JP2009051061A - Inkjet type recording head unit, its manufacture method, and inkjet type recording device - Google Patents

Inkjet type recording head unit, its manufacture method, and inkjet type recording device Download PDF

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Kenji Okita
賢二 音喜多
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inkjet type recording head unit capable of inexpensively achieving high-speed and high-quality printing, and its manufacture method and an inkjet type recording device. <P>SOLUTION: The inkjet type recording head unit 1 provided with a plurality of nozzle trains 21A where nozzle apertures 21 ejecting ink are juxtaposed includes a pair of nozzle trains 21A ejecting the same color ink, wherein the pair of nozzle trains 21A having an inclination that the ink ejection amount of ink drops ejected from the nozzle apertures 21 based on the same driving signal becomes gradually smaller from one end side to the other end side of the nozzle train 21A is arranged so that the inclination that the ink ejection amount of the nozzle train 21A becomes gradually smaller may be reverse to each other. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、インクを吐出するノズル開口が並設された複数のノズル列から異なる色のインクを吐出させて、印刷を行うインクジェット式記録ヘッドユニット及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置に関する。   The present invention relates to an ink jet recording head unit that performs printing by ejecting ink of different colors from a plurality of nozzle arrays in which nozzle openings for ejecting ink are arranged in parallel, and a method for manufacturing the same, and an ink jet recording apparatus.

インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドを具備するインクジェット式記録ヘッドユニット（以下、ヘッドユニットとも言う）としては、インクを吐出するノズル開口が開口するインク吐出面を有するインクジェット式記録ヘッドと、インクジェット式記録ヘッドのインク吐出面に接着剤を介して接着される固定板等の保持部材とを具備するものがある（例えば、特許文献１参照）。   An ink jet recording head unit (hereinafter also referred to as a head unit) having an ink jet recording head for ejecting ink includes an ink jet recording head having an ink ejection surface in which a nozzle opening for ejecting ink is opened, and ink jet recording. Some have a holding member such as a fixed plate that is bonded to the ink ejection surface of the head via an adhesive (see, for example, Patent Document 1).

また、インクジェット式記録ヘッドに圧力発生室の圧力変動特性を調整するための補正回路を設け、補正回路によって圧力発生室の圧力変動特性のばらつきを防止して印刷品質を向上するものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。   In addition, a correction circuit for adjusting the pressure fluctuation characteristic of the pressure generation chamber is provided in the ink jet recording head, and the correction circuit prevents a variation in the pressure fluctuation characteristic of the pressure generation chamber and improves the print quality. (For example, refer to Patent Document 2).

特開２００５−０９６４１９号公報（第７〜１２頁、第１〜３図）Japanese Patent Laying-Open No. 2005-096419 (pages 7 to 12, FIGS. 1 to 3) 特開２０００−３５１２０９号公報（第６〜１０頁、第１〜３図）JP 2000-351209 A (pages 6 to 10, FIGS. 1 to 3)

しかしながら、インクジェット式記録ヘッドは、製造時の成膜ばらつきや圧力発生室の形成時のばらつきなどにより、圧電素子等の圧力発生手段の変位特性や圧力発生室の容積などにばらつきが生じ、１つのノズル列においてノズル開口から吐出されるインク滴のインク吐出量が当該ノズル列の一端部側から他端部側に向かって漸小する傾向が生じてしまうという問題がある。   However, the ink jet recording head has variations in the displacement characteristics of the pressure generating means such as piezoelectric elements and the volume of the pressure generating chamber due to variations in film formation during manufacturing and variations in the pressure generating chamber. There is a problem that the ink discharge amount of the ink droplets discharged from the nozzle openings in the nozzle row tends to gradually decrease from the one end side to the other end side of the nozzle row.

そして、ノズル列のインク吐出量が漸小する傾向を揃えてインクジェット式記録ヘッドを複数配置したインクジェット式記録ヘッドユニットでは、例えば、インクジェット式記録ヘッドユニットを主走査方向に移動させて印刷を行う１パス印刷を行った後、記録用紙を副走査方向に移動させてさらに１パス印刷を行う、いわゆるマイクロフィードやバインド印刷を行うと、各パスの間で色濃度が急激に変化して、印刷品質が劣化してしまうという問題がある。   In the ink jet recording head unit in which a plurality of ink jet recording heads are arranged so as to gradually decrease the ink discharge amount of the nozzle row, for example, printing is performed by moving the ink jet recording head unit in the main scanning direction. After performing pass printing, if the recording paper is moved in the sub-scanning direction to perform one-pass printing, so-called microfeed or bind printing, the color density changes abruptly between passes, resulting in print quality. There is a problem that will deteriorate.

また、特許文献２のように、補正回路を設けることで、インク吐出特性のばらつきを防止することができるが、補正回路が必要で部品点数が多くなりコストが増大してしまうという問題がある。   In addition, as disclosed in Patent Document 2, it is possible to prevent variations in ink ejection characteristics by providing a correction circuit. However, there is a problem in that the correction circuit is necessary and the number of parts increases, resulting in an increase in cost.

本発明はこのような事情に鑑み、高速で高品質な印刷を低コストで行うことができるインクジェット式記録ヘッドユニット及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置を提供することを目的とする。   In view of such circumstances, an object of the present invention is to provide an ink jet recording head unit that can perform high-speed and high-quality printing at low cost, a manufacturing method thereof, and an ink jet recording apparatus.

上記課題を解決する本発明の態様は、インクを吐出するノズル開口が並設されたノズル列が複数設けられたインクジェット式記録ヘッドユニットであって、
同一色のインクが吐出される一対のノズル列を具備し、
同一の駆動信号に基づいて前記ノズル開口から吐出されるインク滴のインク吐出量がノズル列の一端部側から他端部側に向かって漸小する傾向を有するノズル列が、前記ノズル列のインク吐出量の漸小する傾向が互いに反転するように前記一対のノズル列が配置されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドユニットにある。
かかる態様では、例えば、異なる色を重ね合わせて各種色を１パス印刷した際に、色濃度をノズル列のノズル開口の並設方向で平均化又は濃度ムラを目立たなくさせることができる。また、マイクロフィード印刷やバインド印刷を行った際にパス間の濃度ムラを防止又は目立たなくさせることができるため、高速で高品質な印刷を行わせることができる。また、インクジェット式記録ヘッドの配置だけで濃度ムラを防止又は目立たなくさせることができるため、駆動波形の補正を行う補正回路等が不要となり、低コストで高速で高品質な印刷を行わせることができる。 An aspect of the present invention that solves the above problems is an ink jet recording head unit provided with a plurality of nozzle arrays in which nozzle openings for discharging ink are arranged in parallel.
Comprising a pair of nozzle rows from which ink of the same color is ejected;
A nozzle row in which the ink discharge amount of ink droplets discharged from the nozzle openings based on the same drive signal tends to gradually decrease from one end side to the other end side of the nozzle row is the ink of the nozzle row The ink jet recording head unit is characterized in that the pair of nozzle rows are arranged such that the tendency of the discharge amount to gradually decrease is reversed.
In this aspect, for example, when different colors are superimposed and various colors are printed in one pass, the color density can be averaged or density unevenness can be made inconspicuous in the direction in which the nozzle openings of the nozzle row are arranged. Moreover, since density unevenness between passes can be prevented or made inconspicuous when microfeed printing or bind printing is performed, high-speed and high-quality printing can be performed. In addition, density unevenness can be prevented or made inconspicuous only by the arrangement of the ink jet recording head, so that a correction circuit for correcting the drive waveform is not required, and high-quality printing can be performed at low cost at high speed. it can.

ここで、同一色のインクが吐出される一対のノズル列が、当該ノズル列の方向で、一方のノズル列の並設されたノズル開口のピッチの半ピッチ分ずれた位置に他方のノズル列のノズル開口が設けられていることが好ましい。これによれば、１パス印刷時のインク吐出量を平均化して、濃度ムラを防止することができると共に、マイクロフィード印刷やバインド印刷時のパス間の濃度ムラを防止できる。   Here, a pair of nozzle rows from which ink of the same color is ejected is displaced in the direction of the nozzle row by a half pitch of the pitch of the nozzle openings arranged in parallel in one nozzle row. A nozzle opening is preferably provided. According to this, the ink discharge amount at the time of one pass printing can be averaged to prevent density unevenness, and density unevenness between passes at the time of microfeed printing or bind printing can be prevented.

また、同一色のインクが吐出される一対のノズル列が、一方のノズル列の一端のノズル開口と他方のノズル列の他端のノズル開口とが、前記ノズル開口の並設方向で同一位置となるように配置されていることが好ましい。これによれば、１パス印刷時の一対のノズル列の境界で、濃度ムラを目立たなくさせることができると共に、マイクロフィード印刷やバインド印刷時のパス間の濃度ムラを目立たなくさせることができる。   In addition, a pair of nozzle rows from which the same color ink is ejected has a nozzle opening at one end of one nozzle row and a nozzle opening at the other end of the other nozzle row at the same position in the parallel arrangement direction of the nozzle openings. It is preferable to arrange so as to be. According to this, density unevenness can be made inconspicuous at the boundary between a pair of nozzle rows during one-pass printing, and density unevenness between passes during microfeed printing or bind printing can be made inconspicuous.

また、前記インクジェット式記録ヘッドが、前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、該流路形成基板の前記圧力発生室に相対向する領域に設けられた下電極、圧電体層及び上電極とからなる圧電素子とを具備することが好ましい。これによれば、圧電素子の特性によるばらつきや圧力発生室の形成時のばらつきなどにより、ノズル列のインク吐出量にばらつき傾向が生じたインクジェット式記録ヘッドを用いても、高速で高品質な印刷を行わせることができる。   The ink jet recording head includes a flow path forming substrate provided with a pressure generating chamber communicating with the nozzle opening, and a lower electrode provided in a region facing the pressure generating chamber of the flow path forming substrate, It is preferable to include a piezoelectric element including a piezoelectric layer and an upper electrode. According to this, high-speed and high-quality printing is possible even when using an ink jet recording head in which the ink discharge amount of the nozzle array tends to vary due to variations due to characteristics of the piezoelectric elements or variations in the formation of the pressure generation chamber. Can be performed.

さらに、本発明の他の態様は、上記態様のインクジェット式記録ヘッドユニットを具備することを特徴とするインクジェット式記録装置にある。かかる態様では、高速で高品質な印刷を低コストで行わせることができるインクジェット式記録装置を実現できる。   Furthermore, another aspect of the present invention is an ink jet recording apparatus comprising the ink jet recording head unit of the above aspect. In this aspect, an ink jet recording apparatus that can perform high-speed and high-quality printing at low cost can be realized.

さらに本発明の他の態様は、インクを吐出するノズル開口が並設されたノズル列を具備するインクジェット式記録ヘッドを複数具備し、同一色のインクが吐出される一対のノズル列を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの製造方法であって、前記インクジェット式記録ヘッドを製造した際に、同一の駆動信号に基づいて前記ノズル開口から吐出されるインク滴のインク吐出量がノズル列の一端部側から他端部側に向かって漸小する傾向を有する前記インクジェット式記録ヘッドが形成された場合に、当該インクジェット式記録ヘッドを、前記一対のノズル列において、前記ノズル列のインク吐出量の漸小する傾向が互いに反転するように配置することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドユニットの製造方法にある。
かかる態様では、インクジェット式記録ヘッドの製造時にノズル列のインク吐出量にばらつき傾向が生じたとしても、例えば、異なる色を重ね合わせて各種色を１パス印刷した際に、色濃度をノズル列のノズル開口の並設方向で平均化又は濃度ムラを目立たなくさせることができる。また、マイクロフィード印刷やバインド印刷を行った際にパス間の濃度ムラを防止又は目立たなくさせることができるため、高速で高品質な印刷を行わせることができる。また、インクジェット式記録ヘッドの配置だけで濃度ムラを防止又は目立たなくさせることができるため、駆動波形の補正を行う補正回路等が不要となり、低コストで高速で高品質な印刷を行わせることができる。 Furthermore, another aspect of the present invention includes an inkjet recording head including a plurality of inkjet recording heads including nozzle arrays in which nozzle openings for ejecting ink are arranged in parallel, and an inkjet including a pair of nozzle arrays from which the same color ink is ejected. A method for manufacturing an ink jet recording head unit, wherein when the ink jet recording head is manufactured, an ink discharge amount of ink droplets discharged from the nozzle openings based on the same drive signal is determined from one end side of the nozzle row. When the ink jet recording head having a tendency to gradually decrease toward the other end portion is formed, the ink jet recording head is configured to gradually decrease the ink discharge amount of the nozzle array in the pair of nozzle arrays. An inkjet recording head unit manufacturing method is characterized in that the arrangement is such that the trends are reversed.
In such an aspect, even when the ink discharge amount of the nozzle row tends to vary during the manufacture of the ink jet recording head, for example, when different colors are superimposed and various colors are printed in one pass, the color density of the nozzle row is changed. Averaging or density unevenness can be made inconspicuous in the direction in which the nozzle openings are arranged side by side. Moreover, since density unevenness between passes can be prevented or made inconspicuous when microfeed printing or bind printing is performed, high-speed and high-quality printing can be performed. In addition, density unevenness can be prevented or made inconspicuous only by the arrangement of the ink jet recording head, so that a correction circuit for correcting the drive waveform is not required, and high-quality printing can be performed at low cost at high speed. it can.

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、インクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図１に示すように、インクジェット式記録装置Ｉには、インクジェット式記録ヘッドを有するインクジェット式記録ヘッドユニット１（以下、ヘッドユニット１とも言う）が２つ設けられている。２つのヘッドユニット１は、インク供給手段を構成する複数のカートリッジ１Ａが着脱可能に設けられ、キャリッジ３に搭載されている。このヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。各ヘッドユニット１の各インクジェット式記録ヘッドは、詳しくは後述するが、本実施形態では、４色のカラーインクを吐出するものとしており、４色のインクをそれぞれ貯留した４つのインクカートリッジ１Ａが各ヘッドユニット１に設けられている。 Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments.
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating an example of an ink jet recording apparatus. As shown in FIG. 1, the ink jet recording apparatus I includes two ink jet recording head units 1 (hereinafter also referred to as head units 1) each having an ink jet recording head. The two head units 1 are detachably provided with a plurality of cartridges 1 </ b> A constituting ink supply means, and are mounted on a carriage 3. A carriage 3 on which the head unit 1 is mounted is provided on a carriage shaft 5 attached to the apparatus main body 4 so as to be movable in the axial direction. As will be described later in detail, each ink jet recording head of each head unit 1 discharges four color inks in this embodiment, and four ink cartridges 1A respectively storing four color inks are provided. It is provided in the head unit 1.

そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、ヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８上を搬送されるようになっている。   Then, the driving force of the driving motor 6 is transmitted to the carriage 3 via a plurality of gears and a timing belt 7 (not shown), so that the carriage 3 on which the head unit 1 is mounted is moved along the carriage shaft 5. On the other hand, the apparatus body 4 is provided with a platen 8 along the carriage shaft 5, and a recording sheet S, which is a recording medium such as paper fed by a paper feed roller (not shown), is conveyed on the platen 8. It is like that.

ここで、各ヘッドユニット１について詳細に説明する。なお、図２は、ヘッドユニットの概略構成を示す分解斜視図である。   Here, each head unit 1 will be described in detail. FIG. 2 is an exploded perspective view showing a schematic configuration of the head unit.

図２に示すように、ヘッドユニット１のカートリッジケース２１０は、インク供給手段であるインクカートリッジ１Ａがそれぞれ装着されるカートリッジ装着部２１１を有する。また、カートリッジケース２１０の底面には、一端が各カートリッジ装着部２１１に開口し、他端が後述するヘッドケース側に開口する複数のインク連通路（図示なし）が設けられている。さらに、カートリッジ装着部２１１のインク連通路の開口部分には、インクカートリッジのインク供給口に挿入されるインク供給針２１３が、インク内の気泡や異物を除去するためにインク連通路に形成されたフィルタ（図示なし）を介して固定されている。   As shown in FIG. 2, the cartridge case 210 of the head unit 1 has cartridge mounting portions 211 to which ink cartridges 1 </ b> A as ink supply means are respectively mounted. The bottom surface of the cartridge case 210 is provided with a plurality of ink communication paths (not shown) having one end opened to each cartridge mounting portion 211 and the other end opened to the head case side described later. Further, an ink supply needle 213 to be inserted into the ink supply port of the ink cartridge is formed in the ink communication path in the ink communication path of the cartridge mounting portion 211 in order to remove bubbles and foreign matters in the ink. It is fixed via a filter (not shown).

また、このようなカートリッジケース２１０の底面側には、インクを吐出する複数のインクジェット式記録ヘッド２が固定されている。インクジェット式記録ヘッド２には、詳しくは後述するが、それぞれノズル開口が並設されたノズル列が設けられており、各インクジェット式記録ヘッド２のノズル列からは、ブラック（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンダ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）のインクが吐出される。すなわち、本実施形態では、１つのヘッドユニット１に、４色のインクをそれぞれ吐出するノズル列が設けられた４つのインクジェット式記録ヘッド２が設けられている。そして、上述のように、インクジェット式記録装置Ｉのキャリッジ３には、２つのヘッドユニット１が設けられており、詳しくは後述するが、各ヘッドユニット１から４色のインクが吐出される。   A plurality of ink jet recording heads 2 that eject ink are fixed to the bottom surface side of the cartridge case 210. As will be described in detail later, the ink jet recording head 2 is provided with a nozzle row in which nozzle openings are arranged in parallel. From the nozzle row of each ink jet recording head 2, black (K), cyan (C ), Magenta (M), and yellow (Y) ink are ejected. In other words, in the present embodiment, one head unit 1 is provided with four ink jet recording heads 2 each provided with a nozzle array for ejecting four colors of ink. As described above, the carriage 3 of the ink jet recording apparatus I is provided with the two head units 1. As will be described in detail later, four color inks are ejected from each head unit 1.

また、インクジェット式記録ヘッド２のノズル開口が開口するインク吐出面側には、複数のインクジェット式記録ヘッド２のインク吐出面側を保護するカバーヘッド２４０が設けられている。なお、インクジェット式記録ヘッド２のインク吐出面は、詳しくは後述するが、インクを吐出するノズル開口が開口する面のことであり、カバーヘッド２４０は、各インクジェット式記録ヘッド２のインク吐出面のノズル列２１Ａをそれぞれ開口する露出開口部２４１が設けられている。   Further, a cover head 240 that protects the ink ejection surface side of the plurality of ink jet recording heads 2 is provided on the ink ejection surface side where the nozzle openings of the ink jet recording head 2 are opened. The ink discharge surface of the ink jet recording head 2 is a surface where nozzle openings for discharging ink are opened, as will be described in detail later. The cover head 240 is a surface of the ink discharge surface of each ink jet recording head 2. Exposed openings 241 that respectively open the nozzle rows 21A are provided.

具体的には、カバーヘッド２４０は、ノズル開口２１を露出する露出開口部２４１と、露出開口部２４１を画成すると共にインクジェット式記録ヘッド２のインク吐出面Ａに接合される接合部２４２とを具備する。   Specifically, the cover head 240 includes an exposed opening 241 that exposes the nozzle opening 21, and a joint 242 that defines the exposed opening 241 and is joined to the ink ejection surface A of the ink jet recording head 2. It has.

接合部２４２は、本実施形態では、複数のインクジェット式記録ヘッド２に亘ってインク吐出面Ａの外周に沿って設けられた固定用枠部２４３と、隣接するインクジェット式記録ヘッド２の間に延設されて露出開口部２４１を分割する固定用梁部２４４とで構成されている。そして、固定用枠部２４３及び固定用梁部２４４からなる接合部２４２が複数のインクジェット式記録ヘッド２のインク吐出面Ａに同時に接合されている。   In the present embodiment, the joint portion 242 extends between the fixing frame portion 243 provided along the outer periphery of the ink ejection surface A across the plurality of ink jet recording heads 2 and the adjacent ink jet recording head 2. And a fixing beam portion 244 that is provided and divides the exposed opening 241. A joint portion 242 including the fixing frame portion 243 and the fixing beam portion 244 is simultaneously joined to the ink discharge surfaces A of the plurality of ink jet recording heads 2.

ここで、インクジェット式記録ヘッド２の一例について説明する。なお、図３は、インクジェット式記録ヘッドの平面図及びそのＡ−Ａ′断面図である。   Here, an example of the ink jet recording head 2 will be described. FIG. 3 is a plan view of the ink jet recording head and a sectional view taken along line AA ′.

図示するように、インクジェット式記録ヘッド２を構成する流路形成基板１０は、本実施形態では面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には二酸化シリコンからなる厚さ０．５〜２μｍの弾性膜５０が形成されている。   As shown in the drawing, the flow path forming substrate 10 constituting the ink jet recording head 2 is made of a silicon single crystal substrate having a plane orientation (110) in this embodiment, and one surface thereof is made of silicon dioxide with a thickness of 0. An elastic film 50 having a thickness of 5 to 2 μm is formed.

流路形成基板１０には、他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁１１によって区画された圧力発生室１２がその幅方向（短手方向）に並設されている。また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向一端部側には、インク供給路１４と連通路１５とが隔壁によって区画されている。また、連通路１５の一端には、各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００の一部を構成する連通部１３が形成されている。すなわち、流路形成基板１０には、圧力発生室１２、連通部１３、インク供給路１４及び連通路１５からなるインク流路が設けられている。なお、インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、連通部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。   In the flow path forming substrate 10, pressure generating chambers 12 partitioned by a plurality of partition walls 11 are arranged in parallel in the width direction (short direction) by anisotropic etching from the other surface side. Further, an ink supply path 14 and a communication path 15 are partitioned by a partition wall on one end side in the longitudinal direction of the pressure generating chamber 12 of the flow path forming substrate 10. Further, at one end of the communication passage 15, a communication portion 13 that forms a part of the reservoir 100 that is a common ink chamber of each pressure generation chamber 12 is formed. That is, the flow path forming substrate 10 is provided with an ink flow path including a pressure generation chamber 12, a communication portion 13, an ink supply path 14, and a communication path 15. The ink supply path 14 is formed with a narrower width than the pressure generation chamber 12, and maintains a constant flow path resistance of ink flowing into the pressure generation chamber 12 from the communication portion 13.

また、流路形成基板１０の開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が、接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。なお、ノズルプレート２０のノズル開口２１は、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側で連通する位置に穿設されている。本実施形態では、流路形成基板１０に圧力発生室１２が並設された列を１列設けたため、１つのインクジェット式記録ヘッド２にはノズル開口２１の並設されたノズル列２１Ａが１列設けられている（図８参照）。そして、本実施形態では、このノズルプレート２０のノズル開口２１が開口する面がインク吐出面Ａとなっている。このようなノズルプレート２０としては、例えば、シリコン単結晶基板やステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属基板などが挙げられる。   Further, on the opening surface side of the flow path forming substrate 10, a nozzle plate 20 having a nozzle opening 21 communicating with the vicinity of the end of each pressure generating chamber 12 on the side opposite to the ink supply path 14 is provided with an adhesive. Or a heat-welded film or the like. The nozzle opening 21 of the nozzle plate 20 is formed at a position communicating with the pressure generation chamber 12 on the side opposite to the ink supply path 14. In the present embodiment, since one row in which the pressure generation chambers 12 are arranged in parallel is provided on the flow path forming substrate 10, one nozzle row 21A in which nozzle openings 21 are arranged in parallel is provided in one ink jet recording head 2. (See FIG. 8). In the present embodiment, the surface of the nozzle plate 20 where the nozzle openings 21 are opened is the ink discharge surface A. Examples of such a nozzle plate 20 include a silicon single crystal substrate and a metal substrate such as stainless steel (SUS).

また、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド２は、ノズル開口２１の並設方向が、ヘッドユニット１の主走査方向（キャリッジ３の移動方向）とは交差する方向、すなわち、副走査方向（記録シートＳの搬送方向）となるようにヘッドユニット１に搭載される。すなわち、複数のインクジェット式記録ヘッド２は、ノズル列２１Ａが、ヘッドユニット１の主走査方向に並列されている。   Further, in the ink jet recording head 2 of the present embodiment, the direction in which the nozzle openings 21 are juxtaposed with each other intersects the main scanning direction (movement direction of the carriage 3) of the head unit 1, that is, the sub-scanning direction (recording sheet). It is mounted on the head unit 1 so as to be in the (S transport direction). That is, in the plurality of ink jet recording heads 2, the nozzle rows 21 </ b> A are arranged in parallel in the main scanning direction of the head unit 1.

さらに、インクジェット式記録ヘッド２には、それぞれノズルプレート２０が設けられており、当該ノズルプレート２０はカバーヘッド２４０の露出開口部２４１よりも若干広い面積を有してカバーヘッド２４０と重畳する領域で接着剤によって固定されている。   Further, each of the inkjet recording heads 2 is provided with a nozzle plate 20. The nozzle plate 20 has a slightly larger area than the exposed opening 241 of the cover head 240 and overlaps the cover head 240. It is fixed with an adhesive.

一方、このような流路形成基板１０の開口面とは反対側には、上述したように、厚さが例えば約１．０μｍの弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、厚さが例えば、約０．４μｍの絶縁体膜５５が形成されている。さらに、この絶縁体膜５５上には、厚さが例えば、約０．２μｍの下電極膜６０と、厚さが例えば、約１．１μｍの圧電体層７０と、厚さが例えば、約０．０５μｍの上電極膜８０とが、後述するプロセスで積層形成されて、圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部３２０という。本実施形態では、詳しくは後述するが、下電極膜６０を圧電素子３００の共通電極とし、上電極膜８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせてアクチュエータ装置と称する。なお、上述した例では、弾性膜５０、絶縁体膜５５及び下電極膜６０が振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、弾性膜５０及び絶縁体膜５５を設けずに、下電極膜６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電素子３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。   On the other hand, as described above, the elastic film 50 having a thickness of, for example, about 1.0 μm is formed on the side opposite to the opening surface of the flow path forming substrate 10. For example, an insulator film 55 having a thickness of about 0.4 μm is formed. Further, on the insulator film 55, a lower electrode film 60 having a thickness of, for example, about 0.2 μm, a piezoelectric layer 70 having a thickness of, for example, about 1.1 μm, and a thickness of, for example, about 0 The upper electrode film 80 having a thickness of 0.05 μm is laminated by a process described later to constitute the piezoelectric element 300. Here, the piezoelectric element 300 refers to a portion including the lower electrode film 60, the piezoelectric layer 70, and the upper electrode film 80. In general, one electrode of the piezoelectric element 300 is used as a common electrode, and the other electrode and the piezoelectric layer 70 are patterned for each pressure generating chamber 12. In this case, a portion that is configured by any one of the patterned electrodes and the piezoelectric layer 70 and in which piezoelectric distortion is generated by applying a voltage to both electrodes is referred to as a piezoelectric active portion 320. In this embodiment, as will be described in detail later, the lower electrode film 60 is used as a common electrode of the piezoelectric element 300, and the upper electrode film 80 is used as an individual electrode of the piezoelectric element 300. There is no problem. In addition, here, the piezoelectric element 300 and the diaphragm that is displaced by driving the piezoelectric element 300 are collectively referred to as an actuator device. In the above-described example, the elastic film 50, the insulator film 55, and the lower electrode film 60 function as a diaphragm. However, the present invention is not limited to this, and for example, the elastic film 50 and the insulator film 55 are provided. Instead, only the lower electrode film 60 may act as a diaphragm. Further, the piezoelectric element 300 itself may substantially serve as a diaphragm.

圧電体層７０は、下電極膜６０上に形成されるペロブスカイト構造の結晶膜である。圧電体層７０としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の強誘電体材料や、これに酸化ニオブ、酸化ニッケル又は酸化マグネシウム等の金属酸化物を添加したもの等が好適である。圧電体層７０の厚さについては、製造工程でクラックが発生しない程度に厚さを抑え、且つ十分な変位特性を呈する程度に厚く形成する。例えば、本実施形態では、圧電体層７０を１〜２μｍ前後の厚さで形成した。   The piezoelectric layer 70 is a crystal film having a perovskite structure formed on the lower electrode film 60. As the piezoelectric layer 70, for example, a ferroelectric material such as lead zirconate titanate (PZT) or a material obtained by adding a metal oxide such as niobium oxide, nickel oxide, or magnesium oxide to the ferroelectric material is suitable. The piezoelectric layer 70 is formed thick enough to suppress the thickness so as not to generate cracks in the manufacturing process and to exhibit sufficient displacement characteristics. For example, in this embodiment, the piezoelectric layer 70 is formed with a thickness of about 1 to 2 μm.

また、圧電素子３００の個別電極である各上電極膜８０には、インク供給路１４側の端部近傍から引き出された引き出し配線として、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０が設けられている。そして、このリード電極９０は、詳しくは後述する貫通孔３３で駆動回路１２０と接続配線１２１を介して電気的に接続されている。   Further, each upper electrode film 80 that is an individual electrode of the piezoelectric element 300 is provided with a lead electrode 90 made of, for example, gold (Au) or the like as a lead-out wiring drawn out from the vicinity of the end on the ink supply path 14 side. ing. The lead electrode 90 is electrically connected to the drive circuit 120 via the connection wiring 121 through a through hole 33 described later in detail.

さらに、圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上には、連通部１３に対向する領域にリザーバ部３１が設けられた保護基板３０が接着剤３５を介して接合されている。このリザーバ部３１は、上述したように、流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成している。また、流路形成基板１０の連通部１３を圧力発生室１２毎に複数に分割して、リザーバ部３１のみをリザーバとしてもよい。さらに、例えば、流路形成基板１０に圧力発生室１２のみを設け、流路形成基板１０と保護基板３０との間に介在する部材（例えば、弾性膜５０、絶縁体膜５５等）にリザーバと各圧力発生室１２とを連通するインク供給路１４を設けるようにしてもよい。   Further, on the flow path forming substrate 10 on which the piezoelectric element 300 is formed, a protective substrate 30 provided with a reservoir portion 31 in a region facing the communication portion 13 is bonded via an adhesive 35. As described above, the reservoir unit 31 communicates with the communication unit 13 of the flow path forming substrate 10 and constitutes the reservoir 100 serving as a common ink chamber for the pressure generation chambers 12. Alternatively, the communication portion 13 of the flow path forming substrate 10 may be divided into a plurality of pressure generation chambers 12 and only the reservoir portion 31 may be used as the reservoir. Further, for example, only the pressure generation chamber 12 is provided in the flow path forming substrate 10, and a reservoir and a member interposed between the flow path forming substrate 10 and the protective substrate 30 (for example, the elastic film 50, the insulator film 55, etc.) An ink supply path 14 that communicates with each pressure generating chamber 12 may be provided.

また、保護基板３０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部３２が設けられている。圧電素子保持部３２は、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。   A piezoelectric element holding portion 32 having a space that does not hinder the movement of the piezoelectric element 300 is provided in a region of the protective substrate 30 that faces the piezoelectric element 300. The piezoelectric element holding part 32 only needs to have a space that does not hinder the movement of the piezoelectric element 300, and the space may be sealed or unsealed.

このような保護基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。   As such a protective substrate 30, it is preferable to use substantially the same material as the coefficient of thermal expansion of the flow path forming substrate 10, for example, glass, ceramic material, etc. In this embodiment, the same material as the flow path forming substrate 10 is used. The silicon single crystal substrate was used.

また、保護基板３０には、保護基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられている。そして、各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０の端部近傍（接続層３０１）は、貫通孔３３内に露出するように設けられている。   The protective substrate 30 is provided with a through hole 33 that penetrates the protective substrate 30 in the thickness direction. The vicinity of the end of the lead electrode 90 (connection layer 301) drawn from each piezoelectric element 300 is provided so as to be exposed in the through hole 33.

また、保護基板３０上には、並設された圧電素子３００を駆動するための駆動回路１２０が固定されている。この駆動回路１２０としては、例えば、回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）等を用いることができる。そして、駆動回路１２０とリード電極９０とは、ボンディングワイヤ等の導電性ワイヤからなる接続配線１２１を介して電気的に接続されている。なお、接続配線１２１は、上述のように接続層３０１上のリード電極９０に電気的に接続されている。また、接続配線１２１とリード電極９０との接続は、例えば、ワイヤボンディング等が挙げられる。   A drive circuit 120 for driving the piezoelectric elements 300 arranged in parallel is fixed on the protective substrate 30. For example, a circuit board or a semiconductor integrated circuit (IC) can be used as the drive circuit 120. The drive circuit 120 and the lead electrode 90 are electrically connected via a connection wiring 121 made of a conductive wire such as a bonding wire. Note that the connection wiring 121 is electrically connected to the lead electrode 90 on the connection layer 301 as described above. The connection between the connection wiring 121 and the lead electrode 90 includes, for example, wire bonding.

また、このような保護基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、厚さが６μｍのポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、この封止膜４１によってリザーバ部３１の一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料（例えば、厚さが３０μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成される。この固定板４２のリザーバ１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、リザーバ１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。   In addition, a compliance substrate 40 including a sealing film 41 and a fixing plate 42 is bonded onto the protective substrate 30. Here, the sealing film 41 is made of a material having low rigidity and flexibility (for example, a polyphenylene sulfide (PPS) film having a thickness of 6 μm), and the sealing film 41 seals one surface of the reservoir portion 31. It has been stopped. The fixing plate 42 is made of a hard material such as metal (for example, stainless steel (SUS) having a thickness of 30 μm). Since the region of the fixing plate 42 facing the reservoir 100 is an opening 43 that is completely removed in the thickness direction, one surface of the reservoir 100 is sealed only with a flexible sealing film 41. Has been.

このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッド２では、図２に示すインクカートリッジとカートリッジケース２１０のインク連通路を介して接続されたインク導入口からインクを取り込み、リザーバ１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路１２０からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極膜６０と上電極膜８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、絶縁体膜５５、下電極膜６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。   In the ink jet recording head 2 of this embodiment, ink is taken in from the ink introduction port connected to the ink cartridge shown in FIG. 2 via the ink communication path of the cartridge case 210 and reaches from the reservoir 100 to the nozzle opening 21. After the inside is filled with ink, a voltage is applied between the lower electrode film 60 and the upper electrode film 80 corresponding to the pressure generating chamber 12 in accordance with a recording signal from the drive circuit 120, and the elastic film 50 is insulated. By flexing and deforming the body film 55, the lower electrode film 60, and the piezoelectric layer 70, the pressure in each pressure generating chamber 12 is increased and ink droplets are ejected from the nozzle openings 21.

以下、このようなインクジェット式記録ヘッド２の製造方法について、図４〜図７を参照して説明する。なお、図４〜図７は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す圧力発生室の長手方向の断面図である。まず、図４（ａ）に示すように、シリコンウェハである流路形成基板用ウェハ１１０の表面に弾性膜５０を構成する二酸化シリコン（ＳｉＯ2）からなる二酸化シリコン膜５１を形成する。次いで、図４（ｂ）に示すように、弾性膜５０（二酸化シリコン膜５１）上に、酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５５を形成する。 Hereinafter, a method for manufacturing such an ink jet recording head 2 will be described with reference to FIGS. 4 to 7 are cross-sectional views in the longitudinal direction of the pressure generating chamber showing the method of manufacturing the ink jet recording head according to the first embodiment of the present invention. First, as shown in FIG. 4A, a silicon dioxide film 51 made of silicon dioxide (SiO 2 ) constituting the elastic film 50 is formed on the surface of a flow path forming substrate wafer 110 that is a silicon wafer. Next, as shown in FIG. 4B, an insulator film 55 made of zirconium oxide is formed on the elastic film 50 (silicon dioxide film 51).

次に、図４（ｃ）に示すように、流路形成基板用ウェハ１１０の絶縁体膜５５上の全面に亘って白金（Ｐｔ）とイリジウム（Ｉｒ）とからなる下電極膜６０を形成すると共に所定形状にパターニングする。   Next, as shown in FIG. 4C, a lower electrode film 60 made of platinum (Pt) and iridium (Ir) is formed over the entire surface of the insulator film 55 of the flow path forming substrate wafer 110. At the same time, it is patterned into a predetermined shape.

次に、図５（ａ）に示すように、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体層７０と、例えば、イリジウムからなる上電極膜８０とを流路形成基板用ウェハ１１０の全面に形成した後、図５（ｂ）に示すように、各圧力発生室１２に対向する領域にパターニングして圧電素子３００を形成する。圧電素子３００を構成する圧電体層７０の材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の強誘電性圧電性材料や、これにニオブ、ニッケル、マグネシウム、ビスマス又はイットリウム等の金属を添加したリラクサ強誘電体等が用いられる。また、圧電体層７０の形成方法は、本実施形態では、金属有機物を溶媒に溶解・分散したいわゆるゾルを塗布乾燥してゲル化し、さらに高温で焼成することで金属酸化物からなる圧電体層７０を得る、いわゆるゾル−ゲル法を用いて圧電体層７０を形成した。なお、圧電体層７０の形成方法は、特に限定されず、例えば、ＭＯＤ法やスパッタリング法等を用いるようにしてもよい。   Next, as shown in FIG. 5A, for example, a piezoelectric layer 70 made of lead zirconate titanate (PZT) or the like and an upper electrode film 80 made of iridium, for example, are formed on the wafer 110 for flow path forming substrate. Then, as shown in FIG. 5B, patterning is performed in a region facing each pressure generating chamber 12 to form a piezoelectric element 300. As a material of the piezoelectric layer 70 constituting the piezoelectric element 300, for example, a ferroelectric piezoelectric material such as lead zirconate titanate (PZT) or a metal such as niobium, nickel, magnesium, bismuth or yttrium is used. An added relaxor ferroelectric or the like is used. In the present embodiment, the piezoelectric layer 70 is formed by applying a so-called sol in which a metal organic material is dissolved and dispersed in a solvent, drying it to gel, and baking it at a high temperature to form a piezoelectric layer made of a metal oxide. The piezoelectric layer 70 was formed using a so-called sol-gel method for obtaining 70. The method for forming the piezoelectric layer 70 is not particularly limited, and for example, a MOD method or a sputtering method may be used.

次に、図５（ｃ）に示すように、流路形成基板用ウェハ１１０の全面に亘って金（Ａｕからなるリード電極９０を形成後、各圧電素子３００毎にパターニングする。   Next, as shown in FIG. 5C, a lead electrode 90 made of gold (Au) is formed over the entire surface of the flow path forming substrate wafer 110, and then patterned for each piezoelectric element 300.

次に、図６（ａ）に示すように、保護基板用ウェハ１３０を、流路形成基板用ウェハ１１０上に接着剤３５を介して接着する。ここで、この保護基板用ウェハ１３０は、保護基板３０が複数一体的に形成されたものであり、保護基板用ウェハ１３０には、リザーバ部３１及び圧電素子保持部３２が予め形成されている。   Next, as illustrated in FIG. 6A, the protective substrate wafer 130 is bonded to the flow path forming substrate wafer 110 via the adhesive 35. Here, the protective substrate wafer 130 is formed by integrally forming a plurality of protective substrates 30, and a reservoir portion 31 and a piezoelectric element holding portion 32 are formed in advance on the protective substrate wafer 130.

次いで、図６（ｂ）に示すように、流路形成基板用ウェハ１１０を所定の厚みに薄くする。次いで、図６（ｃ）に示すように、流路形成基板用ウェハ１１０上にマスク膜５２を新たに形成し、所定形状にパターニングする。そして、図７に示すように、流路形成基板用ウェハ１１０をマスク膜５２を介してＫＯＨ等のアルカリ溶液を用いた異方性エッチング（ウェットエッチング）することにより、圧電素子３００に対応する圧力発生室１２、連通部１３、インク供給路１４及び連通路１５等を形成する。   Next, as shown in FIG. 6B, the flow path forming substrate wafer 110 is thinned to a predetermined thickness. Next, as shown in FIG. 6C, a mask film 52 is newly formed on the flow path forming substrate wafer 110 and patterned into a predetermined shape. Then, as shown in FIG. 7, the pressure corresponding to the piezoelectric element 300 is obtained by performing anisotropic etching (wet etching) using an alkaline solution such as KOH on the flow path forming substrate wafer 110 through the mask film 52. A generation chamber 12, a communication portion 13, an ink supply path 14, a communication path 15 and the like are formed.

そして、流路形成基板用ウェハ１１０及び保護基板用ウェハ１３０の外周縁部の不要部分を、例えば、ダイシング等により切断することによって除去する。そして、流路形成基板用ウェハ１１０の保護基板用ウェハ１３０とは反対側の面にノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０を接合すると共に、保護基板用ウェハ１３０にコンプライアンス基板４０を接合し、流路形成基板用ウェハ１１０等を図３に示すような一つのチップサイズの流路形成基板１０等に分割することによって、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド２とする。   Then, unnecessary portions of the outer peripheral edge portions of the flow path forming substrate wafer 110 and the protective substrate wafer 130 are removed by cutting, for example, by dicing. The nozzle plate 20 having the nozzle openings 21 formed on the surface of the flow path forming substrate wafer 110 opposite to the protective substrate wafer 130 is bonded, and the compliance substrate 40 is bonded to the protective substrate wafer 130. Then, the flow path forming substrate wafer 110 and the like are divided into a single chip size flow path forming substrate 10 as shown in FIG.

このような工程により製造されたインクジェット式記録ヘッド２には、１つのノズル列２１Ａ（図８参照）において、同一の駆動信号に基づいてノズル開口２１から吐出されるインク滴のインク吐出量が、当該ノズル列２１Ａの一端部側に設けられたノズル開口２１から他端部側に設けられたノズル開口２１に向かって漸小する傾向を有するインクジェット式記録ヘッド２が製造される場合がある。これは、例えば、上述した製造方法によりインクジェット式記録ヘッド２を製造した際の圧電素子３００の成膜時の膜厚や焼成温度等のばらつきや、流路形成基板１０を異方性エッチングする際のエッチング量のばらつきなどによって発生する。なお、ノズル列２１Ａにおけるインク吐出量のばらつき傾向は、ノズル開口２１の開口面積のばらつきなど他の要因によっても発生するため、これらの製造方法に限定されるものではない。   The ink jet recording head 2 manufactured by such a process has an ink discharge amount of ink droplets discharged from the nozzle openings 21 based on the same drive signal in one nozzle row 21A (see FIG. 8). There is a case where the ink jet recording head 2 having a tendency to gradually decrease from the nozzle opening 21 provided on one end side of the nozzle row 21A toward the nozzle opening 21 provided on the other end side may be manufactured. This is because, for example, when the inkjet recording head 2 is manufactured by the above-described manufacturing method, the thickness of the piezoelectric element 300 during film formation, the firing temperature, or the like, or when the flow path forming substrate 10 is anisotropically etched. This occurs due to variations in the amount of etching. Note that the tendency of variation in the ink discharge amount in the nozzle row 21A is also caused by other factors such as variation in the opening area of the nozzle openings 21, and is not limited to these manufacturing methods.

このように、１つのノズル列２１Ａにおいて、ノズル開口２１から吐出されるインク吐出量が漸小する傾向を有するインクジェット式記録ヘッド２は、使用頻度の高いインクを吐出する一対のノズル列２１Ａで、ノズル列２１Ａのインク吐出量の漸小する傾向が互いに反転するように配置されている。   Thus, in one nozzle row 21A, the ink jet recording head 2 having a tendency to gradually reduce the amount of ink discharged from the nozzle openings 21 is a pair of nozzle rows 21A that discharge ink that is used frequently. The nozzle arrays 21A are arranged so that the decreasing tendency of the ink discharge amount of the nozzle row 21A is reversed.

なお、インクジェット式記録ヘッド２の各ノズル開口２１から吐出されるインク吐出量は、例えば、ノズル開口２１に対応する圧電素子３００（圧電体層７０）の静電容量を測定し、圧電素子３００の変位量を把握することで圧電素子３００に対応するインク吐出量を把握することができる。また、圧力発生室１２の共振周波数を測定することでも、インク吐出量を把握することができる。このようなノズル列２１Ａにおけるインク吐出量の傾向の測定は、複数個に１つの割合でノズル開口２１に対応する圧電素子３００を測定することで把握することができる。   Note that the amount of ink discharged from each nozzle opening 21 of the ink jet recording head 2 is determined by measuring the capacitance of the piezoelectric element 300 (piezoelectric layer 70) corresponding to the nozzle opening 21, for example. By grasping the displacement amount, the ink discharge amount corresponding to the piezoelectric element 300 can be grasped. Further, the ink discharge amount can also be grasped by measuring the resonance frequency of the pressure generating chamber 12. Such a tendency of the ink discharge amount in the nozzle row 21A can be grasped by measuring the piezoelectric elements 300 corresponding to the nozzle openings 21 at a ratio of one to a plurality.

このようにインクジェット式記録ヘッド２のインク吐出量を測定することで、インクジェット式記録ヘッド２のインク吐出量の傾向を取得し、インク吐出量の傾向に基づいてインクジェット式記録ヘッド２を分類する。ちなみに、インクジェット式記録ヘッド２のインク吐出量の傾向に基づく分類は、複数のインクジェット式記録ヘッド２を組み合わせてヘッドユニット１を製造する際に、インクジェット式記録ヘッド２のカートリッジケース２１０等への取り付け向き（ノズル列２１Ａの向き）はその形状により規定されるため、インクジェット式記録ヘッド２自体の形状とインク吐出量の傾向とに基づいて行われる。なお、ヘッドユニット１を製造する際には、インク吐出量の傾向が詳しくは後述する配置となるように、インクジェット式記録ヘッド２を配置する。このため、予めインクジェット式記録ヘッド２をインク吐出量の傾向に基づいて分類しておくことで、ヘッドユニット１の製造工程を簡略化することができる。   Thus, by measuring the ink discharge amount of the ink jet recording head 2, the tendency of the ink discharge amount of the ink jet recording head 2 is acquired, and the ink jet recording head 2 is classified based on the tendency of the ink discharge amount. Incidentally, the classification based on the tendency of the ink discharge amount of the ink jet recording head 2 is performed by attaching the ink jet recording head 2 to the cartridge case 210 or the like when the head unit 1 is manufactured by combining a plurality of ink jet recording heads 2. Since the direction (the direction of the nozzle row 21A) is defined by its shape, the direction is determined based on the shape of the ink jet recording head 2 itself and the tendency of the ink discharge amount. Note that when the head unit 1 is manufactured, the ink jet recording head 2 is arranged so that the tendency of the ink discharge amount is arranged in detail later. For this reason, the manufacturing process of the head unit 1 can be simplified by classifying the ink jet recording head 2 in advance based on the tendency of the ink discharge amount.

ここで、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドユニット２における複数のインクジェット式記録ヘッド２の配置について詳細に説明する。なお、図８は、ヘッドユニットのインクジェット式記録ヘッドの配置を示す平面図である。   Here, the arrangement of the plurality of ink jet recording heads 2 in the ink jet recording head unit 2 of the present embodiment will be described in detail. FIG. 8 is a plan view showing the arrangement of the ink jet recording head of the head unit.

図８に示すように、本実施形態では、１つのヘッドユニット１に４個のインクジェット式記録ヘッド２Ａ〜２Ｄ、２Ｅ〜２Ｈがそれぞれ設けられている。本実施形態では、２つのヘッドユニット１の一方のヘッドユニット１の各インクジェット式記録ヘッド２Ａ〜２Ｄのノズル列２１Ａからは、それぞれ異なる色、すなわち、ブラック（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンダ（Ｍ）及びイエロー（Ｙ）が吐出される。また、２つのヘッドユニット１の他方のヘッドユニットの各インクジェット式記録ヘッド２Ｅ〜２Ｈのノズル列２１Ａからも同様にそれぞれ異なる色が吐出される。すなわち、２つのヘッドユニット１には、各色のインクを吐出するノズル列２１Ａが２列ずつ設けられていることになる。   As shown in FIG. 8, in this embodiment, one head unit 1 is provided with four ink jet recording heads 2A to 2D and 2E to 2H. In the present embodiment, different colors, that is, black (K), cyan (C), magenta (from the nozzle rows 21A of the ink jet recording heads 2A to 2D of one head unit 1 of the two head units 1, respectively. M) and yellow (Y) are discharged. Similarly, different colors are discharged from the nozzle rows 21A of the ink jet recording heads 2E to 2H of the other head unit of the two head units 1, respectively. That is, the two head units 1 are provided with two nozzle rows 21A for ejecting ink of each color.

また、２つのヘッドユニット１は、同一色のインクが吐出される一対のノズル列２１Ａが、当該ノズル列２１Ａの並列方向とは交差する方向で、並設されたノズル開口２１のピッチの半ピッチ分ずれた位置となるように設けられている。すなわち、２つのヘッドユニット１は、各ノズル列２１Ａが、副走査方向でノズル開口２１の半ピッチ分ずれた位置となるように配置されている。このような配置とすることにより、１つのノズル列２１Ａで並設されたノズル開口２１のピッチの倍の解像度で印刷を行うことができる。なお、一対のノズル列２１Ａは、一方のノズル列２１Ａに対して、他方のノズル列２１Ａがノズル開口２１の１．５ピッチずれた位置となるように配置されていてもよい。   Further, the two head units 1 have a half pitch of the pitch of the nozzle openings 21 arranged in parallel in a direction in which a pair of nozzle rows 21A from which ink of the same color is ejected intersects the parallel direction of the nozzle rows 21A. It is provided so as to be a position shifted by a minute. That is, the two head units 1 are arranged such that each nozzle row 21A is shifted by a half pitch of the nozzle openings 21 in the sub-scanning direction. With such an arrangement, printing can be performed with a resolution that is twice the pitch of the nozzle openings 21 arranged in parallel in one nozzle row 21A. The pair of nozzle rows 21 </ b> A may be arranged such that the other nozzle row 21 </ b> A is shifted by 1.5 pitches of the nozzle openings 21 with respect to the one nozzle row 21 </ b> A.

そして、同一色を吐出するインクジェット式記録ヘッド２Ａ〜２Ｄ、２Ｅ〜２Ｈの一対のノズル列２１Ａは、当該ノズル列２１Ａのインク吐出量の傾向が互いに反転するように配置されている。   The pair of nozzle rows 21A of the ink jet recording heads 2A to 2D and 2E to 2H that discharge the same color are arranged so that the tendency of the ink discharge amount of the nozzle rows 21A is reversed.

すなわち、ブラックインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド２Ａ、２Ｅの一対のノズル列２１Ａは、インク吐出量の傾向が互いに反転するように配置されている。同様に、シアンインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド２Ｂ、２Ｆの一対のノズル列２１Ａ、マゼンダインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド２Ｃ、２Ｇの一対のノズル列２１Ａ、イエローインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド２Ｄ、２Ｈの一対のノズル列２１Ａも、インク吐出量の傾向が互いに反転するように配置されている。   That is, the pair of nozzle rows 21A of the ink jet recording heads 2A and 2E that discharge black ink are arranged so that the tendency of the ink discharge amount is reversed. Similarly, a pair of nozzle rows 21A for ink jet recording heads 2B and 2F that discharge cyan ink, a pair of nozzle rows 21A for ink jet recording heads 2C and 2G that discharge magenta ink, and an ink jet recording head that discharges yellow ink. A pair of 2D and 2H nozzle rows 21A is also arranged so that the tendency of the ink ejection amount is reversed.

本実施形態では、一方のヘッドユニット１のインクジェット式記録ヘッド２Ａ〜２Ｄは、ノズル列２１Ａのインク吐出量が図８中下側に向かって漸小するように配置されている。そして、他方のヘッドユニット１のインクジェット式記録ヘッド２Ｅ〜２Ｈは、ノズル列２１Ａのインク吐出量がインクジェット式記録ヘッド２Ａ〜２Ｄとは逆の図８中上側に向かって漸小するように配置されている。   In the present embodiment, the ink jet recording heads 2A to 2D of one head unit 1 are arranged so that the ink discharge amount of the nozzle row 21A gradually decreases toward the lower side in FIG. The ink jet recording heads 2E to 2H of the other head unit 1 are arranged so that the ink discharge amount of the nozzle array 21A gradually decreases toward the upper side in FIG. 8 opposite to the ink jet recording heads 2A to 2D. ing.

このように、同一色のインクを吐出する一対のノズル列２１Ａを、当該ノズル列２１Ａのインク吐出量の傾向が互いに反転するように配置することで、これらのインクを用いて重ねることで、各種の色を印刷させた際に、色濃度をノズル列２１Ａのノズル開口２１が並設された方向で平均化させることができる。   In this way, by arranging the pair of nozzle rows 21A that discharge ink of the same color so that the tendency of the ink discharge amount of the nozzle row 21A is reversed with each other, by using these inks to overlap each other, When the colors are printed, the color density can be averaged in the direction in which the nozzle openings 21 of the nozzle row 21A are arranged in parallel.

すなわち、例えば、図８中上側では、シアンインクを吐出する一方のヘッドユニット１のインクジェット式記録ヘッド２Ｂから吐出されるインク吐出量は比較的多くなり、他方のヘッドユニット１のインクジェット式記録ヘッド２Ｆから吐出されるインク吐出量は比較的少なくなる。また、逆に、図８中下側では、シアンインクを吐出する一方のヘッドユニット２のインクジェット式記録ヘッド２Ｂから吐出されるインク吐出量は比較的少なくなり、他方のヘッドユニット１のインクジェット式記録ヘッド２Ｆから吐出されるインク吐出量は比較的多くなる。したがって、２つのヘッドユニット１を主走査方向に移動させながらインクを吐出させて印刷を行う１パス印刷を行うと、図９（ａ）に示すように、濃度が平均化されて印刷される。   That is, for example, on the upper side in FIG. 8, the amount of ink ejected from the ink jet recording head 2B of one head unit 1 that ejects cyan ink is relatively large, and the ink jet recording head 2F of the other head unit 1 is relatively high. The amount of ink discharged from the ink is relatively small. Conversely, on the lower side in FIG. 8, the amount of ink discharged from the ink jet recording head 2B of one head unit 2 that discharges cyan ink is relatively small, and the ink jet recording of the other head unit 1 is performed. The amount of ink discharged from the head 2F is relatively large. Therefore, when one-pass printing is performed in which printing is performed by ejecting ink while moving the two head units 1 in the main scanning direction, as shown in FIG. 9A, the density is averaged and printed.

また、図９（ａ）に示すように、１パス印刷を行ってから、記録シートＳを副走査方向に１パス分移動し、その後、さらに１パス印刷を行う、いわゆるマイクロフィード印刷やバインド印刷を行った際に、１パス印刷と１パス印刷との間２００に濃度ムラが生じるのを防止することができる。   Also, as shown in FIG. 9A, so-called microfeed printing or bind printing is performed in which one-pass printing is performed, then the recording sheet S is moved by one pass in the sub-scanning direction, and then further one-pass printing is performed. It is possible to prevent density unevenness from occurring between the one pass printing and the one pass printing.

ちなみに、同一色のインクを吐出する一対のノズル列２１Ａで、当該ノズル列２１Ａのインク吐出量の傾向が同一となるように配置した場合、図９（ｂ）に示すように、１パス印刷で、濃度ムラが生じると共に、１パス印刷と１パス印刷との間２０１で濃度の差が大きくなり、ムラが目立つようになってしまう。   Incidentally, when a pair of nozzle rows 21A that discharge ink of the same color are arranged so that the tendency of the ink discharge amount of the nozzle rows 21A is the same, as shown in FIG. In addition, density unevenness occurs, and the density difference between the 1-pass printing and the 1-pass printing increases, and the unevenness becomes conspicuous.

このように、同一色のインクを吐出する一対のノズル列２１Ａをインク吐出量の傾向が互いに反転するように配置することで、マイクロフィード印刷やバインド印刷という高速な印刷方向で印刷したとしても、１パス印刷での濃度ムラが発生するのを防止することができると共に、パス間の濃度ムラが生じるのを防止して、印刷品質を向上することができる。   In this way, even if printing is performed in a high-speed printing direction such as microfeed printing or bind printing by arranging the pair of nozzle rows 21A that discharge ink of the same color so that the tendency of the ink discharge amount is mutually reversed, It is possible to prevent the occurrence of density unevenness in one-pass printing, and to prevent the occurrence of density unevenness between passes, thereby improving the print quality.

（実施形態２）
図１０は、本発明の実施形態２に係るヘッドユニットの平面図であり、図１１は、本発明の実施形態２の印刷時の濃度ムラを示す図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。 (Embodiment 2)
FIG. 10 is a plan view of a head unit according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 11 is a diagram illustrating density unevenness during printing according to the second embodiment of the present invention. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the member similar to Embodiment 1 mentioned above, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

図１０に示すように、２つのヘッドユニット１は、同一色のインクを吐出する一対のノズル列２１Ａが、一方のノズル列２１Ａの一端部と、他方のノズル列の他端部とが副走査方向で同一位置となるように配置されている。すなわち、一方のヘッドユニット１と、一方のヘッドユニット１に対して、ノズル列２１Ａの長さ分だけ副走査方向にずらして設けられた他方のヘッドユニット１とが設けられている。   As shown in FIG. 10, the two head units 1 have a pair of nozzle rows 21A that discharge ink of the same color, and one end of one nozzle row 21A and the other end of the other nozzle row are sub-scanned. It arrange | positions so that it may become the same position in a direction. In other words, one head unit 1 and the other head unit 1 that is shifted from the one head unit 1 in the sub-scanning direction by the length of the nozzle row 21A are provided.

このような２つのヘッドユニット１によれば、１パス印刷で、２つのノズル列２１Ａの長さを同時に印刷できるため、高速印刷を行わせることができる。   According to such two head units 1, since the length of the two nozzle rows 21A can be simultaneously printed by one-pass printing, high-speed printing can be performed.

そして、各ヘッドユニット１の各インクジェット式記録ヘッド２Ａ〜２Ｈは、同一色のインクを吐出する一対のノズル列２１Ａが、インク吐出量の傾向が互いに反転するように設けられている。   Each of the ink jet recording heads 2A to 2H of each head unit 1 is provided with a pair of nozzle rows 21A that discharge ink of the same color so that the tendency of the ink discharge amount is reversed.

本実施形態では、上述した実施形態１と同様に、一方のヘッドユニット１のインクジェット式記録ヘッド２Ａ〜２Ｄを、ノズル列２１Ａのインク吐出量が図１０中下側に向かって漸小するように配置し、他方のヘッドユニット１のインクジェット式記録ヘッド２Ｅ〜２Ｈを、ノズル列２１Ａのインク吐出量がインクジェット式記録ヘッド２Ａ〜２Ｄとは逆の図１０中上側に向かって漸小するように配置した。   In the present embodiment, as in the first embodiment described above, the ink jet recording heads 2A to 2D of one head unit 1 are configured so that the ink discharge amount of the nozzle row 21A gradually decreases toward the lower side in FIG. The ink jet recording heads 2E to 2H of the other head unit 1 are arranged so that the ink discharge amount of the nozzle row 21A gradually decreases toward the upper side in FIG. 10 opposite to the ink jet recording heads 2A to 2D. did.

このようなヘッドユニット１を用いて１パス印刷を行うと、例えば、シアンインクを吐出する一対のノズル列２１Ａを有するインクジェット式記録ヘッド２Ｂ、２Ｅにおいて、一方のインクジェット式記録ヘッド２Ｂでは、図１１（ａ）に示すように、図１１中上側から下側に向かってインク吐出量が徐々に漸小するように印刷され、他方のインクジェット式記録ヘッド２Ｆでは、図１１中下側から上側に向かってインク吐出量が徐々に漸小するように印刷される。したがって、インクジェット式記録ヘッド２Ｂとインクジェット式記録ヘッド２Ｅの１パス印刷では、各インクジェット式記録ヘッド２Ｂ、２Ｅのノズル列２１Ａ間２０３で、濃度ムラが目立たないように印刷することができる。   When one-pass printing is performed using such a head unit 1, for example, in the ink jet recording heads 2B and 2E having a pair of nozzle rows 21A for discharging cyan ink, in one ink jet recording head 2B, FIG. As shown in FIG. 11A, printing is performed so that the ink discharge amount gradually decreases from the upper side to the lower side in FIG. 11, and the other ink jet recording head 2F moves from the lower side to the upper side in FIG. Thus, printing is performed so that the ink discharge amount gradually decreases. Therefore, in the one-pass printing of the ink jet recording head 2B and the ink jet recording head 2E, it is possible to perform printing so that density unevenness is not noticeable between the nozzle arrays 21A of the ink jet recording heads 2B and 2E.

また、このようなヘッドユニット１を用いて、マイクロフィード印刷やバインド印刷を行うと、図１１（ａ）に示すように、１パス印刷と１パス印刷との間２０３は、濃い濃度同士又は薄い濃度同士など同じ濃度で隣り合うため、濃度ムラが目立たないように印刷することができる。   Further, when microfeed printing or bind printing is performed using such a head unit 1, as shown in FIG. 11A, the density 203 between the one-pass printing and the one-pass printing is dark or thin. Since they are adjacent to each other at the same density such as densities, printing can be performed so that density unevenness is not noticeable.

これに対して、同一色のインクを吐出する一対のノズル列２１Ａをインク吐出量の傾向が同一となるように配置した場合、図１１（ｂ）に示すように、１パス印刷で、一対のノズル列２１Ａによる印刷の間２０４で濃度の差が大きくなり濃度ムラが目立つようになると共に、１パス印刷と１パス印刷との間２０５で濃度の差が大きくなり濃度ムラが目立つようになってしまう。   On the other hand, when the pair of nozzle rows 21A that discharge ink of the same color are arranged so that the tendency of the ink discharge amount is the same, as shown in FIG. The density difference becomes large and density unevenness becomes conspicuous in 204 during printing by the nozzle row 21A, and the density difference becomes large and density unevenness becomes noticeable in 205 between the 1-pass printing and 1-pass printing. End up.

このように、同一色のインクを吐出する一対のノズル列２１Ａをインク吐出量の傾向が互いに反転するように配置することで、マイクロフィード印刷やバインド印刷という高速な印刷方向で印刷したとしても、１パス印刷での濃度ムラを目立たないようにすることができると共に、パス間の濃度ムラを目立たないようにして、印刷品質を向上することができる。   In this way, even if printing is performed in a high-speed printing direction such as microfeed printing or bind printing by arranging the pair of nozzle rows 21A that discharge ink of the same color so that the tendency of the ink discharge amount is mutually reversed, It is possible to make the density unevenness in one-pass printing inconspicuous and to improve the print quality by making the density unevenness between passes inconspicuous.

（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１及び２では、１つのヘッドユニット１に４色のインクを吐出する４つのインクジェット式記録ヘッド２Ａ〜２Ｄ、２Ｅ〜２Ｈをそれぞれ設けた例を示したが、特にこれに限定されず、例えば、ヘッドユニットに４色より多いインク、例えば、ブラック（Ｋ）、ライトブラック（ＬＫ）、ライトライトブラック（ＬＬＫ）、シアン（Ｃ）、ライトシアン（ＬＣ）、マゼンダ（Ｍ）、ライトマゼンダ（ＬＣ）、イエロー（Ｙ）の８色のインクを吐出する８つのインクジェット式記録ヘッドを設けるようにしてもよい。なお、ライトブラック（ＬＫ）、ライトシアン（ＬＣ）及びライトマゼンダ（ＬＭ）は、ブラック（Ｋ）、シアン（Ｃ）及びマゼンダ（Ｍ）よりも高明度なものを言い、ライトライトブラック（ＬＬＫ）は、ライトブラック（ＬＫ）よりも高明度なものを言う。また、上述した実施形態１では、各ヘッドユニット１に異なる色のインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド２Ａ〜２Ｄ、２Ｅ〜２Ｈをそれぞれ設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、１つのヘッドユニットに同一色のインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド２を複数設けるようにしてもよい。さらに、上述した実施形態１では、２つのヘッドユニット１を設けた例を示したが、ヘッドユニット１の数も特にこれに限定されるものではなく、３つ以上のヘッドユニットを設けるようにしてもよい。 (Other embodiments)
As mentioned above, although each embodiment of this invention was described, the basic composition of this invention is not limited to what was mentioned above. For example, in the first and second embodiments described above, an example in which four ink jet recording heads 2A to 2D and 2E to 2H for ejecting four colors of ink are provided in one head unit 1 has been described. For example, the head unit has more than four colors of ink, for example, black (K), light black (LK), light light black (LLK), cyan (C), light cyan (LC), magenta (M), Eight ink jet recording heads for ejecting eight colors of light magenta (LC) and yellow (Y) may be provided. Note that light black (LK), light cyan (LC), and light magenta (LM) are higher in brightness than black (K), cyan (C), and magenta (M), and light light black (LLK) is The lightness is higher than that of light black (LK). In the first embodiment described above, the ink jet recording heads 2A to 2D and 2E to 2H for ejecting different color inks are provided on each head unit 1, respectively. A plurality of ink jet recording heads 2 that eject ink of the same color may be provided in one head unit. Furthermore, in the first embodiment described above, the example in which the two head units 1 are provided has been described. However, the number of the head units 1 is not particularly limited thereto, and three or more head units are provided. Also good.

また、上述した実施形態１及び２では、同一色のインクを吐出するノズル列２１Ａ（インクジェット式記録ヘッド２）を一対設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、３つ以上設けるようにしてもよい。例えば、同一色のインクを吐出するノズル列２１Ａを偶数個設けた場合には、対となるノズル列２１Ａでインク吐出量の傾向が互いに反転するように配置すればよい。もちろん、同一色のインクを吐出するノズル列２１Ａを奇数個設けた場合であっても、インク吐出量の傾向が同一傾向となる複数のノズル列２１Ａと、反転した傾向となる複数のノズル列２１Ａとが同数に近くなるように配置すれば、印刷品質を向上することができる。   In the first and second embodiments described above, a pair of nozzle arrays 21A (ink jet recording heads 2) that discharge ink of the same color is provided. However, the present invention is not particularly limited thereto, and for example, three or more nozzle arrays are provided. It may be. For example, in the case where an even number of nozzle rows 21A for ejecting the same color ink is provided, the nozzle rows 21A as a pair may be arranged so that the tendency of the ink ejection amount is mutually reversed. Of course, even when an odd number of nozzle rows 21A for ejecting the same color of ink is provided, the plurality of nozzle rows 21A having the same tendency of the ink ejection amount and the plurality of nozzle rows 21A having the tendency to be reversed are provided. Can be improved so that the print quality can be improved.

さらに、上述した実施形態１及び２では、各ヘッドユニット１において、各インクジェット式記録ヘッド２Ａ〜２Ｄ、２Ｅ〜２Ｈで、インク吐出量の漸小する傾向が、同一傾向となるように配置したが、特にこれに限定されず、各ヘッドユニット１において、各インクジェット式記録ヘッド２Ａ〜２Ｄ、２Ｅ〜２Ｈで、インク吐出量の漸小する傾向が、混在するように配置されていてもよい。いずれにしても同一色のインクを吐出する一対のノズル列２１Ａが、インク吐出量の漸小する傾向が互いに反転するように配置されていればよい。   Furthermore, in the first and second embodiments described above, in each head unit 1, the ink jet recording heads 2 </ b> A to 2 </ b> D and 2 </ b> E to 2 </ b> H are arranged so that the tendency of the ink discharge amount to become the same tendency. However, the present invention is not limited to this, and in each head unit 1, the ink discharge amount may be arranged so as to be mixed gradually in each of the ink jet recording heads 2A to 2D and 2E to 2H. In any case, it is only necessary that the pair of nozzle rows 21A that discharge ink of the same color are arranged such that the tendency of the ink discharge amount to gradually reverse.

また、上述した実施形態１及び２では、インク流路である圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電素子３００を有するアクチュエータ装置を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型のアクチュエータ装置や、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型のアクチュエータ装置などを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエータなどを使用することができる。すなわち、本発明は、ノズル列の一端部側から他端部側に向かってインク吐出量が漸小する傾向を有するインクジェット式記録ヘッドであれば、何れの圧力発生手段を用いたものであってもよい。   Further, in the first and second embodiments described above, the actuator device having the thin film type piezoelectric element 300 has been described as the pressure generating means for generating the pressure change in the pressure generating chamber 12 that is the ink flow path. For example, a thick film type actuator device formed by a method such as attaching a green sheet, or a longitudinal vibration type actuator in which piezoelectric materials and electrode forming materials are alternately stacked to expand and contract in the axial direction A device or the like can be used. Also, as a pressure generating means, a heating element is arranged in the pressure generating chamber, and droplets are discharged from the nozzle opening by bubbles generated by the heat generated by the heating element, or static electricity is generated between the diaphragm and the electrode. Thus, it is possible to use a so-called electrostatic actuator that deforms the diaphragm by electrostatic force and ejects droplets from the nozzle openings. That is, the present invention uses any pressure generating means as long as the ink jet recording head has a tendency that the ink discharge amount gradually decreases from one end side to the other end side of the nozzle row. Also good.

また、上述した実施形態１及び２では、ヘッドユニット２を保持したキャリッジ３が、主走査方向に移動するインクジェット式記録装置Ｉを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、ヘッドユニット１を移動させることなく、複数のヘッドユニット１を主走査方向に亘って配置して、記録シートＳを副走査方向に移動させて印刷する所謂ライン式のインクジェット式記録装置に用いられるヘッドユニットであっても、本発明を適用することができる。   Further, in the first and second embodiments described above, the ink jet recording apparatus I in which the carriage 3 holding the head unit 2 moves in the main scanning direction is illustrated, but the invention is not particularly limited thereto. A head unit used in a so-called line-type ink jet recording apparatus in which a plurality of head units 1 are arranged in the main scanning direction without being moved, and the recording sheet S is moved in the sub scanning direction for printing. Also, the present invention can be applied.

本発明の実施形態１に係る記録装置の一例を示す概略図である。1 is a schematic diagram illustrating an example of a recording apparatus according to a first embodiment of the invention. 本発明の実施形態１に係るヘッドユニットの分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of the head unit according to the first embodiment of the invention. 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの平面図及び断面図である。2A and 2B are a plan view and a cross-sectional view of the recording head according to Embodiment 1 of the invention. 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating the method for manufacturing the recording head according to the first embodiment of the invention. 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating the method for manufacturing the recording head according to the first embodiment of the invention. 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating the method for manufacturing the recording head according to the first embodiment of the invention. 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating the method for manufacturing the recording head according to the first embodiment of the invention. 本発明の実施形態１に係るヘッドユニットの平面図である。It is a top view of the head unit concerning Embodiment 1 of the present invention. 本発明の実施形態１に係る印刷時の濃度ムラを示す図である。It is a figure which shows the density nonuniformity at the time of the printing which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施形態２に係るヘッドユニットの平面図である。It is a top view of the head unit concerning Embodiment 2 of the present invention. 本発明の実施形態２に係る印刷時の濃度ムラを示す図である。It is a figure which shows the density nonuniformity at the time of the printing which concerns on Embodiment 2 of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

Ｉ インクジェット式記録装置、 １ インクジェット式記録ヘッドユニット、 ２、２Ａ〜２Ｈ インクジェット式記録ヘッド、 １０ 流路形成基板、 １２ 圧力発生室 １３ インク供給路、 １４ 連通路、 １５ 連通部、 ２０ ノズルプレート、 ２１ ノズル開口、 ２１Ａ ノズル列、 ３０ 保護基板、 ４０ コンプライアンス基板、 ５０ 弾性膜、 ５５ 絶縁体膜、 ６０ 下電極膜、 ７０ 圧電体層、 ８０ 上電極膜、 ９０ リード電極、 ３００ 圧電素子   I ink jet recording apparatus, 1 ink jet recording head unit, 2, 2A to 2H ink jet recording head, 10 flow path forming substrate, 12 pressure generating chamber, 13 ink supply path, 14 communication path, 15 communication section, 20 nozzle plate, 21 nozzle opening, 21A nozzle row, 30 protective substrate, 40 compliance substrate, 50 elastic film, 55 insulator film, 60 lower electrode film, 70 piezoelectric layer, 80 upper electrode film, 90 lead electrode, 300 piezoelectric element

Claims (6)

インクを吐出するノズル開口が並設されたノズル列が複数設けられたインクジェット式記録ヘッドユニットであって、
同一色のインクが吐出される一対のノズル列を具備し、
同一の駆動信号に基づいて前記ノズル開口から吐出されるインク滴のインク吐出量がノズル列の一端部側から他端部側に向かって漸小する傾向を有するノズル列が、前記ノズル列のインク吐出量の漸小する傾向が互いに反転するように前記一対のノズル列が配置されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドユニット。 An ink jet recording head unit provided with a plurality of nozzle rows in which nozzle openings for discharging ink are arranged in parallel,
Comprising a pair of nozzle rows from which ink of the same color is ejected;
A nozzle row in which the ink discharge amount of ink droplets discharged from the nozzle openings based on the same drive signal tends to gradually decrease from one end side to the other end side of the nozzle row is the ink of the nozzle row An ink jet recording head unit, wherein the pair of nozzle rows are arranged so that the tendency of the discharge amount to gradually reverse each other. 同一色のインクが吐出される一対のノズル列が、当該ノズル列の方向で、一方のノズル列の並設されたノズル開口のピッチの半ピッチ分ずれた位置に他方のノズル列のノズル開口が設けられていることを特徴とする請求項１記載のインクジェット式記録ヘッドユニット。   A pair of nozzle rows from which ink of the same color is ejected is displaced in the direction of the nozzle row by a half pitch of the pitch of the nozzle openings arranged in parallel in one nozzle row. 2. An ink jet recording head unit according to claim 1, wherein the ink jet recording head unit is provided. 同一色のインクが吐出される一対のノズル列が、一方のノズル列の一端のノズル開口と他方のノズル列の他端のノズル開口とが、前記ノズル開口の並設方向で同一位置となるように配置されていることを特徴とする請求項１記載のインクジェット式記録ヘッドユニット。   In a pair of nozzle rows from which ink of the same color is ejected, the nozzle opening at one end of one nozzle row and the nozzle opening at the other end of the other nozzle row are in the same position in the juxtaposition direction of the nozzle openings. The ink jet recording head unit according to claim 1, wherein the ink jet recording head unit is disposed on the head. 前記インクジェット式記録ヘッドが、前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、該流路形成基板の前記圧力発生室に相対向する領域に設けられた下電極、圧電体層及び上電極とからなる圧電素子とを具備することを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載のインクジェット式記録ヘッドユニット。   The ink jet recording head includes a flow path forming substrate provided with a pressure generating chamber communicating with the nozzle opening, a lower electrode provided in a region facing the pressure generating chamber of the flow path forming substrate, and a piezoelectric body. The inkjet recording head unit according to any one of claims 1 to 3, further comprising: a piezoelectric element including a layer and an upper electrode. 請求項１〜４の何れか一項に記載のインクジェット式記録ヘッドユニットを具備することを特徴とするインクジェット式記録装置。   An ink jet recording apparatus comprising the ink jet recording head unit according to claim 1. インクを吐出するノズル開口が並設されたノズル列を具備するインクジェット式記録ヘッドを複数具備し、同一色のインクが吐出される一対のノズル列を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの製造方法であって、
前記インクジェット式記録ヘッドを製造した際に、同一の駆動信号に基づいて前記ノズル開口から吐出されるインク滴のインク吐出量がノズル列の一端部側から他端部側に向かって漸小する傾向を有する前記インクジェット式記録ヘッドが形成された場合に、当該インクジェット式記録ヘッドを、前記一対のノズル列において、前記ノズル列のインク吐出量の漸小する傾向が互いに反転するように配置することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドユニットの製造方法。 A method of manufacturing an ink jet recording head unit comprising a plurality of ink jet recording heads each having a nozzle row in which nozzle openings for ejecting ink are arranged in parallel, and a pair of nozzle rows from which ink of the same color is ejected. And
When the ink jet recording head is manufactured, the ink discharge amount of the ink droplets discharged from the nozzle openings based on the same drive signal tends to gradually decrease from the one end side to the other end side of the nozzle row. When the ink jet recording head having the above is formed, the ink jet recording head is arranged in the pair of nozzle rows so that the tendency of the ink discharge amount of the nozzle rows to gradually reverse each other. A method of manufacturing an ink jet recording head unit.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2011161902A (en) * 2010-02-15 2011-08-25 Olympus Corp Inkjet printer
EP3275659A4 (en) * 2015-03-24 2018-04-04 Konica Minolta, Inc. Ink jet recording apparatus and ink jet recording method

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011161902A (en) * 2010-02-15 2011-08-25 Olympus Corp Inkjet printer
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