DE3011557C2 - Zweipoliger Überstromschutz - Google Patents
Zweipoliger ÜberstromschutzInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen zweipoligen Überstromschutz zum Einschalten in eine stromführende Leitung
gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Beispielsweise in Telefon- und anderen Schwachstromanlagen
besteht ein Bedarf nach einem Überstromschutz, der billig und einfach ist und der im Gegensatz
zu beispielsweise Schmelzsicherungen nach dem
Verschwinden des Überstromes sofort und zwar ohne die Notwendigkeit eines Wiederherstellungsvorganges
wieder betriebsfähig ist.
Aus der DE-AS 19 24 782 ist ein Überstromschutz bekannt, dessen Leistungskreis aus zwei in Reihe angeordneten
Transistoren besteht und einem mit diesen in Reihe liegenden Meßwiderstand. Ein Überstromschutz,
der auf einen solchen Meßwiderstand angewiesen ist, hat erhebliche Nachteile: An dem Meßwiderstand fällt
eine erhebliche Spannung ab, durch welche die Spannungskonstanz an einem über den Überstromschutz gespeisten
Verbraucher herabgesetzt wird. Die in dem Meßwiderstand auftretenden Verluste machen es auch
schwierig, einen solchen Überstromschutz als voll integrierte Schaltung auszubilden. Insbesondere dort, wo
viele Überstromschutzanordnungen in dichter Anordnung
erforderlich sind, wie beispielsweise in Fernsprechanlagen, ist der bekannte Überstromschutz ungeeignet.
Ein ähnlicher Überstromschutz wie in der vorgenannten Schrift mit einem Meßwiderstand im Lastkreis ist
aus der DE-AS 21 12 598 bekannt. Hier besteht das Halbleiterelement jedoch aus einem Thyristor, dessen
Steuerspannung beim Auftreten eines Überstromes einfach weggeschaltet wird. Der Strom über dem Thyristor
erlischt hierbei erst beim nachfolgenden Nulldurchgang des Stromes, was für hochempfindliche Geräte, wie z. B.
Halbleitergeräte, zu langsam ist und zu deren Zerstörung führen kann. Außerdem ist dieser Überstromschutz
nur für Wechselstromkreise geeignet.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde einen Überstromschutz der eingangs genannten Art zu entwickeln,
der ohne einen Meßwiderstand im Lastkreis auskommt und der sehr schnell anspricht.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird ein zweipoliger
Zur Lösung dieser Aufgabe wird ein zweipoliger
bO Überstromschutz zum Einschalten in eine stromführende
Leitung vorgeschlagen, der erfindungsgemäß die im kennzeichnenden Teil des Anspruches 1 genannten
Merkmale hat
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in
br> den Untcransprüchen genannt.
Anhand der Figuren soll die Erfindung näher erläutert
werden. Es zeigt
Fig. ! eine aus diskreten Schaltelementen aufgebau-
le äquivalente Schaltung eines Ausführungsbeispieles
für einen Überstromschutz nach der Erfindung,
Fig.2 die Strom-Spannungscharaktcristik für einen
Schutz gemäß der Erfindung,
Fig.3 in vereinfachter Darstellung den prinzipiellen
Aufbau und die Funktion eines Schutzes gemäß der Erfindung,
F i g. 4a und b den Aufbau eines Ausführungsbeispiels eines Schutzes gemäß der Erfindung in detaillierterer
Darstellung in Draufsicht und in seitlicher Schnittansicht,
F i g. 5 zeigt schematisch eine alternative, in Planartechnik ausgeführte Ausführungsform eines Schutzes
gemäß der Erfindung.
F i g. 1 zeigt eine äquivalente Schaltung für einen Überstromschutz nach der Erfindung. Der Schutz ist
zweipolig und ist zum Einschalten in eine Leitung bestimmt, beispielsweise eine Zuleitung zu einem Objekt,
das gegen Überstrom geschützt werden soll. Zu diesem
Zweck hat der Schutz zwei Anschlüsse A und ß. Zwischen diesen liegen die beiden Hauptkomponenten des
Schutzes, die antiparallel geschalteten Thyristoren Tu und Tv. Bei ungestörtem Betrieb sind diese stromdurchlässig,
Tn für die Stromrichtung von A nach B und Tv für
die entgegengesetzte Stromrichtung, und leiten den normalen Betriebsstrom mit niedrigem Spannungsfall.
Jeder Thyristor ist mit einem Steuerkreis versehen.
Der Steuerkreis für den Thyristor TH enthält eine
Diode Dm und einen Widerstand Rm, die in Reihe zwischen
Anode und Steuereingang des Thyristors liegen. Die Resistanz des Widerstandes ist so bemessen, daß
dem Thyristor ein Steuerstrom geeigneter Größe zugeführt wird, sobald die Anodenspannung positiv wird,
wobei der Thyristor gezündet wird und Strom mit niedrigem Spannungsfall führt.
Zwischen dem Steuereingang des Thyristors und seiner Kathode ist ein normalerweise nichtleitender Feldeffekttransistor
(FET) Fn des MOSFET-Typs angeschlossen. Der Steuereingang des Transistors ist über
einen Widerstand Rm und zwei in Reihe geschaltete Dioden Dm und Dm und die Diode Dm an die Anode
des Thyristors angeschlossen. Eine Schutzdiode Zn des
Zenertyps ist zwischen dem Steuereingang des FET und dem Steuercingang des Thyristors angeschlossen und
verhindert, daß die Steuerspannung des Transistors die Zenerspannung der Diode übersteigt. Der Widerstand
Rm hat eine Resistanz, die den Strom auf einen unschädlichen Wert begrenzt, wenn die Diode Zu Strom
führt.
Der Steuerkreis des Thyristors 7V ist mit dem Steuerkreis für den Thyristor Tu identisch. Die Bezugszeichen
seiner Bauelemente sind in der Figur mit dem Index » V« anstelle von »H« verschen.
Parallel zu den Thyristoren ist ein »Transistorteil« 77?
geschaltet. Dieser ist so ausgebildet, daß er einen mit steigendem Thyristorstrom zunehmenden Anteil der
Minoritätsladungsträger in der einen Basisschicht der Thyristoren ableitet (siehe weiter unten). Dies hat eine
abnehmende Stromverstärkung in der einen Transistorsektion des Thyristors und einen oberhalb eines bestimmten
Stromwertes schnell zunehmenden Spannungsfall am stromführenden Thyristor zur Folge.
Wenn die Spannung um Thyristor (z. B. Th) gleich der
Summe des Durehlaßspunnungsfalls der drei Dioden (Du ;. Dn; und Dn ι) und der Schwellspannung des FET
(frn) wird, dann wird der FET leitend. Der Stcuereingang
des Thyristors wird dadurch mit seiner Kathode kiir/L'cschlossen. und der Tnyristorsirom wird an dem
injizierenden Kathodenemitterübergang vorbeigeleket,
wobei die gesamte Stromverstärkung des Thyristors so weit sinkt, daß der Thyristor erlischt.
Ein konventioneller Thyristor hai einen Durchlaß-Spannungsfall,
der langsam mit dem Belastungssirom und ungefähr proportional zu diesem zunimmt. Die
Spannung an einem solchen Thyristor ist also ein ungenaues Maß für den Thyrisiorstrom. und es ist daher
schwer, bei der Anwendung eines solchen Thyristors in
ίο einem Überstromschutz nach der Erfindung einen gut
definierten Stromwert für die Schaltung zu erhalten. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung
ist der Thyristor daher mit Gliedern versehen, die eine schnelle Zunahme des Durchlaßspannungsfalls des
Thyristors bei dem Stromwert bewirken, bei dem der Überstromschutz ansprechen soll. Bei diesen Gliedern
kann es sich um das obengenannte Transistorteil TR handeln; sie können aber auch auf andere Weise ausgebildet
sein.
Fig.2 zeigt die Strom- und Spannungskennlinie des
Überstromschutzes. Der erste Quadrant des Diagramms gilt z. B., wenn der Thyristor Th leitend ist, während
der dritte Quadrant dann gilt, wenn der Thyristor Tv leitend ist. Mit zunehmendem Strom / steigt die
Spannung U am Thyristor zuerst relativ langsam. Wenn sich / dem Ansprechstrom /raj, des Schutzes nähert, beginnt
die Thyristorspannung t/aufgrund der ladungsträgerableitenden Wirkung des Transistorteils TR immer
schneller anzusteigen. Wenn der Strom den Wert /ma,
und die Spannung den Wert Ut erreicht haben, wird der Thyristor auf die vorstehend beschriebene Weise dadurch
gelöscht, daß der FET (Fh oder Fv) leitend wird. Der Thyristorstrom sinkt dann auf einen sehr niedrigen
Wert (den Sperrstrom des Thyristors), während die Spannung U auf einen Wert ansteigen kann, der von
dem Kreis bestimmt wird, in dem der Schutz angeordnet ist. Die Thyristoren des Schutzes werden so dimensioniert,
daß ihre Durchbruchspannung U^ in einem angemessenen
Abstand oberhalb der höchsten Spannung liegt, welcher der Schutz vpraussichtlich in dem Kreis
oder in der Anordnung, für den/die er bestimmt ist, ausgesetzt werden kann.
F i g. 3 zeigt, wie die beiden Thyristoren Tu und Tv
und das Transistorteil TR in einer Scheibe aus halbleitendem Material, vorzugsweise Silizium, ausgebildet
sind. Die Scheibe besteht aus einem η-leitenden Substrat 1, welches die N-Basis sowohl für die Thyristoren
wie für das Transistorteil bildet. Zentral in der oberen Fläche der Scheibe ist eine p-leitende Schicht 12 und
hierin eine p+-leitende Schicht 11 angeordnet. Um diese Schichten herum ist eine p-leitende ringförmige Schicht
Hangeordnet,und hierin ist eine n +-leitende ringförmige
Schicht 13 angebracht. An der unteren Fläche der Scheibe sind die Schichten 21—24 auf die gleiche Weise
si wie die Schichten 11 — 14 an der oberen Fläche der
Scheibe angeordnet. Die Schichten 11 und 13 sind mit
dem Anschluß A und die Schichten 21 und 23 mit dem Anschluß B verbunden.
Mit einer ρ+ -leitenden Schicht ist eine Schicht mit
kräftigerer Dotierung als eine p-leiiende Schicht gemeint,
und dasselbe gilt für eine η+-leitende und eine η-leitende Schicht.
Der Thyristor 7» wird aus den Schichten 11,12,1,24
und 23 gebildet. Wenn der Thyristor leitet, fließt der
Μ Stioiyi in seitlicher Richtung durch die Schicht 1 von der
Schicht 12 /ur Schicht 24, was mit voll ausgezogenen
Pfeilen in der Figur gezeigl ist. Dieser Strom besieht im wesentlichen aus von der Schicht 12 in die Schicht 1
injizierten Minoritätsladungsträgern, d. h. Löchern.
Das Transistorteil TR besteht aus den Schichten 11,
12, 1, 22, 21 und ist also von PNP-Art. Bei niedrigem Strom durch den Thyristor Th ist der untere PN-Übergang
(zwischen den Schichten 22 und 1) des Transistorteils nicht sperrend oder schwach injizierend. Dabei
werden keine oder nur einige der von der Schicht 12 in der Schicht 1 injizierten Löcher vom Übergang aufgesaugt.
Wenn der Strom durch den Thyristor ansteigt, nimmt der Durchlaßspannungsfall des Thyristors zu,
und als Folge der ansteigenden Spannung wird dem Übergang 1—22 eine zunehmende Sperrspannung aufgedrückt,
die einen zunehmenden Anteil der in der Schicht 1 injizierten Löcher aufgesaugt (gestrichelte
Pfeile der F i g. 3). Die Stromverstärkung der PNP-Sektion des Thyristors Tu sinkt dadurch, und der Tnyristor
wird schlechter ausgesteuert, was dazu tendiert, daß die Durchlaßspannung des Thyristors weiter erhöht wird.
Hierdurch erhält man die in Fig. 2 gezeigte schnelle Zunahme der Thyristorspannung, wenn sich der Strom
dem Grenzwert /,„.,., nähen.
Der Grenzwert /mu>
kann durch geeignete Wahl der Ladungsträgerlebensdauer in der Schicht 1 im Verhältnis
zum Innenradius der peripheren P-Schicht 14 und der Dicke der N-Basisschicht 1 eingestellt werden.
Dadurch, daß die Schicht 11 mit hoher Injektion zentral
in der Scheibe angeordnet ist, erhält man ein im wesentlichen lateral funktionierendes PNP-Transistorteil
des Thyristors Th, und dieses ergibt das vorstehend
beschriebene Verhalten.
Der Thyristor Tv besteht aus den Schichten 21,22,1,
14,13, und arbeitet in entsprechender Weise, wie vorstehend
für den Thyristor Th beschrieben.
Ein beispielsweise für Telefonanlagen vorgesehener Überstromschutz der hier beschriebenen Art kann für
einen Grenzstrom von z. B. 200—400 mA und für eine Durchbruchsspannung von 1000 V oder mehr ausgeführt
werden. Die Löschspannung (Utin Fig.2) kann
dadurch auf einen geeigneten Wert, z. B. ein oder einige Volt, eingestellt werden, daß man eine geeignete Anzahl
von mit dem Widerstand Rm (Rvi) in Fig. 1 in Reihe
geschalteten Dioden wählt. In Fig. 1 sind zwei Dioden,
Dn2 und Dh3 (Dv2 und Dvz), gezeigt, doch kann die
Anzahl sowohl größer als auch kleiner sein.
Es hat sich gezeigt, daß der Überstromschutz nach der Erfindung sehr schnell anspricht und einen auftretenden
Überstrom in einigen μβ oder einigen Dekaden
von μ5 abschaltet.
Eine in die zu schützende Anlage gelangende Überspannung hat normalerweise einen Überstrom in der
oder in den Leitungen zur Folge, in welche die Überspannung eindringt Ein Überstromschutz nach der Erfindung
kann daher als Überspannungsschutz verwendet werden und die bisher verwendeten ersetzen.
Die in F i g. 1 gezeigten Steuerkreise sind der Deutlichkeit halber nicht in F i g. 3 dargestellt Sie werden
zweckmäßigerweise in demselben Halbleiterkörper integriert, der auch die Thyristoren und den Transistor
bildet. F i g. 4 zeigt ein Beispiel, wie dies geschehen kann. Der Schutz nach F i g. 4 ist auf gleiche Weise ausgeführt,
wie in F i g. 3 gezeigt Der Aufbau der oberen und unteren Seite der Halbleiterscheibe ist identisch,
und die Scheibe ist in gleicher Weise wie die in F i g. 3 gezeigte kreissymmetrisch. F i g. 4a zeigt die eine ebene
Fläche der Scheibe mit den Grenzen zwischen den Zonen der Scheibe sowie einige der auf der Fläche angeordneten
Verbindungen. Fig.4b zeigt einen Schnitt durch die Scheibe. Nachstehend wird nur der Aufbau
der oberen Fläche der Scheibe beschrieben. In dieser Fläche sind die Schaltungselemente, die zum Steuerkreis
für den Thyristor Tv gehören, ausgebildet, während der Steuerkreis des Thyristors Tu auf der unteren
Fläche der Scheibe ausgebildet ist
Die in F i g. 3 gezeigten Zonen 1,11 —14 findet man in
Fig. 4a und Fig. 4b, in Fig. 4b zusätzlich auch die Schichten 21—24. Die Schichten 13 und 14 sind ringförmig
und umschließen die mittleren Schichten 11 und 12.
Ein kreisförmiger Metallanschluß A (in Fig. 4a nicht
gezeigt) hat Kontakt mit den Schichten 11 und 13 und
bildet den einen Anschluß des Überstromschutzes. Der Anschluß ist gegenüber den Schichten 12, 1, 14 durch
eine darunterliegende Siliziumdioxydschicht 120 isoliert. Außerhalb der Schicht 13 ist in der Schicht 14 eine
η+ -leitende Schicht 116 und eine hieran angeordnete
ρ+-leitende Schicht 115 ausgebildet. Diese beiden Schichten sind ringförmig mit Ausnahme eines Sektors
(rechts in F i g. 4a und 4b), wo die Zenerdiode Zv ausgebildet
ist. Ein elektrischer Kontakt 18 (in Fig.4a nicht gezeigt), z. B. aus Platinsilizid, überbrückt den Übergang
zwischen den Schichten 115 und 116. Auf der Oberfläche
ist eine isolierende Siliziumdioxydschicht 121 angebracht, und in dieser ist der Steuereingang 17 des FET
Fv in Form einer Schicht aus Metall oder polykristallinem
Silizium angeordnet (gestrichelt in Fig.4a). Der FET besteht aus den Schichten 13,14 und 116. Die letztere
ist über den Kontakt 18 und die Schicht 115 ohmsch
mit der P-Basisschicht 14 des Thyristors 7V verbunden.
Wenn der Steuereingang 17 den FET in den leitenden Zustand steuert, wird daher die P-Basisschicht 14 des
Thyristors mit dem n+-Emitter 13 des Thyristors über eine ohmsche Verbindung mit niedriger Resistenz verbunden.
Der injizierende Emitterübergang 13—14 wird also überbrückt, und der Thyristor erlischt.
Am Rand der oberen Fläche der Komponente ist eine randförmige n+-leitende Zone 16 angeordnet. Diese Zone
bildet den gemeinsamen Punkt (siehe F i g. 1) für die Diode Dv u den Widerstand R V1 und die Diodenschaltung
Dv2— Dv}. Die Diode DV\ besteht aus dem
Anodenemitterübergang (22-1) des Thyristors Tv. Der Widerstand Rv\ ist eine schmale und längliche p-leitende
Schicht in der Oberfläche der Scheibe. Links in F i g. 4 schließt der Widerstand an die P-Basisschicht 14
des Thyristors an. Rechts in der Figur ist der Widerstand mit Hilfe eines Kontaktes 110 ohmsch mit der Schicht 16
verbunden.
Die Zenerdiode Zv besteht aus der Schicht 14 und der
im rechten Teil dieser Schicht ausgebildeten n + -leitenden Schicht 15. Diese letztgenannte Schicht ist über
einen Kontakt 117 (F i g. 4a) elektrisch mit dem Steuereingang
17 des FET Fv verbunden, uer Widerstand Rvi
ist wie der Widerstand Rv \ eine schmale, längliche p-leitende
Schicht in der Oberfläche der Scheibe. Der Widerstand
ist an seinem inneren Ende (rechts in der Figur) über einen auf der Isolationsschicht 124 angeordneten
Kontakt 19 mit der Schicht 15 (und damit mit dem Steuereingang 17) ohmsch verbunden. An seinem äußeren
Ende (links in Fig.4) ist der Widerstand Rvi über die
Diodenschaitung (DV2- Dvi in F i g. 1) mit der Randzone
16 verbunden. Der Deutlichkeit halber ist die Diodenschaltung mit nur einer Diode gezeigt Diese besteht
aus dem Übergang zwischen der p-leiienden Schicht 111 und der hierin ausgebildeten η4 -leitenden Schicht
112. Das äußere Ende des Widerstandes Rv2 ist durch
einen auf der Isolationsschicht 122 angeordneten Kontakt 113 mit der Kathodenschicht 112 der Diode verbunden.
Die Anodenschicht 111 der Diode ist durch einen
auf der Isolationsschicht 123 angeordneten Kontakt 114
mit der Randzone 16 verbunden.
Natürlich können weitere Dioden in einer beliebigen Anzahl in Reihe angeordnet werden, und sie können
dann beispielsweise in einer Reihe hintereinander längs der Peripherie der Scheibe ausgebildet werden.
Die auf der unteren Seite der Scheibe ausgebildeten Steuerkreise für den Thyristor Tu haben denselben Aufbau,
wie die vorstehend beschriebenen Steuerkreise für den Thyristor Tv auf der oberen Seite der Scheiben. Sie to
sind in Fig. 4b mit denselben Bezugszeichen versehen,
jedoch ist die erste Ziffer durch eine »2« ersetzt. Der Anodenanschluß des Thyristors Tu besteht aus der Metallschicht
ßin Fig. 4b.
Wie aus Fig.4a hervorgeht, sind die Widerstände
Ry, und Rv2 so angeordnet, daß sie ein Muster bilden,
welches die Fläche zwischen dem zentralen Teil und dem Rand der Scheibe bedeckt, und so, daß das Potential
sukzessiv von dem zentralen Teil zum Rand hin abnimmt oder zunimmt. Hierdurch erhält man eine wirksame
Steuerung des Potentials auf der Oberfläche der Scheibe, lokalisierte Spannungsbeanspruchungen werden
vermieden, und die Spannungsfestigkeit der Schaltungselemente wird verbessert.
Natürlich sind andere Muster als das in Fig.4a gezeigte
möglich. Beispielsweise können die Widerstände An und Rv; als zwei zwischen dem zentralen Teil und
dem Rand der Scheibe ineinander verlaufende Spiralen ausgebildet werden.
F i g. 5 zeigt, wie ein Überstromschutz nach der Erfindung in Planartechnik ausgeführt werden kann. Eine
Halbleiterscheibe hat ganz unten eine p+-leitende Zone 31 und darüber eine η-leitende Zone 30. In der Zone 30
ist eine ρ + -leitende Zone 32 und eine p-leitende Zone 33
ausgebildet, und in der letzteren ist eine η+-leitende Zone 34 ausgebildet. Die Zonen 31 und 34 sind mit dem
einen Anschluß B verbunden, während die Zone 32 mit dem anderen Anschluß A verbunden ist. Die Zonen 32,
30, 33, 34 bilden den Thyristor. Wenn dieser leitend ist, fließen von der Schicht 32 injizierte Löcher durch die
Schicht 30 in Richtung des voll ausgezogenen Pfeils. Der Transistorteil des Schutzes wird von den Zonen 32, 30
und 31 gebildet und leitet bei steigender Durchlaßspannung einen zunehmenden Anteil der Löcher (gestrichelter
Pfeil) auf dieselbe Weise ab, wie vorstehend im Zusammenhang mit den Fig. 1—4 beschrieben. Die Steuerkreise
können genau wie in F i g. 4 in der oberen Fläche der Scheibe ausgebildet werden. Fig.5 zeigt eine
Ein-Richtungs-Anordnung, sie kann jedoch wie die in den F i g. 1 —4 gezeigte derart ergänzt werden, daß sie
Strom in beiden Richtungen führen kann.
Die Dioden Da 2 und Dm sowie die Dioden Dy2 und
Dv3 können polgewendet und als Zenerdioden ausgeführt
werden, was angebracht sein kann, wenn eine hohe Funktionsspannung (Ut) in F i g. 2 gewünscht wird.
Wie aus der vorliegenden Beschreibung hervorgeht, erhält man gemäß der Erfindung einen Überstrom-Schutz
mit erheblichen Vorteilen. Dadurch, daß der Schutz zweipolig ist, werden seine Herstellung, Kapselung
und Einschaltung in den Stromkreis einfach und billig. Der Schutz kann zweckmäßig in Form einer einzigen
relativ einfachen integrierten Schaltung aufgebaut werden, deren Gehäuse nur zwei Durchführungen und
Anschlüsse zu haben braucht. Bei gewissen der vorgesehenen Anwendungsbereiche, z. B. Telefonanlagen, sind
Überstromschutze in sehr großer Anzahl erforderlich, weshalb die Einfachheit, der niedrige Preis und die einfache
Einschaltung des Schutzes nach der Erfindung von großer Bedeutung ist.
Außerdem ist der Überstromschutz, wie vorstehend erwähnt, unmittelbar nach Verschwinden eines Überstroms
automatisch sofort wieder betriebsbereit.
Dem Überstromschutz nach der Erfindung kann ferner, wie oben erläutert, ein genau definierter und präziser
Ansprechwert gegeben werden. Er stellt einen sehr schnellen und sicheren Schutz gegen Überströme dar.
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen
Claims (10)
1. Zweipoliger Überstromschutz zum Einschalten in eine stromführende Leitung mit vom zu überwachenden
Strom durchflossenen Halbleiterelementen und mit Gliedern zur Messung einer Schwellenspannung,
dadurch gekennzeichnet, daß die Halbleiterelemente aus einem im Normalzustand leitenden löschbaren Thyristor (Th) bestehen, daß
Glieder (Du, bis DH3) zur Abtastung der Durchlaßspannung
des Thyristor vorhanden sind und daß ein mit dem Thyristor integrierter und zu einem der
injizierenden pn-Übergänge des Thyristors parallelgeschalteter MOS-Transistor (Fn) vorhanden ist, der
beim Überschreiten eines bestimmten Wertes der Thyristorspannung mindestens einen der injizierenden
pn-Übergänge des Thyristors kurzschließt
2. Überstromschutz nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Glieder (TR) vorhanden sind, die
eine schnelle Zunahme des Durchlaßspannungsfalles des Thyristors beim Erreichen eines bestimmten
Wertes des Thyristorstromes veranlassen.
3. Überstromschutz nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß ein mit dem Thyristor (Tu) integrierter und zu dem Thyristor parallelgeschalteter
Transistorteil (TR) vorhanden ist, welcher seine Basisschicht (1) mit einer der Basisschichten des Thyristors
gemeinsam hat, und welcher derart angeordnet ist, daß von dieser Basisschicht ein mit der Thyristorspannung
zunehmender Anteil der in die Basisschicht injizierten Minoritätsladungsträger abgeleitet
wird.
4. Überstromschutz nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das die Spannung am
Thyristor abtastende Glied eine zwischen dem Steuereingang (27) des MOS-Transisiors und der gemeinsamen
Basisschicht (1) angeschlossene Diodenschaltung (Dm, Du 0 enthält, welche aus einer oder
mehreren untereinander in Reihe geschalteten, mit dem Thyristor integrierten Dioden besteht.
5. Überstromschutz nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein mit
dem Thyristor integrierter erster Widerstand (Rn \) vorhanden ist, der zwischen der Steuerschicht (24)
des Thyristors und der gemeinsamen Basisschicht (1) derart angeschlossen ist, daß über ihn der Steuerschicht
Strom zur Zündung des Thyristors zuführbar ist.
6. Überstromschutz nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß eine mit dem
Thyristor integrierte und zwischen der Steuerschicht (24) und dem Steueranschluß (27) des MOS-Transistors
angeschlossene Schutzdiode (Zn) vorhanden ist.
7. Überstromschutz nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß ein mit dem Thyristor
integrierter und in Reihe mit der Diodenschaltung liegender zweitei Widerstand (Rn 2) vorhanden
ist.
8. Überstromschutz nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwei
miteinander integrierte amiparallelgeschaliete Thyristoren
(Tn, Ti) vorhanden sind, von denen jeder mit spannungsabtastcnden Gliedern und einem
kurzschließenden MOS-Transistor (Fn, Fv) versehen ist.
9. Überstromschutz nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die injizierenden
Stellen (12,23) der Anoden- und Kathodenteile des Thyristors im Verhältnis zueinander
seitlich verschoben angeordnet sind.
10. Überstromschutz nach einem der vorhergehenden Ansprüche 5 bis 9, dadurch gekennzeichnet,
daß der Thyristor zentral auf einer Halbleiterscheibe ausgebildet ist und daß der erste und/oder der zweite
Widerstand in der Oberfläche der Scheibe zwisehen dem Thyristor und dem Rand der Scheibe auf
solche Weise ausgebildet ist, daß der Widerstand die Potentialverteilung zwischen dem Thyristor und
dem Rand der Scheibe steuert
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Families Citing this family (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2945380A1 (de) * | 1979-11-09 | 1981-05-21 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Triac mit einem mehrschichten-halbleiterkoerper |
DE2945366A1 (de) * | 1979-11-09 | 1981-05-14 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Thyristor mit steuerbaren emitter-kurzschluessen |
DE2945347A1 (de) * | 1979-11-09 | 1981-05-21 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Thyristor mit hilfsemitterelektrode und verfahren zu seinem betrieb |
DE3019883A1 (de) * | 1980-05-23 | 1981-12-03 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Zweirichtungsthyristor |
US4414560A (en) * | 1980-11-17 | 1983-11-08 | International Rectifier Corporation | Floating guard region and process of manufacture for semiconductor reverse conducting switching device using spaced MOS transistors having a common drain region |
US4595941A (en) * | 1980-12-03 | 1986-06-17 | Rca Corporation | Protection circuit for integrated circuit devices |
EP0065346A3 (de) * | 1981-05-20 | 1983-08-31 | Reliance Electric Company | Halbleiter-Schaltungsanordnung |
US4797720A (en) * | 1981-07-29 | 1989-01-10 | American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories | Controlled breakover bidirectional semiconductor switch |
GB2125622B (en) * | 1982-02-09 | 1985-10-02 | Western Electric Co | Field-effect controlled bi-directional lateral thyristor |
US4742380A (en) * | 1982-02-09 | 1988-05-03 | American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories | Switch utilizing solid-state relay |
SE431381B (sv) * | 1982-06-03 | 1984-01-30 | Asea Ab | Tvapoligt overstromsskydd |
GB2130028B (en) * | 1982-11-16 | 1986-10-29 | Barry Wayne Williams | Integrated semiconductor device |
SE435436B (sv) * | 1983-02-16 | 1984-09-24 | Asea Ab | Tvapoligt overstromsskydd |
US4630162A (en) * | 1984-07-31 | 1986-12-16 | Texas Instruments Incorporated | ESD input protection circuit |
EP0204723B1 (de) * | 1984-10-24 | 1991-05-08 | Om Ahuja | Sich selbst wiedereinschaltender schalter |
JPS624368A (ja) * | 1985-06-28 | 1987-01-10 | シ−メンス、アクチエンゲゼルシヤフト | サイリスタ |
FR2699015B1 (fr) * | 1992-12-04 | 1995-02-24 | Sgs Thomson Microelectronics | Dispositif de protection contre des surtensions. |
US5436786A (en) * | 1992-12-21 | 1995-07-25 | Dairyland Electrical Industries, Inc. | Isolator surge protector for DC isolation and AC grounding of cathodically protected systems |
FR2713400B1 (fr) * | 1993-11-29 | 1996-02-16 | Sgs Thomson Microelectronics | Composant de protection triangle. |
CA2183176C (en) * | 1995-08-18 | 2000-10-24 | Brian R. Pelly | High power dc blocking device for ac and fault current grounding |
US5856904A (en) * | 1996-11-15 | 1999-01-05 | Dairyland Electrical Industries, Inc. | Voltage and current based control and triggering for isolator surge protector |
JP4256544B2 (ja) * | 1998-08-25 | 2009-04-22 | シャープ株式会社 | 半導体集積回路の静電気保護装置、その製造方法および静電気保護装置を用いた静電気保護回路 |
GB0520909D0 (en) * | 2005-10-14 | 2005-11-23 | Eco Semiconductors Ltd | Power semiconductor devices |
USD771036S1 (en) | 2014-08-11 | 2016-11-08 | Apple Inc. | Wearable device |
USD727198S1 (en) | 2014-08-11 | 2015-04-21 | Apple Inc. | Band |
USD759725S1 (en) | 2014-09-08 | 2016-06-21 | Apple Inc. | Wearable device |
USD755299S1 (en) | 2014-09-05 | 2016-05-03 | Apple Inc. | Label |
US9478608B2 (en) * | 2014-11-18 | 2016-10-25 | Analog Devices, Inc. | Apparatus and methods for transceiver interface overvoltage clamping |
US10068894B2 (en) | 2015-01-12 | 2018-09-04 | Analog Devices, Inc. | Low leakage bidirectional clamps and methods of forming the same |
US9673187B2 (en) | 2015-04-07 | 2017-06-06 | Analog Devices, Inc. | High speed interface protection apparatus |
USD789822S1 (en) | 2016-03-07 | 2017-06-20 | Apple Inc. | Band |
USD777163S1 (en) | 2016-03-07 | 2017-01-24 | Apple Inc. | Wearable device |
USD781853S1 (en) | 2016-03-07 | 2017-03-21 | Apple Inc. | Wearable device |
USD795121S1 (en) | 2016-03-07 | 2017-08-22 | Apple Inc. | Band |
US9831233B2 (en) | 2016-04-29 | 2017-11-28 | Analog Devices Global | Apparatuses for communication systems transceiver interfaces |
US10734806B2 (en) | 2016-07-21 | 2020-08-04 | Analog Devices, Inc. | High voltage clamps with transient activation and activation release control |
USD838619S1 (en) | 2017-03-10 | 2019-01-22 | Apple Inc. | Band |
US10249609B2 (en) | 2017-08-10 | 2019-04-02 | Analog Devices, Inc. | Apparatuses for communication systems transceiver interfaces |
US10700056B2 (en) | 2018-09-07 | 2020-06-30 | Analog Devices, Inc. | Apparatus for automotive and communication systems transceiver interfaces |
US11387648B2 (en) | 2019-01-10 | 2022-07-12 | Analog Devices International Unlimited Company | Electrical overstress protection with low leakage current for high voltage tolerant high speed interfaces |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1357095A (fr) * | 1962-02-23 | 1964-04-03 | Ass Elect Ind | Appareil interrupteur de sécurité |
US3263128A (en) * | 1962-07-23 | 1966-07-26 | Richard L White | Circuit breaker |
US3369154A (en) * | 1965-08-03 | 1968-02-13 | William H. Swain | Overload protector for electrical current supply including a solid state breaker with improved sequencing logic combined with or without a combined electromechanical breaker |
NL6807092A (de) * | 1968-05-18 | 1969-11-20 | ||
DE2112598B2 (de) * | 1971-03-16 | 1973-08-30 | Ueberlast- und kurzschlusschutzanordnung | |
DE2120233A1 (de) * | 1971-04-24 | 1972-11-02 | Tekade Feiten & Guilleaume, Fern meldeanlagen GmbH, 8500 Nürnberg | Schaltungsanordnung fur einen elek tromschen Uberstromschalter |
SE392783B (sv) * | 1975-06-19 | 1977-04-18 | Asea Ab | Halvledaranordning innefattande en tyristor och en felteffekttransistordel |
JPS5847724B2 (ja) * | 1975-10-16 | 1983-10-24 | ソニー株式会社 | デンゲンカイロ |
JPS5574168A (en) * | 1978-11-28 | 1980-06-04 | Oki Electric Ind Co Ltd | Pnpn switch |
-
1979
- 1979-04-03 SE SE7902932A patent/SE430450B/sv not_active IP Right Cessation
-
1980
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Also Published As
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GB2049316A (en) | 1980-12-17 |
SE430450B (sv) | 1983-11-14 |
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