KR20170037174A - Slot die and method for manufacturing organic solar cell by using the slot die - Google Patents
Slot die and method for manufacturing organic solar cell by using the slot die Download PDFInfo
- Publication number
- KR20170037174A KR20170037174A KR1020150136382A KR20150136382A KR20170037174A KR 20170037174 A KR20170037174 A KR 20170037174A KR 1020150136382 A KR1020150136382 A KR 1020150136382A KR 20150136382 A KR20150136382 A KR 20150136382A KR 20170037174 A KR20170037174 A KR 20170037174A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- flow path
- slot die
- block
- substrate
- application
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 60
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 57
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 25
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 25
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 4
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 claims description 3
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 20
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 5
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000037228 dieting effect Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H01L51/42—
-
- H01L51/0001—
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/0248—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
- H01L31/0256—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by the material
- H01L2031/0344—Organic materials
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/549—Organic PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 슬롯 다이 및 이를 이용한 유기태양전지의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 공정 안정성을 향상하기 위한 슬롯 다이 및 이를 이용한 유기태양전지의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a slot die and a method of manufacturing an organic solar cell using the same, and more particularly, to a slot die for improving process stability and a manufacturing method of an organic solar cell using the same.
일반적으로 태양 전지를 제작할 때 사용되는 슬롯 다이는 내부에 수용된 유동성 소재를 점진적으로 배출하는 것으로, 소재는 슬롯 다이를 통과하여 하부에 위치한 기판에 도포된다.Generally, a slot die used for manufacturing a solar cell gradually discharges a fluid material contained therein, and the material passes through a slot die and is applied to a substrate located below.
기판에 소재를 인쇄함에 있어서 소재의 점도, 용매의 휘발성, 기판에 접촉시 표면장력 등이 적절하기 못하여 소재를 기판에 균일하게 형성할 수 없는 단점을 해결하기 위한 슬롯 다이로서, 한국공개특허 제2013-0121561호가 개시되어 있다.As a slot die for solving the disadvantage that the material can not be uniformly formed on the substrate due to the inadequate suitability of the viscosity of the material, the volatility of the solvent, the surface tension upon contact with the substrate, and the like, -0121561.
한국공개특허 제2013-0121561호는 도 1에 도시한 바와 같이, 연속 공급되는 기판에 소재를 도포하는 슬롯 다이(1)로서, 일면에 소재가 유입될 수 있는 챔버(11)가 형성된 제1본체(10), 제1본체(10)의 일면과 마주하는 제2본체(20), 그리고 제1본체(10)와 제2본체(20) 사이에 위치하고 챔버(11)를 기판 방향으로 연통시켜 소재가 흐르도록 하고 흐른 소재가 끝단에 맺히며 맺힌 소재가 연속 공급되는 기판 상에 도포되도록 하는 가이드부(30)를 포함한다. Korean Patent Laid-Open Publication No. 2013-0121561 discloses a
가이드부(30)는 챔버(11)를 기판 방향으로 연통시킨 복수의 유로(32a)가 형성된 유로 몸체(32)와, 유로 몸체(32)의 유로(32a)와 동일 선상에 위치하며 기판 방향으로 돌출된 돌출부(33a)를 구비하며 유로 몸체(32)에 연결된 돌출 플레이트(33)로 이루어진다.The
이러한 종래 슬롯 다이(1)는 공정 속도가 높을 때 슬롯 다이 토출부에서 소재가 균일하게 코팅되지 않게 된다는 문제점이 있고, 코팅 후 건조 구간으로 이동하기 전까지는 표면에서 소재가 표면 에너지 등의 이유로 움직이게 되는 가능성이 있으며, 슬롯다이 라인 패턴이 많은 공정에서 공정을 진행할 때마다 각 라인에 토출되는 재료의 양이 상이하므로, 슬롯 다이 모듈 및 내부 심(가이드부)으로 진행하였을 시에 공정 안정성(또는 재현성)을 확보하기가 매우 어렵다는 문제점이 있었다.The
본 발명은 종래 슬롯 다이의 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 본 발명의 목적은 공정 속도가 높을 때 소재 공급에 미세한 편차로 인해서 많은 변수가 영향을 받으므로 토출부분의 구성에 따라 공정 안정성 및 소재 토출의 신뢰성을 높이는 슬롯 다이를 제공하는 데 있다.The object of the present invention is to solve the problems of the conventional slot die, and it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a slot die, in which a plurality of parameters are influenced by minute deviations in material supply when the process speed is high, And to provide a slot die that improves the reliability of the slot die.
본 발명의 다른 목적은 슬롯 다이의 각 구간(라인)에서 걸리는 압력을 균일하게 분배하고 슬롯 다이에서 토출되는 압력을 조절함으로써 모듈 제작을 용이하게 하는 슬롯 다이를 제공하는 데 있다.It is another object of the present invention to provide a slot die that facilitates module fabrication by uniformly distributing the pressure across each section (line) of the slot die and regulating the pressure delivered from the slot die.
본 발명에 따른 슬롯 다이는, 연속 공급되는 기판 상측에 위치하고, 기판에 도포되는 소재를 수용할 수 있는 챔버를 구비하는 제1블록과; 제1블록의 일면과 마주보며 연결되는 제2블록과; 제1블록과 제2블록 사이에 위치하고, 챔버에 연통되어 소재가 기판의 각 열로 도포되도록 안내하는 도포유로를 구비하는 가이드부;를 포함하고, 도포유로의 단부에는 유로폭이 축소된 유로 축소부가 형성된다.A slot die according to the present invention includes: a first block disposed above a substrate to be continuously supplied with a chamber capable of receiving a material to be applied to the substrate; A second block connected to one surface of the first block opposite to the first block; And a guide portion disposed between the first block and the second block and having an application passage communicating with the chamber and guiding the material to be applied to each row of the substrate, .
유로 축소부는 도포유로의 단부에서 유로폭이 경사면에 의해 좁아진 후 일정한 유로폭을 가진다. 유로 축소부는 도포유로의 단부에서 유로폭이 곡면에 의해 좁아진 후 일정한 유로폭을 가지게 형성될 수도 있다. 또한, 유로 축소부는 도포유로의 끝단으로 갈수록 경사면에 의해 유로폭이 좁아져 끝나게 형성될 수도 있다. 또한, 유로 축소부는 도포유로의 단부에서 직각면에 의해 유로폭이 좁아진 후 일정한 유로폭을 가지게 형성될 수도 있다.The flow path narrowing portion has a constant flow path width after the flow path width is narrowed by the inclined surface at the end portion of the application flow path. The flow path narrowing portion may be formed to have a constant flow path width after the flow path width at the end portion of the application flow path is narrowed by the curved surface. In addition, the flow path reducing portion may be formed so that the flow path width is narrowed by the inclined surface toward the end of the application flow path. Further, the flow path reducing portion may be formed to have a constant flow path width after the flow path width is narrowed by the right angle surface at the end portion of the application path.
도포유로의 입구 유로폭과 출구 유로폭의 비는 10 : 7.0~9.5인 것이 바람직하다.The ratio of the inlet flow path width to the outlet flow path width of the application channel is preferably 10: 7.0 to 9.5.
가이드부는 챔버를 기판 방향으로 연통시키는 복수의 도포유로와, 도포유로와 동일선상에 위치하고 도포유로의 끝단에서 기판 방향으로 돌출되어 도포유로를 따라 흐른 소재가 맺힐 수 있는 복수의 돌기를 포함하며; 돌기는 제1블록 및 제2블록의 저면보다 기판 방향으로 더 돌출된다. The guiding portion includes a plurality of coating channels for communicating the chamber in the direction of the substrate and a plurality of protrusions which are located on the same line as the coating channel and protrude toward the substrate at the end of the coating channel so as to form a material flowing along the coating channel; The projection is further projected toward the substrate than the bottom surfaces of the first block and the second block.
가이드부는 챔버를 기판 방향으로 연통시키는 복수의 도포유로가 형성된 가이드 몸체와, 도포유로와 동일선상에 위치하고 기판 방향으로 돌출된 복수의 돌기를 구비하며 가이드 몸체에 연결된 돌출 플레이트를 포함하며; 돌기는 제1블록 및 제2블록의 저면보다 기판 방향으로 더 돌출된다.The guiding portion includes a guide body formed with a plurality of coating channels for communicating the chamber in the direction of the substrate and a protrusion plate connected to the guide body and having a plurality of protrusions arranged on the same line as the coating channel and protruding toward the substrate; The projection is further projected toward the substrate than the bottom surfaces of the first block and the second block.
도포유로는 서로 동일하거나 상이한 폭으로 형성될 수 있다. 도포유로의 상부측은 도포챔버의 일부분과 중첩되어 있다.The application channels may be formed to have the same or different widths. The upper side of the application channel overlaps with a part of the application chamber.
본 발명에 따른 유기태양전지의 제조방법은 전술된 슬롯 다이를 이용하여 유기태양전지를 구성하는 적층부를 인쇄하는 단계를 포함한다.The method for manufacturing an organic solar cell according to the present invention includes a step of printing a laminate constituting an organic solar battery using the slot die described above.
유기태양전지를 구성하는 적층부는 음극, 광활성층, 전자전달층, 정공전달층, 금속 산화물 박막층, 양극 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 일 수 있다.The laminated portion constituting the organic solar battery may be any one selected from the group consisting of a cathode, a photoactive layer, an electron transport layer, a hole transport layer, a metal oxide thin film layer, an anode, and a combination thereof.
본 발명에 따른 슬롯 다이에 의하면, 공정 속도가 높을 때 소재 공급에 미세한 편차로 인해서 많은 변수가 영향을 받으므로 토출부분의 구성에 따라 소재가 균등하게 배분 토출할 수 있게 함으로써, 저속으로 진행되는 공정과 고속으로 진행되는 공정에 따른 차이점을 줄이며 공정 안정성 및 소재 토출의 신뢰성을 높이는 효과가 있다.According to the slot die according to the present invention, since many variables are influenced by a minute deviation in the material supply when the process speed is high, the material can be uniformly distributed and discharged according to the structure of the discharge portion, And the difference between the high-speed process and the process stability is improved, and the reliability of the material discharge is improved.
또한, 본 발명에 따른 슬롯 다이에 의하면, 코팅하기 직전에 걸리는 압력을 조절하여 슬롯 다이의 각 구간(라인)에서 걸리는 압력을 균일하게 분배하고 슬롯 다이에서 토출되는 압력을 조절함으로써 모듈 제작을 용이하게 하는 효과가 있다.In addition, according to the slot die of the present invention, the pressure applied immediately before coating is controlled to uniformly distribute the pressure applied to each section (line) of the slot die and adjust the pressure discharged from the slot die, .
도 1은 종래 슬롯 다이를 나타내는 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 슬롯 다이에서 소재가 배출되어 기판에 패턴층이 형성되는 상태를 나타내는 제조 공정도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 의한 슬롯 다이를 나타내는 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 슬롯 다이에서 가이드부의 다른 예를 하측에서 바라본 사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 의한 슬롯 다이가 조립된 상태의 단면 및 소재 작용을 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 의한 슬롯 다이에서 도포유로의 다른 예가 적용된 가이드부의 가이드 몸체의 일부를 나타내는 사시도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 의한 슬롯 다이에서 도포유로의 또 다른 예가 적용된 가이드부의 가이드 몸체의 일부를 나타내는 사시도이다.1 is an exploded perspective view showing a conventional slot die.
FIG. 2 is a manufacturing process diagram showing a state where a material is discharged from a slot die according to an embodiment of the present invention, and a pattern layer is formed on the substrate.
3 is an exploded perspective view showing a slot die according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a perspective view of another example of a guide portion of a slot die according to an embodiment of the present invention, as viewed from the lower side. FIG.
5 is a cross-sectional view of a slot die assembled according to an embodiment of the present invention.
6 is a perspective view showing a part of a guide body of a guide portion to which another example of a coating channel is applied in a slot die according to an embodiment of the present invention.
7 is a perspective view showing a part of a guide body of a guide portion to which another example of the coating passage is applied in the slot die according to the embodiment of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 이 때, 첨부된 도면에서 동일한 구성 요소는 가능한 동일한 부호로 나타내고 있음에 유의한다. 또한, 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략할 것이다. 마찬가지 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 개략적으로 도시되었다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Note that, in the drawings, the same components are denoted by the same reference symbols as possible. Further, the detailed description of known functions and configurations that may obscure the gist of the present invention will be omitted. For the same reason, some of the components in the drawings are exaggerated, omitted, or schematically illustrated.
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 슬롯 다이에서 소재가 배출되어 기판에 패턴층이 형성되는 상태를 나타내는 제조 공정도이다. 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 의한 슬롯 다이(100)는 필름형태의 기판(P)이 롤투롤(roll-to-roll) 인라인 방식으로 연속 공급되는 기판 이동 경로 상에 설치되어 기판(P)에 소재를 도포하여 소정의 패턴을 형성한다.FIG. 2 is a manufacturing process diagram showing a state where a material is discharged from a slot die according to an embodiment of the present invention, and a pattern layer is formed on the substrate. As shown, the slot die 100 according to the embodiment of the present invention is installed on a substrate moving path in which a film-shaped substrate P is continuously supplied in a roll-to-roll in-line manner, P to form a predetermined pattern.
슬롯 다이(100)는 연속 공급되는 기판(P)의 이동 경로 상에 간격을 두고 설치되어 있다. 간격을 두고 설치된 슬롯 다이(100)에서는 소재가 배출되어 기판에 도포된다. 각 슬롯 다이(100)에서 배출되는 소재는 순차적으로 적층되어 하나의 기판(P) 위에 여러 패턴층(T)이 순차적으로 적층된다.The
아울러, 슬롯 다이(100)에서 배출되는 소재는 슬롯 다이(100)의 적용 분야에 따라 다르다. 예컨대, 슬롯 다이(100)가 태양전지 분야에 적용되면 소재는 태양전지를 구성하는 소재일 수 있고, 슬롯 다이(100)가 유기 발광 다이오드 분야에 적용되면 유기 발광 다이오드를 구성하는 소재일 수 있다.
In addition, the material discharged from the slot die 100 depends on the application field of the
도 3은 본 발명의 실시예에 의한 슬롯 다이를 나타내는 분해 사시도이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 의한 슬롯 다이가 조립된 상태의 단면 및 소재 작용을 나타내는 도면이다. 도시한 바와 같이 본 발명의 실시예에 의한 슬롯 다이(100)는 제1블록(110)과, 제2블록(120) 및 가이드부(130)를 포함한다. 제1블록(110)과 제2블록(120)은 서로 연결되어 가이드부(130)를 고정시키는 기능을 갖는다.FIG. 3 is an exploded perspective view illustrating a slot die according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a cross-sectional view of a slot die assembled according to an embodiment of the present invention. As shown, the slot die 100 according to the embodiment of the present invention includes a
제1블록(110)은 연속 공급되는 기판(P : 도 2에 도시) 상측에 위치하며, 블록 형태로 형성되고 일면이 평평하게 형성된다. 평평한 일면에는 기판에 도포되는 소재를 수용할 수 있는 챔버(111)가 제1블록(110)의 길이방향을 따라 형성된다.The
챔버(111)는 일측이 개방된 사다리꼴 또는 사각형 챔버로 되어 있다. 본 실시예의 챔버(111)는 상측이 사다리꼴이고 하측이 사각인 챔버로 되어 있다. 챔버(111)는 다양한 형상으로 형성될 수 있다. 챔버(111)의 상측은 소재가 주입되는 주입구(112)에 연통된다.The
제2블록(120)은 제1블록(110)의 일면과 마주보며 연결된다. 제2블록(120)은 볼트 따위의 결합 수단으로 제1블록(110)에 분리 가능하게 결합 연결된다. 제1블록(110)과 마주하는 제2블록(120)의 일면은 평평하게 형성된다.The
이와 같은 제1블록(110)과 제2블록(120)의 저면은 연속 공급되는 기판(P : 도 2에 도시)의 상면과 마주한다. 이때 제1블록(110)과 제2블록(120)의 저면은 기판(P)의 상면과 소정 간격으로 떨어져 있다. The bottom surfaces of the
가이드부(130)는 제1블록(110)과 제2블록(120)의 사이에 위치하고 챔버(111)에 연통된다. 이때 가이드부(130)를 기준으로 제1블록(110)은 기판을 공급해주는 방향에 위치하고, 제2블록(120)은 기판(P)을 되감는 방향에 위치한다. 가이드부(130)에는 챔버(111)의 공간을 연속 공급되는 기판 방향으로 연통시켜 챔버(111)로 유입된 소재가 기판의 각 열로 도포되도록 안내하는 도포유로(132)가 형성된다.The
가이드부(130)는 가이드 몸체(131)와 돌출 플레이트(135)로 이루어진다. 가이드 몸체(131)와 돌출 플레이트(135)는 플레이트 형태로 이루어진다. 가이드 몸체(131)는 제1블록(110)에 접하고, 돌출 플레이트(135)는 제2블록(120)에 접한다. 가이드 몸체(131)의 하부에는 챔버(111)를 기판 방향으로 연통시키는 복수의 상기 도포유로(132)가 형성된다. 각 도포유로(132)는 각 도포라인에 따라 서로 동일하거나 상이한 폭으로 형성될 수 있다. 각 도포유로(132)의 상부측은 도포챔버(111)의 일부분과 중첩되어 있다.The
도포유로(132)의 단부(하부)에는 유로폭이 축소된 유로 축소부(132a)가 형성된다. 유로 축소부(132a)는 도포유로(132)의 단부(하부)에서 유로폭이 경사면(S1)에 의해 서서히 좁아진 후 일정한 유로폭(W2)을 가진다. 유로 축소부(132a)는 도포유로(132)의 단부(하부)에서 유로폭이 곡면에 의해 서서히 좁아진 후 일정한 유로폭을 가지게 형성될 수도 있다. 도포유로(132)의 입구 유로폭(W1)과 출구 유로폭(W2)의 비는 10 : 7.0~9.5인 것이 바람직하다. At the end (lower portion) of the
돌출 플레이트(135)는 각 도포유로(132)와 동일선상에 위치하고 기판 방향으로 돌출된 각 돌기(136)를 구비하며, 가이드 몸체(131)에 연결된다. 각 돌기(136)는 제1블록(110) 및 제2블록(120)의 저면보다 기판 방향으로 더 돌출되어 각 도포유로(132)를 따라 흐른 소재가 맺힐 수 있게 된다. 돌기(136)의 폭(W3)은 각 도포유로(132)의 출구 유로폭(W2)과 동일하거나 더 넓거나 좁을 수 있다. 돌기(136)의 폭(W3)은 제2블록(120)에서 기판 방향으로 일정하거나 점진적으로 넓어지거나 점진적으로 좁아질 수 있다. 돌기(136)의 끝단 폭은 인쇄되는 도포라인의 폭에 맞추어 형성된다.The
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 슬롯 다이에서 가이드부의 다른 예를 하측에서 바라본 사시도이다. 도 4에 도시된 가이드부(230)는 하나의 플레이트로 이루어진다. 도시한 바와 같이 가이드부(230)는 챔버(111)를 기판 방향으로 연통시키는 각 도포유로(232)와, 각 도포유로(232)와 동일선상에 위치하고 각 도포유로(232)의 끝단에서 기판 방향으로 돌출되어 각 도포유로(232)를 따라 흐른 소재가 맺힐 수 있는 각 돌기(236)를 구비하는 플레이트이다.FIG. 4 is a perspective view of another example of a guide portion of a slot die according to an embodiment of the present invention, as viewed from the lower side. FIG. The
각 도포유로(232)는 각 도포라인에 따라 서로 동일하거나 상이한 폭(W1')으로 형성될 수 있다. 각 도포유로(232)의 상부측은 도포챔버(111)의 일부분과 중첩되어 있다. 각 돌기(236)는 제1블록(110) 및 제2블록(120)의 저면보다 기판 방향으로 더 돌출되어 각 도포유로(232)를 따라 흐른 소재가 맺힐 수 있게 된다. 돌기(236)의 폭(W3')은 각 도포유로(232)의 출구 유로폭(W2')과 동일하거나 더 넓거나 좁을 수 있다. 돌기(236)의 폭(W3')은 제2블록(120)에서 기판 방향으로 일정하거나 점진적으로 넓어지거나 점진적으로 좁아질 수 있다. 돌기(236)의 끝단 폭은 인쇄되는 도포라인의 폭에 맞추어 형성된다. 도포유로(232)의 입구 유로폭(W1')과 출구 유로폭(W2')의 비는 10 : 7.0~9.5인 것이 바람직하며, 도포유로(232) 및 유로 축소부(232a)는 도 3의 구성과 유사하므로 자세한 설명은 생략한다.Each
도 6은 본 발명의 실시예에 의한 슬롯 다이에서 도포유로의 다른 예가 적용된 가이드부(330)의 가이드 몸체(331)의 일부를 나타내는 사시도이다. 본 실시예의 유로 축소부(332a)는 도포유로(332)의 단부에서 직각면(S2)에 의해 유로폭이 좁아진 후 일정한 유로폭을 가지게 형성된다.6 is a perspective view showing a part of a
도 7은 본 발명의 실시예에 의한 슬롯 다이에서 도포유로의 또 다른 예가 적용된 가이드부(430)의 가이드 몸체(431)의 일부를 나타내는 사시도이다. 본 실시예의 유로 축소부(332a)는 도포유로(332)의 끝단으로 갈수록 경사면(S3)에 의해 유로폭이 좁아져 끝나게 형성된다.
7 is a perspective view showing a part of the
이와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 의한 슬롯 다이(100)의 작용에 대하여 도 2 내지 도 5을 다시 참고하여 설명한다.The operation of the slot die 100 according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 to 5. FIG.
먼저, 슬롯 다이(100)는 기판(P)이 이동하는 이동 경로 상에 간격을 두고 설치되어 있다. 각 슬롯 다이(100)의 각 주입구(112)는 각 공정의 소재 공급부(도시하지 않음)와 연결되어 있다. 각 공정의 소재 공급부의 소재는 각 공정의 소재 공급부에 설치된 펌프(도시하지 않음)의 펌핑력에 의하여 각 공정의 소재 공급부에서 주입구(112)를 통하여 챔버(111) 내부로 유입된다. 이때, 각 공정의 소재 공급부는 조절밸브 등을 통해 각 주입구(112) 마다 주입량을 조절할 수 있게 되어 있다.First, the slot die 100 is provided with a gap on the movement path on which the substrate P moves. Each
이러한 상태에서 기판이 이동하면, 도포챔버(111)로 공급 소재는 펌프의 펌핑 압력 및 조절밸브에서 조절된 유량으로 각 도포유로(132)를 통하여 기판(P) 방향으로 흘러 각 돌기(136)의 끝에 맺히게 된다. 그리고, 연속 공급되는 기판(P)이 각 돌기(136)의 하부를 통과하게 되면서 각 돌기(136)에 맺힌 소재가 기판(P) 상에 도포 되어 기판(P)의 소정의 패턴이 명확하게 형성된다.When the substrate moves in this state, the supply material flows into the
이때, 도포유로(132)의 유로 축소부(132a)에 의한 좁아진 유로로 인해 각 라인에 걸리는 압력이 최소할 될 수 있고, 소재가 균등하게 배분 토출될 수 있으므로, 소재의 균일 토출 및 공정 안정성이 향상된다. 특히, 공정 속도가 높을 때 소재 공급에 미세한 편차로 인해서 많은 변수가 영향을 받으므로, 유로 축소부(132a)에 따라 소재가 균등하게 배분 토출할 수 있게 함으로써, 저속으로 진행되는 공정과 고속으로 진행되는 공정에 따른 차이점을 줄이며 공정 안정성 및 소재 토출의 신뢰성을 높일 수가 있다. 또한, 유로 축소부(132a)는 코팅하기 직전에 걸리는 압력을 조절하여 슬롯 다이의 각 구간(라인)에서 걸리는 압력을 균일하게 분배하고 슬롯 다이에서 토출되는 압력을 조절함으로써 모듈 제작을 용이하게 한다.At this time, the pressure applied to each line can be minimized due to the narrowed flow path by the flow
기판(P)에 도포된 소재(패턴층)은 연속 공급되는 기판에 의하여 이웃한 슬롯 다이(100', 100")로 이동하고, 이웃한 슬롯 다이(100', 100")에서는 경화된 패턴층(T) 위로 또 다른 소재를 도포하게 된다. 도포된 소재는 또다시 돌기(136)에 접하게 되면서 패턴 위에 또 다른 패턴을 반듯하게 형성하게 된다.The material (pattern layer) applied to the substrate P is moved to neighboring slot dies 100 'and 100 "by the substrate to be continuously fed, and in the neighboring slot dies 100' and 100 & (T). The coated material is again brought into contact with the
이와 같이, 도포된 소재가 돌기(136)에 접하게 되면서 패턴층(T)을 박막 형태로 형성하면서 균일한 두께로 형성할 수 있다.In this way, the coated material can be formed in a uniform thickness while forming the pattern layer T in a thin film shape while being in contact with the
한편, 도 4에 도시한 가이드부(230) 또한 도 3에 도시한 가이드부(130)와 동일한 작용을 갖는다. 즉, 도포유로(232) 및 유로 축소부(232a)를 통하여 챔버(111)의 소재가 돌기(236)에 맺히면 돌기(236)의 하부를 통과하는 기판에 소재가 도포 된다. On the other hand, the
이와 같은 슬롯 다이(100)는 태양전지(solar battery)를 구성하는 소재, 유기 발광 다이오드(Organic Light-Emitting Diode)를 구성하는 소재, 전자태그(Radio Frequency Identification)를 구성하는 소재를 배출하여 인쇄하는 다양한 공정에 적용될 수 있다. 그리고 본 발명은 슬롯 다이(100)의 적용분야를 한정하지 않는다.The slot die 100 may include a material constituting a solar battery, a material constituting an organic light-emitting diode, a material constituting an electronic tag (Radio Frequency Identification) And can be applied to various processes. And the invention does not limit the field of application of slot die 100.
본 발명의 다른 한 실시예에 따른 유기 태양전지의 제조 방법은 상기 슬롯 다이를 이용하여 유기 태양전지를 구성하는 적층부를 인쇄하는 단계를 포함한다. The method of manufacturing an organic solar cell according to another embodiment of the present invention includes a step of printing a laminated portion constituting an organic solar battery using the slot die.
상기 유기 태양전지를 구성하는 적층부는 한정되지 않으나, 음극, 광활성층, 전자전달층, 정공전달층, 금속 산화물 박막층, 양극 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나일 수 있다.
The stacked portion constituting the organic solar cell is not limited, but may be any one selected from the group consisting of a cathode, a photoactive layer, an electron transport layer, a hole transport layer, a metal oxide thin film layer, an anode, and a combination thereof.
한편, 본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 본 발명의 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것일 뿐이며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.It should be noted that the embodiments of the present invention disclosed in the present specification and drawings are only illustrative of the present invention in order to facilitate the understanding of the present invention and are not intended to limit the scope of the present invention. It will be apparent to those skilled in the art that other modifications based on the technical idea of the present invention are possible in addition to the embodiments disclosed herein.
100 : 슬롯 다이
110 : 제1블록
120 : 제2블록
130, 230 : 가이드부
111 : 챔버
131 : 가이드 몸체
132, 232 : 도포유로
132a, 232a : 유로 축소부
135 : 돌출 플레이트
136, 236 : 돌기
P : 소재
T : 패턴층
W1 : 도포유로의 입구 유로폭
W2 : 도포유로의 출구 유로폭
W3 : 돌기의 폭100: slot die 110: first block
120:
111: chamber 131: guide body
132, 232:
135: protruding
P: material T: pattern layer
W1: Width of the inlet flow path of the application channel W2: Outlet flow width of the application channel
W3: width of projection
Claims (12)
상기 제1블록의 일면과 마주보며 연결되는 제2블록과;
상기 제1블록과 상기 제2블록 사이에 위치하고, 상기 챔버에 연통되어 소재가 기판의 각 열로 도포되도록 안내하는 도포유로를 구비하는 가이드부;를 포함하고,
상기 도포유로의 단부에는 유로폭이 축소된 유로 축소부가 형성된 것을 특징으로 하는 슬롯 다이.A first block disposed on a substrate to be continuously supplied with a chamber capable of receiving a material to be applied to the substrate;
A second block connected opposite to one surface of the first block;
And a guide portion located between the first block and the second block and communicating with the chamber to guide the material to be applied to each row of the substrate,
And a flow path reducing portion having a reduced flow path width is formed at an end portion of the application flow path.
상기 유로 축소부는 상기 도포유로의 단부에서 유로폭이 경사면에 의해 좁아진 후 일정한 유로폭을 가지는 것을 특징으로 하는 슬롯 다이.The method according to claim 1,
Wherein the flow path reducing portion has a constant flow path width after the flow path width is narrowed by the inclined surface at the end portion of the application path.
상기 유로 축소부는 상기 도포유로의 단부에서 유로폭이 곡면에 의해 좁아진 후 일정한 유로폭을 가지는 것을 특징으로 하는 슬롯 다이.The method according to claim 1,
Wherein the flow path reducing portion has a constant flow path width after the flow path width at the end portion of the applying path is narrowed by the curved surface.
상기 유로 축소부는 상기 도포유로의 끝단으로 갈수록 경사면에 의해 유로폭이 좁아져 끝나는 것을 특징으로 하는 슬롯 다이.The method according to claim 1,
Wherein the channel reducing portion is narrowed in width by an inclined surface toward the end of the coating channel.
상기 유로 축소부는 상기 도포유로의 단부에서 직각면에 의해 유로폭이 좁아진 후 일정한 유로폭을 가지는 것을 특징으로 하는 슬롯 다이.The method according to claim 1,
Wherein the flow path reducing portion has a constant flow path width after narrowing the flow path width by a right angle surface at an end portion of the application flow path.
상기 도포유로의 입구 유로폭과 출구 유로폭의 비는 10 : 7.0~9.5인 것을 특징으로 하는 슬롯 다이.The method according to claim 1,
Wherein a ratio of an inlet flow path width to an outlet flow path width of the application passage is 10: 7.0 to 9.5.
상기 가이드부는
상기 챔버를 기판 방향으로 연통시키는 복수의 도포유로와, 상기 도포유로와 동일선상에 위치하고 상기 도포유로의 끝단에서 기판 방향으로 돌출되어 상기 도포유로를 따라 흐른 소재가 맺힐 수 있는 복수의 돌기를 포함하며;
상기 돌기는 상기 제1블록 및 상기 제2블록의 저면보다 기판 방향으로 더 돌출된 것을 특징으로 하는 슬롯 다이.The method according to claim 1,
The guide portion
And a plurality of protrusions which are located on the same line as the coating flow path and protrude toward the substrate at the end of the coating flow path so as to form a material flowing along the coating flow path, ;
Wherein the projection further protrudes in the substrate direction than the bottom surface of the first block and the second block.
상기 가이드부는
상기 챔버를 기판 방향으로 연통시키는 복수의 도포유로가 형성된 가이드 몸체와, 상기 도포유로와 동일선상에 위치하고 기판 방향으로 돌출된 복수의 돌기를 구비하며 상기 가이드 몸체에 연결된 돌출 플레이트를 포함하며;
상기 돌기는 상기 제1블록 및 상기 제2블록의 저면보다 기판 방향으로 더 돌출된 것을 특징으로 하는 슬롯 다이.The method according to claim 1,
The guide portion
And a protrusion plate connected to the guide body and having a plurality of protrusions arranged on the same line as the application channel and projecting toward the substrate, the protrusion plate being connected to the guide body;
Wherein the projection further protrudes in the substrate direction than the bottom surface of the first block and the second block.
상기 도포유로는 서로 동일하거나 상이한 폭으로 형성되는 것을 특징으로 하는 슬롯 다이.The method according to claim 7 or 8,
Wherein the coating channels are formed to have the same or different widths.
상기 도포유로의 상부측은 상기 챔버의 일부분과 중첩되어 있는 것을 특징으로 하는 슬롯 다이.The method according to claim 7 or 8,
And the upper side of the application passage overlaps with a part of the chamber.
상기 유기 태양전지를 구성하는 상기 적층부는 음극, 광활성층, 전자전달층, 정공전달층, 금속 산화물 박막층, 양극 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기태양전지의 제조방법.12. The method of claim 11,
Wherein the layered portion constituting the organic solar cell is any one selected from the group consisting of a cathode, a photoactive layer, an electron transport layer, a hole transport layer, a metal oxide thin film layer, an anode, and combinations thereof. Way.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020150136382A KR20170037174A (en) | 2015-09-25 | 2015-09-25 | Slot die and method for manufacturing organic solar cell by using the slot die |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020150136382A KR20170037174A (en) | 2015-09-25 | 2015-09-25 | Slot die and method for manufacturing organic solar cell by using the slot die |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20170037174A true KR20170037174A (en) | 2017-04-04 |
Family
ID=58588837
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020150136382A KR20170037174A (en) | 2015-09-25 | 2015-09-25 | Slot die and method for manufacturing organic solar cell by using the slot die |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR20170037174A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102266944B1 (en) * | 2019-12-31 | 2021-06-17 | 한국기술교육대학교 산학협력단 | Slot die coating device to distribute the silution evenly |
KR102452819B1 (en) * | 2021-05-13 | 2022-10-07 | 한국기술교육대학교 산학협력단 | A rotatable slot die head |
US11779953B2 (en) | 2019-11-20 | 2023-10-10 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Slot die for manufacturing rechargeable battery electrode |
-
2015
- 2015-09-25 KR KR1020150136382A patent/KR20170037174A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11779953B2 (en) | 2019-11-20 | 2023-10-10 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Slot die for manufacturing rechargeable battery electrode |
KR102266944B1 (en) * | 2019-12-31 | 2021-06-17 | 한국기술교육대학교 산학협력단 | Slot die coating device to distribute the silution evenly |
KR102452819B1 (en) * | 2021-05-13 | 2022-10-07 | 한국기술교육대학교 산학협력단 | A rotatable slot die head |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20160038534A (en) | Slot die and method for manufacturing organic solar cell by using the slot die | |
KR20150037112A (en) | Slot die and method for manufacturing organic solar cell by using the slot die | |
US6423140B1 (en) | Die set for preparing ABCABC multiple-stripe coating | |
CN106413915B (en) | Coating method | |
KR20170037174A (en) | Slot die and method for manufacturing organic solar cell by using the slot die | |
KR102492797B1 (en) | Substrate treating apparatus having a showerhead | |
JPH11226469A (en) | Stripe coating method, adhesive tape production, and stripe coating die | |
JP2009517213A (en) | Multi-component liquid spray system | |
KR102056479B1 (en) | Slot-die performing multi-coating | |
US9044764B2 (en) | Device for applying viscous media | |
CN108138319B (en) | Film forming apparatus | |
CN104924762A (en) | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus | |
US20160240596A1 (en) | Display panel | |
KR101574592B1 (en) | slot die and method for manufacturing organic solar cell | |
US20070125886A1 (en) | Methods of spraying multi-component liquids | |
JP2021154195A5 (en) | ||
JP3244037U (en) | Improved slot die coating system | |
CN112030138A (en) | Circulating epitaxial deposition system and gas shunting module thereof | |
KR20160077878A (en) | Slot die and method for manufacturing organic solar cell by using the slot die | |
KR102131298B1 (en) | Slot-die Head for Pixel formation | |
KR20170037176A (en) | Dry type slot die and method for manufacturing organic solar cell by using the slot die | |
KR20130121561A (en) | Slot die and method for manufacturing organic solar cell | |
KR101632774B1 (en) | Device for forming a layer | |
KR101860086B1 (en) | Slot die device with coating bar for coating width control | |
EP4098595A1 (en) | Device for conveying flat pieces |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E601 | Decision to refuse application |