JP2010201384A - Suction device and droplet discharge apparatus equipped with the same - Google Patents

Suction device and droplet discharge apparatus equipped with the same Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a suction device of which maintenance work is simplified without causing any trouble in preservation of a functional liquid droplet discharge head and a droplet discharge apparatus equipped with the suction device. <P>SOLUTION: The droplet discharge apparatus comprises a seal material 77 to be detachably attached to a functional liquid droplet discharge head 25 for discharging a functional liquid by an ink-jet system, a suction cap 58 having a suction groove 82 surrounded with the seal material 77, a suction means communicated with the suction groove 82 of the suction cap 58, a solvent supply means communicated with the suction groove 82 of the suction cap 58 for supplying a solvent of the functional liquid, and a control means for controlling the suction means and the solvent supply means. The control means operates the solvent supply means for feeding the suction groove with a solvent for retaining the humidity of the functional liquid droplet discharge head 25 when the suction cap 58 is closely attached to the functional liquid droplet discharge head 25 to carry out the maintenance work for the functional liquid droplet discharge head 25. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドのノズル面に対し、離接して機能液を吸引する吸引装置およびこれを備えた液滴吐出装置に関する。   The present invention relates to a suction device that sucks a functional liquid while being separated from a nozzle surface of an inkjet functional droplet discharge head, and a droplet discharge device including the suction device.

従来、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密接する吸引キャップと、吸引キャップを昇降させてノズル面に密接させる昇降機構と、ノズル面に密接する吸引キャップを介して機能液滴吐出ヘッドから機能液を吸引する吸引ポンプと、を備えた吸引ユニット(吸引装置)が知られている(引用文献1参照)。吸引キャップは、ノズル面に直接密接し、複数のノズル孔を囲むように形成されたシールパッキンおよびシールパッキンの内側底部に敷設された吸収材を有するキャップ本体と、キャップ本体をバネによりノズル面に付勢しつつ離接方向にスライド自在に支持するキャップホルダーと、から成り、キャップ本体は、吸引ポンプに連通している。
この吸引装置は、ノズル面に密着して封止し吸引ポンプを駆動して機能液滴吐出ヘッドの吸引を行う場合、ノズル面に密着して封止し機能液滴吐出ヘッドのノズルの乾燥を防止する(保全)場合、更には機能液滴吐出ヘッドからの捨て吐出(フラッシング)を受ける場合等、機能液滴吐出ヘッドに対し複数種のメンテナンス機能を有している。
Conventionally, a functional liquid is discharged from a functional liquid droplet ejection head via a suction cap that is in close contact with the nozzle surface of the functional liquid droplet ejection head, an elevating mechanism that raises and lowers the suction cap to be in close contact with the nozzle surface, and a suction cap that is in close contact with the nozzle surface. There is known a suction unit (suction device) including a suction pump for sucking (see cited document 1). The suction cap is in direct contact with the nozzle surface and has a seal packing formed so as to surround a plurality of nozzle holes and an absorbent material laid on the inner bottom of the seal packing, and the cap body is attached to the nozzle surface by a spring. A cap holder that is slidably supported in the separating direction while being urged, and the cap body communicates with the suction pump.
This suction device seals in close contact with the nozzle surface and drives the suction pump to suck the functional liquid droplet ejection head, and seals in close contact with the nozzle surface to dry the nozzle of the functional liquid droplet ejection head. In the case of preventing (maintenance), and in the case of receiving waste discharge (flushing) from the functional liquid droplet ejection head, a plurality of types of maintenance functions are provided for the functional liquid droplet ejection head.

特開2004−305978号公報JP 2004-305978 A

このような、従来の吸引装置では、吸引やフラッシングの後、キャップ本体内に残った機能液を吸引するが、キャップ本体内の吸収材には僅かに機能液が残存する。一方、キャッピング時以外は、キャップ本体は開放された状態となるため、吸収材に残った機能液が乾燥・増粘し、目詰りを生ずる場合や、吸収材がキャップ本体に固着してしまう等の支障があり、定期的に吸収材の交換等の保守作業が必要となる等の問題があった。もっとも、キャップ本体に吸収材を設けない構成とすれば、かかる問題が解消される。しかし、このようにすると、特にノズル面を封止して機能液滴吐出ヘッドを保全する場合、キャップ本体内を飽和雰囲気に保てないため、ノズルの乾燥を防止できなくなる虞がある。   In such a conventional suction device, the functional liquid remaining in the cap body is sucked after suction or flushing, but the functional liquid slightly remains in the absorbent in the cap body. On the other hand, since the cap body is open except during capping, the functional liquid remaining in the absorbent material is dried and thickened, resulting in clogging, or the absorbent material sticking to the cap body, etc. There was a problem that maintenance work such as periodic replacement of the absorbent material was necessary. However, such a problem can be solved if the cap body is not provided with an absorbent material. However, when this is done, particularly when the nozzle surface is sealed to maintain the functional liquid droplet ejection head, the cap body cannot be maintained in a saturated atmosphere, and thus there is a possibility that the nozzle cannot be prevented from drying.

本発明は、機能液滴吐出ヘッドの保全に支障を生ずることがなく、且つ保守作業を簡略化することができる吸引装置およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することを課題としている。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a suction device and a droplet discharge device including the suction device that do not hinder maintenance of a functional droplet discharge head and can simplify maintenance work.

本発明の吸引装置は、機能液をインクジェット方式で吐出する機能液滴吐出ヘッドに離接自在に密接するシール部、およびシール部により囲繞された吸引溝を有する吸引キャップと、吸引キャップの吸引溝に連通する吸引手段と、吸引キャップの吸引溝に連通し、機能液の溶媒を供給する溶媒供給手段と、吸引手段および溶媒供給手段を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、機能液滴吐出ヘッドに吸引キャップを密接させて機能液滴吐出ヘッドの保全を行うときに、溶媒供給手段を駆動し、吸引溝に機能液滴吐出ヘッドを保湿するための溶媒を送り込むことを特徴とする。   The suction device according to the present invention includes a seal portion that is detachably in contact with a functional liquid droplet ejection head that ejects a functional liquid by an ink jet method, a suction cap having a suction groove surrounded by the seal portion, and a suction groove of the suction cap A suction means that communicates with the suction cap, a solvent supply means that communicates with the suction groove of the suction cap and that supplies the solvent of the functional liquid, and a control means that controls the suction means and the solvent supply means. When maintaining the functional liquid droplet ejection head by bringing the suction cap into close contact with the liquid droplet ejection head, the solvent supply means is driven, and a solvent for keeping the functional liquid droplet ejection head moisturized is fed into the suction groove. .

この構成によれば、溶媒供給手段により吸引キャップの吸引溝に送り込まれた溶媒が、吸引溝に貯留されて吸収材の役割を担うため、吸収材を省略することができる。特に、機能液滴吐出ヘッドに吸引キャップを密接させて機能液滴吐出ヘッドの保全を行うときには、吸引キャップにより閉止(封止)された吸引溝内が、溶媒の飽和雰囲気となるため、機能液滴吐出ヘッド(のノズル)の乾燥を有効に防止することができる。また、吸引溝内に付着した機能液は、送り込んだ溶媒に溶解されるため、吸引溝が機能液の固形成分により汚染されることがない。したがって、吸引キャップを頻繁にメンテナンスする必要がない。   According to this configuration, the solvent fed into the suction groove of the suction cap by the solvent supply means is stored in the suction groove and plays the role of the absorbent, so that the absorbent can be omitted. In particular, when the functional liquid droplet ejection head is kept in close contact with the functional liquid droplet ejection head, the inside of the suction groove closed (sealed) by the suction cap is a saturated atmosphere of the solvent. It is possible to effectively prevent the droplet discharge head (nozzle) from drying. Moreover, since the functional liquid adhering in the suction groove is dissolved in the sent solvent, the suction groove is not contaminated by the solid component of the functional liquid. Therefore, it is not necessary to frequently maintain the suction cap.

この場合、制御手段は、機能液滴吐出ヘッドに吸引キャップを密接させて機能液滴吐出ヘッドに吸引処理を行うときに、吸引手段を駆動し、送り込んだ溶媒を吸引すると共に機能液滴吐出ヘッドから機能液を吸引することが好ましい。   In this case, the control means drives the suction means when sucking the functional liquid droplet ejection head by bringing the suction cap into close contact with the functional liquid droplet ejection head, and sucks the sent solvent and the functional liquid droplet ejection head. It is preferable to suck the functional liquid from

この構成によれば、吸収材代わりに送り込んだ溶媒が汚れても、機能液の吸引処理と同時に排出することができる。これにより、溶媒の交換・排出のために、別途吸引手段等を設けることなく、吸引溝には、常に汚れのない溶媒を貯留しておくことができる。つまり、吸引溝内の溶媒の保守管理を容易に行うことができ(メンテナンス性の向上)、吸引溝を常に清浄に保つことができる。   According to this configuration, even if the solvent sent instead of the absorbent material is contaminated, it can be discharged simultaneously with the functional liquid suction process. This makes it possible to always store a clean solvent in the suction groove without providing a separate suction means for exchanging and discharging the solvent. That is, maintenance management of the solvent in the suction groove can be easily performed (improvement of maintainability), and the suction groove can always be kept clean.

また、この場合、制御手段は、機能液滴吐出ヘッドから吸引キャップを離間させて機能液滴吐出ヘッドから捨て吐出を実施するときに、溶媒供給手段を駆動し、吸引溝に捨て吐出を受けるための溶媒を送り込むことが好ましい。   Further, in this case, the control means drives the solvent supply means to receive the waste discharge in the suction groove when the suction cap is separated from the functional liquid droplet discharge head and the waste liquid discharge is performed from the functional liquid droplet discharge head. It is preferable to feed in the solvent.

この構成によれば、吸引溝に送り込んだ溶媒により、捨て吐出された機能液の跳ね返りを最小限に抑えつつ、捨て吐出を受けることができる。また、捨て吐出された機能液は、吸引溝内の溶媒に溶解されるため、吸引溝が機能液の固形成分により汚染されることがない。したがって、吸引キャップを頻繁にメンテナンスする必要がなく、吸引キャップのメンテナンス性を向上させることができる。   According to this configuration, it is possible to receive the discarded discharge while minimizing the rebound of the discarded functional liquid by the solvent sent into the suction groove. Moreover, since the discarded functional liquid is dissolved in the solvent in the suction groove, the suction groove is not contaminated by the solid component of the functional liquid. Therefore, it is not necessary to frequently maintain the suction cap, and the maintainability of the suction cap can be improved.

この場合、制御手段は、捨て吐出が終了した後、吸引手段を駆動し、送り込んだ溶媒を吸引することが好ましい。   In this case, it is preferable that the control means drives the suction means after the discarded discharge is completed, and sucks the sent solvent.

この構成によれば、吸引溝内の機能液が混入した溶媒を、吸引により排出することができ、吸引溝を常に清浄に保つことができる。   According to this configuration, the solvent mixed with the functional liquid in the suction groove can be discharged by suction, and the suction groove can always be kept clean.

また、この場合、吸引キャップは、吸引溝の外側にシール部を介して吸引溝からオーバーフローした溶媒を受けるドレン溝を、更に有し、制御手段は、溶媒供給手段を駆動し、吸引溝に溶媒を送り込みオーバーフローさせて吸引溝およびシール部を洗浄することが好ましい。   In this case, the suction cap further has a drain groove that receives the solvent overflowed from the suction groove via the seal portion outside the suction groove, and the control means drives the solvent supply means to It is preferable that the suction groove and the seal portion are cleaned by feeding and overflowing.

この構成によれば、吸引処理や捨て吐出の際に、吸引溝およびシール部に付着した機能液を、洗い流すようにして適切に除去することができる。これにより、吸引装置(吸引キャップ)の保守管理作業に係る手間を更に低減することができる(メンテナンスフリー)。   According to this configuration, the functional liquid adhering to the suction groove and the seal portion can be appropriately removed so as to be washed away at the time of suction processing or discard discharge. Thereby, the effort concerning the maintenance management work of the suction device (suction cap) can be further reduced (maintenance-free).

この場合、ドレン溝が、吸引手段に連通していることが好ましい。   In this case, it is preferable that the drain groove communicates with the suction means.

この構成によれば、ドレン溝の溶媒の排出のために別途吸引手段等を設ける必要がなく、構造を単純化することができる。   According to this configuration, there is no need to provide a separate suction means or the like for discharging the solvent in the drain groove, and the structure can be simplified.

また、この場合、吸引溝と溶媒供給手段とを接続する溶媒供給流路と、吸引溝に連通し、吸引溝内を大気に開放する大気開放流路と、溶媒供給流路と大気開放流路とを流路切り替えする流路切替手段と、を更に備えたことが好ましい。   Further, in this case, a solvent supply channel that connects the suction groove and the solvent supply means, an atmosphere release channel that communicates with the suction groove and opens the inside of the suction groove to the atmosphere, a solvent supply channel, and an atmosphere release channel And a flow path switching means for switching the flow path.

この構成によれば、吸引溝から流路切替手段に至る流路を共通化することができる。これにより、吸引装置の流路構成を簡素にすることができるため、メンテナンス性が向上する。   According to this configuration, the flow path from the suction groove to the flow path switching unit can be shared. Thereby, since the flow path configuration of the suction device can be simplified, the maintainability is improved.

さらに、この場合、吸引溝には、消波板が設けられていることが好ましい。   Furthermore, in this case, it is preferable that a wave-dissipating plate is provided in the suction groove.

この構成によれば、例えば、機能液滴吐出ヘッドに対し吸引装置が移動する場合であっても、吸引溝内に貯留した溶媒が、移動による反動により溢れ出してしまうことを防止することができる。   According to this configuration, for example, even when the suction device moves relative to the functional liquid droplet ejection head, it is possible to prevent the solvent stored in the suction groove from overflowing due to the reaction caused by the movement. .

本発明の液滴吐出装置は、上記した吸引装置と、機能液滴吐出ヘッドと、を備え、ワークに対し機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、ワーク上に機能液を吐出して描画を行なうことを特徴とする。   A droplet discharge device of the present invention includes the above-described suction device and a functional droplet discharge head, and discharges a functional liquid onto a workpiece while moving the functional droplet discharge head relative to the workpiece. It is characterized by drawing.

この構成によれば、吸引処理等による機能液滴吐出ヘッドの保守を適切に行うことができるため、安定した吐出による高品質な描画を維持することができる。   According to this configuration, the functional liquid droplet ejection head can be appropriately maintained by suction processing or the like, so that high-quality drawing by stable ejection can be maintained.

本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の斜視図である。1 is a perspective view of a droplet discharge device according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の平面図である。It is a top view of a droplet discharge device concerning an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の側面図である。1 is a side view of a droplet discharge device according to an embodiment of the present invention. 機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットを模式的に表した平面図である。2 is a plan view schematically showing a head unit equipped with a functional liquid droplet ejection head. FIG. 機能液滴吐出ヘッドの表裏外観斜視図である。It is a front and back external perspective view of a functional liquid droplet ejection head. 吸引ユニットの側面図である。It is a side view of a suction unit. キャップユニットの平面図である。It is a top view of a cap unit. 吸引ユニットの配管系統図である。It is a piping system diagram of a suction unit. 吸引キャップの断面図(a)および平面図(b)である。It is sectional drawing (a) and top view (b) of a suction cap. 吸引ユニットによる吸引処理機能(a)およびキャッピング機能(b)を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the suction processing function (a) and capping function (b) by a suction unit. 吸引ユニットによるフラッシング機能(c)および洗浄処理機能(d)を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the flushing function (c) and cleaning process function (d) by a suction unit. 他の形態にかかる吸引キャップの断面図(a)および平面図(b)である。It is sectional drawing (a) and top view (b) of the suction cap concerning another form.

以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係る吸引装置を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、有機EL装置の各画素となる発光層やカラーフィルターのフィルターエレメント等を形成するものである。また、吸引装置は、機能液滴吐出ヘッドの保全およびクリーニングに用いられる。   Hereinafter, a droplet discharge device to which a suction device according to an embodiment of the present invention is applied will be described with reference to the accompanying drawings. This droplet discharge device is incorporated in a flat panel display production line, and uses, for example, a functional droplet discharge head into which a special ink or a functional liquid that is a light-emitting resin liquid is introduced. A light emitting layer to be a pixel, a filter element of a color filter, and the like are formed. The suction device is used for maintenance and cleaning of the functional liquid droplet ejection head.

図1ないし図3に示すように、液滴吐出装置1は、石定盤に支持されたX軸支持ベース12a上に配設され、主走査方向となるX軸方向に延在してワークWをX軸方向に移動させるX軸テーブル12と、複数本の支柱11を介してX軸テーブル12を跨ぐように架け渡された一対のY軸支持ベース13a上に配設され、副走査方向となるY軸方向に延在するY軸テーブル13と、Y軸テーブル13に移動自在に吊設され、複数(12個)の機能液滴吐出ヘッド25が搭載された13個のキャリッジユニット14と、から構成されている。さらに、液滴吐出装置1は、これらの装置を、温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバー15と、チャンバー15を貫通して、機能液滴吐出ヘッド25に機能液を供給する機能液供給ユニット16と、を備えており、チャンバー15の側壁の一部には、機能液供給ユニット16の主要部を為すメインタンク40等を収納するタンクキャビネット41が設けられている。液滴吐出装置1は、制御装置17により装置全体が統括制御され、X軸テーブル12およびY軸テーブル13の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド25を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット16から供給された6色の機能液滴を吐出させ、ワークWに所定の描画パターンが描画される。   As shown in FIGS. 1 to 3, the droplet discharge device 1 is disposed on an X-axis support base 12a supported by a stone surface plate, and extends in the X-axis direction, which is the main scanning direction. Are arranged on a pair of Y-axis support bases 13a that span across the X-axis table 12 via a plurality of support columns 11, and in the sub-scanning direction. A Y-axis table 13 extending in the Y-axis direction, 13 carriage units 14 mounted on the Y-axis table 13 movably and mounted with a plurality (twelve) functional liquid droplet ejection heads 25, It is composed of Further, the droplet discharge device 1 has a chamber 15 that accommodates these devices in an atmosphere in which temperature and humidity are controlled, and a function of supplying the functional liquid to the functional droplet discharge head 25 through the chamber 15. A liquid supply unit 16 is provided, and a tank cabinet 41 for storing a main tank 40 and the like constituting the main part of the functional liquid supply unit 16 is provided in a part of the side wall of the chamber 15. The droplet discharge device 1 is controlled in its entirety by the control device 17, and discharges the function droplet discharge head 25 in synchronization with the drive of the X-axis table 12 and the Y-axis table 13, thereby providing a functional liquid supply unit. The six color functional droplets supplied from 16 are ejected, and a predetermined drawing pattern is drawn on the workpiece W.

また、液滴吐出装置1は、フラッシングユニット21、吸引ユニット22(吸引装置)、ワイピングユニット23、吐出性能検査ユニット24から成るメンテナンス装置18を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド25の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド25の機能維持・機能回復を図るようになっている。本実施形態の液滴吐出装置1では、X軸テーブル12とY軸テーブル13とが交わる部分にキャリッジユニット14を臨ませてワークWの描画を行い、Y軸テーブル13とメンテナンス装置18(吸引ユニット22、ワイピングユニット23)が交わる部分にキャリッジユニット14を臨ませて、機能液滴吐出ヘッド25の機能維持・機能回復を行う。   Further, the droplet discharge device 1 includes a maintenance device 18 including a flushing unit 21, a suction unit 22 (suction device), a wiping unit 23, and a discharge performance inspection unit 24. For maintenance, the function of the functional liquid droplet ejection head 25 is maintained and restored. In the droplet discharge device 1 of the present embodiment, the workpiece W is drawn with the carriage unit 14 facing the portion where the X-axis table 12 and the Y-axis table 13 intersect, and the Y-axis table 13 and the maintenance device 18 (suction unit) 22, the carriage unit 14 faces the portion where the wiping unit 23) intersects to perform the function maintenance / recovery of the functional liquid droplet ejection head 25.

図2および図3に示すように、X軸テーブル12は、ワークWを吸着セットすると共にθ軸方向に補正可能な機構を有するセットテーブル12bと、セットテーブル12bをX軸方向にスライド自在に支持するX軸第1スライダー12cと、上記のフラッシングユニット21および吐出性能検査ユニット24をX軸方向にスライド自在に支持するX軸第2スライダー12dと、X軸方向に延在し、X軸第1スライダー12cおよびX軸第2スライダー12dをX軸方向に移動させる左右一対のX軸リニアモーター(図示省略)と、を備えている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the X-axis table 12 supports a set table 12b having a mechanism capable of adsorbing and setting the workpiece W and correcting in the θ-axis direction, and the set table 12b slidably in the X-axis direction. The X-axis first slider 12c, the X-axis second slider 12d for slidably supporting the flushing unit 21 and the ejection performance inspection unit 24 in the X-axis direction, and the X-axis first slider extending in the X-axis direction. A pair of left and right X-axis linear motors (not shown) that move the slider 12c and the X-axis second slider 12d in the X-axis direction are provided.

Y軸テーブル13は、13個のキャリッジユニット14をそれぞれ吊設した13個のブリッジプレート13bと、13個のブリッジプレート13bを両持ちで支持する13組のY軸スライダー(図示省略)と、一対のY軸支持ベース13a上に設置され、ブリッジプレート13bをY軸方向に移動させる一対のY軸リニアモーター(図示省略)と、を備えている。また、Y軸テーブル13は、各キャリッジユニット14を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド25を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド25を吸引ユニット22およびワイピングユニット23に臨ませる。この場合、各キャリッジユニット14を独立させて個別に移動させることも可能であるし、13個のキャリッジユニット14を一体として移動させることも可能である。   The Y-axis table 13 includes 13 bridge plates 13b each having 13 carriage units 14 suspended therein, 13 sets of Y-axis sliders (not shown) that support the 13 bridge plates 13b in both ends, and a pair of And a pair of Y-axis linear motors (not shown) that move the bridge plate 13b in the Y-axis direction. Further, the Y-axis table 13 performs sub-scanning of the functional liquid droplet ejection head 25 at the time of drawing via each carriage unit 14 and causes the functional liquid droplet ejection head 25 to face the suction unit 22 and the wiping unit 23. In this case, the carriage units 14 can be moved independently and individually, or the 13 carriage units 14 can be moved together.

各キャリッジユニット14は、R・G・B・C・M・Yの6色、各2個(計12個)の機能液滴吐出ヘッド25と、12個の機能液滴吐出ヘッド25を6個ずつ2群に分けて支持するヘッドプレート19aと、から成るヘッドユニット19を備えている(図4参照)。また、各キャリッジユニット14は、ヘッドユニット19をθ補正(θ回転)可能に支持するθ回転機構14aと、θ回転機構14aを介して、ヘッドユニット19をブリッジプレート13bに支持させる吊設部材14bと、を備えている。加えて、各キャリッジユニット14は、その上部にサブタンク42が配設されており(実際には、ブリッジプレート13b上に配設)、このサブタンク42から自然水頭を利用し、かつ圧力調整弁(図示省略)を介して各機能液滴吐出ヘッド25に機能液が供給されるようになっている。なお、本実施形態においては、キャリッジユニット14の個数および各キャリッジユニット14に搭載される機能液滴吐出ヘッド25の個数は任意である。また、本実施形態においては、R(レッド)、G(グリーン)、B(ブルー)、C(シアン)、M(マゼンダ)、Y(イエロー)の6色の機能液が供給される機能液滴吐出ヘッド25を用いたものを使用しているが、供給される機能液の色数、色種は任意である。   Each carriage unit 14 has six colors of R, G, B, C, M, and Y, each of two (total 12) functional droplet ejection heads 25 and six functional droplet ejection heads 25. The head unit 19 includes a head plate 19a that is divided into two groups and supported (see FIG. 4). Each carriage unit 14 includes a θ rotation mechanism 14a that supports the head unit 19 so as to be capable of θ correction (θ rotation), and a suspension member 14b that supports the head unit 19 on the bridge plate 13b via the θ rotation mechanism 14a. And. In addition, each of the carriage units 14 has a sub tank 42 disposed thereon (actually disposed on the bridge plate 13b), and utilizes a natural water head from the sub tank 42 and a pressure regulating valve (not shown). The functional liquid is supplied to each functional liquid droplet ejection head 25 through (omitted). In the present embodiment, the number of carriage units 14 and the number of functional liquid droplet ejection heads 25 mounted on each carriage unit 14 are arbitrary. In the present embodiment, functional liquid droplets supplied with six functional liquids of R (red), G (green), B (blue), C (cyan), M (magenta), and Y (yellow) are supplied. Although the one using the discharge head 25 is used, the number of colors and color types of the supplied functional liquid are arbitrary.

図5に示すように、機能液滴吐出ヘッド25は、いわゆる2連のインクジェットヘッドであり、2連の接続針34を有する機能液導入部31と、機能液導入部31の側方に連なる2連のヘッド基板32と、ヘッド基板32の下方に連なる2連のポンプ部33と、ポンプ部33に連なるノズルプレート35と、を備えている。機能液導入部31は、2連の接続針34を介してサブタンク42から機能液の供給を受けるようになっている。ノズルプレート35のノズル面NFには、2列のノズル列NLが相互に平行に列設されており、各ノズル列NLは、等ピッチで並べた180個の吐出ノズル36で構成されている。ヘッド基板32は、フレキシブルフラットケーブル(図示省略)を介して上記の制御装置17が接続されており、制御装置17から出力された駆動波形が各ポンプ部33(の圧電素子)に印加されることで、各吐出ノズル36から機能液が吐出される。   As shown in FIG. 5, the functional liquid droplet ejection head 25 is a so-called double ink jet head, which is a functional liquid introduction part 31 having two connection needles 34 and 2 sideways connected to the side of the functional liquid introduction part 31. A series of head substrates 32, two series of pump units 33 that are continuous below the head substrate 32, and a nozzle plate 35 that is coupled to the pump unit 33 are provided. The functional liquid introduction unit 31 is supplied with the functional liquid from the sub tank 42 via the two connecting needles 34. Two nozzle rows NL are arranged in parallel to each other on the nozzle surface NF of the nozzle plate 35, and each nozzle row NL includes 180 discharge nozzles 36 arranged at an equal pitch. The head substrate 32 is connected to the control device 17 via a flexible flat cable (not shown), and the drive waveform output from the control device 17 is applied to each pump unit 33 (piezoelectric element thereof). Thus, the functional liquid is discharged from each discharge nozzle 36.

次に、図6ないし図8を参照して、吸引ユニット22(吸引装置)について説明する。吸引ユニット22は、12個の機能液滴吐出ヘッド25に対応する12個の吸引キャップ58をキャッププレート59に配置した13台のキャップユニット50と、支持部材61を介して各キャップユニット50を昇降させる13台の昇降機構51と、各キャップユニット50に連なると共に機能液の流路を有する13個の吸引流路系52と、各吸引流路系52に連なると共に2つの圧力水準の異なる(高圧・低圧)2つのエジェクター66eに対応した2つの廃液タンク66を有する吸引機構53と、各キャップユニット50の12個の吸引キャップ58に連通し、機能液の溶媒を供給する溶媒供給機構54と、を備えている。また、吸引ユニット22は、吸引機構53等に制御用の圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給設備55、各部から排気を行うための排気設備56および廃液タンク66に貯留された機能液を廃液する機能液廃液設備57に、接続されている。   Next, the suction unit 22 (suction device) will be described with reference to FIGS. The suction unit 22 moves up and down each cap unit 50 through 13 cap units 50 in which 12 suction caps 58 corresponding to 12 functional liquid droplet ejection heads 25 are arranged on a cap plate 59 and a support member 61. 13 lifting / lowering mechanisms 51, 13 suction channel systems 52 connected to each cap unit 50 and having a functional liquid channel, and connected to each suction channel system 52 and having two different pressure levels (high pressure) Low pressure) A suction mechanism 53 having two waste liquid tanks 66 corresponding to two ejectors 66e, a solvent supply mechanism 54 that communicates with the twelve suction caps 58 of each cap unit 50 and supplies a solvent of the functional liquid, It has. The suction unit 22 has a function of draining the functional liquid stored in the compressed air supply facility 55 for supplying compressed air for control to the suction mechanism 53 and the like, the exhaust facility 56 for exhausting from each part, and the waste liquid tank 66. The liquid waste liquid equipment 57 is connected.

図6および図7に示すように、各キャップユニット50は、各色2個、計12個の機能液滴吐出ヘッド25に対応した吸引キャップ58と、これらを一括して搭載したキャッププレート59と、から成り、12個の吸引キャップ58は、12個の機能液滴吐出ヘッド25と同じ並びで、且つ同じ傾き姿勢で、キャッププレート59に搭載されている。詳細は後述するが、吸引キャップ58には、機能液滴吐出ヘッド25のノズル面NFに密着するシール部材77と、シール部材77に囲繞された吸引溝82と、を有している(図9参照)。   As shown in FIG. 6 and FIG. 7, each cap unit 50 includes a suction cap 58 corresponding to a total of twelve functional liquid droplet ejection heads 25 for each color, a cap plate 59 on which these are collectively mounted, The twelve suction caps 58 are mounted on the cap plate 59 in the same arrangement as the twelve functional liquid droplet ejection heads 25 and in the same inclination posture. As will be described in detail later, the suction cap 58 has a seal member 77 that is in close contact with the nozzle surface NF of the functional liquid droplet ejection head 25 and a suction groove 82 surrounded by the seal member 77 (FIG. 9). reference).

図6に示すように、各昇降機構51は、支持部材61を介して吸引キャップ58を直接昇降させる昇降シリンダー51aと、昇降シリンダー51aによる昇降をガイドする一対のリニアガイド51bと、これらを支持するベース部51cと、を有している。支持部材61は、上端にキャップユニット50を支持する支持フレーム61aを有している。昇降機構51は、各吸引キャップ58を機能液滴吐出ヘッド25のノズル面NFに密着させて吸引処理を行うための密接位置と、密接位置から僅かに下方の離間位置(フラッシング用も兼ねる)と、ヘッドユニット19の交換やキャップユニット50の消耗品交換(メンテナンス)用の交換位置との間でキャップユニット50を3段階に昇降させる。   As shown in FIG. 6, each lifting mechanism 51 supports a lifting cylinder 51 a that lifts and lowers the suction cap 58 directly via a support member 61, a pair of linear guides 51 b that guide lifting by the lifting cylinder 51 a, and these. A base portion 51c. The support member 61 has a support frame 61a that supports the cap unit 50 at the upper end. The elevating mechanism 51 includes a close position for performing suction processing by bringing each suction cap 58 into close contact with the nozzle surface NF of the functional liquid droplet ejection head 25 and a slightly spaced position (also serves for flushing) from the close position. Then, the cap unit 50 is moved up and down in three stages between the replacement position for the replacement of the head unit 19 and the consumables replacement (maintenance) of the cap unit 50.

図8に示すように、各吸引流路系52は、各キャップユニット50に連なるキャップ側主流路62およびキャップ側副流路63と、キャップ側主流路62等に連なるタンク側流路64と、から構成されている。各キャップ側主流路62および各キャップ側副流路63は、それぞれ、後述する吸引キャップ58の吸引溝82およびドレン溝84に連通している。各キャップ側主流路62は、機能液の色別(6色)に合流接続して、吸引ユニット22ごとに6本のキャップ側主流路62の下流端が、一次マニホールド62aに接続されている。同様に、各キャップ側副流路63は、機能液の色別(6色)に合流接続している。また、色別に合流した各キャップ側主流路62には、吸引流路切替バルブ65が介設されており、吸引流路切替バルブ65には、色別に合流した各キャップ側副流路63の下流端が接続されている。そして、吸引流路切替バルブ65を切り替えることにより、キャップ側主流路62またはキャップ側副流路63を任意の一を開通させることができるようになっている。なお、各キャップ側主流路62および各キャップ側副流路63を、それぞれ一次マニホールド62aに接続するようにしてもよい。   As shown in FIG. 8, each suction flow path system 52 includes a cap side main flow path 62 and a cap side sub flow path 63 connected to each cap unit 50, a tank side flow path 64 connected to the cap side main flow path 62, and the like. It is composed of Each cap-side main channel 62 and each cap-side sub-channel 63 communicate with a suction groove 82 and a drain groove 84 of a suction cap 58, which will be described later. The cap-side main flow paths 62 are joined and connected by color (six colors) of the functional liquid, and the downstream ends of the six cap-side main flow paths 62 for each suction unit 22 are connected to the primary manifold 62a. Similarly, each cap side subchannel 63 is joined and connected to each color (six colors) of the functional liquid. Further, a suction flow path switching valve 65 is interposed in each cap side main flow path 62 that is merged by color, and the suction flow path switching valve 65 is downstream of each cap side sub flow path 63 that is merged by color. The ends are connected. By switching the suction flow path switching valve 65, any one of the cap side main flow path 62 or the cap side sub flow path 63 can be opened. Each cap-side main channel 62 and each cap-side sub-channel 63 may be connected to the primary manifold 62a.

タンク側流路64は、上流端を一次マニホールド62aに接続し、2つの圧力水準に対応した各二次マニホールド64aを介して、各廃液タンク66に接続されている。なお、キャップ側主流路62およびタンク側流路64には、流路を開閉するキャップ側流路開閉バルブ62bおよびタンク側流路開閉バルブ64bが、それぞれ介設されている。   The tank side flow path 64 is connected to each waste liquid tank 66 through each secondary manifold 64a corresponding to two pressure levels by connecting the upstream end to the primary manifold 62a. The cap side main flow path 62 and the tank side flow path 64 are respectively provided with a cap side flow path opening / closing valve 62b and a tank side flow path opening / closing valve 64b for opening and closing the flow path.

吸引機構53の廃液タンク66は、高圧(第1水準)で使用する第1廃液タンク66aと、低圧(第2水準)で使用する第2廃液タンク66bとで構成されている。さらに、第2廃液タンク66bには、上記したフラッシングユニット21が、フラッシング流路66cを介して接続されている。なお、フラッシング流路66cは、流路切替バルブ66dを介して第1廃液タンク66aおよび第2廃液タンク66bの両タンクに、それぞれ接続されていてもよい(図8中の2点鎖線参照)。また、エジェクター66eは、圧縮エアー供給設備55から一次側に圧縮エアーを導入すると共に、二次側を各廃液タンク66の上部空間に連通流路66fを介して接続している。上記の2つの圧力水準(高圧・低圧)は、エジェクター66eに供給された圧縮エアーの随伴流によって、連通流路66f中のエアーが排気設備56側に引っ張られる形で、廃液タンク66の内部が減圧制御される。   The waste liquid tank 66 of the suction mechanism 53 includes a first waste liquid tank 66a used at a high pressure (first level) and a second waste liquid tank 66b used at a low pressure (second level). Further, the above-described flushing unit 21 is connected to the second waste liquid tank 66b through a flushing flow channel 66c. Note that the flushing flow channel 66c may be connected to both the first waste liquid tank 66a and the second waste liquid tank 66b via a flow path switching valve 66d (see the two-dot chain line in FIG. 8). The ejector 66e introduces compressed air from the compressed air supply equipment 55 to the primary side, and connects the secondary side to the upper space of each waste liquid tank 66 through the communication channel 66f. The above two pressure levels (high pressure and low pressure) are such that the air in the communication channel 66f is pulled toward the exhaust facility 56 by the accompanying flow of the compressed air supplied to the ejector 66e, Depressurization is controlled.

溶媒供給機構54は、機能液の溶媒を貯留する溶媒タンク67と、溶媒タンク67と吸引キャップ58(正確には吸引溝82)とを連通させる溶媒供給流路68と、から構成されている。溶媒タンク67には、圧空流路67aを介して圧縮エアー供給設備55が接続されており、溶媒タンク67内を加圧することで、溶媒供給流路68を通して各吸引キャップ58の吸引溝82に溶媒を送液する。なお、溶媒タンク67内を加圧する専用のコンプレッサーやエアーポンプ等を設けてもよい。   The solvent supply mechanism 54 includes a solvent tank 67 that stores the solvent of the functional liquid, and a solvent supply channel 68 that connects the solvent tank 67 and the suction cap 58 (more precisely, the suction groove 82). A compressed air supply facility 55 is connected to the solvent tank 67 via a compressed air channel 67 a, and the solvent tank 67 is pressurized so that the solvent is supplied to the suction groove 82 of each suction cap 58 through the solvent supply channel 68. Liquid. A dedicated compressor or air pump for pressurizing the inside of the solvent tank 67 may be provided.

溶媒供給流路68の下流側(キャップユニット50の近傍)には、溶媒供給流路68の開閉を行う供給開閉バルブ68aが介設されている。また、供給開閉バルブ68aとキャップユニット50との間の溶媒供給流路68には、2分岐継手68bが介設されており、溶媒供給流路68から分岐して、末端が大気に開放されている大気開放流路68cが接続されている。この大気開放流路68cには、流路の開閉を行うための大気開閉バルブ68dが介設されている。これら、供給開閉バルブ68aと大気開閉バルブ68dとの開閉を、相反するように切り替えることで、2分岐継手68bからキャップユニット50までの溶媒供給流路68を、大気開放流路68cとして用いるようになっている。具体的には、供給開閉バルブ68aを開き、大気開閉バルブ68dを閉じることで、各吸引キャップ58の吸引溝82に溶媒を送液するための溶媒供給流路68として機能する。一方、供給開閉バルブ68aを閉じ、大気開閉バルブ68dを開くことで、各吸引キャップ58内を大気開放することができ、ノズル面NFに密接した各吸引キャップ58内を無理なく引き離すことができるようになっている(詳細は後述する)。なお、請求項に言う「流路切替手段」とは、供給開閉バルブ68aおよび大気開閉バルブ68dを指す。   On the downstream side of the solvent supply channel 68 (in the vicinity of the cap unit 50), a supply opening / closing valve 68a for opening and closing the solvent supply channel 68 is provided. Further, a bifurcated joint 68b is interposed in the solvent supply flow path 68 between the supply opening / closing valve 68a and the cap unit 50, branching off from the solvent supply flow path 68, and the terminal is opened to the atmosphere. The open air flow path 68c is connected. An air opening / closing valve 68d for opening and closing the flow path is interposed in the air opening flow path 68c. The solvent supply flow path 68 from the two-branch joint 68b to the cap unit 50 is used as the air release flow path 68c by switching the supply open / close valve 68a and the air open / close valve 68d to be opposite to each other. It has become. Specifically, the supply opening / closing valve 68a is opened and the atmospheric opening / closing valve 68d is closed, thereby functioning as a solvent supply channel 68 for feeding the solvent to the suction groove 82 of each suction cap 58. On the other hand, by closing the supply opening / closing valve 68a and opening the atmosphere opening / closing valve 68d, the inside of each suction cap 58 can be opened to the atmosphere so that each suction cap 58 in close contact with the nozzle surface NF can be easily separated. (Details will be described later). The “flow path switching means” in the claims refers to the supply opening / closing valve 68a and the atmospheric opening / closing valve 68d.

なお、大気開放流路68cを、溶媒供給流路68とは別に直接吸引キャップ58に接続するようにしてもよい。また、供給開閉バルブ68aを吸引キャップ58毎に設けるようにしてもよい。かかる場合には、後述する吸引溝82内に浸漬センサを設け、浸漬センサの検出結果に基づいて、個別の供給開閉バルブ68aを制御することが好ましい。   Note that the air release channel 68 c may be directly connected to the suction cap 58 separately from the solvent supply channel 68. A supply opening / closing valve 68a may be provided for each suction cap 58. In such a case, it is preferable to provide an immersion sensor in a suction groove 82 to be described later, and to control the individual supply opening / closing valve 68a based on the detection result of the immersion sensor.

本実施形態では、液滴吐出装置1の稼動停止時には、Y軸テーブル13により13個のキャリッジユニット14が13台の吸引ユニット22の位置まで移動し、キャップユニット50を昇降機構51により密接位置に上昇させ、全機能液滴吐出ヘッド25に対し、いわゆるキャッピング(ヘッド保全)が行われる。一方、稼動開始時には、各機能液滴吐出ヘッド25に対し、キャッピングされた状態でエジェクター66eを駆動して吸引処理が行なわれ、続いてキャリッジユニット14単位でワイピング処理が行なわれる。そして、13台のキャリッジユニット14は順次、X軸テーブル12にセットされたワークW上に移動する。すなわち、13個のキャリッジユニット14が個別に制御され、これに合わせて13台のキャップユニット50も個別に制御される。   In the present embodiment, when the operation of the droplet discharge device 1 is stopped, the 13 carriage units 14 are moved to the positions of the 13 suction units 22 by the Y-axis table 13, and the cap unit 50 is brought into a close position by the lifting mechanism 51. The so-called capping (head maintenance) is performed on the all-function droplet discharge head 25. On the other hand, at the start of operation, the ejecting process is performed by driving the ejector 66e in the capped state with respect to each functional liquid droplet ejection head 25, and then the wiping process is performed on a carriage unit 14 basis. Then, the 13 carriage units 14 sequentially move onto the workpiece W set on the X-axis table 12. That is, the 13 carriage units 14 are individually controlled, and the 13 cap units 50 are also individually controlled in accordance with this.

次に、図9を参照して、吸引キャップ58について詳細に説明する。各吸引キャップ58は、機能液滴吐出ヘッド25のノズル面NFに密着して全ての吐出ノズル36を封止するキャップ本体71と、キャップ本体71を保持するキャップホルダー72と、を有している。また、キャップ本体71の下面には、キャップ本体71内に連通するキャップ側主流路62およびキャップ側副流路63が、それぞれ接続される吸引継手73およびドレン吸引継手74と、キャップ本体71内に溶媒を供給すると共に、大気開放するために溶媒供給流路68が接続される供給継手75と、が取り付けられている。なお、キャップ本体71(シール部材77除く)およびキャップホルダー72は、ステンレス等の耐食性材料で構成されている。   Next, the suction cap 58 will be described in detail with reference to FIG. Each suction cap 58 has a cap body 71 that seals all the ejection nozzles 36 in close contact with the nozzle surface NF of the functional liquid droplet ejection head 25, and a cap holder 72 that holds the cap body 71. . Further, on the lower surface of the cap body 71, there are a cap side main channel 62 and a cap side subchannel 63 communicating with the cap body 71, and a suction joint 73 and a drain suction joint 74 connected to the cap body 71 and the cap body 71, respectively. A supply joint 75 to which a solvent supply channel 68 is connected to supply the solvent and open to the atmosphere is attached. The cap body 71 (excluding the seal member 77) and the cap holder 72 are made of a corrosion resistant material such as stainless steel.

キャップ本体71は、表面中央部に吸引溝82を形成したシールホルダ76と、機能液滴吐出ヘッド25のノズル面NFに密接するシール部材(シール部)77と、を有している。また、キャップ本体71の長辺方向両側には、平面視U字状の一対のスライド係合部78が延設されており、キャップ本体71は、後述するキャップホルダー72に立設した一対のガイドピン93にスライド自在に保持されている。   The cap body 71 includes a seal holder 76 having a suction groove 82 formed in the center of the surface thereof, and a seal member (seal portion) 77 that is in close contact with the nozzle surface NF of the functional liquid droplet ejection head 25. Further, a pair of U-shaped slide engaging portions 78 extending in a plan view are extended on both sides in the long side direction of the cap body 71, and the cap body 71 is a pair of guides erected on a cap holder 72 described later. The pin 93 is slidably held.

シールホルダ76は、略矩形に作成されており、その表面中央部には、溶媒供給機構54から供給された溶媒を貯留する吸引溝82を形成するように吸引溝形成壁81が平面視矩形の枠状に突設されている。また、吸引溝形成壁81の外側には、吸引溝82から溢れた溶媒を受けるドレン溝84を形成するようにドレン溝形成壁83が平面視矩形の枠状に突設されている。すなわち、ドレン溝84は、吸引溝82を外側から囲むように形成されている。なお、ドレン溝形成壁83は、吸引溝形成壁81よりも僅かに低く形成されている。   The seal holder 76 is formed in a substantially rectangular shape, and the suction groove forming wall 81 is rectangular in plan view so as to form a suction groove 82 for storing the solvent supplied from the solvent supply mechanism 54 at the center of the surface thereof. Projected in a frame shape. Further, on the outside of the suction groove forming wall 81, a drain groove forming wall 83 projects in a rectangular frame shape in plan view so as to form a drain groove 84 that receives the solvent overflowing from the suction groove 82. That is, the drain groove 84 is formed so as to surround the suction groove 82 from the outside. The drain groove forming wall 83 is formed slightly lower than the suction groove forming wall 81.

シール部材77は、耐食性ゴムや樹脂等で構成されており、吸引溝形成壁81の上端面に係合固定されている。このシール部材77が、ノズル列NLを包含するようにノズル面NFに密着し、封止する。   The seal member 77 is made of corrosion-resistant rubber, resin, or the like, and is engaged and fixed to the upper end surface of the suction groove forming wall 81. The seal member 77 is in close contact with the nozzle surface NF so as to include the nozzle row NL and seals.

吸引溝82は、吸引溝形成壁81と、これに係合固定したシール部材77とにより囲繞されて形成されている。吸引溝82の底面には、長辺方向に並ぶように吸引用流路85および供給用流路86が開口しており、吸引用流路85は、吸引継手73に連通し、供給用流路86は、供給継手75に連通している。そして、詳細は後述するが、吸引溝82には、溶媒供給機構54から供給用流路86を介して供給された溶媒が送液され、貯留される。また、吸引機構53を駆動することで、吸引溝82に貯留した溶媒(および機能液)は、吸引用流路85を介して吸引される。   The suction groove 82 is surrounded and formed by a suction groove forming wall 81 and a seal member 77 engaged and fixed thereto. A suction channel 85 and a supply channel 86 are opened on the bottom surface of the suction groove 82 so as to be aligned in the long side direction. The suction channel 85 communicates with the suction joint 73 and is connected to the supply channel. 86 communicates with the supply joint 75. As will be described in detail later, the solvent supplied from the solvent supply mechanism 54 via the supply flow path 86 is sent to and stored in the suction groove 82. Further, by driving the suction mechanism 53, the solvent (and the functional liquid) stored in the suction groove 82 is sucked through the suction channel 85.

ドレン溝84の底面には、短辺方向一方に寄せられ、且つ長辺方向略中央にドレン吸引用流路87が開口しており(図9(b)参照)、ドレン吸引用流路87は、ドレン吸引継手74に連通している。詳細は後述するが、吸引キャップ58内を洗浄する際に、ドレン溝84は、吸引溝82から溢れ出した溶媒を受ける。そして、その溶媒は、ドレン吸引用流路87を介して吸引機構53により吸引される。なお、吸引溝82の溝底は、吸引用流路85の開口に向って排水勾配を有していることが好ましく、同様にドレン溝84の溝底は、ドレン吸引用流路87の開口に向って排水勾配を有していることが好ましい。   On the bottom surface of the drain groove 84, a drain suction flow path 87 is opened at one side in the short side direction and substantially at the center in the long side direction (see FIG. 9B). The drain suction joint 74 is communicated. Although details will be described later, when the inside of the suction cap 58 is cleaned, the drain groove 84 receives the solvent overflowing from the suction groove 82. Then, the solvent is sucked by the suction mechanism 53 through the drain suction flow path 87. Note that the groove bottom of the suction groove 82 preferably has a drainage gradient toward the opening of the suction flow path 85. Similarly, the groove bottom of the drain groove 84 is formed at the opening of the drain suction flow path 87. It is preferable to have a drainage gradient.

一方、キャップホルダー72は、その平面中央に上記の吸引継手73、ドレン吸引継手74および供給継手75を挿入する開口部91を有しており、開口部91の外側には、キャップホルダー72を受けにして、キャップ本体71を上方に付勢する一対の密接ばね92が位置している。これにより、シール部材77がノズル面NFに倣って密着する。また、キャップホルダー72の長辺方向両端部には、一対のガイドピン93が立設されている。各ガイドピン93は、いわゆる頭部94付の丸ピンであり、その頭部94に対してスライド係合部78の上面が接触することで、キャップ本体71の上側(ノズル面NF側)への移動が規制される。   On the other hand, the cap holder 72 has an opening 91 into which the suction joint 73, the drain suction joint 74, and the supply joint 75 are inserted in the center of the plane, and the cap holder 72 is received outside the opening 91. Thus, a pair of close springs 92 that urge the cap body 71 upward are positioned. As a result, the seal member 77 is brought into close contact with the nozzle surface NF. A pair of guide pins 93 are erected on both ends in the long side direction of the cap holder 72. Each guide pin 93 is a round pin with a so-called head 94, and the upper surface of the slide engagement portion 78 is in contact with the head 94, so that the upper side (nozzle surface NF side) of the cap body 71. Movement is restricted.

また、片方のガイドピン93の頭部94とスライド係合部78との間には、ワッシャー95が介設されており、キャップ本体71は、ワッシャー95の厚み分だけ僅かに傾いた状態で、キャップホルダー72に保持されている。このように、キャップ本体71を僅かに傾けることで、吸引キャップ58がノズル面NFから引き離されるときに、ノズル面NFに対しシール部材77が片側から離れ、吸引キャップ58内の機能液が飛散することがない。なお、吸引処理の後、吸引キャップ58をノズル面NFから引き離す際には、供給開閉バルブ68aを閉じ、大気開閉バルブ68dを開くことで、大気開放流路68cを大気開放し、吸引溝82とノズル面NFとの間隙の負圧を解除することで、各吸引キャップ58を無理なく円滑に引き離すことができる。   In addition, a washer 95 is interposed between the head 94 of one guide pin 93 and the slide engagement portion 78, and the cap body 71 is slightly inclined by the thickness of the washer 95. It is held by the cap holder 72. Thus, by slightly tilting the cap body 71, when the suction cap 58 is pulled away from the nozzle surface NF, the seal member 77 is separated from one side with respect to the nozzle surface NF, and the functional liquid in the suction cap 58 is scattered. There is nothing. When the suction cap 58 is pulled away from the nozzle surface NF after the suction process, the supply opening / closing valve 68a is closed and the atmosphere opening / closing valve 68d is opened to open the atmosphere opening flow path 68c to the atmosphere, and the suction groove 82 and By releasing the negative pressure in the gap with the nozzle surface NF, each suction cap 58 can be smoothly and smoothly separated.

次に、図9ないし図11を参照して、吸引ユニット22を用いた機能液滴吐出ヘッド25のメンテナンス方法について説明する。この吸引ユニット22は、機能液滴吐出ヘッド25に対する複数種のメンテナンス機能を有しており、吸引キャップ58をノズル面NFに密着させ、吸引機構53を駆動して機能液滴吐出ヘッド25から機能液の吸引を行う吸引処理機能と、吸引キャップ58をノズル面NFに密着して機能液滴吐出ヘッド25の吐出ノズル36の乾燥を防止するキャッピング機能と、機能液滴吐出ヘッド25から機能液の捨て吐出(フラッシング)を受けるフラッシング機能と、吸引キャップ58内を洗浄する洗浄処理機能と、を有している。   Next, a maintenance method of the functional liquid droplet ejection head 25 using the suction unit 22 will be described with reference to FIGS. The suction unit 22 has a plurality of types of maintenance functions for the functional droplet discharge head 25, and the suction cap 58 is brought into close contact with the nozzle surface NF, and the suction mechanism 53 is driven to function from the functional droplet discharge head 25. A suction processing function for sucking the liquid, a capping function for preventing the discharge nozzle 36 of the functional liquid droplet ejection head 25 from drying by bringing the suction cap 58 into close contact with the nozzle surface NF, and the functional liquid from the functional liquid droplet ejection head 25. It has a flushing function for receiving discarded discharge (flushing) and a cleaning processing function for cleaning the inside of the suction cap 58.

吸引処理機能とは、機能液滴吐出ヘッド25に対し、強制的な吸引処理を行うものである。吸引処理は、液滴吐出装置1によるワークWに対して描画処理を実施するに際し、各機能液滴吐出ヘッド25に機能液の初期充填を行う場合や、装置の稼働開始時、更には吐出性能検査ユニット24により吐出不良と判断された際の機能回復を行う場合等に行われる。
図10(a)に示すように、吸引処理は、先ず、対応するキャップユニット50を、昇降機構51を駆動して密接位置に上昇させ、吸引流路切替バルブ65、キャップ側流路開閉バルブ62bおよびタンク側流路開閉バルブ64bを制御して、キャップ側主流路62を開通させ、吸引溝82と第1廃液タンク66aとを連通させる。また、供給開閉バルブ68aおよび大気開閉バルブ68dを閉塞する。この状態で、吸引機構53を駆動して高圧で吸引処理を実施する。なお、第2廃液タンク66bに連通させ、低圧で吸引してもよいし、高圧・低圧を組み合わせて(例えば、交互に)吸引してもよい。
The suction processing function is for forcibly performing suction processing on the functional liquid droplet ejection head 25. The suction process is performed when the functional liquid droplet ejection head 25 is initially filled with the functional liquid when the drawing process is performed on the workpiece W by the liquid droplet ejection apparatus 1, or when the apparatus starts operating, and further the ejection performance. This is performed, for example, when the function recovery is performed when the inspection unit 24 determines that the discharge is defective.
As shown in FIG. 10A, in the suction process, first, the corresponding cap unit 50 is driven to the close position by driving the elevating mechanism 51, and the suction flow path switching valve 65 and the cap side flow path opening / closing valve 62b. In addition, the tank-side flow path opening / closing valve 64b is controlled to open the cap-side main flow path 62 and to connect the suction groove 82 and the first waste liquid tank 66a. Further, the supply opening / closing valve 68a and the atmospheric opening / closing valve 68d are closed. In this state, the suction mechanism 53 is driven to perform suction processing at high pressure. The second waste liquid tank 66b may be communicated and sucked at a low pressure, or a combination of high pressure and low pressure (for example, alternately) may be sucked.

キャッピング機能とは、液滴吐出装置1の稼動停止している場合に、各吐出ノズル36内の機能液の乾燥を防止するべく、各機能液滴吐出ヘッド25のノズル面NFを吸引キャップ58で封止(キャッピング)する機能である。
図10(b)に示すように、キャッピングは、先ず、キャップ側流路開閉バルブ62bおよびタンク側流路開閉バルブ64bを閉塞し、供給開閉バルブ68aを開放する(大気開閉バルブ68dは閉塞)。そして、溶媒供給機構54を駆動して吸引溝82に溶媒を送液し、吸引溝82から溢れ出ない程度に溶媒が貯留したら、溶媒の供給を停止する(供給開閉バルブ68aを閉塞)。この状態で、吸引処理時と同様に、対応するキャップユニット50を密接位置に上昇させ、各機能液滴吐出ヘッド25を対応する吸引キャップ58により封止する。これにより、吸引溝82とノズル面NFとの間隙は、溶媒の飽和雰囲気となり、各吐出ノズル36は、この飽和雰囲気内に曝されるため、各吐出ノズル36内の機能液が乾燥することがない。したがって、描画処理を停止している際にも、各機能液滴吐出ヘッド25(各吐出ノズル36)内の機能液の増粘等を適切に防止することができ、もって、ノズル詰り等に起因する吐出不良を防止することができる。
With the capping function, when the operation of the liquid droplet ejection apparatus 1 is stopped, the nozzle surface NF of each functional liquid droplet ejection head 25 is removed by a suction cap 58 in order to prevent the functional liquid in each ejection nozzle 36 from drying. This is a function of sealing (capping).
As shown in FIG. 10B, the capping first closes the cap-side flow path opening / closing valve 62b and the tank-side flow path opening / closing valve 64b, and opens the supply opening / closing valve 68a (the atmospheric opening / closing valve 68d is closed). Then, the solvent supply mechanism 54 is driven to supply the solvent to the suction groove 82. When the solvent is stored to the extent that it does not overflow from the suction groove 82, the supply of the solvent is stopped (the supply opening / closing valve 68a is closed). In this state, similarly to the suction process, the corresponding cap unit 50 is raised to the close position, and each functional liquid droplet ejection head 25 is sealed with the corresponding suction cap 58. As a result, the gap between the suction groove 82 and the nozzle surface NF becomes a saturated atmosphere of the solvent, and each discharge nozzle 36 is exposed to this saturated atmosphere, so that the functional liquid in each discharge nozzle 36 may be dried. Absent. Accordingly, even when the drawing process is stopped, the thickening of the functional liquid in each functional liquid droplet ejection head 25 (each ejection nozzle 36) can be appropriately prevented, and this is caused by nozzle clogging or the like. It is possible to prevent the ejection failure.

フラッシング機能とは、吸引処理等の待機時に吐出ノズル36内の機能液の増粘を防止するために、各吐出ノズル36から吸引キャップ58(吸引溝82)に対して捨て吐出を行う機能である。
図11(c)に示すように、フラッシングは、上記のキャッピングの場合と同様に、吸引溝82に溢れ出ない程度に溶媒を貯留する。そして、対応するキャップユニット50を、昇降機構51を駆動して離間位置に移動する。この離間位置において、吸引溝82に貯留した溶媒に対して、各機能液滴吐出ヘッド25から捨て吐出(フラッシング)を行う。なお、キャップ側流路開閉バルブ62b、タンク側流路開閉バルブ64bおよび供給開閉バルブ68aは、いずれも閉塞されている。捨て吐出された機能液滴は、吸引溝82内の溶媒に着弾するため、シールホルダ76自体や機能液の吸収部材等の固体上に対して着弾した場合に比して、機能液滴が着弾の衝撃で霧状(ミスト)に飛散することがない。したがって、機能液のミストが浮遊してノズル面NFに付着することがなく、この後に行われるワイピングユニット23によるノズル面NFの拭き取り(ワイピング)を簡潔に行える。そして、フラッシングが終了した場合、または、定期的に、キャップ側主流路62を開通させ、吸引機構53を駆動して吸引処理を行い吸引溝82内の溶媒および機能液を排出する。これにより、溶媒の交換・排出のためだけに、別途吸引手段等を設ける必要がなく、また、吸引溝82には、常に汚れのない溶媒を貯留しておくことができ、吸引溝82の清浄化を容易に行うことができる。さらに、捨て吐出された機能液は、吸引溝82内の溶媒に溶解されるため、吸引溝82内で、こびり付くことなく円滑に排出される。
The flushing function is a function of performing a waste discharge from each discharge nozzle 36 to the suction cap 58 (suction groove 82) in order to prevent thickening of the functional liquid in the discharge nozzle 36 during standby such as a suction process. .
As shown in FIG. 11C, the flushing stores the solvent to such an extent that it does not overflow into the suction groove 82, as in the case of the capping described above. Then, the corresponding cap unit 50 is moved to the separation position by driving the lifting mechanism 51. At this separated position, the solvent stored in the suction groove 82 is discarded and flushed from each functional liquid droplet ejection head 25. The cap-side flow path opening / closing valve 62b, the tank-side flow path opening / closing valve 64b, and the supply opening / closing valve 68a are all closed. Since the discarded functional liquid droplets land on the solvent in the suction groove 82, the functional liquid droplets land compared to the case where the functional liquid droplets land on a solid such as the seal holder 76 itself or the functional liquid absorbing member. Will not scatter in the form of a mist due to the impact of. Therefore, the mist of the functional liquid does not float and adhere to the nozzle surface NF, and the subsequent wiping of the nozzle surface NF by the wiping unit 23 can be performed simply. When the flushing is completed or periodically, the cap-side main channel 62 is opened, the suction mechanism 53 is driven to perform a suction process, and the solvent and the functional liquid in the suction groove 82 are discharged. Accordingly, it is not necessary to separately provide a suction means or the like only for exchanging and discharging the solvent, and the solvent that is always free of dirt can be stored in the suction groove 82, and the suction groove 82 can be cleaned. Can be easily performed. Furthermore, since the discarded functional liquid is dissolved in the solvent in the suction groove 82, the functional liquid is smoothly discharged without sticking in the suction groove 82.

洗浄処理機能は、吸引溝82内の溶媒を意図的に溢れさせ、シール部材77や吸引溝82内等を洗浄する機能である。
図11(d)に示すように、洗浄処理は、先ず、吸引流路切替バルブ65、キャップ側流路開閉バルブ62bおよびタンク側流路開閉バルブ64bを制御して、キャップ側副流路63を開通させ、ドレン溝84と第1廃液タンク66a(または第2廃液タンク66b)とを連通させる。そして、溶媒供給機構54を駆動して吸引溝82に溶媒の送液を開始すると共に、吸引機構53を駆動して高圧(または低圧)で吸引処理を実施する。これにより、吸引溝82からドレン溝84へと溶媒が溢れだし、この溶媒の流れによって、シール部材77や吸引溝82に付着した機能液を洗い流すことができる。なお、洗浄処理は、ユーザーから操作により、任意のタイミングで実施してもよいが、定期的に実施することが好ましい。また、吸引機構53は、溶媒供給機構54の供給動作に遅れて駆動してもよい。
The cleaning function is a function of intentionally overflowing the solvent in the suction groove 82 and cleaning the inside of the seal member 77 and the suction groove 82.
As shown in FIG. 11 (d), the cleaning process first controls the suction flow path switching valve 65, the cap side flow path opening / closing valve 62b, and the tank side flow path opening / closing valve 64b so that the cap side auxiliary flow path 63 is changed. The drain groove 84 is communicated with the first waste liquid tank 66a (or the second waste liquid tank 66b). Then, the solvent supply mechanism 54 is driven to start feeding the solvent into the suction groove 82, and the suction mechanism 53 is driven to perform suction processing at high pressure (or low pressure). Thereby, the solvent overflows from the suction groove 82 to the drain groove 84, and the functional liquid adhering to the seal member 77 and the suction groove 82 can be washed away by the flow of the solvent. The cleaning process may be performed at an arbitrary timing by a user operation, but is preferably performed periodically. Further, the suction mechanism 53 may be driven after the supply operation of the solvent supply mechanism 54.

なお、吸引処理またはキャッピングの際に、各吸引溝82内の溶媒の貯留量を意図的に増加させ、溶媒表面にノズル面NFを接触させるようにしてもよい。これにより、ノズル面NFに付着した機能液を緩ませた状態で、ワイピングユニット23により拭き取ることができるため、より確実に汚れ(機能液)を除去することができる。また、この場合、吸引溝82の表面に撥水処理を施しておくことが好ましい。これにより、吸引溝82に貯留した溶媒は、自身の表面張力により盛り上がるように貯留されるため、容易に溶媒をノズル面NFに接触させることができる。   In the suction process or capping, the storage amount of the solvent in each suction groove 82 may be intentionally increased so that the nozzle surface NF is brought into contact with the solvent surface. Thereby, since the functional liquid adhering to the nozzle surface NF can be loosened by the wiping unit 23, dirt (functional liquid) can be more reliably removed. In this case, it is preferable that the surface of the suction groove 82 is subjected to water repellent treatment. Thereby, since the solvent stored in the suction groove 82 is stored so as to rise by its surface tension, the solvent can be easily brought into contact with the nozzle surface NF.

なお、本実施形態の液滴吐出装置1では、Y軸テーブル13に沿って、各キャリッジユニット14が移動(副走査)し、吸引ユニット22に臨むようになっていたが、吸引ユニット22を移動させ、各キャリッジユニット14に臨むように構成してもよい。この場合、各吸引溝82内に、複数の消波板96が設けられていることが好ましい(図12参照)。この各消波板96は、吸引ユニット22の移動方向に対して直交する方向に設ける。また、各消波板96は、吸引溝82の底面に間隙を設け、吸引溝82の両側面に固定されている。これにより、吸引溝82に貯留した溶媒の液位を一定に保つと共に、吸引ユニット22の移動による反動で、各吸引溝82内に貯留した溶媒がこぼれることがない。なお、図12では、2枚の消波板96を図示したが、消波板96の配設枚数は任意である。   In the droplet discharge device 1 according to the present embodiment, each carriage unit 14 moves (sub-scan) along the Y-axis table 13 so as to face the suction unit 22, but the suction unit 22 is moved. It may be configured to face each carriage unit 14. In this case, it is preferable that a plurality of wave-dissipating plates 96 are provided in each suction groove 82 (see FIG. 12). Each wave-dissipating plate 96 is provided in a direction orthogonal to the moving direction of the suction unit 22. Further, each wave-dissipating plate 96 is provided with a gap on the bottom surface of the suction groove 82 and is fixed to both side surfaces of the suction groove 82. Accordingly, the liquid level of the solvent stored in the suction groove 82 is kept constant, and the solvent stored in each suction groove 82 is not spilled due to the reaction caused by the movement of the suction unit 22. In FIG. 12, two wave-dissipating plates 96 are illustrated, but the number of wave-dissipating plates 96 disposed is arbitrary.

以上の構成によれば、溶媒供給機構54により吸引溝82に送液され、貯留した溶媒が、吸収材の役割を担うため、吸収材を省略することができると共に、吸引キャップ58(吸引溝82)内に残存する機能液は、溶媒に溶解され、乾燥による変質を起こすことがない。これにより、吸収材を定期的に交換する等の保守作業が不要となり、そのための費用と手間を削減することができる。また、特に液滴吐出装置1の稼動停止時における機能液滴吐出ヘッド25のキャッピングにより、機能液滴吐出ヘッド25(吐出ノズル36)の保全を適切に行えることから、この液滴吐出装置1では、安定した吐出による高品質な描画を維持することができる。   According to the above configuration, since the solvent supplied and stored in the suction groove 82 by the solvent supply mechanism 54 plays the role of the absorbent, the absorbent can be omitted, and the suction cap 58 (suction groove 82) can be omitted. The functional liquid remaining in) is dissolved in the solvent and does not cause alteration due to drying. This eliminates the need for maintenance work such as periodic replacement of the absorbent material, thereby reducing costs and labor. In addition, since the functional droplet discharge head 25 (discharge nozzle 36) can be properly maintained by capping the functional droplet discharge head 25 especially when the operation of the droplet discharge device 1 is stopped, the droplet discharge device 1 High quality drawing with stable ejection can be maintained.

1:液滴吐出装置、17:制御装置、22:吸引ユニット、25:機能液滴吐出ヘッド、53:吸引機構、54:溶媒供給機構、58:吸引キャップ、68:溶媒供給流路、68a:供給開閉バルブ、68c:大気開放流路、68d:大気開閉バルブ、77:シール部材、82:吸引溝、84:ドレン溝、96:消波板、W:ワーク   1: droplet discharge device, 17: control device, 22: suction unit, 25: functional droplet discharge head, 53: suction mechanism, 54: solvent supply mechanism, 58: suction cap, 68: solvent supply channel, 68a: Supply opening / closing valve, 68c: Atmospheric release flow path, 68d: Atmospheric opening / closing valve, 77: Seal member, 82: Suction groove, 84: Drain groove, 96: Wave absorbing plate, W: Workpiece

Claims (9)

機能液をインクジェット方式で吐出する機能液滴吐出ヘッドに離接自在に密接するシール部、および前記シール部により囲繞された吸引溝を有する吸引キャップと、
前記吸引キャップの前記吸引溝に連通する吸引手段と、
前記吸引キャップの前記吸引溝に連通し、前記機能液の溶媒を供給する溶媒供給手段と、
前記吸引手段および前記溶媒供給手段を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記機能液滴吐出ヘッドに前記吸引キャップを密接させて前記機能液滴吐出ヘッドの保全を行うときに、前記溶媒供給手段を駆動し、前記吸引溝に前記機能液滴吐出ヘッドを保湿するための前記溶媒を送り込むことを特徴とする吸引装置。
A suction part having a suction groove surrounded by the seal part, and a seal part that comes into close contact with a functional liquid droplet ejection head that ejects the functional liquid by an inkjet method; and
A suction means communicating with the suction groove of the suction cap;
A solvent supply means that communicates with the suction groove of the suction cap and supplies the solvent of the functional liquid;
Control means for controlling the suction means and the solvent supply means,
The control unit drives the solvent supply unit when the functional droplet discharge head is maintained by bringing the suction cap into close contact with the functional droplet discharge head, and the functional droplet discharge head is inserted into the suction groove. A suction device, wherein the solvent for keeping moisture is fed.
前記制御手段は、前記機能液滴吐出ヘッドに前記吸引キャップを密接させて前記機能液滴吐出ヘッドに吸引処理を行うときに、前記吸引手段を駆動し、送り込んだ前記溶媒を吸引すると共に前記機能液滴吐出ヘッドから前記機能液を吸引することを特徴とする請求項1に記載の吸引装置。   The control means drives the suction means when sucking the functional liquid droplet ejection head by bringing the suction cap into close contact with the functional liquid droplet ejection head, and sucks the sent solvent and the function. The suction device according to claim 1, wherein the functional liquid is sucked from a droplet discharge head. 前記制御手段は、前記機能液滴吐出ヘッドから前記吸引キャップを離間させて前記機能液滴吐出ヘッドから捨て吐出を実施するときに、前記溶媒供給手段を駆動し、前記吸引溝に前記捨て吐出を受けるための前記溶媒を送り込むことを特徴とする請求項1または2に記載の吸引装置。   The control means drives the solvent supply means to separate the suction cap from the functional liquid droplet ejection head and perform the waste discharge from the functional liquid droplet ejection head, and discharges the waste ink into the suction groove. The suction device according to claim 1, wherein the solvent for receiving is fed. 前記制御手段は、前記捨て吐出が終了した後、前記吸引手段を駆動し、送り込んだ前記溶媒を吸引することを特徴とする請求項3に記載の吸引装置。   The suction device according to claim 3, wherein the control unit drives the suction unit to suck the fed solvent after the discarding and discharging is completed. 前記吸引キャップは、前記吸引溝の外側に前記シール部を介して前記吸引溝からオーバーフローした前記溶媒を受けるドレン溝を、更に有し、
前記制御手段は、前記溶媒供給手段を駆動し、前記吸引溝に前記溶媒を送り込みオーバーフローさせて前記吸引溝および前記シール部を洗浄することを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の吸引装置。
The suction cap further has a drain groove that receives the solvent overflowed from the suction groove via the seal portion outside the suction groove,
The said control means drives the said solvent supply means, sends the said solvent to the said suction groove, it is made to overflow, and the said suction groove and the said seal part are wash | cleaned. Suction device.
前記ドレン溝が、前記吸引手段に連通していることを特徴とする請求項5に記載の吸引装置。   The suction device according to claim 5, wherein the drain groove communicates with the suction means. 前記吸引溝と前記溶媒供給手段とを接続する溶媒供給流路と、
前記吸引溝に連通し、前記吸引溝内を大気に開放する大気開放流路と、
前記溶媒供給流路と前記大気開放流路とを流路切り替えする流路切替手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の吸引装置。
A solvent supply channel connecting the suction groove and the solvent supply means;
An air opening flow path communicating with the suction groove and opening the inside of the suction groove to the atmosphere;
The suction device according to claim 1, further comprising: a channel switching unit that switches between the solvent supply channel and the atmosphere-open channel.
前記吸引溝には、消波板が設けられていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の吸引装置。   The suction device according to claim 1, wherein a wave-dissipating plate is provided in the suction groove. 請求項1ないし8のいずれかに記載の吸引装置と、
前記機能液滴吐出ヘッドと、を備え、
ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記ワーク上に前記機能液を吐出して描画を行なうことを特徴とする液滴吐出装置。
A suction device according to any one of claims 1 to 8,
The functional liquid droplet ejection head,
A droplet discharge apparatus for performing drawing by discharging the functional liquid onto the workpiece while moving the functional droplet discharge head relative to the workpiece.
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