JP2002049051A - Substrate for liquid crystal display device and liquid crystal display device - Google Patents

Substrate for liquid crystal display device and liquid crystal display device

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JP2002049051A
JP2002049051A JP2000235394A JP2000235394A JP2002049051A JP 2002049051 A JP2002049051 A JP 2002049051A JP 2000235394 A JP2000235394 A JP 2000235394A JP 2000235394 A JP2000235394 A JP 2000235394A JP 2002049051 A JP2002049051 A JP 2002049051A
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JP
Japan
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liquid crystal
substrate
crystal display
display device
screen
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Japanese (ja)
Inventor
Junji Kajita
純司 梶田
Yukiko Miyamoto
由紀子 宮本
Mizuyo Oku
瑞世 奥
Tomohiko Hatano
智彦 幡野
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Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate for a liquid crystal display device which is a color filter for a liquid crystal display element and in which it is reduced to bring about lowering of a yield and display quality caused by static electricity mainly generated on a rubbing step, liquid drip cleaning and so on in the case of producing the liquid crystal display element and a liquid crystal display device. SOLUTION: Having a column outside a display surface and having a conductive layer formed on the column and/or on the periphery of the column characterized substrate for the liquid crystal display device.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は家庭用、事務用、あ
るいは産業用の情報表示端末として使われる液晶ディス
プレイや、光通信や光情報処理の分野において情報処理
装置として使われる液晶を用いた液晶表示装置用基板お
よび液晶表示装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display used as a home, office, or industrial information display terminal, and a liquid crystal using a liquid crystal used as an information processing device in the field of optical communication and optical information processing. The present invention relates to a display device substrate and a liquid crystal display device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の液晶表示装置は着色層によって画
素を形成したカラーフィルター基板と駆動電極等を形成
した基板とを貼り合わせ、これら2枚の液晶表示装置用
基板の間隙に液晶を90度(TN方式)、あるいはそれ
以上(STN方式)捻って配向させる構成であった。
2. Description of the Related Art In a conventional liquid crystal display device, a color filter substrate in which pixels are formed by a colored layer and a substrate in which drive electrodes and the like are formed are bonded to each other. (TN method) or more (STN method).

【0003】TN方式、STN方式いずれの場合も、カ
ラーフィルタ基板の着色層の上の表示領域に電極として
透明導電膜が形成される。これらの方式の液晶表示装置
では、カラーフィルタ基板の表面凹凸に起因して、配向
不良が発生し、光漏れ、残像などの表示不良を引き起こ
す場合がある。また、液晶の駆動電圧の低下に伴い、カ
ラーフィルタ表面に残存する顔料不純物の影響を受けて
表示不良を引き起こす場合もある。これら表示不良への
対策として近年では、表面平坦性向上及び微少な不純物
から液晶分子を守る保護層の形成を目的として着色層上
に透明保護膜を設けた後に透明電極を形成する場合が多
くなってきた。
[0003] In both the TN method and the STN method, a transparent conductive film is formed as an electrode in a display region on a color layer of a color filter substrate. In these types of liquid crystal display devices, poor alignment may occur due to surface irregularities of the color filter substrate, and display defects such as light leakage and afterimages may occur. Further, as the driving voltage of the liquid crystal decreases, display defects may be caused by the influence of pigment impurities remaining on the surface of the color filter. In recent years, as a measure against these display defects, a transparent electrode is often formed after a transparent protective film is provided on a colored layer for the purpose of improving surface flatness and forming a protective layer for protecting liquid crystal molecules from minute impurities. Have been.

【0004】また、TN方式、STN方式の従来の液晶
表示素子は正面から見た場合には良好な表示特性を示す
ものの、斜めから見たときに著しくコントラストが低下
するという欠点があった。この欠点を解決するために近
年、インプレイン・スイッチング(IPS)方式の液晶
表示装置が開発された。この方式の液晶表示装置は2枚
の液晶表示装置用基板間で液晶が平行に配向しており、
従来とは異なり、基板に平行方向に印加される電場によ
りスイッチングする。このため、一方の基板の液晶と接
する側の表面には駆動用の透明電極は形成されていな
い。また、横方向に印加される電場の方向を乱さないた
めに、遮光層の材料としてはCrなどの金属薄膜ではな
く、黒色顔料などの遮光剤を分散させた樹脂を用いるこ
とが多い。またIPS方式では、表面の平坦性がより求
められるため、透明保護膜を設ける場合が多くなってき
た。
Further, conventional liquid crystal display devices of the TN mode and the STN mode have good display characteristics when viewed from the front, but have the disadvantage that the contrast is significantly reduced when viewed obliquely. In order to solve this drawback, an in-plane switching (IPS) type liquid crystal display device has recently been developed. In this type of liquid crystal display device, the liquid crystal is oriented in parallel between two liquid crystal display device substrates.
Unlike the conventional case, switching is performed by an electric field applied in a direction parallel to the substrate. Therefore, no driving transparent electrode is formed on the surface of one of the substrates on the side in contact with the liquid crystal. Further, in order not to disturb the direction of the electric field applied in the horizontal direction, a resin in which a light-shielding agent such as a black pigment is dispersed is often used as a material of the light-shielding layer, instead of a metal thin film such as Cr. Further, in the IPS method, since the flatness of the surface is more required, a transparent protective film is often provided.

【0005】これらの液晶表示装置を形成する際にはど
の方式でも液晶分子を配向させることが必要である。通
常は液晶表示装置を形成する2枚の基板の表面にポリイ
ミド樹脂からなる薄膜を形成し、その上をレーヨンやコ
ットンなどの立毛布で一方向にこするというラビング処
理を施すことで液晶を一方向に配向させる。このラビン
グ工程では非常に大きな静電気が発生する。
In forming these liquid crystal display devices, it is necessary to align liquid crystal molecules in any method. Normally, a thin film made of a polyimide resin is formed on the surface of two substrates forming a liquid crystal display device, and a rubbing process is performed by rubbing the thin film in one direction with a blanket such as rayon or cotton to remove the liquid crystal. Orientation. In this rubbing step, very large static electricity is generated.

【0006】また近年、液晶表示装置用基板の大型化に
より、基板の搬送、基板のスピン乾燥等によって液晶表
示装置用基板上に生じる帯電量も大きくなってきた。
In recent years, as the size of substrates for liquid crystal display devices has increased, the amount of charge generated on the substrates for liquid crystal display devices due to the transfer of the substrates, spin drying of the substrates, and the like has also increased.

【0007】加えて、最近ではガラス基板だけでなく、
より軽量なプラスチックシートやプラスチックフィルム
が一部の液晶表示装置に採用されている。プラスチック
は、ガラス基板に比べて帯電した電荷が逃げにくく、静
電気がたまりやすい。
In addition, recently, not only glass substrates,
Lighter plastic sheets and plastic films are used in some liquid crystal display devices. In plastic, compared to a glass substrate, a charged charge is less likely to escape, and static electricity tends to accumulate.

【0008】帯電はガラス基板、プラスチックや透明保
護膜などの誘電体領域が擦られる時に発生する。特に、
表面がプラスチックや透明保護膜の時には静電気の帯電
量が大きくなるため、プラスチックシートやフィルムを
用いた場合や、表示品位向上のために液晶表示装置用基
板に透明保護膜を設けている場合には、この静電気の影
響を受けやすくなる。
[0008] Charging occurs when a dielectric region such as a glass substrate, plastic or a transparent protective film is rubbed. In particular,
When the surface is made of plastic or a transparent protective film, the amount of static electricity increases.Therefore, when a plastic sheet or film is used, or when a transparent protective film is provided on a liquid crystal display device substrate to improve display quality. , It is more susceptible to this static electricity.

【0009】この基板に生じた静電気を除電するため
に、軟X線やプラズマを用いた除電器を工程に備え付け
る方法や、静電気を低減するために湿度を制御する方法
等が検討されている。しかし、発生した静電気を完全に
除電し、その影響を完全に排除することはできなかっ
た。特に、局所的に帯電した箇所の除電は非常に困難で
あった。
In order to eliminate static electricity generated on the substrate, a method of providing a static eliminator using soft X-rays or plasma in a process, a method of controlling humidity in order to reduce static electricity, and the like are being studied. However, it was not possible to completely eliminate the generated static electricity and completely eliminate its influence. In particular, it was very difficult to remove electricity from a locally charged portion.

【0010】液晶表示装置用基板および/または液晶表
示装置を作製する際の工程で発生した静電気により、
(1) 基板上に塵・ゴミの付着、(2) 回路や樹脂膜(配向
膜や透明保護膜等)での放電等が発生する。
[0010] The static electricity generated in the process of manufacturing a substrate for a liquid crystal display device and / or a liquid crystal display device causes
(1) Adhesion of dust and dirt on the substrate, (2) Discharge of circuits and resin films (such as alignment films and transparent protective films) occur.

【0011】すなわち次のような問題が発生した。(1)
塵・ゴミにより、その箇所が液晶配向不良が発生し表示
不良となる。またゴミを噛んだ状態でラビングをする
と、配向膜に大きく傷が発生し、表示不良の原因となっ
た。(2) 放電による回路の破壊により、液晶の駆動が不
安定になる。(3) 配向膜や透明保護膜等の樹脂の放電劣
化により、局所的な液晶のプレチルトやアンカリングエ
ネルギーが変わってしまったり、放電劣化した箇所から
表示特性をかえる不純物質が液晶中に溶出することで、
表示ムラとなった。
That is, the following problem has occurred. (1)
Dust or dust causes poor liquid crystal alignment at that location, resulting in poor display. Further, if rubbing was carried out in a state in which dust was bitten, a large scratch was generated on the alignment film, causing display failure. (2) Driving of the liquid crystal becomes unstable due to the destruction of the circuit due to discharge. (3) Discharge deterioration of resin such as alignment film and transparent protective film causes local change of pre-tilt and anchoring energy of liquid crystal, and impurities that change display characteristics from the discharge-degraded part elute into liquid crystal. By that
The display became uneven.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
問題を解決するためになされたもので、歩留りや信頼性
の高い液晶表示装置用基板および液晶表示装置を提供す
ることを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide a liquid crystal display device substrate and a liquid crystal display device with high yield and high reliability. .

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記目的
を達成する本発明の液晶パネル体は以下の構成からな
る。すなわち、 (1)画面外に柱を有しており、該柱上および/または
該柱周辺に導電膜を形成したことを特徴とする液晶表示
装置用基板。
Means for Solving the Problems The present inventors have achieved a liquid crystal panel according to the present invention which achieves the above-mentioned object and has the following constitution. (1) A substrate for a liquid crystal display device having a column outside a screen, and a conductive film formed on and / or around the column.

【0014】(2)画面外に導電膜を形成した上に、柱
を形成したことを特徴とする液晶表示装置用基板。
(2) A substrate for a liquid crystal display device, wherein columns are formed on a conductive film formed outside a screen.

【0015】(3)導電膜下に透明保護膜が形成されて
いることを特徴とする(1)ないし(2)のいずれか1
項に記載の液晶表示装置用基板。
(3) Any one of (1) and (2), wherein a transparent protective film is formed under the conductive film.
13. The substrate for a liquid crystal display device according to item 13.

【0016】(4)画面外の液晶表示装置を製造する際
に切り落とされる領域に、柱を形成したことを特徴とす
る(1)ないし(3)のいずれか1項に記載の液晶表示
装置用基板。
(4) The liquid crystal display device according to any one of (1) to (3), wherein a pillar is formed in a region cut off when manufacturing the liquid crystal display device outside the screen. substrate.

【0017】(5)導電膜が液晶表示装置用基板の表示
領域と、画面外の両方に形成されていることを特徴とす
る(1)ないし(4)のいずれか1項に記載の液晶表示
装置用基板。
(5) The liquid crystal display according to any one of (1) to (4), wherein the conductive film is formed both in the display area of the substrate for a liquid crystal display device and outside the screen. Equipment substrate.

【0018】(6)導電膜を表示領域に形成しないこと
を特徴とする(1)ないし(4)のいずれか1項に記載
の液晶表示装置用基板。
(6) The substrate for a liquid crystal display device according to any one of (1) to (4), wherein the conductive film is not formed in the display region.

【0019】(7)柱の高さが2μm以上10μm以下
であることを特徴とする(1)から(6)のいずれか1
項に記載の液晶表示装置用基板。
(7) Any one of (1) to (6), wherein the height of the pillar is 2 μm or more and 10 μm or less.
13. The substrate for a liquid crystal display device according to item 13.

【0020】(8)柱の面積が50μm2以上1mm2
下であることを特徴とする(1)から(7)いずれかに
記載の液晶表示装置用基板。
(8) The substrate for a liquid crystal display device according to any one of (1) to (7), wherein the area of the pillar is 50 μm 2 or more and 1 mm 2 or less.

【0021】(9)柱がドット状であることを特徴とす
る(1)から(8)のいずれか1項に記載の液晶表示装
置用基板。
(9) The substrate for a liquid crystal display device according to any one of (1) to (8), wherein the pillars have a dot shape.

【0022】(10)柱が周期的に配置されていること
を特徴とする(1)から(9)のいずれか1項に記載の
液晶表示装置用基板。
(10) The substrate for a liquid crystal display device according to any one of (1) to (9), wherein the columns are periodically arranged.

【0023】(11)導電性膜がITO膜であることを
特徴とする(1)から(10)のいずれか1項に記載の
液晶表示装置用基板。
(11) The substrate for a liquid crystal display device according to any one of (1) to (10), wherein the conductive film is an ITO film.

【0024】(12)柱が、遮光膜上に形成されている
ことを特徴とする(1)から(11)のいずれか1項に
記載の液晶表示装置用基板。
(12) The substrate for a liquid crystal display device according to any one of (1) to (11), wherein the pillar is formed on a light shielding film.

【0025】(13)遮光膜が遮光剤を含む樹脂である
ことを特徴とする(12)に記載の液晶表示装置用基
板。
(13) The substrate for a liquid crystal display device according to (12), wherein the light shielding film is a resin containing a light shielding agent.

【0026】(14)複数色の着色層により形成された
画素を有するカラーフィルターであることを特徴とする
(1)から(13)のいずれか1項に記載の液晶表示装
置用基板。
(14) The substrate for a liquid crystal display device according to any one of (1) to (13), wherein the substrate is a color filter having pixels formed by a plurality of colored layers.

【0027】(15)柱が画素のうちの2色および/ま
たは3色の着色層を積層したものであることを特徴とす
る(14)に記載の液晶表示装置用基板。
(15) The substrate for a liquid crystal display device according to (14), wherein the pillars are formed by laminating colored layers of two and / or three colors of pixels.

【0028】(16)画面内に基板間隔支持部材が形成
されていることを特徴とする(1)から(15)のいず
れか1項に記載の液晶表示装置用基板。
(16) The substrate for a liquid crystal display device according to any one of (1) to (15), wherein a substrate spacing support member is formed in the screen.

【0029】(17)画面内に基板間隔支持部材が形成
され、該画面内の基板間隔支持部材の構成材料と、画面
外の柱の構成材料の一部が一致していることを特徴とす
る(1)から(16)のいずれか1項に記載の液晶表示
装置用基板。
(17) A substrate spacing support member is formed in the screen, and the constituent material of the substrate spacing support member in the screen and a part of the constituent material of columns outside the screen are identical. The substrate for a liquid crystal display device according to any one of (1) to (16).

【0030】(18)2枚の液晶表示装置用基板間に液
晶を挟持してなる液晶表示装置において、少なくとも一
方の液晶表示装置用基板が(1)から(17)のいずれ
か1項に記載の液晶表示装置用基板を用いたことを特徴
とする液晶表示装置。
(18) In a liquid crystal display device comprising a liquid crystal sandwiched between two liquid crystal display device substrates, at least one of the liquid crystal display device substrates is described in any one of (1) to (17). A liquid crystal display device characterized by using the substrate for a liquid crystal display device according to (1).

【0031】(19)画面外の柱および/または該柱周
辺の導電膜と、同一基板内の表示領域とが電気的に接続
されていないことを特徴とする(18)記載の液晶表示
装置。
(19) The liquid crystal display device according to (18), wherein the column outside the screen and / or the conductive film around the column is not electrically connected to the display region in the same substrate.

【0032】本発明においては、かかる液晶表示装置用
基板、液晶表示装置により、高い歩留りや信頼性が得ら
れる。
In the present invention, high yield and reliability can be obtained by the liquid crystal display substrate and the liquid crystal display device.

【0033】[0033]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につき
説明する。
Embodiments of the present invention will be described below.

【0034】液晶表示装置は、2枚の液晶表示装置用基
板間に液晶を挟持した構造をとる。液晶表示装置用基板
としては、複数の着色画素を有するカラーフィルター
や、着色画素を有しないモノクロカラーフィルター、駆
動用の電極や薄膜トランジスター(TFT)を形成した
基板等が挙げられる。
The liquid crystal display device has a structure in which liquid crystal is sandwiched between two substrates for a liquid crystal display device. Examples of the substrate for a liquid crystal display device include a color filter having a plurality of colored pixels, a monochrome color filter having no colored pixels, a substrate on which a driving electrode and a thin film transistor (TFT) are formed, and the like.

【0035】本発明に用いられる基板としては、特に限
定されるものでないが、石英ガラス、ホウケイ酸ガラ
ス、アルミノケイ酸塩ガラス、表面をシリカコートした
ソーダライムガラスなどの無機ガラス類、プラスチック
のフィルムまたはシートなどの透明基板が好ましく用い
られる。
The substrate used in the present invention is not particularly limited, but inorganic glass such as quartz glass, borosilicate glass, aluminosilicate glass, soda lime glass having a silica-coated surface, a plastic film or A transparent substrate such as a sheet is preferably used.

【0036】本発明の液晶表示装置用基板は、画面外に
柱を形成している。画面外とは、液晶表示装置用基板上
の額縁(表示画面エリア周辺の遮光部分)より外の領域
を指す。液晶表示装置を製造される際には切り落とされ
る部分にも形成することが好ましい。
The substrate for a liquid crystal display device of the present invention has columns formed outside the screen. The term “outside the screen” refers to an area outside the frame (light-shielding portion around the display screen area) on the liquid crystal display device substrate. When a liquid crystal display device is manufactured, it is preferable to form it also on a portion to be cut off.

【0037】図1は画面外、額縁を説明する概略図であ
り、液晶表示装置用基板1において、2が画面外を示
し、3が表示領域、4が額縁、5が画面内を示してい
る。画面内5は、表示領域3と額縁4に大別される。表
示領域は通常ブラックマトリックスによってマトリック
ス状に区切られている。液晶表示装置を作成する際に
は、表示領域にかからないように液晶表示装置用基板は
切り落としライン9に沿って切り落とされる。切り落と
しライン9は、実際に基板上にパターニングしてもよい
し、示さなくてもよい。額縁上4で基板を切断してもか
まわない。
FIG. 1 is a schematic diagram for explaining the outside of the screen and the frame. In the substrate 1 for a liquid crystal display, 2 indicates the outside of the screen, 3 indicates the display area, 4 indicates the frame, and 5 indicates the inside of the screen. . The inside 5 of the screen is roughly divided into a display area 3 and a frame 4. The display area is usually partitioned in a matrix by a black matrix. When the liquid crystal display device is manufactured, the substrate for the liquid crystal display device is cut off along the cutout line 9 so as not to cover the display area. The cut-off line 9 may or may not be actually patterned on the substrate. The substrate may be cut on the frame 4.

【0038】また、図2(A)〜(D)は基板上に形成
される導電膜の領域の一例を示すものであり、いずれも
画面外に導電膜を形成している。画面の四方に導電膜を
形成することが一般的に好ましい。しかし画面が基板端
に近く、導電膜の形成するのが困難である場合には、そ
の限りではなく図2(B)、(D)のように形成しても
かまわない。
FIGS. 2A to 2D show an example of a region of a conductive film formed on a substrate. In each case, the conductive film is formed outside the screen. It is generally preferable to form conductive films on all sides of the screen. However, when the screen is close to the edge of the substrate and it is difficult to form a conductive film, the method is not limited to this, and the film may be formed as shown in FIGS. 2B and 2D.

【0039】図2(A)、(B)は表示領域内に導電膜
を形成しないが、画面外に導電膜を形成する一例であ
る。特にインプレインスイッチング用カラーフィルター
等に好適に用いられる。図2(C)、(D)は表示領域
内および画面外に導電膜を形成する一例である。特にT
N用カラーフィルターやMVA用カラーフィルター等に
好適に用いられる。表示領域内と画面外の導電膜は同時
に形成しても良いし、別工程で形成しても良いが、工程
削減の点から同時に形成することが好ましい。
FIGS. 2A and 2B show an example in which a conductive film is not formed in the display region, but is formed outside the screen. In particular, it is suitably used for color filters for in-plane switching. FIGS. 2C and 2D illustrate an example in which a conductive film is formed in a display region and outside a screen. Especially T
It is suitably used for a color filter for N and a color filter for MVA. The conductive film in the display region and the conductive film outside the screen may be formed at the same time, or may be formed in separate steps. However, it is preferable to form them simultaneously from the viewpoint of reducing the number of steps.

【0040】一方、図14(A)、(B)は画面外に導
電膜を形成しない従来の液晶表示装置用基板である。
On the other hand, FIGS. 14A and 14B show a conventional substrate for a liquid crystal display device in which a conductive film is not formed outside the screen.

【0041】画面外に形成される導電膜のパターン形状
は特に限定されるものではないが、パターンの角は丸ま
っている方が好ましい。鋭く角ばっていると、その点か
ら局所放電が発生しやすいので好ましくない。画面内表
示領域に導電膜を形成した場合に、通常取り出し電極を
設けるが、同取り出し電極においてもパターン角を丸め
ることが好ましい。
The pattern shape of the conductive film formed outside the screen is not particularly limited, but it is preferable that the corner of the pattern is rounded. A sharp corner is not preferred because local discharge is likely to occur from that point. When a conductive film is formed in a display area in a screen, an extraction electrode is usually provided, and it is preferable to round the pattern angle also in the extraction electrode.

【0042】導電膜材料としては、特に限定されない
が、アルミやクロム(Cr、CrOx)、銀、酸化イン
ジウムスズ(ITO)、酸化亜鉛、酸化スズなどおよび
その合金などを用いることができる。特に液晶表示装置
での信頼性や生産性の点からITOが好ましい。このよ
うな導電膜の厚みは、0.01〜1μmが好ましく、さ
らに好ましくは0.03〜0.5μmである。
The material of the conductive film is not particularly limited, but aluminum, chromium (Cr, CrOx), silver, indium tin oxide (ITO), zinc oxide, tin oxide, and alloys thereof can be used. In particular, ITO is preferable in terms of reliability and productivity in a liquid crystal display device. The thickness of such a conductive film is preferably 0.01 to 1 μm, more preferably 0.03 to 0.5 μm.

【0043】本発明においては、画面外に柱を有し該柱
上および/または該柱の周辺に導電膜を形成したもので
ある。上記画面外の導電膜を形成した領域での柱の密度
は、除電を均一に行うために4cm2 あたり1個以上設
けることが好ましく、1cm 2 あたり1個以上設けるこ
とがさらに好ましい。画面外の導電膜を形成した領域で
の柱の個数は、画面外の領域の面積にもよるが、効果的
な除電を行うためには、20個以上設けることが好まし
い。柱の密度が少なかったり、個数が少ないと、1つの
柱から除電される量が高くなり、かつ除電が均一に行わ
れなくなり、柱およびその周辺で放電劣化がおこること
がある。逆に、柱の密度が高すぎると、柱1個に集まる
電荷量が少なくなり除電効果が低下するため、0.01
mm2 あたり1個以下が好ましく、0.1mm2 あたり
1個以下がさらに好ましい。
In the present invention, a pillar is provided outside the screen.
A conductive film formed on and / or around the pillar
is there. Column density in the area where the conductive film outside the screen was formed
Is 4cm in order to perform static neutralizationTwoOne or more per
Preferably 1cm TwoOne or more per
Is more preferable. In the area where the conductive film outside the screen is formed
The number of pillars depends on the area of the area outside the screen, but effective
In order to perform effective static elimination, it is preferable to provide 20 or more.
No. If the density of the columns is low or the number is small, one
The amount of electricity removed from the pillar increases, and the electricity is removed evenly
And discharge deterioration occurs in and around the pillar
There is. Conversely, if the density of the columns is too high, they will collect in one column
Since the charge amount decreases and the charge removal effect decreases,
mmTwo1 or less is preferable, and 0.1 mmTwoPer
More preferably one or less.

【0044】柱の高さは、2μm以上10μm以下であ
ることが好ましい。柱の高さは、基板面から柱の頂点ま
での高さである。基板全面に透明保護膜等が形成されて
いる場合には、基板上の透明保護膜面から柱の頂点まで
の高さである。高さが2μm未満であると、柱部に電荷
が集まりにくくなり好ましくない。柱の高さの上限は、
液晶表示装置の液晶層のギャップ間隔や、対向する基板
の柱が向かう箇所の凹凸にもよるが、10μm以下が好
ましい。
The height of the columns is preferably 2 μm or more and 10 μm or less. The height of the column is the height from the substrate surface to the top of the column. When a transparent protective film or the like is formed on the entire surface of the substrate, the height is from the surface of the transparent protective film on the substrate to the top of the pillar. When the height is less than 2 μm, it is difficult to collect electric charges on the pillar portions, which is not preferable. The maximum column height is
The thickness is preferably 10 μm or less, though it depends on the gap between the liquid crystal layers of the liquid crystal display device and the unevenness at the position where the column of the opposing substrate faces.

【0045】柱は対向する基板に当接してもよいし、当
接しなくてもよいが、当接した場合には、柱が基板間隔
支持部材として働き、セルギャップがより均一に保つこ
とができることから、当接させることがより好ましい。
The column may or may not contact the opposing substrate, but if it does, the column acts as a substrate spacing support member and the cell gap can be kept more uniform. Therefore, it is more preferable to make the contact.

【0046】柱の面積は、柱の密度にもよるが50μm
2 以上1mm2 以下が好ましい。より効果的に除電を行
うためには、50μm2 以上100000μm2 以下が
好ましい。
The area of the pillar is 50 μm, depending on the density of the pillar.
It is preferably from 2 to 1 mm 2 . For more effective neutralization is preferably 50 [mu] m 2 or more 100000 2 below.

【0047】柱の形状は、ドット状であることが好まし
い。ドット状の方が、形成する際に容易であるからであ
る。また柱の周囲が平均的に除電されやすいからであ
る。
The shape of the pillar is preferably a dot shape. This is because the dot shape is easier to form. In addition, the periphery of the column is likely to be neutralized on average.

【0048】また柱は周期的に配置されていることが好
ましい。周期的に配置することで、均一に除電ができる
からである。
It is preferable that the columns are arranged periodically. This is because the static electricity can be uniformly removed by arranging the electrodes periodically.

【0049】柱の高さ、形状は、1種類だけでなく、複
数種形成しても良い。柱を構成する層の数にも限定はな
い。
The height and shape of the columns are not limited to one type, and a plurality of types may be formed. The number of layers constituting the pillar is not limited.

【0050】柱の形成は、画面外の液晶表示装置を製造
する際に切り落とされる領域にも、柱を形成することが
好ましい。切り落とされる領域も除電することが、歩留
りや信頼性の高い液晶表示装置用基板、およびその液晶
表示装置を提供する上で大切である。例えば、切り落と
される領域が帯電していると、切り落とし時に発生する
帯電した基板破片が液晶表示装置に残りやすくなり、不
良の原因となる。また帯電した状態で切り落とされた破
片がスクライブステージ(切り落とす工程のステージ)
上に散乱しても、(1) 柱によって破片とステージとに隙
間ができ、基板が密着しなくなる、(2) 導電膜により破
片とステージとの電気的引力が弱まる、ことにより破片
のステージへの固着およびそれに伴う不良が低減され
る。
In the formation of the pillar, it is preferable to form the pillar even in a region outside the screen which is cut off when manufacturing the liquid crystal display device. It is important to provide a liquid crystal display device substrate and a liquid crystal display device with high yield and high reliability to eliminate static electricity even in a region to be cut off. For example, if the area to be cut off is charged, charged substrate fragments generated at the time of cutting off tend to remain on the liquid crystal display device, causing a defect. In addition, the shard stage that is cut off in the charged state (stage of the cutting process)
Even if it is scattered upward, (1) the column creates a gap between the debris and the stage, preventing the substrate from adhering, and (2) the conductive film weakens the electrical attraction between the debris and the stage. And the accompanying defects are reduced.

【0051】画面外の導電膜を形成しない領域にも、柱
を形成する方が好ましい。画面外の導電膜を形成しない
領域の柱は、画面外の導電膜を形成した領域での柱と、
形状(高さ、面積等)や配置周期や材料は同一であって
もよいし異なっていてもよい。
It is preferable to form columns also in a region outside the screen where no conductive film is formed. The pillars in the region where the conductive film outside the screen is not formed are the pillars in the region where the conductive film outside the screen is formed,
The shape (height, area, etc.), arrangement period, and material may be the same or different.

【0052】柱は、加工の容易さ、設計の自由さの点か
ら樹脂を用いることが好ましい。
For the pillar, it is preferable to use resin from the viewpoint of ease of processing and design freedom.

【0053】柱の材料としては、ポリイミド系樹脂、エ
ポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリ
エステル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ノボラック樹
脂などの感光性または非感光性のものが好ましく用いら
れるが、これらに限られるものではない。
As the material of the pillar, photosensitive or non-photosensitive materials such as polyimide resin, epoxy resin, acrylic resin, urethane resin, polyester resin, polyolefin resin and novolak resin are preferably used. However, the present invention is not limited to these.

【0054】感光性の樹脂(フォトレジスト)には、ポ
ジ型とネガ型の2種類あるが、本発明における樹脂柱と
しては、どちらでもよい。
There are two types of photosensitive resin (photoresist), that is, a positive type and a negative type. The resin column in the present invention may be either type.

【0055】本発明において使用可能となるポジ型レジ
ストとしては、ノボラック樹脂とナフトキノンジアジス
ルホン酸エステルドとの混合物が好ましく用いられる。
これは光照射によりアルカリ可溶性になった部分が溶出
し、後に残った部分を樹脂柱とするものが考えられる
(例えば文献「レジスト材料プロセス技術」第1章、技
術情報協会発行1991年参照)。
As the positive resist which can be used in the present invention, a mixture of a novolak resin and naphthoquinonediadisulfonate is preferably used.
It is considered that the alkali-soluble portion is eluted by light irradiation, and the remaining portion is used as a resin pillar (see, for example, Chapter 1, "Resistant Material Processing Technology", published by the Technical Information Association, 1991).

【0056】一方、ネガ型フォトレジストとしては、
(1)環化ゴムービスアジド系(2)フェノール樹脂ー
アジド系(3)アクリル系樹脂(4)化学増感系等があ
る(前記文献参照)。
On the other hand, as a negative type photoresist,
(1) Cyclic rubber-bis azide type (2) phenol resin-azide type (3) acrylic resin (4) Chemical sensitization type and the like (see the above literature).

【0057】非感光性の樹脂としては、上記の各種ポリ
マーなどで現像処理が可能なものが好ましく用いられる
が、透明導電層の製膜工程や液晶表示装置の製造工程で
かかる熱に耐えられるような耐熱性を有する樹脂が好ま
しく、また、液晶表示装置の製造工程で使用される有機
溶剤への耐性を持つ樹脂が好ましく、中でもポリイミド
系樹脂が特に好ましい。
As the non-photosensitive resin, those which can be developed with the above-mentioned various polymers are preferably used. However, the non-photosensitive resin should be able to withstand the heat in the process of forming the transparent conductive layer and the process of manufacturing the liquid crystal display device. A resin having excellent heat resistance is preferable, and a resin having resistance to an organic solvent used in a manufacturing process of a liquid crystal display device is preferable, and a polyimide resin is particularly preferable.

【0058】樹脂柱に好ましく用いられるポリイミド系
樹脂としては、特に限定されるものではないが、通常下
記一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリ
イミド前駆体を、加熱または適当な触媒によってイミド
化したものが好適に用いられる。
The polyimide resin preferably used for the resin pillar is not particularly limited, but usually, a polyimide precursor having a structural unit represented by the following general formula (1) as a main component is heated or appropriately heated. Those imidized by a suitable catalyst are preferably used.

【0059】[0059]

【化1】 Embedded image

【0060】ここで上記一般式(1)のnは1〜2の数
である。R1は酸成分残基であり、R1 は少なくとも2
個の炭素原子を有する3価または4価の有機基を示す。
耐熱性の面から、R1 は環状炭化水素、芳香族環または
芳香族複素環を含有し、かつ炭素数6から30の3価ま
たは4価の基が好ましい。R1 の例として、フェニル
基、ビフェニル基、ターフェニル基、ナフタレン基、ペ
リレン基、ジフェニルエーテル基、ジフェニルスルフォ
ン基、ジフェニルプロパン基、ベンゾフェノン基、ビフ
ェニルトリフルオロプロパン基、シクロブチル基、シク
ロペンチル基などから誘導された基が挙げられるがこれ
らに限定されるものではない。
Here, n in the general formula (1) is a number of 1 or 2. R 1 represents an acid component residue, R 1 Is at least 2
Represents a trivalent or tetravalent organic group having three carbon atoms.
In terms of heat resistance, R 1 Is preferably a trivalent or tetravalent group containing a cyclic hydrocarbon, an aromatic ring or an aromatic heterocyclic ring and having 6 to 30 carbon atoms. R 1 Examples of phenyl, biphenyl, terphenyl, naphthalene, perylene, diphenylether, diphenylsulfone, diphenylpropane, benzophenone, biphenyltrifluoropropane, cyclobutyl, cyclopentyl, etc. Groups, but are not limited to these.

【0061】R2は少なくなくとも2個の炭素原子を有
する2価の有機基を示す。耐熱性の面から、R2は環状
炭化水素、芳香族環または芳香族複素環を含有し、かつ
炭素数6から30の2価の基が好ましい。R2の例とし
て、フェニル基、ビフェニル基、ターフェニル基、ナフ
タレン基、ペリレン基、ジフェニルエーテル基、ジフェ
ニルスルフォン基、ジフェニルプロパン基、ベンゾフェ
ノン基、ビフェニルトリフルオロプロパン基、ジフェニ
ルメタン基、シクロヘキシルメタン基などから誘導され
た基が挙げられるがこれらに限定されるものではない。
前記一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポ
リマーはR1、R2がこれらのうち各々1個から構成され
ていても良いし、各々2種以上から構成される共重合体
であっても良い。
R 2 represents a divalent organic group having at least two carbon atoms. From the viewpoint of heat resistance, R 2 is preferably a divalent group containing a cyclic hydrocarbon, an aromatic ring or an aromatic heterocyclic ring and having 6 to 30 carbon atoms. Examples of R 2 include phenyl, biphenyl, terphenyl, naphthalene, perylene, diphenylether, diphenylsulfone, diphenylpropane, benzophenone, biphenyltrifluoropropane, diphenylmethane, cyclohexylmethane, and the like. Derived groups include, but are not limited to.
In the polymer having the structural unit represented by the general formula (1) as a main component, R 1 and R 2 may each be composed of one of these, or may be composed of two or more of each. It may be united.

【0062】樹脂柱として好ましく用いられるものとし
てアクリル系樹脂も挙げられる。アクリル系樹脂は、ア
クリル酸、メタクリル酸、メチルアクリレート、メチル
メタクリレートなどのアルキルアクリレートまたはアル
キルメタクリレート、環状のアクリレートまたはメタク
リレート、ヒドロキシエチルアクリレートまたは、メタ
クリレートなどのうちから3〜5種類程度のモノマを用
いて、分子量5000〜200000程度に重合した樹
脂を用いるのが好ましい。アクリル系樹脂を含む場合、
樹脂柱の樹脂組成物が感光性か非感光性は制限されない
が、樹脂柱の微細加工のしやすさの点から感光性の材料
が好ましく用いられる。感光性樹脂の場合には、アクリ
ル系樹脂と光重合性モノマ、光重合開始剤を配合した組
成物が好ましく用いられる。
An acrylic resin is also preferably used as the resin pillar. Acrylic resin uses acrylic acid, methacrylic acid, methyl acrylate, alkyl acrylate or alkyl methacrylate such as methyl methacrylate, cyclic acrylate or methacrylate, hydroxyethyl acrylate or methacrylate, and the like. It is preferable to use a resin polymerized to a molecular weight of about 5,000 to 200,000. When including acrylic resin,
Whether the resin composition of the resin pillar is photosensitive or non-photosensitive is not limited, but a photosensitive material is preferably used from the viewpoint of ease of fine processing of the resin pillar. In the case of a photosensitive resin, a composition comprising an acrylic resin, a photopolymerizable monomer, and a photopolymerization initiator is preferably used.

【0063】アクリル系樹脂用の光重合性モノマとして
は、2官能、3官能、多官能モノマがあり、2官能モノ
マとして、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、
エチレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリ
コールジアクリレート、トリエチレングリコールアクリ
レートなどがあり、3官能モノマとして、トリメチロー
ルプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールト
リアクリレート、トリス(2−ヒドロキシエチル)イソ
シアネートなどがあり、多官能モノマとしてジトリメチ
ロールプロパンテトラアクリレート、ジペンタエリスリ
トールペンタおよびヘキサアクリレートなどがある。ま
た、光重合開始剤としては、ベンゾフェノン、チオキサ
ントン、イミダゾール、トリアジン系などが単独もしく
は混合で用いられる。
As photopolymerizable monomers for acrylic resins, there are bifunctional, trifunctional and polyfunctional monomers. As the bifunctional monomers, 1,6-hexanediol diacrylate,
Ethylene glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, triethylene glycol acrylate, and the like. Trifunctional monomers include trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, tris (2-hydroxyethyl) isocyanate, and the like. Examples include ditrimethylolpropane tetraacrylate, dipentaerythritol penta, and hexaacrylate. As the photopolymerization initiator, benzophenone, thioxanthone, imidazole, triazine and the like are used alone or in combination.

【0064】市販されているアクリル樹脂としては、J
SR製オプトマーNN700シリーズやオプトマーNN
800シリーズ、新日鐵化学製V−259PA等が柱用
樹脂として好ましい。
Commercially available acrylic resins include J
SR made Optmer NN700 series and Optmer NN
800 series, Nippon Steel Chemical's V-259PA, and the like are preferred as column resins.

【0065】また樹脂柱として好ましく用いられる他の
樹脂としてエポキシ樹脂が挙げられる。エポキシ樹脂と
しては、具体的には、フェノールノボラック型エポキシ
樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェ
ノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ
樹脂、環式脂肪族エポキシ樹脂、脂肪族ポリグリシジル
エーテルなどを硬化剤により硬化したものを使用するこ
とができる。
Another resin preferably used as the resin pillar is an epoxy resin. Specific examples of the epoxy resin include a phenol novolak type epoxy resin, a cresol novolak type epoxy resin, a bisphenol A type epoxy resin, a bisphenol F type epoxy resin, a cycloaliphatic epoxy resin, an aliphatic polyglycidyl ether, and the like. Can be used.

【0066】また樹脂柱として好ましく用いられる他の
樹脂としてノボラック樹脂が挙げられる。ノボラック樹
脂は、ナフトキノンジアジスルホン酸エステルドと混合
したポジ型レジストとして用いられる。
As another resin preferably used as the resin pillar, a novolak resin can be mentioned. The novolak resin is used as a positive resist mixed with naphthoquinonediadisulfonate.

【0067】柱には、有機顔料、無機顔料、染料等を好
適に用いることができ、さらには、紫外線吸収剤、分散
剤、レベリング剤等の種々の添加剤を添加してもよい。
有機顔料としては、フタロシアニン系、アジレーキ系、
縮合アゾ系、キナクリドン系、アントラキノン系、ペリ
レン系、ペリノン系が好適に用いられる。カーボンブラ
ック、チタンブラック、マンガン酸化物などの黒色金属
酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉混合物なども用いるこ
とができる。
For the pillars, organic pigments, inorganic pigments, dyes, and the like can be suitably used, and various additives such as an ultraviolet absorber, a dispersant, and a leveling agent may be added.
As organic pigments, phthalocyanine-based, azilake-based,
Condensed azo, quinacridone, anthraquinone, perylene and perinone are preferably used. Black metal oxide powders such as carbon black, titanium black and manganese oxide, metal sulfide powders, and metal powder mixtures can also be used.

【0068】柱自体に高い導電性を付与したい場合に
は、導電性材料を添加することが好ましい。導電性材料
としては、特に限定されないが、金属粒子等が好まし
い。例えばカーボンブラック、ITO粒子等が挙げられ
る。 樹脂への分散性、取り扱いの容易さから、なかで
もカーボンブラックが好ましい。
When it is desired to impart high conductivity to the pillar itself, it is preferable to add a conductive material. Although the conductive material is not particularly limited, metal particles and the like are preferable. Examples include carbon black and ITO particles. Among them, carbon black is preferred from the viewpoint of dispersibility in resin and ease of handling.

【0069】柱をパターニングによって得る際に、その
形状がいびつになったり、不必要な領域にも柱が残る場
合がある。パターニング性の改良するために、後述する
樹脂ブラックマトリックスや着色層に用いられる遮光剤
や着色剤、分散剤、レベリング剤、界面活性剤などの種
々の添加剤を添加しても良い。具体的には、例えば、シ
リカ、硫酸バリウム、炭酸バリウム、炭酸カルシウム、
タルクなどの体質顔料、および黒、赤、青、緑などの着
色顔料、およびアルミナ、ジルコニア、マグネシア、ベ
リリア、ムライト、コージライトなどのセラミック粉
末、およびガラス−セラミックス複合粉末などが用いら
れる。体質顔料のうち、バライト、硫酸バリウム、炭酸
カルシウム、シリカおよびタルクが好ましいが、なかで
も柱の寸法安定性の向上をする点から硫酸バリウムが好
ましい。
When a pillar is obtained by patterning, the shape may be distorted or the pillar may remain in an unnecessary area. In order to improve the patterning property, various additives such as a light-shielding agent, a coloring agent, a dispersing agent, a leveling agent, and a surfactant used in a resin black matrix and a coloring layer described later may be added. Specifically, for example, silica, barium sulfate, barium carbonate, calcium carbonate,
An extender such as talc, a coloring pigment such as black, red, blue, and green, a ceramic powder such as alumina, zirconia, magnesia, beryllia, mullite, and cordierite, and a glass-ceramic composite powder are used. Among the extender pigments, barite, barium sulfate, calcium carbonate, silica and talc are preferred, and among them, barium sulfate is preferred from the viewpoint of improving the dimensional stability of the columns.

【0070】柱材料を基板上に塗布する方法としては、
ディップ法、ロールコーター法、スピナー法、ダイコー
ティング法、ワイヤバーコーティング法などが好適に用
いられるが、均一な高さの形状を形成する点からはダイ
コーティング法が好ましく、設備投資額の低減の点から
はロールコータ法が好ましい。この後、オーブンやホッ
トプレートを用いて加熱乾燥を行う。加熱乾燥条件は、
使用する樹脂、溶媒、樹脂溶液塗布量により異なるが、
通常60〜200℃で1〜60分加熱することが好まし
い。加熱乾燥後、樹脂が非感光性の樹脂である場合は、
その上にフォトレジスト膜を形成した後に、また、樹脂
が感光性の樹脂である場合は、そのままかあるいは酸素
遮断膜を形成した後に、露光、現像を行う。必要に応じ
て、フォトレジスト膜または酸素遮断膜を除去し、再度
加熱乾燥する。加熱乾燥条件は、樹脂種によって大きく
異なる。ポリイミド前駆体からポリイミド系樹脂を得る
場合には、塗布量により若干異なるが、通常200〜3
00℃で1〜60分加熱するのが一般的である。アクリ
ル系樹脂の場合には、加工後、通常150〜300℃で
1〜60分加熱硬化させるのが一般的である。以上のプ
ロセスにより、液晶表示装置用基板表面に柱が形成され
る。
The method of applying the pillar material on the substrate is as follows.
A dip method, a roll coater method, a spinner method, a die coating method, a wire bar coating method, and the like are preferably used, but a die coating method is preferable from the viewpoint of forming a shape having a uniform height, and a reduction in capital investment is required. From the viewpoint, the roll coater method is preferable. Thereafter, heat drying is performed using an oven or a hot plate. The heating and drying conditions are
It depends on the resin used, solvent, and amount of resin solution applied,
Usually, it is preferable to heat at 60 to 200 ° C. for 1 to 60 minutes. After heating and drying, if the resin is a non-photosensitive resin,
After a photoresist film is formed thereon, and when the resin is a photosensitive resin, exposure or development is performed as it is or after forming an oxygen blocking film. If necessary, the photoresist film or the oxygen barrier film is removed, and the film is heated and dried again. The heating and drying conditions vary greatly depending on the type of resin. When a polyimide-based resin is obtained from a polyimide precursor, the amount varies slightly depending on the coating amount, but is usually 200 to 3
It is common to heat at 00C for 1 to 60 minutes. In the case of an acrylic resin, after processing, it is general to heat and cure at 150 to 300 ° C. for 1 to 60 minutes. Through the above process, columns are formed on the surface of the liquid crystal display device substrate.

【0071】転写法によって柱を形成してもよい。すな
わち、あらかじめ基材上に柱材料を形成した転写基板を
準備し、これを必要に応じ熱や圧力を加えつつ基板の上
に重ね合わせ、露光・現像し、その後に基材を剥離して
柱を液晶表示装置用基板表面に形成する方法、もしくは
あらかじめフォトリソグラフィーにて転写基板上に柱を
形成した後、熱や圧力を加えて液晶表示装置用基板上に
柱を転写する方法である。
The pillar may be formed by a transfer method. That is, a transfer substrate in which a pillar material is formed on a base material in advance is prepared, this is superimposed on the substrate while applying heat or pressure as necessary, exposed and developed, and then the base material is peeled off and the pillar is removed. Is formed on the surface of the substrate for a liquid crystal display device, or a column is formed on a transfer substrate in advance by photolithography, and then the column is transferred onto the substrate for a liquid crystal display device by applying heat or pressure.

【0072】透明保護膜を有する液晶表示装置用基板で
は、本発明の柱および導電膜を画面外に形成する構成が
好適に用いられる。透明保護膜は、透明保護膜下からの
不純物溶出の防止や、透明保護膜下のパターンの凹凸を
平坦化するための透明膜である。しかしながら、透明保
護膜は、不純物溶出のバリヤ性や平坦化能、および特に
その透明性を保ちつつ導電性を付与することが困難であ
るため、帯電しやすく放電が生じやすい。したがって、
透明保護膜を有する液晶表示装置用基板では、本発明の
構成の柱および導電膜を画面外に形成することが特に好
ましい。透明保護膜はアクリル、エポキシ、ポリイミド
等の樹脂膜であることが好ましい。
In a substrate for a liquid crystal display device having a transparent protective film, a configuration in which the pillar and the conductive film of the present invention are formed outside the screen is preferably used. The transparent protective film is a transparent film for preventing elution of impurities from under the transparent protective film and flattening irregularities of a pattern under the transparent protective film. However, the transparent protective film is difficult to impart conductivity while maintaining the barrier property and the planarizing ability of elution of impurities, and particularly its transparency, so that it is easily charged and easily discharged. Therefore,
In the case of a substrate for a liquid crystal display device having a transparent protective film, it is particularly preferable to form the columns and the conductive film of the present invention outside the screen. The transparent protective film is preferably a resin film of acrylic, epoxy, polyimide or the like.

【0073】柱は、遮光膜上に形成されることが好まし
い。遮光膜上に形成することで、遮光膜の厚み分、柱の
高さを高くすることが容易になる。特に遮光膜が遮光剤
を含む樹脂である場合には、柱の高さを遮光膜の膜厚で
も調節できることで設計の自由度が広がることから、特
に好ましい。なかでも、遮光剤としてカーボンブラック
を含有する場合には、カーボンブラックの導電性によ
り、柱部にさらに電荷が集中しやすくできることから、
好ましい。
The pillar is preferably formed on the light shielding film. By forming on the light-shielding film, it is easy to increase the height of the column by the thickness of the light-shielding film. In particular, when the light-shielding film is a resin containing a light-shielding agent, it is particularly preferable because the height of the pillar can be adjusted by the thickness of the light-shielding film, so that the degree of freedom of design is expanded. Above all, when carbon black is contained as a light-shielding agent, the conductivity of carbon black allows charges to be more easily concentrated on the pillars,
preferable.

【0074】液晶表示装置を構成する2枚の液晶表示装
置用基板の基板間隔を一定に保つために、散布により配
置された球状のスペーサーを介してもよいし、フォトリ
ソグラフィー等によりパターニングした基板間隔支持部
材を介してもよい。基板間隔支持部材は、対向する基板
と接することで基板間を一定に保ち、スペーサーとして
の役割をもつパターニングされた樹脂層のことである。
基板間隔支持部材の例としては、特開昭62−9062
2号公報に記載されたものがある。しかし、球状のスペ
ーサーは散布により配置されるため、配置位置が任意と
なる。球状のスペーサーが画面外の柱上に配置されてし
まった場合には基板間隔が局所的に厚くなるといった問
題が生じる。したがって、球状スペーサーを用いず、画
面内には基板間隔支持部材を形成することがより好まし
い。基板間隔支持部材の構成例を図3、図4に示す。
In order to keep the distance between the two substrates for the liquid crystal display device constituting the liquid crystal display device constant, a spherical spacer arranged by spraying may be interposed or a substrate distance patterned by photolithography or the like may be used. The support member may be interposed. The substrate spacing support member is a patterned resin layer that keeps the space between the substrates constant by coming into contact with the opposing substrate and serves as a spacer.
Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-9062 discloses an example of a substrate spacing support member.
There is one described in Japanese Patent Publication No. However, since the spherical spacers are arranged by spraying, the arrangement positions are arbitrary. If the spherical spacer is disposed on a column outside the screen, there arises a problem that the distance between the substrates becomes locally large. Therefore, it is more preferable to form the substrate spacing support member in the screen without using the spherical spacer. FIGS. 3 and 4 show examples of the configuration of the substrate spacing support member.

【0075】図3は、ブラックマトリックスや着色層の
形成とは別に基板間隔支持部材形成用の工程をもちいて
作製した液晶表示装置用基板の基板断面図である。図4
(B)〜(D)に示すように着色層13と基板間隔支持
部材12の間には、必要に応じて透明導電膜17や透明
保護膜18を形成しても構わない。
FIG. 3 is a cross-sectional view of a substrate for a liquid crystal display device manufactured by using a process for forming a substrate spacing support member separately from formation of a black matrix and a colored layer. FIG.
As shown in (B) to (D), a transparent conductive film 17 and a transparent protective film 18 may be formed between the colored layer 13 and the substrate spacing support member 12 as necessary.

【0076】図4は、着色層の積層によって基板間隔支
持部材を形成した液晶表示装置用基板の基板断面図であ
る。図4(B)〜(D)に示すように着色層の積層体を
覆うように、透明導電膜17や透明保護膜18を形成し
ても構わない。
FIG. 4 is a sectional view of a substrate for a liquid crystal display device in which a substrate supporting member is formed by laminating colored layers. As shown in FIGS. 4B to 4D, the transparent conductive film 17 and the transparent protective film 18 may be formed so as to cover the stacked body of the colored layers.

【0077】画面内に形成される基板間隔支持部材は、
画面外の柱と同一材料を用いても、異なる材料を用いて
もよい。しかし生産性の観点から、同一材料を用い、同
時に形成することが好ましい。画面外に形成された柱に
おいても、その高さ、形状を調節することで、対向する
基板と接触させ、基板間隔支持部材として機能させても
よい。
The substrate spacing support member formed in the screen is
The same material as the column outside the screen or a different material may be used. However, from the viewpoint of productivity, it is preferable to use the same material and form them simultaneously. By adjusting the height and shape of the pillar formed outside the screen, the pillar may be brought into contact with the opposing substrate to function as a substrate spacing support member.

【0078】本発明の液晶表示装置用基板としては次の
2つの態様が好ましい。すなわち、(1)画面外に樹脂
柱を有しており、該樹脂柱上および/または該樹脂柱周
辺に導電性膜を形成している、(2)画面外に導電膜を
形成した上に、樹脂柱を形成している、ものである。
(1)および(2)の態様の例をそれぞれ図5〜図11
に示す。(1)や(2)ような構成の柱を設けること
で、基板上の電荷はこの柱部に集まりやすくなるととも
に、除電が容易になる。
The following two embodiments are preferable as the substrate for a liquid crystal display device of the present invention. That is, (1) a resin pillar is provided outside the screen, and a conductive film is formed on and / or around the resin pillar. (2) A conductive film is formed outside the screen. , Forming a resin column.
Examples of the embodiments (1) and (2) are shown in FIGS.
Shown in By providing the columns having the configurations (1) and (2), the charges on the substrate are easily collected on the columns, and the charge is easily removed.

【0079】図5は柱用樹脂層を形成後、導電膜を形成
した柱の断面図である。図5(A)は、ガラス又はプラ
スチック基板上に直接柱用樹脂層を形成している。図5
(B)〜(E)では、着色層やブラックマトリックス層
の単一層または積層上に柱用樹脂層を形成後に導電膜を
設けた構成の柱の断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view of a pillar on which a conductive film is formed after the pillar resin layer is formed. In FIG. 5A, a pillar resin layer is formed directly on a glass or plastic substrate. FIG.
(B) to (E) are cross-sectional views of columns having a configuration in which a conductive film is provided after a column resin layer is formed on a single layer or a stacked layer of a coloring layer or a black matrix layer.

【0080】図6(A)〜(D)は着色層やブラックマ
トリックス層の単一層または積層上に導電膜を設けた構
成の柱の断面図である。
FIGS. 6A to 6D are sectional views of columns having a structure in which a conductive film is provided on a single layer or a stacked layer of a coloring layer or a black matrix layer.

【0081】図7は図5(A)〜(E)において透明導
電膜形成前に透明保護膜を形成した構成の柱の断面図で
ある。
FIG. 7 is a sectional view of a column having a structure in which a transparent protective film is formed before forming a transparent conductive film in FIGS. 5A to 5E.

【0082】図8は図6(A)〜(D)において透明導
電膜形成前に透明保護膜を形成した構成の柱の断面図で
ある。
FIG. 8 is a sectional view of a column having a structure in which a transparent protective film is formed before forming a transparent conductive film in FIGS. 6A to 6D.

【0083】図9は透明保護膜を形成した後に柱用樹脂
層を形成し、透明導電膜を形成した構成の柱の断面図で
ある。
FIG. 9 is a cross-sectional view of a column having a configuration in which a columnar resin layer is formed after forming a transparent protective film and a transparent conductive film is formed.

【0084】図10は透明保護膜および透明導電膜を形
成した後に、柱用樹脂層を形成した構成の柱の断面図で
ある。
FIG. 10 is a sectional view of a pillar having a structure in which a transparent protective film and a transparent conductive film are formed, and then a pillar resin layer is formed.

【0085】図11は透明導電膜を形成した後に、柱用
樹脂層を形成した構成の柱の断面図である。
FIG. 11 is a sectional view of a column having a configuration in which a columnar resin layer is formed after a transparent conductive film is formed.

【0086】基板上に発生する帯電量にあわせて、複数
の構成の柱を組み合わせることも好ましい。
It is also preferable to combine a plurality of columns in accordance with the amount of charge generated on the substrate.

【0087】加えて(1)、(2)の態様において、対
向する液晶表示装置用基板上の、柱が突き当たる箇所に
導電膜を有しても良いし、有しなくても良い。突き当た
る箇所に導電膜を形成することで、2枚の液晶表示装置
用基板を張りあわせる時に生じる放電を制御することが
できる。ただし、張りあわせ基板の不要部分を切り落と
した後の、液晶表示装置において、画面外の柱および/
またはその周辺の導電膜と、同一基板内の表示領域とが
電気的に接続されていないことが好ましい。液晶表示装
置を駆動したときに、画面外の柱が電気的なノイズをひ
ろうことで、表示が不安定になる場合があるからであ
る。
In addition, in the embodiments (1) and (2), a conductive film may or may not be provided at a position where the column abuts on the opposing liquid crystal display device substrate. By forming the conductive film at the abutting portion, discharge generated when two substrates for a liquid crystal display device are bonded to each other can be controlled. However, after the unnecessary portion of the bonded substrate is cut off, in the liquid crystal display device, columns and / or
Alternatively, it is preferable that the peripheral conductive film and the display region in the same substrate are not electrically connected. This is because, when the liquid crystal display device is driven, the display may become unstable due to electric noise generated by columns outside the screen.

【0088】また画面内に形成する液晶配向膜と同一の
材料を、画面外にも形成してもよい。液晶配向膜は基板
からの不純物溶出のバリヤー層となることがある。画面
内だけでなく画面外にも液晶配向膜を形成することで、
画面外の基板からの不純物溶出を防止することができ
る。画面外に形成する領域としては、画面外の柱部およ
び/またはその周辺の導電膜部等が好ましい。
The same material as the liquid crystal alignment film formed inside the screen may be formed outside the screen. The liquid crystal alignment film may serve as a barrier layer for elution of impurities from the substrate. By forming the liquid crystal alignment film not only inside the screen but also outside the screen,
Elution of impurities from the substrate outside the screen can be prevented. As a region formed outside the screen, a pillar part outside the screen and / or a conductive film part around the pillar part is preferable.

【0089】基板間隔支持部材および柱の上面積は下面
積より小さいことが好ましい。上面積25、下面積26
を図12に示す。上面積25が大きいと除電時に基板間
隔支持部材および柱が放電により破壊される場合があ
る。また埃等がたまりやすく、表示ムラの発生原因とな
る場合がある。
It is preferable that the upper areas of the substrate spacing support members and the columns are smaller than the lower areas. Upper area 25, lower area 26
Is shown in FIG. If the upper area 25 is large, the substrate spacing support member and the column may be destroyed by electric discharge during static elimination. Further, dust and the like easily accumulate, which may cause display unevenness.

【0090】次に液晶表示装置用基板がカラーフィルタ
ーである場合について説明する。
Next, the case where the liquid crystal display substrate is a color filter will be described.

【0091】ここでカラーフィルターの通常の製造工程
としては、例えば特公平2−1311号公報に示されて
いるように、まず基板上にブラックマトリクス、次いで
赤(R)、緑(G)、青(B)の画素を形成せしめ、こ
の上に必要に応じてオーバーコート膜を形成させるもの
である。この後必要に応じて、液晶を電界で駆動させる
ために導電膜が形成される。
Here, as a normal manufacturing process of a color filter, for example, as shown in Japanese Patent Publication No. 2-1311, first, a black matrix is formed on a substrate, then red (R), green (G), blue The pixel (B) is formed, and an overcoat film is formed thereon as necessary. Thereafter, if necessary, a conductive film is formed to drive the liquid crystal by an electric field.

【0092】ブラックマトリックスを構成する遮光層
は、クロムやニッケル等の金属またはそれらの酸化物等
で形成してもよいが、樹脂および遮光剤からなる樹脂ブ
ラックマトリックスを用いることが製造コストや廃棄物
処理コストの面から好ましい。また、樹脂ブラックマト
リックス層は、液晶パネル体の表示に問題のない遮光性
能を保ちつつ、その厚さを0.5μm〜2.0μmの範
囲で形成することができる。そこでブラックマトリック
ス層上に基板間隔支持部材を形成する場合やブラックマ
トリックス層に基板間隔支持部材を突き当てる場合にお
いては、基板間隔をブラックマトリックス層の厚さで調
節できる。この点からも樹脂ブラックマトリックスの採
用が好ましい。樹脂ブラックマトリクスに用いられる樹
脂としては、特に限定されないが、エポキシ系樹脂、ア
クリル系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、
ポリイミド系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ゼラチンな
どの感光性または非感光性の材料が好ましく用いられ
る。ブラックマトリクス用樹脂は、カラーフィルタの着
色層や保護膜に用いられる樹脂よりも高い耐熱性を有す
る樹脂が好ましく、また、ブラックマトリクス形成後の
工程で使用される有機溶剤に耐性を持つ樹脂が好ましい
ことからポリイミド系樹脂が特に好ましく用いられる。
The light-shielding layer constituting the black matrix may be formed of a metal such as chromium or nickel or an oxide thereof, but the use of a resin black matrix composed of a resin and a light-shielding agent makes it difficult to reduce the production cost and waste. It is preferable from the viewpoint of processing cost. In addition, the resin black matrix layer can be formed with a thickness in the range of 0.5 μm to 2.0 μm while maintaining light-shielding performance that does not cause a problem in display of the liquid crystal panel body. Therefore, in the case where the substrate spacing support member is formed on the black matrix layer or the case where the substrate spacing support member is abutted against the black matrix layer, the substrate spacing can be adjusted by the thickness of the black matrix layer. From this viewpoint, it is preferable to use a resin black matrix. The resin used for the resin black matrix is not particularly limited, but may be an epoxy resin, an acrylic resin, a urethane resin, a polyester resin,
A photosensitive or non-photosensitive material such as a polyimide resin, a polyolefin resin, and gelatin is preferably used. The resin for the black matrix is preferably a resin having higher heat resistance than the resin used for the coloring layer or the protective film of the color filter, and a resin having resistance to the organic solvent used in the step after the formation of the black matrix is preferable. For this reason, a polyimide resin is particularly preferably used.

【0093】ポリイミド系樹脂としては、特に限定され
ないが、通常下記一般式(2)で表される構造単位を主
成分とするポリイミド前駆体(n=1〜2)を、加熱も
しくは適当な触媒によってイミド化したものが好適に用
いられる。
The polyimide resin is not particularly limited, but usually a polyimide precursor (n = 1 to 2) having a structural unit represented by the following general formula (2) as a main component is heated or heated by an appropriate catalyst. Those imidized are preferably used.

【0094】[0094]

【化2】 Embedded image

【0095】また、ポリイミド系樹脂には、イミド結合
の他に、アミド結合、スルホン結合、エーテル結合、カ
ルボニル結合などのイミド結合以外の結合が含まれてい
ても差支えない。
The polyimide resin may contain a bond other than an imide bond such as an amide bond, a sulfone bond, an ether bond, and a carbonyl bond in addition to the imide bond.

【0096】上記一般式(2)中、R3 は少なくとも2
個以上の炭素原子を有する3価または4価の有機基であ
る。耐熱性の面から、R3 は環状炭化水素、芳香族環ま
たは芳香族複素環を含有し、かつ、炭素数6〜30の3
価または4価の基が好ましい。 R3 の例として、フェ
ニル基、ビフェニル基、ターフェニル基、ナフタレン
基、ペリレン基、ジフェニルエーテル基、ジフェニルス
ルホン基、ジフェニルプロパン基、ベンゾフェノン基、
ビフェニルトリフルオロプロパン基、シクロブチル基、
シクロペンチル基などが挙げられるが、これらに限定さ
れない。
In the general formula (2), R 3 is at least 2
A trivalent or tetravalent organic group having at least two carbon atoms. From the viewpoint of heat resistance, R 3 contains a cyclic hydrocarbon, an aromatic ring or an aromatic heterocyclic ring, and has 3 to 6 carbon atoms.
A valent or tetravalent group is preferred. Examples of R 3 include a phenyl group, a biphenyl group, a terphenyl group, a naphthalene group, a perylene group, a diphenylether group, a diphenylsulfone group, a diphenylpropane group, a benzophenone group,
Biphenyl trifluoropropane group, cyclobutyl group,
Examples include, but are not limited to, cyclopentyl groups.

【0097】R4 は少なくとも2個以上の炭素原子を有
する2価の有機基であるが、耐熱性の面から、R4 は環
状炭化水素、芳香族環又は芳香族複素環を含有し、かつ
炭素数6〜30の2価の基が好ましい。R4 の例とし
て、フェニル基、ビフェニル基、ターフェニル基、ナフ
タレン基、ペリレン基、ジフェニルエーテル基、ジフェ
ニルスルホン基、ジフェニルプロパン基、ベンゾフェノ
ン基、ビフェニルトリフルオロプロパン基、ジフェニル
メタン基、ジシクロヘキシルメタン基などが挙げられる
が、これらに限定されない。構造単位(2)を主成分と
するポリマは、R 3 、R4 がこれらのうち各々1種から
構成されていても良いし、各々2種以上から構成される
共重合体であつてもよい。さらに、基板との接着性を向
上させるために、耐熱性を低下させない範囲でジアミン
成分として、シロキサン構造を有するビス(3−アミノ
プロピル)テトラメチルジシロキサンなどを共重合する
のが好ましい。
RFour Has at least two carbon atoms
Is a divalent organic group, but from the viewpoint of heat resistance, RFour Is a ring
Containing a hydrocarbon, an aromatic ring or an aromatic heterocycle, and
A divalent group having 6 to 30 carbon atoms is preferable. RFour As an example
Phenyl, biphenyl, terphenyl, naph
Talene group, perylene group, diphenyl ether group, diphe
Nyl sulfone group, diphenylpropane group, benzopheno
Group, biphenyltrifluoropropane group, diphenyl
Methane group, dicyclohexylmethane group, etc.
However, it is not limited to these. Structural unit (2) as main component
Polymer is R Three , RFour Is from one of each of these
It may be composed of two or more types.
It may be a copolymer. Furthermore, it improves adhesion to the substrate.
Diamine as long as heat resistance is not reduced.
As a component, bis (3-amino) having a siloxane structure
Propyl) tetramethyldisiloxane
Is preferred.

【0098】構造単位(2)を主成分とするポリマーの
具体的な例として、ピロメリット酸二無水物、3、3
´,4、4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水
物、3、3´,4、4´−ビフェニルトリフルオロプロ
パンテトラカルボン酸二無水物、3、3´,4、4´−
ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、2,
3,5,−トリカルボキシシクロペンチル酢酸二無水物
などからなる群から選ばれた1種以上のカルボン酸二無
水物と、パラフェニレンジアミン、3、3´−ジアミノ
ジフェニルエーテル、4、4´−ジアミノジフェニルエ
ーテル、3、4´ジアミノジフェニルエーテル、3、3
´−ジアミノジフェニルスルホン、4、4´−ジアミノ
ジフェニルスルホン、4、4´−ジアミノジシクロヘキ
シルメタン、4、4´−ジアミノジフェニメタンなどの
群から選ばれた1種以上のジアミンから合成されたポリ
イミド前駆体が挙げられるが、これらに限定されない。
これらのポリイミド前駆体は公知の方法すなわち、テト
ラカルボン酸二無水物とジアミンを選択的に組み合わ
せ、溶媒中で反応させることにより合成される。
Specific examples of the polymer having the structural unit (2) as a main component include pyromellitic dianhydride, 3, 3
', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-biphenyltrifluoropropanetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-
Biphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 2,
At least one carboxylic acid dianhydride selected from the group consisting of 3,5, -tricarboxycyclopentylacetic acid dianhydride and the like, and paraphenylenediamine, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl ether 3,4 'diaminodiphenyl ether, 3,3
Polyimide synthesized from one or more diamines selected from the group of '-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodicyclohexylmethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane Precursors, but are not limited thereto.
These polyimide precursors are synthesized by a known method, that is, by selectively combining tetracarboxylic dianhydride and diamine and reacting them in a solvent.

【0099】ブラックマトリクス用の遮光剤としては、
カーボンブラック、チタンブラック、四酸化鉄などの金
属酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉、顔料やこれらの混
合物などを用いることができる。この中でも、特にカー
ボンブラックやチタンブラックは遮光性が優れており、
特に好ましい。分散のよい粒径の小さいカーボンブラッ
クは主として茶系統の色調を呈するので、カーボンブラ
ックに対する補色の顔料を混合させて無彩色にするのが
好ましい。ブラックマトリックスにチタンブラックを用
いる場合のチタンブラックは、TiNxOy(ただし、
0≦x<1.5、0.1<y<1.8)の組成からなる
ことが好ましい。
As a light shielding agent for a black matrix,
Metal oxide powders such as carbon black, titanium black and iron tetroxide, metal sulfide powders, metal powders, pigments, and mixtures thereof can be used. Among them, especially carbon black and titanium black have excellent light-shielding properties,
Particularly preferred. Since carbon black having a good dispersion and a small particle diameter mainly exhibits a brownish color tone, it is preferable to mix a pigment of a complementary color to the carbon black to obtain an achromatic color. When using titanium black for the black matrix, titanium black is TiNxOy (however,
It is preferable that the composition is such that 0 ≦ x <1.5 and 0.1 <y <1.8).

【0100】ブラックマトリクス用の樹脂がポリイミド
の場合、黒色ペースト溶媒としては、通常、N−メチル
−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、
N,N−ジメチルホルムアミドなどのアミド系極性溶
媒、γ−ブチロラクトンなどのラクトン系極性溶媒など
が好適に使用される。
When the resin for the black matrix is polyimide, the black paste solvent is usually N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide,
Amide polar solvents such as N, N-dimethylformamide and lactone polar solvents such as γ-butyrolactone are preferably used.

【0101】カーボンブラックやカーボンブラックに対
して補色の顔料等の遮光剤を分散させる方法としては、
例えば、ポリイミド前駆体溶液中に遮光剤や分散剤等を
混合させた後、三本ロール、サンドグラインダー、ボー
ルミル等の分散機中で分散させる方法などがあるが、こ
の方法に特に限定されない。また、カーボンブラックの
分散性向上、あるいは塗布性やレベリング性向上のため
に種々の添加剤が加えられていてもよい。
As a method for dispersing a light-shielding agent such as a complementary color pigment in carbon black or carbon black,
For example, there is a method in which a light-shielding agent, a dispersant, and the like are mixed in the polyimide precursor solution and then dispersed in a disperser such as a three-roll mill, a sand grinder, and a ball mill, but the method is not particularly limited. In addition, various additives may be added for improving the dispersibility of carbon black, or for improving applicability and leveling property.

【0102】樹脂ブラックマトリクスの製法としては、
例えば黒色樹脂組成物を基板上に塗布・乾燥した後に、
パターニングを行う方法などがある。黒色樹脂組成物を
塗布する方法としては、ディップ法、ロールコータ法、
スピナー法、ダイコーティング法、ワイヤーバーによる
方法などが好適に用いられ、この後、オーブンやホット
プレートを用いて加熱乾燥を行う。セミキュア条件は、
使用する樹脂、溶媒、ペースト塗布量により異なるが、
通常60〜200℃で1〜60分加熱することが好まし
い。
The method for producing the resin black matrix is as follows.
For example, after applying and drying a black resin composition on a substrate,
There is a method of performing patterning. As a method of applying the black resin composition, a dipping method, a roll coater method,
A spinner method, a die coating method, a method using a wire bar, or the like is suitably used, and thereafter, heating and drying are performed using an oven or a hot plate. The semi-cure condition is
It depends on the resin used, solvent and paste application amount,
Usually, it is preferable to heat at 60 to 200 ° C. for 1 to 60 minutes.

【0103】このようにして得られた黒色樹脂組成物の
被膜は、樹脂が非感光性の樹脂である場合は、その上に
フォトレジストの被膜を形成した後に、また、樹脂が感
光性の樹脂である場合は、そのままかあるいは酸素遮断
膜を形成した後に、露光・現像を行う。必要に応じて、
フォトレジストまたは酸素遮断膜を除去し、また、加熱
乾燥する。加熱乾燥条件は、前駆体からポリイミド系樹
脂を得る場合には、塗布量により若干異なるが、通常2
00〜300℃で1〜60分加熱するのが一般的であ
る。以上のプロセスにより、基板上にブラックマトリク
ス層が形成される。
In the case where the resin is a non-photosensitive resin, the coating of the black resin composition thus obtained is formed after forming a photoresist coating thereon. In this case, exposure and development are performed as they are or after forming an oxygen barrier film. If necessary,
The photoresist or the oxygen barrier film is removed, and the film is dried by heating. The heating and drying conditions are slightly different depending on the coating amount when a polyimide resin is obtained from the precursor.
It is general to heat at 00 to 300 ° C. for 1 to 60 minutes. Through the above process, a black matrix layer is formed on the substrate.

【0104】また、ブラックマトリクスの遮光性は、O
D値(透過率の逆数の常用対数)で表されるが、液晶表
示装置の表示品位を向上させるためには、OD値は好ま
しくは2.0以上であり、より好ましくは2.5以上、
さらに好ましくは3.0以上である。また、樹脂ブラッ
クマトリクスの膜厚の好適な範囲を前述したが、OD値
の上限は、これとの関係で定められるべきである。なお
OD値の測定には大塚電子(株)製の顕微分光MCPD
2000を用い、ブラックマトリックスの形成されてい
ない基板をリファレンスとして測定したものである。
The light shielding property of the black matrix is O
It is represented by D value (common logarithm of reciprocal of transmittance). In order to improve the display quality of the liquid crystal display device, the OD value is preferably 2.0 or more, more preferably 2.5 or more.
More preferably, it is 3.0 or more. The preferred range of the thickness of the resin black matrix has been described above, but the upper limit of the OD value should be determined in relation to this. The OD value was measured using a microspectrophotometer MCPD manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.
Using 2000, a substrate without a black matrix was measured as a reference.

【0105】ブラックマトリクスの反射率は、反射光に
よる影響を低減し液晶表示装置の表示品位を向上させる
ために、400〜700nmの可視領域での視感度補正
された反射率(Y値)で2%以下が好ましく、より好ま
しくは1%以下である。なお、反射率の測定には大塚電
子(株)製の顕微分光MCPD2000を用い、アルミ
薄膜をリファレンスとして測定したものである。
The reflectance of the black matrix is represented by a reflectance (Y value) obtained by correcting the visibility in the visible region of 400 to 700 nm in order to reduce the influence of the reflected light and improve the display quality of the liquid crystal display device. % Or less, more preferably 1% or less. The reflectance was measured by using a microspectroscopic light MCPD2000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd. using an aluminum thin film as a reference.

【0106】表示画面内のブラックマトリクス間には、
通常(20〜200)μm×(20〜300)μmの開
口部が設けられるが、液晶パネル体を構成する一対の基
板の内のどちらか一方の開口部に相当する位置に3原色
からなる画素が複数配列される。
Between the black matrices in the display screen,
Usually, an opening of (20 to 200) μm × (20 to 300) μm is provided, but pixels of three primary colors are provided at positions corresponding to one of the pair of substrates constituting the liquid crystal panel body. Are arranged in a plurality.

【0107】画素を形成する着色層は、少なくとも3原
色の色彩を含む。すなわち、加色法によりカラー表示を
行う場合は、赤(R)、緑(G)、青(B)の3原色が
選ばれ、減色法によりカラー表示を行う場合は、シアン
(C)、マゼンタ(M)、イエロー(Y)の3原色が選
ばれる。一般には、これらの3原色を含んだ要素を1単
位としてカラー表示の絵素とすることができる。着色層
には、着色剤により着色された樹脂が用いられる。いわ
ゆるモノクロカラーフィルターにおいては、表示領域に
着色剤により着色された樹脂を用いないのでカラー表示
を行うことができないが、画像の解像度が求められる用
途の表示装置用として好適に用いられる。
The coloring layers forming the pixels include at least three primary colors. That is, when performing color display by the additive color method, three primary colors of red (R), green (G), and blue (B) are selected. When performing color display by the subtractive color method, cyan (C) and magenta are used. (M) and three primary colors of yellow (Y) are selected. Generally, a picture element for color display can be formed by using an element including these three primary colors as one unit. For the coloring layer, a resin colored with a coloring agent is used. In a so-called monochrome color filter, a color display cannot be performed because a resin colored with a coloring agent is not used in a display area, but it is suitably used for a display device for applications requiring image resolution.

【0108】着色層に用いられる着色剤としては、有機
顔料、無機顔料、染料などを好適に用いることができ、
さらには、紫外線吸収剤、分散剤、レベリング剤などの
種々の添加剤を添加しても良い。有機顔料としては、フ
タロシアニン系、アジレーキ系、縮合アゾ系、キナクリ
ドン系、アントラキノン系、ペリレン系、ペリノン系が
好適に用いられる。
As the coloring agent used in the coloring layer, organic pigments, inorganic pigments, dyes, and the like can be preferably used.
Further, various additives such as an ultraviolet absorber, a dispersant, and a leveling agent may be added. As the organic pigment, phthalocyanine-based, aziraki-based, condensed azo-based, quinacridone-based, anthraquinone-based, perylene-based, and perinone-based pigments are preferably used.

【0109】着色層に用いられる樹脂としては、エポキ
シ系樹脂、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリエス
テル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリオレフィン系樹
脂、ゼラチンなどの感光性または非感光性の材料が好ま
しく用いられ、着色剤をこれらの樹脂中に分散あるいは
溶解させて着色することが好ましい。感光性の樹脂とし
ては、光分解型樹脂、光架橋型樹脂光重合型樹脂などの
タイプがあり、特に、エチレン不飽和結合を有するモノ
マ、オリゴマまたはポリマと紫外線によりラジカルを発
生する開始剤とを含む感光性組成物、感光性ポリアミッ
ク酸組成物などが好適に用いられる。非感光性の樹脂と
しては、上記の各種ポリマなどで現像処理が可能なもの
が好ましく用いられるが、透明導電膜の成膜工程や液晶
表示装置の製造工程でかかる熱に耐えられるような耐熱
性を有する樹脂が好ましく、また、液晶表示装置の製造
工程で使用される有機溶剤への耐性を持つ樹脂が好まし
いことから、ポリイミド系樹脂が特に好ましく用いられ
る。
As the resin used for the colored layer, photosensitive or non-photosensitive materials such as epoxy resin, acrylic resin, urethane resin, polyester resin, polyimide resin, polyolefin resin and gelatin are preferably used. It is preferable to disperse or dissolve the colorant in these resins for coloring. As the photosensitive resin, there are types such as a photodecomposable resin, a photocrosslinkable resin and a photopolymerizable resin, and in particular, a monomer, an oligomer or a polymer having an ethylenically unsaturated bond and an initiator which generates a radical by ultraviolet rays. A photosensitive composition, a photosensitive polyamic acid composition, and the like are preferably used. As the non-photosensitive resin, those which can be developed with the above-mentioned various polymers are preferably used. However, heat-resistant resins capable of withstanding such heat in the process of forming a transparent conductive film and the process of manufacturing a liquid crystal display device are preferably used. Is preferable, and a resin having resistance to an organic solvent used in a manufacturing process of a liquid crystal display device is preferable. Therefore, a polyimide resin is particularly preferably used.

【0110】着色層を形成する方法としては、例えば、
着色樹脂組成物を基板上に塗布・乾燥した後に、パター
ニングを行う方法などがある。着色剤を分散または溶解
させ着色樹脂組成物を得る方法としては、溶媒中に樹脂
と着色剤を混合させた後、三本ロール、サンドグライン
ダー、ボールミル等の分散機中で分散させる方法などが
あるが、この方法に特に限定されない。
As a method for forming a colored layer, for example,
There is a method of patterning after applying and drying the colored resin composition on the substrate. Examples of a method of obtaining a colored resin composition by dispersing or dissolving a colorant include a method in which a resin and a colorant are mixed in a solvent and then dispersed in a dispersing machine such as a three-roll, sand grinder, and ball mill. However, the method is not particularly limited.

【0111】着色樹脂組成物を塗布する方法としては、
黒色樹脂組成物の場合と同様、ディップ法、ロールコー
タ法、スピナー法、ダイコーティング法、ワイヤーバー
による方法などが好適に用いられ、この後、オーブンや
ホットプレートを用いて加熱乾燥を行う。加熱乾燥条件
は、使用する樹脂、溶媒、樹脂組成物の塗布量によりこ
となるが通常60〜200℃で1〜60分加熱すること
が好ましい。 このようにして得られた着色樹脂組成物
の被膜は、樹脂が非感光性の樹脂である場合は、その上
にフォトレジストの被膜を形成した後に、また、樹脂が
感光性の樹脂である場合は、そのままかあるいはポリビ
ニルアルコールなどの酸素遮断膜を形成した後に、露光
・現像を行う。必要に応じて、フォトレジストまたは酸
素遮断膜を除去し、また、加熱乾燥する。加熱乾燥条件
は、樹脂により異なるが、前駆体からポリイミド系樹脂
を得る場合には、通常200〜300℃で1〜60分加
熱するのが一般的である。以上のプロセスにより、基板
上にパターニングされた着色層が形成される。
As a method for applying the colored resin composition,
As in the case of the black resin composition, a dip method, a roll coater method, a spinner method, a die coating method, a method using a wire bar, and the like are suitably used, and thereafter, heating and drying are performed using an oven or a hot plate. The heating and drying conditions vary depending on the resin used, the solvent, and the amount of the resin composition applied, but it is usually preferable to heat at 60 to 200 ° C for 1 to 60 minutes. In the case where the resin is a non-photosensitive resin, the coating of the colored resin composition thus obtained is formed after forming a photoresist coating thereon, or when the resin is a photosensitive resin. Is exposed or developed as it is or after forming an oxygen barrier film such as polyvinyl alcohol. If necessary, the photoresist or the oxygen blocking film is removed, and the film is dried by heating. The heating and drying conditions vary depending on the resin, but when a polyimide-based resin is obtained from a precursor, it is generally heated at 200 to 300 ° C. for 1 to 60 minutes. Through the above process, a patterned colored layer is formed on the substrate.

【0112】液晶表示装置用基板が、複数色の着色層に
より形成された画素を有するカラーフィルターである場
合、画素のうちの2色および/または3色の着色層を積
層し、柱としても良い。またブラックマトリックス層と
同一の材料からなる下地の上に、画素のうちの1色およ
び/または2色および/または3色の着色層を積層し、
柱としても良い。
When the substrate for a liquid crystal display device is a color filter having pixels formed of colored layers of a plurality of colors, colored layers of two and / or three colors of the pixels may be laminated to form columns. . In addition, a colored layer of one color and / or two colors and / or three colors of pixels is laminated on a base made of the same material as the black matrix layer,
It may be a pillar.

【0113】本発明において基板上に必要に応じて、液
晶を駆動させるために必要な導電膜を形成してもよい。
導電膜は、ディッピング法、化学気相成長、真空蒸着
法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の方
法を経て作製される。本発明に使用される導電膜として
は、抵抗値が低く、透明性が高く、カラー表示特性を損
なわれないものが好ましい。代表的な透明導電膜の具体
例を示すと、酸化インジウムスズ(ITO)、酸化亜
鉛、酸化スズ等およびその合金などを用いることができ
る。このような透明導電膜の厚みは、0.01〜1μm
であることが好ましく、さらに好ましくは0.03〜
0.5μmである。導電膜の形成順は特に限定されない
が、基板間隔支持部材を有する基板上に導電膜を形成す
る場合には、基板間隔支持部材形成前が液晶を駆動する
上で好ましい。
In the present invention, a conductive film necessary for driving the liquid crystal may be formed on the substrate as needed.
The conductive film is manufactured through a method such as dipping, chemical vapor deposition, vacuum evaporation, sputtering, or ion plating. As the conductive film used in the present invention, those having a low resistance value, high transparency, and which do not impair color display characteristics are preferable. As a specific example of a typical transparent conductive film, indium tin oxide (ITO), zinc oxide, tin oxide, an alloy thereof, and the like can be used. The thickness of such a transparent conductive film is 0.01 to 1 μm
And more preferably 0.03 to
0.5 μm. There is no particular limitation on the order in which the conductive films are formed. However, in the case where a conductive film is formed over a substrate having a substrate spacing support member, it is preferable that the liquid crystal be driven before the formation of the substrate spacing support member.

【0114】通常、透明電極はLCDの表示領域のみに
形成されるが、本発明においては導電膜が画面外にも形
成される。また、近年広く採用されはじめた広視野角特
性を特徴とするIPS方式のLCDにおいては表示領域
に透明電極は設けられていないため、本発明においては
非表示領域にのみ導電膜が設けられることになる。本発
明における画面外の導電膜は表示領域の導電膜と同時に
実施しても、別々に実施しても良い。
Usually, the transparent electrode is formed only in the display area of the LCD, but in the present invention, the conductive film is also formed outside the screen. Further, in the IPS type LCD characterized by a wide viewing angle characteristic, which has begun to be widely adopted in recent years, since a transparent electrode is not provided in a display region, a conductive film is provided only in a non-display region in the present invention. Become. The conductive film outside the screen in the present invention may be formed simultaneously with or separately from the conductive film in the display region.

【0115】基板上の着色層上および/またはブラック
マトリックス層上に透明保護膜を設けても差支えない。
透明保護膜の形成は、カラーフィルターに透明電極を形
成する場合には、駆動電圧の損出を少なくするために、
透明電極の形成前が好ましい。
A transparent protective film may be provided on the colored layer on the substrate and / or on the black matrix layer.
The formation of the transparent protective film, when forming a transparent electrode on the color filter, to reduce the loss of driving voltage,
Before the formation of the transparent electrode is preferred.

【0116】本発明の着色層やブラックマトリックスに
は、必要に応じて薄膜トランジスタ(TFT)素子や、
薄膜ダイオード(TFD)素子、および走査線、信号線
などを設けてもよい。
The coloring layer and the black matrix of the present invention may have a thin film transistor (TFT) element,
A thin film diode (TFD) element, a scan line, a signal line, and the like may be provided.

【0117】薄膜トランジスタ素子を備えた基板の製造
方法の一例を以下に示す。
An example of a method for manufacturing a substrate provided with a thin film transistor element will be described below.

【0118】無アルカリガラス基板上にスパッタリング
によりクロム薄膜を形成し、フォトリソグラフィーにて
ゲート電極をパターニングする。次に、プラズマCVD
により、絶縁膜として窒化珪素膜、アモルファスシリコ
ン膜およびエッチングストッパとして窒化珪素膜を連続
形成する。次に、フォトリソグラフィーにてエッチング
ストッパの窒化珪素膜をパターニングする。TFT端子
が金属電極とオーミックコンタクトをとるためのn+ア
モルファスシリコン膜の成膜とパターニングをし、さら
に、表示電極となるITO膜を成膜しパターニングす
る。さらに配線材料としてアルミニウムをスパッタリン
グにより膜付けし、フォトリソグラフィーにて信号配線
およびTFTの金属電極を作製する。ドレイン電極とソ
ース電極をマスクとしてチャンネル部のn+アモルファ
スシリコン膜をエッチング除去し、TFT素子備えた電
極基板を得る。反射型の液晶表示素子の場合は、表示電
極をアルミニウムや銀などの反射率の高い材料とする。
A chromium thin film is formed on an alkali-free glass substrate by sputtering, and the gate electrode is patterned by photolithography. Next, plasma CVD
Thereby, a silicon nitride film, an amorphous silicon film as an insulating film, and a silicon nitride film as an etching stopper are continuously formed. Next, the silicon nitride film serving as an etching stopper is patterned by photolithography. An n + amorphous silicon film is formed and patterned for the TFT terminal to make an ohmic contact with the metal electrode, and an ITO film to be a display electrode is formed and patterned. Further, aluminum is applied as a wiring material by sputtering, and signal wiring and a metal electrode of a TFT are formed by photolithography. Using the drain electrode and the source electrode as masks, the n + amorphous silicon film in the channel portion is removed by etching to obtain an electrode substrate provided with a TFT element. In the case of a reflective liquid crystal display element, the display electrode is made of a material having a high reflectance such as aluminum or silver.

【0119】次に液晶表示装置について説明する。本発
明の液晶表示装置の一例を図13(A)、(B)に示
す。図13(A)は柱が対向する基板に当接する例であ
り、図13(B)は柱が対向する基板に当接させない例
である。図13(A)のように柱を対向する基板に当接
するように形成することで、基板間隔支持部材として機
能させることができる。対向する基板に柱を当接させ
る、当接させないは対向する箇所の設計によって決めれ
ばよい。柱12と基板間隔支持部材20と着色層14,
19とブラックマトリックス層16を形成した液晶表示
装置用基板(カラーフィルタ)と対向する液晶表示装置
用基板とを貼り合わせて作製する。対向する液晶表示装
置用基板上には、補助容量、画素電極29,32以外
に、薄膜トランジスタ(TFT)素子やおよびゲート電
極30、信号線などを設ける。一対の液晶表示装置用基
板上には液晶配向膜28が設けられ、ラビングなどによ
る配向処理が施される。配向処理後にシール剤38を用
いてカラーフィルタおよび対向基板を貼り合わせ、シー
ル部に設けられた注入口から液晶27を注入した後に、
注入口を封止する。偏光板を基板の外側に貼り合わせ後
にICドライバー等を実装することにより液晶パネル体
が完成する。
Next, the liquid crystal display will be described. FIGS. 13A and 13B show an example of the liquid crystal display device of the present invention. FIG. 13A illustrates an example in which a pillar abuts on an opposing substrate, and FIG. 13B illustrates an example in which a pillar does not abut an opposing substrate. By forming the pillar so as to be in contact with the opposing substrate as shown in FIG. 13A, the column can function as a substrate spacing support member. The column may or may not be brought into contact with the opposing substrate depending on the design of the opposing portion. The pillar 12, the substrate spacing support member 20, the coloring layer 14,
A liquid crystal display device substrate (color filter) on which the black matrix layer 16 and the liquid crystal display device 19 are formed is bonded to a facing liquid crystal display device substrate. On the opposing substrate for a liquid crystal display device, a thin film transistor (TFT) element, a gate electrode 30, a signal line, and the like are provided in addition to the storage capacitor and the pixel electrodes 29 and 32. A liquid crystal alignment film 28 is provided on a pair of substrates for a liquid crystal display device, and is subjected to an alignment process such as rubbing. After the alignment treatment, the color filter and the opposing substrate are attached to each other using the sealant 38, and the liquid crystal 27 is injected from an injection port provided in the seal portion.
Seal the inlet. A liquid crystal panel is completed by mounting an IC driver or the like after attaching the polarizing plate to the outside of the substrate.

【0120】また、使用する液晶としては特に限定され
ないが、より好ましくはネマチック液晶やスメクチック
液晶が良好な表示を得るために用いられる。スメクチッ
ク液晶には強誘電性液晶や反強誘電性液晶や無しきい値
反強誘電性液晶等が含まれる。
The liquid crystal to be used is not particularly limited, but more preferably a nematic liquid crystal or a smectic liquid crystal is used for obtaining a good display. The smectic liquid crystal includes a ferroelectric liquid crystal, an antiferroelectric liquid crystal, a thresholdless antiferroelectric liquid crystal, and the like.

【0121】同様に表示方式においても特に限定はな
い。たとえば、ネマチック液晶を用いた表示方式として
は、ツイステッド・ネマチック型方式(TN)、スーパ
ー・ツイステッド・ネマチック型方式(STN)、垂直
配向型方式(VA)、イン・プレイン・スイッチング方
式(IPS)等があげられる。これらの液晶の配向分割
をした方式、たとえば垂直配向を分割した表示方式、た
とえばいわゆるマルチ・ドメイン・バーチカル・アライ
メント型方式(MVA)(文献としては例えば(1) MV
A液晶ディスプレイにおける配向制御技術、P117
EKISHO Vol.3 No.2 1999、(2)
SID2000 25.3:An Ultra−hig
h−quality MVA−LCD Using a
NewMulti−Layer CF Resin
Spacer and Black−Matrix、
(3)SID2000 23.1:Fast−Switc
hing LCD with Multi−Domai
n Vertical Alignment Driv
en by an Oblique Electric
Field、(4)特許第2947350号公報)等に
も好適に用いられる。
Similarly, there is no particular limitation on the display method. For example, display methods using a nematic liquid crystal include a twisted nematic type (TN), a super twisted nematic type (STN), a vertical alignment type (VA), an in-plane switching type (IPS), and the like. Is raised. A system in which these liquid crystals are divided into alignments, for example, a display system in which vertical alignment is divided, for example, a so-called multi-domain vertical alignment type system (MVA) (for example, (1) MV
A Alignment control technology in liquid crystal displays, P117
EKISHO Vol. 3 No. 2 1999, (2)
SID2000 25.3: An Ultra-hig
h-quality MVA-LCD Using a
NewMulti-Layer CF Resin
Spacer and Black-Matrix,
(3) SID2000 23.1: Fast-Switc
hing LCD with Multi-Domai
n Vertical Alignment Drive
en by an Oblique Electric
Field, (4) Japanese Patent No. 2947350) and the like.

【0122】本発明のカラーフィルタおよびそれを用い
たカラー液晶表示装置は、パソコン、ワードプロセッサ
ー、エンジニアリング・ワークステーション、ナビゲー
ションシステム、液晶テレビ、ビデオなどの表示画面に
用いられ、また、液晶プロジェクションなどにも好適に
用いられる。また、光通信や光情報処理の分野におい
て、液晶を用いた空間変調素子としても好適に用いられ
る。空間変調素子は、素子への入力信号に応じて、素子
に入射する光の強度や位相、偏向方向等を変調させるも
ので、実時間ホログラフィーや空間フィルタ、インコヒ
ーレント/コヒーレント変換等に用いられるものであ
る。
The color filter of the present invention and the color liquid crystal display device using the same are used for display screens of personal computers, word processors, engineering workstations, navigation systems, liquid crystal televisions, videos, etc. It is preferably used. Further, in the field of optical communication and optical information processing, it is suitably used as a spatial modulation element using a liquid crystal. A spatial modulation element modulates the intensity, phase, deflection direction, etc. of light incident on the element according to an input signal to the element, and is used for real-time holography, a spatial filter, incoherent / coherent conversion, and the like. It is.

【0123】[0123]

【実施例】以下、好ましい実施態様を用いて本発明を更
に詳しく説明するが、用いた実施態様によって本発明の
効力はなんら制限されるものでない。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to preferred embodiments, but the efficacy of the present invention is not limited by the embodiments used.

【0124】[実施例1] (1.カラーフィルターの作製) (樹脂ブラックマトリクスの作成)3,3´、4,4´
−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、4,4´−ジ
アミノジフェニルエーテル、および、ビス(3−アミノ
プロピル)テトラメチルジシロキサンをN−メチル−2
−ピロリドンを溶媒として反応させ、ポリイミド前駆体
(ポリアミック酸)溶液を得た。
[Example 1] (1. Preparation of color filter) (Preparation of resin black matrix) 3, 3 ', 4, 4'
-Biphenyltetracarboxylic dianhydride, 4,4'-diaminodiphenyl ether, and bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane with N-methyl-2
The reaction was carried out using pyrrolidone as a solvent to obtain a polyimide precursor (polyamic acid) solution.

【0125】下記の組成を有するカーボンブラックミル
ベースをホモジナイザーを用いて、7000rpm で
30分分散し、ガラスビーズを濾過して、ブラックペー
ストを調製した。
A carbon black mill base having the following composition was dispersed at 7000 rpm for 30 minutes using a homogenizer, and the glass beads were filtered to prepare a black paste.

【0126】 カーボンブラックミルベース カーボンブラック(MA100、三菱化成(株)製):4.6部 ポリイミド前駆体溶液:24.0部 N−メチルピロリドン:61.4部 ガラスビーズ:90.0部 300×350mmのサイズの無アルカリガラス(日本
電気ガラス(株)製、OA−2)基板上にスピナーを用
いて、ブラックペーストを塗布し、オーブン中135℃
で20分間セミキュアした。続いて、ポジ型レジスト
(Shipley“Microposit”RC100
30cp)をスピナーで塗布し、90℃で10分間乾
燥した。レジスト膜厚は1.5μmとした。キャノン
(株)製露光機PLA−501Fを用い、ブラックマト
リックス部、額縁部、柱の一部(土台部)のパターンを
もつフォトマスクを介して、露光を行った。次に、テト
ラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)を2重
量%含んだ23℃の水溶液を現像液に用い、基板を現像
液にディップさせ、同時に10cm幅を5秒で1往復す
るように基板を揺動させて、ポジ型レジストの現像とポ
リイミド前駆体のエッチングを同時に行った。現像時間
は、60秒であった。その後、メチルセルソルブアセテ
ートでポジ型レジストを剥離し、さらに、300℃で3
0分間キュアし、ブラックマトリックス部、額縁部、土
台部のパターンを有する樹脂ブラックマトリクス基板を
得た。樹脂ブラックマトリクスの膜厚は、0.90μm
であり、OD値は3.0であった。また、樹脂ブラック
マトリクスとガラス基板との界面における反射率(Y
値)は1.2%であった。画面外の樹脂ブラックマトリ
ックスによる柱の土台の面積は約50000μm2 であ
った。柱の土台は、画面外の液晶表示装置にした際に切
り落とされる領域にも形成されている。約1cm2 あた
り1個の割合で等間隔で周期的に配置した。
Carbon black mill base Carbon black (MA100, manufactured by Mitsubishi Kasei Corporation): 4.6 parts Polyimide precursor solution: 24.0 parts N-methylpyrrolidone: 61.4 parts Glass beads: 90.0 parts 300 × A black paste is applied on a 350 mm-sized non-alkali glass (OA-2, manufactured by NEC Corporation) substrate using a spinner, and placed in an oven at 135 ° C.
For 20 minutes. Subsequently, a positive resist (Shipley “Micropost” RC100)
30 cp) with a spinner and dried at 90 ° C. for 10 minutes. The resist film thickness was 1.5 μm. Using an exposure machine PLA-501F manufactured by Canon Inc., exposure was performed through a photomask having a pattern of a black matrix portion, a frame portion, and a part of a column (base portion). Next, using a 23 ° C. aqueous solution containing 2% by weight of tetramethylammonium hydroxide (TMAH) as a developing solution, the substrate was dipped in the developing solution, and simultaneously the substrate was swung so as to make a 10 cm width reciprocation once in 5 seconds. Then, the development of the positive resist and the etching of the polyimide precursor were performed simultaneously. The development time was 60 seconds. After that, the positive resist was stripped with methyl cellosolve acetate,
After curing for 0 minute, a resin black matrix substrate having a pattern of a black matrix portion, a frame portion, and a base portion was obtained. The thickness of the resin black matrix is 0.90 μm
And the OD value was 3.0. Further, the reflectance at the interface between the resin black matrix and the glass substrate (Y
Value) was 1.2%. The area of the base of the pillar by the resin black matrix outside the screen was about 50,000 μm 2 . The pillar base is also formed in a region that is cut off when the liquid crystal display device is formed outside the screen. They were periodically arranged at equal intervals of about one piece per 1 cm 2 .

【0127】(着色層の作成)次に、赤、緑、青の顔料
として各々Color index No.65300
Pigment Red 177で示されるジアント
ラキノン系顔料、Color Index No.74
265 Pigment Green 36で示される
フタロシアニングリーン系顔料、Color Inde
x No.74160 Pigment Blue 1
5−4で示されるフタロシアニンブルー系顔料を用意し
た。ポリイミド前駆体溶液に上記顔料を各々混合分散さ
せて、赤、緑、青の3種類の着色ペーストを得た。ま
ず、基板上に青ペーストを塗布し、80℃で10分熱風
乾燥し、120℃20分間セミキュアした。この後、ポ
ジ型レジスト(Shipley ”Microposi
t” RC100 30cp )をスピナーで塗布後、
80℃で20分乾燥した。マスクを用いて露光し、アル
カリ現像液(Shipley ”Microposi
t” 351)に基板をディップし、同時に基板を揺動
させながら、ポジ型レジストの現像およびポリイミド前
駆体のエッチングを同時に行なった。その後、ポジ型レ
ジストをメチルセルソルブアセテートで剥離し、さら
に、300℃で30分間キュアした。着色画素部の膜厚
は1.7μmであった。このパターニングにより青色画
素の形成とともに額縁上、画面外のブラックマトリック
スの土台上にさらに青の着色層の土台を形成した。画面
外の青の着色層の土台の面積は約25000μm2 縁上
の青の着色層の土台の面積は約500μm2 であった。
水洗後に、同様にして、赤色画素の形成をおこなった。
柱の土台の形成は新たに行わなかった。赤色画素部の膜
厚は、1.8μmであった。さらに水洗後に、同様にし
て、緑色画素の形成した。柱の土台は形成しなかった。
緑色画素部の膜厚は、1.5μmであった。次に、スパ
ッタリング法により図2(c)のように画面内外にIT
O膜をマスク成膜した。画面外の切り落とされる領域に
も成膜した。ITO膜の膜厚は、150nmであり、表
面抵抗は20Ω/□であった。さらに水洗後に、柱およ
び基板間隔支持部材用の樹脂層の積層をした。樹脂層に
は、上記記載のポリイミド前駆体溶液を用いた。ポリイ
ミド前駆体溶液を塗布し、90℃で15分熱風乾燥し、
125℃20分間セミキュアした。この後、ポジ型レジ
スト(Shipley ”Microposit” R
C100 30cp )をスピナーで塗布後、80℃で
20分乾燥した。マスクを用いて露光し、アルカリ現像
液(Shipley ”Microposit” 35
1)に基板をディップし、同時に基板を揺動させなが
ら、ポジ型レジストの現像およびポリイミド前駆体のエ
ッチングを同時に行なった。その後、ポジ型レジストを
メチルセルソルブアセテートで剥離し、さらに、300
℃で30分間キュアした。樹脂層の膜厚は5.2μmで
あった。このパターニングにより柱および基板間隔支持
部材を、画面内と額縁上、画面外のブラックマトリック
スの土台上に形成した。
(Preparation of Colored Layer) Next, as a red, green, and blue pigment, Color index Nos. 65300
Pigment Red 177, a colorant of Color Index No. 74
Pigment Green 36, a phthalocyanine green-based pigment, Color Inde
x No. 74160 Pigment Blue 1
A phthalocyanine blue pigment represented by 5-4 was prepared. The pigments were mixed and dispersed in a polyimide precursor solution to obtain three kinds of colored pastes of red, green and blue. First, a blue paste was applied on a substrate, dried with hot air at 80 ° C. for 10 minutes, and semi-cured at 120 ° C. for 20 minutes. Thereafter, a positive resist (Shipley "Microposi") is used.
t ”RC100 30cp) with a spinner,
It was dried at 80 ° C for 20 minutes. Exposure is performed using a mask, and an alkali developer (Shipley "Microposi")
At t ″ 351), the substrate was dipped, and simultaneously, while simultaneously swinging the substrate, development of the positive resist and etching of the polyimide precursor were performed. Thereafter, the positive resist was peeled off with methyl cellosolve acetate. Curing was performed at 300 ° C. for 30 minutes, and the thickness of the colored pixel portion was 1.7 μm.With this patterning, the blue pixel was formed and the base of the blue colored layer was further formed on the frame, on the base of the black matrix outside the screen. area of the base of the blue color layers of the formed. offscreen area of the base of the blue color layers on about 25000Myuemu 2 edge was about 500 [mu] m 2.
After washing with water, red pixels were formed in the same manner.
No new pillar base was formed. The thickness of the red pixel portion was 1.8 μm. After washing with water, green pixels were formed in the same manner. The pillar base did not form.
The thickness of the green pixel portion was 1.5 μm. Next, as shown in FIG.
An O film was formed as a mask. A film was formed also in an area cut off outside the screen. The thickness of the ITO film was 150 nm, and the surface resistance was 20 Ω / □. After washing with water, a resin layer for the pillar and the substrate spacing support member was laminated. The polyimide precursor solution described above was used for the resin layer. Apply the polyimide precursor solution, dry with hot air at 90 ° C for 15 minutes,
Semi-cure at 125 ° C. for 20 minutes. Thereafter, a positive resist (Shipley “Micropost” R)
C100 30 cp) was applied with a spinner and dried at 80 ° C. for 20 minutes. Exposure is performed using a mask, and an alkali developer (Shipley “Micropost” 35)
In 1), the substrate was dipped, and simultaneously the developing of the positive resist and the etching of the polyimide precursor were simultaneously performed while rocking the substrate. After that, the positive resist is peeled off with methylcellosolve acetate, and further, 300
Cure at 30 ° C. for 30 minutes. The thickness of the resin layer was 5.2 μm. By this patterning, pillars and substrate spacing support members were formed in the screen and on the frame, and on the base of the black matrix outside the screen.

【0128】画面内の樹脂の基板間隔支持部材の上面積
は約120μm2 であり、樹脂層の下面積は約130μ
2 であった。額縁上にも上面積約120μm2 であ
り、下面積も約130μm2 ものを形成した。画面外の
樹脂の柱の上面積は約10000μm2 で(サイズ10
0×100μm)あり、樹脂層の下面積は約12000
μm2 (サイズ110×110μm)であった。柱高さ
は6μmであった。なお、画面内の基板間隔支持部材
は、3画素(1画素:100μm×300μm)に1個
の割合で設けた。 (2.カラー液晶表示装置の作製)上記カラーフィルタ
上にポリイミド系の配向膜を設け、ラビング処理を施し
た。また、薄膜トランジスタ素子を備えた透明電極付の
対向基板を作成し、同様にポリイミド系の配向膜を設
け、ラビング処理を施した。配向膜を設けたカラーフィ
ルタと薄膜トランジスタ素子を備えた透明電極基板とを
シール剤を用いて貼り合わせた後に、画面外の不要な領
域を切り落とした。次にシール部に設けられた注入口か
ら液晶を注入した。液晶の注入は、空セルを減圧下に放
置後、注入口を液晶槽に浸漬し、常圧に戻すことにより
行った。液晶を注入後、注入口を封止し、さらに偏光板
を基板の外側に貼り合わせセルを作製した。得られた液
晶表示装置は、カラーフィルター基板と対向基板との短
絡がなく、また均一なセルギャップが確保でき、良好な
表示品位のものであった。
The upper area of the resin substrate supporting member in the screen is about 120 μm 2 , and the lower area of the resin layer is about 130 μm.
m 2 . An upper area of about 120 μm 2 and a lower area of about 130 μm 2 were also formed on the frame. The area above the resin pillar outside the screen is about 10,000 μm 2 (size 10
0 × 100 μm), and the area under the resin layer is about 12,000.
μm 2 (size 110 × 110 μm). The column height was 6 μm. It should be noted that one substrate spacing support member in the screen was provided for every three pixels (one pixel: 100 μm × 300 μm). (2. Production of Color Liquid Crystal Display Device) A polyimide-based alignment film was provided on the above color filter, and rubbing treatment was performed. Further, a counter substrate with a transparent electrode provided with a thin film transistor element was prepared, a polyimide-based alignment film was similarly provided, and a rubbing treatment was performed. After bonding the color filter provided with the alignment film and the transparent electrode substrate provided with the thin film transistor element using a sealant, unnecessary regions outside the screen were cut off. Next, liquid crystal was injected from an injection port provided in the seal portion. The liquid crystal was injected by leaving the empty cell under reduced pressure, immersing the injection port in the liquid crystal tank, and returning the pressure to normal pressure. After injecting the liquid crystal, the injection port was sealed, and a polarizing plate was attached to the outside of the substrate to produce a cell. The obtained liquid crystal display device had no short circuit between the color filter substrate and the opposing substrate, could secure a uniform cell gap, and had good display quality.

【0129】[実施例2]実施例1と同様に、ブラック
マトリックス、額縁、赤、青、緑の画素の形成と、画面
外と額縁上に、柱と基板間隔支持部材の一部(土台)の
形成を行った後、この基板上に、γ−アミノプロピルメ
チルジエトキシシランの加水分解物(1モル当量)およ
びp−フェニレンジアミン(0.5モル当量)と、3,
3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
(1モル当量)とを反応させることにより得られる硬化
性組成物(ポリイミドシロキサン前駆体)の溶液をスピ
ンコートし、280℃で40分熱処理を行い、ポリイミ
ドシロキサンからなる厚さ0.5μmの透明保護膜を形
成した。その後、実施例1と同様に画面内外にITO膜
の成膜、柱および基板間隔支持部材用樹脂層の積層等を
行った。このカラーフィルター基板を用いて、カラー液
晶表示装置の作製した。得られた液晶表示装置は、カラ
ーフィルター基板と対向基板との短絡がなく、また十分
なセルギャップが確保でき、さらにオーバーコート膜
(透明保護膜)があることによりスペーサー周囲の傾斜
が緩くなることで配向不良も起きにくく良好な表示品位
のものであった。
[Embodiment 2] Similar to Embodiment 1, formation of black matrix, picture frame, red, blue, and green pixels, part of pillar and substrate spacing support member outside the screen and on picture frame (base) Is formed on the substrate, hydrolyzate of γ-aminopropylmethyldiethoxysilane (1 molar equivalent) and p-phenylenediamine (0.5 molar equivalent)
A solution of a curable composition (polyimide siloxane precursor) obtained by reacting with 3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (1 molar equivalent) is spin-coated, and the solution is treated at 280 ° C. for 40 minutes. Heat treatment was performed to form a 0.5 μm thick transparent protective film made of polyimidesiloxane. Thereafter, as in the case of Example 1, the formation of the ITO film inside and outside the screen, the lamination of the resin layer for the pillar and the substrate gap supporting member, and the like were performed. Using this color filter substrate, a color liquid crystal display device was manufactured. In the obtained liquid crystal display device, there is no short circuit between the color filter substrate and the opposing substrate, a sufficient cell gap can be secured, and the overcoat film (transparent protective film) reduces the inclination around the spacer. In this case, poor display did not easily occur and the display quality was good.

【0130】[実施例3]実施例2と同様に、ブラック
マトリックス、額縁、赤、青、緑の画素の形成と、柱お
よび基板間隔支持部材の一部(土台)の形成を行った。
ただし額縁上には着色層の土台を形成しなかった。次
に、実施例2と同様に透明保護膜形成、画面内外にIT
O膜を成膜、柱用樹脂層を形成した。画面内に基板間隔
支持部材と画面外に柱を形成した。上記カラーフィルタ
を用いて液晶表示装置を作製した。上記カラーフィルタ
上にポリイミド系の配向膜を設け、ラビング処理を施し
た。また、低温ポリシリコン型の薄膜トランジスタ素子
を備えた透明電極付の対向基板を作成し、同様にポリイ
ミド系の配向膜を設け、ラビング処理を施した。配向膜
を設けたカラーフィルタと薄膜トランジスタ素子を備え
た透明電極基板とをシール剤を用いて貼り合わせた。シ
ール材にロッド状スペーサーを混入した。次にシール部
に設けられた注入口から液晶を注入した。液晶の注入
は、空セルを減圧下に放置後、注入口を液晶槽に浸漬
し、常圧に戻すことにより行った。液晶を注入後、注入
口を封止し、さらに偏光板を基板の外側に貼り合わせセ
ルを作製した。得られた液晶表示装置は、カラーフィル
ター基板と対向基板との短絡がなく、また均一なセルギ
ャップが確保でき、良好な表示品位のものであった。
Example 3 As in Example 2, formation of a black matrix, a frame, pixels of red, blue, and green, and formation of pillars and a part (base) of a substrate spacing support member were performed.
However, the base of the colored layer was not formed on the frame. Next, a transparent protective film was formed in the same manner as in Example 2, and an IT
An O film was formed, and a column resin layer was formed. Substrate spacing support members were formed inside the screen and columns were formed outside the screen. A liquid crystal display device was manufactured using the above color filters. A polyimide-based alignment film was provided on the color filter and rubbed. Further, a counter substrate with a transparent electrode provided with a low-temperature polysilicon type thin film transistor element was prepared, and a polyimide-based alignment film was similarly provided, followed by rubbing treatment. A color filter provided with an alignment film and a transparent electrode substrate provided with a thin film transistor element were bonded together using a sealant. A rod-shaped spacer was mixed in the sealing material. Next, liquid crystal was injected from an injection port provided in the seal portion. The liquid crystal was injected by leaving the empty cell under reduced pressure, immersing the injection port in the liquid crystal tank, and returning the pressure to normal pressure. After injecting the liquid crystal, the injection port was sealed, and a polarizing plate was attached to the outside of the substrate to produce a cell. The obtained liquid crystal display device had no short circuit between the color filter substrate and the opposing substrate, could secure a uniform cell gap, and had good display quality.

【0131】[実施例4]実施例3と同様に、ブラック
マトリックス、額縁、赤、青、緑の画素の形成と、柱お
よび基板間隔支持部材の一部(土台)の形成を行った。
額縁上には着色層の土台を形成しなかった。また画面外
の土台はブラックマトリックスを用いず、着色層のみで
形成した。次に、実施例2と同様に透明保護膜形成、画
面内外にITO膜を成膜、柱および基板間隔支持部材用
樹脂層を形成した。柱は画面内と画面外に形成した。上
記カラーフィルタを用いて液晶表示装置を作製した。上
記カラーフィルタ上にポリイミド系の配向膜を設け、ラ
ビング処理を施した。また、薄膜トランジスタ素子を備
えた透明電極付の対向基板を作成し、同様にポリイミド
系の配向膜を設け、ラビング処理を施した。この透明電
極付きの対向基板は実施例3と異なる駆動用の配線用パ
ターンが画面外の柱突き当て部に形成されている。配向
膜を設けたカラーフィルタと薄膜トランジスタ素子を備
えた透明電極基板とをシール剤を用いて貼り合わせた。
シール材にロッド状スペーサーを混入した。次にシール
部に設けられた注入口から液晶を注入した。液晶の注入
は、空セルを減圧下に放置後、注入口を液晶槽に浸漬
し、常圧に戻すことにより行った。液晶を注入後、注入
口を封止し、さらに偏光板を基板の外側に貼り合わせセ
ルを作製した。得られた液晶表示装置は、カラーフィル
ター基板と対向基板との短絡がなく、また均一なセルギ
ャップが確保でき、良好な表示品位のものであった。
Example 4 As in Example 3, formation of a black matrix, a picture frame, pixels of red, blue, and green, and formation of pillars and a part (base) of a substrate spacing support member were performed.
No base of colored layer was formed on the picture frame. The base outside the screen was not formed of a black matrix, but formed only of a colored layer. Next, in the same manner as in Example 2, a transparent protective film was formed, an ITO film was formed inside and outside the screen, and a resin layer for supporting members for supporting columns and substrates was formed. Pillars were formed inside and outside the screen. A liquid crystal display device was manufactured using the above color filters. A polyimide-based alignment film was provided on the color filter and rubbed. Further, a counter substrate with a transparent electrode provided with a thin film transistor element was prepared, a polyimide-based alignment film was similarly provided, and a rubbing treatment was performed. In the counter substrate with the transparent electrode, a driving wiring pattern different from that of the third embodiment is formed in a column abutting portion outside the screen. A color filter provided with an alignment film and a transparent electrode substrate provided with a thin film transistor element were bonded together using a sealant.
A rod-shaped spacer was mixed in the sealing material. Next, liquid crystal was injected from an injection port provided in the seal portion. The liquid crystal was injected by leaving the empty cell under reduced pressure, immersing the injection port in the liquid crystal tank, and returning the pressure to normal pressure. After injecting the liquid crystal, the injection port was sealed, and a polarizing plate was attached to the outside of the substrate to produce a cell. The obtained liquid crystal display device had no short circuit between the color filter substrate and the opposing substrate, could secure a uniform cell gap, and had good display quality.

【0132】[実施例5]実施例1と同様に、ブラック
マトリックス、額縁、赤、青、緑の画素の形成と、画面
外と額縁上に柱と基板間隔支持部材の一部(土台)の形
成を行った。ただし実施例1とは異なり、ブラックマト
リックスにクロム系金属を成膜した遮光膜を用いた。ま
た透明保護膜も設けなかった。その後、実施例1と同様
に画面内外にITO膜の成膜、柱および基板間隔支持部
材用樹脂層の積層等を行った。このカラーフィルター基
板を用いて、カラー液晶表示装置の作製した。得られた
液晶表示装置は、カラーフィルター基板と対向基板との
短絡がなく、また十分なセルギャップが確保でき、良好
な表示品位のものであった。
[Embodiment 5] Similar to Embodiment 1, formation of black matrix, picture frame, red, blue, and green pixels, and formation of a part (base) of a pillar and a substrate spacing support member outside the picture and on the picture frame. The formation was performed. However, different from Example 1, a light-shielding film in which a chromium-based metal was formed on a black matrix was used. Also, no transparent protective film was provided. Thereafter, as in the case of Example 1, the formation of the ITO film inside and outside the screen, the lamination of the resin layer for the pillar and the substrate gap supporting member, and the like were performed. Using this color filter substrate, a color liquid crystal display device was manufactured. The obtained liquid crystal display device had no short circuit between the color filter substrate and the opposing substrate, a sufficient cell gap was secured, and had a good display quality.

【0133】[実施例6]実施例1と同様に、ブラック
マトリックス、額縁、赤、青、緑の画素の形成と、画面
外と額縁上に柱および基板間隔支持部材の一部(土台)
の形成を行った。次にアクリル系の透明保護膜を形成
し、透明導電膜(ITO膜)を画面外に形成し、柱用樹
脂層の積層等を行った。樹脂材料としては感光性のネガ
型アクリル材料を使用した。画面内にITO膜の成膜は
行わなかった。このカラーフィルター基板を用いて、カ
ラー液晶表示装置を作製した。カラーフィルターの対向
側の基板には画素電極と共通電極が櫛歯状になった電極
と薄膜トランジスタを有する基板を用いた。本カラー液
晶表示装置は、カラーフィルター基板側に共通電極をと
らない、いわゆるインプレインスイッチング方式の液晶
表示装置である。得られた液晶表示装置は、良好な表示
品位のものであった。
[Sixth Embodiment] Similar to the first embodiment, the black matrix, the frame, the formation of the pixels of red, blue and green, and the part of the pillar and the substrate interval supporting member outside the screen and on the frame (base)
Was formed. Next, an acrylic transparent protective film was formed, a transparent conductive film (ITO film) was formed outside the screen, and a column resin layer was laminated. A photosensitive negative acrylic material was used as the resin material. No ITO film was formed on the screen. A color liquid crystal display device was manufactured using this color filter substrate. As the substrate on the side opposite to the color filter, a substrate having a comb-shaped electrode of a pixel electrode and a common electrode and a thin film transistor was used. The present color liquid crystal display device is a so-called in-plane switching type liquid crystal display device which does not have a common electrode on the color filter substrate side. The obtained liquid crystal display had good display quality.

【0134】[実施例7]実施例1と同様に、ブラック
マトリックス、額縁、赤、青、緑の画素の形成と、額縁
上に柱および基板間隔支持部材の一部(土台)の形成を
行った。エポキシ系の透明保護膜を形成後、画面内外に
ITO膜の成膜を行った後、柱および基板間隔支持部材
用樹脂層の積層等を行った。樹脂材料としては感光性の
ネガ型アクリル材料を使用した。このカラーフィルター
基板を用いて、カラー液晶表示装置を作製した。得られ
た液晶表示装置は、カラーフィルター基板と対向基板と
の短絡がなく、また十分なセルギャップが確保でき、さ
らにオーバーコート膜(透明保護膜)があることにより
スペーサー周囲の傾斜が緩くなることで配向不良も起き
にくく良好な表示品位のものであった。
[Embodiment 7] In the same manner as in Embodiment 1, the formation of the black matrix, the picture frame, the pixels of red, blue, and green, and the formation of the pillar and a part of the substrate spacing support member (base) on the picture frame are performed. Was. After forming an epoxy-based transparent protective film, an ITO film was formed inside and outside of the screen, and then a column and a resin layer for a substrate-interval support member were laminated. A photosensitive negative acrylic material was used as the resin material. A color liquid crystal display device was manufactured using this color filter substrate. In the obtained liquid crystal display device, there is no short circuit between the color filter substrate and the opposing substrate, a sufficient cell gap can be secured, and the overcoat film (transparent protective film) reduces the inclination around the spacer. In this case, poor display did not easily occur and the display quality was good.

【0135】[実施例8]実施例1と同様に、ブラック
マトリックス、額縁、赤、青、緑の画素の形成と、画面
外と額縁上に柱および基板間隔支持部材の一部(土台)
の形成を行った。アクリル系の透明保護膜を形成後、透
明導電膜(ITO膜)を画面内外に成膜した。その後柱
および基板間隔支持部材用樹脂層の積層を画面内、額縁
上、画面外に行った。樹脂材料としては感光性のJSR
製ネガ型アクリル系材料(NN810またはNN70
0)、または新日鐵化学製V−259PAを使用した。
例えばNN700では次のようにして柱のパターニング
を行った。まずNN700を基板上にスリットダイコー
ターで塗布した後、ホットプレート上80℃、コンタク
ト3分でプレベークした。次に露光機(canon P
LA−501F)を用いて150、200、250、3
00mJ/cm2 (i線)を照射した。露光後、TMA
H水溶液(0.15%)で現像した。次に、現像後の形
状がもっともよい露光量のものを、超純水で60秒リン
ス後、ポストベーク(クリーンオーブン中220℃、6
0分)を行った。以上の工程により柱および基板間隔支
持部材が形成される。NN810およびV−259PA
も露光量条件、プレベーク温度等を最適化して、カラー
フィルター上に柱および基板間隔支持部材を形成した。
このカラーフィルター基板を用いて、カラー液晶表示装
置を作製した。カラーフィルターの対向側の基板には画
素電極、薄膜トランジスター等を有する。本カラー液晶
表示装置は、いわゆるTN方式の液晶表示装置である。
得られた液晶表示装置は、NN810を用いたものも、
NN700を用いたものも、V−259PAを用いたも
のも十分なセルギャップが確保でき、セルギャップ精度
が均一な良好な表示品位のものであった。
[Eighth Embodiment] Similar to the first embodiment, the black matrix, the picture frame, the formation of the pixels of red, blue and green, and the part of the pillar and the substrate spacing support member outside the screen and on the picture frame (base)
Was formed. After forming the acrylic transparent protective film, a transparent conductive film (ITO film) was formed inside and outside the screen. Thereafter, lamination of the pillar and the resin layer for the substrate spacing support member was performed inside the screen, on the frame, and outside the screen. Photosensitive JSR as resin material
Negative type acrylic material (NN810 or NN70)
0) or V-259PA manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd. was used.
For example, in NN700, pillar patterning was performed as follows. First, NN700 was applied on a substrate by a slit die coater, and then prebaked on a hot plate at 80 ° C. for 3 minutes for contacts. Next, an exposure machine (canon P
150, 200, 250, 3 using LA-501F).
Irradiation was performed at 00 mJ / cm 2 (i-line). After exposure, TMA
Developed with H aqueous solution (0.15%). Next, the exposed product having the best shape after development is rinsed with ultrapure water for 60 seconds, and post-baked (220 ° C., 6 ° C. in a clean oven).
0 min). Through the above steps, the pillar and the substrate spacing support member are formed. NN810 and V-259PA
Also, by optimizing the exposure condition, the pre-bake temperature, etc., the columns and the substrate spacing support members were formed on the color filters.
A color liquid crystal display device was manufactured using this color filter substrate. The substrate on the opposite side of the color filter has a pixel electrode, a thin film transistor, and the like. The present color liquid crystal display device is a so-called TN liquid crystal display device.
The obtained liquid crystal display device includes a device using NN810,
Both the one using NN700 and the one using V-259PA ensured a sufficient cell gap, and had good display quality with uniform cell gap accuracy.

【0136】[実施例9]実施例1と同様に、ブラック
マトリックス、額縁、赤、青、緑の画素の形成と、画面
外と額縁上に柱および基板間隔支持部材の一部(土台)
の形成を行った。ただし、画面外と額縁上の着色層の土
台は青着色層ではなく赤の着色層で形成した。アクリル
系の透明保護膜を形成後、透明導電膜(ITO膜)を画
面内外に成膜した。その後柱および基板間隔支持部材用
樹脂層の積層を画面内、額縁上、画面外に行った。柱用
樹脂材料としては感光性のJSR製ネガ型アクリル系材
料(NN810またはNN700)、または新日鐵化学
製V−259PAを使用した。このカラーフィルター基
板を用いて、カラー液晶表示装置を作製した。カラーフ
ィルターの対向側の基板には画素電極、薄膜トランジス
ター等を有するが、実施例8とは異なるアレイ構造であ
る。例えば、実施例8とは、カラーフィルター側の柱を
突き当てられる箇所の高さ、材質が異なる。本カラー液
晶表示装置は、いわゆるTN方式の液晶表示装置であ
る。得られた液晶表示装置は、NN810を用いたもの
も、NN700を用いたものも、V−259PAを用い
たものも良好な表示品位のものであった。
[Embodiment 9] Similar to Embodiment 1, formation of black matrix, picture frame, red, blue, and green pixels, and part of column and substrate spacing support members outside the screen and on the picture frame (base)
Was formed. However, the base of the colored layer outside the screen and on the frame was formed of a red colored layer instead of a blue colored layer. After forming the acrylic transparent protective film, a transparent conductive film (ITO film) was formed inside and outside the screen. Thereafter, lamination of the pillar and the resin layer for the substrate spacing support member was performed inside the screen, on the frame, and outside the screen. As the column resin material, a photosensitive JSR negative type acrylic material (NN810 or NN700) or Nippon Steel Chemical's V-259PA was used. A color liquid crystal display device was manufactured using this color filter substrate. The substrate on the opposite side of the color filter has pixel electrodes, thin film transistors, and the like, but has an array structure different from that of the eighth embodiment. For example, the height and material of the portion where the column on the color filter side is abutted are different from those of the eighth embodiment. The present color liquid crystal display device is a so-called TN liquid crystal display device. As for the obtained liquid crystal display devices, those using NN810, those using NN700 and those using V-259PA were of good display quality.

【0137】[実施例10]実施例1と同様に、ブラッ
クマトリックス、額縁、赤、青、緑の画素の形成と画面
外と額縁上に柱および基板間隔支持部材の一部(土台)
の形成を行った。但しフォトマスクを変更により画面外
と額縁上の土台は、ブラックマトリックス上に赤着色層
を積層した箇所((1))と、ブラックマトリックス上に
緑着色層を積層した箇所((2))がある。このあとアク
リル系の透明保護膜形成後、画面内外に透明導電膜(I
TO膜)を成膜した。その後柱用樹脂層の積層を(1)と
(2)の箇所に形成した。柱材料は実施例9と同じ組成の
ものを用いた。このカラーフィルター基板を用いて、カ
ラー液晶表示装置を作製した。カラーフィルターの対抗
側の基板には画素電極、薄膜トランジスター等を有する
が、実施例8とは異なるアレイ構造である。実施例9と
は、カラーフィルター側の柱を突き当てられる箇所の構
成が異なる。
[Embodiment 10] Similar to Embodiment 1, formation of black matrix, picture frame, red, blue and green pixels and part of column and substrate spacing support members outside the screen and on the picture frame (base)
Was formed. However, by changing the photomask, the base outside the screen and on the picture frame is divided into two parts: (1) where the red coloring layer is laminated on the black matrix and (2) where the green coloring layer is laminated on the black matrix. is there. Then, after forming an acrylic transparent protective film, a transparent conductive film (I
(TO film). After that, the lamination of the resin layer for pillars was (1)
It was formed at the point (2). The column material used had the same composition as in Example 9. A color liquid crystal display device was manufactured using this color filter substrate. The substrate on the opposite side of the color filter has pixel electrodes, thin film transistors, and the like, but has an array structure different from that of the eighth embodiment. Embodiment 9 is different from Embodiment 9 in the configuration of the location where the column on the color filter side is abutted.

【0138】柱を突き当てる箇所の高さや電気特性、力
学特性に応じ、(1)の上に柱を形成した構成と、(2)の上
に柱を形成した構成のものとの密度配分が異なってい
る。本カラー液晶表示装置は、いわゆるTN方式の液晶
表示装置である。得られた液晶表示装置は、NN810
を用いたものも、NN700を用いたものも、V−25
9PA十分なセルギャップが確保でき、セルギャップ精
度が均一な良好な表示品位のものであった。
According to the height, electrical characteristics, and mechanical characteristics of the place where the column is abutted, the density distribution between the configuration in which the column is formed on (1) and the configuration in which the column is formed on (2) is different. Is different. The present color liquid crystal display device is a so-called TN liquid crystal display device. The obtained liquid crystal display device is NN810
And NN700, V-25
9PA sufficient cell gap was ensured, and the cell gap accuracy was uniform and good display quality was obtained.

【0139】[実施例11]実施例8と同様に、ブラッ
クマトリックス、額縁、赤、青、緑の画素の形成と、柱
および基板間隔支持部材の一部(土台)の形成を行っ
た。ただし、実施例8とは異なるフォトマスクを用い、
額縁上には土台を形成しなかった。また画面外の土台は
ブラックマトリックスを用いず、着色層のみで形成し
た。実施例8と同様にアクリル系透明保護膜形成、IT
O膜を成膜、JSR製ネガ型アクリル系材料(NN81
0またはNN700)または新日鐵化学製V−259P
Aを用いて柱用樹脂層を形成した。柱は画面内と画面外
に形成した。このカラーフィルター基板を用いて、カラ
ー液晶表示装置を作製した。カラーフィルターの対抗側
の基板には画素電極、薄膜トランジスター等を有する
が、実施例8とは異なる構造をしている。本カラー液晶
表示装置は、いわゆるTN方式の液晶表示装置である。
得られた液晶表示装置は、十分なセルギャップが確保で
き、セルギャップ精度が均一な良好な表示品位のもので
あった。
Example 11 In the same manner as in Example 8, the formation of the black matrix, the picture frame, the pixels of red, blue, and green, and the formation of the pillars and a part (base) of the substrate spacing support member were performed. However, using a photomask different from that in Example 8,
No foundation was formed on the picture frame. The base outside the screen was not formed of a black matrix, but formed only of a colored layer. Acrylic transparent protective film formation, IT similar to Example 8,
An O film is formed and a negative type acrylic material (NN81 manufactured by JSR) is formed.
0 or NN700) or Nippon Steel Chemical V-259P
A was used to form a column resin layer. Pillars were formed inside and outside the screen. A color liquid crystal display device was manufactured using this color filter substrate. The substrate on the opposite side of the color filter has a pixel electrode, a thin film transistor, and the like, but has a structure different from that of the eighth embodiment. The present color liquid crystal display device is a so-called TN liquid crystal display device.
The obtained liquid crystal display device had a sufficient cell gap and a good display quality with uniform cell gap accuracy.

【0140】[実施例12]実施例8から11におい
て、アクリル系透明保護膜ではなくエポキシ系透明保護
膜またはポリイミドシロキサン透明保護膜を用いてカラ
ーフィルター基板を作製した。このカラーフィルター基
板を用いてカラー液晶表示装置を作成した。本カラー液
晶表示装置はいわゆるTN方式の液晶表示装置である。
得られた液晶表示装置は良好な表示品位のものであっ
た。
Example 12 In each of Examples 8 to 11, a color filter substrate was produced using an epoxy-based transparent protective film or a polyimidesiloxane transparent protective film instead of an acrylic-based transparent protective film. Using this color filter substrate, a color liquid crystal display was produced. The present color liquid crystal display device is a so-called TN type liquid crystal display device.
The obtained liquid crystal display had good display quality.

【0141】[実施例13]実施例1と同様に、ブラッ
クマトリックス、額縁、赤、青、緑の画素の形成と、画
面外と額縁上に柱および基板間隔支持部材の一部(土
台)の形成を行った。ただし実施例1とは異なり、ブラ
ックマトリックスにクロム系金属を成膜した遮光膜を用
いた。また着色層の材料として感光性アクリル樹脂をも
ちいた。また透明保護膜も設けなかった。その後、実施
例1と同様に画面内外にITO膜の成膜、柱用樹脂層の
積層等を行った。このカラーフィルター基板を用いて、
カラー液晶表示装置の作製した。本カラー液晶表示装置
はいわゆるTN方式の液晶表示装置である。得られた液
晶表示装置は良好な表示品位のものであった。
[Thirteenth Embodiment] Similar to the first embodiment, the black matrix, the picture frame, the formation of the pixels of red, blue and green, and the formation of a part (base) of the pillar and the substrate spacing supporting member outside the screen and on the picture frame are provided. The formation was performed. However, different from Example 1, a light-shielding film in which a chromium-based metal was formed on a black matrix was used. A photosensitive acrylic resin was used as a material for the colored layer. Also, no transparent protective film was provided. Thereafter, as in Example 1, an ITO film was formed inside and outside the screen, and a column resin layer was laminated. Using this color filter substrate,
A color liquid crystal display device was manufactured. The present color liquid crystal display device is a so-called TN type liquid crystal display device. The obtained liquid crystal display had good display quality.

【0142】[実施例14]実施例6と同様に、ブラッ
クマトリックス、額縁、赤、青、緑の画素の形成と、画
面外に柱の一部(土台)の形成を行った。ただし額縁上
には基板間隔支持部材の土台を形成しなかった。アクリ
ル系の透明保護膜を形成後、柱用樹脂層の積層等を行っ
た。柱用樹脂材料としては感光性のネガ型アクリル材料
(JSR製オプトマーNN700およびNN810)ま
たは新日鐵化学製V−259PAを使用した。画面内表
示域にITO膜の成膜は行わなかった。このカラーフィ
ルター基板を用いて、カラー液晶表示装置を作製した。
カラーフィルターの対向側の基板には画素電極と共通電
極が櫛歯状になった電極と薄膜トランジスタを有する基
板を用いた。本カラー液晶表示装置は、カラーフィルタ
ー基板側に共通電極をとらない、いわゆるインプレイン
スイッチング方式の液晶表示装置である。NN700を
用いたものも、NN800シリーズを用いたものも、V
−259PAを用いたものも得られた液晶表示装置は良
好な表示品位のものであった。
Example 14 As in Example 6, formation of a black matrix, a picture frame, pixels of red, blue, and green, and formation of a part of a pillar (base) outside the screen were performed. However, the base of the substrate spacing support member was not formed on the frame. After forming an acrylic transparent protective film, lamination of a pillar resin layer and the like were performed. As the column resin material, a photosensitive negative type acrylic material (Optomer NN700 and NN810 manufactured by JSR) or V-259PA manufactured by Nippon Steel Chemical was used. No ITO film was formed in the display area in the screen. A color liquid crystal display device was manufactured using this color filter substrate.
As the substrate on the side opposite to the color filter, a substrate having a comb-shaped electrode of a pixel electrode and a common electrode and a thin film transistor was used. The present color liquid crystal display device is a so-called in-plane switching type liquid crystal display device which does not have a common electrode on the color filter substrate side. Both those using NN700 and those using NN800 series
The liquid crystal display device obtained using -259PA also had good display quality.

【0143】[実施例15]実施例6と同様に、ブラッ
クマトリックス、額縁、赤、青、緑の画素の形成と、画
面外と額縁上に柱および基板間隔支持部材の一部(土
台)の形成を行った。アクリル系の透明保護膜を形成し
た。画面外に透明導電膜(ITO膜)を形成後、柱およ
び基板間隔支持部材用樹脂層の積層を画面内、額縁上、
画面外に行った。樹脂材料としては感光性のJSR製ネ
ガ型アクリル系材料(NN810またはNN700)ま
たは新日鐵化学製V−259PAを使用した。このカラ
ーフィルター基板を用いて、カラー液晶表示装置を作製
した。カラーフィルターの対向側の基板には共通電極、
画素電極、薄膜トランジスター等を有する。本カラー液
晶表示装置は、いわゆるインプレインスイッチング方式
の液晶表示装置である。得られた液晶表示装置は、NN
810を用いたものも、NN700を用いたものも、V
−259PAを用いたものも良好な表示品位のものであ
った。
[Embodiment 15] Similarly to Embodiment 6, the black matrix, the picture frame, the formation of the pixels of red, blue, and green, and the part (base) of the pillar and the substrate interval supporting member on the outside of the picture and on the picture frame are provided. The formation was performed. An acrylic transparent protective film was formed. After forming a transparent conductive film (ITO film) outside the screen, the lamination of the column and the resin layer for the substrate spacing support member is performed within the screen, on the frame,
Went off the screen. As the resin material, a photosensitive JSR negative type acrylic material (NN810 or NN700) or Nippon Steel Chemical's V-259PA was used. A color liquid crystal display device was manufactured using this color filter substrate. A common electrode is provided on the substrate on the opposite side of the color filter,
It has a pixel electrode, a thin film transistor, and the like. The present color liquid crystal display device is a so-called in-plane switching type liquid crystal display device. The obtained liquid crystal display device is NN
810 and NN700, V
The sample using -259PA also had good display quality.

【0144】[実施例16]実施例6と同様に、ブラッ
クマトリックス、額縁、赤、青、緑の画素の形成と、画
面外と額縁上に柱および基板間隔支持部材の一部(土
台)の形成を行った。但し画面外と額縁上の着色層の土
台は青着色層ではなく赤の着色層で形成した。アクリル
系の透明保護膜を形成後、画面内にITO成膜し、柱お
よび基板間隔支持部材用樹脂層の積層を画面内、額縁
上、画面外に行った。柱および基板間隔支持部材用樹脂
材料としては感光性のJSR製ネガ型アクリル系材料
(NN810またはNN700)または新日鐵化学製V
−259PAを使用した。このカラーフィルター基板を
用いて、カラー液晶表示装置を作製した。カラーフィル
ターの対向側の基板には共通電極、画素電極、薄膜トラ
ンジスター等を有するが、実施例15とは異なるアレイ
構造である。例えば、実施例15とは、カラーフィルタ
ー側の柱を突き当てられる箇所の高さ、材質(電気特
性、力学特性等)が異なる。本カラー液晶表示装置は、
いわゆるインプレインスイッチング方式の液晶表示装置
である。得られた液晶表示装置は、NN810を用いた
ものも、NN700を用いたものも、V−259PAを
用いたものも良好な表示品位のものであった。
[Sixteenth Embodiment] As in the sixth embodiment, the formation of the black matrix, the frame, the pixels of red, blue, and green, and the formation of a part (base) of the pillar and the substrate spacing support member outside the screen and on the frame. The formation was performed. However, the base of the colored layer outside the screen and on the frame was formed of a red colored layer instead of a blue colored layer. After forming the acrylic transparent protective film, an ITO film was formed in the screen, and the resin layers for the pillars and the substrate spacing support member were laminated in the screen, on the frame, and outside the screen. As the resin material for the column and substrate spacing support member, a photosensitive JSR negative acrylic material (NN810 or NN700) or Nippon Steel Chemical V
-259PA was used. A color liquid crystal display device was manufactured using this color filter substrate. The substrate on the opposite side of the color filter has a common electrode, a pixel electrode, a thin film transistor, and the like, but has an array structure different from that of the fifteenth embodiment. For example, the height and the material (electrical characteristics, mechanical characteristics, and the like) of the portion where the column on the color filter side is abutted are different from those in Example 15. This color liquid crystal display device
This is a so-called in-plane switching type liquid crystal display device. As for the obtained liquid crystal display devices, those using NN810, those using NN700 and those using V-259PA were of good display quality.

【0145】[実施例17]実施例6と同様に、ブラッ
クマトリックス、額縁、赤、青、緑の画素の形成と額縁
上に基板核支持部材の土台と、画面外に柱の一部(土
台)の形成を行った。但しフォトマスクの変更により画
面外と額縁上の土台は、ブラックマトリックス上に赤着
色層を積層した箇所((1))と、ブラックマトリックス
上に緑着色層を積層した箇所((2))がある。このあと
アクリル系の透明保護膜形成し、画面外にITO膜を成
膜し、柱および基板間隔支持部材用樹脂層の積層を(1)
と(2)の箇所に形成した。材料は実施例9と同じ組成の
ものを用いた。このカラーフィルター基板を用いて、カ
ラー液晶表示装置を作製した。カラーフィルターの対抗
側の基板には共通電極、画素電極、薄膜トランジスター
等を有するが、実施例16とは、カラーフィルター側の
柱が突き当てられる箇所の構成が異なる。柱を突き当て
る箇所の高さや電気特性、力学特性に応じ、(1)の上に
柱を形成した構成と、(2)の上に柱を形成した構成のも
のとの密度配分が異なっている。本カラー液晶表示装置
は、いわゆるインプレインスイッチング方式の液晶表示
装置である。得られた液晶表示装置は、NN810を用
いたものも、NN700を用いたものも、V−259P
Aを用いたものも良好な表示品位のものであった。
[Embodiment 17] As in Embodiment 6, the formation of black matrix, picture frame, red, blue, and green pixels and the base of the substrate nucleus support member on the picture frame and a part of the pillar outside the screen (base) ) Was formed. However, due to the change of the photomask, the base outside the screen and on the picture frame is divided into two parts: (1) where the red coloring layer is laminated on the black matrix and (2) where the green coloring layer is laminated on the black matrix. is there. Thereafter, an acrylic transparent protective film is formed, an ITO film is formed outside the screen, and the resin layer for the pillars and the substrate spacing support member is laminated (1).
And (2). The material used had the same composition as in Example 9. A color liquid crystal display device was manufactured using this color filter substrate. The substrate on the side opposite to the color filter has a common electrode, a pixel electrode, a thin film transistor, and the like, but differs from Example 16 in the configuration of the location where the column on the color filter side abuts. Depending on the height, electrical characteristics, and mechanical characteristics of the place where the column is struck, the density distribution of the configuration with the column formed on (1) and the configuration with the column formed on (2) is different . The present color liquid crystal display device is a so-called in-plane switching type liquid crystal display device. Regarding the obtained liquid crystal display device, both the one using NN810 and the one using NN700
The sample using A was also of good display quality.

【0146】[実施例18]実施例6と同様に、ブラッ
クマトリックス、額縁、赤、青、緑の画素の形成と、柱
の一部(土台)の形成を行った。ただし、実施例6とは
異なるフォトマスクを用い、額縁上には土台を形成しな
かった。また画面外の土台はブラックマトリックスを用
いず、着色層のみで形成した。実施例6と同様にアクリ
ル系透明保護膜形成、画面外にITO膜を成膜した。次
にJSR製ネガ型アクリル系材料(NN810またはN
N700)、新日鐵化学製V−259PAを用いて基板
間隔支持部材および柱を形成した。画面内に基板間隔支
持部材、画面外に柱を形成した。このカラーフィルター
基板を用いて、カラー液晶表示装置を作製した。カラー
フィルターの対抗側の基板には共通電極、薄膜トランジ
スター、画素電極等を有するが、実施例17とは異なる
構造をしている。本カラー液晶表示装置は、いわゆるイ
ンプレインスイッチング方式の液晶表示装置である。得
られた液晶表示装置は、NN810を用いたものも、N
N700を用いたものも、V−259PAを用いたもの
も良好な表示品位のものであった。
[Embodiment 18] In the same manner as in Embodiment 6, formation of a black matrix, a frame, pixels of red, blue, and green, and formation of a part (base) of a pillar were performed. However, a photomask different from that of Example 6 was used, and no base was formed on the frame. The base outside the screen was not formed of a black matrix, but formed only of a colored layer. An acrylic transparent protective film was formed in the same manner as in Example 6, and an ITO film was formed outside the screen. Next, a negative type acrylic material (NN810 or N
N700), a substrate spacing support member and a pillar were formed using V-259PA manufactured by Nippon Steel Chemical. Substrate spacing support members were formed inside the screen, and columns were formed outside the screen. A color liquid crystal display device was manufactured using this color filter substrate. The substrate on the opposite side of the color filter has a common electrode, a thin film transistor, a pixel electrode, and the like, but has a structure different from that of the seventeenth embodiment. The present color liquid crystal display device is a so-called in-plane switching type liquid crystal display device. In the obtained liquid crystal display device, the one using NN810
Both those using N700 and those using V-259PA were of good display quality.

【0147】[実施例19]実施例15から18におい
て、アクリル系透明保護膜ではなくエポキシ系透明保護
膜またはポリイミドシロキサン透明保護膜を用いてカラ
ーフィルター基板を作製し、画面外にITO膜を成膜
後、これを用いてカラー液晶表示装置を作製した。カラ
ーフィルターの対抗側の基板には共通電極、薄膜トラン
ジスター、画素電極等を有するが、実施例17とは異な
る構造をしている。本カラー液晶表示装置は、いわゆる
インプレインスイッチング方式の液晶表示装置である。
得られた液晶表示装置は、エポキシ系透明保護膜を用い
たものもポリイミドシロキサン系透明保護膜を用いたも
のも良好な表示品位のものであった。
[Embodiment 19] In each of Embodiments 15 to 18, a color filter substrate was manufactured using an epoxy-based transparent protective film or a polyimidesiloxane transparent protective film instead of an acrylic-based transparent protective film, and an ITO film was formed outside the screen. After the film, a color liquid crystal display device was manufactured using the film. The substrate on the opposite side of the color filter has a common electrode, a thin film transistor, a pixel electrode, and the like, but has a structure different from that of the seventeenth embodiment. The present color liquid crystal display device is a so-called in-plane switching type liquid crystal display device.
The obtained liquid crystal display device was of good display quality both using an epoxy-based transparent protective film and using a polyimidesiloxane-based transparent protective film.

【0148】[実施例20]実施例5と同じように、ク
ロム系BMを用い、ブラックマトリックス、額縁、画面
外にブラックマトリックスで柱の一部(土台)を形成し
た。次にアクリル系着色樹脂を用いて、赤画素、青画
素、緑画素の形成と、画面外のブラックマトリックスの
土台上に青画素の着色層を積層した。その後、画面内と
画面外に透明導電膜(ITO膜)を形成した後、アクリ
ル系柱材料(JSR製NN700またはNN810)ま
たは新日鐵化学製V−259PAをもちいて、柱および
基板間隔支持部材を画面内および画面外の土台上に形成
した。このカラーフィルター基板を用いて、カラー液晶
表示装置を作成した。本カラー液晶表示装置はいわゆる
TN方式の液晶表示装置である。得られた液晶表示装置
は、NN700を用いたものも、NN810を用いたも
のも、V−259PAを用いたものも良好な表示品位の
ものであった。
Example 20 In the same manner as in Example 5, a part (base) of a pillar was formed of a black matrix outside of a black matrix, a picture frame, and a screen using a chromium-based BM. Next, using an acrylic colored resin, a red pixel, a blue pixel, and a green pixel were formed, and a colored layer of a blue pixel was laminated on the base of the black matrix outside the screen. After that, a transparent conductive film (ITO film) is formed inside and outside the screen, and then, using an acrylic column material (NN700 or NN810 manufactured by JSR) or V-259PA manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd. Was formed on the base inside and outside the screen. Using this color filter substrate, a color liquid crystal display device was produced. The present color liquid crystal display device is a so-called TN type liquid crystal display device. As for the obtained liquid crystal display devices, those using NN700, those using NN810 and those using V-259PA were of good display quality.

【0149】[実施例21]実施例1と同様に、ブラッ
クマトリックス層、着色層を形成すると同時に、画面外
にブラックマトリックス層、GおよびB色の着色層を積
層させた。透明保護膜を形成後、画面内、画面外に透明
導電膜を形成した。新たな樹脂層を積層することなく、
ブラックマトリックス層と着色層、透明保護膜の積層体
を柱とした。該カラーフィルタ上にポリイミド系の配向
膜を設け、ラビング処理を施した。また、薄膜トランジ
スタ素子を備えた透明電極付の対向基板を作成し、同様
にポリイミド系の配向膜を設け、ラビング処理を施し
た。配向膜を設けたカラーフィルタと薄膜トランジスタ
素子を備えた透明電極基板とをシール剤を用いて貼り合
わせた後に、シール部に設けられた注入口から液晶を注
入した。液晶の注入は、空セルを減圧下に放置後、注入
口を液晶槽に浸漬し、常圧に戻すことにより行った。液
晶を注入後、注入口を封止し、さらに偏光板を基板の外
側に貼り合わせセルを作製した。得られた液晶表示装置
は、カラーフィルター基板と対向基板との短絡がなく、
また均一なセルギャップが確保でき、良好な表示品位の
ものであった。
Example 21 In the same manner as in Example 1, a black matrix layer and a colored layer were formed, and simultaneously, a black matrix layer and colored layers of G and B were laminated outside the screen. After forming the transparent protective film, a transparent conductive film was formed inside and outside the screen. Without laminating a new resin layer,
A laminated body of a black matrix layer, a colored layer, and a transparent protective film was used as a pillar. A polyimide alignment film was provided on the color filter, and a rubbing treatment was performed. Further, a counter substrate with a transparent electrode provided with a thin film transistor element was prepared, a polyimide-based alignment film was similarly provided, and a rubbing treatment was performed. After a color filter provided with an alignment film and a transparent electrode substrate provided with a thin film transistor element were bonded together using a sealant, liquid crystal was injected from an injection port provided in the seal portion. The liquid crystal was injected by leaving the empty cell under reduced pressure, immersing the injection port in the liquid crystal tank, and returning the pressure to normal pressure. After injecting the liquid crystal, the injection port was sealed, and a polarizing plate was attached to the outside of the substrate to produce a cell. The obtained liquid crystal display device has no short circuit between the color filter substrate and the counter substrate,
In addition, a uniform cell gap was secured, and the display quality was good.

【0150】[実施例22]実施例1と同様に、ブラッ
クマトリックス層、着色層を形成すると同時に、画面外
にブラックマトリックス層、GおよびBおよびR色の着
色層を積層させた。透明保護膜を形成後、画面内、画面
外に透明導電膜を形成した。新たな樹脂層を積層するこ
となく、ブラックマトリックス層と着色層の積層体を柱
とした。該カラーフィルタ上にポリイミド系の配向膜を
設け、ラビング処理を施した。また、薄膜トランジスタ
素子を備えた透明電極付の対向基板を作成し、同様にポ
リイミド系の配向膜を設け、ラビング処理を施した。配
向膜を設けたカラーフィルタと薄膜トランジスタ素子を
備えた透明電極基板とをシール剤を用いて貼り合わせた
後に、シール部に設けられた注入口から液晶を注入し
た。液晶の注入は、空セルを減圧下に放置後、注入口を
液晶槽に浸漬し、常圧に戻すことにより行った。液晶を
注入後、注入口を封止し、さらに偏光板を基板の外側に
貼り合わせセルを作製した。得られた液晶表示装置は、
カラーフィルター基板と対向基板との短絡がなく、また
均一なセルギャップが確保でき、良好な表示品位のもの
であった。
Example 22 In the same manner as in Example 1, a black matrix layer and a colored layer were formed, and simultaneously, a black matrix layer and colored layers of G, B, and R were laminated outside the screen. After forming the transparent protective film, a transparent conductive film was formed inside and outside the screen. Without stacking a new resin layer, a stacked body of the black matrix layer and the colored layer was used as a pillar. A polyimide alignment film was provided on the color filter, and a rubbing treatment was performed. Further, a counter substrate with a transparent electrode provided with a thin film transistor element was prepared, a polyimide-based alignment film was similarly provided, and a rubbing treatment was performed. After a color filter provided with an alignment film and a transparent electrode substrate provided with a thin film transistor element were bonded together using a sealant, liquid crystal was injected from an injection port provided in the seal portion. The liquid crystal was injected by leaving the empty cell under reduced pressure, immersing the injection port in the liquid crystal tank, and returning the pressure to normal pressure. After injecting the liquid crystal, the injection port was sealed, and a polarizing plate was attached to the outside of the substrate to produce a cell. The obtained liquid crystal display device is
There was no short circuit between the color filter substrate and the opposing substrate, a uniform cell gap was secured, and the display quality was good.

【0151】[実施例23]実施例1、2、3、4、
5、7、8、9、10、11、12、13、20、2
1、22において、ITOパターンの表示領域と非表示
領域との間隔を11、20、25mmに広げた以外は全
く同様にしてカラーフィルタを作成し、さらに液晶表示
装置を作成した。このパネルをパネル点灯装置により点
灯し観察した結果、実施例1と同様に表示ムラは見られ
ず、良好な表示特性を示した。比較例1の様にパネルを
解体してカラーフィルタ表面を観察した結果、傷等の異
常は認められなかった。
Embodiment 23 Embodiments 1, 2, 3, 4,
5, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 20, 2,
A color filter was prepared in exactly the same manner as in Examples 1 and 22, except that the distance between the display area and the non-display area of the ITO pattern was widened to 11, 20, and 25 mm, and a liquid crystal display device was manufactured. As a result of lighting this panel with a panel lighting device and observing it, as in Example 1, no display unevenness was observed, and good display characteristics were exhibited. As a result of disassembling the panel and observing the surface of the color filter as in Comparative Example 1, no abnormality such as a scratch was observed.

【0152】[実施例24]実施例23においてITO
パターンの表示領域と非表示領域との間隔を30mmに
広げた以外は全く同様にしてカラーフィルタを作成し、
さらに液晶表示装置を作成した。このパネルをパネル点
灯装置により点灯し観察した結果、実施例1と同様に表
示ムラは見られず、良好な表示特性を示した。比較例1
の様にパネルを解体してカラーフィルタ表面を観察した
結果、非常に軽微な傷が確認された。
[Embodiment 24] In Embodiment 23, ITO was used.
A color filter was created in exactly the same manner except that the distance between the pattern display area and the non-display area was increased to 30 mm,
Further, a liquid crystal display device was produced. As a result of lighting this panel with a panel lighting device and observing it, as in Example 1, no display unevenness was observed, and good display characteristics were exhibited. Comparative Example 1
As a result of disassembling the panel and observing the surface of the color filter, very slight scratches were confirmed.

【0153】[比較例1] (1.カラーフィルターの作製)実施例1と同様にし
て、ブラックマトリックス、額縁、赤、青、緑色画素の
形成、柱および基板間隔支持部材の一部の形成を行っ
た。次に、ITO膜を図14(B)のように、画面内に
のみ成膜した。次に柱および基板間隔支持部材用樹脂層
を、画面内と額縁上、画面外に形成した。 (2.カラー液晶表示装置の作製)上記カラーフィルタ
を用いて実施例1と同様に液晶表示装置を作製した。得
られた液晶表示装置は、ラビング方向に平行な2〜3m
mピッチの筋状の明暗の表示ムラが発生した。このパネ
ルを解体し、液晶を洗い流した後、強力ライトでカラー
フィルタ基板表面を観察したところ配向膜の表面にムラ
と同方向、同ピッチの筋状のムラが観察された。
Comparative Example 1 (1. Production of Color Filter) In the same manner as in Example 1, the formation of the black matrix, the picture frame, the formation of the red, blue, and green pixels, and the formation of some of the pillars and the substrate spacing support member were performed. went. Next, an ITO film was formed only in the screen as shown in FIG. Next, a resin layer for pillars and substrate spacing support members was formed inside the screen, on the frame, and outside the screen. (2. Production of Color Liquid Crystal Display) A liquid crystal display was produced in the same manner as in Example 1 using the above color filters. The obtained liquid crystal display device is 2-3 m parallel to the rubbing direction.
Streaky light and dark display unevenness with m pitches occurred. After disassembling the panel and washing off the liquid crystal, the surface of the color filter substrate was observed with a strong light, and streaky unevenness in the same direction and pitch as the unevenness was observed on the surface of the alignment film.

【0154】[比較例2]実施例6、14、15、1
6、17、18、19において、透明保護膜を形成した
後、画面外にITO電極を形成しない他は同様にしてイ
ンプレインスイッチング方式の液晶表示装置を作成し
た。このパネルをパネル点灯装置により点灯し、観察し
た結果ラビング方向と平行な筋状の表示ムラが僅かに認
められた。このパネルを解体し、液晶を洗い流した後、
強力ライトでカラーフィルタ基板表面を観察したところ
配向膜の表面にムラと同方向の筋状のムラが観察され
た。
[Comparative Example 2] Examples 6, 14, 15, 1
In 6, 17, 18, and 19, an in-plane switching type liquid crystal display device was prepared in the same manner except that an ITO electrode was not formed outside the screen after forming a transparent protective film. The panel was lit by a panel lighting device, and as a result of observation, slight display unevenness parallel to the rubbing direction was observed. After dismantling this panel and washing out the liquid crystal,
When the surface of the color filter substrate was observed with a strong light, streaky unevenness in the same direction as the unevenness was observed on the surface of the alignment film.

【0155】[0155]

【発明の効果】液晶表示装置用基板の画面外に導電性膜
を設けて液晶表示装置を作成した場合、液晶表示装置製
造工程におけるラビング工程で非表示領域とラビングク
ロスが接触する際に発生する静電気の抑制、基板を液切
り乾燥させるときに生じる局所帯電等の抑制ができる。
これにより、静電気により引き起こしていた不良、例え
ばパーティクルを引きつけることによる異物欠点や異常
放電により基板表面の部分劣化による表示ムラ、の発生
を低減することができる。
When a liquid crystal display device is manufactured by providing a conductive film outside the screen of a liquid crystal display device substrate, the liquid crystal display device occurs when a non-display area and a rubbing cloth come into contact in a rubbing step in a liquid crystal display device manufacturing process. It is possible to suppress static electricity and local electrification generated when the substrate is drained and dried.
As a result, it is possible to reduce defects caused by static electricity, for example, display defects due to foreign matter defects due to attracting particles and display unevenness due to partial deterioration of the substrate surface due to abnormal discharge.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る画面外、額縁を説明する液晶表示
装置用基板の一例を示す概略図である。
FIG. 1 is a schematic view showing an example of a liquid crystal display substrate for explaining a frame outside a screen according to the present invention.

【図2】(A)〜(D)は基板上に形成される導電膜の
領域の一例を示す概略図である。
FIGS. 2A to 2D are schematic diagrams illustrating an example of a region of a conductive film formed over a substrate.

【図3】(A)〜(D)は画面内に形成される基板間隔
支持部材の一例を示す概略断面図である。
FIGS. 3A to 3D are schematic cross-sectional views illustrating an example of a substrate spacing support member formed in a screen.

【図4】(A)〜(D)は画面内に形成される基板間隔
支持部材の一例を示す概略断面図である。
FIGS. 4A to 4D are schematic cross-sectional views showing an example of a substrate spacing support member formed in a screen.

【図5】(A)〜(E)は画面外に形成される柱の一例
を示す概略断面図である。
FIGS. 5A to 5E are schematic cross-sectional views showing an example of a pillar formed outside the screen.

【図6】(A)〜(D)は画面外に形成される柱の一例
を示す概略断面図である。
FIGS. 6A to 6D are schematic cross-sectional views illustrating an example of a pillar formed outside the screen.

【図7】(A)〜(E)は画面外に形成される柱の一例
を示す概略断面図である。
FIGS. 7A to 7E are schematic cross-sectional views showing examples of columns formed outside the screen.

【図8】(A)〜(D)は画面外に形成される柱の一例
を示す概略断面図である。
FIGS. 8A to 8D are schematic cross-sectional views illustrating an example of a pillar formed outside the screen.

【図9】(A)〜(D)は画面外に形成される柱の一例
を示す概略断面図である。
FIGS. 9A to 9D are schematic cross-sectional views illustrating an example of a pillar formed outside the screen.

【図10】(A)〜(E)は画面外に形成される柱の一
例を示す概略断面図である。
FIGS. 10A to 10E are schematic cross-sectional views showing an example of a pillar formed outside the screen.

【図11】(A)〜(D)は画面外に形成される柱の一
例を示す概略断面図である。
FIGS. 11A to 11D are schematic cross-sectional views illustrating an example of a pillar formed outside a screen.

【図12】基板間隔支持部材および柱の上面積と下面積
を示す斜方投影図である。
FIG. 12 is an oblique projection view showing an upper area and a lower area of a substrate spacing support member and columns.

【図13】本発明の液晶表示装置用基板を用いて作製し
た液晶表示装置の一例を示す概略断面図である。
FIG. 13 is a schematic cross-sectional view showing one example of a liquid crystal display device manufactured using the liquid crystal display device substrate of the present invention.

【図14】画面外に導電膜を形成しない、従来の液晶表
示装置用基板の一例である。
FIG. 14 is an example of a conventional substrate for a liquid crystal display device in which a conductive film is not formed outside a screen.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:液晶表示装置用基板 2:画面外 3:表示領域 4:額縁 5:画面内 6:額縁の内周端 7:額縁の外周端 8:液晶表示装置を製造する際に切り落とされる領域 9:切り落としライン 10:画面外の導電膜 11:画面内の導電膜 12:基板間隔支持部材 13:着色層(1) 14:着色層(2) 15:ガラス基板またはプラスチック基板 16:ブラックマトリックス 17:透明導電膜 18:透明保護膜 19:着色層(3) 20:柱 21:柱用樹脂層 22:導電膜 23:柱の一部(例えばブラックマトリックス層、着色
層) 24:柱(例えばブラックマトリックス層、着色層) 25:柱上面積 26:柱下面積 27:液晶 28:配向膜 29:画素電極 30:ゲート電極 31:層間絶縁膜 32:画素電極 33:柱の一部(例えばブラックマトリックス層、着色
層) 34:柱(例えばブラックマトリックス層、着色層) 35:柱上面積 36:柱下面積 37:液晶 38:シール材 39:柱突き当て部
1: substrate for liquid crystal display device 2: outside the screen 3: display area 4: frame 5: inside the screen 6: inner peripheral edge of the frame 7: outer peripheral edge of the frame 8: area cut off when manufacturing the liquid crystal display device 9: Cut-off line 10: Conductive film outside screen 11: Conductive film inside screen 12: Substrate spacing support member 13: Colored layer (1) 14: Colored layer (2) 15: Glass substrate or plastic substrate 16: Black matrix 17: Transparent Conductive film 18: Transparent protective film 19: Colored layer (3) 20: Column 21: Column resin layer 22: Conductive film 23: Part of column (for example, black matrix layer, colored layer) 24: Column (for example, black matrix layer) , Colored layer) 25: area above pillar 26: area below pillar 27: liquid crystal 28: alignment film 29: pixel electrode 30: gate electrode 31: interlayer insulating film 32: pixel electrode 33: part of pillar (for example, Rack matrix layer, colored layer) 34: Column (for example, black matrix layer, a colored layer) 35: pole area 36: pillar area under 37: LCD 38: sealing material 39: pillar abutment portion

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 幡野 智彦 滋賀県大津市園山1丁目1番1号 東レ株 式会社滋賀事業場内 Fターム(参考) 2H048 BA11 BB01 2H089 LA02 LA09 LA10 LA12 LA16 MA03X PA04 QA10 QA16 TA02 TA04 TA12 TA13 2H091 FA02Y FA35Y FD06 GA06 GA08 LA07 2H092 HA04 NA14 PA02 PA03 PA08 PA09 5C094 AA03 AA42 AA43 BA03 BA43 CA19 CA24 DA13 DA15 ED02 ED15 JA08  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Tomohiko Hatano 1-1-1 Sonoyama, Otsu-shi, Shiga F-term in the Shiga Plant of Toray Industries Co., Ltd. (Reference) 2H048 BA11 BB01 2H089 LA02 LA09 LA10 LA12 LA16 MA03X PA04 QA10 QA16 TA02 TA04 TA12 TA13 2H091 FA02Y FA35Y FD06 GA06 GA08 LA07 2H092 HA04 NA14 PA02 PA03 PA08 PA09 5C094 AA03 AA42 AA43 BA03 BA43 CA19 CA24 DA13 DA15 ED02 ED15 JA08

Claims (19)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】画面外に柱を有しており、該柱上および/
または該柱周辺に導電膜を形成したことを特徴とする液
晶表示装置用基板。
The present invention has a column outside a screen, and the column and / or
Alternatively, a substrate for a liquid crystal display device, wherein a conductive film is formed around the pillar.
【請求項2】画面外に導電膜を形成した上に、柱を形成
したことを特徴とする液晶表示装置用基板。
2. A substrate for a liquid crystal display device, wherein a pillar is formed on a conductive film formed outside a screen.
【請求項3】導電膜下に透明保護膜が形成されているこ
とを特徴とする請求項1ないし2のいずれか1項に記載
の液晶表示装置用基板。
3. The substrate for a liquid crystal display device according to claim 1, wherein a transparent protective film is formed under the conductive film.
【請求項4】画面外の液晶表示装置を製造する際に切り
落とされる領域に、柱を形成したことを特徴とする請求
項1ないし3のいずれか1項に記載の液晶表示装置用基
板。
4. The substrate for a liquid crystal display device according to claim 1, wherein a pillar is formed in a region cut off when manufacturing the liquid crystal display device outside the screen.
【請求項5】導電膜が液晶表示装置用基板の表示領域
と、画面外の両方に形成されていることを特徴とする請
求項1ないし4のいずれか1項に記載の液晶表示装置用
基板。
5. The substrate for a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the conductive film is formed both in a display area of the substrate for a liquid crystal display device and outside the screen. .
【請求項6】導電膜を表示領域に形成しないことを特徴
とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の液晶表
示装置用基板。
6. The substrate for a liquid crystal display device according to claim 1, wherein a conductive film is not formed in the display region.
【請求項7】柱の高さが2μm以上10μm以下である
ことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載
の液晶表示装置用基板。
7. The substrate for a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the height of the columns is 2 μm or more and 10 μm or less.
【請求項8】柱の面積が50μm2 以上1mm2 以下で
あることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に
記載の液晶表示装置用基板。
8. The substrate for a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the area of the pillar is 50 μm 2 or more and 1 mm 2 or less.
【請求項9】柱がドット状であることを特徴とする請求
項1から8のいずれか1項に記載の液晶表示装置用基
板。
9. The substrate for a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the pillars have a dot shape.
【請求項10】柱が周期的に配置されていることを特徴
とする請求項1から9のいずれか1項に記載の液晶表示
装置用基板。
10. The substrate for a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the columns are periodically arranged.
【請求項11】導電性膜がITO膜であることを特徴と
する請求項1から10のいずれか1項に記載の液晶表示
装置用基板。
11. A substrate for a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the conductive film is an ITO film.
【請求項12】柱が、遮光膜上に形成されていることを
特徴とする請求項1から11のいずれか1項に記載の液
晶表示装置用基板。
12. The substrate for a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the pillar is formed on a light shielding film.
【請求項13】遮光膜が遮光剤を含む樹脂であることを
特徴とする請求項12に記載の液晶表示装置用基板。
13. The liquid crystal display device substrate according to claim 12, wherein the light shielding film is a resin containing a light shielding agent.
【請求項14】複数色の着色層により形成された画素を
有するカラーフィルターであることを特徴とする請求項
1から13のいずれか1項に記載の液晶表示装置用基
板。
14. A substrate for a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the substrate is a color filter having pixels formed by colored layers of a plurality of colors.
【請求項15】柱が画素のうちの2色および/または3
色の着色層を積層したものであることを特徴とする請求
項14に記載の液晶表示装置用基板。
15. The method according to claim 15, wherein the columns are two and / or three of the pixels.
The substrate for a liquid crystal display device according to claim 14, wherein the substrate is formed by laminating colored layers of colors.
【請求項16】画面内に基板間隔支持部材が形成されて
いることを特徴とする請求項1から15のいずれか1項
に記載の液晶表示装置用基板。
16. The substrate for a liquid crystal display device according to claim 1, wherein a substrate spacing support member is formed in the screen.
【請求項17】画面内に基板間隔支持部材が形成され、
該画面内の基板間隔支持部材の構成材料と、画面外の柱
の構成材料の一部が一致していることを特徴とする請求
項1から16いずれか1項に記載の液晶表示装置用基
板。
17. A substrate spacing support member is formed in a screen,
17. The substrate for a liquid crystal display device according to claim 1, wherein a constituent material of a substrate spacing supporting member in the screen and a part of constituent materials of columns outside the screen are identical. .
【請求項18】2枚の液晶表示装置用基板間に液晶を挟
持してなる液晶表示装置において、少なくとも一方の液
晶表示装置用基板が請求項1から17のいずれか1項に
記載の液晶表示装置用基板を用いたことを特徴とする液
晶表示装置。
18. A liquid crystal display device in which liquid crystal is sandwiched between two substrates for a liquid crystal display device, wherein at least one of the substrates for a liquid crystal display device has the liquid crystal display according to any one of claims 1 to 17. A liquid crystal display device using a device substrate.
【請求項19】画面外の柱および/または該柱周辺の導
電膜と、同一基板内の表示領域とが電気的に接続されて
いないことを特徴とする請求項18に記載の液晶表示装
置。
19. The liquid crystal display device according to claim 18, wherein the column outside the screen and / or the conductive film around the column is not electrically connected to the display region in the same substrate.
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004088398A1 (en) * 2003-03-28 2004-10-14 Toshiba Matsushita Display Technology Co., Ltd. Process for manufacturing liquid crystal display
JP2005208567A (en) * 2003-12-25 2005-08-04 Nec Corp Image display apparatus, portable terminal apparatus, display panel and lens
JP2006154606A (en) * 2004-12-01 2006-06-15 Dainippon Printing Co Ltd Black matrix substrate, and color filter and monochrome filter using the same
JP2006162875A (en) * 2004-12-06 2006-06-22 Dainippon Printing Co Ltd Substrate having multi-planes for color filter and its manufacturing method
JP2006201779A (en) * 2005-01-18 2006-08-03 Samsung Electronics Co Ltd Color filter array panel and liquid crystal display including the same
JP2007212826A (en) * 2006-02-10 2007-08-23 Toppan Printing Co Ltd Color filter for liquid crystal display, and the liquid crystal display device
JP2009058607A (en) * 2007-08-30 2009-03-19 Toppan Printing Co Ltd Color filter, its manufacturing method and photomask
JP2009210918A (en) * 2008-03-05 2009-09-17 Dainippon Printing Co Ltd Color filter for in-plane switching liquid crystal driving method, and method for manufacturing the same
JP2011173363A (en) * 2010-02-25 2011-09-08 Hitachi Displays Ltd Thin film substrate, display device, heater, thin film substrate heating method and display device manufacturing method
CN115322201A (en) * 2022-07-15 2022-11-11 湖南科技学院 Macrocyclic column aromatic compound and preparation method and application thereof

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004088398A1 (en) * 2003-03-28 2004-10-14 Toshiba Matsushita Display Technology Co., Ltd. Process for manufacturing liquid crystal display
US7102725B2 (en) 2003-03-28 2006-09-05 Toshiba Matsushita Display Technology Co., Ltd. Method of manufacturing liquid crystal display
JP2005208567A (en) * 2003-12-25 2005-08-04 Nec Corp Image display apparatus, portable terminal apparatus, display panel and lens
JP2006154606A (en) * 2004-12-01 2006-06-15 Dainippon Printing Co Ltd Black matrix substrate, and color filter and monochrome filter using the same
JP2006162875A (en) * 2004-12-06 2006-06-22 Dainippon Printing Co Ltd Substrate having multi-planes for color filter and its manufacturing method
JP2006201779A (en) * 2005-01-18 2006-08-03 Samsung Electronics Co Ltd Color filter array panel and liquid crystal display including the same
JP2007212826A (en) * 2006-02-10 2007-08-23 Toppan Printing Co Ltd Color filter for liquid crystal display, and the liquid crystal display device
JP2009058607A (en) * 2007-08-30 2009-03-19 Toppan Printing Co Ltd Color filter, its manufacturing method and photomask
JP2009210918A (en) * 2008-03-05 2009-09-17 Dainippon Printing Co Ltd Color filter for in-plane switching liquid crystal driving method, and method for manufacturing the same
JP2011173363A (en) * 2010-02-25 2011-09-08 Hitachi Displays Ltd Thin film substrate, display device, heater, thin film substrate heating method and display device manufacturing method
CN115322201A (en) * 2022-07-15 2022-11-11 湖南科技学院 Macrocyclic column aromatic compound and preparation method and application thereof
CN115322201B (en) * 2022-07-15 2024-01-26 湖南科技学院 Macrocyclic column aromatic compound, and preparation method and application thereof

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