JP2004235042A - Gas discharge display device and method of manufacturing device - Google Patents

Gas discharge display device and method of manufacturing device Download PDF

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Susumu Sakamoto
進 阪本
Kazutoshi Ikesue
和利 池末
Shigeo Mori
繁夫 森
Masayuki Hiroshima
政幸 廣嶋
Shinsuke Mori
信輔 森
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Noritake Co Ltd
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Noritake Co Ltd
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J11/10—AC-PDPs with at least one main electrode being out of contact with the plasma
    • H01J11/16—AC-PDPs with at least one main electrode being out of contact with the plasma with main electrodes provided inside or on the side face of the spacers

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gas discharge display device and a method of manufacturing the device of 3-electrode AC type with a counter discharge structure. <P>SOLUTION: Each of a plurality of sustaining electrodes for generating sustaining discharge in a discharge space 22 is composed of two belt-like thick film conductors 52, 52 layered via an intermediate dielectric layer 42, however each of the sustaining electrodes is covered by a dielectric film 48 and a protective film 50, so that when a voltage is applied between the conductors 52, 52 adjoining each other, charges are successively formed all over the range in which the conductors 52, 52 are layered on the prospective film 50 in the thickness direction of a sheet member 20. Therefor, since discharge surfaces 56 are faced each other with an area corresponded to the layered range, a PDP 10 with the opposed discharge structure is obtained. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＡＣ（交流放電）型ガス放電表示装置およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
透光性を有する第１平板（前面板）およびその第１平板に平行な第２平板（背面板）の間に一方向に沿って形成され且つ所定のガスが封入された複数本の放電空間と、それら複数本の放電空間の各々でガス放電を発生させるためにその一方向に直交する他方向に沿って形成され且つ厚膜誘電体皮膜で覆われた複数対の維持電極と、その維持電極との間でガス放電を発生させることにより発光区画を選択するために前記一方向に沿って形成された複数本の書込電極とを備え、前記複数対の維持電極間のガス放電を利用して発光させることにより、文字、記号、或いは図形等の所望の画像を表示する形式のプラズマ・ディスプレイ・パネル（Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ：ＰＤＰ）等の３電極構造ＡＣ型ガス放電表示装置が知られている。このようなガス放電表示装置は、例えば、ガス放電によって生じたプラズマの生成に伴うネオン・オレンジ等の発光を直接利用し、或いは、発光区画（画素或いはセル）内に蛍光体が備えられてプラズマによって生じた紫外線により励起させられたその蛍光体の発光を利用して画像を表示する。そのため、平板型で大画面化、薄型化、および軽量化が容易であると共に、ＣＲＴ並の広い視野角および早い応答速度を有しているため、ＣＲＴに代わる画像表示装置として期待されている。（例えば、非特許文献１参照）。
【０００３】
【非特許文献１】
谷 千束著「ディスプレイ先端技術」初版第１刷、共立出版、１９９８年１２月２８日、ｐ．７８−８８
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のような３電極構造の表示装置では、例えば光の射出側となる前面板に維持電極が設けられると共に背面板側に書込電極が設けられ、一平面上に配置された互いに平行な維持電極間で放電させる。そのため、このような面放電構造では、対を成す維持電極の放電面間距離がその内側と外側とで著しく相違することから、発光区画（画素すなわちセル）全体から発光させるために外側位置で放電を生じさせようとすると放電効率が低くなると共に、放電の生じ易い内側では放電集中による厚膜誘電体皮膜の劣化が生じ易くなる問題があった。
【０００５】
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであって、その目的は、対向放電構造を備えた３電極ＡＣ型のガス放電表示装置およびその製造方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための第１の手段】
斯かる目的を達成するため、第１発明のガス放電表示装置の要旨とするところは、透光性を有する第１平板およびその第１平板に平行な第２平板の間に一方向に沿って形成された複数本の放電空間と、それら複数本の放電空間の各々でガス放電を発生させるためにその一方向に直交する他方向に沿って形成され且つ厚膜誘電体皮膜で覆われた複数本の維持電極と、その維持電極との間でガス放電を発生させることにより発光区画を選択するために前記一方向に沿って形成された複数本の書込電極とを備え、前記複数本の維持電極間のガス放電で発生した光を前記第１平板を通して観察する形式のガス放電装置であって、（ａ）厚膜誘電体層を介して積層された複数本の帯状厚膜導体で前記複数本の維持電極の各々が構成されたことにある。
【０００７】
【第１発明の効果】
このようにすれば、複数本の維持電極の各々は、厚膜誘電体層を介して積層された複数本の帯状厚膜導体で構成されるが、それら維持電極は厚膜誘電体皮膜で覆われているため、維持電極間に電圧を印加すると、その厚膜誘電体皮膜上にはその厚さ方向において、帯状厚膜導体が積層された範囲全体に亘って電荷が連続的に形成される。すなわち、交流放電が発生させられる場合には、維持電極は実質的に電極リードとして機能するに過ぎず、それを覆う厚膜誘電体皮膜が真の電極として機能するので、積層された複数本の帯状厚膜導体はその積層範囲の全体に亘る厚さ寸法を有する一つの導体と同等に機能する。したがって、放電面が上記積層範囲に応じた面積を以て対向させられることになるため、対向放電構造を備えた３電極ＡＣ型のガス放電表示装置が得られる。
【０００８】
因みに、複数本の帯状厚膜導体を互いに平行に配設して維持電極を構成する場合には、その導体厚みを適当に設定すれば、専らそれらの側面間すなわち対向面間で放電が発生させられるため、対向放電構造を得ることが可能である。しかしながら、帯状厚膜導体を一定の幅寸法で厚く形成することは極めて困難であるため、十分な大きさの放電面を形成するために帯状厚膜導体を厚くすると、放電面を成すその厚膜の側面は凹凸形状になる。そのため、この凹凸形状の側面を厚膜誘電体皮膜で覆っても平坦な放電面は得られないので、単に帯状厚膜導体の厚さ寸法を増すだけではガス放電表示装置として満足する機能を備えた対向放電電極は得られなかったのである。
【０００９】
【第１発明の他の態様】
ここで、好適には、前記厚膜誘電体層は前記複数本の維持電極相互間においてその長手方向における複数箇所で相互に接続された格子状誘電体層であり、前記ガス放電表示装置は、前記格子状誘電体層に積層された前記複数本の帯状厚膜導体が前記厚膜誘電体皮膜で覆われて成り且つ前記第１平板および前記第２平板間にそれらに平行に配置されたシート部材を含むものである。このようにすれば、格子状を成すシート部材内に厚膜誘電体層を介して積層された複数本の帯状厚膜導体によって複数本の維持電極が構成される。そのため、シート部材を第１基板および第２基板の間に配置するだけで維持電極が設けられることから、維持電極を内面に形成するための熱処理が第１平板に施されない。また、電極や誘電体等が光の射出側となる第１平板内面に形成されないので、その第１平板の透光性を可及的に高めるために電極等の形成工程が複雑になることもない。したがって、製造工程が簡単で電極等の形成に伴う熱処理に起因する歪み等の抑制された３電極構造ＡＣ型のガス放電表示装置が得られる。
【００１０】
因みに、従来の面放電構造のガス放電表示装置においては、可及的に光を透過させる必要がある第１平板（前面板）は、維持電極がＩＴＯ（酸化インジウム錫）膜等から成る透明電極およびその導電性を補うための金属または厚膜導体から成るバス電極で構成されていた。そのため、その製造工程では、ガラス基板上に（ａ）ＩＴＯ膜と基板との密着性を確保するためのＳｉＯ２膜、（ｂ）ＩＴＯ膜、（ｃ）バス電極、（ｄ）ブラック・ストライプ、（ｅ）誘電体層、（ｆ）ＭｇＯ膜等が順次形成されていた。上記のＩＴＯ膜は、例えばスパッタ等で設けられた後、レジスト塗布・露光・現像・エッチング処理・レジスト剥離を行うフォト法でパターン形成される。また、バス電極は、Ｃｒ−Ｃｕ−Ｃｒ等の薄膜で構成される場合にはＩＴＯ膜の場合と同様な方法で、厚膜銀等の厚膜導体で構成される場合には厚膜スクリーン印刷法等の厚膜プロセスで形成される。また、誘電体層およびＭｇＯ膜は、高い透光性を有するように高い品質が要求される。すなわち、従来の３電極構造では、前面板側に透光性が要求されることに起因して、その内面に形成される導体膜や誘電体膜等の製造工程が複雑になっていた。しかも、上記の製造工程のうち誘電体層や厚膜導体で構成される場合のバス電極を形成する際には、それらの焼成のために基板に加熱処理が施される。そのため、基板内の温度分布に基づく熱膨張量のばらつきや、誘電体および厚膜導体との熱膨張係数の相違等に起因して、前面板に歪みが生じると共に厚膜導体にも亀裂や変形等が生じる問題もあった。
【００１１】
また、好適には、前記複数本の維持電極の各々は、隣接する維持電極に向かって突き出した突出部を前記発光区画の各々に備えたものである。このようにすれば、その突出部とこれに対向する維持電極との間では、その距離が近づけられることによって放電開始電圧が低下させられるため、駆動電圧を低い値に留めつつ一様な放電が可能になり延いては所望の輝度や色調等を備えた画像を得ることができる。
【００１２】
また、好適には、前記複数本の帯状厚膜導体は、その幅方向における両端が前記厚膜誘電体層から露出させられたものである。このようにすれば、維持電極はその何れの側に隣接する維持電極との間でも放電させられ得るため、端部から数えて奇数列の放電空間内で放電させる対の組合せと、偶数列の放電空間内で放電させる対の組合せとを交互に切り替えて、２枚のフィールドで１枚のフレーム（すなわち１画像）を表示する２：１インタレース（飛び越し走査）を採用することにより、導体膜の本数を増加させることなく、従来の３電極構造よりも走査線本数を倍増させて解像度を高めることが可能となる。
【００１３】
【課題を解決するための第２の手段】
また、前記目的を達成するための第２発明の製造方法の要旨とするところは、透光性を有する第１平板およびその第１平板に平行な第２平板の間に一方向に沿って形成された複数本の放電空間と、それら複数本の放電空間の各々でガス放電を発生させるためにその一方向に直交する他方向に沿って形成され且つ厚膜誘電体皮膜で覆われた複数本の維持電極と、その維持電極との間でガス放電を発生させることにより発光区画を選択するために前記一方向に沿って形成された複数本の書込電極とを備え、前記複数本の維持電極間のガス放電で発生した光を前記第１平板を通して観察する形式のガス放電装置を、前記第１平板および前記第２平板を重ね合わせて気密に封着することにより製造する方法であって、（ａ）格子状を成した所定厚さ寸法の厚膜誘電体から成る格子状誘電体層と、（ｂ）一平面内に位置する互いに平行な複数本の帯状厚膜導体を各々備えると共にそれら複数本の帯状厚膜導体が相互に重なる相対位置で前記格子状誘電体層を介して積層され且つそれら相互に重なる複数本の帯状厚膜導体の各組で前記複数本の維持電極の各々を構成するための複数の厚膜導体層と、（ｃ）前記複数本の帯状厚膜導体を覆う厚膜誘電体皮膜とを備えたシート部材を、前記第１平板および前記第２平板の一方の内面上に固着するシート部材固着工程を含むことにある。
【００１４】
【第２発明の効果】
このようにすれば、第１平板および第２平板を重ね合わせて固着することによりガス放電表示装置を製造するに際して、格子状誘電体層を介して複数の厚膜導体層が積層されたシート部材が第１平板または第２平板に固着されることにより、維持電極が放電空間内に備えられる。そのため、積層された複数本の帯状厚膜導体で構成された維持電極は厚膜誘電体皮膜で覆われていることから、積層された複数本の帯状厚膜導体はその積層範囲の全体に亘る厚さ寸法を有する一つの導体と同等に機能し、維持電極間に電圧を印加すると、その厚膜誘電体皮膜上にその厚さ方向において帯状厚膜導体が積層された範囲全体に亘って電荷が連続的に形成される。したがって、放電面が上記積層範囲に応じた面積を以て対向させられることになるため、対向放電構造を備えた３電極ＡＣ型のガス放電表示装置が得られる。しかも、シート部材上に維持電極を構成するための厚膜導体層が備えられていることから、第１平板および第２平板の間にそのシート部材を配置するだけで維持電極を設けることができるため、第１平板上に維持電極を設ける場合におけるその形成時の熱処理に起因する第１平板および維持電極の歪みが好適に抑制される。
【００１５】
【第２発明の他の態様】
ここで、好適には、前記のガス放電表示装置の製造方法は、所定の第１温度よりも高い融点を有する粒子が樹脂で結合されて成る高融点粒子層で構成された膜形成面を有する支持体を用意する支持体準備工程と、前記第１温度で焼結させられる厚膜誘電体材料の構成粒子が樹脂で結合されて成る誘電体ペースト膜を前記膜形成面上に前記厚膜誘電体層に対応する格子状パターンで形成する誘電体ペースト膜形成工程と、前記第１温度で焼結させられる厚膜導体材料の構成粒子が樹脂で結合されて成る導体ペースト膜を前記膜形成面上に前記厚膜導体層に対応する複数に分割された所定パターンで前記誘電体ペースト膜を介して複数層が積層されるように形成する導体ペースト膜形成工程と、前記支持体を前記第１温度で加熱処理することにより、前記高融点粒子層を焼結させることなく前記導体ペースト膜および前記誘電体ペースト膜を焼結させて、それら導体ペースト膜および誘電体ペースト膜から前記厚膜導体層および前記厚膜誘電体層を生成する焼成工程とを、含む工程により前記シート部材を製造するものである。
【００１６】
このようにすれば、厚膜誘電体材料および厚膜導体材料の焼結温度（第１温度）よりも高い融点を有する高融点粒子層で構成された膜形成面に厚膜誘電体材料および厚膜導体材料のペースト膜がそれぞれ所定パターンで形成された後、それら厚膜誘電体材料および厚膜導体材料の焼結させられる第１温度で加熱処理が施されることにより、厚膜誘電体層を介して厚膜導体層が積層されたシート部材が生成される。そのため、その加熱処理温度では焼結させられない高融点粒子層は樹脂が焼失させられることにより高融点粒子のみが並ぶ層となることから、生成された厚膜は支持体に固着されないため、その膜形成面から容易に剥離することができる。このとき、厚膜誘電体材料および厚膜導体材料のペースト膜は、材料や用途に応じた適宜の方法を用いることにより、簡便な設備を用いて所望のパターンで膜形成面に形成することが可能である。しかも、加熱処理により焼結させられるまでは膜形成面に塗布されることにより一時的に固着された状態で取り扱われることから、取扱いが容易である。したがって、維持電極を設けるためのシート部材を容易に製造し且つガス放電表示装置の製造に用いることができる。なお、上記の誘電体ペースト膜形成工程および導体ペースト膜形成工程は、シート部材の構成に応じて定められる回数だけ交互に繰り返される。
【００１７】
また、好適には、前記支持体準備工程は、所定の基板の表面に前記高融点粒子層を形成するものである。このようにすれば、ペースト膜が基板上に形成されることから、加熱処理後にも支持体の形状が維持されるため、高融点粒子層のみで支持体が構成されている場合（例えば、セラミック生シートで支持体が構成されている場合）に比較して放電空間内に維持電極を設けるためのシート部材の取扱いが容易になる利点がある。しかも、このような支持体が用いられる場合には、ペースト膜との間に高融点粒子層が介在させられる基板は加熱処理の際にそのペースト膜を何ら拘束せず、且つそのペースト膜の表面粗度は高融点粒子層の表面粗度のみが反映されることから、基板の平坦度、表面粗度、膨張係数等のシート部材の品質に及ぼす影響が小さくなるため、基板に高い品質は要求されない。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明する。
【００１９】
図１は、本発明のガス放電表示装置の一例であるＡＣ型カラーＰＤＰ（以下、単にＰＤＰという）１０の構成を一部を切り欠いて示す斜視図である。図において、ＰＤＰ１０は、それぞれの略平坦な一面１２，１４が対向するように僅かな間隔を隔てて互いに平行に配置された前面板１６および背面板１８を備えている。それら前面板１６および背面板１８は、格子状のシート部材２０を介してその周縁部において気密に封着されており、これによりＰＤＰ１０の内部に気密空間が形成されている。これら前面板１６および背面板１８は、何れも例えば９００×５００（ｍｍ）程度の大きさと１．１〜３（ｍｍ）程度の均一な厚さ寸法とを備えると共に透光性を有し且つ軟化点が７００（℃）程度の相互に同様なソーダライム・ガラス等から成るものである。本実施例においては、上記の前面板１６が第１平板に、背面板１８が第２平板にそれぞれ相当する。
【００２０】
上記の背面板１８上には、一方向に沿って伸び且つ互いに平行な複数本の長手状の隔壁２２が２００〜５００（μｍ）程度の一定の中心間隔で備えられており、前面板１６および背面板１８間の気密空間が複数本の放電空間２４に区分されている。この隔壁２２は、例えば、ＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−ＺｎＯ−ＴｉＯ２系或いはこれらを組み合わせた系等の低軟化点ガラスを主成分とする厚膜材料から成り、幅寸法が８０〜２００（μｍ）程度、高さ寸法が３０〜１００（μｍ）程度の大きさを備えたものである。また、隔壁２２には、例えばアルミナ等の無機充填材（フィラー）やその他の無機顔料等が適宜添加されることにより、膜の緻密度や強度、保形性等が調節されている。前記のシート部材２０は、その一方向に沿って伸びる部分がこの隔壁２２の頂部上に重なる位置関係にある。
【００２１】
また、背面板１８上には、その内面１４の略全面を覆う低アルカリ・ガラス或いは無アルカリ・ガラス等から成るアンダ・コート２６が設けられ、その上に厚膜銀等から成る複数本の書込電極２８が前記複数の隔壁２２の長手方向に沿ってそれらの間の位置に、低軟化点ガラスおよび白色の酸化チタン等の無機フィラー等から成るオーバ・コート３０に覆われて設けられている。上記の隔壁２２は、このオーバ・コート３０上に突設されている。
【００２２】
また、オーバ・コート３０の表面および隔壁２２の側面には、放電空間２４毎に塗り分けられた蛍光体層３２が例えば１０〜２０（μｍ）程度の範囲で色毎に定められた厚みで設けられている。蛍光体層３２は、例えば紫外線励起により発光させられるＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）等の発光色に対応する３色の蛍光体の何れかから成るものであり、隣接する放電空間２４相互に異なる発光色となるように設けられている。なお、前記のアンダ・コート２６およびオーバ・コート３０は、厚膜銀から成る書込電極２８と背面板１８との反応および上記の蛍光体層３２の汚染を防止する目的で設けられたものである。
【００２３】
一方、前記の前面板１６の内面１２には、前記隔壁２２に対向する位置に隔壁３４がストライプ状に設けられている。この隔壁３４は、例えば隔壁２２と同じ材料から成り、例えば２０〜５０（μｍ）程度の厚さ寸法で設けられたものである。前面板内面１２のこの隔壁３４相互間には、蛍光体層３６が例えば１０〜２０（μｍ）程度の範囲内の厚さ寸法でストライプ状に設けられている。この蛍光体層３６は、放電空間２４毎に単一の発光色が得られるように、背面板１８上に設けられた蛍光体層３２と同じ発光色のものが設けられている。上記隔壁３４の高さ寸法は、シート部材２０が蛍光体層３６に接することを防止するために、その表面が蛍光体層３６の表面よりも高くなるように定められている。
【００２４】
図２は、前記のシート部材２０の構成の要部を、その一部を切り欠いて示す図である。図において、シート部材２０は、その表面および裏面にそれぞれ位置する上側誘電体層３８および下側誘電体層４０と、それらの間に中間誘電体層４２を介して積層された上側導体層４４および下側導体層４６と、これらの積層体全体を覆って設けられた誘電体皮膜４８と、その誘電体皮膜４８を更に覆って設けられ且つシート部材２０の表層部を構成する保護膜５０とから構成されている。
【００２５】
上記の上側誘電体層３８，下側誘電体層４０，および中間誘電体層４２（以下、特に区別しないときは誘電体層３８等という）は、何れも２０〜５０（μｍ）程度、例えば２５（μｍ）程度の厚さ寸法を備えたものであって、それらの平面形状は全て同様であって格子状を成す。本実施例においては、これら誘電体層３８等が格子状誘電体層に相当する。また、これらの格子を構成する縦横に沿ってそれぞれ伸びる部分の幅寸法は、例えば隔壁２２の幅寸法と同程度かアライメント・マージンを考慮してそれよりも若干広く、例えば１００〜１５０（μｍ）程度である。また、この誘電体層３８等は、例えばＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−ＺｎＯ−ＴｉＯ２系或いはこれらを組み合わせた系等の低軟化点ガラスおよびアルミナ等のセラミック・フィラー等の厚膜誘電体材料で構成されている。なお、図において、上側導体層４４および下側導体層４６（以下、特に区別しないときは導体層４４，４６という）が備えられていない部分では、積層された誘電体層３８等を一体的に示した。
【００２６】
また、上記の導体層４４，４６は、例えばアルミニウム（Ａｌ）、銀（Ａｇ）、クロム（Ｃｒ）、銅（Ｃｕ）等を導電成分として含む厚膜導体であって、例えば何れも５〜２０（μｍ）の範囲内、例えば８（μｍ）程度の厚さ寸法を有するものである。これら導体層４４，４６は、それぞれ誘電体層３８等の格子の一方向に沿って伸びる複数本の帯状厚膜導体５２で構成されている。この帯状厚膜導体５２は、例えば誘電体層３８等と同程度かそれよりも僅かに幅方向における両側にはみ出す程度の幅寸法を備え、前記の隔壁２２の長手方向に垂直な方向すなわち書込電極２８の長手方向と垂直を成す向きに沿って伸びるものである。なお、帯状厚膜導体５２は、前記隔壁２２の長手方向において、共通の配線に接続されたものと、各々独立の配線に接続されたものとが交互に設けられている。また、中間誘電体層４２を介して重なる帯状厚膜導体５２，５２の各組は、シート部材２０内において或いは気密空間の外部において、相互に共通の配線に接続されている。
【００２７】
また、図２において左端部に示すように、上記複数本の帯状厚膜導体５２の各々には、その長手方向における複数箇所においてその幅方向に交互に突き出す複数個の突出部５４が備えられている。これら複数個の突出部５４は何れも格子の開口部の角部に位置するため、帯状厚膜導体５２はその角部においては開口部の内周側に向かって突き出しているが、その突出し位置はその開口部を挟んで隣接する他の帯状厚膜導体５２に備えられた突出部５４に対向する位置である。なお、一つの開口内には、このような対向させられた突出部５４，５４が一組ずつ存在する。また、帯状厚膜導体５２の幅方向において相互に隣接する開口部では、帯状厚膜導体５２の長手方向において相互に反対側に位置する角部に突出し部５４，５４が備えられている。帯状厚膜導体５２の幅方向における突出部５４の突出し長さ寸法は、例えば５０〜２００（μｍ）の範囲内、例えば１００（μｍ）程度であり、その幅寸法は、例えば３０〜１５０（μｍ）の範囲内、例えば７５（μｍ）程度である。
【００２８】
また、誘電体層３８等も上記の突出部５４が備えられた位置において格子の開口角部が内側に拡大された形状で設けられており、突出部５４は、その一部がその拡大部分上に位置し、残部が帯状厚膜導体５２の長手方向に垂直な格子の構成部分上に位置させられている。この結果、格子の開口部の各々は、シート部材２０の厚さ方向において一様な形状を成している。
【００２９】
また、前記の誘電体皮膜４８は、例えば１０〜３０（μｍ）程度の範囲内、例えば２０（μｍ）程度の厚さ寸法を備え、例えばＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−ＺｎＯ−ＴｉＯ２系或いはこれらを組み合わせた系等の低軟化点ガラス等から成る厚膜である。この誘電体皮膜４８は、表面に電荷を蓄えることにより後述するように交流放電をさせるために設けられたものであるが、同時に、厚膜材料で構成される導体層４４，４６を露出させないことによって、これからのアウト・ガスによる放電空間２４内の雰囲気変化を抑制する役割も有する。
【００３０】
また、前記の保護膜５０は、例えば０．５（μｍ）程度の厚さ寸法を備え、ＭｇＯ等を主成分とする薄膜或いは厚膜である。保護膜５０は、放電ガス・イオンによる誘電体皮膜４８のスパッタリングを防止するものであるが、二次電子放出係数の高い誘電体で構成されていることから、実質的に放電電極として機能する。
【００３１】
以上のように電極構造が構成されたＰＤＰ１０は、前記帯状厚膜導体５２のうち個々に独立させられている一方に所定の交流パルスを印加して順次走査すると共に、その走査のタイミングに同期して書込電極２８のうちのデータに対応する所望のもの（すなわち発光させる区画として選択されたものに対応する書込電極）に所定の交流パルスを印加すると、図３に矢印Ａで示すように、それらの間で書込放電が発生させられ、保護膜５０上に電荷が蓄積される。このとき、中間誘電体層４２を介して積層された２本の帯状厚膜導体５２，５２がそれぞれ形成する電界は、それらを覆う保護膜５０上において重ね合わされることによって一つの電界を成す。そのため、保護膜５０上には、書込電極２８との間の放電によって、帯状厚膜導体５２，５２が設けられている範囲５６（図４参照）内で電荷が厚さ方向において連続的に蓄積されることとなる。すなわち、本実施例においてはこの範囲５６が放電面として機能する。
【００３２】
上記のようにして走査電極として機能させられる全ての帯状厚膜導体５２を走査した後、全ての帯状厚膜導体５２，５２間に所定の交流パルスを印加すると、電荷が蓄積された発光区画では印加電圧にその蓄積電荷による電位が重畳されて放電開始電圧を越えるため、図３に他の矢印で示すように放電面５６，５６間で放電が発生させられ、且つ保護膜５０上に改めて発生させられた壁電荷等により予め定められた所定時間だけ維持される。これにより、ガス放電で発生した紫外線で選択された区画内の蛍光体層３２、３６が励起発光させられ、その光が前面板１６を通して射出されることにより、一画像が表示される。なお、帯状厚膜導体５２には突出部５４が備えられていることから、上記維持放電は、対向する突出部５４，５４間で先ず発生し、次いで、放電面５６の全面に広がることとなる。そして、走査側電極の１周期毎に、交流パルスを印加されるデータ側電極（書込電極２８）が変化させられることにより、所望の画像が連続的に表示されることとなる。なお、図３は、ＰＤＰ１０の前記の隔壁２２の長手方向に沿った断面すなわち帯状厚膜導体５２の長手方向に垂直な断面を示す図である。
【００３３】
このとき、放電空間２４内で対向させられている帯状厚膜導体５２，５２の厚さ寸法が小さいことから、対向させられた電極面積は積層された２つの帯状厚膜導体５２，５２の厚さ寸法を合計しても例えば１６（μｍ）程度に過ぎない。しかしながら、本実施例によれば、上述した電荷の連続性に基づいて広い放電面５６が形成されるので、そのような放電面５６，５６が対向させられた対向放電構造が実現されている。すなわち、本実施例においては、積層された帯状厚膜導体５２，５２が一体となって維持電極を構成する。なお、中間誘電体層４２の厚さ寸法で決定される導体層４４，４６の相互間隔は例えば２５（μｍ）程度であるが、この大きさは、導体層４４，４６の厚さ寸法および所望とする放電面５６の面積等に応じて例えば実験的に決定される。
【００３４】
また、維持放電は帯状厚膜導体５２，５２間で発生させられるが、放電空間２４は隔壁２２の長手方向に沿って連続しているため、その放電により発生させられた紫外線はその方向において帯状厚膜導体５２，５２の外側に広がる。そのため、その外側に位置する蛍光体層３２，３６もその紫外線が及ぶ範囲では発光させられることとなる。ＰＤＰ１０における発光単位（セル）の区切りは、隔壁２２に垂直な方向すなわち図における左右方向ではその隔壁２２によって区切られ、隔壁２２の長手方向すなわち図における上下方向では実質的にはこの紫外線の及ぶ範囲によって画定される。本実施例においては、隔壁２２の長手方向における発光区画の区切りすなわちドット・ピッチが例えば０．９（ｍｍ）程度であり、それに垂直な方向におけるカラー・セル・ピッチが例えば０．３（ｍｍ）程度である。なお、本実施例においては、帯状厚膜導体５２は例えば５０（μｍ）程度の中心間隔で設けられており、放電空間２２の長手方向に連続して並ぶすなわ複数個例えば３つの開口部が一つの発光区画内に設けられている。そのため、一つの発光区画内の複数箇所で放電が発生させられるように構成されており、各発光区画内に相互に対向する突出部５４，５４が複数組備えられている。
【００３５】
なお、上記のようにして放電空間２２内において蛍光体層３２から発生させられた光は、図１に示されるＰＤＰ１０の構成から明らかなように、格子状を成したシート部材２０の開口部を経由して前面板１２から射出される。そのため、蛍光体層３２から発生した光のうち一部はシート部材２０で遮られ、表示に寄与し得ないこととなる。このとき、本実施例においては、前述したように格子の開口部内に突き出した突出部５４が放電空間２２の長手方向において、その幅方向の一端側および他端側に交互に設けられているため、突出部５４の遮光による視覚上の影響が緩和されるので、突出部５４が存在することに起因する表示品質の低下が実質的に解消されている。放電開始電圧を低下させるための突出部５４は、その存在に起因する遮光が許容される範囲で可及的に放電開始電圧を低くできるようにその大きさが定められる。
【００３６】
ここで、本実施例においては、放電空間２２内で維持放電を発生させるための複数本の維持電極の各々は、中間誘電体層４２を介して積層された２本の帯状厚膜導体５２，５２で構成されるが、これらは誘電体皮膜４８および保護膜５０で覆われているため、相互に隣接する帯状厚膜導体５２，５２間に電圧を印加すると、その保護膜５０上にはシート部材２０の厚さ方向において、帯状厚膜導体５２，５２が積層された範囲全体に亘って電荷が連続的に形成される。したがって、放電面５６が上記積層範囲に応じた面積を以て対向させられることになるため、対向放電構造を備えたＰＤＰ１０が得られる。
【００３７】
また、本実施例においては、前記複数対の帯状厚膜導体５２，５２すなわち複数本の維持電極の各々は、隣接する帯状厚膜導体５２に向かって突き出した相互に対向する突出部５４，５４を発光区画毎に有する。そのため、それら突出部５４，５４間ではその距離が近づけられることによって放電開始電圧が低下させられるため、駆動電圧を低い値に留めつつ一様な放電が可能になり延いては所望の輝度や色調等を備えた画像を得ることができる。
【００３８】
なお、本実施例においては、帯状厚膜導体５２，５２の幅方向における両端部が誘電体層３８等から露出させられ、且つ突出部５４もその幅方向における両側に備えられている。そのため、帯状厚膜導体５２は、その両側に隣接する帯状厚膜導体５２，５２との間で放電させられ得るように構成されていることから、ＰＤＰ１０を駆動するに際しては、相互に独立した配線に接続された帯状厚膜導体５２に一本おきに走査電圧を印加し、且つ２枚のフィールドで１枚のフレームを表示する２：１インタレースで駆動して解像度を高めることも可能である。
【００３９】
また、本実施例によれば、放電面５６が前面板１６および背面板１８の何れからも離隔したこれらの中間の高さ位置に位置し且つ放電方向がそれらの内面１２，１４に沿った方向となることから、前面板内面１２および背面板内面１４上における放電ガス・イオンの影響が少ないので、前述したようにそれらの何れにも広い範囲に亘って蛍光体層３２，３６が設けられる。そのため、蛍光体層３２を維持電極が固着された基板とは反対側の基板上にのみ設けることが可能であった面放電構造の場合に比較して輝度を飛躍的に高め得る利点もある。
【００４０】
また、維持電極を構成する帯状厚膜導体５２が前面板１６上に設けられていないため、厚膜銀から構成される場合にもその銀の黄変色が観察されることがない。したがって、酸化ルテニウム等の高価な黒色導電材料を維持電極４８の構成材料に用いる必要もない利点もある。
【００４１】
ところで、上記のようなＰＤＰ１０は、例えば図５に示される工程図に従って別々に処理（或いは製造）されたシート部材２０，前面板１６，および背面板１８を組み立てることで製造される。
【００４２】
背面板１８の処理工程においては、先ず、アンダ・コート形成工程５８で、用意された平坦な背面板１８の内面１４に厚膜絶縁体ペーストを塗布して焼成することにより前記のアンダ・コート２６を形成する。次いで、書込電極形成工程６０では、そのアンダ・コート２６上に例えば厚膜スクリーン印刷法やリフトオフ法等を用いて厚膜銀ペースト等の厚膜導電材料ペーストで前記書込電極２８を形成する。続くオーバ・コート形成工程６２においては、この書込電極２８上から低軟化点ガラスおよび無機フィラーを含む厚膜絶縁ペーストをアンダ・コート２６の略全面を覆って繰り返し塗布して焼成することにより前記オーバ・コート３０を形成する。
【００４３】
次いで、隔壁形成工程６４では、例えば低軟化点ガラスおよび無機フィラー等を主成分とする厚膜絶縁ペーストを塗着し、乾燥後、例えば５００〜６５０（℃）程度の温度で焼成処理を施すことにより、前記の隔壁２２を形成する。なお、一回の印刷で隔壁２２の所望の高さ寸法を確保できない場合には、印刷および乾燥が必要な回数だけ繰り返される。上述したアンダ・コート形成工程５８乃至オーバ・コート形成工程６２も同様である。そして、蛍光体層形成工程６６においては、ＲＧＢ３色に対応する３種の蛍光体ペーストを隔壁２２相互間であって色毎に定められた所定位置に厚膜スクリーン印刷法等によって或いは流し込みによって塗布し、例えば４５０（℃）程度の温度で焼成処理を施すことにより、前記の蛍光体層３２を設ける。
【００４４】
一方、前面板１６の処理工程においては、先ず、隔壁形成工程６８において、上記の工程６４と同様に、例えば低軟化点ガラスおよび無機フィラー等を主成分とする厚膜絶縁ペーストを厚膜スクリーン印刷法等の厚膜形成技術を用いて内面１２上に繰り返し塗布、乾燥して、更に厚膜絶縁ペーストの種類に応じて定められる例えば５００〜６５０（℃）程度の範囲内の熱処理温度で焼成することにより、前記の隔壁３４を形成する。次いで、蛍光体層形成工程７０において、ＲＧＢ３色に対応する３種の蛍光体ペーストを隔壁３４相互間であって色毎に定められた所定位置に、隔壁３４上から厚膜スクリーン印刷或いは落とし込み印刷等の手法で塗布し、例えば４５０（℃）程度の温度で焼成処理を施すことにより、前記の蛍光体層３６を設ける。
【００４５】
そして、シート部材作製工程７２において作製された前記のようなシート部材２０を介して上記の前面板１６および背面板１８を重ね合わせ、封着工程７４において加熱処理を施すことにより、それらの界面に予め塗布されたシールガラス等の封着剤でこれらを気密に封着する。なお、封着に先立ち、必要に応じてシート部材２０が前面板１６および背面板１８の何れかにガラスフリット等を用いて固着される。そして、排気・ガス封入工程７２において、形成された気密容器内から排気し且つ所定の放電ガスを封入することにより、前記のＰＤＰ１０が得られる。
【００４６】
上記の製造工程において、シート部材作製工程７２は、よく知られた厚膜印刷技術を応用した例えば図６に示される示す工程に従って実施される。以下、シート部材２０の製造方法を、製造工程の要部段階における状態を表した図７（ａ）〜（ｅ）および図８（ｆ）〜（ｈ）を参照して説明する。
【００４７】
先ず、基板を用意する工程７８では、厚膜印刷を施す基板８０（図７参照）を用意し、その表面７８等に適宜の清浄化処理を施す。この基板８０は、後述する加熱処理の際に殆ど変形や変質の生じないものであって、例えば、熱膨張係数が８７×１０−７（／℃）程度で、７４０（℃）程度の軟化点および５１０（℃）程度の歪み点を備えたソーダライム・ガラス等から成るガラス基板が好適に用いられる。なお、基板８０の厚さ寸法は例えば２〜３（ｍｍ）程度の範囲内、例えば２．８（ｍｍ）程度であり、その表面８２の大きさは前記のシート部材２０よりも十分に大きくされている。
【００４８】
次いで、剥離層形成工程８４では、高融点粒子が樹脂で結合させられた剥離層８６を、基板８０の表面８２に例えば５〜５０（μｍ）程度の範囲内、好適には１０〜２０（μｍ）程度の厚さ寸法で設ける。上記の高融点粒子は、例えば平均粒径が０．５〜３（μｍ）程度の高軟化点ガラスフリットおよび平均粒径が０．０１〜５（μｍ）程度の範囲内、例えば１（μｍ）程度のアルミナやジルコニア等のセラミック・フィラーを、例えば３０〜５０（％）程度の割合で混合したものである。上記の高軟化点ガラスは、例えば５５０（℃）程度以上の軟化点を備えたものであり、混合物である高融点粒子の軟化点は、例えば５５０（℃）程度以上になっている。また、樹脂は、例えば３５０（℃）程度で焼失させられるエチルセルロース系樹脂等である。この剥離層８６は、例えば、上記の高融点粒子および樹脂がブチルカルビトールアセテート（ＢＣＡ）やテルピネオール等の有機溶剤中に分散させられた無機材料ペースト８８を、例えば図７（ａ）に示すようにスクリーン印刷法を用いて基板８０の略全面に塗布し、乾燥炉或いは室温において乾燥させることで設けられるが、コータやフィルム・ラミネートの貼り付け等で設けることもできる。なお、乾燥炉は、膜の表面粗度が優れ且つ樹脂が一様に分散するように、好適には給排気を十分に行い得る遠赤外線乾燥炉が用いられる。図７（ｂ）は、このようにして剥離層８６を形成した段階を示している。なお、図７（ａ）において、９０はスクリーン、９２はスキージである。本実施例においては、上記の剥離層８６を備えた基板８０が支持体に、その剥離層８６の表面が膜形成面にそれぞれ相当し、上記の基板用意工程７８および剥離層形成工程８４が支持体準備工程に対応する。
【００４９】
続く厚膜ペースト層形成工程９４では、前記の誘電体層３８等を形成するための厚膜誘電体ペースト９６と、導体層４４，４６を形成するための厚膜導体ペースト９８（図７（ａ）参照）を、無機材料ペースト８８と同様にスクリーン印刷法等を利用して剥離層８６上に所定のパターンで順次に塗布・乾燥する。これにより、誘電体層３８等を形成するための誘電体印刷層１００，１０４，１０８、導体層４４，４６を形成するための導体印刷層１０２，１０６が、その積層順序に従って形成される。上記の厚膜誘電体ペースト９６は、例えば、アルミナやジルコニア等の誘電体材料粉末、ガラスフリット、および樹脂が有機溶剤中に分散させられたものである。また、厚膜導体ペースト９８は、例えば、銀粉末等の導体材料粉末、ガラスフリット、および樹脂が有機溶剤中に分散させられたものである。なお、上記のガラスフリットは、例えばＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２系の低軟化点ガラス等が用いられ、樹脂および溶剤は例えば無機材料ペースト８８と同様なものが用いられる。図７（ｃ）〜（ｅ）は、それぞれ、誘電体印刷層１００、導体印刷層１０２、誘電体印刷層１０４乃至誘電体印刷層１０８がそれぞれ形成された段階を示している。なお、一回の印刷で所定の厚さ寸法が得られない場合には、必要な回数だけ印刷および乾燥が繰り返される。
【００５０】
上記のようにして厚膜印刷層１００〜１０８を形成し、乾燥して溶剤を除去した後、焼成工程１１０においては、基板８０を所定の焼成装置の炉室１１２内に入れ、厚膜誘電体ペースト９６および厚膜導体ペースト９８の種類に応じた例えば５５０（℃）程度の焼成温度で加熱処理を施す。図８（ｆ）は加熱処理中の状態を示している。
【００５１】
上記の加熱処理過程において、厚膜印刷層１００〜１０８は、その焼結温度が例えば５５０（℃）程度であるため、その樹脂成分が焼失させられると共に誘電体材料、導体材料、およびガラスフリットが焼結させられ、誘電体層３８等および導体層４４，４６すなわちシート部材２０の基本的部分が生成される。図８（ｇ）は、この状態を示している。このとき、前記の剥離層８６は、前述したようにその無機成分粒子が５５０（℃）以上の軟化点を備えたものであるため、樹脂成分は焼失させられるが高融点粒子（ガラス粉末およびセラミック・フィラー）は焼結させられない。そのため、加熱処理の進行に伴って樹脂成分が焼失させられると、剥離層８６は高融点粒子１１４（図９参照）のみから成る粒子層１１６となる。
【００５２】
図９は、図８（ｇ）の右端の一部を拡大して、上記の加熱処理における焼結の進行状態を模式的に示した図である。剥離層８６の樹脂成分が焼失させられて生成された粒子層１１６は、単に高融点粒子１１４が積み重なっただけの層であり、その高融点粒子１１４は互いに拘束されていない。そのため、図に一点鎖線で示される焼成前の端部位置から厚膜印刷層１００〜１０８が収縮するときには、その高融点粒子１１４がコロの如き作用をする。これにより、厚膜印刷層１００〜１０８の下面側でも基板８０との間にその収縮を妨げる力が作用しないので、上面側と同様に収縮させられることから、収縮量の相違に起因する密度差や反り等は何ら生じていない。
【００５３】
なお、本実施例においては、基板８０の熱膨張係数は誘電体材料と略同じであり、厚膜印刷層１００〜１０８の焼結が開始するまで、すなわち、樹脂成分は焼失させられたがガラスフリット、誘電体材料粉末や導体粉末の結合力が未だ小さい温度範囲ではこれらの熱膨張量に殆ど差はない。一方、厚膜印刷層１００〜１０８の焼結が開始するときには、上述したように粒子層１１６の作用によって基板８０はその焼成収縮を何ら妨げない。したがって、基板８０の熱膨張は生成される厚膜の品質に実質的に影響しない。なお、基板８０を繰り返し使用する場合や熱処理温度が高くなる場合には、歪み点の一層高い耐熱性ガラス（例えば、熱膨張係数が３２×１０−７（／℃）程度で軟化点が８２０（℃）程度の硼珪酸ガラスや、熱膨張係数が５×１０−７（／℃）程度で軟化点が１５８０（℃）程度の石英ガラス等）を用いることができる。この場合にも、誘電体材料粉末等の結合力が小さい温度範囲では基板８０の熱膨張量が極めて小さくなるので、その熱膨張が生成される厚膜の品質に影響することはない。
【００５４】
図６に戻って、剥離工程１１８では、生成された厚膜すなわち誘電体層３８，４０，４２および導体層４４，４６の積層体を基板８０から剥離する。それらの間に介在させられている粒子層１１６は高融点粒子１１４が単に積み重なっただけであるので、上記剥離処理は何らの薬品や装置を用いることなく容易に行い得る。このとき、積層体の裏面には高融点粒子１１４が一層程度の厚みで付着し得るが、この付着粒子は、必要に応じて粘着テープやエアブロー等を用いて除去する。なお、厚膜が剥離された基板８０は、前述したように前記の焼成温度では変形および変質し難いものであるため、同様な用途に繰り返し用いられる。
【００５５】
次いで、誘電体ペースト塗布工程１２０においては、剥離した積層体をディッピング槽１２２内に蓄えられた誘電体ペースト１２４中にディッピングすることにより、全外周面に誘電体ペースト１２４が塗布される。この誘電体ペースト１２４は、例えば、ＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−ＺｎＯ−ＴｉＯ２系或いはこれらを組み合わせた系等のガラス粉末およびＰＶＡ等の樹脂が水等の溶剤中に分散させられたものであり、前記の厚膜誘電体ペースト９６に比較して低粘度に調製されている。なお、上記のガラス粉末は鉛を含まない軟化点が６３０（℃）程度以上のものも使用可能である。これは、前記の厚膜誘電体ペースト９６に含まれるものの軟化点と同程度かそれよりも高いものである。また、低粘度に調製されたペーストを用いるのは、塗布の際に気泡が巻き込まれ延いては焼成後に欠陥の残ることを防止するためであり、積層体は、例えば水平な向きで金網１２６等に載せられた状態で誘電体ペースト１２４中に静かに沈められ、且つ取り出される。
【００５６】
続く焼成工程１２８では、ディッピング槽１２２から取り出され且つ十分に乾燥させられた積層体が焼成炉内に投入され、前記誘電体ペースト１２４に含まれるガラス粉末の種類に応じて定められる例えば５５０〜５８０（℃）程度の所定温度で加熱処理（焼成処理）を施される。この焼成温度は、例えば、ガラス粉末が十分に軟化して緻密な誘電体層（誘電体皮膜４８）が得られるように、ガラス粉末の軟化点に対して十分に高い温度に設定される。このため、このようにして形成された誘電体皮膜４８は、ガラス粉末相互の粒界に起因する空隙等が殆ど無く、高い耐電圧を有するものとなる。なお、導体層４４，４６は、前述したように厚さ寸法がそれぞれ５〜２０（μｍ）程度の薄い膜であるので、その幅寸法が略一様に形成され、積層体の側面において導体層４４，４６の幅方向端部に厚膜パターンのがたつきは生じておらず、積層体の側面全体が滑らかになっている。そのため、そこに形成される誘電体皮膜４８は凹凸の少ない平滑面になるので、放電開始電圧のばらつきが抑制されると共に、耐電圧が一層高められる。本実施例においては、これら誘電体ペースト塗布工程１２０および焼成工程１２８から被覆工程が構成されている。
【００５７】
そして、保護膜形成工程１３０において、上記の誘電体皮膜４８の表面に例えばディッピング処理および焼成処理により、或いは電子ビーム法やスパッタ等の薄膜プロセスにより、前記の保護膜５０が所望の厚さ寸法で略全面に設けられることにより、前記のシート部材２０が得られる。なお、保護膜５０は、前述したように薄い膜であるので、ディッピング等の厚膜プロセスでは一様な膜を形成することが比較的困難である。しかしながら、本実施例においては略一様な膜厚で形成される誘電体被覆４８で覆われた放電面５６，５６間で対向放電させることから、保護膜５０の表面形状の如何に拘わらず放電集中は生じ難い。したがって、面放電構造を採る場合ほどの一様性は保護膜５０に要求されないのである。また、保護膜５０は光の射出経路上に存在しないので、その透明性も要求されない。
【００５８】
ここで、本実施例においては、前面板１６および背面板１８を重ね合わせて固着することによりＰＤＰ１０を製造するに際して、以上のようにして製造された導体層４４，４６を備えたシート部材２０が前面板１６または背面板１８に固着されることにより、維持電極として機能する帯状厚膜導体５２が放電空間２４内に設けられる。そのため、シート部材２０上に維持電極を構成するための導体層が備えられていることから、前面板１６および背面板１８の間にそのシート部材２０を配置するだけで維持電極を設けることができるため、前面板１６上に維持電極を設ける場合におけるその形成時の熱処理に起因する前面板１６および維持電極等の歪みが好適に抑制されたＰＤＰ１０を製造することができる。したがって、電極等の形成に伴う熱処理に起因する歪み等の抑制された３電極構造のＡＣ型ＰＤＰ１０を簡単な製造工程で得ることができる。すなわち、ＳｉＯ２のコートやＩＴＯ、バス電極等を設ける複雑なプロセスが無用になる。
【００５９】
また、本実施例においては、厚膜導体ペースト９８および厚膜誘電体ペースト９６の焼結温度よりも高い融点を有する剥離層８６で構成された膜形成面に印刷層１００〜１０８が所定パターンで形成された後、それらの焼結させられる温度で加熱処理が施されることにより、中間誘電体層４２を介して導体層４４，４６が積層されたシート部材２０が生成される。そのため、その加熱処理温度では焼結させられない剥離層８６は樹脂が焼失させられることにより高融点粒子１１４のみが並ぶ粒子層１１６となることから、生成された厚膜は基板８０に固着されないため、その表面８２から容易に剥離することができる。したがって、維持電極を構成するためのシート部材２０を容易に製造し且つＰＤＰ１０の製造に用いることができる。
【００６０】
以上、本発明を図面を参照して詳細に説明したが、本発明は更に別の態様でも実施できる。
【００６１】
例えば、実施例においては、カラー表示用のＡＣ型ＰＤＰ１０およびその製造方法に本発明が適用された場合について説明したが、本発明は、モノクロ表示用のＡＣ型ＰＤＰおよびその製造方法にも同様に適用される。
【００６２】
また、実施例のＰＤＰ１０は、３色の蛍光体層３２、３６を備えてフルカラー表示をさせる形式のものであったが、本発明は、１色或いは２色の蛍光体層を備えたＰＤＰにも同様に適用される。
【００６３】
また、実施例においては、帯状厚膜導体５２はその幅方向の両側に隣接する帯状厚膜導体５２との間で放電させられるように構成されていたが、一方に隣接するものとだけ放電するように構成しても差し支えない。
【００６４】
また、実施例においては、２層の導体層４４，４６が中間誘電体層４２を介して設けられていたが、維持電極を構成するための導体層の層数は、所望とする放電面５６の面積に応じて２層以上の範囲で適宜定められるものであり、３層以上の導体層を２層以上の中間誘電体層を介在させて積層してもよい。
【００６５】
また、実施例においては、帯状厚膜導体５２に放電開始を容易にするための突出部５４が備えられていたが、放電開始電圧を十分に低くし、或いはそのばらつきを十分に小さくできるのであれば、突出部５４は設ける必要がない。
【００６６】
また、実施例においては、維持電極を構成する帯状厚膜導体５２がシート部材２０内に備えられていたが、放電空間２４の長手方向に直交する方向に沿って伸びる平行電極対を設け得るのであればその配設形態は問わない。例えば、前面板１６の内面に隔壁２２と直交する方向に沿って伸びる隔壁を突設し、これに帯状厚膜導体５２，５２を誘電体層を介して積層して設けることもできる。
【００６７】
また、実施例においては、隔壁２２がストライプ状に設けられていたが、封着後の排気・ガス封入に問題が無ければ格子状の隔壁で放電空間を区画形成してもよい。このようにする場合には、その格子状の隔壁に導体層４４，４６を設けることもできる。また、実施例においては、前面板１６および背面板１８の両方に隔壁２２，３４が形成されていたが、一方だけに設けても差し支えない。その場合、シート部材２０と蛍光体との接触を避けるためには、隔壁を設けない側には蛍光体層を設けないことが好ましい。
【００６８】
また、導体層４４，４６の厚さ寸法や相互間隔等は所望とする電気的特性や機械的強度等に応じて適宜定められるものであり、実施例に記載された数値のものに限定されない。
【００６９】
また、実施例においては、シート部材２０はその全面が誘電体皮膜４８で覆われていたが、少なくとも導体層４４，４６が覆われていれば足り、誘電体層３８等の上には誘電体皮膜４８が設けられていなくとも差し支えない。
【００７０】
また、実施例においては、シート部材２０が厚膜スクリーン印刷法を利用して誘電体層３８等を設けることで製造されていたが、コータやフィルム・ラミネート等を用いて膜形成面に「ベタ」に厚膜ペースト層を設け、フォト・プロセスを用いてパターニングすることもできる。
【００７１】
また、実施例では内面１２，１４の何れにも蛍光体層３２，３６が設けられていたが、何れか一方のみとすることもできる。
【００７２】
その他、一々例示はしないが、本発明は、その主旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得るものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の３電極構造ＡＣ型ガス放電表示装置の一例であるカラーＰＤＰを一部を切り欠いて示す斜視図である。
【図２】図１のＰＤＰに備えられたシート部材の構成を説明する図である。
【図３】隔壁の長手方向に沿った断面において、図１のＰＤＰの断面構造を説明する図である。
【図４】図３の一部を拡大した図である。
【図５】図１のＰＤＰの製造方法を説明する工程図である。
【図６】シート部材の製造方法を説明する工程図である。
【図７】（ａ）〜（ｅ）は、図６の製造工程の要部段階における基板および厚膜の状態を示す図である。
【図８】（ｆ）〜（ｈ）は、図６の製造工程の要部段階における基板および厚膜の状態を示すための図７（ｅ）に続く図である。
【図９】図６の焼成工程における収縮挙動を説明するための図である。
【符号の説明】
１０：ＰＤＰ
１６：前面板
１８：背面板
２０：シート部材
２４：放電空間
３８：上側誘電体層、４０：下側誘電体層、４２：中間誘電体層
４４：上側配線層、４６：下側配線層
５２：帯状厚膜導体
５４：突出部
５６：放電面[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an AC (alternating current) gas discharge display device and a method of manufacturing the same.
[0002]
[Prior art]
A plurality of discharge spaces formed along a direction between a first flat plate (front plate) having translucency and a second flat plate (rear plate) parallel to the first flat plate and filled with a predetermined gas. And a plurality of pairs of sustaining electrodes formed along the other direction orthogonal to the one direction and covered with the thick-film dielectric film to generate gas discharge in each of the plurality of discharge spaces; A plurality of write electrodes formed along the one direction to select a light emitting section by generating a gas discharge between the electrodes, and utilizing a gas discharge between the plurality of pairs of sustain electrodes. An AC-type gas discharge display device having a three-electrode structure, such as a plasma display panel (PDP), which displays a desired image such as a character, a symbol, or a figure by emitting light, is known. That. Such a gas discharge display device directly uses, for example, light emission of neon orange or the like accompanying generation of plasma generated by gas discharge, or a fluorescent material provided in a light emitting section (pixel or cell). An image is displayed using the light emission of the phosphor excited by the ultraviolet light generated by the light emitting device. For this reason, it is expected to be an image display device that replaces a CRT, because it is a flat plate type, which can easily be made larger, thinner, and lighter, and has a wide viewing angle and a fast response speed comparable to a CRT. (For example, see Non-Patent Document 1).
[0003]
[Non-patent document 1]
Tani Chizuka, "Advanced Display Technology," First Edition, First Edition, Kyoritsu Shuppan, December 28, 1998, p. 78-88
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in the display device having the three-electrode structure as described above, for example, the sustain electrode is provided on the front plate on the light emission side, and the write electrode is provided on the back plate side. Discharge between the sustain electrodes. Therefore, in such a surface discharge structure, since the distance between the discharge surfaces of the pair of sustain electrodes is significantly different between the inside and outside, the discharge is performed at the outside position in order to emit light from the entire light emitting section (pixel or cell). In addition to this, there is a problem that the discharge efficiency is reduced when the discharge is attempted, and the thick dielectric film is liable to be deteriorated due to the concentration of the discharge on the inner side where the discharge is likely to occur.
[0005]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a three-electrode AC type gas discharge display device having a facing discharge structure and a method of manufacturing the same.
[0006]
[First means for solving the problem]
In order to achieve such an object, the gist of the gas discharge display device of the first invention is to provide a gas discharge display device having a translucent first flat plate and a second flat plate parallel to the first flat plate. A plurality of formed discharge spaces, and a plurality of formed in the other direction orthogonal to one direction and covered with a thick film dielectric film to generate a gas discharge in each of the plurality of discharge spaces. A plurality of sustain electrodes, and a plurality of write electrodes formed along the one direction in order to select a light emitting section by generating a gas discharge between the sustain electrodes, and the plurality of sustain electrodes. A gas discharge apparatus of a type in which light generated by a gas discharge between sustain electrodes is observed through the first flat plate, wherein (a) a plurality of band-shaped thick film conductors laminated via a thick film dielectric layer That is, each of the plurality of sustain electrodes is configured.
[0007]
[Effect of the first invention]
In this way, each of the plurality of sustain electrodes is constituted by a plurality of band-shaped thick film conductors laminated via the thick film dielectric layer, and the sustain electrodes are covered with the thick film dielectric film. Therefore, when a voltage is applied between the sustain electrodes, charges are continuously formed on the thick dielectric film over the entire area where the strip-shaped thick film conductors are stacked in the thickness direction. . In other words, when an AC discharge is generated, the sustain electrode only functions substantially as an electrode lead, and the thick dielectric film covering it functions as a true electrode. The band-shaped thick film conductor functions equivalently to one conductor having a thickness dimension over the whole of the lamination area. Therefore, the discharge surfaces are opposed to each other with an area corresponding to the lamination range, so that a three-electrode AC type gas discharge display device having a facing discharge structure can be obtained.
[0008]
By the way, when a plurality of strip-shaped thick film conductors are arranged in parallel with each other to constitute a sustain electrode, if the conductor thickness is appropriately set, discharge is generated exclusively between the side surfaces, that is, between the opposed surfaces. Therefore, a facing discharge structure can be obtained. However, since it is extremely difficult to form a thick strip conductor with a certain width, it is difficult to form a thick discharge strip when the thick strip conductor is thickened to form a sufficiently large discharge surface. Has an uneven shape. For this reason, a flat discharge surface cannot be obtained even if the side surface of this uneven shape is covered with a thick-film dielectric film.Therefore, simply increasing the thickness of the band-shaped thick-film conductor has a function that satisfies a gas discharge display device. No opposing discharge electrode was obtained.
[0009]
[Other aspects of the first invention]
Here, preferably, the thick-film dielectric layer is a lattice-like dielectric layer interconnected at a plurality of locations in the longitudinal direction between the plurality of storage electrodes, and the gas discharge display device includes: A sheet comprising the plurality of strip-shaped thick film conductors laminated on the lattice-shaped dielectric layer covered with the thick film dielectric film and arranged between the first flat plate and the second flat plate in parallel with the first flat plate and the second flat plate It includes members. With this configuration, a plurality of sustain electrodes are formed by a plurality of strip-shaped thick film conductors laminated via a thick film dielectric layer in a lattice-like sheet member. Therefore, since the sustain electrodes are provided only by disposing the sheet member between the first substrate and the second substrate, heat treatment for forming the sustain electrodes on the inner surface is not performed on the first flat plate. In addition, since electrodes, dielectrics, and the like are not formed on the inner surface of the first flat plate on the light emission side, the process of forming the electrodes and the like may be complicated in order to increase the transparency of the first flat plate as much as possible. Absent. Therefore, it is possible to obtain an AC-type gas discharge display device having a three-electrode structure in which the manufacturing process is simple and distortion or the like due to heat treatment accompanying the formation of the electrodes and the like is suppressed.
[0010]
Incidentally, in the conventional gas discharge display device having the surface discharge structure, the first flat plate (front plate) which needs to transmit light as much as possible is a transparent electrode whose sustaining electrode is formed of an ITO (indium tin oxide) film or the like. And a bus electrode made of a metal or a thick film conductor to supplement the conductivity. Therefore, in the manufacturing process, (a) SiO 2 for securing the adhesion between the ITO film and the substrate is formed on the glass substrate. 2 A film, (b) an ITO film, (c) a bus electrode, (d) a black stripe, (e) a dielectric layer, and (f) an MgO film were formed in this order. The above-mentioned ITO film is formed by, for example, sputtering or the like, and then patterned by a photo method of performing resist coating, exposure, development, etching, and resist stripping. When the bus electrode is made of a thin film of Cr-Cu-Cr or the like, the bus electrode is made of a thick film conductor by using the same method as that of the ITO film. It is formed by a thick film process such as a method. Further, the dielectric layer and the MgO film are required to have high quality so as to have high translucency. That is, in the conventional three-electrode structure, the manufacturing process of the conductor film, the dielectric film, and the like formed on the inner surface has been complicated due to the requirement for the front plate to have a light-transmitting property. In addition, when forming a bus electrode in the case of a dielectric layer or a thick film conductor in the above-mentioned manufacturing process, a heat treatment is applied to the substrate for baking them. Therefore, the front plate is distorted and the thick film conductor is cracked or deformed due to variations in the amount of thermal expansion based on the temperature distribution in the substrate and differences in the coefficient of thermal expansion between the dielectric and the thick film conductor. There was also a problem that occurs.
[0011]
Preferably, each of the plurality of sustain electrodes includes a protrusion protruding toward an adjacent sustain electrode in each of the light emitting sections. In this way, since the discharge starting voltage is reduced by reducing the distance between the protruding portion and the sustain electrode facing the protruding portion, uniform discharge is performed while keeping the driving voltage at a low value. As a result, it is possible to obtain an image having desired luminance and color tone.
[0012]
Preferably, the plurality of strip-shaped thick film conductors have both ends in the width direction exposed from the thick film dielectric layer. In this way, the sustain electrode can be discharged between the adjacent sustain electrodes on either side, so that the combination of the pair of discharges in the discharge space of the odd-numbered columns counted from the end and the combination of the even-numbered columns are performed. By adopting a 2: 1 interlace (interlaced scanning) for displaying one frame (that is, one image) in two fields by alternately switching between a pair of pairs to be discharged in the discharge space and a conductive film, Without increasing the number of scanning lines, the number of scanning lines can be doubled as compared with the conventional three-electrode structure, and the resolution can be increased.
[0013]
[Second means for solving the problem]
In addition, the gist of the manufacturing method of the second invention for achieving the above object is to form a first flat plate having translucency and a second flat plate parallel to the first flat plate along one direction. A plurality of discharge spaces, and a plurality of discharge spaces formed along the other direction orthogonal to one direction to generate gas discharge in each of the plurality of discharge spaces and covered with a thick dielectric film. And a plurality of write electrodes formed along the one direction for selecting a light emitting section by generating a gas discharge between the sustain electrodes and the plurality of sustain electrodes. A method for producing a gas discharge device of a type in which light generated by gas discharge between electrodes is observed through the first flat plate by sealing the first flat plate and the second flat plate in an airtight manner. , (A) a grid-shaped predetermined thickness dimension And (b) a plurality of strip-shaped thick film conductors parallel to each other and located in one plane, and the plurality of strip-shaped thick film conductors overlap each other. A plurality of thick-film conductor layers that are stacked via the lattice-like dielectric layer at positions and configure each of the plurality of sustain electrodes with each set of a plurality of strip-like thick-film conductors overlapping each other; (C) a sheet member fixing step of fixing a sheet member provided with a thick film dielectric film covering the plurality of band-shaped thick film conductors on one inner surface of the first flat plate and the second flat plate. It is in.
[0014]
[Effect of the second invention]
According to this configuration, when manufacturing the gas discharge display device by overlapping and fixing the first flat plate and the second flat plate, the sheet member in which the plurality of thick film conductor layers are stacked via the lattice-like dielectric layer Is fixed to the first flat plate or the second flat plate, so that a sustain electrode is provided in the discharge space. Therefore, since the sustain electrode composed of a plurality of stacked thick film conductors is covered with the thick dielectric film, the plurality of stacked thick film conductors extends over the entire stacking range. It functions in the same way as one conductor having a thickness dimension, and when a voltage is applied between the sustain electrodes, the charge is applied over the entire area where the band-shaped thick film conductor is laminated on the thick film dielectric film in the thickness direction. Are continuously formed. Therefore, the discharge surfaces are opposed to each other with an area corresponding to the lamination range, so that a three-electrode AC type gas discharge display device having a facing discharge structure can be obtained. Moreover, since the thick film conductor layer for forming the sustain electrode is provided on the sheet member, the sustain electrode can be provided only by disposing the sheet member between the first flat plate and the second flat plate. Therefore, when the sustain electrode is provided on the first flat plate, the distortion of the first flat plate and the sustain electrode due to the heat treatment at the time of formation is preferably suppressed.
[0015]
[Another aspect of the second invention]
Here, preferably, the method for manufacturing a gas discharge display device has a film-forming surface constituted by a high melting point particle layer formed by bonding particles having a melting point higher than a predetermined first temperature with a resin. A support preparing step of preparing a support, and forming a dielectric paste film formed by bonding constituent particles of a thick film dielectric material sintered at the first temperature with a resin on the film forming surface; Forming a dielectric paste film in a lattice pattern corresponding to the body layer; and forming a conductive paste film formed by bonding constituent particles of the thick film conductive material sintered at the first temperature with a resin on the film forming surface. A conductor paste film forming step of forming a plurality of layers in a predetermined pattern corresponding to the thick film conductor layer on the dielectric paste film so as to be laminated thereon, and By heat treatment at temperature Sintering the conductive paste film and the dielectric paste film without sintering the high-melting-point particle layer, and separating the conductive paste film and the dielectric paste film from the conductive paste film and the dielectric paste film. And a firing step of producing the sheet member.
[0016]
With this configuration, the thick-film dielectric material and the thick-film conductor material have a high-melting-point particle layer having a melting point higher than the sintering temperature (first temperature) of the thick-film dielectric material and the thick-film dielectric material. After the paste film of the film conductor material is formed in a predetermined pattern, the thick film dielectric material and the thick film conductor material are subjected to heat treatment at a first temperature at which the thick film conductor material is sintered, so that the thick film dielectric layer is formed. A sheet member on which the thick film conductor layer is laminated is generated through the above. Therefore, since the high-melting particle layer that cannot be sintered at the heat treatment temperature becomes a layer in which only the high-melting particles are lined up by burning out the resin, the generated thick film is not fixed to the support. It can be easily peeled off from the film forming surface. At this time, the paste film of the thick film dielectric material and the thick film conductor material can be formed on the film formation surface in a desired pattern using simple equipment by using an appropriate method according to the material and application. It is possible. In addition, since it is handled in a state of being temporarily fixed by being applied to the film forming surface until it is sintered by the heat treatment, the handling is easy. Therefore, a sheet member for providing the sustain electrode can be easily manufactured and used for manufacturing a gas discharge display device. The dielectric paste film forming step and the conductor paste film forming step are alternately repeated a number of times determined according to the configuration of the sheet member.
[0017]
Preferably, the supporting member preparing step includes forming the high melting point particle layer on a surface of a predetermined substrate. In this case, since the paste film is formed on the substrate, the shape of the support is maintained even after the heat treatment, so that the support is composed of only the high melting point particle layer (for example, ceramics). This has an advantage that the handling of the sheet member for providing the sustain electrode in the discharge space becomes easier as compared with the case where the support is made of a raw sheet. In addition, when such a support is used, the substrate on which the high melting point particle layer is interposed between the substrate and the paste film does not restrain the paste film at the time of heat treatment, and the surface of the paste film Since the roughness reflects only the surface roughness of the high melting point particle layer, the influence on the quality of the sheet member such as the flatness, surface roughness and expansion coefficient of the substrate is reduced, and high quality is required for the substrate. Not done.
[0018]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0019]
FIG. 1 is a perspective view, partially cut away, showing the configuration of an AC type color PDP (hereinafter, simply referred to as PDP) 10, which is an example of a gas discharge display device of the present invention. In the figure, a PDP 10 includes a front plate 16 and a rear plate 18 which are arranged parallel to each other with a slight space therebetween such that their substantially flat surfaces 12, 14 face each other. The front plate 16 and the rear plate 18 are hermetically sealed at the peripheral edge thereof via a grid-like sheet member 20, thereby forming an airtight space inside the PDP 10. Each of the front plate 16 and the rear plate 18 has a size of, for example, about 900 × 500 (mm) and a uniform thickness of about 1.1 to 3 (mm), and has a light-transmitting property and is softened. It is made of soda lime glass or the like having a similar point of about 700 (° C.). In the present embodiment, the front plate 16 corresponds to a first flat plate, and the back plate 18 corresponds to a second flat plate.
[0020]
On the back plate 18, a plurality of longitudinal partitions 22 extending in one direction and parallel to each other are provided at a constant center interval of about 200 to 500 (μm). The hermetic space between the back plates 18 is divided into a plurality of discharge spaces 24. The partition 22 is made of, for example, PbO-B 2 O 3 -SiO 2 -Al 2 O 3 -ZnO-TiO 2 It is made of a thick film material containing low softening point glass as a main component, such as a system or a combination thereof, and has a width of about 80 to 200 (μm) and a height of about 30 to 100 (μm). It is provided. The fineness, strength, shape retention and the like of the film are adjusted by appropriately adding an inorganic filler such as alumina or other inorganic pigments to the partition walls 22. The sheet member 20 has a positional relationship in which a portion extending along one direction overlaps the top of the partition wall 22.
[0021]
Further, on the back plate 18, an under coat 26 made of low alkali glass or non-alkali glass or the like covering almost the entire inner surface 14 is provided, and a plurality of books made of thick film silver or the like are provided thereon. An embedded electrode 28 is provided at a position between and along the longitudinal direction of the plurality of partition walls 22 so as to be covered with an overcoat 30 made of an inorganic filler such as low softening point glass and white titanium oxide. . The partition wall 22 is provided so as to protrude from the overcoat 30.
[0022]
Further, on the surface of the overcoat 30 and the side surfaces of the partition walls 22, phosphor layers 32 coated separately for each discharge space 24 are provided with a thickness determined for each color within a range of, for example, about 10 to 20 (μm). Have been. The phosphor layer 32 is made of, for example, one of three color phosphors corresponding to emission colors such as R (red), G (green), and B (blue) emitted by ultraviolet excitation. The discharge spaces 24 are provided so as to have mutually different emission colors. The undercoat 26 and the overcoat 30 are provided for the purpose of preventing the reaction between the writing electrode 28 made of thick silver and the back plate 18 and the contamination of the phosphor layer 32. is there.
[0023]
On the other hand, on the inner surface 12 of the front plate 16, a partition 34 is provided in a stripe shape at a position facing the partition 22. The partition wall 34 is made of, for example, the same material as the partition wall 22 and has a thickness of, for example, about 20 to 50 (μm). Between the partitions 34 on the inner surface 12 of the front plate, a phosphor layer 36 is provided in a stripe shape with a thickness of, for example, about 10 to 20 (μm). The phosphor layer 36 has the same luminescent color as the phosphor layer 32 provided on the back plate 18 so that a single luminescent color is obtained for each discharge space 24. The height of the partition 34 is determined so that the surface thereof is higher than the surface of the phosphor layer 36 in order to prevent the sheet member 20 from contacting the phosphor layer 36.
[0024]
FIG. 2 is a diagram illustrating a main part of the configuration of the sheet member 20 with a part thereof cut away. In the figure, a sheet member 20 has an upper dielectric layer 38 and a lower dielectric layer 40 located on the front surface and the rear surface, respectively, and an upper conductor layer 44 and a lower dielectric layer 40 stacked therebetween with an intermediate dielectric layer 42 interposed therebetween. A lower conductor layer 46, a dielectric film 48 provided over the entire laminate, and a protective film 50 further provided over the dielectric film 48 and constituting the surface layer of the sheet member 20. It is configured.
[0025]
The upper dielectric layer 38, the lower dielectric layer 40, and the intermediate dielectric layer 42 (hereinafter, referred to as the dielectric layer 38 and the like when not particularly distinguished) are all about 20 to 50 (μm), for example, 25 μm. (Μm), and their planar shapes are all the same and form a lattice shape. In this embodiment, these dielectric layers 38 and the like correspond to a lattice-shaped dielectric layer. The width of each of the grids extending in the vertical and horizontal directions is, for example, about the same as the width of the partition wall 22 or slightly larger than the width considering the alignment margin, for example, 100 to 150 (μm). It is about. The dielectric layer 38 and the like are made of, for example, PbO-B 2 O 3 -SiO 2 -Al 2 O 3 -ZnO-TiO 2 It is composed of a thick film dielectric material such as a low softening point glass such as a system or a combination thereof and a ceramic filler such as alumina. In the figure, in portions where the upper conductor layer 44 and the lower conductor layer 46 (hereinafter, referred to as conductor layers 44 and 46 unless otherwise specified) are provided, the laminated dielectric layers 38 and the like are integrated. Indicated.
[0026]
The conductor layers 44 and 46 are thick film conductors containing, for example, aluminum (Al), silver (Ag), chromium (Cr), copper (Cu), or the like as a conductive component. (Μm), for example, having a thickness of about 8 (μm). Each of these conductor layers 44 and 46 is composed of a plurality of strip-shaped thick film conductors 52 extending along one direction of the lattice of the dielectric layer 38 or the like. The band-shaped thick film conductor 52 has a width dimension substantially equal to or slightly smaller than the dielectric layer 38 or the like and protrudes on both sides in the width direction, for example, in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the partition walls 22, that is, in a writing direction. It extends along a direction perpendicular to the longitudinal direction of the electrode 28. In the longitudinal direction of the partition 22, the strip-shaped thick film conductors 52 are alternately provided with those connected to a common wiring and those connected to independent wirings. Each set of the strip-shaped thick film conductors 52, 52 overlapping with the intermediate dielectric layer 42 interposed therebetween is connected to a common wiring inside the sheet member 20 or outside the hermetic space.
[0027]
As shown at the left end in FIG. 2, each of the plurality of strip-shaped thick film conductors 52 is provided with a plurality of protrusions 54 that protrude alternately in the width direction at a plurality of locations in the longitudinal direction. I have. Since each of the plurality of protrusions 54 is located at a corner of the opening of the lattice, the band-shaped thick film conductor 52 projects at the corner toward the inner peripheral side of the opening. Is a position facing a protruding portion 54 provided on another strip-shaped thick film conductor 52 adjacent to the opening portion. Note that one set of such opposed protrusions 54, 54 exists in one opening. In the openings adjacent to each other in the width direction of the band-shaped thick film conductor 52, projecting portions 54, 54 are provided at corners located on opposite sides in the longitudinal direction of the band-shaped thick film conductor 52. The projecting length of the projecting portion 54 in the width direction of the band-shaped thick film conductor 52 is, for example, in the range of 50 to 200 (μm), for example, about 100 (μm), and the width is, for example, 30 to 150 (μm). ), For example, about 75 (μm).
[0028]
In addition, the dielectric layer 38 and the like are also provided in such a shape that the opening corners of the lattice are enlarged inward at the positions where the above-described projections 54 are provided, and the projections 54 are partially formed on the enlarged portions. , And the rest is located on a component of the lattice perpendicular to the longitudinal direction of the strip-shaped thick film conductor 52. As a result, each of the openings of the lattice has a uniform shape in the thickness direction of the sheet member 20.
[0029]
The dielectric film 48 has a thickness of, for example, about 10 to 30 (μm), for example, about 20 (μm), for example, PbO-B. 2 O 3 -SiO 2 -Al 2 O 3 -ZnO-TiO 2 It is a thick film made of a glass having a low softening point, such as a system or a combination thereof. The dielectric film 48 is provided for causing an AC discharge as described later by storing electric charges on the surface. At the same time, the conductor layers 44 and 46 made of a thick film material must not be exposed. Accordingly, it also has a role of suppressing a change in the atmosphere in the discharge space 24 due to the out gas.
[0030]
The protective film 50 has a thickness of, for example, about 0.5 (μm) and is a thin film or a thick film containing MgO or the like as a main component. The protective film 50 is for preventing the dielectric film 48 from being sputtered by the discharge gas ions. However, since the protective film 50 is made of a dielectric material having a high secondary electron emission coefficient, it functions substantially as a discharge electrode.
[0031]
The PDP 10 having the electrode structure as described above sequentially scans by applying a predetermined AC pulse to one of the strip-shaped thick film conductors 52, which is made independent, and synchronizes with the scanning timing. When a predetermined AC pulse is applied to a desired one of the write electrodes 28 corresponding to the data (ie, a write electrode corresponding to the one selected as a section to emit light), as shown by an arrow A in FIG. A write discharge is generated between them, and charges are accumulated on the protective film 50. At this time, the electric fields formed by the two band-shaped thick film conductors 52, 52 stacked via the intermediate dielectric layer 42, respectively, form one electric field by being superposed on the protective film 50 covering them. Therefore, on the protective film 50, the electric charge is continuously generated in the thickness direction within the range 56 (see FIG. 4) in which the strip-shaped thick film conductors 52 are provided by the discharge between the write electrode 28 and the protective film 50. It will be accumulated. That is, in this embodiment, this range 56 functions as a discharge surface.
[0032]
After scanning all the thick film conductors 52 functioning as the scanning electrodes as described above, a predetermined AC pulse is applied between all the thick film conductors 52, 52. Since the potential due to the accumulated charge is superimposed on the applied voltage and exceeds the discharge starting voltage, a discharge is generated between the discharge surfaces 56 and 56 as shown by another arrow in FIG. It is maintained for a predetermined period of time predetermined by the applied wall charges and the like. As a result, the phosphor layers 32 and 36 in the section selected by the ultraviolet rays generated by the gas discharge are excited to emit light, and the light is emitted through the front plate 16 to display one image. Since the strip-shaped thick film conductor 52 is provided with the protrusion 54, the sustain discharge is first generated between the opposed protrusions 54, 54, and then spread over the entire discharge surface 56. . Then, by changing the data-side electrode (writing electrode 28) to which the AC pulse is applied for each period of the scanning-side electrode, a desired image is continuously displayed. FIG. 3 is a view showing a cross section along the longitudinal direction of the partition wall 22 of the PDP 10, that is, a cross section perpendicular to the longitudinal direction of the strip-shaped thick film conductor 52.
[0033]
At this time, since the thickness dimensions of the strip-shaped thick film conductors 52, 52 facing each other in the discharge space 24 are small, the area of the opposed electrodes is equal to the thickness of the two stacked strip-shaped thick film conductors 52, 52. The total size is, for example, only about 16 (μm). However, according to the present embodiment, since the wide discharge surface 56 is formed based on the continuity of the charge described above, the opposed discharge structure in which such discharge surfaces 56 and 56 are opposed to each other is realized. In other words, in the present embodiment, the laminated strip-shaped thick film conductors 52, 52 integrally constitute a sustain electrode. The interval between the conductor layers 44 and 46 determined by the thickness of the intermediate dielectric layer 42 is, for example, about 25 (μm). Is determined experimentally, for example, according to the area of the discharge surface 56 to be used.
[0034]
The sustain discharge is generated between the band-shaped thick film conductors 52, 52. Since the discharge space 24 is continuous along the longitudinal direction of the partition wall 22, the ultraviolet rays generated by the discharge are strip-shaped in that direction. It extends outside the thick film conductors 52,52. Therefore, the phosphor layers 32 and 36 located outside thereof are also allowed to emit light in the range where the ultraviolet rays reach. The partition of the light emitting unit (cell) in the PDP 10 is divided by the partition wall 22 in a direction perpendicular to the partition wall 22, that is, in the left-right direction in the drawing, and substantially within the range of the ultraviolet rays in the longitudinal direction of the partition wall 22, that is, in the vertical direction in the drawing. Is defined by In this embodiment, the division of the light emitting section in the longitudinal direction of the partition wall 22, that is, the dot pitch is, for example, about 0.9 (mm), and the color cell pitch in the direction perpendicular thereto is, for example, 0.3 (mm). It is about. In the present embodiment, the strip-shaped thick film conductors 52 are provided at a center interval of, for example, about 50 (μm), and a plurality of, for example, three openings are arranged continuously in the longitudinal direction of the discharge space 22. It is provided in one light emitting section. Therefore, it is configured such that discharge is generated at a plurality of locations in one light emitting section, and a plurality of sets of projecting portions 54, 54 facing each other are provided in each light emitting section.
[0035]
In addition, the light generated from the phosphor layer 32 in the discharge space 22 as described above passes through the openings of the sheet member 20 having a lattice shape, as is apparent from the configuration of the PDP 10 shown in FIG. It is emitted from the front panel 12 via Therefore, part of the light generated from the phosphor layer 32 is blocked by the sheet member 20 and cannot contribute to display. At this time, in the present embodiment, as described above, the protrusions 54 protruding into the openings of the lattice are provided alternately at one end and the other end in the width direction in the longitudinal direction of the discharge space 22. In addition, since the visual effect due to the light shielding of the projection 54 is reduced, the deterioration of the display quality due to the existence of the projection 54 is substantially eliminated. The size of the protruding portion 54 for lowering the discharge start voltage is determined so that the discharge start voltage can be reduced as much as possible within a range in which shading due to its existence is allowed.
[0036]
Here, in the present embodiment, each of the plurality of sustain electrodes for generating the sustain discharge in the discharge space 22 is composed of two strip-shaped thick film conductors 52, which are stacked via the intermediate dielectric layer 42. 52, which are covered with the dielectric film 48 and the protective film 50. When a voltage is applied between the strip-shaped thick film conductors 52, 52 adjacent to each other, a sheet is formed on the protective film 50. In the thickness direction of the member 20, charges are continuously formed over the entire area where the strip-shaped thick film conductors 52, 52 are stacked. Therefore, since the discharge surfaces 56 are opposed to each other with an area corresponding to the above-described lamination range, the PDP 10 having the opposed discharge structure is obtained.
[0037]
Further, in this embodiment, the plurality of pairs of strip-shaped thick film conductors 52, 52, that is, each of the plurality of sustaining electrodes, are mutually opposed protrusions 54, 54 protruding toward the adjacent strip-shaped thick film conductor 52. Is provided for each light-emitting section. For this reason, since the discharge starting voltage is reduced by reducing the distance between the protruding portions 54, 54, uniform discharge is possible while keeping the driving voltage at a low value. And the like can be obtained.
[0038]
In the present embodiment, both ends in the width direction of the strip-shaped thick film conductors 52, 52 are exposed from the dielectric layer 38 and the like, and the protrusions 54 are provided on both sides in the width direction. Therefore, the belt-like thick film conductor 52 is configured to be able to discharge between the belt-like thick film conductors 52, 52 adjacent on both sides thereof. It is also possible to increase the resolution by applying a scanning voltage to every other strip-shaped thick film conductor 52 connected to the other, and driving by a 2: 1 interlace that displays one frame in two fields. .
[0039]
Further, according to the present embodiment, the discharge surface 56 is located at an intermediate height between the front plate 16 and the rear plate 18 and the discharge direction is along the inner surfaces 12, 14. Therefore, since the influence of the discharge gas and ions on the inner surface 12 of the front plate and the inner surface 14 of the back plate is small, the phosphor layers 32 and 36 are provided over a wide range on both of them as described above. Therefore, there is an advantage that the luminance can be dramatically increased as compared with the case of the surface discharge structure in which the phosphor layer 32 can be provided only on the substrate opposite to the substrate to which the sustain electrodes are fixed.
[0040]
Further, since the strip-shaped thick film conductor 52 constituting the sustain electrode is not provided on the front plate 16, even when the film is made of thick silver, the yellow discoloration of the silver is not observed. Therefore, there is an advantage that it is not necessary to use an expensive black conductive material such as ruthenium oxide as a constituent material of the sustain electrode 48.
[0041]
By the way, the PDP 10 as described above is manufactured by assembling the sheet member 20, the front plate 16, and the rear plate 18 separately processed (or manufactured) according to, for example, a process diagram shown in FIG.
[0042]
In the process of processing the back plate 18, first, in an under coat forming step 58, the thick film insulator paste is applied to the inner surface 14 of the prepared flat back plate 18 and baked to form the under coat 26. To form Next, in a write electrode forming step 60, the write electrode 28 is formed on the under coat 26 with a thick film conductive material paste such as a thick film silver paste by using, for example, a thick film screen printing method or a lift-off method. . In the subsequent overcoat forming step 62, a thick-film insulating paste containing a low softening point glass and an inorganic filler is repeatedly applied over the entire surface of the undercoat 26 from above the writing electrode 28 and baked. An overcoat 30 is formed.
[0043]
Next, in the partition wall forming step 64, for example, a thick film insulating paste mainly containing low softening point glass and inorganic filler is applied, dried, and then subjected to a baking treatment at a temperature of, for example, about 500 to 650 (° C.). Thereby, the partition wall 22 is formed. If the desired height of the partition wall 22 cannot be ensured by one printing, printing and drying are repeated as many times as necessary. The same applies to the undercoat forming step 58 to the overcoat forming step 62 described above. Then, in the phosphor layer forming step 66, three kinds of phosphor pastes corresponding to three colors of RGB are applied to predetermined positions defined for each color between the partition walls 22 by a thick film screen printing method or by pouring. Then, the phosphor layer 32 is provided by performing a baking treatment at a temperature of, for example, about 450 (° C.).
[0044]
On the other hand, in the processing step of the front plate 16, first, in the partition wall forming step 68, similarly to the above step 64, for example, a thick film insulating paste mainly containing low softening point glass and inorganic filler is printed by thick film screen printing. The coating is repeatedly applied on the inner surface 12 by using a thick film forming technique such as a method, dried, and further baked at a heat treatment temperature in the range of, for example, about 500 to 650 (° C.) determined according to the type of the thick film insulating paste. Thereby, the partition wall 34 is formed. Next, in the phosphor layer forming step 70, three kinds of phosphor pastes corresponding to the three colors of RGB are thick-film-screen-printed or dropped-printed from the top of the partition 34 at predetermined positions between the partitions 34 and defined for each color. The phosphor layer 36 is provided by applying such a method and baking at a temperature of, for example, about 450 (° C.).
[0045]
Then, the front plate 16 and the back plate 18 are overlapped with each other via the above-described sheet member 20 produced in the sheet member producing step 72, and a heat treatment is performed in the sealing step 74, so that an interface between them is formed. These are hermetically sealed with a sealing agent such as a seal glass applied in advance. Prior to the sealing, the sheet member 20 is fixed to one of the front plate 16 and the back plate 18 using a glass frit or the like, if necessary. Then, in the exhaust / gas sealing step 72, the PDP 10 is obtained by evacuating the formed airtight container and sealing a predetermined discharge gas.
[0046]
In the above manufacturing process, the sheet member manufacturing process 72 is performed according to, for example, a process shown in FIG. 6 to which a well-known thick film printing technique is applied. Hereinafter, a method for manufacturing the sheet member 20 will be described with reference to FIGS. 7A to 7E and FIGS.
[0047]
First, in step 78 for preparing a substrate, a substrate 80 (see FIG. 7) on which thick film printing is to be performed is prepared, and an appropriate cleaning process is performed on the surface 78 and the like. The substrate 80 is hardly deformed or deteriorated during a heat treatment described later, and has a thermal expansion coefficient of 87 × 10 -7 (/ ° C.), a glass substrate made of soda lime glass or the like having a softening point of about 740 (° C.) and a strain point of about 510 (° C.) is preferably used. The thickness of the substrate 80 is, for example, in the range of about 2 to 3 (mm), for example, about 2.8 (mm), and the size of the surface 82 is made sufficiently larger than the sheet member 20. ing.
[0048]
Next, in a release layer forming step 84, the release layer 86 having the high melting point particles bonded with the resin is applied to the surface 82 of the substrate 80, for example, in a range of about 5 to 50 (μm), preferably 10 to 20 (μm). ). The high melting point particles have a high softening point glass frit having an average particle size of about 0.5 to 3 (μm) and an average particle size of about 0.01 to 5 (μm), for example, 1 (μm). About 30 to 50% of a ceramic filler such as alumina or zirconia. The above-mentioned glass having a high softening point has a softening point of, for example, about 550 (° C.) or more, and the softening point of the high melting point particles as a mixture is, for example, about 550 (° C.) or more. The resin is, for example, an ethylcellulose-based resin which is burned off at about 350 (° C.). As the release layer 86, for example, as shown in FIG. 7A, an inorganic material paste 88 in which the high melting point particles and the resin are dispersed in an organic solvent such as butyl carbitol acetate (BCA) or terpineol is used. It is provided by applying the liquid on substantially the entire surface of the substrate 80 by using a screen printing method and drying it at a drying furnace or at room temperature, but it can also be provided by applying a coater or a film laminate. As the drying furnace, a far-infrared drying furnace capable of sufficiently supplying and exhausting air is preferably used so that the surface roughness of the film is excellent and the resin is uniformly dispersed. FIG. 7B shows a stage in which the release layer 86 is formed in this manner. In FIG. 7A, 90 is a screen, and 92 is a squeegee. In this embodiment, the substrate 80 provided with the release layer 86 corresponds to a support, and the surface of the release layer 86 corresponds to a film forming surface. Corresponds to the body preparation process.
[0049]
In a subsequent thick film paste layer forming step 94, a thick film dielectric paste 96 for forming the dielectric layer 38 and the like and a thick film conductor paste 98 for forming the conductor layers 44 and 46 (see FIG. ) Is sequentially applied and dried in a predetermined pattern on the release layer 86 by using a screen printing method or the like in the same manner as the inorganic material paste 88. As a result, the dielectric printed layers 100, 104, and 108 for forming the dielectric layer 38 and the like, and the conductive printed layers 102 and 106 for forming the conductive layers 44 and 46 are formed in the stacking order. The thick film dielectric paste 96 is obtained by dispersing a dielectric material powder such as alumina or zirconia, a glass frit, and a resin in an organic solvent. The thick-film conductor paste 98 is, for example, a conductor material powder such as silver powder, glass frit, and resin dispersed in an organic solvent. The above glass frit is made of, for example, PbO-B 2 O 3 -SiO 2 -Al 2 O 3 -TiO 2 A low softening point glass or the like is used, and the same resin and solvent as the inorganic material paste 88 are used, for example. FIGS. 7C to 7E show the stages in which the dielectric print layer 100, the conductor print layer 102, and the dielectric print layers 104 to 108 are formed, respectively. If a predetermined thickness cannot be obtained by one printing, printing and drying are repeated as many times as necessary.
[0050]
After forming the thick print layers 100 to 108 as described above and drying to remove the solvent, in the firing step 110, the substrate 80 is placed in the furnace chamber 112 of a predetermined firing apparatus, and the thick film dielectric The heat treatment is performed at a firing temperature of, for example, about 550 (° C.) according to the type of the paste 96 and the thick film conductor paste 98. FIG. 8F shows a state during the heat treatment.
[0051]
In the above heat treatment process, since the sintering temperature of the thick-film printing layers 100 to 108 is, for example, about 550 (° C.), the resin components are burned off and the dielectric material, the conductor material, and the glass frit are removed. The sintering produces the dielectric layer 38 and the like and the conductor layers 44 and 46, that is, the basic parts of the sheet member 20. FIG. 8G shows this state. At this time, since the inorganic component particles of the release layer 86 have a softening point of 550 (° C.) or more as described above, the resin component is burned off, but the high melting point particles (glass powder and ceramic) are used.・ Filler) cannot be sintered. Therefore, when the resin component is burned off as the heat treatment proceeds, the release layer 86 becomes a particle layer 116 composed of only the high-melting particles 114 (see FIG. 9).
[0052]
FIG. 9 is an enlarged view of a part of the right end of FIG. 8 (g), schematically showing the progress of sintering in the above heat treatment. The particle layer 116 formed by burning out the resin component of the peeling layer 86 is a layer in which the high-melting particles 114 are merely stacked, and the high-melting particles 114 are not restricted to each other. Therefore, when the thick-film printing layers 100 to 108 contract from the end positions before firing indicated by the one-dot chain line in the figure, the high melting point particles 114 act like a roller. As a result, a force that prevents the contraction of the thick print layers 100 to 108 on the lower surface side of the thick film print layers 100 to 108 does not act on the lower surface side of the thick print layers 100 to 108. No warpage or the like has occurred.
[0053]
In the present embodiment, the thermal expansion coefficient of the substrate 80 is substantially the same as that of the dielectric material, and until the sintering of the thick print layers 100 to 108 starts, that is, the resin component is burned off but the glass component is burned. There is almost no difference in the amount of thermal expansion between the frit, the dielectric material powder, and the conductor powder in a temperature range in which the bonding force is still small. On the other hand, when the sintering of the thick film printing layers 100 to 108 starts, the substrate 80 does not hinder the firing shrinkage by the action of the particle layer 116 as described above. Thus, thermal expansion of the substrate 80 does not substantially affect the quality of the thick film produced. When the substrate 80 is used repeatedly or when the heat treatment temperature is increased, a heat-resistant glass having a higher strain point (for example, having a coefficient of thermal expansion of 32 × 10 -7 (/ ° C.) and a borosilicate glass having a softening point of about 820 (° C.) or a thermal expansion coefficient of 5 × 10 -7 (/ ° C.) and a softening point of about 1580 (° C.) quartz glass or the like) can be used. Also in this case, in a temperature range where the bonding force of the dielectric material powder or the like is small, the amount of thermal expansion of the substrate 80 is extremely small, so that the thermal expansion does not affect the quality of the generated thick film.
[0054]
Returning to FIG. 6, in the peeling step 118, the generated thick film, that is, the laminated body of the dielectric layers 38, 40, 42 and the conductor layers 44, 46 is peeled from the substrate 80. Since the high melting point particles 114 are merely stacked in the particle layer 116 interposed therebetween, the above-described peeling treatment can be easily performed without using any chemicals or equipment. At this time, the high melting point particles 114 can adhere to the back surface of the laminate with a thickness of about one layer, and the adhered particles are removed using an adhesive tape or an air blow as necessary. Note that the substrate 80 from which the thick film has been peeled is unlikely to be deformed or deteriorated at the above-mentioned firing temperature as described above, and thus is repeatedly used for the same purpose.
[0055]
Next, in a dielectric paste application step 120, the peeled laminate is dipped in a dielectric paste 124 stored in a dipping tank 122, so that the dielectric paste 124 is applied to the entire outer peripheral surface. This dielectric paste 124 is made of, for example, PbO-B 2 O 3 -SiO 2 -Al 2 O 3 -ZnO-TiO 2 A glass powder such as a system or a combination thereof, and a resin such as PVA are dispersed in a solvent such as water, and are prepared to have a lower viscosity than the thick film dielectric paste 96 described above. . In addition, the above-mentioned glass powder having a softening point not containing lead of about 630 (° C.) or more can be used. This is about the same as or higher than the softening point of the substance contained in the thick film dielectric paste 96. In addition, the use of the paste prepared to have a low viscosity is to prevent bubbles from being caught and spread during application, and to prevent defects from remaining after firing. Is gently submerged in the dielectric paste 124 while being placed on the substrate and is taken out.
[0056]
In the subsequent sintering step 128, the laminate taken out of the dipping tank 122 and sufficiently dried is put into a sintering furnace, for example, 550 to 580 determined according to the type of glass powder contained in the dielectric paste 124. Heat treatment (firing) is performed at a predetermined temperature of about (° C.). The firing temperature is set to a temperature sufficiently higher than the softening point of the glass powder, for example, so that the glass powder is sufficiently softened to obtain a dense dielectric layer (dielectric film 48). For this reason, the dielectric film 48 thus formed has almost no void due to the grain boundary between the glass powders, and has a high withstand voltage. Since the conductor layers 44 and 46 are thin films each having a thickness of about 5 to 20 (μm) as described above, the widths thereof are substantially uniform, and the conductor layers 44 and 46 are formed on the side surfaces of the laminate. There is no rattling of the thick film pattern at the width direction ends of 44 and 46, and the entire side surface of the laminate is smooth. Therefore, the dielectric film 48 formed thereon has a smooth surface with few irregularities, so that the variation in the firing voltage is suppressed and the withstand voltage is further increased. In the present embodiment, the coating step includes the dielectric paste application step 120 and the baking step 128.
[0057]
Then, in the protective film forming step 130, the protective film 50 is formed in a desired thickness dimension on the surface of the dielectric film 48 by, for example, dipping and baking, or by a thin film process such as an electron beam method or sputtering. The sheet member 20 is obtained by being provided on substantially the entire surface. Since the protective film 50 is a thin film as described above, it is relatively difficult to form a uniform film by a thick film process such as dipping. However, in this embodiment, since the opposed discharge is performed between the discharge surfaces 56, 56 covered with the dielectric coating 48 formed with a substantially uniform film thickness, the discharge is performed regardless of the surface shape of the protective film 50. Concentration is unlikely to occur. Therefore, the protective film 50 is not required to be as uniform as when a surface discharge structure is employed. Further, since the protective film 50 does not exist on the light emission path, its transparency is not required.
[0058]
Here, in this embodiment, when the PDP 10 is manufactured by overlapping and fixing the front plate 16 and the back plate 18, the sheet member 20 including the conductor layers 44 and 46 manufactured as described above is used. By being fixed to the front plate 16 or the rear plate 18, a strip-shaped thick film conductor 52 functioning as a sustain electrode is provided in the discharge space 24. Therefore, since the conductor layer for forming the sustain electrode is provided on the sheet member 20, the sustain electrode can be provided only by disposing the sheet member 20 between the front plate 16 and the back plate 18. Therefore, it is possible to manufacture PDP 10 in which the distortion of front plate 16 and the sustain electrodes due to the heat treatment during the formation of the sustain electrodes on front plate 16 is suitably suppressed. Therefore, the AC-type PDP 10 having a three-electrode structure in which the distortion and the like caused by the heat treatment accompanying the formation of the electrodes and the like can be obtained by a simple manufacturing process. That is, SiO 2 A complicated process of providing a coat, ITO, a bus electrode, and the like becomes unnecessary.
[0059]
Further, in this embodiment, the printed layers 100 to 108 are formed in a predetermined pattern on the film forming surface composed of the release layer 86 having a melting point higher than the sintering temperature of the thick film conductor paste 98 and the thick film dielectric paste 96. After being formed, the sheet member 20 in which the conductor layers 44 and 46 are laminated via the intermediate dielectric layer 42 is generated by performing a heat treatment at a temperature at which they are sintered. Therefore, the release layer 86 that is not sintered at the heat treatment temperature becomes the particle layer 116 in which only the high-melting particles 114 are arranged by burning out the resin, so that the generated thick film is not fixed to the substrate 80. , Can be easily separated from the surface 82 thereof. Therefore, the sheet member 20 for forming the sustain electrode can be easily manufactured and used for manufacturing the PDP 10.
[0060]
As described above, the present invention has been described in detail with reference to the drawings. However, the present invention can be implemented in other embodiments.
[0061]
For example, in the embodiment, the case where the present invention is applied to the AC-type PDP 10 for color display and the manufacturing method thereof has been described. However, the present invention is similarly applied to the AC-type PDP for monochrome display and the manufacturing method thereof. Applied.
[0062]
Further, the PDP 10 of the embodiment is of a type having three color phosphor layers 32 and 36 to perform full color display. However, the present invention relates to a PDP having one or two color phosphor layers. Applies similarly.
[0063]
Further, in the embodiment, the strip-shaped thick film conductor 52 is configured to be discharged between the strip-shaped thick film conductors 52 adjacent on both sides in the width direction, but only the one adjacent to one is discharged. Such a configuration is acceptable.
[0064]
Further, in the embodiment, the two conductor layers 44 and 46 are provided via the intermediate dielectric layer 42. However, the number of conductor layers for forming the sustain electrode is determined by the desired discharge surface 56. Is appropriately determined within the range of two or more layers according to the area of the conductive layer, and three or more conductor layers may be laminated with two or more intermediate dielectric layers interposed therebetween.
[0065]
Further, in the embodiment, the protruding portion 54 for facilitating the start of discharge is provided on the strip-shaped thick film conductor 52. However, the discharge start voltage can be made sufficiently low or its variation can be made sufficiently small. In this case, the protrusion 54 need not be provided.
[0066]
Further, in the embodiment, the band-shaped thick film conductor 52 constituting the sustain electrode is provided in the sheet member 20, but a parallel electrode pair extending along a direction orthogonal to the longitudinal direction of the discharge space 24 can be provided. If it is, the arrangement form does not matter. For example, a partition extending in a direction perpendicular to the partition 22 may be protruded from the inner surface of the front plate 16, and the band-shaped thick film conductors 52, 52 may be laminated on the dielectric via a dielectric layer.
[0067]
Further, in the embodiment, the partition walls 22 are provided in a stripe shape. However, if there is no problem in the sealing of the exhaust gas after the sealing, the discharge space may be defined by grid-shaped partition walls. In this case, the conductor layers 44 and 46 can be provided on the grid-like partition walls. Further, in the embodiment, the partition walls 22 and 34 are formed on both the front plate 16 and the rear plate 18, but they may be provided on only one of them. In that case, in order to avoid the contact between the sheet member 20 and the phosphor, it is preferable that the phosphor layer is not provided on the side where the partition is not provided.
[0068]
In addition, the thickness dimension, mutual interval, and the like of the conductor layers 44 and 46 are appropriately determined according to desired electrical characteristics, mechanical strength, and the like, and are not limited to those described in the embodiments.
[0069]
Further, in the embodiment, the entire surface of the sheet member 20 is covered with the dielectric film 48, but it is sufficient that at least the conductor layers 44 and 46 are covered. It does not matter if the film 48 is not provided.
[0070]
Further, in the embodiment, the sheet member 20 is manufactured by providing the dielectric layer 38 and the like by using the thick film screen printing method. May be provided with a thick paste layer and patterned using a photo process.
[0071]
In the embodiment, the phosphor layers 32 and 36 are provided on both of the inner surfaces 12 and 14. However, only one of them can be provided.
[0072]
Although not specifically exemplified, the present invention can be variously modified without departing from the gist thereof.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing a color PDP, which is an example of an AC-type gas discharge display device having a three-electrode structure according to the present invention, with a part cut away.
FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of a sheet member provided in the PDP of FIG.
FIG. 3 is a diagram illustrating a cross-sectional structure of the PDP of FIG. 1 in a cross section along a longitudinal direction of a partition.
FIG. 4 is an enlarged view of a part of FIG. 3;
FIG. 5 is a process chart illustrating a method for manufacturing the PDP of FIG.
FIG. 6 is a process diagram illustrating a method for manufacturing a sheet member.
FIGS. 7A to 7E are views showing the state of a substrate and a thick film in a main part stage of the manufacturing process of FIG. 6;
8 (f) to 8 (h) are diagrams subsequent to FIG. 7 (e) for showing the state of the substrate and the thick film at the main part stage of the manufacturing process of FIG. 6;
FIG. 9 is a view for explaining a shrinkage behavior in the firing step of FIG. 6;
[Explanation of symbols]
10: PDP
16: Front panel
18: Back plate
20: Sheet member
24: discharge space
38: upper dielectric layer, 40: lower dielectric layer, 42: intermediate dielectric layer
44: upper wiring layer, 46: lower wiring layer
52: Strip thick film conductor
54: Projection
56: Discharge surface

Claims (4)

透光性を有する第１平板およびその第１平板に平行な第２平板の間に一方向に沿って形成された複数本の放電空間と、それら複数本の放電空間の各々でガス放電を発生させるためにその一方向に直交する他方向に沿って形成され且つ厚膜誘電体皮膜で覆われた複数本の維持電極と、その維持電極との間でガス放電を発生させることにより発光区画を選択するために前記一方向に沿って形成された複数本の書込電極とを備え、前記複数本の維持電極間のガス放電で発生した光を前記第１平板を通して観察する形式のガス放電装置であって、
厚膜誘電体層を介して積層された複数本の帯状厚膜導体で前記複数本の維持電極の各々が構成されたことを特徴とするガス放電表示装置。A plurality of discharge spaces formed along one direction between a first flat plate having a light transmitting property and a second flat plate parallel to the first flat plate, and gas discharge is generated in each of the plurality of discharge spaces. A plurality of sustaining electrodes formed along the other direction perpendicular to the one direction and covered with the thick dielectric film, and a gas discharge is generated between the sustaining electrodes to form a light emitting section. A plurality of write electrodes formed along the one direction for selection, and a gas discharge device of a type in which light generated by gas discharge between the plurality of sustain electrodes is observed through the first flat plate. And
A gas discharge display device, wherein each of the plurality of sustain electrodes is composed of a plurality of strip-shaped thick film conductors laminated via a thick film dielectric layer. 前記厚膜誘電体層は前記複数本の維持電極相互間においてその長手方向における複数箇所で相互に接続された格子状誘電体層であり、
前記格子状誘電体層に積層された前記複数本の帯状厚膜導体が前記厚膜誘電体皮膜で覆われて成り且つ前記第１平板および前記第２平板間にそれらに平行に配置されたシート部材を含むものである請求項１のガス放電表示装置。The thick film dielectric layer is a lattice-like dielectric layer interconnected at a plurality of locations in the longitudinal direction between the plurality of storage electrodes,
A sheet comprising the plurality of strip-shaped thick film conductors laminated on the lattice-shaped dielectric layer covered with the thick film dielectric film and arranged between the first flat plate and the second flat plate in parallel with the first flat plate and the second flat plate 2. The gas discharge display device according to claim 1, including a member. 前記複数本の維持電極の各々は、隣接する維持電極に向かって突き出した突出部を前記発光区画の各々に備えたものである請求項１のガス放電表示装置。2. The gas discharge display device according to claim 1, wherein each of the plurality of sustain electrodes includes a protrusion protruding toward an adjacent sustain electrode in each of the light emitting sections. 3. 透光性を有する第１平板およびその第１平板に平行な第２平板の間に一方向に沿って形成された複数本の放電空間と、それら複数本の放電空間の各々でガス放電を発生させるためにその一方向に直交する他方向に沿って形成され且つ厚膜誘電体皮膜で覆われた複数本の維持電極と、その維持電極との間でガス放電を発生させることにより発光区画を選択するために前記一方向に沿って形成された複数本の書込電極とを備え、前記複数本の維持電極間のガス放電で発生した光を前記第１平板を通して観察する形式のガス放電装置を、前記第１平板および前記第２平板を重ね合わせて気密に封着することにより製造する方法であって、
格子状を成した所定厚さ寸法の厚膜誘電体から成る格子状誘電体層と、
一平面内に位置する互いに平行な複数本の帯状厚膜導体を各々備えると共にそれら複数本の帯状厚膜導体が相互に重なる相対位置で前記格子状誘電体層を介して積層され且つそれら相互に重なる複数本の帯状厚膜導体の各組で前記複数本の維持電極の各々を構成するための複数の厚膜導体層と、
前記複数本の帯状厚膜導体を覆う厚膜誘電体皮膜と
を備えたシート部材を、前記第１平板および前記第２平板の一方の内面上に固着するシート部材固着工程を含むことを特徴とするガス放電表示装置の製造方法。A plurality of discharge spaces formed along one direction between a first flat plate having a light transmitting property and a second flat plate parallel to the first flat plate, and gas discharge is generated in each of the plurality of discharge spaces. A plurality of sustaining electrodes formed along the other direction perpendicular to the one direction and covered with the thick dielectric film, and a gas discharge is generated between the sustaining electrodes to form a light emitting section. A plurality of write electrodes formed along the one direction for selection, and a gas discharge device of a type in which light generated by gas discharge between the plurality of sustain electrodes is observed through the first flat plate. Is produced by superposing the first flat plate and the second flat plate and sealing them tightly,
A grid-like dielectric layer made of a thick film dielectric having a grid-like predetermined thickness dimension;
It comprises a plurality of parallel strip-shaped thick film conductors located in one plane, and the plurality of strip-shaped thick film conductors are laminated via the lattice-like dielectric layer at relative positions where they overlap with each other, and are mutually connected. A plurality of thick film conductor layers for configuring each of the plurality of sustain electrodes with each set of a plurality of overlapping strip-shaped thick film conductors,
A sheet member fixing step of fixing a sheet member provided with a thick film dielectric film covering the plurality of band-shaped thick film conductors on one inner surface of the first flat plate and the second flat plate. Of manufacturing a gas discharge display device.
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