CN114959271B - 一种溅射银残靶材的回收方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种溅射银残靶材的回收方法。以标准银锭和银残靶材为原料进行混合配料，所得混合物料投入大气熔炼炉中进行加热熔化，熔化后所得熔液中通入氧气；氧气停止通入后关闭加热，减小氧气通入量，盖上保温盖进行静置；静置后停止通入氧气，所得熔液中加入草木灰或硼砂进行搅拌，去除浮渣；去除浮渣后所得熔液继续加热升温，升温过程中将木炭浸入熔液中，升温保温后加入草木灰或硼砂进行搅拌，捞出浮渣，将所得熔液倒入模具中冷却成型，得到制作溅射银靶的原料。本发明方法操作流程短、成本低、生产效率高，回收所得产品符合银靶生产所需的原料要求。
Description
一、技术领域：
本发明涉及一种溅射靶材的处理方法，具体涉及一种溅射银残靶材的回收方法。
二、背景技术：
溅射银靶主要用于玻璃行业、电子行业，在溅射过程中，通常溅射镀银层之前，先镀铬、镍铬合金和硅铝合金等材料。由于溅射过程中会出现反向沉积，前列材料与各类基材(玻璃、石英等)会沉积在银靶材上，导致银靶材中杂质元素含量升高。
目前，对于由于沉积造成的溅射银残靶材的回收工艺主要为将溅射银残靶材熔化铸板，装入电解槽中电解，电解出的银粉再加入大气熔炼炉内熔化铸锭，制备出符合需求的原料。该工艺流程长、成本高，造成较大的贵金属中间占用，并在回收过程中银损耗较高，同时电解和两次铸锭对环境污染较严重，不利于环保。
三、发明内容：
本发明要解决的技术问题是：针对现有技术中回收溅射银残靶材存在的不足之处，本发明提供一种流程短、成本低、生产效率高的溅射银残靶材的回收方法。
为了解决上述问题，本发明采取的技术方案是：
本发明提供一种溅射银残靶材的回收方法，所述回收方法包括以下步骤：
a、以标准银锭和银残靶材为原料进行配料，二者之间混合配制的重量比例为1～4：1；
b、将步骤a配制的混合物料投入大气熔炼炉中进行加热熔化，熔化后所得熔液中通入氧气；氧气停止通入后关闭加热，减小氧气通入量，盖上保温盖进行静置；
c、静置后停止通入氧气，所得熔液中加入草木灰或硼砂进行搅拌，去除浮渣；
d、将步骤c去除浮渣后所得熔液继续加热升温，升温过程中将木炭浸入熔液中，加热至1120～1180℃条件下进行保温，保温时间为3～5min，保温后加入草木灰或硼砂进行搅拌，捞出浮渣，将所得熔液倒入模具中冷却成型，得到制作溅射银靶的原料。
根据上述的溅射银残靶材的回收方法，步骤b中所述加热熔化过程中温度控制为1030～1080℃。
根据上述的溅射银残靶材的回收方法，步骤b中所述氧气的通入量为2～20L/min，通入时间为1～3min。
根据上述的溅射银残靶材的回收方法，步骤b中所述减小氧气通入量，此时控制氧气通入量为0.5～2L/min。
根据上述的溅射银残靶材的回收方法，步骤b中所述静置的时间为2～5min。
根据上述的溅射银残靶材的回收方法，步骤c中所述草木灰或硼砂的加入量与熔液之间的重量配比为1：300～500。
根据上述的溅射银残靶材的回收方法，步骤d中所述木炭浸入熔液时，木炭浸入熔液的表面积与熔液体积之间的比例为1cm2：10～30cm3，浸入时间为2～5min。
根据上述的溅射银残靶材的回收方法，步骤d中所述草木灰或硼砂的加入量与熔液之间的重量配比为1：500～1000。
本发明的积极有益效果：
1、本发明回收溅射银残靶材方法中，采用熔炼过程氧化除杂、密闭除氧、高温除杂等方法得到的银材料，符合银靶生产所需的原料要求。
2、利用本发明回收溅射银残靶材，缩短了回收工艺流程、降低了操作难度，并提高了银的回收率，有效的降低了回收过程中的环境污染。
因此，本发明具有显著的社会效益和经济效益。
四、具体实施方式
以下通过具体实施方式对本发明进行更加详细的说明，但是并不用于限制本发明技术方案保护的范围。
实施例1：
本发明溅射银残靶材的回收方法，该回收方法的详细步骤为：
a、以标准银锭和银残靶材为原料进行配料，二者之间混合配制的重量比例为3：1，所得混合物料的总重为30kg；
b、将步骤a配制的混合物料投入大气熔炼炉中进行加热，加热至1030℃进行熔化，熔化后所得熔液中通入氧气，氧气通入量为5L/min，通入时间为2min；氧气停止通入后，关闭加热，减小氧气通入量至2L/min，盖上保温盖进行静置2min；
c、静置后停止通入氧气，所得熔液中加入草木灰80g在表面进行搅拌，去除浮渣；
d、将步骤c去除浮渣后所得熔液继续加热升温，升温过程中将木炭浸入熔液中3min，木炭浸入熔液的表面积与熔液体积之间的比例为1cm2：10cm3，加热至1120℃条件下进行保温5min，保温后加入50g草木灰进行搅拌，捞出浮渣，将所得熔液倒入模具中冷却成型，得到制作溅射银靶的原料。
本实施例回收得到的产品经检测分析，成分质量符合国标1号银标准，各污染元素含量为Ni 0.015ppm、Cr 0.005ppm、Al 0.005ppm、Si 0.035ppm，氧含量为8ppm。
实施例2：
本发明溅射银残靶材的回收方法，该回收方法的详细步骤为：
a、以标准银锭和银残靶材为原料进行配料，二者之间混合配制的重量比例为2：1，所得混合物料的总重为60kg；
b、将步骤a配制的混合物料投入大气熔炼炉中进行加热，加热至1080℃进行熔化，熔化后所得熔液中通入氧气，氧气通入量为10L/min，通入时间为3min；氧气停止通入后，关闭加热，减小氧气通入量至1L/min，盖上保温盖进行静置5min；
c、静置后停止通入氧气，所得熔液中加入草木灰200g在表面进行搅拌，去除浮渣；
d、将步骤c去除浮渣后所得熔液继续加热升温，升温过程中将木炭浸入熔液中5min，木炭浸入熔液的表面积与熔液体积之间的比例为1cm2：30cm3，加热至1180℃条件下进行保温5min，保温后加入60g草木灰进行搅拌，捞出浮渣，将所得熔液倒入模具中冷却成型，得到制作溅射银靶的原料。
本实施例回收得到的产品经检测分析，成分质量符合国标1号银标准，各污染元素含量为Ni 0.02ppm、Cr 0.005ppm、Al 0.008ppm、Si 0.031ppm，氧含量为7ppm。
实施例3：
本发明溅射银残靶材的回收方法，该回收方法的详细步骤为：
a、以标准银锭和银残靶材为原料进行配料，二者之间混合配制的重量比例为4：1，所得混合物料的总重为30kg；
b、将步骤a配制的混合物料投入大气熔炼炉中进行加热，加热至1050℃进行熔化，熔化后所得熔液中通入氧气，氧气通入量为20L/min，通入时间为1min；氧气停止通入后，关闭加热，减小氧气通入量至0.5L/min，盖上保温盖进行静置2min；
c、静置后停止通入氧气，所得熔液中加入草木灰50g在表面进行搅拌，去除浮渣；
d、将步骤c去除浮渣后所得熔液继续加热升温，升温过程中将木炭浸入熔液中3min，木炭浸入熔液的表面积与熔液体积之间的比例为1cm2：15cm3，加热至1150℃条件下进行保温4min，保温后加入30g草木灰进行搅拌，捞出浮渣，将所得熔液倒入模具中冷却成型，得到制作溅射银靶的原料。
本实施例回收得到的产品经检测分析，成分质量符合国标1号银标准，各污染元素含量为Ni 0.022ppm、Cr 0.008ppm、Al 0.01ppm、Si 0.042ppm，氧含量为9ppm。
Claims (2)
1.一种溅射银残靶材的回收方法，其特征在于，所述回收方法包括以下步骤：
a、以标准银锭和银残靶材为原料进行配料，二者之间混合配制的重量比例为1～4：1；
b、将步骤a配制的混合物料投入大气熔炼炉中进行加热熔化，温度控制为1030～1080℃；熔化后所得熔液中通入氧气，氧气的通入量为2～20L/min、通入时间为1～3min；氧气停止通入后关闭加热，减小氧气通入量，控制氧气通入量为0.5～2L/min，盖上保温盖进行静置；
c、静置后停止通入氧气，所得熔液中加入草木灰或硼砂进行搅拌，去除浮渣；
所述草木灰或硼砂的加入量与熔液之间的重量配比为1：300～500；
d、将步骤c去除浮渣后所得熔液继续加热升温，升温过程中将木炭浸入熔液中，加热至1120～1180℃条件下进行保温，保温时间为3～5min，保温后加入草木灰或硼砂进行搅拌，捞出浮渣，将所得熔液倒入模具中冷却成型，得到制作溅射银靶的原料；
所述木炭浸入熔液时，木炭浸入熔液的表面积与熔液体积之间的比例为1cm2：10～30cm3，浸入时间为2～5min；所述草木灰或硼砂的加入量与熔液之间的重量配比为1：500～1000。
2.根据权利要求1所述的溅射银残靶材的回收方法，其特征在于：步骤b中所述静置的时间为2～5min。
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Legal Events
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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