JP2002025791A - Ac power source type ionizer - Google Patents

Ac power source type ionizer

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JP2002025791A
JP2002025791A JP2000210628A JP2000210628A JP2002025791A JP 2002025791 A JP2002025791 A JP 2002025791A JP 2000210628 A JP2000210628 A JP 2000210628A JP 2000210628 A JP2000210628 A JP 2000210628A JP 2002025791 A JP2002025791 A JP 2002025791A
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JP
Japan
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discharge
ionizer
negative ions
positive
casing
Prior art date
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Application number
JP2000210628A
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Japanese (ja)
Inventor
Mochimatsu Nakajima
用松 中島
Tetsuya Tokunaga
哲也 徳永
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Hugle Electronics Inc
Original Assignee
Hugle Electronics Inc
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Publication date
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  • Elimination Of Static Electricity (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent electric charging of a destaticized object by electrostatic induction voltage caused by a corona discharge, and dispense with cleaning for discharge needles. SOLUTION: In this AC power source type ionizer, the plural discharge needles 17 are installed along the longitudinal direction of a bar-shaped insulative support body 18, an AC voltage is applied between the discharge needles 17 and a ground electrode (a counter ground plate 19) to generate positive and negative ions by the corona discharge, and the positive and negative ions are jetted to the static-destaticized object by high-pressure air to discharge the discharged object. The ionizer has an insulative casing 20 surrounding the discharge needles 17, the support body 18 and the ground electrode 19, and a grounded metal shield plate 11 installed, such that the shield plate 11 surrounds the casing 20. The discharge needles 17 are disposed inside the casing 20, while the positive and negative ions generated by the corona discharge are jetted from minute-diameter ion jet ports 12 formed in the casing 20.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハやT
FT液晶ガラス基板、MRヘッド、GMRヘッド等の帯
電電荷を中和するためのイオナイザーに関し、詳しく
は、絶縁性のバー形状の支持体の長さ方向に沿って複数
配置された放電針に高圧の交流電圧を印加することによ
り、コロナ放電を生じさせて正負のイオンを生成し噴射
させるようにした、バー形状のAC電源方式イオナイザ
ーに関するものである。
[0001] The present invention relates to a semiconductor wafer or T
More specifically, the present invention relates to an ionizer such as an FT liquid crystal glass substrate, an MR head, and a GMR head for neutralizing a charged charge. Specifically, a plurality of discharge needles are arranged along the length direction of an insulating bar-shaped support. The present invention relates to a bar-shaped AC power supply type ionizer in which positive and negative ions are generated and ejected by applying a AC voltage to generate corona discharge.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、この種のイオナイザーは、多数の
放電針を露出状態で配置し、これらの放電針の近傍で発
生したイオンを同極性のイオン同士の反発力によって拡
散させるか、放電針の近くから高圧エアを噴射させてイ
オンを拡散させる方式のものが一般的であった。特にA
C電源方式イオナイザーでは、交流電源の周期で生成さ
れた正負のイオンが近距離に存在するため、イオン同士
の再結合率が高い。このため、イオナイザーの直下を移
動していく被除電物に対して十分な除電効果を得るため
には、被除電物に対して約50mm以下の間隔でイオナ
イザーを配置するのが通常である。
2. Description of the Related Art Conventionally, this type of ionizer has a large number of discharge needles arranged in an exposed state, and ions generated in the vicinity of these discharge needles are diffused by repulsive force of ions of the same polarity, or a discharge needle is used. In general, a method of injecting high-pressure air from near to diffuse ions. Especially A
In the C power supply type ionizer, since the positive and negative ions generated in the cycle of the AC power supply are present at a short distance, the recombination rate between the ions is high. For this reason, in order to obtain a sufficient neutralizing effect on the object to be neutralized moving directly below the ionizer, it is usual to arrange the ionizer at an interval of about 50 mm or less with respect to the object to be neutralized.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】このように、正負イオ
ンの再結合を防ぐためにはイオナイザー(放電針)と被
除電物との間の距離が短いほど良いが、両者間の距離が
近過ぎると高電圧が印加された放電針が形成する電界の
影響で被除電物に静電誘導電圧が発生する。商用周波数
の高電圧が印加される場合には、静電誘導電圧の極性が
1秒間に50回または60回変化するため、イオナイザ
ーの生成イオンによって完全な除電が行われず、被除電
物表面には50Hzまたは60Hzで変化する電圧が現
れる。この現象は、イオナイザーの評価測定器である帯
電プレートモニタでは周波数の高さにより観測不可能で
ある。また、被除電物が半導体ウェハやTFT液晶ガラ
ス基板、MRヘッド、GMRヘッドのように帯電に弱い
製品である場合、上述した静電誘導電圧による影響は無
視できないものとなる。
As described above, in order to prevent recombination of positive and negative ions, the shorter the distance between the ionizer (discharge needle) and the object to be neutralized, the better. However, if the distance between the two is too short. An electrostatic induction voltage is generated in the object to be neutralized under the influence of the electric field formed by the discharge needle to which the high voltage is applied. When a high voltage of a commercial frequency is applied, the polarity of the electrostatic induction voltage changes 50 or 60 times per second, so that complete ionization is not performed by ions generated by the ionizer, and the surface of the object to be neutralized is not discharged. A voltage varying at 50 Hz or 60 Hz appears. This phenomenon cannot be observed with a charged plate monitor, which is an evaluation measuring instrument for an ionizer, due to the high frequency. In addition, when the object to be neutralized is a product that is weak in charging, such as a semiconductor wafer, a TFT liquid crystal glass substrate, an MR head, and a GMR head, the above-described effects of the electrostatic induction voltage cannot be ignored.

【0004】例えば、イオナイザーの直下の搬送ライン
上を移動する液晶ガラス基板を除電する際に、ガラス基
板の表面に正の静電誘導電圧が発生すると、放電針の近
傍で発生した正負イオンのうち負イオンだけがガラス基
板の表面に吸着され、見かけ上はガラス基板表面が除電
されたようになる。しかし、ガラス基板がイオナイザー
の放電針から離れて静電誘導の影響が無くなると、ガラ
ス基板の表面に吸着された負イオンのために負に帯電し
たままの状態となる。
[0004] For example, when a positive electrostatic induction voltage is generated on the surface of a liquid crystal glass substrate moving on a transport line immediately below an ionizer, the positive and negative ions generated near a discharge needle are generated. Only negative ions are adsorbed on the surface of the glass substrate, and apparently the surface of the glass substrate is destaticized. However, when the glass substrate is separated from the discharge needle of the ionizer and the influence of the electrostatic induction is eliminated, the glass substrate remains negatively charged due to the negative ions adsorbed on the surface of the glass substrate.

【0005】このように、静電誘導による帯電現象が発
生すると、ある時間はイオナイザーによって除電された
ように見えても、静電誘導の影響が無くなると再び帯電
状態となって完全な除電を行うことができない。
As described above, when the charging phenomenon due to the electrostatic induction occurs, even if it appears that the charge is removed by the ionizer for a certain period of time, when the influence of the electrostatic induction is removed, the charged state is returned to complete the charge removal. Can not do.

【0006】更に、従来のバー形状のイオナイザーは放
電針が露出状態で多数配置されているため、放電針の周
囲の塵埃が静電吸着によって放電針に付着しやすく、そ
のクリーニングに多大な労力が必要となっている。具体
的には、綿棒状の治具を用いて放電針を定期的にクリー
ニングしなくてはならず、イオナイザーが多数設置され
ている場合には膨大な作業となる。特に、この種のイオ
ナイザーは半導体ウェハや液晶等の製造ラインの製造装
置内に設けられており、放電針をクリーニングするため
には製造ラインを停止して装置内部でクリーニングする
作業が避けられない。これらの作業が却って塵埃の発生
を招き、装置内や被除電物を汚染する原因となってい
た。
Further, in the conventional bar-shaped ionizer, since a large number of discharge needles are arranged in an exposed state, dust around the discharge needles easily adheres to the discharge needles by electrostatic attraction, and a great amount of labor is required for cleaning. Is needed. Specifically, the discharge needles must be periodically cleaned using a cotton swab-shaped jig, which is an enormous operation when a large number of ionizers are installed. In particular, this type of ionizer is provided in a manufacturing apparatus of a manufacturing line for a semiconductor wafer, a liquid crystal or the like, and in order to clean the discharge needles, it is inevitable to stop the manufacturing line and clean the inside of the apparatus. These operations have instead led to the generation of dust, causing contamination of the inside of the apparatus and the object to be neutralized.

【0007】そこで本発明は、静電誘導による被除電物
の帯電を防止すると共に、放電針のクリーニングの手間
や労力、コストを削減するようにしたAC電源方式イオ
ナイザーを提供しようとするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide an AC power supply type ionizer which prevents charging of an object to be neutralized due to electrostatic induction and reduces labor, labor and cost of cleaning a discharge needle. .

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項1記載の発明は、バー形状で絶縁性の支持体
の長さ方向に沿って複数の放電針が取り付けられ、前記
放電針とアース電極との間に交流電圧を印加してコロナ
放電により正負イオンを発生させ、前記正負イオンを高
圧エアにより被除電物に噴射して被除電物を除電するよ
うにしたAC電源方式イオナイザーにおいて、前記放電
針、支持体及びアース電極を包囲する絶縁性の筐体と、
この筐体を包囲するように取り付けられ、かつアースさ
れた金属製のシールド板と、を備え、前記放電針を前記
筐体の内部に配置すると共に、コロナ放電により発生し
た正負イオンを前記筐体に形成された微小径のイオン噴
射口から噴射させるものである。
According to a first aspect of the present invention, a plurality of discharge needles are attached along a length direction of a bar-shaped insulating support member. An AC power supply type ionizer in which positive and negative ions are generated by corona discharge by applying an AC voltage between the ground electrode and the ground electrode, and the positive and negative ions are ejected to the object to be neutralized by high-pressure air to discharge the object. An insulating housing surrounding the discharge needle, the support and the ground electrode;
A metal shield plate attached to and surrounding the housing and grounded, wherein the discharge needle is disposed inside the housing and positive and negative ions generated by corona discharge are provided in the housing. Is injected from the small-diameter ion injection port formed on the substrate.

【0009】請求項2記載の発明は、請求項1記載のA
C電源方式イオナイザーにおいて、前記筐体の内部空間
に導体からなるイオンレベルセンサを配置し、前記内部
空間で発生した正負イオンによるイオン電流と前記放電
針の静電誘導による誘導電流とを前記イオンレベルセン
サにより検出可能としたものである。
The invention according to claim 2 is the invention according to claim 1,
In a C power supply type ionizer, an ion level sensor made of a conductor is disposed in the internal space of the housing, and an ion current generated by positive and negative ions generated in the internal space and an induction current generated by electrostatic induction of the discharge needle are measured by the ion level sensor. This can be detected by a sensor.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、図に沿って本発明の実施形
態を説明する。まず、図1は実施形態にかかるイオナイ
ザーの外観を示す斜視図である。図1において、このイ
オナイザーは全体がほぼ角筒状に形成されており、後述
する角筒状の絶縁性の筐体20をアースされた金属製の
シールド板11が覆っている。シールド板11の下面に
は、長さ方向に沿って多数のイオン噴射口12が配置さ
れており、これらのイオン噴射口12の内部上方には図
示されていない放電針がそれぞれ配置されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. First, FIG. 1 is a perspective view showing the appearance of an ionizer according to the embodiment. In FIG. 1, this ionizer is formed in a substantially rectangular tube shape as a whole, and a grounded metal shield plate 11 covers a rectangular tube-shaped insulating casing 20 described later. A large number of ion injection ports 12 are arranged on the lower surface of the shield plate 11 along the length direction, and discharge needles (not shown) are respectively arranged above the inside of the ion injection ports 12.

【0011】また、イオナイザーの長さ方向の一端部に
はシールド処理された高圧ケーブル13が取り付けら
れ、イオナイザー内部の放電針に高圧の交流電圧を印加
可能となっている。この高圧ケーブル13の下方にはエ
ア導入口14が配置されており、イオナイザーの内部に
高圧のエアを導入可能となっている。
A shielded high-voltage cable 13 is attached to one end of the ionizer in the length direction, so that a high AC voltage can be applied to the discharge needle inside the ionizer. An air inlet 14 is disposed below the high-pressure cable 13 so that high-pressure air can be introduced into the ionizer.

【0012】なお、このイオナイザーは、直径数cmの
半導体ウェハから幅広の液晶ガラス基板まで対応できる
ように、全長が数cm〜200cm程度までの任意の長
さに形成されている。
The ionizer is formed to have an arbitrary length of a few cm to about 200 cm so as to be applicable from a semiconductor wafer having a diameter of several cm to a wide liquid crystal glass substrate.

【0013】図2は図1の縦断面図である。図2におい
て、15は前記高圧ケーブル13に電気的に接続された
高圧部であり、例えば5.3kVの交流電圧が印加され
る。この高圧部15の下端部には放電針ソケット16を
介して放電針17が取り付けられており、その針先の直
下には前記イオン噴射口12が位置している。
FIG. 2 is a longitudinal sectional view of FIG. In FIG. 2, reference numeral 15 denotes a high-voltage unit electrically connected to the high-voltage cable 13, to which an AC voltage of, for example, 5.3 kV is applied. A discharge needle 17 is attached to a lower end of the high-pressure part 15 via a discharge needle socket 16, and the ion injection port 12 is located immediately below the needle tip.

【0014】これらの高圧部15、放電針ソケット16
及び放電針17を包囲するように、バー形状の絶縁性の
支持体18が形成されている。この支持体18の外側に
は、断面コ字形の対向アース板(アース電極)19が配
置され、その外側を絶縁性かつ角筒状の筐体20が包囲
している。筐体20の底板20Aには、前述したイオン
噴射口12が形成されているが、このイオン噴射口12
は、イオン噴射方向に沿って、すなわち下方に向かうに
つれて直径が小さくなるように形成されている。また、
シールド板11の底板11Aの前記イオン噴射口12に
合致する位置には、通孔11Bが形成されている。
The high-pressure portion 15 and the discharge needle socket 16
A bar-shaped insulating support 18 is formed so as to surround the discharge needle 17. An opposing earth plate (earth electrode) 19 having a U-shaped cross section is disposed outside the support 18, and an insulating and rectangular cylindrical housing 20 surrounds the outside thereof. The ion injection port 12 described above is formed in the bottom plate 20A of the housing 20.
Are formed such that the diameter decreases along the ion injection direction, that is, downward. Also,
A through hole 11B is formed at a position of the bottom plate 11A of the shield plate 11 that matches the ion injection port 12.

【0015】ここで、例えばイオン噴射口12の出口の
直径は1mm、通孔11Bの直径は8mm、イオン噴射
口12の図中の角度θは15゜となっている。また、放
電針17は筐体底板20Aの内面よりも奥まった位置に
配置されており、放電針17の先端部から底板20Aの
内面までの距離Lは4.5mmである。
Here, for example, the diameter of the outlet of the ion injection port 12 is 1 mm, the diameter of the through hole 11B is 8 mm, and the angle θ of the ion injection port 12 in the drawing is 15 °. The discharge needle 17 is disposed at a position deeper than the inner surface of the housing bottom plate 20A, and the distance L from the tip of the discharge needle 17 to the inner surface of the bottom plate 20A is 4.5 mm.

【0016】更に、筐体20の内側隅部には、針金状の
導体からなるイオンレベルセンサ21が筐体20の全長
にわたり配置されている。このイオンレベルセンサ21
は、イオナイザーの内部空間で発生したイオン電流と放
電針17の静電誘導による誘導電流を検出するためのも
のである。これらのイオン電流や誘導電流は放電針17
表面の付着物が少なく針先がシャープであるほど大きい
ため、レベルセンサ21によりイオン電流や誘導電流を
常時測定して所定の設定値と比較することにより、放電
針17の先端部への異物の付着やスパッタリングによる
先端部の摩耗に起因したイオンレベルの低下を検出、表
示可能としている。
Further, an ion level sensor 21 made of a wire-like conductor is arranged at the inner corner of the casing 20 over the entire length of the casing 20. This ion level sensor 21
Is for detecting the ion current generated in the internal space of the ionizer and the induced current due to the electrostatic induction of the discharge needle 17. These ionic currents and induced currents are
Since the amount of deposits on the surface is small and the sharpness of the needle tip is large, the level sensor 21 constantly measures the ionic current and the induced current and compares them with a predetermined set value. It is possible to detect and display a decrease in ion level due to abrasion of the tip caused by adhesion or sputtering.

【0017】次に、本実施形態の動作を説明する。図2
の高圧部15に所定の高電圧を印加すると、放電針17
と対向アース板19との間に電界が発生し、放電針17
の先端部周囲の空間でコロナ放電が発生して正負イオン
が生成される。これらの正負イオンは、エア導入口14
から導入された高圧エアによりイオン噴射口12から被
除電物へ噴射される。
Next, the operation of the present embodiment will be described. FIG.
When a predetermined high voltage is applied to the high voltage portion 15 of the
An electric field is generated between the discharge needle 17 and the opposite ground plate 19.
A corona discharge is generated in the space around the tip of, and positive and negative ions are generated. These positive and negative ions are supplied to the air inlet 14.
Is injected from the ion injection port 12 to the object to be neutralized by the high-pressure air introduced from the nozzle.

【0018】このとき、対向アース板19の外側は絶縁
性の筐体20によって包囲されているので、イオナイザ
ーの外部における電界強度は小さくなり、放電針が露出
している従来構造に比べて被除電物に対する静電誘導の
影響をかなり抑制することができる。しかし、これだけ
の構造であると、筐体20内に存在するイオンが筐体2
0の内壁に付着し、時間的に遅れて発生した逆極性のイ
オンと中和してしまう結果、イオン量が減少し、イオン
噴射口12から噴射されるイオン量が少なくなって除電
効果が低下してしまうおそれがある。
At this time, since the outside of the opposing ground plate 19 is surrounded by the insulating casing 20, the electric field intensity outside the ionizer becomes small, and the electric charge to be removed is reduced as compared with the conventional structure in which the discharge needle is exposed. The influence of the electrostatic induction on the object can be considerably suppressed. However, with such a structure, ions existing in the housing 20 are not
As a result, the amount of ions is reduced, and the amount of ions ejected from the ion injection port 12 is reduced, resulting in a decrease in the static elimination effect. There is a risk of doing it.

【0019】そこで本実施形態では、筐体20の外面を
シールド板11により包囲し、このシールド板11をア
ースするようにした。これにより、筐体20の内壁に付
着したイオンによる電気力線はシールド板11に向かっ
て終端し、見かけ上は筐体20の内側には帯電が発生し
ないことになるので、筐体20の内部で発生した正負イ
オンが逆極性のイオンと中和して消滅する割合が減少
し、発生イオン量の減少を防止することが可能になっ
た。
Therefore, in this embodiment, the outer surface of the housing 20 is surrounded by the shield plate 11, and the shield plate 11 is grounded. As a result, the lines of electric force due to the ions adhering to the inner wall of the housing 20 terminate toward the shield plate 11, and apparently no charge is generated inside the housing 20. The rate at which the positive and negative ions generated in step (1) are neutralized with ions of the opposite polarity and disappear is reduced, and the amount of generated ions can be prevented from decreasing.

【0020】このように本実施形態ではイオン噴射効率
を高めることができるため、従来のように放電針をイオ
ン噴射口の出口付近に配置したりイオン噴射口の直径を
大きくする必要がなく、図2に示したように放電針17
を筐体20の内部に配置し、しかもイオン噴射口12の
出口の直径を微小径に形成しても何ら支障がない。発明
者の実験によれば、放電針17の先端部を噴射口12か
ら数mm内部に配置し、噴射口12の出口の直径を約
0.5mm〜1.0mmの微小径にして噴射口12の下
方50mmの位置にある被除電物を除電した場合に、被
除電物の帯電値を±1000Vから±100Vまで減衰
させるのに要した時間はほぼ1秒以下であり、実用上、
十分な性能を発揮できることが確認されている。
As described above, in the present embodiment, the ion injection efficiency can be increased, so that it is not necessary to arrange the discharge needle near the outlet of the ion injection port or to increase the diameter of the ion injection port as in the related art. As shown in FIG.
Is disposed inside the housing 20 and the diameter of the outlet of the ion injection port 12 is formed to be very small. According to the experiment of the inventor, the tip of the discharge needle 17 is arranged several mm inside from the injection port 12 and the diameter of the outlet of the injection port 12 is reduced to a small diameter of about 0.5 mm to 1.0 mm. The time required to attenuate the charge value of the object to be neutralized from ± 1000 V to ± 100 V when the object to be neutralized located at a position 50 mm below is neutralized is approximately 1 second or less.
It has been confirmed that sufficient performance can be exhibited.

【0021】図3〜図8は、従来技術(放電針が露出し
た形式のAC電源方式イオナイザー)及び本実施形態の
効果を比較するための図である。これらの図において、
横軸は時間、縦軸は電圧を示す。すなわち、図3は従来
技術による被除電物表面の静電誘導電圧を示す図、図4
は同じく帯電した被除電物を除電した場合に−1000
Vから−100Vになるまでの所要時間(除電時間)を
計測した図、図5は同じく+1000Vから+100V
になるまでの所要時間を計測した図である。また、図6
は本発明の実施形態による被除電物表面の静電誘導電圧
を示す図、図7は同じく帯電した被除電物を除電した場
合に−1000Vから−100Vになるまでの所要時間
を計測した図、図8は同じく+1000Vから+100
Vになるまでの所要時間を計測した図である。なお、何
れの場合もイオン噴射口から被除電物までの距離は50
mmである。
FIGS. 3 to 8 are diagrams for comparing the effects of the prior art (an AC power supply type ionizer in which the discharge needle is exposed) and the present embodiment. In these figures,
The horizontal axis indicates time, and the vertical axis indicates voltage. That is, FIG. 3 is a diagram showing the electrostatic induction voltage on the surface of the object to be neutralized according to the prior art, and FIG.
Is -1000 when the charged object is neutralized.
FIG. 5 is a diagram showing a measurement of a required time (static elimination time) from V to -100 V, and FIG.
It is the figure which measured the time required until it becomes. FIG.
FIG. 7 is a diagram showing the electrostatic induction voltage on the surface of the object to be neutralized according to the embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a diagram showing a measurement of the time required to change from −1000 V to −100 V when the object to be electrostatically charged is eliminated. FIG. 8 is also from + 1000V to +100
It is the figure which measured the time required until it becomes V. In any case, the distance from the ion injection port to the object to be neutralized is 50.
mm.

【0022】図3と図6とを比較すると、本実施形態に
よれば従来技術において顕著であった被除電物の静電誘
導電圧が殆どゼロに近くなっている。ちなみに、図3に
示される従来技術による静電誘導電圧(正側に大きい交
流電圧)は、帯電プレートモニタでは観測不可能であ
る。また、図4と図7、図5と図8とをそれぞれ比較す
ると、本実施形態と従来技術との間では除電時間に大き
な差がないように見受けられる。
When FIG. 3 is compared with FIG. 6, according to the present embodiment, the electrostatic induction voltage of the object to be neutralized, which is remarkable in the prior art, is almost zero. Incidentally, the electrostatic induction voltage (large AC voltage on the positive side) according to the conventional technique shown in FIG. 3 cannot be observed by the charged plate monitor. Also, comparing FIGS. 4 and 7 and FIGS. 5 and 8, it can be seen that there is no significant difference in the static elimination time between the present embodiment and the prior art.

【0023】しかしながら、図3に示したように従来技
術では静電誘導電圧による帯電が被除電物に発生してお
り、この帯電電荷に逆極性のイオン(主として負イオ
ン)が吸着して中和された結果、図4,図5に示すよう
に見かけ上、除電が行われたように観測されるが、実際
には被除電物がイオナイザーから離れるに従って静電誘
導電圧が小さくなるので、被除電物の表面には先に吸着
された負イオンによる帯電状態が残存する。つまり、図
4,図5に現れた除電作用は見かけ上のものであり、あ
る程度の時間が経過すると、被除電物には負の電圧が現
れて除電が完全に行われていないことが判明する。
However, as shown in FIG. 3, in the prior art, charging due to an electrostatic induction voltage is generated on an object to be neutralized, and ions having the opposite polarity (mainly negative ions) are adsorbed on the charged charges to neutralize the charged objects. As a result, as shown in FIGS. 4 and 5, it is apparent that static elimination has been performed. However, since the static induction voltage decreases as the static elimination object moves away from the ionizer, the static elimination voltage decreases. The charged state due to the previously absorbed negative ions remains on the surface of the object. That is, the static elimination action shown in FIGS. 4 and 5 is apparent, and after a certain period of time, a negative voltage appears on the object to be neutralized, and it is clear that static elimination is not completely performed. .

【0024】これに対して本実施形態では、図6に示さ
れるごとく静電誘導電圧が殆どゼロであり、コロナ放電
により発生したイオンはその大部分が被除電物に対する
除電に寄与しているため、図7,図8に示される除電作
用は確実なものであることがわかる。
On the other hand, in the present embodiment, as shown in FIG. 6, the electrostatic induction voltage is almost zero, and most of the ions generated by the corona discharge contribute to the neutralization of the object to be neutralized. It can be seen that the static elimination action shown in FIGS. 7 and 8 is reliable.

【0025】なお、この実施形態では放電針17が露出
しておらず、外部からの塵埃の侵入口となるイオン噴射
口12も微小径であるから、本来的に放電針17が汚染
される可能性は少ないが、前述したように、イオンレベ
ルセンサ21によってイオン電流及び誘導電流を監視す
れば放電針17の汚染や損耗状態を検出して表示するこ
とができるので、放電針17の適切なクリーニング時期
や交換時期を知ることができる。
In this embodiment, the discharge needle 17 is not exposed, and the ion injection port 12 serving as an entrance for dust from outside has a very small diameter. As described above, if the ion current and the induced current are monitored by the ion level sensor 21, contamination and wear of the discharge needle 17 can be detected and displayed, so that appropriate cleaning of the discharge needle 17 can be performed. We can know time and exchange time.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上述べたように本発明では、放電針を
支持する支持体を対向アース板を介して筐体により包囲
し、その外側を筐体及びシールド板により覆ってこのシ
ールド板をアースした構造を備えている。このため、被
除電物に対する静電誘導電圧を殆どゼロにすることがで
き、放電針を筐体内部に配置してイオン噴射口を微小径
とした場合でも、被除電物を確実に除電可能なイオナイ
ザーを得ることができる。更に、放電針の汚染や損耗の
予防効果が大きいので、放電針のクリーニングや交換等
に要する手間や労力、コストを大幅に削減することがで
きる。
As described above, according to the present invention, the support for supporting the discharge needle is surrounded by the housing via the opposing ground plate, and the outside thereof is covered by the housing and the shield plate, and the shield plate is grounded. It has a unique structure. For this reason, the electrostatic induction voltage with respect to the object to be neutralized can be almost zero, and even if the discharge needle is arranged inside the housing and the ion injection port has a small diameter, the object to be neutralized can be reliably eliminated. Ionizer can be obtained. Further, since the effect of preventing contamination and wear of the discharge needle is great, the labor, labor, and cost required for cleaning or replacing the discharge needle can be significantly reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施形態にかかるイオナイザーの外観
を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an external appearance of an ionizer according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の縦断面図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional view of FIG.

【図3】従来技術による被除電物表面の静電誘導電圧を
示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing an electrostatic induction voltage on the surface of an object to be neutralized according to a conventional technique.

【図4】従来技術による除電時間を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a static elimination time according to the related art.

【図5】従来技術による除電時間を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a static elimination time according to the related art.

【図6】本発明の実施形態による被除電物表面の静電誘
導電圧を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing an electrostatic induction voltage on the surface of an object to be neutralized according to the embodiment of the present invention.

【図7】本発明の実施形態による除電時間を示す図であ
る。
FIG. 7 is a diagram illustrating a static elimination time according to an embodiment of the present invention.

【図8】本発明の実施形態による除電時間を示す図であ
る。
FIG. 8 is a diagram illustrating a static elimination time according to an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 シールド板 11A シールド板底板 11B 通孔 12 イオン噴射口 13 高圧ケーブル 14 エア導入口 15 高圧部 16 放電針ソケット 17 放電針 18 支持体 19 対向アース板(アース電極) 20 筐体 20A 筐体底板 21 イオンレベルセンサ DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Shield plate 11A Shield plate bottom plate 11B Through-hole 12 Ion injection port 13 High voltage cable 14 Air introduction port 15 High voltage part 16 Discharge needle socket 17 Discharge needle 18 Supporting body 19 Opposite earth plate (earth electrode) 20 Case 20A Case bottom plate 21 Ion level sensor

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 バー形状で絶縁性の支持体の長さ方向に
沿って複数の放電針が取り付けられ、前記放電針とアー
ス電極との間に交流電圧を印加してコロナ放電により正
負イオンを発生させ、前記正負イオンを高圧エアにより
被除電物に噴射して被除電物を除電するようにしたAC
電源方式イオナイザーにおいて、 前記放電針、支持体及びアース電極を包囲する絶縁性の
筐体と、 この筐体を包囲するように取り付けられ、かつアースさ
れた金属製のシールド板と、を備え、 前記放電針を前記筐体の内部に配置すると共に、コロナ
放電により発生した正負イオンを前記筐体に形成された
微小径のイオン噴射口から噴射させることを特徴とする
AC電源方式イオナイザー。
1. A plurality of discharge needles are attached along the length of a bar-shaped insulating support, and an alternating voltage is applied between the discharge needles and a ground electrode to generate positive and negative ions by corona discharge. AC that generates and discharges the positive and negative ions to the object to be neutralized by high-pressure air
A power supply type ionizer, comprising: an insulating housing surrounding the discharge needle, the support, and the ground electrode; and a metal shield plate attached to surround the housing and grounded. An AC power supply type ionizer, wherein a discharge needle is disposed inside the casing and positive and negative ions generated by corona discharge are ejected from a small-diameter ion ejection port formed in the casing.
【請求項2】 請求項1記載のAC電源方式イオナイザ
ーにおいて、 前記筐体の内部空間に導体からなるイオンレベルセンサ
を配置し、前記内部空間で発生した正負イオンによるイ
オン電流と前記放電針の静電誘導による誘導電流とを前
記イオンレベルセンサにより検出可能としたことを特徴
とするAC電源方式イオナイザー。
2. The ionizer according to claim 1, wherein an ion level sensor made of a conductor is disposed in an internal space of the housing, and an ion current generated by positive and negative ions generated in the internal space and a static electricity of the discharge needle. An AC power supply type ionizer, wherein an induced current due to electric induction can be detected by the ion level sensor.
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