JP2004121957A

JP2004121957A - Droplet discharging device and its workpiece replacing method, electro-optical device, manufacturing method of electro-optical device and electronic apparatus

Info

Publication number: JP2004121957A
Application number: JP2002288869A
Authority: JP
Inventors: Tatsuo Yoda; 依田　達雄
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2002-10-01
Filing date: 2002-10-01
Publication date: 2004-04-22

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a droplet discharging device with shortened cycle time in work treatment as a whole, and a workpiece replacing method. <P>SOLUTION: This droplet discharging device 1 treats a work by relatively moving a functional droplet discharging nozzle head 8 to the workpiece W and selectively discharging the functional droplets from the head 8. The device is equipped with a first workpiece table 21A and a second workpiece table 21B respectively placing workpiece W, and a workpiece replacement means 3 for alternately placing the treated workpiece W and the untreated workpiece W to the first and the second workpiece tables 21A and 21B. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板等のワークに対し、インクジェットヘッドに代表される機能液滴吐出ヘッドにより機能液の吐出を行う液滴吐出装置およびそのワーク交換方法、並びに電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
セットテーブル上の基板等のワークに対し、機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を吐出して描画を行う従来の液滴吐出装置では、描画動作が完了したところで処理後（描画済み）のワークを交換位置に移動させ、ワーク移載機構により、処理前（新規）のワークと交換するようにしている。この場合、ワーク移載機構は、例えば供給カセットおよび回収カセットを有し、移載ロボットにより、処理後のワークをセットテーブルから回収カセットに移載した後、処理前のワークを供給カセットからセットテーブルに移載する。また、セットテーブルに移載されたワークに対しては、認識カメラ等を用いて精度良く位置決め（アライメント）が為される。
【０００３】
なお、本出願人による未開示の先行出願として特願２００２−３０００５号（図６、段落番号［００６９］〜［００７２］）があるが、開示されている先行技術文献は見当たらない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来の液滴吐出装置では、ワークの載せ替え（交換）を行うときには描画動作が停止しているため、描画時間に対するワークの交換時間（アライメントを含む）の比率が比較的高い場合には、描画時間を短縮しても、全体としてワーク処理のタクトタイムが短縮し難い問題がある。
【０００５】
本発明は、全体としてワーク処理におけるタクトタイムを短縮することができる液滴吐出装置およびそのワーク交換方法、並びに電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器を提供することを課題としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の液滴吐出装置は、ワークに対し、機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出してワーク処理を行う液滴吐出装置において、ワークをそれぞれ搭載する第１ワークテーブルおよび第２ワークテーブルと、第１ワークテーブルおよび第２ワークテーブルに対し、処理後のワークと処理前のワークとの載せ替えを交互に行うワーク交換手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この場合、第１ワークテーブルおよび第２ワークテーブルは、相互に平行に延在し、且つワーク処理においてそれぞれワークを延在方向に移動させる移動テーブルで構成されていることが、好ましい。
【０００８】
これらの構成によれば、第１ワークテーブルにセットしたワークに対し、機能液滴吐出ヘッドによりワーク処理を行っている間に、第２ワークテーブル上で処理後のワークと処理前のワークとの載せ替え（交換）を行う。同様に、第２ワークテーブルにセットしたワークに対し、ワーク処理を行っている間に、第１ワークテーブル上で処理後のワークと処理前のワークとの載せ替え（交換）を行う。すなわち、第１および第２ワークテーブルを用いて、ワーク処理とワーク交換を同時並行で行うようにしている。このため、ワーク交換の際にワーク処理を中止する必要がない。
なお、第１ワークテーブルおよび第２ワークテーブルを、単なるセットテーブル（可動ではない）で構成する場合には、ワークのセット位置を相互にずらして、ワーク交換の際に、機能液滴吐出ヘッド等の可動部分が邪魔にならないようにすることが、好ましい。
【０００９】
この場合、ワーク交換手段は、相互に独立に構成された、処理前のワークを供給するワーク供給機構および処理後のワークを回収するワーク回収機構から成ることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、ワーク交換手段を単純化することができると共に、ワーク供給機構とワーク回収機構とを適宜、分散して配置することができる。
【００１１】
この場合、第１ワークテーブルおよび第２ワークテーブルは、ワークの移動方向の一方の端部にそれぞれワークの供給ポジションを有すると共に他方の端部にそれぞれワークの回収ポジションを有し、ワーク供給機構は、第１ワークテーブルおよび第２ワークテーブルのそれぞれの供給ポジション側に臨み、ワーク回収機構は、第１ワークテーブルおよび第２ワークテーブルのそれぞれの回収ポジション側に臨んでいることが、好ましい。
【００１２】
この構成によれば、第１ワークテーブルおよび第２ワークテーブルを、その延在方向の両側から挟むようにワーク供給機構およびワーク回収機構を配置することができ、ワーク供給機構およびワーク回収機構の相互の干渉を構造的に防止することができると共に、ワーク供給機構およびワーク回収機構をバランス良く配置することができる。
【００１３】
この場合、機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に機能液滴吐出ヘッドをワークの移動方向と交差する方向に移動させるヘッド移動テーブルを、更に備え、ヘッド移動テーブルは、機能液滴吐出ヘッドを垂設すると共に、機能液吐出ヘッドを、第１ワークテーブルおよび第２ワークテーブルの延在方向の略中間位置を通るように移動させることが、好ましい。
【００１４】
この構成によれば、第１ワークテーブルおよび第２ワークテーブルの延在方向の略中間位置でワーク処理を行い、これから左右に外れた位置でワーク交換を行うことができる。すなわち、ワーク処理に用いる作業エリアとワーク交換に用いる作業エリアとを、十分に離すことができ、ワーク交換手段と、機能液滴吐出ヘッド等の可動部分との干渉を極力防止することができる。
【００１５】
これらの場合、ワーク供給機構は、処理前のワークを収容する供給用ワークカセットと、供給用ワークカセット内のワークを、第１ワークテーブルおよび第２ワークテーブルに移載する供給ロボットと、供給ロボットを、供給用ワークカセットからワークを取り出す位置、第１ワークテーブルの供給ポジションに臨む位置および第２ワークテーブルの供給ポジションに臨む位置の相互間で移動させる供給ロボット移動機構と、を有していることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、第１ワークテーブルにワークを供給する場合には、供給ロボットを供給用ワークカセットまで移動させ、供給用ワークカセットからワークを取り出した後、供給ロボットを第１ワークテーブルまで移動させて、これにワークを載置する。同様に、第２ワークテーブルにワークを供給する場合には、供給ロボットを供給用ワークカセットまで移動させ、供給用ワークカセットからワークを取り出した後、供給ロボットを第２ワークテーブルまで移動させて、これにワークを載置する。このように供給ロボットを移動させるようにしているため、供給ロボット自体を単純な動きのもので構成することができる。
【００１７】
この場合、供給用ワークカセットと供給ロボット移動機構とは、第１ワークテーブルおよび第２ワークテーブルの延在方向と交差する方向に列設されていることが、好ましい。
【００１８】
この構成によれば、ワーク供給機構を装置本体に沿わせて配置することができ、全体として装置をコンパクトに構成することができる。
【００１９】
これらの場合、ワーク回収機構は、処理後のワークを収容する回収用ワークカセットと、第１ワークテーブルおよび第２ワークテーブルのワークを、回収用ワークカセットに移載する回収ロボットと、回収ロボットを、回収用ワークカセットにワークを受け渡す位置、第１ワークテーブルの回収ポジションに臨む位置および第２ワークテーブルの回収ポジションに臨む位置の相互間で移動させると回収ロボット移動機構と、を有していることが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、第１ワークテーブルからワークを回収する場合には、回収ロボットを第１ワークテーブルまで移動させ、ワークをハンドリングさせた後、供給ロボットを供給用ワークカセットまで移動させて、これにワークを投入させる。同様に、第２ワークテーブルからワークを回収する場合には、回収ロボットを第２ワークテーブルまで移動させ、ワークをハンドリングさせた後、供給ロボットを供給用ワークカセットまで移動させて、これにワークを投入させる。
【００２１】
この場合、回収用ワークカセットと回収ロボット移動機構とは、第１ワークテーブルおよび第２ワークテーブルの延在方向と交差する方向に列設されていることが、好ましい。
【００２２】
この構成によれば、ワーク回収機構を装置本体に沿わせて配置することができ、全体として装置をコンパクトに構成することができる。
【００２３】
本発明の液滴吐出装置のワーク交換方法は、ワークに対し、機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を選択的に吐出してワーク処理を行う液滴吐出装置のワーク交換方法において、ワークをそれぞれ搭載する第１ワークテーブルおよび第２ワークテーブルを用い、第１ワークテーブルによりワーク処理を行っている間に、第２ワークテーブル上で処理後のワークと処理前のワークとの載せ替えを行い、第２ワークテーブルによりワーク処理を行っている間に、第１ワークテーブル上で処理後のワークと処理前のワークとの載せ替えを行うことを特徴とする。
【００２４】
この構成によれば、第１および第２ワークテーブルを用いて、ワーク処理とワーク交換とを同時並行で行うようにしているため、ワーク交換の際にワーク処理を中止する必要がない。
【００２５】
本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、機能液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２６】
同様に、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、機能液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成することを特徴とする。
【００２７】
これらの構成によれば、ワーク処理を短時間で行うことが可能な液滴吐出装置を用いて製造されるため、電気光学装置自体を効率よく製造することが可能となる。なお、電気光学装置としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ　Ｄｉｓｐｌａｙ　Ｐａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ　Ｅｍｉｓｓｉｏｎ　Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。
【００２８】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置または上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置を、搭載したことを特徴とする。
【００２９】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して、本発明の液滴吐出装置、電気光学装置および電子機器について説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、能液滴吐出ヘッドを用い、ワークである基板Ｗに機能液滴を吐出し、基板上に所望の成膜部を形成する（ワーク処理）ものである（詳細は後述する）。図１に示すように、実施形態の液滴吐出装置１は、ワーク処理を行う装置本体２と、装置本体２に付設されたワーク交換を行うワーク交換手段３とで構成されている。
【００３１】
装置本体２は、機台５と、機台５上の全域に広く載置された描画装置６と、機台５上の端部に載置されたヘッド機能回復装置７とを有し、描画装置６によりワーク処理を行うと共に、ヘッド機能回復装置７により描画装置６に備える機能液滴吐出ヘッド８の機能回復処理（メンテナンス）を行うようにしている。ワーク交換手段３は、ワークＷを描画装置６に供給するワーク供給機構１０と、ワークＷを描画装置６から回収するワーク回収機構１１とを有し、このワーク供給機構１０およびワーク回収機構１１は、機台（装置本体２）５を挟むようにその両側に添設されている。
【００３２】
描画装置６は、第１ワークテーブルである第１Ｘ軸テーブル２１Ａと、第１Ｘ軸テーブル２１Ａに近接しこれに平行に配設した第２ワークテーブルである第２Ｘ軸テーブル２１Ｂと、第１・第２両Ｘ軸テーブル２１Ａ，２１Ｂに直交すると共に、第１・第２両Ｘ軸テーブル２１Ａ，２１Ｂおよびヘッド機能回復装置７を跨ぐように配設したＹ軸テーブル２２と、Ｙ軸テーブル２２に移動自在に取り付けたメインキャリッジ２３と、メインキャリッジ２３に垂設したヘッドユニット２４とを備えている。そして、ヘッドユニット２４には、サブキャリッジ２５を介して、複数個（図示では４個）の機能液滴吐出ヘッド８が搭載されている。また、この場合のワークＷは基板であり、第１・第２両Ｘ軸テーブル２１Ａ，２１Ｂにそれぞれに着脱自在に搭載されるようになっている。
【００３３】
ヘッド機能回復装置７は、機台５上に載置した移動テーブル３１と、移動テーブル３１上に載置したキャップユニット３２およびワイピングユニット３３とを備えている。キャップユニット３２は、機能液滴吐出ヘッド８から機能液を強制的に吸引すると共に、機能液滴吐出ヘッド８の全ノズルからの機能液の吐出を受けるフラッシングボックスの機能を有している。ワイピングユニット３３は、主に、機能液吸引を行った後の機能液滴吐出ヘッド８のノズル面をワイピングする。
【００３４】
キャップユニット３２には、例えば複数（４個）の機能液滴吐出ヘッド８に対応する複数（４個）のキャップを組み込んだキャップアッセンブリが、昇降自在に設けられており、ヘッドユニット２４（の機能液滴吐出ヘッド８）に機能液の充填を行う場合や、機能液滴吐出ヘッド８内で増粘した機能液を除去する場合には、各キャップを各機能液滴吐出ヘッド８に密着させて、ポンプ吸引を行う。また、機能液の吐出（描画）を休止するときには、各キャップを各機能液滴吐出ヘッド８から僅かに離間させておいて、フラッシング（捨て吐出）を行う。
【００３５】
ワイピングユニット３３には、例えば、ワイピングシートが繰出し且つ巻取り自在に設けられており、繰り出したワイピングシートを送りながら、且つ移動テーブル３１によりワイピングユニット３３をＸ軸方向に移動させながら、機能液滴吐出ヘッド８のノズル面を拭き取るようになっている。
【００３６】
さらに、図示では省略したが、この液滴吐出装置１には、各機能液滴吐出ヘッド８に機能液が供給する機能液供給機構や、上記の描画装置６や機能液滴吐出ヘッド８等の構成装置を統括制御する制御手段（後述する）１３などが組み込まれている。
【００３７】
第１・第２両Ｘ軸テーブル２１Ａ，２１Ｂは、それぞれＸ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＸ軸スライダ４１を有し、これに吸着テーブル４３およびθテーブル４４等から成るセットテーブル４２を移動自在に搭載して、構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル２２は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＹ軸スライダ４６を有し、これにθテーブル４７を介して上記のメインキャリッジ２３を移動自在に搭載して、構成されている。
【００３８】
この場合、第１・第２両Ｘ軸テーブル２１Ａ，２１Ｂは、機台５上に直接支持される一方、Ｙ軸テーブル２２は、機台５上に立設した前後の支柱４９，４９に支持されている。また、第１Ｘ軸テーブル２１Ａと第２Ｘ軸テーブル２１Ｂとヘッド機能回復装置７とは、Ｘ軸方向に相互に平行に配設されており、これら装置の延在方向の略中間位置（の直上部）を横断するようにＹ軸テーブル２２がＹ軸方向に延在している。
【００３９】
そして、Ｙ軸テーブル２２は、これに搭載したヘッドユニット（機能液吐出ヘッド８）２４を、ヘッド機能回復装置７の直上部に位置する機能回復エリア５１と、第１Ｘ軸テーブル２１Ａの直上部に位置する第１描画エリア５２と、第２Ｘ軸テーブル２１Ｂの直上部に位置する第２描画エリア５３との相互間で、適宜移動させる。すなわち、Ｙ軸テーブル２２は、機能液滴吐出ヘッド８の機能回復を行う場合には、ヘッドユニット２４を機能回復エリア５１に臨ませ、第１Ｘ軸テーブル２１Ａに導入したワークＷに描画を行う場合には、ヘッドユニット２４を第１描画エリア５２に臨ませ、さらに第２Ｘ軸テーブル２１Ｂに導入したワークＷに描画を行う場合には、ヘッドユニット２４を第２描画エリア５３に臨ませる。
【００４０】
一方、Ｙ軸テーブル２２を挟んで第１・第２両Ｘ軸テーブル２１Ａ，２１Ｂの左端部は、それぞれワークＷを第１・第２両Ｘ軸テーブル２１Ａ，２１Ｂに装着（セット）するための供給ポジション５５，５５となっており、また右端部は、それぞれワークＷを第１・第２両Ｘ軸テーブル２１Ａ，２１Ｂから取り去るための回収ポジション５６，５６となっている。第１・第２各Ｘ軸テーブル２１Ａ，２１Ｂがワーク供給機構１０からワークＷの供給を受ける場合には、セットテーブル４２を供給ポジション５５にそれぞれ移動させ、ワーク回収機構１１にワークＷを受け渡す場合には、ワークＷを搭載したセットテーブル４２を回収ポジション５６にそれぞれ移動させる。
【００４１】
各供給ポジション５５には、一対のワーク認識カメラ５８，５８が配設されており、この一対のワーク認識カメラ５８，５８により、セットテーブル（の吸着テーブル４４）４２上に供給されたワークＷの２箇所の基準マークを同時に認識し、この認識結果に基づいて、ワークＷのアライメントが為される。より具体的には、この認識結果に基づいて、セットテーブル４２のθテーブル４４により機能液滴吐出ヘッド（ヘッドユニット２４）８の角度補正が為されると共に、後述する吐出パターンデータにおけるＸ軸方向およびＹ軸方向の位置データの補正が為される。
【００４２】
実施形態の液滴吐出装置１では、Ｘ軸方向へのワークＷの移動を主走査とし、Ｙ軸方向への機能液滴吐出ヘッド（ヘッドユニット２４）８の移動を副走査として、上記の制御手段１３に記憶する吐出パターンデータに基づいて描画が行われる。
【００４３】
例えば、第１描画エリア５２に導入したワークＷに描画を行う場合には、機能液滴吐出ヘッド（ヘッドユニット２４）８を第１描画エリア５２に臨ませておいて、第１Ｘ軸テーブル２１Ａによる主走査およびＹ軸テーブル２２の副走査に同期して、機能液滴吐出ヘッド８を駆動（機能液滴の選択的吐出）させる。同様に、第２描画エリア５３に導入したワークＷに描画を行う場合には、機能液滴吐出ヘッド（ヘッドユニット２４）８を第２描画エリア５３に臨ませておいて、第２Ｘ軸テーブル２１Ｂによる主走査およびＹ軸テーブル２２の副走査に同期して、機能液滴吐出ヘッド８を駆動（機能液滴の選択的吐出）させる。
【００４４】
また、機能液滴吐出ヘッド８の機能回復を行う場合には、移動テーブル３１によりキャップユニット３２を機能回復エリア５１に移動させると共に、Ｙ軸テーブル２２によりヘッドユニット２４を機能回復エリア５１に移動させ、機能液滴吐出ヘッド８のフラッシング或いはポンプ吸引を行う。また、ポンプ吸引を行った場合には、続いて移動テーブル３１によりワイピングユニット３３を機能回復エリア５１に移動させ、機能液滴吐出ヘッド８のワイピングを行う。
【００４５】
一方、ワーク交換手段３のワーク供給機構１０は、処理前のワークＷを収容する供給用ワークカセット６１と、供給用ワークカセット６１内のワークＷを、第１Ｘ軸テーブル２１Ａおよび第２Ｘ軸テーブル２１Ｂに交互に移載する供給ロボット６２と、供給ロボット６２を、供給用ワークカセット６１と第１・第２各Ｘ軸テーブル２１Ａ，２１Ｂとの間で移動させる台付きの供給ロボット移動機構６３と、を有している。この場合、供給用ワークカセット６１と供給ロボット移動機構６３とは、機台５の左端に沿ってＹ軸方向に列設されている。
【００４６】
供給用ワークカセット６１は、カセットケース内に多段の棚を有し、処理前の多数枚のワークＷをストックしている。供給ロボット移動機構６３は、特に詳細は図示しないが、例えば供給ロボット６２を載置するスライダと、スライダの移動（Ｙ軸方向）をガイドする一対のスライドガイドと、スライダに螺合するボールねじと、ボールねじを正逆回転させるモータと、これらを搭載する架台とで構成されている。モータが正逆回転すると、スライダがスライドガイドに案内されてＹ軸方向（前後方向）に移動する。
【００４７】
供給ロボット６２は、図２に示すように、ワークＷを吸着載置（ハンドリング）する薄板フォーク状のロボットハンド６５と、ロボットハンド６５を支持すると共にこれを水平面内で自在に移動させる（進退自在且つ旋回自在）ロボットアーム６６と、ロボットアーム６６を上下動させる上下動機構６７と、上下動機構６７を内蔵したスタンド部６８と備えている。供給ロボット６２は、このスタンド部６８の部分で供給ロボット移動機構６３のスライダ上に固定されている。
【００４８】
ワーク（処理前のワークＷ）Ｗを、第１・第２各Ｘ軸テーブル２１Ａ，２１Ｂに供給する場合には、先ず供給ロボット移動機構６３により供給ロボット６２を、供給用ワークカセット６１のワーク取出し位置に移動させる。次に、供給ロボット６２を駆動して、所望の棚に収容しているワークＷを取り出す。ここで、ワークＷを第１Ｘ軸テーブル２１Ａに供給する場合には、供給ロボット移動機構６３により供給ロボット６２を、第１Ｘ軸テーブル２１Ａの供給ポジション５５に臨む位置まで移動させる。また、この移動に相前後して、供給ロボット６２は、そのロボットアーム６６を９０°旋回させてワークＷをセット姿勢にする。最後に、供給ロボット６２は、ワークＷを供給ポジション５５に移動しているセットテーブル４２上に移載する。また、ワークＷを第２Ｘ軸テーブル２１Ｂに供給する場合も、全く同様の動きとなる。
【００４９】
ワーク回収機構１１は、処理後のワークＷを収容する回収用ワークカセット７１と、第１Ｘ軸テーブル２１Ａおよび第２Ｘ軸テーブル２１ＢのワークＷを、回収用ワークカセット７１に移載する回収ロボット７２と、回収ロボット７２を、回収用ワークカセット７１と第１・第２各Ｘ軸テーブル２１Ａ，２１Ｂとの間で移動させる台付きの回収ロボット移動機構７３と、を有している。また、上記と同様に、回収用ワークカセット６１と回収ロボット移動機構６３とは、機台５の右端に沿ってＹ軸方向に列設されている。なお、回収用ワークカセット７１、回収ロボット７２および回収ロボット移動機構７３は、処理後のワークＷを扱うこと以外は、上記の供給用ワークカセット６１、供給ロボット６２および供給ロボット移動機構６３と同一の構造を有しているため、ここではこれらの構造の説明を省略する。
【００５０】
このワーク回収機構１１により、ワーク（処理後のワークＷ）Ｗを、例えば第１Ｘ軸テーブル２１Ａから回収する場合には、先ず回収ロボット移動機構７３により回収ロボット７２を、第１Ｘ軸テーブル２１Ａの回収ポジション５６に臨む位置に移動させ、回収ポジション５６に移動しているセットテーブル４２からワークＷを受け取る。次に、回収ロボット移動機構７３により回収ロボット７２を、回収用ワークカセット７１のワークＷを収容する位置まで移動させる。また、この移動に相前後して、回収ロボット７２は、そのロボットアーム６６を９０°旋回させてワークＷを収容姿勢にする。最後に、回収ロボット７２は、ワークＷを回収用ワークカセット７１の所望の棚に収容する。また、ワークＷを第２Ｘ軸テーブル２１Ｂから回収する場合も、全く同様の動きとなる。
【００５１】
制御手段１３は、図３に示すように、液滴吐出装置１の各種動作を制御する制御部８１を備えている。制御部８１は、各種の制御を行うＣＰＵ８２、ＲＯＭ８３、ＲＡＭ８４およびインターフェース８５を備え、これらは互いにバス８６を介して接続されている。ＲＯＭ８３は、ＣＰＵ８２で処理する制御プログラムや制御データを記憶する領域を有している。ＲＡＭ８４は、制御処理のための各種作業領域として使用される。インターフェース８５には、ＣＰＵ８２の機能を補うと共に周辺回路とのインターフェース信号を取り扱うための論理回路が組み込まれている。
【００５２】
インターフェース８５には、上記の第１・第２両Ｘ軸テーブル２１Ａ，２１Ｂ、Ｙ軸テーブル２２、各機能液滴吐出ヘッド８、ヘッド機能回復装置７、ワーク供給機構１０およびワーク回収機構１１が、それぞれドライバ（図示省略）を介して接続されている。さらに、インターフェース８５には、検出部８７として、ワーク認識カメラ（２組、計４台）５８，５８が接続されている。そして、ＣＰＵ８２は、ＲＯＭ８３内の制御プログラムに従って、インターフェース８５を介して各種検出信号、各種指令、各種データを入力し、ＲＡＭ８４内の各種データ（吐出パターンデータ）等を制御し、インターフェース８５を介して各種の制御信号を出力する。
【００５３】
すなわち、ＣＰＵ８２は、機能液滴吐出ヘッド８の吐出駆動をそれぞれ制御すると共に、第１・第２両Ｘ軸テーブル２１Ａ，２１ＢおよびＹ軸テーブル２２の移動動作を制御して、ワークＷに描画（液滴吐出）を行わせる一方、ワーク交換に際し、ワーク供給機構１０およびワーク回収機構１１を制御する。また、ＣＰＵ８２は、ワークＷがセットされると、ワーク認識カメラ５８の認識結果に基づいて、第１・第２各Ｘ軸テーブル２１Ａ，２１Ｂにおける角度補正および吐出パターンデータの補正を行う。さらに、ＣＰＵ８２は、機能液滴吐出ヘッド８の定期的なメンテナンスに際し、ヘッド機能回復装置７のキャップユニット３２およびワイピングユニット３３等を制御する。
【００５４】
次に、この制御手段１３による描画動作およびワーク交換動作の制御方法について説明する。図１に示すように、第１Ｘ軸テーブル２１Ａの第１描画領域５２に処理前のワークＷが導入されている状態では、これにヘッドユニット（機能液滴吐出ヘッド８）２４が臨んで、ワークＷへの描画（機能液滴の選択的吐出）が行われる。
【００５５】
一方、この描画動作に並行して、第２Ｘ軸テーブル２１Ｂでは、処理後のワークＷが回収ポジション５６に移動し、これにワーク回収機構１１の回収ロボット７２が臨んでワークＷを回収し、回収用ワークカセット７１に収容する。また、第２Ｘ軸テーブル２１Ａは、ワークＷを回収ロボット７２に受け渡すと、セットテーブル４２を供給ポジション５５に移動させる。ここで、供給ロボット６２が、回収用ワークカセット６１から搬送してきたワークＷをセットテーブル４２に移載する。
【００５６】
セットテーブル４２上にワークＷがセットされると、ワーク認識カメラ５８がワークＷを認識して各種の補正が為される。このようにしてワークＷのセットが完了すると、第２Ｘ軸テーブル２１Ｂは、セットテーブル４２を介してワークＷを第２描画エリア５３に移動させて、これを待機状態とする。
【００５７】
やがて、第１描画エリア５２における描画が完了すると、Ｙ軸テーブル２２はヘッドユニット２４を第２描画エリア５３に移動させて、新たなワークＷに対して描画動作を開始する。このようにしてヘッドユニット２４が第１描画エリア５２から移動すると、上記と同様に、描画後のワークＷが回収ポジション５６に移動してワークＷの回収が行われ、続いて供給ポジション５５においてワークＷの供給が為される。
【００５８】
このように第１Ｘ軸テーブル２１ＡでワークＷへの描画動作を行っているときに、第２Ｘ軸テーブル２１ＢでワークＷの交換（載せ替え）を行うようにしているため、ワーク交換の間でも描画動作を継続することができる。したがって、従来のように、ワーク交換のために描画動作を中止する必要がなく、全体としてワーク処理におけるタクトタイムを格段に短縮することができ、生産性を向上させることができる。
【００５９】
なお、実施形態の液滴吐出装置１では、特定のワーク（基板）Ｗの描画に要する時間（描画時間）がほぼ３５秒であり、その際のワークＷの交換に要する時間（交換時間）が２５秒である。このため、上記のように描画動作とワークの交換動作を同時並行的に行うことで、タクトタイムを６０秒から３５秒に短縮することができる。
【００６０】
ここで、上記の液滴吐出装置１を液晶表示装置の製造に適用した場合について、説明する。図４は、液晶表示装置３０１の断面構造を表している。同図に示すように、液晶表示装置３０１は、ガラス基板３２１を主体として対向面に透明導電膜（ＩＴＯ膜）３２２および配向膜３２３を形成した上基板３１１および下基板３１２と、この上下両基板３１１，３１２間に介設した多数のスペーサ３３１と、上下両基板３１１，３１２間を封止するシール材３３２と、上下両基板３１１，３１２間に充填した液晶３３３とで構成されると共に、上基板３１１の背面に位相基板３４１および偏光板３４２ａを積層し、且つ下基板３１２の背面に偏光板３４２ｂおよびバックライト３４３を積層して、構成されている。
【００６１】
通常の製造工程では、それぞれ透明導電膜３２２のパターニングおよび配向膜３２３の塗布を行って上基板３１１および下基板３１２を別々に作製した後、下基板３１２にスペーサ３３１およびシール材３３２を作り込み、この状態で上基板３１１を貼り合わせる。次いで、シール材３３２の注入口から液晶３３３を注入し、注入口を閉止する。その後、位相基板３４１、両偏光板３４２ａ，３４２ｂおよびバックライト３４３を積層する。
【００６２】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば、スペーサ３３１の形成や、液晶３３３の注入に利用することができる。具体的には、機能液としてセルギャップを構成するスペーサ材料（例えば、紫外線硬化樹脂や熱硬化樹脂）や液晶を導入し、これらを所定の位置に均一に吐出（塗布）させていく。先ずシール材３３２を環状に印刷した下基板３１２を吸着テーブル４２にセットし、この下基板３１２上にスペーサ材料を粗い間隔で吐出し、紫外線照射してスペーサ材料を凝固させる。次に、下基板３１２のシール材３３２の内側に、液晶３３３を所定量だけ均一に吐出して注入する。その後、別途準備した上基板３１１と、液晶を所定量塗布した下基板３１２を真空中に導入して貼り合わせる。
【００６３】
このように、上基板３１１と下基板３１２とを貼り合わせる前に、液晶３３３をセルの中に均一に塗布（充填）するようにしているため、液晶３３３がセルの隅など細部に行き渡らない等の不具合を解消することができる。
【００６４】
なお、機能液（シール材用材料）として紫外線硬化樹脂或いは熱硬化樹脂を用いることで、上記のシール材３３２の印刷をこの液滴吐出装置１で行うことも可能である。同様に、機能液（配向膜材料）としてポリイミド樹脂を導入することで、配向膜３２３を液滴吐出装置１で作成することも可能である。
【００６５】
このように、液晶表示装置３０１の製造においては多種の機能液を導入することが想定されるが、上記した液滴吐出装置１では、特殊形態の機能液滴吐出ヘッド３０により機能液を精度良く吐出する（着弾させる）ことができるため、液晶表示装置３０１を精度良く且つ安定に製造することができる。
【００６６】
ところで、上記した液滴吐出装置１は、携帯電話やパーソナルコンピュータ等の電子機器に搭載される上記の液晶表示装置３０１の他、各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることが可能である。すなわち、本実施形態の液滴吐出装置１は、有機ＥＬ装置、ＦＥＤ装置（電子放出装置）、ＰＤＰ装置および電気泳動表示装置等の製造に適用することができる。
【００６７】
有機ＥＬ装置の製造に、上記した液滴吐出装置１を応用した例を簡単に説明する。有機ＥＬ装置は、図５に示すように、有機ＥＬ装置４０１は、基板４２１、回路素子部４２２、画素電極４２３、バンク部４２４、発光素子４２５、陰極４２６（対向電極）、および封止用基板４２７から構成された有機ＥＬ素子４１１に、フレキシブル基板（図示省略）の配線および駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。回路素子部４２２は基板４２１上に形成され、複数の画素電極４２３が回路素子部４２２上に整列している。そして、各画素電極４２３間にはバンク部４２４が格子状に形成されており、バンク部４２４により生じた凹部開口４３１に、発光素子４２５が形成されている。陰極４２６は、バンク部４２４および発光素子４２５の上部全面に形成され、陰極４２６の上には、封止用基板４２７が積層されている。
【００６８】
有機ＥＬ装置４０１の製造工程では、予め回路素子部４２２上および画素電極４２３が形成されている基板４２１（ワークＷ）上の所定の位置にバンク部４２４が形成された後、発光素子４２５を適切に形成するためのプラズマ処理が行われ、その後に発光素子４２５および陰極４２６（対向電極）を形成される。そして、封止用基板４２７を陰極４２６上に積層して封止して、有機ＥＬ素子４１１を得た後、この有機ＥＬ素子４１１の陰極４２６をフレキシブル基板の配線に接続すると共に、駆動ＩＣに回路素子部４２２の配線を接続することにより、有機ＥＬ装置４０１が製造される。
【００６９】
液滴吐出装置１は、発光素子４２５の形成に用いられる。具体的には、機能液滴吐出ヘッド３０に発光素子材料（機能液）を導入し、バンク部４２４が形成された基板４２１の画素電極４２３の位置に対応して、発光素子材料を吐出させ、これを乾燥させることで発光素子４２５を形成する。なお、上記した画素電極４２３や陰極４２６の形成等においても、それぞれに対応する液体材料を用いることで、液滴吐出装置１を利用して作成することも可能である。
【００７０】
また例えば、電子放出装置の製造方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３０にＲ、Ｇ、Ｂ各色の蛍光材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド３０を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、電極上に多数の蛍光体を形成する。
【００７１】
ＰＤＰ装置の製造方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３０にＲ、Ｇ、Ｂ各色の蛍光材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド３０を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、背面基板上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。
【００７２】
電気泳動表示装置の製造方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３０に各色の泳動体材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド３０を主走査および副走査し、泳動体材料を選択的に吐出して、電極上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。なお、帯電粒子と染料とからなる泳動体は、マイクロカプセルに封入されていることが好ましい。
【００７３】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられ、本実施形態の液滴吐出装置１は、これらの各種製造方法にも、適用可能である。
【００７４】
例えば、金属配線形成方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３０に液状金属材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド３０を主走査および副走査し、液状金属材料を選択的に吐出して、基板上に金属配線を形成する。例えば、上記の液晶表示装置におけるドライバと各電極とを接続する金属配線や、上記有機ＥＬ装置におけるＴＦＴ等と各電極とを接続する金属配線に適用してこれらのデバイスを製造することができる。また、この種のフラットパネルディスプレイの他、一般的な半導体製造技術に適用できることは言うまでもない。
【００７５】
レンズの形成方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３０にレンズ材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド３０を主走査および副走査し、レンズ材料を選択的に吐出して、透明基板上に多数のマイクロレンズを形成する。例えば、上記ＦＥＤ装置におけるビーム収束用のデバイスを製造する場合に適用可能である。また、各種光デバイスの製造技術にも適用可能である。
【００７６】
レンズの製造方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３０に透光性のコーティング材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド３０を主走査および副走査し、コーティング材料を選択的に吐出して、レンズの表面にコーティング膜を形成する。
【００７７】
レジスト形成方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３０にレジスト材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド３０を主走査および副走査し、レジスト材料を選択的に吐出して、基板上に任意形状のフォトレジストを形成する。例えば、上記の各種表示装置におけるバンクの形成はもとより、半導体製造技術の主体をなすフォトリソグラフィー法において、フォトレジストの塗布に広く適用可能である。
【００７８】
光拡散体形成方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３０に光拡散材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド３０を主走査および副走査し、光拡散材料を選択的に吐出して、基板上に多数の光拡散体を形成する。この場合も、各種光デバイスに適用可能であることはいうまでもない。
【００７９】
このように、液滴吐出装置１には、多種の機能液が導入される可能性があるが、上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、電気光学装置を精度良く且つ安定に製造することができる。
【００８０】
【発明の効果】
本発明の液滴吐出装置およびそのワーク交換方法によれば、第１および第２ワークテーブルを用いて、ワーク処理とワーク交換を同時並行的に行うようにしているため、ワーク交換の際にワーク処理を中止する必要がなく、全体としてワーク処理におけるタクトタイムを短縮することができる。
【００８１】
本発明の電気光学装置および電子機器によれば、ワーク処理を短時間で効率良く行い得る液滴吐出装置により製造されるため、良質で低コストの電気光学装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置の平面図である。
【図２】ワーク交換手段の供給ロボット（回収ロボット）の構造図である。
【図３】液滴吐出装置の制御手段を表したブロック図である。
【図４】本発明の液滴吐出装置により製造した液晶表示装置の断面図である。
【図５】本発明の液滴吐出装置により製造した有機ＥＬ装置の断面図である。
【符号の説明】
１　液滴吐出装置　　　　　　　　　　２　装置本体
３　ワーク交換手段　　　　　　　　　６　描画装置
７　ヘッド機能回復装置　　　　　　　８　機能液滴吐出ヘッド
１０　ワーク供給機構　　　　　　　　１１　ワーク回収機構
１３　制御手段　　　　　　　　　　２１Ａ　第１Ｘ軸テーブル
２１Ｂ　第２Ｘ軸テーブル　　　　　　　２２　Ｙ軸テーブル
２４　ヘッドユニット　　　　　　　　４２　セットテーブル
５１　機能回復エリア　　　　　　　　５２　第１描画エリア
５３　第２描画エリア　　　　　　　　５５　ワーク供給ポジション
５６　ワーク回収ポジション　　　　　６１　供給用ワークカセット
６２　供給ロボット　　　　　　　　　６３　供給ロボット移動機構
７１　回収用ワークカセット　　　　　７２　回収ロボット
７３　回収ロボット移動機構　　　　　８１　制御部
８２　ＣＰＵ　　　　　　　　　　　３０１　液晶表示装置
４０１　有機ＥＬ装置　　　　　　　　　　Ｗ　基板[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a droplet discharging apparatus that discharges a functional liquid, such as an ink jet head, onto a work such as a substrate by using a functional droplet discharging head, a method of replacing the work, an electro-optical device, and a method of manufacturing an electro-optical device. And electronic equipment.
[0002]
[Prior art]
In a conventional droplet discharge apparatus that discharges functional droplets while drawing a functional droplet while relatively moving a functional droplet discharge head to a workpiece such as a substrate on a set table, the processing is performed after the drawing operation is completed ( The (drawn) work is moved to the replacement position, and the work transfer mechanism replaces the work before processing (new). In this case, the work transfer mechanism has, for example, a supply cassette and a collection cassette, and after the work after processing is transferred from the set table to the collection cassette by the transfer robot, the work before processing is transferred from the supply cassette to the set table. Transfer to The work transferred to the set table is precisely positioned (aligned) using a recognition camera or the like.
[0003]
Note that there is Japanese Patent Application No. 2002-30005 (FIG. 6, paragraphs [0069] to [0072]) as an undisclosed prior application by the present applicant, but no prior art document disclosed is found.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
In such a conventional droplet discharge device, the drawing operation is stopped when the work is replaced (replaced), so that the ratio of the work replacement time (including the alignment) to the drawing time is relatively high. However, even if the drawing time is reduced, there is a problem that it is difficult to shorten the tact time of the work processing as a whole.
[0005]
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a droplet discharge device, a work replacement method thereof, an electro-optical device, a method of manufacturing an electro-optical device, and an electronic device that can shorten the tact time in the work processing as a whole.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The droplet discharging apparatus of the present invention is a droplet discharging apparatus that performs a work process by discharging a functional droplet from a functional droplet discharging head while relatively moving the functional droplet discharging head with respect to a workpiece. A first work table and a second work table, respectively, and a work exchanging means for alternately replacing the first work table and the second work table with the work after the processing and the work before the processing. It is characterized by having.
[0007]
In this case, it is preferable that the first work table and the second work table are configured as moving tables that extend in parallel with each other and move the work in the extending direction in the work processing.
[0008]
According to these configurations, while the work set on the first work table is being processed by the functional liquid droplet ejection head, the work after processing and the work before processing are performed on the second work table. Replace (replace). Similarly, while the workpiece set on the second work table is being processed, the post-processing work and the pre-processing work are exchanged (exchanged) on the first work table. That is, using the first and second work tables, work processing and work exchange are performed simultaneously and in parallel. Therefore, there is no need to stop the work processing when the work is replaced.
When the first work table and the second work table are each constituted by a simple set table (not movable), the work set positions are shifted from each other, and when replacing the work, the functional liquid droplet ejection head or the like is used. It is preferable that the movable part of the camera does not get in the way.
[0009]
In this case, it is preferable that the work exchange means includes a work supply mechanism that supplies the work before processing and a work collection mechanism that collects the work after processing, which are configured independently of each other.
[0010]
According to this configuration, the work exchange means can be simplified, and the work supply mechanism and the work collection mechanism can be appropriately distributed and arranged.
[0011]
In this case, the first work table and the second work table each have a work supply position at one end in the movement direction of the work and a collection position of the work at the other end, respectively. Preferably, the work collection mechanism faces the respective supply positions of the first work table and the second work table, and the work collection mechanism faces the respective collection positions of the first work table and the second work table.
[0012]
According to this configuration, the work supply mechanism and the work collection mechanism can be arranged so as to sandwich the first work table and the second work table from both sides in the extending direction. Can be structurally prevented, and the work supply mechanism and the work recovery mechanism can be arranged in a well-balanced manner.
[0013]
In this case, the apparatus further includes a head moving table on which the functional liquid droplet ejecting head is mounted and which moves the functional liquid droplet ejecting head in a direction intersecting with the moving direction of the work. In addition, it is preferable to move the functional liquid ejection head so as to pass through a substantially intermediate position in the extending direction of the first work table and the second work table.
[0014]
According to this configuration, the workpiece processing can be performed at a substantially intermediate position in the extending direction of the first work table and the second work table, and the workpiece can be replaced at a position deviated left and right from this. In other words, the work area used for work processing and the work area used for work exchange can be sufficiently separated, and interference between the work exchange means and a movable part such as a functional liquid droplet ejection head can be minimized.
[0015]
In these cases, the work supply mechanism includes a supply work cassette for accommodating the work before processing, a supply robot for transferring the work in the supply work cassette to the first work table and the second work table, and a supply robot. And a supply robot moving mechanism for moving the workpiece between a position where the work is taken out from the supply work cassette, a position facing the supply position of the first work table, and a position facing the supply position of the second work table. Is preferred.
[0016]
According to this configuration, when supplying the work to the first work table, the supply robot is moved to the supply work cassette, the work is taken out from the supply work cassette, and then the supply robot is moved to the first work table. Then, the work is placed on this. Similarly, when supplying a work to the second work table, the supply robot is moved to the supply work cassette, the work is taken out from the supply work cassette, and then the supply robot is moved to the second work table. The work is placed on this. Since the supply robot is moved in this way, the supply robot itself can be configured with a simple movement.
[0017]
In this case, it is preferable that the supply work cassette and the supply robot moving mechanism are arranged in a row in a direction intersecting the extending direction of the first work table and the second work table.
[0018]
According to this configuration, the work supply mechanism can be arranged along the apparatus main body, and the apparatus can be made compact as a whole.
[0019]
In these cases, the work collection mechanism includes a collection work cassette that stores the processed work, a collection robot that transfers the work of the first work table and the second work table to the collection work cassette, and a collection robot. A collection robot moving mechanism for moving between a position where the work is transferred to the collection work cassette, a position facing the collection position of the first work table, and a position facing the collection position of the second work table. Is preferred.
[0020]
According to this configuration, when collecting the work from the first work table, the collection robot is moved to the first work table, the work is handled, and then the supply robot is moved to the supply work cassette. To put the work. Similarly, when collecting the work from the second work table, the collection robot is moved to the second work table, the work is handled, and then the supply robot is moved to the supply work cassette, and the work is transferred to the supply work cassette. Let go.
[0021]
In this case, it is preferable that the collection work cassette and the collection robot moving mechanism are arranged in a row in a direction intersecting the extending direction of the first work table and the second work table.
[0022]
According to this configuration, the work collection mechanism can be arranged along the apparatus main body, and the apparatus can be made compact as a whole.
[0023]
In the method for exchanging a work of the droplet discharge apparatus according to the present invention, a work process is performed by selectively discharging functional droplets from the functional droplet discharge head while moving the functional droplet discharge head relative to the work. In a method of exchanging a work of a droplet discharge device, a first work table and a second work table each having a work mounted thereon are used, and while the work is being processed by the first work table, the processed work is performed on the second work table. It is assumed that the work is replaced with the work before the processing, and the work after the processing and the work before the processing are replaced on the first work table while the work processing is performed by the second work table. Features.
[0024]
According to this configuration, the work processing and the work exchange are performed in parallel using the first and second work tables, so that there is no need to stop the work processing at the time of the work exchange.
[0025]
According to another aspect of the invention, there is provided an electro-optical device including the above-described droplet discharge device, wherein a functional droplet is discharged from a functional droplet discharge head onto a workpiece to form a film forming unit.
[0026]
Similarly, a method of manufacturing an electro-optical device according to the present invention is characterized in that a functional droplet is discharged from a functional droplet discharging head onto a work using the above-described droplet discharging device to form a film forming section. .
[0027]
According to these configurations, the electro-optical device itself can be efficiently manufactured because the device is manufactured using the droplet discharge device capable of performing the work processing in a short time. In addition, as the electro-optical device, a liquid crystal display device, an organic EL (Electro-Luminescence) device, an electron emission device, a PDP (Plasma Display Panel) device, an electrophoretic display device, and the like are considered. The electron emission device is a concept including a so-called FED (Field Emission Display) device. Further, as the electro-optical device, devices for forming a metal wiring, forming a lens, forming a resist, and forming a light diffuser can be considered.
[0028]
According to still another aspect of the invention, an electronic apparatus includes the above-described electro-optical device or an electro-optical device manufactured by the above-described method for manufacturing an electro-optical device.
[0029]
In this case, as the electronic device, various electric products other than a mobile phone and a personal computer equipped with a so-called flat panel display correspond thereto.
[0030]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, a droplet discharge device, an electro-optical device, and an electronic apparatus according to the invention will be described with reference to the accompanying drawings. The droplet discharge apparatus according to the present embodiment uses a functional droplet discharge head to discharge functional droplets onto a substrate W, which is a work, to form a desired film formation unit on the substrate (work processing) ( Details will be described later). As shown in FIG. 1, the droplet discharge device 1 of the embodiment includes an apparatus main body 2 that performs a work process, and a work exchange unit 3 that is attached to the apparatus main body 2 and that exchanges a work.
[0031]
The apparatus main body 2 includes a machine 5, a drawing device 6 widely mounted on the entire area of the machine 5, and a head function recovery device 7 mounted on an end of the machine 5. The work processing is performed by the device 6, and the function recovery process (maintenance) of the functional droplet discharge head 8 provided in the drawing device 6 is performed by the head function recovery device 7. The work exchange means 3 has a work supply mechanism 10 for supplying the work W to the drawing apparatus 6 and a work collection mechanism 11 for collecting the work W from the drawing apparatus 6. The work supply mechanism 10 and the work collection mechanism 11 , The machine base (apparatus main body 2) 5 is provided on both sides thereof so as to sandwich it.
[0032]
The drawing device 6 includes a first X-axis table 21A that is a first work table, a second X-axis table 21B that is a second work table arranged close to and parallel to the first X-axis table 21A, Move to the Y-axis table 22, which is orthogonal to the two X-axis tables 21A and 21B, and straddles the first and second X-axis tables 21A and 21B and the head function recovery device 7, and to the Y-axis table 22. The main carriage 23 includes a main carriage 23 that is freely mounted and a head unit 24 that is suspended from the main carriage 23. A plurality of (four in the drawing) functional droplet discharge heads 8 are mounted on the head unit 24 via a sub-carriage 25. The work W in this case is a substrate, and is detachably mounted on the first and second X-axis tables 21A and 21B, respectively.
[0033]
The head function recovery device 7 includes a moving table 31 mounted on the machine base 5, a cap unit 32 and a wiping unit 33 mounted on the moving table 31. The cap unit 32 has a function of a flushing box that forcibly sucks the functional liquid from the functional droplet discharge head 8 and receives the discharge of the functional liquid from all the nozzles of the functional droplet discharge head 8. The wiping unit 33 mainly wipes the nozzle surface of the functional liquid droplet ejection head 8 after suctioning the functional liquid.
[0034]
The cap unit 32 is provided with, for example, a cap assembly incorporating a plurality (four) of caps corresponding to the plurality (four) of the functional droplet discharge heads 8 so as to be able to move up and down. When filling the functional liquid discharge head 8) with the functional liquid or removing the functional liquid thickened in the functional liquid droplet discharge head 8, each cap is brought into close contact with the functional liquid droplet discharge head 8, , Perform pump suction. Further, when the discharge (drawing) of the functional liquid is stopped, each cap is slightly separated from each functional liquid droplet discharge head 8, and flushing (discharge discharge) is performed.
[0035]
In the wiping unit 33, for example, a wiping sheet is provided so as to be able to be fed out and taken up freely. The nozzle surface of the ejection head 8 is wiped.
[0036]
Although not shown in the drawing, the droplet discharge device 1 includes a functional liquid supply mechanism for supplying a functional liquid to each functional droplet discharge head 8 and the above-described drawing device 6 and functional droplet discharge head 8. A control means (to be described later) 13 for integrally controlling the constituent devices is incorporated.
[0037]
Each of the first and second X-axis tables 21A and 21B has a motor-driven X-axis slider 41 constituting a drive system in the X-axis direction, and a set table 42 including a suction table 43 and a θ table 44. Is mounted movably. Similarly, the Y-axis table 22 has a motor-driven Y-axis slider 46 constituting a drive system in the Y-axis direction, and the main carriage 23 is movably mounted thereon via a θ table 47, It is configured.
[0038]
In this case, the first and second X-axis tables 21A, 21B are directly supported on the machine base 5, while the Y-axis table 22 is supported by front and rear columns 49, 49 erected on the machine base 5. Have been. Further, the first X-axis table 21A, the second X-axis table 21B, and the head function recovery device 7 are arranged in parallel with each other in the X-axis direction, and are located at a substantially intermediate position (directly above the extending direction of these devices). ), The Y-axis table 22 extends in the Y-axis direction.
[0039]
Then, the Y-axis table 22 has the head unit (functional liquid ejection head 8) 24 mounted thereon mounted on the function recovery area 51 located immediately above the head function recovery device 7 and the function recovery area 51 immediately above the first X-axis table 21A. It is appropriately moved between the located first drawing area 52 and the second drawing area 53 located immediately above the second X-axis table 21B. That is, when performing the function recovery of the functional droplet discharge head 8, the Y-axis table 22 faces the head unit 24 to the function recovery area 51 and performs drawing on the work W introduced into the first X-axis table 21 </ b> A. Then, when the head unit 24 faces the first drawing area 52 and draws on the work W introduced into the second X-axis table 21B, the head unit 24 faces the second drawing area 53.
[0040]
On the other hand, the left ends of the first and second X-axis tables 21A and 21B with the Y-axis table 22 interposed therebetween are used to mount (set) the work W on the first and second X-axis tables 21A and 21B, respectively. The supply positions 55, 55 are provided, and the right ends are collection positions 56, 56 for removing the workpiece W from the first and second X-axis tables 21A, 21B, respectively. When the first and second X-axis tables 21A and 21B receive the supply of the work W from the work supply mechanism 10, the set table 42 is moved to the supply position 55, and the work W is transferred to the work collection mechanism 11. In this case, the set table 42 on which the work W is mounted is moved to the collection position 56, respectively.
[0041]
Each supply position 55 is provided with a pair of work recognition cameras 58, 58, and the work W supplied to the set table (the suction table 44) 42 by the pair of work recognition cameras 58, 58. The two reference marks are simultaneously recognized, and the workpiece W is aligned based on the recognition result. More specifically, based on this recognition result, the angle correction of the functional droplet discharge head (head unit 24) 8 is performed by the θ table 44 of the set table 42, and the X-axis direction in the discharge pattern data described later. And correction of the position data in the Y-axis direction.
[0042]
In the droplet discharge device 1 according to the embodiment, the movement of the work W in the X-axis direction is defined as main scanning, and the movement of the functional droplet discharging head (head unit 24) 8 in the Y-axis direction is defined as sub-scanning. Drawing is performed based on the ejection pattern data stored in the means 13.
[0043]
For example, when performing drawing on the work W introduced into the first drawing area 52, the functional droplet discharge head (head unit 24) 8 faces the first drawing area 52, and the first X-axis table 21A is used. The functional droplet discharge head 8 is driven (selective discharge of functional droplets) in synchronization with the main scanning and the sub-scanning of the Y-axis table 22. Similarly, when performing drawing on the work W introduced into the second drawing area 53, the functional droplet discharge head (head unit 24) 8 faces the second drawing area 53 and the second X-axis table 21B The functional droplet discharge head 8 is driven (selective discharge of the functional droplet) in synchronization with the main scanning by the sub scanning of the Y-axis table 22.
[0044]
When performing the function recovery of the functional droplet discharge head 8, the cap unit 32 is moved to the function recovery area 51 by the moving table 31, and the head unit 24 is moved to the function recovery area 51 by the Y-axis table 22. Flushing or pump suction of the functional droplet discharge head 8 is performed. When the pump suction is performed, the wiping unit 33 is subsequently moved to the function recovery area 51 by the moving table 31, and the wiping of the functional liquid droplet ejection head 8 is performed.
[0045]
On the other hand, the work supply mechanism 10 of the work exchange means 3 stores the supply work cassette 61 for accommodating the work W before processing and the work W in the supply work cassette 61 into the first X-axis table 21A and the second X-axis table 21B. And a supply robot moving mechanism 63 with a base for moving the supply robot 62 between the supply work cassette 61 and the first and second X-axis tables 21A and 21B. have. In this case, the supply work cassette 61 and the supply robot moving mechanism 63 are arranged in the Y-axis direction along the left end of the machine base 5.
[0046]
The supply work cassette 61 has a multistage shelf in a cassette case, and stores a large number of works W before processing. Although not shown in detail, the supply robot moving mechanism 63 includes, for example, a slider on which the supply robot 62 is mounted, a pair of slide guides for guiding the movement (Y-axis direction) of the slider, and a ball screw screwed to the slider. , A motor for rotating the ball screw in the forward and reverse directions, and a mount on which these are mounted. When the motor rotates forward and backward, the slider is guided by the slide guide and moves in the Y-axis direction (front-back direction).
[0047]
As shown in FIG. 2, the supply robot 62 supports a thin fork-shaped robot hand 65 for adsorbing and mounting (handling) the workpiece W, and supports the robot hand 65 and moves the robot hand 65 freely in a horizontal plane (movable forward and backward). The robot arm 66 includes a robot arm 66, a vertical movement mechanism 67 for vertically moving the robot arm 66, and a stand 68 having a built-in vertical movement mechanism 67. The supply robot 62 is fixed on the slider of the supply robot moving mechanism 63 at the stand 68.
[0048]
When the work (work W before processing) W is supplied to the first and second X-axis tables 21A and 21B, first, the supply robot 62 is moved by the supply robot moving mechanism 63 to take out the work from the supply work cassette 61. Move to position. Next, the supply robot 62 is driven to take out the work W stored in a desired shelf. Here, when supplying the work W to the first X-axis table 21A, the supply robot 62 is moved by the supply robot moving mechanism 63 to a position facing the supply position 55 of the first X-axis table 21A. Further, before and after this movement, the supply robot 62 turns the robot arm 66 by 90 ° to set the workpiece W to the set posture. Finally, the supply robot 62 transfers the work W onto the set table 42 that has been moved to the supply position 55. Also, when the workpiece W is supplied to the second X-axis table 21B, the operation is exactly the same.
[0049]
The work collection mechanism 11 includes a collection work cassette 71 that stores the processed work W, a collection robot 72 that transfers the work W of the first X-axis table 21A and the second X-axis table 21B to the collection work cassette 71, And a collection robot moving mechanism 73 with a base for moving the collection robot 72 between the collection work cassette 71 and the first and second X-axis tables 21A and 21B. Similarly to the above, the collection work cassette 61 and the collection robot moving mechanism 63 are arranged in a row in the Y-axis direction along the right end of the machine base 5. Note that the collection work cassette 71, the collection robot 72, and the collection robot moving mechanism 73 are the same as the supply work cassette 61, the supply robot 62, and the supply robot moving mechanism 63 except that the work W after processing is handled. Since they have a structure, description of these structures is omitted here.
[0050]
When the work (processed work W) W is to be collected from the first X-axis table 21A, for example, by the work collection mechanism 11, first, the collection robot 72 is moved by the collection robot moving mechanism 73 to collect the first X-axis table 21A. The workpiece W is moved to a position facing the position 56, and the work W is received from the set table 42 moving to the collection position 56. Next, the collection robot 72 is moved by the collection robot moving mechanism 73 to a position where the work W of the collection work cassette 71 is accommodated. In addition, before and after this movement, the collection robot 72 turns the robot arm 66 by 90 ° to bring the work W into the accommodation posture. Finally, the collection robot 72 stores the work W on a desired shelf of the collection work cassette 71. Also, when the work W is collected from the second X-axis table 21B, the operation is exactly the same.
[0051]
The control unit 13 includes a control unit 81 that controls various operations of the droplet discharge device 1, as shown in FIG. The control unit 81 includes a CPU 82 for performing various controls, a ROM 83, a RAM 84, and an interface 85, and these are connected to each other via a bus 86. The ROM 83 has an area for storing control programs and control data processed by the CPU 82. The RAM 84 is used as various work areas for control processing. The interface 85 incorporates a logic circuit that supplements the function of the CPU 82 and handles interface signals with peripheral circuits.
[0052]
The interface 85 includes the first and second X-axis tables 21A and 21B, the Y-axis table 22, each functional droplet discharge head 8, the head function recovery device 7, the work supply mechanism 10, and the work recovery mechanism 11, Each is connected via a driver (not shown). Further, work recognition cameras (two sets, four in total) 58, 58 are connected to the interface 85 as a detection unit 87. The CPU 82 inputs various detection signals, various commands, and various data via the interface 85 according to the control program in the ROM 83, controls various data (ejection pattern data) in the RAM 84, and the like, and Outputs various control signals.
[0053]
That is, the CPU 82 controls the ejection drive of the functional liquid droplet ejection head 8 and controls the movement of the first and second X-axis tables 21A and 21B and the Y-axis table 22 to draw on the work W ( While exchanging the work, the work supply mechanism 10 and the work collection mechanism 11 are controlled. When the work W is set, the CPU 82 performs angle correction and discharge pattern data correction in the first and second X-axis tables 21A and 21B based on the recognition result of the work recognition camera 58. Further, the CPU 82 controls the cap unit 32, the wiping unit 33, and the like of the head function recovery device 7 at the time of regular maintenance of the functional liquid droplet ejection head 8.
[0054]
Next, a control method of the drawing operation and the work exchanging operation by the control means 13 will be described. As shown in FIG. 1, when the work W before processing is introduced into the first drawing area 52 of the first X-axis table 21A, the head unit (functional droplet discharge head 8) 24 faces the work W and the work W Drawing on W (selective ejection of functional droplets) is performed.
[0055]
On the other hand, in parallel with this drawing operation, in the second X-axis table 21B, the processed work W moves to the collection position 56, where the collection robot 72 of the work collection mechanism 11 faces and collects the work W. In the work cassette 71. When the work W is transferred to the collection robot 72, the second X-axis table 21A moves the set table 42 to the supply position 55. Here, the supply robot 62 transfers the work W transported from the collection work cassette 61 to the set table 42.
[0056]
When the work W is set on the set table 42, the work recognition camera 58 recognizes the work W and performs various corrections. When the setting of the work W is completed in this way, the second X-axis table 21B moves the work W to the second drawing area 53 via the set table 42, and sets the work W in a standby state.
[0057]
Eventually, when the drawing in the first drawing area 52 is completed, the Y-axis table 22 moves the head unit 24 to the second drawing area 53 and starts a drawing operation on a new work W. When the head unit 24 moves from the first drawing area 52 in this way, the work W after drawing moves to the collection position 56 to collect the work W, and then the work W A supply of W is made.
[0058]
As described above, when the drawing operation on the work W is performed by the first X-axis table 21A, the work W is replaced (replaced) by the second X-axis table 21B. The operation can be continued. Therefore, unlike the related art, it is not necessary to stop the drawing operation for exchanging the work, and the takt time in the work processing can be significantly reduced as a whole, and the productivity can be improved.
[0059]
In the droplet discharge device 1 of the embodiment, the time required for drawing a specific work (substrate) W (drawing time) is approximately 35 seconds, and the time required for replacing the work W (replacement time) at that time is approximately 35 seconds. 25 seconds. For this reason, by simultaneously performing the drawing operation and the work exchange operation as described above, the tact time can be reduced from 60 seconds to 35 seconds.
[0060]
Here, a case where the above-described droplet discharge device 1 is applied to the manufacture of a liquid crystal display device will be described. FIG. 4 illustrates a cross-sectional structure of the liquid crystal display device 301. As shown in the figure, the liquid crystal display device 301 is composed of an upper substrate 311 and a lower substrate 312 having a transparent conductive film (ITO film) 322 and an alignment film 323 formed on the opposing surface mainly of a glass substrate 321; A large number of spacers 331 interposed between the upper and lower substrates 311 and 312, a sealing material 332 for sealing between the upper and lower substrates 311 and 312, and a liquid crystal 333 filled between the upper and lower substrates 311 and 312 are provided. A phase substrate 341 and a polarizing plate 342 a are stacked on the back surface of the substrate 311, and a polarizing plate 342 b and a backlight 343 are stacked on the back surface of the lower substrate 312.
[0061]
In a normal manufacturing process, the upper substrate 311 and the lower substrate 312 are separately manufactured by patterning the transparent conductive film 322 and applying the alignment film 323, respectively, and then the spacer 331 and the sealing material 332 are formed on the lower substrate 312. In this state, the upper substrate 311 is attached. Next, the liquid crystal 333 is injected from the inlet of the sealant 332, and the inlet is closed. After that, the phase substrate 341, the polarizing plates 342a and 342b, and the backlight 343 are stacked.
[0062]
The droplet discharge device 1 of the embodiment can be used, for example, for forming the spacer 331 and for injecting the liquid crystal 333. Specifically, a spacer material (for example, an ultraviolet curable resin or a thermosetting resin) or a liquid crystal that forms a cell gap is introduced as a functional liquid, and these are uniformly discharged (applied) to predetermined positions. First, the lower substrate 312 on which the sealing material 332 is printed in a ring shape is set on the suction table 42, and the spacer material is discharged onto the lower substrate 312 at coarse intervals, and the spacer material is solidified by irradiating ultraviolet rays. Next, a predetermined amount of liquid crystal 333 is uniformly discharged and injected into the inside of the sealing material 332 of the lower substrate 312. Thereafter, the separately prepared upper substrate 311 and the lower substrate 312 coated with a predetermined amount of liquid crystal are introduced into a vacuum and bonded together.
[0063]
As described above, since the liquid crystal 333 is uniformly applied (filled) in the cell before the upper substrate 311 and the lower substrate 312 are bonded to each other, the liquid crystal 333 does not spread to details such as corners of the cell. Can be solved.
[0064]
By using an ultraviolet curable resin or a thermosetting resin as the functional liquid (material for the sealant), the above-described sealant 332 can be printed by the droplet discharge device 1. Similarly, by introducing a polyimide resin as the functional liquid (alignment film material), the alignment film 323 can be formed by the droplet discharge device 1.
[0065]
As described above, in the manufacture of the liquid crystal display device 301, it is assumed that various types of functional liquids are introduced. However, in the above-described droplet discharge device 1, the functional liquid is precisely dispensed by the special form of the functional droplet discharge head 30. Since the liquid crystal display device 301 can be discharged (landed), the liquid crystal display device 301 can be manufactured accurately and stably.
[0066]
By the way, the above-described droplet discharge device 1 can be used for manufacturing various electro-optical devices (devices) in addition to the above-described liquid crystal display device 301 mounted on an electronic device such as a mobile phone or a personal computer. . That is, the droplet discharge device 1 of the present embodiment can be applied to the manufacture of an organic EL device, an FED device (electron emission device), a PDP device, an electrophoretic display device, and the like.
[0067]
An example in which the above-described droplet discharge device 1 is applied to the manufacture of an organic EL device will be briefly described. As shown in FIG. 5, the organic EL device 401 includes a substrate 421, a circuit element portion 422, a pixel electrode 423, a bank portion 424, a light emitting element 425, a cathode 426 (a counter electrode), and a sealing substrate. An organic EL element 411 composed of a wiring 427 and a wiring of a flexible substrate (not shown) and a driving IC (not shown) are connected. The circuit element portion 422 is formed on the substrate 421, and the plurality of pixel electrodes 423 are arranged on the circuit element portion 422. A bank 424 is formed between the pixel electrodes 423 in a lattice pattern, and a light emitting element 425 is formed in a concave opening 431 formed by the bank 424. The cathode 426 is formed over the entire upper surface of the bank portion 424 and the light emitting element 425, and a sealing substrate 427 is stacked on the cathode 426.
[0068]
In the manufacturing process of the organic EL device 401, after the bank portion 424 is formed at a predetermined position on the circuit element portion 422 and the substrate 421 (work W) on which the pixel electrode 423 is formed, the light emitting element 425 is appropriately Is performed, and then a light emitting element 425 and a cathode 426 (a counter electrode) are formed. Then, the sealing substrate 427 is laminated on the cathode 426 and sealed to obtain the organic EL element 411. Then, the cathode 426 of the organic EL element 411 is connected to the wiring of the flexible substrate and connected to the driving IC. The organic EL device 401 is manufactured by connecting the wiring of the circuit element portion 422.
[0069]
The droplet discharge device 1 is used for forming the light emitting element 425. Specifically, a light emitting element material (functional liquid) is introduced into the functional droplet discharge head 30, and the light emitting element material is discharged corresponding to the position of the pixel electrode 423 on the substrate 421 on which the bank portion 424 is formed. By drying this, the light emitting element 425 is formed. In the formation of the pixel electrode 423 and the cathode 426 described above, the liquid crystal material can be formed by using the liquid material corresponding to each of them.
[0070]
In addition, for example, in the method of manufacturing an electron emission device, a fluorescent material of each color of R, G, and B is introduced into the plurality of functional droplet discharge heads 30, and the plurality of functional droplet discharge heads 30 perform main scanning and sub-scanning to obtain fluorescent light. A material is selectively discharged to form a large number of phosphors on the electrodes.
[0071]
In the method of manufacturing the PDP device, fluorescent materials of R, G, and B colors are introduced into the plurality of functional droplet discharge heads 30, and the plurality of functional droplet discharge heads 30 are main-scanned and sub-scanned to selectively use the fluorescent material. To form phosphors in a large number of concave portions on the rear substrate.
[0072]
In the method of manufacturing the electrophoretic display device, the electrophoretic material of each color is introduced into the plurality of functional droplet discharge heads 30, the plurality of functional droplet discharge heads 30 are main-scanned and sub-scanned, and the electrophoretic material is selectively selected. By discharging, a phosphor is formed in each of the many concave portions on the electrode. The electrophoretic body composed of the charged particles and the dye is preferably encapsulated in a microcapsule.
[0073]
Further, as other electro-optical devices, devices such as metal wiring formation, lens formation, resist formation, and light diffuser formation can be considered. The droplet discharge device 1 of the present embodiment is also applicable to these various manufacturing methods. Applicable.
[0074]
For example, in the metal wiring forming method, a liquid metal material is introduced into a plurality of functional droplet discharge heads 30, and the plurality of functional droplet discharge heads 30 are main-scanned and sub-scanned to selectively discharge the liquid metal material. Then, a metal wiring is formed on the substrate. For example, these devices can be manufactured by applying the present invention to a metal wiring connecting the driver and each electrode in the above-described liquid crystal display device and a metal wiring connecting the TFT and the like to each electrode in the organic EL device. It goes without saying that the present invention can be applied to general semiconductor manufacturing techniques other than this kind of flat panel display.
[0075]
In the method of forming a lens, a lens material is introduced into the plurality of functional droplet discharge heads 30, the plurality of functional droplet discharge heads 30 are main-scanned and sub-scanned, and the lens material is selectively discharged to form a lens on the transparent substrate. A number of microlenses are formed on the substrate. For example, the present invention can be applied to the case where a device for beam convergence in the FED apparatus is manufactured. Further, the present invention is also applicable to various optical device manufacturing techniques.
[0076]
In the lens manufacturing method, a translucent coating material is introduced into the plurality of functional droplet discharge heads 30, and the plurality of functional droplet discharge heads 30 are main-scanned and sub-scanned to selectively discharge the coating material. Then, a coating film is formed on the surface of the lens.
[0077]
In the resist forming method, a resist material is introduced into the plurality of functional droplet discharge heads 30, the plurality of functional droplet discharge heads 30 are main-scanned and sub-scanned, and the resist material is selectively discharged onto the substrate. A photoresist having a shape is formed. For example, the present invention can be widely applied to the application of a photoresist in a photolithography method which is a main body of a semiconductor manufacturing technique, in addition to the formation of a bank in the above-described various display devices.
[0078]
In the light diffuser forming method, a light diffusion material is introduced into the plurality of functional droplet discharge heads 30, the plurality of functional droplet discharge heads 30 are main-scanned and sub-scanned, and the light diffusion material is selectively discharged. A number of light diffusers are formed on a substrate. Also in this case, it is needless to say that the present invention can be applied to various optical devices.
[0079]
As described above, there is a possibility that various types of functional liquids may be introduced into the droplet discharge device 1. However, by using the above-described droplet discharge device 1 for manufacturing various electro-optical devices (devices), the The optical device can be manufactured accurately and stably.
[0080]
【The invention's effect】
According to the droplet discharge device and the work replacement method of the present invention, the work processing and the work replacement are performed simultaneously in parallel using the first and second work tables. There is no need to stop the processing, and the takt time in the work processing can be shortened as a whole.
[0081]
According to the electro-optical device and the electronic apparatus of the present invention, since the workpiece is manufactured by the droplet discharge device capable of efficiently performing the work processing in a short time, a high-quality and low-cost electro-optical device can be provided.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view of a droplet discharge device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a structural diagram of a supply robot (recovery robot) of a workpiece exchange unit.
FIG. 3 is a block diagram illustrating a control unit of the droplet discharge device.
FIG. 4 is a sectional view of a liquid crystal display device manufactured by the droplet discharge device of the present invention.
FIG. 5 is a cross-sectional view of an organic EL device manufactured by the droplet discharge device of the present invention.
[Explanation of symbols]
1 droplet discharge device 2 device body
3 Work exchange means 6 Drawing device
7 Head function recovery device 8 Functional droplet discharge head
10 Work supply mechanism 11 Work collection mechanism
13 control means 21A first X-axis table
21B 2nd X-axis table 22 Y-axis table
24 head unit 42 set table
51 Function recovery area 52 First drawing area
53 Second drawing area 55 Work supply position
56 Work collection position 61 Work cassette for supply
62 Supply robot 63 Supply robot moving mechanism
71 Work cassette for collection 72 Collection robot
73 Collection robot moving mechanism 81 Control unit
82 CPU 301 Liquid crystal display device
401 Organic EL device W substrate

Claims

In a droplet discharging apparatus that performs a work process by discharging a functional droplet from the functional droplet discharging head while relatively moving the functional droplet discharging head with respect to the workpiece,
A first work table and a second work table each having a work mounted thereon, and a work exchange means for alternately replacing the work after the processing and the work before the processing with respect to the first work table and the second work table; And a droplet discharge device.

2. The apparatus according to claim 1, wherein the first work table and the second work table extend in parallel with each other, and are configured as moving tables that respectively move the work in the extending direction in the work processing. 3. The droplet discharge device according to the above.

3. The droplet discharging apparatus according to claim 2, wherein the work exchange means includes a work supply mechanism that supplies a work before processing and a work collection mechanism that collects the work after processing, which are configured independently of each other. apparatus.

The first work table and the second work table each have a work supply position at one end in the movement direction of the work and a work collection position at the other end,
The work supply mechanism faces respective supply positions of the first work table and the second work table,
4. The droplet discharge device according to claim 3, wherein the work collection mechanism faces the respective recovery positions of the first work table and the second work table. 5.

A head moving table mounted with the functional liquid droplet discharging head and configured to move the functional liquid droplet discharging head in a direction intersecting with a moving direction of the work;
The head moving table vertically suspends the functional liquid droplet discharge head and moves the functional liquid discharge head so as to pass through a substantially intermediate position in an extending direction of the first work table and the second work table. The droplet discharge device according to claim 4, wherein:

The work supply mechanism includes a supply work cassette that stores a work before processing,
A supply robot for transferring a work in the supply work cassette to the first work table and the second work table;
A supply robot moving mechanism for moving the supply robot between a position where the work is taken out from the supply work cassette, a position facing the supply position of the first work table, and a position facing the supply position of the second work table; The droplet discharge device according to claim 4, further comprising:

7. The supply work cassette and the supply robot moving mechanism are arranged in a row in a direction intersecting an extending direction of the first work table and the second work table. Droplet ejection device.

The work collection mechanism includes a collection work cassette that stores the processed work,
A collection robot that transfers the work of the first work table and the second work table to the collection work cassette;
When the collection robot is moved between a position where the work is transferred to the collection work cassette, a position facing the collection position of the first work table, and a position facing the collection position of the second work table, the collection robot moves. The droplet discharge device according to any one of claims 4 to 7, further comprising a mechanism.

The collection work cassette and the collection robot moving mechanism,
9. The droplet discharge device according to claim 8, wherein the droplets are arranged in a row in a direction intersecting an extending direction of the first work table and the second work table.

In a work replacement method of a droplet discharge device that performs a work process by discharging a functional droplet from the functional droplet discharge head while relatively moving the functional droplet discharge head with respect to the workpiece,
Using a first work table and a second work table on each of which a work is mounted,
While the work processing is being performed by the first work table, the work after processing and the work before processing are replaced on the second work table,
A method of exchanging a workpiece in a droplet discharge device, wherein a workpiece after processing and a workpiece before processing are replaced on the first work table while the workpiece processing is being performed by the second work table. .

An electro-optical device using the droplet discharge device according to claim 1, wherein a functional droplet is discharged from the functional droplet discharge head onto a workpiece to form a film forming unit.

10. An electro-optical device according to claim 1, wherein a functional droplet is ejected from the functional droplet ejection head onto a workpiece by using the droplet ejection device according to claim 1. Production method.

An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 11 or an electro-optical device manufactured by the method for manufacturing an electro-optical device according to claim 12.