JP2005310381A - Optical information recording and reproducing apparatus - Google Patents

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健一 西内
Kenichi Osada
憲一 長田
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信夫 赤平
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical information recording and reproducing apparatus utilizing an optical information recording medium in which manufacturing is easy, deformation caused by environmental variation is less, and has multi-layer structure. <P>SOLUTION: This optical information recording and reproducing apparatus is an apparatus for reproducing information signal from an optical disk 111 provided with at least two information layer. The optical information recording and reproducing apparatus is provided with an objective lens 122 converging a light beam on the optical disk 111 emitted from a light source, a focus control part 126 performing control in which a focal position of the light beam is made coincident with either of the information layers, and a layer selecting system 117 selecting the information layers performing reproduction of the information signal, a focus control part 126 is provided with at least two operation conditions, and selects any of the operation conditions according to a selected result of the layer selection system 117. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、光ビームを用いて情報信号の再生又は記録再生が可能な光学的情報記録媒体を利用した光学的情報記録再生装置に関し、特に複数の情報層を備えた多層構造の光学的情報記録媒体を利用した光学的情報記録再生装置に関する。   The present invention relates to an optical information recording / reproducing apparatus using an optical information recording medium capable of reproducing or recording / reproducing an information signal by using a light beam, and more particularly, to optical information recording having a multilayer structure including a plurality of information layers. The present invention relates to an optical information recording / reproducing apparatus using a medium.

従来、光学的に情報信号を記録し、又は記録した情報信号を再生することが可能な光学的情報記録媒体としては、光ディスク、光カード等が知られている。これらの記録媒体においては、光源として一般に半導体レーザが用いられている。そして、レンズを介して微小に集光した光を記録媒体に照射することにより、大量の情報信号が記録媒体に記録され、又は記録媒体に記録された情報信号が再生される。   Conventionally, optical discs, optical cards, and the like are known as optical information recording media capable of optically recording information signals or reproducing recorded information signals. In these recording media, a semiconductor laser is generally used as a light source. Then, by irradiating the recording medium with light that is finely condensed through the lens, a large amount of information signal is recorded on the recording medium, or the information signal recorded on the recording medium is reproduced.

現在、これらの記録媒体の記録容量をさらに高める検討が行われている。記録密度を高めるには、光ビームを小さく絞り込むことによって再生の解像度を高めるのが効果的である。そのため、光ビームの波長を短くするか、又は光を集光するレンズの開口数(NA)を上げる検討が行われている。さらに、フォーカシング又はトラッキングの精度を高め、かつ、信号間のクロストークを抑制する再生方法の検討等により、記録の面密度を高める検討が行われている。   Currently, studies are underway to further increase the recording capacity of these recording media. In order to increase the recording density, it is effective to increase the reproduction resolution by narrowing the light beam. Therefore, studies have been made to shorten the wavelength of the light beam or increase the numerical aperture (NA) of the lens that collects the light. Furthermore, studies have been made to increase the surface density of recording by improving the accuracy of focusing or tracking and studying a reproducing method for suppressing crosstalk between signals.

上記のような方式を採用することにより、単位面積当たりの記録容量はそれなりに向上するが、情報を記録する情報層が単一層の場合には、記録密度に限界があると言える。   By adopting the above-described method, the recording capacity per unit area is improved accordingly. However, when the information layer for recording information is a single layer, it can be said that the recording density is limited.

これに対し、情報を記録する情報層を複数層設ければ、記録容量を倍増させることができると考えられる。多層構造の光ディスクを製造する方法としては、以下のようなものが提案されている(例えば、特許文献1参照)。   On the other hand, it is considered that the recording capacity can be doubled by providing a plurality of information layers for recording information. As a method for manufacturing a multilayer optical disk, the following has been proposed (for example, see Patent Document 1).

以下、この光ディスクの製造工程について説明する。まず、図21(a)に示すように、射出成形法等によって製作された情報ピットを備えた基板211の表面に、第1の情報層212を成膜する。次いで、図21(b)に示すように、情報ピットを備えた原盤213上に光硬化性樹脂214を塗布する。次いで、図21(c)に示すように、基板211の第1の情報層212と原盤213の情報ピット面とを対向させ、基板211を加圧した状態で、原盤213側から光硬化性樹脂214に光を照射する。これにより、光硬化性樹脂214が硬化し、この光硬化性樹脂214が第1の情報層212に接着する。次いで、図21(d)に示すように、原盤213を光硬化性樹脂214から剥離する。これにより、表面に情報ピットを備えた光硬化性樹脂214からなる樹脂層が形成される。次いで、図21(e)に示すように、樹脂層(光硬化性樹脂214)の上に第2の情報層215を成膜する。最後に、図21(f)に示すように、第2の情報層215の上に保護コート層206を成膜する。以上の工程により、2層構造の光ディスクが得られる。
米国特許第5,126,996号公報
Hereinafter, the manufacturing process of the optical disc will be described. First, as shown in FIG. 21A, a first information layer 212 is formed on the surface of a substrate 211 having information pits manufactured by an injection molding method or the like. Next, as shown in FIG. 21B, a photocurable resin 214 is applied on the master 213 provided with information pits. Next, as shown in FIG. 21 (c), the first information layer 212 of the substrate 211 and the information pit surface of the master 213 are opposed to each other, and the substrate 211 is pressurized. 214 is irradiated with light. As a result, the photocurable resin 214 is cured, and the photocurable resin 214 is bonded to the first information layer 212. Next, as shown in FIG. 21D, the master 213 is peeled from the photocurable resin 214. Thereby, the resin layer which consists of photocurable resin 214 which provided the information pit on the surface is formed. Next, as shown in FIG. 21E, a second information layer 215 is formed on the resin layer (photocurable resin 214). Finally, as shown in FIG. 21F, a protective coat layer 206 is formed on the second information layer 215. Through the above steps, an optical disc having a two-layer structure is obtained.
US Pat. No. 5,126,996

しかし、上記従来の製造方法では、原盤213を光硬化性樹脂214から剥離する際に(図21(d))、第1の情報層212と基板211又は樹脂層(光硬化性樹脂214)との界面で剥離が生じ易く、製造時の歩留まりが悪いという問題点があった。これは、原盤213と樹脂層(光硬化性樹脂214)との間の接着力が、第1の情報層212と基板211との間の接着力又は第1の情報層212と樹脂層(光硬化性樹脂214)との間の接着力よりも高くなるためと考えられる。   However, in the above conventional manufacturing method, when the master 213 is peeled off from the photocurable resin 214 (FIG. 21D), the first information layer 212 and the substrate 211 or the resin layer (photocurable resin 214) There is a problem that peeling is likely to occur at the interface, and the yield during production is poor. This is because the adhesive force between the master 213 and the resin layer (photo-curable resin 214) is the adhesive force between the first information layer 212 and the substrate 211 or the first information layer 212 and the resin layer (light This is considered to be because the adhesive strength with the curable resin 214) becomes higher.

また、基板211を樹脂で形成する場合には、環境温度が変化したり、あるいは湿度が変化したりした場合等に、完成した光ディスクが変形し、信号再生にエラーが発生するという問題点があった。   In addition, when the substrate 211 is formed of resin, there is a problem that when the environmental temperature changes or the humidity changes, the completed optical disk is deformed and an error occurs in signal reproduction. It was.

さらに、複数の情報層からの情報信号を再生する装置においては、対象とする情報層以外の情報層からの反射光などの影響により、サーボ動作が不安定になるという問題点があった。   Furthermore, in an apparatus for reproducing information signals from a plurality of information layers, there is a problem that servo operation becomes unstable due to the influence of reflected light from information layers other than the target information layer.

本発明は、従来技術における前記課題を解決するためになされたものであり、製造が容易で、環境変化による変形の少ない多層構造の光学的情報記録媒体を利用した光学的記録記録再生装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems in the prior art, and provides an optical recording / reproducing apparatus using an optical information recording medium having a multilayer structure that is easy to manufacture and less deformed by environmental changes. The purpose is to do.

前記目的を達成するため、本発明に係る光学的情報記録再生装置の第1の構成は、少なくとも2つの情報層を備えた光学的情報記録媒体からの情報信号を再生する光学的情報記録再生装置であって、光源から出射した光ビームを前記記録媒体上に集光する光学手段と、前記光ビームの焦点位置を前記情報層のいずれかに一致させる制御を行うフォーカス制御手段と、前記情報信号の再生を行う情報層を選択する層選択手段とを備え、前記フォーカス制御手段が少なくとも2つの動作条件を備え、前記層選択手段の選択結果に従って前記動作条件のいずれかを選択することを特徴とする。この光学的情報記録再生装置の第1の構成によれば、多層構造の記録媒体の記録再生を良好に行うことが可能となる。   In order to achieve the above object, a first configuration of an optical information recording / reproducing apparatus according to the present invention is an optical information recording / reproducing apparatus for reproducing an information signal from an optical information recording medium having at least two information layers. An optical means for condensing the light beam emitted from the light source on the recording medium, a focus control means for performing control for making the focal position of the light beam coincide with one of the information layers, and the information signal. And a layer selection unit that selects an information layer for performing reproduction, wherein the focus control unit includes at least two operation conditions, and selects any one of the operation conditions according to a selection result of the layer selection unit. To do. According to the first configuration of the optical information recording / reproducing apparatus, it is possible to satisfactorily perform recording / reproducing of a recording medium having a multilayer structure.

前記本発明の光学的情報記録再生装置の構成においては、前記フォーカス制御手段の動作条件が複数のオフセットレベルを設定可能であるのが好ましい。   In the configuration of the optical information recording / reproducing apparatus of the present invention, it is preferable that the operating condition of the focus control means can set a plurality of offset levels.

また、前記本発明の光学的情報記録再生装置の構成においては、前記フォーカス制御手段の動作条件が複数のフォーカシングのゲインを設定可能であるのが好ましい。   In the configuration of the optical information recording / reproducing apparatus of the present invention, it is preferable that the operating condition of the focus control means can set a plurality of focusing gains.

また、本発明に係る光学的情報記録再生装置の第2の構成は、片側から再生可能な少なくとも2つの情報層を備えた光学的情報記録媒体からの情報信号を再生する光学的情報記録再生装置であって、光源から出射した光ビームを対物レンズを用いて前記記録媒体上に集光する光学手段と、前記光ビームの焦点位置を前記情報層のいずれかに一致させる制御を行うフォーカス制御手段と、前記情報層の反射光あるいは透過光に基づいて前記情報層の識別信号を復調する層識別手段と、前記層識別手段の識別結果に応じて前記光ビームの焦点位置を前記情報層間で移動させるためのパルス電圧を前記フォーカス制御手段に重畳するフォーカスジャンプ手段とを備えたことを特徴とする。この光学的情報記録再生装置の第2の構成によれば、対象とする情報層に光ビームを集光することが可能となる。   The second configuration of the optical information recording / reproducing apparatus according to the present invention is an optical information recording / reproducing apparatus for reproducing an information signal from an optical information recording medium having at least two information layers that can be reproduced from one side. An optical means for condensing a light beam emitted from a light source on the recording medium using an objective lens, and a focus control means for performing control for making the focal position of the light beam coincide with one of the information layers And a layer identification means for demodulating the identification signal of the information layer based on the reflected light or transmitted light of the information layer, and the focal position of the light beam is moved between the information layers according to the identification result of the layer identification means And a focus jump unit that superimposes a pulse voltage for causing the pulse voltage on the focus control unit. According to the second configuration of the optical information recording / reproducing apparatus, it is possible to focus the light beam on the target information layer.

以下、本発明の光学的情報記録媒体及び光学的情報記録再生装置について、図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, an optical information recording medium and an optical information recording / reproducing apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は本発明に係る光学的情報記録媒体の一例を示す断面図である。図1に示すように、厚さd1の第1の基板1の片側の表面には、トラッキング用のガイド溝、サンプルピット又は情報信号に対応した情報ピットが形成されている。さらに、第1の基板1の片側の表面には、この第1の基板1に入射した光ビーム7の一部を反射し、かつ一部を透過する厚さd2の薄膜からなる第1の情報層2が成膜されている。厚さd3の第2の基板3の表面には、ガイド溝又は情報信号に対応した情報ピットが形成されている。さらに、第2の基板3の表面には、第1の情報層2の反射率よりも高い反射率を有する厚さd4の薄膜からなる第2の情報層4が成膜されている。第1の情報層2と第2の情報層4との間には、これら第1の情報層2と第2の情報層4を一定の距離d5だけ離して配置するための透明な分離層5が介在されている。以上により、2層構造の光学的情報記録媒体が構成されている。   FIG. 1 is a sectional view showing an example of an optical information recording medium according to the present invention. As shown in FIG. 1, a guide groove for tracking, a sample pit, or an information pit corresponding to an information signal is formed on one surface of the first substrate 1 having a thickness d1. Furthermore, on one surface of the first substrate 1, the first information is formed of a thin film having a thickness d2 that reflects a part of the light beam 7 incident on the first substrate 1 and transmits a part thereof. Layer 2 is deposited. On the surface of the second substrate 3 having a thickness of d3, guide grooves or information pits corresponding to information signals are formed. Further, a second information layer 4 made of a thin film having a thickness d4 having a higher reflectance than that of the first information layer 2 is formed on the surface of the second substrate 3. A transparent separation layer 5 for arranging the first information layer 2 and the second information layer 4 apart from each other by a certain distance d5 between the first information layer 2 and the second information layer 4. Is intervened. Thus, an optical information recording medium having a two-layer structure is configured.

第1の基板1と第2の基板3は、分離層5を中心として、できるだけ上下対称な構造であるのが好ましい。すなわち、材料及び厚さ(d1及びd3)を実質的に等しくし、両基板間では、単に表面の情報ピットのパターンと第1及び第2の情報層2、4の構成だけが異なるようにするのが好ましい。   The first substrate 1 and the second substrate 3 preferably have a vertically symmetrical structure with the separation layer 5 as the center. That is, the material and thickness (d1 and d3) are made substantially equal, and only the pattern of the information pits on the surface and the configuration of the first and second information layers 2 and 4 are different between the two substrates. Is preferred.

光学的情報記録媒体を上記のように構成すれば、分離層5を中心とした上下対称な構造となるため、製造時に温度変化などによって基板に応力などが発生しても、歪は相殺される。また、環境温度や湿度の変化によって両基板に新たな変形要素が加わった場合にも、変形や反りは抑制される。その結果、環境変化に強い構造が得られる。従って、第1及び第2の基板1、3を樹脂で形成した場合であっても、完成した記録媒体が変形して、信号再生にエラーが発生することはない。   If the optical information recording medium is configured as described above, it becomes a vertically symmetric structure with the separation layer 5 as the center. Therefore, even if stress or the like is generated in the substrate due to a temperature change or the like during manufacturing, the distortion is offset. . Further, even when a new deformation element is added to both substrates due to changes in environmental temperature or humidity, deformation and warpage are suppressed. As a result, a structure that is resistant to environmental changes is obtained. Therefore, even when the first and second substrates 1 and 3 are formed of resin, the completed recording medium is not deformed and an error does not occur in signal reproduction.

本実施例の光学的情報記録媒体においては、第1の基板1側から2つの情報層(第1及び第2の情報層2、4)のそれぞれに光ビーム7を照射し、その反射光量の変化を検出することにより、2つの情報層2、4上に記録された情報信号が再生される。この情報信号の再生を可能とするためには、照射する光ビーム7が、再生する情報層2、4のそれぞれに効率良く集光されることが必要である。   In the optical information recording medium of the present embodiment, each of the two information layers (first and second information layers 2 and 4) is irradiated with the light beam 7 from the first substrate 1 side, and the amount of the reflected light is measured. By detecting the change, the information signals recorded on the two information layers 2 and 4 are reproduced. In order to enable the reproduction of this information signal, it is necessary that the irradiated light beam 7 is efficiently condensed on each of the information layers 2 and 4 to be reproduced.

このため、第1の情報層2は、この情報層に形成された情報信号が反射光の変化として再生できるように、所定の反射率を有すること、さらには、光ビーム7が照射された際に、第2の情報層4に所定の強度の光ビーム7が到達するように、所定の透過率を有することが必要とされる。一方、第2の情報層4については、透過率を考慮する必要はないが、情報信号である反射光量の変化が大きくなるように、第2の情報層4はできるだけ高い反射率を有することが必要である。すなわち、第2の情報層4の情報信号を再生する時に、光ビーム7は、第1の情報層2を2回透過する必要がある。そこで、本実施例においては、第2の情報層4の反射率が第1の情報層2の反射率よりも高く設定されている。   For this reason, the first information layer 2 has a predetermined reflectance so that the information signal formed in the information layer can be reproduced as a change in reflected light, and further, when the light beam 7 is irradiated. In addition, it is necessary to have a predetermined transmittance so that the light beam 7 having a predetermined intensity reaches the second information layer 4. On the other hand, for the second information layer 4, it is not necessary to consider the transmittance, but the second information layer 4 may have as high a reflectance as possible so that the change in the amount of reflected light that is an information signal becomes large. is necessary. That is, when reproducing the information signal of the second information layer 4, the light beam 7 needs to pass through the first information layer 2 twice. Therefore, in this embodiment, the reflectance of the second information layer 4 is set higher than the reflectance of the first information layer 2.

第1及び第2の基板1、3の材料としては、照射する光ビーム7の波長領域に対して光吸収が少なく、強度の高い材料が好ましい。このため、第1及び第2の基板1、3の材料としては、ポリカーボネート樹脂、ポリメチルメタクリレート(PMMA)樹脂等の樹脂材料、又はガラス材料等が用いられる。   The material of the first and second substrates 1 and 3 is preferably a material that has low light absorption and high strength in the wavelength region of the light beam 7 to be irradiated. For this reason, resin materials such as polycarbonate resin and polymethyl methacrylate (PMMA) resin, or glass materials are used as the materials for the first and second substrates 1 and 3.

第1及び第2の基板1、3の材料として樹脂材料を用いる場合、第1及び第2の基板1、3を形成する方法としては、溶融状態の樹脂材料を用いて射出成形により形成する方法が最も一般的である。また、第1及び第2の基板1、3の材料としてガラス材料を用いる場合には、平板ガラスの表面にエッチング等の方法によって凹凸情報を形成するか、又は紫外線硬化性の樹脂を平板ガラスの表面に塗布し、その上から凹凸の表面を持つ金型を押し付けて、凹凸情報を形成する方法(光重合法)等がある。しかし、第1及び第2の基板1、3の形成方法は、必ずしもこれらの方法に限定されるものではなく、基板に所定の光学特性を付与することができる形成方法であればよい。尚、これらの方法は、コンパクトディスク等の通常の光ディスクの製造プロセスとして公知の技術であるため、その説明は省略する。   When a resin material is used as the material of the first and second substrates 1 and 3, the first and second substrates 1 and 3 are formed by injection molding using a molten resin material. Is the most common. In addition, when a glass material is used as the material of the first and second substrates 1 and 3, uneven information is formed on the surface of the flat glass by a method such as etching, or an ultraviolet curable resin is used for the flat glass. There is a method (photopolymerization method) or the like of applying unevenness information by applying to a surface and pressing a mold having an uneven surface from above. However, the method for forming the first and second substrates 1 and 3 is not necessarily limited to these methods, and any method can be used as long as it can impart predetermined optical characteristics to the substrate. These methods are well-known techniques as a manufacturing process of a normal optical disk such as a compact disk, and thus description thereof is omitted.

第1及び第2の基板1、3の表面に形成される凹凸部のパターンは、情報層の機能が再生専用型か、あるいは記録再生型かによって異なる。情報層が再生専用型の場合、凹凸部は基板の表面に情報信号に従って変調されたパターンによって構成された情報ピット列からなる。情報層が記録再生型の場合、凹凸部は光ビームのトラッキング制御を行うための連続的な凹凸からなるガイド溝、あるいはサンプルサーボ方式と呼ばれるトラッキング方式に対応したウォブルピットからなる。   The pattern of the uneven portions formed on the surfaces of the first and second substrates 1 and 3 differs depending on whether the function of the information layer is a reproduction-only type or a recording / reproduction type. When the information layer is of a read-only type, the concavo-convex portion is composed of an information pit sequence formed by a pattern modulated according to an information signal on the surface of the substrate. When the information layer is of a recording / reproducing type, the concavo-convex portion is composed of a guide groove formed of continuous concavo-convex for performing light beam tracking control, or a wobble pit corresponding to a tracking method called a sample servo method.

第1の基板1と第2の基板3は、外形の大きさが実質的に等しく、さらに同一の材料を用いて同様のプロセスによって形成されたものであるのが好ましい。特に、基板材料として樹脂材料を用い、射出成形法によって基板を形成すると、成形時の条件により、基板単体で長時間放置した場合に基板に反りなどの変形が生じ易くなる。また、周囲の環境温度や湿度の変化によっても、基板に大きな変形が生じる。また、光重合法によって基板を形成した場合にも、射出成形の場合ほど顕著ではないが、同様の変形が生じる。本実施例においては、このような樹脂基板の特性を考慮し、第1及び第2の基板1、3として同等の履歴で形成されたものを用い、両基板を分離層5によって接着している。このように、分離層5を中心として上下対称な構造とすれば、基板の応力や歪が抑制され、環境変化に強い光学的情報記録媒体が得られる。   It is preferable that the first substrate 1 and the second substrate 3 have substantially the same outer shape and are formed by the same process using the same material. In particular, when a resin material is used as the substrate material and the substrate is formed by an injection molding method, the substrate is likely to be warped or the like when left alone for a long time due to molding conditions. In addition, the substrate is greatly deformed by changes in ambient environmental temperature and humidity. Further, when the substrate is formed by the photopolymerization method, the same deformation occurs although not as remarkable as in the case of injection molding. In the present embodiment, in consideration of such characteristics of the resin substrate, the first and second substrates 1 and 3 formed with the same history are used, and both the substrates are bonded by the separation layer 5. . As described above, if the structure is symmetrical with respect to the separation layer 5, the stress and strain of the substrate can be suppressed, and an optical information recording medium resistant to environmental changes can be obtained.

機械的強度が実質的に等しいとみなせる2つの基板の厚さは、記録媒体が存在する環境の温度、あるいは基板の材質によって異なる。この2つの基板の厚み差の許容量を求めるために、次のような構成の光学的情報記録媒体を作製した。すなわち、第1の基板1として厚さ0.6mmのポリカーボネート樹脂を用い、その表面に第1の情報層2として厚さ10nmのAuを成膜した。また、ポリカーボネート樹脂からなる第2の基板3の厚さを0.3mmから1.2mmまで変化させ、かつ、その表面に第2の情報層4として厚さ100nmのAuを成膜した。また、分離層5として厚さ平均40μmのアクリル系の紫外線硬化性の樹脂層を用い、この分離層5によって第1の情報層2と第2の情報層4を接着した。この光学的情報記録媒体の変形量を測定したところ、以下の結果が得られた。すなわち、第2の基板3の厚みが0.6mm±30%以下であれば、温度30℃、相対湿度(RH)80%の室温環境下に1000時間放置しても、記録媒体の反り量は0.4mm以下となり、安定なサーボ動作が可能であった。さらに過酷な温度80℃、相対温度80%の環境下に1000時間放置した場合でも、第2の基板3の厚みが0.6mm±20%以下であれば、記録媒体の反りを抑制することができた。   The thicknesses of the two substrates that can be regarded as having substantially the same mechanical strength vary depending on the temperature of the environment in which the recording medium exists or the material of the substrate. In order to obtain the allowable difference in thickness between the two substrates, an optical information recording medium having the following configuration was produced. That is, a polycarbonate resin having a thickness of 0.6 mm was used as the first substrate 1, and Au having a thickness of 10 nm was formed as a first information layer 2 on the surface thereof. In addition, the thickness of the second substrate 3 made of polycarbonate resin was changed from 0.3 mm to 1.2 mm, and Au having a thickness of 100 nm was formed as the second information layer 4 on the surface. In addition, an acrylic ultraviolet curable resin layer having an average thickness of 40 μm was used as the separation layer 5, and the first information layer 2 and the second information layer 4 were bonded by the separation layer 5. When the deformation amount of this optical information recording medium was measured, the following results were obtained. That is, if the thickness of the second substrate 3 is 0.6 mm ± 30% or less, the amount of warping of the recording medium will be even if the second substrate 3 is left in a room temperature environment at a temperature of 30 ° C. and a relative humidity (RH) of 80% for 1000 hours. It became 0.4 mm or less, and stable servo operation was possible. Even when the substrate is left for 1000 hours in an environment of a harsh temperature of 80 ° C. and a relative temperature of 80%, if the thickness of the second substrate 3 is 0.6 mm ± 20% or less, warping of the recording medium can be suppressed. did it.

情報層は、再生専用型と記録再生型の2種類に大別される。また、本実施例の記録媒体には情報層が2つ存在する。従って、記録媒体の構成としては、第1の情報層−第2の情報層の順で記載すると、(A)再生専用−再生専用型、(B)再生専用−記録再生型、(C)再生再生−再生専用型、(D)記録再生−記録再生型の4種類が存在する。   The information layer is roughly divided into two types, a reproduction-only type and a recording / reproduction type. Further, the recording medium of the present embodiment has two information layers. Therefore, the configuration of the recording medium is described in the order of the first information layer-second information layer: (A) read-only-read-only type, (B) read-only-record-playback type, (C) playback There are four types: reproduction-reproduction-only type and (D) recording / reproduction-recording / reproduction type.

再生専用型の情報層は、上記のように情報ピットが形成された基板表面上に成膜され、光ビームに対して所定の反射率を有する薄膜からなる。この場合、材料としてAu、Al、Cu又はそれらの合金等からなる金属材料、あるいはSiO2 、SiO、TiO2 、MgO、GeO2 等の酸化物、Si34 、BN等の窒化物、ZnS、PbS等の硫化物の誘電体材料及びそれらを混合したもの、あるいは前記酸化物、窒化物、硫化物を多層化したものを用いれば、特定波長の光ビームに対して所定の反射率を有する情報層が得られる。 The read-only information layer is formed on the substrate surface on which the information pits are formed as described above, and is formed of a thin film having a predetermined reflectance with respect to the light beam. In this case, the material is a metal material made of Au, Al, Cu or an alloy thereof, an oxide such as SiO 2 , SiO, TiO 2 , MgO, or GeO 2 , a nitride such as Si 3 N 4 or BN, ZnS If a dielectric material of sulfide such as PbS and a mixture thereof, or a multilayer of the oxide, nitride, or sulfide is used, it has a predetermined reflectance with respect to a light beam of a specific wavelength. An information layer is obtained.

第1の情報層2が再生専用型である場合、第1の情報層2は、第1の基板1側から入射した光ビーム7を反射し、さらに第2の情報層4に所定の強度の光ビーム7が到達するように所定の透過率を有することが必要である。第1の情報層2と第2の情報層4に同じ材料を用いる場合には、第1の情報層2の膜厚を第2の情報層4の膜厚よりも薄くすること等によって対処することができる。情報層の材料として上記した金属材料を用いる場合には、厚さ5〜40nmの薄膜状に形成したものを用いる。特に、第1の情報層2の反射率と透過率の双方を高く保つためには、情報層自身による光吸収ができるだけ小さいことが望ましい。この場合、第1の情報層2の材料としては高屈折率・低吸収係数を達成できる誘電体材料又は有機材料を用いることができる。さらに、誘電体材料と有機材料を積層すれば、光吸収の小さい情報層が得られる。   When the first information layer 2 is a read-only type, the first information layer 2 reflects the light beam 7 incident from the first substrate 1 side, and further has a predetermined intensity on the second information layer 4. It is necessary to have a predetermined transmittance so that the light beam 7 can reach. When the same material is used for the first information layer 2 and the second information layer 4, it is dealt with by making the film thickness of the first information layer 2 thinner than the film thickness of the second information layer 4. be able to. When the above-described metal material is used as the information layer material, a thin film having a thickness of 5 to 40 nm is used. In particular, in order to keep both the reflectance and transmittance of the first information layer 2 high, it is desirable that light absorption by the information layer itself be as small as possible. In this case, the material of the first information layer 2 can be a dielectric material or an organic material that can achieve a high refractive index and a low absorption coefficient. Furthermore, if a dielectric material and an organic material are laminated, an information layer with low light absorption can be obtained.

第2の情報層4が再生専用型である場合には、透過率を考慮する必要がなく、できるだけ反射率を高くするのが好ましい。第2の情報層4の材料として金属材料を用いる場合には、厚さ40〜200nmの薄膜状に形成したものを用いる。   When the second information layer 4 is a read-only type, it is not necessary to consider the transmittance, and it is preferable to make the reflectance as high as possible. When a metal material is used as the material of the second information layer 4, a thin film having a thickness of 40 to 200 nm is used.

また、記録再生型の情報層は、ガイド溝又はサンプルピットが形成された基板表面上に成膜され、照射された光ビームを吸収することによって光学的な性質が変化し、かつ変化した状態が光ビームによって識別可能な薄膜からなる。この場合の情報層に用いられる記録層としては、光照射によって薄膜の状態が変化して反射率が変化する相変化材料、薄膜の磁化方向が変化しカー効果として検出可能な光磁気材料、分光反射率が変化する色素などの有機材料、フォトクロミック材料などがある。また、薄膜自身の形状が変化するものを記録層として用いることもできる。   In addition, the recording / reproducing information layer is formed on the surface of the substrate on which guide grooves or sample pits are formed, and the optical properties are changed by absorbing the irradiated light beam. It consists of a thin film that can be identified by a light beam. The recording layer used for the information layer in this case includes a phase change material in which the state of the thin film changes due to light irradiation and the reflectivity changes, a magneto-optical material in which the magnetization direction of the thin film changes and can be detected as the Kerr effect, spectroscopy Examples include organic materials such as pigments that change reflectance, and photochromic materials. Further, a thin film whose shape changes can be used as the recording layer.

アモルファス・結晶間で相変化する相変化材料としては、SbTe系、InTe系、GeTeSn系、GeSbTe系、SbSe系、TeSeSb系、SnTeSe系、InSe系、TeGeSnO系、TeGeSnAu系、TeGeSnSb系等のカルコゲン化合物、Te−TeO2 系、Te−TeO2 −Au系、Te−TeO2 −Pd系等の酸化物系材料を用いることができる。 Examples of phase change materials that change between amorphous and crystalline include chalcogen compounds such as SbTe, InTe, GeTeSn, GeSbTe, SbSe, TeSeSb, SnTeSe, InSe, TeGeSnO, TeGeSnAu, and TeGeSnSb. it can be used Te-TeO 2 type, Te-TeO 2 -Au system, an oxide-based material 2 -Pd system such as Te-TeO.

また、結晶・結晶間で相変化する相変化材料としては、AgZn系、InSb系等の金属化合物を用いることができる。   In addition, as a phase change material that undergoes a phase change between crystals, a metal compound such as an AgZn-based or InSb-based material can be used.

光磁気材料としては、MnBi系、TbFe系、TbFeCo系の材料を用いることができる。   As the magneto-optical material, MnBi-based, TbFe-based, and TbFeCo-based materials can be used.

有機色素材料としては、例えばトリフェニルメタン系等のロイコ染料を用いることができ、フォトクロミック材料としては、スピロピラン系、フルギド系、アゾ系等を用いることができる。   As the organic dye material, for example, a leuco dye such as triphenylmethane can be used, and as the photochromic material, spiropyran, fulgide, azo, or the like can be used.

尚、記録可能な情報層は、機能的には1回だけ記録が可能な追記形と、記録した情報を再度書き換えることができる書き換え形とに分類することができる。追記形の場合には、情報層として相変化材料又は有機色素材料を、基板上に1層だけ成膜すればよい。また、他の方法として、光吸収用の薄膜層と金属層の2層構造とし、光照射によって合金を形成する方法もある。   The recordable information layer can be functionally classified into a write-once form that can be recorded only once and a rewritable form that can rewrite the recorded information again. In the case of the write-once type, only one layer of the phase change material or the organic dye material may be formed on the substrate as the information layer. As another method, there is a method of forming a two-layer structure of a light absorption thin film layer and a metal layer and forming an alloy by light irradiation.

また、情報層を記録層だけで構成することも可能であるが、情報層を構成する材料が可逆的な変化を示し、かつ記録した信号の光学的変化を高めるためには、少なくとも2層の複数層で構成するのが好ましい。2層構造としては、光ビーム7の入射側から誘電体層/記録層とする構成、記録層/反射層とする構成、又は反射層/記録層とする構成などがある。また、3層構造としては、基板側から誘電体層/記録層/誘電体層とする構成、又は誘電体層/記録層/反射層とする構成などがある。また、4層構造としては、光ビーム7の入射側から誘電体層/記録層/誘電体層/反射層とする構成などがある。また、5層構造としては、基板側から第1の反射層/誘電体層/記録層/誘電体層/第2の反射層とする構成などがある。このように、記録層と誘電体層を接して設けることにより、繰り返して記録する際の薄膜の劣化を防止することができると共に、記録情報の光学的な変化を大きく設定することができる。   In addition, the information layer can be composed of only the recording layer. However, in order to show a reversible change in the material constituting the information layer and to enhance the optical change of the recorded signal, at least two layers are required. It is preferable to configure with a plurality of layers. Examples of the two-layer structure include a configuration in which the dielectric layer / recording layer is formed from the incident side of the light beam 7, a configuration in which the recording layer / reflection layer is used, and a configuration in which the reflection layer / recording layer is used. The three-layer structure includes a configuration in which the dielectric layer / recording layer / dielectric layer is formed from the substrate side, or a configuration in which the dielectric layer / recording layer / reflection layer is used. In addition, the four-layer structure includes a configuration in which the dielectric layer / recording layer / dielectric layer / reflective layer is formed from the incident side of the light beam 7. Further, as the five-layer structure, there is a configuration in which the first reflective layer / dielectric layer / recording layer / dielectric layer / second reflective layer are arranged from the substrate side. Thus, by providing the recording layer and the dielectric layer in contact with each other, it is possible to prevent deterioration of the thin film during repeated recording, and to set a large optical change in the recorded information.

誘電体層としては、SiO2 、SiO、TiO2 、MgO、GeO2 等の酸化物、Si34 、BN等の窒化物、ZnS、PbS等の硫化物、又はそれらの混合物材料を用いることができる。 As the dielectric layer, oxides such as SiO 2 , SiO, TiO 2 , MgO and GeO 2 , nitrides such as Si 3 N 4 and BN, sulfides such as ZnS and PbS, or a mixture thereof are used. Can do.

反射層としては、再生専用型の情報層の場合に例示したすべての材料を用いることができる。   As the reflective layer, all materials exemplified in the case of the read-only information layer can be used.

分離層5としては、第2の情報層4上で十分な光量を確保するという観点から、光ビーム7の波長領域、とりわけ第1の情報層2を透過した光に対して吸収の小さい材料であるのが望ましい。従って、分離層5としては、透明な接着剤、あるいは基板と同様のガラス材料、樹脂材料などを用いることができる。特に、第1及び第2の基板1、3が樹脂材料からなる場合には、接着後の機械的な信頼性を確保するために同系統の樹脂材料が好ましく、さらには接着に要する時間を短縮できる等の点で紫外線硬化性の樹脂材料を用いるのが望ましい。   The separation layer 5 is made of a material having a small absorption with respect to the wavelength region of the light beam 7, particularly the light transmitted through the first information layer 2, from the viewpoint of securing a sufficient amount of light on the second information layer 4. It is desirable. Therefore, as the separation layer 5, a transparent adhesive, or a glass material or a resin material similar to the substrate can be used. In particular, when the first and second substrates 1 and 3 are made of a resin material, the same type of resin material is preferable in order to ensure mechanical reliability after bonding, and the time required for bonding is further reduced. It is desirable to use an ultraviolet curable resin material because it can be used.

また、分離層5の厚さd5は、一方の情報層を再生しているときに、他方の情報層からのクロストークによる影響が小さくなるように、少なくとも対物レンズ6の開口数(NA)と光ビーム7の波長(λ)とによって決定される焦点深度以上の厚さであることが必要とされる。ここで、無収差の場合の中心強度(100%)を基準として、集光点の強度が80%以上であれば、焦点深度Δzは、一般に次の式(1)で近似することができる。   Further, the thickness d5 of the separation layer 5 is at least the numerical aperture (NA) of the objective lens 6 so that the influence of crosstalk from the other information layer is reduced when one information layer is reproduced. The thickness needs to be equal to or greater than the depth of focus determined by the wavelength (λ) of the light beam 7. Here, if the intensity of the condensing point is 80% or more with reference to the center intensity (100%) in the case of no aberration, the depth of focus Δz can generally be approximated by the following equation (1).

Δz=λ/{2(NA)2 } (1)
例えば、λ=780nm、NA=0.55の場合には、Δz=1.3μmとなる。従って、±1.3μm以内は焦点深度内となり、この光学系を用いた場合には、分離層5の厚さd5を、2.6μmを超える値に設定するのが好ましい。
Δz = λ / {2 (NA) 2 } (1)
For example, when λ = 780 nm and NA = 0.55, Δz = 1.3 μm. Therefore, the range of ± 1.3 μm is within the depth of focus, and when this optical system is used, it is preferable to set the thickness d5 of the separation layer 5 to a value exceeding 2.6 μm.

光ビーム7が第2の情報層4に焦点を結んだ際に第1の情報層2を透過する光ビームの中に含まれる記録マークの影響が、第2の情報層4を再生する際のクロストークとなる。このため、安定な信号再生の観点からは、分離層5の厚さd5は、少なくとも焦点深度以上であるのが好ましく、さらには焦点深度の5倍であるのが好ましい。通常の再生専用の光ディスクにおいて、光記録媒体上に形成される情報ピットのピッチは、焦点深度以下である。分離層の厚さを焦点深度の5倍にすれば、光ビーム7が照射される第1の情報層2上の情報ピットの数は25個以上となり、一般的なクロストークの許容値である−26dBを十分に下回る。   When the light beam 7 is focused on the second information layer 4, the influence of the recording mark included in the light beam transmitted through the first information layer 2 causes the second information layer 4 to be reproduced. Cross talk. For this reason, from the viewpoint of stable signal reproduction, the thickness d5 of the separation layer 5 is preferably at least the depth of focus, and more preferably 5 times the depth of focus. In a normal read-only optical disc, the pitch of information pits formed on the optical recording medium is less than the depth of focus. If the thickness of the separation layer is set to 5 times the depth of focus, the number of information pits on the first information layer 2 irradiated with the light beam 7 will be 25 or more, which is an allowable value for general crosstalk. Well below -26 dB.

また、第1及び第2の情報層2、4に形成する情報の記録密度を高く維持するためには、対物レンズ6の集光可能な範囲に第1及び第2の情報層2、4を設ける必要がある。すなわち、第1の基板の厚さd1に分離層5の厚さd5を加えたd1+d5の値が光学系(対物レンズ6)の許容する基材厚公差内にある必要がある。   Further, in order to maintain a high recording density of information formed on the first and second information layers 2 and 4, the first and second information layers 2 and 4 are disposed in a condensable range of the objective lens 6. It is necessary to provide it. That is, the value of d1 + d5 obtained by adding the thickness d5 of the separation layer 5 to the thickness d1 of the first substrate needs to be within the substrate thickness tolerance allowed by the optical system (objective lens 6).

従って、分離層5の厚さd5は、光ビーム7を集光する光学系の焦点深度よりも大きく、かつ前記光学系の許容する基材厚公差よりも小さい値に設定するのが好ましい。この条件を満足するならば、光ビーム7の収差が小さいという条件の下で、対象とする情報層以外の情報層からのクロストークの影響が小さい情報を再生することが可能となる。尚、分離層5の厚さd5としては、光学的な収差だけではなく、記録媒体として大量に生産する場合の歩留まりを考慮して、最適な値を選択する必要がある。上記した材料を用いて第1及び第2の基板1、3、第1及び第2の情報層2、4、分離層5を形成すれば、第1の基板1側から光ビーム7を照射することによって第1及び第2の情報層2、4から情報信号を再生することが可能な記録媒体が得られる。   Therefore, the thickness d5 of the separation layer 5 is preferably set to a value that is larger than the depth of focus of the optical system that focuses the light beam 7 and smaller than the substrate thickness tolerance allowed by the optical system. If this condition is satisfied, it is possible to reproduce information that is less affected by crosstalk from information layers other than the target information layer under the condition that the aberration of the light beam 7 is small. Note that the thickness d5 of the separation layer 5 needs to be selected in consideration of not only the optical aberration but also the yield in the case of mass production as a recording medium. If the first and second substrates 1, 3, the first and second information layers 2, 4, and the separation layer 5 are formed using the above-described materials, the light beam 7 is irradiated from the first substrate 1 side. Thus, a recording medium capable of reproducing information signals from the first and second information layers 2 and 4 is obtained.

次に、2つの情報層からの信号再生を安定にかつ容易に行うことができる記録媒体の構成について説明する。2つの情報層の情報信号を安定にかつ容易に再生するためには、双方の情報層から得られる信号レベルが同等であることが、再生装置の構成を簡略化できる点からも望ましい。ここでは、光ビーム7の入射側から見た場合に、2つの情報層の平面部から得られる反射光量が同等となる構成について説明する。但し、近似を容易なものとするために、第1及び第2の情報層2、4がともに再生専用型である場合を例に挙げて説明する。尚、第1の情報層2の情報ピットによる透過光の回折の影響は無視できるものとする。   Next, the configuration of a recording medium that can perform signal reproduction from two information layers stably and easily will be described. In order to reproduce the information signals of the two information layers stably and easily, it is desirable that the signal levels obtained from both information layers are equal from the viewpoint of simplifying the structure of the reproduction apparatus. Here, a configuration will be described in which the reflected light amounts obtained from the planar portions of the two information layers are the same when viewed from the incident side of the light beam 7. However, in order to facilitate the approximation, the case where both the first and second information layers 2 and 4 are read-only types will be described as an example. Note that the influence of diffraction of transmitted light by the information pits of the first information layer 2 can be ignored.

第1の情報層2の反射率をR1、吸収率をA1とし、第2の情報層4の反射率をR2とする。この場合、2つの情報層からの信号振幅が同じであるときに、2つの情報層の平面部からの反射光量が等しいと仮定する。このことは、入射した光ビーム7が第2の情報層4で反射され、かつ第1の情報層2を透過した光量Tと、第1の情報層2の反射率R1とが等しいことと同等である。この場合、下記の式によって表される関係が成立する。   The reflectance of the first information layer 2 is R1, the absorptance is A1, and the reflectance of the second information layer 4 is R2. In this case, when the signal amplitudes from the two information layers are the same, it is assumed that the amounts of reflected light from the flat portions of the two information layers are equal. This is equivalent to the fact that the incident light beam 7 is reflected by the second information layer 4 and transmitted through the first information layer 2 and the reflectance R1 of the first information layer 2 is equal. It is. In this case, the relationship represented by the following formula is established.

R1≒T (2)
R1≒(1−A1−R1)2 ×R2 (3)
R1≒1−A1+(2・R2)-1
−{[1−A1+(2・R2)-12
−(1−A1)20.5 (4)
ここで、R1が最大となるのは、R2=1、A1=0の場合であり、R1=0.382となる。実用的なレベルとして、R2=0.9、A1=0.1とした場合には、R1=0.311となる。
R1≈T (2)
R1≈ (1-A1-R1) 2 × R2 (3)
R1≈1-A1 + (2.R2) -1
-{[1-A1 + (2.R2) -1 ] 2
-(1-A1) 2 } 0.5 (4)
Here, R1 is maximized when R2 = 1 and A1 = 0, and R1 = 0.382. As a practical level, when R2 = 0.9 and A1 = 0.1, R1 = 0.111.

これは、第1の情報層2での透過光の回折を無視し、かつ第1及び第2の情報層2、4の反射光の回折の割合を同じとした場合には、反射率R2が90%となる第2の情報層4と、反射率R1が31%でかつ吸収率A1が10%となる第1の情報層2を形成することにより、第1及び第2の情報層2、4の情報ピットから情報信号を再生した場合に信号振幅が同じになることを意味する。   This is because when the diffraction of the transmitted light in the first information layer 2 is ignored and the ratio of the diffraction of the reflected light in the first and second information layers 2 and 4 is the same, the reflectance R2 is By forming the second information layer 4 that is 90% and the first information layer 2 that has a reflectance R1 of 31% and an absorptance A1 of 10%, the first and second information layers 2, This means that the signal amplitude is the same when the information signal is reproduced from the four information pits.

上記式(2)に基づいて、2つの情報層の実用的な構成について説明する。ここで、2つの情報層からの再生振幅が同等とみなせる範囲を±20%とする。このことは、上記式(2)の右辺と左辺との差が±20%以下であることを意味する。   A practical configuration of the two information layers will be described based on the above formula (2). Here, the range in which the reproduction amplitudes from the two information layers can be regarded as being equal is ± 20%. This means that the difference between the right side and the left side of the above formula (2) is ± 20% or less.

よって、上記式(3)にこの関係を代入すると、第1の情報層2からの再生振幅が第2の情報層4からの再生振幅よりも20%小さい場合には下記の式(5)の関係が成立し、第1の情報層2からの再生振幅が第2の情報層4からの再生振幅よりも20%大きい場合には下記の式(6)の関係が成立する。   Therefore, when this relationship is substituted into the above equation (3), the following equation (5) is obtained when the reproduction amplitude from the first information layer 2 is 20% smaller than the reproduction amplitude from the second information layer 4. When the relationship is established and the reproduction amplitude from the first information layer 2 is 20% larger than the reproduction amplitude from the second information layer 4, the relationship of the following equation (6) is established.

R1=1.2×(1−A1−R1)2 ×R2 (5)
R1=0.8×(1−A1−R1)2 ×R2 (6)
ここで、情報層を上記した金属材料、あるいは誘電体材料で形成した場合の実用的な各層の特性を考慮すると、第2の情報層4の反射率R2は70〜90%の範囲にあるのが望ましく、第1の情報層2の吸収率A1は20%以下の範囲にあるのが望ましい。これらの関係を上記の式(5)、(6)に代入して計算すると、第1の情報層2の反射率R1の範囲は21〜42%となる。さらに、双方の情報層2、4からの再生振幅を大きく保つためには、第1の情報層2の吸収率A1が小さいことが望ましい。この吸収率A1の値を10%以下とすれば、第1の情報層2の反射率R1の範囲は25〜40%となる。
R1 = 1.2 × (1-A1-R1) 2 × R2 (5)
R1 = 0.8 × (1-A1-R1) 2 × R2 (6)
Here, in consideration of the practical characteristics of each layer when the information layer is formed of the above-described metal material or dielectric material, the reflectance R2 of the second information layer 4 is in the range of 70 to 90%. It is desirable that the absorption rate A1 of the first information layer 2 be in the range of 20% or less. When these relationships are calculated by substituting into the above equations (5) and (6), the range of the reflectance R1 of the first information layer 2 is 21 to 42%. Furthermore, in order to keep the reproduction amplitude from both information layers 2 and 4 large, it is desirable that the absorption rate A1 of the first information layer 2 is small. If the value of the absorption rate A1 is 10% or less, the range of the reflectance R1 of the first information layer 2 is 25 to 40%.

以上のように、第1及び第2の情報層2、4がともに再生専用型である場合、第1及び第2の情報層2、4からの信号振幅が同等で、かつ再生振幅を大きく保つためには、第1の情報層2の反射率R1は25〜40%の範囲にあるのが好ましい。   As described above, when the first and second information layers 2 and 4 are both reproduction-only types, the signal amplitudes from the first and second information layers 2 and 4 are equal and the reproduction amplitude is kept large. For this purpose, the reflectance R1 of the first information layer 2 is preferably in the range of 25 to 40%.

第2の情報層4が記録再生型の場合には、情報層の反射率が再生専用型の場合に比べ小さくなる。例えば、第2の情報層4の反射率が30%の場合には、反射率が19.5%でかつ吸収率が0%となる第1の情報層2を用いることにより、双方の情報層に光を照射した場合に対物レンズ6側に反射する光量が同じになる。尚、記録再生装置の構成については、後で詳述するが、一般に、記録媒体間の個々の差、又は記録媒体の表面の汚れ等を考慮して、再生信号振幅又は反射光量には一定の許容範囲が設けられている。従って、再生回路の精度又は装置としての安定性を考慮すると、双方の再生信号の振幅差は5倍以内であるのが望ましい。   When the second information layer 4 is of a recording / reproducing type, the reflectance of the information layer is smaller than that of a reproducing-only type. For example, when the reflectance of the second information layer 4 is 30%, by using the first information layer 2 having a reflectance of 19.5% and an absorption rate of 0%, both information layers are used. The amount of light reflected to the objective lens 6 side when the light is irradiated is the same. Although the configuration of the recording / reproducing apparatus will be described in detail later, in general, the reproduction signal amplitude or the reflected light amount is constant in consideration of individual differences between recording media or dirt on the surface of the recording medium. An acceptable range is provided. Therefore, considering the accuracy of the reproduction circuit or the stability of the apparatus, it is desirable that the amplitude difference between the two reproduction signals is within 5 times.

本発明は、上記のように予め凹凸が形成された基板を接着することによって2つの情報層を備えた記録媒体を得ることを特徴としている。このため、第1の基板1の表面に形成される情報ピットのパターンは、第1の基板1の基材を通して再生できる信号形態であることが必要であり、第2の基板3の表面に形成される情報ピットのパターンは、情報ピットの表面から光を照射して再生できる信号形態であることが必要である。このため、第1及び第2の基板1、3の情報ピットパターンは、光ビーム7の入射側から見て同一方向に進行するように形成される。情報層が再生専用型の場合、情報ピットパターンの方向は、情報信号に対応した情報ピットの記録方向である。情報層が記録再生型の場合、以上の構成はガイド溝を管理するアドレス情報に適用される。   The present invention is characterized in that a recording medium having two information layers is obtained by adhering a substrate on which irregularities are formed in advance as described above. For this reason, the pattern of information pits formed on the surface of the first substrate 1 needs to be in a signal form that can be reproduced through the base material of the first substrate 1, and is formed on the surface of the second substrate 3. The information pit pattern to be played back must have a signal form that can be reproduced by irradiating light from the surface of the information pit. For this reason, the information pit patterns of the first and second substrates 1 and 3 are formed so as to travel in the same direction when viewed from the incident side of the light beam 7. When the information layer is a read-only type, the direction of the information pit pattern is the information pit recording direction corresponding to the information signal. When the information layer is a recording / reproducing type, the above configuration is applied to address information for managing the guide groove.

次に、第1及び第2の情報層2、4が上記構成(A)の再生専用−再生専用型の場合の記録媒体の構成について詳細に説明する。   Next, the configuration of the recording medium in the case where the first and second information layers 2 and 4 are of the above-described configuration (A) of the read-only-read-only type will be described in detail.

基板の製造コストを安くするという観点からは、第1及び第2の基板1、3をできるだけ同一のプロセスで作製するのが望ましい。基板表面に情報ピットを形成するための工程としては、原盤を作る工程であるマスタリング工程と、金型内に設けられた原盤に樹脂材料を注入して情報ピットを備えた基板を形成する射出成形工程とがある。マスタリング工程は、CDやCD−ROM等において一般的に用いられている方法であるため、その詳細な説明は省略する。簡単に述べると、ガラス平板にフォトレジストを塗布し、その上から情報信号に従って変調されたArレーザ光を照射した後、フォトレジストを除去し、その上にメッキすることによって原盤を作る工程である。   From the viewpoint of reducing the manufacturing cost of the substrate, it is desirable to manufacture the first and second substrates 1 and 3 by the same process as much as possible. As a process for forming information pits on the substrate surface, a mastering process, which is a process for making a master, and injection molding, in which a resin material is injected into a master provided in a mold to form a substrate with information pits. There is a process. Since the mastering process is a method generally used in CDs, CD-ROMs, etc., detailed description thereof is omitted. Briefly, it is a process of making a master by applying a photoresist to a glass plate, irradiating Ar laser light modulated according to the information signal from the glass plate, removing the photoresist, and plating on it. .

マスタリング工程を同じにすれば、基板に形成される情報ピットの形状、すなわち情報ピットが平面に対して凹か凸のいずれで形成されるかの関係が同一となる。図2(a)に、同一のプロセスで形成した基板を接着して作製した光学的情報記録媒体の一例を示す。図2(a)に示すように、第1の基板1の情報ピット11は光ビーム7の入射側から見て凸の形状となり、第2の基板3の情報ピット12は光ビーム7の入射側から見て凹の形状となる。フォトレジストの性質が異なる場合には、第1の基板1の情報ピットは光ビーム7の入射側から見て凹の形状となり、第2の基板3の情報ピットは光ビーム7の入射側から見て凸の形状となる。いずれの場合にも、光ビーム7の入射側から見て、2つの情報層2、4間で情報ピットの凹凸の向きは逆となる。   If the mastering process is the same, the shape of the information pits formed on the substrate, that is, the relationship between whether the information pits are concave or convex with respect to the plane is the same. FIG. 2A shows an example of an optical information recording medium manufactured by bonding substrates formed by the same process. As shown in FIG. 2A, the information pit 11 of the first substrate 1 has a convex shape when viewed from the incident side of the light beam 7, and the information pit 12 of the second substrate 3 is incident on the incident side of the light beam 7. It becomes a concave shape when viewed from the side. When the properties of the photoresist are different, the information pits of the first substrate 1 have a concave shape when viewed from the incident side of the light beam 7, and the information pits of the second substrate 3 are viewed from the incident side of the light beam 7. And has a convex shape. In any case, the direction of the unevenness of the information pits is reversed between the two information layers 2 and 4 when viewed from the incident side of the light beam 7.

以上の構成とすることにより、マスタリング工程だけでなく、基板の材質、成形プロセスも同じにすることができる。このため、生産する際に同じ機能の製造装置を2種類用意するか、あるいは1つの製造装置を併用することができるので、基板の生産設備を安価にすることができる。   With the above configuration, not only the mastering process but also the substrate material and the molding process can be made the same. For this reason, two types of manufacturing apparatuses having the same function can be prepared at the time of production, or one manufacturing apparatus can be used in combination, so that the board production facility can be made inexpensive.

上記の構成を有する記録媒体においては、光ビーム7の入射側から見て、2つの情報層2、4間でピットの凹凸の向きが逆であるため、プッシュ・プル法などのトラッキング方法を用いて情報を記録再生する場合には、情報層2、4間でトラッキングの極性を切り換える必要がある。これを避けるためには、第2の情報層4の凹凸ピットの方向を逆転させ、光ビーム7の入射側から見て凸の形状にすればよい。マスタリング工程でフォトレジストの現像特性が逆転したものを用いるか、あるいは従来の方法で得た原盤を再度転写することによって得られる第2の原盤を用いて第2の基板4を作製すれば、2つの情報層2、4間で凹凸の方向が逆のピットが得られる。   In the recording medium having the above-described configuration, since the direction of the pit unevenness is reversed between the two information layers 2 and 4 when viewed from the incident side of the light beam 7, a tracking method such as a push-pull method is used. Therefore, when recording and reproducing information, it is necessary to switch the tracking polarity between the information layers 2 and 4. In order to avoid this, the direction of the concavo-convex pits of the second information layer 4 may be reversed to have a convex shape when viewed from the incident side of the light beam 7. If the second substrate 4 is produced by using a master that is obtained by reversing the development characteristics of the photoresist in the mastering process or by using a second master that is obtained by transferring a master that has been obtained by a conventional method again, 2 A pit having the opposite concave and convex directions is obtained between the two information layers 2 and 4.

次に、第1及び第2の基板1、3の情報ピットの大きさについて説明する。第2の基板3に形成されるピットの大きさは、第1の基板1の光ビーム7の入射側の面から第1及び第2の情報層2、4の面までの距離が、光ビーム7を集光する光学系の許容する基材厚公差ΔWd内にあるか否かによって2つに大別される。尚、この基材厚公差ΔWdは、光ビーム7の球面収差によって決定され、一般に、対物レンズ6(図1参照)の開口数(NA)の4乗に反比例する。例えば、波長λ=780nm、開口数NA=0.5の光学系では、基材厚公差ΔWdは50μm程度の値となる。但し、この基材厚公差ΔWdは、ピットの密度、すなわちピット間隔に依存し、ピット間隔が大きい場合には、球面収差が生じたとしても信号再生が可能となり、許容幅が大きくなる。   Next, the size of the information pits on the first and second substrates 1 and 3 will be described. The size of the pits formed on the second substrate 3 is such that the distance from the surface on the incident side of the light beam 7 of the first substrate 1 to the surfaces of the first and second information layers 2 and 4 is the light beam. 7 is roughly divided into two depending on whether or not it is within the substrate thickness tolerance ΔWd allowed by the optical system for condensing 7. The substrate thickness tolerance ΔWd is determined by the spherical aberration of the light beam 7, and is generally inversely proportional to the fourth power of the numerical aperture (NA) of the objective lens 6 (see FIG. 1). For example, in an optical system having a wavelength λ = 780 nm and a numerical aperture NA = 0.5, the substrate thickness tolerance ΔWd is a value of about 50 μm. However, the substrate thickness tolerance ΔWd depends on the density of the pits, that is, the pit interval. When the pit interval is large, signal reproduction is possible even if spherical aberration occurs, and the allowable width increases.

第1の基板1の光ビーム7の入射側の面から第1及び第2の情報層2、4の面までの距離がともに、集光光学系とピット密度で決定される基材厚公差ΔWd内にある場合の構成を図2(a)に示す。この場合の主な課題は、第1の情報層2上の情報ピット11と第2の情報層4上の凹凸ピット12とで、照射した光ビーム7を反射する領域に差が生じるということである。なぜなら、第1の情報層2では第1の基板1と接した領域が主たる反射面となり、第2の情報層4では分離層5との界面が主たる反射面となるからである。   The distance from the incident side of the light beam 7 of the first substrate 1 to the surfaces of the first and second information layers 2 and 4 is a base material thickness tolerance ΔWd determined by the condensing optical system and the pit density. FIG. 2 (a) shows a configuration in the case of being in the inside. The main problem in this case is that there is a difference in the area where the irradiated light beam 7 is reflected between the information pit 11 on the first information layer 2 and the concave and convex pit 12 on the second information layer 4. is there. This is because, in the first information layer 2, the region in contact with the first substrate 1 is the main reflection surface, and in the second information layer 4, the interface with the separation layer 5 is the main reflection surface.

第1の基板1上の情報ピット11のピット幅をW11とし、第2の基板3上の情報ピット12のピット幅をW12とした場合、主たる反射面の幅は、第1の情報層2ではピット幅W11であるのに対し、第2の情報層4では分離層5との界面におけるピット幅W13となる。製法にも依存するが、一般的に用いられているスパッタリング法等によって基板上に情報層を成膜する場合、薄膜は基板の表面に垂直な方向だけに形成されるのではなく、情報ピットの斜面に対しても回り込んで形成される。従って、第2の基板3上の情報ピット12のピット幅W12に対して、分離層5との界面でのピット幅W13は小さな値となる。このため、情報ピットによる反射光の回折を同等とするには、第2の基板3上の情報ピット12のピット幅W12を、第1の基板1上の情報ピット11のピット幅W11よりも大きな値に設定する必要がある。   When the pit width of the information pits 11 on the first substrate 1 is W11 and the pit width of the information pits 12 on the second substrate 3 is W12, the width of the main reflecting surface is as follows in the first information layer 2 In contrast to the pit width W11, the second information layer 4 has a pit width W13 at the interface with the separation layer 5. Although it depends on the manufacturing method, when the information layer is formed on the substrate by a commonly used sputtering method or the like, the thin film is not formed only in the direction perpendicular to the surface of the substrate, but the information pits are formed. It is also formed around the slope. Therefore, the pit width W13 at the interface with the separation layer 5 is smaller than the pit width W12 of the information pits 12 on the second substrate 3. Therefore, in order to make the diffraction of the reflected light by the information pits equivalent, the pit width W12 of the information pits 12 on the second substrate 3 is larger than the pit width W11 of the information pits 11 on the first substrate 1. Must be set to a value.

第2の基板3上の情報ピット12のピット幅W12は、実際に第2の情報層4を成膜し、その結果に基づいて補正される。本発明者等は、Auを用いて第2の情報層4を成膜する実験を行った。第2の基板3のピット幅W12=0.50μm、深さ90nmの情報ピット上に、反射率が90%以上となる厚さ150nmのAu層(第2の情報層4)を成膜し、分離層5との界面に相当する第2の情報層4の形状を測定したところ、ピット幅はW13=0.3μm、深さは90nmであった。ここに示した条件で第2の情報層4を成膜する場合、第2の基板3の表面に形成する情報ピットの形状は、第2の情報層4によるピット形状の変化を考慮して、ピット幅W12=0.70μmとする。この場合、第1の基板1には、ピット幅W11=0.50μm、深さ90nmの情報ピットを形成する。このように、第2の基板3上の情報ピット12は、第2の情報層4の膜厚による情報ピットの実質的なピット幅の減少分を考慮して、第1の基板1の情報ピットよりも大きく形成される。尚、この場合、第1及び第2の基板1、3の表面に形成される情報ピットのトラックピッチTp1、及びピット密度は同じ値である。   The pit width W12 of the information pits 12 on the second substrate 3 is corrected based on the result of actually forming the second information layer 4. The present inventors conducted an experiment for forming the second information layer 4 using Au. On the information pit of the second substrate 3 having a pit width W12 = 0.50 μm and a depth of 90 nm, a 150 nm thick Au layer (second information layer 4) having a reflectance of 90% or more is formed, When the shape of the second information layer 4 corresponding to the interface with the separation layer 5 was measured, the pit width was W13 = 0.3 μm and the depth was 90 nm. When the second information layer 4 is formed under the conditions shown here, the shape of the information pit formed on the surface of the second substrate 3 is considered in consideration of the change in the pit shape by the second information layer 4. The pit width W12 = 0.70 μm. In this case, information pits having a pit width W11 = 0.50 μm and a depth of 90 nm are formed on the first substrate 1. In this way, the information pits 12 on the second substrate 3 take into account the reduction in the substantial pit width of the information pits due to the film thickness of the second information layer 4, and the information pits on the first substrate 1 Is formed larger. In this case, the track pitch Tp1 and the pit density of the information pits formed on the surfaces of the first and second substrates 1 and 3 have the same value.

第2の基板3を形成するためのマスタリング工程においては、情報ピットの大きさを第1の基板1の場合よりも大きくするために、フォトレジストを露光する光源のパワーがわずかに高めに設定される。第1及び第2の基板1、3を形成する他の工程は同じである。   In the mastering process for forming the second substrate 3, the power of the light source for exposing the photoresist is set slightly higher in order to make the size of the information pit larger than that of the first substrate 1. The Other processes for forming the first and second substrates 1 and 3 are the same.

尚、ここでは、第1及び第2の基板1、3間でピット幅を異ならせる場合を例に挙げて説明したが、情報層を成膜する際の条件によっては、基板のピットの斜面の傾斜角と成膜した情報層の斜面の傾斜角とが異なる場合も考えられる。このような場合には、第1及び第2の基板1、3間でピットの深さを変化させるか、又はピット幅とピット深さの双方を変化させる。以上のように構成すれば、第1及び第2の情報層2、4間で生じる入射した光ビーム7に対する反射光の回折を近づけることが可能となり、安定した信号再生が可能となる。   Here, the case where the pit width is made different between the first and second substrates 1 and 3 has been described as an example. However, depending on the conditions at the time of forming the information layer, the slope of the pit of the substrate may be changed. There may be a case where the inclination angle is different from the inclination angle of the inclined surface of the information layer. In such a case, the pit depth is changed between the first and second substrates 1 and 3, or both the pit width and the pit depth are changed. With the above configuration, it is possible to make the reflected light diffracted with respect to the incident light beam 7 generated between the first and second information layers 2 and 4 close to each other, and stable signal reproduction is possible.

図2(b)に、2つの情報層のいずれかの層が集光光学系の基材厚公差外となる場合の構成を示す。この場合の主な課題は、基材厚公差ΔWd外にある情報層に光ビーム7を集光した場合に、球面収差によって光スポットを十分に集光することができないという点である。2つの情報層のいずれかの層が集光光学系の基材厚公差ΔWd外となる現象は、情報層上の情報の密度を高めるために光ビーム7の波長を短くし、対物レンズの開口数(NA)を高めた場合に基材厚公差ΔWdが小さくなることに起因して発生する。また、この現象は、分離層5を形成する際に薄い分離層が得にくいか、あるいは分離層5の膜厚精度が低い場合に発生する。   FIG. 2B shows a configuration in the case where one of the two information layers is outside the substrate thickness tolerance of the condensing optical system. The main problem in this case is that when the light beam 7 is condensed on the information layer outside the substrate thickness tolerance ΔWd, the light spot cannot be sufficiently condensed due to spherical aberration. The phenomenon in which one of the two information layers is outside the substrate thickness tolerance ΔWd of the condensing optical system shortens the wavelength of the light beam 7 in order to increase the information density on the information layer, and opens the aperture of the objective lens. This occurs because the substrate thickness tolerance ΔWd decreases when the number (NA) is increased. Further, this phenomenon occurs when it is difficult to obtain a thin separation layer when forming the separation layer 5, or when the film thickness accuracy of the separation layer 5 is low.

この場合には、基材厚公差ΔWd外となる情報層を備えた基板の表面のピット密度を、基材厚公差ΔWd内にある情報層を備えた基板のピット密度よりも小さくすればよい。図2(b)は、第1の情報層2が基材厚公差ΔWd内にあり、第2の情報層4が基材厚公差ΔWd外にある場合の構成例を示す。第1の基板1上の情報ピットは、所定のピット幅W11を有し、トラックピッチはTp1、ピット密度はPd1である。第2の基板3上の情報ピット14は、所定のピット幅W14を有し、トラックピッチはTp3、ピット密度はPd3である。ここで、第2の情報層4における光ビーム7の球面収差による絞りの悪化分を考慮して、第2の基板3の情報ピット14のピット幅W14、トラックピッチTp3を第1の基板1の値よりも大きく設定する。   In this case, the pit density on the surface of the substrate provided with the information layer outside the base material thickness tolerance ΔWd may be made smaller than the pit density of the substrate provided with the information layer within the base material thickness tolerance ΔWd. FIG. 2B shows a configuration example when the first information layer 2 is within the substrate thickness tolerance ΔWd and the second information layer 4 is outside the substrate thickness tolerance ΔWd. The information pits on the first substrate 1 have a predetermined pit width W11, the track pitch is Tp1, and the pit density is Pd1. The information pits 14 on the second substrate 3 have a predetermined pit width W14, the track pitch is Tp3, and the pit density is Pd3. Here, in consideration of the deterioration of the diaphragm due to the spherical aberration of the light beam 7 in the second information layer 4, the pit width W 14 and the track pitch Tp 3 of the information pits 14 of the second substrate 3 are set to those of the first substrate 1. Set larger than the value.

以上のように構成すれば、第2の情報層4が光ビーム7の集光光学系の基材厚公差ΔWd外にあったとしても、ピット部で第1の情報層2と同様の反射光量変化が得られ、安定した信号再生が可能となる。   If comprised as mentioned above, even if the 2nd information layer 4 is outside the base-material thickness tolerance (DELTA) Wd of the condensing optical system of the light beam 7, the reflected light amount similar to the 1st information layer 2 in a pit part A change is obtained, and stable signal reproduction is possible.

次に、基板表面の情報ピット、あるいはガイド溝のトラック方向の形成パターンについて説明する。第1及び第2の基板1、3上に形成する情報ピットは同心円状でもよいが、マスタリング時のトラックピッチ等の精度を同心円の場合よりも高くできるという点で、従来の光ディスクの場合と同様にスパイラル状であるのが望ましい。このスパイラル状の凹凸ピット列の構成には、用途に応じて2種類ある。   Next, a formation pattern in the track direction of information pits on the substrate surface or guide grooves will be described. The information pits formed on the first and second substrates 1 and 3 may be concentric, but the accuracy of the track pitch at the time of mastering can be made higher than in the case of the concentric circles, as in the case of the conventional optical disc. It is desirable to have a spiral shape. There are two types of configurations of this spiral concavo-convex pit row depending on the application.

第1の構成は、第1及び第2の基板1、3上の凹凸ピット列が、光の入射側から見て同一方向に進行する場合である。この場合には、いずれの情報層の情報ピットにトラッキングしたとしても、光ビームは内周から外周への1方向、あるいは外周から内周への1方向に移動する。例えば、光ビームが内周から外周へ移動する構成とした場合には、再生方式として、いずれかの情報層の内周部において管理情報を検出し、情報層間を含めて目的とする情報領域にアクセスする方式を採用することができる。従って、この構成は、高速アクセスを要求される記録媒体に適した構成と言える。   The first configuration is a case where the concavo-convex pit rows on the first and second substrates 1 and 3 travel in the same direction when viewed from the light incident side. In this case, the light beam moves in one direction from the inner periphery to the outer periphery or in one direction from the outer periphery to the inner periphery, regardless of which information pit is tracked in any information layer. For example, when the light beam moves from the inner periphery to the outer periphery, as a reproduction method, management information is detected in the inner periphery of any information layer, and the target information area including the information layer is detected. An access method can be adopted. Therefore, this configuration can be said to be a configuration suitable for a recording medium that requires high-speed access.

以上の構成を可能とする第2の基板3を得る方法としては、上記したように、原盤を再度転写した第2の原盤を用いて情報ピットの方向を反転させる方法がある。すなわち、フォトレジストを用いて作製した原盤の表面を第2の原盤に転写することにより、凹凸が逆方向で、かつスパイラル方向が逆のピット列が得られる。この第2の基板3と第1の基板1とを分離層5を介して接着すれば、光の入射側から見てスパイラル方向が同一の記録媒体が得られる。   As described above, as a method of obtaining the second substrate 3 that enables the above configuration, there is a method of reversing the direction of the information pits using the second master that is transferred again from the master. That is, by transferring the surface of the master disc produced using the photoresist to the second master disc, a pit row with concavities and convexities in the reverse direction and spiral direction is obtained. When the second substrate 3 and the first substrate 1 are bonded via the separation layer 5, a recording medium having the same spiral direction as viewed from the light incident side can be obtained.

第2の原盤を作製するプロセスを省略する場合には、マスタリング工程時の記録方向を変更することにより、光の入射側から見てスパイラル方向が同一の第1及び第2の情報層2、4を得ることができる。すなわち、フォトレジストの露光時に、ガラス平板の回転方向を、第1の基板1の原盤作製時とは逆方向とすることにより、光の入射側から見てスパイラル方向が同一の第1及び第2の情報層2、4が得られる。但し、この場合、光の入射側から見た情報ピットは第1及び第2の情報層2、4間で逆となる。   When the process of producing the second master is omitted, the first and second information layers 2 and 4 having the same spiral direction when viewed from the light incident side are changed by changing the recording direction in the mastering process. Can be obtained. That is, when the photoresist is exposed, the rotation direction of the glass flat plate is opposite to that when the first substrate 1 is manufactured, so that the first and second spiral directions are the same as viewed from the light incident side. Information layers 2 and 4 are obtained. However, in this case, the information pits viewed from the light incident side are reversed between the first and second information layers 2 and 4.

第2の構成は、第1及び第2の基板1、3上の凹凸ピット列が、光の入射側から見て逆方向に進行する場合である。この場合には、いずれの情報層の情報ピットにトラッキングしたかに応じて、光ビームの移動方向(内周から外周あるいは外周から内周)が逆になる。   The second configuration is a case where the concavo-convex pit rows on the first and second substrates 1 and 3 travel in opposite directions when viewed from the light incident side. In this case, the moving direction of the light beam (from the inner periphery to the outer periphery or from the outer periphery to the inner periphery) is reversed depending on which information pit of the information layer is tracked.

この構成は、長時間の連続した情報を取り扱う場合に有効である。例えば、光ビームが第1の情報層2の情報ピットを内周から外周へ移動し、第2の情報層4の情報ピットを外周から内周へ移動する構成とした場合を例に挙げて説明する。この場合、光ビームは、第1の情報層2の外周部における最終情報を再生した後、第2の情報層4の外周部に移動する(すなわち、光ピックアップが、同一位置のまま第2の情報層4の情報の開始点にアクセスする)。そして、光ビームは、引き続いて第2の情報層4の外周部から情報の再生を開始する。この情報再生方法は、光ビームが層間を移動する際に光ピックアップの移動を伴わないため、その間の時間的ロスが少ないという点で有効な方法である。さらに、記録ピットがCLVモード(定線速度モード)である場合には、光ピックアップの位置が変わらないため、回転数の変更も小さくできるという点で有効な方法である。   This configuration is effective when long-time continuous information is handled. For example, the case where the light beam moves from the inner circumference to the outer circumference and the information pit of the second information layer 4 moves from the outer circumference to the inner circumference will be described as an example. To do. In this case, the light beam moves to the outer peripheral portion of the second information layer 4 after reproducing the final information on the outer peripheral portion of the first information layer 2 (that is, the optical pickup remains in the same position in the second position). Access the information start point of the information layer 4). Then, the light beam continues to reproduce information from the outer periphery of the second information layer 4. This information reproducing method is effective in that the optical pickup does not move when the light beam moves between the layers, so that the time loss during that time is small. Further, when the recording pit is in the CLV mode (constant linear velocity mode), the position of the optical pickup does not change, and this is an effective method in that the change in the rotational speed can be reduced.

以上の構成を可能とする第2の基板3のマスタリング方法としては、第1の基板1の原盤作製時の露光工程とは信号の記録開始点を反対にする方法がある。第1の基板1の情報の記録開始が内周側からである場合には、外周側から露光を行った原盤を用いる。但し、このようにして得られた第1及び第2の基板1、3を用いて作製した記録媒体においては、光の入射側から見て第1及び第2の基板1、3の情報ピットの方向が逆となるので、情報層間でトラッキングの極性を切り替える必要がある。   As a method for mastering the second substrate 3 that enables the above-described configuration, there is a method in which the signal recording start point is opposite to the exposure process at the time of producing the master of the first substrate 1. When the recording of information on the first substrate 1 starts from the inner circumference side, a master that has been exposed from the outer circumference side is used. However, in the recording medium manufactured using the first and second substrates 1 and 3 obtained in this way, the information pits on the first and second substrates 1 and 3 are viewed from the light incident side. Since the direction is reversed, it is necessary to switch the tracking polarity between the information layers.

第2の基板3の他のマスタリング方法としては、ガラス平板の回転方向を、第1の基板1の原盤作製時とは逆とした状態で、上記と同様に外周側から露光を行う方法がある。このようにして得られた第1及び第2の基板1、3を用いて作製した記録媒体においては、光の入射側から見て第1及び第2の基板1、3の上方ピッの方向が同一となるので、情報層間でトラッキングの極性を切り替える必要はない。   As another mastering method of the second substrate 3, there is a method of performing exposure from the outer peripheral side in the same manner as described above in a state where the rotation direction of the glass flat plate is opposite to that at the time of producing the master of the first substrate 1. . In the recording medium manufactured using the first and second substrates 1 and 3 obtained in this way, the direction of the upper pin of the first and second substrates 1 and 3 is viewed from the light incident side. Since they are the same, there is no need to switch the tracking polarity between the information layers.

次に、再生専用型の情報層と記録再生型の情報層とを備えた上記構成(B)の再生専用−記録再生型、上記構成(C)の記録再生−再生専用型について説明する。   Next, the reproduction-only-recording / reproducing type having the above-described configuration (B) including the reproduction-only information layer and the recording / reproducing-type information layer and the recording / reproducing-reproducing-only type having the above-described configuration (C) will be described.

上記構成(B)と上記構成(C)を比較した場合、上記構成(B)のように第1の情報層を再生専用型とし、第2の情報層を記録再生型とする方が、第1の情報層での光吸収を小さく設定できるという点で有利である。上記構成(C)のように第1の情報層が記録再生型である場合には、情報層に記録するための光吸収が必要である。また、この場合には、第1の情報層2に信号を記録した際に、記録マーク自身による透過光の回折が発生する。このため、第2の情報層4に到達する光量が低下する。   When the configuration (B) is compared with the configuration (C), the first information layer is the reproduction-only type and the second information layer is the recording / reproduction type as in the configuration (B). This is advantageous in that light absorption in one information layer can be set small. When the first information layer is a recording / reproducing type as in the configuration (C), light absorption for recording on the information layer is necessary. In this case, when a signal is recorded on the first information layer 2, diffraction of the transmitted light by the recording mark itself occurs. For this reason, the light quantity which reaches | attains the 2nd information layer 4 falls.

図3は、上記構成(B)の再生専用−記録再生型の光学的情報記録媒体の構成の一例を示す断面図である。図3に示すように、厚さd31の第1の基板31の片側の表面には、情報信号に従って情報ピット38が形成されている。さらに、第1の基板31の片側の表面には、所定の透過率と所定の反射率を有する厚さd32の薄膜からなる第1の情報層32が成膜されている。また、厚さd33の第2の基板33の片側の表面には、トラッキング用のガイド溝39又はサンプルピットが形成されている。さらに、第2の基板33の片側の表面には、光ビーム7の照射によって光学的な性質が変化する厚さd34の薄膜からなる第2の情報層34が成膜されている。また、第1の情報層32と第2の情報層34との間には、これら第1の情報層32と第2の情報層34を一定の距離d35だけ離して配置するための透明な分離層35が介在されている。   FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of the structure of the reproduction-only / recording / reproducing optical information recording medium having the structure (B). As shown in FIG. 3, information pits 38 are formed on the surface of one side of the first substrate 31 having a thickness d31 in accordance with an information signal. Further, a first information layer 32 made of a thin film having a thickness d32 having a predetermined transmittance and a predetermined reflectance is formed on one surface of the first substrate 31. A tracking guide groove 39 or sample pit is formed on one surface of the second substrate 33 having a thickness d33. Further, on the surface of one side of the second substrate 33, a second information layer 34 made of a thin film having a thickness d34 whose optical properties are changed by irradiation with the light beam 7 is formed. In addition, a transparent separation is provided between the first information layer 32 and the second information layer 34 so that the first information layer 32 and the second information layer 34 are separated by a certain distance d35. Layer 35 is interposed.

第1の情報層32は、第2の情報層34に所定の強度の光が到達するように、光ビーム7に対して所定の透過率を有している。第2の情報層34は、光ビーム7の強度を高めた光照射によって照射部が昇温する。これにより、第2の情報層34の光学的な性質が変化し、第2の情報層34に情報が記録される。このため、第2の情報層34は、光ビーム7に対して吸収率が高く、かつ光学的な変化が大きい、すなわち記録状態の信号再生の効率が高いことの双方を満足する構成となっている。   The first information layer 32 has a predetermined transmittance with respect to the light beam 7 so that light of a predetermined intensity reaches the second information layer 34. The irradiation part of the second information layer 34 is heated by light irradiation with increased intensity of the light beam 7. As a result, the optical properties of the second information layer 34 change, and information is recorded in the second information layer 34. For this reason, the second information layer 34 is configured to satisfy both the high absorptance with respect to the light beam 7 and the large optical change, that is, the high efficiency of signal reproduction in the recorded state. Yes.

第1の情報層32は再生専用型であるため、第1の基板31の表面には、情報信号に従って変調されたパターンからなる情報ピット38が形成されている。一方、第2の情報層34は記録再生型であるため、第2の基板33の表面には、情報を記録する際に光ビームの位置決めを行うトラッキング制御用の凹凸からなるガイド溝、又はサンプルサーボ方式のトラッキングに対応してトラック方向に左右にずれた一対の凹凸からなるサンプルピット(図示せず)が形成されている。また、上記基板がディスク形態である場合、これら情報ピット、ガイド溝又はサンプルピットは、螺旋状に形成され、かつ螺旋の方向が光ビーム7の入射側から見て同一であるのが望ましい。   Since the first information layer 32 is a reproduction-only type, information pits 38 each having a pattern modulated according to an information signal are formed on the surface of the first substrate 31. On the other hand, since the second information layer 34 is a recording / reproducing type, a guide groove or a sample made of tracking control irregularities for positioning a light beam when recording information is formed on the surface of the second substrate 33. Corresponding to the servo tracking, sample pits (not shown) are formed of a pair of projections and depressions shifted left and right in the track direction. When the substrate is in the form of a disk, the information pits, guide grooves or sample pits are preferably formed in a spiral shape, and the spiral direction is the same as viewed from the incident side of the light beam 7.

次に、上記構成(D)の記録再生−記録再生型の情報層を備えた記録媒体について、図4を用いて説明する。図4に示すように、厚さd41の第1の基板41の片側の表面には、トラッキング用のガイド溝48又はサンプルピットが形成されている。さらに、第1の基板41の片側の表面には、所定の透過率と所定の反射率を有し、かつ光ビーム7の照射によって光学的な性質が変化する厚さd42の薄膜からなる第1の情報層42が成膜されている。また、厚さd43の第2の基板43の片側の表面には、トラッキング用のガイド溝49又はサンプルピットが形成されている。さらに、第2の基板43の片側の表面には、光ビーム7の照射によって光学的な性質が変化する厚さd44の薄膜からなる第2の情報層44が成膜されている。また、第1の情報層42と第2の情報層44との間には、これら第1の情報層42と第2の情報層44を一定の距離d45だけ離して配置するための透明な分離層45が介在されている。   Next, a recording medium provided with the recording / reproducing-recording / reproducing type information layer having the configuration (D) will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 4, a tracking guide groove 48 or sample pit is formed on one surface of the first substrate 41 having a thickness d41. Furthermore, the surface of one side of the first substrate 41 is a first thin film having a predetermined transmittance and a predetermined reflectance, and a thin film having a thickness d42 whose optical properties are changed by irradiation with the light beam 7. The information layer 42 is formed. A tracking guide groove 49 or sample pit is formed on one surface of the second substrate 43 having a thickness d43. Further, on the surface of one side of the second substrate 43, a second information layer 44 made of a thin film having a thickness d44 whose optical properties are changed by irradiation with the light beam 7 is formed. Further, a transparent separation is provided between the first information layer 42 and the second information layer 44 so that the first information layer 42 and the second information layer 44 are spaced apart by a certain distance d45. Layer 45 is interposed.

この場合にも、基板表面上の構造として、再生専用型の情報層の情報ピットに対して用いた構成を適用するのが有効である。特に、ガイド溝又はサンプルピットと共に基板の表面に形成される記録媒体を管理するためのアドレスピットには、上記した再生専用型の情報ピットに対して用いたすべての方法を適用することができる。   Also in this case, it is effective to apply the structure used for the information pits of the read-only information layer as the structure on the substrate surface. In particular, all the methods used for the read-only information pits described above can be applied to the address pits for managing the recording medium formed on the surface of the substrate together with the guide grooves or sample pits.

記録再生に用いる情報層には、上記構成(B)の再生専用−記録再生型の場合に用いた情報層を適用することができる。但し、第1の情報層42には、光ビーム7を一定量だけ吸収し、昇温することによってその状態が変化し、変化した状態が反射光の変化として検出できること、及び第2の情報層44が記録再生可能なように一定量の光を透過することが必要とされる。さらに、第1の情報層42には、情報を記録した後においても、同様に一定量の光を透過する特性を維持することが必要とされる。このように、第1の情報層42には、単に信号の品質が高いだけでなく、情報の記録前後の透過率を考慮した薄膜設計が必要とされる。   As the information layer used for recording / reproduction, the information layer used in the case of the reproduction-only-recording / reproduction type having the above configuration (B) can be applied. However, the first information layer 42 absorbs a certain amount of the light beam 7 and changes its state by raising the temperature, and the changed state can be detected as a change in reflected light. It is necessary to transmit a certain amount of light so that 44 can be recorded and reproduced. Further, the first information layer 42 is required to maintain a characteristic of transmitting a certain amount of light similarly after information is recorded. As described above, the first information layer 42 is required not only to have high signal quality but also to have a thin film design that considers the transmittance before and after information recording.

第1の情報層42を構成する薄膜は、相変化材料のように、薄膜の光学定数が変化し、変化した状態が反射率の変化として検出される。この第1の情報層42に情報が記録された状態で、第2の情報層44に光ビームを集光する場合には、第1の情報層42上を透過した光の一部が回折され、残りのビームが第2の情報層44に集光される。このため、光ビーム7の強度は、再生専用型の場合よりも高く設定する必要がある。   In the thin film constituting the first information layer 42, like the phase change material, the optical constant of the thin film changes, and the changed state is detected as a change in reflectance. When a light beam is condensed on the second information layer 44 in a state where information is recorded on the first information layer 42, a part of the light transmitted on the first information layer 42 is diffracted. The remaining beam is focused on the second information layer 44. For this reason, the intensity of the light beam 7 needs to be set higher than in the case of the read-only type.

一方、信号再生の観点からは、分離層45の厚さd45を焦点深度以上、少なくとも焦点深度の5倍とすれば、第1の情報層42を透過する際の光ビームの中に含まれる記録マークの数はその2乗の25以上となり、クロストークなどの影響が小さくなる。   On the other hand, from the viewpoint of signal reproduction, if the thickness d45 of the separation layer 45 is not less than the focal depth and at least five times the focal depth, the recording included in the light beam transmitted through the first information layer 42 The number of marks is 25 or more of the square, and the influence of crosstalk or the like is reduced.

尚、第1の情報層42を、薄膜の磁化方向が変化する光磁気記録方式とした場合には、透過光が回折することはない。このため、上記のような記録前後における透過光の変化を考慮する必要はないので、有利である。しかし、記録のために第1の情報層42は一定の光吸収を行う必要がある。従って、照射する光の光量は再生専用型の場合よりも高く設定する方が望ましい。   If the first information layer 42 is a magneto-optical recording system in which the magnetization direction of the thin film changes, the transmitted light will not be diffracted. For this reason, there is no need to consider the change in transmitted light before and after recording as described above, which is advantageous. However, the first information layer 42 needs to absorb a certain amount of light for recording. Therefore, it is desirable to set the amount of light to be irradiated higher than in the case of the read-only type.

光記録媒体の特徴として、再生専用型の媒体と記録再生型の媒体を共存させることができるという点がある。また、同一媒体面上において、例えば内周領域に再生専用の領域を設け、外周領域に記録再生領域を設ける、いわゆるパーシャルROMディスクを作製することも可能である。   A characteristic of the optical recording medium is that a read-only medium and a recording / reproducing medium can coexist. Also, on the same medium surface, for example, it is possible to produce a so-called partial ROM disk in which a read-only area is provided in the inner peripheral area and a recording / reproducing area is provided in the outer peripheral area.

次に、ここまで述べてきた表面に凹凸を備えた2枚の基板を接着する記録媒体を更に拡張した、4つの情報層を備えた記録媒体について、図5を用いて説明する。   Next, a recording medium having four information layers, which is a further expansion of the recording medium for bonding two substrates having unevenness on the surface described so far, will be described with reference to FIG.

図5に示すように、第1の基板58の片側の表面には、情報信号に対応した情報ピット、光ビームのトラッキング制御を行うためのガイド溝、あるいはサンプルピットが形成されている。さらに、第1の基板58の片側の表面には、この第1の基板58に入射した光ビーム7の1部を透過し、かつ所定の反射率を有する第1の情報層59が成膜されている。第2の基板60の片側の表面には、情報信号に対応した情報ピット、光ビームのトラッキング制御を行うためのガイド溝、あるいはサンプルピットが形成されている。さらに、第2の基板60の片側の表面には、第1の情報層59の反射率よりも高い反射率を有する第2の情報層61が成膜されている。第1の情報層59と第2の情報層61とは対向して配置されており、これら第1の情報層59と第2の情報層61との間には、少なくとも1層の第1の分離層62が介在されている。第1の基板58と同等の厚さを有する第3の基板63の片側の表面には、情報信号に対応した情報ピット、光ビームのトラッキング制御を行うためのガイド溝、あるいはサンプルピットが形成されている。さらに、第3の基板63の片側の表面には、この第3の基板63に入射した光ビームの1部を透過し、かつ所定の反射率を有する第3の情報層64が成膜されている。第2の基板60と実質的に同等の厚さを有する第4の基板65の片側の表面には、情報信号に対応した情報ピット、光ビームのトラッキング制御を行うためのガイド溝、あるいはサンプルピットが形成されている。さらに、第4の基板65の片側の表面には、第3の情報層64の反射率よりも高い反射率を有する第4の情報層66が成膜されている。第3の情報層64と第4の情報層66とは対向して配置されており、これら第3の情報層64と第4の情報層66との間には、第1の分離層62と同等の厚さを有する少なくとも1層の透明な第2の分離層67が介在されている。また、第2の基板60と第4の基板65とは対向して配置されており、これら第2の基板60と第4の基板65との間には接着層68が介在されている。   As shown in FIG. 5, on one surface of the first substrate 58, information pits corresponding to information signals, guide grooves for performing light beam tracking control, or sample pits are formed. Further, on one surface of the first substrate 58, a first information layer 59 that transmits a part of the light beam 7 incident on the first substrate 58 and has a predetermined reflectance is formed. ing. On one surface of the second substrate 60, information pits corresponding to information signals, guide grooves for performing light beam tracking control, or sample pits are formed. Further, a second information layer 61 having a higher reflectance than that of the first information layer 59 is formed on one surface of the second substrate 60. The first information layer 59 and the second information layer 61 are arranged to face each other, and at least one first information layer 59 is provided between the first information layer 59 and the second information layer 61. A separation layer 62 is interposed. An information pit corresponding to an information signal, a guide groove for performing tracking control of a light beam, or a sample pit is formed on one surface of the third substrate 63 having the same thickness as the first substrate 58. ing. Further, a third information layer 64 that transmits a part of the light beam incident on the third substrate 63 and has a predetermined reflectance is formed on the surface of one side of the third substrate 63. Yes. An information pit corresponding to an information signal, a guide groove for performing light beam tracking control, or a sample pit is formed on one surface of a fourth substrate 65 having a thickness substantially equal to that of the second substrate 60. Is formed. Further, a fourth information layer 66 having a reflectance higher than that of the third information layer 64 is formed on the surface of one side of the fourth substrate 65. The third information layer 64 and the fourth information layer 66 are arranged to face each other, and the first separation layer 62 and the fourth information layer 66 are interposed between the third information layer 64 and the fourth information layer 66. At least one transparent second separation layer 67 having an equivalent thickness is interposed. In addition, the second substrate 60 and the fourth substrate 65 are disposed to face each other, and an adhesive layer 68 is interposed between the second substrate 60 and the fourth substrate 65.

上記構成の記録媒体は、接着層68を中心として上下対称な構造であることから、環境温度の変化などに対しても安定な構造であると言える。   Since the recording medium having the above configuration has a vertically symmetrical structure with the adhesive layer 68 as the center, it can be said that the recording medium is stable with respect to changes in environmental temperature.

以下、複数の情報層を備えた記録媒体の製造方法及び製造装置について説明する。   Hereinafter, a manufacturing method and a manufacturing apparatus for a recording medium having a plurality of information layers will be described.

2つの情報層のそれぞれを再生する場合に、2つの情報層の間隔が小さすぎると、他方の情報層の反射光あるいは透過光によって生じるクロストークによる再生信号の振幅変動、又はサーボ信号歪等の影響を受ける。逆に、2つの情報層の間隔が大きい場合には、いずれかの情報層で集光スポットに収差が発生する。これらの影響を小さくするためには、2つの情報層の間隔を一定の値に保つ必要があるが、このためには厚み精度の高い分離層を得ることが必要である。また、2つの情報層のそれぞれの表面に形成された情報ピット、サンプルピットあるいはガイド溝の円弧の中心位置がそれぞれ一致するように、両基板を接着することが必要である。但し、これは、記録媒体が円盤状で、回転状態で記録が行われる形態のものに限られる。2つの情報層を備えた媒体の場合には、1つの情報層を備えた媒体の場合に偏心許容量に、さらに各情報層間の中心位置ずれによる第2の偏心が加わった形でトラッキング制御を行う必要がある。本発明は、この第2の偏心をできる限り制御し、記録媒体としてのトラッキングサーボを補償しようとするものである。   When reproducing each of the two information layers, if the interval between the two information layers is too small, the amplitude of the reproduced signal due to crosstalk caused by the reflected or transmitted light of the other information layer, or servo signal distortion, etc. to be influenced. On the other hand, when the distance between the two information layers is large, aberration occurs in the focused spot in one of the information layers. In order to reduce these influences, it is necessary to keep the distance between the two information layers at a constant value. To this end, it is necessary to obtain a separation layer with high thickness accuracy. In addition, it is necessary to bond both substrates so that the center positions of the information pits, sample pits or arcs of the guide grooves formed on the surfaces of the two information layers coincide with each other. However, this is limited to a recording medium having a disk shape and recording in a rotating state. In the case of a medium having two information layers, tracking control is performed in the form of adding a second eccentricity due to a deviation of the center position between each information layer in addition to the allowable eccentricity in the case of a medium having one information layer. There is a need to do. The present invention intends to control the second eccentricity as much as possible to compensate for the tracking servo as a recording medium.

このような観点に立って、ここでは2つの基板の製造方法について説明する。但し、第1の基板はすべて従来と同じ方法で形成することを基本とする。すなわち、第1の基板は、マスタリング工程において原盤を作製し、金型内で射出成形を行うことによって得られる。第2の基板については、第1の基板と同じ工程を用いる場合と、情報ピットの凹凸を反転させるために原盤を再度複製した第2の原盤を用いる場合とがある。射出成形については、第1の基板の場合と同様の工程を用いることができる。尚、本実施例で用いる射出成形器においては、原盤上に形成されたスパイラル状又は同心円状の情報ピット及びガイド溝の中心と、第1及び第2の基板の中心孔を形成するセンター孔形成器の中心位置とが予め高い精度で一致している。この射出成形器を用いれば、中心孔と情報ピット又はガイド溝の中心の位置ずれの小さい第1及び第2の基板が得られる。   From this point of view, here, a method for manufacturing two substrates will be described. However, the first substrate is basically formed by the same method as the conventional one. That is, the first substrate can be obtained by producing a master in the mastering process and performing injection molding in a mold. As for the second substrate, there are a case where the same process as that of the first substrate is used and a case where a second master obtained by replicating the master again to reverse the unevenness of the information pits is used. For injection molding, the same process as that for the first substrate can be used. In the injection molding machine used in the present embodiment, the center hole formation for forming the center of the spiral or concentric information pits and guide grooves formed on the master and the center holes of the first and second substrates is performed. The center position of the vessel coincides with high accuracy in advance. By using this injection molding machine, it is possible to obtain the first and second substrates having a small positional deviation between the center hole and the center of the information pit or guide groove.

次に、第1及び第2の基板間を所定の厚さの分離層を用いて接着する接着装置について説明する。図6は接着装置の概略断面図である。図6に示すように、本接着装置は、第2の基板3を支持するための上部支持部61と、第1の基板1を支持し、かつ分離層を硬化させるための光源81を内臓した下部支持部62と、上部支持部61を昇降させるための昇降部63と、分離層を形成する樹脂材料80を第1の基板1に塗布するための樹脂塗布ノズル64と、系全体を支持するためのベース65とにより構成されている。   Next, a bonding apparatus for bonding the first and second substrates using a separation layer having a predetermined thickness will be described. FIG. 6 is a schematic sectional view of the bonding apparatus. As shown in FIG. 6, the bonding apparatus includes an upper support 61 for supporting the second substrate 3 and a light source 81 for supporting the first substrate 1 and curing the separation layer. The lower support part 62, the raising / lowering part 63 for raising and lowering the upper support part 61, the resin application nozzle 64 for applying the resin material 80 forming the separation layer to the first substrate 1, and the entire system are supported. The base 65 for this is comprised.

上部支持部61は、第2の基板3の平面で接して第2の基板3を固定する基板支持部66aと、基板支持部66aと昇降部63を連結する上部ベース部66bと、基板支持部66aの中央部に下方に突出して設けられ、下部支持部62の位置関係を補正するために先端にテーパ状の凹部が形成された上部シャフト84と、テーパ部によって第2の基板3の位置を調整する第1の内径案内部68とにより構成されている。尚、上部シャフト84の周囲には、第1の内径案内部68を一定の力で下方に押圧するスプリング69が設けられている。また、基板支持部66aの第2の基板3と接する領域には、第2の基板3を真空吸着によって固定するための吸着穴71が形成されており、基板支持部66aの内部に形成された排気穴70を通じて外部のポンプに排気する構造となっている。   The upper support portion 61 includes a substrate support portion 66a that contacts the plane of the second substrate 3 and fixes the second substrate 3, an upper base portion 66b that connects the substrate support portion 66a and the elevating portion 63, and a substrate support portion. An upper shaft 84 that protrudes downward from the central portion of 66a and has a tapered recess formed at the tip to correct the positional relationship of the lower support portion 62, and the position of the second substrate 3 by the tapered portion. A first inner diameter guide portion 68 to be adjusted is used. A spring 69 that presses the first inner diameter guide portion 68 downward with a constant force is provided around the upper shaft 84. Further, a suction hole 71 for fixing the second substrate 3 by vacuum suction is formed in a region in contact with the second substrate 3 of the substrate support portion 66a, and is formed inside the substrate support portion 66a. Exhaust holes 70 exhaust air to an external pump.

一方、下部支持部62は、第1の基板1を支持する基板支持部72と、ベース75に基板支持部72を固定し、かつ光源81を収容する光源ボックス73と、光源ボックス73の中央部に上方に突出して設けられ、上部シャフト84の凹部と対向するように先端にテーパ状の凸部が形成された下部シャフト74と、テーパ部によって第1の基板1の位置を調整する第2の内径案内部75とにより構成されている。尚、下部シャフト74の周囲には、第2の内径案内部75を一定の力で上方に押圧するスプリング46が設けられている。   On the other hand, the lower support portion 62 includes a substrate support portion 72 that supports the first substrate 1, a light source box 73 that fixes the substrate support portion 72 to the base 75 and accommodates the light source 81, and a central portion of the light source box 73. And a second shaft for adjusting the position of the first substrate 1 by the tapered portion. The lower shaft 74 has a tapered convex portion formed at the tip so as to face the concave portion of the upper shaft 84. It is comprised by the internal diameter guide part 75. FIG. A spring 46 is provided around the lower shaft 74 to press the second inner diameter guide portion 75 upward with a constant force.

光源81は、分離層を形成する樹脂材料80を硬化させるためのものであり、光源ボックス73の底面部でかつ基板支持部72の直下に配置されている。このため、基板支持部72は、光源81からの光を透過する材料、例えばガラス、あるいは樹脂材料などで形成されている。さらに、基板支持部72の第1の基板1と接する領域には、第1の基板1を真空吸着によって固定するための吸着穴78が形成されており、光源ボックス73の内部に形成された排気穴77を通じて外部のポンプに排気する構造となっている。光源ボックス73の第1の基板1よりも外側の位置で、かつ基板支持部66aと対向する位置には、分離層の厚さd5を得るためのスペーサ79が設けられている。   The light source 81 is for curing the resin material 80 that forms the separation layer, and is disposed on the bottom surface portion of the light source box 73 and directly below the substrate support portion 72. For this reason, the board | substrate support part 72 is formed with the material which permeate | transmits the light from the light source 81, for example, glass, or a resin material. Further, a suction hole 78 for fixing the first substrate 1 by vacuum suction is formed in a region in contact with the first substrate 1 of the substrate support portion 72, and an exhaust formed inside the light source box 73. It is structured to exhaust to an external pump through a hole 77. A spacer 79 for obtaining the separation layer thickness d5 is provided at a position outside the first substrate 1 of the light source box 73 and at a position facing the substrate support 66a.

樹脂塗布ノズル64は、外部の樹脂保存漕から押し出された樹脂材料80を先端から押し出し、第1の基板1上に塗布する。ここで、樹脂塗布ノズル64の先端は、第1の基板1の中心軸を中心として、第1の基板1の半径の約2/3を半径とする円周上を移動するようにされている。尚、樹脂塗布ノズル64は、樹脂材料80を第1の基板1上に塗布する時以外は下部支持部62上の領域から待避する。   The resin application nozzle 64 extrudes the resin material 80 extruded from the external resin storage basket from the tip and applies the resin material 80 onto the first substrate 1. Here, the tip of the resin application nozzle 64 moves on a circumference having a radius of about 2/3 of the radius of the first substrate 1 around the central axis of the first substrate 1. . The resin application nozzle 64 is retracted from the region on the lower support portion 62 except when the resin material 80 is applied on the first substrate 1.

図7に、本接着装置において所定の厚さの分離層を得るための構成を示す。図7は、図6に示した接着装置において、上部支持部61が下降し、第1の基板1と第2の基板3とが分離層5を介して接着された状態を示す一部断面図である。分離層5の厚さd5を得るために、第1及び第2の基板1、3の外周の近傍に厚さd79のスペーサ79が設けられている。スペーサ79の厚さd79は次の式が成立する値とする。   FIG. 7 shows a configuration for obtaining a separation layer having a predetermined thickness in the bonding apparatus. FIG. 7 is a partial cross-sectional view showing a state in which the upper support 61 is lowered and the first substrate 1 and the second substrate 3 are bonded via the separation layer 5 in the bonding apparatus shown in FIG. It is. In order to obtain the thickness d5 of the separation layer 5, a spacer 79 having a thickness d79 is provided in the vicinity of the outer periphery of the first and second substrates 1 and 3. The thickness d79 of the spacer 79 is a value that satisfies the following equation.

d79=d1+d3+d5 (7)
ここで、d1は第1の基板1の厚さ、d3は第2の基板3の厚さである。
d79 = d1 + d3 + d5 (7)
Here, d1 is the thickness of the first substrate 1, and d3 is the thickness of the second substrate 3.

一方、第1及び第2の基板1、3の内周部においても厚さd5の分離層5を得るために、上部シャフト67と下部シャフト74の長さd67、d74を、基板支持部66aの厚さをd65、光源ボックス73の厚さをd73とした場合に、次の式が成立する値とする。   On the other hand, in order to obtain the separation layer 5 having the thickness d5 also in the inner peripheral portions of the first and second substrates 1 and 3, the lengths d67 and d74 of the upper shaft 67 and the lower shaft 74 are set to the substrate support portion 66a. When the thickness is d65, and the thickness of the light source box 73 is d73, the following equation is established.

d67+d74=d65+d73+d1+d3+d5 (8)
これら各部の値の精度を高めれば、内周から外周部にわたって厚さムラの小さい分離層5が得られる。
d67 + d74 = d65 + d73 + d1 + d3 + d5 (8)
If the accuracy of the values of these parts is increased, the separation layer 5 with small thickness unevenness can be obtained from the inner periphery to the outer periphery.

図6、図8を用いて、本接着装置において第1及び第2の情報層間で偏心の少ない接着を行うための構成を説明する。上部支持部61と下部支持部62とは、上部シャフト84の凹部のテーパ部82と下部シャフト74の凹部のテーパ部83によりその中心位置が調整される。昇降部63によって上部支持部61が下降した場合、初めに上部シャフト84の凹部のテーパ部82と下部シャフト74の凹部のテーパ部83とによって上部支持部61と下部支持部62の中心位置が補正され、最下点で両シャフト67、74の水平面が接した状態で、上部支持部61と下部支持部62の中心位置のずれは両シャフト67、74の加工精度で決まる数μm以下となる。   A configuration for performing bonding with little eccentricity between the first and second information layers in the bonding apparatus will be described with reference to FIGS. 6 and 8. The center positions of the upper support portion 61 and the lower support portion 62 are adjusted by the tapered portion 82 of the concave portion of the upper shaft 84 and the tapered portion 83 of the concave portion of the lower shaft 74. When the upper support 61 is lowered by the elevating part 63, the center positions of the upper support 61 and the lower support 62 are first corrected by the tapered part 82 of the recessed part of the upper shaft 84 and the tapered part 83 of the recessed part of the lower shaft 74. In the state where the horizontal surfaces of the shafts 67 and 74 are in contact with each other at the lowest point, the deviation of the center position between the upper support portion 61 and the lower support portion 62 is several μm or less determined by the processing accuracy of the shafts 67 and 74.

第1及び第2の基板1、3と上部シャフト84、下部シャフト74との位置関係を一定に保つために、両シャフトの84、74の円柱部に接し、かつシャフト84、74と同じ中心軸を有する第1及び第2の内径案内部68、75が設けられている。第1及び第2の内径案内部68、75は、先端の直径D68、D75がそれぞれ基板3、1の中心孔の直径D3、D1よりも小さく、他端の直径D69、D76が基板3、1の中心孔の直径D3、D1よりも大きいテーパ状に形成されている。また、第1及び第2の内径案内部68、75は、それぞれ上部シャフト84、下部シャフト74の上下方向に移動可能であり、両シャフト84、74の周囲に設けられたスプリング69、76によって第2の基板3を押し下げ、第1の基板1を押し上げる方向に力を加える。上記したように、第1及び第2の基板1、3の直径D1、D3の中心孔は、射出成形器により高い位置精度で形成される。この基板3、1の中心孔は、第1及び第2の内径案内部68、75のテーパ部によって受けられる。基板3、1は、基板支持部66a、72に形成された吸着穴71、78を通じて吸着され、第1及び第2の内径案内部68、75のテーパ部が基板3、1の中心孔に接した状態で、基板3、1が基板支持部66a、72の表面に固定される。これにより、第2の基板3の情報層の中心軸と上部支持部61の中心軸は、機械精度に近い値で一致する。同様に、第1の基板1の情報層の中心軸と下部支持部62の中心軸も、機械精度に近い値で一致する。この状態で上部支持部61を下降させれば、上部シャフト84のテーパ部82と下部シャフト74のテーパ部83とにより、第1の基板1の情報層の中心軸と第2の基板3の情報層の中心軸を一致させることができる。   In order to keep the positional relationship between the first and second substrates 1 and 3 and the upper shaft 84 and the lower shaft 74 constant, they are in contact with the cylindrical portions of both shafts 84 and 74 and have the same central axis as the shafts 84 and 74. There are provided first and second inner diameter guides 68 and 75 having the following. The first and second inner diameter guide portions 68 and 75 have tip diameters D68 and D75 smaller than the diameters D3 and D1 of the center holes of the substrates 3 and 1, respectively, and diameters D69 and D76 at the other ends of the substrates 3 and 1. It is formed in a taper shape larger than the diameters D3 and D1 of the center hole. The first and second inner diameter guide portions 68 and 75 are movable in the vertical direction of the upper shaft 84 and the lower shaft 74, respectively. The first and second inner diameter guide portions 68 and 75 are moved by the springs 69 and 76 provided around the shafts 84 and 74, respectively. The second substrate 3 is pushed down, and a force is applied in the direction in which the first substrate 1 is pushed up. As described above, the center holes having the diameters D1 and D3 of the first and second substrates 1 and 3 are formed with high positional accuracy by the injection molding machine. The central holes of the substrates 3 and 1 are received by the tapered portions of the first and second inner diameter guide portions 68 and 75. The substrates 3 and 1 are sucked through suction holes 71 and 78 formed in the substrate support portions 66 a and 72, and the tapered portions of the first and second inner diameter guide portions 68 and 75 are in contact with the center holes of the substrates 3 and 1. In this state, the substrates 3 and 1 are fixed to the surfaces of the substrate support portions 66a and 72. Thereby, the central axis of the information layer of the second substrate 3 and the central axis of the upper support portion 61 coincide with each other with a value close to the mechanical accuracy. Similarly, the central axis of the information layer of the first substrate 1 and the central axis of the lower support portion 62 coincide with each other with a value close to mechanical accuracy. If the upper support portion 61 is lowered in this state, the taper portion 82 of the upper shaft 84 and the taper portion 83 of the lower shaft 74 cause the central axis of the information layer of the first substrate 1 and the information of the second substrate 3. The central axes of the layers can be matched.

以上の構成を有する接着装置を用いれば、2つの情報層のそれぞれの表面に形成された情報ピット、サンプルピットあるいはガイド溝の円弧の偏心ずれの小さい記録媒体を得ることが可能となる。   If the bonding apparatus having the above configuration is used, it is possible to obtain a recording medium with small eccentric deviation of the information pits, sample pits, or guide groove arcs formed on the surfaces of the two information layers.

次に、2つの情報層を備えた光記録媒体の製造方法について、図6の接着装置と図9の工程図を用いて説明する。   Next, a method for manufacturing an optical recording medium having two information layers will be described with reference to the bonding apparatus in FIG. 6 and the process diagram in FIG.

まず、図9(a)に示すように、片側の表面に情報信号に対応した情報ピット、光ビームのトラッキング制御を行うためのガイド溝、あるいはサンプルピットのいずれかが形成された第1の基板1上に、光ビームの1部を透過し、かつ所定の反射率を有する第1の情報層2のスパッタリング又は蒸着法によって成膜する。また、図9(b)に示すように、片側の表面に情報信号に対応した情報ピット、光ビームのトラッキング制御を行うためのガイド溝、あるいはサンプルピットのいずれかが形成され、かつ第1の基板1と実質的に同じ厚さを有する第2の基板3上に、第1の情報層2の反射率よりも高い反射率を有する第2の情報層4をスパッタリング又は蒸着法によって成膜する。次いで、接着装置の基板支持部72に第1の基板1を固定し、図9(c)に示すように、樹脂塗布ノズル64を用いて第1の情報層2上に光硬化性の樹脂材料80を塗布する。次いで、接着装置の基板支持部66aに第2の基板3を装着し、昇降部63によって上部支持部61をスペーサ79に接するまで下降させ、第2の基板3と第1の基板1を分離層5の厚さd5の間隔で接着する(図9(d))。次いで、図9(e)に示すように、光源81からの光73を第1の基板1側から照射し、樹脂材料80を硬化させて分離層5を形成する。以上の工程により、2つの情報層2、4を備えた記録媒体が得られる。   First, as shown in FIG. 9 (a), a first substrate on which one of information pits corresponding to an information signal, a guide groove for performing light beam tracking control, or a sample pit is formed on one surface. 1 is formed by sputtering or vapor deposition of the first information layer 2 that transmits a part of the light beam and has a predetermined reflectance. Further, as shown in FIG. 9B, either one of the information pit corresponding to the information signal, the guide groove for performing the tracking control of the light beam, or the sample pit is formed on the surface on one side, and the first pit is formed. On the 2nd board | substrate 3 which has the substantially same thickness as the board | substrate 1, the 2nd information layer 4 which has a reflectance higher than the reflectance of the 1st information layer 2 is formed into a film by sputtering or a vapor deposition method. . Next, the first substrate 1 is fixed to the substrate support portion 72 of the bonding apparatus, and a photocurable resin material is formed on the first information layer 2 using the resin application nozzle 64 as shown in FIG. 80 is applied. Next, the second substrate 3 is mounted on the substrate support part 66a of the bonding apparatus, and the upper support part 61 is lowered by the elevating part 63 until it contacts the spacer 79, so that the second substrate 3 and the first substrate 1 are separated from each other. Adhesion is performed at an interval of a thickness d5 of 5 (FIG. 9D). Next, as shown in FIG. 9E, the light 73 from the light source 81 is irradiated from the first substrate 1 side, the resin material 80 is cured, and the separation layer 5 is formed. Through the above steps, a recording medium including two information layers 2 and 4 is obtained.

以上のような方法を採用すれば、原盤を剥離する工程が不要で、単に予め形成された情報ピット面を有する基板を接着することにより、2層構造の記録媒体を得ることができる。その結果、製造時の歩留まりが向上する。   If the method as described above is adopted, a step of peeling the master disc is unnecessary, and a recording medium having a two-layer structure can be obtained by simply bonding a substrate having an information pit surface formed in advance. As a result, the manufacturing yield is improved.

尚、ここでは、樹脂材料80を第1の情報層2上に塗布する場合を例に挙げて説明したが、第2の情報層4上に樹脂材料80を塗布してもよい。   Here, the case where the resin material 80 is applied onto the first information layer 2 has been described as an example, but the resin material 80 may be applied onto the second information layer 4.

次に、4つの情報層を備えた光記録媒体の製造方法について、図6の接着装置と図10の工程図を用いて説明する。   Next, a method for manufacturing an optical recording medium having four information layers will be described with reference to the bonding apparatus in FIG. 6 and the process diagram in FIG.

まず、図10(a)に示すように、片側の表面に情報信号に対応した情報ピット、光ビームのトラッキング制御を行うためのガイド溝、あるいはサンプルピットのいずれかが形成された第1の基板59上に、光ビームの1部を透過し、かつ所定の反射率を有する第1の情報層59をスパッタリング又は蒸着法によって成膜する。また、図10(b)に示すように、片側の表面に情報信号に対応した情報ピット、光ビームのトラッキング制御を行うためのガイド溝、あるいはサンプルピットのいずれかが形成された第2の基板60上に、第1の情報層59の反射率よりも高い反射率を有する第2の情報層61を成膜する。   First, as shown in FIG. 10 (a), a first substrate on which one of information pits corresponding to an information signal, a guide groove for performing light beam tracking control, or a sample pit is formed on one surface. A first information layer 59 that transmits a part of the light beam and has a predetermined reflectance is formed on the substrate 59 by sputtering or vapor deposition. Further, as shown in FIG. 10B, the second substrate on which one of the information pit corresponding to the information signal, the guide groove for performing the tracking control of the light beam, or the sample pit is formed on one surface. A second information layer 61 having a higher reflectance than that of the first information layer 59 is formed on the film 60.

次いで、接着装置の基板支持部72に第1の基板58を固定し、図10(c)に示すように、樹脂塗布ノズル64を用いて第1の情報層59上に光硬化性の樹脂材料80を塗布する。次いで、接着装置の基板支持部66aに第2の基板60を装着し、昇降部63によって上部支持部61をスペーサ79に接するまで下降させ、第2の基板60と第1の基板58を分離層62の厚さd62の間隔で接着する。次いで、光源81からの光102を第1の基板58側から照射し、樹脂材料80を硬化させて第1の分離層62を形成する(以上、図10(d))。以上の工程により、第1の片側2層媒体101が得られる。   Next, the first substrate 58 is fixed to the substrate support portion 72 of the bonding apparatus, and the photocurable resin material is formed on the first information layer 59 using the resin application nozzle 64 as shown in FIG. 80 is applied. Next, the second substrate 60 is mounted on the substrate support portion 66a of the bonding apparatus, and the upper support portion 61 is lowered by the elevating portion 63 until it contacts the spacer 79, so that the second substrate 60 and the first substrate 58 are separated from each other. Bonding is performed at an interval of thickness d62 of 62. Next, the light 102 from the light source 81 is irradiated from the first substrate 58 side, and the resin material 80 is cured to form the first separation layer 62 (FIG. 10D). Through the above steps, the first one-sided two-layer medium 101 is obtained.

この方法において、図9の工程と異なる点は、図9では厚さが同等の第1及び第2の基板1、3を接着していたのに対し、本構成では、第1の基板58と接着する第2の基板60の厚さが限定されない点である。この場合には、接着装置におけるスペーサ79の厚さ及び上部シャフト84、下部シャフト74の長さを変更する必要がある。   In this method, the difference from the process of FIG. 9 is that the first and second substrates 1 and 3 having the same thickness are bonded in FIG. The thickness of the second substrate 60 to be bonded is not limited. In this case, it is necessary to change the thickness of the spacer 79 and the lengths of the upper shaft 84 and the lower shaft 74 in the bonding apparatus.

図10(a)〜(d)と同様の工程(図10(e)〜(h))により、第3の基板63と第4の基板65を接着した第2の片側2層媒体103が得られる。図10(e)〜(h)中、64は第3の情報層、66は第4の情報層、67は第2の分離層、104は光源81からの光である。この場合、第1の基板58の厚さと第3の基板63の厚さは実質的に等しいのが好ましく、また、第2の基板60の厚さと第4の基板65の厚さは実質的に等しいのが好ましい。尚、第2及び第4の基板60、65の形成方法としては、必ずしも第1及び第3の基板58、63と同じ形成方法を用いる必要はなく、記録媒体として全体の基材厚さを薄く保つために、薄型化が容易な例えば光重合法を用いて形成してもよい。   A second one-sided two-layer medium 103 in which the third substrate 63 and the fourth substrate 65 are bonded is obtained by the same steps (FIGS. 10E to 10H) as in FIGS. It is done. 10E to 10H, reference numeral 64 denotes a third information layer, 66 denotes a fourth information layer, 67 denotes a second separation layer, and 104 denotes light from the light source 81. In this case, the thickness of the first substrate 58 and the thickness of the third substrate 63 are preferably substantially equal, and the thickness of the second substrate 60 and the thickness of the fourth substrate 65 are substantially equal. Preferably equal. The second and fourth substrates 60 and 65 are not necessarily formed using the same formation method as the first and third substrates 58 and 63, and the entire base material thickness is reduced as a recording medium. In order to keep it, it may be formed by using, for example, a photopolymerization method that can be easily thinned.

次いで、図6に示す接着装置と同様の構造の接着装置を用いて、上記第1の片側2層媒体101と上記第2の片側2層媒体103を接着する。まず、図10(i)に示すように、第1の片側2層媒体101の第2の基板60上に光硬化性の樹脂材料105を塗布する。次いで、図10(j)に示すように、第2の基板60と第4の基板65とを接着し、続いて光源81からの光106を第1の基板58側から照射することによって樹脂材料105を硬化させ、接着層68を形成する。以上の工程により、4層構造の記録媒体が得られる。但し、図10(j)に示した接着工程では、図6の接着装置のスペーサ79及び上部シャフト84、下部シャフト74の長さを、記録媒体の全体の厚さ、第1及び第2の分離層62、67の厚さ、第1〜第4の情報層59、61、64、66の厚さに応じて変更することが必要である。また、図10(j)の露光時においては、光源81からの光106が第1及び第2の情報層59、61を透過した後に、樹脂材料105に到達することとなるので、例えば図9(e)、図10(d)又は図10(h)に示した露光工程の場合よりも、光量を大幅に高めた光106を照射することが必要である。   Next, the first single-sided double-layer medium 101 and the second single-sided double-layer medium 103 are bonded using an adhesive device having the same structure as the bonding device shown in FIG. First, as shown in FIG. 10 (i), a photo-curable resin material 105 is applied on the second substrate 60 of the first one-sided two-layer medium 101. Next, as shown in FIG. 10 (j), the second substrate 60 and the fourth substrate 65 are bonded together, and then the light 106 from the light source 81 is irradiated from the first substrate 58 side to thereby form a resin material. 105 is cured to form an adhesive layer 68. Through the above steps, a recording medium having a four-layer structure is obtained. However, in the bonding step shown in FIG. 10J, the lengths of the spacer 79, the upper shaft 84, and the lower shaft 74 of the bonding apparatus in FIG. 6 are set to the total thickness of the recording medium, and the first and second separations. It is necessary to change the thickness according to the thickness of the layers 62 and 67 and the thickness of the first to fourth information layers 59, 61, 64 and 66. In the exposure shown in FIG. 10J, the light 106 from the light source 81 reaches the resin material 105 after passing through the first and second information layers 59 and 61. For example, FIG. (E) It is necessary to irradiate the light 106 with a significantly increased amount of light as compared with the exposure process shown in FIG. 10 (d) or FIG. 10 (h).

尚、第1及び第2の片面2層媒体101、103を接着する際に用いる樹脂材料105としては、光ビームに対して吸収を示すものでもよく、また、必ずしも光硬化性の樹脂を用いる必要はない。例えば、熱硬化性樹脂、ホットメルト接着剤あるいはその他の接着剤を用いることもできる。従って、図10(j)の工程においては、光照射は必須ではない。   The resin material 105 used when the first and second single-sided two-layer media 101 and 103 are bonded may be one that absorbs light beams, and it is necessary to use a photo-curable resin. There is no. For example, a thermosetting resin, a hot melt adhesive, or other adhesives can be used. Therefore, light irradiation is not essential in the process of FIG.

以上のような方法を採用すれば、原盤を剥離する工程が不要で、単に予め形成された情報ピット面を有する基板を、順次接着することにより、4層構造の記録媒体を得ることができる。その結果、製造時の歩留まりが向上する。この4層構造の記録媒体は、2層構造の記録媒体を得るために必要な接着工程を、3回繰り返すことによって得られる。すなわち、4層構造の記録媒体は、基本的に同一の製造装置を用いることによって実現することができ、2層構造の記録媒体の場合とほぼ同様の方法によって実現することができる。   If the method as described above is adopted, a step of peeling off the master is not required, and a recording medium having a four-layer structure can be obtained by simply sequentially bonding a substrate having an information pit surface formed in advance. As a result, the manufacturing yield is improved. This four-layered recording medium can be obtained by repeating the adhesion step necessary to obtain a two-layered recording medium three times. That is, a recording medium having a four-layer structure can be realized basically by using the same manufacturing apparatus, and can be realized by a method almost the same as that of a recording medium having a two-layer structure.

次に、上記の方法で作製した本発明の光学的情報記録媒体の記録再生を行う記録再生装置について、図11を用いて説明する。図11に示すように、本記録再生装置は、基本的に、複数の情報層を備えた光学的情報記録媒体である光ディスク111と、光ディスク111を回転させるスピンドルモータ112と、レーザ光等の光源121から発生した光ビームを集光する光ピックアップ部113と、スピンドルモータ112及び光ピックアップ部113を制御する5つの回路系とにより構成されている。第1の回路系は、光ピックアップ部113の光源121を駆動する光変調系114である。第2の回路系は、光ピックアップ部113から出射した光を光ディスク111上に集光させ、かつ情報ピットあるいはガイド溝上に光ビームを追従させるトラッキング等の光ビームの動作を制御する制御系115である。第3の回路系は、光ディスク111上に形成された情報信号を読み取るための信号再生系116である。前記3つの各回路系の少なくとも1つは、それぞれの情報層に対して最適な条件を設定することができるように、2種類以上の条件設定機能を備えている。第4の回路系は、光ビームがいずれの情報層を追従するかに応じて、前記3つの回路系の条件を切り換える層選択系117である。第5の回路系は、前記4つの回路系の動作のタイミングを制御するシステム制御系118である。   Next, a recording / reproducing apparatus for recording / reproducing the optical information recording medium of the present invention produced by the above method will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 11, this recording / reproducing apparatus basically includes an optical disc 111 that is an optical information recording medium having a plurality of information layers, a spindle motor 112 that rotates the optical disc 111, and a light source such as a laser beam. The optical pickup unit 113 condenses the light beam generated from 121, and five circuit systems that control the spindle motor 112 and the optical pickup unit 113. The first circuit system is an optical modulation system 114 that drives the light source 121 of the optical pickup unit 113. The second circuit system is a control system 115 that controls the operation of the light beam such as tracking for converging the light emitted from the optical pickup unit 113 on the optical disk 111 and tracking the light beam on the information pit or guide groove. is there. The third circuit system is a signal reproduction system 116 for reading an information signal formed on the optical disk 111. At least one of the three circuit systems has two or more types of condition setting functions so that an optimum condition can be set for each information layer. The fourth circuit system is a layer selection system 117 that switches the conditions of the three circuit systems depending on which information layer the light beam follows. The fifth circuit system is a system control system 118 that controls the operation timing of the four circuit systems.

本発明は、複数の情報層に情報を記録するか、あるいは記録された情報を再生するに当たり、層選択系117を用いて、上記の回路系の条件を最適に選択することにより、複数の情報層にエラーの少ない情報を記録したり、複数の情報層からエラーの少ない情報を再生したりすることを可能にする。   The present invention records information on a plurality of information layers, or reproduces recorded information by using the layer selection system 117 to optimally select the above-mentioned circuit system conditions. It is possible to record information with few errors in a layer and to reproduce information with few errors from a plurality of information layers.

光ディスク111から情報信号を再生する際には、システム制御系118が回転制御部119を制御し、スピンドルモータ112を駆動して、光ディスク111を一定の速度で回転させる。また、システム制御系118から再生状態であることを示す制御信号がレーザ駆動部120に入力され、光ピックアップ部113から出射する光の強度がシステム制御系118の指示する再生パワー値となるように、光源121に流れる電流が制御される。光源121から放射された光ビームは、光ピックアップ部113の光学系と最終の対物レンズ122とを経て集光ビームとなり、光ディスク111に照射される。   When reproducing an information signal from the optical disk 111, the system control system 118 controls the rotation control unit 119, drives the spindle motor 112, and rotates the optical disk 111 at a constant speed. Also, a control signal indicating that the reproduction is in progress is input from the system control system 118 to the laser driving unit 120 so that the intensity of the light emitted from the optical pickup unit 113 becomes the reproduction power value indicated by the system control system 118. The current flowing through the light source 121 is controlled. The light beam emitted from the light source 121 passes through the optical system of the optical pickup unit 113 and the final objective lens 122 to become a condensed beam and is irradiated onto the optical disc 111.

光ディスク111で反射された光ビームは、再び対物レンズ122、光ピックアップ部113内の光学系を経て、複数に分割された受光面を有する光検出器123に入射する。光検出器123は、入射した光を光電変換し、各受光面の光量の変化に対応した電圧の信号を信号再生系116に出力する。光検出器123からの出力信号は、プリアンプ124によって増幅され、その中の低周波数成分によって光ビーム位置の制御が行われる。   The light beam reflected by the optical disk 111 passes through the objective lens 122 and the optical system in the optical pickup unit 113 again, and enters a photodetector 123 having a light receiving surface divided into a plurality of parts. The photodetector 123 photoelectrically converts the incident light and outputs a voltage signal corresponding to the change in the light amount of each light receiving surface to the signal reproduction system 116. The output signal from the photodetector 123 is amplified by the preamplifier 124, and the position of the light beam is controlled by the low frequency component therein.

フォーカス制御部126は、光検出器123の各受光面からの出力信号の一部を用いてフォーカス誤差信号を得、その信号によってボイスコイル125を駆動する。これにより、対物レンズ122が光ディスク111の面に対して垂直方向に僅かに移動するように制御され、光ディスク111上の情報層上に光ビームが集光する。システム制御系118は、制御信号S03に従ってフォーカシングする情報層を指定する層選択信号を層選択系117に出力し、層選択系117は光変調系114、制御系115、信号再生系116の動作を情報層に応じて切り換える。これにより、光ディスク111上のいずれかの情報層の信号を再生することが可能となる。   The focus control unit 126 obtains a focus error signal by using a part of the output signal from each light receiving surface of the photodetector 123, and drives the voice coil 125 by the signal. Thereby, the objective lens 122 is controlled to move slightly in the direction perpendicular to the surface of the optical disc 111, and the light beam is condensed on the information layer on the optical disc 111. The system control system 118 outputs to the layer selection system 117 a layer selection signal that designates an information layer to be focused according to the control signal S03. The layer selection system 117 performs operations of the light modulation system 114, the control system 115, and the signal reproduction system 116. Switch according to the information layer. Thereby, it is possible to reproduce the signal of any information layer on the optical disc 111.

層識別部132は、2値化部130の出力信号から層識別信号を復調し、いずれの情報層がフォーカス状態にあるかを識別する。フォーカス状態にある情報層が対象とする情報層でない場合には、フォーカスジャンプ回路133がフォーカス位置を情報層間で順次移動させる。フォーカスジャンプ回路133は、ボイスコイル125を光ディスク111に対して垂直方向に瞬時に移動させるためのパルス電圧を、フォーカス制御部126の出力信号に重畳する。これにより、対象とする情報層に光ビームを集光することが可能となる。   The layer identification unit 132 demodulates the layer identification signal from the output signal of the binarization unit 130 and identifies which information layer is in the focus state. When the information layer in the focus state is not the target information layer, the focus jump circuit 133 sequentially moves the focus position between the information layers. The focus jump circuit 133 superimposes a pulse voltage for instantaneously moving the voice coil 125 in the vertical direction with respect to the optical disc 111 on the output signal of the focus control unit 126. This makes it possible to focus the light beam on the target information layer.

トラッキング制御部127は、情報ピットあるいはガイド溝を光ビームが追従するように、光検出器123の他の出力信号の組合せからトラッキング制御信号を得、その信号によってボイスコイル125を光ディスク111の半径方向に僅かに移動させる。再生専用型の情報層を再生する場合には、層選択系117の指示により、極性反転器128が情報層間でトラッキング極性の切り換えを行い、光ビームが再生専用型の情報層の情報ピットを再生するように、位相差法又は3ビーム法などを用いてトラッキングを行う。一方、記録再生型の情報層を再生する場合には、層選択系117の指示により、極性反転器128が情報層間でトラッキング極性又はトラッキング方法の切り換えを行い、光ビームが記録再生型の情報層の情報ピットを再生するように、情報層がガイド溝を備えている場合にはプッシュ・プル法を用いて、また情報層がウォブルピットで構成されている場合にはサンプルサーボ法を用いてトラッキングを行う。情報層の種類に応じてトラッキング方法を切り換えることにより、両方の情報層の記録密度を高めることができる。   The tracking control unit 127 obtains a tracking control signal from another output signal combination of the photodetector 123 so that the light beam follows the information pit or guide groove, and the voice coil 125 is moved in the radial direction of the optical disk 111 by the signal. Move slightly. When reproducing the read-only information layer, the polarity inverter 128 switches the tracking polarity between the information layers according to the instruction of the layer selection system 117, and the light beam reproduces the information pit of the read-only information layer. As described above, tracking is performed using a phase difference method or a three-beam method. On the other hand, when reproducing a recording / reproducing type information layer, the polarity inverter 128 switches the tracking polarity or the tracking method between the information layers in accordance with an instruction from the layer selection system 117, and the light beam is changed to the recording / reproducing type information layer. If the information layer has a guide groove, use the push-pull method. If the information layer consists of wobble pits, use the sample servo method for tracking. I do. By switching the tracking method according to the type of information layer, the recording density of both information layers can be increased.

トラッキングジャンプ回路129は、ボイスコイル125を光ディスク111の半径方向に瞬時に移動させるためのパルス電圧を、トラッキング制御部127の出力信号に重畳する。これにより、対象とするトラック上に光ビームを移動させることが可能となる。   The tracking jump circuit 129 superimposes a pulse voltage for instantaneously moving the voice coil 125 in the radial direction of the optical disc 111 on the output signal of the tracking control unit 127. As a result, the light beam can be moved onto the target track.

トラッキング制御部127からの出力により、極性反転器128は、情報層の情報ピットの形成方向、あるいはガイド溝のランドとグルーブのいずれの面に光ビームを追従させるかに応じて、その極性を反転させる。   Based on the output from the tracking control unit 127, the polarity inverter 128 inverts the polarity according to the direction in which the information pits are formed in the information layer or the surface of the guide groove land or groove. Let

尚、記録媒体が、例えば図2(a)に示すように、同じマスタリング工程によって得られた第1及び第2の基板1、3を用いて作製されている場合には、光ビーム7の入射側から見て第1の情報層2と第2の情報層4との間でピットの凹凸の方向が逆となる。このような構造の2層媒体に対しては、フォーカスジャンプ回路133によってフォーカス位置を情報層2、4間で移動させると同時に、極性反転器128によって情報層2、4間でトラッキング極性の切り換えを行うことにより、瞬時に対象とする情報層の情報ピット上に光ビームを移動させることができる。従って、この方式によれば、情報再生時における情報層間でのアクセス時間が短縮される。   When the recording medium is manufactured using the first and second substrates 1 and 3 obtained by the same mastering process, for example, as shown in FIG. When viewed from the side, the direction of the pit irregularities is reversed between the first information layer 2 and the second information layer 4. For the two-layer medium having such a structure, the focus jump circuit 133 moves the focus position between the information layers 2 and 4, and the polarity inverter 128 switches the tracking polarity between the information layers 2 and 4. By doing so, the light beam can be instantaneously moved onto the information pits of the target information layer. Therefore, according to this method, the access time between information layers at the time of information reproduction is shortened.

信号再生系116の2値化部130は、プリアンプ124からの信号の高周波成分を用いてその信号レベルを基準レベルと比較することにより、2値化信号に変換する。次に、デコーダ131は、2値化信号を所定の信号フォーマットに従って復調する。これにより、光ディスク111上に形成されている記録マークからの情報信号が復調され、システム制御系118の指示に従って復調情報S02が外部装置に送り出される。   The binarization unit 130 of the signal reproduction system 116 uses the high frequency component of the signal from the preamplifier 124 and compares the signal level with a reference level to convert it to a binarized signal. Next, the decoder 131 demodulates the binarized signal according to a predetermined signal format. As a result, the information signal from the recording mark formed on the optical disk 111 is demodulated, and the demodulated information S02 is sent to the external device in accordance with an instruction from the system control system 118.

また、必要に応じて、光ディスク111上の特定の領域に形成された情報層の再生条件あるいは記録条件に関する情報が、層認識部132によって復調される。層認識部132は、情報層を識別するだけでなく、情報層自身の形態などの情報を復調する機能をも併せ持つ。これらの情報は、記録媒体を作製する製造工程の中で記録しておくのが望ましい。内容としては、情報層が再生専用型であるか、記録再生型であるかを識別するための識別情報、あるいは情報層間で生じる特性差を補正するための情報であり、各情報層での光照射の最適条件、フォーカス制御又はトラッキング制御の最適条件、再生信号を復調する際の最適条件等の情報がある。   Further, the layer recognizing unit 132 demodulates information regarding the reproduction condition or recording condition of the information layer formed in a specific area on the optical disc 111 as necessary. The layer recognizing unit 132 not only identifies an information layer but also has a function of demodulating information such as the form of the information layer itself. These pieces of information are desirably recorded during the manufacturing process for producing the recording medium. The contents include identification information for identifying whether the information layer is a reproduction-only type or a recording / reproduction type, or information for correcting a characteristic difference generated between information layers. There are information such as the optimum condition for irradiation, the optimum condition for focus control or tracking control, and the optimum condition for demodulating the reproduction signal.

複数の情報層に情報を記録する場合には、まず、システム制御系118が、所定のタイミングで記録される情報からなる記録情報S01を、光変調系114に取り込む。光変調系114は、まず、エンコーダ134によって記録信号を所定のフォーマットの記録信号に変換し、さらに、パルスの分割あるいは強度変化を設定する波形設定器135の条件に従って、レーザ駆動部120により光源121の光強度を変調する。この強度変調された光は、光ディスク111上の記録層に吸収される。これにより、光ディスク111上の記録層に再生マークが形成され、情報の記録が行われる。   When recording information on a plurality of information layers, first, the system control system 118 takes in the recording information S01 including information recorded at a predetermined timing into the light modulation system 114. The optical modulation system 114 first converts the recording signal into a recording signal of a predetermined format by the encoder 134, and further the light source 121 by the laser driving unit 120 according to the conditions of the waveform setting unit 135 for setting the pulse division or intensity change. Modulates the light intensity. This intensity-modulated light is absorbed by the recording layer on the optical disk 111. As a result, a reproduction mark is formed on the recording layer on the optical disc 111, and information is recorded.

尚、波形設定部135は、各情報層の記録に最適な記録パターンを備えており、層選択系117の出力に同期して、その出力を変化させる。また、レーザ駆動部120は、各情報層のそれぞれに対応した変調波形に基づいて、光源121からの光を強度変調する。   The waveform setting unit 135 has a recording pattern that is optimal for recording each information layer, and changes its output in synchronization with the output of the layer selection system 117. Further, the laser driving unit 120 modulates the intensity of the light from the light source 121 based on the modulation waveform corresponding to each information layer.

以上のような構成を採用すれば、複数の情報層から最適な条件で情報信号を再生することが可能となり、また、複数の情報層に最適な条件で情報信号を記録し、記録した情報を再生することが可能となる。   By adopting the configuration as described above, it is possible to reproduce information signals from a plurality of information layers under optimum conditions, and also record information signals under optimum conditions in a plurality of information layers, and record the recorded information. It can be played back.

以下、記録再生装置のそれぞれの具体的な動作について詳細に説明する。   Hereinafter, each specific operation of the recording / reproducing apparatus will be described in detail.

図12に、光ピックアップ部の構成を示す。ここでは、フォーカス方式としてナイフエッジ法を用い、トラッキング方式としてプッシュ・プル法を用いた場合を例に挙げて説明する。   FIG. 12 shows the configuration of the optical pickup unit. Here, a case where the knife edge method is used as the focus method and the push-pull method is used as the tracking method will be described as an example.

図12に示すように、光源121からの光は、コリメートレンズ140を経て平行ビームとなり、ビームスプリッター141で反射された後、λ/4板142、対物レンズ122を経て光ディスク111に照射される。光ディスク111からの反射光は、対物レンズ122、λ/4板142、ビームスプリッター141を透過し、レンズ143を経てミラー144で一部が反射され、トラッキング用の複数の受光面を有する光検出器145に入射する。光検出器145の各受光面からの出力はプリアンプ124によって増幅され、差動信号からトラッキングエラー信号が得られる。   As shown in FIG. 12, the light from the light source 121 becomes a parallel beam through the collimator lens 140, is reflected by the beam splitter 141, and then irradiates the optical disc 111 through the λ / 4 plate 142 and the objective lens 122. The light reflected from the optical disk 111 passes through the objective lens 122, the λ / 4 plate 142, and the beam splitter 141, is partially reflected by the mirror 144 through the lens 143, and has a plurality of light receiving surfaces for tracking. 145 is incident. The output from each light receiving surface of the photodetector 145 is amplified by the preamplifier 124, and a tracking error signal is obtained from the differential signal.

一方、ミラー144で反射されなかった光は、フォーカシング用の複数の受光面を有する光検出器146に入射する。光検出器146の各受光面からの出力はプリアンプ124によって増幅され、差動信号からフォーカスエラー信号が得られる。尚、図12中、113は光ピックアップ、120はレーザ駆動部である。   On the other hand, the light not reflected by the mirror 144 is incident on the photodetector 146 having a plurality of light receiving surfaces for focusing. The output from each light receiving surface of the photodetector 146 is amplified by the preamplifier 124, and a focus error signal is obtained from the differential signal. In FIG. 12, 113 is an optical pickup, and 120 is a laser driving unit.

図13に、光検出器からの出力によってフォーカス制御を行うフォーカス制御部の一部を示す。通常のナイフエッジ法においては、2分割された受光面を有する光検出器が用いられるが、本実施例においては、図13に示すように、少なくとも4分割された受光面を有する光検出器146が用いられる。これは、2分割された受光面を有する光検出器を用いると、対象とする情報層からのサーボ信号を得る際に、他方の情報層からの反射光の一部が光検出器に入射し、サーボ信号に歪を与えるからである。単に光検出器の受光面積を小さくすれば、サーボ信号の歪を小さくすることが可能となるが、この場合には、フォーカスを引き込む際の引き込み範囲が著しく制限されるという課題がある。   FIG. 13 shows a part of the focus control unit that performs focus control by the output from the photodetector. In a normal knife edge method, a photodetector having a light receiving surface divided into two parts is used. In this embodiment, as shown in FIG. 13, a photodetector 146 having a light receiving surface divided into at least four parts. Is used. This is because when a photodetector having a light receiving surface divided into two is used, a part of the reflected light from the other information layer enters the photodetector when obtaining a servo signal from the target information layer. This is because the servo signal is distorted. If the light receiving area of the photodetector is simply reduced, the distortion of the servo signal can be reduced. In this case, however, there is a problem that the pull-in range when the focus is pulled in is remarkably limited.

このため、本実施例では、光検出器146の受光面を少なくとも4分割し、フォーカスの検出領域を、フォーカスの引き込み段階とサーボ時で切り換える方法を用いる。図13に示すように、光検出器146は、受光面が146a、146b、146c、146dの4つに分割されている。光検出器146の各受光面146a、146b、146c、146dからの出力は、プリアンプ124の各増幅器147a、147b、147c、147dによって増幅され、差動増幅器148、149によって2種類のフォーカスエラー信号148s、149sが得られる。次いで、切り替え器150がフォーカスエラー信号148s、149sのいずれかを選択し、選択されたフォーカスエラー信号148s(又は149s)はフォーカス駆動回路151、フォーカスジャンプ回路133(図11)を経て、光ピックアップ部113(図11)を駆動する。   For this reason, in the present embodiment, a method is used in which the light receiving surface of the photodetector 146 is divided into at least four parts, and the focus detection area is switched between the focus pull-in stage and the servo. As shown in FIG. 13, the light detector 146 has a light receiving surface divided into four parts 146a, 146b, 146c, and 146d. Outputs from the light receiving surfaces 146a, 146b, 146c, and 146d of the photodetector 146 are amplified by the amplifiers 147a, 147b, 147c, and 147d of the preamplifier 124, and two types of focus error signals 148s are obtained by the differential amplifiers 148 and 149. 149s is obtained. Next, the switch 150 selects one of the focus error signals 148 s and 149 s, and the selected focus error signal 148 s (or 149 s) passes through the focus drive circuit 151 and the focus jump circuit 133 (FIG. 11), and the optical pickup unit. 113 (FIG. 11) is driven.

ここで、フォーカス用の光検出器を2分割した場合と4分割した場合のフォーカスエラー信号について、図14を用いて説明する。横軸はフォーカス方向の位置であり、2つの情報層の位置をL1、L2で示す。図14(a)は2分割でかつ受光面が大きい場合、図14(b)は2分割でかつ受光面が小さい場合、図14(c)は4分割でかつ外側の受光面146a、146dを用いた場合、図14(d)は4分割でかつ内側の受光面146b、146cを用いた場合を示す。図14(a)の2分割でかつ受光面が大きい光検出器151を用いた場合には、一方の情報層からのフォーカスビームF1の近傍に焦点がある場合に、他方の情報層からの反射光F2が受光面の一部に入射する。このため、フォーカスエラー信号が歪み、焦点位置誤差dFが発生する。また、図14(b)の2分割でかつ受光面が小さい光検出器152を用いた場合には、他方の光ビームの漏れ込みはなく、各情報層の位置L1、L2に対応した位置に2つのフォーカスエラー信号のS字型曲線が現れ、サーボ動作が可能となる。しかし、フォーカシングの際に、図14(a)の受光面が大きい場合の引き込み範囲M1に比べて、狭い引き込み範囲M2となる。このため、記録媒体に反りや面ぶれ等が存在する場合に、動作が不安定となる。   Here, focus error signals when the photodetector for focus is divided into two and four are described with reference to FIG. The horizontal axis is the position in the focus direction, and the positions of the two information layers are indicated by L1 and L2. 14A is divided into two parts and the light receiving surface is large, FIG. 14B is divided into two parts and the light receiving surface is small, and FIG. 14C is divided into four parts and the outer light receiving surfaces 146a and 146d are divided. When used, FIG. 14 (d) shows a case where the light receiving surfaces 146b and 146c on the inner side are divided into four parts. In the case of using the two-divided photodetector 151 shown in FIG. 14A and having a large light receiving surface, reflection from the other information layer occurs when the focus is in the vicinity of the focus beam F1 from one information layer. The light F2 enters a part of the light receiving surface. For this reason, the focus error signal is distorted, and a focus position error dF occurs. In addition, when the photodetector 152 having two splits and having a small light receiving surface in FIG. 14B is used, there is no leakage of the other light beam, and the positions corresponding to the positions L1 and L2 of each information layer. An S-shaped curve of two focus error signals appears, and servo operation becomes possible. However, during focusing, the pull-in range M2 is narrower than the pull-in range M1 when the light receiving surface in FIG. 14A is large. For this reason, the operation becomes unstable when the recording medium is warped or shakes.

これらの点を解決するために、本実施例においては、4分割した受光面を有する光検出器146を用いる。尚、受光面は、一方の情報層からの反射ビームF1が受光面146aと受光面146bの分割線のほぼ中央に位置し、他方の情報層からの反射ビームF2が受光面146cと受光面146dの分割線のほぼ中央に位置する形状にする。ここで、受光面における反射ビームF1、F2の中心位置間の距離をLf、受光面上での反射ビームF1、F2のスポットサイズをLdとした場合に、外側の受光面146a、146dの幅146wを、Lfよりも大きく、Lf+Ldよりも小さく設定する。図14(c)は4分割でかつ外側の受光面146a、146b(誤り:正しくはd)を用いた場合のフォーカスエラー信号であり、2つ情報層からの反射光F1、F2に対して受光面が離れているために、情報層が1層の場合と同様のS字曲線が現われる。この信号に基づいて、サーボ動作を行うと、フォーカス位置は、一方の情報層の位置L1と他方の情報層の位置L2の中間となる。また、この場合、フォーカス信号の動作範囲として、大きな範囲M3が得られる。図14(d)は、4分割でかつ内側の受光面146b、146cを用いた場合のフォーカスエラー信号であり、図14(b)の2分割でかつ受光面が小さい場合と同様のフォーカスエラー信号を示す。   In order to solve these points, in this embodiment, a photodetector 146 having a light receiving surface divided into four is used. In the light receiving surface, the reflected beam F1 from one information layer is located at the approximate center of the dividing line between the light receiving surface 146a and the light receiving surface 146b, and the reflected beam F2 from the other information layer is the light receiving surface 146c and the light receiving surface 146d. The shape is located approximately in the center of the dividing line. Here, when the distance between the center positions of the reflected beams F1 and F2 on the light receiving surface is Lf and the spot size of the reflected beams F1 and F2 on the light receiving surface is Ld, the width 146w of the outer light receiving surfaces 146a and 146d. Is set to be larger than Lf and smaller than Lf + Ld. FIG. 14C shows a focus error signal when the outer light receiving surfaces 146a and 146b (error: correctly d) are used, and are received with respect to the reflected lights F1 and F2 from the two information layers. Since the planes are separated, an S-shaped curve similar to that in the case where the information layer is one layer appears. When a servo operation is performed based on this signal, the focus position is intermediate between the position L1 of one information layer and the position L2 of the other information layer. In this case, a large range M3 is obtained as the operating range of the focus signal. FIG. 14D shows a focus error signal when the light receiving surfaces 146b and 146c are divided into four and the inner light receiving surfaces 146c are used, and the same focus error signal as when the light receiving surface is divided into two and is small in FIG. Indicates.

本実施例の4分割された光検出器146は、図14(c)の場合のフォーカスエラー信号と図14(d)の場合のフォーカスエラー信号を切り換えることにより、広いフォーカス引き込み範囲と2つの情報層への安定なフォーカシングを実現することができる。   The photodetector 146 divided into four in this embodiment switches a focus error signal in the case of FIG. 14C and a focus error signal in the case of FIG. Stable focusing to the layer can be realized.

まず、フォーカス引き込み時において、切り替え器150は光検出器146の外側の受光面146a、146dからの出力の差動信号149sを選択し、フォーカス駆動回路151がフォーカス動作を開始する。この段階で、フォーカス点は、2つの情報層の中間に位置している。   First, at the time of focus pull-in, the switch 150 selects the differential signal 149s output from the light receiving surfaces 146a and 146d outside the photodetector 146, and the focus drive circuit 151 starts the focus operation. At this stage, the focus point is located between the two information layers.

次いで、フォーカス駆動回路151によってフォーカスの引き込み動作の完了が確認されたならば、フォーカス駆動回路151から切り替え器150にフォーカス動作完了信号151sが送られる。切り替え器150は、このフォーカス動作完了信号151sに基づいて光検出器146の内側の受光部146b、146cからの出力の差動信号148sを選択し、2つの情報層のうちのいずれかの層にフォーカシングが行われる。続いて所定の領域でトラッキング動作が行われ、対象とする情報層にフォーカシングされたか否かが識別される。対象外の情報層にフォーカシングされている場合には、フォーカスジャンプ回路133が対象とする情報層にフォーカス位置を移動させる。この間、切り替え器150の切り替えは行われない。   Next, when the focus drive circuit 151 confirms the completion of the focus pull-in operation, a focus operation completion signal 151 s is sent from the focus drive circuit 151 to the switch 150. Based on the focus operation completion signal 151s, the switch 150 selects the differential signal 148s output from the light receiving units 146b and 146c inside the photodetector 146, and outputs it to one of the two information layers. Focusing is performed. Subsequently, a tracking operation is performed in a predetermined area, and it is identified whether or not the target information layer has been focused. When the focus is on the information layer that is not the target, the focus jump circuit 133 moves the focus position to the target information layer. During this time, the switching device 150 is not switched.

尚、ここでは、フォーカス方式としてナイフエッジ法を用いた場合を例に挙げて説明したが、必ずしもこの方法に限定されるものではなく、例えば非点収差法を用いてもよい。非点収差法を用いる場合には、図12のミラー144の位置にシリンドリカルレンズを配置し、光検出器146の近傍に、図15に示すような8分割された受光面を有する光検出器154を配置する。非点収差法を用いる場合には、ナイフエッジ法の場合と同様に、フォーカス引き込み時において、光検出器146の周辺部の受光面154a、154b、154c、154dからの出力が用いられ、フォーカス引き込み動作完了後においては、光検出器146の中央部の受光面154e、154f、154g、154hからの出力を用いてフォーカスエラー信号が得られる。   Here, the case where the knife edge method is used as the focus method has been described as an example. However, the method is not necessarily limited to this method, and for example, the astigmatism method may be used. When the astigmatism method is used, a cylindrical lens is disposed at the position of the mirror 144 in FIG. 12, and a photodetector 154 having a light receiving surface divided into eight as shown in FIG. Place. In the case of using the astigmatism method, as in the case of the knife edge method, the outputs from the light receiving surfaces 154a, 154b, 154c, and 154d at the periphery of the photodetector 146 are used during focus pull-in, and the focus pull-in is performed. After the operation is completed, a focus error signal is obtained using outputs from the light receiving surfaces 154e, 154f, 154g, and 154h at the center of the photodetector 146.

以上の構成を採用することにより、複数の情報層に対し、従来と同等のフォーカス引き込み性能を維持したまま、各層に対して安定なサーボ動作を行うことが可能となる。   By adopting the above configuration, it is possible to perform a stable servo operation on each of the plurality of information layers while maintaining the same focus pull-in performance as before.

複数の情報層を備えた記録媒体の品質を左右するものとして、情報ピットあるいはガイド溝の形状のばらつきがあり、記録再生装置の品質を左右するものとして、光ビームの強度分布の歪、あるいは光検出器等の感度ばらつき等がある。このため、サーボ動作を行う際に、情報層間の干渉あるいは分離層厚の変動等により、フォーカスエラー信号、あるいはトラッキングエラー信号に誤差電圧が発生する。   There are variations in the shape of the information pits or guide grooves that influence the quality of the recording medium having a plurality of information layers, and the distortion of the light beam intensity distribution or the light that affects the quality of the recording / reproducing apparatus. There are sensitivity variations of detectors and the like. For this reason, when the servo operation is performed, an error voltage is generated in the focus error signal or the tracking error signal due to interference between information layers or fluctuations in the separation layer thickness.

フォーカス制御信号又はトラッキング制御信号の誤差を補正するために、層選択系117(図11)の設定に連動して、フォーカス制御部又はトラッキング制御部に対してオフセット調整を行う。例えば、フォーカス制御信号に微小なオフセットを印加することにより、各層間で生じるフォーカスずれを補正する。また、トラッキング制御信号にも同様に微小なオフセットを印加することにより、トラッキングずれを補正する。これにより、各情報層において最適な集光状態が得られる。   In order to correct the error of the focus control signal or the tracking control signal, offset adjustment is performed on the focus control unit or the tracking control unit in conjunction with the setting of the layer selection system 117 (FIG. 11). For example, by applying a minute offset to the focus control signal, the focus shift that occurs between the layers is corrected. Similarly, a tracking offset is corrected by applying a minute offset to the tracking control signal. Thereby, the optimal condensing state is obtained in each information layer.

図16に、フォーカス制御部の詳細を示す。図16に示すように、プリアンプ124(図12)の出力信号124s中のフォーカス制御に関する信号から、フォーカス誤差検出回路160によって、フォーカス誤差信号160sが得られ、オフセット補償回路161を経て、フォーカス駆動回路162により、フォーカス制御信号126sが得られる。フォーカス制御信号126sは光ピックアップ部113(図11)に送られ、これによりボイスコイル125(図11)が駆動されて、フォーカス制御が行われる。   FIG. 16 shows details of the focus control unit. As shown in FIG. 16, a focus error signal 160 s is obtained by a focus error detection circuit 160 from a signal related to focus control in the output signal 124 s of the preamplifier 124 (FIG. 12), and after passing through an offset compensation circuit 161, a focus drive circuit By 162, a focus control signal 126s is obtained. The focus control signal 126s is sent to the optical pickup unit 113 (FIG. 11), thereby driving the voice coil 125 (FIG. 11) and performing focus control.

オフセット補償回路161は、外部からの信号に応じて複数のオフセットレベルを設定することができる構成となっている。オフセット補償回路161へ入力されるオフセットを設定するオフセット設定器は、第1の情報層2にフォーカシングした場合のオフセットを設定するオフセット設定器163と、第2の情報層4にフォーカシングした場合のオフセットを設定するオフセット設定器164とからなる。オフセット選択器165は、層選択系117(図11)の出力117sに対応して、オフセット設定器163又はオフセット設定器164のいずれかのオフセット値を出力する。   The offset compensation circuit 161 is configured to be able to set a plurality of offset levels in accordance with an external signal. An offset setter for setting an offset input to the offset compensation circuit 161 includes an offset setter 163 for setting an offset when focusing on the first information layer 2 and an offset when focusing on the second information layer 4 And an offset setting unit 164 for setting. The offset selector 165 outputs the offset value of either the offset setter 163 or the offset setter 164 corresponding to the output 117s of the layer selection system 117 (FIG. 11).

一方、フォーカス駆動回路162は、オフセット補償回路161から出力された信号161sを入力し、この信号161sをゼロとするフォーカス制御信号126sを出力して、ボイスコイル125を駆動する。このフォーカス駆動を行う際の回路のゲインを設定するゲイン設定器は、第1の情報層2の場合のゲインを設定するゲイン設定器166と、第2の情報層4の場合のゲインを設定するゲイン設定器167とからなる。ゲイン選択器168は、層選択系117の出力117sに対応して、ゲイン設定器166又はゲイン設定器167のいずれかの信号を出力する。以上の構成を採用することにより、2つの情報層に対して最適なフォーカス状態を設定することが可能となる。   On the other hand, the focus drive circuit 162 receives the signal 161s output from the offset compensation circuit 161, and outputs a focus control signal 126s that makes this signal 161s zero, thereby driving the voice coil 125. The gain setting unit that sets the gain of the circuit when performing the focus driving sets the gain setting unit 166 that sets the gain in the case of the first information layer 2 and the gain in the case of the second information layer 4. And a gain setting unit 167. The gain selector 168 outputs a signal of either the gain setting unit 166 or the gain setting unit 167 corresponding to the output 117 s of the layer selection system 117. By adopting the above configuration, it is possible to set an optimum focus state for the two information layers.

トラッキング制御に関しても、情報層間で最適な状態を設定すれば、さらに良好な再生、あるいは記録再生が可能となる。図17に、トラッキング制御部の詳細を示す。図17に示すように、プリアンプ124の出力信号124s中のトラッキング制御に関する信号から、トラッキング誤差検出回路170によってトラッキング誤差信号170sが得られ、オフセット補償回路171を経て、トラッキング駆動回路172によりトラッキング制御信号127sが得られる。トラッキング制御信号127sは、極性反転器128(図11)を経て、光ピックアップ部113に送られ、これによりボイスコイル125が駆動されて、トラッキング制御が行われる。   With regard to tracking control, if an optimum state is set between information layers, even better reproduction or recording / reproduction can be achieved. FIG. 17 shows details of the tracking control unit. As shown in FIG. 17, a tracking error signal 170 s is obtained by a tracking error detection circuit 170 from a signal related to tracking control in the output signal 124 s of the preamplifier 124, and after passing through an offset compensation circuit 171, a tracking control signal is obtained by a tracking drive circuit 172. 127s are obtained. The tracking control signal 127s is sent to the optical pickup unit 113 via the polarity inverter 128 (FIG. 11), thereby driving the voice coil 125 to perform tracking control.

オフセット補償回路171は、外部からの信号に応じて複数のオフセットレベルを設定することができる構成となっている。オフセット補償回路171へ入力されるオフセットを設定するオフセット設定器は、第1の情報層2にフォーカシングした場合のオフセットを設定するオフセット設定器173と、第2の情報層4にフォーカシングした場合のオフセットを設定するオフセット設定器174とからなる。オフセット選択器175は、層選択系117(図11)の出力117sに対応して、オフセット設定器173又はオフセット設定器174のいずれかのオフセット値を出力する。   The offset compensation circuit 171 has a configuration in which a plurality of offset levels can be set in accordance with an external signal. An offset setter for setting an offset input to the offset compensation circuit 171 includes an offset setter 173 for setting an offset when focusing on the first information layer 2 and an offset when focusing on the second information layer 4 And an offset setting unit 174 for setting. The offset selector 175 outputs the offset value of either the offset setter 173 or the offset setter 174 in response to the output 117s of the layer selection system 117 (FIG. 11).

一方、トラッキング駆動回路172は、オフセット補償回路171から出力された信号171sを入力し、この信号171sをゼロとするトラッキング制御信号127sを出力して、ボイスコイル125を駆動する。このトラッキング駆動を行う際の回路のゲインを設定するゲイン設定器は、第1の情報層2の場合のゲインを設定するゲイン設定器176と、第2の情報層4の場合のゲインを設定するゲイン設定器177とからなる。ゲイン選択器178は、層選択系117の出力117sに対応して、ゲイン設定器176又はゲイン設定器177のいずれかの信号を出力する。以上の構成を採用することにより、2つの情報層に対して最適なトラッキング状態を設定することが可能となる。   On the other hand, the tracking drive circuit 172 receives the signal 171 s output from the offset compensation circuit 171, outputs a tracking control signal 127 s that makes this signal 171 s zero, and drives the voice coil 125. The gain setting unit that sets the gain of the circuit when performing the tracking driving sets the gain setting unit 176 that sets the gain in the case of the first information layer 2 and the gain in the case of the second information layer 4. And a gain setting unit 177. The gain selector 178 outputs a signal of either the gain setting unit 176 or the gain setting unit 177 corresponding to the output 117 s of the layer selection system 117. By adopting the above configuration, it is possible to set an optimal tracking state for the two information layers.

尚、本実施例においては、第1の基板1に形成された情報ピットが光ビームの入射側から見て凸の場合を例に挙げて説明したが、必ずしもこの構成に限定されるものではなく、光ビームの入射側から見て凹であってもよい。この場合には、第2の基板3の情報ピットの凹凸の向きを逆とすることにより、本実施例と同様の効果を有する記録媒体が得られる。   In this embodiment, the case where the information pit formed on the first substrate 1 is convex as viewed from the incident side of the light beam has been described as an example. However, the present invention is not necessarily limited to this configuration. It may be concave when viewed from the incident side of the light beam. In this case, a recording medium having the same effect as in this embodiment can be obtained by reversing the direction of the unevenness of the information pits on the second substrate 3.

以下、情報記録媒体の具体的な構成について説明する。   Hereinafter, a specific configuration of the information recording medium will be described.

(実施例1)
図1に示す光学的情報記録媒体の製造方法と、その光学的情報記録媒体の記録再生について説明する。
(Example 1)
A method of manufacturing the optical information recording medium shown in FIG. 1 and recording / reproducing of the optical information recording medium will be described.

第1及び第2の基板1、3の材料としてポリカーボネート樹脂を用い、情報ピットからなる表面を備えた金型を用いて射出成形することによって第1及び第2の基板1、3を作製した。第1の基板1は、直径120mm、厚さ1.2mmであり、その表面に最短ピット長0.83μm、ピット深さ100nm、トラックピッチ1.6μmの情報ピットが形成されている。ここで、情報ピットは、EFMコードに基づいて形成されたピット列からなっている。この第1の基板1上に、スパッタリング法によって10nm厚のAuを成膜し、第1の情報層2を形成した。   The first and second substrates 1 and 3 were fabricated by injection molding using a mold having a surface composed of information pits using polycarbonate resin as the material of the first and second substrates 1 and 3. The first substrate 1 has a diameter of 120 mm and a thickness of 1.2 mm, and information pits having a shortest pit length of 0.83 μm, a pit depth of 100 nm, and a track pitch of 1.6 μm are formed on the surface thereof. Here, the information pit consists of a pit row formed based on the EFM code. On the first substrate 1, Au having a thickness of 10 nm was formed by sputtering to form the first information layer 2.

一方、第2の基板3は、第1の基板1と同じ直径及び厚さを有しており、その表面に第1の基板1と同じ形状の情報ピットが形成されている。但し、接着後に光ビーム7の入射側から見た渦巻の方向が第1の基板1と第2の基板3で同じとなるように、第2の基板3の情報ピット面から見た凹凸ピット列の渦巻の方向は第1の基板1と逆にされている。第2の基板3上に、スパッタリング法によって100nm厚のAuを成膜し、第2の情報層4を形成した。尚、第1及び第2の基板1、3の情報ピットは、ピットの存在する側から見て凹となる形状にされている。   On the other hand, the second substrate 3 has the same diameter and thickness as the first substrate 1, and information pits having the same shape as the first substrate 1 are formed on the surface thereof. However, the concavo-convex pit row viewed from the information pit surface of the second substrate 3 so that the direction of the spiral viewed from the incident side of the light beam 7 after bonding is the same between the first substrate 1 and the second substrate 3. The direction of the spiral is reversed from that of the first substrate 1. A second information layer 4 was formed on the second substrate 3 by depositing Au with a thickness of 100 nm by sputtering. Note that the information pits of the first and second substrates 1 and 3 have a concave shape when viewed from the side where the pits are present.

図6に示した接着装置の基板支持部72に第1の基板1を固定し、樹脂塗布ノズル64を用いて第1の情報層2上にアクリル系の紫外線硬化性の樹脂材料80を塗布した。接着装置の基板支持部66aに第2の基板3を装着し、昇降部63によって上部支持部61をスペーサ79に接するまで下降させた。そして、第2の基板3を上部から5kgの圧力で加圧しながら、光源(紫外線ランプ)81によって光を照射することにより、樹脂材料80を硬化して第1の情報層2と第2の情報層4との間に厚さd5の分離層5を形成した。   The first substrate 1 is fixed to the substrate support portion 72 of the bonding apparatus shown in FIG. 6, and an acrylic ultraviolet curable resin material 80 is applied on the first information layer 2 using the resin application nozzle 64. . The second substrate 3 was mounted on the substrate support portion 66a of the bonding apparatus, and the upper support portion 61 was lowered by the elevating portion 63 until it contacted the spacer 79. The resin material 80 is cured by irradiating light with a light source (ultraviolet lamp) 81 while pressing the second substrate 3 with a pressure of 5 kg from above, so that the first information layer 2 and the second information are cured. A separation layer 5 having a thickness of d5 was formed between the layers 4.

接着前に各基板の内周部、中周部、外周部の厚さを予め測定し、接着後の厚さとの差を計算することにより、分離層5の厚さd5を求めた。その結果、分離層5の厚さの平均値は65μmであり、各測定点においても±8μm以内の精度であった。また、この場合の波長780nmにおける第1の情報層2の反射率は27.5%、同じく波長780nmにおける第2の情報層4の反射率は91.6%であった。また、情報層間の偏心量は40μmであった。   Prior to bonding, the thicknesses d5 of the separation layer 5 were obtained by measuring the thicknesses of the inner, middle, and outer peripheral portions of each substrate in advance and calculating the difference from the thickness after bonding. As a result, the average value of the thickness of the separation layer 5 was 65 μm, and the accuracy was within ± 8 μm at each measurement point. In this case, the reflectance of the first information layer 2 at a wavelength of 780 nm was 27.5%, and the reflectance of the second information layer 4 at a wavelength of 780 nm was 91.6%. The amount of eccentricity between the information layers was 40 μm.

この記録媒体に対し、波長780nmの光源と、最適基材厚1.2mmに対応しかつ開口率(NA)0.5の対物レンズを備えた光学系とを用いて情報の再生を行った。サーボ方式としては、フォーカシングにナイフエッジ法を用い、トラッキングにプッシュ・プル法を用いた。フォーカシングに際しては、図13に示す4分割された受光面を有する光検出器146を用いて、引き込み時とサーボ動作時で、フォーカスエラー信号を得る光検出器146の受光面を切り換えた。信号再生時の再生光のパワーは1mWである。その結果、第1及び第2の情報層2、4に対して安定なフォーカス動作が行われると共に、情報層間でのフォーカスジャンプも安定に行われることが確認された。尚、情報層間ではトラッキング信号の極性を切り換えた。この結果得られた再生信号に関しては、第1の情報層2と第2の情報層4の双方から良好なアイパターンが観測された。また、双方の再生信号においてジッターを測定したところ、検出窓幅に対する標準偏差値は、第1の情報層2で8.4%、第2の情報層4で8.7%と良好な値を示した。   Information was reproduced from this recording medium using a light source having a wavelength of 780 nm and an optical system corresponding to an optimum substrate thickness of 1.2 mm and having an objective lens having an aperture ratio (NA) of 0.5. As a servo system, a knife edge method was used for focusing and a push-pull method was used for tracking. At the time of focusing, the light detector 146 having a light receiving surface divided into four parts as shown in FIG. 13 was used to switch the light receiving surface of the light detector 146 that obtains a focus error signal during pull-in and servo operation. The power of the reproduction light at the time of signal reproduction is 1 mW. As a result, it was confirmed that a stable focus operation was performed on the first and second information layers 2 and 4, and a focus jump between the information layers was also performed stably. Note that the polarity of the tracking signal was switched between the information layers. With respect to the reproduced signal obtained as a result, a good eye pattern was observed from both the first information layer 2 and the second information layer 4. In addition, when jitter was measured for both reproduced signals, the standard deviation value for the detection window width was 8.4% for the first information layer 2 and 8.7% for the second information layer 4 and good values. Indicated.

さらに、この記録媒体に対し、温度80℃、相対湿度80%の高温高湿度中に100時間放置する実験を行った後に、同様の信号評価を行ったところ、形状変化も少なく、かつ安定な情報再生が可能であると共に、ジッター測定の結果においても変化が無いことが確認された。   Furthermore, after conducting an experiment in which this recording medium was left in a high temperature and high humidity environment with a temperature of 80 ° C. and a relative humidity of 80% for 100 hours, the same signal evaluation was performed. It was confirmed that reproduction was possible and there was no change in the jitter measurement results.

以上の結果から、本方式は複数の情報層を備えた記録媒体を作製する方法として有効であると言える。   From the above results, it can be said that this method is effective as a method for producing a recording medium having a plurality of information layers.

(実施例2)
次に、さらに高密度に情報を形成することが可能な記録媒体の構成について説明する。上記実施例1と同様に、第1及び第2の基板1、3の材料としてポリカーボネート樹脂を用い、情報ピットからなる表面を備えた金型を用いて射出成形することによって第1及び第2の基板1、3を作製した。第1の基板1は、厚さ0.58mmであり、その表面に最短ピット長0.5μm、ピット深さ90nm、トラックピッチ0.8μmの情報ピットが形成されている。この第1の基板1上に、スパッタリング法によって11nm厚のAuを成膜し、第1の情報層2を形成した。
(Example 2)
Next, the configuration of a recording medium capable of forming information with higher density will be described. As in the first embodiment, polycarbonate resin is used as the material for the first and second substrates 1 and 3, and the first and second substrates are formed by injection molding using a mold having a surface composed of information pits. Substrates 1 and 3 were produced. The first substrate 1 has a thickness of 0.58 mm, and information pits having a shortest pit length of 0.5 μm, a pit depth of 90 nm, and a track pitch of 0.8 μm are formed on the surface thereof. An 11 nm thick Au film was formed on the first substrate 1 by sputtering to form the first information layer 2.

一方、第2の基板3は、第1の基板1と同じ厚さを有しており、その表面に第1の基板1と同じ形状の情報ピットが形成されている。但し、接着後に光源側から見た渦巻の方向が第1の基板1と第2の基板3で同じとなるように、第2の基板3の情報ピットの表面から見た凹凸ピット列の渦巻の方向は第1の基板1と逆にされている。第2の基板3上に、スパッタリング法によって100nm厚のAuを成膜し、第2の情報層4を形成した。尚、第2の情報層4を形成した後の主たる反射面におけるピット形状が第1の基板1と同等になるように、第2の基板3の表面に形成するピットの最短ピット長を0.6μmとした。但し、各ピットのピッチ及びトラックピッチは第1の基板1と同じにした。   On the other hand, the second substrate 3 has the same thickness as the first substrate 1, and information pits having the same shape as the first substrate 1 are formed on the surface thereof. However, the spirals of the concavo-convex pit row viewed from the surface of the information pits on the second substrate 3 are the same so that the spiral direction viewed from the light source side after bonding is the same between the first substrate 1 and the second substrate 3. The direction is reversed with respect to the first substrate 1. A second information layer 4 was formed on the second substrate 3 by depositing Au with a thickness of 100 nm by sputtering. The minimum pit length of pits formed on the surface of the second substrate 3 is set to 0. 0 so that the pit shape on the main reflection surface after the second information layer 4 is formed is equivalent to that of the first substrate 1. The thickness was 6 μm. However, the pitch and track pitch of each pit were the same as those of the first substrate 1.

図6に示した接着装置の基板支持部72に第1の基板1を固定し、樹脂塗布ノズル64を用いて第1の情報層2上にアクリル系の紫外線硬化性の樹脂材料80を塗布した。接着装置の基板支持部66aに第2の基板3を接着し、昇降部63によって上部支持部61をスペーサ79に接するまで下降させた。そして、第2の基板3を上部から8kgの圧力で加圧しながら、光源(紫外線ランプ)81によって光を照射することにより、樹脂材料80を硬化して第1の情報層2と第2の情報層4との間に厚さd5の分離層5を形成した。   The first substrate 1 is fixed to the substrate support portion 72 of the bonding apparatus shown in FIG. 6, and an acrylic ultraviolet curable resin material 80 is applied on the first information layer 2 using the resin application nozzle 64. . The second substrate 3 was bonded to the substrate support portion 66 a of the bonding apparatus, and the upper support portion 61 was lowered by the elevating portion 63 until it contacted the spacer 79. The resin material 80 is cured by irradiating light with a light source (ultraviolet lamp) 81 while pressing the second substrate 3 with a pressure of 8 kg from above, so that the first information layer 2 and the second information are cured. A separation layer 5 having a thickness of d5 was formed between the layers 4.

接着前に各基板の内周部、中周部、外周部の厚さを予め測定し、接着後の厚さとの差を計算することにより、分離層5の厚さd5を求めた。その結果、分離層5の厚さの平均値は52μmであり、各測定値においても±5μm以内の精度であった。また、この場合の波長680nmにおける第1の情報層2の反射率は28.2%、同じく波長680nmにおける第2の情報層4の反射率は89.6%であった。また、情報層間の偏心量は35μmであった。   Prior to bonding, the thicknesses d5 of the separation layer 5 were obtained by measuring the thicknesses of the inner, middle, and outer peripheral portions of each substrate in advance and calculating the difference from the thickness after bonding. As a result, the average value of the thickness of the separation layer 5 was 52 μm, and each measurement value had an accuracy within ± 5 μm. In this case, the reflectance of the first information layer 2 at a wavelength of 680 nm was 28.2%, and the reflectance of the second information layer 4 at a wavelength of 680 nm was 89.6%. The amount of eccentricity between the information layers was 35 μm.

この記録媒体に対し、波長680nmの光源と、最適基材厚0.6mmに対応しかつ開口率(NA)0.6の対物レンズを備えた光学系とを用いて情報の再生を行った。サーボ方式としては、上記実施例1と同様のものを用いた。その結果、第1及び第2の情報層2、4に対して、安定なフォーカス動作が行われると共に、情報層間でのフォーカスジャンプも安定に行われることが確認された。尚、情報層間ではトラッキング信号の極性を切り換えた。この結果得られた再生信号に関しては、第1の情報層2と第2の情報層4の双方から良好なアイパターンが観測された。双方の再生信号においてジッターを測定したところ、検出窓幅に対する標準偏差値は、第1の情報層2で7.6%、第2の情報層4で8.0%と良好な値を示した。   Information was reproduced from the recording medium using a light source having a wavelength of 680 nm and an optical system corresponding to an optimum base material thickness of 0.6 mm and having an objective lens having an aperture ratio (NA) of 0.6. As the servo system, the same servo system as in Example 1 was used. As a result, it was confirmed that a stable focus operation was performed on the first and second information layers 2 and 4 and a focus jump between the information layers was also performed stably. Note that the polarity of the tracking signal was switched between the information layers. With respect to the reproduced signal obtained as a result, a good eye pattern was observed from both the first information layer 2 and the second information layer 4. When jitter was measured for both reproduced signals, the standard deviation value with respect to the detection window width was 7.6% for the first information layer 2 and 8.0% for the second information layer 4. .

さらに、この記録媒体に対し、温度80℃、相対湿度80%の高温高湿度中に100時間放置する実験を行った後に、同様の信号評価を行ったところ、形状変化も少なく、かつ安定な情報再生が可能であると共に、ジッター測定の結果においても変化が無いことが確認された。   Furthermore, after conducting an experiment in which this recording medium was left in a high temperature and high humidity environment with a temperature of 80 ° C. and a relative humidity of 80% for 100 hours, the same signal evaluation was performed. It was confirmed that reproduction was possible and there was no change in the jitter measurement results.

(実施例3)
図5に示した4つの情報層を備えた記録媒体の実施例について説明する。上記実施例1と同様に、第1〜第4の基板58、60、63、65の材料としてポリカーボネート樹脂を用い、情報ピットからなる表面を備えた金型を用いて射出成形することによって第1〜第4の基板58、60、63、65を作製した。第1及び第3の基板58、63は、厚さ0.58mmであり、その表面に最短ピット長0.5μm、ピット深さ90nm、トラックピッチ0.8μmの情報ピットが形成されている。この第1及び第3の基板58、63の上に、スパッタリング法によってそれぞれ11nm厚のAuを成膜し、第1及び第3の情報層59、64を形成した。
(Example 3)
An embodiment of the recording medium having the four information layers shown in FIG. 5 will be described. As in the first embodiment, polycarbonate resin is used as the material for the first to fourth substrates 58, 60, 63, 65 and injection molding is performed using a mold having a surface made of information pits. -Fourth substrates 58, 60, 63, 65 were produced. The first and third substrates 58 and 63 have a thickness of 0.58 mm, and information pits having a shortest pit length of 0.5 μm, a pit depth of 90 nm, and a track pitch of 0.8 μm are formed on the surface thereof. On the first and third substrates 58 and 63, Au having a thickness of 11 nm was formed by sputtering to form first and third information layers 59 and 64, respectively.

一方、第2及び第4の基板60、65は、接着後の記録媒体全体の厚さを小さくするために、第1及び第3の基板58、63よりも薄い0.4mm厚とされており、その表面に第1及び第3の基板58、63と同じ形状の情報ピットが形成されている。但し、接着後に光源側から見た渦巻の方向が第1及び第3の基板58、63と第2及び第4の基板60、65で同じとなるように、第2及び第4の基板60、65の情報ピット列の渦巻の方向は第1及び第3の基板58、63と逆にされている。この第2及び第4の基板60、65上に、スパッタリング法によってそれぞれ厚さ100nmのAuを成膜し、第2及び第4の情報層61、66を形成した。尚、第2及び第4の情報層61、66を形成した後の主たる反射面におけるピット形状が第1及び第3の基板58、63と同等になるように、第2及び第4の基板60、65の表面に形成するピットの最短ピット長を0.6μmとした。   On the other hand, the second and fourth substrates 60 and 65 are 0.4 mm thinner than the first and third substrates 58 and 63 in order to reduce the thickness of the entire recording medium after bonding. On the surface, information pits having the same shape as the first and third substrates 58 and 63 are formed. However, the second and fourth substrates 60, 60 are arranged so that the spiral direction seen from the light source side after bonding is the same between the first and third substrates 58, 63 and the second and fourth substrates 60, 65. The direction of the spiral of the 65 information pit rows is opposite to that of the first and third substrates 58 and 63. On the second and fourth substrates 60 and 65, Au having a thickness of 100 nm was formed by sputtering, and the second and fourth information layers 61 and 66 were formed. Note that the second and fourth substrates 60 and 60 are formed so that the pit shape on the main reflecting surface after the formation of the second and fourth information layers 61 and 66 is equivalent to that of the first and third substrates 58 and 63. The minimum pit length of pits formed on the surface of 65 is 0.6 μm.

図6に示した接着装置の基板支持部72に第1の基板58を固定し、樹脂塗布ノズル64を用いて第1の情報層59上にアクリル系の紫外線硬化性の樹脂材料80を塗布した。接着装置の基板支持部66aに第2の基板60を装着し、昇降部63によって上部支持部61をスペーサ79に接するまで下降させた。そして、第2の基板60を上部から8kgの圧力で加圧しながら、光源(紫外線ランプ)81によって光を照射することにより、樹脂材料80を硬化して第1の情報層59と第2の情報層61との間に第1の分離層62を形成した。また、接着装置の基板支持部72に第3の基板63を固定し、樹脂塗布ノズル64を用いて第3の情報層64上にアクリル系の紫外線硬化性の樹脂材料80を塗布した。接着装置の基板支持部66aに第4の基板65を装着し、昇降部63によって上部支持部61をスペーサ79に接するまで下降させた。そして、第4の基板65を上部から8kgの圧力で加圧しながら、光源(紫外線ランプ)81によって光を照射することにより、樹脂材料80を硬化して第3の情報層64と第4の情報層66との間に第2の分離層67を形成した。   The first substrate 58 is fixed to the substrate support portion 72 of the bonding apparatus shown in FIG. 6, and an acrylic ultraviolet curable resin material 80 is applied on the first information layer 59 using the resin application nozzle 64. . The second substrate 60 was mounted on the substrate support portion 66 a of the bonding apparatus, and the upper support portion 61 was lowered by the elevating portion 63 until it contacted the spacer 79. The resin material 80 is cured by irradiating light with a light source (ultraviolet lamp) 81 while pressing the second substrate 60 with a pressure of 8 kg from above, so that the first information layer 59 and the second information are cured. A first separation layer 62 was formed between the layer 61. In addition, the third substrate 63 was fixed to the substrate support portion 72 of the bonding apparatus, and an acrylic ultraviolet curable resin material 80 was applied on the third information layer 64 using the resin application nozzle 64. The fourth substrate 65 is mounted on the substrate support portion 66 a of the bonding apparatus, and the upper support portion 61 is lowered by the elevating portion 63 until it contacts the spacer 79. The resin material 80 is cured by irradiating light with a light source (ultraviolet lamp) 81 while pressing the fourth substrate 65 with a pressure of 8 kg from above, and the third information layer 64 and the fourth information are cured. A second separation layer 67 was formed between the layer 66.

接着前に各基板の内周部、中周部、外周部の厚さを予め測定し、接着後の厚さとの差を計算することにより、第1及び第2の分離層62、67の厚さを求めた。その結果、第1及び第2の分離層62、67の厚さの平均値はそれぞれ50μm、53μmであり、各測定点においても±7μm以内の精度であった。また、この場合、波長680nmにおける第1及び第3の情報層59、64の反射率はともに28.5%、同じく波長680nmにおける第2及び第4の情報層61、66の反射率はともに88.7%であった。また、第1及び第2の片面2層媒体101、103のそれぞれの情報層間の偏心量は30μm、28μmと良好な値であった。   Before bonding, the thicknesses of the first and second separation layers 62 and 67 are measured by measuring the thicknesses of the inner, middle, and outer peripheral portions of each substrate in advance and calculating the difference from the thickness after bonding. I asked for it. As a result, the average thicknesses of the first and second separation layers 62 and 67 were 50 μm and 53 μm, respectively, and the accuracy was within ± 7 μm at each measurement point. In this case, the reflectances of the first and third information layers 59 and 64 at a wavelength of 680 nm are both 28.5%, and the reflectances of the second and fourth information layers 61 and 66 at a wavelength of 680 nm are both 88. 0.7%. Further, the amount of eccentricity between the information layers of the first and second single-sided double-layer media 101 and 103 was 30 μm and 28 μm, which were good values.

接着装置の基板支持部72に第1の片面2層媒体101を固定し、樹脂塗布ノズル64を用いて第1の片面2層媒体101の第2の基板60上にアクリル系の紫外線硬化性の樹脂材料105を塗布した。接着装置の基板支持部66aに第2の片面2層媒体103を装着し、昇降部63によって上部支持部61をスペーサ79に接するまで下降させた。そして、第2の片面2層媒体103を上部から10kgの圧力で加圧しながら、光源81によって光ビーム106を照射することにより、樹脂材料105を硬化して第1の片面2層媒体101と第2の片面2層媒体103とを接着層68を介して接着した。   The first single-sided double-layer medium 101 is fixed to the substrate support portion 72 of the bonding apparatus, and an acrylic ultraviolet curable resin is applied onto the second substrate 60 of the first single-sided double-layer medium 101 using the resin application nozzle 64. Resin material 105 was applied. The second single-sided two-layer medium 103 was mounted on the substrate support portion 66a of the bonding apparatus, and the upper support portion 61 was lowered by the elevating portion 63 until it contacted the spacer 79. The resin material 105 is cured by irradiating the light beam 106 with the light source 81 while pressurizing the second single-sided double-layer medium 103 from above with a pressure of 10 kg, and the first single-sided double-layer medium 101 and the first Two single-sided two-layer media 103 were bonded to each other through an adhesive layer 68.

この記録媒体に対し、上記実施例2と同じ光学系とサーボ方式によって情報の再生を行った。第1及び第3の基板58、63のいずれかの面からの2つの情報層の再生に対して、安定なフォーカス動作が行われると共に、情報層間でのフォーカスジャンプも安定に行われることが確認された。得られた再生信号に関しては、いずれの情報層からも良好なアイパターンが観測された。第1〜第4の情報層59、61、64、66のジッターを測定したところ、検出窓幅に対する標準偏差値は、それぞれ7.9%、8.3%、7.9%、8.2%と良好な値を示した。   Information was reproduced from the recording medium using the same optical system and servo system as in Example 2 above. It is confirmed that a stable focus operation is performed for the reproduction of the two information layers from any one of the first and third substrates 58 and 63, and a focus jump between the information layers is also performed stably. It was done. As for the obtained reproduced signal, a good eye pattern was observed from any information layer. When the jitters of the first to fourth information layers 59, 61, 64, and 66 were measured, the standard deviation values for the detection window width were 7.9%, 8.3%, 7.9%, and 8.2, respectively. % And a good value.

さらに、この記録媒体に対し、温度80℃、相対湿度80%の高温高湿度中に100時間放置する実験を行った後に、同様の信号評価を行ったところ、形状変化も少なく、かつ安定な情報再生が可能であると共に、ジッター測定の結果においてもほとんど変化が無いことが確認された。   Furthermore, after conducting an experiment in which this recording medium was left in a high temperature and high humidity environment with a temperature of 80 ° C. and a relative humidity of 80% for 100 hours, the same signal evaluation was performed. It was confirmed that reproduction was possible and there was almost no change in the result of jitter measurement.

(実施例4)
光学的情報記録媒体として図18に示す構造の具体的構成と、その記録再生について説明する。
Example 4
A specific configuration of the structure shown in FIG. 18 as an optical information recording medium and recording / reproducing thereof will be described.

第1の基板31はポリカーボネート樹脂からなり、その表面には情報信号に対応してEFM変調に基づいて情報ピットが形成されている。第1の基板31の厚さd1は0.58mm、直径は120mmであり、その表面に形成されたピットの最短ピット長は0.44μm、ピット深さは90nm、トラックピッチは0.74μmである。この第1の基板31の表面上には、スパッタリング法によって厚さ40nmのZnS層を成膜することにより、第1の情報層32が形成されている。   The first substrate 31 is made of polycarbonate resin, and information pits are formed on the surface based on EFM modulation corresponding to information signals. The thickness d1 of the first substrate 31 is 0.58 mm, the diameter is 120 mm, the shortest pit length of the pit formed on the surface is 0.44 μm, the pit depth is 90 nm, and the track pitch is 0.74 μm. . A first information layer 32 is formed on the surface of the first substrate 31 by forming a ZnS layer having a thickness of 40 nm by sputtering.

一方、第2の基板33はポリカーボネート樹脂からなり、その表面には光ビームのトラッキング用のガイド溝が形成されている。第2の基板33の厚さは0.58mm、直径は120mmであり、その表面に形成されたガイド溝のピッチは1.48μm、溝幅はピッチの約半分、深さは70nmである。第2の基板33の表面上には、Alからなる反射層180、ZnS−SiO2 誘電体層181、Ge−Sb−Te記録薄膜層182、ZnS−SiO2 誘電体層183を順次積層することにより、第2の情報層34が形成されている。 On the other hand, the second substrate 33 is made of polycarbonate resin, and a guide groove for tracking a light beam is formed on the surface thereof. The thickness of the second substrate 33 is 0.58 mm, the diameter is 120 mm, the pitch of the guide grooves formed on the surface thereof is 1.48 μm, the groove width is about half the pitch, and the depth is 70 nm. On the surface of the second substrate 33, a reflective layer 180 made of Al, a ZnS—SiO 2 dielectric layer 181, a Ge—Sb—Te recording thin film layer 182, and a ZnS—SiO 2 dielectric layer 183 are sequentially laminated. Thus, the second information layer 34 is formed.

図6に示した接着装置の基板支持部72に第1の基板31を固定し、樹脂塗布ノズル64を用いて第1の情報層32上に紫外線硬化性の樹脂材料80を塗布した。接着装置の基板支持部66aに第2の基板33を装着し、昇降部63によって上部支持部61をスペーサ79に接するまで下降させた。そして、第2の基板33を上部から加圧しながら、光源(紫外線ランプ)81によって光を照射することにより、樹脂材料80を硬化して第1の情報層32と第2の情報層34との間に分離層35を形成した。分離層35の厚さの平均値は40μmであり、各測定点においても±8μm以内の精度であった。尚、第1の基板31の厚さd1は、光ビーム7を集光する対物レンズ6の最適基材厚が0.6mmのものを用い、この最適点が記録媒体の分離層35の中心位置となる配置とした。また、この場合の波長680nmにおける第1の情報層32の反射率は10%、同じく波長680nmにおける第2の情報層34の反射率は17%であった。   The first substrate 31 was fixed to the substrate support portion 72 of the bonding apparatus shown in FIG. 6, and the ultraviolet curable resin material 80 was applied on the first information layer 32 using the resin application nozzle 64. The second substrate 33 was mounted on the substrate support portion 66 a of the bonding apparatus, and the upper support portion 61 was lowered by the elevating portion 63 until it contacted the spacer 79. Then, the resin material 80 is cured by irradiating light with a light source (ultraviolet lamp) 81 while pressing the second substrate 33 from above, so that the first information layer 32 and the second information layer 34 A separation layer 35 was formed therebetween. The average value of the thickness of the separation layer 35 was 40 μm, and the accuracy was within ± 8 μm at each measurement point. Note that the thickness d1 of the first substrate 31 is such that the optimum base material thickness of the objective lens 6 for condensing the light beam 7 is 0.6 mm, and this optimum point is the center position of the separation layer 35 of the recording medium. The arrangement was as follows. In this case, the reflectance of the first information layer 32 at a wavelength of 680 nm was 10%, and the reflectance of the second information layer 34 at a wavelength of 680 nm was 17%.

この記録媒体に対し、波長680nmの光源と、最適基材厚0.6mmに対応しかつ開口率(NA)0.6の対物レンズとを備えた光学系とを用いて、線速度6m/sにおいて記録再生の評価を行った。尚、信号評価時の再生光のパワーは1mWである。その結果、第1及び第2の情報層32、34に対して、安定なフォーカス動作が行われると共に、情報層間でのフォーカスジャンプも安定に行われることが確認された。トラッキング方式として、第1の情報層32に対してはトラックピッチの狭い情報ピットの再生に適した位相差法を用い、第2の情報層34に対してはガイド溝に適したプッシュ・プル法を用いた。再生信号に関しては、第1の情報層32から良好なアイパターンが観測され、各マークのジッターを測定したところ、第1の情報層32においてコード信号の検出窓幅に対するジッターの標準偏差値として、8.4%が得られた。   For this recording medium, a linear velocity of 6 m / s was obtained using a light source having a wavelength of 680 nm and an optical system having an objective lens having an aperture ratio (NA) of 0.6 corresponding to an optimum substrate thickness of 0.6 mm. Evaluation of recording / reproduction was performed. The power of the reproduction light at the time of signal evaluation is 1 mW. As a result, it was confirmed that a stable focus operation was performed on the first and second information layers 32 and 34, and a focus jump between the information layers was also performed stably. As a tracking method, a phase difference method suitable for reproducing information pits having a narrow track pitch is used for the first information layer 32, and a push-pull method suitable for a guide groove is used for the second information layer 34. Was used. Regarding the reproduced signal, a good eye pattern was observed from the first information layer 32, and the jitter of each mark was measured. As a standard deviation value of jitter with respect to the detection window width of the code signal in the first information layer 32, 8.4% was obtained.

一方、第2の情報層34上のガイド溝のランド部とグルーブ部の双方に、最短マーク長0.6μmのEFM信号の記録を行った。記録パワー10mWと消去パワー5mWとの間で変調した光を照射した結果、双方で良好なアイパターンが観測され、最長マーク11Tの振幅は、第1の情報層32とほぼ同等であった。また、ジッターは、ランド部で9.7%、グルーブ部で9.5%と良好な値を示した。また、これらの情報信号は、繰り返し書き換えることも可能であった。尚、これらの特性は、基板の内周部から外周部まで殆ど同様の特性を示した。   On the other hand, an EFM signal having a shortest mark length of 0.6 μm was recorded on both the land portion and the groove portion of the guide groove on the second information layer 34. As a result of irradiating light modulated between a recording power of 10 mW and an erasing power of 5 mW, a good eye pattern was observed in both, and the amplitude of the longest mark 11T was almost equal to that of the first information layer 32. Further, the jitter showed a favorable value of 9.7% at the land portion and 9.5% at the groove portion. Also, these information signals could be rewritten repeatedly. These characteristics were almost the same from the inner periphery to the outer periphery of the substrate.

さらに、この記録媒体に対し、温度80℃、相対湿度80%の高温高湿度中に100時間放置する実験を行った後に、同様の信号評価を行ったところ、形状変化も少なく、かつ安定な情報再生が可能であると共に、ジッター測定の結果においても変化の無いことが確認された。   Furthermore, after conducting an experiment in which this recording medium was left in a high temperature and high humidity environment with a temperature of 80 ° C. and a relative humidity of 80% for 100 hours, the same signal evaluation was performed. It was confirmed that reproduction was possible and there was no change in jitter measurement results.

以上の結果から、本方式は複数の情報層を備えた記録媒体を作製する方法として有効であると言える。   From the above results, it can be said that this method is effective as a method for producing a recording medium having a plurality of information layers.

(実施例5)
図19に示す光学的情報記録媒体の具体的構成と、その記録再生について説明する。
(Example 5)
A specific configuration of the optical information recording medium shown in FIG. 19 and its recording / reproduction will be described.

第1の基板31はポリカーボネート樹脂からなり、その表面には情報信号に対応してEFM変調に基づいて情報ピットが形成されている。第1の基板31の厚さd1は0.58mm、直径は120mmであり、その表面に形成された情報ピットの最短ピット長は0.44μm、ピット深さは90nm、トラックピッチは0.74μmである。この第1の基板31の表面上には、スパッタリング法によって厚さ140nmのZnS−SiO2 からなる誘電体層194、厚さ30nmのSiO2 からなる誘電体層195、厚さ140nmのZnS−SiO2 からなる誘電体層196を順次積層し、第1の情報層32が形成されている。 The first substrate 31 is made of polycarbonate resin, and information pits are formed on the surface based on EFM modulation corresponding to information signals. The thickness d1 of the first substrate 31 is 0.58 mm, the diameter is 120 mm, the shortest pit length of information pits formed on the surface is 0.44 μm, the pit depth is 90 nm, and the track pitch is 0.74 μm. is there. On the surface of the first substrate 31, a dielectric layer 194 made of ZnS-SiO 2 having a thickness of 140 nm, a dielectric layer 195 made of SiO 2 having a thickness of 30 nm, and a ZnS-SiO having a thickness of 140 nm are formed by sputtering. Two dielectric layers 196 are sequentially stacked to form the first information layer 32.

一方、第2の基板33はポリカーボネート樹脂からなり、その表面には光ビームのトラッキング用のガイド溝が形成されている。第2の基板33の厚さは0.58mm、直径は120mmであり、その表面に形成されたガイド溝のピッチは1.1μm、深さは50nmである。第2の基板33の表面上には、厚さ50nmのAuからなる反射層198、厚さ50nmのZnS−SiO2 誘電体層198、厚さ10nmのGe−Sb−Te記録薄膜層199、厚さ20nmのZnS−SiO2 誘電体層200、厚さ14nmのAuからなる半透明反射層201を順次積層することにより、第2の情報層34が形成されている。 On the other hand, the second substrate 33 is made of polycarbonate resin, and a guide groove for tracking a light beam is formed on the surface thereof. The thickness of the second substrate 33 is 0.58 mm, the diameter is 120 mm, the pitch of the guide grooves formed on the surface thereof is 1.1 μm, and the depth is 50 nm. On the surface of the second substrate 33, a reflective layer 198 made of Au with a thickness of 50 nm, a ZnS—SiO 2 dielectric layer 198 with a thickness of 50 nm, a Ge—Sb—Te recording thin film layer 199 with a thickness of 10 nm, A second information layer 34 is formed by sequentially stacking a ZnS—SiO 2 dielectric layer 200 having a thickness of 20 nm and a translucent reflective layer 201 made of Au having a thickness of 14 nm.

図6に示した接着装置の基板支持部72に第1の基板31を固定し、樹脂塗布ノズル64を用いて第1の情報層32上に紫外線硬化性の樹脂材料80を塗布した。接着装置の基板支持部66aに第2の基板33を装着し、昇降部63によって上部支持部61をスペーサ79に接するまで下降させた。そして、第2の基板33を上部から加圧しながら、光源(紫外線ランプ)81によって光を照射することにより、樹脂材料80を硬化して第1の情報層32と第2の情報層34との間に分離層35を形成した。分離層35の厚さの平均値は43μmであり、各測定点においても±9μm以内の精度であった。尚、基板厚さはともに、0.58mmであり、光ビーム7を集光する対物レンズ6の最適基材厚が0.6mmのものを用い、この最適点が記録媒体の分離層35の中心位置となる配置とした。また、この場合の波長680nmにおける第1の情報層32の反射率は17%、同じく波長680nmにおける第2の情報層34の反射率は45%であった。   The first substrate 31 was fixed to the substrate support portion 72 of the bonding apparatus shown in FIG. 6, and the ultraviolet curable resin material 80 was applied on the first information layer 32 using the resin application nozzle 64. The second substrate 33 was mounted on the substrate support portion 66 a of the bonding apparatus, and the upper support portion 61 was lowered by the elevating portion 63 until it contacted the spacer 79. Then, the resin material 80 is cured by irradiating light with a light source (ultraviolet lamp) 81 while pressing the second substrate 33 from above, so that the first information layer 32 and the second information layer 34 A separation layer 35 was formed therebetween. The average thickness of the separation layer 35 was 43 μm, and the accuracy was within ± 9 μm at each measurement point. Both substrate thicknesses are 0.58 mm, and the optimum base material thickness of the objective lens 6 for condensing the light beam 7 is 0.6 mm. This optimum point is the center of the separation layer 35 of the recording medium. It was set as the position. In this case, the reflectance of the first information layer 32 at a wavelength of 680 nm was 17%, and the reflectance of the second information layer 34 at a wavelength of 680 nm was 45%.

この記録媒体に対し、波長680nmの光源と、最適基材厚0.6mmに対応しかつ開口率(NA)0.6の対物レンズとを備えた光学系とを用いて、線速度1.3m/sにおいて記録再生の評価を行った。尚、信号評価時の再生光のパワーは1mWである。その結果、第1及び第2の情報層32、34に対して、安定なフォーカス動作が行われると共に、情報層間でのフォーカスジャンプも安定に行われることが確認された。トラッキング方式として、第1の情報層32に対しては位相差法を用い、第2の情報層34に対してはプッシュ・プル法を用いた。再生信号に関しては、第1の情報層32から良好なアイパターンが観測され、各マークのジッターを測定したところ、第1の情報層32においてコード信号の検出窓幅に対するジッターの標準偏差値として、8.1%が得られた。   For this recording medium, a linear velocity of 1.3 m was obtained using a light source having a wavelength of 680 nm and an optical system having an objective lens having an aperture ratio (NA) of 0.6 corresponding to an optimum substrate thickness of 0.6 mm. Recording / reproduction was evaluated at / s. The power of the reproduction light at the time of signal evaluation is 1 mW. As a result, it was confirmed that a stable focus operation was performed on the first and second information layers 32 and 34, and a focus jump between the information layers was also performed stably. As the tracking method, a phase difference method was used for the first information layer 32 and a push-pull method was used for the second information layer 34. Regarding the reproduced signal, a good eye pattern was observed from the first information layer 32, and the jitter of each mark was measured. As a standard deviation value of jitter with respect to the detection window width of the code signal in the first information layer 32, 8.1% was obtained.

一方、第2の情報層34上のガイド溝のランド部とグルーブ部の双方に、最短マーク長0.6μmのEFM信号の記録を行った。記録パワー19mWと消去パワー9mWとの間で変調した光を照射した結果、良好なアイパターンが観測され、最長マーク11Tの振幅は、第1の情報層32とほぼ同等であった。また、ジッターとしては、8.3%が得られた。また、これらの情報信号は繰り返し書き換えることも可能であった。尚、これらの特性は、基板の内周部から外周部まで殆ど同様の特性を示した。   On the other hand, an EFM signal having a shortest mark length of 0.6 μm was recorded on both the land portion and the groove portion of the guide groove on the second information layer 34. As a result of irradiating light modulated between a recording power of 19 mW and an erasing power of 9 mW, a good eye pattern was observed, and the amplitude of the longest mark 11T was almost equal to that of the first information layer 32. As jitter, 8.3% was obtained. Also, these information signals could be rewritten repeatedly. These characteristics were almost the same from the inner periphery to the outer periphery of the substrate.

さらに、この記録媒体に対し、温度80℃、相対湿度80%の高温高湿度中に100時間放置する実験を行った後に、同様の信号評価を行ったところ、形状変化も少なく、かつ安定な情報再生が可能であると共に、ジッター測定の結果においても変化の無いことが確認された。   Furthermore, after conducting an experiment in which this recording medium was left in a high temperature and high humidity environment with a temperature of 80 ° C. and a relative humidity of 80% for 100 hours, the same signal evaluation was performed. It was confirmed that reproduction was possible and there was no change in jitter measurement results.

(実施例6)
光学的情報記録媒体として図20に示す構造の具体的構成と、その記録再生について説明する。
(Example 6)
A specific configuration of the structure shown in FIG. 20 as an optical information recording medium and recording / reproducing thereof will be described.

第1の基板41はポリカーボネート樹脂からなり、その表面には光ビームのトラッキング用のガイド溝が形成されている。第1の基板41の厚さは0.58mm、直径は120mmであり、その表面に形成されたガイド溝のピッチは1.48μm、溝幅はトラックピッチの約半分、深さは50nmである。第1の基板41の表面上には、厚さ110nmのZnS−SiO2 誘電体層201、厚さ10nmのGe2 Sb2 Te5 記録薄膜層202、厚さ80nmのZnS−SiO2 誘電体層203を順次積層することにより、書換え可能な第1の情報層42が形成されている。 The first substrate 41 is made of polycarbonate resin, and a guide groove for tracking a light beam is formed on the surface of the first substrate 41. The thickness of the first substrate 41 is 0.58 mm, the diameter is 120 mm, the pitch of guide grooves formed on the surface thereof is 1.48 μm, the groove width is about half the track pitch, and the depth is 50 nm. On the surface of the first substrate 41, a ZnS—SiO 2 dielectric layer 201 having a thickness of 110 nm, a Ge 2 Sb 2 Te 5 recording thin film layer 202 having a thickness of 10 nm, and a ZnS—SiO 2 dielectric layer having a thickness of 80 nm. By sequentially stacking 203, a rewritable first information layer 42 is formed.

一方、第2の基板43はポリカーボネート樹脂からなり、その表面には光ビームのトラッキング用のガイド溝が形成されている。第2の基板43の厚さは0.58mm、直径は120mmであり、その表面に形成されたガイド溝のピッチは1.48μm、溝幅はトラックピッチの約半分、深さは50nmである。第2の基板43の表面上には、厚さ100nmのAlからなる反射層204、厚さ18nmのZnS−SiO2 誘電体層205、厚さ25nmのGe2 Sb2 Te5 記録薄膜層206、厚さ110nmのZnS−SiO2 誘電体層207を順次積層することにより、第2の情報層44が形成されている。 On the other hand, the second substrate 43 is made of polycarbonate resin, and a guide groove for tracking a light beam is formed on the surface of the second substrate 43. The thickness of the second substrate 43 is 0.58 mm, the diameter is 120 mm, the pitch of the guide grooves formed on the surface thereof is 1.48 μm, the groove width is about half of the track pitch, and the depth is 50 nm. On the surface of the second substrate 43, a reflective layer 204 made of Al having a thickness of 100 nm, a ZnS—SiO 2 dielectric layer 205 having a thickness of 18 nm, a Ge 2 Sb 2 Te 5 recording thin film layer 206 having a thickness of 25 nm, A second information layer 44 is formed by sequentially laminating a ZnS—SiO 2 dielectric layer 207 having a thickness of 110 nm.

図6に示した接着装置の基板支持部72に第1の基板41を固定し、樹脂塗布ノズル64を用いて第1の情報層42上に紫外線硬化性の樹脂材料80を塗布した。接着装置の基板支持部66aに第2の基板43を装着し、昇降部63によって上部支持部61をスペーサ79に接するまで下降させた。そして、第2の基板43を上部から加圧しながら、光源(紫外線ランプ)81によって光を照射することにより、樹脂材料80を硬化して第1の情報層42と第2の情報層43との間に分離層45を形成した。分離層45の厚さの平均値は40μmであり、各測定点においても±7μm以内の精度であった。尚、第1の基板41の厚さd1は、光ビーム7を集光する対物レンズ6の最適基材厚が0.6mmのものを用い、この最適点が記録媒体の分離層45の中心位置となる配置とした。また、未記録状態(結晶状態)での第1の情報層42の反射率は19%、透過率は40%、第2の情報層44の反射率は17%であった。   The first substrate 41 was fixed to the substrate support 72 of the bonding apparatus shown in FIG. 6, and the ultraviolet curable resin material 80 was applied on the first information layer 42 using the resin application nozzle 64. The second substrate 43 was mounted on the substrate support portion 66 a of the bonding apparatus, and the upper support portion 61 was lowered by the elevating portion 63 until it contacted the spacer 79. Then, the resin material 80 is cured by irradiating light with a light source (ultraviolet lamp) 81 while pressing the second substrate 43 from above, so that the first information layer 42 and the second information layer 43 A separation layer 45 was formed therebetween. The average thickness of the separation layer 45 was 40 μm, and the accuracy was within ± 7 μm at each measurement point. As the thickness d1 of the first substrate 41, the objective lens 6 for condensing the light beam 7 has an optimum base material thickness of 0.6 mm, and this optimum point is the center position of the separation layer 45 of the recording medium. The arrangement was as follows. Further, the reflectance of the first information layer 42 in an unrecorded state (crystalline state) was 19%, the transmittance was 40%, and the reflectance of the second information layer 44 was 17%.

この記録媒体に対し、波長680nmの光源と、最適基材厚0.6mmに対応しかつ開口率(NA)0.6の対物レンズとを備えた光学系を用いて、線速度6m/sにおいて記録再生の評価を行った。尚、信号評価時の再生パワーは1mWである。その結果、第1及び第2の情報層42、44に対して、安定なフォーカス動作が行われると共に、情報層間でのフォーカスジャンプも安定に行われることが確認された。   With respect to this recording medium, using an optical system including a light source having a wavelength of 680 nm and an objective lens corresponding to an optimum base material thickness of 0.6 mm and an aperture ratio (NA) of 0.6, at a linear velocity of 6 m / s. Recording / reproduction was evaluated. The reproduction power at the time of signal evaluation is 1 mW. As a result, it was confirmed that a stable focus operation was performed on the first and second information layers 42 and 44 and a focus jump between the information layers was also performed stably.

また、第1の情報層42上のガイド溝のランド部とグルーブ部の双方に、最短マーク長0.6μmのEFM信号の記録を行った。記録パワー14mWにおいて双方で良好なアイパターンが観測され、最長マーク11Tの振幅は、第1の情報層42とほぼ同等であった。また、ジッターは、ランド部で10.8%、グルーブ部で11.3%と良好な値を示した。   Further, an EFM signal having a shortest mark length of 0.6 μm was recorded on both the land portion and the groove portion of the guide groove on the first information layer 42. A good eye pattern was observed on both sides at a recording power of 14 mW, and the amplitude of the longest mark 11T was almost equal to that of the first information layer. In addition, the jitter was as good as 10.8% at the land portion and 11.3% at the groove portion.

一方、第2の情報層44においても、同様にガイド溝のランド部とグルーブ部の双方に、最短マーク長0.6μmのEFM信号の記録を行った。記録パワー18mWにおいて双方で良好なアイパターンが観測された。また、ジッターは、ランド部で11.7%、グルーブ部で12.1%と、再生の一つの基準である13%を下回り、情報を再生することが可能なレベルにあることが確認された。   On the other hand, in the second information layer 44, EFM signals having a shortest mark length of 0.6 μm were similarly recorded on both the land portion and the groove portion of the guide groove. A good eye pattern was observed on both sides at a recording power of 18 mW. Jitter was 11.7% in the land portion and 12.1% in the groove portion, which was below 13%, which is one of the reproduction standards, and it was confirmed that the information can be reproduced. .

さらに、この記録媒体に対し、温度80℃、相対湿度80%の高温高湿度中に100時間放置する実験を行った後に、同様の信号評価を行ったところ、形状変化も少なく、かつ安定な情報再生が可能であると共に、ジッター測定の結果においても変化の無いことが確認された。   Furthermore, after conducting an experiment in which this recording medium was left in a high temperature and high humidity environment with a temperature of 80 ° C. and a relative humidity of 80% for 100 hours, the same signal evaluation was performed. It was confirmed that reproduction was possible and there was no change in jitter measurement results.

以上の結果から、本方式は複数の情報層を備えた記録媒体を作製する方法として有効であると言える。   From the above results, it can be said that this method is effective as a method for producing a recording medium having a plurality of information layers.

本発明の2つの情報層を備えた光学的情報記録媒体の構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of the optical information recording medium provided with two information layers of this invention 本発明の2つの再生専用型の情報層を備えた光学的情報記録媒体の構成を示す斜視図The perspective view which shows the structure of the optical information recording medium provided with the two read-only information layers of this invention 本発明の再生専用型の情報層と記録再生型の情報層を備えた光学的情報記録媒体の構成を示す斜視図The perspective view which shows the structure of the optical information recording medium provided with the read-only type information layer and recording / reproducing type information layer of this invention 本発明の2つの記録再生型の情報層を備えた光学的情報記録媒体の構成を示す斜視図The perspective view which shows the structure of the optical information recording medium provided with the two recording / reproducing type information layers of this invention 本発明の4つの情報層を備えた光学的情報記録媒体の構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of the optical information recording medium provided with four information layers of this invention 本発明の光学的情報記録媒体の製造装置を示す概略断面図Schematic sectional view showing an apparatus for producing an optical information recording medium of the present invention 本発明の光学的情報記録媒体の製造装置の第1の部分断面図First partial cross-sectional view of the optical information recording medium manufacturing apparatus of the present invention 本発明の光学的情報記録媒体の製造装置の第2の部分断面図Second partial cross-sectional view of the optical information recording medium manufacturing apparatus of the present invention 本発明の2つの情報層を備えた光学的情報記録媒体の製造工程図Manufacturing process diagram of optical information recording medium provided with two information layers of the present invention 本発明の4つの情報層を備えた光学的情報記録媒体の製造工程図Manufacturing process diagram of optical information recording medium having four information layers of the present invention 本発明の光学的情報記録再生装置の構成を示すブロック図The block diagram which shows the structure of the optical information recording / reproducing apparatus of this invention 本発明の光学的情報記録再生装置の光ピックアップ部の構成図Configuration diagram of optical pickup section of optical information recording / reproducing apparatus of the present invention 本発明の光学的情報記録再生装置のフォーカス制御部の構成図Configuration diagram of focus control unit of optical information recording / reproducing apparatus of the present invention 本発明の光学的情報記録媒体の2つの情報層から得られるフォーカスエラー信号の波形図Waveform diagram of focus error signal obtained from two information layers of optical information recording medium of the present invention 本発明の光学的情報記録再生装置の光検出器の構成図Configuration diagram of photodetector of optical information recording / reproducing apparatus of the present invention 本発明の光学的情報記録再生装置のフォーカス制御部の構成図Configuration diagram of focus control unit of optical information recording / reproducing apparatus of the present invention 本発明の光学的情報記録再生装置のトラッキング制御部の構成図Configuration diagram of tracking control unit of optical information recording / reproducing apparatus of the present invention 本発明の再生専用型の情報層と記録再生型の情報層を備えた光学的情報記録媒体の他の例を示す断面図Sectional drawing which shows the other example of the optical information recording medium provided with the read-only type information layer and recording / reproducing type information layer of this invention 本発明の再生専用型の情報層と記録再生型の情報層を備えた光学的情報記録媒体のさらに他の例を示す断面図Sectional drawing which shows the further another example of the optical information recording medium provided with the read-only type information layer and recording / reproducing type information layer of this invention 本発明の2つの記録再生型の情報層を備えた光学的情報記録媒体の他の例を示す断面図Sectional drawing which shows the other example of the optical information recording medium provided with the two recording / reproducing type information layers of this invention 従来の光学的情報記録媒体の製造工程図Manufacturing process diagram of conventional optical information recording medium

Claims (4)

少なくとも2つの情報層を備えた光学的情報記録媒体からの情報信号を再生する光学的情報記録再生装置であって、
光源から出射した光ビームを前記記録媒体上に集光する光学手段と、
前記光ビームの焦点位置を前記情報層のいずれかに一致させる制御を行うフォーカス制御手段と、
前記情報信号の再生を行う情報層を選択する層選択手段とを備え、
前記フォーカス制御手段が少なくとも2つの動作条件を備え、前記層選択手段の選択結果に従って前記動作条件のいずれかを選択することを特徴とする光学的情報記録再生装置。
An optical information recording / reproducing apparatus for reproducing an information signal from an optical information recording medium having at least two information layers,
Optical means for condensing the light beam emitted from the light source on the recording medium;
A focus control means for controlling the focal position of the light beam to coincide with any of the information layers;
Layer selection means for selecting an information layer for reproducing the information signal,
The optical information recording / reproducing apparatus, wherein the focus control means has at least two operating conditions, and selects any one of the operating conditions according to a selection result of the layer selecting means.
前記フォーカス制御手段の動作条件が複数のオフセットレベルを設定可能である請求項1に記載の光学的情報記録再生装置。   2. The optical information recording / reproducing apparatus according to claim 1, wherein an operating condition of the focus control means can set a plurality of offset levels. 前記フォーカス制御手段の動作条件が複数のフォーカシングのゲインを設定可能である請求項1に記載の光学的情報記録再生装置。   2. The optical information recording / reproducing apparatus according to claim 1, wherein an operating condition of the focus control means is capable of setting a plurality of focusing gains. 片側から再生可能な少なくとも2つの情報層を備えた光学的情報記録媒体からの情報信号を再生する光学的情報記録再生装置であって、
光源から出射した光ビームを対物レンズを用いて前記記録媒体上に集光する光学手段と、
前記光ビームの焦点位置を前記情報層のいずれかに一致させる制御を行うフォーカス制御手段と、
前記情報層の反射光あるいは透過光に基づいて前記情報層の識別信号を復調する層識別手段と、
前記層識別手段の識別結果に応じて前記光ビームの焦点位置を前記情報層間で移動させるためのパルス電圧を前記フォーカス制御手段に重畳するフォーカスジャンプ手段とを備えたことを特徴とする光学的情報記録再生装置。

An optical information recording / reproducing apparatus for reproducing an information signal from an optical information recording medium having at least two information layers reproducible from one side,
Optical means for condensing the light beam emitted from the light source onto the recording medium using an objective lens;
A focus control means for controlling the focal position of the light beam to coincide with any of the information layers;
Layer identifying means for demodulating the identification signal of the information layer based on the reflected or transmitted light of the information layer;
Optical information comprising: a focus jump means for superimposing a pulse voltage on the focus control means for moving the focal position of the light beam between the information layers according to the identification result of the layer identification means Recording / playback device.

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