CN204825117U - 密封炉腔的拉晶炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及半导体致冷件生产技术领域的设备，名称是密封炉腔的拉晶炉，包括炉体和炉门，炉体具有炉腔，在炉腔内具有安装拉晶管的卡座，所述的炉腔内还有拉晶套，拉晶套是对产品进行拉晶的部件，所述的炉体和炉门可密闭连接，所述的炉体还连接有抽真空装置，这样的拉晶炉具有不用对拉晶管密封、使用方便、节省工艺步骤的优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体致冷件生产技术领域的设备，特别是涉及拉晶炉。
背景技术
晶粒是制造半导体致冷件的部件，晶粒的主要成分是三碲化二铋，作为制造致冷件的晶粒要求其分子排列整齐，晶粒里面的分子排列越整齐，致冷件的效率就越高。
晶粒是由晶棒切割而成的，这就要求晶棒里面的分子排列是整齐的。
制造晶棒时，对其里面的分子进行排列的过程就是拉晶，拉晶是在拉晶炉中进行的，原料盛装在拉晶管中进行拉晶，拉晶炉包括炉体和炉门，现有技术中，炉体和炉门之间不是密封连接的，这就要求拉晶时拉晶管密封着原料，否则就会使材料的成分发生变化，产生废品，用这样的拉晶炉因为需要对拉晶管密封，具有加工过程复杂、使用不便的缺点。
发明内容
本实用新型的目的就是针对上述缺点，提供一种不用对拉晶管密封、使用方便、节省工艺步骤的拉晶炉——密封炉腔的拉晶炉。
本实用新型的技术方案是这样实现的：密封炉腔的拉晶炉，包括炉体和炉门，炉体具有炉腔，在炉腔内具有安装拉晶管的卡座，所述的炉腔内还有拉晶套，拉晶套是对产品进行拉晶的部件，其特征是：所述的炉体和炉门可密闭连接，所述的炉体还连接有抽真空装置。
本实用新型的有益效果是：这样的拉晶炉具有不用对拉晶管密封、使用方便、节省工艺步骤的优点。
附图说明
图1是本实用新型的剖面结构示意图。
其中：1、炉体2、炉门3、炉腔4、卡座5、拉晶套6、抽真空装置7、拉晶管。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
如图1所示，密封炉腔的拉晶炉，包括炉体1和炉门2，炉体具有炉腔3，在炉腔内具有安装拉晶管的卡座4，所述的炉腔内还有拉晶套5，拉晶套是对产品进行拉晶的部件，其特征是：所述的炉体和炉门可密闭连接，所述的炉体还连接有抽真空装置6。
所述的可密封连接是指炉门盖上后，炉体和炉门形成一个密闭的、不通气的空间。
图中7是拉晶管。
本实用新型使用时，将原料放置在拉晶管中，关闭炉门，然后可以对炉腔抽真空，由于炉体内没有空气或氧气，在拉晶过程中，不会对原料破坏，也就没有将拉晶管密封的必要，这样就会简化工艺，具有本实用新型的优点。
以上所述仅为本实用新型的具体实施例，但本实用新型的结构特征并不限于此，任何本领域的技术人员在本实用新型的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本实用新型的专利范围内。
Claims (1)
1.密封炉腔的拉晶炉，包括炉体和炉门，炉体具有炉腔，在炉腔内具有安装拉晶管的卡座，所述的炉腔内还有拉晶套，拉晶套是对产品进行拉晶的部件，其特征是：所述的炉体和炉门可密闭连接，所述的炉体还连接有抽真空装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520578114.4U CN204825117U (zh) | 2015-08-05 | 2015-08-05 | 密封炉腔的拉晶炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520578114.4U CN204825117U (zh) | 2015-08-05 | 2015-08-05 | 密封炉腔的拉晶炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN204825117U true CN204825117U (zh) | 2015-12-02 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN201520578114.4U Active CN204825117U (zh) | 2015-08-05 | 2015-08-05 | 密封炉腔的拉晶炉 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN204825117U (zh) |
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2015
- 2015-08-05 CN CN201520578114.4U patent/CN204825117U/zh active Active
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| GR01 | Patent grant |