JP2002131010A - Height detecting apparatus of powdery sintered body - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ターンテーブル上
の粉末焼結体の高さを検査する粉末焼結体の高さ検査装
置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a powder sintered body height inspection apparatus for inspecting the height of a powder sintered body on a turntable.
【0002】[0002]
【従来の技術】回転するターンテーブル上に粉末焼結体
を載置して粉末焼結体を矯正する際、粉末焼結体がター
ンテーブル上で反転、あるいは傾いたりした状態にない
かどうか、ターンテーブル上での粉末焼結体の姿勢があ
らかじめ検査される。粉末焼結体は、多くは端面に凸部
が形成された形状であり、したがって、粉末焼結体がタ
ーンテーブル上で反転などしている場合には、この凸部
の高さの分だけターンテーブルからの上端面の高さが変
化する。ターンテーブル上の粉末焼結体の姿勢を検査す
るため、この上端面の高さが正しいかどうかを検査する
ことが行われている。2. Description of the Related Art When a powder sintered body is placed on a rotating turntable to correct the powder sintered body, it is checked whether the powder sintered body is in an inverted or inclined state on the turntable. The posture of the powder sintered body on the turntable is inspected in advance. Most of the powder sintered body has a shape in which a convex portion is formed on an end face. Therefore, when the powder sintered body is inverted on a turntable or the like, it is turned by the height of the convex portion. The height of the top surface from the table changes. In order to check the posture of the powder sintered body on the turntable, it is performed to check whether the height of the upper end face is correct.
【0003】粉末焼結体の高さを検査するために、例え
ば図6に示すような、粉末焼結体の高さ検査装置B(以
後、単に検査装置Bと称す。)が用いられている。この
高さ検査装置Bは、図示されぬ駆動機構によって上下方
向に駆動される検出台100と、降下時に検出台100
を調整可能な所定の停止位置にて停止させる図示されぬ
停止手段と、検出台100に対し上下方向に移動自在、
かつ下方にバネ220等で付勢されて検出台100に設
けられた検出子200とを備えている。検出台100
は、上下方向に駆動されるようガイドレール110に摺
動自在に設けられており、さらに、このガイドレール1
10が高さ調整部120に固定されている。高さ調整部
120は支柱130が嵌合する貫通孔を備えており、こ
の支柱130に対し、上下方向に摺動自在、かつ軸回り
に回転自在に設けられている。高さ調整部120を支柱
130上で上下方向にスライドさせ、かつ支柱130の
軸周りで回転させた後、支柱130に固定することによ
り、検出台100の基準高さ及び支柱130回りの向き
が調整されるようになっている。検出台100の基準高
さと向きは、検出台100の下降時に、検出子200の
先端がターンテーブル(作業台)上の粉末焼結体Wの端
面部Hに当接し、かつ検出台100の停止位置で、検出
子200が上方に押し上げられるように調整されてい
る。一方、検出子200は、略棒状の形状とされ、検出
台100に固定された支持板210に摺動自在に挿通さ
れ、バネ220によって下方に付勢された状態で取り付
けられている。さらに、この検出子200の上端には、
水平方向に隙間Sを有するスリット部230が設けられ
ている。さらに、検出台100には、検出部300が設
けられている。検出部300は、水平方向に対向配置さ
れた光源310と、受光部320とを備えており、前記
検出子200が粉末焼結体Wに当接して上に押し上げら
れると、スリット部230が入るような間隔が光源31
0と受光部320との間に設けられている。この検出部
300は、検出台100上の任意の高さ位置に固定可能
であり、検出子200が押し上げられる際、スリット部
230の隙間Sがちょうど光源310と受光部320の
間に位置するように調整され、検出台100上に固定さ
れている。[0003] In order to inspect the height of a powder sintered body, for example, a height inspection apparatus B (hereinafter simply referred to as an inspection apparatus B) as shown in FIG. 6 is used. . The height inspection apparatus B includes a detection table 100 driven in a vertical direction by a driving mechanism (not shown),
A stop means (not shown) for stopping at a predetermined stop position that can be adjusted, and movable vertically with respect to the detection table 100,
And a detector 200 urged downward by a spring 220 or the like and provided on the detection table 100. Detection table 100
Are slidably provided on the guide rail 110 so as to be driven in the vertical direction.
10 is fixed to the height adjustment unit 120. The height adjusting section 120 has a through hole into which the column 130 is fitted, and is provided on the column 130 so as to be slidable in the vertical direction and rotatable around the axis. After the height adjustment unit 120 is slid up and down on the support 130 and rotated about the axis of the support 130, by fixing to the support 130, the reference height of the detection table 100 and the orientation around the support 130 are changed. It is being adjusted. The reference height and orientation of the detection table 100 are such that when the detection table 100 is lowered, the tip of the detector 200 abuts on the end surface H of the powder sintered body W on the turntable (work table), and the detection table 100 stops. In the position, the detector 200 is adjusted so as to be pushed upward. On the other hand, the detector 200 has a substantially rod shape, is slidably inserted into a support plate 210 fixed to the detection table 100, and is attached in a state of being urged downward by a spring 220. Further, at the upper end of the detector 200,
A slit 230 having a gap S in the horizontal direction is provided. Further, the detection table 100 is provided with a detection unit 300. The detecting unit 300 includes a light source 310 and a light receiving unit 320 that are arranged to face each other in the horizontal direction. When the detector 200 comes into contact with the powder sintered body W and is pushed upward, the slit unit 230 enters. Light source 31
0 and the light receiving unit 320. The detection unit 300 can be fixed at an arbitrary height position on the detection table 100, and when the detector 200 is pushed up, the gap S of the slit unit 230 is positioned exactly between the light source 310 and the light receiving unit 320. And is fixed on the detection table 100.
【0004】図6に示される検査装置Bは、ターンテー
ブル上の粉末焼結体Wが検査位置に移送されると、検出
台100が停止位置に至るまで下降し、検出子200の
先端が粉末焼結体Wの端面部Hに当接して検出子200
が上方に押し上げられる。この時、スリット部230
が、検出部300の光源310と受光部320との間に
入る。隙間Sが光源310と受光部320の間に位置す
るようにあらかじめ検出部300の位置が調整されてい
るので、光源310から発せられる光は、隙間Sを通り
抜けて受光部320によって検出される。仮に、粉末焼
結体Wの表裏が反転していたりして正しい姿勢にないと
すると、粉末焼結体Wの高さは、例えば端面部H上に設
けられた凸部Tの分だけ高くなるので、隙間Sは光源3
10と受光部320よりも高い位置にまで押し上げられ
てしまう。こうして、光源310から出た光がスリット
部230によって遮られるので、光は検出されない。こ
のように、検出信号の有無によって、粉末焼結体Wのタ
ーンテーブル上での姿勢の正誤が検査、判断される。[0006] In the inspection apparatus B shown in FIG. 6, when the powder sintered body W on the turntable is transferred to the inspection position, the detection table 100 is lowered until it reaches the stop position, and the tip of the detector 200 is powdered. The detector 200 abuts against the end face H of the sintered body W
Is pushed upward. At this time, the slit 230
Enters between the light source 310 and the light receiving unit 320 of the detection unit 300. Since the position of the detection unit 300 is adjusted in advance so that the gap S is located between the light source 310 and the light receiving unit 320, the light emitted from the light source 310 passes through the gap S and is detected by the light receiving unit 320. Assuming that the front and back of the powder sintered body W are not reversed or the powder sintered body W is not in a correct posture, the height of the powder sintered body W is increased by, for example, the protrusion T provided on the end face portion H. Therefore, the gap S is the light source 3
It is pushed up to a position higher than 10 and the light receiving section 320. Thus, the light emitted from the light source 310 is blocked by the slit 230, so that no light is detected. As described above, the correctness of the posture of the powder sintered body W on the turntable is inspected and determined based on the presence or absence of the detection signal.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述のよう
な構成の高さ検査装置Bは、以下のような欠点を有して
いた。すなわち、ターンテーブル上の粉末焼結体の種類
が変わると、それに応じて検出子200の押し上げられ
る高さが変わる。この高さの変化は、例えば高さ調整部
120の支柱130に対する固定位置を変え、検出台1
00の基準高さが高くなるよう調整すれば小さくするこ
とができる。しかし、隙間Sの高さ位置も若干変わるか
ら、検出部300の高さ位置も隙間Sの高さに合わせて
調整し直さなければならない。ところが実際には、受光
部320が光量の変化に敏感で、隙間Sに光が通るよう
に検出部300を調整し、かつ光をうまく受光部320
で検出するように検出台100上に固定するのは困難な
作業であり、粉末焼結体の種類が変わる毎に面倒な調整
作業を強いられていた。さらに、粉末焼結体Wに設けら
れる凸部の高さ寸法が小さくなると、反転した時に生じ
る高さの差が小さくなり、姿勢の正誤を検出しにくくな
るという問題があった。これは、光源310から発せら
れる大きいエミッタンスの光ビームを細くするため隙間
Sを狭くすると、回折の影響が出てビームが広がり、僅
かな高さの差を検出する程度に光ビームの幅を細く出来
ないこと、また、隙間Sの幅を狭くすればするほど光量
も減って受光部320の検出誤差も増えることなどに起
因しており、現在用いられている直径1mm程度の光源
及び受光部、幅0.5mm程度の隙間では、凸部の高さ
が1mmを下回ると、粉末焼結体の姿勢の正誤の判別が
しにくくなっていた。こうして、粉末焼結体の姿勢を上
手く検査できない結果として、粉末焼結体の逆矯正を招
きやすいという問題があった。さらに、検出子200が
粉末焼結体Wの端面部Hに一個所にしか当接しないた
め、当接面の平坦性、全体の捩じれ等、粉末焼結体W全
体に関係する寸法精度による高さの差を、粉末焼結体W
の誤った姿勢として誤認知しやすくなるという問題もあ
り、姿勢の正誤判断をより確実なものとする適切な技術
の開発が望まれていた。However, the height inspection apparatus B having the above configuration has the following disadvantages. That is, when the type of the powder sintered body on the turntable changes, the height at which the detector 200 is pushed up changes accordingly. This change in height changes the fixing position of the height adjustment unit 120 with respect to the column 130, for example, and changes the height of the detection table 1
The height can be reduced by adjusting the reference height of 00 to be higher. However, since the height position of the gap S also slightly changes, the height position of the detection unit 300 must be adjusted again according to the height of the gap S. However, in practice, the light receiving unit 320 is sensitive to a change in the amount of light, and the detecting unit 300 is adjusted so that the light passes through the gap S.
It is a difficult task to fix the powder sintered body on the detection table 100 so as to perform the detection, and a complicated adjustment operation is forced every time the type of the powder sintered body changes. Further, when the height of the convex portion provided on the powder sintered body W is reduced, the height difference generated when the powder is inverted is reduced, and there is a problem that it is difficult to detect the correctness of the posture. This is because if the gap S is narrowed to narrow the light beam having a large emittance emitted from the light source 310, the beam spreads due to the effect of diffraction, and the width of the light beam is narrowed to such an extent that a slight difference in height is detected. In addition, the smaller the width of the gap S is, the smaller the light amount is, the more the detection error of the light receiving unit 320 is increased, and the like. In a gap having a width of about 0.5 mm, if the height of the projection is less than 1 mm, it is difficult to determine whether the orientation of the powder sintered body is correct or not. Thus, as a result of not being able to inspect the posture of the powder sintered body well, there has been a problem that reverse correction of the powder sintered body is likely to occur. Further, since the detector 200 abuts on the end surface H of the powder sintered body W at only one location, the dimensional accuracy related to the entire powder sintered body W, such as the flatness of the contact surface and the overall torsion, is high. The difference in the powder sintered body W
There is also a problem that it is easy to misrecognize the posture as an incorrect posture, and there has been a demand for the development of an appropriate technique for making the correctness of the posture correct.
【0006】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
のであって、異なる高さを有する粉末焼結体を検査する
際、面倒な調整作業を必要としない粉末焼結体の高さ検
査装置を提供することにある。また、他の目的として
は、粉末焼結体の端面に形成される凸部の端面からの高
さ寸法が小さく、反転した時の高さの差が小さい場合で
も、姿勢の正誤を検出できる粉末焼結体の高さ検査装置
を提供することにある。また、他の目的としては、粉末
焼結体の全体にかかる高さの寸法精度に起因する姿勢の
誤判断を引き起こさない粉末焼結体の高さ検査装置を提
供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and when inspecting powder sintered bodies having different heights, a height inspection of the powder sintered bodies that does not require complicated adjustment work. It is to provide a device. Another object is to provide a powder that can detect the correctness of the posture even when the height dimension from the end face of the protrusion formed on the end face of the powder sintered body is small and the height difference when inverted is small. An object of the present invention is to provide a sintered body height inspection apparatus. Another object of the present invention is to provide a powder sintered body height inspection apparatus which does not cause an erroneous determination of a posture due to the dimensional accuracy of the height of the entire powder sintered body.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、上下方向に駆動される検出台と、降下時に前記検出
台を停止位置にて停止する停止手段と、前記検出台に上
下方向に移動自在に設けられた検出子とを備えてなり、
前記検出台の前記停止位置で、前記検出子が作業台上の
粉末焼結体に当接して上方に押し上げられるように構成
された粉末焼結体の高さ検査装置であって、前記検出子
および前記検出台のいずれか一方には、位置指標体が固
定され、前記位置指標体が固定されない他方には、前記
位置指標体と上下方向で対向するように位置検出センサ
が固定され、前記位置検出センサは、前記位置指標体ま
での距離を検出するように設けられていることを特徴と
する。According to a first aspect of the present invention, there is provided a detection table driven in a vertical direction, a stopping means for stopping the detection table at a stop position when descending, And a detector movably provided on the
A height inspection apparatus for a powder sintered body, wherein the detector is configured to contact the powder sintered body on a worktable and to be pushed upward at the stop position of the detection table, And a position index body is fixed to one of the detection bases, and a position detection sensor is fixed to the other side where the position index body is not fixed, so as to face the position index body in the vertical direction. The detection sensor is provided so as to detect a distance to the position indicator.
【0008】このような構成としたことにより、検出台
が降下し、停止手段によって所定の停止位置にて停止さ
せられると、検出子が作業台上に載置された粉末焼結体
に当接して上方に押し上げられる。この時、検出子に固
定された位置指標体も上に押し上げられる。一方、位置
検出センサは検出台に位置指標体と上下方向で対向する
ように固定されており、位置指標体が上に押し上げられ
るとともに位置検出センサと位置指標体との間が離間す
る。粉末焼結体の正常な姿勢の時とそうでない時の位置
指標体と位置検出センサとの間の距離を比較することに
より、姿勢の正誤の判断を行う。例えば、正常な姿勢の
時の高さを零点に設定しておき、位置検出センサが示す
値が零であるかそうでないかによって、姿勢の正誤の判
断を行う。なお、位置検出センサと位置指標体との間の
距離が分かればよいので、位置検出センサが検出子に固
定され、位置指標体が検出台に固定される構成としても
よい。正常な姿勢の時にのみ信号が検出される従来の検
査装置と異なり、位置検出センサからは、位置指標体の
位置の信号が常に検出され、その指し示す値は連続して
いる。換言すれば、粉末焼結体の種類が変われば、正常
な姿勢の時の示す値が変化するだけである。粉末焼結体
の種類毎に新しい値を正常な姿勢の判断基準として採用
すれば、検出センサそのもの位置を調整し直す必要がな
い。With this configuration, when the detection table is lowered and stopped at a predetermined stop position by the stopping means, the detector comes into contact with the powder sintered body placed on the work table. Pushed upwards. At this time, the position indicator fixed to the detector is also pushed up. On the other hand, the position detection sensor is fixed to the detection table so as to oppose the position index body in the up-down direction, and the position index body is pushed up and the distance between the position detection sensor and the position index body is separated. By comparing the distance between the position index body and the position detection sensor when the powder sintered body is in the normal posture and when it is not, the correctness of the posture is determined. For example, the height at the time of a normal posture is set to a zero point, and whether the posture is correct or not is determined based on whether the value indicated by the position detection sensor is zero or not. Since the distance between the position detection sensor and the position indicator may be determined, the position sensor may be fixed to the detector, and the position indicator may be fixed to the detection table. Unlike a conventional inspection device in which a signal is detected only when the posture is normal, a signal of the position of the position index body is always detected from the position detection sensor, and the indicated value is continuous. In other words, if the type of the powder sintered body changes, only the value indicated when in the normal posture changes. If a new value is adopted as a criterion for determining a normal posture for each type of powder sintered body, there is no need to adjust the position of the detection sensor itself.
【0009】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
の粉末焼結体の高さ検査装置であって、 前記位置指標
体は、導電性を有する金属板体とされ、前記位置検出セ
ンサは、前記金属板体に渦電流を発生させて前記金属板
体までの距離を検出する渦電流近接センサとされている
ことを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, there is provided the powder sintered body height inspection apparatus according to the first aspect, wherein the position indicator is a conductive metal plate, and the position detection is performed. The sensor is an eddy current proximity sensor that generates an eddy current in the metal plate and detects a distance to the metal plate.
【0010】このような構成としたことにより、渦電流
近接センサが位置指標体である金属板体に渦電流を発生
させて金属板体までの距離を検出する。精度的には、例
えば、0.5〜10mmの範囲内で金属板体までの距離
を4〜6μmの精度で検出することが可能である。した
がって、検出台が降下し、検出子が粉末焼結体に当接し
て上に押し上げられた状態で、金属板体と位置検出セン
サとの間の距離が5mm程度になるよう検出台の停止位
置等をあらかじめ設定しておくと、±5mmの範囲内の
高さの異なる粉末焼結体の姿勢の正誤を4〜6μmの精
度で判断できる。With this configuration, the eddy current proximity sensor generates an eddy current in the metal plate serving as the position indicator, and detects the distance to the metal plate. In terms of accuracy, for example, the distance to the metal plate within a range of 0.5 to 10 mm can be detected with an accuracy of 4 to 6 μm. Therefore, in a state where the detection table is lowered and the detector contacts the powder sintered body and is pushed upward, the stop position of the detection table is set so that the distance between the metal plate and the position detection sensor is about 5 mm. By setting in advance, the correctness of the attitude of the powder sintered bodies having different heights within the range of ± 5 mm can be determined with an accuracy of 4 to 6 μm.
【0011】請求項3に記載の発明は、上下方向に駆動
される検出台と、降下時に前記検出台を停止位置にて停
止する停止手段と、前記検出台に上下方向に移動自在に
それぞれ設けられた第一の検出子および第二の検出子
と、前記第一の検出子に対する前記第二の検出子の上下
方向の相対位置を検出する相対位置検出センサとを備え
てなり、前記検出台の前記停止位置で、前記第一の検出
子および前記第二の検出子が作業台上の粉末焼結体の異
なる箇所に当接してそれぞれ上方に押し上げられるよう
に構成されていることを特徴とする。According to a third aspect of the present invention, there is provided a detection table driven vertically, a stopping means for stopping the detection table at a stop position when descending, and a detection table provided movably in the vertical direction. The first detection element and the second detection element, and a relative position detection sensor for detecting the vertical position of the second detection element with respect to the first detection element, the detection table In the stop position, the first detector and the second detector are configured to abut on different portions of the powder sintered body on the work table and to be pushed upward respectively. I do.
【0012】このような構成としたことにより、検出台
が降下し、停止手段によって所定の停止位置にて停止さ
せられると、第一の検出子と第二の検出子とがそれぞれ
作業台上に載置された粉末焼結体の異なる位置に当接し
て上方に押し上げられる。この時、例えば粉末焼結体が
段差を有するものであるとき、段差を有して高さの異な
る二つの箇所に第一の検出子と第二の検出子がそれぞれ
当接して、第一の検出子と第二の検出子との上下方向の
相対位置が変化する。この相対位置の変化を相対位置検
出センサで検出することにより、粉末焼結体の段差を直
接測定することができる。仮に、姿勢が正しくないと、
正常な段差が検出されず、誤姿勢と判断される。検出子
が一つしかなく、粉末焼結体の一点にのみ当接して高さ
を検査する場合、作業台上に載置される粉末焼結体の作
業台に載置される側の接触面の平坦性、さらには、全体
の形状の歪みや捩じれ等、全体にかかる寸法精度に起因
する高さのばらつきが検出される高さに全て反映され
る。これに比較して、測定点を二点とし、段差を直接検
査することで、全体の寸法誤差に起因する姿勢の誤判断
を防ぐことができる。With such a configuration, when the detection table is lowered and stopped at a predetermined stop position by the stopping means, the first detector and the second detector are respectively placed on the work table. The placed powder sintered body contacts different positions and is pushed upward. At this time, for example, when the powder sintered body has a step, the first detector and the second detector are respectively in contact with two portions having a step and different heights, and the first detector The relative position in the vertical direction between the detector and the second detector changes. By detecting the change in the relative position with the relative position detection sensor, the level difference of the powder sintered body can be directly measured. If the posture is not correct,
A normal step is not detected, and it is determined that the posture is wrong. When there is only one detector and the height is inspected by contacting only one point of the powder sintered body, the contact surface on the side of the powder sintered body placed on the work table placed on the work table And the variation in height due to the dimensional accuracy of the whole, such as distortion and twist of the whole shape, are all reflected in the detected height. Compared to this, by using two measurement points and directly inspecting the steps, it is possible to prevent erroneous determination of the posture due to the entire dimensional error.
【0013】請求項4に記載の発明は、請求項3に記載
の粉末焼結体の高さ検査装置であって、 前記相対位置
検出センサは、前記第一の検出子に固定された位置指標
体と、前記位置指標体と上下方向で対向するように前記
第二の検出子に固定された位置検出センサとを備えてな
り、前記位置検出センサは、前記位置指標体までの距離
を検出するようになっていることを特徴とする。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the powder sintered body height inspection apparatus according to the third aspect, wherein the relative position detection sensor is a position index fixed to the first detector. And a position detection sensor fixed to the second detector so as to face the position indicator in the up-down direction, wherein the position sensor detects a distance to the position indicator. It is characterized by the following.
【0014】このような構成としたことにより、第一の
検出子と第二の検出子との間の相対位置の変化の検出
が、第一の検出子に固定された位置指標体と、第二の検
出子に固定された位置検出センサとの間の距離の測定に
より行われる。With such a configuration, the detection of the change in the relative position between the first detector and the second detector is performed by the position indicator fixed to the first detector and the second position detector. This is performed by measuring the distance between the two detectors and a position detection sensor fixed to the two detectors.
【0015】[0015]
【発明の実施の形態】以下、本発明による粉末焼結体の
高さ検査装置を図面に基づき説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an apparatus for inspecting the height of a powder sintered body according to the present invention will be described with reference to the drawings.
【0016】[第一の実施の形態]図1〜3に、本発明に
係る粉末焼結体の高さ検査装置の第一の実施形態を示
す。図1において、粉末焼結体の高さ検査装置A1(以
後、単に検査装置A1と称す。)は、図示されぬ駆動機
構によって上下方向に駆動される検出台10と、降下時
に検出台10を調整可能な所定の停止位置にて停止させ
る図示されぬ停止手段と、検出台10に対し上下方向に
移動自在に検出台10に設けられた検出子20とを備え
ている。[First Embodiment] FIGS. 1 to 3 show a first embodiment of a powder sintered body height inspection apparatus according to the present invention. In FIG. 1, a powder sintered body height inspection apparatus A1 (hereinafter, simply referred to as an inspection apparatus A1) includes a detection table 10 driven in a vertical direction by a driving mechanism (not shown) and a detection table 10 at the time of descent. The control device includes a stop means (not shown) for stopping at a predetermined adjustable stop position, and a detector 20 provided on the detection base 10 so as to be vertically movable with respect to the detection base 10.
【0017】検出台10は、上下方向に駆動されるよう
ガイドレール11に摺動自在に設けられており、さら
に、このガイドレール11が高さ調整部12に固定され
ている。高さ調整部12は支柱13が嵌合する貫通孔1
4を備えており、この支柱13に対し、上下方向に摺動
自在、かつ軸回りに回転自在に設けられている。高さ調
整部12を支柱13上で上下方向にスライドさせ、かつ
支柱13の軸周りで回転させた後、支柱13に固定する
ことにより、検出台10の基準高さ及び支柱13回りの
向きが調整されるようになっている。検出台10の基準
高さと向きは、検出台10の下降時に、検出子20の先
端がターンテーブル(作業台)上の粉末焼結体Wの端面
部Hに当接し、かつ検出台10の停止位置で、検出子2
0が上方に押し上げられるように調整されている。The detection table 10 is slidably provided on a guide rail 11 so as to be driven up and down, and the guide rail 11 is fixed to a height adjustment unit 12. The height adjusting part 12 is a through hole 1 in which the support 13 is fitted.
4 is provided on the support 13 so as to be slidable in the vertical direction and rotatable around the axis. After the height adjustment unit 12 is slid up and down on the column 13 and rotated around the axis of the column 13, it is fixed to the column 13, so that the reference height of the detection table 10 and the direction around the column 13 can be adjusted. It is being adjusted. The reference height and orientation of the detection table 10 are such that when the detection table 10 is lowered, the tip of the detector 20 abuts on the end surface H of the powder sintered body W on the turntable (work table), and the detection table 10 stops. In position, detector 2
It is adjusted so that 0 is pushed upward.
【0018】一方、検出子20は、略棒状の形状とさ
れ、やや径の大きい上部25と、上部25より径の細く
なっている下部26とから構成され、下部26の下端に
は、粉末焼結体Wに当接する先細とされた先端部27が
形成されている。検出子20の下部26は、支持板21
に設けられた挿通孔23に摺動自在に挿通されている。
この時、上部25は、挿通孔23で係止されている。下
部26には、バネ22が外嵌され、さらにバネ支持円板
24が取り付けられている。ここで、バネ支持円板24
は、バネ22の先端に当接してバネ22を縮めた状態で
下部26に取り付けられるため、検出子20は、下方に
付勢された状態で支持板21に取り付けられている。こ
の支持板21が検出台10に固定されることによって、
検出子20は、検出台10に対し上下方向に移動自在、
かつ下方に付勢されて検出台10に設けられるようにな
っている。On the other hand, the detector 20 has a substantially rod-like shape and includes an upper portion 25 having a slightly larger diameter and a lower portion 26 having a smaller diameter than the upper portion 25. A tapered distal end portion 27 that contacts the united body W is formed. The lower part 26 of the detector 20 is
Is slidably inserted through an insertion hole 23 provided in the first hole.
At this time, the upper part 25 is locked by the insertion hole 23. The spring 22 is fitted on the lower part 26, and a spring supporting disk 24 is further attached. Here, the spring support disk 24
Is attached to the lower part 26 in a state where the spring 22 is contracted by contacting the tip of the spring 22, so that the detector 20 is attached to the support plate 21 in a state of being urged downward. By fixing the support plate 21 to the detection table 10,
The detector 20 is vertically movable with respect to the detection table 10,
It is urged downward and provided on the detection table 10.
【0019】検出子20の上端には、導電性を有する金
属からなる位置指標板30(位置指標体)が取り付けら
れている。また、位置指標板30と上下方向で対向する
ように位置検出センサ31が、検出台10に固定された
センサ取付板32に取り付けられている。ここで、位置
検出センサ31は、金属製の位置指標板30に渦電流を
発生させて位置指標板30までの距離を検出する渦電流
近接センサとされている。At the upper end of the detector 20, a position indicator plate 30 (position indicator) made of conductive metal is attached. Further, a position detection sensor 31 is attached to a sensor attachment plate 32 fixed to the detection base 10 so as to face the position index plate 30 in the vertical direction. Here, the position detection sensor 31 is an eddy current proximity sensor that generates an eddy current in the metal position index plate 30 and detects the distance to the position index plate 30.
【0020】検査装置A1主要部の上下方向の位置関係
が図2に示されている。支持板21とセンサ取付板32
とは、検出子20が下方に付勢された状態で、位置指標
板30と位置検出センサ31の間に0.5mm程度の間
隙Cを有するように検出台10に取り付けられている。
図3は、これら主要部の分解斜視図である。本実施例で
は、位置検出センサ31の外径Dはおよそ20mm程
度、これに対し、位置検出センサ31が取り付けられる
センサ取付板32の幅Lはおよそ40mm程度、位置指
標板30の幅Mはおよそ30mm程度とされている。FIG. 2 shows the vertical positional relationship of the main part of the inspection apparatus A1. Support plate 21 and sensor mounting plate 32
Means that the detector 20 is urged downward and attached to the detection base 10 so as to have a gap C of about 0.5 mm between the position index plate 30 and the position detection sensor 31.
FIG. 3 is an exploded perspective view of these main parts. In the present embodiment, the outer diameter D of the position detection sensor 31 is about 20 mm, whereas the width L of the sensor mounting plate 32 on which the position detection sensor 31 is mounted is about 40 mm, and the width M of the position index plate 30 is about 20 mm. It is about 30 mm.
【0021】本実施の形態による粉末焼結体の高さ検査
装置A1は、上述の構成を備えており、次にその作用を
説明する。検出台10が降下し、図示されぬ停止手段に
よって所定の停止位置にて停止させられると、検出子2
0がターンテーブル上に載置された粉末焼結体Wの端面
部Hに当接して上方に押し上げられる。この時、検出子
20に固定された位置指標板30も上に押し上げられ
る。一方、位置検出センサ31は検出台10に位置指標
板30と上下方向で対向するように固定されており、位
置指標板30が上に押し上げられるとともに位置検出セ
ンサ31と位置指標板30との間が離間する。粉末焼結
体Wの正常な姿勢の時とそうでない時の位置指標板30
と位置検出センサ31との間の距離を比較することによ
り、姿勢の正誤の判断を行う。例えば、正常な姿勢の時
の高さを零点に設定しておき、位置検出センサ31が示
す値が零であるかそうでないかによって、姿勢の正誤の
判断を行う。The powder-sintered-body height inspection apparatus A1 according to the present embodiment has the above-described configuration, and its operation will now be described. When the detection base 10 descends and is stopped at a predetermined stop position by stop means (not shown), the detector 2
0 contacts the end face H of the powder sintered body W placed on the turntable and is pushed upward. At this time, the position index plate 30 fixed to the detector 20 is also pushed up. On the other hand, the position detection sensor 31 is fixed to the detection base 10 so as to face the position index plate 30 in the up-down direction, and when the position index plate 30 is pushed up, the position detection sensor 31 and the position index plate 30 Are separated. The position index plate 30 when the powder sintered body W is in the normal posture and when it is not.
By comparing the distance between the position and the position detection sensor 31, it is determined whether the posture is right or wrong. For example, the height at the time of a normal posture is set to a zero point, and the correctness of the posture is determined based on whether the value indicated by the position detection sensor 31 is zero or not.
【0022】正常な姿勢の時にのみ信号が検出される従
来の検査装置と異なり、位置検出センサ31からは、位
置指標板30の位置の信号が常に検出され、その指し示
す値は連続している。換言すれば、粉末焼結体の種類が
変われば、正常な姿勢の時の示す値が変化するだけであ
る。粉末焼結体の種類毎に新しい値を正常な姿勢の判断
基準として採用すれば、位置検出センサ31の位置を調
整し直す必要がない。Unlike the conventional inspection apparatus in which a signal is detected only when the posture is normal, the signal of the position of the position index plate 30 is always detected from the position detection sensor 31, and the indicated value is continuous. In other words, if the type of the powder sintered body changes, only the value indicated when in the normal posture changes. If a new value is used as a criterion for determining a normal posture for each type of powder sintered body, it is not necessary to adjust the position of the position detection sensor 31 again.
【0023】位置指標板30である金属板体に、渦電流
近接センサが渦電流を発生させて金属板体までの距離を
検出する。精度的には、例えば、0.5〜10mmの範
囲内で金属板体までの距離を4〜6μmの精度で検出す
ることが可能である。したがって、検出台10が降下
し、検出子20が粉末焼結体Wに当接して上に押し上げ
られた状態で、金属板体と位置検出センサとの間の距離
が5mm程度になるよう検出台10の停止位置と支柱1
3に取り付ける高さ調整部12の位置等をあらかじめ設
定しておくと、±5mmの範囲内の高さの異なる粉末焼
結体の姿勢の正誤を4〜6μmの精度で判断できる。An eddy current proximity sensor generates an eddy current on the metal plate serving as the position index plate 30, and detects the distance to the metal plate. In terms of accuracy, for example, the distance to the metal plate within a range of 0.5 to 10 mm can be detected with an accuracy of 4 to 6 μm. Therefore, in a state where the detection base 10 is lowered and the detector 20 abuts on the powder sintered body W and is pushed upward, the detection base is set so that the distance between the metal plate and the position detection sensor is about 5 mm. 10 stop positions and columns 1
If the position and the like of the height adjustment unit 12 to be attached to 3 are set in advance, the correctness of the attitude of the powder sintered bodies having different heights within a range of ± 5 mm can be determined with an accuracy of 4 to 6 μm.
【0024】上述のように本実施の形態によれば、粉末
焼結体の種類が変わっても、位置検出センサ31の高さ
位置を調整し直す必要がない。また、高さの検査精度が
増すので、粉末焼結体の端面に設けられる凸部の高さが
1mm以下となった場合も反転などの粉末焼結体の誤姿
勢を検査、判断することができる。As described above, according to the present embodiment, it is not necessary to readjust the height position of the position detecting sensor 31 even if the type of the powder sintered body changes. In addition, since the height inspection accuracy is increased, even when the height of the convex portion provided on the end face of the powder sintered body becomes 1 mm or less, it is possible to inspect and determine an incorrect posture of the powder sintered body such as inversion. it can.
【0025】なお、上記の実施例では、位置指標板30
を検出子20に、位置検出センサ31を検出台10にそ
れぞれ設ける構成としたが、位置指標板30を検出台1
0に、位置検出センサ31を検出子20に設ける構成と
してもよい。In the above embodiment, the position index plate 30
Is provided on the detector 20 and the position detection sensor 31 is provided on the detection base 10, respectively.
The position detection sensor 31 may be provided on the detector 20 at 0.
【0026】また、検出子20の検出台10に対する相
対移動距離を測定するものであればなんでもよく、検出
子20に位置を指し示す位置指標体を設け、検出台10
に位置指標体の移動距離を測定する手段を設ける構成と
してもよい。Any device may be used as long as it measures the relative movement distance of the detector 20 with respect to the detection table 10. A position indicator is provided on the detector 20 to indicate the position.
May be provided with means for measuring the moving distance of the position indicator.
【0027】また、上記の実施例では、検出子20を下
方に付勢する手段として、バネ22を用いる構成とした
が、他の弾性体として例えばゴムのようなものを用いて
もよい。あるいは、圧縮空気、油圧等を用いて下方に付
勢する構成としてもよい。In the above-described embodiment, the spring 22 is used as a means for urging the detector 20 downward. However, another elastic body such as rubber may be used. Alternatively, it may be configured to urge downward using compressed air, hydraulic pressure, or the like.
【0028】[第二の実施の形態]図4および図5に、本
発明に係る粉末焼結体の高さ検査装置の第二の実施形態
を示す。図において、粉末焼結体の高さ検査装置A2
(以後、検査装置A2と称す。)は、図示されぬ駆動機
構によって上下方向に駆動される検出台50と、降下時
に検出台50を調整可能な所定の停止位置にて停止する
図示されぬ停止手段と、検出台50に上下方向に移動自
在にそれぞれ設けられた検出子60(第二の検出子)お
よび基準検出子70(第一の検出子)と、検出子60に
対する基準検出子70の上下方向の相対位置を検出する
相対位置検出センサRとを備えてなり、検出台50の前
記停止位置で、検出子60および基準検出子70がター
ンテーブル(作業台)上の粉末焼結体Wの段差の存在す
る異なる二箇所、例えば、端面部H、および端面部Hに
設けられた凸部Tの上端面にそれぞれ当接して上方に押
し上げられるように構成されている。[Second Embodiment] FIGS. 4 and 5 show a second embodiment of a powder sintered body height inspection apparatus according to the present invention. In the figure, a powder sintered body height inspection device A2
(Hereinafter, referred to as an inspection apparatus A2) includes a detection table 50 driven vertically by a driving mechanism (not shown), and a stop (not shown) that stops the detection table 50 at a predetermined stop position where the detection table 50 can be adjusted when descending. Means, a detector 60 (second detector) and a reference detector 70 (first detector) which are respectively provided on the detection table 50 so as to be vertically movable, and a reference detector 70 for the detector 60. And a relative position detection sensor R for detecting a relative position in the vertical direction. At the stop position of the detection table 50, the detector 60 and the reference detector 70 are connected to a powder sintered body W on a turntable (work table). , For example, an end face portion H and an upper end face of a convex portion T provided on the end face portion H and are pushed upward.
【0029】検出台50は、上下方向に駆動されるよう
ガイドレール51に摺動自在に設けられている。この検
出台50に、検出子60を装着するための支持板61、
及び基準検出子70を装着するための支持板71がそれ
ぞれ固定されている。The detection table 50 is slidably provided on the guide rail 51 so as to be driven in the vertical direction. A support plate 61 for mounting the detector 60 on the detection base 50,
A support plate 71 for mounting the reference detector 70 is fixed.
【0030】検出子60は、板状体の上下両端が折曲さ
れて水平になっている略断面コ字状の検出子本体65
と、上端に設けられたバネ軸67と、下端に設けられた
粉末焼結体Wに当接する先細とされた下部66とから概
略構成されている。検出子本体65は、支持板61に上
下方向に摺動自在に取り付けられた摺動部63に固定さ
れており、検出台50に対し検出子60が上下方向に移
送自在となるよう設けられている。さらに、バネ軸67
は、上端がバネ支持板64によって支持されたバネ62
に嵌入されており、このバネ62が縮められた状態で、
摺動部63が支持板61に取り付けられ、検出子60
は、下方に付勢された状態で検出台50に設けられてい
る。なお、支持板61の下端には、検出子60の下降時
に摺動部63が当接して位置決めされる高さ調整ネジ6
8が螺合されており、この高さ調整ネジ68のねじ込み
の深さによって、摺動部63が当接する高さ位置が調整
されるようになっている。The detector 60 has a detector body 65 having a substantially U-shaped cross section in which the upper and lower ends of the plate are bent and horizontal.
, A spring shaft 67 provided at the upper end, and a tapered lower portion 66 provided at the lower end in contact with the powder sintered body W. The detector main body 65 is fixed to a sliding portion 63 slidably mounted on the support plate 61 in the vertical direction. The detector main body 65 is provided so that the detector 60 can be moved in the vertical direction with respect to the detection table 50. I have. Further, the spring shaft 67
A spring 62 whose upper end is supported by a spring support plate 64
In a state where the spring 62 is contracted,
The sliding portion 63 is attached to the support plate 61 and the detector 60
Is provided on the detection table 50 in a state of being urged downward. The lower end of the support plate 61 has a height adjusting screw 6 with which the sliding portion 63 is abutted and positioned when the detector 60 descends.
8 is screwed, and the height position at which the sliding portion 63 abuts is adjusted by the screwing depth of the height adjusting screw 68.
【0031】基準検出子70は、検出子60と略同様の
構成とされ、板体の上下両端が折曲されて水平になって
いる略断面コ字状の検出子本体75と、上端に設けられ
たバネ軸77と、下端に設けられた粉末焼結体Wに当接
する下部76とから概略構成されており、下部76の下
端には、ヘッド部76aが装着され、粉末焼結体Wに面
接触するよう下面に当接面76bが形成されている。検
出子本体75は、支持板71に上下方向に摺動自在に取
り付けられた摺動部73に固定されており、検出台50
に対し基準検出子70が上下方向に移送自在となるよう
設けられている。さらに、バネ軸77は、上端がバネ支
持板74によって支持されたバネ72に嵌入されてお
り、このバネ72が縮められた状態で、摺動部73が支
持板71に取り付けられ、基準検出子70は、下方に付
勢された状態で検出台50に設けられている。なお、支
持板71の下端には、基準検出子70の下降時に摺動部
73が当接して位置決めされる高さ調整ネジ78が螺合
されており、この高さ調整ネジ78のねじ込みの深さに
よって、摺動部73が当接する高さ位置が調整されるよ
うになっている。The reference detector 70 has substantially the same configuration as that of the detector 60, and is provided at the upper end with a substantially U-shaped detector main body 75 in which the upper and lower ends of the plate are bent and horizontal. And a lower portion 76 provided at the lower end of the lower portion 76 which abuts on the powder sintered body W. At the lower end of the lower portion 76, a head portion 76a is mounted. A contact surface 76b is formed on the lower surface so as to make surface contact. The detector main body 75 is fixed to a sliding portion 73 slidably mounted on the support plate 71 in the up-down direction.
The reference detector 70 is provided so as to be movable in the vertical direction. Further, the spring shaft 77 is fitted into a spring 72 whose upper end is supported by a spring support plate 74. In a state where the spring 72 is contracted, the sliding portion 73 is attached to the support plate 71, and the reference detector 70 is provided on the detection base 50 in a state where it is urged downward. At the lower end of the support plate 71, a height adjusting screw 78, which is positioned by abutment of the sliding portion 73 when the reference detector 70 is lowered, is screwed. Thereby, the height position at which the sliding portion 73 contacts is adjusted.
【0032】バネ軸67上端は、バネ支持板64に摺動
自在に挿通されて上方に突き出しており、このバネ軸6
7上端には、図4紙面奥行き方向奥に向けて、また、図
5右方向に向けて延在するセンサ取付板82が設けられ
ており、このセンサ取り付け板82のバネ支持板64に
取り付けられる反対の側に位置検出センサ81が設けら
れている。位置検出センサ81は、金属板に渦電流を発
生させて金属板までの距離を検出する渦電流近接センサ
とされており、前記センサ取付板82の上側に取り付け
られている。The upper end of the spring shaft 67 is slidably inserted into the spring support plate 64 and protrudes upward.
A sensor mounting plate 82 is provided at the upper end of the sensor mounting plate 82 extending in the depth direction of FIG. 4 and in the right direction of FIG. 5, and is mounted on the spring support plate 64 of the sensor mounting plate 82. A position detection sensor 81 is provided on the opposite side. The position detection sensor 81 is an eddy current proximity sensor that generates an eddy current in the metal plate to detect a distance to the metal plate, and is mounted above the sensor mounting plate 82.
【0033】バネ軸77上端は、バネ支持板74に摺動
自在に挿通されて上方に突き出しており、このバネ軸7
7上端には、図4紙面奥行き方向奥側に向けて、また、
図5中右方向に向けて延在する位置指標板80(位置指
標体)が取り付けられ、前記位置検出センサ81と上下
方向で対向するように設けられている。ここで、位置指
標板80は、導電性を有する金属板体よりなり、渦電流
近接センサとされた位置検出センサ81により渦電流が
発生させられるようになっている。さらに、位置指標板
80には、センサ調整ネジ83が設けられている。この
ように検出子60と基準検出子70とに設けられた位置
指標板80と位置検出センサ81とによって相対位置検
出センサRが構成されている。The upper end of the spring shaft 77 is slidably inserted into the spring support plate 74 and protrudes upward.
7 at the upper end in the depth direction of FIG.
A position index plate 80 (position index body) extending rightward in FIG. 5 is attached, and is provided so as to face the position detection sensor 81 in the vertical direction. Here, the position index plate 80 is made of a conductive metal plate, and an eddy current is generated by a position detection sensor 81 which is an eddy current proximity sensor. Further, the position index plate 80 is provided with a sensor adjusting screw 83. As described above, the relative position detection sensor R is configured by the position index plate 80 and the position detection sensor 81 provided on the detector 60 and the reference detector 70.
【0034】本実施の形態による粉末焼結体の高さ検査
装置A2は、上述の構成を備えており、次にその作用を
説明する。検出台50は、例えば圧縮空気、あるいはモ
ーター等の駆動機構によって降下し、図示されぬ、例え
ば前記駆動機構の制御などの停止手段によって所定の停
止位置に停止させられる。この時、検出子60と基準検
出子70とがターンテーブル上に載置された粉末焼結体
Wの異なる位置、例えば検出子60の下部66に形成さ
れた先細の先端が端面部Hに、基準検出子70のヘッド
部76a下面に形成された当接面76bが凸部T上端面
にそれぞれ当接して上方に押し上げられる。ここで、検
出台50が上方の待機位置にある時、検出子60と基準
検出子70とは、共に下方に付勢されており、高さ調整
ネジ68および高さ調整ネジ78に当接して押し付けら
れた状態となっている。ここで、この高さ調整ネジ68
と高さ調整ネジ78とをそれぞれ調整し、検出台50が
停止位置まで下降した時、検出子60と基準検出子70
の先端が粉末焼結体Wに当接して若干押し上げられるよ
うに予め調整しておく。検出子60と基準検出子70と
が正しく載置された粉末焼結体Wに当接して押し上げら
れた際、相対位置検出センサRによって検出子60に対
する基準検出子70との距離を測定し、例えば、この時
の値を零点に取るなどして、正常姿勢の時の基準の値を
決定する。この値が正しく示されるか否かによって、粉
末焼結体Wの姿勢が正しいかそうでないかを検査して判
別する。例えば、粉末焼結体Wが図に示す如く端面に段
差を有するものであるとき、検出子60が端面部Hに、
また基準検出子70が凸部Tの上端面に当接してその段
差h1を基準段差h1として検出する一方、仮に粉末焼
結体Wが反転し、検出子60と基準検出子70の相対位
置の変化から段差h2が検出されたとすると、粉末焼結
体Wの姿勢が正しくないことが判別される。この段差の
差は、位置検出センサ81として、例えば本実施例のよ
うに渦電流検出センサを用いれば、±5mmの範囲で4
〜6μmの精度で判別が可能である。The powder-sintered-body height inspection apparatus A2 according to the present embodiment has the above-described configuration, and its operation will now be described. The detection base 50 is lowered by a drive mechanism such as compressed air or a motor, and is stopped at a predetermined stop position by a stop means (not shown) such as control of the drive mechanism. At this time, the detector 60 and the reference detector 70 have different positions of the powder sintered body W placed on the turntable, for example, the tapered tip formed in the lower part 66 of the detector 60 has an end face H, The contact surfaces 76b formed on the lower surface of the head portion 76a of the reference detector 70 respectively contact the upper end surfaces of the convex portions T and are pushed upward. Here, when the detection table 50 is at the upper standby position, the detector 60 and the reference detector 70 are both urged downward, and come into contact with the height adjustment screw 68 and the height adjustment screw 78. It is in a pressed state. Here, the height adjusting screw 68
And the height adjusting screw 78 are adjusted respectively, and when the detection table 50 is lowered to the stop position, the detector 60 and the reference detector 70 are adjusted.
Is adjusted in advance so that the tip of the member abuts against the powder sintered body W and is slightly pushed up. When the detector 60 and the reference detector 70 abut against the correctly mounted powder sintered body W and are pushed up, the distance between the detector 60 and the reference detector 70 with respect to the detector 60 is measured by the relative position detection sensor R, For example, by taking the value at this time as a zero point, a reference value for a normal posture is determined. Whether the posture of the powder sintered body W is correct or not is determined based on whether or not this value is correctly indicated. For example, when the powder sintered body W has a step on the end face as shown in the figure, the detector 60 is attached to the end face H,
Also, while the reference detector 70 abuts on the upper end surface of the convex portion T and detects the step h1 as the reference step h1, the powder sintered body W is temporarily inverted, and the relative position between the detector 60 and the reference detector 70 is determined. If the step h2 is detected from the change, it is determined that the posture of the powder sintered body W is incorrect. If, for example, an eddy current detection sensor is used as the position detection sensor 81 as in this embodiment, the difference in level difference is 4 mm within a range of ± 5 mm.
Discrimination is possible with an accuracy of up to 6 μm.
【0035】このように、図4及び図5に示される検査
装置A2によれば、粉末焼結体Wの姿勢のより確実な検
査ができる。すなわち、検出子が一つしかなく、粉末焼
結体Wの一点にのみ当接して高さを検査する場合、ター
ンテーブル上に載置される粉末焼結体Wの載置される側
の接触面の平坦性、さらには、全体の形状の歪みや捩じ
れ等、全体にかかる寸法精度に起因する高さのばらつき
が、検出される高さに全て反映される。これに比較し
て、測定点を二点とし、段差を直接検査することで、全
体の寸法誤差に起因する姿勢の誤判断を防ぐことができ
る。また、検出子60および基準検出子70の絶対位置
ではなく、これらの間の相対的な距離の変化のみを測定
することによって、調整の手間を少なくすることができ
る。さらに、渦電流近接センサを用いているので、精度
の高い検査が可能である。As described above, according to the inspection apparatus A2 shown in FIGS. 4 and 5, the posture of the powder sintered body W can be more reliably inspected. That is, when there is only one detector and the height is inspected by contacting only one point of the powder sintered body W, the contact of the powder sintered body W placed on the turntable Variations in height due to dimensional accuracy applied to the entire surface, such as flatness of the surface, and distortion and twist of the entire shape, are all reflected in the detected height. Compared to this, by using two measurement points and directly inspecting the steps, it is possible to prevent erroneous determination of the posture due to the entire dimensional error. Further, by measuring not the absolute positions of the detector 60 and the reference detector 70 but only the change in the relative distance between them, the labor for adjustment can be reduced. Further, since the eddy current proximity sensor is used, highly accurate inspection can be performed.
【0036】なお、上記の実施例では、検出子60に位
置検出センサ81を基準検出子70に位置指標板80を
設ける構成としたが、これらの取り付け方を逆にしても
よい。また、検出子60と、基準検出子70との間に信
号送受信装置を取り付け、正しい姿勢で正しい段差の時
のみ信号が検出されるような構成としてもよい。この場
合、粉末焼結体の種類が変わるごとに、正しい姿勢の時
に信号が検出されるように、信号送受信装置を調整し直
す必要があるが、段差を直接検査する利点は生かすこと
ができる。In the above-described embodiment, the position detection sensor 81 is provided on the detector 60 and the position index plate 80 is provided on the reference detector 70. However, the mounting methods may be reversed. Further, a signal transmitting / receiving device may be provided between the detector 60 and the reference detector 70 so that a signal is detected only when the vehicle is in a correct posture and at a correct step. In this case, every time the type of the powder sintered body changes, it is necessary to adjust the signal transmitting / receiving device so that the signal is detected when the powder is in the correct posture. However, the advantage of directly inspecting the step can be used.
【0037】[0037]
【発明の効果】本発明は、以下に記載されるような効果
を奏する。以上説明したように、請求項1に記載の発明
によれば、検出子と検出台のそれぞれに、位置指標体と
位置検出センサとがそれぞれ上下方向に対向するように
固定され、位置検出センサが位置指標体までの距離を検
出するように構成したので、粉末焼結体の正常な姿勢の
時とそうでない時の位置指標体と位置検出センサとの間
の距離を比較することにより、姿勢の正誤の判断を行う
ことができる。異なる種類の粉末焼結体を検査する場合
でも正常姿勢の基準値を変えればよく、位置検出センサ
の位置を粉末焼結体の種類毎に調整し直す必要がない。The present invention has the following effects. As described above, according to the first aspect of the invention, the position index body and the position detection sensor are fixed to the detector and the detection table so as to oppose each other in the vertical direction. Since the configuration is such that the distance to the position index body is detected, the distance between the position index body and the position detection sensor when the powder sintered body is in the normal posture and when the powder sintered body is not in the normal posture is compared. Correctness can be determined. Even when inspecting different types of powder sintered compacts, the reference value of the normal posture may be changed, and it is not necessary to adjust the position of the position detection sensor for each type of powder sintered compact.
【0038】また、請求項2に記載の発明によれば、位
置指標体を導電性を有する金属板体とするとともに、位
置検出センサを渦電流近接センサとしたので、例えば±
5mm程度の範囲にある高さの異なる粉末焼結体の姿勢
の正誤を4〜6μmの精度で判断できる。According to the second aspect of the present invention, the position indicator is a conductive metal plate and the position detection sensor is an eddy current proximity sensor.
The correctness of the posture of the powder sintered bodies having different heights in the range of about 5 mm can be determined with an accuracy of 4 to 6 μm.
【0039】また、請求項3に記載の発明によれば、上
下方向に駆動され、下降時に所定の停止位置で停止させ
ることのできる検出台に、第一の検出子と第二の検出子
を設け、検出台が停止位置にあるとき、これら第一の検
出子と第二の検出子が粉末焼結体の段差のある異なる二
個所に当接して上に押し上げられ、相対位置の変化から
姿勢の正誤を判断するので、粉末焼結体の全体の寸法精
度にかかる高さの違いに起因する姿勢の誤判断を防ぐこ
とができる。According to the third aspect of the present invention, the first detector and the second detector are mounted on the detection table which is driven vertically and can be stopped at a predetermined stop position when descending. When the detection table is at the stop position, the first detector and the second detector abut on two different portions of the powder sintered body having a step and are pushed upward, and the posture is determined from the change in the relative position. Erroneous determination of the posture can be prevented due to the difference in height related to the overall dimensional accuracy of the powder sintered body.
【0040】また、請求項4に記載の発明によれば、位
置検出センサが位置指標体までの距離を検出するように
構成したので、粉末焼結体の正常な姿勢の時とそうでな
い時の位置指標体と位置検出センサとの間の距離を比較
することにより、姿勢の正誤の判断を行うことができ
る。異なる段差を有する異なる種類の粉末焼結体を検査
する場合でも正常姿勢の基準値を変えればよく、位置検
出センサの位置を調整する必要がない。According to the fourth aspect of the present invention, the position detection sensor is configured to detect the distance to the position indicator, so that the position of the powder sintered body can be determined when the powder sintered body is in the normal posture and when it is not. By comparing the distance between the position index body and the position detection sensor, it is possible to determine whether the posture is right or wrong. Even when inspecting different types of powder sintered bodies having different steps, the reference value of the normal posture may be changed, and there is no need to adjust the position of the position detection sensor.
【図1】本発明に係る第一の実施の形態を示す図であっ
て、粉末焼結体の高さ検査装置の一例を示す斜視図であ
る。FIG. 1 is a view showing a first embodiment according to the present invention, and is a perspective view showing an example of a height inspection device for a powder sintered body.
【図2】本発明に係る第一の実施の形態を示す図であっ
て、粉末焼結体の高さ検査装置の主要部を正面から見た
図である。FIG. 2 is a view showing a first embodiment according to the present invention, and is a view of a main part of a height inspection apparatus for a powder sintered body as viewed from the front.
【図3】本発明に係る第一の実施の形態を示す図であっ
て、粉末焼結体の高さ検査装置の主要部の分解斜視図で
ある。FIG. 3 is a view showing the first embodiment according to the present invention, and is an exploded perspective view of a main part of a height inspection apparatus for a powder sintered body.
【図4】本発明に係る第二の実施の形態を示す図であっ
て、粉末焼結体の高さ検査装置の正面図である。FIG. 4 is a view showing a second embodiment according to the present invention, and is a front view of a height inspection device for a powder sintered body.
【図5】本発明に係る第二の実施の形態を示す図であっ
て、粉末焼結体の高さ検査装置の側面図である。FIG. 5 is a view showing a second embodiment according to the present invention, and is a side view of a height inspection apparatus for a powder sintered body.
【図6】従来の粉末焼結体の高さ検査装置の斜視図であ
る。FIG. 6 is a perspective view of a conventional apparatus for inspecting the height of a powder sintered body.
A1,A2・・・粉末焼結体の高さ検査装置 R・・・相対位置検出センサ 10,50・・・検出台 20・・・検出子 30,80・・・位置指標板(位置指標体) 31,81・・・位置検出センサ 60・・・検出子(第二の検出子) 70・・・基準検出子(第一の検出子) A1, A2: height inspection device for powder sintered body R: relative position detection sensor 10, 50: detection table 20: detector 30, 80: position index plate (position index body) 31, 81: Position detection sensor 60: Detector (second detector) 70: Reference detector (first detector)
Claims (4)
に前記検出台を停止位置にて停止する停止手段と、前記
検出台に上下方向に移動自在に設けられた検出子とを備
えてなり、前記検出台の前記停止位置で、前記検出子が
作業台上の粉末焼結体に当接して上方に押し上げられる
ように構成された粉末焼結体の高さ検査装置であって、 前記検出子および前記検出台のいずれか一方には、位置
指標体が固定され、前記位置指標体が固定されない他方
には、前記位置指標体と上下方向で対向するように位置
検出センサが固定され、前記位置検出センサは、前記位
置指標体までの距離を検出するように設けられているこ
とを特徴とする粉末焼結体の高さ検査装置。A detection table that is driven in a vertical direction, a stopping unit that stops the detection table at a stop position when the detector table descends, and a detector that is movably provided in the detection table in a vertical direction. Wherein, at the stop position of the detection table, the height of the powder sintered body is configured so that the detector abuts on the powder sintered body on the worktable and is pushed upward, A position indicator is fixed to one of the detector and the detection base, and a position detection sensor is fixed to the other side where the position indicator is not fixed, so that the position indicator is vertically opposed to the position indicator. The height inspection device for a powder sintered body, wherein the position detection sensor is provided to detect a distance to the position indicator.
装置であって、 前記位置指標体は、導電性を有する金属板体とされ、前
記位置検出センサは、前記金属板体に渦電流を発生させ
て前記金属板体までの距離を検出する渦電流近接センサ
とされていることを特徴とする粉末焼結体の高さ検査装
置。2. The height inspection apparatus for a powder sintered body according to claim 1, wherein the position indicator is a conductive metal plate, and the position detection sensor is the metal plate. A height inspection device for a powder sintered body, characterized in that the device is an eddy current proximity sensor that generates an eddy current to detect a distance to the metal plate.
に前記検出台を停止位置にて停止する停止手段と、前記
検出台に上下方向に移動自在にそれぞれ設けられた第一
の検出子および第二の検出子と、前記第一の検出子に対
する前記第二の検出子の上下方向の相対位置を検出する
相対位置検出センサとを備えてなり、前記検出台の前記
停止位置で、前記第一の検出子および前記第二の検出子
が作業台上の粉末焼結体の異なる箇所に当接してそれぞ
れ上方に押し上げられるように構成されていることを特
徴とする粉末焼結体の高さ検査装置。3. A detection table driven vertically, a stop means for stopping the detection table at a stop position when descending, and first detectors provided on the detection table so as to be vertically movable. And a second detector, comprising a relative position detection sensor for detecting the vertical position of the second detector with respect to the first detector, the stop position of the detection table, The height of the powder sintered body, wherein the first detector and the second detector are configured to abut on different portions of the powder sintered body on the workbench and be pushed upward respectively. Inspection equipment.
装置であって、 前記相対位置検出センサは、前記第一の検出子に固定さ
れた位置指標体と、前記位置指標体と上下方向で対向す
るように前記第二の検出子に固定された位置検出センサ
とを備えてなり、前記位置検出センサは、前記位置指標
体までの距離を検出するようになっていることを特徴と
する粉末焼結体の高さ検査装置。4. The height inspection device for a powder sintered body according to claim 3, wherein the relative position detection sensor includes a position indicator fixed to the first detector, and the position indicator. And a position detection sensor fixed to the second detector so as to oppose in the vertical direction, wherein the position detection sensor is configured to detect a distance to the position indicator. Characteristic height inspection device for powder sintered compact.
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---|---|---|---|
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101214188B1 (en) | 2010-12-13 | 2012-12-21 | 한국생산기술연구원 | Measuring Apparatus For Measuring Height Of Object Using Displacement Sensor |
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-
2000
- 2000-10-25 JP JP2000324984A patent/JP2002131010A/en not_active Withdrawn
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