JP2002127407A - Ink jet recording head - Google Patents

Ink jet recording head

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JP2002127407A
JP2002127407A JP2000326071A JP2000326071A JP2002127407A JP 2002127407 A JP2002127407 A JP 2002127407A JP 2000326071 A JP2000326071 A JP 2000326071A JP 2000326071 A JP2000326071 A JP 2000326071A JP 2002127407 A JP2002127407 A JP 2002127407A
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Japan
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recording head
reservoir
jet recording
ink
ink jet
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Hironobu Hasei
宏宣 長谷井
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Seiko Epson Corp
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Seiko Epson Corp
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14419Manifold

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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ink jet recording head in which evaporation of solvent in the ink can be suppressed without sacrifice of the compliance of a reservoir. SOLUTION: Since a recess 12 forming a part of a reservoir communicates with the atmosphere through a hole 14 open to the atmosphere having a fluid resistance, vapor of ink solvent permeated a film for sealing the reservoir 3 and intruded into a recess forming a compliance part is prevented from being diffused without sacrifice of the compliance and thickening of ink is suppressed in the reservoir.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はリザーバを介してイ
ンクを圧力室に供給し、圧力発生手段により圧力室を加
圧するインクジェット式記録ヘッドに関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet recording head which supplies ink to a pressure chamber via a reservoir and pressurizes the pressure chamber by a pressure generating means.

【0002】[0002]

【従来の技術】インクジェット式記録ヘッドは、圧力室
を構成している弾性板の一部領域に圧電振動子を設け、
圧電振動子の変位により圧力室の弾性板が変形する事で
圧力変化を生じさせて、インク滴を発生させている。イ
ンク吐出時に圧力室で発生する圧力変化はインク供給口
を通してリザーバに伝達するため、リザーバにコンプラ
イアンス部を設ける事でこの圧力変化を吸収、緩和し、
安定したインク吐出とインク供給を実現している。例え
ば、特開平11−129467号公報では、リザーバを
形成する凹部を高分子フィルム等の弾性変形しやすい膜
で封止すると共に、この領域を大気に開放することによ
りインク吐出時のリザーバの圧力変化を膜の変形により
吸収させている。
2. Description of the Related Art In an ink jet recording head, a piezoelectric vibrator is provided in a partial area of an elastic plate constituting a pressure chamber.
The deformation of the elastic plate of the pressure chamber due to the displacement of the piezoelectric vibrator causes a pressure change to generate ink droplets. Since the pressure change generated in the pressure chamber during ink discharge is transmitted to the reservoir through the ink supply port, this pressure change is absorbed and mitigated by providing a compliance section in the reservoir,
Stable ink ejection and ink supply are realized. For example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-129467, the concave portion forming the reservoir is sealed with a film which is easily elastically deformed such as a polymer film, and this region is opened to the atmosphere to change the pressure of the reservoir during ink ejection. Is absorbed by the deformation of the film.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】リザーバ内のインクは
高分子等の比較的遮気性の低い弾性膜を通して大気から
隔離されており、その為インクの溶媒が蒸発し、長期間
放置されるとインクが増粘あるいは固化してしまい印字
不良やノズル詰まりの原因となる。このような問題を解
決するために、弾性膜に金属などの遮気性の高い層を形
成することも考えられるが、リザーバのコンプライアン
スが低下するという問題がある。
The ink in the reservoir is isolated from the atmosphere through an elastic film made of a polymer or the like having a relatively low air-shielding property. Is thickened or solidified, which causes printing failure and nozzle clogging. In order to solve such a problem, it is conceivable to form a highly air-permeable layer such as a metal on the elastic film, but there is a problem that the compliance of the reservoir is reduced.

【0004】本発明はこのような問題を鑑みてなされた
ものであって、その目的とするところは、リザーバのコ
ンプライアンスを落とすこと無くインクの溶媒の蒸発を
抑えることのできるインクジェット式記録ヘッドを提供
することである。
The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to provide an ink jet recording head capable of suppressing evaporation of an ink solvent without lowering the compliance of a reservoir. It is to be.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために本発明においては、リザーバ、インク供給口、
及び圧力発生室を区画する流路形成基板と、該流路形成
基板の一方の面を封止して圧電振動子の変位を受ける弾
性板と、前記圧力室に連通するノズル開口を備え、前記
流路形成基板の他方の面を封止するノズルプレートから
なり、前記弾性板を隔てて前記リザーバと隣接するコン
プライアンス部があり、該コンプライアンス部が1本以
上の大気開放孔により大気開放されるインクジェット式
記録ヘッドにおいて、前記大気開放孔が両端の開口面を
結ぶ最短の直線よりも長い、長孔を介して大気に開放さ
れているインクジェット式記録ヘッドを提供する。
In order to achieve the above object, according to the present invention, a reservoir, an ink supply port,
And a flow path forming substrate that partitions the pressure generating chamber, an elastic plate that seals one surface of the flow path forming substrate and receives displacement of the piezoelectric vibrator, and a nozzle opening that communicates with the pressure chamber, An ink jet that is formed of a nozzle plate that seals the other surface of the flow path forming substrate, has a compliance portion adjacent to the reservoir with the elastic plate interposed therebetween, and the compliance portion is opened to the atmosphere by one or more air opening holes. An ink jet recording head, wherein the air opening hole is longer than the shortest straight line connecting the opening surfaces at both ends and is open to the atmosphere through a long hole.

【作用】凹部は細長い細孔を介して大気に連通されてい
るためコンプライアンスの低下が無く、またリザーバを
封止する膜を透過し、コンプライアンス部を形成する凹
部に侵入したインク溶媒の蒸気の拡散が防止され、リザ
ーバ内のインクの増粘が抑えられる。
The concave portion is communicated with the atmosphere through the elongated pores, so that there is no reduction in compliance, and the diffusion of the vapor of the ink solvent that has penetrated the concave portion forming the compliance portion through the film sealing the reservoir. Is prevented, and the viscosity of the ink in the reservoir is suppressed.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。図1はインクジェットヘッドの断面図である。こ
のインクジェット式記録ヘッドは、プラスチック製のヘ
ッドホルダ6内に圧力発生手段として収容した圧電振動
子7の駆動により、流路ユニットの一部を構成している
ノズルプレート15のノズル開口1からインク滴を吐出
する構成となっている。
Embodiments of the present invention will be described below. FIG. 1 is a sectional view of the inkjet head. In the ink jet recording head, ink droplets are ejected from nozzle openings 1 of a nozzle plate 15 which constitutes a part of a flow path unit by driving a piezoelectric vibrator 7 housed in a plastic head holder 6 as a pressure generating means. Is discharged.

【0007】流路ユニット5は、ノズルプレート15と
スペーサ16と弾性板10とを貼り合わせて積層した構
成とされ、スペーサ16にはインクの流路及び圧力室と
なる空部を所定のパターンで形成されていて、ノズルプ
レート15と振動板10とを上下に貼り合わせて一体化
する事で気密性を保持するようになっている。
The flow path unit 5 has a structure in which a nozzle plate 15, a spacer 16, and an elastic plate 10 are bonded and laminated, and the spacer 16 is provided with an ink flow path and a space serving as a pressure chamber in a predetermined pattern. The nozzle plate 15 and the vibrating plate 10 are vertically adhered and integrated to maintain airtightness.

【0008】ノズルプレート15には、複数のノズル開
口1が列状に設けられている。これと対応してヘッドホ
ルダ6には流路ユニット5との接合面に帯形状の細長い
開口が平行に形成され、これら開口から圧電振動子7の
櫛歯状の先端が臨み、これら1本1本の先端(出力部)を
弾性板10のアイランド部9に接合させる構成となって
いる。
The nozzle plate 15 is provided with a plurality of nozzle openings 1 in a row. Correspondingly, strip-shaped elongated openings are formed in the head holder 6 in parallel with the joint surface with the flow path unit 5, and the comb-like tips of the piezoelectric vibrator 7 face from these openings. The tip (output portion) of the book is joined to the island portion 9 of the elastic plate 10.

【0009】スペーサ16は、シリコンウェハー等から
形成されており、これをエッチング加工する事により各
空部が所定パターンに区画されていて、図2に示すよう
に、各ノズル開口1と連通する複数の圧力室4、リザー
バ3、リザーバ3から圧力室4に通ずるインク供給路2
を構成する隔壁が適宜に形成されている。
The spacers 16 are formed from a silicon wafer or the like, and each of the cavities is partitioned into a predetermined pattern by etching the silicon wafers, and as shown in FIG. Pressure chamber 4, reservoir 3, ink supply path 2 leading from reservoir 3 to pressure chamber 4
Are appropriately formed.

【0010】弾性板10は、金属板,例えばステンレス
板にPPS膜等の弾性に富んだ樹脂膜を積層した二重構造
を採り、各圧力室に対応する部分はステンレス板側が中
心線上にアイランド部9を残すように環状にエッチング
加工され、各アイランド部9に各圧電振動子7の先端
(出力部)を接合させるようになっている。また、弾性
板10のリザーバ3に対向する領域は、エッチングによ
り金属板を除去して樹脂膜だけを残すように加工されて
いる。これにより、リザーバ3の圧力変動を膜の変形で
吸収することができる。
The elastic plate 10 has a double structure in which a highly elastic resin film such as a PPS film is laminated on a metal plate, for example, a stainless steel plate, and a portion corresponding to each pressure chamber has an island portion on the center line on the stainless steel plate side. Each of the piezoelectric vibrators 7 is bonded to each of the island portions 9 by etching in an annular shape so as to leave 9. The region of the elastic plate 10 facing the reservoir 3 is processed so that the metal plate is removed by etching to leave only the resin film. Thereby, the pressure fluctuation of the reservoir 3 can be absorbed by the deformation of the film.

【0011】圧電振動子7は、各圧力室4にそれぞれ対
応して先端(出力部)が複数配列されており、これらは
一枚の大きな圧電振動子に、所定ピッチで櫛歯状にスリ
ット部を形成する事により構成され、その配列体の基部
が固定板17に固定されて振動子ユニット8となってい
る。圧電振動子7の伸長・収縮に伴い、圧力室4内のイ
ンク圧力変化することを利用してノズル開口1からイン
ク滴を吐出させ、またリザーバ3のインクをインク供給
路2を介して圧力室4に充填させる。
The piezoelectric vibrator 7 has a plurality of tips (output portions) arranged corresponding to the respective pressure chambers 4, and these are arranged on a single large piezoelectric vibrator in a comb-shaped slit portion at a predetermined pitch. Are formed, and the base of the array is fixed to the fixing plate 17 to form the vibrator unit 8. The ink pressure in the pressure chamber 4 changes with the expansion and contraction of the piezoelectric vibrator 7 to discharge ink droplets from the nozzle opening 1, and the ink in the reservoir 3 is supplied to the pressure chamber 4 via the ink supply path 2. 4. Fill.

【0012】ヘッドホルダ6には、図1に示すように、
振動子ユニット8を収容する収納空部18が形成されて
おり、収納空部18は、流路ユニット5との接合面の開
口13から反対側まで貫通しており、振動子ユニット8
は圧電振動子7の先端を開口13から臨める姿勢で挿入
され、各先端が開口13と面一となる位置で固定板17
を収納空部18の内壁に固着させる事により装着され
る。そして、図2に示すようにヘッドホルダ6の流路形
成ユニット5のリザーバ3に対向する位置に、弾性板1
0の弾性体膜を弾性変形可能ならしめる凹部12が形成
され、この凹部12を大気開放孔14により大気に開放
してコンプライアンス部11が形成されている。
[0012] As shown in FIG.
An accommodation space 18 for accommodating the vibrator unit 8 is formed, and the accommodation space 18 penetrates from the opening 13 on the joint surface with the flow path unit 5 to the opposite side.
Are inserted in such a manner that the ends of the piezoelectric vibrator 7 face the opening 13, and the fixing plate 17
Is fixed to the inner wall of the storage space 18. Then, as shown in FIG. 2, the elastic plate 1 is located at a position facing the reservoir 3 of the flow path forming unit 5 of the head holder 6.
A concave portion 12 is formed to make the elastic film 0 elastically deformable. The concave portion 12 is opened to the atmosphere through an air opening hole 14 to form a compliance portion 11.

【0013】大気開放孔14は、リザーバ3のインク圧
力変動に樹脂膜が応動でき、かつ可能な限り高い流体抵
抗を発現できるように、この実施例ではヘッドホルダの
開放孔の開口を設ける面と凹部12とを結ぶ最短の直線
よりも長い長孔として構成されている。
In this embodiment, the atmosphere opening hole 14 has a surface on which the opening of the opening hole of the head holder is provided so that the resin film can respond to the ink pressure fluctuation of the reservoir 3 and can exhibit the highest possible fluid resistance. It is configured as a long hole longer than the shortest straight line connecting the concave portion 12.

【0014】この実施例によれば、圧電振動子7の伸長
により圧力室4のインクが加圧されると、インクの一部
がノズル開口1からインク滴として吐出され、また一部
がインク供給路2からリザーバ3に逆流する。この逆流
によりリザーバ3の圧力が上昇しようとするが、樹脂膜
が凹部12の空気を大気開放孔14から追い出しつつ弾
性変形して圧力変動を吸収する。一方、非印字状態では
リザーバのインクの溶媒は樹脂膜を透過して凹部に蒸気
となって拡散するが、流体抵抗の大きな長孔がキャピラ
リーとして機能しているため、溶媒が大気に拡散するの
が緩和される。これにより、凹部が高いインク蒸気圧に
維持され、したがって樹脂膜を透過する蒸気量が抑えら
れる。
According to this embodiment, when the ink in the pressure chamber 4 is pressurized by the extension of the piezoelectric vibrator 7, a part of the ink is ejected from the nozzle opening 1 as an ink droplet, and a part of the ink is supplied. Backflow from road 2 to reservoir 3. Although the pressure of the reservoir 3 tends to rise due to the backflow, the resin film elastically deforms while expelling the air in the recess 12 from the air opening hole 14 to absorb the pressure fluctuation. On the other hand, in the non-printing state, the solvent of the ink in the reservoir penetrates the resin film and diffuses as vapor into the concave portion, but since the long hole having a large fluid resistance functions as a capillary, the solvent diffuses into the atmosphere. Is alleviated. Thereby, the concave portion is maintained at a high ink vapor pressure, and therefore, the amount of vapor transmitted through the resin film is suppressed.

【0015】図2は、本発明の記録ヘッドの第2の実施
例を示すものであって、ヘッドホルダに形成された凹部
12から大気開放孔14がヘッドホルダの反対側の面ま
でらせん状に形成され貫通している。大気開放孔14を
形成したヘッドホルダ6に弾性板10、スペーサ16、
ノズルプレート15の順に積層していくことでインクジ
ェット式記録ヘッドを形成する。
FIG. 2 shows a second embodiment of the recording head according to the present invention, wherein a hole 12 from the recess 12 formed in the head holder to the atmosphere is spirally extended from the surface opposite to the head holder. It is formed and penetrates. The elastic plate 10, the spacer 16,
An ink jet recording head is formed by laminating the nozzle plates 15 in this order.

【0016】本実施例によれば、ヘッドホルダ6も含む
部品の基本的な製造方法を変更する事無く、目的とする
蒸発緩和機構を付与する事ができる。
According to this embodiment, a desired evaporation mitigation mechanism can be provided without changing the basic manufacturing method of the parts including the head holder 6.

【0017】図3は本発明の第3の実施例を示すものであ
って、大気開放孔14の一部を網目状部14'としたも
のである。網目状部14'はヘッドホルダ6の製造方法
を変更することで形成できる。すなわち図4に示すよう
にコンプライアンス部の一部を構成する凹部12の中央
で切り分けられた3つの部品の、接合される断面に大気
開放孔14の形状を面対称に形成する。これを溶着、ま
たは接着してヘッドホルダ6を形成する。このヘッドホ
ルダ6に弾性板10、スペーサ16、ノズルプレート1
5の順に積層していくことでインクジェット式記録ヘッ
ドを形成する。網目状部14'を形成する事により、溶
媒蒸気を開放孔内にトラップし、インクの溶媒蒸気の拡
散を効果的に防ぐ事ができる。
FIG. 3 shows a third embodiment of the present invention, in which a part of the air opening hole 14 is formed as a mesh portion 14 '. The mesh portion 14 'can be formed by changing the manufacturing method of the head holder 6. That is, as shown in FIG. 4, the shape of the atmosphere opening hole 14 is formed to be plane-symmetrical in the joined cross section of the three parts cut at the center of the concave portion 12 constituting a part of the compliance part. This is welded or bonded to form the head holder 6. An elastic plate 10, a spacer 16, a nozzle plate 1
By stacking in the order of 5, an ink jet recording head is formed. By forming the mesh portion 14 ', the solvent vapor can be trapped in the open hole, and the diffusion of the solvent vapor of the ink can be effectively prevented.

【0018】図5は本発明の第4の実施例を示すものであ
って、大気開放孔14の形状によらず、ヘッドホルダ側
の大気開放孔開口23面上にジグザグ状、または蛇行す
る長い気体流路のパターン19を設けたプレート20を
取り付け、気体流路のパターン19を大気開放孔14の
開口に接続したものである。気体流路のパターン19の
一端24は大気開放孔開口23に接続され、他端25は
大気開放されている。この実施例によれば、大気開放孔
14の径を大きくすることが可能となり、ヘッドホルダ
6の製造が容易になる。
FIG. 5 shows a fourth embodiment of the present invention, in which a zigzag or long meandering pattern is formed on the surface 23 of the air opening hole on the head holder side regardless of the shape of the air opening hole 14. A plate 20 provided with a gas flow path pattern 19 is attached, and the gas flow path pattern 19 is connected to the opening of the atmosphere opening hole 14. One end 24 of the gas flow path pattern 19 is connected to the atmosphere opening hole opening 23, and the other end 25 is open to the atmosphere. According to this embodiment, the diameter of the air opening hole 14 can be increased, and the manufacture of the head holder 6 becomes easy.

【0019】なお、上述の実施例においては圧力発生室
の一部を形成する弾性板によりリザーバのコンプライア
ンスを確保する形成法について説明したが、リザーバだ
けを別の弾性板で封止してコンプライアンスを付与する
形式のものに適用して、同様の作用が得られることは明
らかである。
In the above-described embodiment, the formation method for ensuring the compliance of the reservoir with the elastic plate forming a part of the pressure generating chamber has been described. However, only the reservoir is sealed with another elastic plate to ensure the compliance. Obviously, a similar effect can be obtained by applying to the type to be provided.

【0020】[0020]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、弾
性板を構成する弾性体膜に特別な遮気層を形成すること
なく、しかもリザーバのコンプライアンスを十分大きく
確保しつつ、インクの増粘を防止することができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to increase the amount of ink without forming a special air-blocking layer on the elastic film constituting the elastic plate, and ensuring a sufficiently large reservoir compliance. Stickiness can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実
施例を示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of an ink jet recording head of the present invention.

【図2】 本発明のインクジェット式記録ヘッドの第2
実施例を示す組み立て斜視図である。
FIG. 2 shows a second example of the ink jet recording head of the present invention.
It is an assembly perspective view showing an example.

【図3】 本発明のインクジェット式記録ヘッドの第3
の実施例を示す断面図である。
FIG. 3 shows a third example of the ink jet recording head of the present invention.
It is sectional drawing which shows Example of (a).

【図4】 本発明のインクジェット式記録ヘッドの第3
の実施例を示す組み立て斜視図である。
FIG. 4 shows a third example of the ink jet recording head of the present invention.
FIG. 3 is an assembled perspective view showing the embodiment of FIG.

【図5】 本発明のインクジェット式記録ヘッドの第4
の実施例を示す組み立て斜視図である。
FIG. 5 shows a fourth example of the ink jet recording head of the present invention.
FIG. 3 is an assembled perspective view showing the embodiment of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ノズル開口 2 インク供給路 3 リザーバ 4 圧力室 5 流路ユニット 6 ヘッドホルダ 7 圧電振動子 8 振動子ユニット 9 アイランド部 10 弾性板 11 コンプライアンス部 12 凹部 13 開口 14 大気開放孔 15 ノズルプレート 16 スペーサ 17 固定板 18 収納空部 19 気体流路パターン 20 プレート 21 電極用の穴 22 インク供給口 23 大気開放孔の開口端 24 気体流路と大気開放孔の接続穴 25 気体流路の開放口 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Nozzle opening 2 Ink supply path 3 Reservoir 4 Pressure chamber 5 Flow path unit 6 Head holder 7 Piezoelectric vibrator 8 Vibrator unit 9 Island part 10 Elastic plate 11 Compliance part 12 Recess 13 Opening 14 Air opening hole 15 Nozzle plate 16 Spacer 17 Fixing plate 18 Storage space 19 Gas flow path pattern 20 Plate 21 Electrode hole 22 Ink supply port 23 Open end of atmosphere opening hole 24 Connection hole between gas passage and atmosphere opening hole 25 Gas passage opening

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 リザーバ、インク供給口、及び圧力発生
室を区画する流路形成基板と、該流路形成基板の一方の
面を封止して圧電振動子の変位を受ける弾性板と、前記
圧力室に連通するノズル開口を備え、前記流路形成基板
の他方の面を封止するノズルプレートからなり、前記弾
性板を隔てて前記リザーバと隣接するコンプライアンス
部があり、該コンプライアンス部が1本以上の大気開放
孔により大気開放されるインクジェット式記録ヘッドに
おいて、前記大気開放孔が両端の開口面を結ぶ最短の直
線よりも長い長孔を介して大気に開放されているインク
ジェット式記録ヘッド。
A flow path forming substrate that partitions a reservoir, an ink supply port, and a pressure generating chamber; an elastic plate that seals one surface of the flow path forming substrate and receives displacement of a piezoelectric vibrator; A nozzle plate communicating with the pressure chamber, comprising a nozzle plate for sealing the other surface of the flow path forming substrate, and a compliance portion adjacent to the reservoir with the elastic plate interposed therebetween; In the above-described ink jet recording head, which is opened to the atmosphere through the air opening hole, the air opening hole is open to the atmosphere through a long hole longer than a shortest straight line connecting the opening surfaces at both ends.
【請求項2】 請求項1に記載の前記大気開放孔がらせ
ん状に形成されているインクジェット式記録ヘッド。
2. An ink jet recording head according to claim 1, wherein the air opening hole is formed in a spiral shape.
【請求項3】 請求項1に記載の前記大気開放孔の一部
が網目状に形成されているインクジェット式記録ヘッ
ド。
3. An ink jet recording head according to claim 1, wherein a part of the air opening hole is formed in a mesh.
【請求項4】 請求項1に記載の記録ヘッドにおいて、
ヘッドホルダ側の開口面に、ジグザグに蛇行した気体流
路が形成されたプレートが取り付けられ、前記大気開放
孔の一端が前記気体流路に接続されているインクジェッ
ト式記録ヘッド。
4. The recording head according to claim 1, wherein
An ink jet recording head, wherein a plate having a zigzag meandering gas flow path is attached to an opening surface on the head holder side, and one end of the air opening hole is connected to the gas flow path.
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