JP2012198361A - Photosensitive composition, photosensitive film, method for forming permanent pattern, permanent pattern, and printed board - Google Patents

Photosensitive composition, photosensitive film, method for forming permanent pattern, permanent pattern, and printed board Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive composition which is excellent in all of resolution, embedding property, thermal shock resistance, and electric insulation; and a photosensitive film, a method for forming a permanent pattern, a permanent pattern, and a printed board using the photosensitive composition.SOLUTION: A photosensitive composition contains a dispersant, an inorganic filler, a binder, a polymerizable compound having two or more ethylenically unsaturated groups, a light polymerization initiator, and a heat crosslinking agent, in which the dispersant has a phosphoric ester group.

Description

本発明は、感光性組成物、感光性フィルム、永久パターン形成方法、永久パターン、及びプリント基板に関する。   The present invention relates to a photosensitive composition, a photosensitive film, a permanent pattern forming method, a permanent pattern, and a printed board.

近年の電子部品モジュールの小型化、及び高密度化に対応するため、ガラス繊維とエポキシ樹脂とから成る絶縁基板の表面に低抵抗金属である銅や金等を用いて薄膜形成法により配線導体層を形成した、いわゆるプリント基板が電子部品モジュールに用いられるようになってきている。また、このプリント基板も、より高密度配線化が可能なビルドアップ配線基板へ変わりつつある。   In order to cope with downsizing and higher density of electronic component modules in recent years, a wiring conductor layer is formed by a thin film formation method using copper or gold, which is a low resistance metal, on the surface of an insulating substrate made of glass fiber and epoxy resin. A so-called printed circuit board formed with the above has been used for electronic component modules. In addition, this printed board is also changing to a build-up wiring board capable of higher density wiring.

このようなビルドアップ配線基板は、例えば、ガラス繊維とエポキシ樹脂とから成る絶縁基板上に、熱硬化性樹脂から成るフィルムをラミネートし熱硬化して絶縁層を形成した後にこれに炭酸ガスレーザーで開口を穿設し、しかる後、絶縁層表面を化学粗化して無電解銅めっき法及び電解銅めっき法を用いて銅膜を被着形成することにより、開口内に導体層を形成するとともに絶縁層表面に配線導体層を形成し、更に、このような絶縁層と配線導体層の形成を繰返すことにより作製される。   For example, such a build-up wiring board is formed by laminating a film made of a thermosetting resin on an insulating board made of glass fiber and epoxy resin, and thermosetting the film to form an insulating layer. An opening is formed, and then the surface of the insulating layer is chemically roughened and a copper film is deposited using an electroless copper plating method and an electrolytic copper plating method, thereby forming a conductor layer in the opening and insulating. The wiring conductor layer is formed on the layer surface, and the insulating layer and the wiring conductor layer are repeatedly formed.

また、配線基板の表面には、配線導体層の酸化や腐蝕の防止及び配線基板に電子部品を実装する際の熱から絶縁層を保護するために厚みが20μm〜50μmのソルダーレジスト層が被着形成されている。このソルダーレジスト層は、一般に配線導体層及び絶縁層との密着性が良好なアルカリ可溶性光架橋性樹脂と、可撓性を有する樹脂とから成り、熱膨張係数を絶縁層や配線導体層の熱膨張係数と整合させるために無機充填剤を5質量%〜75質量%含有している。   In addition, a solder resist layer having a thickness of 20 μm to 50 μm is deposited on the surface of the wiring board in order to prevent oxidation and corrosion of the wiring conductor layer and to protect the insulating layer from heat when mounting electronic components on the wiring board. Is formed. This solder resist layer is generally composed of an alkali-soluble photocrosslinkable resin having good adhesion to the wiring conductor layer and the insulating layer, and a flexible resin, and has a coefficient of thermal expansion determined by the heat of the insulating layer and the wiring conductor layer. In order to match the expansion coefficient, the inorganic filler is contained in an amount of 5 to 75% by mass.

ソルダーレジスト層に用いられる材料には、耐熱衝撃性(TCT)、電気絶縁性(HAST)が求められるため、これらの改良が求められている。   Since the material used for the solder resist layer is required to have thermal shock resistance (TCT) and electrical insulation (HAST), these improvements are required.

耐熱衝撃性(TCT)、及び電気絶縁性(HAST)を向上させるために、無機充填剤を高充填する技術が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、無機充填剤を高充填すると塗布液が増粘して、塗布適性が十分でなく、スクリーン印刷を行うことができないという問題がある。また、場合によっては、無機充填剤が分散できず、かえって耐熱衝撃性(TCT)、及び電気絶縁性(HAST)を低下させる場合もある。更に、フィルム状にして配線導体層上にラミネートする場合に、フィルムの溶融粘度が高く、配線間への埋め込み性が十分ではないという問題がある。
In order to improve thermal shock resistance (TCT) and electrical insulation (HAST), a technique of highly filling an inorganic filler has been proposed (for example, see Patent Document 1).
However, when the inorganic filler is highly filled, the coating solution is thickened, so that the coating suitability is not sufficient and screen printing cannot be performed. In some cases, the inorganic filler cannot be dispersed, and instead the thermal shock resistance (TCT) and the electrical insulation (HAST) may be lowered. Further, when the film is laminated on the wiring conductor layer, there is a problem that the melt viscosity of the film is high and the embedding property between the wirings is not sufficient.

そこで、無機充填剤を分散剤により分散することが検討されている。例えば、エポキシ樹脂とシリカと水酸化アルミニウムとを含有する主剤と、酸無水物硬化剤と硬化促進剤とリン酸エステル系湿潤、分散剤とを含有し無機充填剤を含有しない硬化剤と、からなる注形用エポキシ樹脂組成物が提案されている(例えば、特許文献2参照)。
しかし、この提案の技術は、光により硬化が行われるものではなく、ソルダーレジストに用いる感光性組成物として必要な解像性が得られない。
Therefore, it has been studied to disperse the inorganic filler with a dispersant. For example, a main agent containing an epoxy resin, silica and aluminum hydroxide, a curing agent containing an acid anhydride curing agent, a curing accelerator, a phosphate ester type wetting and dispersing agent, and no inorganic filler. A casting epoxy resin composition has been proposed (see, for example, Patent Document 2).
However, this proposed technique is not cured by light, and the resolution required for the photosensitive composition used in the solder resist cannot be obtained.

また、ビスフェノール型エポキシ樹脂及び不飽和モノカルボン酸の反応物と飽和又は不飽和多塩基酸無水物とを反応させて得られる紫外線硬化樹脂と、多官能エポキシ樹脂と、分子内に残存する二重結合部位の一部をエポキシ化したポリブタジエンと、光硬化成分と熱硬化成分とを併せ持つエポキシ化合物と、光重合開始剤と、フィラーと、リン酸エステル系分散剤とを含有する多層プリント配線板用絶縁性樹脂組成物が提案されている(例えば、特許文献3参照)。この提案の技術では、前記エポキシ化合物として、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートが用いられている。
しかし、この提案の技術では、ソルダーレジストに用いる感光性組成物に要求される解像性が十分ではないという問題がある。
Also, an ultraviolet curable resin obtained by reacting a reaction product of a bisphenol type epoxy resin and an unsaturated monocarboxylic acid with a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride, a polyfunctional epoxy resin, and a double molecule remaining in the molecule For multilayer printed wiring boards containing polybutadiene with epoxidized part of the binding site, epoxy compound having both photocuring component and thermosetting component, photopolymerization initiator, filler, and phosphate ester dispersant An insulating resin composition has been proposed (see, for example, Patent Document 3). In the proposed technique, 3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate is used as the epoxy compound.
However, this proposed technique has a problem that the resolution required for the photosensitive composition used in the solder resist is not sufficient.

したがって、解像性、埋め込み性、耐熱衝撃性、及び電気絶縁性の全てが優れる感光性組成物、並びに、該感光性組成物を用いた感光性フィルム、永久パターン形成方法、永久パターン、及びプリント基板の提供が求められているのが現状である。   Accordingly, a photosensitive composition excellent in resolution, embedding property, thermal shock resistance, and electrical insulation, and a photosensitive film, a permanent pattern forming method, a permanent pattern, and a print using the photosensitive composition At present, the provision of a substrate is required.

特開2006−188622号公報JP 2006-188622 A 特許第3872038号公報Japanese Patent No. 3872038 特開平11−214813号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-214813

本発明は、従来における前記諸問題を解決し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明は、解像性、埋め込み性、耐熱衝撃性、及び電気絶縁性の全てが優れる感光性組成物、並びに、該感光性組成物を用いた感光性フィルム、永久パターン形成方法、永久パターン、及びプリント基板の提供を目的とする。   An object of the present invention is to solve the above-described problems and achieve the following objects. That is, the present invention relates to a photosensitive composition excellent in all of resolution, embedding property, thermal shock resistance, and electrical insulation, and a photosensitive film, a permanent pattern forming method, a permanent pattern using the photosensitive composition. An object is to provide a pattern and a printed circuit board.

前記課題を解決するための手段としては、以下の通りである。即ち、
<1> 分散剤と、無機充填剤と、バインダーと、エチレン性不飽和基を2以上有する重合性化合物と、光重合開始剤と、熱架橋剤とを含有し、
前記分散剤が、リン酸エステル基を有する分散剤であることを特徴とする感光性組成物である。
<2> 無機充填剤が、シリカである前記<1>に記載の感光性組成物である。
<3> リン酸エステル基を有する分散剤が、下記一般式(I)で表されるリン酸エステル及びその塩の少なくともいずれかである前記<1>から<2>のいずれかに記載の感光性組成物である。
ただし、前記一般式(I)中、Rは、カルボン酸エステル基及びウレタン基の少なくともいずれかを少なくとも1個、並びにエーテル酸素原子を少なくとも1個有する基を表す。nは、1〜2の整数である。nが2の場合、Rは、同一であってもよく、異なっていてもよい。
<4> 一般式(I)中のRが、下記一般式(II)で表される基である前記<3>に記載の感光性組成物である。
ただし、前記一般式(II)中、Rは、炭素数1〜4のアルキル基を表す。xは、4〜5の整数を表す。yは、2〜15の整数を表す。zは、3〜15の整数を表す。
<5> リン酸エステル基を有する分散剤が、1リン酸当量のエステル生成リン化合物と1当量〜2当量の下記一般式(III)で表される化合物とを反応させることによって製造されるリン酸エステル及びその塩の少なくともいずれかである前記<1>から<3>のいずれかに記載の感光性組成物である。
R−OH 一般式(III)
ただし、前記一般式(III)中、Rは、カルボン酸エステル基及びウレタン基の少なくともいずれかを少なくとも1個、並びにエーテル酸素原子を少なくとも1個有する基を表す。
<6> 一般式(III)中のRが、下記一般式(II)で表される基である前記<5>に記載の感光性組成物である。
ただし、前記一般式(II)中、Rは、炭素数1〜4のアルキル基を表す。xは、4〜5の整数を表す。yは、2〜15の整数を表す。zは、3〜15の整数を表す。
<7> リン酸エステル基を有する分散剤が、リン酸エステルの塩である前記<1>から<6>のいずれかに記載の感光性組成物である。
<8> バインダーが、酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂である前記<1>から<7>のいずれかに記載の感光性組成物である。
<9> 酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂が、下記一般式(G−1)で表される構造単位を有する前記<8>に記載の感光性組成物である。
ただし、前記一般式(G−1)中、R〜Rは、それぞれ独立に水素原子及び1価の有機基のいずれかを表し、Aは2価の有機残基を表し、Xは、酸素原子、硫黄原子、及び−N(R12)−のいずれかを表し、前記R12は、水素原子及び1価の有機基のいずれかを表す。
<10> 支持体と、該支持体上に感光層とを少なくとも有してなり、
前記感光層が、前記<1>から<9>のいずれかに記載の感光性組成物からなることを特徴とする感光性フィルムである。
<11> 前記<1>から<9>のいずれかに記載の感光性組成物により形成された感光層に対して露光を行うことを少なくとも含むことを特徴とする永久パターン形成方法である。
<12> 前記<11>に記載の永久パターン形成方法により形成されることを特徴とする永久パターンである。
<13> 前記<11>に記載の永久パターン形成方法により永久パターンが形成されることを特徴とするプリント基板である。
Means for solving the problems are as follows. That is,
<1> A dispersant, an inorganic filler, a binder, a polymerizable compound having two or more ethylenically unsaturated groups, a photopolymerization initiator, and a thermal crosslinker,
The photosensitive composition is characterized in that the dispersant is a dispersant having a phosphate group.
<2> The photosensitive composition according to <1>, wherein the inorganic filler is silica.
<3> The photosensitive agent according to any one of <1> to <2>, wherein the dispersant having a phosphate ester group is at least one of a phosphate ester represented by the following general formula (I) and a salt thereof. Composition.
However, in the general formula (I), R represents a group having at least one of a carboxylic acid ester group and a urethane group and at least one ether oxygen atom. n is an integer of 1-2. When n is 2, R may be the same or different.
<4> The photosensitive composition according to <3>, wherein R in the general formula (I) is a group represented by the following general formula (II).
In the general formula (II), R 1 represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. x represents an integer of 4 to 5. y represents an integer of 2 to 15. z represents an integer of 3 to 15.
<5> A phosphor having a phosphate group is produced by reacting a phosphoric acid equivalent of an ester-forming phosphorus compound with 1 to 2 equivalents of a compound represented by the following general formula (III). The photosensitive composition according to any one of <1> to <3>, which is at least one of an acid ester and a salt thereof.
R-OH general formula (III)
However, in the general formula (III), R represents a group having at least one of a carboxylic acid ester group and a urethane group and at least one ether oxygen atom.
<6> The photosensitive composition according to <5>, wherein R in the general formula (III) is a group represented by the following general formula (II).
In the general formula (II), R 1 represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. x represents an integer of 4 to 5. y represents an integer of 2 to 15. z represents an integer of 3 to 15.
<7> The photosensitive composition according to any one of <1> to <6>, wherein the dispersant having a phosphate ester group is a phosphate ester salt.
<8> The photosensitive composition according to any one of <1> to <7>, wherein the binder is an acid-modified ethylenically unsaturated group-containing polyurethane resin.
<9> The photosensitive composition according to <8>, wherein the acid-modified ethylenically unsaturated group-containing polyurethane resin has a structural unit represented by the following general formula (G-1).
However, in said general formula (G-1), R < 1 > -R < 3 > represents either a hydrogen atom and monovalent organic group each independently, A represents a bivalent organic residue, X is oxygen atom, a sulfur atom, and -N (R 12) - represents one of the R 12 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group.
<10> A support and at least a photosensitive layer on the support,
The photosensitive layer is a photosensitive film comprising the photosensitive composition according to any one of <1> to <9>.
<11> A method for forming a permanent pattern, comprising at least exposing a photosensitive layer formed of the photosensitive composition according to any one of <1> to <9>.
<12> A permanent pattern formed by the method for forming a permanent pattern according to <11>.
<13> A printed circuit board wherein a permanent pattern is formed by the method for forming a permanent pattern according to <11>.

本発明によると、従来における前記諸問題を解決し、前記目的を達成することができ、解像性、埋め込み性、耐熱衝撃性、及び電気絶縁性の全てが優れる感光性組成物、並びに、該感光性組成物を用いた感光性フィルム、永久パターン形成方法、永久パターン、及びプリント基板を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to solve the conventional problems and achieve the object, and a photosensitive composition excellent in resolution, embedding property, thermal shock resistance, and electrical insulation, and the The photosensitive film using the photosensitive composition, the permanent pattern formation method, a permanent pattern, and a printed circuit board can be provided.

(感光性組成物)
本発明の感光性組成物は、分散剤と、無機充填剤と、バインダーと、エチレン性不飽和基を2以上有する重合性化合物と、光重合開始剤と、熱架橋剤とを少なくとも含有し、更に必要に応じて、その他の成分を含有する。
(Photosensitive composition)
The photosensitive composition of the present invention contains at least a dispersant, an inorganic filler, a binder, a polymerizable compound having two or more ethylenically unsaturated groups, a photopolymerization initiator, and a thermal crosslinking agent, Furthermore, other components are contained as necessary.

<分散剤>
前記分散剤は、リン酸エステル基を有する分散剤である。
前記リン酸エステル基を有する分散剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、埋め込み性に優れる点で、下記一般式(I)で表されるリン酸エステル及びその塩の少なくともいずれかが好ましい。
<Dispersant>
The dispersant is a dispersant having a phosphate ester group.
The dispersant having a phosphate group is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. However, in terms of excellent embedding properties, the phosphate ester represented by the following general formula (I) and At least one of the salts is preferred.

−一般式(I)で表されるリン酸エステル及びその塩−
ただし、前記一般式(I)中、Rは、カルボン酸エステル基(−COO−)及びウレタン基(−NHCOO−)の少なくともいずれかを少なくとも1個、並びにエーテル酸素原子(−O−)を少なくとも1個有する基を表す。nは、1〜2の整数である。nが2の場合、Rは、同一であってもよく、異なっていてもよい。
-Phosphate ester represented by general formula (I) and its salt-
However, in the general formula (I), R represents at least one of a carboxylic acid ester group (—COO—) and a urethane group (—NHCOO—), and at least an ether oxygen atom (—O—). A group having one is represented. n is an integer of 1-2. When n is 2, R may be the same or different.

前記R基としては、例えば、ポリエーテル−ポリエステル類、ポリエーテル−ポリウレタン類、ポリエーテル−ポリエステル−ポリウレタン類などから末端水酸基を除いた基などが挙げられる。それぞれの基は、ブロックに又はランダムにアレンジされうる。製造が簡単であり、且つ広い相溶性を発揮しうる点から、ブロック構造が好ましい。   Examples of the R group include groups obtained by removing terminal hydroxyl groups from polyether-polyesters, polyether-polyurethanes, polyether-polyester-polyurethanes, and the like. Each group can be arranged in blocks or randomly. A block structure is preferable because it is easy to produce and can exhibit wide compatibility.

また、前記Rとしては、カルボン酸エステル基及びウレタン基の少なくともいずれかを含むオキシアルキル化一価アルコールの残基が好ましく、C1〜C4オキシアルキル化された、カルボン酸エステル基及びウレタン基の少なくともいずれかを含む一価アルコールの残基がより好ましく、カルボン酸エステル基及びウレタン基の少なくともいずれかを含むエトキシル化一価アルコールの残基が特に好ましい。   The R is preferably a residue of an oxyalkylated monohydric alcohol containing at least one of a carboxylic ester group and a urethane group, and is a C1-C4 oxyalkylated carboxylic acid ester group and a urethane group. A residue of a monohydric alcohol containing any one is more preferable, and a residue of an ethoxylated monohydric alcohol containing at least one of a carboxylic acid ester group and a urethane group is particularly preferable.

前記R基は、更に、例えば、カルボン酸アミド基、又は尿素基のような他の酸素及び窒素を含有する基をより少量含有することもできる。しかしながら、基本的には、そのような付加的な基は、前記R基1個あたり1個以下であることが好ましい。   The R group may further contain smaller amounts of other oxygen and nitrogen containing groups such as, for example, carboxylic acid amide groups or urea groups. Basically, however, it is preferred that there are no more such additional groups per R group.

前記カルボン酸エステル基及び/又はウレタン基の数に対する前記エーテル酸素原子の数の比はとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前者:後者=1:20〜20:1が好ましく、1:10〜10:1がより好ましく、1:5〜5:1が特に好ましい。   The ratio of the number of ether oxygen atoms to the number of carboxylic acid ester groups and / or urethane groups is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. 20: 1 is preferable, 1:10 to 10: 1 is more preferable, and 1: 5 to 5: 1 is particularly preferable.

前記R基の平均分子量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、200〜10,000が好ましく、300〜5,000がより好ましく、400〜2,000が特に好ましい。前記R基の平均分子量は、前記一般式(1)で表されるリン酸エステル又はその塩の製造において用いられる出発物質の分子量によって決定できる。また、最終物質から、ROH基の加水分解(hydrolytic cleavage)を行うことでも決定できる。   There is no restriction | limiting in particular as an average molecular weight of the said R group, Although it can select suitably according to the objective, 200-10,000 are preferable, 300-5,000 are more preferable, 400-2,000 are especially preferable. preferable. The average molecular weight of the R group can be determined by the molecular weight of the starting material used in the production of the phosphate ester represented by the general formula (1) or a salt thereof. It can also be determined from the final material by hydrolytic cleavage of the ROH group.

前記一般式(I)で表されるリン酸エステルとしては、前記R基において、エーテル酸素原子及びカルボン酸エステル基合計10個あたり1個以下のウレタン基があるリン酸エステルが好ましく、エーテル酸素原子及びカルボン酸エステル基合計20個あたり1個以下のウレタン基があるリン酸エステルがより好ましく、前記R基が実質的にウレタン基を含まないリン酸エステルが特に好ましい。   The phosphoric acid ester represented by the general formula (I) is preferably a phosphoric acid ester having 1 or less urethane groups per 10 ether oxygen atoms and carboxylic acid ester groups in total in the R group. In addition, a phosphate ester having 1 or less urethane group per 20 total carboxylic acid ester groups is more preferable, and a phosphate ester in which the R group does not substantially contain a urethane group is particularly preferable.

更には、前記Rは、下記一般式(II)で表される基であることが特に好ましい。
ただし、前記一般式(II)中、Rは、炭素数1〜4のアルキル基を表す。xは、4〜5の整数を表す。yは、2〜15の整数を表す。zは、3〜15の整数を表す。
Further, R is particularly preferably a group represented by the following general formula (II).
In the general formula (II), R 1 represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. x represents an integer of 4 to 5. y represents an integer of 2 to 15. z represents an integer of 3 to 15.

前記リン酸エステルの塩としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、アミン塩、ナトリウム塩、カリウム塩、リチウム塩、マグネシウム塩、カルシウム塩などが挙げられる。
これらの中でも、埋め込み性に優れる点で、マグネシウム塩、カルシウム塩が好ましく、マグネシウム塩とカルシウム塩との混合塩がより好ましい。
There is no restriction | limiting in particular as the salt of the said phosphate ester, According to the objective, it can select suitably, For example, amine salt, sodium salt, potassium salt, lithium salt, magnesium salt, calcium salt etc. are mentioned.
Among these, a magnesium salt and a calcium salt are preferable in terms of excellent embedding properties, and a mixed salt of a magnesium salt and a calcium salt is more preferable.

−一般式(I)で表されるリン酸エステル又はその塩の製造方法−
前記一般式(I)で表されるリン酸エステルは、例えば、1リン酸当量のエステル生成リン化合物と1当量〜2当量の下記一般式(III)で表される化合物とを反応させることによって製造できる。
R−OH 一般式(III)
ただし、前記一般式(III)中、Rは、カルボン酸エステル基(−COO−)及びウレタン基(−NHCOO−)の少なくともいずれかを少なくとも1個、並びにエーテル酸素原子(−O−)を少なくとも1個有する基を表す。
前記一般式(I)で表されるリン酸エステルにおいては、相違する前記R基が含まれることも可能である。即ち、前記一般式(I)中のnが2を表す場合は、前記R基は同じであってもよいし、相違していてもよい。
相違する前記R基を有する前記リン酸エステル又はその塩を製造する場合には、最初、モノエステルを製造するために1リン酸当量のエステル生成リン化合物を1当量の前記一般式(III)で表される化合物である第一化合物と反応させ、続いて該モノエステルと、追加当量の前記一般式(III)で表される化合物である第二化合物(前記Rは、第一化合物のものとは違う)とを反応させる。そうすることにより、相違する前記R基を有する前記リン酸エステルを製造することができる。また、1リン酸当量のエステル生成リン化合物と、前記一般式(III)で表される化合物であって前記Rが違った構造を有する種々の化合物の混合物とを反応させることでも、相違する前記R基を有する前記リン酸エステルを製造することができる。
-Manufacturing method of phosphate ester or its salt represented by general formula (I)-
The phosphoric acid ester represented by the general formula (I) is obtained by, for example, reacting an ester-forming phosphorus compound having 1 phosphoric acid equivalent with 1 to 2 equivalents of a compound represented by the following general formula (III). Can be manufactured.
R-OH general formula (III)
In the general formula (III), R represents at least one of a carboxylic acid ester group (—COO—) and a urethane group (—NHCOO—), and at least an ether oxygen atom (—O—). A group having one is represented.
In the phosphate ester represented by the general formula (I), different R groups may be included. That is, when n in the general formula (I) represents 2, the R groups may be the same or different.
When preparing the phosphate ester having a different R group or a salt thereof, first, to produce a monoester, 1 equivalent of an ester-forming phosphorus compound is converted into 1 equivalent of the general formula (III). Reaction with the first compound which is the compound represented, followed by the monoester and an additional equivalent of the second compound which is a compound represented by the general formula (III) Is different). By doing so, the phosphate ester having the different R group can be produced. Further, it is also different from reacting an ester-forming phosphorus compound of 1 phosphoric acid equivalent with a mixture of various compounds represented by the general formula (III) and having the structure in which R is different. The phosphate ester having an R group can be produced.

前記一般式(I)で表されるリン酸エステルの製造において、出発物質としてポリリン酸類を使用した場合、リン酸モノエステル類に加えて、様々な量のピロリン酸モノエステル類及びポリリン酸モノエステル類が一次生成物として生成する。特に、過剰の、より高く縮合されたポリリン酸類を使った場合そうである(ホウベン−ウェル、XII/2、147頁参照)。これらはしばしば粉末状にした固体中に存在する水や湿気と反応して一般式(I)で表されるリン酸エステルを生成する。   In the production of the phosphoric acid ester represented by the general formula (I), when polyphosphoric acids are used as starting materials, various amounts of pyrophosphoric monoesters and polyphosphoric monoesters in addition to the phosphoric monoesters Are produced as primary products. This is especially true when excess, higher condensed polyphosphates are used (see Hoven-Well, XII / 2, page 147). These often react with water or moisture present in a powdered solid to form a phosphate ester represented by the general formula (I).

−−エステル生成リン化合物−−
前記エステル生成リン化合物とは、ヒドロキシ化合物との反応によってリン酸エステルを生成することのできるリン化合物を指す。前記エステル生成リン化合物としては、例えば、オキシ塩化リン、五酸化リン(無水リン酸)、ポリリン酸、アセチルホスフェートなどが挙げられる。また、西独特許公開第2,726,854号明細書に記載されているものが挙げられる。前記エステル生成リン化合物としては、五酸化リン、ポリリン酸が好ましい。
--Ester-forming phosphorus compound--
The ester-generating phosphorus compound refers to a phosphorus compound that can generate a phosphate ester by reaction with a hydroxy compound. Examples of the ester-generating phosphorus compound include phosphorus oxychloride, phosphorus pentoxide (anhydrous phosphoric acid), polyphosphoric acid, acetyl phosphate, and the like. Moreover, what is described in the West German patent publication 2,726,854 specification is mentioned. As the ester-generating phosphorus compound, phosphorus pentoxide and polyphosphoric acid are preferable.

−−一般式(III)で表される化合物−−
前記一般式(III)で表される化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記Rが、前記一般式(II)で表される基であることが好ましい。
--Compound represented by formula (III)-
There is no restriction | limiting in particular as a compound represented by the said general formula (III), According to the objective, it can select suitably, However, The said R is group represented by the said general formula (II). preferable.

前記一般式(III)で表される化合物としては、ポリエーテル−ポリエステル類、ポリエーテル−ポリウレタン類、ポリエーテル−ポリエステル−ポリウレタン類などが挙げられる。それぞれの基は、ブロックに又はランダムにアレンジされうる。製造が簡単であり、且つ広い相溶性を発揮しうる点から、ブロック構造が好ましい。   Examples of the compound represented by the general formula (III) include polyether-polyesters, polyether-polyurethanes, and polyether-polyester-polyurethanes. Each group can be arranged in blocks or randomly. A block structure is preferable because it is easy to produce and can exhibit wide compatibility.

−−−ポリエーテル−ポリエステル類−−−
前記ポリエーテル−ポリエステル類としては、プロピオラクトン、バレロラクトン、カプロラクトン、これらの置換誘導体、これらの混合物のようなラクトンを出発原料とし、モノヒドロキシポリエーテルで重合することによって得られるポリエーテル−ポリエステル類が好ましい。
前記モノヒドロキシポリエーテルを得るためのアルコキシル化の出発原料としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、1〜30の炭素数を持つ一価アルコールを用いることができる。前記1〜30の炭素数を持つ一価アルコールとしては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、n−ブタノール、シクロヘキサノール、フェニルエタノール、ネオペンチルアルコール、フッ素化アルコールなどが挙げられる。
前記モノヒドロキシポリエーテルの分子量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、100〜5,000が好ましい
前記ラクトンの重合は、例えば、欧州特許公開第154,678号明細書に記載されているような公知の方法によって行なわれ、例えば、温度約80℃〜180℃でp−トルエンスルホン酸又はジブチルスズジラウレートによって開始される。
--- Polyether-Polyesters ---
Examples of the polyether-polyesters include polyether-polyesters obtained by polymerizing with monohydroxy polyethers using lactones such as propiolactone, valerolactone, caprolactone, substituted derivatives thereof, and mixtures thereof as starting materials. Are preferred.
The starting material for alkoxylation to obtain the monohydroxy polyether is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, a monohydric alcohol having 1 to 30 carbon atoms may be used. it can. Examples of the monohydric alcohol having 1 to 30 carbon atoms include methanol, ethanol, propanol, n-butanol, cyclohexanol, phenylethanol, neopentyl alcohol, and fluorinated alcohol.
The molecular weight of the monohydroxy polyether is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose, but is preferably 100 to 5,000. The polymerization of the lactone is, for example, European Patent Publication No. 154,678. It is carried out by known methods as described in the specification, for example initiated by p-toluenesulfonic acid or dibutyltin dilaurate at a temperature of about 80 ° C. to 180 ° C.

前記ポリエーテル−ポリエステル類の他の例としては、例えば、前記モノヒドロキシポリエーテルの存在下でグリコールと二塩基酸の縮合によってえられるものが挙げられる。ジヒドロキシ化合物類の生成は、対応する化学量論的な量の前記モノヒドロキシポリエーテルを使うことによって抑制することができる。
ポリエステル類を製造するために従来から使われている化合物類、例えば、西独特許公開第2,726,854号明細書記載のものが、ジオール類(グリコール)及び二塩基カルボン酸類(二塩基酸)として使用することができる。
ジ−、トリ−、又はポリアルキレングリコール類のようなエーテル基を含む二価アルコールを使う場合は、例えば、欧州特許公開第154,678号明細書に記載されているようなポリエーテル基を含まない出発アルコールを使用することもできる。
ほかの例として、分子量をコントロールするために前記モノヒドロキシポリエーテルの存在下でオキシカルボン酸の縮合によって製造できるポリエーテル−ポリエステル類がある。モノヒドロキシ−官能性ポリエステルのアルコキシル化によって得ることができるポリエステル−ポリエーテル類もまた使用できる。
Other examples of the polyether-polyesters include those obtained by condensation of glycol and dibasic acid in the presence of the monohydroxy polyether. The production of dihydroxy compounds can be suppressed by using corresponding stoichiometric amounts of the monohydroxy polyether.
Compounds conventionally used to produce polyesters, such as those described in West German Patent Publication No. 2,726,854, include diols (glycols) and dibasic carboxylic acids (dibasic acids). Can be used as
When dihydric alcohols containing ether groups such as di-, tri- or polyalkylene glycols are used, for example, polyether groups as described in EP 154,678 are included. It is also possible to use no starting alcohol.
Other examples include polyether-polyesters that can be prepared by condensation of oxycarboxylic acids in the presence of the monohydroxy polyether to control molecular weight. Polyester-polyethers obtainable by alkoxylation of monohydroxy-functional polyesters can also be used.

−−−ポリエーテル−ポリウレタン類、及びポリエーテル−ポリエステル−ポリウレタン類−−−
前記一般式(III)で表される化合物は、前記モノヒドロキシポリエーテルの存在下でジイソシアナート化合物のジヒドロキシ化合物への付加反応によって得ることのできるポリエーテル−ポリウレタン類、ポリエーテル−ポリエステル−ポリウレタン類であってもよい。反応は、例えば、以下に示す式にしたがって起こる。
CH(OCHCH10OH +
5OCN−(CH−NCO +
5HO−(CH−OH →
CH(OCHCH10[OOCNH−(CH−NHCOO−(CHOH
--- Polyether-polyurethanes and polyether-polyester-polyurethanes ---
The compound represented by the general formula (III) is a polyether-polyurethane or polyether-polyester-polyurethane that can be obtained by addition reaction of a diisocyanate compound to a dihydroxy compound in the presence of the monohydroxy polyether. It may be a kind. The reaction occurs, for example, according to the formula shown below.
CH 3 (OCH 2 CH 2 ) 10 OH +
5OCN— (CH 2 ) 6 —NCO +
5HO— (CH 2 ) 4 —OH →
CH 3 (OCH 2 CH 2) 10 [OOCNH- (CH 2) 6 -NHCOO- (CH 2) 4] 5 OH

上記のようなウレタン基含有化合物類を生成するためのジヒドロキシ化合物としては、例えば、欧州特許公開第270,126号明細書に記載されているように、ジオール類、好ましくは炭素数2〜12のジオール類が挙げられる。また、好ましくは分子量2,000までのポリオキシアルキレングリコール類及び/又はジヒドロキシ官能性ポリエステル類が挙げられる。   Examples of the dihydroxy compound for producing the urethane group-containing compounds as described above include diols, preferably those having 2 to 12 carbon atoms, as described in EP 270,126, for example. Diols are mentioned. Also preferred are polyoxyalkylene glycols and / or dihydroxy functional polyesters having a molecular weight of up to 2,000.

ジ−、トリ−又はポリアルキレングリコール類のようなエーテル基を含むジヒドロキシ化合物類を使用する場合は、前記モノヒドロキシポリエーテルの代わりに、出発アルコール類としては、モノヒドロキシ官能性ポリエステル、好ましくは分子量が2,000以下のものである。また、他の脂肪族一価アルコール、環状脂肪族一価アルコール、芳香族一価アルコール等が挙げられ、好ましくは1〜20の炭素数のものである。   When dihydroxy compounds containing an ether group such as di-, tri- or polyalkylene glycols are used, instead of the monohydroxy polyether, the starting alcohols may be monohydroxy functional polyesters, preferably molecular weights. Is 2,000 or less. In addition, other aliphatic monohydric alcohols, cycloaliphatic monohydric alcohols, aromatic monohydric alcohols and the like can be mentioned, and those having 1 to 20 carbon atoms are preferable.

前記ジイソシアナート化合物としては、例えば、炭素数4〜15の脂肪族ジイソシアナート化合物、炭素数4〜15の環状脂肪族ジイソシアナート化合物、炭素数4〜15の芳香族ジイソシアナート化合物などが挙げられる。
前記ジイソシアナート化合物としては、具体的には例えば、テトラメチレンジイソシアナート、ヘキサメチレンジイソシアナート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアナート、ドデカメチレンジイソシアナート、イソホロンジイソシアナート、トルエンジイソシアナート、ジフェニルメタンジイソシアナート、メチレン−ビス−(4−シクロヘキシルジイソシアナート)、1,4−シクロヘキサン−ビス−(メチルイソシアナート)などが挙げられる。
Examples of the diisocyanate compound include aliphatic diisocyanate compounds having 4 to 15 carbon atoms, cyclic aliphatic diisocyanate compounds having 4 to 15 carbon atoms, and aromatic diisocyanate compounds having 4 to 15 carbon atoms. Is mentioned.
Specific examples of the diisocyanate compound include tetramethylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, dodecamethylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, toluene diisocyanate, and diphenylmethane. Diisocyanate, methylene-bis- (4-cyclohexyl diisocyanate), 1,4-cyclohexane-bis- (methyl isocyanate) and the like can be mentioned.

−−反応−−
前記エステル生成リン化合物と前記一般式(III)で表される化合物との反応は、溶媒なしで温度約100℃までで行なわれることが好ましい。しかしながら該反応は、例えば、欧州特許公開第193,019号明細書に記載されているように適当な不活性溶媒の存在下で行うこともできる。
--Reaction--
The reaction between the ester-forming phosphorus compound and the compound represented by the general formula (III) is preferably carried out at a temperature up to about 100 ° C. without a solvent. However, the reaction can also be carried out in the presence of a suitable inert solvent, for example as described in EP 193 019.

−−リン酸エステルの塩−−
前記リン酸エステルの塩は、前記リン酸エステルに残存する酸基を介して生成することができる。
前記リン酸エステルの塩は、有機塩基、無機塩基などとの中和によるエステル化の反応により得ることができる。
前記有機塩基としては、例えば、第一アミン類、第二アミン類、第三アミン類、及び米国特許第4,698,099号明細書に記載されているようなアミノアルコール類などが挙げられる。
前記無機塩基としては、例えば、NH、NaOH、KOH、LiOH、Mg(OH)、Ca(OH)などが挙げられる。
--Phosphate salt--
The phosphate ester salt can be generated via an acid group remaining in the phosphate ester.
The phosphate ester salt can be obtained by an esterification reaction by neutralization with an organic base, an inorganic base or the like.
Examples of the organic base include primary amines, secondary amines, tertiary amines, and amino alcohols as described in US Pat. No. 4,698,099.
Examples of the inorganic base include NH 3 , NaOH, KOH, LiOH, Mg (OH) 2 , and Ca (OH) 2 .

前記リン酸エステル及びその塩としては、市販品を用いることができる。前記市販品としては、ディスパーBYK−103、ディスパーBYK−110、ディスパーBYK−111、ディスパーBYK−180(いずれも、ビックケミー社製)、ソルスパース41000(ルーブリゾール社製)、Efka−8512(BASF社製)などが挙げられる。   A commercial item can be used as said phosphate ester and its salt. Examples of the commercially available products include Disper BYK-103, Disper BYK-110, Disper BYK-111, Disper BYK-180 (all manufactured by Big Chemie), Solsperse 41000 (manufactured by Lubrizol), Efka-8512 (manufactured by BASF) ) And the like.

前記リン酸エステル基を有する分散剤の前記無機充填剤に対する含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記無機充填剤の表面積1mあたり0.1mg〜10mgが好ましく、1mg〜3mgがより好ましい。
前記含有量が、0.1mg未満であると、無機充填剤の分散性が不十分となることがあり、10mgを超えると、フィルムのタック性が悪化することがある。一方、前記含有量が、前記より好ましい範囲内であると、分散性とタック性の両立という点で有利である。
There is no restriction | limiting in particular as content with respect to the said inorganic filler of the dispersing agent which has the said phosphate ester group, Although it can select suitably according to the objective, 0.1 mg-per 1 m < 2 > of surface area of the said inorganic filler 10 mg is preferable and 1 mg to 3 mg is more preferable.
When the content is less than 0.1 mg, the dispersibility of the inorganic filler may be insufficient, and when it exceeds 10 mg, the tackiness of the film may be deteriorated. On the other hand, when the content is within the more preferable range, it is advantageous in terms of both dispersibility and tackiness.

<無機充填剤>
前記無機充填剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、シリカなどが挙げられる。前記無機充填剤がシリカであることにより、硬化膜の耐熱性を向上させるとともに、分散性が良好となり、感光性組成物の粘度を好適な範囲に維持することができ、好適な塗布適性が得られる。
<Inorganic filler>
There is no restriction | limiting in particular as said inorganic filler, According to the objective, it can select suitably, For example, a silica etc. are mentioned. When the inorganic filler is silica, the heat resistance of the cured film is improved, the dispersibility is improved, the viscosity of the photosensitive composition can be maintained in a suitable range, and suitable coating suitability is obtained. It is done.

前記シリカとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択でき、例えば、気相法シリカ、結晶性シリカ、溶融シリカなどが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said silica, According to the objective, it can select suitably, For example, vapor phase method silica, crystalline silica, fused silica etc. are mentioned.

前記無機充填剤の平均粒径(d50)としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、0.05μm〜5μmが好ましく、0.1μm〜2μmがより好ましく、0.2μm〜1μmが特に好ましい。
前記無機充填剤の平均粒径(d50)が、0.05μm未満であると、塗布粘度が高くなってしまうことがあり、5μmを超えると、平滑性を維持することができないことがある。一方、前記無機充填剤の平均粒径(d50)が、前記特に好ましい範囲内であると、塗布粘度と硬化膜の平滑性や耐熱性の点で有利である。
なお、前記無機充填剤の平均粒径(d50)は、積算(累積)重量百分率で表したときの積算値50%の粒度で定義されるもので、d50(D50)などと定義されるものであり、例えば、ダイナミック光散乱光度計(商品名DLS7000、大塚電子社製)を用いて、測定原理を動的光散乱法とし、サイズ分布解析手法をキュムラント法及び/又はヒストグラム法として、測定することができる。
There is no restriction | limiting in particular as an average particle diameter (d50) of the said inorganic filler, Although it can select suitably according to the objective, 0.05 micrometer-5 micrometers are preferable, 0.1 micrometer-2 micrometers are more preferable, and 0.1. 2 μm to 1 μm is particularly preferable.
When the average particle diameter (d50) of the inorganic filler is less than 0.05 μm, the coating viscosity may be high, and when it exceeds 5 μm, the smoothness may not be maintained. On the other hand, when the average particle diameter (d50) of the inorganic filler is within the particularly preferable range, it is advantageous in terms of coating viscosity, smoothness of a cured film and heat resistance.
The average particle size (d50) of the inorganic filler is defined as a particle size of an integrated value of 50% when expressed as an integrated (cumulative) weight percentage, and is defined as d50 (D 50 ) or the like. For example, using a dynamic light scattering photometer (trade name DLS7000, manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.), the measurement principle is a dynamic light scattering method, and the size distribution analysis method is a cumulant method and / or a histogram method. be able to.

前記無機充填剤の感光性組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、30質量%以上が好ましく、30質量%〜95質量%がより好ましく、35質量%〜80質量%が特に好ましい。
前記含有量が、30質量%未満であると、耐熱衝撃性、及びはんだ耐熱性が不十分となることがある。前記含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、分散性とTCT特性及びはんだ耐熱性のバランスを維持することができる点で有利である。
There is no restriction | limiting in particular as content in the photosensitive composition of the said inorganic filler, Although it can select suitably according to the objective, 30 mass% or more is preferable, 30 mass%-95 mass% are more preferable, 35% by mass to 80% by mass is particularly preferable.
If the content is less than 30% by mass, the thermal shock resistance and solder heat resistance may be insufficient. When the content is within the particularly preferable range, it is advantageous in that a balance between dispersibility, TCT characteristics, and solder heat resistance can be maintained.

<バインダー>
前記バインダーとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂、酸変性エチレン性不飽和基含有エポキシ樹脂、エチレン性不飽和基及びカルボキシル基を含有するアクリル樹脂、ポリイミド前駆体などが挙げられる。これらの中でも、酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂が、埋め込み性、電気絶縁性、及び耐熱衝撃性により優れる点で好ましい。これは、酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂とリン酸エステル基を有する分散剤との相溶性が良いことが影響していると考えられる。
<Binder>
The binder is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include acid-modified ethylenically unsaturated group-containing polyurethane resins, acid-modified ethylenically unsaturated group-containing epoxy resins, and ethylenically unsaturated groups. And an acrylic resin containing a carboxyl group and a polyimide precursor. Among these, an acid-modified ethylenically unsaturated group-containing polyurethane resin is preferable in that it is excellent in embedding property, electrical insulating property, and thermal shock resistance. This is considered to be because the compatibility between the acid-modified ethylenically unsaturated group-containing polyurethane resin and the dispersant having a phosphate group is good.

−酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂−
前記酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂としては、酸基であるカルボキシル基とエチレン性不飽和基とを有するポリウレタン樹脂であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
前記酸基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、カルボキシル基が挙げられる。
前記エチレン性不飽和基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ビニル基などが挙げられる。
前記エチレン性不飽和基を有する官能基としては、例えば、アクリロイル基、メタクリロイル基、アクリルアミド基、メタクリルアミド基、ビニルフェニル基、ビニルエステル基、ビニルエーテル基、アリルエーテル基、アリルエステル基などが挙げられる。
-Acid-modified ethylenically unsaturated group-containing polyurethane resin-
The acid-modified ethylenically unsaturated group-containing polyurethane resin is not particularly limited as long as it is a polyurethane resin having a carboxyl group that is an acid group and an ethylenically unsaturated group, and can be appropriately selected according to the purpose. .
There is no restriction | limiting in particular as said acid group, According to the objective, it can select suitably, For example, a carboxyl group is mentioned.
There is no restriction | limiting in particular as said ethylenically unsaturated group, According to the objective, it can select suitably, For example, a vinyl group etc. are mentioned.
Examples of the functional group having an ethylenically unsaturated group include acryloyl group, methacryloyl group, acrylamide group, methacrylamide group, vinylphenyl group, vinyl ester group, vinyl ether group, allyl ether group, and allyl ester group. .

前記酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂としては、例えば、(i)側鎖にエチレン性不飽和基を有するポリウレタン樹脂、(ii)カルボキシル基含有ポリウレタンと、分子中にエポキシ基とエチレン性不飽和基を有する化合物とを反応して得られるポリウレタン樹脂などが挙げられる。   Examples of the acid-modified ethylenically unsaturated group-containing polyurethane resin include (i) a polyurethane resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain, (ii) a carboxyl group-containing polyurethane, and an epoxy group and an ethylenically unsaturated group in the molecule. Examples thereof include a polyurethane resin obtained by reacting with a compound having a saturated group.

−−(i)側鎖にエチレン性不飽和基を有するポリウレタン樹脂−−
前記側鎖にエチレン性不飽和基を有するポリウレタン樹脂としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、その側鎖に、下記一般式(1)〜(3)で表される官能基のうち少なくとも1つを有するものが挙げられる。
-(I) Polyurethane resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain--
There is no restriction | limiting in particular as a polyurethane resin which has an ethylenically unsaturated group in the said side chain, According to the objective, it can select suitably, For example, the following general formula (1)-(3) is given to the side chain. What has at least 1 among the functional groups represented is mentioned.

前記一般式(1)中、R〜Rは、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表す。
前記Rとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、水素原子、置換基を有してもよいアルキル基などが挙げられる。これらの中でも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、メチル基が好ましい。
また、前記R及びRとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、それぞれ独立に、例えば、水素原子、ハロゲン原子、アミノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルアミノ基、置換基を有してもよいアリールアミノ基、置換基を有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を有してもよいアリールスルホニル基などが挙げられる。これらの中でも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基が好ましい。
In the general formula (1), R 1 to R 3 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent organic group.
Examples of R 1, is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose, for example, a hydrogen atom, an alkyl group which may have a substituent. Among these, a hydrogen atom and a methyl group are preferable in terms of high radical reactivity.
The R 2 and R 3 are not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose. For example, each of R 2 and R 3 is independently a hydrogen atom, a halogen atom, an amino group, a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, a sulfo group. Group, nitro group, cyano group, alkyl group which may have a substituent, aryl group which may have a substituent, alkoxy group which may have a substituent, aryl which may have a substituent An oxy group, an alkylamino group which may have a substituent, an arylamino group which may have a substituent, an alkylsulfonyl group which may have a substituent, an arylsulfonyl group which may have a substituent Etc. Among these, a hydrogen atom, a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, an alkyl group which may have a substituent, and an aryl group which may have a substituent are preferable because of high radical reactivity.

前記一般式(1)中、Xは、酸素原子、硫黄原子、又は−N(R12)−を表し、前記R12は、水素原子、又は1価の有機基を表す。前記R12としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、置換基を有してもよいアルキル基などが挙げられる。これらの中でも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、メチル基、エチル基、イソプロピル基が好ましい。 In the general formula (1), X represents an oxygen atom, a sulfur atom, or —N (R 12 ) —, and R 12 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group. R 12 is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include an alkyl group which may have a substituent. Among these, a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, and an isopropyl group are preferable because of high radical reactivity.

ここで、導入し得る前記置換基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アルコキシ基、アリーロキシ基、ハロゲン原子、アミノ基、アルキルアミノ基、アリールアミノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、アミド基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基などが挙げられる。   Here, the substituent that can be introduced is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an aryl group, an alkoxy group, an aryloxy group, and a halogen atom. Amino group, alkylamino group, arylamino group, carboxyl group, alkoxycarbonyl group, sulfo group, nitro group, cyano group, amide group, alkylsulfonyl group, arylsulfonyl group and the like.

前記一般式(2)中、R〜Rは、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表す。前記R〜Rとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、水素原子、ハロゲン原子、アミノ基、ジアルキルアミノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルアミノ基、置換基を有してもよいアリールアミノ基、置換基を有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を有してもよいアリールスルホニル基などが挙げられる。これらの中でも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基が好ましい。 In the general formula (2), R 4 to R 8 each independently represents a hydrogen atom or a monovalent organic group. The R 4 to R 8 are not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include a hydrogen atom, a halogen atom, an amino group, a dialkylamino group, a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, a sulfo group, Nitro group, cyano group, alkyl group which may have a substituent, aryl group which may have a substituent, alkoxy group which may have a substituent, aryloxy group which may have a substituent An alkylamino group which may have a substituent, an arylamino group which may have a substituent, an alkylsulfonyl group which may have a substituent, an arylsulfonyl group which may have a substituent, and the like Can be mentioned. Among these, a hydrogen atom, a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, an alkyl group which may have a substituent, and an aryl group which may have a substituent are preferable because of high radical reactivity.

導入し得る置換基としては、前記一般式(1)と同様のものなどが挙げられる。また、Yは、酸素原子、硫黄原子、又は−N(R12)−を表す。前記R12は、前記一般式(1)のR12の場合と同義であり、好ましい例も同様である。 Examples of the substituent that can be introduced include the same as those in the general formula (1). Y represents an oxygen atom, a sulfur atom, or —N (R 12 ) —. Wherein R 12 has the same meaning as R 12 in the general formula (1), and preferred examples are also the same.

前記一般式(3)中、R〜R11は、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表す。
前記Rとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、水素原子又は置換基を有してもよいアルキル基などが挙げられる。これらの中でも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、メチル基が好ましい。
前記R10及びR11としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、水素原子、ハロゲン原子、アミノ基、ジアルキルアミノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルアミノ基、置換基を有してもよいアリールアミノ基、置換基を有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を有してもよいアリールスルホニル基などが挙げられる。これらの中でも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基が好ましい。
In the general formula (3), R 9 to R 11 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent organic group.
Examples of R 9, is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose, for example, an alkyl group which may have a hydrogen atom or a substituent. Among these, a hydrogen atom and a methyl group are preferable in terms of high radical reactivity.
R 10 and R 11 are not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include a hydrogen atom, a halogen atom, an amino group, a dialkylamino group, a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, a sulfo group, Nitro group, cyano group, alkyl group which may have a substituent, aryl group which may have a substituent, alkoxy group which may have a substituent, aryloxy group which may have a substituent An alkylamino group which may have a substituent, an arylamino group which may have a substituent, an alkylsulfonyl group which may have a substituent, an arylsulfonyl group which may have a substituent, and the like Can be mentioned. Among these, a hydrogen atom, a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, an alkyl group which may have a substituent, and an aryl group which may have a substituent are preferable because of high radical reactivity.

ここで、導入し得る置換基としては、前記一般式(1)と同様のものなどが例示される。また、前記一般式(3)中、Zは、酸素原子、硫黄原子、−N(R13)−、又は置換基を有してもよいフェニレン基を表す。前記R13としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、置換基を有してもよいアルキル基などが挙げられる。これらの中でも、ラジカル反応性が高い点で、メチル基、エチル基、イソプロピル基が好ましい。 Here, examples of the substituent that can be introduced include those similar to those in the general formula (1). Moreover, in the said General formula (3), Z represents the phenylene group which may have an oxygen atom, a sulfur atom, -N (R < 13 >)-, or a substituent. R 13 is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include an alkyl group which may have a substituent. Among these, a methyl group, an ethyl group, and an isopropyl group are preferable in terms of high radical reactivity.

前記側鎖にエチレン性不飽和基を有するポリウレタン樹脂としては、下記一般式(G−1)で表される構造単位を有することが、解像性、絶縁信頼性の点で好ましい。
ただし、前記一般式(G−1)中、R〜Rは、それぞれ独立に水素原子及び1価の有機基のいずれかを表し、Aは2価の有機残基を表し、Xは、酸素原子、硫黄原子、及び−N(R12)−のいずれかを表し、前記R12は、水素原子及び1価の有機基のいずれかを表す。
The polyurethane resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain preferably has a structural unit represented by the following general formula (G-1) from the viewpoint of resolution and insulation reliability.
However, in said general formula (G-1), R < 1 > -R < 3 > represents either a hydrogen atom and monovalent organic group each independently, A represents a bivalent organic residue, X is oxygen atom, a sulfur atom, and -N (R 12) - represents one of the R 12 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group.

前記一般式(G−1)中のRの1価の有機基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、置換基を有してもよいアルキル基、などが挙げられる。前記一般式(G−1)中のRとしては、水素原子、メチル基が好ましい。 Examples of the monovalent organic group R 1 in the general formula (G-1), not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose, e.g., an alkyl group which may have a substituent, Etc. R 1 in the general formula (G-1) is preferably a hydrogen atom or a methyl group.

前記一般式(G−1)中のR、及びRの1価の有機基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、置換基を有してもよいアルキル基、などが挙げられる。
前記一般式(G−1)中のR、及びRとしては、水素原子が好ましい。
The monovalent organic group of R 2 and R 3 in the general formula (G-1) is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, the monovalent organic group may have a substituent. And a good alkyl group.
As R < 2 > and R < 3 > in the said general formula (G-1), a hydrogen atom is preferable.

前記一般式(G−1)中のAとしては、2価の有機残基であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、置換基を有していてもよい2価のアルキレン基などが挙げられる。前記2価の有機残基としては、具体的には、例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基などが挙げられる。これらの中でもメチレン基が好ましい。   A in the general formula (G-1) is not particularly limited as long as it is a divalent organic residue, and can be appropriately selected according to the purpose. For example, A may have a substituent. Examples thereof include a good divalent alkylene group. Specific examples of the divalent organic residue include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, and a butylene group. Among these, a methylene group is preferable.

前記一般式(G−1)中のXとしては、酸素原子が好ましい。   X in the general formula (G-1) is preferably an oxygen atom.

前記一般式(G−1)中のR12の1価の有機基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、置換基を有してもよいアルキル基、などが挙げられる。これらの中でも、メチル基、エチル基、イソプロピル基が好ましい。 The monovalent organic group is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose, e.g., an alkyl group which may have a substituent R 12 in the general formula (G-1), Etc. Among these, a methyl group, an ethyl group, and an isopropyl group are preferable.

前記酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂に、前記一般式(G−1)で表される構造単位を導入する方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、ジイソシアネート化合物と、下記一般式(G)で表される化合物とを反応させる方法が挙げられる。
ただし、前記一般式(G)中、R〜R、A、及びXは、前記一般式(G−1)中のR〜R、A、及びXと同じである。
The method for introducing the structural unit represented by the general formula (G-1) into the acid-modified ethylenically unsaturated group-containing polyurethane resin is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. And a method of reacting a diisocyanate compound with a compound represented by the following general formula (G).
In the general formula (G), R 1 ~R 3 , A, and X are the same as R 1 to R 3, A, and X in the general formula (G-1).

前記側鎖にエチレン性不飽和基を有するポリウレタン樹脂は、下記一般式(4)で表されるジイソシアネート化合物の少なくとも1種と、下記一般式(5)で表されるジオール化合物の少なくとも1種と、の反応生成物で表される構造単位を基本骨格とするポリウレタン樹脂である。   The polyurethane resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain includes at least one diisocyanate compound represented by the following general formula (4) and at least one diol compound represented by the following general formula (5): A polyurethane resin having a structural unit represented by the reaction product as a basic skeleton.

OCN−X−NCO ・・・一般式(4)
HO−Y−OH ・・・一般式(5)
前記一般式(4)及び前記一般式(5)中、X、Yは、それぞれ独立に2価の有機残基を表す。
OCN-X 0 -NCO: General formula (4)
HO-Y 0 -OH ··· the general formula (5)
In the general formula (4) and the general formula (5), X 0 and Y 0 each independently represent a divalent organic residue.

前記一般式(4)で表されるジイソシアネート化合物、又は、前記一般式(5)で表されるジオール化合物の少なくともどちらか一方が、前記一般式(1)〜(3)で表される基のうち少なくとも1つを有していれば、該ジイソシアネート化合物と該ジオール化合物との反応生成物として、側鎖に前記一般式(1)〜(3)で表される基が導入されたポリウレタン樹脂が生成される。前記方法によれば、ポリウレタン樹脂の反応生成後に所望の側鎖を置換及び/又は導入するよりも、側鎖に前記一般式(1)〜(3)で表される基が導入されたポリウレタン樹脂を容易に製造することができる。   At least one of the diisocyanate compound represented by the general formula (4) and the diol compound represented by the general formula (5) is a group represented by the general formulas (1) to (3). If it has at least one of them, a polyurethane resin in which the groups represented by the general formulas (1) to (3) are introduced into the side chain as a reaction product of the diisocyanate compound and the diol compound Generated. According to the method, rather than substituting and / or introducing a desired side chain after reaction of the polyurethane resin, the polyurethane resin in which the groups represented by the general formulas (1) to (3) are introduced into the side chain Can be easily manufactured.

前記一般式(4)で表されるジイソシアネート化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、トリイソシアネート化合物とエチレン性不飽和基を有する単官能のアルコール又は単官能のアミン化合物1当量とを付加反応させることにより得ることできるジイソシアネート化合物などが挙げられる。   The diisocyanate compound represented by the general formula (4) is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, a monofunctional alcohol or a monofunctional alcohol having a triisocyanate compound and an ethylenically unsaturated group may be used. Examples thereof include diisocyanate compounds that can be obtained by addition reaction with 1 equivalent of a functional amine compound.

前記トリイソシアネート化合物としては、特に制限されるものではなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005−250438号公報の段落「0034」〜「0035」に記載された化合物などが挙げられる。   The triisocyanate compound is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose. Examples thereof include compounds described in paragraphs “0034” to “0035” of JP-A-2005-250438. Is mentioned.

前記エチレン性不飽和基を有する単官能のアルコール又は前記単官能のアミン化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005−250438号公報の段落「0037」〜「0040」に記載された化合物などが挙げられる。   The monofunctional alcohol having the ethylenically unsaturated group or the monofunctional amine compound is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, paragraph “Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-250438” And compounds described in “0037” to “0040”.

ここで、前記ポリウレタン樹脂の側鎖にエチレン性不飽和基を導入する方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、ポリウレタン樹脂製造の原料として、側鎖にエチレン性不飽和基を含有するジイソシアネート化合物を用いる方法が好ましい。前記ジイソシアネート化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、トリイソシアネート化合物とエチレン性不飽和基を有する単官能のアルコール又は単官能のアミン化合物1当量とを付加反応させることにより得ることできるジイソシアネート化合物であって、例えば、特開2005−250438号公報の段落「0042」〜「0049」に記載された側鎖にエチレン性不飽和基を有する化合物などが挙げられる。   Here, the method for introducing an ethylenically unsaturated group into the side chain of the polyurethane resin is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. A method using a diisocyanate compound containing a polymerizable unsaturated group is preferred. There is no restriction | limiting in particular as said diisocyanate compound, According to the objective, it can select suitably, A triisocyanate compound and the monofunctional alcohol which has an ethylenically unsaturated group, or 1 equivalent of monofunctional amine compounds are made to react. The diisocyanate compound which can be obtained by this, Comprising: The compound etc. which have an ethylenically unsaturated group in the side chain described in Paragraph "0042"-"0049" of Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-250438 are mentioned, for example.

前記側鎖にエチレン性不飽和基を有するポリウレタン樹脂は、感光性組成物中の他の成分との相溶性を向上させ、保存安定性を向上させるといった観点から、前記エチレン性不飽和基を含有するジイソシアネート化合物以外のジイソシアネート化合物を共重合させることもできる。   The polyurethane resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain contains the ethylenically unsaturated group from the viewpoint of improving compatibility with other components in the photosensitive composition and improving storage stability. It is also possible to copolymerize diisocyanate compounds other than the diisocyanate compound.

前記共重合させるジイソシアネート化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することでき、例えば、下記一般式(6)で表されるジイソシアネート化合物などが挙げられる。
OCN−L−NCO ・・・一般式(6)
前記一般式(6)中、Lは、置換基(例えば、アルキル基、アラルキル基、アリール基、アルコキシ基、及びハロゲノ基のいずれかが好ましい。)を有していてもよい2価の脂肪族又は芳香族炭化水素基を表す。必要に応じて、Lは、イソシアネート基と反応しない他の官能基、例えば、エステル基、ウレタン基、アミド基、ウレイド基のいずれかを有していてもよい。
The diisocyanate compound to be copolymerized is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include a diisocyanate compound represented by the following general formula (6).
OCN-L 1 -NCO ··· general formula (6)
In the general formula (6), L 1 may have a substituent (for example, any one of an alkyl group, an aralkyl group, an aryl group, an alkoxy group, and a halogeno group is preferable). Represents an aromatic or aromatic hydrocarbon group. If necessary, L 1 may have any other functional group that does not react with an isocyanate group, such as an ester group, a urethane group, an amide group, or a ureido group.

前記一般式(6)で表されるジイソシアネート化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することでき、例えば、2,4−トリレンジイソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネートの二量体、2,6−トリレンジレンジイソシアネート、p−キシリレンジイソシアネート、m−キシリレンジイソシアネート、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、1,5−ナフチレンジイソシアネート、3,3’−ジメチルビフェニル−4,4’−ジイソシアネート等のような芳香族ジイソシアネート化合物;ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート、ダイマー酸ジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート化合物;イソホロンジイソシアネート、4,4’−メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)、メチルシクロヘキサン−2,4(又は2,6)ジイソシアネート、1,3−(イソシアネートメチル)シクロヘキサン等の脂環族ジイソシアネート化合物;1,3−ブチレングリコール1モルとトリレンジイソシアネート2モルとの付加体等のジオールとジイソシアネートとの反応物であるジイソシアネート化合物などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。   There is no restriction | limiting in particular as a diisocyanate compound represented by the said General formula (6), According to the objective, it can select suitably, For example, the dimer of 2, 4- tolylene diisocyanate and 2, 4- tolylene diisocyanate 2,6-tolylene diisocyanate, p-xylylene diisocyanate, m-xylylene diisocyanate, 4,4′-diphenylmethane diisocyanate, 1,5-naphthylene diisocyanate, 3,3′-dimethylbiphenyl-4,4 Aromatic diisocyanate compounds such as '-diisocyanate; aliphatic diisocyanate compounds such as hexamethylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, lysine diisocyanate, dimer acid diisocyanate; isophorone diisocyanate, 4, 4' Alicyclic diisocyanate compounds such as methylene bis (cyclohexyl isocyanate), methylcyclohexane-2,4 (or 2,6) diisocyanate, 1,3- (isocyanatomethyl) cyclohexane; 1 mol of 1,3-butylene glycol and tolylene diisocyanate 2 Examples thereof include a diisocyanate compound which is a reaction product of a diol such as an adduct with a mole and a diisocyanate. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.

前記一般式(5)で表されるジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリエーテルジオール化合物、ポリエステルジオール化合物、ポリカーボネートジオール化合物等の高分子ジオール化合物;エチレングリコール、ネオペンチルグリコール等の低分子ジオール化合物;エチレン性不飽和基を有するジオール化合物;カルボン酸基を有するジオール化合物などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as a diol compound represented by the said General formula (5), According to the objective, it can select suitably, For example, high molecular diols, such as a polyether diol compound, a polyester diol compound, and a polycarbonate diol compound Compounds: Low molecular diol compounds such as ethylene glycol and neopentyl glycol; diol compounds having an ethylenically unsaturated group; diol compounds having a carboxylic acid group.

ここで、ポリウレタン樹脂の側鎖にエチレン性不飽和基を導入する方法としては、前述の方法の他に、ポリウレタン樹脂製造の原料として、側鎖にエチレン性不飽和基を含有するジオール化合物を用いる方法も好ましい。前記側鎖にエチレン性不飽和基を含有するジオール化合物は、例えば、トリメチロールプロパンモノアリルエーテルのように市販されているものでもよいし、ハロゲン化ジオール化合物、トリオール化合物、アミノジオール化合物等の化合物と、エチレン性不飽和基を含有する、カルボン酸、酸塩化物、イソシアネート、アルコール、アミン、チオール、ハロゲン化アルキル化合物等の化合物との反応により容易に製造される化合物などが挙げられる。   Here, as a method for introducing an ethylenically unsaturated group into the side chain of the polyurethane resin, in addition to the above-described method, a diol compound containing an ethylenically unsaturated group in the side chain is used as a raw material for producing the polyurethane resin. A method is also preferred. The diol compound containing an ethylenically unsaturated group in the side chain may be a commercially available compound such as trimethylolpropane monoallyl ether, or a compound such as a halogenated diol compound, a triol compound, or an aminodiol compound. And compounds that are easily produced by reaction with a compound containing an ethylenically unsaturated group, such as a carboxylic acid, an acid chloride, an isocyanate, an alcohol, an amine, a thiol, or a halogenated alkyl compound.

前記側鎖にエチレン性不飽和基を含有するジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005−250438号公報の段落「0057」〜「0060」に記載された化合物、特開2005−250438号公報の段落「0095」〜「0101」に記載されたテトラカルボン酸二無水物をジオール化合物で開環させた化合物、下記一般式(G)で表される特開2005−250438号公報の段落「0064」〜「0066」に記載された化合物などが挙げられる。これらの中でも、下記一般式(G)で表される特開2005−250438号公報の段落「0064」〜「0066」に記載された化合物が好ましい。
ただし、前記一般式(G)中、R〜Rは、それぞれ独立に水素原子及び1価の有機基のいずれかを表し、Aは2価の有機残基を表し、Xは、酸素原子、硫黄原子、及び−N(R12)−のいずれかを表し、前記R12は、水素原子及び1価の有機基のいずれかを表す。
なお、前記一般式(G)におけるR〜R及びXは、前記一般式(1)におけるR〜R及びXと同義であり、好ましい態様もまた同様である。
前記一般式(G)で表されるジオール化合物に由来するポリウレタン樹脂を用いることにより、立体障害の大きい2級アルコールに起因するポリマー主鎖の過剰な分子運動を抑制効果により、層の被膜強度の向上が達成できるものと考えられる。
The diol compound containing an ethylenically unsaturated group in the side chain is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, paragraphs “0057” to “0060” of JP-A-2005-250438. , A compound obtained by ring-opening a tetracarboxylic dianhydride described in paragraphs “0095” to “0101” of JP-A-2005-250438 with a diol compound, represented by the following general formula (G) Examples thereof include compounds described in paragraphs “0064” to “0066” of JP-A-2005-250438. Among these, the compounds described in paragraphs “0064” to “0066” of JP-A-2005-250438 represented by the following general formula (G) are preferable.
However, in said general formula (G), R < 1 > -R < 3 > represents either a hydrogen atom and a monovalent organic group each independently, A represents a bivalent organic residue, and X is an oxygen atom. , sulfur atom, and -N (R 12) - represents one of the R 12 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group.
Incidentally, R 1 to R 3 and X in the general formula (G) has the same meaning as R 1 to R 3 and X in the general formula (1), preferred embodiments versa.
By using the polyurethane resin derived from the diol compound represented by the general formula (G), the effect of suppressing the excessive molecular movement of the polymer main chain caused by the secondary alcohol having a large steric hindrance can be reduced. It is thought that improvement can be achieved.

前記側鎖にエチレン性不飽和基を有するポリウレタン樹脂は、例えば、感光性組成物中の他の成分との相溶性を向上させ、保存安定性を向上させるといった観点から、前記側鎖にエチレン性不飽和基を含有するジオール化合物以外のジオール化合物を共重合させることができる。
前記側鎖にエチレン性不飽和基を含有するジオール化合物以外のジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリエーテルジオール化合物、ポリエステルジオール化合物、ポリカーボネートジオール化合物などが挙げられる。
The polyurethane resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain is, for example, ethylenic in the side chain from the viewpoint of improving compatibility with other components in the photosensitive composition and improving storage stability. A diol compound other than a diol compound containing an unsaturated group can be copolymerized.
The diol compound other than the diol compound containing an ethylenically unsaturated group in the side chain is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, a polyether diol compound, a polyester diol compound, a polycarbonate diol Compound etc. are mentioned.

前記ポリエーテルジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005−250438号公報の段落「0068」〜「0076」に記載された化合物などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said polyether diol compound, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound etc. which were described in Paragraph "0068"-"0076" of Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-250438 etc. are mentioned. It is done.

前記ポリエステルジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005−250438号公報の段落「0077」〜「0079」、段落「0083」〜「0085」におけるNo.1〜No.8及びNo.13〜No.18に記載された化合物などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said polyester diol compound, According to the objective, it can select suitably, For example, Paragraph "0077"-"0079" of Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-250438, Paragraph "0083"-"0085" No. 1-No. 8 and no. 13-No. 18 and the like.

前記ポリカーボネートジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005−250438号公報の段落「0080」〜「0081」及び段落「0084」におけるNo.9〜No.12記載された化合物などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said polycarbonate diol compound, According to the objective, it can select suitably, For example, Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-250438 Paragraph "0080"-"0081" and Paragraph "0084" No. 9-No. 12 listed compounds.

また、前記側鎖にエチレン性不飽和基を有するポリウレタン樹脂の合成には、上述したジオール化合物の他に、イソシアネート基と反応しない置換基を有するジオール化合物を併用することもできる。
前記イソシアネート基と反応しない置換基を有するジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005−250438号公報の段落「0087」〜「0088」に記載された化合物などが挙げられる。
Moreover, in the synthesis | combination of the polyurethane resin which has an ethylenically unsaturated group in the said side chain, the diol compound which has a substituent which does not react with an isocyanate group other than the diol compound mentioned above can also be used together.
The diol compound having a substituent that does not react with the isocyanate group is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, in paragraphs “0087” to “0088” of JP-A-2005-250438 And the compounds described.

更に、前記側鎖にエチレン性不飽和基を有するポリウレタン樹脂の合成には、上述したジオール化合物の他に、カルボキシル基を有するジオール化合物を併用することもできる。前記カルボキシル基を有するジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、下記一般式(8)〜(10)で表される化合物などが挙げられる。   Furthermore, in the synthesis of the polyurethane resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain, a diol compound having a carboxyl group can be used in combination with the diol compound described above. The diol compound having a carboxyl group is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include compounds represented by the following general formulas (8) to (10).

前記一般式(8)〜(10)中、R15としては、水素原子、水素原子、置換基(例えば、シアノ基、二トロ基、ハロゲン原子(−F、−Cl、−Br、−I)、−CONH、−COOR16、−OR16、−NHCONHR16、−NHCOOR16、−NHCOR16、−OCONHR16(ここで、前記R16は、炭素数1〜10のアルキル基、又は炭素数7〜15のアラルキル基を表す。)などの各基が含まれる。)を有していてもよいアルキル基、アラルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリーロキシ基を表す。これらの中でも、水素原子、炭素数1〜8個のアルキル基、炭素数6〜15個のアリール基が好ましい。
前記一般式(8)〜(10)中、L、L10、L11は、それぞれ同一でもよいし、相違していてもよく、単結合、置換基(例えば、アルキル基、アラルキル基、アリール基、アルコキシ基、ハロゲノ基の各基が好ましい)を有していてもよい2価の脂肪族又は芳香族炭化水素基を表す。これらの中でも、炭素数1〜20個のアルキレン基、炭素数6〜15個のアリーレン基が好ましく、炭素数1〜8個のアルキレン基がより好ましい。また、必要に応じ、前記L〜L11中にイソシアネート基と反応しない他の官能基、例えば、カルボニル基、エステル基、ウレタン基、アミド基、ウレイド基、エーテル基を有していてもよい。なお、前記R15、L、L、Lのうちの2個又は3個で環を形成してもよい。
前記一般式(9)中、Arとしては、置換基を有していてもよい3価の芳香族炭化水素基を表すものである限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、炭素数6〜15個の芳香族基が好ましい。
In the general formulas (8) to (10), R 15 is a hydrogen atom, a hydrogen atom, a substituent (for example, a cyano group, a ditro group, a halogen atom (—F, —Cl, —Br, —I)). , —CONH 2 , —COOR 16 , —OR 16 , —NHCONHR 16 , —NHCOOR 16 , —NHCOR 16 , —OCONHR 16 (wherein R 16 is an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, or 7 carbon atoms) Represents an aralkyl group of ˜15.), And the like may represent an alkyl group, an aralkyl group, an aryl group, an alkoxy group, or an aryloxy group that may have. Among these, a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, and an aryl group having 6 to 15 carbon atoms are preferable.
In the general formulas (8) to (10), L 9 , L 10 and L 11 may be the same or different from each other, and may be a single bond, a substituent (for example, an alkyl group, an aralkyl group, an aryl). A divalent aliphatic or aromatic hydrocarbon group optionally having a group, an alkoxy group, or a halogeno group. Among these, an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms and an arylene group having 6 to 15 carbon atoms are preferable, and an alkylene group having 1 to 8 carbon atoms is more preferable. Further, if necessary, the L 9 to L 11 may have other functional groups that do not react with the isocyanate group, such as a carbonyl group, an ester group, a urethane group, an amide group, a ureido group, and an ether group. . In addition, you may form a ring by 2 or 3 of said R < 15 >, L < 7 >, L < 8 >, L < 9 >.
In the general formula (9), Ar is not particularly limited as long as it represents a trivalent aromatic hydrocarbon group which may have a substituent, and may be appropriately selected according to the purpose. An aromatic group having 6 to 15 carbon atoms is preferable.

前記一般式(8)〜(10)で表されるカルボキシル基を有するジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、3,5−ジヒドロキシ安息香酸、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)プロピオン酸、2,2−ビス(2−ヒドロキシエチル)プロピオン酸、2,2−ビス(3−ヒドロキシプロピル)プロピオン酸、ビス(ヒドロキシメチル)酢酸、ビス(4−ヒドロキシフェニル)酢酸、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)酪酸、4,4−ビス(4−ヒドロキシフェニル)ペンタン酸、酒石酸、N,N−ジヒドロキシエチルグリシン、N,N―ビス(2−ヒドロキシエチル)−3−カルボキシ−プロピオンアミドなどが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as a diol compound which has a carboxyl group represented by the said General formula (8)-(10), According to the objective, it can select suitably, For example, 3, 5- dihydroxy benzoic acid, 2 , 2-bis (hydroxymethyl) propionic acid, 2,2-bis (2-hydroxyethyl) propionic acid, 2,2-bis (3-hydroxypropyl) propionic acid, bis (hydroxymethyl) acetic acid, bis (4- Hydroxyphenyl) acetic acid, 2,2-bis (hydroxymethyl) butyric acid, 4,4-bis (4-hydroxyphenyl) pentanoic acid, tartaric acid, N, N-dihydroxyethylglycine, N, N-bis (2-hydroxyethyl) ) -3-carboxy-propionamide and the like.

このようなカルボキシル基の存在により、ポリウレタン樹脂に水素結合性とアルカリ可溶性といった特性を付与できる点で好ましい。より具体的には、前記側鎖にエチレン性不飽和基を有するポリウレタン樹脂が、更に側鎖にカルボキシル基を有する樹脂であり、より具体的には、側鎖のエチレン性不飽和基が、0.05mmol/g〜3.0mmol/gであることが好ましく、0.5mmol/g〜2.7mmol/gであることがより好ましく、0.75mmol/g〜2.4mmol/gであることが特に好ましく、且つ、側鎖にカルボキシル基を有することが好ましく、酸価が、20mgKOH/g〜120mgKOH/gであることが好ましく、30mgKOH/g〜110mgKOH/gであることがより好ましく、35mgKOH/g〜100mgKOH/gが特に好ましい。
なお、前記酸価は、例えば、JIS K0070に準拠して測定することができる。ただし、サンプルが溶解しない場合は、溶媒としてジオキサン又はテトラヒドロフランなどを使用する。
The presence of such a carboxyl group is preferable in that the polyurethane resin can be provided with characteristics such as hydrogen bonding properties and alkali solubility. More specifically, the polyurethane resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain is a resin further having a carboxyl group in the side chain, and more specifically, the ethylenically unsaturated group in the side chain is 0. It is preferably 0.05 mmol / g to 3.0 mmol / g, more preferably 0.5 mmol / g to 2.7 mmol / g, and particularly preferably 0.75 mmol / g to 2.4 mmol / g. Preferably, the side chain has a carboxyl group, and the acid value is preferably 20 mgKOH / g to 120 mgKOH / g, more preferably 30 mgKOH / g to 110 mgKOH / g, and 35 mgKOH / g to 100 mg KOH / g is particularly preferred.
In addition, the said acid value can be measured based on JISK0070, for example. However, when the sample does not dissolve, dioxane or tetrahydrofuran is used as a solvent.

前記側鎖にエチレン性不飽和基を有するポリウレタン樹脂は、上記ジイソシアネート化合物及びジオール化合物を、非プロトン性溶媒中、それぞれの反応性に応じた活性の公知の触媒を添加し、加熱することにより合成される。合成に使用されるジイソシアネート及びジオール化合物のモル比(M:M)としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、1:1〜1.2:1が好ましく、アルコール類又はアミン類等で処理することにより、分子量あるいは粘度といった所望の物性の生成物が、最終的にイソシアネート基が残存しない形で合成される。 The polyurethane resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain is synthesized by adding the above-mentioned diisocyanate compound and diol compound to an aprotic solvent by adding a known catalyst having an activity corresponding to each reactivity and heating. Is done. The molar ratio of diisocyanate and diol compound used for synthesis (M a : M b ) is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose, preferably 1: 1 to 1.2: 1. By treating with alcohols or amines, a product having desired physical properties such as molecular weight or viscosity is synthesized in a form in which no isocyanate group remains finally.

また、前記側鎖にエチレン性不飽和基を有するポリウレタン樹脂としては、ポリマー末端、主鎖にエチレン性不飽和基を有するものも好適に使用される。ポリマー末端、主鎖にエチレン性不飽和基を有することにより、更に、感光性組成物と側鎖にエチレン性不飽和基を有するポリウレタン樹脂との間、又は側鎖にエチレン性不飽和基を有するポリウレタン樹脂間で架橋反応性が向上し、光硬化物強度が増す。その結果、側鎖にエチレン性不飽和基を有するポリウレタン樹脂を平版印刷版等に使用した際、強靭性に優れる材料を与えることができる。   Moreover, as a polyurethane resin which has an ethylenically unsaturated group in the said side chain, what has an ethylenically unsaturated group in a polymer terminal and a principal chain is used suitably. By having an ethylenically unsaturated group at the polymer terminal and main chain, it further has an ethylenically unsaturated group between the photosensitive composition and the polyurethane resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain, or in the side chain. Crosslinking reactivity is improved between polyurethane resins, and the strength of the photocured product is increased. As a result, when a polyurethane resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain is used for a lithographic printing plate, a material having excellent toughness can be provided.

ポリマー末端にエチレン性不飽和基を導入する方法としては、以下に示す方法がある。即ち、上述した側鎖にエチレン性不飽和基を有するポリウレタン樹脂の合成の工程での、ポリマー末端の残存イソシアネート基と、アルコール類又はアミン類等で処理する工程において、エチレン性不飽和基を有するアルコール類又はアミン類等を用いればよい。
このような化合物としては、具体的には、先に、エチレン性不飽和基を有する単官能のアルコール又は単官能のアミン化合物として挙げられた例示化合物と同様のものを挙げることができる。
なお、エチレン性不飽和基は、導入量の制御が容易で導入量を増やすことができ、また、架橋反応効率が向上するといった観点から、ポリマー末端よりもポリマー側鎖に導入されることが好ましい。
Examples of the method for introducing an ethylenically unsaturated group at the polymer terminal include the following methods. That is, in the process of synthesizing a polyurethane resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain as described above, in the step of treating with a residual isocyanate group at the polymer end and an alcohol or amine, the ethylenically unsaturated group is contained. Alcohols or amines may be used.
Specific examples of such a compound include the same compounds as those exemplified above as the monofunctional alcohol or monofunctional amine compound having an ethylenically unsaturated group.
The ethylenically unsaturated group is preferably introduced into the polymer side chain rather than the polymer end from the viewpoint that the introduction amount can be easily controlled and the introduction amount can be increased, and the crosslinking reaction efficiency is improved. .

導入されるエチレン性不飽和基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、架橋硬化膜形成性の点で、メタクリロイル基、アクリロイル基、ビニルフェニル基が好ましく、メタクリロイル基、アクリロイル基がより好ましく、架橋硬化膜の形成性と生保存性との両立の点で、メタクリロイル基が特に好ましい。
また、メタクリロイル基の導入量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、エチレン性不飽和基当量としては、0.05mmol/g〜3.0mmol/gが好ましく、0.5mmol/g〜2.7mmol/gがより好ましく、0.75mmol/g〜2.4mmol/gが特に好ましい。
The ethylenically unsaturated group to be introduced is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose, but is preferably a methacryloyl group, an acryloyl group or a vinylphenyl group from the viewpoint of forming a crosslinked cured film, and is preferably methacryloyl. Group and acryloyl group are more preferable, and methacryloyl group is particularly preferable in terms of both the formability of the crosslinked cured film and the raw storage stability.
The amount of methacryloyl group introduced is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. The ethylenically unsaturated group equivalent is preferably 0.05 mmol / g to 3.0 mmol / g, 0.5 mmol / g to 2.7 mmol / g is more preferable, and 0.75 mmol / g to 2.4 mmol / g is particularly preferable.

主鎖にエチレン性不飽和基を導入する方法としては、主鎖方向にエチレン性不飽和基を有するジオール化合物をポリウレタン樹脂の合成に用いる方法がある。前記主鎖方向にエチレン性不飽和基を有するジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、cis−2−ブテン−1,4−ジオール、trans−2−ブテン−1,4−ジオール、ポリブタジエンジオールなどが挙げられる。   As a method for introducing an ethylenically unsaturated group into the main chain, there is a method in which a diol compound having an ethylenically unsaturated group in the main chain direction is used for the synthesis of the polyurethane resin. The diol compound having an ethylenically unsaturated group in the main chain direction is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include cis-2-butene-1,4-diol and trans-2-butene. -1,4-diol, polybutadiene diol and the like.

前記側鎖にエチレン性不飽和基を有するポリウレタン樹脂は、該特定ポリウレタン樹脂とは異なる構造を有するポリウレタン樹脂を含むアルカリ可溶性高分子を併用することも可能である。例えば、前記側鎖にエチレン性不飽和基を有するポリウレタン樹脂は、主鎖及び/又は側鎖に芳香族基を含有したポリウレタン樹脂を併用することが可能である。   The polyurethane resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain can be used in combination with an alkali-soluble polymer containing a polyurethane resin having a structure different from that of the specific polyurethane resin. For example, the polyurethane resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain can be used in combination with a polyurethane resin containing an aromatic group in the main chain and / or side chain.

前記(i)側鎖にエチレン性不飽和基を有するポリウレタン樹脂の具体例としては、例えば、特開2005−250438号公報の段落「0293」〜「0310」に示されたP−1〜P−31のポリマーなどが挙げられる。これらの中でも、段落「0308」及び「0309」に示されたP−27及びP−28のポリマーが好ましい。   Specific examples of the (i) polyurethane resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain include, for example, P-1 to P— shown in paragraphs “0293” to “0310” of JP-A-2005-250438. And 31 polymers. Among these, the polymers of P-27 and P-28 shown in paragraphs “0308” and “0309” are preferable.

−−(ii)カルボキシル基含有ポリウレタンと分子中にエポキシ基とエチレン性不飽和基を有する化合物とを反応して得られるポリウレタン樹脂−−
前記ポリウレタン樹脂は、ジイソシアネートと、カルボン酸基含有ジオールとを必須成分とするカルボキシル基含有ポリウレタンと、分子中にエポキシ基とエチレン性不飽和基を有する化合物とを反応して得られるポリウレタン樹脂である。目的に応じて、ジオール成分として、重量平均分子量300以下の低分子ジオールや重量平均分子量500以上の低分子ジオールを共重合成分として加えてもよい。
前記ポリウレタン樹脂を用いることにより、無機充填剤との安定した分散性や耐クラック性や耐衝撃性に優れることから、耐熱性、耐湿熱性、密着性、機械特性、電気特性が向上する。
-(Ii) Polyurethane resin obtained by reacting a carboxyl group-containing polyurethane with a compound having an epoxy group and an ethylenically unsaturated group in the molecule--
The polyurethane resin is a polyurethane resin obtained by reacting a carboxyl group-containing polyurethane having a diisocyanate and a carboxylic acid group-containing diol as essential components, and a compound having an epoxy group and an ethylenically unsaturated group in the molecule. . Depending on the purpose, a low molecular diol having a weight average molecular weight of 300 or less or a low molecular diol having a weight average molecular weight of 500 or more may be added as a copolymer component as a diol component.
By using the polyurethane resin, it is excellent in stable dispersibility with an inorganic filler, crack resistance and impact resistance, so that heat resistance, moist heat resistance, adhesion, mechanical properties, and electrical properties are improved.

また、前記ポリウレタン樹脂としては、置換基を有していてもよい二価の脂肪族及び芳香族炭化水素のジイソシアネートと、C原子及びN原子のいずれかを介してCOOH基と2つのOH基を有するカルボン酸含有ジオールとを必須成分とした反応物であって、得られた反応物と、−COO−結合を介して分子中にエポキシ基とエチレン性不飽和基を有する化合物とを反応して得られるものであってもよい。   The polyurethane resin includes a divalent aliphatic or aromatic hydrocarbon diisocyanate which may have a substituent, a COOH group and two OH groups via any one of a C atom and an N atom. A reaction product containing a carboxylic acid-containing diol as an essential component, and reacting the obtained reaction product with a compound having an epoxy group and an ethylenically unsaturated group in the molecule through a —COO— bond. It may be obtained.

また、前記ポリウレタン樹脂としては、下記一般式(11)で示されるジイソシアネートと、下記一般式(12−1)〜(12−3)で示されるカルボン酸基含有ジオールから選ばれた少なくとも1種とを必須成分とした反応物と、下記一般式(13−1)〜(13−16)で示される分子中にエポキシ基とエチレン性不飽和基を有する化合物とを反応して得られるものであってもよい。
ただし、前記一般式(11)中、Rは、置換基(例えば、アルキル基、アラルキル基、アリール基、アルコキシ基、ハロゲノ基のいずれかが好ましい)を有していてもよい二価の脂肪族又は芳香族炭化水素を表す。必要に応じ、前記Rは、イソシアネート基と反応しない他の官能基、例えば、エステル基、ウレタン基、アミド基、ウレイド基のいずれかを有していてもよい。前記一般式(12−1)中、Rは、水素原子、置換基(例えば、シアノ基、二トロ基、ハロゲン原子(−F、−Cl、−Br、−I)、−CONH、−COOR、−OR、−NHCONHR、−NHCOOR、−NHCOR、−OCONHR、−CONHR(ここで、Rは、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数7〜15のアラルキル基のいずれかを表す)、などの各基が含まれる)を有していてもよいアルキル基、アラルキル基、アリール基、アルコキシ基、又はアリーロキシ基を表す。これらの中でも、水素原子、炭素数1個〜3個のアルキル基、炭素数6個〜15個のアリール基が好ましい。前記一般式(12−1)、(12−2)及び(12−3)中、R、R及びRは、それぞれ同一でも相異していてもよく、単結合、置換基(例えば、アルキル基、アラルキル基、アリール基、アルコキシ基、ハロゲノ基の各基が好ましい)を有していてもよい二価の脂肪族又は芳香族炭化水素を表す。これらの中でも、炭素数1〜20個のアルキレン基、炭素数6〜15個のアリーレン基が好ましく、炭素数1〜8個のアルキレン基が更に好ましい。また、必要に応じ、前記R、R及びR中にイソシアネート基と反応しない他の官能基、例えば、カルボニル基、エステル基、ウレタン基、アミド基、ウレイド基、エーテル基のいずれかを有していてもよい。なお、前記R、R、R及びRのうちの2個又は3個で環を形成してもよい。Arは置換基を有していてもよい三価の芳香族炭化水素を表し、炭素数6個〜15個の芳香族基が好ましい。
Moreover, as said polyurethane resin, at least 1 sort (s) chosen from the diisocyanate shown by the following general formula (11), and the carboxylic acid group containing diol shown by the following general formula (12-1)-(12-3), Is obtained by reacting a reaction product having an essential component with a compound having an epoxy group and an ethylenically unsaturated group in the molecule represented by the following general formulas (13-1) to (13-16). May be.
However, in the general formula (11), R 1 may have a substituent (for example, any of an alkyl group, an aralkyl group, an aryl group, an alkoxy group, and a halogeno group is preferable). Represents an aromatic or aromatic hydrocarbon. If necessary, R 1 may have any other functional group that does not react with an isocyanate group, such as an ester group, a urethane group, an amide group, or a ureido group. In the general formula (12-1), R 2 represents a hydrogen atom, a substituent (for example, a cyano group, a ditro group, a halogen atom (—F, —Cl, —Br, —I), —CONH 2 , — COOR 6 , —OR 6 , —NHCONHR 6 , —NHCOOR 6 , —NHCOR 6 , —OCONHR 6 , —CONHR 6 (where R 6 is an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, aralkyl having 7 to 15 carbon atoms) Each group is included), which may have an alkyl group, an aralkyl group, an aryl group, an alkoxy group, or an aryloxy group. Among these, a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and an aryl group having 6 to 15 carbon atoms are preferable. In the general formulas (12-1), (12-2) and (12-3), R 3 , R 4 and R 5 may be the same or different from each other, and may be a single bond or a substituent (for example, , An alkyl group, an aralkyl group, an aryl group, an alkoxy group, and a halogeno group are preferable), and may represent a divalent aliphatic or aromatic hydrocarbon. Among these, an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms and an arylene group having 6 to 15 carbon atoms are preferable, and an alkylene group having 1 to 8 carbon atoms is more preferable. Further, if necessary, in R 3 , R 4 and R 5 , any other functional group that does not react with an isocyanate group, for example, a carbonyl group, an ester group, a urethane group, an amide group, a ureido group, or an ether group. You may have. In addition, you may form a ring by 2 or 3 of said R < 2 >, R < 3 >, R < 4 > and R < 5 >. Ar represents a trivalent aromatic hydrocarbon which may have a substituent, and an aromatic group having 6 to 15 carbon atoms is preferable.

ただし、前記一般式(13−1)〜(13−16)中、R14は、水素原子又はメチル基を表し、R15は、炭素数1〜10のアルキレン基を表し、R16は、炭素数1〜10の炭化水素基を表す。pは、0又は1〜10の整数を表す。 In the general formula (13-1) ~ (13-16), R 14 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 15 represents an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, R 16 is a carbon The hydrocarbon group of number 1-10 is represented. p represents 0 or an integer of 1 to 10.

前記ポリウレタン樹脂としては、特に、一般式(11)で示されるジイソシアネートと、一般式(12−1)〜(12−3)で示されるカルボン酸基含有ジオールから選ばれた少なくとも1種との反応物に更に一般式(13−1)〜(13−16)のいずれかで示される分子中に1個のエポキシ基と少なくとも1個の(メタ)アクリル基を有する化合物を反応して得られる、酸価が20mgKOH/g〜120mgKOH/gであるアルカリ可溶性光架橋性ポリウレタン樹脂が好適である。   As the polyurethane resin, in particular, a reaction between a diisocyanate represented by the general formula (11) and at least one selected from carboxylic acid group-containing diols represented by the general formulas (12-1) to (12-3) It is obtained by further reacting a compound having one epoxy group and at least one (meth) acryl group in the molecule represented by any of the general formulas (13-1) to (13-16), An alkali-soluble photocrosslinkable polyurethane resin having an acid value of 20 mgKOH / g to 120 mgKOH / g is preferred.

これらの高分子化合物は、単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。   These polymer compounds may be used alone or in combination of two or more.

−−−カルボキシル基含有ポリウレタンと分子中にエポキシ基とエチレン性不飽和基を有する化合物とを反応して得られるポリウレタン樹脂の合成法−−−
前記ポリウレタン樹脂の合成方法としては、上記ジイソシアネート化合物及びジオール化合物を非プロトン性溶媒中、それぞれの反応性に応じた活性の公知な触媒を添加し、加熱することにより合成される。使用するジイソシアネート及びジオール化合物のモル比は好ましくは、0.8:1〜1.2:1であり、ポリマー末端にイソシアネート基が残存した場合、アルコール類又はアミン類等で処理することにより、最絡的にイソシアネート基が残存しない形で合成される。
--- Synthesis method of polyurethane resin obtained by reacting carboxyl group-containing polyurethane with compound having epoxy group and ethylenically unsaturated group in molecule ---
As a method for synthesizing the polyurethane resin, the diisocyanate compound and the diol compound are synthesized in an aprotic solvent by adding a known catalyst having an activity corresponding to each reactivity and heating. The molar ratio of the diisocyanate and diol compound to be used is preferably 0.8: 1 to 1.2: 1. When an isocyanate group remains at the end of the polymer, the molar ratio of the diisocyanate and diol compound can be reduced by treatment with alcohols or amines. It is synthesized in such a way that no isocyanate groups remain entangled.

−−−−ジイソシアネート−−−−
前記一般式(11)で示されるジイソシアネート化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0021」に記載された化合物などが挙げられる。
---- Diisocyanate ----
There is no restriction | limiting in particular as a diisocyanate compound shown by the said General formula (11), According to the objective, it can select suitably, For example, the compound described in Paragraph "0021" of Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030 etc. Is mentioned.

−−−−カルボン酸基含有ジオール−−−−
また、前記一般式(12−1)〜(12−3)で表されるカルボキシル基を有するジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0047」に記載された化合物などが挙げられる。
---- Carboxylic acid group-containing diol ----
In addition, the diol compound having a carboxyl group represented by the general formulas (12-1) to (12-3) is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. And the compounds described in paragraph “0047” of No. 2030 publication.

−−−−カルボン酸基非含有低分子量ジオール−−−−
前記カルボン酸基非含有低分子量ジオールとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0048」に記載された化合物などが挙げられる。
前記カルボン酸基非含有ジオールの共重合量としては、低分子量ジオール中の95モル%以下が好ましく、80モル%以下がより好ましく、50モル%以下が特に好ましい。前記共重合量が、95モル%を超えると現像性のよいウレタン樹脂が得られないことがある。
---- Low molecular weight diol containing no carboxylic acid group ----
The carboxylic acid group-free low molecular weight diol is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include compounds described in paragraph “0048” of JP2007-2030A. It is done.
The copolymerization amount of the carboxylic acid group-free diol is preferably 95 mol% or less, more preferably 80 mol% or less, and particularly preferably 50 mol% or less in the low molecular weight diol. When the copolymerization amount exceeds 95 mol%, a urethane resin having good developability may not be obtained.

前記(ii)カルボキシル基含有ポリウレタンと分子中にエポキシ基とエチレン性不飽和基を有する化合物とを反応して得られるポリウレタン樹脂の具体例としては、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0314」〜「0315」に示されたU1〜U13、U1〜U4、U6〜U11のポリマーにおけるエポキシ基及びエチレン性不飽和基含有化合物としてのグリシジルアクリレートを、グリシジルメタクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート(商品名:サイクロマーA400(ダイセル化学社製))、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート(商品名:サイクロマーM400(ダイセル化学社製))に代えたポリマーなどが挙げられる。   Specific examples of the polyurethane resin obtained by reacting the above (ii) carboxyl group-containing polyurethane with a compound having an epoxy group and an ethylenically unsaturated group in the molecule include, for example, paragraph “ Glycidyl acrylate as a compound containing an epoxy group and an ethylenically unsaturated group in the polymers of U1 to U13, U1 to U4 and U6 to U11 shown in "0314" to "0315" is converted into glycidyl methacrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl. Examples thereof include polymers in place of acrylate (trade name: Cyclomer A400 (manufactured by Daicel Chemical Industries)) and 3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate (trade name: Cyclomer M400 (manufactured by Daicel Chemical Industries)).

−−酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂の重量平均分子量−−
前記酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂の重量平均分子量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、2,000〜60,000が好ましく、3,000〜50,000がより好ましく、3,000〜30,000が特に好ましい。前記重量平均分子量が2,000未満であると、硬化膜の高温時の十分な低弾性率が得られないことがあり、60,000を超えると、塗布適性及び現像性が悪化することがある。一方、重量平均分子量が2,000〜60,000であると、前記感光性組成物を感光性ソルダーレジストに用いた場合には、クラック耐性、耐熱性に優れ、アルカリ性現像液による非画像部の現像性に優れる。
なお、前記重量平均分子量は、例えば、高速GPC装置(東洋曹達工業株式会社製HLC−802A)を使用して、0.5質量%のTHF溶液を試料溶液とし、カラムはTSKgel HZM−M 1本を使用し、200μLの試料を注入し、前記THF溶液で溶離して、25℃で屈折率検出器あるいはUV検出器(検出波長254nm)により測定することができる。
-Weight average molecular weight of acid-modified ethylenically unsaturated group-containing polyurethane resin-
There is no restriction | limiting in particular as a weight average molecular weight of the said acid-modified ethylenically unsaturated group containing polyurethane resin, Although it can select suitably according to the objective, 2,000-60,000 are preferable, 3,000-50 3,000 is more preferable, and 3,000 to 30,000 is particularly preferable. When the weight average molecular weight is less than 2,000, a sufficiently low elastic modulus at a high temperature of the cured film may not be obtained, and when it exceeds 60,000, coating suitability and developability may be deteriorated. . On the other hand, when the photosensitive composition is used for a photosensitive solder resist having a weight average molecular weight of 2,000 to 60,000, it is excellent in crack resistance and heat resistance, and has a non-image area formed by an alkaline developer. Excellent developability.
The weight average molecular weight is, for example, a high-speed GPC device (HLC-802A manufactured by Toyo Soda Kogyo Co., Ltd.), a 0.5% by mass THF solution as a sample solution, and a column of one TSKgel HZM-M. 200 μL of sample is injected, eluted with the THF solution, and measured at 25 ° C. with a refractive index detector or UV detector (detection wavelength 254 nm).

−−酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂の酸価−−
前記酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂の酸価としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、20mgKOH/g〜120mgKOH/gが好ましく、30mgKOH/g〜110mgKOH/gがより好ましく、35mgKOH/g〜100mgKOH/gが特に好ましい。前記酸価が、20mgKOH/g未満であると現像性が不十分となることがあり、120mgKOH/gを超えると現像速度が高すぎるため現像のコントロールが難しくなることがある。
なお、前記酸価は、例えば、JIS K0070に準拠して測定することができる。ただし、サンプルが溶解しない場合は、溶媒としてジオキサン又はテトラヒドロフランなどを使用する。
-Acid value of acid-modified ethylenically unsaturated group-containing polyurethane resin-
The acid value of the acid-modified ethylenically unsaturated group-containing polyurethane resin is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. It is preferably 20 mgKOH / g to 120 mgKOH / g, preferably 30 mgKOH / g to 110 mgKOH / g is more preferable, and 35 mgKOH / g to 100 mgKOH / g is particularly preferable. If the acid value is less than 20 mgKOH / g, the developability may be insufficient, and if it exceeds 120 mgKOH / g, the development rate may be too high, and development control may be difficult.
In addition, the said acid value can be measured based on JISK0070, for example. However, when the sample does not dissolve, dioxane or tetrahydrofuran is used as a solvent.

−−酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂のエチレン性不飽和基当量−−
前記酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂のエチレン性不飽和基当量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、0.05mmol/g〜3.0mmol/gが好ましく、0.5mmol/g〜2.7mmol/gがより好ましく、0.75mmol/g〜2.4mmol/gが特に好ましい。前記エチレン性不飽和基当量が、0.05mmol/g未満であると、硬化膜の耐熱性が劣ることがあり、3.0mmol/gを超えると、硬化膜の脆性が上がることがある。
前記エチレン性不飽和基当量は、例えば、臭素価を測定することにより求めることができる。なお、前記臭素価は、例えば、JIS K2605に準拠して測定することができる。
--Equivalent ethylenically unsaturated group equivalent of acid-modified ethylenically unsaturated group-containing polyurethane resin--
The ethylenically unsaturated group equivalent of the acid-modified ethylenically unsaturated group-containing polyurethane resin is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose, but is 0.05 mmol / g to 3.0 mmol / g. Preferably, 0.5 mmol / g to 2.7 mmol / g is more preferable, and 0.75 mmol / g to 2.4 mmol / g is particularly preferable. When the ethylenically unsaturated group equivalent is less than 0.05 mmol / g, the heat resistance of the cured film may be inferior, and when it exceeds 3.0 mmol / g, the brittleness of the cured film may increase.
The said ethylenically unsaturated group equivalent can be calculated | required by measuring a bromine number, for example. The bromine number can be measured according to, for example, JIS K2605.

−酸変性エチレン性不飽和基含有エポキシ樹脂−
前記酸変性エチレン性不飽和基含有エポキシ樹脂としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特許第2877659号公報に記載された、1分子中に少なくとも2個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物(a)と1分子中に少なくとも2個以上の水酸基とエポキシ基と反応する水酸基以外の1個の反応基を有する化合物(b)とエチレン性不飽和基含有モノカルボン酸(c)の反応物(I)と多塩基酸無水物(d)との反応物である酸変性エチレン性不飽和基含有エポキシ樹脂、1分子中に少なくとも2個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物(a)と1分子中に少なくとも2個以上の水酸基とエポキシ基と反応する水酸基以外の1個の反応基を有する化合物(b)とエチレン性不飽和基含有モノカルボン酸(c)の反応物(I)と多塩基酸無水物(d)とエチレン性不飽和基含有モノイソシアネート(e)との反応物である酸変性エチレン性不飽和基含有エポキシ樹脂などが挙げられる。
-Acid-modified ethylenically unsaturated group-containing epoxy resin-
The acid-modified ethylenically unsaturated group-containing epoxy resin is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, at least two or more per molecule described in Japanese Patent No. 2877659 An epoxy compound having an epoxy group (a), a compound (b) having at least two hydroxyl groups in one molecule and one reactive group other than a hydroxyl group that reacts with an epoxy group, and an ethylenically unsaturated group-containing monocarboxylic acid Acid-modified ethylenically unsaturated group-containing epoxy resin which is a reaction product of the reactant (I) of the acid (c) and the polybasic acid anhydride (d), an epoxy having at least two epoxy groups in one molecule Compound (a), compound (b) having one reactive group other than a hydroxyl group that reacts with at least two hydroxyl groups and an epoxy group in one molecule, and an ethylenically unsaturated group-containing monomer Acid-modified ethylenically unsaturated group-containing epoxy resin, which is a reaction product of reaction product (I) of boric acid (c), polybasic acid anhydride (d) and ethylenically unsaturated group-containing monoisocyanate (e) Can be mentioned.

前記酸変性エチレン性不飽和基含有エポキシ樹脂は市販品を用いることができる。前記酸変性エチレン性不飽和基含有エポキシ樹脂の市販品としては、例えば、ZFRシリーズ、CCRシリーズ、PCRシリーズ(いずれも日本化薬社製)などが挙げられる。   A commercially available product can be used as the acid-modified ethylenically unsaturated group-containing epoxy resin. Examples of commercially available acid-modified ethylenically unsaturated group-containing epoxy resins include ZFR series, CCR series, and PCR series (all manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.).

−エチレン性不飽和基及びカルボキシル基を含有するアクリル樹脂−
前記エチレン性不飽和基及びカルボキシル基を含有するアクリル樹脂としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、(メタ)アクリル酸エステルとエチレン性不飽和基を含有し且つ少なくとも1個の酸基を有する化合物とから得られた共重合体の一部の酸基にエポキシ基を有する(メタ)アクリレートを付加させたアクリル樹脂が挙げられる。
このようなアクリル樹脂としては、例えば、特開2009−86376号公報に記載された、(メタ)アクリル酸エステルとエチレン性不飽和基を含有し且つ少なくとも1個の酸基を有する化合物とから得られた共重合体の一部の酸基にグリシジル(メタ)アクリレートを付加させた変性共重合体などが挙げられる。
前記エチレン性不飽和基及びカルボキシル基を含有するアクリル樹脂は市販品を用いることができる。前記エチレン性不飽和基及びカルボキシル基を含有するアクリル樹脂の市販品としては、例えば、CyclomerP 200HM(ダイセル化学社製)などが挙げられる。
-Acrylic resin containing ethylenically unsaturated groups and carboxyl groups-
There is no restriction | limiting in particular as an acrylic resin containing the said ethylenically unsaturated group and a carboxyl group, According to the objective, it can select suitably, For example, it contains (meth) acrylic acid ester and an ethylenically unsaturated group. An acrylic resin in which a (meth) acrylate having an epoxy group is added to a part of the acid groups of a copolymer obtained from a compound having at least one acid group.
As such an acrylic resin, for example, obtained from (meth) acrylic acid ester and a compound containing an ethylenically unsaturated group and having at least one acid group described in JP-A-2009-86376. Examples thereof include a modified copolymer obtained by adding glycidyl (meth) acrylate to a part of acid groups of the obtained copolymer.
A commercial item can be used for the acrylic resin containing the said ethylenically unsaturated group and a carboxyl group. As a commercial item of the acrylic resin containing the said ethylenically unsaturated group and a carboxyl group, CyclomerP 200HM (made by Daicel Chemical Industries) etc. are mentioned, for example.

−ポリイミド前駆体−
前記ポリイミド前駆体としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2010−6946号公報に記載されたものなどが挙げられる。
-Polyimide precursor-
There is no restriction | limiting in particular as said polyimide precursor, According to the objective, it can select suitably, For example, what was described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2010-6946 etc. is mentioned.

−バインダーの含有量−
前記バインダーの前記感光性組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記感光性組成物の固形分に対して、5質量%〜80質量%が好ましく、20質量%〜75質量%がより好ましく、30質量%〜70質量%が特に好ましい。
前記含有量が、5質量%未満であると、耐クラック性が良好に保つことができないことがあり、80質量%を超えると、耐熱性が低下することがある。一方、前記含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、良好な耐クラック性と耐熱性の両立の点で有利である。
-Binder content-
There is no restriction | limiting in particular as content in the said photosensitive composition of the said binder, Although it can select suitably according to the objective, 5 mass%-80 mass% with respect to solid content of the said photosensitive composition Is preferable, 20 mass%-75 mass% is more preferable, and 30 mass%-70 mass% is especially preferable.
If the content is less than 5% by mass, the crack resistance may not be kept good, and if it exceeds 80% by mass, the heat resistance may be lowered. On the other hand, when the content is within the particularly preferable range, it is advantageous in terms of both good crack resistance and heat resistance.

<エチレン性不飽和基を2以上有する重合性化合物>
前記エチレン性不飽和基を2以上有する重合性化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
<Polymerizable compound having two or more ethylenically unsaturated groups>
There is no restriction | limiting in particular as a polymeric compound which has 2 or more of said ethylenically unsaturated groups, According to the objective, it can select suitably.

前記エチレン性不飽和基を2以上有する重合性化合物としては、(メタ)アクリロイル基を2以上有する重合性化合物が好ましい。ここで、(メタ)アクリロイル基とは、アクリロイル基、及びメタクリロイル基を意味する。   The polymerizable compound having two or more ethylenically unsaturated groups is preferably a polymerizable compound having two or more (meth) acryloyl groups. Here, the (meth) acryloyl group means an acryloyl group and a methacryloyl group.

前記(メタ)アクリロイル基を2以上有する重合性化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリトリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリトリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリトリトールペンタ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ジメチロールトリシクロデカンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)シアヌレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンやグリセリン、ビスフェノールなどの多官能アルコールに、エチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加反応した後で(メタ)アクリレート化したもの、特公昭48−41708号公報、特公昭50−6034号公報、特開昭51−37193号公報などの各公報に記載されているウレタンアクリレート類;特開昭48−64183号公報、特公昭49−43191号公報、特公昭52−30490号公報などの各公報に記載されているポリエステルアクリレート類;エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類などの多官能アクリレートやメタクリレートなどが挙げられる。これらの中でも、ジシクロペンタニルジメタノールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリトリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリトリトールペンタ(メタ)アクリレートがより好ましい。
前記(メタ)アクリロイル基を2以上有する重合性化合物としては、多環式脂肪族基を有し(メタ)アクリロイル基を2以上有する重合性化合物が好ましい。前記多環式脂肪族基を有し(メタ)アクリロイル基を2以上有する重合性化合物としては、例えば、ジメチロールトリシクロデカンジ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。
The polymerizable compound having two or more (meth) acryloyl groups is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, Trimethylolethane triacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane diacrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) Acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, hexanediol di (meth) acrylate, dimethylol tricyclodecane di (meth) acrylate, Ethylene oxide for polyfunctional alcohols such as methylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, tri (acryloyloxyethyl) cyanurate, glycerol tri (meth) acrylate, trimethylolpropane, glycerol and bisphenol And (meth) acrylates after addition reaction with propylene oxide, described in JP-B-48-41708, JP-B-50-6034, JP-A-51-37193, etc. Urethane acrylates; polyester acrylates described in JP-A-48-64183, JP-B-49-43191, JP-B-52-30490, etc .; epoxy resin and (meth) Such as multifunctional acrylates or methacrylates such as epoxy acrylates which are reaction products of acrylic acid. Among these, dicyclopentanyl dimethanol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate Is more preferable.
The polymerizable compound having two or more (meth) acryloyl groups is preferably a polymerizable compound having a polycyclic aliphatic group and two or more (meth) acryloyl groups. Examples of the polymerizable compound having a polycyclic aliphatic group and two or more (meth) acryloyl groups include dimethylol tricyclodecane di (meth) acrylate.

前記(メタ)アクリロイル基を2以上有する重合性化合物における(メタ)アクリロイル基の数としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、2〜6が好ましく、2〜4がより好ましい。   The number of (meth) acryloyl groups in the polymerizable compound having two or more (meth) acryloyl groups is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Is more preferable.

前記エチレン性不飽和基を2以上有する重合性化合物は、エポキシ基を有しないことが好ましい。   The polymerizable compound having two or more ethylenically unsaturated groups preferably has no epoxy group.

−エチレン性不飽和基を2以上有する重合性化合物の含有量−
前記エチレン性不飽和基を2以上有する重合性化合物の前記感光性組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記感光性組成物の固形分に対して、2質量%〜50質量%が好ましく、3質量%〜40質量%がより好ましく、4質量%〜35質量%が特に好ましい。前記エチレン性不飽和基を2以上有する重合性化合物の含有量が、2質量%未満であると、パターン形成ができないことがあり、50質量%を超えると、耐クラック性が劣ることがある。一方、前記エチレン性不飽和基を2以上有する重合性化合物の含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、パターン形成性、耐クラック性が向上する点で有利である。
-Content of polymerizable compound having two or more ethylenically unsaturated groups-
The content of the polymerizable compound having two or more ethylenically unsaturated groups in the photosensitive composition is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. However, the solid content of the photosensitive composition Is preferably 2% by mass to 50% by mass, more preferably 3% by mass to 40% by mass, and particularly preferably 4% by mass to 35% by mass. When the content of the polymerizable compound having two or more ethylenically unsaturated groups is less than 2% by mass, pattern formation may not be possible, and when it exceeds 50% by mass, crack resistance may be inferior. On the other hand, when the content of the polymerizable compound having two or more ethylenically unsaturated groups is within the particularly preferable range, it is advantageous in that the pattern formability and crack resistance are improved.

<光重合開始剤>
前記光重合開始剤としては、前記重合性化合物の重合を開始する能力を有する限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体、ホスフィンオキサイド、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム誘導体、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテルなどが挙げられる。
<Photopolymerization initiator>
The photopolymerization initiator is not particularly limited as long as it has the ability to initiate polymerization of the polymerizable compound, and can be appropriately selected according to the purpose. Examples thereof include halogenated hydrocarbon derivatives, phosphine oxide, hexa Examples include arylbiimidazole, oxime derivatives, organic peroxides, thio compounds, ketone compounds, aromatic onium salts, and ketoxime ethers.

前記ハロゲン化炭化水素誘導体としては、例えば、トリアジン骨格を有するハロゲン化炭化水素誘導体、オキサジアゾール骨格を有するハロゲン化炭化水素誘導体などが挙げられる。
前記トリアジン骨格を有するハロゲン化炭化水素誘導体としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、若林ら著、Bull.Chem.Soc.Japan,42、2924(1969)に記載された化合物、英国特許1388492号明細書に記載された化合物、特開昭53−133428号公報に記載された化合物、独国特許3337024号明細書に記載された化合物、F.C.SchaeferなどによるJ.Org.Chem.;29、1527(1964)に記載された化合物、特開昭62−58241号公報に記載された化合物、特開平5−281728号公報に記載された化合物、特開平5−34920号公報に記載された化合物などが挙げられる。
前記オキサジアゾール骨格を有するハロゲン化炭化水素誘導体としては、例えば、米国特許第4212976号明細書に記載された化合物などが挙げられる。
Examples of the halogenated hydrocarbon derivative include a halogenated hydrocarbon derivative having a triazine skeleton and a halogenated hydrocarbon derivative having an oxadiazole skeleton.
The halogenated hydrocarbon derivative having a triazine skeleton is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, Wakabayashi et al., Bull. Chem. Soc. Japan, 42, 2924 (1969), compounds described in British Patent No. 1388492, compounds described in Japanese Patent Laid-Open No. 53-133428, German Patent No. 3337024 Compounds, F.I. C. J. Schaefer et al. Org. Chem. 29, 1527 (1964), compounds described in JP-A-62-258241, compounds described in JP-A-5-281728, and JP-A-5-34920 And the like.
Examples of the halogenated hydrocarbon derivative having an oxadiazole skeleton include compounds described in US Pat. No. 4,221,976.

前記オキシム誘導体としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0085」に記載された化合物などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said oxime derivative, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound etc. which were described in Paragraph "0085" of Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030 etc. are mentioned.

前記ケトン化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0087」に記載された化合物などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said ketone compound, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound etc. which were described in Paragraph "0087" of Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030 etc. are mentioned.

また、上記以外の光重合開始剤としては、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0086」に記載された化合物などが挙げられる。   Examples of photopolymerization initiators other than those described above include the compounds described in paragraph “0086” of JP-A-2007-2030.

また、後述する感光層への露光における露光感度や感光波長を調整する目的で、前記光重合開始剤に加えて、増感剤を添加することが可能である。
前記増感剤は、後述する光照射手段としての可視光線や紫外光レーザ、可視光レーザなどにより適宜選択することができる。
前記増感剤は、活性エネルギー線により励起状態となり、他の物質(例えば、ラジカル発生剤、酸発生剤など)と相互作用(例えば、エネルギー移動、電子移動など)することにより、ラジカルや酸などの有用基を発生することが可能である。
In addition to the photopolymerization initiator, a sensitizer can be added for the purpose of adjusting the exposure sensitivity and the photosensitive wavelength in exposure to the photosensitive layer described later.
The sensitizer can be appropriately selected by a visible light, an ultraviolet laser, a visible light laser or the like as a light irradiation means described later.
The sensitizer is excited by active energy rays and interacts with other substances (for example, radical generator, acid generator, etc.) (for example, energy transfer, electron transfer, etc.), thereby generating radicals, acids, etc. It is possible to generate a useful group of

前記増感剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0089」に記載された化合物などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said sensitizer, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound etc. which were described in Paragraph "0089" of Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030 are mentioned.

前記光重合開始剤と前記増感剤との組合せとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2001−305734号公報に記載の電子移動型開始系[(1)電子供与型開始剤及び増感色素、(2)電子受容型開始剤及び増感色素、(3)電子供与型開始剤、増感色素及び電子受容型開始剤(三元開始系)]などの組合せが挙げられる。   The combination of the photopolymerization initiator and the sensitizer is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. (1) Electron donating initiator and sensitizing dye, (2) Electron accepting initiator and sensitizing dye, (3) Electron donating initiator, sensitizing dye and electron accepting initiator (ternary initiation system) ] Etc. are mentioned.

前記増感剤の含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記感光性組成物の固形分に対して、0.05質量%〜30質量%が好ましく、0.1質量%〜20質量%がより好ましく、0.2質量%〜10質量%が特に好ましい。前記増感剤の含有量が、0.05質量%未満であると、活性エネルギー線への感度が低下し、露光プロセスに時間がかかり、生産性が低下することがあり、30質量%を超えると、保存時に前記感光層から前記増感剤が析出することがある。   There is no restriction | limiting in particular as content of the said sensitizer, Although it can select suitably according to the objective, 0.05 mass%-30 mass% are preferable with respect to solid content of the said photosensitive composition. 0.1% by mass to 20% by mass is more preferable, and 0.2% by mass to 10% by mass is particularly preferable. When the content of the sensitizer is less than 0.05% by mass, the sensitivity to active energy rays decreases, the exposure process takes time, and the productivity may decrease, exceeding 30% by mass. In some cases, the sensitizer may precipitate from the photosensitive layer during storage.

前記光重合開始剤は、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
前記光重合開始剤の特に好ましい例としては、後述する露光において、波長が405nmのレーザ光に対応可能である、前記ホスフィンオキサイド類、前記α−アミノアルキルケトン類、前記トリアジン骨格を有するハロゲン化炭化水素化合物と増感剤としてのアミン化合物とを組合せた複合光開始剤、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、チタノセンなどが挙げられる。
The said photoinitiator may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.
Particularly preferable examples of the photopolymerization initiator include halogenated carbonization having the phosphine oxides, the α-aminoalkyl ketones, and the triazine skeleton, which can cope with laser light having a wavelength of 405 nm in the later-described exposure. Examples thereof include a composite photoinitiator in which a hydrogen compound and an amine compound as a sensitizer are combined, a hexaarylbiimidazole compound, and titanocene.

−光重合開始剤の含有量−
前記光重合開始剤の前記感光性組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記感光性組成物の固形分に対して0.5質量%〜20質量%が好ましく、0.5質量%〜15質量%がより好ましく、1質量%〜10質量%が特に好ましい。前記光重合開始剤の含有量が、0.5質量%未満であると、露光部が現像中に溶出する傾向があり、20質量%を超えると、耐熱性が低下することがある。一方、前記光重合開始剤の含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、良好なパターン形成ができ、耐熱性も良好になる点で有利である。
-Content of photopolymerization initiator-
There is no restriction | limiting in particular as content in the said photosensitive composition of the said photoinitiator, Although it can select suitably according to the objective, 0.5 mass% with respect to solid content of the said photosensitive composition -20% by mass is preferable, 0.5% by mass to 15% by mass is more preferable, and 1% by mass to 10% by mass is particularly preferable. When the content of the photopolymerization initiator is less than 0.5% by mass, the exposed area tends to be eluted during development, and when it exceeds 20% by mass, the heat resistance may be lowered. On the other hand, when the content of the photopolymerization initiator is within the particularly preferable range, it is advantageous in that a good pattern can be formed and heat resistance is also improved.

<熱架橋剤>
前記熱架橋剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、環状エーテル基、ブロックイソシアネート基、オキサゾリル基、及びエチレンカーボネート基から選択される少なくとも一種の官能基を有する化合物が好ましい。
<Thermal crosslinking agent>
The thermal crosslinking agent is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose, but has at least one functional group selected from a cyclic ether group, a blocked isocyanate group, an oxazolyl group, and an ethylene carbonate group. Compounds are preferred.

前記熱架橋剤としては、例えば、環状エーテル基を有する化合物、ブロックイソシアネート基を有する化合物、オキサゾリル基を有する化合物、エチレンカーボネート基を有する化合物などが挙げられる。   Examples of the thermal crosslinking agent include a compound having a cyclic ether group, a compound having a blocked isocyanate group, a compound having an oxazolyl group, and a compound having an ethylene carbonate group.

前記環状エーテル基を有する化合物としては、例えば、オキシラン基を有する化合物、オキセタニル基を有する化合物などが挙げられる。
前記オキシラン基を有する化合物としては、例えば、1分子内に少なくとも2つのオキシラン基を有するエポキシ化合物などが挙げられる。
前記オキセタニル基を有する化合物としては、例えば、1分子内に少なくとも2つのオキセタニル基を有するオキセタン化合物などが挙げられる。
Examples of the compound having a cyclic ether group include a compound having an oxirane group and a compound having an oxetanyl group.
Examples of the compound having an oxirane group include an epoxy compound having at least two oxirane groups in one molecule.
Examples of the compound having an oxetanyl group include an oxetane compound having at least two oxetanyl groups in one molecule.

前記エポキシ化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0095」に記載されたエポキシ樹脂などが挙げられる。前記エポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノール型エポキシ樹脂などが挙げられる。前記ビスフェノール型エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールF型エポキシ樹脂などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said epoxy compound, According to the objective, it can select suitably, For example, the epoxy resin etc. which were described in Paragraph "0095" of Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030 etc. are mentioned. Examples of the epoxy compound include bisphenol type epoxy resins. Examples of the bisphenol type epoxy resin include a bisphenol F type epoxy resin.

前記オキセタン化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0096」に記載された多官能オキセタン化合物などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said oxetane compound, According to the objective, it can select suitably, For example, the polyfunctional oxetane compound etc. which were described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030 paragraph "0096" etc. are mentioned.

前記ブロックイソシアネート基を有する化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリイソシアネート及びその誘導体のイソシアネート基にブロック剤を反応させて得られる化合物が挙げられる。このような化合物としては、例えば、特開平5−9407号公報の段落「0023」に記載されたブロックトポリイソシアネートなどが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as a compound which has the said block isocyanate group, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound obtained by making a blocking agent react with the isocyanate group of polyisocyanate and its derivative (s) is mentioned. Examples of such a compound include the blocked polyisocyanate described in paragraph “0023” of JP-A-5-9407.

前記オキサゾリル基を有する化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、オキサゾリル基を有する不飽和モノマーを必要に応じて他の不飽和モノマーと重合して得られる樹脂などが挙げられる。前記オキサゾリル基を有する不飽和モノマーとしては、例えば、2−イソプロペニル−2−オキサゾリン等のビニルオキサゾリン化合物が挙げられる。前記オキサゾリル基を有する化合物としては、市販品を用いることができる。前記市販品としては、例えば、日本触媒社製のエポクロスRPS−1005などが挙げられる。   The compound having an oxazolyl group is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, it is obtained by polymerizing an unsaturated monomer having an oxazolyl group with another unsaturated monomer as necessary. Resin etc. are mentioned. Examples of the unsaturated monomer having an oxazolyl group include vinyl oxazoline compounds such as 2-isopropenyl-2-oxazoline. A commercial item can be used as a compound which has the said oxazolyl group. Examples of the commercially available product include EPOCROS RPS-1005 manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.

前記エチレンカーボネート基を有する化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、エチレンカーボネート基を有するアクリル樹脂などが挙げられる。前記エチレンカーボネート基を有するアクリル樹脂としては、例えば、特開平1−146968号公報に記載されたカーボネート基含有共重合体などが挙げられる。   The compound having an ethylene carbonate group is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include an acrylic resin having an ethylene carbonate group. Examples of the acrylic resin having an ethylene carbonate group include a carbonate group-containing copolymer described in JP-A-1-146968.

これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
これらの中でも、オキシラン基を有する化合物が、パターン側面の平滑性、及び電気絶縁性の点で好ましい。
These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.
Among these, a compound having an oxirane group is preferable in terms of the smoothness of the pattern side surface and electrical insulation.

−熱架橋剤の含有量−
前記熱架橋剤の前記感光性組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記感光性組成物の固形分に対して、1質量%〜50質量%が好ましく、2質量%〜40質量%がより好ましく、3質量%〜30質量%が特に好ましい。前記熱架橋剤の含有量が、1質量%未満であると、耐熱性が悪化することがあり、50質量%を超えると、現像性や耐クラック性が悪化することがある。一方、前記含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、良好な感度で硬化膜が作製でき、形成された硬化膜も、耐熱性と耐クラック性とを両立できる点で有利である。
-Content of thermal crosslinking agent-
There is no restriction | limiting in particular as content in the said photosensitive composition of the said thermal crosslinking agent, Although it can select suitably according to the objective, 1 mass%-50 with respect to solid content of the said photosensitive composition % By mass is preferable, 2% by mass to 40% by mass is more preferable, and 3% by mass to 30% by mass is particularly preferable. When the content of the thermal crosslinking agent is less than 1% by mass, heat resistance may be deteriorated, and when it exceeds 50% by mass, developability and crack resistance may be deteriorated. On the other hand, when the content is within the particularly preferable range, a cured film can be produced with good sensitivity, and the formed cured film is advantageous in that both heat resistance and crack resistance can be achieved.

<その他の成分>
前記その他の成分としては、例えば、熱可塑性エラストマー、熱硬化促進剤、密着促進剤、熱重合禁止剤、着色剤、有機溶剤、チキソ性付与剤、消泡剤、レベリング剤などが挙げられる。
<Other ingredients>
Examples of the other components include thermoplastic elastomers, thermosetting accelerators, adhesion promoters, thermal polymerization inhibitors, colorants, organic solvents, thixotropic agents, antifoaming agents, and leveling agents.

−熱可塑性エラストマー−
前記感光性組成物に前記熱可塑性エラストマーを添加することで、前記感光性組成物に耐熱性、柔軟性及び強靭性を付与することができる。
前記熱可塑性エラストマーとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、スチレン系エラストマー、オレフィン系エラストマー、ウレタン系エラストマー、ポリエステル系エラストマー、ポリアミド系エラストマー、アクリル系エラストマー、シリコーン系エラストマー、ゴム変性したエポキシ樹脂などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
これらの熱可塑性エラストマーは、ハードセグメント成分とソフトセグメント成分から成り立っており、一般に前者が耐熱性、強度に、後者が柔軟性、強靭性に寄与している。また、前記エラストマーの性質としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、現像工程の生産効率性などの点で、アルカリ可溶性又は膨潤性があることが好ましい。
前記スチレン系エラストマー、オレフィン系エラストマー、ウレタン系エラストマー、ポリエステル系エラストマー、ポリアミド系エラストマー、アクリル系エラストマー、シリコーン系エラストマー、及びゴム変性したエポキシ樹脂としては、例えば、特開2009−014745号公報の段落「0087」〜「0095」に記載のものなどが挙げられる。
-Thermoplastic elastomer-
By adding the thermoplastic elastomer to the photosensitive composition, heat resistance, flexibility and toughness can be imparted to the photosensitive composition.
There is no restriction | limiting in particular as said thermoplastic elastomer, According to the objective, it can select suitably, For example, styrene-type elastomer, olefin-type elastomer, urethane-type elastomer, polyester-type elastomer, polyamide-type elastomer, acrylic-type elastomer, silicone And elastomers and rubber-modified epoxy resins. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.
These thermoplastic elastomers are composed of a hard segment component and a soft segment component. In general, the former contributes to heat resistance and strength, and the latter contributes to flexibility and toughness. Moreover, there is no restriction | limiting in particular as a characteristic of the said elastomer, According to the objective, it can select suitably, For example, it is preferable that it is alkali-soluble or swellable in terms of the production efficiency of a image development process.
Examples of the styrene-based elastomer, olefin-based elastomer, urethane-based elastomer, polyester-based elastomer, polyamide-based elastomer, acrylic-based elastomer, silicone-based elastomer, and rubber-modified epoxy resin include, for example, paragraph “ And the like described in “0087” to “0095”.

−−熱可塑性エラストマーの含有量−−
前記熱可塑性エラストマーの前記感光性組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記感光性組成物の固形分に対して、1質量%〜50質量%が好ましく、2質量%〜20質量%がより好ましく、3質量%〜10質量%が特に好ましい。前記含有量が、1質量%未満であると、耐クラック性が劣ることあり、50質量%を超えると、未露光部が現像液で溶出しないことがある。一方、前記含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、現像性や耐クラック性が向上する点で有利である。
--- The content of thermoplastic elastomer--
There is no restriction | limiting in particular as content in the said photosensitive composition of the said thermoplastic elastomer, Although it can select suitably according to the objective, 1 mass%-50 with respect to solid content of the said photosensitive composition % By mass is preferable, 2% by mass to 20% by mass is more preferable, and 3% by mass to 10% by mass is particularly preferable. If the content is less than 1% by mass, the crack resistance may be inferior, and if it exceeds 50% by mass, the unexposed part may not be eluted with the developer. On the other hand, when the content is within the particularly preferable range, it is advantageous in terms of improving developability and crack resistance.

−熱硬化促進剤−
前記熱硬化促進剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0101」に記載された化合物などが挙げられる。
-Thermosetting accelerator-
There is no restriction | limiting in particular as said thermosetting accelerator, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound etc. which were described in Paragraph "0101" of Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030 are mentioned.

−−熱硬化促進剤の含有量−−
前記熱硬化促進剤の前記感光性組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記感光性組成物の固形分に対して、0.01質量%〜20質量%が好ましく、0.05質量%〜15質量%がより好ましく、0.1質量%〜10質量%が特に好ましい。前記熱硬化促進剤の含有量が、0.01質量%未満であると、硬化膜の強靭性を発現することができないことがあり、20質量%を超えると、感光性組成物の保存安定性が悪化することがある。一方、前記熱硬化促進剤の含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、感光性組成物の保存安定性、硬化膜物性が向上する点で有利である。
--Content of thermosetting accelerator--
There is no restriction | limiting in particular as content in the said photosensitive composition of the said thermosetting accelerator, Although it can select suitably according to the objective, 0.01 mass with respect to solid content of the said photosensitive composition % To 20% by mass is preferable, 0.05% to 15% by mass is more preferable, and 0.1% to 10% by mass is particularly preferable. If the content of the thermosetting accelerator is less than 0.01% by mass, the toughness of the cured film may not be expressed. If the content exceeds 20% by mass, the storage stability of the photosensitive composition may be reduced. May get worse. On the other hand, when the content of the thermosetting accelerator is within the particularly preferred range, it is advantageous in that the storage stability and the cured film properties of the photosensitive composition are improved.

−密着促進剤−
前記密着促進剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0108」に記載された化合物などが挙げられる。
-Adhesion promoter-
There is no restriction | limiting in particular as said adhesion promoter, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound etc. which were described in Paragraph "0108" of Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030 are mentioned.

−−密着促進剤の含有量−−
前記密着促進剤の前記感光性組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記感光性組成物の固形分に対して、0.01質量%〜20質量%が好ましく、0.05質量%〜15質量%がより好ましく、0.1質量%〜10質量%が特に好ましい。前記密着促進剤の含有量が、0.01質量%未満であると、硬化膜の強靭性を発現することができないことがあり、20質量%を超えると、感光性組成物の保存性が悪化することがある。一方、前記含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、感光性組成物の保存安定性、硬化膜物性が向上する点で有利である。
--Content of adhesion promoter--
There is no restriction | limiting in particular as content in the said photosensitive composition of the said adhesion promoter, Although it can select suitably according to the objective, 0.01 mass% with respect to solid content of the said photosensitive composition -20% by mass is preferable, 0.05% by mass to 15% by mass is more preferable, and 0.1% by mass to 10% by mass is particularly preferable. When the content of the adhesion promoter is less than 0.01% by mass, the toughness of the cured film may not be expressed. When the content exceeds 20% by mass, the preservability of the photosensitive composition is deteriorated. There are things to do. On the other hand, when the content is within the particularly preferred range, it is advantageous in that the storage stability and the cured film physical properties of the photosensitive composition are improved.

−熱重合禁止剤−
前記熱重合禁止剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0113」に記載された化合物などが挙げられる。
-Thermal polymerization inhibitor-
There is no restriction | limiting in particular as said thermal polymerization inhibitor, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound etc. which were described in Paragraph "0113" of Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030 are mentioned.

−着色剤−
前記着色剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、着色顔料や、公知の染料の中から適宜選択した染料を使用することができる。
前記着色顔料としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007−2030号公報の段落「0106」に記載された化合物などが挙げられる。
前記着色剤の前記感光性組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
-Colorant-
There is no restriction | limiting in particular as said coloring agent, According to the objective, it can select suitably, A coloring pigment and the dye suitably selected from well-known dye can be used.
There is no restriction | limiting in particular as said coloring pigment, According to the objective, it can select suitably, For example, the compound etc. which were described in Paragraph "0106" of Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-2030 are mentioned.
There is no restriction | limiting in particular as content in the said photosensitive composition of the said coloring agent, According to the objective, it can select suitably.

−有機溶剤−
前記有機溶剤は、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開平11−240930号公報の段落「0043」に記載された化合物、特開2007−2030号公報の段落「0121」に記載された化合物などが挙げられる。
-Organic solvent-
The organic solvent is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include compounds described in paragraph “0043” of JP-A No. 11-240930 and paragraphs of JP-A No. 2007-2030. And the compounds described in “0121”.

−−有機溶剤の含有量−−
前記有機溶剤の前記感光性組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記感光性組成物の固形分に対して、1質量%〜80質量%が好ましく、2質量%〜70質量%がより好ましく、3質量%〜60質量%が特に好ましい。前記有機溶剤の含有量が、1質量%未満であると、組成物の粘度が高く塗膜の形成が困難になることがあり、80質量%を超えると、所望の膜厚の制御が困難になることがある。一方、前記有機溶剤の含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、塗膜製造適性の点で有利である。
-Content of organic solvent-
There is no restriction | limiting in particular as content in the said photosensitive composition of the said organic solvent, Although it can select suitably according to the objective, 1 mass%-80 mass with respect to solid content of the said photosensitive composition % Is preferable, 2% by mass to 70% by mass is more preferable, and 3% by mass to 60% by mass is particularly preferable. When the content of the organic solvent is less than 1% by mass, the viscosity of the composition may be high and it may be difficult to form a coating film. When the content exceeds 80% by mass, it is difficult to control the desired film thickness. May be. On the other hand, when the content of the organic solvent is within the particularly preferable range, it is advantageous from the viewpoint of coating film production suitability.

(感光性フィルム)
本発明の感光性組成物は、導体配線の形成された基板上に塗布乾燥することにより液状レジストとしても使用可能であるが、感光性フィルムの製造に特に有用である。
前記感光性フィルムは、少なくとも支持体と、感光層とを有してなり、好ましくは保護フィルムを有してなり、更に必要に応じて、クッション層、酸素遮断層(以下PC層と省略する。)などのその他の層を有してなる。
前記感光性フィルムの形態としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、前記支持体上に、前記感光層、前記保護膜フィルムをこの順に有してなる形態、前記支持体上に、前記PC層、前記感光性層、前記保護フィルムをこの順に有してなる形態、前記支持体上に、前記クッション層、前記PC層、前記感光層、前記保護フィルムをこの順に有してなる形態、などが挙げられる。なお、前記感光層は、単層であってもよいし、複数層であってもよい。
(Photosensitive film)
Although the photosensitive composition of this invention can be used also as a liquid resist by apply | coating and drying on the board | substrate with which conductor wiring was formed, it is especially useful for manufacture of the photosensitive film.
The photosensitive film has at least a support and a photosensitive layer, and preferably has a protective film. Further, if necessary, the photosensitive film is abbreviated as a cushion layer and an oxygen barrier layer (hereinafter referred to as a PC layer). ) And other layers.
The form of the photosensitive film is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose. For example, the photosensitive layer and the protective film are provided in this order on the support, The PC layer, the photosensitive layer, and the protective film are provided in this order on the support, and the cushion layer, the PC layer, the photosensitive layer, and the protective film are provided on the support. The form which it has in order, etc. are mentioned. The photosensitive layer may be a single layer or a plurality of layers.

<支持体>
前記支持体としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記感光層を剥離可能であり、かつ光の透過性が良好であるものが好ましく、更に表面の平滑性が良好であることがより好ましい。
<Support>
The support is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. However, it is preferable that the photosensitive layer is peelable and has good light transmittance, and further has a smooth surface. Is more preferable.

前記支持体としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2008−250074号公報の段落〔0115〕〜〔0117〕に記載の支持体などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said support body, According to the objective, it can select suitably, For example, the support body of Paragraph [0115]-[0117] of Unexamined-Japanese-Patent No. 2008-250074 etc. are mentioned.

<感光層>
前記感光層は、本発明の前記感光性組成物から形成される。
<Photosensitive layer>
The photosensitive layer is formed from the photosensitive composition of the present invention.

また、前記感光層の積層数としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、1層であってもよいし、2層以上であってもよい。   Further, the number of laminated photosensitive layers is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose. For example, it may be one layer or two or more layers.

前記感光層の形成方法としては、前記支持体の上に、本発明の前記感光性組成物を、水又は溶剤に溶解、乳化又は分散させて感光性組成物溶液を調製し、該溶液を直接塗布し、乾燥させることにより積層する方法が挙げられる。   As a method for forming the photosensitive layer, a photosensitive composition solution is prepared by dissolving, emulsifying or dispersing the photosensitive composition of the present invention in water or a solvent on the support, and the solution is directly applied. The method of laminating | stacking by apply | coating and drying is mentioned.

前記感光性組成物溶液に用いる溶剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。   There is no restriction | limiting in particular as a solvent used for the said photosensitive composition solution, According to the objective, it can select suitably.

前記塗布の方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、スピンコーター、スリットスピンコーター、ロールコーター、ダイコーター、カーテンコーター等を用いて、前記支持体に直接塗布する方法が挙げられる。
前記乾燥の条件としては、各成分、溶媒の種類、使用割合等によっても異なるが、通常60℃〜110℃の温度で30秒間〜15分間程度である。
The application method is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, using a spin coater, slit spin coater, roll coater, die coater, curtain coater, etc. The method of apply | coating is mentioned.
The drying conditions vary depending on each component, the type of solvent, the use ratio, and the like, but are usually about 60 seconds to 110 ° C. for about 30 seconds to 15 minutes.

前記感光層の厚みとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、1μm〜100μmが好ましく、2μm〜50μmがより好ましく、4μm〜30μmが特に好ましい。   There is no restriction | limiting in particular as thickness of the said photosensitive layer, Although it can select suitably according to the objective, 1 micrometer-100 micrometers are preferable, 2 micrometers-50 micrometers are more preferable, and 4 micrometers-30 micrometers are especially preferable.

前記感光層の70℃における溶融粘度としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、5×10Pa・s以下が好ましい。前記感光層の70℃における溶融粘度が、5×10Pa・sを超えるとラミネート不良となることがある。
前記感光層の30℃における溶融粘度としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、1×10Pa・s以上が好ましい。前記感光層の30℃における溶融粘度が、1×10Pa・s未満であると、エッジヒュージョンが悪化することがある。
前記感光層の溶融粘度の測定は、レオメーター・VAR−1000型(レオロジカル株式会社製)などの溶融粘度測定装置を用いて測定することができる。
There is no restriction | limiting in particular as melt viscosity in 70 degreeC of the said photosensitive layer, Although it can select suitably according to the objective, 5 * 10 < 3 > Pa * s or less is preferable. When the melt viscosity at 70 ° C. of the photosensitive layer exceeds 5 × 10 3 Pa · s, lamination failure may occur.
There is no restriction | limiting in particular as melt viscosity in 30 degreeC of the said photosensitive layer, Although it can select suitably according to the objective, 1 * 10 < 5 > Pa * s or more is preferable. If the melt viscosity at 30 ° C. of the photosensitive layer is less than 1 × 10 5 Pa · s, edge fusion may deteriorate.
The melt viscosity of the photosensitive layer can be measured by using a melt viscosity measuring device such as a rheometer / VAR-1000 type (manufactured by Rheological Co., Ltd.).

詳細は、特開2007−2030号公報の段落「0115」〜段落「0127」に記載された通りである。   Details are as described in paragraphs “0115” to “0127” of JP2007-2030A.

(永久パターン形成方法、及び永久パターン)
本発明の永久パターン形成方法は、露光工程を少なくとも含み、更に必要に応じて、その他の工程を含む。
本発明の永久パターンは、前記永久パターン形成方法により形成される。
(Permanent pattern forming method and permanent pattern)
The permanent pattern forming method of the present invention includes at least an exposure step, and further includes other steps as necessary.
The permanent pattern of the present invention is formed by the permanent pattern forming method.

<露光工程>
前記露光工程は、本発明の感光性組成物により形成された感光層に対して露光を行う工程であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
<Exposure process>
If the said exposure process is a process of exposing with respect to the photosensitive layer formed with the photosensitive composition of this invention, there will be no restriction | limiting in particular, According to the objective, it can select suitably.

前記露光の対象としては、前記感光層である限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、基材上に感光性フィルムを加熱及び加圧の少なくともいずれかを行いながら積層して形成した積層体に対して行われることが好ましい。   The subject of the exposure is not particularly limited as long as it is the photosensitive layer, and can be appropriately selected according to the purpose, but while performing at least one of heating and pressurizing the photosensitive film on the substrate. It is preferable to be performed on a laminated body formed by laminating.

前記露光としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、デジタル露光、アナログ露光などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said exposure, According to the objective, it can select suitably, For example, digital exposure, analog exposure, etc. are mentioned.

<その他の工程>
前記その他の工程としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、基材の表面処理工程、現像工程、硬化処理工程、ポスト露光工程などが挙げられる。
<Other processes>
There is no restriction | limiting in particular as said other process, According to the objective, it can select suitably, For example, the surface treatment process of a base material, a development process, a hardening process process, a post exposure process etc. are mentioned.

−現像工程−
前記現像工程は、前記感光層の未露光部分を除去する工程である。
前記露光部分の除去方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、現像液を用いて除去する方法などが挙げられる。
-Development process-
The developing step is a step of removing an unexposed portion of the photosensitive layer.
There is no restriction | limiting in particular as a removal method of the said exposed part, According to the objective, it can select suitably, For example, the method etc. which remove using a developing solution are mentioned.

前記現像液としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2008−250074号公報の段落〔0171〕〜〔0173〕に記載の現像液が挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said developing solution, According to the objective, it can select suitably, For example, the developing solution as described in Paragraph [0171]-[0173] of Unexamined-Japanese-Patent No. 2008-250074 is mentioned.

−硬化処理工程−
前記硬化処理工程は、前記現像工程が行われた後、形成されたパターンにおける感光層に対して硬化処理を行う工程である。
前記硬化処理工程としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、全面露光処理、全面加熱処理などが好適に挙げられる。
-Curing process-
The curing treatment step is a step of performing a curing treatment on the photosensitive layer in the formed pattern after the development step is performed.
There is no restriction | limiting in particular as said hardening process, Although it can select suitably according to the objective, For example, a whole surface exposure process, a whole surface heat processing, etc. are mentioned suitably.

前記全面露光処理、及び前記全面加熱処理の方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2008−250074号公報の段落〔0176〕〜〔0177〕に記載の方法などが挙げられる。   The method for the entire surface exposure treatment and the entire surface heat treatment is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose. For example, in paragraphs [0176] to [0177] of JP-A-2008-250074 The method of description is mentioned.

前記永久パターンの形成方法が、保護膜、層間絶縁膜、及びソルダーレジストパターンの少なくともいずれかを形成する永久パターン形成方法である場合には、プリント基板上に前記永久パターン形成方法により、永久パターンを形成し、更に、以下のようにはんだ付けを行うことができる。
即ち、前記現像により、前記永久パターンである硬化層が形成され、前記プリント基板の表面に金属層が露出される。該プリント配線板の表面に露出した金属層の部位に対して金メッキを行った後、はんだ付けを行う。そして、はんだ付けを行った部位に、半導体や部品などを実装する。このとき、前記硬化層による永久パターンが、保護膜あるいは絶縁膜(層間絶縁膜)、ソルダーレジストとしての機能を発揮し、外部からの衝撃や隣同士の電極の導通が防止される。
When the permanent pattern forming method is a permanent pattern forming method for forming at least one of a protective film, an interlayer insulating film, and a solder resist pattern, the permanent pattern is formed on a printed circuit board by the permanent pattern forming method. It can be formed and soldered as follows.
That is, by the development, a hardened layer that is the permanent pattern is formed, and the metal layer is exposed on the surface of the printed board. Gold plating is performed on the portion of the metal layer exposed on the surface of the printed wiring board, and then soldering is performed. And a semiconductor, components, etc. are mounted in the part which soldered. At this time, the permanent pattern by the hardened layer exhibits a function as a protective film, an insulating film (interlayer insulating film), or a solder resist, and prevents external impact and conduction between adjacent electrodes.

(プリント基板)
本発明のプリント基板は、少なくとも基体と、前記永久パターン形成方法により形成された永久パターンと、を有してなり、更に、必要に応じて適宜選択した、その他の構成を有する。
その他の構成としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、基材と前記永久パターン間に、更に絶縁層が設けられたビルドアップ基板などが挙げられる。
(Printed board)
The printed circuit board of the present invention comprises at least a substrate and a permanent pattern formed by the permanent pattern forming method, and further has other configurations appropriately selected as necessary.
There is no restriction | limiting in particular as another structure, According to the objective, it can select suitably, For example, the buildup board | substrate etc. in which the insulating layer was further provided between the base material and the said permanent pattern are mentioned.

以下、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明は、これらの実施例に何ら制限されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example is given and this invention is demonstrated more concretely, this invention is not restrict | limited to these Examples at all.

以下の合成例において、酸価、重量平均分子量、エチレン性不飽和基当量は、以下の方法で求めた。
前記酸価は、JIS K0070に準拠して測定した。ただし、サンプルが溶解しない場合は、溶媒としてジオキサン又はテトラヒドロフランなどを使用した。
前記重量平均分子量は、高速GPC装置(東洋曹達社製HLC−802A)を使用して測定した。即ち、0.5質量%のHHF溶液を試料溶液とし、カラムはTSKgelGMH62本を使用し、200μLの試料を注入し、前記THF溶液で溶離して、25℃で屈折率検出器により測定した。次に、標準ポリスチレンで較正した分子量分布曲線より重量平均分子量を求めた。
前記エチレン性不飽和基当量は、臭素価をJIS K2605に準拠して測定することにより求めた。
In the following synthesis examples, the acid value, weight average molecular weight, and ethylenically unsaturated group equivalent were determined by the following methods.
The acid value was measured according to JIS K0070. However, when the sample did not dissolve, dioxane or tetrahydrofuran was used as a solvent.
The weight average molecular weight was measured using a high-speed GPC apparatus (HLC-802A manufactured by Toyo Soda Co., Ltd.). That is, 0.5% by mass of HHF solution was used as a sample solution, 62 columns of TSKgelGMH were used, 200 μL of sample was injected, eluted with the THF solution, and measured with a refractive index detector at 25 ° C. Next, the weight average molecular weight was determined from the molecular weight distribution curve calibrated with standard polystyrene.
The said ethylenically unsaturated group equivalent was calculated | required by measuring a bromine number based on JISK2605.

(合成例1)
<酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂の合成>
コンデンサー、撹拌機を備えた500mLの3つ口丸底フラスコに、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)プロピオン酸(DMPA)10.86g(0.081モル)とグリセロールモノメタクリレート(GLM)16.82g(0.105モル)をプロピレングリコールモノメチルエーテルモノアセテート79mLに溶解した。これに、4,4−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)37.54g(0.15モル)、2,6−ジ−t−ブチルヒドロキシトルエン0.1g、触媒として、商品名:ネオスタンU−600(日東化成社製)0.2gを添加し、75℃にて、5時間加熱撹拌した。その後、メチルアルコールにて希釈し30分撹拌し、固形分濃度40質量%の酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂溶液を得た。
上記で得られた酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂は、固形分酸価が70mgKOH/gであり、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)にて測定した重量平均分子量(ポリスチレン標準)が8,000であり、エチレン性不飽和基当量が1.5mmol/gであった。
(Synthesis Example 1)
<Synthesis of acid-modified ethylenically unsaturated group-containing polyurethane resin>
A 500 mL three-necked round bottom flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 10.86 g (0.081 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) propionic acid (DMPA) and 16.82 g of glycerol monomethacrylate (GLM). (0.105 mol) was dissolved in 79 mL of propylene glycol monomethyl ether monoacetate. To this, 37.54 g (0.15 mol) of 4,4-diphenylmethane diisocyanate (MDI), 0.1 g of 2,6-di-t-butylhydroxytoluene, as a catalyst, trade name: Neostan U-600 (Nitto Kasei) 0.2 g) was added and stirred at 75 ° C. for 5 hours. Thereafter, the solution was diluted with methyl alcohol and stirred for 30 minutes to obtain an acid-modified ethylenically unsaturated group-containing polyurethane resin solution having a solid concentration of 40% by mass.
The acid-modified ethylenically unsaturated group-containing polyurethane resin obtained above has a solid content acid value of 70 mgKOH / g, and a weight average molecular weight (polystyrene standard) of 8, measured by gel permeation chromatography (GPC). And the ethylenically unsaturated group equivalent was 1.5 mmol / g.

(合成例2)
<酸変性エチレン性不飽和基含有エポキシ樹脂の合成>
YDF2001(東都化成社製、ビスフェノールF型エポキシ樹脂)475質量部、アクリル酸72質量部、ハイドロキノン0.5質量部、及びカルビトールアセテート120質量部を仕込み、90℃に加熱、撹拌して反応混合物を溶解した。次に60℃に冷却し、塩化ベンジルトリメチルアンモニウム2質量部を仕込み、100℃に加熱して、酸価が1mgKOH/gになるまで反応させた。次に無水マレイン酸98質量部とカルビトールアセテート85質量部を仕込み、80℃に加熱し、約6時間反応し冷却し、固形分濃度が40質量%になるようにカルビトールアセテートで希釈して、酸変性エチレン性不飽和基含有エポキシ樹脂を得た。
(Synthesis Example 2)
<Synthesis of acid-modified ethylenically unsaturated group-containing epoxy resin>
YDF2001 (Toto Kasei Co., Ltd., bisphenol F type epoxy resin) 475 parts by mass, 72 parts by mass of acrylic acid, 0.5 parts by mass of hydroquinone, and 120 parts by mass of carbitol acetate were added to the reaction mixture by heating and stirring to 90 ° C. Was dissolved. Next, the mixture was cooled to 60 ° C., charged with 2 parts by mass of benzyltrimethylammonium chloride, heated to 100 ° C., and reacted until the acid value reached 1 mgKOH / g. Next, 98 parts by weight of maleic anhydride and 85 parts by weight of carbitol acetate are added, heated to 80 ° C., reacted and cooled for about 6 hours, and diluted with carbitol acetate to a solid content concentration of 40% by weight. An acid-modified ethylenically unsaturated group-containing epoxy resin was obtained.

(合成例3)
<ポリイミド前駆体の合成>
撹拌機、還流冷却機を備えたフラスコに、アミド結合を有するテトラカルボン酸二無水物(M1)を10g(固形分60重量%、0.01モル)、4,4’−[イソプロピリデンビス(p−フェニレンオキシ)]ジアニリン(BAPP)を2.87g(0.007モル)、ジェファーミンD400(三井化学ファイン)1.36g(0.003モル)、ジメチルアセトアミド2.82gを仕込み、室温で8時間撹拌を行い、(A)成分であるアミド結合を有するポリイミド前駆体(P2)を得た。得られたポリイミド前駆体の重量平均分子量は30,000であり、固形分濃度は40質量%であった。
(Synthesis Example 3)
<Synthesis of polyimide precursor>
In a flask equipped with a stirrer and a reflux condenser, 10 g of tetracarboxylic dianhydride (M1) having an amide bond (solid content 60% by weight, 0.01 mol), 4,4 ′-[isopropylidenebis ( p-phenyleneoxy)] dianiline (BAPP), 2.87 g (0.007 mol), Jeffamine D400 (Mitsui Chemical Fine) 1.36 g (0.003 mol), and dimethylacetamide 2.82 g were charged at room temperature. Stirring was performed for a time to obtain a polyimide precursor (P2) having an amide bond as component (A). The resulting polyimide precursor had a weight average molecular weight of 30,000 and a solid content concentration of 40% by mass.

(実施例1)
<感光性組成物塗布液の調製>
下記の各成分を混合し、感光性組成物塗布液を調製した。
具体的には、下記各成分を混合し、ビーズミル(アイガーミルM−50、アイガージャパン社製、メディア;直径1mmのジルコニアビーズ、充填率75体積%)で、1.5時間分散を行い、感光性組成物塗布液を調製した。
また、感光性組成物塗布液の粘度を、E型粘度計(商品名:VISCOMETER RE−80、TOKI社製)を用い測定した。結果を表1に示す。
―――――――――――――――――――――――――――――――――――――――
合成例1で合成した酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂
(固形分濃度40質量%) 32.3質量部
分散剤:ディスパー BYK−110(ビックケミー社製) 0.22質量部
着色顔料:HELIOGEN BLUE D7086(BASF社製)
0.021質量部
着色顔料:Pariotol Yellow D0960(BASF社製)
0.006質量部
硬化剤:メラミン(和光純薬社製) 0.16質量部
イオントラップ剤:IXE−6107(東亞合成社製) 0.82質量部
フィラー:SO−C2(アドマテックス社製) 16.0質量部
重合性化合物:DCP−A(ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート、共栄社化学社製) 5.3質量部
熱架橋剤:エポトートYDF−170(東都化成社製) 2.9質量部
開始剤:IRG907(チバスペシャリティケミカル社製) 0.6質量部
増感剤:DETX−S(日本化薬社製) 0.005質量部
反応助剤:EAB−F(保土ヶ谷化学社製) 0.019質量部
エラストマー:エスぺル1612(日立化成社製) 2.7質量部
塗布助剤:メガファックF−780F 0.2質量部
(大日本インキ(株)製:30質量%メチルエチルケトン溶液)
シクロヘキサノン(溶媒) 38.7質量部
Example 1
<Preparation of photosensitive composition coating solution>
The following components were mixed to prepare a photosensitive composition coating solution.
Specifically, the following components were mixed and dispersed for 1.5 hours in a bead mill (Eiger Mill M-50, manufactured by Eiger Japan, media; zirconia beads having a diameter of 1 mm, filling rate 75% by volume), and photosensitive. A composition coating solution was prepared.
Moreover, the viscosity of the photosensitive composition coating liquid was measured using an E-type viscometer (trade name: VISCOMETER RE-80, manufactured by TOKI). The results are shown in Table 1.
―――――――――――――――――――――――――――――――――――――――
Acid-modified ethylenically unsaturated group-containing polyurethane resin synthesized in Synthesis Example 1 (solid content concentration 40% by mass) 32.3 parts by mass Dispersant: Disper BYK-110 (manufactured by BYK Chemie) 0.22 parts by mass Coloring pigment: HELIOGEN BLUE D7086 (manufactured by BASF)
0.021 parts by mass Coloring pigment: Pariotol Yellow D0960 (manufactured by BASF)
0.006 parts by mass Curing agent: Melamine (manufactured by Wako Pure Chemical Industries) 0.16 parts by mass Ion trap agent: IXE-6107 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.) 0.82 parts by mass Filler: SO-C2 (manufactured by Admatechs) 16.0 parts by mass Polymerizable compound: DCP-A (dimethylol tricyclodecane diacrylate, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) 5.3 parts by mass Thermal crosslinker: Epototo YDF-170 (manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.) 2.9 parts by mass Initiator: IRG907 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals) 0.6 parts by mass Sensitizer: DETX-S (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 0.005 parts by mass Reaction aid: EAB-F (manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) 0. 019 parts by mass Elastomer: Esper 1612 (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) 2.7 parts by mass Application aid: 0.2 parts by mass of Megafac F-780F (Dainippon Ink Co., Ltd .: 30 parts by mass) Methyl ethyl ketone solution)
Cyclohexanone (solvent) 38.7 parts by mass

−感光性フィルムの作製−
支持体として、厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィム(PET)を用い、該支持体上に前記感光性組成物塗布液をバーコーターにより、乾燥後の感光層の厚みが約30μmになるように塗布し、80℃、30分間熱風循環式乾燥機中で乾燥させ、感光性フィルムを作製した。
前記作製した感光性フィルムについて、感光層の溶融粘度の測定を、レオメーター・VAR−1000型(レオロジカル株式会社製)を用いて、下記条件により測定を行った。
−−溶融粘度測定条件−−
直径20mmのプレートを用い歪0.005、周波数1Hzで溶融粘弾性を測定した。なお、温度範囲を25℃〜85℃とし、5℃/分の昇温速度で測定を行った。
-Production of photosensitive film-
Using a polyethylene terephthalate film (PET) having a thickness of 25 μm as a support, the photosensitive composition coating solution was applied onto the support with a bar coater so that the thickness of the photosensitive layer after drying was about 30 μm. It was dried in a hot air circulation dryer at 80 ° C. for 30 minutes to produce a photosensitive film.
About the produced photosensitive film, the measurement of the melt viscosity of a photosensitive layer was measured on condition of the following using rheometer * VAR-1000 type (made by Rheological Co., Ltd.).
--Measurement conditions for melt viscosity--
Melt viscoelasticity was measured using a plate having a diameter of 20 mm at a strain of 0.005 and a frequency of 1 Hz. The temperature range was 25 ° C. to 85 ° C., and the measurement was performed at a rate of temperature increase of 5 ° C./min.

<永久パターンの形成>
−積層体の調製−
次に、前記基材として、配線形成済みの銅張積層板(スルーホールなし、銅厚み12μmのプリント配線板)の表面に化学研磨処理を施した。該銅張積層板上に、前記感光性フィルムの感光層が前記銅張積層板に接するようにして、真空ラミネーター(ニチゴーモートン社製、VP130)を用いて積層させ、前記銅張積層板と、前記感光層と、前記ポリエチレンテレフタレートフィルム(支持体)とがこの順に積層された積層体を調製した。
圧着条件は、圧着温度70℃、圧着圧力0.2MPa、加圧時間10秒間とした。
<Formation of permanent pattern>
-Preparation of laminate-
Next, a chemical polishing treatment was applied to the surface of a copper-clad laminate (no through-hole, printed wiring board with a copper thickness of 12 μm) on which wiring was formed as the substrate. On the copper clad laminate, the photosensitive layer of the photosensitive film is in contact with the copper clad laminate, and is laminated using a vacuum laminator (manufactured by Nichigo Morton, VP130), the copper clad laminate, A laminate was prepared in which the photosensitive layer and the polyethylene terephthalate film (support) were laminated in this order.
The pressure bonding conditions were a pressure bonding temperature of 70 ° C., a pressure bonding pressure of 0.2 MPa, and a pressing time of 10 seconds.

−露光工程−
前記調製した積層体における感光層に対し、ポリエチレンテレフタレートフィルム(支持体)側から、回路基板用露光機EXM−1172(オーク製作所社製)を用いて、フォトマスク越しに40mJ/cmで露光して、前記感光層の一部の領域を硬化させた。
-Exposure process-
Using a circuit board exposure machine EXM-1172 (manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.), the photosensitive layer in the prepared laminate is exposed from the polyethylene terephthalate film (support) side through a photomask at 40 mJ / cm 2. Then, a part of the photosensitive layer was cured.

−現像工程−
室温にて10分間静置した後、前記積層体からポリエチレンテレフタレートフィルム(支持体)を剥がし取り、銅張積層板上の感光層の全面に、アルカリ現像液として、1質量%炭酸ナトリウム水溶液を用い、30℃にて60秒間、0.18MPa(1.8kgf/cm)の圧力でスプレー現像し、未露光の領域を溶解除去した。その後、水洗し、乾燥させ、永久パターンを形成した。
-Development process-
After standing at room temperature for 10 minutes, the polyethylene terephthalate film (support) is peeled off from the laminate, and a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution is used as an alkaline developer on the entire surface of the photosensitive layer on the copper clad laminate. Spray development was performed at 30 ° C. for 60 seconds at a pressure of 0.18 MPa (1.8 kgf / cm 2 ) to dissolve and remove unexposed areas. Thereafter, it was washed with water and dried to form a permanent pattern.

−硬化処理工程−
前記永久パターンが形成された積層体の全面に対して、150℃で1時間、加熱処理を施し、永久パターンの表面を硬化し、膜強度を高め、試験板を作製した。
-Curing process-
The entire surface of the laminate on which the permanent pattern was formed was subjected to heat treatment at 150 ° C. for 1 hour to cure the surface of the permanent pattern, increase the film strength, and prepare a test plate.

下記評価に供した。結果を表1に示す。   It used for the following evaluation. The results are shown in Table 1.

<評価方法> <Evaluation method>

−埋め込み性の評価−
L/S(ライン/スペース)=50μm/50μmの配線パターン間への感光層の埋め込み状態を、光学顕微鏡を用いて50倍〜200倍の倍率で観察し、下記基準に基づいて評価した。
〔評価基準〕
○:感光層と回路付き銅張積層板との間に隙間ができていない場合
△:感光層と回路付き銅張積層板との間に隙間が生じている場合や、パターン回路と観光層との間に空気の泡等が生じている場合
×:溶融粘度が低すぎて、回路付き銅張積層板への積層時気泡は入らないが、回路付き銅張積層板と支持体の間から感光層が大量に浸みだす場合
×:溶融粘度が高すぎてラミネートできない場合
−Evaluation of embedding−
The embedded state of the photosensitive layer between the wiring patterns of L / S (line / space) = 50 μm / 50 μm was observed at a magnification of 50 to 200 times using an optical microscope and evaluated based on the following criteria.
〔Evaluation criteria〕
○: When there is no gap between the photosensitive layer and the copper clad laminate with circuit △: When there is a gap between the photosensitive layer and the copper clad laminate with circuit, or between the pattern circuit and the tourist layer △ × : Melt viscosity is too low and bubbles do not enter when laminated on a copper clad laminate with circuit, but between the copper clad laminate with circuit and the support. When the photosensitive layer is soaked in large quantities ×: When the melt viscosity is too high to be laminated

−耐熱衝撃性(耐クラック性)(TCT)−
信頼性試験項目として、温度サイクル試験(TCT)によりクラックや剥れ等の外観を評価した。TCTは気相冷熱試験機を用い、温度が−55℃及び125℃の気相中に各30分間放置し、これを1サイクルとして1,500サイクルの条件で行い、以下の基準で耐熱衝撃性を評価した。
なお、試験板は、以下の方法により作製した。エッチングにより銅箔を除去した銅張積層板(ガラスエポキシ基板)上に、前記感光性フィルムを圧着条件が、圧着温度70℃、圧着圧力0.2MPa、加圧時間10秒間で積層した。続いて、ポリエチレンテレフタレートフィルム(支持体)側から、回路基板用露光機EXM−1172(オーク製作所社製)を用いて、5mm×5mmのスクエアパターンのフォトマスク越しに40mJ/cmで露光して、感光層の一部の領域を硬化させた。続いて、前記現像工程、及び前記硬化処理工程と同様にして、現像処理及び硬化処理を行い、試験板を得た。
〔評価基準〕
◎:クラックが無く、非常に優れる
○:僅かにクラック有るものの、良好である
△:小さなクラックの発生があるものの、やや良好である
×:大きなクラックがあり、劣る
-Thermal shock resistance (crack resistance) (TCT)-
As a reliability test item, appearance such as cracks and peeling was evaluated by a temperature cycle test (TCT). TCT uses a gas-phase cold-heat tester and is allowed to stand in a gas phase of -55 ° C and 125 ° C for 30 minutes each, and this is performed under the conditions of 1,500 cycles as one cycle. Evaluated.
The test plate was produced by the following method. The photosensitive film was laminated on a copper clad laminate (glass epoxy substrate) from which the copper foil had been removed by etching under the pressure bonding conditions of a pressure bonding temperature of 70 ° C., a pressure bonding pressure of 0.2 MPa, and a pressure time of 10 seconds. Subsequently, from the polyethylene terephthalate film (support) side, using a circuit board exposure machine EXM-1172 (manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.), exposure is performed at 40 mJ / cm 2 through a 5 mm × 5 mm square pattern photomask. A part of the photosensitive layer was cured. Subsequently, in the same manner as in the development step and the curing treatment step, a development treatment and a curing treatment were performed to obtain a test plate.
〔Evaluation criteria〕
◎: Very good with no cracks ○: Slightly cracked but good △: Slightly good with small cracks generated ×: Inferior with large cracks

−電気絶縁性(HAST)−
12μm厚の銅箔をガラスエポキシ基材に積層したプリント基板の銅箔にエッチングを施して、ライン幅/スペース幅が50μm/50μmであり、互いのラインが接触しておらず、互いに対向した同一面上の櫛形電極を得た。この基板の櫛形電極上に上記で得られた前記感光性フィルムを用いて絶縁層を定法にて形成し、最適露光量(40mJ/cm)で露光を行った。次いで、常温で1時間静置した後、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液にて20秒間スプレー現像を行った。続いて、オーク製作所社製紫外線照射装置を使用して1J/cmのエネルギー量で感光層に対する紫外線照射を行った。更に感光層を150℃で60分間加熱処理を行うことにより、ソルダーレジストを形成した評価用基板を得た。
加熱後の評価用基板の櫛形電極間に電圧が印加されるように、ポリテトラフルオロエ
チレン製のシールド線をSn/Pbはんだによりそれらの櫛形電極に接続した後、評価用基板に50Vの電圧を印可した状態で、該評価用基板を130℃、85%RHの超加速高温高湿寿命試験(HAST)槽内に200時間静置した。その後の評価用基板のソルダーレジストのマイグレーションの発生程度を100倍の金属顕微鏡により観察し、下記基準で評価した。
〔評価基準〕
◎:マイグレーションの発生が確認できず、電気絶縁性に優れる。
○:マイグレーションの発生が銅上極僅かに確認されるが、電気絶縁性良好である。
△:マイグレーションの発生が銅上僅かに確認されるが、電気絶縁性はやや良好である。
×:電極間が短絡し、電気絶縁性に劣る。
-Electrical insulation (HAST)-
Etching was performed on the copper foil of a printed circuit board in which a 12 μm thick copper foil was laminated on a glass epoxy base material, the line width / space width was 50 μm / 50 μm, the lines were not in contact with each other, and the same facing each other A comb electrode on the surface was obtained. An insulating layer was formed on the comb-shaped electrode of the substrate by a conventional method using the photosensitive film obtained above, and was exposed at an optimum exposure amount (40 mJ / cm 2 ). Subsequently, after leaving still at room temperature for 1 hour, spray development was performed for 20 second in 1 mass% sodium carbonate aqueous solution of 30 degreeC. Subsequently, the photosensitive layer was irradiated with ultraviolet rays with an energy amount of 1 J / cm 2 using an ultraviolet irradiation device manufactured by Oak Seisakusho. Further, the photosensitive layer was heat-treated at 150 ° C. for 60 minutes to obtain an evaluation substrate on which a solder resist was formed.
After connecting the polytetrafluoroethylene shield wires to the comb electrodes with Sn / Pb solder so that a voltage is applied between the comb electrodes of the evaluation substrate after heating, a voltage of 50 V is applied to the evaluation substrate. In the applied state, the substrate for evaluation was allowed to stand in a super accelerated high temperature high humidity life test (HAST) bath at 130 ° C. and 85% RH for 200 hours. The degree of occurrence of solder resist migration of the subsequent evaluation substrate was observed with a 100-fold metal microscope and evaluated according to the following criteria.
〔Evaluation criteria〕
A: The occurrence of migration cannot be confirmed, and the electrical insulation is excellent.
○: The occurrence of migration is confirmed slightly on the copper, but the electrical insulation is good.
(Triangle | delta): Generation | occurrence | production of migration is confirmed slightly on copper, but electrical insulation is a little good.
X: Between electrodes short-circuited and it is inferior to electrical insulation.

−はんだ耐熱性−
上記で得られた前記試験板にロジン系フラックス又は水溶性フラックスを塗布し、260℃のはんだ槽に10秒間浸漬した。これを1サイクルとして、6サイクル繰り返した後、塗膜外観を目視観察し、以下の基準で評価した。
〔評価基準〕
○:塗膜外観に異常(剥離、フクレ)が無く、はんだのもぐりの無いもの。
△:塗膜外観に異常(剥離、フクレ)が有るか、又ははんだのもぐりがあるが程度の軽いもの
×:塗膜外観に異常(剥離、フクレ)が有るか、又ははんだのもぐりのあるが程度の重いもの
-Solder heat resistance-
A rosin-based flux or a water-soluble flux was applied to the test plate obtained above and immersed in a solder bath at 260 ° C. for 10 seconds. After repeating this for 6 cycles, the appearance of the coating film was visually observed and evaluated according to the following criteria.
〔Evaluation criteria〕
○: There is no abnormality (peeling, swelling) in the appearance of the coating film, and there is no solder peeling.
Δ: Abnormality (peeling, blistering) in the appearance of the coating film, or solder fluffing, but light to the extent ×: Abnormality (peeling, blistering) in the coating film appearance, or solder flakinging Something heavy

−解像性−
前記積層体を室温(23℃)で55%RHにて10分間静置した。得られた積層体のポリエチレンテレフタレートフィルム(支持体)上から、回路基板用露光機EXM−1172(オーク製作所社製)を用いて、直径の幅50μm〜200μmの丸穴パターンを有するフォトマスク越しに40mJ/cmで露光を行った。
室温にて10分間静置した後、前記積層体からポリエチレンテレフタレートフィルム(支持体)を剥がし取った。
銅張積層板上の感光層の全面に、現像液として30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液をスプレー圧0.15MPaにて最短現像時間の2倍の時間スプレーし、未硬化領域を溶解除去した。
このようにして得られた硬化樹脂パターン付き銅張積層板の表面を光学顕微鏡で観察し、パターンの丸穴底部に残渣が無いこと、パターン部の捲くれ・剥がれなどの異常が無く、かつスペース形成可能な最小の丸穴パターン幅を測定し、これを解像度とし、下記基準で評価した。該解像度は数値が小さいほど良好である。
〔評価基準〕
○:直径90μm以下の丸穴が解像可能で、解像性に優れている
○△:直径120μm以下の丸穴が解像可能で、解像性良好である
△:直径200μm以下の丸穴が解像可能で、解像性がやや劣る
×:丸穴が解像不可で、解像性が劣る
-Resolution-
The laminate was allowed to stand at 55% RH for 10 minutes at room temperature (23 ° C.). From the obtained polyethylene terephthalate film (support) of the laminate, using a circuit board exposure machine EXM-1172 (manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.), through a photomask having a round hole pattern with a diameter of 50 μm to 200 μm. Exposure was performed at 40 mJ / cm 2 .
After standing at room temperature for 10 minutes, the polyethylene terephthalate film (support) was peeled off from the laminate.
The entire surface of the photosensitive layer on the copper clad laminate was sprayed with a 1% by weight sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C. as a developer at a spray pressure of 0.15 MPa for twice the shortest development time to dissolve and remove uncured areas. .
The surface of the copper-clad laminate with a cured resin pattern obtained in this way is observed with an optical microscope, there is no residue at the bottom of the round hole of the pattern, there are no abnormalities such as blistering / peeling of the pattern, and space The minimum round hole pattern width that can be formed was measured, and this was taken as the resolution and evaluated according to the following criteria. The smaller the numerical value, the better the resolution.
〔Evaluation criteria〕
○: A round hole with a diameter of 90 μm or less is resolvable and excellent in resolution. ○ Δ: A round hole with a diameter of 120 μm or less is resolvable and has good resolution. Δ: A round hole with a diameter of 200 μm or less. Can be resolved and resolution is slightly inferior ×: Round hole is not resolvable and resolution is inferior

(実施例2〜4、比較例1〜3)
実施例1において、バインダー、分散剤、及び重合性化合物を表1に記載のバインダー、分散剤、及び重合性化合物に代えた以外は、実施例1と同様にして、感光性組成物、感光性フィルムなどを得た。
実施例1と同様にして、評価を行った。結果を表1に示す。
(Examples 2-4, Comparative Examples 1-3)
In Example 1, the photosensitive composition and the photosensitive property were the same as in Example 1 except that the binder, dispersant, and polymerizable compound were replaced with the binder, dispersant, and polymerizable compound shown in Table 1. A film was obtained.
Evaluation was performed in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

ただし、表中の「M−100」は、サイクロマーM−100(ダイセル化学社製、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート)を示す。 However, “M-100” in the table indicates cyclomer M-100 (manufactured by Daicel Chemical Industries, 3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate).

実施例1〜4の感光性組成物は、埋め込み性、耐熱衝撃性、電気絶縁性、解像性、はんだ耐熱性の全てが良好であった。バインダーとして、酸変性エチレン性不飽和基含有ポリエステル樹脂を用いた場合には、埋め込み性、耐熱衝撃性、電気絶縁性がより良好になり(実施例1参照)、バインダーとして酸変性エチレン性不飽和基含有ポリエステル樹脂を用い、分散剤としてリン酸エステルの塩を用いた場合には、耐熱衝撃性、電気絶縁性が非常に良好になった(実施例2参照)。   The photosensitive compositions of Examples 1 to 4 were all excellent in embeddability, thermal shock resistance, electrical insulation, resolution, and solder heat resistance. When an acid-modified ethylenically unsaturated group-containing polyester resin is used as the binder, the embedding property, thermal shock resistance, and electrical insulation are improved (see Example 1), and the acid-modified ethylenically unsaturated is used as the binder. When a group-containing polyester resin was used and a phosphate ester salt was used as a dispersant, the thermal shock resistance and electrical insulation were very good (see Example 2).

本発明の感光性組成物は、解像性、埋め込み性、耐熱衝撃性、及び電気絶縁性に優れることから、ソルダーレジストに好適に用いることができる。
本発明の感光性フィルムは、解像性、埋め込み性、耐熱衝撃性、及び電気絶縁性に優れることから、プリント基板の永久パターン形成用に好適に用いることができる。
Since the photosensitive composition of the present invention is excellent in resolution, embedding property, thermal shock resistance, and electrical insulation, it can be suitably used for a solder resist.
Since the photosensitive film of the present invention is excellent in resolution, embedding property, thermal shock resistance, and electrical insulation, it can be suitably used for forming a permanent pattern on a printed circuit board.

Claims (13)

分散剤と、無機充填剤と、バインダーと、エチレン性不飽和基を2以上有する重合性化合物と、光重合開始剤と、熱架橋剤とを含有し、
前記分散剤が、リン酸エステル基を有する分散剤であることを特徴とする感光性組成物。
Containing a dispersant, an inorganic filler, a binder, a polymerizable compound having two or more ethylenically unsaturated groups, a photopolymerization initiator, and a thermal crosslinking agent,
The photosensitive composition, wherein the dispersant is a dispersant having a phosphate group.
無機充填剤が、シリカである請求項1に記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to claim 1, wherein the inorganic filler is silica. リン酸エステル基を有する分散剤が、下記一般式(I)で表されるリン酸エステル及びその塩の少なくともいずれかである請求項1から2のいずれかに記載の感光性組成物。
ただし、前記一般式(I)中、Rは、カルボン酸エステル基及びウレタン基の少なくともいずれかを少なくとも1個、並びにエーテル酸素原子を少なくとも1個有する基を表す。nは、1〜2の整数である。nが2の場合、Rは、同一であってもよく、異なっていてもよい。
The photosensitive composition according to claim 1, wherein the dispersant having a phosphate ester group is at least one of a phosphate ester represented by the following general formula (I) and a salt thereof.
However, in the general formula (I), R represents a group having at least one of a carboxylic acid ester group and a urethane group and at least one ether oxygen atom. n is an integer of 1-2. When n is 2, R may be the same or different.
一般式(I)中のRが、下記一般式(II)で表される基である請求項3に記載の感光性組成物。
ただし、前記一般式(II)中、Rは、炭素数1〜4のアルキル基を表す。xは、4〜5の整数を表す。yは、2〜15の整数を表す。zは、3〜15の整数を表す。
The photosensitive composition according to claim 3, wherein R in the general formula (I) is a group represented by the following general formula (II).
In the general formula (II), R 1 represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. x represents an integer of 4 to 5. y represents an integer of 2 to 15. z represents an integer of 3 to 15.
リン酸エステル基を有する分散剤が、1リン酸当量のエステル生成リン化合物と1当量〜2当量の下記一般式(III)で表される化合物とを反応させることによって製造されるリン酸エステル及びその塩の少なくともいずれかである請求項1から3のいずれかに記載の感光性組成物。
R−OH 一般式(III)
ただし、前記一般式(III)中、Rは、カルボン酸エステル基及びウレタン基の少なくともいずれかを少なくとも1個、並びにエーテル酸素原子を少なくとも1個有する基を表す。
Phosphate ester produced by reacting a phosphoric acid ester group-containing dispersant with 1 phosphoric acid equivalent of an ester-forming phosphorus compound and 1 equivalent to 2 equivalents of a compound represented by the following general formula (III): The photosensitive composition according to claim 1, which is at least one of the salts.
R-OH general formula (III)
However, in the general formula (III), R represents a group having at least one of a carboxylic acid ester group and a urethane group and at least one ether oxygen atom.
一般式(III)中のRが、下記一般式(II)で表される基である請求項5に記載の感光性組成物。
ただし、前記一般式(II)中、Rは、炭素数1〜4のアルキル基を表す。xは、4〜5の整数を表す。yは、2〜15の整数を表す。zは、3〜15の整数を表す。
The photosensitive composition according to claim 5, wherein R in the general formula (III) is a group represented by the following general formula (II).
In the general formula (II), R 1 represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. x represents an integer of 4 to 5. y represents an integer of 2 to 15. z represents an integer of 3 to 15.
リン酸エステル基を有する分散剤が、リン酸エステルの塩である請求項1から6のいずれかに記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to claim 1, wherein the dispersant having a phosphate ester group is a salt of a phosphate ester. バインダーが、酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂である請求項1から7のいずれかに記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to any one of claims 1 to 7, wherein the binder is an acid-modified ethylenically unsaturated group-containing polyurethane resin. 酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂が、下記一般式(G−1)で表される構造単位を有する請求項8に記載の感光性組成物。
ただし、前記一般式(G−1)中、R〜Rは、それぞれ独立に水素原子及び1価の有機基のいずれかを表し、Aは2価の有機残基を表し、Xは、酸素原子、硫黄原子、及び−N(R12)−のいずれかを表し、前記R12は、水素原子及び1価の有機基のいずれかを表す。
The photosensitive composition of Claim 8 in which acid-modified ethylenically unsaturated group containing polyurethane resin has a structural unit represented by the following general formula (G-1).
However, in said general formula (G-1), R < 1 > -R < 3 > represents either a hydrogen atom and monovalent organic group each independently, A represents a bivalent organic residue, X is oxygen atom, a sulfur atom, and -N (R 12) - represents one of the R 12 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group.
支持体と、該支持体上に感光層とを少なくとも有してなり、
前記感光層が、請求項1から9のいずれかに記載の感光性組成物からなることを特徴とする感光性フィルム。
Comprising at least a support and a photosensitive layer on the support;
A photosensitive film, wherein the photosensitive layer is made of the photosensitive composition according to claim 1.
請求項1から9のいずれかに記載の感光性組成物により形成された感光層に対して露光を行うことを少なくとも含むことを特徴とする永久パターン形成方法。   A method for forming a permanent pattern, comprising at least exposing a photosensitive layer formed of the photosensitive composition according to claim 1. 請求項11に記載の永久パターン形成方法により形成されることを特徴とする永久パターン。   It forms with the permanent pattern formation method of Claim 11, The permanent pattern characterized by the above-mentioned. 請求項11に記載の永久パターン形成方法により永久パターンが形成されることを特徴とするプリント基板。   A printed circuit board, wherein a permanent pattern is formed by the permanent pattern forming method according to claim 11.
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