JP2015017950A - 位置検出装置および駆動システム - Google Patents

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Abstract

【課題】位置検出の誤差を抑制することが可能な位置検出装置を提供する。
【解決手段】位置検出装置は、第1の増幅信号、第2の増幅信号、第1の反転信号、および第2の反転信号が入力され、第1の増幅信号、第2の増幅信号、第1の反転信号、または第2の反転信号うち、選択信号に応じて選択した信号の値を連続的に読み取り、この読み取られた値に応じたデジタル信号を出力するADコンバータを備える。位置検出装置は、ADコンバータから出力されるデジタル信号の値と、予め設定された基準振幅に基づいた基準値とを、タイミングで比較し、この比較結果に応じた制御信号を出力する比較部を備える。位置検出装置は、ADコンバータから出力されるデジタル信号の値が基準値に近づくように、第1のアンプおよび第2のアンプの増幅率を制御する振幅制御部を備える。
【選択図】図1

Description

本発明の実施形態は、位置検出装置に関する。
リニアモータ等の位置検出方法として、磁気スケールとMRセンサ(磁気抵抗センサ)などを2相で用いた構成が使用されている。このような位置検出方法の場合、磁気スケールの分解能を向上させるために、MRセンサのアナログ信号レベルと、MRの信号波数をカウントする手段の2つを使用している検出器が用いられている。しかし、この構成においては、アナログ信号の振幅レベルのずれと、直流オフセットとが位置検出精度の悪化の原因となっている。
それらの問題を改善するため、振幅、オフセットの温度変化の補正を行なっているものの、初期学習や係数による補正などのオープンループ制御しか行っておらず、信号の振幅が正確であるか保証されていない。
特開2004−226124号公報 特開2004−37121号公報 特開2000−356733号公報 特許第4453758号公報
位置検出の誤差を抑制することが可能な位置検出装置を提供する。
実施例に従った位置検出装置は、スケールに対する相対的な移動に応じて、2相の同じ振幅および周期で変化する位置検出信号を出力するセンサを備える。位置検出装置は、前記位置検出信号のうち第1相の第1の位置検出信号の振幅を増幅した第1の増幅信号と、前記第1の増幅信号を反転した第1の反転信号とを出力する第1のアンプを備える。位置検出装置は、前記位置検出信号のうち第2相の第2の位置検出信号の振幅を増幅した第2の増幅信号と、前記第2の増幅信号を反転した第2の反転信号とを出力する第2のアンプを備える。位置検出装置は、前記第1の増幅信号と前記第2の増幅信号とを比較し、この比較結果に応じた第1の比較信号を出力する第1のコンパレータを備える。位置検出装置は、前記第1の増幅信号と前記第2の反転信号とを比較し、この比較結果に応じた第2の比較信号を出力する第2のコンパレータを備える。位置検出装置は、前記位置検出信号における基準位置からの位相角を計測し、さらに、前記第1の増幅信号、前記第2の増幅信号、前記第1の反転信号、または前記第2の反転信号の何れか1つの選択を規定する選択信号を出力するとともに、前記第1の増幅信号、前記第2の増幅信号、前記第1の反転信号、または前記第2の反転信号の2つが交差した各タイミングを規定するタイミング信号を出力する位相角計測部を備える。位置検出装置は、前記第1の増幅信号、前記第2の増幅信号、前記第1の反転信号、および前記第2の反転信号が入力され、前記第1の増幅信号、前記第2の増幅信号、前記第1の反転信号、または前記第2の反転信号うち、前記選択信号に応じて選択した信号の値を連続的に読み取り、この読み取られた値に応じたデジタル信号を出力するADコンバータを備える。位置検出装置は、前記ADコンバータから出力されるデジタル信号の値と、予め設定された基準振幅に基づいた基準値とを、前記タイミングで比較し、この比較結果に応じた制御信号を出力する比較部を備える。位置検出装置は、前記ADコンバータから出力されるデジタル信号の値が前記基準値に近づくように、前記第1のアンプおよび前記第2のアンプの増幅率を制御する振幅制御部を備える。
図1は、実施例1に係る位置検出装置100が適用される駆動システム1000の構成の一例を示す図である。 図2は、図1に示す位置検出装置100の各信号の一例を示す波形図である。 図3は、図1に示す第1、第2のアンプAMP1、AMP2が出力する信号の振幅(電圧)と位相との関係を示す波形図である。
以下、実施例について図面に基づいて説明する。
図1は、実施例1に係る位置検出装置100が適用される駆動システム1000の構成の一例を示す図である。
図1に示すように、駆動システム1000は、移動体LEと、駆動モータMと、位置計測装置PDと、位置制御装置PCと、ドライバDと、位置検出装置100と、を備える。
移動体LEは、本実施例では、例えば、レンズである。
駆動モータMは、駆動することにより、移動体LEを移動させる。この駆動モータMは、例えば、リニアモータである。
ドライバDは、駆動モータMを駆動させる。
位置検出装置100は、移動体LEの位置に応じた信号(後述の位相角計測結果とデジタル値)を出力する。
位置計測装置PDは、位置検出装置100が出力する信号に基づいて、移動体LEの位置(後述の位置検出信号における基準位置からの位置)を取得する。
位置制御装置PCは、位置計測装置PDにより取得された位置に基づいて、ドライバDを制御する。
ここで、位置検出装置100は、例えば、図1に示すように、磁気スケール(スケール)SKと、MRセンサ(センサ)SEと、第1のアンプAMP1と、第2のアンプAMP2と、第1のコンパレータCMP1と、第2のコンパレータCMP2と、位相角計測部Tと、ADコンバータADCと、比較部IWと、振幅制御部AMCと、オフセット制御部OFCと、を備える。
磁気スケールSKは、所定パターンに着磁されている。
MRセンサSEは、磁気スケールSKに対する相対的な移動に応じて、2相(A相、B相)の同じ振幅および周期で正弦波状に変化する位置検出信号SAP、SBPを出力する。
なお、本実施例では、位置検出信号SAP、SBPのうち第1相(A相)の正弦波状に変化する第1の位置検出信号SAPと、第2相(B相)の正弦波状に変化する第2の位置検出信号SBPとの間の位相差は、例えば、90度である。
第1のアンプAMP1は、第1相(A相)の正弦波状に変化する第1の位置検出信号SAPの振幅を増幅した第1の増幅信号SAと、第1の増幅信号SAを反転した第1の反転信号/SAとを出力する。
第2のアンプAMP2は、第2相(B相)の正弦波状に変化する第2の位置検出信号SBPの振幅を増幅した第2の増幅信号SBと、第2の増幅信号SBを反転した第2の反転信号/SBとを出力する。
第1のコンパレータCMP1は、図1に示すように、非反転入力端子に第1の増幅信号SAが入力され、反転入力端子に第2の増幅信号SBが入力され、出力から第1の比較信号S1を出力する。この第1のコンパレータCMP1は、第1の増幅信号SAと第2の増幅信号SBとを比較し、この比較結果に応じた第1の比較信号S1を出力する。
例えば、第1のコンパレータCMP1は、第1の増幅信号SAの電圧が第2の増幅信号SBの電圧以上である場合には、第1の比較信号S1を“High”レベルにする。
一方、第1のコンパレータCMP1は、第1の増幅信号SAの電圧が第2の増幅信号SBの電圧未満である場合には、第1の比較信号S1を“Low”レベルにする。
また、第2のコンパレータCMP2は、図1に示すように、非反転入力端子に第2の反転信号/SBが入力され、反転入力端子に第1の増幅信号SAが入力され、出力から第2の比較信号S2を出力する。この第2のコンパレータCMP2は、第1の増幅信号SAと第2の反転信号/SBとを比較し、この比較結果に応じた第2の比較信号S2を出力する。
例えば、第2のコンパレータCMP2は、第2の反転信号/SBの電圧が第1の増幅信号SAの電圧以上である場合には、第2の比較信号S2を“High”レベルにする。
一方、第2のコンパレータCMP2は、第2の反転信号/SBの電圧が第1の増幅信号SAの電圧未満である場合には、第2の比較信号S2を“Low”レベルにする。
位相角計測部Tは、位置検出信号SAP、SBPにおける基準位置からの位相角を計測する。そして、位相角計測部Tは、位置検出信号SAP、SBPにおける予め設定された基準位置から計測した位相角である既述の位相角計測結果を出力する。
さらに、位相角計測部Tは、第1の増幅信号SA、第2の増幅信号SB、第1の反転信号/SA、または第2の反転信号/SBの何れか1つの選択を規定する選択信号SSを出力する。
すなわち、例えば、位相角計測部Tは、第1の増幅信号SAの電圧が第2の増幅信号SBの電圧以上且つ第2の反転信号/SBの電圧が第1の増幅信号SAの電圧未満である場合には、第2の反転信号/SBを選択することを規定する選択信号SSを出力する。
また、位相角計測部Tは、第1の増幅信号SAの電圧が第2の増幅信号SBの電圧以上且つ第2の反転信号/SBの電圧が第1の増幅信号SAの電圧以上である場合には、第1の反転信号/SAを選択することを規定する選択信号SSを出力する。
また、位相角計測部Tは、第1の増幅信号SAの電圧が第2の増幅信号SBの電圧未満且つ第2の反転信号/SBの電圧が第1の増幅信号SAの電圧以上である場合には、第2の増幅信号SBを選択することを規定する選択信号SSを出力する。
また、位相角計測部Tは、第1の増幅信号SAの電圧が第2の増幅信号SBの電圧未満且つ第2の反転信号/SBの電圧が第1の増幅信号SAの電圧未満である場合には、第1の増幅信号SAを選択することを規定する選択信号SSを出力する。
さらに、位相角計測部Tは、第1の増幅信号SA、第2の増幅信号SB、第1の反転信号/SA、または第2の反転信号/SBの2つが交差した各タイミングを規定するタイミング信号STを出力する。
すなわち、例えば、タイミング信号STは、第1の増幅信号SAの電圧が第2の増幅信号SBの電圧以上になる第1のタイミング、第2の反転信号/SBの電圧が第1の増幅信号SAの電圧以上になる第2のタイミング、第1の増幅信号SAの電圧が第2の増幅信号SBの電圧未満になる第3のタイミング、または、第2の反転信号/SBの電圧が第1の増幅信号SAの電圧未満になる第4のタイミングを規定する。
ADコンバータADCは、第1の増幅信号SA、第2の増幅信号SB、第1の反転信号/SA、および第2の反転信号/SBが入力される。
そして、ADコンバータADCは、第1の増幅信号SA、第2の増幅信号SB、第1の反転信号/SA、または第2の反転信号/SBうち、選択信号SSに応じて選択した信号の値を連続的に読み取り、この読み取られた値に応じたデジタル信号SDを出力する。
比較部IWは、ADコンバータADCから出力されるデジタル信号SDの値と、予め設定された基準振幅に基づいた基準値とを、タイミング信号STで規定されたタイミングで比較し、この比較結果に応じた制御信号を出力する。
例えば、比較部IWは、ADコンバータADCから出力されるデジタル信号SDの値と、基準値とを、タイミング信号STにより規定された第1ないし第4のタイミングで比較する。
振幅制御部AMCは、比較部IWが出力する制御信号に応じて、ADコンバータADCから出力されるデジタル信号SDの値が既述の基準値に近づくように、第1のアンプAMP1および前記第2のアンプAMP2の増幅率を制御する。
すなわち、例えば、振幅制御部AMCは、デジタル信号SDの値が基準値以上の場合には、第1のアンプAMP1および第2のアンプAMP2の増幅率を減少させる。
一方、振幅制御部AMCは、デジタル信号SDの値が基準値未満の場合には、第1のアンプAMP1および第2のアンプAMP2の増幅率を増加させる。
上記動作により、第1の増幅信号SA、第2の増幅信号SB、第1の反転信号/SA、および第2の反転信号/SBの振幅が、所定レベルに制御される。
なお、振幅制御部AMCは、第1のアンプAMP1の増幅率と第2のアンプAMP2の増幅率とを等しくなるように制御する。これにより、第1の増幅信号SA、第2の増幅信号SB、第1の反転信号/SA、および第2の反転信号/SBの振幅が等しくなるように制御される。
また、オフセット制御部OFCは、振幅制御部AMCによる第1のアンプAMP1および第2のアンプAMP2の増幅率の制御の前に、第1のアンプAMP1および第2のアンプAMP2のオフセット電圧を制御する。
これにより、第1のアンプAMP1および第2のアンプAMP2のオフセット電圧が所定レベルに設定された状態で、第1のアンプAMP1および第2のアンプAMP2の増幅率を制御することができる。
次に、以上のような構成を有する位置検出装置100の動作の一例について説明する。ここで、図2は、図1に示す位置検出装置100の各信号の一例を示す波形図である。また、図3は、図1に示す第1、第2のアンプAMP1、AMP2が出力する信号の振幅(電圧)と位相との関係を示す波形図である。
図2に示すように、第1のコンパレータCMP1は、第1の増幅信号(A相波形)SAの電圧が第2の増幅信号(B相波形)SBの電圧以上になると、第1の比較信号S1を“High”レベルにする(時刻t1)。
そして、第2のコンパレータCMP2は、第2の反転信号(B相反転波形)/SBの電圧が第1の増幅信号SAの電圧以上になると、第2の比較信号S2を“High”レベルにする(時刻t2)。
そして、第1のコンパレータCMP1は、第1の増幅信号SAの電圧が第2の増幅信号SBの電圧未満になると、第1の比較信号S1を“Low”レベルにする(時刻t3)。
そして、第2のコンパレータCMP2は、第2の反転信号/SBの電圧が第1の増幅信号SAの電圧未満になると、第2の比較信号S2を“Low”レベルにする(時刻t4)。
そして、第1のコンパレータCMP1は、第1の増幅信号SAの電圧が第2の増幅信号SBの電圧以上になると、第1の比較信号S1を“High”レベルにする(時刻t5)。
ここで、既述のように、位相角計測部Tは、第1の増幅信号SA、第2の増幅信号SB、第1の反転信号/SA、または第2の反転信号/SBの何れか1つの選択を規定する選択信号SSを出力する。
位相角計測部Tは、第1の増幅信号SAの電圧が第2の増幅信号SBの電圧以上且つ第2の反転信号/SBの電圧が第1の増幅信号SAの電圧未満である時刻t1〜t2において、第2の反転信号/SBを選択することを規定する選択信号SSを出力する。
また、位相角計測部Tは、第1の増幅信号SAの電圧が第2の増幅信号SBの電圧以上且つ第2の反転信号/SBの電圧が第1の増幅信号SAの電圧以上である時刻t2〜t3において、第1の反転信号/SAを選択することを規定する選択信号SSを出力する。
また、位相角計測部Tは、第1の増幅信号SAの電圧が第2の増幅信号SBの電圧未満且つ第2の反転信号/SBの電圧が第1の増幅信号SAの電圧以上である時刻t3〜t4において、第2の増幅信号SBを選択することを規定する選択信号SSを出力する。
また、位相角計測部Tは、第1の増幅信号SAの電圧が第2の増幅信号SBの電圧未満且つ第2の反転信号/SBの電圧が第1の増幅信号SAの電圧未満である時刻t4〜t5において、第1の増幅信号SAを選択することを規定する選択信号SSを出力する。
さらに、位相角計測部Tは、第1の増幅信号SA、第2の増幅信号SB、第1の反転信号/SA、または第2の反転信号/SBの2つが交差した各タイミングを規定するタイミング信号STを出力する。
このタイミング信号STは、第1の増幅信号SAの電圧が第2の増幅信号SBの電圧以上になる第1のタイミング(時刻t1、t5)、第2の反転信号/SBの電圧が第1の増幅信号SAの電圧以上になる第2のタイミング(時刻t2)、第1の増幅信号SAの電圧が第2の増幅信号SBの電圧未満になる第3のタイミング(時刻t3)、または、第2の反転信号/SBの電圧が第1の増幅信号SAの電圧未満になる第4のタイミング(時刻t4)を規定する。
そして、ADコンバータADCは、第1の増幅信号SA、第2の増幅信号SB、第1の反転信号/SA、または第2の反転信号/SBうち、選択信号SSに応じて選択した信号の値を連続的に読み取り、この読み取られた値に応じたデジタル信号SDを出力する。
そして、比較部IWは、ADコンバータADCから出力されるデジタル信号SDの値と、基準値とを、タイミング信号STにより規定された第1ないし第4のタイミング(時刻t1、t2、t3、t4)で比較し、この比較結果に応じた制御信号を出力する。
そして、振幅制御部AMCは、比較部IWが出力する制御信号に応じて、ADコンバータADCから出力されるデジタル信号SDの値が既述の基準値に近づくように、第1のアンプAMP1および第2のアンプAMP2の増幅率を制御する。
これにより、第1の増幅信号SA、第2の増幅信号SB、第1の反転信号/SA、および第2の反転信号/SBの4つの振幅が所定レベルに制御される。
これにより、リアルタイムに振幅を監視し、温度変動などの外的要因に対して、リアルタイムにフィードバック応答をかけることができる。
ここで、例えば、タイミング信号STで規定されるタイミングにおけるADC変換結果を、時刻t1のタイミングのB相の反転波形レベルVB1、時刻t2のタイミングのB相の反転波形レベルVB2のようにすると、振幅値Xは下記のとおりとなる。なお、正弦波のオフセット調整後の温度変動などは、無視できるとし、かつ、A相、B相振幅の振幅調整後の相対振幅比が1であると仮定する。
振幅値X=(VB2-VB1) / (2*sin45°)
このようにして、時刻t1、t2のタイミングで、第2の反転信号/SB(B相の反転)の振幅を算出する。
さらに、同様にして、時刻t2、t3のタイミングで、第1の反転信号/SA(A相の反転)の振幅を算出する。さらに、時刻t3、t4のタイミングで、第2の増幅信号SB(B相の正相)の振幅を算出する。さらに、時刻t4、t5のタイミングで、第1の増幅信号SA(A相の正相)の振幅を算出する。
ここで、A相の第1の増幅信号SAの波形YAは、以下の式(1)のように表される。
YA=KA*sin(θ) (1)
また、B相の第2の増幅信号SBの波形YBは、以下の式(2)のように表される。
YB=KB*cos(θ) (2)
また、A相の第1の反転信号/SAの反転の波形Y/Aは、以下の式(3)のように表される。
Y/A=−(KA*sin(θ)) (3)
また、B相の第2の反転信号/SBの反転の波形Y/Bは、以下の式(4)のように表される。
Y/B=−(KB*cos(θ)) (4)
上記式(1)から(4)で表される関係の2相信号において、振幅KA、KBのずれが生じた場合において、図2の時刻t1〜t5において下記の式(5)〜(8)に表される関係が成り立つ。なお、オフセット電圧は、調整後において、温度ドリフトが十分小さいことを前提とする。ここで、振幅KAと振幅KBの相対振幅は、物性の温度係数そのものなので、同じ比率で 変動するものとして、KA=KB=Kとする。
例えば、時刻t1において、A相とB相のクロスポイントは、上記式(1)、(2)より、下記の式(5)、(6)の関係となる。
K*sin(θ) = K*cos(θ) (5)
Tan(θ) = 1 (6)
また、時刻t3において、A相とB相のクロスポイントは、上記式(1)、(4)より、下記の式(7)、(8)の関係となる。
K*sin(θ) = −K*cos(θ) (7)
Tan(θ) = −1 (8)
よって、この場合、位相θは、−45度、45度、135度、225度となる(図3)。よって、振幅KA、KBは、下記の式(9)のように表される。なお、式(9)において、SX=SA2−SA1、SB2−SB1、/SA2−/SA1、または、/SB2−/SB1である。
すなわち、KA=KB=K=SX/(2*sin 45°) (9)
このように、クロスポイントでのタイミングでデジタル信号SDの値を取り込むことにより、各位置(位相)の第1、第2の増幅信号SA、SBの電圧(振幅)を、温度検出などせずに、動的に検出し、補正することができる。
以上のように、本実施例1に係る位置検出装置によれば、位置検出の誤差を抑制することができる。ひいては、位置検出の精度を維持若しくは高めつつ、位置検出の分解能の向上を図ることが可能である。
特に、振幅の動的な変化をクローズドループで補正することにより、位置検出の分解能の向上と温度センサなどの部品削減が見込まれる。
なお、実施形態は例示であり、発明の範囲はそれらに限定されない。
100 位置検出装置
SK 磁気スケール
SE MRセンサ
AMP1 第1のアンプ
AMP2 第2のアンプ
CMP1 第1のコンパレータ
CMP2 第2のコンパレータ
T 位相角計測部
ADC ADコンバータ
IW 比較部
AMC 振幅制御部
OFC オフセット制御部

Claims (9)

  1. スケールに対する相対的な移動に応じて、2相の同じ振幅および周期で変化する位置検出信号を出力するセンサと、
    前記位置検出信号のうち第1相の第1の位置検出信号の振幅を増幅した第1の増幅信号と、前記第1の増幅信号を反転した第1の反転信号とを出力する第1のアンプと、
    前記位置検出信号のうち第2相の第2の位置検出信号の振幅を増幅した第2の増幅信号と、前記第2の増幅信号を反転した第2の反転信号とを出力する第2のアンプと、
    前記第1の増幅信号と前記第2の増幅信号とを比較し、この比較結果に応じた第1の比較信号を出力する第1のコンパレータと、
    前記第1の増幅信号と前記第2の反転信号とを比較し、この比較結果に応じた第2の比較信号を出力する第2のコンパレータと、
    前記位置検出信号における基準位置からの位相角を計測し、さらに、前記第1の増幅信号、前記第2の増幅信号、前記第1の反転信号、または前記第2の反転信号の何れか1つの選択を規定する選択信号を出力するとともに、前記第1の増幅信号、前記第2の増幅信号、前記第1の反転信号、または前記第2の反転信号の2つが交差した各タイミングを規定するタイミング信号を出力する位相角計測部と、
    前記第1の増幅信号、前記第2の増幅信号、前記第1の反転信号、および前記第2の反転信号が入力され、前記第1の増幅信号、前記第2の増幅信号、前記第1の反転信号、または前記第2の反転信号うち、前記選択信号に応じて選択した信号の値を連続的に読み取り、この読み取られた値に応じたデジタル信号を出力するADコンバータと、
    前記ADコンバータから出力されるデジタル信号の値と、予め設定された基準振幅に基づいた基準値とを、前記タイミングで比較し、この比較結果に応じた制御信号を出力する比較部と、
    前記比較部が出力する前記制御信号に応じて、前記ADコンバータから出力されるデジタル信号の値が前記基準値に近づくように、前記第1のアンプおよび前記第2のアンプの増幅率を制御する振幅制御部と、を備える
    ことを特徴とする位置検出装置。
  2. 前記第1の位置検出信号と前記第2の位置検出信号との間の位相差は、90度であることを特徴とする請求項1に記載の位置検出装置。
  3. 前記振幅制御部は、
    前記デジタル信号の値が前記基準値以上の場合には、前記第1のアンプおよび前記第2のアンプの増幅率を減少させ、
    前記デジタル信号の値が前記基準値未満の場合には、前記第1のアンプおよび前記第2のアンプの増幅率を増加させる
    ことを特徴とする請求項1に記載の位置検出装置。
  4. 前記タイミング信号は、前記第1の増幅信号の電圧が前記第2の増幅信号の電圧以上になる第1のタイミング、前記第2の反転信号の電圧が前記第1の増幅信号の電圧以上になる第2のタイミング、前記第1の増幅信号の電圧が前記第2の増幅信号の電圧未満になる第3のタイミング、または、前記第2の反転信号の電圧が前記第1の増幅信号の電圧未満になる第4のタイミングを規定し、
    前記比較部は、前記ADコンバータから出力される前記デジタル信号の値と、前記基準値とを、前記タイミング信号により規定された前記第1ないし第4のタイミングで比較する
    ことを特徴とする請求項1に記載の位置検出装置。
  5. 前記位相角計測部は、
    前記第1の増幅信号の電圧が前記第2の増幅信号の電圧以上且つ前記第2の反転信号の電圧が前記第1の増幅信号の電圧未満である場合には、前記第2の反転信号を選択することを規定する前記選択信号を出力し、
    前記第1の増幅信号の電圧が前記第2の増幅信号の電圧以上且つ前記第2の反転信号の電圧が前記第1の増幅信号の電圧以上である場合には、前記第1の反転信号を選択することを規定する前記選択信号を出力し、
    前記第1の増幅信号の電圧が前記第2の増幅信号の電圧未満且つ前記第2の反転信号の電圧が前記第1の増幅信号の電圧以上である場合には、前記第2の増幅信号を選択することを規定する前記選択信号を出力し、
    前記第1の増幅信号の電圧が前記第2の増幅信号の電圧未満且つ前記第2の反転信号の電圧が前記第1の増幅信号の電圧未満である場合には、前記第1の増幅信号を選択することを規定する前記選択信号を出力する
    ことを特徴とする請求項1に記載の位置検出装置。
  6. 前記第1のコンパレータは、
    非反転入力端子に前記第1の増幅信号が入力され、反転入力端子に前記第2の増幅信号が入力され、出力から前記第1の比較信号を出力し、
    前記第2のコンパレータは、
    非反転入力端子に前記第2の反転信号が入力され、反転入力端子に前記第1の増幅信号が入力され、出力から前記第2の比較信号を出力する
    ことを特徴とする請求項1に記載の位置検出装置。
  7. 前記振幅制御部による前記第1のアンプおよび前記第2のアンプの増幅率の制御の前に、 前記第1のアンプおよび前記第2のアンプのオフセット電圧を制御するオフセット制御部をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の位置検出装置。
  8. 前記振幅制御部は、前記第1のアンプの増幅率と前記第2のアンプの増幅率とを等しくなるように制御する
    ことを特徴とする請求項1に記載の位置検出装置。
  9. 移動体と、
    前記移動体を移動させる駆動モータと、
    前記駆動モータを駆動させるドライバと、
    前記移動体の位置に応じた信号を出力する位置検出装置と、
    前記位置検出装置が出力する信号に基づいて、前記移動体の位置を取得する位置計測装置と、
    前記位置計測装置により取得された位置に基づいて、前記ドライバを制御する位置制御装置と、を備え、
    前記位置検出装置は、
    スケールと、
    前記スケールに対する相対的な移動に応じて、2相の同じ振幅および周期で変化する位置検出信号を出力するセンサと、
    前記位置検出信号のうち第1相の第1の位置検出信号の振幅を増幅した第1の増幅信号と、前記第1の増幅信号を反転した第1の反転信号とを出力する第1のアンプと、
    前記位置検出信号のうち第2相の第2の位置検出信号の振幅を増幅した第2の増幅信号と、前記第2の増幅信号を反転した第2の反転信号とを出力する第2のアンプと、
    前記第1の増幅信号と前記第2の増幅信号とを比較し、この比較結果に応じた第1の比較信号を出力する第1のコンパレータと、
    前記第1の増幅信号と前記第2の反転信号とを比較し、この比較結果に応じた第2の比較信号を出力する第2のコンパレータと、
    前記位置検出信号における基準位置からの位相角を計測し、さらに、前記第1の増幅信号、前記第2の増幅信号、前記第1の反転信号、または前記第2の反転信号の何れか1つの選択を規定する選択信号を出力するとともに、前記第1の増幅信号、前記第2の増幅信号、前記第1の反転信号、または前記第2の反転信号の2つが交差した各タイミングを規定するタイミング信号を出力する位相角計測部と、
    前記第1の増幅信号、前記第2の増幅信号、前記第1の反転信号、および前記第2の反転信号が入力され、前記第1の増幅信号、前記第2の増幅信号、前記第1の反転信号、または前記第2の反転信号うち、前記選択信号に応じて選択した信号の値を連続的に読み取り、この読み取られた値に応じたデジタル信号を出力するADコンバータと、
    前記ADコンバータから出力されるデジタル信号の値と、予め設定された基準振幅に基づいた基準値とを、前記タイミングで比較し、この比較結果に応じた制御信号を出力する比較部と、
    前記比較部が出力する前記制御信号に応じて、前記ADコンバータから出力されるデジタル信号の値が前記基準値に近づくように、前記第1のアンプおよび前記第2のアンプの増幅率を制御する振幅制御部と、を備える
    ことを特徴とする駆動システム。
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