JP2002103177A - 排水装置 - Google Patents

排水装置

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JP2002103177A
JP2002103177A JP2000294160A JP2000294160A JP2002103177A JP 2002103177 A JP2002103177 A JP 2002103177A JP 2000294160 A JP2000294160 A JP 2000294160A JP 2000294160 A JP2000294160 A JP 2000294160A JP 2002103177 A JP2002103177 A JP 2002103177A
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宗二郎 馬上
Chuji Tamura
宙治 田村
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Disco Abrasive Systems Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 切削装置を用いて切削水を供給しながら比重
の重い被加工物を切削した場合においても、排水路に切
削屑を滞留させないようにすることにより、使用済みの
切削水の排水を円滑に行う。 【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブル２
１と、切削方向の移動経路を有しチャックテーブル２１
を切削方向に切削送りする切削送り手段２３と、チャッ
クテーブル２１に保持された被加工物に切削水を供給し
ながら切削を遂行する切削手段２２とから少なくとも構
成される切削装置に搭載される排水装置１０であって、
チャックテーブル２１の切削方向の両側部に固定されチ
ャックテーブル２１の移動経路を覆うジャバラ部１３
と、チャックテーブル２１に保持された被加工物に供給
されジャバラ部１３によって案内された切削水を受け止
めるウォーターケース１４と、ウォーターケース１４が
受け止めた切削水を一時的に貯留し排水する排水プール
１５とから少なくとも構成される排水装置を提供する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、切削装置に搭載さ
れて切削水を排水する排水装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェーハ等の被加工物を切削する
切削装置、例えば図８に示す切削装置７０は、チャック
テーブル２１において保持した被加工物をＹ軸方向及び
Ｚ軸方向に移動可能な切削手段２２を用いて切削水を供
給しながら切削する装置であり、チャックテーブル２１
は支持基台２４によって回転可能に支持されている。ま
た、支持基台２４はＸ軸方向に移動可能となっている。
【０００３】支持基台２４のＸ軸方向の両端には、伸縮
自在なジャバラ布１１、１２が連結されており、ジャバ
ラ布１１、１２は、開口部１６ａを覆っている。
【０００４】一方、切削手段２２には高速回転する切削
ブレード３１を備え、切削ブレード３１を両側から挟む
ようにして切削水供給ノズル３２が配設されている。
【０００５】被加工物、例えばテープＴを介してフレー
ムＦに保持された半導体ウェーハＷの切削は、チャック
テーブル２１がＸ軸方向に往復運動しながら切削手段２
２がＹ軸方向及びＺ軸方向に移動し、切削ブレード３１
がチャックテーブル２１に保持された半導体ウェーハＷ
に切り込むことによって行われる。
【０００６】このとき、チャックテーブル２１を支持す
る支持基台２４のＸ軸方向の移動に伴ってジャバラ布１
１及びジャバラ布１２が伸縮し、ウォーターケース８０
の開口部１６ａ、即ち支持基台２４の移動経路は常に上
方から覆われている。従って、切削時に切削水供給ノズ
ル３２から供給される切削水をジャバラ部１１、１２で
受けとめ、受け止めた切削水をウォーターケース８０に
落下させて内周壁１６と外周壁１７との間の排水路１９
ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄに切削水を導くことができ
る。そして、落下した切削水は排水ドレーン５２を通じ
て外部に排出し、装置内部に切削水が侵入するのを防止
している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例えば
セラミックスのように比較的比重の重い被加工物を切削
した場合は、ウォーターケース８０の底部にセラミック
スの切削屑が堆積することがある。この場合は排水路が
塞がれて、使用済みの切削水がドレーン５２に流れなく
なり、その結果、ウォーターケース８０から切削水があ
ふれ出て装置内部に侵入するという問題がある。
【０００８】従って、比重の重い被加工物を切削した場
合でも、排水を円滑に行うことにより、切削水が切削装
置の内部へ侵入するのを防止することに課題を有してい
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の具体的手段として本発明は、被加工物を保持するチャ
ックテーブルと、切削方向の移動経路を有しチャックテ
ーブルを切削方向に切削送りする切削送り手段と、チャ
ックテーブルに保持された被加工物に切削水を供給しな
がら切削を遂行する切削手段とから少なくとも構成され
る切削装置に搭載される排水装置であって、チャックテ
ーブルの切削方向の両側部に固定されチャックテーブル
の移動経路を覆うジャバラ部と、チャックテーブルに保
持された被加工物に供給されジャバラ部によって案内さ
れた切削水を受け止めるウォーターケースと、ウォータ
ーケースが受け止めた切削水を一時的に貯留し排水する
排水プールとから少なくとも構成される排水装置を提供
する。
【００１０】そしてこの排水装置は、排水プールの底部
がウォーターケースの底部より低い位置に形成されてお
り、排水プールには、排水プールの底部より高い位置に
排水口が形成されていること、ウォーターケースには、
切削水を排水プールに送り出す水流生成手段が配設され
ることを付加的要件とする。
【００１１】このように構成される排水装置によれば、
比較的比重の重い被加工物を切削した場合にも切削水に
混じった切削屑が排水プールに導かれて排水プールの底
部に沈殿し、ウオーターケースにはほとんど堆積しない
ため、切削屑に邪魔されずに切削水の排水が円滑に行わ
れ、ウォーターケースから切削水があふれることがな
い。
【００１２】また、排水口は沈殿物より上方の位置にお
いて開口しているため、排水口が切削屑によって塞がれ
ることはない。
【００１３】更に、ウォーターケースに水流生成手段を
設けることによって、比重の重い切削屑も排水プールに
流れるため、切削屑がウォーターケースに滞留しない。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態として、図１
に示す切削装置２０に搭載される排水装置１０について
説明する。なお、図８に示した従来例と同様に構成され
る部位については同一の符号を付して説明する。
【００１５】切削装置２０には、被加工物を保持するチ
ャックテーブル２１と、チャックテーブル２１に保持さ
れた被加工物を切削する切削手段２２と、チャックテー
ブル２１を切削方向であるＸ軸方向に送り出す切削送り
手段２３とを備えている。チャックテーブル２１は、支
持基台２４によって回転可能に支持されており、支持基
台２４は、切削送り手段２３によってＸ軸方向に移動可
能となっている。
【００１６】切削送り手段２３は、切削方向であるＸ軸
方向に配設されたＸ軸ガイドレール２５と、Ｘ軸ガイド
レール２５に摺動可能に支持されたＸ軸移動基台２６
と、Ｘ軸移動基台２６に形成されたナット部（図示せ
ず）に螺合するＸ軸ボールネジ２７と、Ｘ軸ボールネジ
２７を回転駆動するＸ軸パルスモータ２８とから構成さ
れており、チャックテーブル２１を回転可能に支持する
支持基台２４はＸ軸移動基台２６に固定されている。
【００１７】切削手段２２は、Ｙ軸方向に配設されたス
ピンドルハウジング２９と、スピンドルハウジング２９
によって回転可能に支持されたスピンドル３０と、スピ
ンドル３０に装着された回転ブレード３１と、回転ブレ
ード３１の両側において回転ブレード３１を挟むように
して配設された切削水供給ノズル３２とから構成され、
切り込み送り手段３３によって切り込み方向であるＺ軸
方向に移動可能に支持されており、更にこの切り込み送
り手段３３は、割り出し送り手段３４によって割り出し
方向であるＹ軸方向に移動可能に支持されている。
【００１８】切り込み送り手段３３は、壁部３５の側面
においてＺ軸方向に配設されたＺ軸ガイドレール３６
と、切削手段２２を支持すると共にＺ軸ガイドレール３
６に摺動可能に支持された昇降部３７と、Ｚ軸方向に配
設されて昇降部３７に形成されたナット部（図示せず）
に螺合するＺ軸ボールネジ（図示せず）と、Ｚ軸ボール
ネジを回転駆動するＺ軸パルスモータ３８とから構成さ
れ、Ｚ軸パルスモータ３８の駆動によりＺ軸ボールネジ
が回転して昇降部３７がＺ軸方向に昇降する構成となっ
ている。
【００１９】一方、割り出し送り手段３４は、Ｙ軸方向
に配設されたＹ軸ガイドレール３９と、Ｙ軸ガイドレー
ル３９に摺動可能に支持され壁部３５と一体形成された
Ｙ軸移動基台４０と、Ｙ軸移動基台４０に形成されたナ
ット部（図示せず）に螺合するＹ軸ボールネジ４１と、
Ｙ軸ボールネジ４１を回転駆動するＹ軸パルスモータ４
２とから構成され、Ｙ軸パルスモータ４２の駆動によっ
てＹ軸ボールネジ４１が回転することにより、Ｙ軸移動
基台４０がＹ軸方向に移動する構成となっている。
【００２０】排水装置１０は、ジャバラ布１１、１２か
らなるジャバラ部１３と、ジャバラ部１３から落下した
使用済みの切削水を受け止めるウォーターケース１４
と、ウォーターケース１４が受け止めた使用済みの切削
水を一時的に貯留する排水プール１５とから構成され
る。
【００２１】ジャバラ布１１の一方の端部には第一の固
定フレーム１１ａが連結され、もう一方の端部には第二
の固定フレーム１１ｂが連結されており、第一の固定フ
レーム１１ａは支持基台２４の＋Ｘ方向側の端部にネジ
止めにより固定され、第二の固定フレーム１１ｂはウォ
ーターケース１４を構成する内周壁１６の＋Ｘ方向側の
端部にネジ止めにより固定されている。
【００２２】一方、ジャバラ布１２の一方の端部には第
一の固定フレーム１２ａが連結され、もう一方の端部に
は第二の固定フレーム１２ｂが連結されており、第一の
固定フレーム１２ａは支持基台２４の−Ｘ方向側の端部
にネジ止めにより固定され、第二の固定フレーム１２ｂ
は内周壁１６の−Ｘ方向側の端部にネジ止めにより固定
されている。
【００２３】また、ジャバラ布１１の中間部には下部に
ローラー１１ｃを備えたガイドプレート１１ｄが取り付
けられ、ジャバラ布１２の中間部には下部にローラー１
２ｃを備えたガイドプレート１２ｄが取り付けられ、ジ
ャバラ布１１、１２の中央部が垂下しないようにそれぞ
れ支持している。こうして、ウォーターケース１４の開
口部１６ａ、即ちチャックテーブル２１の移動経路は常
に上方から覆われている。
【００２４】ウォーターケース１４は、垂直方向に立設
した内周壁１６及び外周壁１７と、内周壁１６の下端と
外周壁１７の下端とを連結する底部１８とから構成さ
れ、これらによって形成された溝が排水路１９ａ、１９
ｂ、１９ｃを形成している。そして、排水路１９ａ、１
９ｂの先端には排水プール１５が形成されている。
【００２５】図２に示すように、排水プール１５は、そ
の底部５０がウォーターケース１４の底部１８より低い
位置になるように形成されており、ウォーターケース１
４に溜まった使用済みの切削水は排水プール１５に流れ
込む。
【００２６】排水プール１５の内部には排水口５１が形
成されており、図２に示すように、この排水口５１はド
レーン５２と連通している。この排水口５１は排水プー
ル１５の底部５０より高い位置に形成されている。
【００２７】図１〜図３に示すように、ウォーターケー
ス１４の底部１８には水流生成手段６０が配設されてい
る。この水流生成手段６０は、液体若しくはエアーを排
水プール１５の方に向けて噴出するノズルであり、噴出
された液体若しくはエアーによって水流を生成し、排水
路１９ａ、１９ｂ、１９ｃに滞留した切削水及び切削屑
を排水プール１５に強制的に送り出すことができる。
【００２８】図示の例では、水流生成手段６０は排水路
１９ａと排水路１９ｂの双方に配設し、更に排水路１９
ｃにも配設しており、使用済みの切削水を円滑に排水プ
ール１５に流すための水流を確実に生成することができ
る。なお、水流生成手段６０を配設する位置は、図示の
例に限定されるものではない。
【００２９】このように構成される排水装置１０では、
図１に示したジャバラ部１３からウォーターケース１４
に導かれた使用済みの切削水は、水流生成手段６０によ
って各排水路を通って排水プール１５に流れ込む。こう
して水流生成手段６０によって排水プール１５への水流
が生成されるため、比重の重い切削屑も各排水路に滞留
せず、排水プール１５に流れ込む。従って、使用済みの
切削水は常に円滑に排水プール１５に流れるため、ウォ
ーターケース１４からあふれ出て装置内部に侵入するこ
とがない。
【００３０】なお、水流生成手段６０を配設しない場合
でも、例えばウォーターケース１４を傾けて自然に排水
プール１５の方向に水流が生成されるようにした場合
は、同様の効果を得ることができる。
【００３１】また、排水口５１は、排水プール１５の底
部５０より高い位置に形成されているため、切削屑が底
部５０に沈殿した場合でも排水口５１が塞がれることが
なく、排水が円滑に行われる。
【００３２】更に、図４に示すように、排水プール１５
の底部５０に開閉自在な開閉部５３を備えた場合は、排
水プール１５に溜まった切削屑をいつでも容易に取り出
して掃除することができる。
【００３３】図５〜図７に示す排水装置１０ａのよう
に、排水プール１５に着脱自在な排出ボックス５４を挿
入しておき、適宜のタイミングで排出ボックス５４を取
り外して切削屑を容易に除去するようにしてもよい。こ
の場合、図５に示すように、排出ボックス５４に排水口
５１を貫通させる貫通孔５５を設け、図７に示すよう
に、排水プール１５の内周側に排出ボックス５４を密着
させて挿入すれば、ドレーン５２からの切削水の排出に
支障が生じることはない。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る排水
装置によれば、比較的比重の重い被加工物を切削した場
合にも切削水に混じった切削屑が排水プールに導かれて
排水プールの底部に沈殿し、ウオーターケースにはほと
んど堆積しないため、切削屑に邪魔されずに切削水の排
水が円滑に行われ、ウォーターケースから切削水があふ
れ出て切削装置内部に侵入することがない。
【００３５】また、排水口は沈殿物より上方の位置にお
いて開口しているため、排水口が切削屑によって塞がれ
ることはない。従って、切削屑が沈殿しても排水口が塞
がれることがなく、切削水の排水が円滑に行われると共
に、排水口の底部に沈殿した切削屑の掃除を容易に行う
ことができる。
【００３６】更に、ウォーターケースに水流生成手段を
設けることによって、比重の重い切削屑も排水プールに
流れるため、切削屑がウォーターケースに滞留せず、切
削水がより円滑に排水される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る排水装置が搭載された切削装置を
示す斜視図である。
【図２】同排水装置を示す正面図である。
【図３】同排水装置を示す平面図である。
【図４】同排水装置を示す斜視図である。
【図５】同排水装置の第二の実施の形態を示す斜視図で
ある。
【図６】同排水装置の第二の実施の形態を示す正面図で
ある。
【図７】同排水装置の第二の実施の形態を示す平面図で
ある。
【図８】従来の排水装置が搭載された切削装置を示す斜
視図である。
【符号の説明】
１０、１０ａ…排水装置 １１、１２…ジャバラ布 １１ａ、１２ａ…第一の固定フレーム １１ｂ、１２ｂ…第二の固定フレーム １３…ジャバラ部 １４…ウォーターケース １５…排水プール １６…内周壁 １６ａ…開口部 １７…外周壁 １８…底部 １９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ…排水路 ２０…切削装置 ２１…チャックテーブル ２２…切削手段 ２３…切削送り手段 ２４…支持基台 ２５…Ｘ軸ガイドレール ２６…Ｘ軸移動基台 ２７…Ｘ軸ボールネジ ２８…Ｘ軸パルスモータ ２９…スピンドルハウジング ３０…スピンドル ３１…回転ブレード ３２…切削水供給ノズル ３３…切り込み送り手段 ３４…割り出し送り手段 ３５…壁部 ３６…Ｚ軸ガイドレール ３７…昇降部 ３８…Ｚ軸パルスモータ ３９…Ｙ軸ガイドレール ４０…Ｙ軸移動基台 ４１…Ｙ軸ボールネジ ４２…Ｙ軸パルスモータ ５０…底部 ５１…排水口 ５２…ドレーン ５３…開閉部 ５４…排出ボックス ５５…貫通孔 ６０…水流生成手段 ７０…切削装置 ８０…ウォーターケース

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 被加工物を保持するチャックテーブル
    と、切削方向の移動経路を有し該チャックテーブルを該
    切削方向に切削送りする切削送り手段と、該チャックテ
    ーブルに保持された被加工物に切削水を供給しながら切
    削を遂行する切削手段とから少なくとも構成される切削
    装置に搭載される排水装置であって、 該チャックテーブルの切削方向の両側部に固定され該チ
    ャックテーブルの移動経路を覆うジャバラ部と、 該チャックテーブルに保持された被加工物に供給され該
    ジャバラ部によって案内された切削水を受け止めるウォ
    ーターケースと、 該ウォーターケースが受け止めた切削水を一時的に貯留
    し排水する排水プールとから少なくとも構成される排水
    装置。
  2. 【請求項２】 排水プールの底部はウォーターケースの
    底部より低い位置に形成されており、 該排水プールには、該排水プールの底部より高い位置に
    排水口が形成されている請求項１に記載の排水装置。
  3. 【請求項３】 ウォーターケースには、切削水を排水プ
    ールに送り出す水流生成手段が配設される請求項２に記
    載の排水装置。
JP2000294160A 2000-09-27 2000-09-27 排水装置 Pending JP2002103177A (ja)

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