WO1991017015A1 - Vorrichtung zum übertragen von laserlicht - Google Patents

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WO1991017015A1
WO1991017015A1 PCT/DE1991/000352 DE9100352W WO9117015A1 WO 1991017015 A1 WO1991017015 A1 WO 1991017015A1 DE 9100352 W DE9100352 W DE 9100352W WO 9117015 A1 WO9117015 A1 WO 9117015A1
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laser
light
transmission path
additional
reflected
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PCT/DE1991/000352
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French (fr)
Inventor
Richard Walker
Klaus Ludewigt
Original Assignee
Rofin-Sinar Laser Gmbh
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4296—Coupling light guides with opto-electronic elements coupling with sources of high radiant energy, e.g. high power lasers, high temperature light sources
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
    • B23K26/702—Auxiliary equipment
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4296—Coupling light guides with opto-electronic elements coupling with sources of high radiant energy, e.g. high power lasers, high temperature light sources
    • G02B2006/4297—Coupling light guides with opto-electronic elements coupling with sources of high radiant energy, e.g. high power lasers, high temperature light sources having protection means, e.g. protecting humans against accidental exposure to harmful laser radiation

Definitions

  • the invention relates to a device for transmitting laser light with a laser, one or more coupling lenses, a light guide, one or more collimator lenses and one or more focusing lenses.
  • Laser light is often transmitted using light guides. This also applies to high-intensity laser light with which, for example, mechanical processing of workpieces is to take place.
  • Nd: YAG lasers or other lasers, for example CO 2 lasers Nd: YAG lasers or other lasers, for example CO 2 lasers
  • the freedom and flexibility are much greater than with conventional fixed or rigid optical systems with mirrors and lenses.
  • fiber optics you can get into very narrow spaces and confined spaces, so that three-dimensional parts can be machined relatively easily and inexpensively.
  • SPARE BLADE 9 Various methods and devices are known to solve this problem and to prevent people or material from being exposed to the laser radiation of the Nd: YAG laser, CO 2 laser or any other laser.
  • a detector for the main wavelength or a secondary wavelength of the laser radiation is normally provided at the end of the optical fiber at or near the focusing device. If no more laser radiation arrives here, the laser beam is automatically interrupted.
  • facilities of this type have the following disadvantages:
  • At least one light pulse will enter the light guide before it is determined that there is a fault, for example a book of the light guide.
  • Focusing device increases, which of course limits the accessibility with the laser when working in confined spaces or in tight spaces. If the focusing optics are missing, or if they are not installed correctly, this is also not detected.
  • the object of the invention is to create a device of the type mentioned at the outset, which combines high security with great flexibility.
  • a system with these properties and a method for the optical monitoring of laser light are to be specified.
  • the solution according to the invention is that the device has an additional laser, the last of the focusing lenses is provided with a reflection layer for the light of the additional laser, a deflection mirror for the light reflected from the reflection layer and a sensor for the same are provided in the laser head, and that the sensor is operatively connected to a closure lens arranged in the beam path of the first laser.
  • the invention relates not only to a device with light guides, but generally to a system for transmitting laser light with a first laser and at least one focusing lens at the end of the transmission path.
  • the solution to the above object according to the invention consists - more generally speaking - in that an additional laser is arranged in the vicinity of the first laser, the wavelength of which is different from that of the first laser and the beam of which is superimposed on the beam of the first laser, that a surface of Focusing optics with a that
  • Light of the additional laser reflecting coating is provided in the vicinity of the first laser, an optical element which laterally deflects the reflected light of the additional laser and a detector for this light are provided, which is connected to an interruption device for the beam of the first laser.
  • a) a second beam is coupled into the transmission path of the first beam, the wavelength of which is different from the wavelength of the first beam, b) the second beam is reflected at the end of the transmission path, c) the reflected second beam is coupled out of the transmission path , d) the intensity of the outcoupled beam is measured, and e) depending on the result of this measurement, the transmission path for the first beam is released or interrupted.
  • the transmission path over which the laser light is transmitted does not only send the laser beam from the first laser, for example, with which a workpiece is to be machined;
  • the beam of the additional laser is transmitted via the same optical path, which only has to have a relatively small power in order to fulfill its purpose.
  • This additional laser beam passes through the same optical elements as the main laser beam, but, unlike the main laser beam, is reflected by the focusing optics and is then returned to the laser head, where it is deflected laterally and falls into the detector.
  • the detector always receives light from the additional laser. If the optical transmission path is now interrupted, no light from the additional laser will reach the detector. In this case, the laser beam from the first laser is interrupted immediately.
  • a closure such as a closure panel or the like. It would also be conceivable in itself to interrupt the electrical feed to the first laser, but this is not expedient if only one of several light paths that are operated simultaneously by the same laser is interrupted.
  • the additional laser should have such a low power that no damage of any kind to humans or material can occur if the optical transmission path is interrupted, for example by a break in the light guide, and the laser beam reaches an undesired location.
  • the system according to the invention can also be used for transmission paths without a light guide, although it is particularly advantageous for transmission paths with a light guide.
  • the light guide - if available - is not connected to the coupling optics; - the light guide is broken or has a too small radius of curvature, which leads to excessive losses;
  • the focusing device is not attached to the end of the light guide
  • the focusing optics is not inserted in the focusing unit.
  • Both lasers expediently have a common laser head, in which a deflecting optical element for the reflected beam of the additional laser and the detector are arranged. In this way, the light path of the laser can be monitored back into the laser head.
  • the deflecting optical element is expediently an obliquely arranged plate which transmits the light of the first laser and reflects that of the additional laser.
  • a pulsed laser as an additional laser; the latter would emit its pulse shortly before a pulse of the main laser, so that the perfect condition of the optical transmission path can be checked shortly before each pulse of the main or power laser.
  • a permanent check is possible, however, if the additional laser is a continuous wave laser.
  • the main laser will normally work in the infrared range if it is to be used for workpiece machining.
  • the additional laser it is particularly expedient for the additional laser to emit visible light, in particular red light.
  • the re- is not complete, a little light from the additional laser always reaches the processing point and here creates a visible light spot with which the adjustment is possible before the power laser is switched on.
  • the system is expediently to be used in cases in which the laser energy is conducted from one point to the other with a light guide.
  • All optical elements are expediently provided with anti-reflective coatings for the light from the first laser, since even small fractions of reflected light can have very harmful effects due to the high power densities.
  • the optical elements will expediently also be provided with an anti-reflective coating for the light of the additional laser, which of course does not apply to the surface of the focusing optics which is provided with the coating which reflects the light of the additional laser.
  • the additional laser should emit little energy in order to avoid the risk of damage and injuries.
  • a laser diode is particularly useful here.
  • a power laser 2 which is fed by a current source 3, is arranged in a housing 1.
  • the laser beam is guided through the laser head 4, which is provided with a shutter 5, to a coupling optics 6, which guides the laser beam into a light guide 7.
  • a cooling optics 8 and a focusing optics 9 are provided, which are shown in dashed lines.
  • ATT Beam 10 of the power laser 2 is focused in a point 11, in which a workpiece machining is to take place.
  • An additional laser 12 of low power which is operated continuously, in particular a laser diode, is arranged in the housing 1.
  • the dash-dotted light 13 of the additional laser 12 falls on a semitransparent plate 14 and is directed downward onto an obliquely arranged plate 15 (deflecting mirror) which is arranged in front of the first laser 2.
  • the plate 15 which is transparent to the light of the laser 2 and is reflective to the light of the laser 12, the light 13 is sent in the same way as the light beam 10 of the main laser 2.
  • the focusing optics 9 is provided with a coating 16, which is indeed for the! BSRT light 10 of the main laser 2 is transmissive, but the light 13 of the additional laser 12 reflects it, so that the light 13 is sent back in the same way on which it came.
  • the light of the additional laser 12 reflected back into the laser head 4 is shown in dotted lines in the figure and provided with the reference number 17.
  • This light 17 is reflected by the plate 15 and reaches the sensor or detector 18 via the plate 14 closed so that no more light from laser 2 can penetrate outside.
  • All optical elements (such as reflecting plates, lenses and end faces of the light guide) 7 are provided with coatings that prevent or at least minimize reflections of the light 10 from the first laser 2. These coatings are not shown in the figure.
  • the intensity is measured from and out of the transmission path of the first.
  • Beam 10 decoupled and strike the detector 16 A reflected beam 17 is preferably during a pulse pause of this power laser 2. This prevents interference in the measurement signal from the detector 18 which is caused by the high power pulse of the power laser 2.
  • the coating 16 can instead of the focusing optics 9 also be arranged on another optical element which is located in the end region of the beam path of the laser beam 10 and is optically transparent to this beam 10, for example on a (not shown) plane-parallel plate.

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Abstract

Beim Übertragen von Laserlicht hoher Leistung durch Lichtleiter (7) kann es beispeilsweise durch Bruch oder starke Biegung des Lichtleiters (7) vorkommen, daß Laserlicht an nicht vorgesehene Stellen gelangt und dort zu Zerstörungen führt. Bei einer erfindungsgemäßen Vorrichtung ist deshalb einem ersten Laser (2) ein Zusatzlaser (12) zugeordnet, dessen Licht in den Lichtleiter (7) eingekoppelt, an einer mit einer Reflexionsschicht (16) versehenen Fokussierlinse (9) reflektiert und von einem Sensor (18) empfangen wird, der mit einer im Strahlengang des ersten Lasers (2) angeordneten Verschlußblende (5) verbunden ist.

Description

Vorrichtung zum Übertragen von Laserlicht
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Übertragen von Laserlicht mit einem Laser, einer oder mehreren Einkoppel¬ linsen, einem Lichtleiter, einer oder mehreren Kollimator- linseπ und einer oder mehreren Fokussierlinseπ.
Laserlicht wird häufig mit Lichtleitern übertragen. Dies trifft auch für Laserlicht hoher Intensität zu, mit dem zum Beispiel eine mechanische Bearbeitung von Werkstücken erfol¬ gen soll.
Die Verwendung von Lichtleitern oder Faseroptiken ermöglicht es, daß Nd:YAG-Laser oder andere Laser, zum Beispiel C02-Laser, leicht in Produktionssysteme integriert werden können, wobei man trotzdem einen hohen Grad von Freiheit und Flexibilität hat. Die Freiheit und Flexibilität sind dabei sehr viel größer als bei konventionellen festen oder starren optischen Systemen mit Spiegeln und Linsen. Man kann mit Hilfe der Faseroptiken auch in sehr enge Räume und beengte Stellen gelangen, so daß man dreidimensionelle Teile verhältnismäßig einfach und kostengünstig bearbeiten kann.
Wenn man jedoch Faseroptiken zum übertragen von Laserenergie hoher Leistung verwendet, so ergeben sich verschiedene Sicher¬ heitsrisiken, die bei den feststehenden optischen Einrei- chungen nicht auftreten. So können große Probleme auftreten, wenn die Faser bricht oder zum Beispiel so stark gebogen wird, daß keine Totalreflexion mehr stattfindet. Die Laserenergie kann- dann an andere Stellen gelangen und hier zu Zerstörungen und/oder Verletzungen führen.
ERSATΣBLÄTT 9 Es sind verschiedene Verfahren und Einrichtungen bekannt, um dieses Problem zu lösen und um zu verhindern, daß Menschen oder Material der Laserstrahlung des Nd:YAG-Lasers, Cθ2-Lasers oder irgend eines anderen Lasers ausgesetzt ist. Bei diesen Einrichtungen ist normalerweise am Ende der Lichtfaser bei oder nahe der Fokussiereinrichtung ein Detektor für die Haupt¬ wellenlänge oder eine sekundäre Wellenlänge der Laserstrahlung vorgesehen. Trifft hier keine Laserstrahlung mehr ein, so wird der Laserstrahl automatisch unterbrochen. Einrichtungen dieser Art haben jedoch folgende Nachteile:
Bei gepulstem Laserbetrieb wird wenigstens ein Lichtpuls in den Lichtleiter eintreten, bevor festgestellt wird, daß eine Störung vorliegt, zum Beispiel ein Biuch des Lichtleiters. Durch den Detektor wird der Platzbedarf in der Umgebung der
Fokussiereinrichtung erhöht, was natürlich die Zugangsmöglich¬ keit mit dem Laser beim Bearbeiten in engen Räumen oder an engen Stelle begrenzt. Fehlt die Fokussieroptik, oder ist sie nicht richtig eingebaut, so wird dies ebenfalls nicht detek- tiert.
Die Aufgabe der Erfindung besteht in der Schaffung einer Vor¬ richtung der eingangs genannten Art, die hohe Sicherheit mit großer Flexibilität verknüpft. Außerdem sollen ein System mit diesen Eigenschaften sowie ein Verfahren zur optischen Über¬ wachung von Laserlicht angegeben werden.
Die erfindungsgemäße Lösung besteht darin, daß die Vorrichtung einen Zusatzlaser aufweist, daß die letzte der Fokussierlinsen mit einer Reflexionsschicht für das Licht des Zusatzlasers versehen ist, daß im Laserkopf ein Ablenkspiegel für das von der Reflexionsschicht reflektierte Licht sowie ein Sensor für dasselbe vorgesehen sind, und daß der Sensor mit einer im Strahlengang des ersten Lasers angeordneten Verschlußblence operativ verbunden ist.
ERSATZBUATT Allgemeiner gesprochen bezieht sich die Erfindung nicht nur auf eine Vorrichtung mit Lichtleitern, sondern allgemein auf ein System zum Übertragen von Laserlicht mit einem ersten Laser und wenigstens einer Fokussieroptik am Ende der Übertr gungsstrecke. Die erfindungsgemäße Lösung der obengenannten Aufgabe besteht dabei - allgemeiner gesprochen - darin, daß in der Nähe des ersten Lasers ein Zusatzlaser angeordnet ist, dessen Wellenlänge von der des ersten Lasers verschieden ist und dessen Strahl dem Strahl des ersten Lasers überlagert wird, daß eine Oberfläche der Fokussieroptik mit einer das
Licht des Zusatzlasers reflektierenden Beschichtung versehen ist, daß in der Nähe des ersten Lasers ein das reflektierte Licht des Zusatzlasers seitlich ablenkendes optisches Element sowie ein Detektor für dieses Licht vorgesehen sind, der mit einer Unterbrechungseinrichtung für den Strahl des ersten Lasers verbunden ist.
Das Verfahren zur optischen Überwachung der Übertragungs¬ strecke eines von einem ersten Laser emittierten ersten Strahles ist erfindungsgemäß gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
a) in die Übertragungsstrecke des ersten Strahles wird ein zweiter Strahl eingekoppelt, dessen Wellenlänge von der Wellenlänge des ersten Strahles verschieden ist, b) der zweite Strahl wird am Ende der Übertragungsstrecke reflektiert, c) der reflektierte zweite Strahl wird aus der Übertra- guπgsstrecke ausgekoppelt, d) die Intensität des ausgekoppelten Strahles wird gemes¬ sen, und e) in Abhängigkeit vom Ergebnis dieser Messung wird die Über¬ tragungsstrecke für den ersten Strahl freigegeben oder unterbrochen.
ERSATZBLATT A Über die Übertragungsstrecke, über die das Laserlicht übertra¬ gen wird, wird also nicht nur der Laserstrahl des ersten Lasers, mit dem zum Beispiel eine Werkstückbearbeitung erfol¬ gen soll, gesandt; über den gleichen optischen Weg wird auch der Strahl des Zusatzlasers übertragen, der nur verhältnismä¬ ßig kleine Leistung haben muß, um seinen Zweck zu erfüllen. Dieser Zusatzlaserstrahl gelangt durch die gleichen optischen Elemente wie der Hauptlaserstrahl hindurch, wird aber im Gegensatz zum Hauptlaserstrahl von der Fokussieroptik reflek- tiert und wird dann bis zum Laserkopf zurückgeleitet, wo er seitlich abgelenkt wird und in den Detektor fällt. Bei Nor¬ malbetrieb wird vom Detektor immer Licht des Zusatzlasers empfangen. Wird nun die optische Übertragungsstrecke unter¬ brochen, so gelangt kein Licht des Zusatzlascrc mehr auf den Detektor. In diesem Falle wird sofort der Laserstrahl des ersten Lasers unterbrochen. Zweckmäßigerweise geschieht dies durch einen Verschluß, wie z.B. eine Verschlußblende oder der¬ gleichen. Es wäre an sich auch denkbar, die elektrische Zulei¬ tung zum ersten Laser zu unterbrechen, was aber nicht zweck- mäßig ist, wenn nur einer von mehreren Lichtwegen, die vom selben Laser gleichzeitig bedient werden, unterbrochen ist. Der Zusatzlaser sollte dabei eine so geringe Leistung aufwei¬ sen, daß keine irgendwie gearteten Schädigungen von Mensch oder Material auftreten können, wenn die optische Übertra- gungsstrecke zum Beispiel durch Bruch des Lichtleiters unter¬ brochen wird und der Laserstrahl an einen unerwünschten Ort gelangt.
Das erfindungsgemäße System kann auch bei Übertragungswegen ohne Lichtleiter verwendet werden, obwohl es für Übertragungs¬ wege mit Lichtleiter besonders vorteilhaft ist.
Mit Hilfe der erfinduπgsgemäßen Einrichtungen und Systeme können folgende Fehler festgestellt werden: - Die Kopplungsoptik für den Lichtleiter ist nicht am Laser¬ kopf angebracht oder falsch justiert;
- der Lichtleiter - sofern vorhanden - ist nicht an die Kopplungsoptik angeschlossen; - der Lichtleiter ist gebrochen oder hat einen zu kleinen Krümmungsradius, was zu übermäßigen Verlusten führt;
- die Fokussiereinrichtung ist nicht am Ende des Lichtleiters angebracht;
- die Fokussieroptik ist nicht in die Fokussiereiπheit ein- gesetzt.
Zweckmäßigerweise haben beide Laser einen gemeinsamen Laser¬ kopf, in dem ein ablenkendes optisches Element für den Zurück reflektierten Strahl des Zusatziaser≤ sowie der Detektor angε ordnet sind. Auf diese Weise kann der Lichtweg des Lasers bis zurück in den Laserkopf überwacht werden.
Zweckmäßigerweise ist das ablenkende optische Element eine schräg angeordnete Platte, die das Licht des ersten Lasers durchläßt und dasjenige des Zusatzlasers reflektiert.
Es ist auch möglich, als Zusatzlaser ebenfalls einen ge¬ pulsten Laser zu verwenden; dieser würde seinen Puls jeweils kurz vor einem Puls des Hauptlasers abgeben, so daß die ein- wandfreie Beschaffenheit der optischen Übertragungsstrecke kurz vor jedem Puls des Haupt- oder Leistungslasers überprüft werden kann. Eine dauernde Überprüfung ist aber möglich, wenn der Zusatzlaser ein Dauerstrichlaser ist.
Der Hauptlaser wird normalerweise im Infrarotbereich arbeiten, wenn damit eine Werkstückbearbeitung durchgeführt werden soll. In diesem Falle ist es ganz besonders zweckmäßig, wenn der Zu¬ satzlaser sichtbares Licht, insbesondere rotes Licht, aussen¬ det. In diesem Falle ist es einerseits relativ einfach, eine Beschichtung zu finden, die das Infrarotlicht durchläßt, das rote Licht aber reflektiert. Andererseits wird, wenn die Re- flektion nicht vollständig ist, immer ein wenig Licht des Zu¬ satzlasers bis zur Bearbeitungsstelle gelangen und hier einer, sichtbaren Lichtfleck erzeugen, mit dem die Einjustierung mög¬ lich ist, bevor der Lεistungslaser angeschaltet wird.
Wie bereits erwähnt, ist das System zweckmäßigerweise bei Fällen anzuwenden, in denen die Laserenergie mit einem Licht¬ leiter von einem Punkt zum anderen geleitet wird. Es können im Prinzip aber auch andere optische Systeme überprüft und gesichert werden, die lediglich Spiegel und Linsen aufweisen.
Zweckmäßigerweise sind alle optischen Elemente mit Antireflex- beschichtungen für das Licht des ersten Lasers versehen, da schon kleine Bruchteile reflektierten Licht es wegen der hohen Leistungsdichten sehr schädlich Wirkungen hervorrufen können. Ebenso werden zweckmäßigerweise die optischen Elemente auch mit einer Antireflexbeschichtung für das Licht des Zu¬ satzlasers versehen sein, was aber natürlich nicht für die Fläche der Fokussieroptik zutrifft, die mit der Beschichtung versehen ist, die das Licht des Zusatzlasers reflektiert.
Der Zusatzlaser sollte nur wenig Energie abstrahlen, um hier Gefahr von Beschädigungen und Verletzungen zu vermeiden. Be¬ sonders zweckmäßig ist hier eine Laserdiode.
Die Erfindung wird im folgenden anhand einer vorteilhaften Ausführungsform unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung beschrieben.
in einem Gehäuse 1 ist ein Leistungslaser 2 angeordnet, der von einer Stromquelle 3 gespeist wird. Der Laserstrahl wirc durch den Laserkopf 4, der mit einer Verschlußblendε 5 ver¬ sehen ist, zu einer Kopplungsoptik 6 geleitet, die den Laser¬ strahl in einen Lichtleiter 7 leitet. Am Austrittsende des Lichtleiters sind eine Kcllimieroptik 8 unα eine Fokussier¬ optik 9 vorgesehen, die oe gestrichelt gezeichneter. Laser-
ATT Strahl 10 des Leistungslasεrs 2 in einεm Punkt 11 fokussiεrt, in dεm eine Werkstückbearbεitung stattfindεn soll.
Im Gεhäusε 1 ist noch ein Zusatzlaser 12 geringεr Leistung, der kontinuierlich betrieben wird, insbesondεre eine Laser¬ diode, angeordnet. Das strichpunktiert dargestellte Licht 13 des Zusatzlasers 12 fällt auf eine halbdurchlässige Platte 14 und wird nach unten auf εine schräg aπgeordnεte Platte 15 (Ab lenkspiegel) geleitεt, die vor dem εrstεn Laser 2 angεordnet ist. Durch diese Platte 15, die für das Licht des Lasers 2 durchlässig ist und für das Licht dεs Lasεrs 12 rεflεktierend ist, wird das Licht 13 auf denselben Weg wie der Lichtstrahl 10 des Hauptlasers 2 geschickt. Die Fokussieroptik 9 ist mit einer Beschichtung 16 versehen, die zwar für das ! BSRT- licht 10 dεs Hauptlasεrs 2 durchlässig ist, diε das Licht 13 des Zusatzlasers 12 aber reflektiert, so daß das Licht 13 auf demselben Weg zurückgeschickt wird, auf dem es gekommεn ist. Das in den Laserkopf 4 zurückreflektiεrte Licht des Zusatz¬ lasers 12 ist in der Figur gepunktet dargestellt und mit dem Bezugszeicheπ 17 versehen. Diesεs Licht 17 wird von der Platt 15 reflεktiert und gelangt über die Platte 14 in den Sensor oder Detektor 18. Wenn die am Detektor 18 gemessene Intensitä des ausgekoppelten Strahles 17 einen vorgegebenen Sollwert unterschreitet, wird über eine Schaltung 19 elektrisch die operativ damit verbundεne Verschlußblendε 5 gεschlossen, so daß kein Licht dεs Lasεrs 2 mehr nach außen dringen kann.
Alle optischen Elementε (wie reflektierende Platten, Linsen und Endflächεn des Lichtleitεrs) 7 sind mit Bεschichtungεn versehen, die Reflεxionen des Lichtes 10 des erstεn Lasεrs 2 verhindern oder zumindestens minimieren. Diesε Bεschichtungεn sind in dεr Figur nicht gεzeigt.
Bei einem gepulsten Leistungslaser 2 erfolgt die Messung cer Intensität des und aus der Übertragungsstrecke des erster.
Strahles 10 ausgekoppelten und auf den Detektor 16 auftreffen αen reflektierten Strahles 17 vorzugsweise während einer Puls¬ pause dieses Leistungslasers 2. Dadurch werden Störungen des vom Detektor 18 weitεrgεgεbεnen Meßsignals durch den Hoch¬ leistungspuls des Leistungslasers 2 vermiεden.
Die Beschichtung 16 kann anstelle auf der Fokussiεroptik 9 auch auf einem anderen optischen Element angeordnεt sein, aas sich im Endbereich des Strahlenganges des Laserstrahles 10 befindet und für diesεn Strahl 10 optisch durchlässig ist, bεispiεlsweise auf einεr (nicht gεzεigtεn) planparallεlen Platte.
ERSATZBLATT

Claims

Pθtεntansorüche
1. Vorrichtung zum Übertragεn von Laserlicht mit einεm erste Laser (2), einer oder mehreren Einkoppellinsen (6), einem Lichtleiter (7), einer odεr mεhrεren Kollimatorlinsen (8) un einεr oder mehreren Fokussierlinsen (9), d a d u r c h g ε k ε n n z ε i c h n ε t , daß sie ein Zusatzlaser (12) aufweist, daß die letzte der Fokussierlinse (9) mit einer Reflexionsschicht (16) für das Licht (13) des Zusatzlasers (12) versεhεn ist, daß ein Ableπkspiegεl (15) f das von der Reflexionsschicht (16) reflektierte Licht (17) sowie ein Detektor (18) für dasselbe vorgesehen sind, und da der Detektor (18) mit einer im Strahlengang des ersten Lasεr (2) angeordneten Vcrschlußblεnde (5) operativ verbunden ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e¬ k e n n z e i c h n e t , daß alle Linsen (6, 8, 9) mit Antireflexionsschichtεn für das Licht (10) dεs ersten Lasers (2) versehen sind.
3. System zum Übertragεn von Lasεrlicht mit εinem erstεn Laser (2) und wenigstens einεr Fokussieroptik (9) am Ende de Übertragungsstrecke, d a d u r c h g e k e n n z e i c n e t , daß in der Nähε dεs εrstεn Lasers (2) ein Zusatz- laser (12) angeordnet ist, dessεn Wεllεnlängε von der des εrstεn Lasers (2) verschieden ist und dessen Strahl (13) dem Strahl (10) des ersten Lasers (2) überlagert wird, daß in de Übertragungsstrecke einε Obεrflächε, insbεsondεrε dεr Fokussieroptik (9), mit einer das Licht des Zusatzlasers (12 rεflektierenden Bεschichtung (16) versehen ist, daß in der
Nähe des erstεn Lasεrs (2) ein das reflektiertε Licht (17) d Zusatzlasers (12) seitlich ablεnkεndεs optischεs Elεmεnt (15) sowie ein Detektor (18) für diesεs Licht (17) vorgεsehen sin dεr mit εinεr Untεrbrεchungsεinrichtung (5) für den Strahl (10) des ersten Lasers (2) operativ verbunden ist.
4. System zum Übertragen und Kontrollieren von Laserlicht mit
a) einem ersten Laser (2) zur Emission eines ersten Strahles
(10) in eine Übertragungsstrecke, b) Mitteln (12) zum Erzeugen eines zweiten Strahles (13), dessen Wellenlänge von der Wellenlängε dεs εrsten Strahles
(10) verschiεdεn ist, c) Mitteln (14, 15) zum Einkoppεln des zweiten Strahles (13) in die Übertragungsstrecke, d) in der Übertragungsstrecke angeordneten Mitteln (16) zur selektiven Reflexion des zweiten Strahles (13), ε) Mittεln (15) zum Auskoppeln des reflektiertεn zweiten
Strahles (17) aus der Übertragungsstrecke, f) einem Detektor (18) für den reflektierten zweiten Strahl (17) sowie g) einer Unterbrechungseinrichtung (5) zur Unterbrechung des ersten Strahles (10), die an den Detektor (18) operativ angeschlossen ist.
5. System nach Anspruch 3 oder 4, d a d u r c h g e- k ε n n z ε i c h n ε t , daß das ablεnkende optische Ele¬ ment (15) eine schräg angeordnete Platte ist, die das Licht (10) des ersten Lasers durchläßt und dasjenige des Zusatz¬ lasers (12) reflektiert.
6. System nach einem der Ansprüche 3 bis 5, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n ε t , daß dεr Zusatzlasεr (12) ein Dauerstrichlaser ist.
7. System nach einem der Ansprüche 3 bis 6, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der Zusatzlasεr (12) sicht bares Licht, insbesondεre rotes Licht, aussendet.
8. System nach einεm dεr Ansprüchε 3 bis 7, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß es einεn Lichtleiter (7) aufweist. 9. Systεm nach εinε dεr Ansprüche 3 bis 8, d a d u r c h g e k ε n n z ε i c h n ε t , daß alle optischen Elemente (6, 7, 8,
9, 15) mit Antireflεxbεschichtungen für das Licht (10) des ersten Lasers (2) versehεn sind.
10. Systεm nach einem der Ansprüche 3 bis 9, d a d u r c h g e k e n n z ε i c h n ε t , daß zumindεst εinige optisch Elemente (6, 7, 8) - mit Ausnahme der mit dεr rεflektiεrende Bεschichtung (16) versehenen Oberflächε - mit εinεr Antirε- flexbeschichtung für das Licht (13) des Zusatzlasers (12) vε sehεn sind.
11. System nach einεm der Ansprüche 3 bis 10, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Untεrbrεchungsein- richtung (5) ein Verschluß, insbesondere eine elektrisch be¬ tätigbare Verschlußblende, ist.
12. System nach einem der Ansprüche 3 bis 11, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der Zusatzlaser (12) ein Laserdiode ist.
13. Verfahren zur optischen Überwachung dεr Übεrtragungs- strecke eines von einem ersten Laser (2) emittierten ersten Strahles (10) mit folgenden Merkmalen:
a) in die Übertragungsstrecke des ersten Strahles (10) wird εin zwεiter Strahl (13) eingεkoppelt, dessen Wellenlänge v der Wellenlänge des erstεn Strahlεs (10) verschiedεn ist, b) dεr zweite Strahl (13) wird am Ende der Übertragungsstrεck rεflεktiert, c) der reflektiertε Strahl (17) wird aus dεr Übεrtragungs- strεckε ausgekoppelt, d) die Intensität des ausgekoppelten Strahles (17) wird gemes sen, und e) in Abhängigkeit vom Ergebnis dieser Messung wird die Über¬ tragungsstrecke für den εrstεn Strahl (10) frεigegeben oder unterbrochen.
14. Vεrfahrεn nach Anspruch 13, d a d u r c h g e k e n n¬ z e i c h n e t , daß bei einεm gεpulsten erstεn Strahl (10) diε Intensität des ausgekoppelten Strahles (17) während einer Pause zwischen zwei aufeinanderfolgenden Pulsen des ersten Strahles (10) gemessen wird.
ERSATZB ATT
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5497442A (en) * 1992-02-21 1996-03-05 Rofin Sinar Laser Gmbh Assembly for transmitting high-power laser radiation

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AUPN702795A0 (en) * 1995-12-07 1996-01-04 Electro Optic Systems Pty Limited Eyesafe transmission of hazardous laser beams
DE19613620C2 (de) * 1996-04-04 1998-04-16 Steag Micro Tech Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Trocknen von Substraten
US6046802A (en) * 1998-11-16 2000-04-04 General Electric Company Optical element surface monitoring system and method
US6775315B1 (en) * 2001-06-08 2004-08-10 Scott Allen Nield Apparatus and method of directing a laser beam to a thermally managed beam dump in a laser system
US6796710B2 (en) 2001-06-08 2004-09-28 Ethicon Endo-Surgery, Inc. System and method of measuring and controlling temperature of optical fiber tip in a laser system
US7005601B2 (en) * 2002-04-18 2006-02-28 Applied Materials, Inc. Thermal flux processing by scanning
US6987240B2 (en) * 2002-04-18 2006-01-17 Applied Materials, Inc. Thermal flux processing by scanning
JP3804834B2 (ja) * 2003-03-25 2006-08-02 住友電気工業株式会社 光送受信モジュール
US7165896B2 (en) * 2004-02-12 2007-01-23 Hymite A/S Light transmitting modules with optical power monitoring
US7211763B2 (en) * 2004-12-22 2007-05-01 General Electric Company Photon energy material processing using liquid core waveguide and a computer program for controlling the same
JP2006292424A (ja) * 2005-04-06 2006-10-26 Toshiba Corp 光ファイバモニタ装置およびレーザ加工システム
JP5266647B2 (ja) * 2006-03-23 2013-08-21 日産自動車株式会社 レーザ溶接装置およびその調整方法
JP5951017B2 (ja) * 2012-07-18 2016-07-13 古河電気工業株式会社 光ファイバレーザ装置
US9018108B2 (en) 2013-01-25 2015-04-28 Applied Materials, Inc. Low shrinkage dielectric films
CN103710825A (zh) * 2013-12-30 2014-04-09 苏州尤盛纺织有限公司 织机断经指示装置
RU2621477C1 (ru) * 2016-05-23 2017-06-06 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Казанский государственный энергетический университет" (ФГБОУ ВО "КГЭУ") Способ определения пространственного положения пучка инфракрасного излучения
US10585291B2 (en) 2017-04-28 2020-03-10 Yonatan Gerlitz Eye safety system for lasers
CN109945742B (zh) * 2019-04-28 2021-06-04 河南平原光电有限公司 一种激光信息场自检和激光测距自检耦合机构
US11241832B2 (en) * 2019-07-08 2022-02-08 Hewlett Packard Development Company, L.P. Energy emitting apparatuses for build material layers
CN111934191A (zh) * 2020-08-19 2020-11-13 苏州长光华芯光电技术有限公司 一种半导体激光器耦合结构

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3143422A1 (de) * 1980-11-04 1982-08-12 The Agency of Industrial Science and Technology, Tokyo "ueberwachungsvorrichtung fuer laserstrahl-leiteinrichtung"
EP0194856A2 (de) * 1985-03-11 1986-09-17 Eclipse Surgical Technologies, Inc. Chirurgisches Lasersystem
US4844574A (en) * 1988-07-05 1989-07-04 General Electric Company Optical fiber output coupler for a power laser
EP0331891A2 (de) * 1988-03-08 1989-09-13 International Business Machines Corporation Vorrichtung zum Steuern eines Laserverbindungsverfahrens

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6022385A (ja) * 1983-07-18 1985-02-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd レ−ザ−装置
US4641650A (en) * 1985-03-11 1987-02-10 Mcm Laboratories, Inc. Probe-and-fire lasers

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3143422A1 (de) * 1980-11-04 1982-08-12 The Agency of Industrial Science and Technology, Tokyo "ueberwachungsvorrichtung fuer laserstrahl-leiteinrichtung"
EP0194856A2 (de) * 1985-03-11 1986-09-17 Eclipse Surgical Technologies, Inc. Chirurgisches Lasersystem
EP0331891A2 (de) * 1988-03-08 1989-09-13 International Business Machines Corporation Vorrichtung zum Steuern eines Laserverbindungsverfahrens
US4844574A (en) * 1988-07-05 1989-07-04 General Electric Company Optical fiber output coupler for a power laser

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Patent Abstracts of Japan, Band 9, Nr. 140 (E-321)[1863], 14. Juni 1985, & JP-A-60 22 385 (MATSUSHITA) 4. Februar 1985 siehe die Zusammenfassung *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5497442A (en) * 1992-02-21 1996-03-05 Rofin Sinar Laser Gmbh Assembly for transmitting high-power laser radiation

Also Published As

Publication number Publication date
EP0527151B1 (de) 1994-06-22
US5323269A (en) 1994-06-21
DE9004934U1 (de) 1991-08-29
DE59102032D1 (de) 1994-07-28
JPH05505250A (ja) 1993-08-05
EP0527151A1 (de) 1993-02-17

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