FR2983350A1 - Electrode transparente pour cellule photovoltaique cdte - Google Patents
Electrode transparente pour cellule photovoltaique cdte Download PDFInfo
- Publication number
- FR2983350A1 FR2983350A1 FR1160932A FR1160932A FR2983350A1 FR 2983350 A1 FR2983350 A1 FR 2983350A1 FR 1160932 A FR1160932 A FR 1160932A FR 1160932 A FR1160932 A FR 1160932A FR 2983350 A1 FR2983350 A1 FR 2983350A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- layer
- transparent electrode
- photovoltaic cell
- tin
- photovoltaic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 30
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 11
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 11
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title abstract description 10
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 title abstract description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 4
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 14
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 8
- 229910004613 CdTe Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 5
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 claims description 4
- 239000011734 sodium Substances 0.000 claims description 4
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000005012 migration Effects 0.000 claims description 3
- 238000013508 migration Methods 0.000 claims description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- QHGNHLZPVBIIPX-UHFFFAOYSA-N tin(ii) oxide Chemical class [Sn]=O QHGNHLZPVBIIPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 67
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 5
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 4
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 3
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 3
- DTQVDTLACAAQTR-UHFFFAOYSA-N trifluoroacetic acid Substances OC(=O)C(F)(F)F DTQVDTLACAAQTR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 5-phenyl-2h-tetrazole Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=NNN=N1 MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YMLFYGFCXGNERH-UHFFFAOYSA-K butyltin trichloride Chemical compound CCCC[Sn](Cl)(Cl)Cl YMLFYGFCXGNERH-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 2
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 1
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 1
- 238000001994 activation Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- DVRDHUBQLOKMHZ-UHFFFAOYSA-N chalcopyrite Chemical compound [S-2].[S-2].[Fe+2].[Cu+2] DVRDHUBQLOKMHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052951 chalcopyrite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910021424 microcrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022466—Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. TCO, ITO layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/1884—Manufacture of transparent electrodes, e.g. TCO, ITO
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
L'invention concerne - une électrode transparente pour cellule photovoltaïque, caractérisée en ce qu'elle comprend - une couche électroconductrice et - une couche d'oxyde mixte de silicium et d'étain SiOSn destinée à être positionnée, dans la cellule photovoltaïque, entre la couche électroconductrice et le matériau photovoltaïque ; - un substrat de face avant de cellule photovoltaïque comprenant successivement un substrat transparent verrier et une telle électrode transparente; - un procédé de fabrication d'une telle électrode transparente, dans lequel la couche électroconductrice et la couche SiOSn sont formées par dépôt chimique en phase vapeur ; et - une cellule photovoltaïque comprenant successivement une telle électrode transparente, une couche CdS en contact direct avec la couche SiOSn de l'électrode transparente, et une couche CdTe en contact direct avec la couche CdS.
Description
ELECTRODE TRANSPARENTE POUR CELLULE PHOTOVOLTAÏQUE CdTe L'invention se rapporte à une électrode transparente pour cellule photovoltaïque, ainsi qu'à un substrat de face avant de cellule photovoltaïque dans lequel un substrat transparent, par exemple verrier, est associé à une telle électrode transparente. Dans une cellule photovoltaïque, un système photovoltaïque à matériau photovoltaïque qui produit de l'énergie électrique sous l'effet d'un rayonnement incident est positionné entre un substrat de face arrière et un substrat de face avant, ce substrat de face avant étant le premier substrat qui est traversé par le rayonnement incident avant qu'il n'atteigne le matériau photovoltaïque. On entend par matériaux photovoltaïques des agents absorbeurs pouvant être composés par exemple de tellure de cadmium CdTe, le silicium amorphe, le silicium microcristallin ou de ternaires chalcopyrites qui contiennent généralement du cuivre, de l'indium et du sélénium. Il s'agit là de ce que l'on appelle des couches d'agent absorbeur CISe2. On peut aussi ajouter à la couche d'agent absorbeur du gallium (ex : Cu(In,Ga)Se2 ou CuGaSe2), de l'aluminium (ex : Cu(ln,AI)Se2), ou du soufre (ex : Culn(Se,S). On les désigne en général par le terme de couches d'agent absorbeur à chalcopyrite. Au sens de la présente invention, il faut comprendre par « cellule photovoltaïque » tout ensemble de constituants générant la production d'un courant électrique entre ses électrodes par conversion de rayonnement solaire, quelles que soient les dimensions de cet ensemble et quelles que soient la tension et l'intensité du courant produit et en particulier que cet ensemble de constituants présente, ou non, un ou plusieurs raccordement(s) électrique(s) interne(s) (en série et/ou en parallèle). La notion de « cellule photovoltaïque » au sens de la présente invention est donc ici équivalente à celle de « module photovoltaïque » ou encore de « panneau photovoltaïque ».
Une électrode transparente pour cellule photovoltaïque comprend une couche électroconductrice transparente, notamment à base d'oxyde (Transparent Conductive Oxide, TCO). Des exemples de TCO sont des couches ITO (indium tin oxide) d'oxyde d'indium dopé à l'étain, des couches Sn02:F d'oxyde d'étain dopé au fluor. De telles couches constituent des électrodes dans certaines applications : lampes planes, vitrage électroluminescent, vitrage électrochrome, écran d'affichage à cristaux liquides, écran plasma, cellule photovoltaïque, verres chauffants. Dans d'autres applications pour des vitrages bas-émissifs, par exemple, ces couches conductrices transparentes n'ont pas à être mises sous tension électrique. Dans l'art antérieur, ces couches transparentes conductrices sont en général associées à une sous-couche pour améliorer les propriétés optiques d'une couche ou d'un empilement de couches transparentes conductrices sur un substrat verrier. Sans être exhaustifs, on peut notamment citer EP 611 733 de PPG qui propose une couche mixte à gradient d'oxyde de silicium et d'oxyde d'étain pour éviter les effets d'irisation induits par la couche transparente conductrice d'oxyde d'étain dopée au fluor. Le brevet de Gordon Roy FR 2 419 335 propose également une variante de cette sous-couche pour améliorer les propriétés de couleur d'une couche transparente conductrice d'oxyde d'étain dopée au fluor. Les précurseurs cités dans ce brevet sont en revanche inutilisables à l'échelle industrielle. On peut aussi mentionner le brevet EP 0275662B1 de Pilkington qui propose une sous couche composée d'oxycarbure de silicium en dessous d'une couche électroconductrice à base d'oxyde d'étain dopé au fluor, la dite sous couche apportant la double fonction de couche barrière contre la diffusion des alcalins du verre ainsi que de couche anti-iridescence pour neutraliser la couleur en réflexion. SAINT-GOBAIN possède également un savoir-faire dans ce domaine : le brevet FR 2 736 632 propose ainsi une sous-couche mixte à gradient d'indice inverse d'oxyde de silicium et d'oxyde d'étain comme sous-couche anti-couleur d'une couche transparente conductrice d'oxyde d'étain dopée au fluor.
Dans une cellule photovoltaïque, le substrat de face avant et en particulier l'électrode transparente ou la couche électroconductrice transparente qui en font partie doivent présenter à la fois une résistivité électrique appropriée permettant le transport des électrons produits et une absorption lumineuse basse ou transmission lumineuse élevée garantissant l'accès d'une proportion maximale du rayonnement lumineux au matériau photovoltaïque. Dans le cas où le matériau photovoltaïque est à base de tellure de cadmium CdTe, une couche CdS lui est adjointe de manière connue, en contact direct et orientée vers la couche conductrice du substrat de face avant. Dans ce cas on connait également l'interposition, entre la couche CdS et cette couche conductrice telle que TCO, d'une couche de protection et/ou d'augmentation de l'efficacité quantique de la cellule photovoltaïque, couche appelée en anglais « buffer layer », et dont la fonction est multiple. Cette buffer layer, associée au substrat verrier et à toutes couches interposées, dont bien entendu la couche conductrice, doit présenter une transmission lumineuse maximale de manière à garantir l'accès au matériau photovoltaïque à une fraction maximale du rayonnement solaire. Une résistivité maximale est d'autre part recherchée pour la buffer layer afin de bloquer d'éventuelles fuites de courant électrique en provenance du matériau photovoltaïque La buffer layer a également une fonction - diminuer l'impact négatif des pinholes sur la génération de courant, - aplanir l'empilement TCO (la couche CdS, très absorbante, doit être la plus fine possible et est très sensible à la rugosité du TCO), - adapter le travail de sortie de l'électrode pour favoriser la collecte ou l'injection de porteurs (électrons ou trous), - barrière vis-à-vis de la migration de constituants de la couche conductrice, par exemple le fluor de Sn02:F, dans les couches CdS et CdTe et - protection des couches positionnées entre le substrat verrier et la couche CdS, vis-à-vis du traitement d'activation des couches CdS et CdTe au CdC12 (nettoyage des joints de grains).
Il existe aujourd'hui un besoin d'une buffer layer améliorée en particulier dans ses propriétés de transmission lumineuse et de résistivité électrique explicitées précédemment. Ce but a été atteint par l'invention qui, en conséquence a pour objet une électrode transparente pour cellule photovoltaïque, qui se distingue par le fait qu'elle comprend - une couche électroconductrice et - une couche d'oxyde mixte de silicium et d'étain SiOSn destinée à être positionnée, dans la cellule photovoltaïque, entre la couche électroconductrice et le matériau photovoltaïque. Il a en effet été constaté, non sans surprise, que SiOSn est susceptible de présenter à la fois une résistivité électrique augmentée par rapport aux buffer layers connues, par exemple Sn02, et une transmission lumineuse également accrue de l'empilement auquel elle appartient.
SiOSn est bien entendu compatible avec l'application de cellule photovoltaïque, notamment de type CdS-CdTe. La couche électroconductrice est composée d'un oxyde dopé de Sn, Zn ou In, tel que Sn02:F, Sn02:Sb, ZnO:Al, ZnO:Ga, InO:Sn ou ZnO:In. Sn02:F est préféré.
Selon d'autres caractéristiques préférées : - l'épaisseur de la couche électroconductrice est comprise entre 300 et 600 nm ; - l'épaisseur de la couche SiOSn est comprise entre 20 et 200 nm. Le rapport atomique Si/Sn dans la couche SiOSn est compris entre 1/10 et 10/1, de préférence entre 1/4 et 4/1. Un autre objet de l'invention consiste en un substrat de face avant de cellule photovoltaïque comprenant successivement un substrat transparent verrier et une électrode transparente telle que décrite ci-dessus. Dans une première réalisation particulièrement intéressante, ce substrat 30 transparent verrier est exempt de sodium et en contact direct avec la couche électroconductrice de l'électrode transparente.
Dans une seconde réalisation, intéressante aussi mais à un degré moindre, le substrat transparent verrier contient du sodium, et une couche barrière vis-à-vis de la migration du sodium est intercalée entre le substrat transparent verrier et la couche électroconductrice de l'électrode transparente.
Comme couche barrière, on peut citer SiO2, un oxycarbure de silicium SiOC, TiO2, A1203, un oxyde mixte de silicium et d'étain SiOSn, Sn02, ZnO et InO, seuls ou en association de plusieurs d'entre eux. D'autres objets de l'invention consistent en - un procédé de fabrication d'une électrode transparente telle que décrite précédemment, dans lequel la couche électroconductrice et la couche SiOSn sont formées par dépôt chimique en phase vapeur (Chemical Vapour Deposition, CVD); il n'est cependant pas exclu de former une de ces couches, ou les deux, par un procédé par voie liquide tel que sol-gel, ou par un procédé sous pression réduite (sous vide) tel que pulvérisation cathodique assistée par magnétron ; - une cellule photovoltaïque comprenant successivement une électrode transparente telle que décrite précédemment, une couche CdS en contact direct avec la couche SiOSn de l'électrode transparente, et une couche CdTe en contact direct avec la couche CdS.
L'invention sera mieux comprise à la lumière de l'exemple suivant. Exemple On forme sur un substrat de verre borosilicate exempt de sodium de 1,3 mm d'épaisseur, une couche électroconductrice de 320 nm d'épaisseur de SnO2 :F par dépôt chimique en phase vapeur (CVD).
Tous les dépôts sont effectués dans cet exemple au moyen de buses distantes de 7 mm du substrat et de vitesses relatives par rapport à celui-ci de 11,5 m/min. Sur le substrat, maintenu à 625 °C, sont projetés 2 fois les débits de précurseurs suivants dans un mélange 02/N2 (20%-80%) de 1300 NL/min : - trichlorure de monobutylétain (MBTCI): 10,5 kg/h, - eau : 2,1 kg/h, et - acide trifluoroacétique (TFA) : 1,6 kg/h.
Sur cette couche SnO2 :F, on forme par CVD une couche SiOSn de 83 nm d'épaisseur en projetant une fois les débits de précurseurs suivants dans 1875 NL/min d'azote : - MBTCI : 3,4 kg/h, - eau : 1,7 kg/h, et - tétraéthoxysilane (TEOS): 4,4 kg/h. La transmission lumineuse du substrat revêtu des deux couches est de 89 %. La couche SiOSn présente une résistivité de 0,1 ohm.cm.
Dans un complexe ne différant de celui de l'exemple que par le remplacement de la couche SiOSn par une couche SnO2 de même épaisseur (83 nm) formée par CVD, la transmission lumineuse mesurée dans les mêmes conditions que la mesure précitée est 4 % plus faible : 85 % au lieu de 89 %. La résistivité de la couche SnO2 est de 0,04 ohm.cm.15
Claims (10)
- REVENDICATIONS1. Electrode transparente pour cellule photovoltaïque, caractérisée en ce qu'elle comprend - une couche électroconductrice et - une couche d'oxyde mixte de silicium et d'étain SiOSn destinée à être positionnée, dans la cellule photovoltaïque, entre la couche électroconductrice et le matériau photovoltaïque.
- 2. Electrode selon la revendication 1, caractérisée en ce que la couche électroconductrice est Sn02:F.
- 3. Electrode selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que l'épaisseur de la couche électroconductrice est comprise entre 300 et 600 nm.
- 4. Electrode selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que l'épaisseur de la couche SiOSn est comprise entre 20 et 200 nm.
- 5. Electrode selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le rapport atomique Si/Sn dans SiOSn est compris entre 1/4 et 4/1.
- 6. Substrat de face avant de cellule photovoltaïque comprenant successivement un substrat transparent verrier et une électrode transparente selon l'une des revendications précédentes.
- 7. Substrat selon la revendication 6, caractérisé en ce que le substrat transparent verrier est exempt de sodium et en contact direct avec la couche électroconductrice de l'électrode transparente.
- 8. Substrat selon la revendication 6, caractérisé en ce que le substrat transparent verrier contient du sodium, et en ce qu'une couche barrière vis-à-vis de la migration du sodium est intercalée entre le substrat transparent verrier et la couche électroconductrice de l'électrode transparente.
- 9. Procédé de fabrication d'une électrode transparente selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que la couche électroconductrice et la couche SiOSn sont formées par dépôt chimique en phase vapeur.
- 10. Cellule photovoltaïque comprenant successivement une électrode transparente selon l'une des revendications 1 à 5, une couche CdS en contact direct avec la couche SiOSn de l'électrode transparente, et une couche CdTe en contact direct avec la couche CdS.5
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR1160932A FR2983350A1 (fr) | 2011-11-30 | 2011-11-30 | Electrode transparente pour cellule photovoltaique cdte |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR1160932A FR2983350A1 (fr) | 2011-11-30 | 2011-11-30 | Electrode transparente pour cellule photovoltaique cdte |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR2983350A1 true FR2983350A1 (fr) | 2013-05-31 |
Family
ID=45496158
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FR1160932A Withdrawn FR2983350A1 (fr) | 2011-11-30 | 2011-11-30 | Electrode transparente pour cellule photovoltaique cdte |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
FR (1) | FR2983350A1 (fr) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2419335A1 (fr) * | 1978-03-08 | 1979-10-05 | Gordon Roy Gerald | Procede de depot d'un revetement sur du verre |
US5464657A (en) * | 1993-02-16 | 1995-11-07 | Ppg Industries, Inc. | Method for coating a moving glass substrate |
US6174599B1 (en) * | 1995-07-12 | 2001-01-16 | Saint-Gobain Vitrage | Glazing panel provided with a conductive and/or low emissivity film |
FR2911336A1 (fr) * | 2007-01-15 | 2008-07-18 | Saint Gobain | Substrat verrier revetu de couches a tenue mecanique amelioree |
FR2913973A1 (fr) * | 2007-03-21 | 2008-09-26 | Saint Gobain | Substrat verrier revetu de couches a tenue mecanique amelioree |
US20100313936A1 (en) * | 2007-01-15 | 2010-12-16 | Saint-Gobain Glass France | Glass substrate coated with layers having an improved mechanical strength |
-
2011
- 2011-11-30 FR FR1160932A patent/FR2983350A1/fr not_active Withdrawn
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2419335A1 (fr) * | 1978-03-08 | 1979-10-05 | Gordon Roy Gerald | Procede de depot d'un revetement sur du verre |
US5464657A (en) * | 1993-02-16 | 1995-11-07 | Ppg Industries, Inc. | Method for coating a moving glass substrate |
US6174599B1 (en) * | 1995-07-12 | 2001-01-16 | Saint-Gobain Vitrage | Glazing panel provided with a conductive and/or low emissivity film |
FR2911336A1 (fr) * | 2007-01-15 | 2008-07-18 | Saint Gobain | Substrat verrier revetu de couches a tenue mecanique amelioree |
US20100313936A1 (en) * | 2007-01-15 | 2010-12-16 | Saint-Gobain Glass France | Glass substrate coated with layers having an improved mechanical strength |
FR2913973A1 (fr) * | 2007-03-21 | 2008-09-26 | Saint Gobain | Substrat verrier revetu de couches a tenue mecanique amelioree |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5330400B2 (ja) | 改良された抵抗率を有する層で被覆したガラス基板 | |
US8334452B2 (en) | Zinc oxide based front electrode doped with yttrium for use in photovoltaic device or the like | |
US8012317B2 (en) | Front electrode including transparent conductive coating on patterned glass substrate for use in photovoltaic device and method of making same | |
FR2932009A1 (fr) | Cellule photovoltaique et substrat de cellule photovoltaique | |
EP2539292A1 (fr) | Substrat verrier revetu de couches a tenue mecanique amelioree | |
FR2919430A1 (fr) | Substrat de face avant de cellule photovoltaique et utilisation d'un substrat pour une face avant de cellule photovoltaique. | |
WO2010063974A1 (fr) | Element en couches et dispositif photovoltaique comprenant un tel element | |
US8354586B2 (en) | Transparent conductor film stack with cadmium stannate, corresponding photovoltaic device, and method of making same | |
FR2939563A1 (fr) | Substrat de face avant de panneau photovoltaique, panneau photovoltaique et utilisation d'un substrat pour une face avant de panneau photovoltaique | |
US20130098435A1 (en) | Hybrid contact for and methods of formation of photovoltaic devices | |
KR20110070541A (ko) | 박막 태양전지 및 그 제조방법 | |
TW201140867A (en) | Method of manufacturing solar cell and solar cell | |
EP2676296A2 (fr) | Substrat verrier transparent conducteur pour cellule photovoltaique | |
US20120125423A1 (en) | Transparent conductive substrate | |
FR2983350A1 (fr) | Electrode transparente pour cellule photovoltaique cdte | |
FR2962852A1 (fr) | Electrode transparente pour cellule photovoltaique a haut rendement | |
JP2023542346A (ja) | 透明導電層、および該透明導電層を備える光起電デバイス | |
EP2521183A2 (fr) | Cellule photovoltaïque incorporant une couche tampon d'oxyde(s) de zinc et d'etain | |
FR2932611A1 (fr) | Cellule photovoltaique et substrat de cellule photovoltaique | |
EP2545588B1 (fr) | Substrat transparent verrier associe a une couche electroconductrice transparente a proprietes electriques ameliorees | |
WO2013001222A1 (fr) | Substrat conducteur pour cellule photovoltaïque |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
ST | Notification of lapse |
Effective date: 20160729 |