第7辺及び第8辺と、前記第5辺と前記第7辺それぞれに沿って配列された複数の第2の電極パッドとを有する第2の半導体チップと、
前記第1及び第2の電極パッドとボンディングワイヤを介して接続される複数の接続パッドを有するパッケージ基板と、を備え、
前記第1および第2の半導体チップは、前記第2辺および前記第6辺が対向するように前記パッケージ基板上に搭載されることを特徴とする半導体装置。 A first side and a second side extending in a first direction; a third side and a fourth side extending in a second direction intersecting the first direction; and the first side and the third side, respectively. A first semiconductor chip having a plurality of first electrode pads arranged along;
The fifth side and the sixth side extending in the first direction, the seventh side and the eighth side extending in the second direction, and the fifth side and the seventh side, respectively. A second semiconductor chip having a plurality of second electrode pads;
A package substrate having a plurality of connection pads connected to the first and second electrode pads via bonding wires;
The semiconductor device, wherein the first and second semiconductor chips are mounted on the package substrate so that the second side and the sixth side face each other.
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