Claims (13)
수정 발진 공진에 있어서, 서로 대향하여 위치한 판상의 제1, 제2진동면과, 상기 진동면내의 적어도 하나의 비진동 노드 및 상기 비진동 노드의 중심부에 위치한 탑재영역을 갖는 수정 발진 박판과, 상기 탑재영역을 에워싸고, 상기 탑재영역과 상기 진동면 사이에 위치하며, 상기 수정 발진 박판을 통해 상기 진동면들에까지 연장된 공통영역을 구비하고, 상기 공동 영역은 상기 수정 발진박판을 거쳐서 상기 진동면들에까지 연장되며, 또한 수정 발진체의 적어도 하나의 지지부분에 의하여 연결되고, 상기 공동영역은 상기 탑재영역으로 부터 상기 진동면의 진동을 차단 시키는 구성으로 된 수정 발진공진기.In the crystal oscillation resonance, a crystal oscillation thin plate having a plate-like first and second vibration surface facing each other, at least one non-vibration node in the vibration surface and a mounting area located in the center of the non-vibration node, and the mounting area Surround the mounting area and the vibration surface, and have a common area extending through the crystal oscillation sheet to the vibration surfaces, the cavity region extending through the crystal oscillation sheet to the vibration surfaces, And a crystal oscillator connected by at least one support portion of the crystal oscillator, wherein the cavity region is configured to block vibration of the vibration surface from the mounting region.
제1항에 있어서, 상기 수정 발진 박판을 상기 탑재영역에 탑재시키는 수단을 구비한 수정 발진 공진기.The crystal oscillator resonator according to claim 1, further comprising means for mounting the crystal oscillation thin plate on the mounting region.
제2항에 있어서, 상기 수정 박판의 탑재 수단은 상기 탑재영역에 부착된 기판을 포함하는 수정 발진 공진기.The crystal oscillator resonator of claim 2, wherein the mounting means of the quartz thin plate comprises a substrate attached to the mounting region.
제3항에 있어서, 상기 기판은 금속인 수정 발진 공진기.4. The crystal oscillator resonator of claim 3, wherein the substrate is a metal.
제2항에 있어서, 상기 수정 발진 박판의 탑재 수단은 상기 탑재영역에 부착된 와이어를 포함하는 수정 발진 공진기.3. The crystal oscillator resonator according to claim 2, wherein the means for mounting the crystal oscillation thin plate comprises a wire attached to the mounting region.
제1항에 있어서, 상기 진동 분리 수단은 상기 탑재영역을 에워싸는 상기 수정 발진 박판을 통하는 환상형의 공동영역을 포함하며, 상기 환상형 영역은 상기 탑재영역과 진동면 사이에 위치하고, 적어도 하나의 수정 발진 지지 부분에 의해 연결되는 수정 발진 공진기.2. The vibration separating means according to claim 1, wherein the vibration separating means comprises an annular cavity area through the crystal oscillating thin plate surrounding the mounting area, wherein the annular area is located between the mounting area and the vibration surface, and at least one crystal oscillation. Crystal oscillator resonator connected by a supporting part.
제1항에 있어서, 상기 수정 발진 박판은 상기 진동면들 상에 부착된 전극을 포함하는 수정 발진 공진기.The crystal oscillator resonator of claim 1, wherein the crystal oscillation thin plate comprises an electrode attached to the vibration surfaces.
제1항에 있어서, 상기 비진동 노드는 상기 제1, 제2진동면들의 중심부에 위치하는 수정 발진 공진기.The crystal oscillator of claim 1, wherein the non-vibration node is located at the center of the first and second vibration surfaces.
제1항에 있어서, 상기 수정 발진 박판은 GT-컷트 수정 발진 박판인 수정 발진 공진기.The crystal oscillator resonator of claim 1, wherein the crystal oscillation sheet is a GT-cut crystal oscillation sheet.
서로 대향하여 위치한 판상의 제1, 제2진동면과 상기 진동면내의 적어도 하나의 비진동 노드와, 상기 비진동 노드의 중심부에 있는 탑재영역을 갖는 수정 발진 박판의 탑재 방법에 있어서, 상기 탑재영역 주변의 수정 발진체를 완저히 제거하여, 공동영역을 가로지르는 탑재영역으로 부터 진동면가지 연장된 수정 발진면까지 연장된 상기 수정 발진판을 지지하는 적어도 한 부분을 제외한, 상기 제1, 제2진동면 사이의 수진 발진 박판내의 공동영역을 생성하는 단계와, 상기 탑재영역내에서, 상기 수정 발진 박판을 지지하기 위한 탑재 수단을 상기 제1진동면에 부착하는 단계를 구비한 수정 발진 박판의 탑재 방법.A method of mounting a quartz oscillating thin plate having a plate-shaped first and second vibrating surfaces disposed opposite to each other, at least one non-vibrating node in the vibrating surface, and a mounting area in the center of the non-vibrating node, the method comprising: The crystal oscillator is completely removed from the first and second vibration surfaces except for at least one portion supporting the crystal oscillation plate extending from the mounting region crossing the cavity region to the crystal oscillation surface extending from the oscillation surface. Generating a cavity in the oscillation oscillation thin plate, and attaching mounting means for supporting the crystal oscillation thin plate to the first oscillation surface in the mounting region.
제10항에 있어서, 상기 수정 발진체의 제거 단계에는 포토리소그래피적으로 한정 한후에 화학적으로 에칭하는 과정을 구비하는 수정 발진 박판의 탑재 방법.The method of claim 10, wherein the removing of the crystal oscillator comprises performing a photolithographically limited process followed by chemical etching.
제10항에 있어서, 상기 수정 발진체의 제거단계에는 방사선 방향의 결정 지지부재상에서 출발하여, 주변의 상기 탑재영역으로 부터 수정 발진체의 환상형 영역을 제거하는 과정을 구비하는 수정 발진 박판의 탑재 방법.The crystal oscillation thin plate mounting according to claim 10, wherein the removing of the crystal oscillator comprises: removing the annular region of the crystal oscillator from the surrounding mounting region, starting on the crystal support member in the radiation direction. Way.
제10항에 있어서, 상기 수정 발진체상에 전극을 부착시키는 단계를 포함하는 수정 발진 박판의 탑재 방법.The method of mounting a crystal oscillation thin plate according to claim 10, comprising attaching an electrode on the crystal oscillator.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.