JP2012208494A - 着色感放射線性組成物、着色硬化膜、カラーフィルタ及びカラーフィルタの製造方法、固体撮像素子、液晶表示装置、並びに、染料の製造方法 - Google Patents
着色感放射線性組成物、着色硬化膜、カラーフィルタ及びカラーフィルタの製造方法、固体撮像素子、液晶表示装置、並びに、染料の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】(A)ハロゲンイオン含有量が10ppm〜1000ppmである染料、(B)重合性化合物及び(C)溶剤を含有する着色感放射線性組成物。
【選択図】なし
Description
前記の課題を解決するための具体的手段は以下の通りである。
<2> 前記(A)染料が、色素多量体である<1>に記載の着色感放射線性組成物。
<3> 前記(A)染料が、エチレン性不飽和結合を有する繰り返し単位を含む色素多量体である<1>又は<2>に記載の着色感放射線性組成物。
<4> 前記(A)染料が、ジピロメテン色素、アゾ色素、アントラキノン色素、トリフェニルメタン色素、キサンテン色素、シアニン色素、スクアリリウム色素、キノフタロン色素、フタロシアニン色素及びサブフタロシアニン色素からなる群より選択される少なくとも1種である<1>〜<3>のいずれか1つに記載の着色感放射線性組成物。
<5> 前記ハロゲンイオンが臭化物イオンである<1>〜<4>のいずれか1つに記載の着色感放射線性組成物。
<6> さらに(D)重合開始剤を含有する<1>〜<5>のいずれか1つに記載の着色感放射線性組成物。
<7> さらに顔料を含有する<1>〜<6>のいずれか1つに記載の着色感放射線性組成物。
<8> さらにアルカリ可溶性樹脂を含有する<1>〜<7>のいずれか1つに記載の着色感放射線性組成物。
<9> 前記(A)染料が、良溶媒に染料を溶解する溶解工程と、染料が溶解した溶液を貧溶媒へ滴下して染料を再沈殿させる再沈殿工程と、を経て得られる染料である<1>〜<8>のいずれか1つに記載の着色感放射線性組成物。
<10> 前記(A)染料が、加熱した溶媒に染料を溶解する溶解工程と、染料が溶解した溶液を冷却して染料を再沈殿させる再沈殿工程と、を経て得られる染料である<1>〜<9>のいずれか1つに記載の着色感放射線性組成物。
<11> <1>〜<10>のいずれか1つに記載の着色感放射線性組成物を硬化して得られた着色硬化膜。
<12> <11>記載の着色硬化膜を備えたカラーフィルタ。
<13> <12>に記載のカラーフィルタを具備する固体撮像素子。
<14> <12>に記載のカラーフィルタを具備する液晶表示装置。
<15> 良溶媒に染料を溶解する溶解工程と、染料が溶解した溶液を貧溶媒へ滴下して染料を再沈殿させる再沈殿工程と、を含む(A)ハロゲンイオン含有量が10ppm〜1000ppmである染料の製造方法。
<16> 加熱した溶媒に染料を溶解する溶解工程と、染料が溶解した溶液を冷却して染料を再沈殿させる再沈殿工程と、を含む(A)ハロゲンイオン含有量が10ppm〜1000ppmである染料の製造方法。
<17> 支持体上に、<1>〜<10>のいずれか1つに記載の着色感放射線性組成物を塗布して着色感放射線性組成物層を形成する工程(A)と、
該工程(A)にて形成された着色感放射線性組成物層を、マスクを介して露光した後、現像してパターン状の着色硬化膜を形成する工程(B)と、
を有するカラーフィルタの製造方法。
なお、本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
本明細書においては「アルキル基」は「直鎖、分岐、および環状」のアルキル基を示す。また、本明細書における基(原子団)の表記において、置換及び無置換を記していない表記は置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。
また、本明細書において、“(メタ)アクリレート”はアクリレートおよびメタクリレートの双方、又は、いずれかを表し、“(メタ)アクリル”はアクリルおよびメタクリルの双方、又は、いずれかを表し、“(メタ)アクリロイル”はアクリロイルおよびメタクリロイルの双方、又は、いずれかを表す。
また、本明細書において、“単量体”と“モノマー”とは同義である。本明細書における単量体は、オリゴマーおよびポリマーと区別され、重量平均分子量が2,000以下の化合物をいう。本明細書において、重合性化合物とは、重合性官能基を有する化合物のことをいい、単量体であっても、オリゴマーであっても、ポリマーであってもよい。重合性官能基とは、重合反応に関与する基を言う。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
本発明において「放射線」とは、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を含むものを意味する。
すなわち、本発明は、着色感放射線性組成物に含有されるハロゲンイオンが、露光・加熱等により着色パターンを形成する際に、臭化水素ガスや塩化水素ガスに変化することにより生じると推定される装置汚染を、ハロゲンイオンの含有量を一定の割合にすることにより抑制すると考えられる。また、本発明は、着色感放射線性組成物に含有されるハロゲンイオンが、一定の割合以上となることにより、ハロゲンイオンと染料との配位子交換が生じ、親水性と疎水性のバランスが崩れ、疎水性に傾き現像性が低下することにより増加すると推測される残渣を、ハロゲンイオンの含有量を一定の割合にすることにより低減すると考えられる。
本発明の着色感放射線性組成物は、(A)ハロゲンイオン含有量が10ppm〜1000ppmである染料、(B)重合性化合物及び(C)溶剤を含み、更に必要に応じて他の成分を含んでいてもよい。
以下に、本発明の着色感放射線性組成物を構成する各成分について説明する。
本発明の着色感放射線性組成物に用いる(A)染料は、色素化合物に由来する部分構造を含む単量体又は色素化合物に由来する部分構造を含む多量体を指す。
本発明の着色感放射線組成物に含有される(A)染料のうち、前記色素多量体とは、色素化合物に由来する部分構造(以下、「色素構造」と称することがある。)を分子内に2以上有するものを指す。すなわち、色素多量体とは、二量体、三量体及びポリマーなどの構造を包含する。
また、本発明の着色感放射線性組成物に用いる(A)染料は、良溶媒に染料を溶解する溶解工程と、染料が溶解した溶液を貧溶媒へ滴下して染料を再沈殿させる再沈殿工程と、を経て得られるハロゲンイオン含有量が10ppm〜1000ppmである染料であることが好ましい。
また、加熱した溶媒に染料を溶解する溶解工程と、染料が溶解した溶液を冷却して染料を再沈殿させる再沈殿工程と、を経て得られるハロゲンイオン含有量が10ppm〜1000ppmである染料であることも好ましい。
本発明の着色感放射線性組成物に用いる(A)染料は、公知の色素化合物を含む種々のものを使用することができる。公知の色素化合物としては、例えばアゾ化合物、アゾメチン化合物(インドアニリン化合物、インドフェノール化合物など)、ジピロメテン化合物、キノン系化合物(ベンゾキノン化合物、ナフトキノン化合物、アントラキノン化合物、アントラピリドン化合物など)、カルボニウム化合物(ジフェニルメタン化合物、トリフェニルメタン化合物、キサンテン化合物、アクリジン化合物など)、キノンイミン化合物(オキサジン化合物、チアジン化合物など)、アジン化合物、ポリメチン化合物(オキソノール化合物、メロシアニン化合物、アリーリデン化合物、スチリル化合物、シアニン化合物、シアニン化合物の中でもスクアリリウム化合物、クロコニウム化合物など)、キノフタロン化合物、フタロシアニン化合物、サブフタロシアニン化合物、ペリノン化合物、インジゴ化合物、チオインジゴ化合物、キノリン化合物、ニトロ化合物、ニトロソ化合物及びそれらの金属錯体色素に由来する色素化合物などを挙げることができる。これらの色素化合物の中でも、色特性の観点からアントラキノン化合物、ペリレン化合物、ジケトピロロピロール化合物、ビスアゾ化合物、イソインドリン化合物、キノフタロン化合物、ハロゲン化フタロシアニン化合物、アゾメチン化合物、ジオキサジン化合物、ジピロメテン化合物などが好ましく、さらにジピロメテン化合物がより好ましい。具体的な色素化合物については「新版染料便覧」(有機合成化学協会編;丸善、1970)、「カラーインデックス」(The Society of Dyers and colourists)、「色素ハンドブック」(大河原他編;講談社、1986)などに記載されている。
また前記色素多量体は、色素構造を有する繰り返し単位の他に、その他の繰り返し単位を含んでいてもよい。
その他の繰り返し単位としては、例えば、エチレン性不飽和結合を有する繰り返し単位、アルカリ可溶性基を有する繰り返し単位及び親水性基を有する繰り返し単位が挙げられる。装置汚染の低減及び残渣の発生抑制の観点より、エチレン不飽和結合を有する繰り返し単位を含むことが好ましい。
前記色素多量体に含まれる色素化合物に由来する部分構造は、前記色素化合物で例示したものに由来する部分構造が挙げられる。色特性の観点から、色素化合物としては、アゾ化合物(以下、「アゾ色素」ともいう。)、ジピロメテン化合物(以下、「ジピロメテン色素」ともいう。)、カルボニウム化合物(以下、「カルボニウム色素」ともいう。)、ポリメチン化合物(以下、「ポリメチン色素」ともいう。)、及びフタロシアニン化合物(以下「フタロシアニン色素」ともいう。)から選ばれる色素化合物が好ましく、ジピロメテン色素、アゾ色素、及びフタロシアニン色素から選ばれる色素化合物がより好ましく、ジピロメテン色素及びフタロシアニン色素から選ばれる色素化合物がさらに好ましく、ジピロメテン色素が特に好ましい。これらの色素化合物に由来する部分構造が、本発明の(A)染料に好ましく用いられる。
以下に、前記色素化合物のうち、本発明にかかる着色感放射線性組成物に好適に使用しうる色素化合物について詳細に記述する。
前記色素化合物としては、ジピロメテン化合物が挙げられ、ジピロメテン化合物と金属又は金属化合物とから得られるジピロメテン金属錯体化合物が好ましい。
上記したジピロメテン金属錯体化合物は、下記一般式(M)で表されるジピロメテン化合物と金属または金属化合物とから得られるジピロメテン金属錯体化合物及びその互変異性体が好ましく、なかでも、好ましい態様として下記一般式(7)で表されるジピロメテン金属錯体化合物又は一般式(8)で表されるジピロメテン金属錯体化合物が最も好ましい。
本発明の色素構造の好ましい態様の一つは、下記一般式(M)で表される化合物(ジピロメテン化合物)又はその互変異性体が、金属又は金属化合物に配位した錯体(以下、適宜「特定錯体」と称する。)を色素部位として含む色素構造である。
なお、本発明では、ジピロメテン構造を含む化合物をジピロメテン化合物と称し、ジピロメテン構造を含む化合物に金属又は金属化合物に配位した錯体をジピロメテン金属錯体化合物と称する。
一般式(M)中のR4とR5、R5とR6、R7とR8、及びR8とR9は、各々独立に、互いに結合して、置換基を有しない5員、6員、又は7員の飽和環、又は不飽和環を形成する場合、置換基を有しない5員、6員、又は7員の飽和環、又は不飽和環としては、例えば、ピロール環、フラン環、チオフェン環、ピラゾール環、イミダゾール環、トリアゾール環、オキサゾール環、チアゾール環、ピロリジン環、ピペリジン環、シクロペンテン環、シクロヘキセン環、ベンゼン環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環が挙げられ、好ましくは、ベンゼン環及びピリジン環が挙げられる。
R10がアルキル基、アリール基、又は、ヘテロ環基を表す場合の、アルキル基、アリール基、及びヘテロ環基が、さらに置換可能な基である場合には、前記置換基群Aの項で挙げた置換基で説明した置換基で置換されていてもよく、2個以上の置換基で置換されている場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
本発明における特定錯体は、既述の一般式(M)で表される化合物又はその互変異性体が金属又は金属化合物に配位した錯体である。
ここで、金属又は金属化合物としては、錯体を形成可能な金属又は金属化合物であればいずれであってもよく、2価の金属原子、2価の金属酸化物、2価の金属水酸化物、又は2価の金属塩化物が含まれる。金属又は金属化合物としては、例えば、Zn、Mg、Si、Sn、Rh、Pt、Pd、Mo、Mn、Pb、Cu、Ni、Co、Fe等の他に、AlCl、InCl、FeCl、TiCl2、SnCl2、SiCl2、GeCl2などの金属塩化物、TiO、VO等の金属酸化物、Si(OH)2等の金属水酸化物も含まれる。
これらの中でも、錯体の安定性、分光特性、耐熱、耐光性、及び製造適性等の観点から、Fe、Zn、Mg、Si、Pt、Pd、Mo、Mn、Cu、Ni、Co、TiO、又はVOが好ましく、Zn、Mg、Si、Pt、Pd、Cu、Ni、Co、又はVOが更に好ましく、Znが最も好ましい。
本発明における特定錯体の好ましい範囲は、一般式(M)において、R4及びR9が、各々独立に、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、シリル基、ヒドロキシル基、シアノ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、アミノ基、アニリノ基、ヘテロ環アミノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、又はホスフィノイルアミノ基で表され、R5及びR8が、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、ヒドロキシル基、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、又はスルファモイル基で表され、R6及びR7が、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、シリル基、ヒドロキシル基、シアノ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、アニリノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、又はホスフィノイルアミノ基であり、R10が、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、又はヘテロ環基であり、金属又は金属化合物が、Zn、Mg、Si、Pt、Pd、Mo、Mn、Cu、Ni、Co、TiO、又はV=Oである範囲である。
さらに、以下に詳述する一般式(7)又は一般式(8)で表されるような態様も特に好ましい様態である。
本発明の色素構造の態様の一つは、下記の一般式(7)で表されるジピロメテン金属錯体化合物である。
なお、上記一般式(7)で表されるジピロメテン金属錯体化合物は、互変異性体を含む。
例えば、Zn、Mg、Si、Sn、Rh、Pt、Pd、Mo、Mn、Pb、Cu、Ni、Co、Fe等、及びAlCl、InCl、FeCl、TiCl2、SnCl2、SiCl2、GeCl2などの金属塩化物、TiO、V=O等の金属酸化物、Si(OH)2等の金属水酸化物が含まれる。
本発明の着色感放射線性組成物に用いる色素構造の態様の一つは、下記の一般式(8)で表されるジピロメテン金属錯体化合物である。
なお、上記一般式(8)で表されるジピロメテン金属錯体化合物は、互変異性体を含む。
前記R13及びR14としては、置換又は無置換のアルキル基、置換又は無置換のアリール基、置換又は無置換のヘテロ環基が好ましく、更に好ましくは置換又は無置換のアルキル基、置換又は無置換のアリール基である。ここで、より好ましいアルキル基、アリール基、及びヘテロ環基の具体例は、一般式(M)の前記R6及びR7において列記した具体例を同様に挙げることができる。
ここで、立体パラメータ−Es’値は、置換基の立体的嵩高さを表すパラメータであり、文献(J.A.Macphee,et al,Tetrahedron,Vol.34,pp3553〜3562、藤田稔夫編 化学増刊107 構造活性相関とドラックデザイン、1986年2月20日発行(化学同人))に示されている−Es’値を用いる。
前記一般式(7)及び一般式(8)で表されるジピロメテン金属錯体化合物の融点は、溶解性の観点から、高すぎない方がよい。
前記色素化合物としては、アゾ色素(アゾ化合物)が挙げられる。本発明においてアゾ化合物とは、分子内にN=N基を含む色素部位を有する化合物を総称するものである。
アゾ色素としては、マゼンタ色素及びイエロー色素として知られるアゾ色素が適用でき、それらの中でも、特に、下記一般式(E)、一般式(F)、一般式(H)、一般式(I−1)、一般式(I−2)、及び一般式(V)で表されるアゾ色素が好ましい。
レッド用カラーレジストやインクジェットインクに用いられるマゼンタ色素として、下記一般式(E)で表されるアゾ色素が好適に用いられる。
上記一般式(E)中、R61〜R64は、各々独立に、水素原子、又はアルキル基(好ましくは炭素数1〜36、より好ましくは炭素数1〜12の直鎖、分岐鎖、又は環状のアルキル基で、例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、t−ブチル、ヘキシル、2−エチルヘキシル、ドデシル、シクロプロピル、シクロペンチル、シクロヘキシル、1−アダマンチル)、アルケニル基(好ましくは炭素数2〜24、より好ましくは炭素数2〜12のアルケニル基で、例えば、ビニル、アリル、3−ブテン−1−イル)、アリール基(好ましくは炭素数6〜36、より好ましくは炭素数6〜18のアリール基で、例えば、フェニル、ナフチル)、ヘテロ環基(好ましくは炭素数1〜24、より好ましくは炭素数1〜12のヘテロ環基で、例えば、2−チエニル、4−ピリジル、2−フリル、2−ピリミジニル、1−ピリジル、2−ベンゾチアゾリル、1−イミダゾリル、1−ピラゾリル、ベンゾトリアゾール−1−イル)、アシル基(好ましくは炭素数1〜24、より好ましくは炭素数2〜18のアシル基で、例えば、アセチル、ピバロイル、2−エチルヘキシル、ベンゾイル、シクロヘキサノイル)、アルコキシカルボニル基(好ましくは炭素数1〜10、より好ましくは炭素数1〜6のアルコキシカルボニル基で、例えば、メトキシカルボニル、エトキシカルボニル)、アリールオキシカルボニル基(好ましくは炭素数6〜15、より好ましくは炭素数6〜10のアリールオキシカルボニル基で、例えば、フェノキシカルボニル)、カルバモイル基(好ましくは炭素数1〜8、より好ましくは炭素数2〜6のカルバモイル基で、例えば、ジメチルカルバモイル)、アルキルスルホニル基(好ましくは炭素数1〜24、より好ましくは炭素数1〜18のアルキルスルホニル基で、例えば、メチルスルホニル、エチルスルホニル、イソプロピルスルホニル、シクロヘキシルスルホニル)、又はアリールスルホニル基(好ましくは炭素数6〜24、より好ましくは炭素数6〜18のアリールスルホニル基で、例えば、フェニルスルホニル、ナフチルスルホニル)を表す。
前記一般式(E)中、R61〜R64が、置換可能な基である場合には、例えば、前記一般式(8)のR12〜R15で説明した置換基で置換されていてもよく、2個以上の置換基を有する場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
前記一般式(E)中、A60は、好ましくは芳香族ヘテロ環基である。更に好ましくは、イミダゾール環、ピラゾール環、トリアゾール環、チアゾール環、オキサゾール環、1,2,4−チアジアゾール環、1,3,4−チアジアゾール環、ピリジン環、ピリミジン環、ピラジンン環、ベンゾピラゾール環、ベンゾチアゾール環等が挙げられる。
上記一般式(E’)中、Rbの置換基としては、例えば、前記一般式(8)のR12〜R15で説明した置換基が挙げられる。
上記一般式(F)中、R71〜R76は各々独立に、水素原子又は1価の置換基を表す。1価の置換基は、例えばハロゲン原子、炭素数1〜30のアルキル基(ここでは、シクロアルキル基、ビシクロアルキル基を含む飽和脂肪族基を意味する。)、炭素数2〜30のアルケニル基(ここでは、シクロアルケニル基、ビシクロアルケニル基を含む二重結合を有する不飽和脂肪族基を意味する。)、炭素数2〜30のアルキニル基、炭素数6〜30のアリール基、炭素数3〜30のヘテロ環基、シアノ基、炭素数1〜30の脂肪族オキシ基、炭素数6〜30のアリールオキシ基、炭素数2〜30のアシルオキシ基、炭素数1〜30のカルバモイルオキシ基、炭素数2〜30の脂肪族オキシカルボニルオキシ基、炭素数7〜30のアリールオキシカルボニルオキシ基、炭素数0〜30のアミノ基(アルキルアミノ基、アニリノ基及びヘテロ環アミノ基を含む。)、炭素数2〜30のアシルアミノ基、炭素数1〜30のアミノカルボニルアミノ基、炭素数2〜30の脂肪族オキシカルボニルアミノ基、炭素数7〜30のアリールオキシカルボニルアミノ基、炭素数0〜30のスルファモイルアミノ基、炭素数1〜30のアルキルもしくはアリールスルホニルアミノ基、炭素数1〜30のアルキルチオ基、炭素数6〜30のアリールチオ基、炭素数0〜30のスルファモイル基、炭素数1〜30のアルキルもしくはアリールスルフィニル基、炭素数1〜30のアルキルもしくはアリールスルホニル基、炭素数2〜30のアシル基、炭素数6〜30のアリールオキシカルボニル基、炭素数2〜30の脂肪族オキシカルボニル基、炭素数1〜30のカルバモイル基、炭素数3〜30のアリールもしくはヘテロ環アゾ基、イミド基が挙げられ、それぞれの基はさらに置換基を有していてもよい。
上記一般式(F)中、R73及びR74は、好ましくは、各々独立に、水素原子、置換もしくは無置換のアルキル基、置換もしくは無置換のアリール基であり、より好ましくは、置換もしくは無置換のアルキル基である。
上記一般式(F)中、R75及びR76は、好ましくは、各々独立に、水素原子、置換もしくは無置換のアルキル基、置換もしくは無置換のアリール基であり、より好ましくは、置換もしくは無置換のアルキル基である。
レッド用及びグリーン用カラーレジストやインクジェットインクに用いられるイエロー色素として、下記一般式(G)、下記一般式(H)及び下記一般式(I)で表されるアゾ色素が好適である(それらの互変異性体も含む)。
上記一般式(G)中、R30は、水素原子、又は1価の置換基を表す。置換基としては、例えば、前記一般式(8)のR12〜R15で説明した置換基が挙げられる。これらの中でも、置換もしくは無置換のアルキル基、置換もしくは無置換のアリール基、もしくはヘテロ環基が好ましく、置換もしくは無置換のアルキル基、置換もしくは無置換のアリール基がより好ましい。
上記一般式(H)中、R34は水素原子、又は1価の置換基を表し、前記一般式(G)におけるR30と同義であり、好ましい態様も同様である。
上記一般式(H)中、Z30及びZ31としては、好ましくは、Z30が−N=であって、Z31が−C(R36)=である。
上記一般式(I)中、R42は水素原子、アルキル基(好ましくは炭素数1〜36、より好ましくは炭素数1〜12の直鎖、分岐鎖、又は環状のアルキル基で、例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、t−ブチル、ヘキシル、2−エチルヘキシル、ドデシル、シクロプロピル、シクロペンチル、シクロヘキシル、1−アダマンチル)、アルケニル基(好ましくは炭素数2〜24、より好ましくは炭素数2〜12のアルケニル基で、例えば、ビニル、アリル、3−ブテン−1−イル)、アリール基(好ましくは炭素数6〜36、より好ましくは炭素数6〜18のアリール基で、例えば、フェニル、ナフチル)、又はヘテロ環基(好ましくは炭素数1〜24、より好ましくは炭素数1〜12のヘテロ環基で、例えば、2−チエニル、4−ピリジル、2−フリル、2−ピリミジニル、1−ピリジル、2−ベンゾチアゾリル、1−イミダゾリル、1−ピラゾリル、ベンゾトリアゾール−1−イル)を表す。
Rv2、Rv3及びRv4がさらに置換可能なき出る場合には、前記置換基群Aの項で挙げた置換基をさらに有していてもよく、2個以上の置換基を有している場合には、それらの置換基は同一であっても異なってもよい。
また、上記色素を多量体化する方法、重合性基を色素に導入する方法も公知の方法を適用することができる。具体的には実施例で例示する。
前記色素化合物としては、下記一般式(J)で表されるキサンテン色素(キサンテン化合物)が挙げられる。
上記一般式(J)中のR81とR82、R83とR84、および、mが2以上の場合のR85同士は、各々独立に、互いに結合して、置換基を有しない5員、6員、又は7員の飽和環、又は不飽和環を形成する場合、置換基を有しない5員、6員、又は7員の飽和環、又は不飽和環としては、例えば、ピロール環、フラン環、チオフェン環、ピラゾール環、イミダゾール環、トリアゾール環、オキサゾール環、チアゾール環、ピロリジン環、ピペリジン環、シクロペンテン環、シクロヘキセン環、ベンゼン環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環が挙げられ、好ましくは、ベンゼン環、ピリジン環が挙げられる。
Rg、Rh及びRiは、それぞれ独立に、水素原子、−SO3−、−SO3H又は−SO2NHRaを表す。
Raは、1〜10のアルキル基、好ましくは、2−エチルヘキシル基を表す。X及びaは、上記と同じ意味を表す。)
式(1b)で表される化合物は、式(1b−1)で表される化合物の互変異性体である。
なかでも、色特性及び耐熱性の観点より特に式(1e)及び式(1f)が好ましい。
前記一般式(J)で表されるキサンテン骨格を有する化合物の融点は、溶解性の観点から、高すぎない方がよい。
前記色素化合物としては、下記一般式(K)で表されるスクアリリウム色素(スクアリリウム化合物)が挙げられる。本発明においてスクアリリウム化合物とは、分子内にスクアリリウム骨格を含む色素部位を有する化合物を総称するものである。
R93及びR97は、それぞれ独立に、水素原子、直鎖もしくは分岐のアルキル基、シクロアルキル基、シクロアルケニル基、アルキニル基、アリール基又はヘテロ環基を表す。
R91とR92、及び、R95とR96は、それぞれ、互いに連結して環を形成してもよい。
特に、R101、R103、R104、R105、R107及びR108は、水素原子、アルキル基、ヒドロキシ基、アミノ基、アリール基又は、ヘテロ環基であることが好ましく、R101、R103、R105及びR107はアルキル基又はアリール基であり、且つ、R104及びR108はヒドロキシ基又はアミノ基であることがさらに好ましく、R101、R103、R105及びR107は炭素数1〜20のアルキル基であり、且つ、R104及びR108はヒドロキシ基であることがさらに好ましい。
前記一般式(K)及び上記一般式(K−1)から上記一般式(K−4)で表されるスクアリリウム化合物の融点は、溶解性の観点から、高すぎない方がよい。より具体的には、融点は50℃〜150℃であることが好ましい。
前記色素化合物としては、下記一般式(PH)で表されるフタロシアニン色素(フタロシアニン化合物)が挙げられる。本発明においてフタロシアニン化合物とは、分子内にフタロシアニン骨格を含む色素部位を有する化合物を総称するものである。
一般式(PH)中、M1で表される金属類としては、例えば、Zn、Mg、Si、Sn、Rh、Pt、Pd、Mo、Mn、Pb、Cu、Ni、Co、及びFe等の金属原子、AlCl、InCl、FeCl、TiCl2、SnCl2、SiCl2、GeCl2などの金属塩化物、TiO、VO等の金属酸化物、並びにSi(OH)2等の金属水酸化物が含まれるが、特にCu、Znが好ましい。
6員環には、ベンゼン環、シクロヘキサン環などが含まれる。
一般式(PH)で表されるフタロシアニン色素残基の中でも、特に下記一般式(PH−1)で表されるフタロシアニン色素に由来する残基が好ましい。
前記一般式(PH−1)中、R101〜R116は各々独立に、水素原子又は置換基を表し、R101〜R116で表される置換基が、更に置換可能な基である場合には、前記の置換基群Aの項で説明した基で置換されていてもよく、2個以上の置換基で置換されている場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
R101〜R116で表される置換基は、上記の中でも、水素原子、SO2NR117R118(R117及びR118は水素原子、直鎖又は分岐の炭素数3〜20の置換基を有してもよいアルキル基)、SR119(R119は直鎖又は分岐の炭素数3〜20の置換基を有してもよいアルキル基)が好ましい。
前記色素化合物としては、下記一般式(SP)で表されるサブフタロシアニン色素(フタロシアニン化合物)が挙げられる。本発明においてサブフタロシアニン化合物とは、分子内にサブフタロシアニン骨格を含む色素部位を有する化合物を総称するものである。
一般式(SP)中のZ1〜Z12が有してもよいアルキル基は直鎖又は分岐の置換又は無置換のアルキル基を表す。Z1〜Z12としては、特に、炭素数1〜20が好ましく、炭素数1〜10がさらに好ましい。Z1〜Z12が有してもよい置換基としては前記置換基群Aの項で挙げた置換基が挙げられるが、特にフッ素原子、ヒドロキシ基及びメルカプト基が好ましい。
前記色素化合物としては、下記一般式(AQ−1)〜(AQ−3)で表されるアントラキノン色素(アントラキノン化合物)が挙げられる。本発明においてアントラキノン化合物とは、分子内にアントラキノン骨格を含む色素部位を有する化合物を総称するものである。
が好ましい。
前記色素化合物としては、下記一般式(TP)で表されるトリフェニルメタン色素(トリフェニルメタン化合物)が挙げられる。本発明においてトリフェニルメタン化合物とは、分子内にトリフェニルメタン骨格を含む色素部位を有する化合物を総称するものである。
前記色素化合物としては、下記一般式(PM)で表されるシアニン色素(シアニン化合物)が挙げられる。本発明においてシアニン化合物とは、分子内にシアニン骨格を含む色素部位を有する化合物を総称するものである。
一般式(PM)中、環Z1及び環Z2が取りうる置換基は、前記置換基群Aの項で挙げた置換基と同様である。X−はフッ素アニオン、塩素アニオン、臭素アニオン、ヨウ素アニオン、過塩素酸アニオン、チオシアン酸アニオン、六フッ化リンアニオン、六フッ化アンチモンアニオン、四フッ化ホウ素アニオン等の無機系アニオン、酢酸アニオン、安息香酸アニオン等のカルボン酸アニオン、ベンゼンスルホン酸アニオン、トルエンスルホン酸アニオン、トリフルオロメタンスルホン酸アニオン等の有機スルホン酸アニオン、オクチルリン酸アニオン、ドデシルリン酸アニオン、オクタデシルリン酸アニオン、フェニルリン酸アニオン、ノニルフェニルリン酸アニオン等の有機リン酸アニオン等が挙げられる。Xは色素骨格と連結してもよく、又は色素多量体の一部(高分子鎖等)と連結してもよい。
一般式(PM−2)中、Y−は、Cl−、Br−、I−、ClO4 −、OH−、1価の有機カルボン酸アニオン、1価の有機スルホン酸アニオン、1価のホウ素アニオン又は1価の有機金属錯体アニオンを表す。Y−は色素骨格と連結してもよく、又は色素多量体の一部(高分子鎖等)と連結してもよい。
一般式(PM−2)中、nは、0以上3以下の整数を表す。
一般式(PM−2)中、A1及びA2は、それぞれ独立に、酸素原子、硫黄原子、セレン原子、炭素原子又は窒素原子を表す。
一般式(PM−2)中、R1及びR2は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい1価の炭素数1〜20の脂肪族炭化水素基を表す。
一般式(PM−2)中、R3及びR4は、それぞれ独立に水素原子又は1価の炭素数1〜6の脂肪族炭化水素基を表すか、1個のR3と1個のR4とが一緒になって形成された2価の炭素数2〜6の脂肪族炭化水素基を表す。
一般式(PM−2)中、a及びbは、それぞれ独立に、0以上2以下の整数を表す。
前記色素化合物としては、下記一般式(QP)で表されるキノフタロン色素(キノフタロン化合物)が挙げられる。本発明においてキノフタロン化合物とは、分子内にキノフタロン骨格を含む色素部位を有する化合物を総称するものである。
色素構造に重合性基を導入する方法としては、特に制限はないが、エチレン性不飽和基(例えば、メタクリル基、アクリル基、スチリル基等)、環状エーテル基(例えば、エポキシ基、オキセタニル基等)などを有する重合性化合物を色素構造に付加させることで導入することができる。
具体的には、重合性化合物と反応する基(例えば、ヒドロキシル基、アミノ基、カルボキシル基等)を有する色素構造に、重合性化合物(メタクリルクロライド、アクリルクロライド、4−(クロロメチル)スチレン、グリシジルメタクリレート、メタクリルオキシエチルイソシアネート等)を付加させることで、重合性基を有する色素構造を合成することができる。
色素構造に重合性基を導入することで、硬化性、耐熱性、耐溶剤性が良好となる。
色素構造にアルカリ可溶性基を導入する方法としては、特に制限はないが、アルカリ可溶性基を有する化合物を色素構造に付加させることで導入することができる。
具体的には、例えば、アルカリ可溶性を有する化合物と反応する基(例えば、ハロゲン化アルキル基、α―ハロゲン化アシル基等)を有する色素構造に、アルカリ可溶性を有する化合物(例えば、チオリンゴ酸、チオグリコール酸、5−メルカプトイソフタル酸、3−メルカプト安息香酸、リンゴ酸、グリコール酸、5−ヒドロキシイソフタル酸、3−ヒドロキシ安息香酸等)を付加させることで、アルカリ可溶性基を有する色素構造を合成することができる。色素構造にアルカリ可溶性基を導入することで、着色パターン形成性が良好となる。
本発明において、酸価はJIS規格(JIS K 0070:1992)記載の方法により求める。
本発明の着色感放射線性組成物に用いる色素多量体は、上述の色素構造を色素部位の部分構造として含む色素多量体である。特に、ジピロメテン化合物由来の色素構造を色素部位の部分構造として含む色素多量体であってもよく、またジピロメテン金属錯体化合物由来の色素構造を色素部位の部分構造として含む色素多量体であってもよい。
本発明の色素多量体に、色素構造を導入する方法は任意であり、重合性の単量体に該色素骨格を導入したものを重合、或いは、共重合させて多量体を得てもよく、多量体を形成した後に、高分子反応などにより色素骨格を導入してもよい。
好ましい態様としては、下記一般式(A)〜(C)で表される少なくとも一つの構成単位を含んでなる多量体、下記一般式(D)で表される色素多量体、及び下記一般式(1)で表される色素単量体を重合成分として含む多量体が挙げられる。
本発明の着色感放射線性組成物に用いる色素多量体は、装置汚染を低減させ、残渣の発生を抑制抑制させるとともに、耐熱性、耐溶剤性に優れ、色移りが少なく、パターン成形性の良好な着色硬化膜を形成し得ることから、カラーフィルタの着色パターン形成に好適な着色感放射線性組成物に用いうる。そのような観点から、色素多量体の好ましい物性を挙げれば、着色感放射線性組成物としたときの着色パターン形成性を向上させる観点から、色素多量体は、アルカリ可溶性基を有することが好ましい。
アルカリ可溶性基を有する単量体を用いて色素多量体を合成する場合、下記一般式(A)、下記一般式(B)、及び、下記一般式(C)で表される構成単位の少なくとも一つを含んでなる色素多量体、下記一般式(D)で表される色素多量体、一般式(1)で表される色素単量体、及び、一般式(1)で表される色素単量体とは構造が異なり、且つ末端エチレン性不飽和結合を有する単量体、の少なくとも1種が、アルカリ可溶性基を有していればよい。
下記一般式(A)、下記一般式(B)、及び、下記一般式(C)で表される構成単位、或いは、下記一般式(1)で表される色素単量体が、アルカリ可溶性基を有する単量体である場合、Dye部分(色素残基)にアルカリ可溶性基を有することができる。合成適合性の観点からは、Dye部分(色素残基)を有する構成単位を形成する単量体よりも、共重合成分として含まれる、他のエチレン性不飽和結合単量体の少なくとも1種がアルカリ可溶性基を有する単量体であることが好ましい。
本発明において、酸価はJIS規格(JIS K 0070:1992)記載の方法により求める。
上記の重合性基としては、例えば、エチレン性不飽和基(例えば、メタクリル基、アクリル基、スチリル基等)、環状エーテル基(例えば、エポキシ基、オキセタニル基等)などが挙げられる。中でも、重合後の耐熱性、耐溶剤性の点で、エチレン性不飽和基が好ましい。
また、重合性基を含有する色素多量体は、重合性基を有する構成単位と色素に由来する基を有する構成単位のほかの構成単位を含んでいてもよい。
重合性基を含有する色素多量体における構成比としては、カラーフィルタの薄層化の観点からは、色素に由来する基を有する構成単位が質量比で、60質量%〜99質量%であることが好ましく、70質量%〜97質量%であることがより好ましく、80質量%〜95質量%であることがさらに好ましい。
また、耐熱性、耐溶剤の観点からは、重合性基を有する構成単位が質量比で、1質量%〜40質量%であることが好ましく、3質量%〜30質量%であることがより好ましく、5質量%〜20質量%であることがさらに好ましい。
すなわち、前記色素構造と、色素骨格を有しない共重合成分(例えば、メタクリル酸、アクリル酸、ヒドロキシエチルメタクリレート等)との共重合により多量体を得て、次いで、前記共重合成分に由来する構成単位と反応する基を有する重合性化合物(例えば、グリシジルメタクリレート、メタクリルオキシエチルイソシアネート等)を付加させることで、重合性基を有する構成単位を導入することができる。
また、前記色素構造において、色素構造の多量体化に与る重合性基とは別の重合性基を色素骨格に導入させておき、その色素構造を重合させて、重合性基含有色素多量体を得ることもできる。
本発明の着色感放射線性組成物に用いる色素多量体としては、ジピロメテン金属錯体化合物、アゾ色素、キサンテン色素、スクアリリウム色素、フタロシアニン色素、サブフタロシアニン色素、アントラキノン色素、トリフェニルメタン色素、シアニン色素又はキノフタロン色素等に由来の色素骨格を有する色素多量体が好ましく、ジピロメテン金属錯体化合物、アゾ色素、キサンテン色素、スクアリリウム色素、フタロシアニン色素がより好ましく、ジピロメテン金属錯体化合物、アゾ色素、フタロシアニン色素がさらに好ましく、ジピロメテン金属錯体化合物が特に好ましい。前記色素骨格を有する色素多量体としては、下記一般式(A)、一般式(B)、及び、一般式(C)で表される構成単位の少なくとも一つを含んでなるか、又は、一般式(D)で表される色素多量体、さらには、下記一般式(1)で表される色素単量体を重合成分として含む色素多量体が挙げられる。これらを順次説明する。
なお、下記(X−1)〜(X−15)及び(XX−1)〜(XX−19)において*で示された部位でLA1と連結していることを表す。Meはメチル基を表す。(XX−14)及び(XX−15)中のRは、水素原子、炭素数1〜5のアルキル基又はフェニル基を表す。
一般式(A)における2価の連結基は、本発明の効果を奏しうる範囲であれば何ら限定されない。
付加重合には公知の付加重合(ラジカル重合、アニオン重合、カチオン重合)が適用できるが、このうち、特にラジカル重合により合成することが反応条件を穏和化でき、色素構造を分解させないため好ましい。ラジカル重合には、公知の反応条件を適用することができる。
中でも、本発明における一般式(A)で表される構成単位を有する色素多量体は、耐熱性の観点から、エチレン性不飽和結合を有する色素単量体を用いてラジカル重合して得られたラジカル重合体であることが好ましい。
次に、一般式(B)で表される構成単位について詳細を説明する。
一般式(B)中のAで表される基としては、DyeIIIとイオン結合もしくは配位結合可能な基であればよく、イオン結合できる基としては、アニオン性基、カチオン性基のどちらでもよい。アニオン性基としては、カルボキシル基、ホスホ基、スルホ基、アシルスルホンアミド基、スルホンイミド基など、pKaが12以下のアニオン性基が好ましく、より好ましくはpKaが7以下であり、更に好ましくは、5以下である。アニオン性基はDye中のMaもしくはヘテロ環基とイオン結合もしくは配位結合してもよいが、Maとイオン結合することがより好ましい。
アニオン性基として好ましい具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されない。なお、以下に示すアニオン性基において、Rは、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、又はヘテロ環基を表す。
以下に、一般式(B)で表される構成単位の具体例を示すが、本発明はこれに限定されない。
次に、一般式(C)で表される構成単位について詳細を説明する。
本発明の色素多量体は、前記一般式(A)、一般式(B)、及び、一般式(C)で表される構成単位のみで形成されていてもよいが、他の構成単位と共に多量化されていてもよい。他の構成単位として好ましくは、以下に示す構成単位であり、それらの具体例を示すが、本発明はこれらに限定されない。
すなわち、上述の共重合成分(例えば、メタクリル酸、アクリル酸、ヒドロキシエチルメタクリレート等)に由来する構成単位に、当該構成単位と反応する基を有する重合性化合物(例えば、グリシジルメタクリレート、メタクリルオキシエチルイソシアネート等)を付加させてできた構成単位である。
次に一般式(D)で表される色素多量体について詳細を説明する。
一般式(D)において、m4が2の場合、LD1で表される2価の連結基としては、炭素数1〜30の置換もしくは無置換のアルキレン基(例えば、メチレン基、エチレン基、トリメチレン基、プロピレン基、ブチレン基など)、炭素数6〜30の置換もしくは無置換のアリーレン基(例えば、フェニレン基、ナフタレン基等)、置換もしくは無置換のヘテロ環連結基、−CH=CH−、−O−、−S−、−NR−(Rは、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、又はヘテロ環基を表す。)、−C(=O)−、−SO−、−SO2−,および、これらを2個以上連結して形成される連結基が好適に挙げられる。
以下に、一般式(1)で表される色素単量体についての詳細を記載する。
本発明の色素多量体に重合成分として含まれる色素単量体について詳細に説明する。
上記色素単量体は、下記一般式(1)で表される化合物である。
なお、上記一般式(7)で表されるジピロメテン金属錯体化合物は、互変異性体を含む。
なお、上記一般式(8)で表されるジピロメテン金属錯体化合物は、互変異性体を含む。
なお、n1及びn2のいずれもが0の場合、上記ジピロメテン金属錯体化合物に、直接−C(R21)=CH2基が導入される。ここで、Q1、Q2及びR21は、前記一般式(1)におけるQ1、Q2及びR21とそれぞれ同義である。
前記一般式(1)中、R21がアリール基の場合、好ましくは炭素数6〜18、より好ましくは6〜14、さらに好ましくは炭素数6〜12の置換もしくは無置換のアリール基が好適である。アリール基の例としては、フェニル基、ナフチル基等が挙げられる。
上記一般式(1)中、Q1におけるR2としてのアルキル基、アリール基、及びヘテロ環基は、前記R21で説明した置換基で置換されていてもよく、2個以上の置換基で置換されている場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
一般式(2)〜(4)中のR23の置換基が、更に置換可能な基である場合には、一般式(1)におけるR21で説明した置換基で、置換されていてもよく、2個以上の置換基で置換されている場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
Q2は、好ましくは、アルキレン基、アラルキレン基、アリーレン基、−O−、−C(=O)−、−OC(=O)−、OC(=O)O−、−OSO2−、−OC(=O)N(R50)−、−N(R50)−、−N(R50)C(=O)−、−N(R50)C(=O)O−、−N(R50)C(=O)N(R51)−、−N(R50)SO2−、−N(R50)SO2N(R51)−、−S−、−S−S−、−SO−、−SO2−、−SO2N(R50)−、−SO2O−等が挙げられる。また、上記の2価の連結基が、複数個結合して、新たに2価の連結基を形成していてもよい。
一般式(1)におけるQ2がアルキレン基、アラルキレン基、又はアリーレン基である場合、炭素数1〜12のアルキレン基、炭素数6〜18のアラルキレン基、炭素数6〜18のアリーレン基が好ましく、炭素数1〜8のアルキレン基、炭素数6〜16のアラルキレン基、炭素数6〜12のアリーレン基がより好ましく、炭素数1〜6のアルキレン基、炭素数6〜12のアラルキレン基が更に好ましい。
前記一般式(1)で表される色素単量体は、前記一般式(7)で表されるジピロメテン金属錯体化合物から任意の水素原子が一つ外れた色素残基、又は前記一般式(8)で表されるジピロメテン金属錯体化合物のR11〜R17、X1、Y1〜Y2のいずれか1つの置換基の水素原子が1つ外れた色素残基を有する。換言すると、前記一般式(1)で表される色素単量体は、前記一般式(7)又は前記一般式(8)で表されるジピロメテン金属錯体化合物に、−(Q2)n2−(Q1)n1−C(R21)=CH2で表される重合性基が導入された化合物である。なお、n1及びn2のいずれもが0の場合、上記ジピロメテン金属錯体化合物に、直接−C(R21)=CH2基が導入される。
一般式(1)に導入されるジピロメテン金属錯体化合物は、先に詳述した一般式(7)又は一般式(8)で表されるジピロメテン金属錯体化合物である。
また、本発明における前記無機金属塩の含有量の下限値は0であることが好ましいが、実質的に0.0001質量%〜0.1質量%程度であればよく、0.0001質量%〜0.01質量%程度が好ましい。
本発明の色素単量体中の無機金属塩の含有量を、上述のような範囲とするためには、例えば、色素単量体の合成時に原料として過剰の金属塩(例えば、酢酸亜鉛等)を用いないことや、精製を強化することが挙げられる。前記精製の強化としては、例えば、水洗の強化によるカルシウム塩やナトリウム塩の除去等が挙げられる。
また、本発明における色素多量体には、一般式(1)で表される色素単量体とは構造が異なり、且つ末端エチレン性不飽和結合を有する単量体が共重合成分として含まれていてもよい。この場合、前記単量体は1種のみを含んでいてもよく、2種以上を含んでいてもよい。また、共重合成分として、所望によりさらに含まれ得る他の単量体も、これを共重合成分として含む場合には、1種のみを含んでいてもよく、2種以上を含んでいてもよい。
一般式(1)で表される色素単量体とは構造が異なり、且つ末端エチレン性不飽和結合を有する単量体は後述する。
着色力の観点からは、色素多量体は、一般式(A)、一般式(B)、及び、一般式(C)で表される構成単位を質量比(質量%)で、10質量%〜100質量%含むことが好ましく、20質量%〜100質量%含むことがより好ましく、30質量%〜100質量%含むことがさらに好ましい。
本発明における色素多量体は、重合成分として、一般式(A)、一般式(B)、及び、一般式(C)で表される構成単位、その好ましい態様である一般式(1)で表される色素単量体に、更に、共重合成分として、一般式(1)で表される色素単量体とは構造が異なり、且つ末端にエチレン性不飽和結合を有する単量体(以下、適宜「他のエチレン性不飽和結合単量体」と称する。)を含んでもよい。また、更に、他のエチレン性不飽和結合単量体とは異なる構造の単量体を共重合成分として含んでいてもよい。
すなわち、本発明における色素多量体は、前記一般式(A)、一般式(B)、及び、一般式(C)で表される構成単位を形成しうる色素単量体、一般式(1)で表される色素単量体、および他のエチレン性不飽和結合単量体を含む共重合体であってもよい。このとき、該共重合体は、前記本発明に係る特定の色素単量体を、1種のみ含んでもよく、2種以上含んでよく、また、前記他のエチレン性不飽和結合単量体を、1種のみ含んでもよく、2種以上含んでもよい。
本発明の着色感放射線性組成物は、着色パターン形成性を向上させる観点から、色素構造が有してもよい他のエチレン性不飽和結合単量体は、末端エチレン性不飽和結合に加え、さらに、アルカリ可溶性基を有する単量体であることが好ましい。
カルボキシル基を有するビニルモノマーとして、(メタ)アクリル酸、ビニル安息香酸、マレイン酸、マレイン酸モノアルキルエステル、フマル酸、イタコン酸、クロトン酸、桂皮酸、アクリル酸ダイマーなどが挙げられる。また、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートなどの水酸基を有する単量体と無水マレイン酸、無水フタル酸、またはシクロヘキサンジカルボン酸無水物のような環状無水物との付加反応物、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレートなども利用できる。また、カルボキシル基の前駆体として無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸などの無水物含有モノマーを用いてもよい。なおこれらの内では、共重合性やコスト、溶解性などの観点から(メタ)アクリル酸が特に好ましい。
また、上記した範囲の酸価であることによって、本発明の色素多量体と顔料とを共に用いて着色感放射線性組成物を構成する場合、顔料の1次粒子の凝集体である2次凝集体の生成を効果的に抑制、あるいは、2次凝集体の凝集力を効果的に弱めることができる。
ビニルエステル類の例としては、ビニルアセテート、ビニルプロピオネート、ビニルブチレート、ビニルメトキシアセテート、及び安息香酸ビニルなどが挙げられる。
マレイン酸ジエステル類の例としては、マレイン酸ジメチル、マレイン酸ジエチル、及びマレイン酸ジブチルなどが挙げられる。
フマル酸ジエステル類の例としては、フマル酸ジメチル、フマル酸ジエチル、及びフマル酸ジブチルなどが挙げられる。
イタコン酸ジエステル類の例としては、イタコン酸ジメチル、イタコン酸ジエチル、及びイタコン酸ジブチルなどが挙げられる。
スチレン類の例としては、スチレン、メチルスチレン、ジメチルスチレン、トリメチルスチレン、エチルスチレン、イソプロピルスチレン、ブチルスチレン、ヒドロキシスチレン、メトキシスチレン、ブトキシスチレン、アセトキシスチレン、クロロスチレン、ジクロロスチレン、ブロモスチレン、クロロメチルスチレン、酸性物質により脱保護可能な基(例えばt−Bocなど)で保護されたヒドロキシスチレン、ビニル安息香酸メチル、及びα−メチルスチレンなどが挙げられる。
本発明の着色感放射線性組成物に用いる色素多量体は、カラーフィルタを製造する際の現像性の観点からは、特定重合体の重量平均分子量(Mw)は20000以下であることが好ましい。
本発明におけるハロゲンイオンとしては、フッ化物イオン、塩化物イオン、臭化物イオン、ヨウ化物イオンが挙げられ、好ましくは塩化物イオン、臭化物イオンであり、より好ましくは臭化物イオンである。
染料中のハロゲンイオンの含有量は10ppm〜1000ppmであり、10ppm〜800ppmであることが好ましい。
ハロゲンイオンの含有量が10ppm未満である場合は、合成上の観点より好ましくない。また、ハロゲンイオンの含有量が1000ppmより多い場合には、カラーフィルタの製造時において、装置汚染の原因となり好ましくない。
また、本発明において染料中のハロゲンイオンの含有量は、着色感放射線性組成物中のハロゲンイオンの含有量と同義であり、染料に含まれるハロゲンイオンの含有量は、着色感放射線性組成物をイオンクロマトグラフィーなどにより分析することによっても測定することが可能である。
具体的には、良溶媒に完全に溶解または部分的に溶解させ貧溶媒へ滴下する方法、加熱溶解後冷却し結晶を析出する方法などが挙げられる。
好ましくは良溶媒に溶解した後、貧溶媒に滴下する方法が挙げられる。
染料の種類により異なるが、1回または2回以上繰り返し、目的のハロゲンイオン含有量になるまで、再沈殿を実施することが望ましい。
上記再沈殿工程において、冷却とは、40℃未満を指し、好ましくは0℃以上40℃未満である。
本発明における着色感放射線性組成物は色材として前記特定の染料を用いるが、色相調製の目的で前記染料の他に顔料を併用しても良い。
顔料としては特に限定されないが、従来公知の種々の無機顔料または有機顔料を用いることができる。
C.I.ピグメントイエロー11,24,31,53,83,93,99,108,109,110,138,139,147,150,151,154,155,167,180,185,199,;
C.I.ピグメントオレンジ36,38,43,71;
C.I.ピグメントレッド81,105,122,149,150,155,171,175,176,177,209,220,224,242,254,255,264,270;
C.I.ピグメントバイオレット19,23,32,39;
C.I.ピグメントブルー1,2,15,15:1,15:3,15:6,16,22,60,66;
C.I.ピグメントグリーン7,36,37;
C.I.ピグメントブラウン25,28;
等を挙げることができる。
着色感放射線性組成物が、C.I.ピグメントレッドバイオレット23、C.I.ピグメントブルー15:3、15:6から選ばれる少なくとも1つの顔料を含むことにより、青色感放射線性組成物としての透過スペクトルの最適化が容易であり、耐薬品性が良好になるため好ましい。
これらの顔料は、単独でも、2種以上を混合して用いてもよい。
上記ジピロメテン化合物と顔料との含有量比率(質量比)は、10:90〜90:10であることが適しており、20:80〜80:20であることが好ましく、25:75〜75:25であることがより好ましい。
このような比率とすることにより、透過スペクトルの最適化が容易となり、高コントラスト、高明度を得るために良好である。さらに、耐熱性、耐薬品性が良好となる。
また、C.I.ピグメントブルー15:6とジピロメテン化合物との質量比が5:95〜25:75であることが好ましく、10:90〜25:75であることがより好ましく、15:85〜20:80であることがさらに好ましい。
本発明の着色感放射線性組成物は、顔料を含む場合には、顔料分散剤を含有することができる。
本発明に用いうる顔料分散剤としては、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕及びポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン、顔料誘導体等を挙げることができる。
高分子分散剤は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。
一方で、顔料誘導体は顔料表面を改質することで、高分子分散剤の吸着を促進させる効果を有する。
好ましい分散剤としては、分子内に、水素原子を除いた原子数が40〜10000の範囲であり、ポリエステル構造、ポリエーテル構造、及びポリアクリレート構造から選択されるグラフト鎖を有するグラフト共重合体であり、少なくとも下記式(1)〜式(4)のいずれかで表される構造単位を含むことが好ましく、少なくとも、下記式(1A)、下記式(2A)、下記式(3A)、下記式(3B)、及び下記(4)のいずれかで表される構造単位を含むことがより好ましい。
式(1)〜式(4)において、X1、X2、X3、X4及びX5はそれぞれ独立に水素原子或いは1価の有機基を表す。X1、X2、X3、X4及びX5としては、合成上の制約の観点から、好ましくは水素原子、或いは炭素数1から12のアルキル基であり、水素原子或いはメチル基であることがより好ましく、メチル基が特に好ましい。
式(1)〜式(4)において、Y1、Y2、Y3及びY4はそれぞれ独立に2価の連結基であり、特に構造上制約されない。Y1、Y2、Y3及びY4で表される2価の連結基として、具体的には、下記の(Y−1)から(Y−21)の連結基などが挙げられる。下記構造でA、Bはそれぞれ、式(1)〜式(4)における左末端基、右末端基との結合を意味する。下記に示した構造のうち、合成の簡便性から、(Y−2)、(Y−13)であることがより好ましい。
式(1)〜式(4)において、n、m、p及びqはそれぞれ1から500の整数である。
また、式(1)および式(2)において、jおよびkは、それぞれ独立に、2〜8の整数を表す。式(1)および式(2)におけるjおよびkは、分散安定性、現像性の観点から、4〜6の整数が好ましく、5が最も好ましい。
式(4)中のR4は水素原子又は1価の有機基を表し、この1価の有機基としては特に構造上限定はされない。式(4)中のR4として好ましくは、水素原子、アルキル基、アリール基、及びヘテロアリール基が挙げられ、さらに好ましくは、水素原子、又はアルキル基である。式(4)中のR4がアルキル基である場合、該アルキル基としては、炭素数1〜20の直鎖状アルキル基、炭素数3〜20の分岐状アルキル基、又は炭素数5〜20の環状アルキル基が好ましく、炭素数1〜20の直鎖状アルキル基がより好ましく、炭素数1〜6の直鎖状アルキル基が特に好ましい。また、式(4)中のR4としては、グラフト共重合体中に構造の異なるR4を2種以上混合して用いてもよい。
また、前記式(2)で表される構造単位としては、分散安定性、現像性の観点から、下記式(2A)で表される構造単位であることがより好ましい。
式(2A)中、X2、Y2、Z2及びmは、式(2)におけるX2、Y2、Z2及びmと同義であり、好ましい範囲も同様である。
また、前記式(3)で表される構造単位としては、分散安定性、現像性の観点から、下記式(3A)又は下記式(3B)で表される構造単位であることがより好ましい。
具体的には、高分子分散剤を用いる場合であれば、その使用量としては、顔料100質量部に対して、質量換算で5部〜100部の範囲が好ましく、10部〜80部の範囲であることがより好ましい。
また、顔料誘導体を併用する場合、顔料誘導体の使用量としては、顔料100質量部に対し、質量換算で1部〜30部の範囲にあることが好ましく、3部〜20部の範囲にあることがより好ましく、5部〜15部の範囲にあることが特に好ましい。
なお、本明細書において全固形分とは、着色感放射線性組成物中、溶剤を除く全成分の合計量を表す。
本発明の着色感放射線性組成物は、重合性化合物の少なくとも一種を含有する。
これらの具体的な化合物としては、特開2009−288705号公報の段落番号0095〜段落番号0108に記載されている化合物を本発明においても好適に用いることができる。
また、その他の好ましい重合性化合物として、特開2010−160418号公報、特開2010−129825号公報、特許第4364216号明細書等に記載される、フルオレン環を有し、エチレン性重合性基を2官能以上有する化合物、カルド樹脂も使用することが可能である。
上記一般式(MO−1)〜(MO−5)で表されるラジカル重合性モノマーの各々において、複数のRの内の少なくとも1つは、−OC(=O)CH=CH2、又は、−OC(=O)C(CH3)=CH2で表される基を表す。
上記一般式(MO−1)〜(MO−5)で表される、ラジカル重合性モノマーの具体例としては、特開2007−269779号公報の段落番号0248〜段落番号0251に記載されている化合物を本発明においても好適に用いることができる。
酸基を有する多官能モノマーの好ましい酸価としては、0.1〜40mg−KOH/gであり、特に好ましくは5〜30mg−KOH/gである。多官能モノマーの酸価が低すぎると現像溶解特性が落ち、高すぎると製造や取扱いが困難になり光重合性能が落ち、画素の表面平滑性等の硬化性が劣るものとなる。従って、異なる酸基の多官能モノマーを2種以上併用する場合、或いは酸基を有しない多官能モノマーを併用する場合、全体の多官能モノマーとしての酸基が上記範囲に入るように調整することが必須である。
前記一般式(i)中、アクリロイル基及びメタクリロイル基の合計は3個又は4個であり、mは各々独立に0〜10の整数を表し、各mの合計は0〜40の整数である。但し、各mの合計が0の場合、Xのうちいずれか1つはカルボキシル基である。
前記一般式(ii)中、アクリロイル基及びメタクリロイル基の合計は5個又は6個であり、nは各々独立に0〜10の整数を表し、各nの合計は0〜60の整数である。但し、各nの合計が0の場合、Xのうちいずれか1つはカルボキシル基である。
前記一般式(ii)中、nは、0〜6の整数が好ましく、0〜4の整数がより好ましい。また、各nの合計は、3〜60の整数が好ましく、3〜24の整数がより好ましく、6〜12の整数が特に好ましい。
また、一般式(i)又は一般式(ii)中の−((CH2)yCH2O)−又は−((CH2)yCH(CH3)O)−は、酸素原子側の末端がXに結合する形態が好ましい。
具体的には、下記式(a)〜(f)で表される化合物(以下、「例示化合物(a)〜(f)」ともいう。)が挙げられ、中でも、例示化合物(a)、(b)、(e)、(f)が好ましい。
重合性化合物の市販品としては、ウレタンオリゴマーUAS−10、UAB−140(山陽国策パルプ社製)、UA−7200」(新中村化学社製、DPHA−40H(日本化
薬社製)、UA−306H、UA−306T、UA−306I、AH−600、T−600、AI−600(共栄社製)などが挙げられる。
本発明の着色感放射線性組成物は、溶剤を含有する。溶剤としては、以下に示される有機溶剤から選択される液体が挙げられ、有機溶剤は、各成分の溶解性や着色感放射線性組成物の塗布性を満足すれば基本的には特に制限はないが、特に紫外線吸収剤、バインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。また、本発明における着色感放射線性組成物を調製する際には、少なくとも2種類の有機溶剤を含むことが好ましい。
本発明の着色感放射線性組成物は、さらに(D)重合開始剤を含有することが、さらなる感度向上の観点から好ましい。
本発明における重合開始剤としては、以下に述べる重合開始剤として知られているものを用いることができる。
前記重合開始剤としては、前記重合性化合物の重合を開始する能力を有する限り、特に制限はなく、公知の重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視の光線に対して感光性を有するものが好ましい。また、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する活性剤であってもよく、モノマーの種類に応じてカチオン重合を開始させるような開始剤であってもよい。
また、前記重合開始剤は、約300nm〜800nm(330nm〜500nmがより好ましい。)の範囲内に少なくとも約50の分子吸光係数を有する化合物を、少なくとも1種含有していることが好ましい。
また、重合開始剤は、単独で、又は2種以上を併用して用いることができる。
ヒドロキシアセトフェノン系開始剤としては、IRGACURE−184、DAROCUR−1173、IRGACURE−500、IRGACURE−2959,IRGACURE−127(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。アミノアセトフェノン系開始剤としては、市販品であるIRGACURE−907、IRGACURE−369、及びIRGACURE−379(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。アミノアセトフェノン系開始剤として、365nmまたは405nm等の長波光源に吸収波長がマッチングされた特開2009−191179公報に記載の化合物も用いることができる。また、アシルホスフィン系開始剤としては市販品であるIRGACURE−819やDAROCUR−TPO(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。
6−162、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995年)pp.202−232、特開2000−66385号公報記載の化合物、特開2000−80068号公報、特表2004−534797号公報、特開2006−342166号公報の各公報に記載の化合物等が挙げられる。
市販品ではIRGACURE−OXE01(BASF社製)、IRGACURE−OXE02(BASF社製)も好適に用いられる。
また、オキシム化合物の特定部位に不飽和結合を有する特開2009−242469号公報に記載の化合物も、重合不活性ラジカルから活性ラジカルを再生することで高感度化を達成でき好適に使用することができる。
具体的には、オキシム系重合開始剤としては、下記式(OX−1)で表される化合物が好ましい。なお、オキシムのN−O結合が(E)体のオキシム化合物であっても、(Z)体のオキシム化合物であっても、(E)体と(Z)体との混合物であってもよい。
前記一価の非金属原子団としては、アルキル基、アリール基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、複素環基、アルキルチオカルボニル基、アリールチオカルボニル基等が挙げられる。また、これらの基は、1以上の置換基を有していてもよい。また、前述した置換基は、さらに他の置換基で置換されていてもよい。
置換基としてはハロゲン原子、アリールオキシ基、アルコキシカルボニル基又はアリールオキシカルボニル基、アシルオキシ基、アシル基、アルキル基、アリール基等が挙げられる。
具体的には、チエニル基、ベンゾ[b]チエニル基、ナフト[2,3−b]チエニル基、チアントレニル基、フリル基、ピラニル基、イソベンゾフラニル基、クロメニル基、キサンテニル基、フェノキサチイニル基、2H−ピロリル基、ピロリル基、イミダゾリル基、ピラゾリル基、ピリジル基、ピラジニル基、ピリミジニル基、ピリダジニル基、インドリジニル基、イソインドリル基、3H−インドリル基、インドリル基、1H−インダゾリル基、プリニル基、4H−キノリジニル基、イソキノリル基、キノリル基、フタラジニル基、ナフチリジニル基、キノキサリニル基、キナゾリニル基、シンノリニル基、プテリジニル基、4aH−カルバゾリル基、カルバゾリル基、β−カルボリニル基、フェナントリジニル基、アクリジニル基、ペリミジニル基、フェナントロリニル基、フェナジニル基、フェナルサジニル基、イソチアゾリル基、フェノチアジニル基、イソキサゾリル基、フラザニル基、フェノキサジニル基、イソクロマニル基、クロマニル基、ピロリジニル基、ピロリニル基、イミダゾリジニル基、イミダゾリニル基、ピラゾリジニル基、ピラゾリニル基、ピペリジル基、ピペラジニル基、インドリニル基、イソインドリニル基、キヌクリジニル基、モルホリニル基及びチオキサントリル基が例示できる。
下記の構造中、Y、X及びnは、それぞれ、後述する式(OX−2)におけるY、X及びnと同義であり、好ましい例も同様である。
中でも、式(OX−1)におけるAとしては、感度を高め、加熱経時による着色を抑制する点から、無置換のアルキレン基、アルキル基(例えば、メチル基、エチル基、tert−ブチル基、ドデシル基)で置換されたアルキレン基、アルケニル基(例えば、ビニル基、アリル基)で置換されたアルキレン基、アリール基(例えば、フェニル基、p−トリル基、キシリル基、クメニル基、ナフチル基、アンスリル基、フェナントリル基、スチリル基)で置換されたアルキレン基が好ましい。
なかでも、感度を高め、加熱経時による着色を抑制する点から、置換又は無置換のフェニル基が好ましい。
また、式(2)におけるnは、0〜5の整数を表し、0〜2の整数が好ましい。
化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いることができるが、具体的には、例えば、紫外可視分光光度計(Varian社製Carry−5 spctrophotometer)にて、酢酸エチル溶媒を用い、0.01g/Lの濃度で測定することが好ましい。
本発明の着色感放射線性組成物においては、該着色感放射線性組成物の製造中又は保存中において、重合性化合物の不要な熱重合を阻止するために、少量の重合禁止剤を添加することが望ましい。
本発明に用いうる重合禁止剤としては、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。
重合禁止剤の添加量は、全組成物の質量に対して、約0.01質量%〜約5質量%が好ましい。
本発明の着色感光性組成物には、塗布性をより向上させる観点から、各種の界面活性剤を添加してもよい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。
即ち、フッ素系界面活性剤を含有する着色感光性組成物を適用した塗布液を用いて膜形成する場合においては、被塗布面と塗布液との界面張力を低下させることにより、被塗布面への濡れ性が改善され、被塗布面への塗布性が向上する。このため、少量の液量で数μm程度の薄膜を形成した場合であっても、厚みムラの小さい均一厚の膜形成をより好適に行える点で有効である。
界面活性剤は、1種のみを用いてもよいし、2種類以上を組み合わせてもよい。
アルカリ可溶性樹脂としては、線状有機高分子重合体であって、分子(好ましくは、アクリル系共重合体、スチレン系共重合体を主鎖とする分子)中に少なくとも1つのアルカリ可溶性を促進する基を有するアルカリ可溶性樹脂の中から適宜選択することができる。耐熱性の観点からは、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましく、現像性制御の観点からは、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。
アルカリ可溶性を促進する基(以下、酸基ともいう)としては、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基、フェノール性水酸基などが挙げられるが、有機溶剤に可溶で弱アルカリ水溶液により現像可能なものが好ましく、(メタ)アクリル酸が特に好ましいものとして挙げられる。これら酸基は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。
なお、重合後に酸基を付与しうるモノマーを単量体成分として酸基を導入する場合には、重合後に例えば後述するような酸基を付与するための処理が必要となる。
アルカリ可溶性樹脂としては、下記一般式(ED)で示される化合物(以下「エーテルダイマー」と称することもある。)を必須とする単量体成分を重合してなるポリマー(a)を、必須成分であるポリマー成分(A)として含むことも好ましい。
また、アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量(Mw)としては、2,000〜50,000が好ましく、5,000〜30,000がさらに好ましく、7,000〜20,000が最も好ましい。
さらに、本発明においては、硬化皮膜の物性を改良するために無機充填剤や、可塑剤、基板密着性を向上させうる基板密着剤を加えてもよい。
次に、本発明のカラーフィルタ及びその製造方法について説明する。
本発明のカラーフィルタは、支持体上に、本発明の着色感放射線性組成物を用いてなるパターン状の着色硬化膜を有することを特徴とする。
なお、本発明に係る着色感放射線性組成物の調製に際しては、異物の除去や欠陥の低減などの目的で、各成分を混合した後、フィルタにより濾過することが好ましい。フィルタは、従来、ろ過用途等に用いられているものが特に限定されることなく用いられる。具体的には、例えば、PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)等のフッ素樹脂、ナイロン−6、ナイロン−6,6等のポリアミド系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン(PP)等のポリオレフィン樹脂(高密度、超高分子量を含む)等によるフィルタが挙げられる。これらフィルタ素材の中でも、ナイロン−6、ナイロン−6,6等のポリアミド系樹脂、ポリプロピレン(高密度ポリプロピレンを含む)が好ましい。
フィルタの孔径は、0.01μm〜7.0μm程度が適しており、好ましくは0.01μm〜2.5μm程度、さらに好ましくは0.01μm〜2.0μm程度である。この範囲とすることにより、後工程において均一な着色感放射線性組成物の調製を阻害する、微細な異物が確実に除去され、均一及び平滑な着色感放射線性組成物層の形成が可能となる。
フィルタを使用する際、異なるフィルタを組み合わせてもよい。その際、第1のフィルタを用いたフィルタリングは、1回のみでもよいし、2回以上行ってもよい。また、上述した範囲内で異なる孔径のフィルタを組み合わせて、第1のフィルタを複数のフィルタからなるものとして、第1回目のフィルタリングとしてもよい。ここでいう孔径は、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。市販のフィルタとしては、例えば、日本ポール株式会社、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社(旧日本マイクロリス株式会社)又は株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタの中から選択することができる。
第2のフィルタは、上述した第1のフィルタと同様の材料等で形成されたものを使用することができる。
また、例えば、第1のフィルタでのフィルタリングは、顔料分散物のみにたいして行い、該顔料分散物に他の成分を混合して着色感放射線性組成物とした後に、第2のフィルタリングを行ってもよい。
以下、本発明のカラーフィルタについて、その製造方法を詳述する。
以下、本発明の製造方法における各工程について説明する。
着色層形成工程では、支持体上に、本発明の着色感放射線性組成物を塗布して該組成物からなる着色層を形成する。
また、これらの支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
着色感放射線性組成物の塗布直後の膜厚としては、塗布膜の膜厚均一性、塗布溶剤の乾燥のしやすさ、及び乾燥後の膜厚の観点から決定し、それに従い塗布方法を調節することが望ましい。
露光工程では、前記着色層形成工程において形成された着色感放射線性組成物を、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光する。
本工程における露光においては、塗布膜のパターン露光は、所定のマスクパターンを介して露光し、光照射された塗布膜部分だけを硬化させることによりことにより行うことができる。露光に際して用いることができる放射線としては、特に、g線、h線、i線等の紫外線が好ましく用いられる。照射量は5mJ/cm2〜1500mJ/cm2が好ましく10mJ/cm2〜1000mJ/cm2がより好ましく、10mJ/cm2〜500mJ/cm2が最も好ましい。
次いでアルカリ現像処理(現像工程)を行うことにより、上記露光により光未照射部分をアルカリ水溶液に溶出させ、光硬化した部分だけが残る。現像液で現像して、各色(3色あるいは4色以上)の画素からなるパターン状着色硬化膜を形成することにより行うことができる。現像液としては、下地の回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましいが、無機アルカリ現像液も使用可能である。現像温度としては通常20℃〜40℃であり、現像時間は20秒〜90秒である。
このポストベーク処理は、現像後の塗布膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン(熱風循環式乾燥機)、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。
本発明の固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法は、支持体上に、既述の本発明の着色感放射線性組成物を付与して着色感放射線性組成物層を形成する工程(以下、「着色感放射線性組成物層形成工程」ともいう)と、前記着色感放射線性組成物層をマスクを介して露光する工程(以下、「露光工程」ともいう)と、露光後の着色感放射線性組成物層を現像してパターン状の着色硬化膜(以下、「着色画素」ともいう)を形成する工程(以下、「現像工程」ともいう)と、を含む。
また、本発明の固体撮像素子用カラーフィルタは、本発明の固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法によって製造されたものである。
本発明の固体撮像素子用カラーフィルタは、本発明の固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法によって製造されたパターン状の青色硬化膜(青色画素)を少なくとも有していればよい。本発明の固体撮像素子用カラーフィルタの具体的形態としては、例えば、前記パターン状の青色硬化膜と他のパターン状の着色硬化膜とを組み合わせた多色のカラーフィルタの形態(例えば、前記パターン状の青色硬化膜、パターン状の赤色硬化膜、及びパターン状の緑色硬化膜を少なくとも有する3色以上のカラーフィルタ)が好適である。
以下、固体撮像素子用カラーフィルタを単に「カラーフィルタ」ということがある。
着色感放射線性組成物層形成工程では、支持体上に、本発明の着色感放射線性組成物を付与して着色感放射線性組成物層を形成する。
本工程に用いうる支持体としては、例えば、基板(例えば、シリコン基板)上にCCD(Charge Coupled Device)やCMOS(Complementary Metal−Oxide Semiconductor)等の撮像素子(受光素子)が設けられた固体撮像素子用基板を用いることができる。
本発明におけるパターン状の着色硬化膜(以下「着色パターン」ともいう)は、固体撮像素子用基板の撮像素子形成面側(おもて面)に形成されてもよいし、撮像素子非形成面側(裏面)に形成されてもよい。
固体撮像素子用基板における各撮像素子間や、固体撮像素子用基板の裏面には、遮光膜が設けられていてもよい。
また、支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
露光工程では、着色感放射線性組成物層形成工程において形成された着色感放射線性組成物層を、例えば、ステッパー等の露光装置を用い、所定のマスクパターンを有するマスクを介してパターン露光する。
露光に際して用いることができる放射線(光)としては、特に、g線、i線等の紫外線が好ましく(特に好ましくはi線)用いられる。照射量(露光量)は30mJ/cm2〜1500mJ/cm2が好ましく50mJ/cm2〜1000mJ/cm2がより好ましく、80mJ/cm2〜500mJ/cm2が最も好ましい。
次いでアルカリ現像処理を行うことにより、露光工程における光未照射部分の着色感放射線性組成物層がアルカリ水溶液に溶出し、光硬化した部分だけが残る。
現像液としては、下地の撮像素子や回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。現像温度としては通常20℃〜30℃であり、現像時間は従来は20秒〜90秒であった。より残渣を除去するため、近年では120秒〜180秒実施する場合もある。さらには、より残渣除去性を向上するため、現像液を60秒ごとに振り切り、さらに新たに現像液を供給する工程を数回繰り返す場合もある。
なお、現像液には無機アルカリを用いてもよく、無機アルカリとしては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウムなどが好ましい。
なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後純水で洗浄(リンス)する。
ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理であり、通常100℃〜240℃、好ましくは200℃〜240℃の熱硬化処理を行う。
このポストベーク処理は、現像後の塗布膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン(熱風循環式乾燥機)、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。
上記のうち、アルキレングリコールモノアルキルエーテルカルボキシレート及びアルキレングリコールモノアルキルエーテルが好ましい。
これら溶媒は、単独で用いても2種以上を混合して用いてもよい。2種以上を混合する場合、水酸基を有する溶剤と水酸基を有しない溶剤とを混合することが好ましい。水酸基を有する溶剤と水酸基を有しない溶剤との質量比は、1/99〜99/1、好ましくは10/90〜90/10、更に好ましくは20/80〜80/20である。プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)とプロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)の混合溶剤で、その比率が60/40であることが特に好ましい。なお、汚染物に対する洗浄液の浸透性を向上させるために、洗浄液には前掲の本組成物に関する界面活性剤を添加してもよい。
本発明の固体撮像素子用カラーフィルタは、CCD、CMOS等の固体撮像素子に好適に用いることができ、特に100万画素を超えるような高解像度のCCDやCMOS等に好適である。本発明の固体撮像素子用カラーフィルタは、例えば、CCD又はCMOSを構成する各画素の受光部と、集光するためのマイクロレンズと、の間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。
また、着色パターン(着色画素)のサイズ(パターン幅)としては、2.5μm以下が好ましく、2.0μm以下がより好ましく、1.7μm以下が特に好ましい。
本発明の固体撮像素子は、既述の本発明の固体撮像素子用カラーフィルタを備える。本発明の固体撮像素子の構成としては、本発明の固体撮像素子用カラーフィルタが備えられた構成であり、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
更に、前記デバイス保護層上であってカラーフィルタの下(支持体に近い側)に集光手段(例えば、マイクロレンズ等。以下同じ)を有する構成や、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。
本発明におけるカラーフィルタは、前記固体撮像素子のみならず液晶表示装置に用いることができ、特に液晶表示装置の用途に好適である。液晶表示装置に用いた場合、分光特性及び耐熱性に優れた金属錯体色素を着色剤として含有しながらも、比抵抗の低下に伴う液晶分子の配向不良が少なく、表示画像の色合いが良好で表示特性に優れる。
このため、本発明のカラーフィルタを備えた液晶表示装置は、表示画像の色合いが良好で表示特性に優れた高画質画像を表示することができる。
また、本発明におけるカラーフィルタは、明るく高精細なCOA(Color−filter On Array)方式にも供することが可能である。COA方式の液晶表示装置にあっては、カラー
フィルタ層に対する要求特性は、前述のような通常の要求特性に加えて、層間絶縁膜に対する要求特性、すなわち低誘電率及び剥離液耐性が必要とされることがある。本発明のカラーフィルタにおいては、色相に優れた染料多量体を用いることから、色純度、光透過性などが良好で着色パターン(画素)の色合いに優れるので、解像度が高く長期耐久性に優
れたCOA方式の液晶表示装置を提供することができる。なお、低誘電率の要求特性を満足するためには、カラーフィルタ層の上に樹脂被膜を設けてもよい。
これらの画像表示方式については、例えば、「EL、PDP、LCDディスプレイ−技術と市場の最新動向−(東レリサーチセンター調査研究部門 2001年発行)」の43ページなどに記載されている。
エムシー 1994年発行)」、「2003液晶関連市場の現状と将来展望(下巻)(表
良吉(株)富士キメラ総研、2003年発行)」に記載されている。
バックライトに関しては、SID meeting Digest 1380(2005)(A.Konno et.al)や、月刊ディスプレイ 2005年12月号の18〜24ページ(島 康裕)、同25〜30ペ
ージ(八木隆明)などに記載されている。
特開2010−85758号公報の段落番号[0186]〜[0213]に記載の方法に準じて、下記スキームに記載の染料aを得た。具体的には以下の通りである。
米国特許出願公開第2008/0076044号明細書に記載の方法で得た10g(42.7ミリモル)の中間体1にアセトニトリル40mlを加え、氷冷下で攪拌した。この溶液に対して、2,2−ジエチル5−クロロ吉草酸クロライド10.81g(51.2ミリモル)をアセトニトリル10mlに溶解させた溶液を滴下しながら加えた。その後、これにピリジン5.11g(64.7ミリモル)を滴下しながら加え、室温下で一時間攪拌し、得られた結晶を濾過して、アセトニトリルで洗浄した後、乾燥した。このようにして、中間体2を19.5g(収率:83%)得た。
中間体2(18.0g、32.7ミリモル)、チオリンゴ酸(7.9g、52.6ミリモル)をジメチルアセトアミド70mLに加え室温下で攪拌し、ジアザビシクロウンデセン(26.8g)を30℃以下に保ちながら30分かけて滴下した。室温で12時間攪拌した後、氷浴下0.5N HClaq400mLに反応溶液を30分かけて滴下した。析出した固体を、ろ過、水掛け洗いの後、再度水400mL中で攪拌し、ろ過した。得られた固体を真空乾燥(45℃、12時間)することにより、中間体3(18.4g、27.7ミリモル、収率85%)を得た。
中間体2(22.0g、39.9ミリモル)、メタクリル酸(6.9g、80.1ミリモル)、ヨウ化カリウム(6.6g)、p−メトキシフェノール(11.5mg)をジメチルアセトアミド50mLに加え室温下で攪拌した。トリエチルアミン(10.1g)を加えた後、内温を85℃になるまで加熱し、その温度で4時間攪拌した。反応終了後、酢酸エチル75mLを加え、1N HClaq、水、飽和重曹水各50mLで洗浄後、減圧
濃縮した。得られた固体を、アセトニトリル100mLで再結晶することにより、中間体4(16.5g、27.5ミリモル、収率69%)を得た。
N−メチルホルムアニリド(4.3g、31.8ミリモル)をアセトニトリル25mL中5℃で攪拌しながら、オキシ塩化リン(4.9g、32.0ミリモル)を滴下し、1時間攪拌後、中間体4(16.0g、26.6ミリモル)、アセトニトリル10mLを添加し室温で30分攪拌した後、40℃で5時間攪拌した。300mLの水中に反応液を注ぎ、1時間攪拌した。析出した固体を取りだし、アセトンで再結晶することにより、中間体5(10.3g、16.8ミリモル、収率63%)を得た。
中間体3(10.7g、16.1ミリモル)、中間体5(10.1g、16.1ミリモル)と無水酢酸100mlを室温下で攪拌し、トリフルオロ酢酸8.6gを滴下した。室温下で4時間攪拌後、水700mL、炭酸水素ナトリウム170gを室温下で攪拌し、そこへ反応液を徐々に注ぎ中和を行った。1時間攪拌後、析出した結晶をろ過し、水300mLでかけ洗いした。得られた固体をテトラヒドロフラン50mLに再度溶解させ、水50mL、およびトリエチルアミン(10.5g)を加え、均一系にした後、室温で10分攪拌した。反応溶液に酢酸エチル400mL、を加え、1N HClaq×2、水400
mLで各々2回洗浄し、減圧濃縮した。得られた固体を40℃、12時間送風乾燥することにより、中間体6(19.5g、15.3ミリモル、収率95%)を得た。
中間体6(19.0g、14.9ミリモル)をテトラヒドロフラン(THF)90mlに室温下で攪拌溶解した後、メタノール90mLを加えた。そこに酢酸亜鉛二水和物(3.3g)をメタノール90mLにとかした溶液を10分かけて滴下し1時間攪拌した。その後、エバポレーターで30℃、1000Torr、10分間減圧することで反応溶液から溶媒90mLを留去した。残った溶液を水500mlに滴下し、析出した結晶をろ過し、乾燥させることで染料a(19.0g、14.2ミリモル、収率95%)を得た。イオンクロマトグラフィーにより得た、染料aのハロゲンイオン含有量は10000ppmであった。
このようにして合成した染料a30gをアセトニトリル200mLに入れ、60℃に加熱し溶解した。次に、30℃まで冷却し、再沈し、ろ別後イオン交換水で洗浄、乾燥し、染料bを20g得た。イオンクロマトグラフィーにより得た、染料bのハロゲンイオン含有量は400ppmであった。
染料a35g、メタクリル酸3.27g、ドデカンチオール1.30g、重合開始剤(V−601、和光純薬製)2.95g、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート86.4gを調整した。別途、反応容器にプロピレングリコールメチルエーテルアセテート129.6gを入れ、窒素フローをし、85℃に保ち撹拌させた。そこに調整した溶液を3時間かけて滴下し、その後1時間撹拌し、その後重合開始剤(V−601、和光純薬製)0.88gを添加、さらに2時間反応させ停止した。室温まで冷却後、アセトニトリル4150mLに溶液とプロピレングリコールメチルエーテルアセテート778mLとメタノール1038mLを溶解させたものを20分かけて滴下し、10分撹拌後、析出物をろ過した。乾燥し、色素多量体である染料cを17g得た。イオンクロマトグラフィーにより得た、染料cのハロゲンイオン含有量は100ppmであった。
染料c14g、メタクリル酸グリシジル1.31g、テトラブチルアンモニウムブロミド0.239g、p−メトキシフェノール0.0153g、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート86.53gを100℃、8時間加熱撹拌した。得られた色素多量体である染料溶液dをアセトニトリル1021mLに滴下し、ろ過、乾燥させ、色素多量体である染料eを13g得た。染料eのハロゲンイオン含有量は500ppmであった。
<着色感放射線性組成物の調整>
下記組成の各成分を混合、溶解させ着色感放射線性組成物を調整した。
・(C)溶剤;プロピレングリコールメチルエーテルアセテート 57.8部
・(B)重合性化合物; KAYARAD DPHA(日本化薬製) 10.1部
・p−メトキシフェノール 0.006部
・界面活性剤;F−475、DIC化学工業(株)製 0.80部
・(D)重合開始剤;例示化合物(C−9) 0.58部
・(A)染料b 0.35部
上記で調整した着色感放射線性組成物を、ガラス基板の上に、乾燥後の膜厚が0.6μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、100℃で120秒間プリベークした。
次いで、塗布膜に365nmの波長で線幅2μmのマスクを通して、200mJ/cm2の露光量で照射した。
露光後、現像液CD−2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を使用して、25℃40秒間の条件で現像した。
その後、流水で30秒間リンスした後、スプレー乾燥した。その後、200℃で15分間ポストベークを行った。
以上のようにしてカラーフィルタを構成するパターン状着色硬化膜が得られた。
・装置汚染
パターン形成後、装置腐食の有無を確認した。
A:装置腐食が確認されなかった
X:装置腐食が著しく確認された。
・残渣
上記着色パターンの形成領域外(未露光部)を走査型電子顕微鏡(SEM)(倍率10000倍)で観察し、下記評価基準に従って現像残渣を評価した。
〜現像残渣の評価基準〜
A:着色パターンの形成領域外(未露光部)には、残渣がまったく確認されなかった
B:着色パターンの形成領域外(未露光部)に、残渣がわずかに確認されたが、実用上問題のない程度であった
C:着色パターンの形成領域外(未露光部)に、残渣が著しく確認された。
評価結果を表3に示す。
実施例1において、染料を表3に示すように変更した以外は実施例1と同様にして、着色感放射線性組成物を調製し、実施例1と同様の評価を行った。
結果を表3に示す。
すなわち、ハロゲンイオン含有量を一定の範囲とすることで、装置汚染の回避および残渣の低減が図れることが明らかとなった。
色素としてトリフェニルメタン色素である色素単量体M2を用い、下記式(103)で示される構造の色素多量体である染料fを合成した。また、得られた染料fを後処理して染料g・hを合成した。以下、詳細な操作を説明する。
染料f5gをイソプロピルアルコール100mLに入れ、110℃に加熱し溶解した。次に、30℃まで冷却し、再沈し、ろ別後イオン交換水で洗浄、乾燥し、染料gを4g得た。イオンクロマトグラフィーにより得た、染料gのハロゲンイオン含有量は40ppmであった。
染料f5gをTHF15mLに入れ溶解した。次に、水30mL、アセトニトリル3mLの混合溶液に染料溶液を滴下することで、染料を再沈殿した。ろ別後イオン交換水で洗浄、乾燥し、染料hを4.6g得た。イオンクロマトグラフィーにより得た、染料hのハロゲンイオン含有量は400ppmであった。
色素としてアントラキノン色素である色素単量体M3を用い、以下のようにして式(104)で示される構造の染料iを合成した。
GPC測定より、染料iの重量平均分子量(Mw)は6,000、重量平均分子量/数平均分子量(Mw/Mn)の比は1.9であった。また、0.1N水酸化ナトリウム水溶液を用いた滴定により、染料iの酸価は42mgKOH/gであり、NMR測定により色素多量体が含有する重合性基量が、染料i(1g)に対し22mg/gであった。
色素単量体の種類を下記表4に示すようにしたこと以外は染料iの合成と同様にして、染料j〜uを合成した。
下記表4において、色素単量体M4〜M15、及び、式(105)〜式(116)は以下の通りである。
ここで、色素単量体M4及びM5はアントラキノン色素であり、色素単量体M6はスクアリリウム色素であり、色素単量体M7はシアニン色素であり、色素単量体M8はフタロシアニン色素であり、色素単量体M9はサブフタロシアニン色素であり、色素単量体M10はキノフタロン色素であり、色素単量体M11はキサンテン色素であり、色素単量体M12〜M15はアゾ色素である。
<着色感放射線性組成物の調製>
(顔料分散液(C.I.Pigment Blue15:6分散液)の調製)
以下のようにして、顔料分散液(C.I.Pigment Blue15:6分散液)を調製した。
即ち、C.I.Pigment Blue15:6(青色顔料;以下、「PB15:6」とも称する)を11.8質量部(平均粒子径55nm)、及び顔料分散剤BY−161(BYK社製)を5.9質量部、PGMEA82.3質量部からなる混合液を、ビーズミル(beads mill)(ジルコニアビーズ0.3mm径)により3時間混合・分散した。その後、さらに、減圧機構付き高圧分散機NANO−3000−10(日本ビーイーイー(株)製)を用いて、2000kg/cm3の圧力下で流量500g/minとして分散処理を行なった。この分散処理を10回繰り返し、顔料分散液として、C.I.Pigment Blue15:6分散液を得た。得られたC.I.Pigment Blue15:6分散液について、顔料の平均粒子径を動的光散乱法(Microtrac Nanotrac UPA−EX150(日機装社(Nikkiso Co., Ltd.)製))により測定したところ、平均粒子径は24nmであった。
下記の各成分を混合して分散、溶解し、着色組成物(着色感放射線性組成物)を得た。
〜着色組成物の成分〜
・シクロヘキサノン 1.133部
・下記アルカリ可溶性樹脂J1 1.009部
・ソルスパース20000(1%シクロヘキサン溶液、日本ルーブリゾール(株)製)
0.125部
・光重合開始剤I−1(BASF社製IRUGACURE OXE01;化合物名:1.2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)) 0.087部
・上記色素b(色素単量体M1) 0.183部
・顔料分散液(C.I.Pigment Blue15:6分散液) 2.418部
(固形分濃度17.70%、顔料濃度11.80%)
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(KAYARAD DPHA ;日本化薬製) 0.521部
・グリセロールプロポキシレート(1%シクロヘキサン溶液) 0.048部
(下塗り層用レジスト液の調製)
下記組成の成分を混合して溶解し、下塗り層用レジスト液を調製した。
〜下塗り層用レジスト液の組成〜
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 19.20部
・溶剤:乳酸エチル 36.67部
・アルカリ可溶性樹脂:メタクリル酸ベンジル/メタクリル酸/メタクリル酸−2−ヒドロキシエチル共重合体(モル比=60/22/18、重量平均分子量15,000 数平均分子量9,000)の40%PGMEA溶液 30.51部
・エチレン性不飽和二重結合含有化合物:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(KAYARAD DPHA ;日本化薬製) 12.20部
・重合禁止剤:p−メトキシフェノール 0.0061部
・フッ素系界面活性剤:F−475、DIC(株)製 0.83部
・光重合開始剤:トリハロメチルトリアジン系の光重合開始剤(TAZ−107、みどり化学社製) 0.586部
6inchシリコンウエハをオーブン中で200℃のもと30分加熱処理した。次いで、このシリコンウエハ上に、前記下塗り層用レジスト液を乾燥膜厚が1.5μmになるように塗布し、更に220℃のオーブン中で1時間加熱乾燥させて下塗り層を形成し、下塗り層付シリコンウエハ基板を得た。
上記で調製された着色組成物を、上記で作製された下塗り層付シリコンウエハの下塗り層上に塗布し、着色層(塗布膜)を形成した。そして、この塗布膜の乾燥膜厚が1μmになるように、100℃のホットプレートを用いて120秒間加熱処理(プリベーク)を行なった。
その後、照射された塗布膜が形成されているシリコンウエハ基板をスピン・シャワー現像機(DW−30型、(株)ケミトロニクス製)の水平回転テーブル上に載置し、CD−2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を用いて23℃で60秒間パドル現像を行ない、下塗り層付シリコンウエハの下塗り層上に着色パターンを形成した。
以上により、下塗り層付シリコンウエハの下塗り層上に着色パターン(カラーフィルタ)が設けられた構成の着色パターン付シリコンウエハを得た。
その後、測長SEM「S−9260A」(日立ハイテクノロジーズ(株)製)を用いて、着色パターンのサイズを測定した。
パターンサイズが1.2μmとなる露光量の着色パターンを用い、現像残渣の評価を行った。
・装置汚染
パターン形成後、装置腐食の有無を確認した。
A:装置腐食が確認されなかった
X:装置腐食が著しく確認された。
・残渣
上記着色パターンの形成領域外(未露光部)を走査型電子顕微鏡(SEM)(倍率10000倍)で観察し、下記評価基準に従って現像残渣を評価した。
〜現像残渣の評価基準〜
A:着色パターンの形成領域外(未露光部)には、残渣がまったく確認されなかった
B:着色パターンの形成領域外(未露光部)に、残渣がわずかに確認されたが、実用上問題のない程度であった
C:着色パターンの形成領域外(未露光部)に、残渣が著しく確認された。
評価結果を表5に示す。
実施例4において、着色組成物の調製に用いた色素bを、下記表5に示す色素に変更したこと、および顔料分散液を下記表5に示す顔料の分散液に変更した以外は実施例1と同様にして着色組成物を調製した。得られた着色組成物を用い、実施例1と同様にして着色パターン付シリコンウエハを作製し、評価を行った。
評価結果を下記表5に示す。
C.I.ピグメントレッド254(PR254)(平均粒子径26nm)
・赤色用顔料B
C.I.ピグメントレッド177(PR177)(平均粒子径28nm)
・緑色用顔料A
C.I.ピグメントグリーン36(PG36)(平均粒子径25nm)
・緑色用顔料B
C.I.ピグメントグリーン58(PG58)(平均粒子径30nm)
・黄色用顔料A
C.I.ピグメントイエロー139(PY139)(平均粒子径27nm)
・黄色用顔料B
C.I.ピグメントイエロー150(PY150)(平均粒子径26nm)
すなわち、ハロゲンイオン含有量を一定の範囲とすることで、装置汚染の回避および残渣の低減が図れることが明らかとなった。
Claims (17)
- (A)ハロゲンイオン含有量が10ppm〜1000ppmである染料、(B)重合性化合物及び(C)溶剤を含有する着色感放射線性組成物。
- 前記(A)染料が、色素多量体である請求項1に記載の着色感放射線性組成物。
- 前記(A)染料が、エチレン性不飽和結合を有する繰り返し単位を含む色素多量体である請求項1又は請求項2に記載の着色感放射線性組成物。
- 前記(A)染料が、ジピロメテン色素、アゾ色素、アントラキノン色素、トリフェニルメタン色素、キサンテン色素、シアニン色素、スクアリリウム色素、キノフタロン色素、フタロシアニン色素及びサブフタロシアニン色素からなる群より選択される少なくとも1種である請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物。
- 前記ハロゲンイオンが臭化物イオンである請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物。
- さらに(D)重合開始剤を含有する請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物。
- さらに顔料を含有する請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物。
- さらにアルカリ可溶性樹脂を含有する請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物。
- 前記(A)染料が、良溶媒に染料を溶解する溶解工程と、染料が溶解した溶液を貧溶媒へ滴下して染料を再沈殿させる再沈殿工程と、を経て得られる染料である請求項1〜請求項8のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物。
- 前記(A)染料が、加熱した溶媒に染料を溶解する溶解工程と、染料が溶解した溶液を冷却して染料を再沈殿させる再沈殿工程と、を経て得られる染料である請求項1〜請求項9のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物。
- 請求項1〜請求項10のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物を硬化して得られた着色硬化膜。
- 請求項11記載の着色硬化膜を備えたカラーフィルタ。
- 請求項12に記載のカラーフィルタを具備する固体撮像素子。
- 請求項12に記載のカラーフィルタを具備する液晶表示装置。
- 良溶媒に染料を溶解する溶解工程と、染料が溶解した溶液を貧溶媒へ滴下して染料を再沈殿させる再沈殿工程と、を含む(A)ハロゲンイオン含有量が10ppm〜1000ppmである染料の製造方法。
- 加熱した溶媒に染料を溶解する溶解工程と、染料が溶解した溶液を冷却して染料を再沈殿させる再沈殿工程と、を含む(A)ハロゲンイオン含有量が10ppm〜1000ppmである染料の製造方法。
- 支持体上に、請求項1〜請求項10のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物を塗布して着色感放射線性組成物層を形成する工程(A)と、
該工程(A)にて形成された着色感放射線性組成物層を、マスクを介して露光した後、現像してパターン状の着色硬化膜を形成する工程(B)と、
を有するカラーフィルタの製造方法。
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