JP2007105708A - Deaeration device and total organic carbon measuring apparatus using it - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、液体に含まれている空気を脱気する脱気デバイスと、それを用いた全有機炭素測定装置などの分析装置に関する。 The present invention relates to a deaeration device for deaerating air contained in a liquid, and an analyzer such as a total organic carbon measuring device using the deaeration device.
従来、液体に含まれた空気やその他の気体を除去するのに使用する脱気装置として、内部に透過膜チューブが設けられた脱気チャンバに真空ポンプを接続してなる脱気装置が知られている(例えば特許文献1参照。)。
この装置では、被脱気液体を透過膜チューブに流通させ、チューブ内の壁を通して液体に含まれる気体を脱気チャンバ内へ透過させて除去するようにしている。ガス透過性のチューブは、例えばフッ素樹脂製接合部材とフッ素樹脂製チューブを接合せしめた脱気エレメントを、プラスチック製や金属製あるいはガラス製の真空チャンバ内に固定治具を用いて固定することにより製造される。
一方、ポリジメチルシロキサン(PDMS)は多量の空気を溶解することで知られ、外部動力を必要としないポンプとして研究が進められている(非特許文献1参照。)。
In this apparatus, the liquid to be deaerated is circulated through the permeable membrane tube, and the gas contained in the liquid is permeated into the deaeration chamber through the wall in the tube to be removed. A gas permeable tube is obtained by, for example, fixing a degassing element in which a fluororesin joining member and a fluororesin tube are joined to each other in a plastic, metal, or glass vacuum chamber using a fixing jig. Manufactured.
On the other hand, polydimethylsiloxane (PDMS) is known to dissolve a large amount of air, and is being researched as a pump that does not require external power (see Non-Patent Document 1).
従来の脱気装置では透過膜チューブ内に被脱気液体を連続的に流通する必要があるため、少量の被脱気液体を扱うことは困難であった。また、装置構造が複雑なために装置を小型化するのも困難であった。さらに、脱気のために高価な真空ポンプを必要とするだけでなく、脱気された気体がポンプオイルに溶解するため、定期的なメンテナンスが避けられなかった。
本発明は、真空ポンプを用いずに液体中の気体を脱気する脱気デバイスと、それを用いた全有機炭素測定装置を提供することを目的とする。
In the conventional degassing apparatus, it is necessary to continuously distribute the degassed liquid in the permeable membrane tube, so that it has been difficult to handle a small amount of the degassed liquid. Further, since the device structure is complicated, it is difficult to reduce the size of the device. Furthermore, not only an expensive vacuum pump is required for deaeration, but also the degassed gas dissolves in the pump oil, so regular maintenance is inevitable.
An object of this invention is to provide the deaeration device which deaerates the gas in a liquid, without using a vacuum pump, and the total organic carbon measuring apparatus using the same.
本発明の脱気デバイスは、予め脱気されることによりそれと接触した液体中の気体を溶解させて脱気する気体溶解性樹脂本体を備え、この気体溶解性樹脂本体には液体との接触部分が設けられている。 The degassing device of the present invention includes a gas-soluble resin main body that dissolves and degass a gas in a liquid that has been degassed in advance, and the gas-soluble resin main body has a liquid contact portion. Is provided.
上記樹脂本体は、例えば多量の空気を溶解する性質で知られているPDMSからなる。 The resin body is made of, for example, PDMS that is known to dissolve a large amount of air.
この脱気デバイスの一形態は、上記樹脂本体には接触部分として液体試料流通用の貫通穴があけられ、上記樹脂本体の外表面が気体非透過性カバーで被われているものである。 In one embodiment of the deaeration device, a through hole for circulating a liquid sample is formed as a contact portion in the resin main body, and the outer surface of the resin main body is covered with a gas impermeable cover.
またこの脱気デバイスは、例えば、使用前の状態では樹脂本体が脱気されており、上記貫通穴の両端の開口部は気体非透過性フィルムで封止されているものとすることができる。 In addition, in this deaeration device, for example, the resin main body is deaerated before use, and the openings at both ends of the through hole are sealed with a gas impermeable film.
本発明の全有機炭素測定装置は、試料水中の有機炭素を二酸化炭素に変換する有機物酸化分解部、上記有機物酸化分解部で発生した二酸化炭素を純水へ抽出する二酸化炭素抽出部、及び上記二酸化炭素抽出部で抽出した二酸化炭素量を測定するために上記純水の導電率を測定する検出部を備えている。そして、上記有機物酸化分解部へ試料水を供給する流路に、試料水中の二酸化炭素を除去する無機炭素除去部を設け、この無機炭素除去部として、本発明の脱気デバイスを用いる。 The total organic carbon measuring device of the present invention includes an organic oxidative decomposition unit that converts organic carbon in sample water into carbon dioxide, a carbon dioxide extraction unit that extracts carbon dioxide generated in the organic oxidative decomposition unit into pure water, and the carbon dioxide. In order to measure the amount of carbon dioxide extracted by the carbon extraction unit, a detection unit for measuring the conductivity of the pure water is provided. And the inorganic carbon removal part which removes the carbon dioxide in sample water is provided in the channel which supplies sample water to the above-mentioned organic matter decomposition part, and the deaeration device of the present invention is used as this inorganic carbon removal part.
また、上記二酸化炭素抽出部は、基体と、上記基体内に形成され、それぞれ入口と出口をもつ2つの流路と、上記2つの流路間を結ぶ複数の溝とを備え、上記溝は液体が通過せずにガス成分が移動できるように、その内表面の少なくとも一部の疎水性化と、その断面積の大きさの設定がなされていることが好ましい。 The carbon dioxide extraction unit includes a base, two flow paths formed in the base, each having an inlet and an outlet, and a plurality of grooves connecting the two flow paths, and the grooves are liquid. It is preferable that at least a part of the inner surface is made hydrophobic and the size of its cross-sectional area is set so that the gas component can move without passing through.
従来は気体含有液体から気体を脱気する際には真空ポンプを使用していたが、本発明の脱気デバイスは、製造現場において気体溶解性樹脂を減圧チャンバなどで予め脱気しておき、これに液体試料を接触させるようにしたので、真空ポンプを用いることなしに液体試料中の気体を脱気することができる。 Conventionally, a vacuum pump was used when degassing a gas from a gas-containing liquid, but the degassing device of the present invention previously degassed the gas-soluble resin in a decompression chamber or the like at the manufacturing site, Since the liquid sample is brought into contact with this, the gas in the liquid sample can be degassed without using a vacuum pump.
樹脂本体としてPDMSからなる脱気デバイスを用いるようにすれば、その気体を溶解する性質によって、真空ポンプに代わる脱気デバイスとして用いることができる。
脱気デバイスの樹脂本体に試料流通用の貫通穴があけられ、その外表面が気体非透過性カバーで被われているようにすれば、樹脂本体を脱気して貫通穴に試料を流して試料の脱気処理を行っているときも外表面からの気体の溶解がないので、長時間にわたって使用することができるようになる。
If a degassing device made of PDMS is used as the resin body, it can be used as a degassing device instead of a vacuum pump depending on the property of dissolving the gas.
If the resin body of the degassing device has a through hole for sample distribution and its outer surface is covered with a gas impermeable cover, the resin body is degassed and the sample is allowed to flow through the through hole. Even when the sample is degassed, there is no dissolution of gas from the outer surface, so that the sample can be used for a long time.
また、使用前に樹脂本体を脱気しておき、貫通穴部分の両端を気体非透過性フィルムで封止するようにすれば、減圧チャンバなどがない場所においてもすぐに脱気デバイスとして使用することができる。 In addition, if the resin main body is deaerated before use and both ends of the through hole portion are sealed with a gas impermeable film, it can be used immediately as a deaeration device even in a place where there is no decompression chamber or the like. be able to.
全有機炭素測定装置の無機炭素除去部として本発明の脱気デバイスを用いれば、従来用いていた真空ポンプを用いる必要がなくなるので、測定を簡便に行うことができる。
また、全有機炭素測定装置の二酸化炭素抽出部に、液体が通過せずにガス成分が移動できるように、その内表面の少なくとも一部が疎水性化された溝を備えたものを使用するようにすれば、ガス透過膜を使用したものに比べて二酸化炭素の抽出速度を速めることができる。
If the degassing device of the present invention is used as the inorganic carbon removing unit of the total organic carbon measuring device, it is not necessary to use a conventionally used vacuum pump, so that the measurement can be performed easily.
Also, use a carbon dioxide extraction part of the total organic carbon measurement device that has a groove in which at least a part of its inner surface is made hydrophobic so that the gas component can move without passing through the liquid. If so, the extraction rate of carbon dioxide can be increased as compared with those using a gas permeable membrane.
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
[実施例1]
図1は脱気デバイスの一実施例を示す斜視図である。脱気デバイス1としては、例えばPDMSを基材とした直径10mm、長さ50mmの円柱の中心に内径0.1mmの貫通穴をあけたデバイスを用いる。貫通穴の一端(図では上端)は、試料を注入する際のシリンジなどの器具との接合を容易にするため、テーパ形状に加工されている。
PDMSは空気を溶解することから、予め、脱気デバイス1を1kPa以下の真空チャンバ内で30分以上真空脱気し、測定現場まで搬送するために可搬な真空容器中に保管しておく。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
[Example 1]
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a deaeration device. As the
Since PDMS dissolves air, the
次に脱気デバイス1を用いたTOC測定方法の一例を説明する。
測定現場において試料をシリンジ2に採取した後、脱気デバイス1を真空容器から取り出して、図2に示されるように、一端(上端)をシリンジ2に装着し、さらに他端を全有機炭素測定装置4の試料導入口3に接続する。図2は脱気デバイス1がシリンジ2と試料導入部3との間に接続されたときの斜視図である。
Next, an example of a TOC measurement method using the
After collecting the sample in the
シリンジ2をゆっくりと押し込むことで、試料を脱気デバイス1内に通過させ、全有機炭素測定装置4へ注入して分析を行う。試料が脱気デバイス1内を通過する時、試料内に含まれる無機炭素は、二酸化炭素として脱気デバイス1内へ再溶解することにより除去される。
By slowly pushing the
[実施例2]
脱気デバイスの他の実施例を図3を参照して説明する。この脱気デバイスは図1の脱気デバイスの外面に外気遮断用皮膜を設けたものである。
実施例1の脱気デバイス1は構造が簡単で安価に作製することができるが、真空容器などの保管容器から取り出すと外部から空気の再溶解が始まるため速やかに使用しなければならない。この問題を解決するために、脱気デバイス1の外面を通気性の乏しいPET(ポリエチレンテレフタラート)などのプラスチックやアルミニウム蒸着膜などの金属からなる気体非透過性カバー(外気遮断用皮膜)5で被覆することで、脱気デバイス1への外気の再溶解を防ぐ。
[Example 2]
Another embodiment of the deaeration device will be described with reference to FIG. This deaeration device is obtained by providing an outer air blocking film on the outer surface of the deaeration device of FIG.
The
さらに、脱気デバイス1の中央の貫通穴6を塞ぐように薄いフィルム状の膜7で外気を遮断する構造にし、使用時にシリンジや全有機炭素測定装置の試料導入口でその膜7を破り接続するように設計すれば、搬送用の真空容器を必要としないために、運搬が容易で且つ簡便に使用可能な脱気デバイスとすることができる。
Furthermore, a thin film-
気体非透過性カバー5としてアルミニウム蒸着膜を用いる場合、脱気デバイス1の中央の貫通穴6を塞ぐようにプラスチックなどの薄いフィルム膜7を予め形成する。その後、脱気デバイス1の全体を真空中で脱気した後、脱気デバイス1の外面全体にアルミニウム膜を蒸着することで、貫通穴6以外の表面がアルミニウム蒸着膜で覆われた脱気デバイスを得ることができる。
When an aluminum vapor deposition film is used as the gas
[実施例3]
図4及び図5を参照して本発明のさらに他の実施例を説明する。チップ上に構成された全有機炭素測定装置において、流路の一部をPDMSで作製し予め脱気しておくことで、無機炭素除去を行う。図4は2流路型ガス交換チップの斜視図、図5は図4のガス交換チップを用いた全有機炭素測定装置の要部平面図である。
基板41は例えば石英ガラス基板であり、その上面に1000μm以下、好ましくは数百μm以下の幅と深さを持つ流路60が形成されている。流路60は試料水流路62と測定水流路64を含む。
[Example 3]
Still another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In the total organic carbon measuring device configured on the chip, inorganic carbon is removed by preparing a part of the flow path with PDMS and degassing in advance. FIG. 4 is a perspective view of a two-channel gas exchange chip, and FIG. 5 is a plan view of the main part of the total organic carbon measuring device using the gas exchange chip of FIG.
The
他方の基板42も例えば石英ガラス基板であり、両流路62,64の流路端に対応する位置に、流路62から試料水を排出するための穴45、流路64に測定水を導入するための穴46、及び流路64から測定水を排出するための穴47が形成されている。また両基板41,42の少なくとも一方には、両流路62,64間を結ぶように、図6,7で詳細に後述する疎水性を有する複数の溝66が形成されている。
The
43はPDMS基板であり、試料水流路62の導入口に対応する位置には、試料水を試料水流路62に導入するための穴44が形成されている。基板42及びPDMS基板43は、流路62,64が形成されている面と溝68が形成されている面が内側になるように基板41と対面させた状態で接合され、一体化された基体となっている。
43 is a PDMS substrate, and a
試料導入穴44につながる試料水流路62の一部はPDMS基板43と接触して無機炭素除去部51を構成しており、無機炭素除去部51は、試料水に最初から溶け込んでいる二酸化炭素などの気体成分を除去するものである。無機炭素除去部51の下流には試料水中の有機物を紫外線ランプ54からの紫外線エネルギーにより、さらには酸化剤の添加や触媒(例えば酸化チタン)の作用も加わって、酸化する有機物酸化分解部52が設けられている。有機物酸化分解部52のさらに下流には、導電率を測定するために試料水中の二酸化炭素を測定水側に抽出するための二酸化炭素抽出部53が設けられている。
A part of the sample
図6は上記で説明した二酸化炭素抽出部53の一例を詳細に示す図であり、(A)は流路と溝の配置を示す平面図、(B)は(A)のA−A線位置での断面図である。
基板41の片面に流路62,64が形成されている。他方の基板42にはその片面に流路62,64間を結ぶ位置に疎水性の表面を有する複数の溝66が形成され、流路62,64の端に対応する位置には基板42を貫通して液体の導入や排出に利用する穴45,46,47が形成されている。
FIG. 6 is a diagram showing in detail an example of the carbon
基板41,42は流路62,64が形成されている面と溝66が形成されている面が内側になるように対面させ、流路62,64の端に穴45,46,47が配置され、溝66が流路62,64間を結ぶように位置決めされた状態で接合されて、一体化された基体となっている。
溝66はその長さと幅が数百μm以下、好ましくは幅と高さが10μm以下である。流路62,64に液体を流したとき、溝66には液体が浸入せず、溝66を通じてガスが移動する。
The
The
このような流路62,64及び溝66は、例えばフォトリソグラフィとエッチングを用いた微細加工技術により、穴45,46,47は例えばサンドブラスト法により形成することができる。溝66の内面の疎水性化は、例えばCHF3ガスやCF4ガスなどのフッ素化合物ガスを流しながらRIE(反応性イオンエッチング)処理を施したり、エキシマレーザなどの光照射により分解させることにより、溝の内面をフッ素化することにより行なうことができる。
基板41,42が石英ガラスなどのガラス基板の場合はフッ酸接合法により接合することができる。フッ酸接合法では、例えば1%のフッ酸水溶液を基板41,42の界面に介在させ、必要に応じて1MPa程度に荷重しつつ、室温で24時間程度放置する。
The
When the
図7は二酸化炭素抽出部53の他の例を詳細に示す図であり、(A)は流路と溝の配置を示す平面図、(B)は(A)のA−A線位置での断面図である。
基板70,72はシリコン基板である。シリコン基板70の片面には流路62,64と、流路62,64間を結ぶ疎水性の表面を有する複数の溝66が形成されている。他方のシリコン基板72には流路62,64の端に対応する位置に液体の導入や排出に利用する貫通穴45,46,47が形成されている。
FIG. 7 is a diagram showing another example of the carbon
The
シリコン基板70,72は流路62,64と溝66が形成されている面が内側になるように対面させ、流路62,64の端に穴45,46,47が配置されるように位置決めされた状態で接合されて、一体化された基体となっている。
The silicon substrates 70 and 72 face each other so that the surfaces on which the
流路62,64と溝66の寸法は図6の実施例に示されたものと同様であり、流路62,64、溝66及び穴45,46,47の形成及び溝66内表面の疎水性化処理は図6の実施例と同様に行なうことができる。この例では溝66は断面形状がV字形状をもっている。このような溝は(100)面をもつシリコン基板をアルカリエッチング液でエッチングすることにより形成される。しかし、溝66の形状はこれに限られない。シリコン基板70,72の接合はシリコン基板表面に酸化膜を形成し、その酸化膜を利用してフッ酸接合により行なうことができる。
The dimensions of the
図4,図5の実施例に戻ってその使用方法を説明する。
予め、全有機炭素測定チップを1kPa以下の真空チャンバ内で30分以上真空脱気しておく。測定試料を穴44より供給すると、試料水中に最初から溶け込んでいる二酸化炭素は、無機炭素除去部51においてPDMS43へと溶解除去される。この二酸化炭素の除去を容易に行なうために、試料水中に酸の添加を行ってもよい。
Returning to the embodiment shown in FIGS. 4 and 5, the method of use will be described.
In advance, the whole organic carbon measuring chip is vacuum deaerated for 30 minutes or more in a vacuum chamber of 1 kPa or less. When the measurement sample is supplied from the
次に、試料水は有機物酸化分解部52に送られ、二酸化炭素が除去された試料水中の有機物は、紫外線ランプ54の照射により与えられた紫外線エネルギーにより酸化され、二酸化炭素になる。有機物の酸化分解により生じた二酸化炭素が溶存している試料水は、二酸化炭素抽出部53へと送られ、試料水中に含まれる二酸化炭素が測定水である純水へ移動する。純水は検出・精製部55へ送られ、純水の導電率を測定することで、二酸化炭素の濃度が定量される。純水は検出・精製部55で精製され二酸化炭素を除去された後、測定水流路64を介して循環して使用することができる。
Next, the sample water is sent to the organic matter
本発明は上記の実施例に限定されるものではなく、請求項の記載範囲内において実施することができる。 The present invention is not limited to the above embodiments, but can be carried out within the scope of the claims.
液体に含まれている空気や二酸化炭素などの気体成分を脱気する脱気デバイスや、それを用いた全有機炭素測定装置などの分析装置に利用することができる。 The present invention can be used in a degassing device for degassing gas components such as air and carbon dioxide contained in a liquid, and an analyzer such as a total organic carbon measuring apparatus using the degassing device.
1 脱気デバイス
2 シリンジ
3 試料導入口
4 全有機炭素測定装置
5 気体非透過性カバー
6 貫通穴
7 フィルム状の膜
41,42 基板
43 PDMS
44,45,46,47 穴
51 無機炭素除去部
52 有機物酸化分解部
53 二酸化炭素抽出部
54 紫外線ランプ
55 検出・精製部
DESCRIPTION OF
44, 45, 46, 47
Claims (6)
該気体溶解性樹脂本体には液体との接触部分が設けられている脱気デバイス。 It comprises a gas-soluble resin body that degass by degassing in advance by dissolving the gas in the liquid that has come into contact with it,
A degassing device in which the gas-soluble resin main body is provided with a contact portion with a liquid.
前記有機物酸化分解部へ試料水を供給する流路に、試料水中の二酸化炭素を除去する無機炭素除去部を設け、この無機炭素除去部として、請求項1又は2に記載の脱気デバイスを用いることを特徴とする全有機炭素測定装置。 An organic matter oxidative decomposition part that converts organic carbon in sample water into carbon dioxide, a carbon dioxide extraction part that extracts carbon dioxide generated in the organic matter oxidative decomposition part into pure water, and an amount of carbon dioxide extracted by the carbon dioxide extraction part In the total organic carbon measuring device provided with a detection unit for measuring the conductivity of the pure water to measure,
An inorganic carbon removing unit that removes carbon dioxide in the sample water is provided in a flow path for supplying the sample water to the organic matter oxidative decomposition unit, and the degassing device according to claim 1 or 2 is used as the inorganic carbon removing unit. Total organic carbon measuring device characterized by that.
基体と、
前記基体内に形成され、それぞれ入口と出口をもつ2つの流路と、
前記2つの流路間を結ぶ複数の溝と、を備え、
前記溝は液体が通過せずにガス成分が移動できるように、その内表面の少なくとも一部の疎水性化と、その断面積の大きさの設定がなされている請求項5に記載の全有機炭素測定装置。 The carbon dioxide extraction unit is
A substrate;
Two flow paths formed in the substrate, each having an inlet and an outlet;
A plurality of grooves connecting the two flow paths,
The all-organic structure according to claim 5, wherein at least a part of the inner surface of the groove is made hydrophobic and the size of the cross-sectional area is set so that the gas component can move without liquid passing through the groove. Carbon measuring device.
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