DE2447289A1 - PHOTOCELL - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft Photozellen, die wenigstens für ultraviolette Strahlung und^oder für blaues Licht empfindlich sind.The invention relates to photocells at least for ultraviolet Radiation and ^ or are sensitive to blue light.
Die Photozellen sollen die auftreffende Strahlungsenergie in elektrische Energie umwandeln.The photocells are supposed to convert the incident radiant energy into convert electrical energy.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Photozelle zu schaffen, die eine höhere Empfindlichkeit für ultraviolette Strahlung und/oder für Strahlung im blauen Teil des sichtbaren Spektrums hat als dies bisher der Fall war.The invention is based on the object to provide a photocell which has a higher sensitivity to ultraviolet Radiation and / or for radiation in the blue part of the visible spectrum than was previously the case.
Gemäß der Erfindung umfaßt eine solche Photozelle einen Halbleiterkörper mit einer dünnen epitaxialen Schicht mit N-Leitfähigkeit auf einem Träger mit P-Leitfähigkeit, wobei die im wesentlichen gleichmäßige Dike der epitaxialen Schicht im Bereich von etwa 0,1 bis 1,0 mittleren Diffusionslängen der Minoritäts-Ladungs-According to the invention, such a photocell comprises a semiconductor body with a thin epitaxial layer with N-conductivity on a carrier with P conductivity, the substantially uniform thickness of the epitaxial layer being in the range of about 0.1 to 1.0 mean diffusion lengths of the minority charge
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Träger in der Schicht liegt, wobei die Strahlung, auf die die Zelle anspricht, auf die Oberfläche der epitaxialen Schicht entfernt vom Träger einfällt "und ein strahlungsempfindlicher PN-Übergang zwischen der epitaxialen Schicht und dem Träger vorgesehen ist, und ohmische Kontakte an dem Träger und der epitaxialen Schicht angebracht sind.Carrier lies in the layer, with the radiation on which the cell responds to the surface of the epitaxial layer remote from the Carrier incident "and a radiation-sensitive PN junction between the epitaxial layer and the carrier is provided, and ohmic contacts are attached to the carrier and the epitaxial layer.
Im normalen Betrieb der Photozelle ist es wesentlich, daß von den Ladungsträgern, die durch Photonen der Ultraviolett-Strahlung und/oder der Lichtstrahlung im blauen Spektrum vorwiegend in der dünnen epitaxialen Schicht erzeugt werden, daß davon eine beachtliche Anzahl von nicht-wiedervereinigten Minoritäts-Ladungsträgern den strahlungsempfindlichen PN-Übergang erreicht, wodurch ein elektrischer Strom als Folge dieser Photonen erzeugt wird. Je höher der Widerstandswert der epitaxialen Schicht ist, umso länger ist die mittlere Diffusionslänge der Minoritäts-Ladungsträger in der epitaxialen Schicht. Photonen einer roten Lichtstrahlung erzeugen Ladungsträger vorwiegend im Substrat, weshalb eine Photozelle nach der Erfindung mit einer erhöhten Empfindlichkeit für ultraviolette Strahlung und/oder für blaue Lichtstrahlung sich von einer solchen unterscheidet, die eine erhöhte Empfindlichkeit für rotes Licht hat,.insbesondere weil die epitaxiale Schicht auf dem Halbleiterkörper, auf die die Strahlung einfällt, einen höheren spezifischen Widerstand hat. Halbleitermaterial mit P-Leitfähigkeit mit hohem spezifischen Widerstand hat eine Neigung, sich unbeabsichtigt in N-Leitfähigkeit umzuwandeln, wenn es mit einer Oxidschicht überzogen wird, wobei eine solche Oxidschicht gewöhnlich vorhanden ist, entweder zufällig oder zu Passivierungszwecken. Bei einer Photozelle nach der Erfindung hat daher die epitaxiale Schicht auf dem Halbleiterkörper, auf die die Strahlung auffällt, N-Leitfähigkeit und einen hohen spezifischen Widerstand. Während es möglich ist, in einen Oberflächenbereich des Halbleiterkörpers geeigneter Dicke eine Verunreinigung mit N-Leitfähigkeit einzudiffundieren, ist es nicht einfach, auf diese Weise einen diffundierten Oberflächenbereich mit einem geeignetIn normal operation of the photocell it is essential that the charge carriers generated by photons of ultraviolet radiation and / or the light radiation in the blue spectrum are generated predominantly in the thin epitaxial layer, that of them a considerable Number of non-recombined minority charge carriers reaches the radiation-sensitive PN junction, whereby a electric current is generated as a result of these photons. The higher the resistance value of the epitaxial layer, the longer is the mean diffusion length of the minority charge carriers in the epitaxial layer. Photons of a red light radiation generate charge carriers mainly in the substrate, which is why a photocell according to the invention with an increased sensitivity to ultraviolet radiation and / or to blue light radiation itself differs from one that has an increased sensitivity to red light, especially because the epitaxial layer on the semiconductor body on which the radiation is incident has a higher specific resistance. Semiconductor material with P-type conductivity with high resistivity has a tendency to inadvertently convert to N-type conductivity when it is coated with an oxide layer, such oxide layer usually being present, either incidentally or for passivation purposes. In a photocell according to the invention, the epitaxial layer on the semiconductor body on which the Radiation is noticeable, N-conductivity and a high specific resistance. While it is possible in a surface area of the semiconductor body of suitable thickness to diffuse an impurity with N conductivity, it is not easy to apply it Way a diffused surface area with a suitable
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hohen Widerstand für die epitaxiale Schicht zu erzeugen, mit der gewünschten gleichmäßigen Dicke im Bereich von 0,1 bis 1,0 mittleren Diffusionslängen der darin befindlichen Minoritäts-Ladungsträgern für eine Photozelle mit einer hohen Empfindlichkeit für ultraviolette Strahlung und/oder für blaue Lichtstrahlung. Nach der Erfindung wird daher auf einem geeigneten Substrat eine epitaxiale Schicht geeigneter Dicke und dem gewünschten Widerstand niedergeschlagen.to produce high resistance for the epitaxial layer, with the desired uniform thickness ranging from 0.1 to 1.0 medium Diffusion lengths of the minority charge carriers located therein for a photocell with a high sensitivity to ultraviolet Radiation and / or for blue light radiation. According to the invention, therefore, an epitaxial layer is formed on a suitable substrate suitable thickness and desired resistance.
Die epitaxiale Schicht mit N-Leitfähigkeit kann im wesentlichen eine gleichförmige Dicke im Bereich von etwa 0,1 bis 10 Mikron haben, wobei die bevorzugte Dicke bei 1 Mikron liegt und der Widerstand kann im Bereich von 0,1 bis 10,0 Ohm-cm liegen und er beträgt vorzugsweise etwa 2,0 0hm-cm.The epitaxial layer with N-conductivity can essentially have a uniform thickness in the range of about 0.1 to 10 microns with the preferred thickness being 1 micron and the Resistance can range from 0.1 to 10.0 ohm-cm and is preferably about 2.0 ohm-cm.
Wenn es erforderlich ist, daß die Photozelle eine hohe Empfindlichkeit für rotes Licht hat, so hat das Substrat mit P-Leitfähigkeit einen niedrigen Widerstand,' nämlich weniger als 0,1 0hm-cm, vorzugsweise etwa 0,01 0hm-cm.When the photocell is required to have high sensitivity for red light, the substrate with P conductivity has a low resistance, namely less than 0.1 ohm-cm, preferably about 0.01 ohm-cm.
Wenn die Photozelle jedoch zusätzlich zu einer hohen Empfindlichkeit für ultraviolette Strahlung und/oder für Blaulichtstrahlung eine hohe Empfindlichkeit für rotes Licht haben soll, so hat das Substrat mit P-Leitfähigkeit einen genügend hohen Widerstand damit Majoritäts-Ladungsträger eine beträchtliche mittlere Diffusionslänge in dem Substrat haben, und der Widerstand des letzteren liegt über 1,0 0hm-cm und vorzugsweise bei 10,0 0hm-cm.However, if the photocell in addition to high sensitivity for ultraviolet radiation and / or for blue light radiation is to have a high sensitivity for red light, the substrate has with P-conductivity a sufficiently high resistance so that majority charge carriers have a substantial mean diffusion length in the substrate, and the resistance of the latter is in excess of 1.0 ohm-cm and preferably at 10.0 ohm-cm.
Eine beispielsweise Ausfuhrungsform der Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnung erläutert, in derAn example embodiment of the invention is shown below explained with reference to the drawing in which
it Fig. 1 im Schnitt eine erfindungsgemäße Photozelle zeigt, die für eine Strahlung im roten Teil des sichtbaren Spektrums keine hohe Empfindlichkeit hat. i t Fig. 1 in section shows a photoelectric cell according to the invention, which does not have high sensitivity to radiation in the red portion of the visible spectrum.
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Fig. 2 zeigt im Schnitt eine weitere Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Photozelle, die eine Sonnenzelle aufweist mit einer hohen Empfindlichkeit für Strahlung in den blauen und roten Bereichen des sichtbaren Spektrums. Der Schnitt von Fig. 2 verläuft längs der Linie II-II von Fig. 3.Fig. 2 shows in section a further embodiment of an inventive Photocell that has a solar cell with a high sensitivity to radiation in the blue and red areas of the visible spectrum. The section of FIG. 2 runs along the line II-II of Fig. 3.
Fig. 3 zeigt in Draufsicht die Sonnenzelle, auf die die Strahlung auftrifft.Fig. 3 shows a plan view of the solar cell on which the radiation impinges.
Die in Fig. 1 gezeigte Photozelle ist in einem Silicium-Halbleiterkörper ausgebildet mit einer dünnen epitaxialen Schicht 10 mit hohem Widerstand und N-Leitfähigkeit mit praktisch gleichmäßiger Dicke, die auf einem hochleitfähigem Substrat 11 mit P-Leitfähigkeit angeordnet ist. Die Strahlung, für die die Photozelle empfindlich sein soll, fällt auf die freie Oberfläche 12 der epitaxialen Schicht 10 und es ist zwischen der epitaxialen Schicht 10 mit N-Leitfähigkeit und dem Substrat mit P-Leitfähigkeit ein strahlungsempfindlicher PN-Übergang 13 vorgesehen.The photocell shown in Fig. 1 is in a silicon semiconductor body formed with a thin epitaxial layer 10 with high resistance and N-conductivity with practically more uniform Thickness on a highly conductive substrate 11 with P-type conductivity is arranged. The radiation to which the photocell is supposed to be sensitive falls on the free surface 12 of the epitaxial Layer 10 and there is a radiation-sensitive layer between the epitaxial layer 10 with N-conductivity and the substrate with P-conductivity PN junction 13 is provided.
Im Betrieb wird gefordert, daß die Photozelle im wesentlichen keinen Stromverlust hat, wenn keine Strahlung, für die die Photozelle empfindlich ist, auftrifft, wobei jedoch der Leistungsausgang der Vorrichtung nicht hoch zu sein braucht, da er anderweitig verstärkt wird. Auf der anderen freien Oberfläche 15 des Substrates 11 ist eine Kontaktschicht 14 aus Aluminium aufgebracht und eine weitere Kontaktschicht 16 aus Aluminium ist auf einem kleineren Teil der Oberfläche 12 der epitaxialen Schicht 10 niedergeschlagen. Am Substrat 11 ist ein ohmischer Kontakt vorgesehen, ferner ist ein ohmischer Kontakt an der epitaxialen Schicht 10 ausgebildet und zwar mittels eines stark dotierten Kontaktbereiches 17 mit N-Leitfähigkeit, der in der epitaxialen Schicht und angrenzend an die Oberfläche 12 vor dem Niederschlagen der Aluminiumschicht 16 selektiv ausgebildet worden ist.In operation, it is required that the photocell have essentially no current loss if there is no radiation for which the photocell is sensitive, but the power output of the device need not be high as it would otherwise is reinforced. A contact layer 14 made of aluminum is applied to the other free surface 15 of the substrate 11 and another contact layer 16 of aluminum is on a minor part of the surface 12 of the epitaxial layer 10 dejected. An ohmic contact is provided on the substrate 11, and there is also an ohmic contact on the epitaxial contact Layer 10 formed by means of a heavily doped contact area 17 with N conductivity, which is in the epitaxial Layer and adjacent to the surface 12 has been selectively formed prior to the deposition of the aluminum layer 16.
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Ferner ist die Photozelle innerhalb des Halbleiterkörpers isoliert mittels einer stark dotierten Trennschicht 18 mit P-Leitfähigkeit, die sich durch die epitaxiale Schicht 10 und in Kontakt mit dem Substrat 11 erstreckt. Die Trennschicht wird durch eine selektive Diffusion erzeugt ehe die Aluminiumschichten 14 und 16 aufgebracht werden. Der wirksame Teil der strahlungsempfindlichen PN-Übergangsschicht 13 ist durch die Trennschicht 18 begrenzt.Furthermore, the photocell is insulated within the semiconductor body by means of a heavily doped separating layer 18 with P conductivity, which extends through the epitaxial layer 10 and in contact with the Substrate 11 extends. The separating layer is produced by selective diffusion before the aluminum layers 14 and 16 are applied will. The effective part of the radiation-sensitive PN junction layer 13 is delimited by the separating layer 18.
Der strahlungsempfindliche PN-Übergang kann umgekehrt vorgespannt sein und eine Vorspann-Potentialdifferenz von bis zu 10 Volt kann mittels einer nicht gezeigten elektrischen Energiequelle an den PN-Übergang angelegt werden. Die Grenze der Sperrschicht, die dem PN-Übergang 13 zugeordnet ist, wenn dieser umgekehrt vorgespannt wird, ist durch eine unterbrochene Linie 19 angezeigt.The radiation-sensitive PN junction can be reverse biased and a bias potential difference of up to 10 volts can be applied to the PN junction by means of an electrical energy source (not shown). The boundary of the barrier, associated with PN junction 13 when it is reversely biased is indicated by broken line 19.
Bei dem vorbeschriebenen Aufbau der Photozelle und unabhängig ob der PN-Übergang 13 umgekehrt vorgespannt ist oder nicht, ist die Sperrschicht (depletion layer) so nahe wie möglich an der Oberfläche 12 der epitaxialen Schicht und sie liegt in einem Bereich des Halbleiterkörpers, in welchem die Wiedervereinigungs-Rate der Ladungsträger klein ist. Deshalb erreicht eine beträchtliche Anzahl von Minoritäts-Ladungsträgern in der epitaxialen Schicht den PN-Übergang, weil die epitaxiale Schicht sowohl dünn ist als auch einen hohen Widerstand besitzt. Die Photozelle ist daher empfindlich für eine schwach eindringende Strahlung im blauen Teil des sichtbaren Spektrums. Weil die epitaxiale Schicht dünn ist und weil das Substrat stark dotiert ist, hat die Photozelle jedoch keine hohe Empfindlichkeit für eine Strahlung im roten Bereich des sichtbaren Spektrums. Eine solche Strahlung dringt bis in das .stark dotierte Substrat ein, wo die Ladungsträger, die hierdurch erzeugt werden, mit einer hohen Geschwindigkeit bzw. in einer hohen Rate sich wieder vereinigen (recombine).With the construction of the photocell as described above and regardless of whether the PN junction 13 is reverse biased or not the depletion layer as close as possible to the surface 12 of the epitaxial layer and it lies in one Area of the semiconductor body in which the re-unification rate of the charge carriers is low. Therefore achieved a considerable Number of minority charge carriers in the epitaxial layer make the PN junction, because the epitaxial layer is both thin is as well as has a high resistance. The photocell is therefore sensitive to weakly penetrating radiation in the blue part of the visible spectrum. Because the epitaxial layer is thin and because the substrate is heavily doped, the photocell has however, it is not highly sensitive to radiation in the red region of the visible spectrum. Such radiation penetrates into the heavily doped substrate, where the charge carriers which are generated in this way, reunite at a high speed or at a high rate (recombine).
Die erforderliche dünne Oberflächenschicht mit dem gewünschtenThe required thin surface layer with the desired
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hohen Widerstandswert kann durch epitaxialen Niederschlag erzeugt werden.high resistance value can be generated by epitaxial precipitation.
Wenn das P-Substrat mit Bor dotiert ist, so werden durch eine Erwärmung des Halbleiterkörpers während der Herstellung die Verunreinigungen dazu gebracht, in die epitaxiale Schicht hineinzudiffundieren, wodurch die effektive Dicke der epitaxialen Schicht reduziert wird, weshalb das Substrat vorzugsweise mit Bor dotiert wird.If the P-substrate is doped with boron, then by heating of the semiconductor body caused the impurities to diffuse into the epitaxial layer during manufacture, whereby the effective thickness of the epitaxial layer is reduced, which is why the substrate is preferably doped with boron will.
Vorzugsweise hat eine erfindungsgemäße Photozelle, die keine hohe Empfindlichkeit für rotes Licht hat, eine epitaxiale Schicht mit einer gleichmäßigen Dicke von etwa 1 Mikron. Die epitaxiale Schicht mit N-Leitfähigkeit hat den hohen Widerstand von etwa 2 Ohm-cm und das P-Substrat hat den niedrigen Widerstand von etwa 0,01 Ohm-cm. Die Dicke der epitaxialen Schicht liegt zweckmäßigerweise im Bereich von 0,1 bis 1,0 mittleren Diffusionslängen der in ihr vorhandenen Minoritäts-Ladungsträgern, d.h. die Dicke kann im Bereich von 0,1 bis 10 Mikron liegen und der Widerstand der epitaxialen Schicht kann größer als 1,0 Ohm-cm sein. Der Widerstand des Substrates kann kleiner als 0,1 Ohm-cm sein.A photocell according to the invention which does not have a high sensitivity to red light preferably has an epitaxial layer a uniform thickness of about 1 micron. The epitaxial layer with N conductivity has the high resistance of about 2 ohm-cm and the P-substrate has the low resistance of about 0.01 ohm-cm. The thickness of the epitaxial layer is expediently in the range from 0.1 to 1.0 mean diffusion lengths of the minority charge carriers present in it, i.e. the thickness can range from 0.1 to 10 microns and the resistance of the epitaxial layer can be greater than 1.0 ohm-cm. The resistance of the substrate can be less than 0.1 ohm-cm.
Eine weitere Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Photozelle, die eine hohe Empfindlichkeit für eine Strahlung sowohl im blauen als auch im roten Teil des sichtbaren Spektrums hat, ist in den Figuren 2 und 3 dargestellt. Teile der Ausführungsform nach den Figuren 2 und 3, die identisch oder ähnlich mit entsprechenden Teilen nach Fig. 1 sind haben dieselben Bezugszeichen.Another embodiment of a photocell according to the invention, which has a high sensitivity to radiation in both the blue and red parts of the visible spectrum is in the Figures 2 and 3 shown. Parts of the embodiment according to Figures 2 and 3, which are identical or similar to corresponding parts of Figure 1, have the same reference numerals.
Die Figuren 2 und 3 zeigen einen Halbleiterkörper, in welchem die Photozelle ausgebildet ist, wobei das Halbleiterplättchen angeritzt ist und der strahlungsempfindliche PN-Übergang erstreckt sich durch den gesamten Halbleiterkörper. Der Stromverlust (current leakage) der Photozelle ist beachtlich, wenn die ein- FIGS. 2 and 3 show a semiconductor body in which the photocell is formed, the semiconductor wafer being scored and the radiation-sensitive PN junction extending through the entire semiconductor body. The power loss (current leakage) of the photocell is remarkable when the single
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fallende Strahlungsintensität Null ist. Eine solche Photozelle eignet sich aber für eine Sonnenzelle wenn kein beträchtlicher Leistungsabfall innerhalb der Vorrichtung infolge des Innenwiderstandes vorhanden ist.falling radiation intensity is zero. Such a photocell but is suitable for a solar cell if there is no significant drop in performance within the device due to the internal resistance is available.
Die Photozelle nach den Figuren 2 und 3 ist eine Solarzelle und unterscheidet sich von derjenigen nach Fig. 1 dadurch, daß das Substrat 20 mit P-Leitfähigkeit einen hohen Widerstand hat und daß eine für Sonnenzellen übliche Kontakteinrichtung auf der Oberfläche 12 der epitaxialen Schicht 10 vorgesehen ist. Der Aluminiumkontakt nach Fig. 3 besteht aus einer Vielzahl von parallelen schmalen Fingern 21, die sich im wesentlichen über die gesamte Breite der epitaxialen Schicht 10 von einem gemeinsamen Kontakt-, stück 22 aus erstrecken. Jeder Finger 21 verjüngt sich und der gemeinsame Kontakt 22 bildet nur einen schmalen Teil der Oberfläche 12. Unter der Aluminiumschicht 21, 22 ist ein stark dotierter Kontaktbereich 2 3 vorgesehen, wie Fig. 2 zeigt. Der Kontaktbereich 2 3 hat in Draufsicht im wesentlichen die Form der Aluminiumschicht.The photocell according to Figures 2 and 3 is a solar cell and differs from that of FIG. 1 in that the substrate 20 with P conductivity has a high resistance and that a contact device customary for solar cells is provided on the surface 12 of the epitaxial layer 10. The aluminum contact according to Fig. 3 consists of a plurality of parallel narrow fingers 21, which extend over substantially the entire Width of the epitaxial layer 10 extend from a common contact piece 22. Each finger 21 tapers and the common contact 22 forms only a narrow part of the surface 12. Under the aluminum layer 21, 22 is a strong doped contact region 2 3 is provided, as shown in FIG. The contact area 2 3 has in plan view essentially the shape of Aluminum layer.
Im Betrieb der Sonnenzelle nach den Figuren 2 und 3 spricht diese auf blaues Licht an aufgrund der Minoritäts-Ladungsträger, die in der epitaxialen Schicht erzeugt werden und sie spricht auf rotes Licht an aufgrund von Majoritäts-Ladungsträgern, die in dem Substrat erzeugt werden, wobei sowohl in der epitaxialen Schicht wie auch in dem Substrat die Wiedervereinigungs-Rate der Ladungsträger nur klein ist. Die Grenzen der Verarmungsschicht oder Sperrschicht (depletion layer), die neben dem strahlungsempfindlichen PN-Übergang 13 liegt, ist durch unterbrochene Linien 24 dargestellt, die in der epitaxialen Schicht 10 und im Substrat 20 verlaufen.When the solar cell according to FIGS. 2 and 3 is in operation, it responds to blue light due to the minority charge carriers that appear in of the epitaxial layer and it responds to red light due to majority charge carriers residing in the substrate are generated, both in the epitaxial layer and in the substrate, the reunification rate of the charge carriers only is small. The boundaries of the depletion layer, which is next to the radiation-sensitive PN junction 13 is represented by broken lines 24 running in the epitaxial layer 10 and in the substrate 20.
Der Widerstand des P-Substrates 20 kann größer als 1,0 0hm-cm und vorzugsweise 10 Ohm-cm sein.The resistance of the P-substrate 20 can be greater than 1.0 ohm-cm and preferably 10 ohm-cm.
Der bevorzugte Widerstand und die Dicke der epitaxialen SchichtThe preferred resistance and thickness of the epitaxial layer
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der Sonnnenzelle nach den Figuren 2 und 3 kann von den entsprechenden bevorzugten Werten der Photozelle nach Fig. 1 differieren, obwohl diese Werte innerhalb der oben genannten Bereiche liegen.the solar cell according to Figures 2 and 3 can be of the corresponding preferred values of the photocell according to Fig. 1 differ, although these values are within the above-mentioned ranges.
Die dargestellten und beschriebenen Photozellen können anstatt oder zusätzlich zu ihrer Empfindlichkeit für blaues Licht auch für eine ultraviolette Strahlung empfindlich sein.The illustrated and described photocells can be used instead or be sensitive to ultraviolet radiation in addition to being sensitive to blue light.
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Also Published As
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|---|---|
| GB1447410A (en) | 1976-08-25 |
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